特開 2023-84502 金属化フィルムの製造方法、フィルムコンデンサの製造方法、及び金属化フィルムの製造装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023084502

(43)【公開日】2023-06-19

(54)【発明の名称】金属化フィルムの製造方法、フィルムコンデンサの製造方法、及び金属化フィルムの製造装置

(51)【国際特許分類】

   H01G 4/32 20060101AFI20230612BHJP

   H01G 13/02 20060101ALI20230612BHJP

【ＦＩ】

H01G4/32 551A

H01G4/32 540

H01G13/02 K

H01G13/02 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021198713

(22)【出願日】2021-12-07

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002527

【氏名又は名称】弁理士法人北斗特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】大河内 基裕

(72)【発明者】

【氏名】森田 秀幸

【テーマコード（参考）】

5E082

【Ｆターム（参考）】

5E082EE07

5E082EE37

5E082FF05

5E082FG06

5E082FG34

5E082HH27

(57)【要約】

【課題】直線に沿って膜厚の薄い蒸着部を有する金属化フィルムを容易に製造することができる金属化フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】金属化フィルム１の製造方法は、搬送される誘電体フィルム２と、蒸発源３０との間に金属線５が誘電体フィルム２の搬送方向に平行に存在し、金属線５が誘電体フィルム２から離れた状態で、蒸発源３０から金属６を蒸発させ、金属６を金属線５の両側を通過させて誘電体フィルム２に蒸着させる蒸着工程を含む。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送される誘電体フィルムと、蒸発源との間に金属線が前記誘電体フィルムの搬送方向に平行に存在し、前記金属線が前記誘電体フィルムから離れた状態で、前記蒸発源から金属を蒸発させ、前記金属を前記金属線の両側を通過させて前記誘電体フィルムに蒸着させる蒸着工程を含む、
金属化フィルムの製造方法。

【請求項2】

前記金属線を前記誘電体フィルムの搬送方向と同じ向き又は逆向きに走行させる、
請求項１に記載の金属化フィルムの製造方法。

【請求項3】

前記金属線にオイルを塗布するオイル塗布工程を更に含む、
請求項１又は２に記載の金属化フィルムの製造方法。

【請求項4】

請求項１～３のいずれか１項に記載の金属化フィルムの製造方法を使用して製造された前記金属化フィルムを巻回又は積層して本体部を形成し、前記本体部に一対の電極を形成し、前記一対の電極にバスバーを接続してコンデンサ素子を形成する素子形成工程と、
前記コンデンサ素子を樹脂で封止する封止工程と、を含む、
フィルムコンデンサの製造方法。

【請求項5】

誘電体フィルムを繰り出す繰出部と、
前記繰出部から搬送されてきた前記誘電体フィルムに金属線を対向させながら、前記誘電体フィルムの搬送方向と同じ向き又は逆向きに前記金属線を走行させる膜厚制御部と、
蒸発源を有し、前記蒸発源から金属を蒸発させ、前記金属を前記金属線の両側を通過させて前記誘電体フィルムに蒸着させて金属化フィルムを形成する蒸着処理部と、
前記金属化フィルムを巻き取る巻取部と、を備える、
金属化フィルムの製造装置。

【請求項6】

前記金属線にオイルを塗布するオイル塗布部を更に備える、
請求項５に記載の金属化フィルムの製造装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、一般に金属化フィルムの製造方法、フィルムコンデンサの製造方法、及び金属化フィルムの製造装置に関する。より詳細には誘電体フィルムに金属が蒸着された金属化フィルムの製造方法、金属化フィルムを用いたフィルムコンデンサの製造方法、及び金属化フィルムの製造装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、真空蒸着方法が開示されている。この真空蒸着方法では、基材フィルムの所定部をマスキングテープにより遮蔽しつつ真空蒸着を行うようにしている。具体的には、マスキングテープが、冷却キャンの下で基材フィルムに接触するように配設され、且つ基材フィルムとほぼ同速度で回送される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開昭６３－１６６９５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１では、マスキングテープで遮蔽されていない部分が蒸着部となり、マスキングテープで遮蔽されている部分が非蒸着部（マージン部）となる。特許文献１では、蒸着部の膜厚の制御については、特に検討がなされていないと考えられる。

【0005】

本開示の目的は、直線に沿って膜厚の薄い蒸着部を有する金属化フィルムを容易に製造することができる金属化フィルムの製造方法、フィルムコンデンサの製造方法、及び金属化フィルムの製造装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示の一態様に係る金属化フィルムの製造方法は、搬送される誘電体フィルムと、蒸発源との間に金属線が前記誘電体フィルムの搬送方向に平行に存在し、前記金属線が前記誘電体フィルムから離れた状態で、前記蒸発源から金属を蒸発させ、前記金属を前記金属線の両側を通過させて前記誘電体フィルムに蒸着させる蒸着工程を含む。

【0007】

本開示の一態様に係るフィルムコンデンサの製造方法は、前記金属化フィルムの製造方法を使用して製造された前記金属化フィルムを巻回又は積層して本体部を形成し、前記本体部に一対の電極を形成し、前記一対の電極にバスバーを接続してコンデンサ素子を形成する素子形成工程と、前記コンデンサ素子を樹脂で封止する封止工程と、を含む。

【0008】

本開示の一態様に係る金属化フィルムの製造装置は、誘電体フィルムを繰り出す繰出部と、前記繰出部から搬送されてきた前記誘電体フィルムに金属線を対向させながら、前記誘電体フィルムの搬送方向と同じ向き又は逆向きに前記金属線を走行させる膜厚制御部と、蒸発源を有し、前記蒸発源から金属を蒸発させ、前記金属を前記金属線の両側を通過させて前記誘電体フィルムに蒸着させて金属化フィルムを形成する蒸着処理部と、前記金属化フィルムを巻き取る巻取部と、を備える。

【発明の効果】

【0009】

本開示によれば、直線に沿って膜厚の薄い蒸着部を有する金属化フィルムを容易に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、本実施形態に係る金属化フィルムの製造装置を示す概略図である。

【図2】図２は、本実施形態に係る金属化フィルムを示す概略平面図である。

【図3】図３は、本実施形態に係る金属化フィルム及び金属線を示す概略平面図である。

【図4】図４は、本実施形態に係る金属化フィルムの製造方法における蒸着工程を説明する図である。

【図5】図５Ａ～図５Ｃは、本実施形態に係るフィルムコンデンサの製造方法の各工程を示す概略斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

１．概要
本実施形態に係る金属化フィルム１の製造方法は、蒸着工程を含む。図４に示すように、蒸着工程では、搬送される誘電体フィルム２と、蒸発源３０との間に金属線５が誘電体フィルム２の搬送方向（図４では紙面に垂直な方向）に平行に存在し、金属線５が誘電体フィルム２から離れた状態で、蒸発源３０から金属６を蒸発させ、金属６を金属線５の両側を通過させて誘電体フィルム２に蒸着させる。

【0012】

図４に示すように、蒸発源３０から蒸発して、金属線５の両側を通過した金属６は、誘電体フィルム２の第３非投影部Ｑ３（後述）及び第１非投影部Ｑ１（後述）に堆積して蒸着部６０を形成する。さらに金属線５は、誘電体フィルム２から離れているので、金属線５の両側を通過した金属６は、誘電体フィルム２の第１投影部Ｐ１（後述）にも回り込んで蒸着部６０を形成する。

【0013】

ここで、蒸発源３０と第１投影部Ｐ１との間に金属線５が存在するので、第１投影部Ｐ１に形成される蒸着部６０の膜厚は、第３非投影部Ｑ３及び第１非投影部Ｑ１に形成される蒸着部６０の膜厚よりも薄くなる。

【0014】

したがって、本実施形態によれば、直線に沿って膜厚の薄い蒸着部６０を有する金属化フィルム１を容易に製造することができる。

【0015】

２．詳細
以下、本実施形態に係る金属化フィルム１、金属化フィルム１の製造装置１００、金属化フィルム１の製造方法、及びフィルムコンデンサ１０の製造方法について、図面を参照して説明する。各図は模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさは必ずしも実際の寸法を反映しているとは限らない。

【0016】

（１）金属化フィルム
図２に本実施形態に係る金属化フィルム１を示す。金属化フィルム１は、長手方向Ｌに沿って延びる長尺状をなしている。金属化フィルム１は、誘電体フィルム２と、蒸着部６０と、を備える。

【0017】

誘電体フィルム２は、電気絶縁性を有するフィルムである。誘電体フィルム２は、長手方向Ｌに沿って延びる長尺状をなしている。誘電体フィルム２の材質としては、特に限定されないが、例えば、結晶性プラスチック等が挙げられる。結晶性プラスチックとしては、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、及びポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等が挙げられる。

【0018】

誘電体フィルム２の厚さは、フィルムコンデンサ１０の静電容量と絶縁破壊抑制との兼合い等を考慮して定まるものであり、特に限定されないが、例えば、１．０μｍ以上１０．０μｍ以下である。

【0019】

蒸着部６０は、金属６が蒸着された部分であり、誘電体フィルム２の一方の面（以下「蒸着面」ともいう）に形成されている。誘電体フィルム２の蒸着面において、蒸着部６０を除く部分（図２の白抜き部分）は非蒸着部２０である。非蒸着部２０は、金属６が蒸着されていない部分である。

【0020】

本実施形態では、蒸着部６０は、非分割電極６１と、分割電極６２と、を含む。非分割電極６１と分割電極６２とは、金属化フィルム１の短手方向Ｓ（幅方向Ｓ）に沿って並んでいる。なお、短手方向Ｓは、長手方向Ｌに直交する方向である。

【0021】

非分割電極６１は、ベタ状をなす電極である。非分割電極６１は、長手方向Ｌに沿って延びる長尺状をなしている。非分割電極６１の短手方向Ｓの一方側端部（左側端部）は、誘電体フィルム２の短手方向Ｓの一方側端部（左側端部）と一致している。

【0022】

分割電極６２は、複数の小電極群６２０を有する。複数の小電極群６２０は、長手方向Ｌに沿って並んでいる。複数の小電極群６２０の各々は、第１ヒューズ６０１によって、非分割電極６１とつながっている。第１ヒューズ６０１は、過大な電流が流れると溶けて、小電極群６２０と非分割電極６１とを遮断する部分である。複数の第１ヒューズ６０１は、長手方向Ｌに沿って並んでいる。

【0023】

複数の小電極群６２０の各々は、複数（本実施形態では２つ）の小電極６３０を含む。複数の小電極６３０の各々は、正方形状をなしているが、この形状に限定されない。複数の小電極６３０（本実施形態では第１小電極６３１及び第２小電極６３２）は、短手方向Ｓに沿って並んでいる。複数の第１小電極６３１は、長手方向Ｌに沿って並んでいる。複数の第２小電極６３２も、長手方向Ｌに沿って並んでいる。

【0024】

上述の第１ヒューズ６０１は、小電極群６２０に含まれる第１小電極６３１を非分割電極６１につなげている。

【0025】

第１小電極６３１と第２小電極６３２とは、第２ヒューズ６０２によってつながっている。第２ヒューズ６０２は、過大な電流が流れると溶けて、第１小電極６３１と第２小電極６３２とを遮断する部分である。複数の第２ヒューズ６０２は、長手方向Ｌに沿って並んでいる。なお、第１ヒューズ６０１及び第２ヒューズ６０２の幅（長手方向Ｌに沿った幅）は、小電極６３０の長手方向Ｌに沿った長さよりも細い。第１ヒューズ６０１及び第２ヒューズ６０２の長さ（短手方向Ｓに沿った長さ）は、フィルムコンデンサ１０の静電容量の観点では短いほど好ましいが、特に限定されない。

【0026】

非蒸着部２０は、金属６が蒸着されておらず、誘電体フィルム２が露出している部分である。本実施形態では、非蒸着部２０は、非蒸着端部２０１と、複数の非蒸着境界部２０２と、を含む。

【0027】

非蒸着端部２０１は、金属化フィルム１の短手方向Ｓの他方側端部（右側端部）において、長手方向Ｌに沿って延びる部分である。非蒸着端部２０１の幅（短手方向Ｓに沿った幅）は、フィルムコンデンサ１０の静電容量と短絡抑制との兼合い等を考慮して定まるものであり、特に限定されない。

【0028】

非蒸着境界部２０２は、長手方向Ｌに沿って隣り合う２つの小電極群６２０の境界をなす部分である。非蒸着境界部２０２は、非蒸着端部２０１とつながっている。非蒸着境界部２０２の幅（長手方向Ｌに沿った幅）は、フィルムコンデンサ１０の静電容量の観点では細いほど好ましいが、特に限定されない。なお、「非蒸着境界部２０２の幅」とは、長手方向Ｌに沿って隣り合う小電極６３０間の間隔を意味する。

【0029】

図２では、非分割電極６１、第１小電極６３１及び第２小電極６３２を低密度のドットパターンで図示し、第１ヒューズ６０１及び第２ヒューズ６０２を高密度のドットパターンで図示している。高密度のドットパターンで図示された部分の膜厚は、低密度のドットパターンで図示された部分の膜厚よりも薄い。すなわち、第１ヒューズ６０１及び第２ヒューズ６０２の膜厚は、非分割電極６１、第１小電極６３１及び第２小電極６３２の膜厚よりも薄い。なお、低密度のドットパターンと高密度のドットパターンとの境界は、必ずしも、非分割電極６１と第１ヒューズ６０１との境界、第１ヒューズ６０１と第１小電極６３１との境界、第１小電極６３１と第２ヒューズ６０２との境界、第２ヒューズ６０２と第２小電極６３２との境界に一致するとは限らない。

【0030】

（２）金属化フィルムの製造装置
＜全体構成＞
図１に示すように、本実施形態に係る金属化フィルム１の製造装置１００は、繰出部７１と、マスキング処理部９と、蒸着処理部３と、膜厚制御部４と、オイル塗布部８と、巻取部７２と、を備える。

【0031】

金属化フィルム１の材料である誘電体フィルム２は、長手方向Ｌに搬送される。具体的には、誘電体フィルム２は、繰出部７１から搬送され、マスキング処理部９を経て、蒸着処理部３で金属化フィルム１に加工され、金属化フィルム１が巻取部７２で巻き取られる。このように、誘電体フィルム２の搬送方向の最も上流側に繰出部７１が配置され、最も下流側に巻取部７２が配置されている。なお、誘電体フィルム２及び金属化フィルム１の搬送速度は、特に限定されないが、例えば、１００ｍ／分以上１０００ｍ／分以下である。

【0032】

金属化フィルム１の製造装置１００は、第１収容室１０１と、第２収容室１０２と、真空ポンプ１０５と、を更に備える。第１収容室１０１と第２収容室１０２とは、仕切板１０３で仕切られている。仕切板１０３は開口部１０４を有する。開口部１０４により第１収容室１０１と第２収容室１０２とは連通している。

【0033】

第１収容室１０１は、繰出部７１と、マスキング処理部９と、巻取部７２と、を収容する。なお、第１収容室１０１は、蒸着処理部３の一部（キャンロール３２の一部）も収容する。

【0034】

第２収容室１０２は、蒸着処理部３と、膜厚制御部４と、オイル塗布部８と、を収容する。

【0035】

真空ポンプ１０５は、第２収容室１０２に接続されている。真空ポンプ１０５を作動させることにより、第２収容室１０２内を真空にすることができる。第１収容室１０１は、開口部１０４により第２収容室１０２と連通しているので、第１収容室１０１内も真空にすることができる。真空ポンプ１０５は、第２収容室１０２に直接接続されているので、第２収容室１０２を第１収容室１０１に比べてより高真空にしやすい。なお、「真空」とは、通常の大気圧（２０℃で１０１．３ｋＰａ）より低い圧力の気体で満たされた空間の状態を意味する。

【0036】

このように、繰出部７１、マスキング処理部９、蒸着処理部３、膜厚制御部４、オイル塗布部８、及び巻取部７２は真空下に配置されている。以下、繰出部７１、マスキング処理部９、蒸着処理部３、膜厚制御部４、オイル塗布部８、及び巻取部７２について順に説明する。

【0037】

＜繰出部＞
繰出部７１は、誘電体フィルム２を繰り出す部分である。具体的には、繰出部７１は、繰出ロール７１０を有する。繰出ロール７１０は、長尺状をなす誘電体フィルム２を円筒状に巻いたロールである。繰出ロール７１０は、回転可能に配置されている。

【0038】

＜マスキング処理部＞
マスキング処理部９は、誘電体フィルム２の一方の面（蒸着面）において金属６を蒸着させない部分（非蒸着部分）をマスキングする処理を行う部分である。マスキングされた部分は、金属６が蒸着しないので、金属化フィルム１において非蒸着部２０となる（図２参照）。

【0039】

マスキングは、オイルの塗布により行うことができる。ここで、オイルとしては、特に限定されないが、例えば、シリコンオイル、フッ素オイル、パラフィン油、エステル油、及び植物油等が挙げられる。

【0040】

マスキング処理部９は、繰出部７１よりも搬送方向の下流側に配置されている。マスキング処理部９では、フレキソ印刷により誘電体フィルム２にオイルを塗布することができる。すなわち、マスキング処理部９は、印刷ロール９１と、バックアップロール９２と、を有する。印刷ロール９１及びバックアップロール９２は、繰出ロール７１０と平行かつ回転可能に配置されている。

【0041】

印刷ロール９１は、誘電体フィルム２の一方の面（蒸着面）の非蒸着部分にオイルを塗布するロールである。

【0042】

バックアップロール９２は、誘電体フィルム２の他方の面（蒸着面と反対の面）側に配置されている。バックアップロール９２は、誘電体フィルム２を印刷ロール９１に押し付けるロールである。なお、以下において、特に断らない限り、「他方の面」とは、一方の面の反対側の面を意味する。

【0043】

＜蒸着処理部＞
蒸着処理部３は、誘電体フィルム２に金属６を蒸着する処理を行う部分である。これにより、金属化フィルム１が形成される。

【0044】

蒸着処理部３は、マスキング処理部９よりも搬送方向の下流側に配置されている。蒸着処理部３は、蒸発源３０と、るつぼ３１と、キャンロール３２と、を有する。

【0045】

蒸発源３０は、誘電体フィルム２に蒸着される金属６を含む。金属６としては、特に限定されないが、例えば、アルミニウム及び亜鉛等が挙げられる。

【0046】

るつぼ３１は、蒸発源３０を収容し、蒸発源３０を加熱して蒸発源３０から金属６を蒸発させるための耐熱容器である。蒸発源３０の加熱方法としては、特に限定されないが、例えば、抵抗加熱、電子ビーム加熱、アーク放電加熱、高周波誘導加熱、及びレーザ加熱等が挙げられる。

【0047】

キャンロール３２は、金属６が蒸着される誘電体フィルム２を搬送しながら冷却するためのロールである。キャンロール３２によって、蒸着に伴う誘電体フィルム２への熱負荷を低減し、誘電体フィルム２にシワ及び破れが発生することを抑制することができる。なお、キャンロール３２の温度は、特に限定されないが、例えば－２０℃以上０℃以下である。

【0048】

キャンロール３２は、仕切板１０３の開口部１０４において、繰出ロール７１０と平行かつ回転可能に配置されている。キャンロール３２の回転軸は、仕切板１０３と平行である。キャンロール３２の一部は、第１収容室１０１に配置され、キャンロール３２の残部は、第２収容室１０２に配置されている。

【0049】

キャンロール３２は、るつぼ３１に収容された蒸発源３０と対向している。キャンロール３２と蒸発源３０との間に飛散空間３３が存在する。飛散空間３３は、蒸発源３０から蒸発した金属６がキャンロール３２に向かって飛散する空間である。

【0050】

誘電体フィルム２は、キャンロール３２の外周面に密着しながら搬送される。誘電体フィルム２の一方の面（キャンロール３２の外周面に接触していない面）に金属６が蒸着される。ただし、オイルによりマスキングされた部分には金属６は蒸着されない。一方、誘電体フィルム２の他方の面（キャンロール３２の外周面に密着している面）には金属６は蒸着されない。

【0051】

＜膜厚制御部＞
膜厚制御部４は、誘電体フィルム２への金属６の蒸着量を調整することによって、誘電体フィルム２の蒸着面に形成される蒸着部６０の膜厚を制御し得る部分である。特に直線（本実施形態では長手方向Ｌ）に沿って膜厚の薄い蒸着部６０を形成することができる（図４参照）。

【0052】

図１に示すように、膜厚制御部４は、少なくとも１本以上（本実施形態では２本）の金属線５と、第１ロール４２１と、第２ロール４２２と、を有する。

【0053】

金属線５は、飛散空間３３に存在する。具体的には、金属線５は、キャンロール３２に密着した誘電体フィルム２と、るつぼ３１に収容された蒸発源３０との間に存在する。金属線５は、誘電体フィルム２から離れて存在しており、誘電体フィルム２と接触していない。

【0054】

図３に示すように、金属線５は、長手方向Ｌに沿って延びている。本実施形態では、金属線５の太さは、第１ヒューズ６０１及び第２ヒューズ６０２の長さ（短手方向Ｓに沿った長さ）と同じ、又は第１ヒューズ６０１及び第２ヒューズ６０２の長さよりも太い。具体的には、金属線５の太さは、好ましくは０．０５ｍｍ以上５．０ｍｍ以下、より好ましくは０．１ｍｍ以上２．０ｍｍ以下である。

【0055】

金属線５の材質としては、特に限定されないが、例えば、鉄、ステンレス、銅、亜鉛、モリブデン、タンタル、タングステン、白金、及びニッケル等が挙げられる。

【0056】

上述のように、本実施形態では、膜厚制御部４は、２本の金属線５を有する。２本の金属線５は、第１金属線５１及び第２金属線５２である。第１金属線５１と第２金属線５２とは、短手方向Ｓに沿って並んでいる。

【0057】

図２に示すように、誘電体フィルム２の蒸着面は、投影部Ｐと、非投影部Ｑと、を含む。

【0058】

投影部Ｐは、蒸発源３０から金属線５を見た場合に、金属線５が誘電体フィルム２の蒸着面に投影される部分である。具体的には、投影部Ｐは、第１投影部Ｐ１と、第２投影部Ｐ２と、を含む。

【0059】

第１投影部Ｐ１は、蒸発源３０から第１金属線５１を見た場合に、第１金属線５１が誘電体フィルム２の蒸着面に投影される長尺状をなす部分である。第１投影部Ｐ１は、複数の第１ヒューズ６０１を形成する箇所を含む。

【0060】

第２投影部Ｐ２は、蒸発源３０から第２金属線５２を見た場合に、第２金属線５２が誘電体フィルム２の蒸着面に投影される長尺状をなす部分である。第２投影部Ｐ２は、複数の第２ヒューズ６０２を形成する箇所を含む。

【0061】

一方、非投影部Ｑは、金属線５が投影されない部分である。具体的には、非投影部Ｑは、第１非投影部Ｑ１と、第２非投影部Ｑ２と、第３非投影部Ｑ３と、を含む。

【0062】

第１非投影部Ｑ１は、第１金属線５１も第２金属線５２も投影されない部分である。具体的には、第１非投影部Ｑ１は、第１投影部Ｐ１と第２投影部Ｐ２との間に存在する長尺状をなす部分である。第１非投影部Ｑ１は、複数の第１小電極６３１を形成する箇所を含む。

【0063】

第２非投影部Ｑ２は、第１金属線５１も第２金属線５２も投影されない部分である。具体的には、第２非投影部Ｑ２は、第２投影部Ｐ２の右側に存在する長尺状をなす部分である。第２非投影部Ｑ２は、複数の第２小電極６３２を形成する箇所を含む。

【0064】

第３非投影部Ｑ３は、第１金属線５１も第２金属線５２も投影されない部分である。具体的には、第３非投影部Ｑ３は、第１投影部Ｐ１の左側に存在する長尺状をなす部分である。第３非投影部Ｑ３は、非分割電極６１を形成する箇所を含む。

【0065】

上述のように、膜厚制御部４は、直線（本実施形態では長手方向Ｌ）に沿って膜厚の薄い蒸着部６０を形成することができる。すなわち、膜厚制御部４は、非投影部Ｑに形成される蒸着部６０の膜厚よりも、投影部Ｐに形成される蒸着部６０の膜厚を薄くすることができる。より詳細には、膜厚制御部４は、非分割電極６１、第１小電極６３１及び第２小電極６３２の膜厚よりも、第１ヒューズ６０１及び第２ヒューズ６０２の膜厚を薄くすることができる。

【0066】

図１に示すように、金属線５は、第１ロール４２１及び第２ロール４２２に掛け渡されている。金属線５の長手方向Ｌの一方側は、第１ロール４２１に巻き付けられている。金属線５の長手方向Ｌの他方側は、第２ロール４２２に巻き付けられている。

【0067】

第１ロール４２１は、キャンロール３２と平行かつ回転可能に配置されている。第１ロール４２１は、必要に応じて、正転（図１の矢印の向きに回転）させたり、逆転（図１の矢印の向きと逆向きに回転）させたりすることができるように構成されている。

【0068】

第２ロール４２２は、飛散空間３３を介して、第１ロール４２１と対向している。第２ロール４２２は、第１ロール４２１と平行かつ回転可能に配置されている。第２ロール４２２は、第１ロール４２１と同じ向きに回転させることができるように構成されている。

【0069】

膜厚制御部４は、第１ロール４２１及び第２ロール４２２を同じ向きに回転させることにより、飛散空間３３内において金属線５を長手方向Ｌに走行させることができる。金属線５の走行速度は、特に限定されないが、例えば、誘電体フィルム２の搬送速度よりも遅い。

【0070】

第１ロール４２１及び第２ロール４２２を正転させることにより、誘電体フィルム２に対向させながら、誘電体フィルム２の搬送方向と同じ向きに、金属線５を走行させることができる。一方、第１ロール４２１及び第２ロール４２２を逆転させることにより、誘電体フィルム２に対向させながら、誘電体フィルム２の搬送方向と逆向きに、金属線５を走行させることができる。

【0071】

なお、本実施形態では、誘電体フィルム２は、キャンロール３２の外周面に密着しながら搬送されるので、誘電体フィルム２の搬送方向は、直線的ではなく、湾曲（図１では下に凸に湾曲）している。このような場合において、「誘電体フィルム２の搬送方向と同じ向き」とは、飛散空間３３に面する誘電体フィルム２の速度を、金属線５に平行な成分と、金属線５に垂直な成分とに分けたときに、上記の平行な成分の向きが、金属線５が走行する向き（図１では左向き）と同じであることを意味する。一方、「誘電体フィルム２の搬送方向と逆向き」とは、上記の平行な成分の向きが、金属線５が走行する向きと逆向きであることを意味する。

【0072】

＜オイル塗布部＞
オイル塗布部８は、金属線５にオイルを塗布する部分である。オイルとしては、特に限定されないが、既述のマスキング処理部９で使用されるオイルと同様のオイルが挙げられる。

【0073】

金属線５へのオイルの塗布は、金属線５が飛散空間３３に進入する前に行うことが好ましい。これにより、蒸発した金属６が金属線５に付着しにくくなる。

【0074】

本実施形態では、オイル塗布部８は、第１ロール４２１と飛散空間３３との間に配置されている。オイル塗布部８では、フレキソ印刷により金属線５にオイルを塗布することができる。すなわち、オイル塗布部８は、塗布ロール８１と、バックアップロール８２と、を有する。塗布ロール８１及びバックアップロール８２は、第１ロール４２１と平行かつ回転可能に配置されている。

【0075】

塗布ロール８１は、金属線５にオイルを塗布するロールである。

【0076】

バックアップロール８２は、金属線５を介して、塗布ロール８１に対向して配置されている。バックアップロール８２は、金属線５を塗布ロール８１に押し付けるロールである。

【0077】

＜巻取部＞
巻取部７２は、金属化フィルム１を巻き取る部分である。巻取部７２は、蒸着処理部３よりも搬送方向の下流側に配置されている。具体的には、巻取部７２は、巻取ロール７２０を有する。巻取ロール７２０は、繰出ロール７１０と平行かつ回転可能に配置されている。

【0078】

＜その他＞
金属化フィルム１の製造装置１００は、少なくとも１つ以上（本実施形態では６つ）のガイドロール７０（７０ａ～７０ｆ）を更に備えてもよい。ガイドロール７０は、誘電体フィルム２又は金属化フィルム１の搬送方向を変えるためのロールである。ガイドロール７０は、他のロール（繰出ロール７１０等）と平行かつ回転可能に配置されている。ガイドロール７０が配置される場所は、特に限定されない。

【0079】

（３）金属化フィルムの製造方法
次に本実施形態に係る金属化フィルム１の製造方法について説明する。金属化フィルム１の製造方法は、上述の金属化フィルム１の製造装置１００を使用して実施することができる。

【0080】

本実施形態に係る金属化フィルム１の製造方法は、マスキング工程と、オイル塗布工程と、蒸着工程と、巻取工程と、を含む。これらの工程は、真空下で進行させる。これにより、誘電体フィルム２に揮発成分が含まれている場合には、揮発成分を蒸発させて除去しやすくなる。揮発成分としては、例えば、水分及び添加剤等が挙げられる。これらの揮発成分は、誘電体フィルム２への金属６の蒸着を阻害し得る成分である。また蒸着工程を真空下で進行させることで、金属６が誘電体フィルム２に達する前に、第２収容室１０２内の気体分子に金属６が衝突することを抑制することができる。さらに蒸発源３０の蒸発温度を下げて蒸着を容易にすることができる。

【0081】

＜マスキング工程＞
マスキング工程では、マスキング処理部９によって、繰出部７１から搬送されてきた誘電体フィルム２の一方の面において、金属６を蒸着させない部分（非蒸着部分）をマスキングする。本実施形態では、図２に示す金属化フィルム１の非蒸着部２０とすべき部分にオイルを塗布するようにしている。

【0082】

＜オイル塗布工程＞
オイル塗布工程では、オイル塗布部８によって、金属線５にオイルを塗布する。本実施形態では、膜厚制御部４によって、金属線５を誘電体フィルム２の搬送方向と同じ向きに走行させながら、金属線５が飛散空間３３に進入する前に、オイル塗布部８によって金属線５にオイルを塗布している。

【0083】

なお、図示省略しているが、オイル塗布部８は、第２ロール４２２と飛散空間３３との間に配置されていてもよい。この場合には、膜厚制御部４によって、金属線５を誘電体フィルム２の搬送方向と逆向きに走行させながら、金属線５が飛散空間３３に進入する前に、オイル塗布部８によって金属線５にオイルを塗布することができる。

【0084】

＜蒸着工程＞
蒸着工程では、蒸着処理部３によって、マスキング処理部９から搬送されてきた誘電体フィルム２の蒸着面に金属６を蒸着させる。具体的には、図４に示すように、長手方向Ｌに搬送される誘電体フィルム２と、蒸発源３０との間に金属線５が誘電体フィルム２の搬送方向に平行に存在し、金属線５が誘電体フィルム２から離れた状態で蒸着処理を行う。この状態で、蒸発源３０から金属６を蒸発させ、金属６を金属線５の両側（短手方向Ｓの左側及び右側）を通過させて誘電体フィルム２に蒸着させる。これにより、金属化フィルム１が形成される。なお、図４では、説明の都合上、第２金属線５２、第２ヒューズ６０２及び第２小電極６３２を図示省略している。

【0085】

第１金属線５１の左側を通過した金属６は、誘電体フィルム２の蒸着面において、蒸着部６０のうち非分割電極６１を形成する。一方、第１金属線５１の右側を通過した金属６は、誘電体フィルム２の蒸着面において、第１小電極６３１を形成する。

【0086】

ここで、第１金属線５１は、上述のように誘電体フィルム２から離れた状態にある。そのため、第１金属線５１の左側を通過した金属６は、第３非投影部Ｑ３に堆積するだけでなく、第１投影部Ｐ１にも回り込んで堆積する。同様に、第１金属線５１の右側を通過した金属６も、第１非投影部Ｑ１に堆積するだけでなく、第１投影部Ｐ１にも回り込んで堆積する。これにより、第１投影部Ｐ１に第１ヒューズ６０１が形成される。

【0087】

第１金属線５１が誘電体フィルム２に接触していると、金属６の第１投影部Ｐ１への回り込みが阻害されるので、第１ヒューズ６０１は形成されにくくなる。第１金属線５１と誘電体フィルム２とが非接触状態を維持しつつ、第１金属線５１が誘電体フィルム２に接近するほど、非分割電極６１の膜厚Ｔ６１よりも、第１ヒューズ６０１の膜厚Ｔ６０１を薄くすることができる（図４参照）。なお、第２金属線５２についても、第１金属線５１と同様である。

【0088】

また本実施形態では、金属線５を誘電体フィルム２の搬送方向と同じ向きに走行させている。なお、金属線５を誘電体フィルム２の搬送方向と逆向きに走行させてもよい。また金属線５は、走行させておくのが好ましいが、断続的に走行と停止とを繰り返したり、停止させ続けたりしてもよい。

【0089】

＜巻取工程＞
巻取工程では、巻取部７２によって、金属化フィルム１を巻き取る。金属化フィルム１の一方の面は、蒸着部６０及び非蒸着部２０を有する（図２参照）。蒸着部６０の膜厚は、特に限定されないが、例えば、５ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。本実施形態では、蒸着部６０の膜厚が場所によって異なっている。すなわち、図４に示すように、非分割電極６１の膜厚Ｔ６１よりも、第１ヒューズ６０１の膜厚Ｔ６０１の方が薄くなっている。図４では図示省略しているが、第２ヒューズ６０２の膜厚は、第１ヒューズ６０１の膜厚Ｔ６０１と同じである。また第１小電極６３１及び第２小電極６３２の膜厚は、非分割電極６１の膜厚Ｔ６１と同じである。一方、金属化フィルム１の他方の面は、キャンロール３２の外周面に密着しているので、金属６は蒸着されておらず、誘電体フィルム２が露出している。

【0090】

＜作用効果＞
本実施形態によれば、直線に沿って膜厚の薄い蒸着部６０を有する金属化フィルム１を容易に製造することができる。

【0091】

ここで、上記の「直線」とは、投影部Ｐを意味する（図２参照）。本実施形態では、投影部Ｐは、第１投影部Ｐ１と、第２投影部Ｐ２と、を含む。

【0092】

第１投影部Ｐ１は、複数の第１ヒューズ６０１を形成する箇所を含む。複数の第１ヒューズ６０１の膜厚は、非投影部Ｑに形成される蒸着部６０（非分割電極６１、第１小電極６３１及び第２小電極６３２）の膜厚よりも薄い。

【0093】

第２投影部Ｐ２は、複数の第２ヒューズ６０２を形成する箇所を含む。複数の第２ヒューズ６０２の膜厚も、非投影部Ｑに形成される蒸着部６０（非分割電極６１、第１小電極６３１及び第２小電極６３２）の膜厚よりも薄い。

【0094】

また金属線５と誘電体フィルム２とが非接触状態であることを前提として、金属線５と誘電体フィルム２との距離を短くするほど、第１ヒューズ６０１及び第２ヒューズ６０２の膜厚を、非分割電極６１、第１小電極６３１及び第２小電極６３２の膜厚よりも、薄くすることができる（図４参照）。このように、金属線５と誘電体フィルム２との距離を調整することによって、投影部Ｐに形成される蒸着部６０（本実施形態では第１ヒューズ６０１及び第２ヒューズ６０２）の膜厚を制御することができる。

【0095】

したがって、本実施形態によれば、直線に沿って膜厚の薄い蒸着部６０を有する金属化フィルム１を容易に製造することができる。

【0096】

また本実施形態では、金属線５を走行させるようにしているので、蒸発した金属６が金属線５に堆積しにくくなる。これにより、金属線５が太ることを抑制することができる。その結果、蒸着部６０の膜厚のばらつきを低減することができる。

【0097】

さらに本実施形態では、金属線５にオイルを塗布するようにしているので、蒸発した金属６が金属線５に付着しにくくなる。これにより、金属線５が太ることを更に抑制することができる。その結果、蒸着部６０の膜厚のばらつきを更に低減することができる。

【0098】

なお、特許文献１には、マスキングテープとして、両面フッ素樹脂コーティングされたポリイミドフィルムが開示されているが、同じ太さ（幅）で比較した場合、金属線５の方がマスキングテープよりも高強度であることは明らかである。さらに金属線５は、マスキングテープに比べて、破断、折れ、及びねじれ等が生じにくく、取り扱い性にも優れている。

【0099】

（４）フィルムコンデンサの製造方法
次に本実施形態に係るフィルムコンデンサ１０の製造方法について、図面を参照して説明する。なお、図中に相互に直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を図示しているが、これらの軸は、説明の都合上図示しているだけであり、フィルムコンデンサ１０の方向を限定する趣旨ではなく、実体を伴わない。また以下において、「側面視」とは、Ｙ軸方向に沿って視ることを意味する。

【0100】

本実施形態に係るフィルムコンデンサ１０の製造方法は、素子形成工程と、封止工程と、を含む。以下、素子形成工程及び封止工程について順に説明する。

【0101】

＜素子形成工程＞
素子形成工程では、コンデンサ素子１６を形成する（図５Ｂ参照）。コンデンサ素子１６は、巻回型又は積層型である。本実施形態では、巻回型のコンデンサ素子１６を形成している。以下、巻回型のコンデンサ素子１６を形成する場合について説明する。

【0102】

まず図５Ａに示すように、上述の金属化フィルム１の製造方法を使用して製造された金属化フィルム１を巻回して本体部１３を形成する。具体的には、２枚の金属化フィルム１（第１金属化フィルム１１及び第２金属化フィルム１２）を用意し、これらの金属化フィルム１の蒸着面を同じ向きにして重ねる。なお、第１金属化フィルム１１と第２金属化フィルム１２とは、非分割電極６１及び分割電極６２の位置が左右逆である以外は、同じである。

【0103】

そして、第１金属化フィルム１１及び第２金属化フィルム１２を重ねた状態で２枚の金属化フィルム１を長手方向Ｌに巻回すると、円柱状をなす巻回体１３ａが得られる（図５Ａ参照）。さらに巻回体１３ａをＺ軸方向に加圧することにより、扁平巻回体１３ｂが得られる（図５Ｂ参照）。扁平巻回体１３ｂは、側面視角丸長方形をなし、Ｙ軸方向に延びる立体形状をなす。本実施形態では、扁平巻回体１３ｂを本体部１３として使用している。

【0104】

次に本体部１３に一対の電極１４を形成する。具体的には、Ｙ軸方向における本体部１３の両端に電極１４を形成する。一方の電極１４は、第１金属化フィルム１１の左側において蒸着部６０とつながる。他方の電極１４は、第２金属化フィルム１２の右側において蒸着部６０とつながる。電極１４は、金属溶射法により形成することができる。

【0105】

次に一対の電極１４にバスバー１５を接続してコンデンサ素子１６を形成する。バスバー１５は、Ｚ軸方向に延びる導電性部材である。一対のバスバー１５は、Ｙ軸方向に並んで、Ｚ軸方向に平行に配置されている。バスバー１５の材質としては、特に限定されないが、例えば、銅等が挙げられる。

【0106】

なお、積層型のコンデンサ素子１６を形成する場合には、金属化フィルム１を積層して本体部１３を形成する。例えば、第１金属化フィルム１１及び第２金属化フィルム１２を所定の大きさに切り取り、これらを厚さ方向（Ｚ軸方向）に交互に積層して本体部１３を形成する。本体部１３を形成した後の工程は、巻回型のコンデンサ素子１６の場合と同様である。

【0107】

＜封止工程＞
封止工程では、図５Ｃに示すように、コンデンサ素子１６を樹脂１７で封止する。これにより、フィルムコンデンサ１０を製造することができる。

【0108】

樹脂１７としては、特に限定されないが、例えば、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が挙げられる。樹脂１７の硬化物で封止部１８が形成されている。封止部１８が、コンデンサ素子１６を封止している。すなわち、封止部１８にコンデンサ素子１６が埋没している。本実施形態では、封止部１８は、直方体状をなす。封止部１８のＺ軸方向一方側（上側）を向く面から一対のバスバー１５が突出している。一対のバスバー１５間に電圧を印加することにより、フィルムコンデンサ１０を充電することができる。

【0109】

＜作用効果＞
本実施形態では、第１ヒューズ６０１の膜厚及び第２ヒューズ６０２の膜厚が、非分割電極６１の膜厚Ｔ６１よりも薄くなっている。これにより、第１ヒューズ６０１の抵抗値及び第２ヒューズ６０２の抵抗値が大きくなり、第１ヒューズ６０１の感度及び第２ヒューズ６０２の感度が高まる。その結果、短絡等の異常が発生し、過大な電流が流れた際に、第１ヒューズ６０１及び／又は第２ヒューズ６０２が溶断することで、フィルムコンデンサ１０の安全性を向上させることができる。

【0110】

また本実施形態では、非分割電極６１の膜厚Ｔ６１が、第１ヒューズ６０１の膜厚及び第２ヒューズ６０２の膜厚よりも厚くなっている。これにより、等価直列抵抗（ＥＳＲ：Equivalent Series Resistance）による損失を低減することができる。その結果、充電時及び放電時におけるフィルムコンデンサ１０の発熱を低減することができる。

【0111】

３．変形例
以上、本開示の実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されることなく、本開示の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

【0112】

本実施形態に係る金属化フィルム１の製造方法は、オイル塗布工程を含まなくてもよい。したがって、本実施形態に係る金属化フィルム１の製造装置１００は、オイル塗布部８を備えなくてもよい。

【0113】

本実施形態では、蒸着部６０は、非分割電極６１と、分割電極６２と、を含んでいるが、蒸着部６０の形状（厚さ方向に沿って視た形状）は、特に限定されない。

【0114】

本実施形態では、金属線５へのオイルの塗布は、フレキソ印刷により行っているが、スプレー等を用いて金属線５にオイルを吹きつけるようにしてもよい。

【0115】

本実施形態では、オイル塗布部８は、第１ロール４２１と飛散空間３３との間に配置されているが、第２ロール４２２と飛散空間３３との間に配置されていてもよい。

【0116】

本実施形態では、誘電体フィルム２と蒸発源３０との間において、誘電体フィルム２の搬送方向に平行に金属線５が存在しているが、必ずしも完全に誘電体フィルム２の搬送方向に平行に金属線５が存在している必要はない。すなわち、本実施形態の作用効果を損なわない範囲内において、誘電体フィルム２の搬送方向に対して、金属線５が斜めに存在していてもよい。

【0117】

本実施形態では、誘電体フィルム２の搬送方向と同じ向き又は逆向きに金属線５を走行させるようにしているが、必ずしも完全に誘電体フィルム２の搬送方向と同じ向き又は逆向きに金属線５を走行させる必要はない。本実施形態の作用効果を損なわない範囲内において、誘電体フィルム２の搬送方向に対して、金属線５を斜めに走行させるようにしてもよい。

【符号の説明】

【0118】

１ 金属化フィルム
１０ フィルムコンデンサ
１３ 本体部
１４ 電極
１５ バスバー
１６ コンデンサ素子
１７ 樹脂
１００ 金属化フィルムの製造装置
２ 誘電体フィルム
２０ 非蒸着部
３ 蒸着処理部
３０ 蒸発源
４ 膜厚制御部
５ 金属線
６ 金属
７１ 繰出部
７２ 巻取部
８ オイル塗布部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】