特開 2023-82678 減光液供給システム及び減光液管理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023082678

(43)【公開日】2023-06-14

(54)【発明の名称】減光液供給システム及び減光液管理方法

(51)【国際特許分類】

   G05D 16/10 20060101AFI20230607BHJP

【ＦＩ】

G05D16/10 F

【審査請求】有

【請求項の数】20

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022189138

(22)【出願日】2022-11-28

(31)【優先権主張番号】10-2021-0171320

(32)【優先日】2021-12-02

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】518162784

【氏名又は名称】セメス カンパニー，リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100114775

【弁理士】

【氏名又は名称】高岡 亮一

(74)【代理人】

【識別番号】100121511

【弁理士】

【氏名又は名称】小田 直

(74)【代理人】

【識別番号】100202751

【弁理士】

【氏名又は名称】岩堀 明代

(74)【代理人】

【識別番号】100208580

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 玲奈

(74)【代理人】

【識別番号】100191086

【弁理士】

【氏名又は名称】高橋 香元

(72)【発明者】

【氏名】キム，ヘ キュン

(72)【発明者】

【氏名】キム，デ サン

(72)【発明者】

【氏名】ジュン，ウー シン

【テーマコード（参考）】

5H316

【Ｆターム（参考）】

5H316BB07

5H316DD02

5H316DD06

5H316EE30

5H316FF31

5H316HH10

(57)【要約】

【課題】本発明は、減光液供給システムを提供する。
【解決手段】一実施例において、減光液供給システムは、薬液ボトルから第１タンクまで連結される供給ラインに提供される圧力調節容器を含み、前記圧力調節容器は:内部に空間を形成するハウジングと、ハウジングの空間を第１空間と第２空間で分離する分離膜と、前記第１空間に減光液を流入する流入ポートと、前記第１空間で減光液を排出させる排出ポートと、及び前記第２空間に加圧流体を供給する加圧流体流入ポートを含み、前記加圧流体の供給によって、前記第１空間の容積が変更される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

減光液供給システムにおいて、
薬液ボトルから第１タンクまで連結される供給ラインに提供される圧力調節容器を含み、
前記圧力調節容器は:
内部に空間を形成するハウジングと、
ハウジングの空間を第１空間と第２空間に分離する分離膜と、
前記第１空間に減光液を流入する流入ポートと、
前記第１空間で減光液を排出させる排出ポートと、
前記第２空間に加圧流体を供給する加圧流体流入ポートを含み、
前記加圧流体の供給によって、前記第１空間の容積が変更される減光液供給システム。

【請求項2】

前記第１タンクは前記薬液ボトルより高い位置に位置される請求項１に記載の減光液供給システム。

【請求項3】

前記供給ラインは前記薬液ボトルより高い位置につながる請求項１に記載の減光液供給システム。

【請求項4】

前記圧力調節容器の上流には流路を開閉する開閉バルブが提供される請求項１に記載の減光液供給システム。

【請求項5】

前記供給ラインのうちで圧力調節容器と薬液ボトルを連結する供給ラインにドレインラインが連結される請求項１に記載の減光液供給システム。

【請求項6】

前記第１タンクはトラップタンクである請求項１に記載の減光液供給システム。

【請求項7】

制御機を含み、
前記制御機は、
前記薬液ボトルで前記第１タンクに前記減光液を送る場合または減光液を送らない場合に:
前記加圧流体が前記第２空間に供給されることを制御して前記供給ラインが形成する流路を陽圧で維持させる請求項１に記載の減光液供給システム。

【請求項8】

前記圧力調節容器の上流に提供されて前記減光液が流れる流路を開閉する開閉バルブと、
制御機を含み、
前記制御機は、
前記薬液ボトルで前記第１タンクに前記減光液を送る場合に:
前記第１空間は第１容積になるようにして、
前記薬液ボトルで前記第１タンクに前記減光液の伝送を中断する場合に:
前記開閉バルブを閉鎖し、前記加圧流体の供給を制御して前記第１空間は第２容積になるようにして、
前記第２容積が前記第１容積より大きいものである請求項１に記載の減光液供給システム。

【請求項9】

前記第２容積は、
前記供給ラインが形成する流路が陽圧で維持される容積である請求項８に記載の減光液管理方法。

【請求項10】

前記供給ラインのうちで前記圧力調節容器と前記薬液ボトルを連結する供給ラインに気泡感知センサーが提供される請求項１に記載の減光液供給システム。

【請求項11】

前記圧力調節容器と前記薬液ボトルを連結する供給ラインに提供され、前記気泡感知センサーの下流に連結されるドレインラインと、
前記気泡感知センサーからデータを収集して前記ドレインラインの開閉を制御する制御機を含み、
前記制御機は:
前記気泡感知センサーがセンシングした気泡が設定値以上の場合、
前記ドレインライン開放する請求項１０に記載の減光液供給システム。

【請求項12】

前記気泡感知センサーのセンシング値が設定値以下になれば、前記ドレインラインを閉鎖する請求項１１に記載の減光液供給システム。

【請求項13】

内部空間が形成されて前記内部空間に前記薬液ボトルが位置されるボトル収容容器と、
前記ボトル収容容器の前記内部空間に連結されて前記内部空間に加圧ガスを供給する加圧ガス流入ポートと、及び
前記薬液ボトルの内部に延長されて前記供給ラインと連結される供給パイプを含む請求項１に記載の減光液供給システム。

【請求項14】

減光液供給システムにおいて、
内部空間が形成されて前記内部空間に前記薬液ボトルが位置される容器を含み、
前記容器の内部空間に連結されて前記内部空間に加圧ガスを供給する加圧ガス流入ポートと、及び
前記薬液ボトルの内部に延長されて前記薬液ボトルに貯蔵された減光液を前記薬液ボトルの外部に排出するパイプを含む減光液供給システム。

【請求項15】

減光液を管理する方法において、
薬液ボトルで前記薬液ボトルより高い位置に提供される第１タンクまで連結される供給ラインのうちで、減光液が流れる第１空間と、分離膜によって前記第１空間と分離される第２空間を含み、
前記第２空間には前記第２空間を満たす加圧流体が供給されることができるし、
前記加圧流体の供給によって前記第１空間の容積が変更されるようにして前記供給ライン内部の前記減光液が陽圧になるようにする減光液管理方法。

【請求項16】

圧力調節容器の上流には流路を開閉する開閉バルブが提供される請求項１５に記載の減光液管理方法。

【請求項17】

前記供給ラインのうちで前記第２空間が形成される領域と前記薬液ボトルとの間の供給ラインに気泡感知センサーが提供され、
前記気泡感知センサーの下流であり、前記第２空間が形成される領域の上流にはドレインラインが連結され、
前記気泡感知センサーのセンシング値が設定値以上の場合、
前記ドレインラインを開放する請求項１５に記載の減光液管理方法。

【請求項18】

前記第２空間が形成される領域の上流には流路を開閉する開閉バルブが提供され、
前記薬液ボトルで前記第１タンクに前記減光液の伝送を中断する場合に:
前記開閉バルブを閉鎖し、前記加圧流体を前記第２空間に供給し、前記第１空間の容積を相対的に減少させる請求項１５に記載の減光液管理方法。

【請求項19】

前記第１空間の容積減少で前記供給ライン内部は陽圧になる請求項１８に記載の減光液管理方法。

【請求項20】

前記第１タンクはトラップタンクである請求項１に記載の減光液管理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、減光液を供給するシステム及び前記システム内で減光液を管理する方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

減光液の供給システムで減光液が貯蔵される薬液ボトルと減光液が臨時貯蔵されるトラップタンクの間には設備レイアウトによる水頭差が存在する。水頭差は最高１５４０mmに至る。これにより供給系統に陰圧が形成されながら配管内のマイクロバブルの発生可能性が現われる。

【0003】

また、薬液ボトルを交替する時発生したバブルがトラップタンクまで流入され、これにより減光液とともに吐出されたバブルがポンプ及び工程性能にまで影響を及ぼす問題がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】韓国特許公開第10-2010-0030275号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、減光液供給系統で発生することができるバブルを最小化することができる減光液供給システム及び減光液管理方法を提供することを一目的とする。

【0006】

本発明は水頭差によって供給系統に発生する陰圧を解消することができる減光液供給システム及び減光液管理方法を提供することを一目的とする。

【0007】

本発明は、特に高粘度減光液で効果的にバブルを管理することができる減光液供給システム及び減光液管理方法を提供することを一目的とする。

【0008】

本発明の目的はこれに制限されないし、言及されなかったまた他の目的らは下の記載から当業者に明確に理解されることができるであろう。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、減光液供給システムを提供する。一実施例において、減光液供給システムは、薬液ボトルで第１タンクまで連結される供給ラインに提供される圧力調節容器を含み、前記圧力調節容器は:内部に空間を形成するハウジングと、ハウジングの空間を第１空間と第２空間に分離する分離膜と、前記第１空間に減光液を流入する流入ポートと、前記第１空間で減光液を排出させる排出ポートと、及び前記第２空間に加圧流体を供給する加圧流体流入ポートを含み、前記加圧流体の供給によって、前記第１空間の容積が変更される。

【0010】

一実施例において、前記第１タンクは前記薬液ボトルより高い位置に位置されることができる。

【0011】

一実施例において、前記供給ラインは前記薬液ボトルより高い位置につながることができる。

【0012】

一実施例において、前記圧力調節容器の上流には流路を開閉する開閉バルブが提供されることができる。

【0013】

一実施例において、前記供給ラインのうちで圧力調節容器と薬液ボトルを連結する供給ラインにドレインラインが連結されることができる。

【0014】

一実施例において、前記第１タンクはトラップタンクであることができる。

【0015】

一実施例において、制御機を含み、前記制御機は、前記薬液ボトルで前記第１タンクに前記減光液を送る場合または減光液を送らない場合に:前記加圧流体が前記第２空間に供給されることを制御して前記供給ラインが形成する流路を陽圧で維持させることができる。

【0016】

一実施例において、前記圧力調節容器の上流に提供されて前記減光液が流れる流路を開閉する開閉バルブと、制御機を含み、前記制御機は、前記薬液ボトルで前記第１タンクに前記減光液を送る場合に:前記第１空間は第１容積になるようにして、前記薬液ボトルで前記第１タンクに前記減光液の伝送を中断する場合に:前記開閉バルブを閉鎖し、前記加圧流体の供給を制御して前記第１空間は第２容積になるようにして、前記第２容積が前記第１容積より大きいものであることができる。

【0017】

一実施例において、前記第２容積は、前記供給ラインが形成する流路が陽圧で維持される容積であることがある。

【0018】

一実施例において、前記供給ラインのうちで前記圧力調節容器と前記薬液ボトルを連結する供給ラインに気泡感知センサーが提供されることができる。

【0019】

一実施例において、前記圧力調節容器と前記薬液ボトルを連結する供給ラインに提供され、前記気泡感知センサーの下流に連結されるドレインラインと、前記気泡感知センサーからデータを収集して前記ドレインラインの開閉を制御する制御機を含み、前記制御機は:前記気泡感知センサーがセンシングした気泡が設定値以上の場合、前記ドレインラインを開放することができる。

【0020】

一実施例において、前記気泡感知センサーのセンシング値が設定値以下になれば、前記ドレインラインを閉鎖することができる。

【0021】

一実施例において、内部空間が形成されて前記内部空間に前記薬液ボトルが位置されるボトル収容容器と、前記ボトル収容容器の前記内部空間に連結されて前記内部空間に加圧ガスを供給する加圧ガス流入ポートと、及び前記薬液ボトルの内部に延長されて前記供給ラインと連結される供給パイプを含むことができる。

【0022】

本発明の他の観点による実施例の減光液供給システムは、内部空間が形成されて前記内部空間に前記薬液ボトルが位置される容器を含み、前記容器の内部空間に連結されて前記内部空間に加圧ガスを供給する加圧ガス流入ポートと、前記薬液ボトルの内部に延長されて前記薬液ボトルに貯蔵された減光液を前記薬液ボトルの外部に排出するパイプを含む減光液供給システムである。

【0023】

また、本発明は減光液を管理する方法を提供する。一実施例において、減光液管理方法は。薬液ボトルで前記薬液ボトルより高い位置に提供される第１タンクまで連結される供給ラインのうちで、減光液が流れる第１空間と、分離膜によって前記第１空間と分離される第２空間を含み、前記第２空間には前記第２空間を満たす加圧流体が供給されることができるし、前記加圧流体の供給によって前記第１空間の容積が変更されるようにして前記供給ライン内部の前記減光液が陽圧になるようにする。

【0024】

一実施例において、圧力調節容器の上流には流路を開閉する開閉バルブが提供されることができる。

【0025】

一実施例において、前記供給ラインのうちで前記第２空間が形成される領域と前記薬液ボトルとの間の供給ラインに気泡感知センサーが提供され、前記気泡感知センサーの下流であり、前記第２空間が形成される領域の上流にはドレインラインが連結され、前記気泡感知センサーのセンシング値が設定値以上の場合、前記ドレインラインを開放することができる。

【0026】

一実施例において、前記第２空間が形成される領域の上流には流路を開閉する開閉バルブが提供され、前記薬液ボトルで前記第１タンクに前記減光液の伝送を中断する場合に:前記開閉バルブを閉鎖し、前記加圧流体を前記第２空間に供給し、前記第１空間の容積を相対的に減少させることができる。

【0027】

一実施例において、前記第１空間の容積減少で前記供給ライン内部は陽圧になることがある。

【0028】

一実施例において、前記第１タンクはトラップタンクであることができる。

【発明の効果】

【0029】

本発明の一実施例によれば、減光液供給系統で発生することができるバブルを最小化することができる。

【0030】

本発明の一実施例によれば、水頭差によって供給系統に発生する陰圧を解消することができる。

【0031】

本発明の一実施例によれば、特に、高粘度減光液で効果的にバブルを管理することができる。

【0032】

本発明の効果が上述した効果らに限定されるものではなくて、言及されない効果らは本明細書及び添付された図面から本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者に明確に理解されることができるであろう。

【図面の簡単な説明】

【0033】

【図1】本発明の一実施例による減光液供給システムを表現する。

【図2】本発明の一実施例による圧力調節容器の断面図である。

【図3】本発明の一実施例による減光液供給システムの運用による第１様態を説明した図面である。

【図4】図３で説明される段階で圧力調節容器の作動を説明した図面である。

【図5】本発明の一実施例による減光液供給システムの運用による第２様態を説明した図面である。

【図6】図５で説明される段階で圧力調節容器の作動を順次に説明した図面である。

【図7】本発明の一実施例による減光液供給システムの運用による第３様態を説明した図面である。

【図8】本発明の一実施例による減光液供給システムの運用による第４様態を説明した図面である。

【発明を実施するための形態】

【0034】

以下では添付した図面を参照にして本発明の実施例に対して本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者が容易に実施できるように詳しく説明する。しかし、本発明はいろいろ相異な形態で具現されることができるし、ここで説明する実施例で限定されない。また、本発明の望ましい実施例を詳細に説明するにおいて、関連される公知機能または構成に対する具体的な説明が本発明の要旨を不必要に曇ることがあると判断される場合にはその詳細な説明を略する。また、類似機能及び作用をする部分に対しては図面全体にかけて等しい符号を使用する。

【0035】

ある構成要素を‘包含'するということは、特別に反対される記載がない限り他の構成要素を除くことではなく、他の構成要素をさらに含むことができるということを意味する。具体的に，“含む”または“有する”などの用語は明細書上に記載した特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとすることであって、一つまたはその以上の他の特徴らや数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものなどの存在または付加可能性をあらかじめ排除しないものとして理解されなければならない。

【0036】

単数の表現は文脈上明白に異なるように志さない限り、複数表現を含む。また、図面で要素らの形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。

【0037】

用語“及び/または”は、該当列挙された項目のうちで何れか一つ及び一つ以上のすべての組合を含む。また、本明細書で“連結される”という意味は、A部材とB部材が直接連結される場合だけではなく、A部材とB部材との間にC部材介されてA部材とB部材が間接連結される場合も意味する。

【0038】

本発明の実施例はさまざまな形態で変形することができるし、本発明の範囲が下の実施例らに限定されるもので解釈されてはいけない。本実施例は当業界で平均的な知識を有した者に本発明をさらに完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状はより明確な説明を強調するために誇張された。

【0039】

図１は、本発明の一実施例による減光液供給システムを表現する。図１を参照して説明する。

【0040】

減光液供給システム１０００は薬液ボトル２１０、圧力調節容器１００、トラップタンク３００、ポンプ４００を含む。

【0041】

薬液ボトル２１０は内部空間を有する。薬液ボトル２１０の内部空間２１５には減光液が収容されて提供される。薬液ボトル２１０はボトル収容容器２２０の内部に収容されて提供される。ボトル収容容器２２０は閉鎖された内部空間２２５を提供し、薬液ボトル２１０は内部空間２２５に収容される。薬液ボトル２１０の内部空間２１５はボトル収容容器２２０の内部空間２２５と連通される。

【0042】

ボトル収容容器２２０の内部空間２２５は加圧ガス供給ライン７１０と連結される。加圧ガス供給ライン７１０を通じてボトル収容容器２２０の内部空間２２５に加圧ガスが印加される。印加された加圧ガスは、内部空間２２５の圧力を一定な圧力に上昇させる。薬液ボトル２１０は第１供給ライン６１０と連結される。薬液ボトル２１０は第１供給ライン６１０、第２供給ライン６２０及び第３供給ライン６４０を通じてトラップタンク３００と連結される。薬液ボトル２１０に収容された減光液は加圧ガスによる相対的な圧力差を通じて第１供給ライン６１０を通じて移送される。一実施例において、加圧ガスは窒素であることができる。他の例で、加圧ガスは非活性ガスであることができる。

【0043】

本発明の実施例のように、ボトル収容容器２２０の内部空間２２５を加圧する方式によれば、薬液ボトル２１０の内部空間２１５を直接加圧する方式と比べて加えることができる耐圧が３倍以上増加し、高い耐圧を利用してチャージングタイム(Charging time)短縮が可能である。

【0044】

加圧ガス供給ライン７１０は加圧ガス供給源７２０と連結される。加圧ガス供給ライン７１０にはバルブ７１３とレギュレーター７１５が設置される。バルブ７１３は加圧ガス供給ライン７１０が形成する流路を開閉する。レギュレーター７１５は供給される加圧ガスの圧力を設定された圧力で調節する。

【0045】

薬液ボトル２１０でトラップタンク３００を連結する第１供給ライン６１０中には圧力調節容器１００が設置される。図２は、本発明の一実施例による圧力調節容器の断面図である。図２を参照して圧力調節容器の一実施例を説明する。

【0046】

圧力調節容器１００はハウジング１１０と分離膜１２０を含む。ハウジング１１０は内部空間２１５を形成する。分離膜１２０は内部空間２１５を第１空間１１２と第２空間１１５で分離する。第１空間１１２は減光液が移送される空間であり、第１供給ライン６１０及び第２供給ライン６２０と連結される空間である。第２空間１１５は加圧ガスが供給されて加圧ガスが満たされる空間である。

【0047】

分離膜１２０はフレキシブルな素材のシートで提供されることができる。また、分離膜１２０は弾性変形されて面積が変化されることができる素材であることがある。分離膜１２０は耐腐食性のものであることができる。

【0048】

第２空間１１５は加圧流体供給ライン７４０と連結される流入ポートと連結される。流入ポートは加圧流体供給ライン７４０と連結される。加圧流体供給ライン７４０は加圧流体供給源７５０と連結される。加圧流体は窒素ガスであることがある。しかし、これに限定されるものではなくて、加圧流体はエア(Air)であることもある。また、加圧流体は気体に限定されるものではなくて液体であることもある。加圧流体供給ライン７４０にはバルブ７４３とレギュレーター７４５が設置される。バルブ７４３は加圧流体供給ライン７４０が形成する流路を開閉する。レギュレーター７４５は供給される加圧流体の圧力を設定された圧力で調節する。レギュレーター７４５は圧力調節容器１００でトラップタンク３００につながる供給ラインが形成する流路にある減光液を設定圧力で維持されるようにする圧力で加圧流体の供給圧力を調節する。例えば、レギュレーター７４５による圧力調節は、圧力調節容器１００でトラップタンク３００につながる供給ラインが形成する流路上に提供される圧力を陽圧で維持する圧力であることができる。他の例において、例えば、レギュレーター７４５による圧力調節は、圧力調節容器１００でトラップタンク３００につながる供給ラインが形成する流路上に流体圧力センサーを提供して流体圧力センサーの測定値を基盤にフィードバック制御されることができる。

【0049】

第２空間１１５は排気ライン７４６と連結される。排気ライン７４６は排気ライン７４６が形成する流路を開閉するバルブ７４７が提供される。

【0050】

第１空間１１２の容積は加圧流体供給ライン７４０を通じて供給される加圧流体の量によって変更される。加圧流体の量が多ければ、分離膜１２０が変形されながら第１空間１１２の容積が減る。加圧流体が第２空間１１５で排出された状態では第１空間１１２の容積が増える。第１空間１１２は減光液が流れる流路の一部分であるので、第１空間１１２の容積が減れば減光液は加圧される。減光液は陽圧になるほどに加圧される。減光液が陽圧を維持すれば、薬液ボトル２１０とトラップタンク３００の水頭差によって供給ライン内に発生する陰圧が解消されて陽圧で維持されることができて陰圧による気泡発生が防止されることができる。

【0051】

再び図１を参照して説明する。

【0052】

圧力調節容器１００と薬液ボトル２１０を連結する第１供給ライン６１０には気泡感知センサー６１５が提供される。圧力調節容器１００と薬液ボトル２１０を連結する第１供給ライン６１０にはドレインライン６３０が連結される。ドレインライン６３０は気泡感知センサー６１５の下流には設置される。気泡感知センサー６１５が提供した測定値は制御部(図示せず)に伝達される。制御部(図示せず)は気泡感知センサー６１５から測定された気泡が測定値以上の場合、ドレインライン６３０を開放するようにバルブ６３３を開放する。制御部(図示せず)は気泡感知センサー６１５から測定された気泡が測定値以下の場合、ドレインライン６３０を閉鎖するようにバルブ６３３を閉鎖する。気泡感知センサー６１５とドレインライン６３０の適用を通じて、第１供給ライン６１０または薬液ボトル２１０に内包されている気泡、または、薬液ボトル２１０交替時発生した気泡を除去することができる。

【0053】

トラップタンク３００には提供を受けた減光液が臨時貯蔵される。トラップタンク３００の一側には水位感知センサー(図示せず)らが設置されてフォトレジストの水位を感知して適正水位までフォトレジストが継続的に充電されるようにする。トラップタンク３００は薬液ボトル２１０より高い位置に位置される。例えば、薬液ボトル２１０が装備の１層（１F)に提供されれば、トラップタンク３００は装備の２層（２F)に提供されることができる。

【0054】

トラップタンク３００の上端にはドレインライン６３０に連結される。ドレインライン６３０はトラップタンク３００の上端に集められる気泡を除去する。トラップタンク３００には第４供給ライン６５０が連結される。第４供給ライン６５０はポンプ４００の流入ポートに連結される。

【0055】

ポンプ４００は吸入及び排出動作によって発生される流動圧によってトラップタンク３００に貯蔵されている減光液をノズル５００に定量供給する。ポンプ４００とノズル５００は第５供給ライン６６０を通じて連結される。ポンプ４００はトラップタンク３００からウェハー１回分の減光液をポンプ室(図示せず)に吸入しておいて、塗布処理時にノズル５００に一定な圧力及び流量で減光液を排出するものである。実施例において、ポンプ４００は液体定量ポンプ(Metering pump)であることがある。

【0056】

図３は、本発明の一実施例による減光液供給システムの運用による第１様態を説明した図面である。図４は、図３で説明される段階で圧力調節容器の作動を説明した図面である。図５は、本発明の一実施例による減光液供給システムの運用による第２様態を説明した図面である。図６は、図５で説明される段階で圧力調節容器の作動を説明した図面である。図７は、本発明の一実施例による減光液供給システムの運用による第３様態を説明した図面である。図８は、本発明の一実施例による減光液供給システムの運用による第４様態を説明した図面である。図３乃至図８を参照して本発明の一実施例による減光液供給システムの運用方法を説明する。後述する実施様態を説明する前に、後述する実施様態は一つの例示であるだけで、本発明が後述する実施様態に限定されるものではないことを言及する。

【0057】

図３を参照すれば、加圧ガス供給ライン７１０を通じて加圧ガスを内部空間２１５に伝達して内部空間２１５を第１圧力で調節すれば、加圧ガスは減光液を加圧し、加圧された減光液は圧力の相対差によって排出ポートと連結された第１供給ライン６１０に沿って排出される。薬液ボトル２１０に貯蔵された減光液は第１供給ライン６１０に沿って圧力調節容器１００を経って流れる。圧力調節容器１００を去る減光液は第２供給ライン６２０を経ってバルブ６４５を通過して第３供給ライン６４０に乗ってトラップタンク３００に臨時収容される。トラップタンク３００には水位感知センサー(図示せず)が提供される。水位感知センサー(図示せず)から感知される減光液の収容量が設定した水位に到逹するまでトラップタンク３００に減光液が提供される。図４をさらに参照する。減光液がトラップタンク３００に提供される状態で圧力調節容器１００の第１空間１１２は第１容積を有するようになることがある。第１容積は加圧流体を第２空間１１５に印加しない状態で減光液が流れる時自然に形成される容積であることがある。水位感知センサー(図示せず)から感知される減光液の収容量が設定した水位に到逹すれば、減光液の供給を中断する。

【0058】

トラップタンク３００に伝達される減光液の供給中断はバルブ６４５によって行われることができる。また、トラップタンク３００に伝達される減光液の供給中断は加圧ガス供給ライン７１０を通じて供給される加圧ガスの供給を中断することで行われることができる。

【0059】

減光液の供給を中断すれば、薬液ボトル２１０とトラップタンク３００との位置差、すなわち、水頭差によって薬液ボトル２１０とトラップタンク３００を引き継ぐ供給ラインの流路が陰圧になることができる。流路が陰圧になれば微細バブルが発生することがある。図５と図６を参照する。本発明の実施例によれば、減光液の供給を中断すれば、第２供給ライン６２０と第３供給ライン６３０との間のバルブ６４５をロック状態にして、第１供給ライン６１０のバルブ６２３をロック状態にする。そして、圧力調節容器１００の第２空間１１５に加圧流体を印加する。第１空間１１２の容積は第２容積で調節される。第２容積は上述した第１容積より小さな容積である。第１空間１１２が第２容積に減るようになれば、第１供給ライン６１０でバルブ６２３の下流と、バルブ６４５の上流である第２供給ライン６２０が形成する流路の圧力が陽圧になることができる。よって、本発明は薬液ボトル２１０とトラップタンク３００の水頭差にも関係なく供給ラインの流路が陽圧になることがあるし、微細バブル発生が防止されることができる。また、供給ラインの流路を陽圧で維持するために、加圧ガス供給ライン７１０を通じた加圧ガスを常時に供給して減光液を加圧しなくても良い。加圧ガスを常時に供給して減光液を加圧状態にあるようにすれば、加圧ガスが減光液に溶け込んで微細バブルを発生させる可能性があるが、本発明の実施例によれば、加圧ガスと非接触式加圧を行うので、供給ラインを陽圧で維持するための加圧ガスによって発生可能な微細バブルの問題から自由である。

【0060】

図７を参照する。本発明の様態によれば、ドレインライン６３０を通じて第１供給ライン６１０を通過する減光液を設定量排出することができる。気泡感知センサー６１５は減光液に含まれた気泡を測定する。制御機は気泡感知センサー６１５から測定された気泡が設定量以上の場合、気泡が含まれた減光液をドレインライン６３０を通じて排出するように制御することができる。薬液ボトル２１０の交替時バブルが発生することがあるし、発生したバブルがトラップタンク３００まで流入される問題がある。ドレインライン６３０を通じて気泡が含まれた減光液をドレインすれば、上述した問題を解消することができる。図８を参照する。気泡が含まれた減光液のドレインをして、気泡感知センサー６１５から測定された気泡が設定量以下の場合、バルブ６３３をロックしてドレインを中断する。そして、バルブ６２３とバルブ６４５を開放して減光液をトラップタンク３００に送る。

【0061】

前述した実施例で、半導体高集積化のために、より高粘度の減光液が使用される。高粘度の減光液ではバブル管理が重要であり、高粘度減光液を送る減光液供給システムで本発明の実施例がより有効であることがある。

【0062】

前述して図示されなかった制御機は基板処理装置１０００の全体動作を制御することができる。制御機(図示せず)はCPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)及びRAM(Random Access Memory)を含むことができる。CPUはこれらの記憶領域に記憶された各種レシピによって、エッチング処理などの所望の処理を行う。

【0063】

レシピにはプロセス条件に対する装置の制御情報が入力されている。一方、これらプログラムや処理条件を示すレシピは、非一時的コンピューター判読可能媒体に記憶されても良い。非一時的コンピューター判読可能媒体とはレジスター、キャッシュ、メモリーなどのように短い瞬間の間データを保存する媒体ではなく半永久的にデータを保存し、コンピューターによって判読(reading)が可能な媒体を意味する。具体的には、前述した多様なアプリケーションまたはプログラムらはCD、DVD、ハードディスク、ブルーレイディスク、USB、メモリーカード、ROMなどのような非一時的判読可能媒体に記憶されて提供されることができる。

【0064】

以上の詳細な説明は本発明を例示するものである。また、前述した内容は本発明の技術的思想を具現するための望ましいか多様な実施形態を示して説明するものであり、本発明は多様な他の組合、変更及び環境で使用することができる。すなわち、本明細書に開示された発明の概念の範囲、著わした開示内容と均等な範囲及び/または当業界の技術または知識の範囲内で変更または修正が可能である。したがって、以上の発明の詳細な説明は開示された実施状態で本発明を制限しようとする意図ではない。また、添付された請求範囲は他の実施状態も含むことで解釈されなければならない。このような変形実施らは本発明の技術的思想や見込みから個別的に理解されてはいけないであろう。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】