(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023080577
(43)【公開日】2023-06-09
(54)【発明の名称】圧電振動素子及び圧電デバイス
(51)【国際特許分類】
H03H 9/19 20060101AFI20230602BHJP
【ＦＩ】
H03H9/19 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021194002
(22)【出願日】2021-11-30
(71)【出願人】
【識別番号】000006633
【氏名又は名称】京セラ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100135828
【弁理士】
【氏名又は名称】飯島 康弘
(72)【発明者】
【氏名】楠木 孝男
【テーマコード（参考）】
5J108
【Ｆターム（参考）】
5J108BB02
5J108CC04
5J108CC10
5J108CC11
5J108DD02
5J108EE03
5J108EE07
5J108EE18
5J108GG03
5J108GG16
5J108GG20
(57)【要約】 （修正有）
【課題】振動の特性を向上させる圧電振動素子を提供する。
【解決手段】水晶素子１は、水晶素板３と、１対の励振電極７と、１対の引出電極９とを有する。水晶素板３は、Ｘ方向及び当該Ｘ方向に直交するＺ’方向に広がっており、Ｘ方向の一方側に第１端部３ａを有する。１対の励振電極７は、水晶素板３に重なっている。１対の引出電極９は、水晶素板３に重なり、１対の励振電極７から第１端部３ａへ向かって引き出されている。１対の引出電極９は、Ｚ’方向において互いに離れている１対のパッド部９ａを有する。圧電素板３は、１対のパッド部９ａの間に位置している緩衝部１１を有している。緩衝部１１は、１対のパッド部９ａから離れていてよい。
【選択図】図１
【解決手段】水晶素子１は、水晶素板３と、１対の励振電極７と、１対の引出電極９とを有する。水晶素板３は、Ｘ方向及び当該Ｘ方向に直交するＺ’方向に広がっており、Ｘ方向の一方側に第１端部３ａを有する。１対の励振電極７は、水晶素板３に重なっている。１対の引出電極９は、水晶素板３に重なり、１対の励振電極７から第１端部３ａへ向かって引き出されている。１対の引出電極９は、Ｚ’方向において互いに離れている１対のパッド部９ａを有する。圧電素板３は、１対のパッド部９ａの間に位置している緩衝部１１を有している。緩衝部１１は、１対のパッド部９ａから離れていてよい。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１方向及び当該第１方向に直交する第２方向に広がっており、前記第１方向の一方側に第１端部を有している圧電素板と、
前記圧電素板に重なる１対の励振電極と、
前記圧電素板に重なり、前記１対の励振電極から前記第１端部へ向かって引き出されている１対の引出電極と、
を有しており、
前記１対の引出電極は、前記第２方向において互いに離れている１対のパッド部を有しており、
前記圧電素板は、緩衝部を有しており、
前記緩衝部は、前記圧電素板を厚さ方向に貫通する第１貫通孔、前記圧電素板を薄くする凹部、及び前記圧電素板の前記第１端部を切り欠く切欠きの少なくとも１つを含み、前記１対のパッド部の間に位置しているとともに、前記１対のパッド部から離れて位置している
圧電振動素子。
前記圧電素板に重なる１対の励振電極と、
前記圧電素板に重なり、前記１対の励振電極から前記第１端部へ向かって引き出されている１対の引出電極と、
を有しており、
前記１対の引出電極は、前記第２方向において互いに離れている１対のパッド部を有しており、
前記圧電素板は、緩衝部を有しており、
前記緩衝部は、前記圧電素板を厚さ方向に貫通する第１貫通孔、前記圧電素板を薄くする凹部、及び前記圧電素板の前記第１端部を切り欠く切欠きの少なくとも１つを含み、前記１対のパッド部の間に位置しているとともに、前記１対のパッド部から離れて位置している
圧電振動素子。
【請求項2】
前記圧電素板は、
前記１対の励振電極が重なっている振動部と、
前記１対のパッド部が重なっており、前記振動部よりも厚い固定部と、を有しており、
前記緩衝部は、前記固定部に少なくとも一部が位置している
請求項１に記載の圧電振動素子。
前記１対の励振電極が重なっている振動部と、
前記１対のパッド部が重なっており、前記振動部よりも厚い固定部と、を有しており、
前記緩衝部は、前記固定部に少なくとも一部が位置している
請求項１に記載の圧電振動素子。
【請求項3】
前記緩衝部は、前記固定部の前記振動部の側の端部から離れている
請求項２に記載の圧電振動素子。
請求項２に記載の圧電振動素子。
【請求項4】
前記圧電素板は、前記１対の励振電極と前記緩衝部との間に前記圧電素板を厚さ方向に貫通する第２貫通孔を更に有している
請求項１～３のいずれか１項に記載の圧電振動素子。
請求項１～３のいずれか１項に記載の圧電振動素子。
【請求項5】
前記圧電素板は、平面視において前記１対のパッド部に重なる位置に、前記圧電素板を厚さ方向に貫通する１対の第３貫通孔を更に有している
請求項１～４のいずれか１項に記載の圧電振動素子。
請求項１～４のいずれか１項に記載の圧電振動素子。
【請求項6】
平面視において、前記緩衝部の中心は、前記圧電素板の、前記第１方向に平行な中心線上に位置しており、前記１対の第３貫通孔は、前記中心線に対して線対称に位置している
請求項５に記載の圧電振動素子。
請求項５に記載の圧電振動素子。
【請求項7】
前記１対のパッド部の、平面視において前記緩衝部を挟んで対向する互いに対向する縁部が切り欠かれている
請求項１～６のいずれか１項に記載の圧電振動素子。
請求項１～６のいずれか１項に記載の圧電振動素子。
【請求項8】
請求項１～７のいずれか１項に記載の圧電振動素子と、
前記圧電振動素子が実装されているパッケージと、
を有している圧電デバイス。
前記圧電振動素子が実装されているパッケージと、
を有している圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、圧電振動素子及び圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【0002】
圧電デバイスとして、例えば、水晶振動子及び水晶発振器が知られている。これらの圧電デバイスは、交流電圧の印加によって振動する圧電振動素子を有している。圧電振動素子は、例えば、板状の圧電素板（例えば水晶素板）と、圧電素板の１対の主面（板形状の最も広い面。板形状の表裏。以下、同様。）に設けられた１対の励振電極と、１対の励振電極から引き出された１対の引出電極とを有している。１対の引出電極は、例えば、導電性の接合材によってパッケージのパッドに接合される。これにより、圧電振動素子がパッケージに実装される。そして、１対の引出電極に交流電圧が印加されることによって、１対の励振電極によって圧電素板に交流電圧が印加される。
【0003】
特許文献１では、圧電素板として、平面視において一端部に切欠きが形成されているものを開示している。切欠きは、平面視において、１対の引出電極の間に位置しているとともに、１対の引出電極に隣接している。また、１対の引出電極は、切欠きの内面にも成膜されている。
【0004】
特許文献２では、圧電素板として、平面視において互いに異なる領域を構成する振動部及び固定部を有するものを開示している。振動部は、例えば、１対の励振電極が設けられる部位であり、平板状である。固定部は、例えば、１対の引出電極が設けられる部位であり、振動部よりも厚い。特許文献１では、さらに、固定部に凹部及び貫通孔を形成することを提案している。当該凹部及び貫通孔は、平面視において１対の引出電極に重なっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１５－１８６２３１号公報
【特許文献2】特開２０２０－１９１５７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
振動に係る特性を向上させることができる圧電振動素子及び圧電デバイスが提供されることが待たれる。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本開示の一態様に係る圧電振動素子は、第１方向及び当該第１方向に直交する第２方向に広がっており、前記第１方向の一方側に第１端部を有している圧電素板と、前記圧電素板に重なる１対の励振電極と、前記圧電素板に重なり、前記１対の励振電極から前記第１端部へ向かって引き出されている１対の引出電極と、を有しており、前記１対の引出電極は、前記第２方向において互いに離れている１対のパッド部を有しており、前記圧電素板は、緩衝部を有しており、前記緩衝部は、前記圧電素板を厚さ方向に貫通する第１貫通孔、前記圧電素板を薄くする凹部、及び前記圧電素板の前記第１端部を切り欠く切欠きの少なくとも１つを含み、前記１対のパッド部の間に位置しているとともに、前記１対のパッド部から離れて位置している。
【0008】
本開示の一態様に係る圧電デバイスは、上記圧電振動素子と、前記圧電振動素子が実装されているパッケージと、を有している。
【発明の効果】
【0009】
上記の構成によれば、例えば、振動に係る特性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、実施形態に係る水晶振動素子（以下、単に「水晶素子」ということがある。）について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明で用いられる図は模式的なものであり、図面上の寸法比率等は現実のものとは必ずしも一致していない。同様に、図面相互の寸法比率等についても必ずしも一致していない。平面視は、特に断りが無い限り、図１等に示すＸＹ’Ｚ’座標系のＹ’方向に平行に見ることを指す。
【0012】
第１実施形態以外の実施形態又は変形例の説明においては、基本的に、先に説明された態様との相違点についてのみ述べる。特に言及が無い事項については、先に説明された態様と同様とされたり、先に説明された態様から類推されたりしてよい。
【0013】
＜第１実施形態＞
（水晶素子の概要）
図１は、第１実施形態に係る水晶素子１の斜視図である。図２は、水晶素子１の一部を破断して示す水晶素子１の斜視図である。水晶素子１は、例えば、概略、Ｘ軸に平行な中心線ＣＬに対して１８０°回転対称の構成とされている。従って、－Ｙ’側から見た水晶素子１の斜視図は図１と同様である。
（水晶素子の概要）
図１は、第１実施形態に係る水晶素子１の斜視図である。図２は、水晶素子１の一部を破断して示す水晶素子１の斜視図である。水晶素子１は、例えば、概略、Ｘ軸に平行な中心線ＣＬに対して１８０°回転対称の構成とされている。従って、－Ｙ’側から見た水晶素子１の斜視図は図１と同様である。
【0014】
なお、中心線ＣＬは、水晶素子１（又は後述する振動部１３若しくは励振電極７）の中心）を通り、Ｘ方向に平行な仮想線である。中心は、例えば、幾何中心（図心）であり、その点を通る任意の軸に対する断面一次モーメントが０になる点である。他の部材又は部位について述べる中心も同様である。
【0015】
水晶素子１は、例えば、交流電圧が印加されることによって振動を生じるものである。この振動は、例えば、一定の周波数で信号強度（例えば電圧及び／又は電流）が振動する発振信号の生成に利用される。換言すれば、水晶素子１は、例えば、水晶振動子又は水晶発振器に含まれるものである。
【0016】
水晶素子１は、水晶素板３と、水晶素板３に重なっている第１導体パターン５Ａ及び第２導体パターン５Ｂ（以下、「導体パターン５」といい、両者を区別しないことがある。）と、を有している。２つの導体パターン５は、互いに短絡されていない。各導体パターン５は、励振電極７と、励振電極７から引き出されている引出電極９とを有している。すなわち、水晶素子１は、１対の励振電極７と、当該１対の励振電極７と接続されている１対の引出電極９とを有している。
【0017】
１対の引出電極９は、水晶素子１の実装に寄与する。具体的には、例えば、後述する図４に示すように、引出電極９とパッケージ１０３のパッド１１１とが、導電性の接合材１０５によって接合されることにより、水晶素子１がパッケージ１０３に実装される。なお、水晶素子１は、パッケージ１０３以外の部材（例えば回路基板）に実装されてもよいが、実施形態の説明では、便宜上、パッケージ１０３に実装されることを前提とした表現をすることがある。パッケージ１０３を介して１対の引出電極９に交流電圧が印加されると、１対の励振電極７によって水晶素板３に交流電圧（電界）が印加される。これにより、水晶素板３は振動する。
【0018】
１対の引出電極９は、１対の励振電極７に対して、水晶素板３の第１方向（Ｘ方向）の一方側（第１端部３ａの側、＋Ｘ側）に引き出されており、（少なくとも一部同士が）第１方向に交差（例えば直交）する第２方向（Ｚ’方向）において互いに離れている。より具体的には、例えば、引出電極９は、パッケージ１０３に接合されるパッド部９ａと、励振電極７とパッド部９ａとを接続している配線部９ｂとを有している。そして、水晶素板３の一方の主面において、１対の引出電極９の１対のパッド部９ａは、Ｚ’方向において互いに離れて位置している。
【0019】
水晶素板３は、１対の引出電極９（１対のパッド部９ａ）の間に緩衝部１１を有している。本実施形態では、緩衝部１１は、水晶素板３を厚さ方向（Ｙ’方向）に貫通する貫通孔によって構成されている。外部（例えばパッケージ１０３）から１対の引出電極９を介して水晶素板３に歪が付与されると、この歪は、緩衝部１１（より厳密には水晶素板３の緩衝部１１の周囲部分）によって吸収される。これにより、例えば、水晶素板３のうち励振電極７が配置されている領域に歪が生じる蓋然性が低減される。その結果、例えば、水晶素子１の振動の特性が低下する蓋然性が低減され、ひいては、水晶素子１の電気的特性が低下する蓋然性が低減される。上記のような歪は、例えば、接合材１０５の硬化収縮、及び／又はパッケージ１０３の後述する基板部１０７ａ（図４）の反りによって生じる。歪の態様としては、Ｘ方向に見て水晶素板３を＋Ｙ’側に凸又は凹にするものが挙げられる。
【0020】
以上が第１実施形態に係る水晶素子１の概要である。また、本実施形態では、水晶素板３として、互いに厚さが異なる複数の領域（振動部１３、固定部１５及び中間部１７）を有するものを例に取る。厚みが互いに異なる複数の領域は、後述するように、例えば、水晶素子１の強度を確保しつつ、発振信号の周波数を高くすることに寄与する。さらに、本実施形態では、水晶素板３として、第２貫通孔１９及び第３貫通孔２１を有するものを例に取る。これらの貫通孔は、後述するように、例えば、水晶素子１の振動特性を向上させたり、及び／又は水晶素子１の表裏を導通させたりすることに寄与する。
【0021】
以下において、第１実施形態の説明は、概略、下記の順に行う。
１．水晶素子１（図１及び図２）
１．１．水晶素板３（緩衝部１１の説明は除く）
１．１．１．振動部１３
１．１．２．固定部１５
１．１．３．中間部１７
１．１．４．第２貫通孔１９
１．１．５．第３貫通孔２１
１．２．導体パターン５
１．２．１．励振電極７
１．２．２．引出電極９
１．３．導体パターン５と第２貫通孔１９及び第３貫通孔２１との位置関係
１．４．緩衝部１１
１．５．水晶素子１の製造方法
２．水晶素子１の利用例（図３及び図４）
３．第１実施形態についてのまとめ
１．水晶素子１（図１及び図２）
１．１．水晶素板３（緩衝部１１の説明は除く）
１．１．１．振動部１３
１．１．２．固定部１５
１．１．３．中間部１７
１．１．４．第２貫通孔１９
１．１．５．第３貫通孔２１
１．２．導体パターン５
１．２．１．励振電極７
１．２．２．引出電極９
１．３．導体パターン５と第２貫通孔１９及び第３貫通孔２１との位置関係
１．４．緩衝部１１
１．５．水晶素子１の製造方法
２．水晶素子１の利用例（図３及び図４）
３．第１実施形態についてのまとめ
【0022】
（１．水晶素子）
水晶素子１は、例えば、いわゆるＡＴカット型の水晶振動素子である。すなわち、水晶素板３は、ＡＴカットの水晶片である。１対の励振電極７は、水晶素板３（より詳細には本実施形態では振動部１３。以下、本段落において同様。）の両面に重なっている。そして、１対の励振電極７によって水晶素板３の厚み方向に電圧が印加されると、水晶素板３は、いわゆる厚み滑り振動を生じる。この振動の共振周波数（換言すれば発振周波数）は、基本的に水晶素板３の厚さによって規定される。水晶素子１は、基本波モードを利用するものであってもよいし、オーバートーンモードを利用するものであってもよい。本実施形態の説明では、基本波モードを利用する態様を例に取ることがある。
水晶素子１は、例えば、いわゆるＡＴカット型の水晶振動素子である。すなわち、水晶素板３は、ＡＴカットの水晶片である。１対の励振電極７は、水晶素板３（より詳細には本実施形態では振動部１３。以下、本段落において同様。）の両面に重なっている。そして、１対の励振電極７によって水晶素板３の厚み方向に電圧が印加されると、水晶素板３は、いわゆる厚み滑り振動を生じる。この振動の共振周波数（換言すれば発振周波数）は、基本的に水晶素板３の厚さによって規定される。水晶素子１は、基本波モードを利用するものであってもよいし、オーバートーンモードを利用するものであってもよい。本実施形態の説明では、基本波モードを利用する態様を例に取ることがある。
【0023】
水晶素子１（水晶素板３）の各種の寸法は適宜に設定されてよい。以下に寸法の範囲の例を挙げる。水晶素板３のＸ方向における長さは、５００μｍ以上１５００μｍ以下とされてよい。水晶素板３（振動部１３、固定部１５及び／又は中間部１７）のＺ’方向における長さは３００μｍ以上７００μｍ以下とされてよい。振動部１３のＸ方向における長さは、２５０μｍ以上１０００μｍ以下（ただし、水晶素板３のＸ方向における長さよりも短い）とされてよい。振動部１３の厚さは、１６μｍ以下とされてよい。これは、ＡＴカット板において厚み滑り振動の基本波振動を利用する場合、概ね１００ＭＨｚ以上の周波数に相当する。固定部１５のＸ方向における長さは、１００μｍ以上５００μｍ以下（ただし、水晶素板３のＸ方向における長さよりも短い）とされてよい。固定部１５の厚さは、５０μｍ以下とされてよい。
【0024】
（１．１．水晶素板）
既述のように、水晶素板３は、例えば、ＡＴカットの水晶片である。すなわち、水晶においてＸ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）およびＺ軸（光軸）からなる直交座標系ＸＹＺを、Ｘ軸回りに３０°以上５０°以下（一例として、３５°１５′）回転させて直交座標系ＸＹ’Ｚ’を定義したとき、水晶素板３は、ＸＺ’平面に基本的に平行な１対の主面を有する板状である。
既述のように、水晶素板３は、例えば、ＡＴカットの水晶片である。すなわち、水晶においてＸ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）およびＺ軸（光軸）からなる直交座標系ＸＹＺを、Ｘ軸回りに３０°以上５０°以下（一例として、３５°１５′）回転させて直交座標系ＸＹ’Ｚ’を定義したとき、水晶素板３は、ＸＺ’平面に基本的に平行な１対の主面を有する板状である。
【0025】
Ｘ軸の正負と、水晶素子１の構成（別の観点では水晶素板３の形状）との対応関係は、図示の対応関係と逆であっても構わない。ただし、実施形態の説明では、図示の対応関係を前提とした説明を行うことがある。
【0026】
水晶素板３の平面形状は適宜に設定されてよい。図示の例では、水晶素板３の平面形状は、Ｚ’軸及びＸ軸に平行な辺を有する矩形状とされている。水晶素板３の他の平面形状としては、例えば、円形及び楕円形を挙げることができる。また、矩形の４辺のうちいずれか１つ以上を外側に膨らむ曲線状（例えば円弧）にした形状を挙げることができる。
【0027】
なお、矩形は、正方形及び狭義の長方形を含む。また、矩形又は矩形状というとき、特に断りが無い限り、角部が面取りされているなど、厳密に正方形又は長方形でなくてもよいものとする。水晶素板３の平面形状以外の他の部位の形状の説明においても同様である。また、矩形以外の多角形についても同様である。
【0028】
水晶素板３の平面形状において、Ｘ方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）が長手方向であってもよいし、Ｚ’方向が長手方向であってもよいし、Ｚ’方向の長さとＸ方向の長さとが同等であってもよい。図示の例では、水晶素板３は、Ｘ方向を長手方向としている。換言すれば、水晶素板３は、Ｘ軸に平行な長辺と、Ｚ’軸に平行な短辺とを有している。
【0029】
水晶素板３は、例えば、水晶をエッチングすることによって作製されてよい。この場合、エッチングに対する水晶の異方性に起因して、水晶素板３又はその各部の側面は、傾斜面（別の観点では結晶面）を有してよい。ただし、本実施形態の説明では、このような傾斜面の図示が省略されたり、傾斜面の存在を無視して形状及び寸法について説明がなされたりすることがある。この場合において、実施形態の説明で例示される水晶素板３の形状及び寸法と、傾斜面を有する実際の形状及び寸法との対応関係は、水晶素子１の特性等を考慮して合理的に判断されてよい。例えば、水晶素板３（又は各部）の側面が傾斜面を含み、その結果、＋Ｙ’側の主面と－Ｙ’側の主面とでＸＺ’平面内の位置が互いにずれている場合、そのずれの方向にもよるが、水晶素板３（又は各部）の形状及び寸法の説明は、平面透視における最大の形状及び寸法を基準にしたものと解釈されてよい。
【0030】
本実施形態では、水晶素板３は、既述のように、平面視において互いに異なる領域を構成し、かつ互いに厚さが異なる、振動部１３及び固定部１５を有している。振動部１３は、１対の励振電極７が重なり、１対の励振電極７によって励振される部位である。固定部１５は、１対の引出電極９が重なり、パッケージ１０３に固定される部位である。固定部１５は、振動部１３よりも厚くされている。このような構成により、例えば、振動部１３を薄くして高い周波数の振動を可能にしつつ、固定部１５によって水晶素板３の強度を確保することができる。
【0031】
水晶素板３は、さらに、既述のように、平面視において振動部１３と固定部１５との間の領域を構成する中間部１７を有している。中間部１７は、固定部１５側ほど厚くなっている。これにより、例えば、振動部１３の振動が固定部１５側において急激に減衰する蓋然性を低減し、クリスタルインピーダンスを低減できる。
【0032】
以下、これらの部位（振動部１３、固定部１５及び中間部１７）について、順に説明する。
【0033】
（１．１．１．振動部）
振動部１３は、平面視において、少なくとも水晶素板３の内側の領域を含んでいる。ここでいう内側の領域は、水晶素板３の外縁から離れている領域である。より詳細には、例えば、振動部１３は、水晶素板３の平面視における中心を含む領域を含んでいてよい。
振動部１３は、平面視において、少なくとも水晶素板３の内側の領域を含んでいる。ここでいう内側の領域は、水晶素板３の外縁から離れている領域である。より詳細には、例えば、振動部１３は、水晶素板３の平面視における中心を含む領域を含んでいてよい。
【0034】
振動部１３の平面形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、振動部１３の平面形状は、Ｚ’軸及びＸ軸に平行な辺を有する矩形状とされている。振動部１３の他の平面形状としては、例えば、円形及び楕円形を挙げることができる。また、矩形の４辺のうちいずれか１つ以上を外側に膨らむ曲線状（例えば円弧）にした形状を挙げることができる。振動部１３の平面形状において、Ｘ方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）が長手方向であってもよいし、Ｚ’方向が長手方向であってもよいし、Ｚ’方向の長さとＸ方向の長さとが同等であってもよい。
【0035】
振動部１３は、例えば、水晶素板３の面積（平面透視における面積）のうち、比較的広い部分を占めている。例えば、振動部１３は、水晶素板３の面積の１／２以上を占めている。ただし、振動部１３は、水晶素板３の面積の１／２未満を占めるだけであってもよい。
【0036】
振動部１３は、ＸＺ’平面に平行な平板状であり、ＸＺ’平面に平行な主面（第１面２３Ａ及び第２面２３Ｂ）を有している。第１面２３Ａは、＋Ｙ’側（水晶素板３の厚み方向の一方側）に面しており、Ｙ’軸（厚み方向）に直交している。第２面２３Ｂは、－Ｙ’側（水晶素板３の厚み方向の他方側）に面しており、Ｙ’軸（厚み方向）に直交している。別の観点では、第１面２３Ａ及び第２面２３Ｂは互いに平行である。
【0037】
（１．１．２．固定部）
固定部１５は、平面視において水晶素板３の外周側の領域の少なくとも一部を含んでいる。別の観点では、固定部１５は、中間部１７を挟んで振動部１３の外縁の少なくとも一部と隣り合っている。固定部１５と振動部１３の外縁とが隣り合う長さ（振動部１３の外縁に沿う方向の長さ）は、後述の変形例（図８（ａ）及び図８（ｂ））からも理解されるように適宜に設定されてよい。図示の例では、固定部１５は、矩形状の振動部１３の１辺に亘って振動部１３と隣り合っている。
固定部１５は、平面視において水晶素板３の外周側の領域の少なくとも一部を含んでいる。別の観点では、固定部１５は、中間部１７を挟んで振動部１３の外縁の少なくとも一部と隣り合っている。固定部１５と振動部１３の外縁とが隣り合う長さ（振動部１３の外縁に沿う方向の長さ）は、後述の変形例（図８（ａ）及び図８（ｂ））からも理解されるように適宜に設定されてよい。図示の例では、固定部１５は、矩形状の振動部１３の１辺に亘って振動部１３と隣り合っている。
【0038】
固定部１５と振動部１３とが中間部１７を挟んで隣り合う方向は、Ｘ方向（厚み滑り振動において主面同士が相対的に滑る方向）であってもよいし（図示の例）、Ｚ’方向であってもよい。また、別の観点では、上記隣り合う方向は、振動部１３の短手方向であってもよいし、振動部１３の長手方向であってもよいし、そのような区別ができなくてもよい。さらに、上記隣り合う方向と水晶素板３の長手方向との関係も任意である。
【0039】
固定部１５の平面形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。例えば、固定部１５は、一定の幅で振動部１３の外縁に沿うような形状であってもよいし（図示の例）、振動部１３側の縁部の形状と、振動部１３とは反対側の縁部の形状とが互いに異なるような形状であってもよい。図示の例では、固定部１５は、振動部１３の１辺に平行な長辺を有する矩形状とされている。
【0040】
固定部１５と振動部１３とが中間部１７を挟んで互いに隣り合っている方向に直交する方向（図示の例ではＺ’方向）において、固定部１５は、振動部１３に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、上記隣り合っている方向（図示の例ではＸ方向）における固定部１５の長さも任意である。図示の例では、固定部１５のＸ方向の長さは、振動部１３のＸ方向の長さよりも短い。
【0041】
固定部１５は、例えば、振動部１３と同様に、ＸＺ’平面に平行な平板状である。ただし、固定部１５は、板状と概念できる広さを有しない形状であってもよい。固定部１５は、振動部１３と同様に、ＸＺ’平面に平行な主面（第３面２５Ａ及び第４面２５Ｂ）を有している。第３面２５Ａは、＋Ｙ’側（水晶素板３の厚み方向の一方側）に面しており、Ｙ’軸（厚み方向）に直交している。第４面２５Ｂは、－Ｙ’側（水晶素板３の厚み方向の他方側）に面しており、Ｙ’軸（厚み方向）に直交している。別の観点では、第３面２５Ａ及び第４面２５Ｂは互いに平行である。さらに別の観点では、第３面２５Ａ及び第４面２５Ｂは、第１面２３Ａ及び第２面２３Ｂと平行である。
【0042】
固定部１５は、既述のように振動部１３よりも厚い。より詳細には、固定部１５は、振動部１３に対して厚み方向（Ｙ’方向）の両側に高くなっている。別の観点では、厚み方向の一方側（＋Ｙ’側）に面している第３面２５Ａは、前記一方側に面している第１面２３Ａよりも前記一方側に位置している。また、厚み方向の他方側（－Ｙ’側）に面している第４面２５Ｂは、前記他方側に面している第２面２３Ｂよりも前記他方側に位置している。
【0043】
第１面２３Ａから第３面２５Ａまでの高さと、第２面２３Ｂから第４面２５Ｂまでの高さとは、一方が他方よりも大きくてもよいし、同等であってもよい。なお、本実施形態では、両者が同等である態様を例に取る。また、これらの高さは、振動部１３の厚さに対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。
【0044】
（１．１．３．中間部）
中間部１７は、例えば、概略、振動部１３の固定部１５側の縁部、及び／又は固定部１５の振動部１３側の縁部の全体に亘っている。中間部１７の平面視における寸法は適宜に設定されてよい。例えば、固定部１５と振動部１３とが中間部１７を介して互いに隣り合っている方向に直交する方向（図示の例ではＺ’方向）において、中間部１７は、振動部１３及び／又は固定部１５に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、上記隣り合っている方向（図示の例ではＸ方向）における中間部１７の長さも任意である。図示の例では、中間部１７のＸ方向の長さは、固定部１５のＸ方向の長さよりも短い。
中間部１７は、例えば、概略、振動部１３の固定部１５側の縁部、及び／又は固定部１５の振動部１３側の縁部の全体に亘っている。中間部１７の平面視における寸法は適宜に設定されてよい。例えば、固定部１５と振動部１３とが中間部１７を介して互いに隣り合っている方向に直交する方向（図示の例ではＺ’方向）において、中間部１７は、振動部１３及び／又は固定部１５に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。また、上記隣り合っている方向（図示の例ではＸ方向）における中間部１７の長さも任意である。図示の例では、中間部１７のＸ方向の長さは、固定部１５のＸ方向の長さよりも短い。
【0045】
中間部１７は、既述のように固定部１５側ほど厚くなっている。具体的には、中間部１７は、固定部１５側ほど厚くなるように傾斜している第５面２７Ａ及び第６面２７Ｂを有している。第５面２７Ａは、厚み方向の一方側（＋Ｙ’側）に面しており、振動部１３側に対して固定部１５側が前記一方側に位置する向きで第１面２３Ａに対して傾斜している。第６面２７Ｂは、厚み方向の他方側（－Ｙ’側）に面しており、振動部１３側に対して固定部１５側が前記他方側に位置する向きで第２面２３Ｂに対して傾斜している。第５面２７Ａ及び第６面２７Ｂそれぞれは、例えば、概略、一つの平面によって構成されている。
【0046】
第５面２７Ａの傾斜角及び第６面２７Ｂの傾斜角は、互いに同一であってもよいし、互いに異なっていてもよい。なお、本実施形態の説明では、両者が同一である態様を例に取る。この傾斜角の具体的な大きさは適宜に設定されてよい。例えば、固定部１５又は振動部１３の主面の法線（別の観点ではＹ’軸）に対する第５面２７Ａ又は第６面２７Ｂの角度は、４５°よりも小さくてもよいし、４５°以上であってもよい。
【0047】
第５面２７Ａ及び第６面２７Ｂは、エッチングによって水晶素板３を形成したときにエッチングに対する水晶の異方性によって現れる結晶面であってよい。この場合に現れる結晶面（別の観点では当該結晶面の傾斜角）は、エッチングの条件によって適宜に選択されてよい。固定部１５又は振動部１３の主面の法線（別の観点ではＹ’軸）に対する結晶面の角度の例を挙げると、例えば、約５５°（例えば５３°以上５７°以下）である。図示の例とはＸ軸の正負が逆の場合の上記角度の例を挙げると、約２７°（例えば２５°以上２９°以下）である。
【0048】
第１面２３Ａと第５面２７Ａとは互いに交差しており、側面視若しくは断面視において（Ｚ’方向に見て）角部を構成している。特に図示しないが、この角部は、極めて微視的に見た場合に、曲線を有していたり、段差を有していたりしてもよい。この場合の曲線の長さ又は段差の高さは、例えば、０．１μｍ未満である。また、第１面２３Ａと第５面２７Ａとは、微視的に見なくても、両者の間に曲線が介在していたり、両者の間に段差が存在したりしてもよい。第１面２３Ａと第５面２７Ａとの境界について説明したが、上記の説明は、第２面２３Ｂと第６面２７Ｂとの境界に援用されてよい。
【0049】
第１面２３Ａと第５面２７Ａとの境界と、第２面２３Ｂと第６面２７Ｂとの境界とは、中間部１７と振動部１３とが隣り合う方向（図示の例ではＸ方向）における位置が一致していてもよいし、互いにずれていてもよい。位置が一致しているという場合、公差が存在してもよいことはもちろんである。
【0050】
第３面２５Ａと第５面２７Ａとは互いに交差しており、側面視若しくは断面視において（Ｚ’方向に見て）角部を構成している。特に図示しないが、この角部は、微視的に見た場合に、曲線を有していたり、段差を有していたりしてもよい。この段差の高さ（Ｙ’方向の大きさ）は、例えば、１μｍ未満である。第３面２５Ａと第５面２７Ａとの境界について説明したが、上記の説明は、第４面２５Ｂと第６面２７Ｂとの境界に援用されてよい。
【0051】
第３面２５Ａと第５面２７Ａとの境界と、第４面２５Ｂと第６面２７Ｂとの境界とは、固定部１５と中間部１７とが隣り合う方向（図示の例ではＸ方向）における位置が一致していてもよいし、互いにずれていてもよい。位置が一致しているという場合、公差が存在してもよいことはもちろんである。
【0052】
（１．１．４．第２貫通孔）
第２貫通孔１９は、励振電極７に対して第１端部３ａの側（＋Ｘ側、引出電極９が引き出されている側、パッド部９ａが位置する側）に位置している。このような第２貫通孔１９は、例えば、励振電極７によって励振される領域（別の観点では振動部１３）と、パッケージ１０３に固定されて振動が規制されている領域（別の観点では固定部１５）とが接する面積を低減し、後者の領域が前者の領域における振動を阻害する蓋然性を低減することに寄与する。また、例えば、第２貫通孔１９の内面に導体パターン５が形成されることによって、第２貫通孔１９は、水晶素子１の表裏の導通に寄与する。
第２貫通孔１９は、励振電極７に対して第１端部３ａの側（＋Ｘ側、引出電極９が引き出されている側、パッド部９ａが位置する側）に位置している。このような第２貫通孔１９は、例えば、励振電極７によって励振される領域（別の観点では振動部１３）と、パッケージ１０３に固定されて振動が規制されている領域（別の観点では固定部１５）とが接する面積を低減し、後者の領域が前者の領域における振動を阻害する蓋然性を低減することに寄与する。また、例えば、第２貫通孔１９の内面に導体パターン５が形成されることによって、第２貫通孔１９は、水晶素子１の表裏の導通に寄与する。
【0053】
第２貫通孔１９の位置、形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、第２貫通孔１９は、中間部１７に位置している。図示の例とは異なり、第２貫通孔１９は、例えば、固定部１５に位置していてもよいし、中間部１７及び固定部１５の双方に跨っていてもよい。また、第２貫通孔１９の縁部の一部は、中間部１７の縁部の一部と一致していてもよいし、一致していなくてもよい（図示の例）。特に図示しないが、第２貫通孔１９は、例えば、中間部１７が設けられていない水晶素板に設けられても構わない。そのような水晶素板としては、例えば、振動部１３と固定部１５とが直接的につながっているもの、及び全体が一定の厚さのものが挙げられる。
【0054】
励振電極７と第１端部３ａとの間の領域をＸ方向において２等分又は３等分したとき、第２貫通孔１９の全体又は中心は、例えば、最も励振電極７の側の範囲に位置してよい。なお、Ｚ’方向の位置によって励振電極７、第１端部３ａ及び第２貫通孔１９の位置関係が相違する場合は、上記の説明は、例えば、中心線ＣＬの位置を基準としてよい。また、第２貫通孔１９は、例えば、水晶素板３（又は振動部１３若しくは励振電極７）のＺ’方向の範囲に対して、概ね中央に位置している。換言すれば、第２貫通孔１９の中心は、中心線ＣＬに概ね一致している。
【0055】
図示の例では、第２貫通孔１９は、励振電極７から第１端部３ａへの方向（Ｘ方向）に直交する方向（Ｚ’方向）に延びるスリット状とされている。別の観点では、第２貫通孔１９の平面視における形状は、Ｚ’方向に平行な長辺を有するとともに、短辺が外側に膨らむ弧状（例えば半円）とされた長円状とされている。特に図示しないが、第２貫通孔１９は、上記の他、例えば、概略長方形状とされてよい。
【0056】
第２貫通孔１９の、ＸＺ’断面における形状及び寸法は、Ｙ’方向（貫通方向）において概略一定であってもよいし、変化していてもよい。後者の例としては、第２貫通孔１９の内面にＹ’軸に傾斜する結晶面が現れている態様が挙げられる。この場合、上述した、又は後述する、第２貫通孔１９の位置、形状及び寸法等は、例えば、開口面（第５面２７Ａ又は第６面２７Ｂ）におけるものであってよい。
【0057】
第２貫通孔１９のＺ’方向における長さ（例えば平面視における最大長さ。本段落において、他の部位についても、以下、同様。）は、例えば、水晶素板３（又は振動部１３）のＺ’方向の長さの１／４以上又は１／３以上とされてよい。第２貫通孔１９のＸ方向における長さは、例えば、中間部１７の幅（Ｘ方向の長さ）と概ね同等の幅（例えば前者の８割以上）とされてよい。また、第２貫通孔１９のＸ方向における長さは、例えば、水晶素子１のＸ方向の長さの１／１０以下、１／２０以下又は１／３０以下とされてよい。
【0058】
（１．１．５．第３貫通孔）
第３貫通孔２１は、平面視において引出電極９（より詳細にはパッド部９ａ）に重なる位置に設けられている。また、別の観点では、第３貫通孔２１は、固定部１５に設けられている。第３貫通孔２１は、例えば、例えば、その内面に導体パターン５が形成されることによって、水晶素子１の表裏の導通に寄与してよい。特に図示しないが、第３貫通孔２１は、相対的に厚い固定部１５を有さない水晶素板に設けられても構わない。そのような水晶素板としては、例えば、全体が一定の厚さのもの、及び振動部が固定部よりも厚いもの（いわゆるメサ型の水晶素板）が挙げられる。
第３貫通孔２１は、平面視において引出電極９（より詳細にはパッド部９ａ）に重なる位置に設けられている。また、別の観点では、第３貫通孔２１は、固定部１５に設けられている。第３貫通孔２１は、例えば、例えば、その内面に導体パターン５が形成されることによって、水晶素子１の表裏の導通に寄与してよい。特に図示しないが、第３貫通孔２１は、相対的に厚い固定部１５を有さない水晶素板に設けられても構わない。そのような水晶素板としては、例えば、全体が一定の厚さのもの、及び振動部が固定部よりも厚いもの（いわゆるメサ型の水晶素板）が挙げられる。
【0059】
第３貫通孔２１の数、位置、形状及び寸法等は適宜に設定されてよい。図示の例では、第３貫通孔２１は、２つ設けられている。２つの第３貫通孔２１は、中心線ＣＬ（別の観点では緩衝部１１。以下、本段落において同様。）の両側に位置している。２つ（又は３以上）の第３貫通孔２１の位置は、中心線ＣＬに対して線対称であってもよいし（図示の例）、線対称でなくてもよい。また、複数の第３貫通孔２１の形状及び大きさは、互いに同一（及び／又は線対称）であってもよいし（図示の例）、互いに異なっていてもよい。
【0060】
各第３貫通孔２１の全体又は中心は、例えば、固定部１５の中心又はパッド部９ａの中心に対して、第１端部３ａの側（＋Ｘ側）に位置していてよい。また、水晶素板３（固定部１５）をＺ’方向に３等分したとき（Ｘ方向の位置によってＺ’方向の長さが異なる場合は第３貫通孔２１のＸ方向の位置におけるＺ’方向の長さを基準としてよい）、例えば、各第３貫通孔２１の全体又は中心は、両側の領域の一方に位置していてよい。別の観点では、Ｚ’方向において、２つの第３貫通孔２１の間隔（第３貫通孔２１の非配置領域の長さ）又は中心間の距離は、例えば、固定部１５のＺ’方向の長さの１／３以上であってよい。もちろん、第３貫通孔２１の位置は、上記とは異なっていてもよい。
【0061】
図示の例では、第３貫通孔２１の平面視における形状は、Ｚ’方向を長軸の方向とする楕円状とされている。図示の例とは異なり、第３貫通孔２１の平面視における形状は、例えば、多角形状（例えば矩形）、円形状、又は多角形の辺を外側に膨らむ弧状にした形状であってよい。また、第３貫通孔２１は、図示の例とは逆に、Ｘ方向の長さ（Ｚ’方向の位置によって異なる場合は最大長さ）がＺ’方向の長さ（Ｘ方向の位置によって異なる場合は最大長さ）よりも大きくてもよい。
【0062】
第３貫通孔２１は、ＸＺ’断面の形状及び寸法がＹ’方向（貫通方向）において一定であってもよいし、変化していてもよい。後者の例としては、第３貫通孔２１の内面にＹ’軸に傾斜する結晶面が現れている態様が挙げられる。この場合、上述した、又は後述する、第３貫通孔２１の位置、形状及び寸法等は、例えば、開口面（第３面２５Ａ又は第４面２５Ｂ）におけるものであってよい。
【0063】
図示の例では、第３貫通孔２１の最大径、円相当径及びＺ’方向の最大長さは、第２貫通孔１９のＺ’方向の最大長さよりも小さい。第３貫通孔２１の最大径、円相当径及び／又はＸ方向の最大長さは、第２貫通孔１９のＸ方向の長さ（幅）に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。
【0064】
第３貫通孔２１のＺ’方向の径（Ｘ方向の位置によって異なる場合は例えば最大径）又は円相当径は、例えば、パッド部９ａのＺ’方向の長さ（第３貫通孔２１の存在を無視した場合の長さ。Ｘ方向の位置によって異なる場合は例えば第３貫通孔２１とＸ方向の位置が重複する領域の最小長さ）に対して、１／２以下、１／３以下又は１／４以下であってもよいし、逆に、１／４以上、１／３以上又は１／２以上であってもよい。上記の上限と下限とは、矛盾が生じないように任意の者同士が組み合わされてもよい。上記の説明において、パッド部９ａのＺ’方向の長さに代えて、水晶素子１又は固定部１５のＺ’方向の長さの１／３の長さを用いてもよい。
【0065】
第３貫通孔２１のＸ方向の径（Ｚ’方向の位置によって異なる場合は例えば最大径）又は円相当径は、例えば、パッド部９ａのＸ方向の長さ（第３貫通孔２１の存在を無視した場合の長さ。Ｚ’方向の位置によって異なる場合は例えば第３貫通孔２１とＺ’方向の位置が重複する領域の最小長さ）に対して、１／２以下、１／３以下又は１／４以下であってもよいし、逆に、１／４以上、１／３以上又は１／２以上であってもよい。上記の上限と下限とは、矛盾が生じないように任意の者同士が組み合わされてもよい。上記の説明において、パッド部９ａのＸ方向の長さに代えて、水晶素子１のＸ方向の長さから振動部１３のＸ方向の長さを除いた長さ、励振電極７から第１端部３ａまでのＸ方向の長さ、又は固定部１５のＸ方向の長さを用いてもよい。
【0066】
（１．２．導体パターン）
導体パターン５の材料は、例えば、金属とされてよい。導体パターン５は、単一の材料からなる１層の金属層によって構成されていてもよいし、互いに異なる材料からなる複数の金属層が積層されて構成されていてもよい。金属層の材料としては、例えば、ニッケル、クロム、ニクロム、チタン、金若しくは銀又はこれらを含む合金を挙げることができる。導体パターン５は、例えば、その領域（換言すれば面積）全体が同一の材料によって構成されていてもよいし、一部の領域が異なる材料によって構成されていてもよい。
導体パターン５の材料は、例えば、金属とされてよい。導体パターン５は、単一の材料からなる１層の金属層によって構成されていてもよいし、互いに異なる材料からなる複数の金属層が積層されて構成されていてもよい。金属層の材料としては、例えば、ニッケル、クロム、ニクロム、チタン、金若しくは銀又はこれらを含む合金を挙げることができる。導体パターン５は、例えば、その領域（換言すれば面積）全体が同一の材料によって構成されていてもよいし、一部の領域が異なる材料によって構成されていてもよい。
【0067】
（１．２．１．励振電極）
１対の励振電極７は、既述のように振動部１３に電圧を印加すべく、振動部１３の両主面に位置している。１対の励振電極７は、例えば、平面透視において概ね互いに過不足なく重なる位置、形状及び大きさで設けられている。ただし、互いに重複しない部位が存在しても構わない。平面視における励振電極７の位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。
１対の励振電極７は、既述のように振動部１３に電圧を印加すべく、振動部１３の両主面に位置している。１対の励振電極７は、例えば、平面透視において概ね互いに過不足なく重なる位置、形状及び大きさで設けられている。ただし、互いに重複しない部位が存在しても構わない。平面視における励振電極７の位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。
【0068】
例えば、励振電極７は、振動部１３の中央側の領域に位置している。別の観点では、励振電極７は、振動部１３の外縁から離れて位置している。励振電極７の中心は、例えば、振動部１３及び／又はその主面の中心とＺ’方向において概ね一致している。また、励振電極７の中心は、振動部１３の中心に対して、Ｘ方向において、＋Ｘ側に位置していてもよいし、一致していてもよいし、－Ｘ側に位置していてもよい。
【0069】
また、例えば、励振電極７の形状は、振動部１３の形状と類似する形状であってもよいし、異なる形状であってもよい（図示の例）。前者としては、例えば、振動部１３の形状が矩形状であるのに対して、励振電極７の形状が振動部１３の長辺と平行な長辺を有する矩形状である（少なくとも一方は正方形であってもよい。）態様を挙げることができる。また、後者としては、図示の例のように、振動部１３の形状が矩形状であるのに対して、励振電極７の形状が円形、楕円形又は多角形（四角形を除く）である態様を挙げることができる。
【0070】
（１．２．２．引出電極）
各引出電極９は、励振電極７から第１端部３ａに向かって引き出されている。なお、このようにいうとき、図示の例から理解されるように、配線部９ｂは、励振電極７から第１端部３ａへの方向（Ｘ方向）に平行に延びていなくてもよい。引出電極９が全体的に励振電極７に対して第１端部３ａの側（＋Ｘ側）に引き出されていれば、引出電極９は、第１端部３ａの側に引き出されていると表現されてよい。あるいは、Ｘ方向において、パッド部９ａの全体又は中心が、励振電極７よりも＋Ｘ側に位置していれば、上記のように表現されてよい。
各引出電極９は、励振電極７から第１端部３ａに向かって引き出されている。なお、このようにいうとき、図示の例から理解されるように、配線部９ｂは、励振電極７から第１端部３ａへの方向（Ｘ方向）に平行に延びていなくてもよい。引出電極９が全体的に励振電極７に対して第１端部３ａの側（＋Ｘ側）に引き出されていれば、引出電極９は、第１端部３ａの側に引き出されていると表現されてよい。あるいは、Ｘ方向において、パッド部９ａの全体又は中心が、励振電極７よりも＋Ｘ側に位置していれば、上記のように表現されてよい。
【0071】
各引出電極９において、パッド部９ａは、水晶素板３の少なくとも下面（図４のパッド１１１側の面。以下、他の部位の面についても同様。）に重なっている。すなわち、水晶素板３の下面には、１対の引出電極９が有する１対のパッド部９ａが配置されている。図示の例では、各引出電極９は、水晶素板３の上面（パッド１１１とは反対側の面。以下、他の部位の面についても同様。）にもパッド部９ａを有している。すなわち、各引出電極９は、２つのパッド部９ａを有しており、１対の引出電極９は、合計で２対のパッド部９ａを有している。これにより、例えば、水晶素子１は、１対の主面のいずれを下面にすることも可能となっている。なお、図示の例とは異なり、１対の引出電極９は、１対のパッド部９ａのみを有していてもよい。
【0072】
水晶素子１の下面（又は上面）の１対のパッド部９ａは、Ｚ’方向に並んでいる。下面（又は上面）の１対のパッド部９ａは、例えば、水晶素板３のＸ軸に平行な中心線ＣＬに対して、概略、線対称の位置、形状及び大きさで設けられてよい。下面の１対のパッド部９ａと、上面の１対のパッド部９ａとは、同一の構成とされてよい。
【0073】
各引出電極９において、上面のパッド部９ａと下面のパッド部９ａとは、各引出電極９の、水晶素板３のＸ方向に面する側面及び／又はＹ方向に面する側面に位置している部分（符号省略）によって接続されている。これにより、上面（又は下面）の励振電極７と下面（又は上面）のパッド部９ａとが接続される。図示の例とは異なり、上面のパッド部９ａが設けられていない態様においては、例えば、配線部９ｂが水晶素板３のＸ方向に面する側面及び／又はＹ方向に面する側面に拡張されることによって、上面の励振電極７と下面のパッド部９ａとが接続されてよい。
【0074】
各パッド部９ａの具体的な位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。図示の例では、パッド部９ａは、水晶素板３の一方の主面において、当該主面の中央よりも第１端部３ａの側（＋Ｘ側）に位置しており、第１端部３ａに至っているとともに、＋Ｚ’側又は－Ｚ’側の縁部に至っている。また、パッド部９ａは、少なくとも固定部１５に重なっている。図示の例では、パッド部９ａは、固定部１５だけでなく、中間部１７にも重なっており、さらには、振動部１３にも重なっている。特に図示しないが、パッド部９ａは、振動部１３に重なっていなくてもよいし、中間部１７に重なっていなくてもよい。
【0075】
図示の例では、パッド部９ａは、Ｘ方向及びＺ’方向に平行な辺を有する矩形状に切欠き９ｃが形成された形状である。図示の例とは異なり、パッド部９ａは、切欠き９ｃを有さない形状（例えば矩形状）であっても構わない。各パッド部９ａのＺ’方向の長さ（例えば最大長さ）は、水晶素板３又は固定部１５のＺ’方向の長さの１／３以上であってもよいし（図示の例）、１／３未満であってもよい。パッド部９ａのＸ方向の長さ（例えば最大長さ）は、水晶素板３のＸ方向の長さの１／３以上であってもよいし（図示の例）、１／３未満であってもよい。
【0076】
切欠き９ｃは、Ｚ’方向に互いに離れている１対のパッド部９ａの互いに対向する縁部に形成されている。また、切欠き９ｃは、例えば、その全体又は中心が、パッド部９ａ又は固定部１５のＸ方向の長さ（切欠き９ｃの存在は無視する。例えば最大長さ。又はＺ’方向の位置が切欠き９ｃと重複する部分の長さ。）のうちの、第１端部３ａの側の２／３以下の範囲又は１／２以下の範囲に位置している。切欠き９ｃが形成されることによって、１対のパッド部９ａのＺ’方向の距離は局所的に長くなっている。切欠き９ｃのＺ’方向の長さ（別の観点では１対のパッド部９ａの距離が長くされた分の１／２の長さ）は適宜に設定されてよい。例えば、切欠き９ｃのＺ’方向の長さは、パッド部９ａのＺ’方向の長さ（例えば最大長さ。又は切欠き９ｃとＸ方向において隣接する部分の長さ。又は水晶素板３のＺ’方向の長さの１／３）に対して、１／１０以上、１／５以上又は１／４以上とされてよく、１／２以下、１／３以下又は１／４以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意の者同士が組み合わされてよい。
【0077】
各引出電極９において、配線部９ｂは、例えば、励振電極７から延びて当該励振電極７が位置している面（上面又は下面）のパッド部９ａに至っている。図示の例では、上記のようにパッド部９ａは、固定部１５だけでなく、中間部１７及び振動部１３に重なっており、ひいては、配線部９ｂは、振動部１３のみに重なり、中間部１７及び固定部１５には重なっていない。図示の例とは異なり、パッド部９ａが振動部１３に重なっていない態様等において、配線部９ｂは、中間部１７に重なったり、固定部１５に重なったりしてよい。
【0078】
配線部９ｂの具体的な位置、形状及び大きさ等は適宜に設定されてよい。図示の例では、配線部９ｂは、励振電極７の縁部のうち第１端部３ａの側からＸ方向に斜めに一定の幅で延びている。図示の例とは異なり、配線部９ｂは、Ｘ方向に平行に延びたり、幅が変化したりしてもよい。励振電極７が矩形状である態様等において、配線部９ｂは、励振電極７の、第１端部３ａ側の辺から延び出てもよいし、角部から延び出てもよい。確認的に記載すると、配線部９ｂの幅（又はＺ’方向の長さ）は、パッド部９ａの幅（Ｚ’方向の長さ）よりも狭い。
【0079】
（１．３．導体パターンと第２貫通孔及び第３貫通孔との位置関係）
第２貫通孔１９及び第３貫通孔２１は、例えば、引出電極９と重なっている。これにより、これらの貫通孔は、水晶素板３の表裏の導通に寄与している。ただし、図示の例とは異なり、第２貫通孔１９は、引出電極９と重ならずに、振動の特性の向上のみに寄与してもよい。なお、第３貫通孔２１も、引出電極９と重ならないように設けられてもよいが、この場合は、第３貫通孔２１は、その位置によっては、緩衝部１１と捉えられてよい。
第２貫通孔１９及び第３貫通孔２１は、例えば、引出電極９と重なっている。これにより、これらの貫通孔は、水晶素板３の表裏の導通に寄与している。ただし、図示の例とは異なり、第２貫通孔１９は、引出電極９と重ならずに、振動の特性の向上のみに寄与してもよい。なお、第３貫通孔２１も、引出電極９と重ならないように設けられてもよいが、この場合は、第３貫通孔２１は、その位置によっては、緩衝部１１と捉えられてよい。
【0080】
具体的には、例えば、第２貫通孔１９は、Ｚ’方向の両端が１対の引出電極９の双方に重なっている。そして、１対の引出電極９のそれぞれは、第２貫通孔１９の一端部の内面に位置する部分を有している。これにより、１対の引出電極９のそれぞれは、水晶素板３の表裏に位置する部分同士が導通されている。より詳細には、図示の例では、１対のパッド部９ａが第２貫通孔１９に重なっている。第２貫通孔１９の内面において、１対の引出電極９は、互いに短絡しないように互いに離れている。各引出電極９と第２貫通孔１９とがＺ’方向において重複する長さ、及び第２貫通孔１９内における１対の引出電極９同士の距離等は適宜に設定されてよい。
【0081】
また、複数（図示の例では２つ）の第３貫通孔２１のそれぞれは、例えば、１対の引出電極９のいずれか一方に重なっている。そして、各引出電極９は、１つ以上（図示の例では１つ）の第３貫通孔２１の内面に位置する部分を有している。これにより、１対の引出電極９のそれぞれは、水晶素板３の表裏に位置する部分同士が導通されている。より詳細には、図示の例では、平面視において、パッド部９ａが少なくとも１つの第３貫通孔２１の全体に重なっている。引出電極９は、例えば、第３貫通孔２１の内面の全面に重なっている。なお、図示の例とは異なり、第３貫通孔２１の一部に引出電極９が重なっていてもよい。
【0082】
（１．４．緩衝部）
緩衝部１１は、本実施形態では、既述のように、水晶素板３を厚さ方向に貫通する貫通孔（第１貫通孔）によって構成されている。緩衝部１１は、１対の引出電極９（より詳細には例えば１対のパッド部９ａ）の間に位置している。これにより、既述のように、外部（例えばパッケージ１０３）から１対の引出電極９を介して水晶素板３に歪が付与されると、この歪は、緩衝部１１によって吸収される。その結果、例えば、水晶素板３の振動の特性が向上する。
緩衝部１１は、本実施形態では、既述のように、水晶素板３を厚さ方向に貫通する貫通孔（第１貫通孔）によって構成されている。緩衝部１１は、１対の引出電極９（より詳細には例えば１対のパッド部９ａ）の間に位置している。これにより、既述のように、外部（例えばパッケージ１０３）から１対の引出電極９を介して水晶素板３に歪が付与されると、この歪は、緩衝部１１によって吸収される。その結果、例えば、水晶素板３の振動の特性が向上する。
【0083】
第２貫通孔１９は、緩衝部１１と同様に、１対の引出電極９の間に位置し、また、励振電極７によって励振される振動の特性の向上に寄与し得る。ただし、両者は、種々の観点から区別可能である。例えば、緩衝部１１及び第２貫通孔１９は、励振電極７によって励振される振動に及ぼす作用の具体的な態様が相違する。すなわち、前者は、主として歪の吸収に寄与するのに対して、後者は、振動の規制の低減に寄与する。このような意図されている作用の相違に起因して、両者の位置、形状及び寸法は互いに相違してよい。なお、主たる作用及び／又は意図された作用は上記のとおりであっても、第２貫通孔１９が歪の吸収に寄与したり、緩衝部１１が振動の規制の低減に寄与したりしても構わない。
【0084】
緩衝部１１（本実施形態では貫通孔）は、１つのみ設けられていてもよいし（図示の例）、２以上で設けられていてもよい。本実施形態並びに第２及び第３実施形態（図５及び図６）の説明では、前者を例に取り、また、他の態様の説明においても、特に断り無く、前者を前提とした表現をすることがある。後者については、後述する変形例（図７）の説明において述べる。
【0085】
緩衝部１１は、平面視において、例えば、１対の引出電極９（より詳細には１対のパッド部９ａ）から離れている。すなわち、平面視において、緩衝部１１と１対の引出電極９との間には、導体パターン５の非配置領域が介在している。別の観点では、緩衝部１１は、水晶素子１の表裏の導通に寄与していない。ただし、図示の例とは異なり、緩衝部１１は、１対の引出電極９の一方又は双方に対して、隣接していたり、重なっていたりしてもよい。この場合、緩衝部１１の内面には、各引出電極９のうちの水晶素板３の表裏に位置する部分同士を導通する部分が形成されていてもよいし、形成されていなくてもよい。
【0086】
図示の例では、１対の引出電極９の、平面視において緩衝部１１を挟んで互いに対向する縁部は、切欠き９ｃによって切り欠かれている。これにより、緩衝部１１を１対の引出電極９から離しつつ、緩衝部１１をＺ’方向に大きくすることが容易化されている。緩衝部１１は、その一部が切欠き９ｃに収まっていてもよいし（図示の例）、収まっていなくてもよい。前者の場合において、緩衝部１１と１つの引出電極９との重複量（Ｚ’方向の長さ）は任意である。例えば、上記重複量は、緩衝部１１のＺ’方向の長さの１／１０以上又は１／５以上とされてよく、また、１つの切欠き９ｃのＺ’方向の長さの１／３以上又は１／２以上とされてよい。
【0087】
緩衝部１１は、少なくとも一部が固定部１５に位置している。図示の例では、緩衝部１１は、その全部が固定部１５に位置しており、かつ固定部１５の振動部１３の側の端部（固定部１５と中間部１７との境界）から第１端部３ａの側に離れている。この場合の緩衝部１１のＸ方向の位置は任意である。例えば、緩衝部１１の全体又は中心は、パッド部９ａ又は固定部１５のＸ方向の長さ（例えば最大長さ。又はＺ’方向の位置が緩衝部１１と重複する部分若しくは緩衝部１１に最も近い部分の長さ。）のうちの、第１端部３ａの側の１／２以下又は１／３以下の範囲に位置してよい。緩衝部１１は、その中心又は一部が、中心線ＣＬ上に位置してもよいし（図示の例）、位置していなくてもよい。
【0088】
緩衝部１１と第１端部３ａ（より詳細には水晶素板３の＋Ｘ側の側面）との距離（例えば最短距離）は任意である。例えば、当該距離は、固定部１５又はパッド部９ａのＸ方向の長さ（例えば最大長さ。又はＺ’方向の位置が緩衝部１１と重複する部分若しくは緩衝部１１に最も近い部分の長さ。）に対して、１／５０以上、１／３０以上又は１／１０以上とされてよく、また、１／３以下、１／４以下、１／５以下又は１／１０以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように、任意の者同士が組み合わされてよい。
【0089】
図示の例では、緩衝部１１の平面視における形状は、Ｚ’方向を長軸の方向とする楕円状とされている。図示の例とは異なり、緩衝部１１の平面視における形状は、例えば、多角形状（例えば矩形）、円形状、又は多角形の辺を外側に膨らむ弧状にした形状であってよい。さらに、緩衝部１１の平面視における形状は、上記のような単純な形状（数学でいう凸集合の境界線を成すような形状）ではなく、Ｔ字状などの複雑な形状であってもよい。また、緩衝部１１の平面視における形状は、図示の例とは逆に、Ｘ方向の長さ（例えば最大長さ）がＺ’方向の長さ（例えば最大長さ）よりも大きくてもよい。この場合、例えば、Ｘ方向に見て水晶素板３を＋Ｙ’側又は－Ｙ’側に撓ませる歪が１対の引出電極９から水晶素板３に付与されたときに当該歪を吸収する効果が向上する。
【0090】
緩衝部１１は、例えば、第２貫通孔１９及び第３貫通孔２１から独立している（第２貫通孔１９及び第３貫通孔２１につながっていない。）。ただし、図示の例とは異なり、緩衝部１１は、第２貫通孔１９及び／又は第３貫通孔２１とつながっていてもよい。例えば、緩衝部１１は、Ｘ方向に長いスリット状とされ、第２貫通孔１９とつながっていてもよい。このような場合は、その形状及び／又は寸法に照らして、合理的に緩衝部１１、第２貫通孔１９及び第３貫通孔２１が区別されてよい。
【0091】
緩衝部１１は、ＸＺ’断面の形状及び寸法がＹ’方向（貫通方向）において一定であってもよいし、変化していてもよい。後者の例としては、緩衝部１１の内面にＹ’軸に傾斜する結晶面が現れている態様が挙げられる。この場合、上述した、又は後述する、緩衝部１１の位置、形状及び寸法等は、例えば、開口面（第３面２５Ａ又は第４面２５Ｂ）におけるものであってよい。
【0092】
図示の例では、緩衝部１１の最大径、円相当径及びＺ’方向の最大長さは、第２貫通孔１９のＺ’方向の最大長さよりも小さい。緩衝部１１の最大径、円相当径及び／又はＸ方向の最大長さは、第２貫通孔１９のＸ方向の長さ（幅）に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし、大きくてもよい。緩衝部１１の開口面積は、第２貫通孔１９の開口面積に対して、小さくてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、大きくてもよい。
【0093】
また、図示の例では、平面視において、緩衝部１１の形状及び寸法は、概略、第３貫通孔２１の形状及び寸法と同様とされている。図示の例とは異なり、平面視において、緩衝部１１の形状は、第３貫通孔２１の形状と異なっていてもよい。また、両者の形状が相似である場合、又は相似でない場合において、緩衝部１１は、Ｘ方向及び／又はＺ’方向において、第３貫通孔２１に対して、大きくてもよいし、同等でもよいし、小さくてもよい。同様に、両者の形状が相似である場合、又は相似でない場合において、緩衝部１１の開口面積は、第３貫通孔２１の開口面積に対して、小さくてもよいし、同等でもよいし（図示の例）、大きくてもよい。
【0094】
既述のように、緩衝部１１は、引出電極９に対して重なっていなくてもよいし（図示の例）、重なっていてもよい。このことから理解されるように、緩衝部１１のＺ’方向の長さ（Ｘ方向の位置によって異なる場合は例えば最大長さ）は、１対の引出電極９（１対のパッド部９ａ）の間のＺ’方向の距離（最小値又は最大値）に対して、小さくてもよいし（図示の例）、同等でもよいし、大きくてもよい。例えば、前者は、後者に対して、１／５以上、１／２以上、１倍以上、３／２以上とされてよく、３倍以下、２倍以下、１倍以下、１／２以下、１／３以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように任意の者同士が組み合わされてよい。上記において、矛盾が生じないように、１対の引出電極９の間のＺ’方向の距離に代えて、水晶素板３（固定部１５）のＺ’方向の長さの１／３が用いられてもよい。
【0095】
緩衝部１１のＸ方向の長さ（Ｚ’方向の位置によって異なる場合は例えば最大長さ）は、例えば、パッド部９ａ又は固定部１５のＸ方向の長さ（例えば最大長さ。又はＺ’方向の位置が緩衝部１１と重複する部分若しくは緩衝部１１に最も近い部分の長さ。）に対して、１／１０以上、１／５以上、１／３以上又は１／２以上とされてよく、１．２倍以下、１倍以下、４／５以下、２／３以下、１／２以下又は１／３以下とされてよい。上記の下限と上限とは、矛盾が生じないように任意の者同士が組み合わされてよい。なお、上記の１．２倍以下又は１倍以下の上限は、図示の例とは異なり、第２貫通孔１９が設けられていない態様、又は第２貫通孔１９と緩衝部１１がつながっている態様も考慮したものである。
【0096】
（１．５．水晶素子の製造方法）
水晶素子１は、公知の種々の製造方法を応用して作製されてよい。特に図示しないが、以下では、その一例について説明する。
水晶素子１は、公知の種々の製造方法を応用して作製されてよい。特に図示しないが、以下では、その一例について説明する。
【0097】
まず、水晶からなるウェハを用意する。ウェハは、複数の水晶素板３が多数個取りされるものである。このようなウェハは、例えば、上述したＡＴカット板のカット角で切り出され、また、固定部１５の厚さと同等の厚さに加工される。
【0098】
次に、ウェハの両主面にエッチングマスクを形成する。これらのエッチングマスクは、例えば、水晶素板３（振動部１３、中間部１７及び固定部１５）となる領域と、複数の水晶素板３につながる枠状部（捨て代）となる領域とに重なっている。また、これらのエッチングマスクは、緩衝部１１、第２貫通孔１９及び第３貫通孔２１に重なる領域に開口が形成されている。
【0099】
そして、エッチングマスクを介してウェハを両主面側からエッチングする。エッチングは、例えば、ウェハを薬液に浸すウェットエッチングである。これにより、水晶素板３となる領域の周囲がエッチングされ、水晶素板３の外形が形成されるとともに、緩衝部１１、第２貫通孔１９及び第３貫通孔２１が形成される。
【0100】
次に、ウェハの両主面に新たなエッチングマスクを形成する。新たなエッチングマスクは、固定部１５（第３面２５Ａ又は第４面２５Ｂ）となる領域に重なっている（振動部１３及び中間部１７となる領域に重なっていない。）。なお、この新たなエッチングマスクは、先のエッチングマスクの一部を除去することによって形成されてもよい。
【0101】
そして、新たなエッチングマスクを介してウェハを両主面側からエッチングする。これにより、振動部１３となる領域は、固定部１５となる領域よりも薄くなる。また、エッチングに対する水晶の異方性に起因して、振動部１３と固定部１５との間には結晶面が現れ、ひいては、振動部１３と固定部１５との間に固定部１５側ほど厚くなる中間部１７が形成される。
【0102】
その後、エッチングマスクは除去され、導体パターン５が形成される。導体パターン５は、例えば、水晶素板３の表面に形成されたマスクを介して金属が成膜されることによって形成されてよい。また、導体パターン５は、水晶素板３の全面又は大部分に金属が成膜された後、マスクを介してエッチングが行われることによって形成されてもよい。成膜は、スパッタリング等の適宜な方法によってなされてよい。
【0103】
導体パターン５の形成後、水晶素板３は、ウェハの枠状部との連結部を折ったり、切ったりすることなどにより、枠状部から分離される（個片化される。）。なお、個片化の際及び／又は個片化後において、固定部１５は、水晶素子１の保持に利用されてよい。例えば、固定部１５が吸着保持されることによって、水晶素子１が冶具に保持されてよい。
【0104】
（２．水晶素子１の利用例）
図３は、水晶素子１の利用例としての水晶デバイス１０１の斜視図である。図４は、図３のIV－IV線における断面図である。なお、水晶デバイス１０１は、いずれの方向が上下方向又は水平方向とされてもよいが、以下の説明では、便宜上、図３及び図４の紙面上方を上方として、上面等の用語を用いることがある。
図３は、水晶素子１の利用例としての水晶デバイス１０１の斜視図である。図４は、図３のIV－IV線における断面図である。なお、水晶デバイス１０１は、いずれの方向が上下方向又は水平方向とされてもよいが、以下の説明では、便宜上、図３及び図４の紙面上方を上方として、上面等の用語を用いることがある。
【0105】
水晶デバイス１０１は、例えば、全体として略直方体形状となっている電子部品である。水晶デバイスの寸法は、適宜な大きさとされてよい。一例を挙げると、長辺又は短辺の長さは、０．６ｍｍ以上２．０ｍｍ以下であり、上下方向の厚さは、０．２ｍｍ以上１．５ｍｍ以下である。水晶デバイス１０１は、例えば、その下面を不図示の実装基体（例えば回路基板）の上面に対向させて表面実装される。
【0106】
水晶デバイス１０１は、例えば、一定の周波数で信号強度（例えば電圧及び／又は電流）が振動する発振信号の生成に寄与する振動子として構成されている。水晶デバイス１０１は、例えば、発振信号の生成に利用される振動を生じる水晶素子１と、水晶素子１をパッケージングしているパッケージ１０３とを有している。
【0107】
パッケージ１０３は、例えば、水晶素子１を支持する基体１０７と、基体１０７に接合されて水晶素子１を封止する蓋体１０９とを有している。水晶素子１は、例えば、導電性の接合材１０５によって基体１０７に接合されて支持されている。パッケージ１０３の内部空間は、例えば、真空とされ、又は適当なガス（例えば、窒素）が封入されている。
【0108】
基体１０７は、例えば、水晶素子１を収容する凹部を有する形状とされている。別の観点では、基体１０７は、平板状の基板部１０７ａと、基板部１０７ａの上面の縁部に沿って設けられている枠部１０７ｂとを有している。基板部１０７ａおよび枠部１０７ｂからなる基体１０７は、セラミック材料等の絶縁材料からなる。蓋体１０９は、例えば、金属から構成され、枠部１０７ｂの上面にシーム溶接等により接合される。
【0109】
パッケージ１０３は、水晶素子１と、水晶デバイス１０１が実装される不図示の実装基体とを電気的に接続するための導体を有している。例えば、パッケージ１０３は、水晶素子１を実装するためのパッド１１１と、水晶デバイス１０１を実装基体に実装するための外部端子１１３と、両者を接続する不図示の配線導体とを有している。
【0110】
パッド１１１は、基板部１０７ａの上面に位置する導電層により構成されている。外部端子１１３は、基板部１０７ａの下面に位置する導電層により構成されている。不図示の配線導体は、基板部１０７ａを上下に貫通する貫通導体を含んで構成されている。これらの導体の材料は、例えば、金属である。
【0111】
水晶素子１は、接合材１０５によってパッド１１１に接合されている。これにより、水晶素子１は、基体１０７に支持されているとともに、パッケージ１０３に電気的に接続されている。より詳細には、水晶素子１は、例えば、その一端側においてパッド１１１と接合されて、片持ち梁状に支持されている。接合材１０５は、例えば、導電性接着剤からなる。導電性接着剤は、金属からなるフィラーを混ぜ込んだ熱硬化性樹脂によって構成されている。
【0112】
接合材１０５は、第３貫通孔２１内に位置していてもよいし（図示の例）、位置していなくてもよい。前者の場合における充填の態様及び量等は任意である。例えば、接合材１０５は、第３貫通孔２１の下端から第３貫通孔２１内の所定の高さまで、第３貫通孔２１内に隙間なく充填されていてもよいし（図示の例）、第３貫通孔２１内の内面に層状に重なって空洞を形成していてもよいし、第３貫通孔２１内でいずれかの径方向に偏って位置していてもよい。また、接合材１０５の第３貫通孔２１内における上端の位置は、第３貫通孔２１の下端から第３貫通孔２１の深さ方向の中央までの範囲に位置していてもよいし、上記中央から第３貫通孔２１の上端までの間に位置していてもよいし（図示の例）、第３貫通孔２１の上端よりも上方に位置していてもよい（接合材１０５は第３貫通孔２１の直上に位置する部分を含んでいてもよい。）。接合材１０５が第３貫通孔２１の直上に位置する部分を含む場合、この部分は、接合材１０５のうち水晶素子１の外周を回り込んでいる部分とつながっていなくてもよいし、つながっていてもよい。
【0113】
外部端子１１３は、例えば、不図示の実装基体のパッドとはんだによって接合される。これにより、水晶デバイス１０１は、実装基体に支持されるとともに電気的に接続される。
【0114】
水晶素子１は、上記の利用例の他、種々の態様で利用されてよい。
【0115】
例えば、水晶素子１を含む水晶デバイス（圧電デバイス）は、水晶素子１に加えて、水晶素子１に電圧を印加して発振信号を生成する集積回路素子（ＩＣ：Integrated Circuit）を有する発振器であってもよい。また、例えば、振動子は、水晶素子１の他に、サーミスタ等の他の電子素子を有するものであってもよい。また、圧電デバイスは、恒温槽付のものであってもよい。
【0116】
圧電デバイスにおいて、水晶素子１をパッケージングするパッケージの構造は、適宜な構成とされてよい。例えば、パッケージは、上面及び下面に凹部を有する断面Ｈ型のものであってもよい。また、パッケージは、基板状の基体（凹部を有していない基体）と、基体に被せられるキャップ状の蓋体とで構成されるものであってもよい。
【0117】
（３．第１実施形態についてまとめ）
以上のとおり、本実施形態では、水晶素子１は、圧電素板（水晶素板３）と、１対の励振電極７と、１対の引出電極９とを有している。水晶素板３は、第１方向（Ｘ方向）及び当該Ｘ方向に直交する第２方向（Ｚ’方向）に広がっており、Ｘ方向の一方側（＋Ｘ側）に第１端部３ａを有している。１対の励振電極７は、水晶素板３に重なっている。１対の引出電極９は、水晶素板３に重なり、１対の励振電極７から第１端部３ａへ向かって引き出されている。また、１対の引出電極９は、Ｚ’方向において互いに離れている１対のパッド部９ａを有している。水晶素板３は、１対のパッド部９ａの間に位置している緩衝部１１を有している。
以上のとおり、本実施形態では、水晶素子１は、圧電素板（水晶素板３）と、１対の励振電極７と、１対の引出電極９とを有している。水晶素板３は、第１方向（Ｘ方向）及び当該Ｘ方向に直交する第２方向（Ｚ’方向）に広がっており、Ｘ方向の一方側（＋Ｘ側）に第１端部３ａを有している。１対の励振電極７は、水晶素板３に重なっている。１対の引出電極９は、水晶素板３に重なり、１対の励振電極７から第１端部３ａへ向かって引き出されている。また、１対の引出電極９は、Ｚ’方向において互いに離れている１対のパッド部９ａを有している。水晶素板３は、１対のパッド部９ａの間に位置している緩衝部１１を有している。
【0118】
この場合、例えば、既述のように、外部（例えばパッケージ１０３）から１対の引出電極９を介して水晶素板３に歪が付与されたときに、当該歪を緩衝部１１の変形によって吸収することが容易化される。その結果、例えば、励振電極７の領域（振動部１３）に伝わる歪が低減され、水晶素子１の振動特性が低下する蓋然性が低減される。ひいては、水晶素子１の電気的特性が向上する。
【0119】
なお、比較的小さい一定の応力が加えられて当該応力の大きさに応じた大きさの変形が水晶素板３に生じる状況を想定すると、緩衝部１１を設けずに、水晶素板３の剛性を高くした方が水晶素板３（ひいては励振電極７の領域）の歪が低減されることになる。しかし、実際には、例えば、パッケージ１０３に反りが生じた場合、パッケージ１０３から水晶素板３に加えられる力は相対的に大きく、パッケージ１０３から水晶素板３に一定の歪が付与されると捉えることができる。従って、上記のように、剛性が低くなる緩衝部１１を設けて歪を吸収することによって、励振電極７の領域に歪が伝わる蓋然性を低減できる。
【0120】
緩衝部１１は、水晶素板３を厚さ方向に貫通する第１貫通孔を含んでよい。
【0121】
この場合、例えば、エッチングによって水晶素板３の外形を形成するときに緩衝部１１を形成することができる。また、例えば、緩衝部１１は、水晶素板３の厚さ全体に亘っているから、平面視において小さくされても、水晶素板３の剛性を低減する作用（歪を吸収する作用）が維持されやすい。すなわち、平面視において緩衝部１１を小さくしやすい。
【0122】
緩衝部１１は、１対の引出電極９（１対のパッド部９ａ）から離れていてよい。
【0123】
この場合、例えば、接合材１０５が緩衝部１１に侵入しにくい。その結果、例えば、接合材１０５によって緩衝部１１の変形が阻害される蓋然性が低減される。また、緩衝部１１が１対の引出電極９の間に１対の引出電極９から離れて位置しているということは、緩衝部１１のＺ’方向の大きさは、比較的小さくされているといえる。緩衝部１１がＺ’方向において小さいことにより、例えば、接合材１０５によって片持ち梁状に水晶素子１を支持するための引出電極９の領域（換言すれば固定部１５）における強度を確保することが容易である。一方、緩衝部１１がＺ’方向において小さくても、１対の引出電極９の相対移動を許容する（歪を吸収する）作用は維持できる。
【0124】
なお、このような緩衝部１１のＺ’方向の大きさは、緩衝部１１と第２貫通孔１９との相違の一例である。既述のように、第２貫通孔１９は、励振電極７の領域（換言すれば振動部１３）と１対の引出電極９の領域（固定部１５）とを接続する面積を低減して、前者の領域における振動が後者の領域によって規制される蓋然性を低減するためのものである。従って、第２貫通孔１９は、緩衝部１１と対照的に、Ｚ’方向において比較的大きくされ、さらには、１対の引出電極９に重なっている。
【0125】
ただし、既に言及したように、上記の説明とは異なり、緩衝部１１は、１対の引出電極９に対して、隣接していたり、重なっていたりしてもよい。換言すれば、緩衝部１１は、Ｚ’方向において比較的大きくされていてもよい。この場合は、例えば、余剰な接合材１０５を逃がす部位として緩衝部１１を利用可能である。また、緩衝部１１は、第２貫通孔１９と同様に、表裏の導通に利用されても構わない。
【0126】
水晶素板３は、１対の励振電極７が重なっている振動部１３と、１対の引出電極９（パッド部９ａ）が重なっており、前記振動部１３よりも厚い固定部１５と、を有してよい。緩衝部１１は、固定部１５に少なくとも一部が位置していてよい。
【0127】
この場合、例えば、水晶素板３は、固定部１５が振動部１３よりも厚くされていることによって、固定部１５によって強度を確保できる。その一方で、固定部１５で歪が吸収されにくくなってしまう。このような構成の水晶素板３において、固定部１５に緩衝部１１が設けられることによって、緩衝部１１による歪の吸収の作用が有効に奏される。
【0128】
なお、このような緩衝部１１の位置は、緩衝部１１と第２貫通孔１９との相違の一例である。既述のように、第２貫通孔１９は、振動部１３と固定部１５とを接続する面積を低減して、振動部１３における振動が固定部１５によって規制される蓋然性を低減するためのものである。従って、第２貫通孔１９は、緩衝部１１とは異なり、振動部１３と固定部１５との間に位置する。
【0129】
緩衝部１１は、固定部１５の振動部１３の側の端部から離れていてよい。より詳細には、例えば、緩衝部１１は、固定部１５の中心よりも第１端部３ａ側に位置してよい。
【0130】
この場合、例えば、固定部１５のうち第１端部３ａ側に位置する緩衝部１１によって、第１端部３ａ側に付与された歪を吸収するとともに、固定部１５のうち振動部１３側に位置する部分によって緩衝部１１側から振動部１３側へ伝わる応力による歪を低減する効果が期待される。なお、このような緩衝部１１の位置は、既述の説明から理解されるように、緩衝部１１と第２貫通孔１９との相違の一例である。
【0131】
緩衝部１１の第１方向（Ｘ方向）の最大長さは、固定部１５のＸ方向の長さの半分以下とされてよい。
【0132】
この場合、例えば、固定部１５の強度を確保することが容易化される。また、例えば、上記のように、緩衝部１１が固定部１５の中央よりも第１端部３ａ側に位置する場合においては、緩衝部１１によって歪を吸収しつつ、緩衝部１１側から振動部１３側へ伝わる応力による歪を低減する効果が期待される。
【0133】
水晶素板３は、１対の励振電極７と緩衝部１１との間に水晶素板３を厚さ方向に貫通する第２貫通孔１９を更に有していてよい。
【0134】
この場合、例えば、緩衝部１１によって歪を吸収しつつ、第２貫通孔１９によって励振電極７の領域（振動部１３）における振動が引出電極９の領域（固定部１５）によって規制される蓋然性を低減できる。その結果、励振電極７の領域における振動特性が向上する。また、例えば、第２貫通孔１９と緩衝部１１との間に梁状部分が形成されて、第２貫通孔１９が設けられていない態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる）に比較して緩衝部１１の励振電極７側の領域の剛性が低下するから、緩衝部１１の作用の向上が期待される。
【0135】
平面視において、緩衝部１１の面積は、第２貫通孔１９の面積よりも小さくてよい。
【0136】
この場合、例えば、固定部１５の強度を確保することが容易である。また、緩衝部１１の両側に位置する１対の引出電極９の平面視における面積を確保することも容易である。
【0137】
水晶素板３は、平面視において１対の引出電極９に重なる位置に、水晶素板３を厚さ方向に貫通する１対の第３貫通孔２１を更に有していてよい。
【0138】
この場合、例えば、第３貫通孔２１によって水晶素子１の表裏を導通しやすくすることができる。また、導体パターン５及び接合材１０５等の態様にもよるが、第３貫通孔２１と緩衝部１１との間に梁状部分が形成されて、第３貫通孔２１が設けられていない態様（当該態様も本開示に係る技術に含まれる）に比較して緩衝部１１の引出電極９側の領域の剛性が低下するから、緩衝部１１の作用の向上が期待される。
【0139】
平面視において、緩衝部１１の中心は、水晶素板３の、Ｘ方向に平行な中心線ＣＬ上に位置していてよい。１対の第３貫通孔２１は、中心線ＣＬに対して線対称に位置していてよい。
【0140】
この場合、例えば、緩衝部１１のＺ’方向の両側における剛性を同等にしやすい。その結果、例えば、１対の引出電極９に歪が付与されたときに、歪が＋Ｚ’側又は－Ｚ’側に偏って励振電極７の領域に伝わる蓋然性が低減される。その結果、意図されていない特異な振動が生じる蓋然性が低減され、ひいては、水晶素子１の電気的特性が低下する蓋然性が低減される。
【0141】
本実施形態に係る圧電デバイス（水晶デバイス１０１）は、上記のような水晶素子１と、水晶素子１が実装されているパッケージ１０３と、を有している。
【0142】
このような水晶デバイス１０１は、本実施形態に係る水晶素子１の上記の効果を得ることができる。例えば、パッケージ１０３の反りによって水晶素子１に歪が付与されたときに、既述のように緩衝部１１によって当該歪を吸収することができる。
【0143】
水晶デバイス１０１は、水晶素子１とパッケージ１０３とを接合している導電性の接合材１０５を更に有してよい。接合材１０５は、１対の第３貫通孔２１の内部に位置する部分を有していてよい。
【0144】
この場合、例えば、接合材１０５と１対の引出電極９との接合面積を増大して、水晶素子１とパッケージ１０３との導通の信頼性を向上させることができる。また、余剰な接合材１０５は、引出電極９の間に位置する緩衝部１１に優先して引出電極９に重なる第３貫通孔２１に入り込む。すなわち、緩衝部１１に接合材１０５が入り込む蓋然性が低減される。その結果、例えば、既述のように、接合材１０５によって緩衝部１１の変形が阻害される蓋然性が低減される。また、例えば、１対の第３貫通孔２１が緩衝部１１に対して対称的に配置されている場合においては、１対の第３貫通孔２１内の接合材１０５の硬化収縮による応力バランスが均等になりやすい。
【0145】
平面視における緩衝部１１の形状は、円形状、楕円状又は角部に丸みを有する多角形状であってよい。
【0146】
この場合、例えば、緩衝部１１において応力集中が生じる蓋然性が低減される。ひいては、緩衝部１１（その周囲）において水晶素板３の破損が生じる蓋然性が低下される。
【0147】
＜第２実施形態＞
図５は、第２実施形態に係る水晶素子２０１の一部を破断して示す水晶素子２０１の斜視図である。この図は、第１実施形態の図２に対応している。破断していない状態の水晶素子２０１の斜視図は、図１と同様である。
図５は、第２実施形態に係る水晶素子２０１の一部を破断して示す水晶素子２０１の斜視図である。この図は、第１実施形態の図２に対応している。破断していない状態の水晶素子２０１の斜視図は、図１と同様である。
【0148】
水晶素子２０１は、水晶素板２０３の緩衝部２１１が凹部によって構成されている点のみが第１実施形態の水晶素子１と相違する。図示の例では、水晶素板２０３の両主面に凹部が形成されており、合計で２つの凹部が形成されている。ただし、凹部は、一方の主面のみに形成されていても構わない。なお、２つの凹部は、それぞれ緩衝部２１１と捉えられてもよいし、水晶素板３のうち、２つの凹部を含む領域が緩衝部２１１と捉えられてもよい。なお、本実施形態の説明では、便宜上、前者の捉え方をすることがある。
【0149】
２つの緩衝部２１１（凹部）の、位置（Ｙ’方向の位置を除く）、形状及び寸法は、例えば、互いに同一である（結晶面の影響は除く。）。ただし、両者は異なっていてもよい。いずれにせよ、第１実施形態の緩衝部１１（第１貫通孔）の位置、形状及び寸法等の説明は、Ｙ’方向の寸法を除いては、緩衝部２１１に援用されてよい。
【0150】
緩衝部２１１の深さは任意である。例えば、当該深さは、振動部１３の第１面２３Ａと固定部１５の第３面２５Ａとの高さの差と同等であってよい。別の観点では、水晶素板３のうち、２つの緩衝部２１１の間となる部分の厚さは、振動部１３の厚さと同等であってよい。ただし、上記の説明とは異なり、緩衝部２１１の深さは、上記の高さの差に対して、小さくてもよいし、大きくてもよい。
【0151】
水晶素子２０１の製造方法は、緩衝部２１１の形成方法を除いて、水晶素子１の製造方法と同様でよい。水晶素子２０１の製造方法においては、例えば、振動部１３を薄くするエッチングを行うために固定部１５に重ねられるエッチングマスクに、緩衝部２１１となる領域に重なる開口を形成する。これにより、固定部１５の主面の一部がエッチングされて緩衝部２１１が形成される。
【0152】
上記のように緩衝部２１１を形成する場合、例えば、緩衝部２１１の深さ（最大深さ）は、振動部１３の第１面２３Ａと固定部１５の第３面２５Ａとの高さの差と同等になる。ただし、エッチングに対する水晶の異方性に起因して、緩衝部２１１の深さは、第１面２３Ａと第３面２５Ａとの高さの差に至らないこともある。別の観点では、緩衝部２１１の内面は、傾斜面（別の観点では結晶面）のみによって構成され、Ｙ’軸に概ね直交する底面を含まないことがある。
【0153】
なお、緩衝部２１１は、第１実施形態の緩衝部１１と同様に、水晶素板２０３の外形のエッチングのときに形成されてもよい。この場合、例えば、エッチングの条件にもよるが、エッチングマスクの緩衝部２１１となる領域に重なる開口の径を小さくする。そして、エッチングに対する水晶の異方性に起因するエッチングの停止によって、凹部からなる緩衝部２１１を形成する。
【0154】
緩衝部２１１は、上記のように振動部１３（又は水晶素板２０３の外形）と同時に形成されなくてもよい。例えば、水晶素板２０３の外形を形成するエッチングの前に形成されてもよいし、外形を形成するエッチングの後であって振動部１３を薄くするエッチングの前に形成されてもよいし、振動部１３を薄くするエッチングの後に形成されてもよい。緩衝部２１１は、エッチングではなく、機械的な加工によって形成されてもよい（この点は他の態様の緩衝部も同様。）。
【0155】
以上のとおり、本実施形態においても、水晶素板２０３は、１対の引出電極９の間に位置している緩衝部２１１を有している。従って、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、パッケージ１０３から１対の引出電極９を介して歪が付与されたときに、当該歪を緩衝部２１１によって吸収可能である。その結果、水晶素子２０１の電気的特性が向上する。
【0156】
本実施形態から理解されるように、緩衝部２１１は、水晶素板２０３を薄くする凹部を含んでよい。
【0157】
この場合、例えば、水晶素板２０３が厚みの異なる領域（振動部１３及び固定部１５）を有する場合、振動部１３を薄くするときに緩衝部２１１を形成することができる。また、例えば、貫通孔からなる緩衝部１１に比較して、緩衝部２１１によって歪の吸収作用を得つつも、固定部１５の強度を確保したいときに有利である。
【0158】
【0159】
水晶素子３０１は、水晶素板３０３の緩衝部３１１が切欠きによって構成されている点のみが第１実施形態の水晶素子１と相違する。緩衝部３１１としての切欠きは、平面視において第１端部３ａ（縁部）を切り欠いている。なお、切欠きは、貫通孔の一種として捉えることが可能である。ただし、本開示においては、便宜上、切欠きと、切欠きでないものとを区別するために、貫通孔は、第１端部３ａを切り欠いていないものを指すものとする。
【0160】
第１実施形態の緩衝部１１（第１貫通孔）の位置、形状及び寸法等の説明は、緩衝部３１１に援用されてよい。この場合、緩衝部３１１の平面視における形状に関して、緩衝部３１１の第１端部３ａ側の縁部の形状は、切り欠かれない場合の第１端部３ａの形状（水晶素板３の＋Ｘ側に面している側面を切欠きの位置までＺ’方向に延長した仮想線）によって代用されてよい。また、緩衝部３１１の位置は、矛盾等が生じない限り、緩衝部１１の位置についての既述の説明がそのまま援用されてもよいし、緩衝部１１と第１端部３ａとの距離（既述）で緩衝部３１１が＋Ｘ側にシフトするように援用されてもよい。同様に、緩衝部３１１のＸ方向の大きさは、矛盾等が生じない限り、緩衝部１１のＸ方向の大きさについての既述の説明がそのまま援用されてもよいし、緩衝部１１と第１端部３ａとの距離で緩衝部３１１が＋Ｘ側に拡張されるように援用されてもよい。
【0161】
水晶素子３０１の製造方法は、第１実施形態に係る水晶素子１の製造方法と概ね同様とされてよい。ただし、水晶素板３０３の外形を形成するためのエッチングマスクにおいて、緩衝部３１１となる領域に重なる部分は、平面視において閉じられた開口ではなく、切欠き状とされる。これにより、切欠きからなる緩衝部３１１が形成される。
【0162】
以上のとおり、本実施形態においても、水晶素板３０３は、１対の引出電極９の間に位置している緩衝部３１１を有している。従って、第１実施形態と同様の効果が奏される。例えば、パッケージ１０３から１対の引出電極９を介して歪が付与されたときに、当該歪を緩衝部３１１によって吸収可能である。その結果、水晶素子３０１の電気的特性が向上する。
【0163】
本実施形態から理解されるように、緩衝部３１１は、平面視において水晶素板３０３の第１端部３ａを切り欠く切欠きを含んでよい。
【0164】
この場合、例えば、貫通孔からなる緩衝部１１と同様に、水晶素板３０３の外形をエッチングするときに緩衝部３１１を形成することができる。また、例えば、貫通孔からなる緩衝部１１に比較して、歪を吸収する効果が向上する。なお、歪を吸収する効果を得つつも、固定部１５の強度を確保する観点では、貫通孔からなる緩衝部１１が有利である。
【0165】
＜変形例＞
以下、水晶素子の種々の変形例について説明する。以下に述べる変形例における緩衝部は、第１～第３実施形態の緩衝部のいずれであってもよい。ただし、以下では、便宜上、基本的に第１実施形態の緩衝部１１を例に取る。矛盾等が生じない限り、緩衝部１１の語は、緩衝部２１１の語又は緩衝部３１１の語に置換されてよい。また、以下では、概略、下記の順で説明する。
・緩衝部の数に係る変形例
・固定部の位置に係る変形例
・固定部の厚さに係る変形例
以下、水晶素子の種々の変形例について説明する。以下に述べる変形例における緩衝部は、第１～第３実施形態の緩衝部のいずれであってもよい。ただし、以下では、便宜上、基本的に第１実施形態の緩衝部１１を例に取る。矛盾等が生じない限り、緩衝部１１の語は、緩衝部２１１の語又は緩衝部３１１の語に置換されてよい。また、以下では、概略、下記の順で説明する。
・緩衝部の数に係る変形例
・固定部の位置に係る変形例
・固定部の厚さに係る変形例
【0166】
（緩衝部の数の変形例）
図７は、変形例に係る水晶素子４０１（水晶素板４０３）を示す平面図である。
図７は、変形例に係る水晶素子４０１（水晶素板４０３）を示す平面図である。
【0167】
この図に示されるように、緩衝部１１は、２以上の数で設けられてもよい。２以上の緩衝部１１が設けられる場合において、その形状及び／又は寸法は、互いに同一であってもよいし（図示の例）、互いに異なっていてもよい。特に図示しないが、緩衝部１１、緩衝部２１１及び緩衝部３１１の２つ以上が組み合わされることによって、２以上の緩衝部が設けられてもよい。いずれにせよ、既述の緩衝部１１の形状及び寸法の説明は、矛盾等が生じない限り、２以上の緩衝部１１の形状及び寸法に援用されてよい。寸法の援用においては、矛盾等が生じない限り、既述の寸法がそのまま援用されてもよいし、所定方向における寸法を、当該所定方向に緩衝部１１が並んでいる数で割った寸法が援用されてもよい。
【0168】
２以上の緩衝部１１の配置は任意である。例えば、２以上の緩衝部１１の一部又は全部は、Ｘ方向に並んでいてもよいし、Ｚ’方向に並んでいてもよいし、上記の方向に傾斜する方向に並んでいてもよいし、そのような区別が不可能な態様で配置されていてもよい。また、２以上の緩衝部１１は、１列で配列されていてもよいし、２列以上で配列されていてもよい。２以上の緩衝部１１は、中心線ＣＬ（図１参照）に対して、線対称に配置されていてもよいし、非対称に配置されていてもよい。
【0169】
なお、既述のように、２以上の緩衝部１１は、その全体で緩衝部４１１として捉えられてもよい。中心線ＣＬ上に緩衝部の中心が位置するという場合、緩衝部１１の中心が中心線ＣＬに位置する態様だけでなく、緩衝部４１１の中心が中心線ＣＬ上に位置する態様を含んでよい。
【0170】
ここでは、第２貫通孔１９を示し、第３貫通孔２１を示していないが、これらの貫通孔の有無は任意である。後述する図８（ａ）及び図８（ｂ）等においても同様に、第２貫通孔１９及び第３貫通孔２１の有無は任意である。
【0171】
２以上の緩衝部１１が設けられる態様では、例えば、当該２以上の緩衝部１１全体の面積と同等の面積で１つのみの緩衝部１１が設けられる態様に比較して、例えば、固定部１５の強度が局部的に低下する蓋然性を低減しつつ、歪を吸収する効果を得ることができる。一方、後者の態様では、例えば、１つの緩衝部１１の径が大きいから、エッチングに対する水晶の異方性の影響を低減できる。例えば、内面の傾斜面を低減することが容易であり、また、貫通孔を形成することが容易である。
【0172】
２以上の緩衝部１１が、平面視において１対の引出電極９の対向方向（Ｚ’方向）の互いに異なる位置に設けられている（例えばＺ’方向に並んでいる）場合、例えば、１つの引出電極９に接合される接合材１０５が当該１つの引出電極９に近い緩衝部１１に入り込んでも、他の引出電極９と短絡される蓋然性は低い。従って、例えば、緩衝部１１を引出電極９に近づけて、余剰な接合材１０５の逃げ場として緩衝部１１を利用しやすくなる。
【0173】
（固定部の位置に係る変形例）
図８（ａ）及び図８（ｂ）はそれぞれ、変形例に係る水晶素板の平面図である。実施形態では、固定部１５は、矩形状の振動部１３の１辺に沿う形状とされた。ただし、固定部は、振動部の２辺以上に沿っていてもよい。図８（ａ）及び図８（ｂ）の水晶素板は、そのような２辺以上に亘る固定部を有している。具体的には、以下のとおりである。
図８（ａ）及び図８（ｂ）はそれぞれ、変形例に係る水晶素板の平面図である。実施形態では、固定部１５は、矩形状の振動部１３の１辺に沿う形状とされた。ただし、固定部は、振動部の２辺以上に沿っていてもよい。図８（ａ）及び図８（ｂ）の水晶素板は、そのような２辺以上に亘る固定部を有している。具体的には、以下のとおりである。
【0174】
図８（ａ）に示す水晶素子５０１（水晶素板５０３）は、振動部１３の２辺に沿って固定部５１５（及び中間部５１７）を有している。換言すれば、固定部５１５は、Ｌ字に形成されている。なお、固定部５１５がＬ字に構成されていると捉えるのではなく、直線状の固定部５１５が合計で２つ設けられていると捉えられてもよい。そして、固定部５１５のうち、振動部１３の１辺に沿う部分には、実施形態と同様に、１対の引出電極９が引き出されているとともに、その間に緩衝部１１が位置している。
【0175】
図８（ｂ）に示す水晶素子６０１（水晶素板６０３）は、振動部１３の３辺に沿って固定部６１５（及び中間部６１７）を有している。換言すれば、固定部６１５は、Ｕ字に形成されている。なお、固定部６１５がＵ字に構成されていると捉えるのではなく、直線状の固定部６１５が合計で３つ設けられていると捉えられてもよい。そして、固定部６１５のうち、振動部１３の１辺に沿う部分には、実施形態と同様に、１対の引出電極９が引き出されているとともに、その間に緩衝部１１が位置している。
【0176】
特に図示しないが、振動部１３の４辺に沿って固定部が設けられていてもよい。そして、固定部のうち振動部１３の１辺に沿う部分には、実施形態と同様に、１対の引出電極９が引き出されるとともに、その間に緩衝部１１が設けられてよい。実施形態における固定部１５と他の構成要素（例えば緩衝部１１）との相対位置についての説明において、固定部１５の語は、固定部５１５及び６１５等のうちの振動部１３の１辺に沿う部分（その全体又は上記１辺の長さと同じ長さの一部）の語に置換されてよい。
【0177】
【0178】
水晶素子７０１の水晶素板７０３においては、固定部７１５（及び中間部７１７）は、振動部１３に対して、水晶素板５０３の厚み方向の一方側（図の下方）にのみ高くなっている。そして、ここでは不図示であるが、実施形態と同様に、固定部７１５には、緩衝部が形成されている。なお、この変形例では、第１導体パターン５０５Ａ及び第１導体パターン５０５Ｂは、例えば、中心線ＣＬ（図１参照）に対して１８０°回転対称とされていない。例えば、引出電極５０９は、下面にのみパッド部９ａを有してよい。
【0179】
【0180】
水晶素子８０１の水晶素板８０３は、その全体が一定の厚さとされている。すなわち、水晶素板８０３は、厚さが互いに異なる振動部及び固定部を有していない。そして、ここでは不図示であるが、実施形態と同様に、１対の引出電極９の間には、緩衝部が形成されている。
【0181】
本開示に係る技術は、以上の実施形態及び変形例に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【0182】
上述した実施形態及び種々の変形例は適宜に組み合わされてよい。例えば、図７に示した２以上の緩衝部が設けられる構成は、図８（ａ）～図９（ｂ）に示した固定部に係る変形例に適用されてもよい。また、図９（ａ）に示した固定部が振動部に対して厚み方向の一方側にのみ高くなる構成は、図８（ａ）及び図８（ｂ）に例示した２辺以上に亘って固定部が設けられる構成に適用されてもよい。
【0183】
圧電体は、水晶に限定されない。例えば、圧電体は、他の単結晶であってもよいし、多結晶からなるもの（例えばセラミック）であってもよい。また、圧電体は、厚み滑り振動の基本波振動を利用するものに限定されず、他の振動モードを利用するものであってもよいし、オーバートーン振動を利用するものであってもよい。さらに、圧電体は、一方の主面のみに形成された励振電極によって励振される弾性波を利用するものであってもよい。厚み滑り振動を利用する水晶素板のカットは、ＡＴカットに限定されない。例えば、ＢＴカットであってもよい。また、水晶素板は、水晶のみからなるものに限定されず、水晶に金属等からなるドーパントを注入した材料からなるものも含むものとする。
【0184】
本開示からは、緩衝部が１対の引出電極から離れていることを要件としない（緩衝部が１対の引出電極の双方又は一方に対して重なる、又は隣接する）圧電振動素子を抽出可能である。当該圧電振動素子は、例えば、緩衝部が固定部の振動部の側の端部から離れて固定部に位置することを特徴としたり、第２貫通孔又は第３貫通孔を有することを特徴としたり、２以上の緩衝部が設けられていることを特徴としたり、緩衝部が水晶素子を薄くする凹部であることを特徴としたりしてよい。
【符号の説明】
【0185】
１…水晶素子（圧電振動素子）、３…水晶素板（圧電素板）、３ａ…（圧電素板の）第１端部、７…励振電極、９…引出電極、１１…緩衝部（第１貫通孔）、１３…振動部、１５…固定部、１０１…水晶デバイス（圧電デバイス）、２１１…緩衝部（凹部）、３１１…緩衝部（切欠き）。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】