特開 2023-81245 基板固定装置及びプリント配線板検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023081245

(43)【公開日】2023-06-09

(54)【発明の名称】基板固定装置及びプリント配線板検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01R 31/28 20060101AFI20230602BHJP

   H05K 3/00 20060101ALI20230602BHJP

   G01R 31/52 20200101ALI20230602BHJP

   G01R 31/54 20200101ALI20230602BHJP

   B25B 11/00 20060101ALI20230602BHJP

【ＦＩ】

G01R31/28 J

H05K3/00 V

G01R31/52

G01R31/54

B25B11/00 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021195032

(22)【出願日】2021-11-30

【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第２項適用申請有り 令和３年４月１２日に株式会社大昌電子へ販売品を設置

(71)【出願人】

【識別番号】594033824

【氏名又は名称】マイクロクラフト株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100108958

【弁理士】

【氏名又は名称】須田 英一

(72)【発明者】

【氏名】秀平 崇行

【テーマコード（参考）】

2G014

2G132

3C020

【Ｆターム（参考）】

2G014AA02

2G014AA03

2G014AA13

2G014AB59

2G132AF02

2G132AK03

2G132AL00

3C020XX06

(57)【要約】

【課題】 小型化かつ低コストで作成可能にする。
【解決手段】 本発明の基板固定装置２は、プリント配線板６に設定された被固定部位Ｆの略全長を、基台部に対して固定／解放可能な一対のクランプ部１４、１８と、該クランプ部１４、１８を相対移動させる膨縮体１５とを備える第一固定機構８を含んでいる。クランプ部１４、１８は、互いの先端部が被固定部位Ｆの両面を把持して固定する。膨縮体１５は、クランプ部１４、１８の基端部側における互いの対峙面の間に配設され、被固定部位Ｆの略長さ方向に延びる中空体であり、前記基端部側の各対峙面のそれぞれに外面が面状に当接するように配設されるとともに、被固定部位Ｆの長さ方向の略全長に渡って略同一断面形状に形成されており、内部にエアーが供給されると膨張してクランプ部１４、１８の前記基端部側を離隔させ、該内部からエアーが排出されると収縮して該基端部側を近接させる。
【選択図】 図８

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板の縁部に設定されて該縁部の長さ方向に延びる被固定部位の略全長を、基台部に対して固定及び解放可能に設けられた一対のクランプ部と、
前記被固定部位を固定及び解除するように、該一対のクランプ部を互いに相対移動させる駆動手段とを備えており、
前記一対のクランプ部は、互いの基端部側が相対的に前記駆動手段により駆動されることにより、互いの先端部が前記被固定部位の両面を把持して該被固定部位を固定するように構成され、
前記駆動手段は、前記一対のクランプ部の前記基端部側における互いの対峙面の間に配設され、前記被固定部位の長さ方向と略平行に延びる中空の膨縮体であり、
該膨縮体は、前記基端部側の各対峙面のそれぞれに外面が少なくとも膨張時に面状に当接するように配設されるとともに、前記被固定部位の長さ方向の略全長に渡って略同一断面形状になるように形成されており、内部に流体が供給されると膨張して前記一対のクランプ部の前記基端部側を離隔させ、該内部から流体が排出されると収縮して該基端部側を近接させることにより、前記一対のクランプ部を互いに相対移動させるように構成されている基板固定装置。

【請求項2】

一方の前記クランプ部は、前記基台部に固定されており、他方の前記クランプ部は、前記一方のクランプ部に対して相対移動可能に設けられており、
前記膨縮体は、前記一方のクランプ部に対して前記他方のクランプ部を相対移動させるように構成されている請求項１記載の基板固定装置。

【請求項3】

前記他方のクランプ部は、その基端部側が前記被固定部位の長さ方向と平行に延びる軸体で回動自在に支持されている請求項２記載の基板固定装置。

【請求項4】

前記他方のクランプ部は、前記一方のクランプ部に対して、略平行に接近又は離間可能に支持されている請求項２記載の基板固定装置。

【請求項5】

前記一対のクランプ部は、それぞれが前記基台部に対して相対移動可能に設けられており、
前記膨縮体は、前記一対のクランプ部を互いに相対移動させるように構成されている請求項１記載の基板固定装置。

【請求項6】

前記一対のクランプ部は、それぞれの基端部側が前記被固定部位の長さ方向と平行に延びる軸体で回動自在に支持されている請求項５記載の基板固定装置。

【請求項7】

前記一対のクランプ部は、互いに略平行に接近又は離間可能に支持されている請求項５記載の基板固定装置。

【請求項8】

請求項１～７のいずれか一項に記載の基板固定装置を含んでいるプリント配線板検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、板状に形成された基板を固定するための基板固定装置及びそれを含むプリント配線板検査装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

背景技術としては、特許文献１に記載されたプリント基板検査装置１０１を例示する。このプリント基板検査装置１０１は、図１０に示すように、プリント基板１０２を把持するための把持装置１０３の把持機構として、エアシリンダによって回動される伝達軸１１４と、該伝達軸１１４のトルク（回転力）がリンク（図示略）を介して伝達されることによって回動させられる可動爪１１６と、該可動爪１１６とともにプリント基板１０２の端縁を把持（クランプ）する固定爪１１７とを備えている。そして、エアシリンダで回動される可動爪１１６の挟持面が、固定爪１１７の挟持面とともにプリント基板１０２の端縁を挟持する構成となっている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第２８９９４９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところが、特許文献１のプリント基板検査装置１０１は、前記把持機構の外部に設けられた駆動手段としてのエアシリンダを含めた把持部の構成が大きいため、それを含むプリント基板検査装置１０１の構成も大きくなってしまうという課題がある。また、駆動手段としてエアシリンダの代わりにロータリーシリンダやモータを用いて偏心カムを回動させることで、固定爪の挟持面とともにプリント基板１０２の端縁を挟持するように構成されている把持部もある。この構成の把持部では、エアシリンダを用いたものに比べれば多少の小型化や薄型化が可能になるものの、エアシリンダを用いた把持部よりも、部品点数が増えて組み立てやメンテナンスが困難になるため、コスト増になるという課題がある。

【0005】

そこで、仮に前記把持機構の内部（例えば、可動爪１１６と固定爪１１７の間）に前述した従来の駆動手段（エアシリンダ、ロータリーシリンダ、モータ）を設けることも考えられないことはないが、そうすると前記把持機構が厚くなるという課題が発生する。十分な把持力を生じさせるための駆動力を駆動源に備えさせようとすると、それに応じて該駆動源が大型化するためである（例えば、エアシリンダの出力はその円筒の内径に比例する）。特に、プリント基板検査装置として、プリント基板１０２の両面から検査を行う構成を採用する場合、プローブがプリント基板１０２の両面側に配置されるので、プリント基板１０２を把持する前記把持機構が該両プローブに挟まれた位置に配置される。そのため、前記把持機構が厚くなると、それに干渉しないようにそれから両プローブを遠ざける必要があり、その結果、プローブと基板面の間の距離が離れ、プローブの位置精度が低下するという課題も発生する。

【0006】

また、特許文献１のように構成されたプリント基板検査装置１０１においては、プリント基板１０２の被把持部位の長さが長いときでもその略全体を可動爪１１６と固定爪１１７により均一な力で把持できるようにするために、可動爪１１６の幅方向における複数箇所にエアシリンダの駆動力を伝動するように、エアシリンダと可動爪１１６との間の伝動機構が構成される場合が多い。その場合、前記複数箇所へ動力が均一に伝動するように前記伝動機構を構成しないと、場所によって把持力に差が発生してしまう。そのため、前記伝動機構の調整にコストが掛かるという課題がある。そして、この課題は、駆動手段としてエアシリンダに代えてロータリーシリンダやモータを用いた場合にも存在する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記課題を解決するために、第１の発明の基板固定装置は、
基板の縁部に設定されて該縁部の長さ方向に延びる被固定部位の略全長を、基台部に対して固定及び解放可能に設けられた一対のクランプ部と、
前記被固定部位を固定及び解除するように、該一対のクランプ部を互いに相対移動させる駆動手段とを備えており、
前記一対のクランプ部は、互いの基端部側が相対的に前記駆動手段により駆動されることにより、互いの先端部が前記被固定部位の両面を把持して該被固定部位を固定するように構成され、
前記駆動手段は、前記一対のクランプ部の前記基端部側における互いの対峙面の間に配設され、前記被固定部位の長さ方向と略平行に延びる中空の膨縮体であり、
該膨縮体は、前記基端部側の各対峙面のそれぞれに対し、前記被固定部位の長さ方向と略平行に延びる外面が少なくとも膨張時に面状に当接するように配設されるとともに、前記被固定部位における前記被固定部位の長さ方向の略全長に渡って略同一断面形状になるように形成されており、内部に流体が供給されると膨張して前記一対のクランプ部の前記基端部側を離隔させ、該内部から流体が排出されると収縮して該基端部側を近接させることにより、前記一対のクランプ部を互いに相対移動させるように構成されている。

【0008】

前記基板としては、板状に形成されたものであれば特に限定されないが、配線がプリントされたプリント配線板（回路素子が設けられていてもよいし、設けられていなくてもよい。）、配線がプリントされていない板体等を例示する。前記流体としては、特に限定されないが、気体（例えば空気）又は液体（例えば油圧作動油）を例示する。前記被固定部位の長さ方向とは、それが設定されている前記縁部の長さ方向のことである。

【0009】

この構成によれば、前記駆動手段として、前記一対のクランプ部の間に配設された前記膨縮体を使用しているので、従来の駆動手段（エアシリンダ、ロータリーシリンダ、モータ）を使用する場合と比べ、設置スペースを大幅に低減でき、小型化することができる。しかも、前記従来の駆動手段と比べ、部品点数が減らすことができ、組み立ても簡単なため、低コストで作成することができる。また、前記膨縮体は、前記クランプ部との接触面積に応じた推力を得ることができ、前記被固定部位の長さ方向と略平行に延びる外面が面状に当接するように構成されているので、小型ながら大きな推力を得ることができる。しかも、前記膨縮体は、前記被固定部位における前記被固定部位の長さ方向の略全長に渡って略同一断面形状になるように形成されているので、パスカルの原理により、該略全長に渡って均一な推力を得ることができる。

【0010】

第２の発明の基板固定装置としては、前記第１の発明において、
一方の前記クランプ部は、前記基台部に固定されており、他方の前記クランプ部は、前記一方のクランプ部に対して相対移動可能に設けられており、
前記膨縮体は、前記一方のクランプ部に対して前記他方のクランプ部を相対移動させるように構成されている態様を例示する。

【0011】

この構成によれば、一方の前記クランプ部が前記基台部に固定されており、他方の前記クランプ部のみが駆動される構成として、前記第１の発明の基板固定装置を具体化できる。そして、この構成によれば、前記他方のクランプ部のみを駆動すればよいので、部品点数を少なくでき、組み立ても簡単なため、低コストで作成することができる。

【0012】

第３の発明の基板固定装置としては、前記第２の発明において、
前記他方のクランプ部は、その基端部側が前記被固定部位の長さ方向と平行に延びる軸体で回動自在に支持されている態様を例示する。

【0013】

前記軸体としては、特に限定されないが、直線状に延びる軸のほかに、直線上に列設された支点の集合体であって軸のように作用するものを含むものとする。前記軸体の位置は、特に限定されないが、前記先端部と前記膨縮体の間にしたり、前記膨縮体から前記基端部の間又は前記基端部にしたりすることを例示する。

【0014】

この構成のように、前記第２の発明の基板固定装置を具体化することができる。

【0015】

第４の発明の基板固定装置としては、前記第２の発明において、
前記他方のクランプ部は、前記一方のクランプ部に対して、略平行に接近又は離間可能に支持されている態様を例示する。

【0016】

前記一対のクランプ部の支持方法としては、特に限定されないが、前記一対のクランプ部と前記膨縮体の当接部位を固定することにより、前記膨縮体を介して前記一方のクランプ部に支持する態様や、前記基台部又は前記一方のクランプ部に設けられ、該他方のクランプ部を前記略平行にスライド移動可能にガイドするガイド部材を介して前記基台部又は前記一方のクランプ部に支持する態様を例示する。

【0017】

この構成のように、前記第２の発明の基板固定装置を具体化することもできる。

【0018】

第５の発明の基板固定装置としては、前記第１の発明において、
前記一対のクランプ部は、それぞれが前記基台部に対して相対移動可能に設けられており、
前記膨縮体は、前記一対のクランプ部を互いに相対移動させるように構成されている態様を例示する。

【0019】

この構成によれば、前記一対のクランプ部の両方が駆動される構成として、前記第１の発明の基板固定装置を具体化できる。

【0020】

第６の発明の基板固定装置としては、前記第５の発明において、
前記一対のクランプ部は、それぞれの基端部側が前記被固定部位の長さ方向と平行に延びる軸体で回動自在に支持されている態様を例示する。

【0021】

前記軸体としては、特に限定されないが、直線状に延びる軸のほかに、直線上に列設された支点の集合体であって軸のように作用するものを含むものとする。前記軸体の位置としては、特に限定されないが、前記先端部と前記膨縮体の間にしたり、前記膨縮体から前記基端部の間にしたり、前記基端部にしたりすることを例示する。また、前記軸体としては、前記一対のクランプ部に対して共通のものを設けたり、各前記クランプ部に対してそれぞれ設けたりすることを例示する。

【0022】

この構成のように、前記第５の発明の基板固定装置を具体化することができる。

【0023】

第７の発明の基板固定装置としては、前記第５の発明において、
前記一対のクランプ部は、互いに略平行に接近又は離間可能に支持されている態様を例示する。

【0024】

前記一対のクランプ部の支持方法としては、特に限定されないが、前記一対のクランプ部と前記膨縮体の当接部を固定するとともに、該膨縮体を基台部に固定することにより、前記膨縮体を介して前記基台部に支持する態様や、前記基台部に設けられ、該各クランプ部を前記略平行にスライド移動可能にガイドするガイド部材を介して前記基台部に支持する態様を例示する。

【0025】

この構成のように、前記第５の発明の基板固定装置を具体化することもできる。

【0026】

第８の発明のプリント配線板検査装置は、前記第１～第７のいずれかの発明に係る基板固定装置を含んでいる。

【0027】

この構成によれば、前記第１～第７のいずれかの発明に係る基板固定装置と同様の作用効果を得ることができる。

【発明の効果】

【0028】

本発明に係る基板固定装置及びプリント配線板検査装置によれば、小型化することができるとともに、低コストで作成することができるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】本発明を具体化した一実施形態に係る基板固定装置及びプリント配線板検査装置の構成図である。

【図2】同検査装置の平面図である。

【図3】同固定装置の平面図である。

【図4】同固定装置の第一固定機構の斜視図である。

【図5】同第一固定機構の斜視図の一部拡大図（一部部品は図示せず。）である。

【図6】図４の分解斜視図である。

【図7】同固定装置の膨縮体を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は（ｂ）のＣ－Ｃ線端面図、（ｄ）は（ｂ）のＤ－Ｄ線端面図である。

【図8】図３のＡ－Ａ線断面図であり、（ａ）は一対のクランプ部が開いた状態、（ｂ）は同クランプ部が閉じた状態をそれぞれ表している。

【図9】図３のＢ－Ｂ線断面図であり、（ａ）は一対のクランプ部が開いた状態、（ｂ）は同クランプ部が閉じた状態をそれぞれ表している。

【図10】背景技術に係るプリント基板検査装置の把持機構の構成を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

図１～図９は本発明を具体化した一実施形態のプリント配線板検査装置１とそれに含まれる基板固定装置２を示している。

【0031】

プリント配線板検査装置１は、図１及び図２に示すように、基台部１２、基板固定装置２、プローブ５、プローブ支持部４、移動機構部３（移動機構３ａ、移動機構３ｂ）、測定部９、記憶部１０、及び、制御部１１を備えており、基板固定装置２により固定された基板としてのプリント配線板６の各検査点に対してプローブ５の検査針５ａを接触させることを繰り返すことで検査を行うように構成されている。

【0032】

基台部１２は、中央部にプリント配線板６を配置するための開口部１３を有しており、該開口部１３内には、後述する基板固定装置２によりプリント配線板６が固定される。

【0033】

プローブ５は、プリント配線板６の検査点に接触させる検査針５ａを備えている。本例のプリント配線板検査装置１は、プリント配線板６の両面から検査を行うように、プローブ５がプリント配線板６の両面にそれぞれ配置されている。

【0034】

プローブ支持部４は、移動機構３ａに対してプローブ５を支持するように構成されている。

【0035】

移動機構３ａは、各種モータ、そのモータを駆動させるモータドライバなどから構成されており、プローブ５を、プリント配線板６の板面と平行方向（ＸＹ方向）及び垂直方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。

【0036】

移動機構３ｂは、各種モータ、そのモータを駆動させるモータドライバなどから構成されており、後述する基板固定装置２の第二固定機構７を、プリント配線板６に対して１方向（Ｙ方向）に移動可能に構成されている。

【0037】

測定部９は、電圧源、電流源、計測器などから構成され、プローブ５に接続されており、プローブ５間に電流を流したり、電圧を印加したりすることにより、プリント配線板６内の回路の抵抗等を測定することが可能に構成されている。

【0038】

記憶部１０は、例えばＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）、ハードディスク等のメモリにより構成されており、測定した値や、その演算結果などを一時的に記憶するように構成されている。

【0039】

制御部１１は、ＣＰＵ（中央処理装置）、ＲＡＭ、ＲＯＭ（リード・オンリー・メモリ）等により構成されており、移動機構部３の駆動制御や、測定部９によって測定された抵抗値などが不良であるかどうかを判定する処理などを行う。

【0040】

基板固定装置２は、図３～図９に示すように、プリント配線板６の下縁部に設定された被固定部位Ｆを把持する第一固定機構８と、プリント配線板６の上縁部に設定された被固定部位Ｆを把持する第二固定機構７を備えている。第一固定機構８は、基台部１２の開口部１３の下縁部に取り付けられている。第二固定機構７は、移動機構３ｂを介して、第一固定機構８と平行に、基台部１２の開口部１３の上縁部に取り付けられることにより、プリント配線板６の縦サイズに対応させるために、Ｙ方向（上下方向）に移動可能になっている。

【0041】

第一固定機構８は、一対のクランプ部１４、１８と、被固定部位Ｆを固定及び解除するように、該一対のクランプ部１４、１８を互いに相対移動させる駆動手段としての膨縮体１５とを備える。

【0042】

一対のクランプ部１４、１８は、プリント配線板６の縁部における略直線状に延びる被固定部位Ｆの略全長を、基台部１２に対して固定及び解放可能に設けられている。この一対のクランプ部１４、１８は、被固定部位Ｆの長さ方向と略平行に延びる、それぞれの先端部で被固定部位Ｆの両面を把持することで該被固定部位Ｆを固定するように構成されている。

【0043】

本例では、一方のクランプ部１４は、基台部１２に固定されており、他方のクランプ部１８は、クランプ部１４に対して相対移動可能に設けられており、膨縮体１５は、一方のクランプ部１４に対して他方のクランプ部１８を相対移動させるように構成されている。

【0044】

第一クランプ部１４は、端部１４ａ及び支持部１４ｂ、１４ｃ等から構成され、端部１４ａでプリント配線板６を把持する。端部１４ａは支持部１４ｂに取り付けられ、支持部１４ｂは支持部１４ｃを介して基台部１２に取り付けられる。

【0045】

第二クランプ部１８は、被固定部位Ｆの長さ方向と平行に延びる軸体１９を支軸として、基端側が略回動可能に取り付けられており、その端部で第一クランプ部１４とともにプリント配線板６を把持するように構成されている。この構成は本例において次のように具体化している。すなわち、軸体１９は、被固定部位Ｆの長さ方向に沿って列設された複数の被係止穴１９ｂを備えており、各被係止穴１９ｂは、第一クランプ部１４に立設されたピン２０に挿通されるとともに、ピン２０の先端に設けられた係止部２０ａによりピン２０から脱落しないように係止されている。そして、軸体１９と第一クランプ部１４の間には、各被係止穴１９ｂと対応する位置にそれぞれ設けられた複数の貫通穴１８ａにピン２０が挿通されるとともに、該ピン２０の長さ方向にスライド可能かつ、図８及び図９における左右方向へ該ピン２０に対して傾動可能に、第二クランプ部１８が設けられている。本例の貫通穴１８ａは、その直径がピン２０の直径よりもやや大きめに形成されるとともに、開口縁部を面取りする（図８参照）ことにより、前記傾動を可能にしている。軸体１９は、その第二クランプ部１８への対峙面が断面円弧状の周面１９ａになっており（図８参照）、後述する膨縮体１５が第二クランプ部１８を周面１９ａに押しつけながら変形することにより、該周面１９ａに沿って第二クランプ部１８が略回動するようになっている。

【0046】

膨縮体１５は、主に図６～図９に示すように被固定部位Ｆの長さ方向と略平行に延びる、それぞれの基端部側における互いの対峙面の間に、該各対峙面のそれぞれに外面が少なくとも膨張時に面状に当接するように配設されるとともに、被固定部位Ｆの略全長に渡って略同一断面形状になるように形成された中空体となっている。この膨縮体１５は、変形（膨張及び収縮）可能な材料で中空に形成されており、膨縮体１５の一端の開口１５ａ（図７（ｃ）参照）には、中空の内部に連通するエアー供給口１７が設けられており、該エアー供給口１７を介して流体としてのエアーが供給されたり、同エアーが排出されたりするように構成されている。そして、膨縮体１５は、その内部にエアーが供給されると膨張して一対のクランプ部１４、１８の前記基端部側を離隔させたり、該内部からエアーが排出されると収縮して該基端部側を近接させたりすることにより、一対のクランプ部１４、１８を互いに相対移動させるように構成されている。

【0047】

エアー供給口１７にはエアー供給チューブ（図示せず）が接続され、エアーの供給や排出が可能になっている。

【0048】

第二固定機構７に関しては、基本的には第一固定機構８とほぼ同じの構成のため、その構成及び動作の説明を省略する。機構として異なるのは、第二固定機構７は移動機構３ｂを介して基台部１２に取り付けられることにより、Y方向に移動可能に構成されている点である。

【0049】

次に、第一固定機構８の動作について説明する。プリント配線板６の被固定部位Ｆを把持する閉動作は次のとおりである。
（１）図８（ａ）及び図９（ａ）の状態において、前記エアー供給源からエアーの供給が始まると、膨縮体１５が膨張変形を開始する。
（２）エアーの供給を続けると、膨縮体１５はさらに膨張変形し、第二クランプ部１８に接触する。
（３）さらにエアーが供給されると、膨縮体１５はさらに膨張変形し、軸体１９の周面１９ａに沿って、第二クランプ部１８を矢印方向（図の左側）に略回動させ、ストッパー部１６に接触した位置で停止する。この時、第二クランプ部１８の端部は右方向に回動し、図８（ｂ）及び図９（ｂ）に示すように、第一クランプ部端部１４ａとともにプリント配線板６を把持する。

【0050】

また、プリント配線板６の被固定部位Ｆを解放する開動作は次のとおりである。
（１）図８（ｂ）及び図９（ｂ）の状態において、第一クランプ部端部１４ａ、第二クランプ部１８の端部で、プリント配線板６を把持した状態から、膨縮体１５の内部のエアーを開放する。
（２）膨縮体１５は収縮変形し、元の形状（定常状態）に戻り、第二クランプ部１８の端部は図の左方向に回動することで、プリント配線板６の固定が解除される（第二クランプ部１８（端部とは反対側）と第一クランプ支持部１４ｂは付勢手段としての引きバネ２１で引っ張りあっているため、膨縮体１５の収縮変形にあわせて第二クランプ部１８は左に回動し、図８（ａ）及び図９（ａ）に示すように、第一クランプ部端部１４ａ、第二クランプ部１８の端部の間隔が大きくなる（一対のクランプ部１４、１８が開いた状態になる））。

【0051】

以上のように本例の基板固定装置２は、プリント配線板６の縁部に設定されて該縁部の長さ方向に延びる被固定部位Ｆの略全長を、基台部１２に対して固定及び解放可能に設けられた一対のクランプ部１４、１８と、被固定部位Ｆを固定及び解除するように、該一対のクランプ部１４、１８を互いに相対移動させる駆動手段とを備える第一固定機構８及び第二固定機構７を含んでいる。一対のクランプ部１４、１８は、互いの基端部側が相対的に前記駆動手段により駆動されることにより、互いの先端部が被固定部位Ｆの両面を把持して該被固定部位Ｆを固定するように構成されている。前記駆動手段は、一対のクランプ部１４、１８の前記基端部側における互いの対峙面の間に配設され、被固定部位Ｆの長さ方向と略平行に延びる中空の膨縮体１５となっている。該膨縮体１５は、前記基端部側の各対峙面のそれぞれに外面が面状に当接するように配設されるとともに、被固定部位Ｆの長さ方向の略全長に渡って略同一断面形状になるように形成されており、内部に流体としてのエアーが供給されると膨張して一対のクランプ部１４、１８の前記基端部側を離隔させ、該内部からエアーが排出されると収縮して該基端部側を近接させることにより、一対のクランプ部１４、１８を互いに相対移動させるように構成されている。

【0052】

この構成によれば、前記駆動手段として、一対のクランプ部１４、１８の間に配設された膨縮体１５を使用しているので、従来の駆動手段（エアシリンダ、ロータリーシリンダ、モータ）を使用する場合と比べ、設置スペースを大幅に低減でき、小型化することができる。しかも、前記従来の駆動手段と比べ、部品点数が減らすことができ、組み立ても簡単なため、低コストで作成することができる。また、膨縮体１５は、クランプ部１４、１８との接触面積に応じた推力を得ることができ、被固定部位Ｆの長さ方向と略平行に延びる外面が面状に当接するように構成されているので、小型ながら大きな推力を得ることができる。しかも、膨縮体１５は、被固定部位Ｆの長さ方向の略全長に渡って略同一断面形状になるように形成されているので、パスカルの原理により、該略全長に渡って均一な推力を得ることができる。

【0053】

また、一方のクランプ部１４は、基台部１２に固定されており、他方のクランプ部１８は、一方のクランプ部１４に対して相対移動可能に設けられており、膨縮体１５は、一方のクランプ部１４に対して他方のクランプ部１８を相対移動させるように構成されている。この構成によれば、一方のクランプ部１４が基台部１２に固定されており、他方のクランプ部１８のみが駆動される構成として、前記第１の発明の基板固定装置２を具体化できる。そして、この構成によれば、他方のクランプ部１８のみを駆動すればよいので、部品点数を少なくでき、組み立ても簡単なため、低コストで作成することができる。

【0054】

また、他方のクランプ部１８は、その基端部側が被固定部位Ｆの長さ方向と平行に延びる軸体１９で略回動自在に支持されている。この構成のように、前記第２の発明の基板固定装置２を具体化することができる。

【0055】

さらに、プリント配線板検査装置１は、基板固定装置２を含んでおり、基板固定装置２と同様の作用効果を得ることができる。

【0056】

なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のように、発明の趣旨から逸脱しない範囲で適宜変更して具体化することもできる。
（１）軸体１９を省き、他方のクランプ部１８が、一方のクランプ部１４に対して、略平行に接近又は離間可能に支持されている態様にすること。
（２）一対のクランプ部１４、１８は、それぞれが基台部１２に対して相対移動可能に設けられており、膨縮体１５は、一対のクランプ部１４、１８を互いに相対移動させるように構成されている態様にすること。そして、この態様をさらに次の態様に具体化すること。
（ａ）一対のクランプ部１４、１８は、それぞれの基端部側が被固定部位Ｆの長さ方向と平行に延びる軸体で回動自在に支持されている態様。
（ｂ）一対のクランプ部１４、１８は、互いに略平行に接近又は離間可能に支持されている態様。
（３）流体として、気体であるエアーに代えて、液体（例えば油圧作動油）を用いること。

【符号の説明】

【0057】

１ プリント配線板検査装置
２ 基板固定装置
３ 移動機構部
３ａ 移動機構
３ｂ 移動機構
４ プローブ支持部
５ プローブ
５ａ 検査針
６ プリント配線板
７ 第二固定機構
８ 第一固定機構
９ 測定部
１０ 記憶部
１１ 制御部
１２ 基台部
１３ 開口部
１４ 第一クランプ部
１４ａ 端部
１４ｂ 支持部
１４ｃ 支持部
１５ 膨縮体
１５ａ 開口
１６ ストッパー部
１７ エアー供給口
１８ 第二クランプ部
１８ａ 貫通穴
１９ 軸体
１９ａ 周面
１９ｂ 被係止穴
２０ ピン
２０ａ 係止部
２１ 引きバネ
Ｆ 被固定部位

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】