特開 2023-81813 精密メタルマスク及びその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023081813

(43)【公開日】2023-06-13

(54)【発明の名称】精密メタルマスク及びその製造方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/04 20060101AFI20230606BHJP

   G03F 7/20 20060101ALI20230606BHJP

   G09F 9/00 20060101ALI20230606BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20230606BHJP

   H10K 50/00 20230101ALI20230606BHJP

【ＦＩ】

C23C14/04 A

G03F7/20 501

G09F9/00 338

H05B33/10

H05B33/14 A

【審査請求】有

【請求項の数】12

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022056018

(22)【出願日】2022-03-30

(31)【優先権主張番号】110144888

(32)【優先日】2021-12-01

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(71)【出願人】

【識別番号】517313512

【氏名又は名称】達運精密工業股▲ふん▼有限公司

【氏名又は名称原語表記】ＤＡＲＷＩＮ ＰＲＥＣＩＳＩＯＮＳ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ

【住所又は居所原語表記】Ｎｏ．２０－１， Ｇｕａｎｇｆｕ Ｎ． Ｒｄ．， Ｈｕｋｏｕ Ｔｏｗｎｓｈｉｐ， Ｈｓｉｎｃｈｕ Ｃｏｕｎｔｙ， Ｔａｉｗａｎ

(74)【代理人】

【識別番号】100102842

【弁理士】

【氏名又は名称】葛和 清司

(72)【発明者】

【氏名】フアン，クアン－チー

(72)【発明者】

【氏名】リン，チー－ウェイ

【テーマコード（参考）】

2H197

3K107

4K029

5G435

【Ｆターム（参考）】

2H197AB05

2H197AB13

2H197CE01

2H197CE10

2H197HA04

2H197HA08

3K107AA01

3K107BB01

3K107CC35

3K107CC45

3K107FF15

3K107GG04

3K107GG33

4K029BA62

4K029BB03

4K029CA01

4K029HA03

5G435AA17

5G435BB05

5G435KK05

(57)【要約】

【課題】精密メタルマスク及びその製造方法を提供する。
【解決手段】板体を備える精密メタルマスクであって、板体は、対向する、第１の開口を囲んで定義する第１の内縁を有する第１の表面と、第１の開口に連通される第２の開口を囲んで定義する第２の内縁を有する第２の表面と、を含み、第１の開口に位置して第１の表面に接続される第１の円弧面と、第２の開口に位置して第２の表面に接続される第２の円弧面と、を含む。第３の内縁は、第１の円弧面及び第２の円弧面が接続され、第１の開口及び第２の開口よりも小さい第３の開口を囲んで定義する。第３の内縁は、第１の直線辺と、第２の直線辺と、円弧辺と、を含み、第１の直線辺と第２の直線辺とは、共に夾角を形成し、円弧辺は、第１の直線辺と第２の直線辺との間に接続され、１５μｍ以下の半径を有する精密メタルマスク。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

板体を備える精密メタルマスクであって、
前記板体は、
対向する、第１の開口を囲んで定義する少なくとも１つの第１の内縁を有する第１の表面と、前記第１の開口に対応して連通する第２の開口を囲んで定義する少なくとも１つの第２の内縁を有する第２の表面と、を含み、
更に、前記第１の開口内に位置して前記第１の表面に接続される少なくとも１つの第１の円弧面と、前記第２の開口内に位置して前記第２の表面に接続される少なくとも１つの第２の円弧面と、を含み、
また、前記第１の円弧面及び前記第２の円弧面が接続され、前記第１の開口及び前記第２の開口よりも小さい第３の開口を囲んで定義する、第１の直線辺と、第２の直線辺と、前記第１の直線辺と前記第２の直線辺との間に接続され、１５μｍ以下の半径を有する円弧辺と、を含む少なくとも１つの第３の内縁を有し、
前記第１の直線辺と前記第２の直線辺とは、共に夾角を形成する精密メタルマスク。

【請求項2】

前記第２の開口は前記第１の開口よりも大きく、前記第３の内縁と前記第１の内縁は、前記第１の表面に垂直な方向に３μｍ以下の高さを有し、前記第３の内縁と前記第１の内縁は、前記第１の表面に平行な方向に２μｍ以下の幅を有する請求項１に記載の精密メタルマスク。

【請求項3】

前記第３の内縁は、前記第２の表面よりも前記第１の表面に近い請求項１に記載の精密メタルマスク。

【請求項4】

前記第１の表面と前記第２の表面との間に、２０μｍ～５０μｍの範囲にある厚みが定義される請求項１に記載の精密メタルマスク。

【請求項5】

前記第３の内縁は、矩形である請求項１に記載の精密メタルマスク。

【請求項6】

前記第３の内縁は、多角形である請求項１に記載の精密メタルマスク。

【請求項7】

対向する第１の表面と、第２の表面と、を含む板材を提供するステップと、
前記第１の表面に第１のレジストフィルムを設けるステップと、
前記第１のレジストフィルムに、前記板材上の第１のエッチング範囲を囲んで対応し、第１の直線辺と、第２の直線辺と、前記第１の直線辺と前記第２の直線辺との間に接続され、８μｍ以下の長さを有する第３の直線辺と、を含む第１のエッジを有し、前記第１の直線辺と前記第２の直線辺とは、共に第１の夾角を形成する、少なくとも１つの第１のパターンを有する第１の露光マスクを設けるステップと、
前記第２の表面に第２のレジストフィルムを設けるステップと、
前記第２のレジストフィルムに、前記第１のパターンよりも大きく、前記第１のエッチング範囲に対応する前記板材上の第２のエッチング範囲を囲んで対応し、第４の直線辺と、第５の直線辺と、前記第４の直線辺と前記第５の直線辺との間に接続されるとともに、前記第３の直線辺と互いに平行であり、前記第１の表面に平行な方向において、５μｍ以上３０μｍ以下の距離だけ前記第３の直線辺から離間している第６の直線辺と、を含む第２のエッジを有し、前記第４の直線辺と前記第５の直線辺は、共に第２の夾角を形成する、少なくとも１つの第２のパターンを有する第２の露光マスクを設けるステップと、
を含む精密メタルマスクの製造方法。

【請求項8】

前記第１の直線辺と前記第４の直線辺とは互いに平行であり、前記第２の直線辺と前記第５の直線辺とは互いに平行である請求項７に記載の方法。

【請求項9】

前記第１の夾角は、前記第２の夾角と同じである請求項７に記載の方法。

【請求項10】

前記第１の露光マスクを介して前記第１のレジストフィルムを露光させることで前記第１のレジストフィルムを現像し、前記第１のレジストフィルムに前記第１のパターンを形成することで前記第１のエッチング範囲を露出させるステップと、
前記第２の露光マスクを介して前記第２のレジストフィルムを露光させることで前記第２のレジストフィルムを現像し、前記第２のレジストフィルムに前記第２のパターンを形成することで前記第２のエッチング範囲を露出させるステップと、
を更に含む請求項７に記載の方法。

【請求項11】

前記第１の表面をエッチングすることで前記第１のエッチング範囲に第１の開口を形成するステップと、
前記第２の表面をエッチングすることで前記第２のエッチング範囲に前記第１の開口と互いに連通される第２の開口を形成するステップと、
を更に含む請求項７に記載の方法。

【請求項12】

前記第１の表面と前記第２の表面との間に、２０μｍ～５０μｍの範囲にある厚みが定義される請求項７に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、精密メタルマスク及びそれを製造する方法に関する。

【背景技術】

【0002】

今日まで、人々の生活レベルの高まりに伴い、電子製品の適用が生活に欠かせない部分となり、その中で、表示画面を有する電子製品がますます普及している。これに対して、科学技術の急速な進歩により、電子製品に対する人々の要求や期待も高まりつつある。

【0003】

従って、如何に生産コストを維持しつつ、表示装置の表示品質を効率的に向上させるかは、間違いなく業界において非常に着目される重要な課題の１つである。

【発明の概要】

【0004】

本発明の目的の１つは、ディスプレイ基板上に蒸着によって形成される画素がより明確で鮮明な形状を有することを可能にし、それにより、ディスプレイの表示品質を効果的に向上させることができる精密メタルマスクを提供することにある。

【0005】

本発明の一実施形態によれば、板体を備える精密メタルマスクであって、前記板体は、対向する、第１の開口を囲んで定義する少なくとも１つの第１の内縁を有する第１の表面と、第１の開口に対応して連通する第２の開口を囲んで定義する少なくとも１つの第２の内縁を有する第２の表面と、を含み、更に、第１の開口内に位置して第１の表面に接続される少なくとも１つの第１の円弧面と、第２の開口内に位置して第２の表面に接続される少なくとも１つの第２の円弧面と、を含み、また、第１の円弧面及び第２の円弧面が接続され、第１の開口及び第２の開口よりも小さい第３の開口を囲んで定義する、第１の直線辺と、第２の直線辺と、第１の直線辺と第２の直線辺との間に接続され、１５μｍ以下の半径を有する円弧辺と、を含み、少なくとも１つの第３の内縁を有し、第１の直線辺と第２の直線辺とは、共に夾角を形成する精密メタルマスクである。

【0006】

本発明の１つ又は複数の実施形態において、前記第２の開口は第１の開口よりも大きい。第３の内縁と第１の内縁は、第１の表面に垂直な方向に３μｍ以下の高さを有する。第３の内縁と第１の内縁は、第１の表面に平行な方向に２μｍ以下の幅を有する。

【0007】

本発明の１つ又は複数の実施形態において、前記第３の内縁は、第２の表面よりも第１の表面に近い。

【0008】

本発明の１つ又は複数の実施形態において、前記第１の表面と第２の表面との間に、２０μｍ～５０μｍの範囲にある厚みが定義される。

【0009】

本発明の１つ又は複数の実施形態において、前記第３の内縁は、矩形である。

【0010】

本発明の１つ又は複数の実施形態において、前記第３の内縁は、多角形である。

【0011】

本発明の目的の１つは、コーナーにおける半径が１５μｍ以下である開口を有する精密メタルマスクを容易に製造することができ、精密メタルマスクは、蒸着によりディスプレイ基板上に形状がより明確で鮮明な画素を形成することを可能にするのに有利であり、ディスプレイの表示品質を効果的に向上させることができる精密メタルマスクの製造方法を提供することにある。

【0012】

本発明の一実施形態によれば、対向する第１の表面と、第２の表面と、を含む板材を提供するステップと、第１の表面に第１のレジストフィルムを設けるステップと、第１のレジストフィルムに、板材上の第１のエッチング範囲を囲んで対応し、第１の直線辺と、第２の直線辺と、第１の直線辺と第２の直線辺との間に接続され、８μｍ以下の長さを有する第３の直線辺と、を含む第１のエッジを有し、第１の直線辺と第２の直線辺とは、共に第１の夾角を形成する、少なくとも１つの第１のパターンを有する第１の露光マスクを設けるステップと、第２の表面に第２のレジストフィルムを設けるステップと、第２のレジストフィルムに、第１のパターンよりも大きく、第１のエッチング範囲に対応する板材上の第２のエッチング範囲を囲んで対応し、第４の直線辺と、第５の直線辺と、第４の直線辺と第５の直線辺との間に接続されるとともに、第３の直線辺と互いに平行であり、第１の表面に平行な方向において、５μｍ以上３０μｍ以下の距離だけ第３の直線辺から離間している第６の直線辺と、を含む第２のエッジを有し、第４の直線辺と第５の直線辺は、共に第２の夾角を形成する、少なくとも１つの第２のパターンを有する第２の露光マスクを設けるステップと、を含む精密メタルマスクの製造方法である。

【0013】

本発明の１つ又は複数の実施形態において、前記第１の直線辺と第４の直線辺とは互いに平行であり、第２の直線辺と第５の直線辺とは互いに平行である。

【0014】

本発明の１つ又は複数の実施形態において、前記第１の夾角は、第２の夾角と同じである。

【0015】

本発明の１つ又は複数の実施形態において、前記方法は、第１の露光マスクを介して第１のレジストフィルムを露光させることで第１のレジストフィルムを現像し、第１のレジストフィルムに第１のパターンを形成することで第１のエッチング範囲を露出させるステップと、第２の露光マスクを介して第２のレジストフィルムを露光させることで第２のレジストフィルムを現像し、第２のレジストフィルムに第２のパターンを形成することで第２のエッチング範囲を露出させるステップと、を更に含む。

【0016】

本発明の１つ又は複数の実施形態において、前記方法は、第１の表面をエッチングすることで第１のエッチング範囲に第１の開口を形成するステップと、第２の表面をエッチングすることで第２のエッチング範囲に第１の開口と互いに連通される第２の開口を形成するステップと、を更に含む。

【0017】

本発明の１つ又は複数の実施形態において、前記第１の表面と第２の表面との間に、２０μｍ～５０μｍの範囲にある厚みが定義される。

【0018】

本発明の上記の実施形態は、少なくとも以下の利点を有する。

【0019】

（１）板材上の第１のパターンの第３の直線辺の長さを８μｍ以下に制御し、かつ、第２のパターンの第６の直線辺と第３の直線辺との第１の表面に平行な方向における離間距離を５μｍ以上３０μｍ以下に制御することにより、ユーザは、板材に対するエッチングによる製造プロセスの後に、第３の開口のコーナーに対応する円弧辺の半径が１５μｍ以下である精密メタルマスクの板体を簡単で容易に形成することができる。

【0020】

（２）第３の開口のコーナーに対応する円弧辺の半径は１５μｍ以下であるため、精密メタルマスクを蒸着の製造プロセスに用いて、例えば有機発光ダイオードのディスプレイの基板上に画像を表示するための画素を形成する場合、各画素のコーナーにおける形状をより明確で鮮明にし、有機発光ダイオードのディスプレイの表示品質を効果的に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の一実施形態による精密メタルマスクを示す平面図である。

【図2】図１の線分Ａ－Ａに沿った断面図である。

【図3】本発明の他の実施形態による精密メタルマスクを示す平面図である。

【図4】本発明の一実施形態による精密メタルマスクの製造方法を示すフローチャートである。

【図5】図４の精密メタルマスクの製造方法を示す工程模式図である。

【図6】図５の矢印Ｂに沿った平面図である。

【図7】本発明の他の実施形態による精密メタルマスクの製造方法を示す工程模式図である。

【図8】第１の表面をエッチングしようとする図４の精密メタルマスクの製造方法を示す工程模式図である。

【図9】第１の表面に対するエッチングが完了した図４の精密メタルマスクの製造方法を示す工程模式図である。

【図10】第１の開口がレジスト材料で充填されており、第２の表面をエッチングしようとする図４の精密メタルマスクの製造方法を示す工程模式図である。

【図11】第２の表面に対するエッチングが完了した図４の精密メタルマスクの製造方法を示す工程模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、図面で本発明の複数の実施形態を説明し、明らかに説明するために、数多くの実際の細部を以下の説明で併せて説明する。しかしながら、これらの実際の細部は本発明を制限するためのものではないことが理解すべきである。換言すれば、本発明の一部の実施形態において、これらの実際の細部は必要なものではない。そのほか、図面を簡略化するために、ある従来慣用の構造と素子を図面に簡単で模式的に示し、すべての図面には、同一の符号は同一又は類似の素子を表す。かつ、実施上で可能であるなら、異なる実施例の特徴を交互に適用することができる。

【0023】

特に定義されない限り、本明細書で使用される全ての用語（技術的及び科学的用語を含む）は、当業者に理解されることができる通常の意味を有する。更に言えば、通常使用される辞典における上記用語の定義は、本明細書の内容における本発明の関連分野と一致する意味として解読されるべきである。特に明記しない限り、これらの用語は、理想的又は過度に正式的な意味として解釈されない。

【0024】

図１～図２を参照されたい。図１は、本発明の一実施形態による精密メタルマスク１００を示す平面図である。図２は、図１の線分Ａ－Ａに沿った断面図である。本実施形態において、図１～図２に示すように、精密メタルマスク１００は板体１１０を含む。実際の応用には、板体１１０の材質は、鉄－ニッケル合金であってもよい。板体１１０は、対向する第１の表面１１１と第２の表面１１２とを含む。板体１１０の第１の表面１１１は、第１の開口ＯＰ１を囲んで定義する第１の内縁１１３を有する。板体１１０の第２の表面１１２は、第１の開口ＯＰ１に対応して連通する第２の開口ＯＰ２を囲んで定義する第２の内縁１１４を有する。板体１１０は、第１の開口ＯＰ１内に位置し、第１の表面１１１を接続する第１の円弧面１１５と、第２の開口ＯＰ２内に位置し、第２の表面１１２を接続する第２の円弧面１１６とを更に含む。さらに、板体１１０は、第１の円弧面１１５及び第２の円弧面１１６が接続される第３の内縁１１７を有し、第３の内縁１１７は、第１の開口ＯＰ１及び第２の開口ＯＰ２よりも小さい第３の開口ＯＰ３を囲んで定義する。さらに言えば、第３の内縁１１７は、直線辺１１７ａと直線辺１１７ｂと円弧辺１１７ｃとを含み、直線辺１１７ａと直線辺１１７ｂとは、共に夾角θを形成し、円弧辺１１７ｃは、直線辺１１７ａと直線辺１１７ｂとの間に接続されるので、円弧辺１１７ｃは第３の開口ＯＰ３のコーナーに対応する。注意すべきなのは、本実施形態において、円弧辺１１７ｃは、１５μｍ以下の半径Ｒを有する。

【0025】

第３の開口ＯＰ３のコーナーに対応する円弧辺１１７ｃの半径Ｒは１５μｍ以下であるので、精密メタルマスク１００を蒸着の製造プロセスに用いて、例えば有機発光ダイオード（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ－Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ：ＯＬＥＤ）ディスプレイの基板３００に画像を表示するための画素を形成する場合、各画素のコーナーにおける形状をより明確で鮮明にして、有機発光ダイオードのディスプレイの表示品質を効果的に向上させることができる。

【0026】

また、本実施形態において、図２に示すように、第２の開口ＯＰ２は、第１の開口ＯＰ１よりも大きい。第３の内縁１１７と第１の内縁１１３は、第１の表面１１１に垂直な方向に３μｍ以下の高さＨを有する。第３の内縁１１７及び第１の内縁１１３は、第１の表面１１１に平行な方向に２μｍ以下の幅Ｗを有する。蒸着の製造プロセスを行う場合、板体１１０はＯＬＥＤディスプレイの基板３００の下方に位置し、板体１１０の第１の表面１１１はＯＬＥＤディスプレイの基板３００に当接するように配置される。

【0027】

さらに言えば、図２に示すように、板体１１０の第１の表面１１１と第２の表面１１２との間に厚みＴＫが定義され、厚みＴＫの範囲が２０μｍ～５０μｍである。以上のように、高さＨが３μｍ以下であるため、第３の内縁１１７は、第２の表面１１２よりも第１の表面１１１に近い。

【0028】

本実施形態において、図１に示すように、第３の内縁１１７はＲ角を有する矩形であり、すなわち、円弧辺１１７ｃはこのＲ角を定義し、直線辺１１７ａと直線辺１１７ｂとが共に形成する夾角θは９０度であるが、本発明はこれに限定されない。

【0029】

図３を参照されたい。図３は、本発明の他の実施形態による精密メタルマスク１００を示す平面図である。本実施形態において、第３の内縁１１７は多角形であり、すなわち、直線辺１１７ａと直線辺１１７ｂとが共に形成する夾角θは９０度に等しくない。例えば、図３に示すように、第３の内縁１１７はＲ角を有する六角形であり、円弧辺１１７ｃはこのＲ角を定義するが、本発明はこれに限定されない。他の実施形態において、第３の内縁１１７は、実際の状況に応じて、八角形及び任意の閉じた幾何学的形状であってもよい。

【0030】

図４を参照されたい。図４は、本発明の一実施形態による精密メタルマスクの製造方法５００を示すフローチャートである。本実施形態において、図４に示すように、製造方法５００は、以下のステップを含む（いくつかの実施形態に言及されるステップは、特にその順序が記載されている場合以外、実際の必要に応じてその前後の順序を調整することができ、ひいては同時に又は部分的に同時に実行することができることを理解すべきである）。

【0031】

（１）板材１１０’を提供する（ステップ５０１）。図５を参照されたい。図５は、図４の精密メタルマスクの製造方法５００を示す工程模式図である。本実施形態において、図５に示すように、板材１１０’は、対向する第１の表面１１１と第２の表面１１２とを含む。第１の表面１１１と第２の表面１１２との間には厚みＴＫが定義され、厚みＴＫの範囲が２０μｍ～５０μｍである。実際の応用には、板材１１０’の材質は鉄－ニッケル合金であってもよい。

【0032】

（２）板材１１０’の第１の表面１１１に第１のレジストフィルム１２０を設ける（ステップ５０２）。図５に示すように、第１のレジストフィルム１２０は、板材１１０’の第１の表面１１１に既に設けられている。

【0033】

（３）第１のレジストフィルム１２０に第１の露光マスク１３０を設ける（ステップ５０３）。図５に示すように、第１の露光マスク１３０は、板材１１０’と第１の露光マスク１３０との間に位置する第１のレジストフィルム１２０に既に設けられている。さらに、図６を参照されたい。図６は、図５の矢印Ｂに沿った平面図である。図６に示すように、第１の露光マスク１３０は、第１のパターンＰ１を有する。例えば、本実施形態において、第１のレジストフィルム１２０は、ポジ型レジストであり、すなわち、第１のレジストフィルム１２０の露光部分は現像液に可溶であり、未露光部分は現像液に不溶である。したがって、第１のパターンＰ１は、第１の露光マスク１３０に実質的にくり抜かれている。現像が終了した後、第１のレジストフィルム１２０の現像液に不溶な未露光部分が板材１１０’上に残り、第１の露光マスク１３０の第１のパターンＰ１が板材１１０’上に転写されて、後述する第１のエッチング範囲Ｚ１が定義される。

【0034】

図７を参照されたい。図７は、本発明の他の実施形態による精密メタルマスクの製造方法５００を示す工程模式図である。本実施形態においては、図７に示すように、第１のレジストフィルム１２０として、実際の状況に応じてネガ型レジストを選択してもよく、すなわち、第１のレジストフィルム１２０の露光部分が現像液に不溶であり、未露光部分が現像液に可溶である。したがって、第１のパターンＰ１は、第１の露光マスク１３０の外形によって定義される。現像が終了した後、第１のレジストフィルム１２０の現像液に不溶な露光部分が板材１１０’上に残り、第１の露光マスク１３０の第１のパターンＰ１が板材１１０’上に転写されて、後述する第１のエッチング範囲Ｚ１が定義される。

【0035】

図６に戻って、より具体的には、第１のパターンＰ１は、板材１１０’上の第１のエッチング範囲Ｚ１（第１のエッチング範囲Ｚ１は図５又は図７を参照）を囲んで対応し、第１の直線辺１３１ａと第２の直線辺１３１ｂと第３の直線辺１３１ｃとを含む第１のエッジ１３１を有し、第１の直線辺１３１ａと第２の直線辺１３１ｂとは共に第１の夾角αを形成し、第３の直線辺１３１ｃは第１の直線辺１３１ａと第２の直線辺１３１ｂとの間に接続されるため、第３の直線辺１３１ｃは第１のパターンＰ１のコーナーに対応する。本実施形態において、第３の直線辺１３１ｃは８μｍ以下の長さＬを有する。

【0036】

（４）板材１１０’の第２の表面１１２に第２のレジストフィルム１４０を設ける（ステップ５０４）。図５に示すように、第２のレジストフィルム１４０は、板材１１０’の第２の表面１１２に既に設けられている。同様に、第２のレジストフィルム１４０は、実際の状況に応じてポジ型レジスト又はネガ型レジストを選択してもよい。読みやすくするために、後述の説明では、第２のレジストフィルム１４０について、ポジ型レジストを例として説明する。

【0037】

（５）第２のレジストフィルム１４０に第２の露光マスク１５０を設ける（ステップ５０５）。図５に示すように、第２の露光マスク１５０は、板材１１０’と第２の露光マスク１５０との間に位置する第２のレジストフィルム１４０に既に設けられている。図６に示すように、第２の露光マスク１５０は第２のパターンＰ２（第２の露光マスク１５０は図６において板材１１０’などによって覆われているため、第２のパターンＰ２は点線で示される）を有し、第２のパターンＰ２は第１のパターンＰ１よりも大きく、板材１１０’上の第２のエッチング範囲Ｚ２（第２のエッチング範囲Ｚ２は図５又は図７を参照）を囲んで対応する第２のエッジ１５１を有し、第２のエッチング範囲Ｚ２は第１のエッチング範囲Ｚ１に対応し、第２のエッジ１５１は第４の直線辺１５１ａと第５の直線辺１５１ｂと第６の直線辺１５１ｃとを含み、第４の直線辺１５１ａと第５の直線辺１５１ｂとは共に第２角度βを形成し、第６の直線辺１５１ｃは第４の直線辺１５１ａと第５の直線辺１５１ｂとの間に接続され、したがって、第６の直線辺１５１ｃは第２のパターンＰ２のコーナーに対応する。さらに、第６の直線辺１５１ｃと第３の直線辺１３１ｃは互いに平行であり、第６の直線辺１５１ｃと第３の直線辺１３１ｃは第１の表面１１１に平行な方向において距離Ｘだけ離間している。注意すべきなのは、本実施形態において、距離Ｘは、５μｍ以上３０μｍ以下である。

【0038】

また、本実施形態において、図６に示すように、第１の直線辺１３１ａと第４の直線辺１５１ａとは互いに平行であり、第２の直線辺１３１ｂと第５の直線辺１５１ｂとは互いに平行であり、これにより、第１の夾角αは第２の夾角βと同じになる。換言すれば、第１のパターンＰ１と第２のパターンＰ２とは、同一形状の輪郭を有する。

【0039】

さらに言えば、製造方法５００は、以下のステップをさらに含む。

【0040】

（６）第１の露光マスク１３０を介して第１のレジストフィルム１２０を露光させることで第１のレジストフィルム１２０を現像し、第１のレジストフィルム１２０に第１のパターンＰ１を形成することで第１のエッチング範囲Ｚ１を露出させる（ステップ５０６）。図８を参照されたい。図８は、第１の表面１１１をエッチングしようとする図４の精密メタルマスクの製造方法５００を示す工程模式図である。本実施形態において、図８に示すように、第１の露光マスク１３０は既に除去されており、第１のエッチング範囲Ｚ１が既に露出されており、かつ、板材１１０’の第１の表面１１１をエッチング準備しようとする。

【0041】

（７）第１の表面１１１をエッチングすることで第１のエッチング範囲Ｚ１に第１の開口ＯＰ１を形成する（ステップ５０７）。図９を参照されたい。図９は、第１の表面１１１に対するエッチングが完了した図４の精密メタルマスクの製造方法５００を示す工程模式図である。本実施形態において、図９に示すように、板材１１０’の第１の表面１１１は、エッチングにより第１の開口ＯＰ１が既に形成されている。

【0042】

（８）第２の露光マスク１５０を介して第２のレジストフィルム１４０を露光させることで第２のレジストフィルム１４０を現像し、第２のレジストフィルム１４０に第２のパターンＰ２を形成することで第２のエッチング範囲Ｚ２を露出させる（ステップ５０８）。図１０を参照されたい。図１０は、第１の開口ＯＰ１がレジスト材料で充填されており、第２の表面１１２をエッチングしようとする図４の精密メタルマスクの製造方法５００を示す工程模式図である。本実施形態において、図１０に示すように、第２の露光マスク１５０は既に除去されており、第２のエッチング範囲Ｚ２が既に露出されており、かつ、板材１１０’の第２の表面１１２をエッチングしようとする。第１の開口ＯＰ１は、レジスト４００で既に充填されているため、第２の表面１１２に対するエッチングが第１の開口ＯＰ１に影響を及ぼさない。

【0043】

（９）第２の表面１１２をエッチングすることで第２のエッチング範囲Ｚ２に第２の開口ＯＰ２を形成する（ステップ５０９）。図１１を参照されたい。図１１は、第２の表面１１２に対するエッチングが完了した図４の精密メタルマスクの製造方法５００を示す工程模式図である。本実施形態において、図１１に示すように、板材１１０’の第２の表面１１２は、エッチングにより第２の開口ＯＰ２が既に形成されている。

【0044】

（１０）レジスト材４００、第１のレジストフィルム１２０及び第２のレジストフィルム１４０を除去する（ステップ５１０）。レジスト材料４００が除去された後、第１の開口ＯＰ１と第２の開口ＯＰ２とが互いに連通され、第１のレジストフィルム１２０及び第２のレジストフィルム１４０が除去された後、図２に示すように、板材１１０’は精密メタルマスク１００の板体１１０を形成する。

【0045】

板材１１０’上の第１のパターンＰ１の第３の直線辺１３１ｃの長さＬを８μｍ以下に制御し、かつ、第２のパターンＰ２の第６の直線辺１５１ｃと第３の直線辺１３１ｃとの第１の表面１１１に平行な方向における離間距離Ｘを５μｍ以上３０μｍ以下に制御することにより、ユーザは、板材１１０’に対するエッチングによる製造プロセスの後に、第３の開口ＯＰ３のコーナーに対応する円弧辺１１７ｃの半径が１５μｍ以下である精密メタルマスク１００の板体１１０を簡単で容易に形成することができる。

【0046】

以上をまとめると、本発明の上記実施形態に開示された技術案は、少なくとも以下の利点を有する。

【0047】

（１）板体上の第１のパターンの第３の直線辺の長さを８μｍ以下に制御し、かつ、第２のパターンの第６の直線辺と第３の直線辺との第１の表面に平行な方向における離間距離を５μｍ以上３０μｍ以下に制御することにより、ユーザは、板体に対するエッチングによる製造プロセスの後に、第３の開口のコーナーに対応する円弧辺の半径が１５μｍ以下である精密メタルマスクの板体を簡単で容易に形成することができる。

【0048】

（２）第３の開口のコーナーに対応する円弧辺の半径は１５μｍ以下であるため、精密メタルマスクを蒸着の製造プロセスに用いて、例えば有機発光ダイオードのディスプレイの基板上に画像を表示するための画素を形成する場合、各画素のコーナーにおける形状をより明確で鮮明にし、有機発光ダイオードのディスプレイの表示品質を効果的に向上させることができる。

【0049】

本発明を実施形態で以上のように開示するが、本発明を限定するものではなく、当業者であれば、本開示の精神と範囲から逸脱しない限り、様々な変更及び修正を行うことができ、したがって、本開示の保護範囲は、後に添付する特許請求の範囲で定義されたものを基準とすべきである。

【符号の説明】

【0050】

１００ 精密メタルマスク
１１０ 板体
１１０’ 板材
１１１ 第１の表面
１１２ 第２の表面
１１３ 第１の内縁
１１４ 第２の内縁
１１５ 第１の円弧面
１１６ 第２の円弧面
１１７ 第３の内縁
１１７ａ，１１７ｂ 直線辺
１１７ｃ 円弧辺
１２０ 第１のレジストフィルム
１３０ 第１の露光マスク
１３１ 第１のエッジ
１３１ａ 第１の直線辺
１３１ｂ 第２の直線辺
１３１ｃ 第３の直線辺
１４０ 第２のレジストフィルム
１５０ 第２の露光マスク
１５１ 第２のエッジ
１５１ａ 第４の直線辺
１５１ｂ 第５の直線辺
１５１ｃ 第６の直線辺
３００ 基板
４００ レジスト材料
５００ 製造方法
５０１～５１０ ステップ
Ａ－Ａ 線分
Ｂ 矢印
Ｈ 高さ
Ｌ 長さ
ＯＰ１ 第１の開口
ＯＰ２ 第２の開口
ＯＰ３ 第３の開口
Ｐ１ 第１のパターン
Ｐ２ 第２のパターン
Ｒ 半径
Ｗ 幅
ＴＫ 厚み
Ｘ 距離
Ｚ１ 第１のエッチング範囲
Ｚ２ 第２のエッチング範囲
α 第１の夾角
β 第２の夾角
θ 夾角

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】