特開2023-86551露光方法および露光システム

発明の名称　露光方法および露光システム

出願人　ウシオ電機株式会社　（識別番号 102212）

　　　　特許公開件数ランキング 261 位（123件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 399 位（64件）（共同出願を含む）

出願人　株式会社アドテックエンジニアリング　（識別番号 300091670）

　　　　特許公開件数ランキング 4956 位（4件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4051 位（3件）（共同出願を含む）

出願人　公益財団法人福岡県産業・科学技術振興財団　（識別番号 391043332）

　　　　特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24615 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-86551

公報発行日　2023年6月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-86551

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2023-86551「露光方法および露光システム」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録