特開 2023-79172 ウェハポッドドア用の配置システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023079172

(43)【公開日】2023-06-07

(54)【発明の名称】ウェハポッドドア用の配置システム

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20230531BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 A

【審査請求】有

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022166211

(22)【出願日】2022-10-17

(11)【特許番号】

(45)【特許公報発行日】2023-04-12

(31)【優先権主張番号】202111423027.8

(32)【優先日】2021-11-26

(33)【優先権主張国・地域又は機関】CN

(71)【出願人】

【識別番号】522405978

【氏名又は名称】上海果納半導体技術有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】110002468

【氏名又は名称】弁理士法人後藤特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】張 冬峰

(72)【発明者】

【氏名】鮑 偉成

(72)【発明者】

【氏名】王 文広

(72)【発明者】

【氏名】王 旭晨

(72)【発明者】

【氏名】叶 瑩

【テーマコード（参考）】

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F131AA02

5F131BA03

5F131BA04

5F131BA19

5F131BA23

5F131CA39

5F131CA45

5F131DA22

5F131DA43

5F131HA29

(57)【要約】      （修正有）

【課題】サイズを大きくせず、組み立て、デバッグやメンテナンスに不自由が生じないウェハロードポート構造を提供する。
【解決手段】ウェハロードポート本体１には、ドッキングインターフェース２が設けられ、本体の、ロードテーブル１０３とは反対側面に配置機構が設けられ、スイングコンポーネント４、従動コンポーネント５及びドッキングプレート３を含む。スイングコンポーネントはドッキングインターフェースの上方に、従動コンポーネントはドッキングインターフェースの下方に夫々設けられ、スイングコンポーネント及び従動コンポーネントは夫々ドッキングプレートに接続される。スイングコンポーネントは、ドッキングプレートをドッキングインターフェースの側部上方に配置するようにドッキングプレートを駆動する。従動コンポーネントは、ドッキングプレートの回動自由度を拘束し、所定の位置に配置されたドッキングプレートの内側面を上向きにする。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェハロードポート本体を含むウェハポッドドア用の配置システムであって、
前記ウェハロードポート本体は、基板と、タンクと、ロードテーブルと、を含み、前記基板にドッキングインターフェースが設けられ、前記ドッキングインターフェースのサイズがウェハポッドドアに適合し、前記基板のロードテーブルと反対する側面に配置機構が設けられ、前記配置機構は、スイングコンポーネントと、従動コンポーネントと、ドッキングプレートと、を含み、前記スイングコンポーネントはドッキングインターフェースの上方に設けられ、前記従動コンポーネントはドッキングインターフェースの下方に設けられ、かつ、前記スイングコンポーネント、従動コンポーネントはそれぞれドッキングプレートに接続され、前記スイングコンポーネントはドッキングプレートをドッキングインターフェースの側部上方に配置するようにドッキングプレートを駆動し、前記従動コンポーネントはドッキングプレートの回動自由度を拘束し、所定の位置に配置されたドッキングプレートの前側面を上向きにし、
前記スイングコンポーネントは、スイングロッドと、クロスロッドと、を含み、前記スイングロッドの一端は第１回転軸を介してドッキングプレートの後側面に固定された第１固定ベースにヒンジ連結され、スイングロッドの他端は基板に固定された第２固定ベースにヒンジ連結され、
前記従動コンポーネントは、接続ロッドと、可動ロッドと、を含み、前記接続ロッドと可動ロッドは第２回転軸を介してヒンジ連結され、前記接続ロッドの一端はドッキングプレートの後側面に固定され、他端は可動ロッドにヒンジ連結され、前記可動ロッドは基板に上下移動可能であり、
第１回転軸の軸線からドッキングプレートの後側面までの距離が、第２回転軸の軸線からドッキングプレートの後側面までの距離よりも小さい、ことを特徴とするウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項2】

前記スイングコンポーネントは駆動部材をさらに含み、前記スイングロッドは、前記ドッキングプレートの左右両側に対称に２つ設けられ、２つの前記スイングロッドの一端はそれぞれドッキングプレートに固定された２つの第１固定ベースにヒンジ連結され、他端はそれぞれ基板に固定された２つの第２固定ベースにヒンジ連結され、かつ、前記スイングロッドにボスが設けられ、前記クロスロッドの両端はそれぞれ２つのスイングロッドのボスに固定して接続され、前記クロスロッドと基板との間に駆動部材がさらにヒンジ連結される、ことを特徴とする請求項１に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項3】

前記駆動部材は直動シリンダであり、前記直動シリンダのシリンダ本体の末端が基板に固定されたシリンダ末端接続板に固定して接続され、前記シリンダ末端接続板は基板に固定された支持ベースにヒンジ連結され、前記直動シリンダのピストンロッドはＹ字形コネクタに固定して接続され、前記クロスロッドの中央部にボスが設けられ、前記Ｙ字形コネクタはクロスロッドのボスにヒンジ連結される、ことを特徴とする請求項２に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項4】

前記従動コンポーネントはスライダとスライドレールをさらに含み、前記接続ロッドは、平行に２つ設けられ、ドッキングプレートの左右両側に対称に設けられ、２つの前記接続ロッドの一端は全てドッキングプレートの後側面に固定され、他端はそれぞれ可動ロッドにヒンジ連結され、前記可動ロッドは接続板を介してスライダに固定して接続され、前記スライダはスライドレールに外嵌され、前記スライドレールは基板に垂直に固定して設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項5】

前記可動ロッドは「凵」形状を呈し、前記可動ロッドの形状及びサイズがドッキングインターフェースに適合し、前記可動ロッドはスライダに同期してスライドレールの方向に沿って基板に平行な面内を直線並進運動する、ことを特徴とする請求項４に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項6】

前記スイングコンポーネントのスイングロッドと第２固定ベースは第３回転軸を介してヒンジ連結される、ことを特徴とする請求項２に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項7】

ウェハポッドドアが閉じられた状態で、ドッキングプレートは垂直に配設され、かつ基板に平行であり、第３回転軸の軸線と第２回転軸の軸線は基板に平行な垂直面をなす、ことを特徴とする請求項６に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は半導体加工分野に関し、特にウェハポッドドア用の配置システムに関する。

【背景技術】

【0002】

半導体の加工において、生産ラインのさまざまな位置間でウェハを搬送、移送する必要があり、通常、ウェハロードポート（Ｌｏａｄｐｏｒｔ）はウェハの供給に用いられ、基本的な作動原理としては、ウェハロードポートはウェハポッドに対して作業を行い、所定の位置に達すると、ウェハポッドのドアを開き、マニピュレータや他の装置によりウェハを取り出し、このように、ウェハの供給が実現される。

【0003】

半導体の加工において、さまざまな加工ステーション間でウェハを搬送、移送したり、ウェハを再分類して整備したりする必要があり、通常、上記の機能はウェハの機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）、ウェハ選別機（Ｓｏｒｔｅｒ）によって実現される。ウェハロードポート（Ｌｏａｄｐｏｒｔ）は通常上記装置に配置され、主として、まず、ウェハポッドをドッキングインターフェースに搬送し、次に、ウェハポッドのドアを開いて所望の位置に配置し、さらにウェハセンサによってウェハのポースを検出する役割を果たす。ウェハロードポートが上記機能を完了した後、ＥＦＥＭ、Ｓｏｒｔｅｒのマニピュレータや他の装置はポッドからウェハを取り出して加工ステーションに搬送し、このように、ウェハの供給が完了される。

【0004】

しかし、現在のウェハロードポート（Ｌｏａｄｐｏｒｔ）では、ドッキングプレートとウェハ検出センサが同時に下方へ移動するので、ウェハロードポートの構造が必要以上コンパクトになり、ウェハロードポートの組み立て、デバッグやメンテナンスに不利である。また、全過程に亘ってウェハポッドのドアを常に垂直配置状態にし、ドアの安定性がウェハロードポートのドッキングプレートの前側面吸盤による真空吸引力により保持され、気圧の波動による影響を受けやすい。また、ウェハロードポート（Ｌｏａｄｐｏｒｔ）はＥＦＥＭやＳｏｒｔｅｒにおいてウェハカセットのドアを開いた後、ＥＦＥＭ及びＳｏｒｔｅｒの底部にドアを配置するので、ＥＦＥＭ及びＳｏｒｔｅｒの底部に取り付けられるマニピュレータを避けるために、ＥＦＥＭ及びＳｏｒｔｅｒの体積のサイズを大きくする必要があるが、一方、実際にはＥＦＥＭ及びＳｏｒｔｅｒの頂部に大きな空きスペースがあり、ウェハロードポートはこの空きスペースを十分に結合、発揮、及び活用しておらず、浪費をもたらし、半導体加工に必要なクリーンな環境を維持するためのコストが高いので、装置の設計体積は冗長性を有するべきではない。

【0005】

本願は、装置の体積を小さくし、生産コストを低減させることを目的とするウェハポッドドア用の配置システムを提供する。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

上記欠点を克服するために、本発明の目的はウェハポッドドア用の配置システムを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

以上の目的を達成させるために、本発明が採用する技術的解決手段は以下の通りである。ウェハロードポート本体を含むウェハポッドドア用の配置システムであって、前記ウェハロードポート本体は、基板と、タンクと、ロードテーブルと、を含み、前記基板にドッキングインターフェースが設けられ、前記ドッキングインターフェースのサイズがウェハポッドドアに適合し、前記基板のロードテーブルと反対する側面に配置機構が設けられ、前記配置機構は、スイングコンポーネントと、従動コンポーネントと、ドッキングプレートと、を含み、前記スイングコンポーネントはドッキングインターフェースの上方に設けられ、前記従動コンポーネントはドッキングインターフェースの下方に設けられ、かつ、前記スイングコンポーネント、従動コンポーネントはそれぞれドッキングプレートに接続され、前記スイングコンポーネントはドッキングプレートをドッキングインターフェースの側部上方に配置するようにドッキングプレートを駆動することができ、前記従動コンポーネントはドッキングプレートの回動自由度を拘束し、所定の位置に配置されたドッキングプレートの前側面を上向きにすることができる。

【0008】

好ましくは、前記スイングコンポーネントは、スイングロッドと、クロスロッドと、駆動部材と、を含み、前記スイングロッドは前記ドッキングプレートの左右両側に対称に２つ設けられ、２つの前記スイングロッドの一端はそれぞれドッキングプレートに固定された２つの第１固定ベースにヒンジ連結され、他端はそれぞれ基板に固定された２つの第２固定ベースにヒンジ連結され、かつ、前記スイングロッドにボスが設けられ、前記クロスロッドの両端はそれぞれ２つのスイングロッドのボスに固定して接続され、前記クロスロッドと基板との間に駆動部材がさらにヒンジ連結される。ドッキングプレートが開かれた後にドッキングインターフェースの上方に位置し、駆動部材が駆動するときに、スイングロッドは上端のヒンジ連結点の周りにスイングし、ドッキングインターフェースの側部上方に位置するようにドッキングプレートを駆動することを目的とする。

【0009】

好ましくは、前記駆動部材は直動シリンダであり、前記直動シリンダのシリンダ本体の末端が基板に固定されたシリンダ末端接続板に固定して接続され、前記シリンダ末端接続板は基板に固定された支持ベースにヒンジ連結され、前記直動シリンダのピストンロッドはＹ字形コネクタに固定して接続され、前記クロスロッドの中央部にボスが設けられ、前記Ｙ字形コネクタはクロスロッドのボスにヒンジ連結される。

【0010】

好ましくは、前記従動コンポーネントは、接続ロッドと、可動ロッドと、スライダと、スライドレールと、を含み、前記接続ロッドは平行に２つ設けられ、ドッキングプレートの左右両側に対称に設けられ、２つの前記接続ロッドの一端は全てドッキングプレートの後側面に固定され、他端はそれぞれ可動ロッドにヒンジ連結され、前記可動ロッドは接続板を介してスライダに固定して接続され、前記スライダはスライドレールに外嵌され、前記スライドレールは基板に垂直に固定して設けられる。即ち、従動コンポーネントはドッキングプレートの回動自由度を制限する。

【0011】

好ましくは、前記可動ロッドは「凵」形状を呈し、前記可動ロッドの形状及びサイズがドッキングインターフェースに適合し、前記可動ロッドはスライダに同期してスライドレール方向において基板に平行な面内を直線並進運動する。このような構成によれば、ドッキングプレートをドッキングインターフェースの側部上方に配置するようにドッキングプレートの運動経路を制御することができる一方で、ＥＦＥＭやＳｏｒｔｅｒのマニピュレータがドッキングインターフェースを介してウェハポッドからウェハを出し入れすることに影響を与えない。

【0012】

好ましくは、前記スイングコンポーネントのスイングロッドと第１固定ベースは第１回転軸を介してヒンジ連結され、第１固定ベースはドッキングプレートの後側面に設けられ、前記スイングコンポーネントのスイングロッドと第２固定ベースは第３回転軸を介してヒンジ連結され、前記従動コンポーネントの接続ロッドと可動ロッドは第２回転軸を介してヒンジ連結される。ウェハポッドドアが閉じられた状態で、ドッキングプレートは垂直に配設され、基板に平行であり、第３回転軸の軸線と第２回転軸の軸線は基板に平行な垂直面をなす。

【0013】

ウェハポッドドアが閉じられた状態で、ドッキングプレートは垂直に配設され、かつ基板に平行であり、第３回転軸の軸線と第２回転軸の軸線は基板に平行な垂直面をなす。

【0014】

好ましくは、第１回転軸の軸線からドッキングプレートの後側面までの距離が、第２回転軸の軸線からドッキングプレートの後側面までの距離よりも小さい。ウェハポッドドアがウェハポッドに内蔵されるので、ドアの上、下と左、右の４つの側面がウェハポッドに対して所定の距離を保ち、これにより、ドアがウェハポッドの上、下と左、右の内側壁に接触したり摩擦したりすることを回避できる。しかし、ドッキングプレートはポッドからドアを取り出す過程には、ウェハポッドがドアを平行に出てくるのではなく、所定の角度で揺れて出てくる。スイング中にウェハポッドに対するドアの傾きが大きいほど、ドアがウェハポッドの内側壁と摩擦したり、さらに応力作用を発生させたりすることが起こりやすく、これは、ウェハポッドの内側壁の摩損を引き起こし、シール効果を損なうだけではなく、摩損中に生じた微細粒子がウェハポッド、さらにＥＦＥＭやＳｏｒｔｅｒの内部の清潔度に影響を与え、また、ウェハロードポートへのウェハポッドの固定の安定性にも影響し、よって、ウェハポッドからドアを取り出す際の相対傾きを低下させることにより、上記リスクの発生を効果的に回避できる。このため、第１回転軸からドッキングプレートの後側面までの距離が、第２回転軸からドッキングプレートの後側面までの距離よりも小さいように設計することにより、スイングロッドが初期位置で、ドッキングプレートに対してある程度逆方向に傾斜するようになり、この初期の逆方向傾斜により、ドッキングプレートがウェハポッドからドアを取り出すときの相対傾きが減少し、ウェハポッドからドアを取り出すときにドアがウェハポッドの内側壁と摩擦したり、押力作用を発生させたりすることが回避される。

【0015】

ドッキングプレートは配置システムにより駆動されてドッキングインターフェースに対して開閉することができ、閉じられた場合、ドッキングプレートの前側面の吸盤によりドッキングインターフェースの他側のウェハポッドドアを吸着し、配置システムにより駆動されて所望の位置にドアを配置する。ドッキングプレートの後側面に後蓋がさらに設けられる。ドッキングプレートの前側面にドア吸着用の吸盤が設けられ、吸盤に吸引力を供給する真空管路がドッキングプレートの後側面に設けられるので、運動中の管路への干渉を回避し、管路周辺の環境を清潔に保つために、真空管路を密閉するための後蓋が設けられる。

【発明の効果】

【0016】

ウェハポッドドア用の配置システムでは、ウェハロードポートの頂部のスペースを十分に活用することで、ウェハロードポートの構造のレイアウトがより合理的であり、従来のウェハロードポートでは、ウェハポッドドアを出し入れする際には、ドアは常に垂直に置かれ、真空吸引力のみによってドッキングプレートに密着するが、真空吸着には気体遮断時の保持機能がないので、吸着の安定性が気圧の波動による影響を受けやすい。本発明のウェハポッドドア用の配置システムでは、ドアが所望の位置に配置された後、ドッキングプレートは略水平に置かれ、これにより、ドッキングプレートはドアに支持力を付与することができ、真空吸引力への依存性を低減させ、ウェハロードポートにおいてウェハポッドドアを開いたり出し入れしたりするための機構のモジュール化の設計を実現し、ウェハロードポートの機械構造の集積程度を低下させ、ウェハローダの生産、組み立て、輸送やメンテナンスに有利である。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】ウェハポッドドア用の配置システムの立体構造概略図である。

【図2】スイングコンポーネントの部分概略図である。

【図3】スイングコンポーネント及び従動コンポーネントの位置概略図である。

【図4】閉状態での側面図である。

【図5】閉状態での立体概略図である。

【図6】開く過程における側面図である。

【図7】開く過程における立体概略図である。

【図8】完全開状態での側面図である。

【図9】完全開状態での立体概略図である。

【図10】クロスロッドの概略図である。

【図11】シリンダ末端接続板の概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

本発明の利点及び特許が当業者により理解されやすいように、以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について詳細に説明し、本発明の特許範囲をより明確に定める。

【0019】

図１～１１に示すように、本実施例におけるウェハポッドドア用の配置システムは、ウェハロードポート本体１を含み、ウェハロードポート本体１は、基板１０１と、タンク１０２と、ロードテーブル１０３と、を含み、基板１０１にドッキングインターフェース２が設けられ、ドッキングインターフェース２のサイズがウェハポッドドア８に適合し、基板１０１のロードテーブル１０３と反対する側面に配置機構が設けられ、配置機構は、スイングコンポーネント４と、従動コンポーネント５と、ドッキングプレート３と、を含み、スイングコンポーネント４はドッキングインターフェース２の上方に設けられ、従動コンポーネント５はドッキングインターフェース２の下方に設けられ、かつ、スイングコンポーネント４、従動コンポーネント５はそれぞれドッキングプレート３に接続され、スイングコンポーネント４はドッキングプレート３をドッキングインターフェース２の側部上方に配置するようにドッキングプレート３を駆動することができ、従動コンポーネント５はドッキングプレート３の回動自由度を拘束し、所望の位置に配置させたドッキングプレートの前側面３０１を上向きにすることができる。

【0020】

スイングコンポーネント４は、スイングロッド４０１と、クロスロッド４０２と、駆動部材４０３と、を含み、スイングロッド４０１はドッキングプレート３の左右両側に対称に２つ設けられ、２つのスイングロッド４０１の一端はそれぞれ、第１回転軸６を介して、ドッキングプレート３に固定された２つの第１固定ベース４０４にヒンジ連結され、他端はそれぞれ、第３回転軸４０９を介して、基板１０１に固定された２つの第２固定ベース４０５にヒンジ連結され、かつ、スイングロッド４０１にボスが設けられ、クロスロッド４０２の両端はそれぞれ２つのスイングロッド４０１のボスに固定して接続され、クロスロッド４０２と基板１０１との間に駆動部材４０３がさらにヒンジ連結される。ドッキングプレート３が開かれた後にドッキングインターフェース２の側部上方に位置し、駆動部材４０３が駆動するときに、スイングロッド４０１は第３回転軸４０９の周りにスイングし、ドッキングインターフェース２の上方に位置するようにドッキングプレート３を駆動することを目的とする。

【0021】

駆動部材４０３は直動シリンダであり、直動シリンダのシリンダ本体の末端が基板１０１に固定されたシリンダ末端接続板４０６に固定して接続され、シリンダ末端接続板４０６は基板１０１に固定された支持ベース４０７にヒンジ連結され、直動シリンダのピストンロッドはＹ字形コネクタ４０８に固定して接続され、クロスロッド４０２の中央部にボスが設けられ、Ｙ字形コネクタ４０８はクロスロッド４０２のボスにヒンジ連結される。

【0022】

従動コンポーネント５は、接続ロッド５０１と、可動ロッド５０２と、スライダ５０４と、スライドレール５０５と、を含み、接続ロッド５０１は平行に２つ設けられ、ドッキングプレート３の左右両側に対称に設けられ、２つの接続ロッド５０１の一端は全てドッキングプレートの後側面３０２に固定され、他端はそれぞれ可動ロッド５０２にヒンジ連結され、可動ロッド５０２は接続板５０３を介してスライダ５０４に固定して接続され、スライダ５０４はスライドレール５０５に外嵌され、スライドレール５０５は基板１０１に垂直に固定して設けられる。駆動部材４０３がスイングコンポーネント４を介してドッキングプレート３をドッキングインターフェース２の側部上方に移動させる過程では、従動コンポーネント５はドッキングプレート３の回動を拘束し、ドッキングプレート３をウェハロードポート１に対して反時計回りで回動させることができ（図１参照）、これによって、ドッキングプレート３を垂直状態から前側面が上向きにする状態に変更するのを実現する。

【0023】

可動ロッド５０２は「凵」形状を呈し、可動ロッド５０２の形状及びサイズがドッキングインターフェース２に適合し、可動ロッド５０２はスライダ５０４に同期してスライドレール５０５の方向に沿って基板１０１に平行な面内を直線並進運動する。このような構成によれば、ドッキングプレート３をドッキングインターフェース２の側部上方に配置するようにドッキングプレート３の運動経路を制御することができる一方で、ＥＦＥＭやＳｏｒｔｅｒのマニピュレータがドッキングインターフェース２を介してウェハポッド１０からウェハを出し入れすることに影響を与えない。

【0024】

図３～４に示すように、ウェハポッドドアが閉じられた状態で、ドッキングプレート３は垂直に配設され、基板１０１に平行であり、第３回転軸４０９の軸線と第２回転軸７の軸線は基板１０１に平行な同一の垂直面にある（図４に示す破線参照）。スイングコンポーネント４のスイングロッド４０１と第１固定ベース４０４は第１回転軸６を介してヒンジ連結され、第１固定ベース４０４はドッキングプレート３の後側面に設けられ、従動コンポーネント５の接続ロッド５０１と可動ロッド５０２は第２回転軸７を介してヒンジ連結され、かつ、第１回転軸６の軸線からドッキングプレートの後側面３０２までの距離（ｄ）が、第２回転軸７の軸線からドッキングプレートの後側面３０２までの距離（Ｄ）よりも小さい。図３に示すように、スイングロッド４０１はスイングコンポーネント４の一部であり、スイングロッド４０１は、初期位置では、ドッキングプレート３に対してある程度逆方向に傾斜し、この初期の逆方向傾斜により、ドッキングプレート３がウェハポッド１０からドア８を取り出す過程における相対傾きが減少し、ウェハポッド１０からドア８を取り出す過程においてドア８がウェハポッド１０の内側壁と接触することが回避され、ウェハポッド１０からドア８を取り出すときにドア８がウェハポッド１０の内側壁と摩擦したり推力を生成したりすることが回避される。

【0025】

ドッキングプレート３は配置システムにより駆動されてドッキングインターフェース２に対して開閉することができ、閉じられた場合、ドッキングプレートの前側面３０１の吸盤によりドッキングインターフェース２の他側のウェハポッドドア８を吸着し、配置システムにより駆動されて、所定の位置にドア８を配置する（吸着によりドアを開く構造及び原理は本分野で公知のものであるので、ここでは詳しく説明しない）。ドッキングプレートの後側面３０２に後蓋９がさらに設けられ、ドッキングプレートの前側面３０１にドア８を吸着するための吸盤が設けられ、吸盤に吸引力を供給する真空管路がドッキングプレートの後側面３０２に設けられるので、運動中の管路への干渉を回避し、管路周辺の環境を清潔に保つために、真空管路を密閉するための後蓋９が設けられる。

【0026】

ウェハポッドドア用の配置システムでは、ウェハロードポート１及びＥＦＥＭやＳｏｒｔｅｒの頂部のスペースを十分に活用することで、ウェハロードポート１及びＥＦＥＭやＳｏｒｔｅｒの構造のレイアウトがより合理的である。従来のウェハロードポートでは、ウェハポッドドア８を出し入れする際には、ドア８は常に垂直に置かれ、真空吸引力のみによってドッキングプレート３に密着するが、本発明のウェハポッドドア８用の配置システムでは、ドア８が所定の位置に配置された後、ドッキングプレート３は略水平に置かれ、これにより、ドッキングプレート３はドア８に支持力を付与することができ、このように、真空吸引力への依存性を低減させ、ウェハロードポートにおいてウェハポッドドア８を開いたり出し入れしたりするための機構のモジュール化の設計を実現し、ウェハロードポートの機械構造の集積程度を低減させ、ウェハローダの生産、組み立て、輸送やメンテナンスにより有利である。

【0027】

図４～９には、閉状態－開く過程－完全に開く概略図であり、基本的な作動原理は以下の通りである。初期位置では、ドッキングプレート３はドッキングインターフェース２に対して中央揃えに配置され、ドッキングインターフェース２は閉状態になり、Ｌｏａｄｐｏｒｔウェハロードポート１が作動し始めると、タンク１０２内に配置された制御システムは情報を受信して命令を送信し、ウェハロードポート１の全ての駆動部材の運動を制御し、ウェハポッド１０をロードテーブル１０３に置き、次に、ロードテーブル１０３はウェハポッド１０をドッキングインターフェース２に押し、その後、ドッキングプレート３に取り付けられた吸盤はウェハポッドドア８を吸着し、ドア８は吸盤の吸引力による作用の下でドッキングプレート３に密着し、ドッキングプレート３に取り付けられた解錠装置はウェハポッドドア８を開き、ウェハポッドドア８とウェハポッド１０とのロックが解除され、配置システムは作動し始め、駆動部材４０３のピストンロッドは伸長して、クロスロッド４０２を移動させ、第１固定ベース４０４の周りに時計回りでスイングさせるようにスイングロッド４０１を駆動して（図示した視角）、スイングロッド４０１はドッキングプレート３を移動駆動し、ドッキングプレート３は可動ロッド５０２をスライダ５０４とともにスライドレール５０５に沿って垂直に上方へ移動させ、ドッキングプレート３は可動ロッド５０２とともに上方へ移動しながら、可動ロッド５０２の回転軸の周りに反時計回りで回動し、ドッキングプレート３はウェハポッドドア８を同期してスイングさせ、ウェハポッドドア８をウェハポッド１０から揺れ出し、駆動部材４０３はクロスロッド４０２の反作用により支持ベース４０７の周りにスイングし、このように、駆動部材４０３のピストンロッドが持続的に伸長し、可動ロッド５０２が上方へ移動することによって、ウェハポッドドア８はスイングによりドッキングインターフェース２の側部上方に移動し、ウェハポッド１０は完全に開かれる。このとき、ドア８は略水平に置かれ、ドッキングプレート３によって支持力が付与され、これによって、真空吸引力への依存性を低減させ、ドッキングプレート３は駆動部材４０３によって支持力が付与され、駆動部材４０３は、圧縮空気の作用によって、外部の気圧の波動による影響を受けずに、５ポート３位置弁を介してピストンロッドの伸長状態を長時間に保つことができる。

【0028】

以上の実施方式は本発明の技術的構想及び特徴を説明するためのものに過ぎず、当業者が本発明の内容を理解して実施することを意図しており、本発明の特許範囲を限定するものではなく、本発明の主旨に基づいて行われる等価変化や修飾は全て本発明の特許範囲に含まれるべきである。

【符号の説明】

【0029】

１、ウェハロードポート本体
２、ドッキングインターフェース
３、ドッキングプレート
４、スイングコンポーネント
５、従動コンポーネント
６、第１回転軸
７、第２回転軸
８、ウェハポッドドア
９、後蓋
１０、ウェハポッド
１０１、基板
１０２、タンク
１０３、ロードテーブル
３０１、ドッキングプレート前側面
３０２、ドッキングプレート後側面
４０１、スイングロッド
４０２、クロスロッド
４０３、駆動部材
４０４、第１固定ベース
４０５、第２固定ベース
４０６、シリンダ末端接続板
４０７、支持ベース
４０８、Ｙ字形コネクタ
４０９、第３回転軸
５０１、接続ロッド
５０２、可動ロッド
５０３、接続板
５０４、スライダ
５０５、スライドレール

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【手続補正書】

【提出日】2023-01-10

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェハロードポート本体を含むウェハポッドドア用の配置システムであって、
前記ウェハロードポート本体は、基板と、前記基板の一方側に位置するタンク及びロードテーブルと、を含み、前記基板にドッキングインターフェースが設けられ、前記ドッキングインターフェースのサイズがウェハポッドドアに適合し、前記基板の一方側とは反対の他方側に配置機構が設けられ、前記配置機構は、スイングコンポーネントと、従動コンポーネントと、ドッキングプレートと、を含み、前記スイングコンポーネントはドッキングインターフェースの上方に設けられ、前記従動コンポーネントはドッキングインターフェースの下方に設けられ、かつ、前記スイングコンポーネント、従動コンポーネントはそれぞれドッキングプレートに接続され、前記スイングコンポーネントはドッキングプレートをドッキングインターフェースの上方に配置するようにドッキングプレートを駆動し、前記従動コンポーネントはドッキングプレートの回動自由度を拘束し、所定の位置に配置されたドッキングプレートの一端面を上向きにし、
前記スイングコンポーネントは、スイングロッドと、クロスロッドと、を含み、前記スイングロッドの一端は第１回転軸を介してドッキングプレートの他端面に固定された第１固定ベースにヒンジ連結され、スイングロッドの他端は基板に固定された第２固定ベースにヒンジ連結され、
前記従動コンポーネントは、接続ロッドと、可動ロッドと、を含み、前記接続ロッドと可動ロッドは第２回転軸を介してヒンジ連結され、前記接続ロッドの一端はドッキングプレートの他端面に固定され、他端は可動ロッドにヒンジ連結され、前記可動ロッドは基板の側面に沿って上下移動可能であり、
第１回転軸の軸線からドッキングプレートの他端面までの距離が、第２回転軸の軸線からドッキングプレートの他端面までの距離よりも小さく、
前記ドッキングインターフェースが前記ドッキングプレートにより閉じられた場合に、前記ドッキングプレートは、一端面が前記基板の一方側に臨むように設けられている、
ことを特徴とするウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項2】

前記スイングコンポーネントは駆動部材をさらに含み、前記スイングロッドは、前記ドッキングプレートの左右両側に対称に２つ設けられ、２つの前記スイングロッドの一端はそれぞれドッキングプレートに固定された２つの第１固定ベースにヒンジ連結され、他端はそれぞれ基板に固定された２つの第２固定ベースにヒンジ連結され、かつ、前記スイングロッドにボスが設けられ、前記クロスロッドの両端はそれぞれ２つのスイングロッドのボスに固定して接続され、前記クロスロッドと基板との間に駆動部材がさらにヒンジ連結される、ことを特徴とする請求項１に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項3】

前記駆動部材は直動シリンダであり、前記直動シリンダのシリンダ本体の末端が基板に固定されたシリンダ末端接続板に固定して接続され、前記シリンダ末端接続板は基板に固定された支持ベースにヒンジ連結され、前記直動シリンダのピストンロッドはＹ字形コネクタに固定して接続され、前記クロスロッドの中央部にボスが設けられ、前記Ｙ字形コネクタはクロスロッドのボスにヒンジ連結される、ことを特徴とする請求項２に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項4】

前記従動コンポーネントはスライダとスライドレールをさらに含み、前記接続ロッドは、平行に２つ設けられ、ドッキングプレートの左右両側に対称に設けられ、２つの前記接続ロッドの一端は全てドッキングプレートの他端面に固定され、他端はそれぞれ可動ロッドにヒンジ連結され、前記可動ロッドは接続板を介してスライダに固定して接続され、前記スライダはスライドレールに外嵌され、前記スライドレールは基板に垂直に固定して設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項5】

前記可動ロッドは「凵」形状を呈し、前記可動ロッドの形状及びサイズがドッキングインターフェースに適合し、前記可動ロッドはスライダに同期してスライドレールの方向に沿って基板に平行な面内を直線並進運動する、ことを特徴とする請求項４に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項6】

前記スイングコンポーネントのスイングロッドと第２固定ベースは第３回転軸を介してヒンジ連結される、ことを特徴とする請求項２に記載のウェハポッドドア用の配置システム。

【請求項7】

ウェハポッドドアが閉じられた状態で、ドッキングプレートは垂直に配設され、かつ基板に平行であり、第３回転軸の軸線と第２回転軸の軸線は基板に平行な垂直面をなす、ことを特徴とする請求項６に記載のウェハポッドドア用の配置システム。