特開 2023-81151 水平多関節ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023081151

(43)【公開日】2023-06-09

(54)【発明の名称】水平多関節ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 9/06 20060101AFI20230602BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20230602BHJP

【ＦＩ】

B25J9/06 D

H01L21/68 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021194877

(22)【出願日】2021-11-30

(71)【出願人】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】ニデックインスツルメンツ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】杉山 浩彦

(72)【発明者】

【氏名】栗林 保

【テーマコード（参考）】

3C707

5F131

【Ｆターム（参考）】

3C707AS24

3C707BS15

3C707BS26

3C707CY29

3C707HT02

3C707NS13

5F131AA02

5F131BA60

5F131CA12

5F131DB03

5F131DB06

5F131DB52

5F131DB76

5F131DB82

(57)【要約】

【課題】水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットにおいて、関節部から水平多関節ロボットの内部への液体の浸入を抑制することが可能な水平多関節ロボットを提供する。
【解決手段】この水平多関節ロボットは、第１アーム部７と、第１アーム部７の上側に配置され第１アーム部７に回動可能に連結される第２アーム部８とを備えている。第１アーム部７は、第１アーム部７と第２アーム部８との連結部分となる関節部１１において第１アーム部７の外周側部分の一部を構成する環状の軸受押え部材２６を備え、第２アーム部８は、関節部１１において第２アーム部８の外周側部分を構成するアーム部本体２９を備えている。アーム部本体２９は、関節部１１の径方向の外側から軸受押え部材２６の上側部分を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部２９ａを備えており、筒状覆部２９ａの下端は、軸受押え部材２６の上端よりも下側に配置されている。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットにおいて、
支持部と、前記支持部の上側に配置されるとともに前記支持部に回動可能に連結される被支持部とを備え、
前記支持部は、前記支持部と前記被支持部との連結部分となる関節部において前記支持部の外周側部分の少なくとも一部を構成する環状の支持側部材を備え、
前記被支持部は、前記関節部において前記被支持部の外周側部分の少なくとも一部を構成する被支持側部材を備え、
前記被支持側部材は、前記関節部の径方向の外側から前記支持側部材の少なくとも上側部分を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部を備え、
前記筒状覆部の下端は、前記支持側部材の上端よりも下側に配置されていることを特徴とする水平多関節ロボット。

【請求項2】

搬送対象物が搭載される前記被支持部としてのハンドを備え、
前記アームは、前記ハンドが先端側に回動可能に連結される前記支持部としての先端側アーム部を備えることを特徴とする請求項１記載の水平多関節ロボット。

【請求項3】

搬送対象物が搭載されるハンドを備え、
前記アームは、前記ハンドが先端側に回動可能に連結される前記被支持部としての先端側アーム部と、前記先端側アーム部の基端側が先端側に回動可能に連結される前記支持部としての基端側アーム部とを備えることを特徴とする請求項１記載の水平多関節ロボット。

【請求項4】

前記アームの基端側が回動可能に連結される前記支持部としての本体部を備え、
前記アームは、前記本体部に基端側が回動可能に連結される前記被支持部としての基端側アーム部を備えることを特徴とする請求項１記載の水平多関節ロボット。

【請求項5】

搬送対象物が搭載されるとともに前記アームの先端側に回動可能に連結されるハンドを備え、
前記ハンドは、前記ハンドの先端側に配置されるとともに前記搬送対象物の端面が当接する当接面を有する端面当接部材と、前記当接面に向かって前記搬送対象物を押し付ける押付部材と、前記ハンドの基端側の内部に配置されるとともに前記押付部材を移動させる移動機構と、前記移動機構を上側から覆うカバーとを備え、
前記移動機構には、前記押付部材の基端が連結され、
前記カバーは、前記押付部材の基端側部分を上側から覆っていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の水平多関節ロボット。

【請求項6】

搬送対象物が搭載されるとともに前記アームの先端側に回動可能に連結されるハンドを備え、
前記ハンドは、前記ハンドの先端側に配置されるとともに前記搬送対象物の端面が当接する当接面を有する端面当接部材と、前記当接面に向かって前記搬送対象物を押し付ける押付部材と、前記ハンドの基端側の内部に配置されるとともに前記押付部材を移動させる移動機構と、前記移動機構を上側から覆うカバーとを備え、
前記移動機構は、前記押付部材の基端が先端に固定されるスライド軸と、前記スライド軸をスライド可能に保持する軸保持部材とを備え、
前記軸保持部材には、前記スライド軸が挿通される貫通穴が形成され、
前記スライド軸は、前記軸保持部材に対して直線的にスライド可能となっており、
前記スライド軸の先端側には、前記スライド軸の径方向の外側に広がる鍔部が形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の水平多関節ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ガラス基板や半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送するための水平多関節ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の水平多関節ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。アームは、互いに回動可能に連結される第１アーム部と第２アーム部とによって構成されている。

【0003】

特許文献１に記載の水平多関節ロボットでは、第１アーム部の基端側は、本体部に回動可能に連結されている。第２アーム部の基端側は、第１アーム部の先端側に回動可能に連結されている。ハンドは、第２アーム部の先端側に回動可能に連結されている。第１アーム部は、本体部よりも上側に配置され、第２アーム部は、第１アーム部よりも上側に配置され、ハンドは、第２アーム部よりも上側に配置されている。本体部と第１アーム部との連結部分、第１アーム部と第２アーム部との連結部分、および、第２アーム部とハンドとの連結部分は、関節部となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１９－１１８９６２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に記載の水平多関節ロボットが、たとえば、液体を使う所定の処理が行われた後の半導体ウエハを搬送する場合、半導体ウエハ上に残っている液体が半導体ウエハから落下して、関節部から水平多関節ロボットの内部に入り込むおそれがある。また、関節部から水平多関節ロボットの内部に液体が入り込むと、水平多関節ロボットの内部で腐食が発生するおそれが生じる。

【0006】

そこで、本発明の課題は、水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットにおいて、関節部から水平多関節ロボットの内部への液体の浸入を抑制することが可能な水平多関節ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記の課題を解決するため、本発明の水平多関節ロボットは、水平方向にアームが動作する水平多関節ロボットにおいて、支持部と、支持部の上側に配置されるとともに支持部に回動可能に連結される被支持部とを備え、支持部は、支持部と被支持部との連結部分となる関節部において支持部の外周側部分の少なくとも一部を構成する環状の支持側部材を備え、被支持部は、関節部において被支持部の外周側部分の少なくとも一部を構成する被支持側部材を備え、被支持側部材は、関節部の径方向の外側から支持側部材の少なくとも上側部分を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部を備え、筒状覆部の下端は、支持側部材の上端よりも下側に配置されていることを特徴とする。

【0008】

本発明の水平多関節ロボットでは、支持部は、支持部と被支持部との連結部分となる関節部において支持部の外周側部分の少なくとも一部を構成する環状の支持側部材を備え、支持部の上側に配置される被支持部は、関節部において被支持部の外周側部分の少なくとも一部を構成する被支持側部材を備えている。また、本発明では、被支持側部材は、関節部の径方向の外側から支持側部材の少なくとも上側部分を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部を備えており、筒状覆部の下端は、支持側部材の上端よりも下側に配置されている。そのため、本発明では、関節部において、筒状覆部の下側を通過した液体が支持側部材の上側を通過しなければ、関節部から水平多関節ロボットの内部に液体は浸入しない。したがって、本発明では、たとえば、搬送対象物から落下した液体が関節部から水平多関節ロボットの内部に浸入するのを抑制することが可能になる。

【0009】

本発明において、たとえば、水平多関節ロボットは、搬送対象物が搭載される被支持部としてのハンドを備え、アームは、ハンドが先端側に回動可能に連結される支持部としての先端側アーム部を備えている。

【0010】

本発明において、たとえば、水平多関節ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドを備え、アームは、ハンドが先端側に回動可能に連結される被支持部としての先端側アーム部と、先端側アーム部の基端側が先端側に回動可能に連結される支持部としての基端側アーム部とを備えている。

【0011】

本発明において、たとえば、水平多関節ロボットは、アームの基端側が回動可能に連結される支持部としての本体部を備え、アームは、本体部に基端側が回動可能に連結される被支持部としての基端側アーム部を備えている。

【0012】

本発明において、水平多関節ロボットは、搬送対象物が搭載されるとともにアームの先端側に回動可能に連結されるハンドを備え、ハンドは、ハンドの先端側に配置されるとともに搬送対象物の端面が当接する当接面を有する端面当接部材と、当接面に向かって搬送対象物を押し付ける押付部材と、ハンドの基端側の内部に配置されるとともに押付部材を移動させる移動機構と、移動機構を上側から覆うカバーとを備え、移動機構には、押付部材の基端が連結され、カバーは、押付部材の基端側部分を上側から覆っていることが好ましい。このように構成すると、たとえば、搬送対象物から落下した液体が押付部材の基端側部分に付着するのをカバーによって抑制することが可能になる。したがって、たとえば、搬送対象物から落下した液体がハンドの基端側の内部へ浸入するのをカバーによって抑制することが可能になる。

【0013】

本発明において、水平多関節ロボットは、搬送対象物が搭載されるとともにアームの先端側に回動可能に連結されるハンドを備え、ハンドは、ハンドの先端側に配置されるとともに搬送対象物の端面が当接する当接面を有する端面当接部材と、当接面に向かって搬送対象物を押し付ける押付部材と、ハンドの基端側の内部に配置されるとともに押付部材を移動させる移動機構と、移動機構を上側から覆うカバーとを備え、移動機構は、押付部材の基端が先端に固定されるスライド軸と、スライド軸をスライド可能に保持する軸保持部材とを備え、軸保持部材には、スライド軸が挿通される貫通穴が形成され、スライド軸は、軸保持部材に対して直線的にスライド可能となっており、スライド軸の先端側には、スライド軸の径方向の外側に広がる鍔部が形成されていることが好ましい。このように構成すると、たとえば、搬送対象物から落下した液体が軸保持部材の貫通穴を通過してハンドの基端側の内部へ浸入するのを鍔部によって抑制することが可能になる。

【発明の効果】

【0014】

以上のように、本発明の水平多関節ロボットでは、関節部から水平多関節ロボットの内部への液体の浸入を抑制することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の実施の形態にかかる水平多関節ロボットの平面図である。

【図2】図１に示す水平多関節ロボットの側面図である。

【図3】図１に示すアームが伸びている状態のハンドおよびアームの平面図である。

【図4】図３のＥ－Ｅ断面の断面図である。

【図5】図４のＦ部の拡大図である。

【図6】図４のＧ部の拡大図である。

【図7】図４のＨ部の拡大図である。

【図8】図３のＪ－Ｊ断面の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0016】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0017】

（水平多関節ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる水平多関節ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す水平多関節ロボット１の側面図である。

【0018】

本形態の水平多関節ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するための産業用ロボットである。ウエハ２は、円板状に形成されている。本形態では、ウエハ２に対して液体を使う所定の処理が行われ、ロボット１は、処理後のウエハ２を搬送する。

【0019】

ロボット１は、ウエハ２が搭載されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるアーム４と、アーム４の基端側が回動可能に連結される本体部５とを備えている。また、ロボット１は、本体部５を水平方向に直線的に移動させる水平移動機構（図示省略）を備えている。本形態のロボット１は、２個のハンド３および２本のアーム４を備えており、２本のアーム４のそれぞれに１個のハンド３が回動可能に連結されている。本体部５には、２本のアーム４の基端側が回動可能に連結されている。

【0020】

アーム４は、互いに相対回動可能に連結される第１アーム部７と第２アーム部８との２個のアーム部によって構成されている。アーム４は、水平方向に動作する。具体的には、アーム４は、水平方向において伸縮動作をする。第１アーム部７および第２アーム部８は、中空状に形成されている。第１アーム部７の基端側は、本体部５に回動可能に連結されている。第１アーム部７の先端側には、第２アーム部８の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部８の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。本形態の第２アーム部８は、先端側アーム部であり、第１アーム部７は、基端側アーム部である。

【0021】

第１アーム部７は、本体部５に対して上下方向を回動の軸方向として回動する。第２アーム部８は、第１アーム部７に対して上下方向を回動の軸方向として回動する。ハンド３は、第２アーム部８に対して上下方向を回動の軸方向として回動する。第１アーム部７は、本体部５よりも上側に配置され、第２アーム部８は、第１アーム部７よりも上側に配置されている。ハンド３は、第２アーム部８よりも上側に配置されている。第１アーム部７と本体部５との連結部分は、関節部１０となっている。第１アーム部７と第２アーム部８との連結部分は、関節部１１となっている。第２アーム部８とハンド３との連結部分は、関節部１２となっている。

【0022】

本形態では、ハンド３と第２アーム部８との関係において、第２アーム部８は、支持部となっており、ハンド３は、支持部である第２アーム部８の上側に配置されるとともに第２アーム部８に回動可能に連結される被支持部となっている。また、第１アーム部７と第２アーム部８との関係において、第１アーム部７は、支持部となっており、第２アーム部８は、支持部である第１アーム部７の上側に配置されるとともに第１アーム部７に回動可能に連結される被支持部となっている。また、本体部５と第１アーム部７との関係において、本体部５は、支持部となっており、第１アーム部７は、支持部である本体部５の上側に配置されるとともに本体部５に回動可能に被支持部となっている。

【0023】

（本体部、アームおよびハンドの構成）
図３は、図１に示すアーム４が伸びている状態のハンド３およびアーム４の平面図である。図４は、図３のＥ－Ｅ断面の断面図である。図５は、図４のＦ部の拡大図である。図６は、図４のＧ部の拡大図である。図７は、図４のＨ部の拡大図である。

【0024】

本体部５は、中空状に形成されるケース体１４を備えている。ケース体１４の内部には、上下方向を回動の軸方向としてケース体１４に対して回動可能な中空状の回動軸１５が配置されている。また、本体部５は、ケース体１４の上端に形成される開口を塞ぐようにケース体１４の上端部に固定される円板状のカバー１６と、ケース体１４またはカバー１６に固定される筒状の固定部材１７とを備えている。カバー１６の外形は、ケース体１４の外形よりも大きくなっている。固定部材１７には、プーリ１８が固定されている。

【0025】

回動軸１５は、上下方向を軸方向とする略円筒状に形成されている。固定部材１７は、上下方向を軸方向とする略円筒状に形成されている。回動軸１５は、固定部材１７の内周側に配置されている。カバー１６の中心部には、固定部材１７の一部が配置される貫通穴が形成されており、固定部材１７は、カバー１６の中心部に固定されている。固定部材１７の上端は、カバー１６の上面よりも上側に配置され、固定部材１７の下端は、カバー１６の上面よりも下側に配置されている。

【0026】

回動軸１５の上端は、カバー１６の上面よりも上側に配置されている。回動軸１５の上端には、第１アーム部７の基端側が固定されている。ケース体１４の内部には、ケース体１４に対して回動軸１５を回動させるためのモータ（図示省略）が配置されている。このモータには、たとえば、プーリ、ベルトおよび減速機を介して回動軸１５が連結されている。

【0027】

第１アーム部７は、細長い中空の箱状に形成されるアーム部本体２１と、平板状の２枚のカバー２２、２３とを備えている（図４参照）。アーム部本体２１の上面は、アーム部本体２１の先端部を除いて開口している。アーム部本体２１の下面は、アーム部本体２１の基端部を除いて開口している。カバー２２は、アーム部本体２１の上面に形成される開口を塞ぐようにアーム部本体２１の上面側に固定されている。カバー２３は、アーム部本体２１の下面に形成される開口を塞ぐようにアーム部本体２１の下面側に固定されている。

【0028】

アーム部本体２１の基端側の下面には、上下方向に貫通する貫通穴が形成されている。アーム部本体２１の先端側の上面には、上下方向に貫通する貫通穴が形成されている。第１アーム部７は、アーム部本体２１の基端部に固定される固定部材２４と、アーム部本体２１の先端部に固定される中空状の固定軸２５および軸受押え部材２６とを備えている。固定軸２５には、プーリ２７が固定されている。

【0029】

第２アーム部８は、細長い中空の箱状に形成されるアーム部本体２９と、平板状の２枚のカバー３０、３１とを備えている（図４参照）。アーム部本体２９の上面は、アーム部本体２９の先端部を除いて開口している。アーム部本体２９の下面は、アーム部本体２９の基端部を除いて開口している。カバー３０は、アーム部本体２９の上面に形成される開口を塞ぐようにアーム部本体２９の上面側に固定されている。カバー３１は、アーム部本体２９の下面に形成される開口を塞ぐようにアーム部本体２９の下面側に固定されている。

【0030】

アーム部本体２９の基端側の下面には、上下方向に貫通する貫通穴が形成されている。アーム部本体２９の先端側の上面には、上下方向に貫通する貫通穴が形成されている。第２アーム部８は、アーム部本体２９の基端部に固定される筒状の固定部材３２と、アーム部本体２９の先端部に固定される筒状の固定部材３４とを備えている。固定部材３２には、プーリ３３が固定されている。

【0031】

ハンド３は、ウエハ２が搭載されるウエハ搭載部３６と、ハンド３の基端部を構成するハンド基部３７と、ハンド基部３７に固定される固定部材３８を備えている。固定部材３８には、プーリ３９が固定されている。ウエハ搭載部３６は、略Ｙ型の平板状に形成されている。ウエハ搭載部３６は、ハンド基部３７の先端部に固定されている。ハンド基部３７は、中空状に形成されている。ハンド３のより具体的な構成については後述する。

【0032】

（関節部の構成）
図５に示すように、固定部材１７の、カバー１６の上面よりも上側に配置される部分である上端部１７ａは、大径部１７ｂと、大径部１７ｂよりも外径の小さい中径部１７ｃと、中径部１７ｃよりも外径の小さい小径部１７ｄとによって構成されている。大径部１７ｂと中径部１７ｃと小径部１７ｄとは、下側からこの順番に配置されている。大径部１７ｂの下面は、カバー１６の上面に接触している。大径部１７ｂの下面とカバー１６の上面との間には、大径部１７ｂの内周側への液体の浸入を防止するためのＯリング等のシール部材が配置されている。

【0033】

関節部１０では、上述のように、固定部材１７の内周側に回動軸１５が配置されている。固定部材１７の上端部１７ａは、関節部１０において本体部５の外周面の一部を構成している。具体的には、上端部１７ａは、関節部１０において本体部５の外周面の上端部を構成している。本形態の固定部材１７は、関節部１０において本体部５の外周側部分の一部を構成する環状の支持側部材となっている。

【0034】

回動軸１５は、軸受４２を介して固定部材１７に回動可能に支持されている。プーリ１８は、固定部材１７の小径部１７ｄの上端部に固定されている。回動軸１５の上端部および固定部材１７の上端部１７ａは、アーム部本体２１の基端側の下面に形成される貫通穴に挿入されている。回動軸１５の上端部および小径部１７ｄは、アーム部本体２１の基端側の内部に配置されている。プーリ１８および軸受４２も、アーム部本体２１の基端側の内部に配置されている。

【0035】

固定部材２４は、アーム部本体２１の基端側の内部でアーム部本体２１の基端部に固定されている。また、固定部材２４は、回動軸１５の上端に固定されており、軸受４２を介して固定部材１７に回動可能に支持されている。そのため、アーム部本体２１は、固定部材１７に対して回動可能となっている。すなわち、第１アーム部７は、固定部材１７およびケース体１４に対して回動可能となっている。

【0036】

アーム部本体２１の基端側部分は、関節部１０において第１アーム部７の外周側部分を構成している。アーム部本体２１の下面は、固定部材１７の中径部１７ｃの上端よりも下側に配置されている。アーム部本体２１の基端部には、関節部１０の径方向の外側から中径部１７ｃの上端部および小径部１７ｄを全周に亘って覆う（囲む）筒状の筒状覆部２１ａが形成されている。すなわち、アーム部本体２１は、関節部１０の径方向の外側から固定部材１７の上側部分を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部２１ａを備えている。本形態のアーム部本体２１は、関節部１０において第１アーム部７の外周側部分を構成する被支持側部材となっている。

【0037】

筒状覆部２１ａの下面は、アーム部本体２１の下面の一部を構成している。筒状覆部２１ａの下面は、中径部１７ｃの上端よりも下側に配置されている。すなわち、筒状覆部２１ａの下面は、小径部１７ｄの上面よりも下側に配置されており、筒状覆部２１ａの下端は、固定部材１７の上端よりも下側に配置されている。

【0038】

関節部１１において、固定軸２５は、アーム部本体２１の先端側の内部に配置されている。固定軸２５は、上下方向を軸方向とする細長い円筒状に形成されている。アーム部本体２１には、固定軸２５の下端部が固定されている。プーリ２７は、固定軸２５の上端に固定されている。プーリ２７は、アーム部本体２９の基端側の内部に配置されている。軸受押え部材２６は、円環状に形成されている。また、軸受押え部材２６は、上下方向の長さが短い扁平な円筒状に形成されている。

【0039】

軸受押え部材２６は、アーム部本体２１の先端部の上面側に固定されている。軸受押え部材２６の上端は、アーム部本体２１の上面およびカバー２２の上面よりも上側に配置されている。軸受押え部材２６は、関節部１１において第１アーム部７の外周面の一部を構成している。具体的には、軸受押え部材２６は、関節部１１において第１アーム部７の外周面の上端部を構成している。軸受押え部材２６は、後述の軸受４５を上側から押える機能を果たしている。本形態の軸受押え部材２６は、関節部１１において第１アーム部７の外周側部分の一部を構成する環状の支持側部材となっている。

【0040】

固定部材３２は、アーム部本体２９の基端側の下面に固定されている。固定部材３２の上端部の外周面は、アーム部本体２９の基端部の下面に形成される貫通穴の内周面に接触している。プーリ３３は、固定部材３２の下端に固定されている。固定部材３２は、軸受押え部材２６の内周側に挿入されており、固定部材３２の下端部およびプーリ３３は、アーム部本体２１の先端側の内部に配置されている。プーリ３３とプーリ１８とには、図示を省略するベルトが架け渡されている。

【0041】

固定軸２５は、固定部材３２およびプーリ３３の内周側に配置されている。固定部材３２およびプーリ３３は、軸受４４を介して固定軸２５に回動可能に支持されている。また、固定部材３２およびプーリ３３は、軸受４５を介してアーム部本体２１の先端部および軸受押え部材２６に回動可能に支持されている。そのため、固定部材３２は、アーム部本体２１および固定軸２５に対して回動可能となっている。すなわち、第２アーム部８は、第１アーム部７に対して回動可能となっている。

【0042】

アーム部本体２９の基端側部分は、関節部１１において第２アーム部８の外周側部分を構成している。アーム部本体２９の基端部の下面には、軸受押え部材２６の上端部が配置される凹部２９ｂが形成されている。凹部２９ｂは、上側に向かって窪む円環状に形成されている。アーム部本体２９の下面は、軸受押え部材２６の上端よりも下側に配置されている。本形態のアーム部本体２９は、関節部１１において第２アーム部８の外周側部分を構成する被支持側部材となっている。

【0043】

関節部１１の径方向における凹部２９ｂの外側部分は、関節部１１の径方向の外側から軸受押え部材２６の上端部を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部２９ａとなっている。すなわち、アーム部本体２９の基端部には、関節部１１の径方向の外側から軸受押え部材２６の上端部を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部２９ａが形成されており、アーム部本体２９は、関節部１１の径方向の外側から軸受押え部材２６の上側部分を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部２９ａを備えている。上述のように、アーム部本体２９の下面は、軸受押え部材２６の上端よりも下側に配置されており、筒状覆部２９ａの下端は、軸受押え部材２６の上端よりも下側に配置されている。

【0044】

関節部１２において、アーム部本体２９の内部には、アーム部本体２９の下端側から上側に突出する円筒状の中空軸部２９ｃが形成されている。固定部材３４は、円環状に形成されている。また、固定部材３４は、上下方向の長さが短い扁平な円筒状に形成されている。固定部材３４は、アーム部本体２９の先端部の上面側に固定されている。固定部材３４の上端は、アーム部本体２９の上面およびカバー３０の上面よりも上側に配置されている。固定部材３４は、関節部１２において第２アーム部８の外周面の一部を構成している。具体的には、固定部材３４は、関節部１２において第２アーム部８の外周面の上端部を構成している。本形態の固定部材３４は、関節部１２において第２アーム部８の外周側部分の一部を構成する環状の支持側部材となっている。

【0045】

固定部材３８は、鍔部３８ｂを有する鍔付きの円筒状に形成されている。固定部材３８は、ハンド基部３７の下面に固定されている。プーリ３９は、固定部材３８の下端に固定されている。プーリ３９の上端部および固定部材３８の下端部は、固定部材３４の内周側に挿入されている。プーリ３９の下端部は、アーム部本体２９の先端側の内部に配置されている。プーリ３９とプーリ２７とには、図示を省略するベルトが架け渡されている。中空軸部２９ｃは、プーリ３９の内周側に配置されている。固定部材３８およびプーリ３９は、軸受４７を介して中空軸部２９ｃに回動可能に支持されている。そのため、固定部材３８およびプーリ３９は、アーム部本体２９に対して回動可能となっている。すなわち、ハンド３は、第２アーム部８に対して回動可能となっている。

【0046】

固定部材３８の鍔部３８ｂは、関節部１２の径方向の外側に広がる円環状に形成されている。鍔部３８ｂは、固定部材３８の下側部分に形成されている。固定部材３８は、関節部１２においてハンド３の外周面の一部を構成している。具体的には、固定部材３８は、関節部１２においてハンド３の外周面の下端部を構成している。鍔部３８ｂの下面には、固定部材３４の上端部が配置される凹部３８ｃが形成されている。凹部３８ｃは、上側に向かって窪む円環状に形成されている。鍔部３８ｂの下面は、固定部材３４の上端よりも下側に配置されている。本形態の固定部材３８は、関節部１２においてハンド３の外周側部分の一部を構成する被支持側部材となっている。

【0047】

関節部１２の径方向における凹部３８ｃの外側部分は、関節部１２の径方向の外側から固定部材３４の上端部を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部３８ａとなっている。すなわち、固定部材３８には、関節部１２の径方向の外側から固定部材３４の上端部を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部３８ａが形成されており、固定部材３８は、関節部１２の径方向の外側から固定部材３４の上側部分を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部３８ａを備えている。上述のように、鍔部３８ｂの下面は、固定部材３４の上端よりも下側に配置されており、筒状覆部３８ａの下端は、固定部材３４の上端よりも下側に配置されている。

【0048】

（ハンドの構成）
図８は、図３のＪ－Ｊ断面の断面図である。

【0049】

ハンド３は、ウエハ搭載部３６、ハンド基部３７および固定部材３８に加えて、ウエハ２の端面が当接する当接面を有する２個の端面当接部材４８と、ウエハ２が載置される２個のウエハ載置部材４９と、端面当接部材４８の当接面に向かってウエハ２を押し付ける押付部材５０と、押付部材５０を移動させる移動機構５１とを備えている。ハンド基部３７は、ハンド基部本体５３と、ハンド基部本体５３の上面に固定されるカバー５４とを備えている。

【0050】

端面当接部材４８は、略Ｙ形状をなすウエハ搭載部３６の先端部の２箇所に配置されている。すなわち、端面当接部材４８は、ハンド３の先端側に配置されている。ウエハ載置部材４９は、ウエハ搭載部３６の基端側に配置されている。ウエハ２は、２個の端面当接部材４８と２個のウエハ載置部材４９とに搭載される。

【0051】

押付部材５０は、ウエハ２の端面に接触する２個のローラ５６と、２個のローラ５６を回転可能に保持するローラ保持部材５７と、ローラ保持部材５７が固定される基材５８とを備えている。ローラ５６は、略Ｙ形状をなすローラ保持部材５７の先端部の２箇所に取り付けられている。基材５８は、上下方向を厚さ方向とする細長い長方形の平板状に形成されている。基材５８は、押付部材５０の基端側部分を構成している。ローラ保持部材５７は、基材５８の長手方向の一端部となる先端部に固定されている。

【0052】

移動機構５１は、ハンド基部３７の内部に配置されている。すなわち、移動機構５１は、ハンド３の基端側の内部に配置されている。具体的には、ハンド基部本体５３に、ハンド基部本体５３の上面から下側に向かって窪む凹部が形成されており、この凹部の中に移動機構５１が配置されている。移動機構５１は、駆動源としてのエアシリンダ６０と、エアシリンダ６０の動力で水平方向にスライドするスライド軸６１と、スライド軸６１をスライド可能に保持する軸保持部材６２とを備えている。

【0053】

エアシリンダ６０は、ハンド基部本体５３に固定されている。スライド軸６１は、細長い円柱状に形成されている。スライド軸６１の軸方向におけるスライド軸６１の一端であるスライド軸６１の基端は、エアシリンダ６０のロッドに取り付けられている。スライド軸６１の軸方向におけるスライド軸６１の他端であるスライド軸６１の先端には、基材５８の基端が固定されている。すなわち、スライド軸６１の先端には、押付部材５０の基端が固定されている。また、押付部材５０の基端が移動機構５１に連結されている。

【0054】

スライド軸６１の先端側には、スライド軸６１の径方向の外側に広がる鍔部６１ａが形成されている。本形態では、スライド軸６１の先端部が鍔部６１ａとなっている。鍔部６１ａは、円環状に形成されている。スライド軸６１の軸方向から見たときに、鍔部６１ａの外形は、基材５８の外形よりも大きくなっている。

【0055】

軸保持部材６２は、直方体のブロック状に形成されている。軸保持部材６２は、ハンド基部本体５３に固定されている。軸保持部材６２には、スライド軸６１が挿通される貫通穴６２ａが形成されている。スライド軸６１は、軸保持部材６２に対して直線的にスライド可能となっている。エアシリンダ６０は、２個のローラ５６がウエハ２の端面に接触するウエハ保持位置（図１、図３参照）と、２個のローラ５６がウエハ２の端面から離れるように退避する退避位置との間でスライド軸６１および押付部材５０を移動させる。

【0056】

ハンド基部本体５３の上面に固定されるカバー５４は、移動機構５１を上側から覆っている。また、カバー５４は、押付部材５０の基端側部分を上側から覆っている。具体的には、カバー５４は、押付部材５０が退避位置に配置されているときの基材５８の大半部分を上側から覆うとともに、押付部材５０がウエハ保持位置に配置されているときの基材５８の基端側部分を上側から覆っている。押付部材５０がウエハ保持位置に配置されている状態においても、スライド軸６１の先端は、カバー５４の下側に配置されており、鍔部６１ａは、カバー５４によって上側から覆われている。

【0057】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、本体部５は、関節部１０において本体部５の外周側部分の一部を構成する環状の固定部材１７を備え、本体部５の上側に配置される第１アーム部７は、関節部１０において第１アーム部７の外周側部分を構成するアーム部本体２１を備えている。また、本形態では、アーム部本体２１は、関節部１０の径方向の外側から固定部材１７の上側部分を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部２１ａを備えており、筒状覆部２１ａの下端は、固定部材１７の上端よりも下側に配置されている。そのため、本形態では、関節部１０において、筒状覆部２１ａの下側を通過した液体が固定部材１７の上側を通過しなければ、関節部１０から本体部５の内部に液体は浸入しない。したがって、本形態では、たとえば、ウエハ２から落下した液体が関節部１０から本体部５の内部に浸入するのを抑制することが可能になる。

【0058】

本形態では、第１アーム部７は、関節部１１において第１アーム部７の外周側部分の一部を構成する環状の軸受押え部材２６を備え、第１アーム部７の上側に配置される第２アーム部８は、関節部１１において第２アーム部８の外周側部分を構成するアーム部本体２９を備えている。また、本形態では、アーム部本体２９は、関節部１１の径方向の外側から軸受押え部材２６の上側部分を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部２９ａを備えており、筒状覆部２９ａの下端は、軸受押え部材２６の上端よりも下側に配置されている。そのため、本形態では、関節部１１において、筒状覆部２９ａの下側を通過した液体が軸受押え部材２６の上側を通過しなければ、関節部１１から第１アーム部７の内部に液体は浸入しない。したがって、本形態では、たとえば、ウエハ２から落下した液体が関節部１１から第１アーム部７の内部に浸入するのを抑制することが可能になる。

【0059】

本形態では、第２アーム部８は、関節部１２において第２アーム部８の外周側部分の一部を構成する環状の固定部材３４を備え、第２アーム部８の上側に配置されるハンド３は、関節部１２においてハンド３の外周側部分の一部を構成する固定部材３８を備えている。また、本形態では、固定部材３８は、関節部１２の径方向の外側から固定部材３４の上側部分を全周に亘って覆う筒状の筒状覆部３８ａを備えており、筒状覆部３８ａの下端は、固定部材３４の上端よりも下側に配置されている。そのため、本形態では、関節部１２において、筒状覆部３８ａの下側を通過した液体が固定部材３８の上側を通過しなければ、関節部１２から第２アーム部８の内部に液体は浸入しない。したがって、本形態では、たとえば、ウエハ２から落下した液体が関節部１２から第２アーム部８の内部に浸入するのを抑制することが可能になる。

【0060】

本形態では、基端が移動機構５１に連結される押付部材５０の基端側部分は、ハンド基部３７の内部に配置される移動機構５１を上側から覆うカバー５４によって上側から覆われている。具体的には、基材５８の、少なくとも基端側部分がカバー５４によって上側から覆われている。そのため、本形態では、たとえば、ウエハ２から落下した液体が基材５８の、少なくとも基端側部分に付着しにくくなる。したがって、本形態では、たとえば、ウエハ２から落下した液体がハンド基部３７の内部に浸入するのをカバー５４によって抑制することが可能になる。

【0061】

本形態では、押付部材５０の基端が先端に固定されるスライド軸６１は、スライド軸６１が挿通される貫通穴６２ａが形成される軸保持部材６２にスライド可能に保持されているが、スライド軸６１の先端側には、スライド軸６１の径方向の外側に広がる鍔部６１ａが形成されている。そのため、本形態では、たとえば、ウエハ２から落下した液体が軸保持部材６２の貫通穴６２ａを通過してハンド基部３７の内部に浸入するのを鍔部６１ａによって抑制することが可能になる。

【0062】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0063】

上述した形態において、スライド軸６１の先端側に形成される鍔部６１ａがスライド軸６１の先端部となっていなくても良い。すなわち、鍔部６１ａは、スライド軸６１の軸方向において、基材５８の基端と軸保持部材６２との間に形成されていれば良い。また、上述した形態において、アーム４は、互いに回動可能に連結される３個以上のアーム部によって構成されても良い。さらに、上述した形態において、ロボット１が有するハンド３およびアーム４の数は１個であっても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、ウエハ２以外の搬送対象物を搬送しても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、搬送対象物を搬送するためのロボットであるが、本発明が適用されるロボットは、他の用途で使用されるロボットであっても良い。

【符号の説明】

【0064】

１ ロボット（水平多関節ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
３ ハンド（被支持部）
４ アーム
５ 本体部（支持部）
７ 第１アーム部（支持部、被支持部、基端側アーム部）
８ 第２アーム部（支持部、被支持部、先端側アーム部）
１０～１２ 関節部
１７ 固定部材（支持側部材）
２１ アーム部本体（被支持側部材）
２１ａ 筒状覆部
２６ 軸受押え部材（支持側部材）
２９ アーム部本体（被支持側部材）
２９ａ 筒状覆部
３４ 固定部材（支持側部材）
３８ 固定部材（被支持側部材）
３８ａ 筒状覆部
４８ 端面当接部材
５０ 押付部材
５１ 移動機構
５４ カバー
６１ スライド軸
６１ａ 鍔部
６２ 軸保持部材
６２ａ 貫通穴

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】