特開 2023-88069 基板用保護具、及び膜付き基板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023088069

(43)【公開日】2023-06-26

(54)【発明の名称】基板用保護具、及び膜付き基板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/50 20060101AFI20230619BHJP

   C23C 16/458 20060101ALI20230619BHJP

   C03C 17/34 20060101ALI20230619BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20230619BHJP

   G02B 1/113 20150101ALN20230619BHJP

【ＦＩ】

C23C14/50 D

C23C16/458

C03C17/34 Z

H01L21/68 N

G02B1/113

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021202706

(22)【出願日】2021-12-14

(71)【出願人】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】山崎 雄亮

【テーマコード（参考）】

2K009

4G059

4K029

4K030

5F131

【Ｆターム（参考）】

2K009AA02

2K009BB02

2K009CC02

2K009DD01

4G059AA01

4G059AC04

4G059EA01

4G059EA05

4G059EB04

4G059GA02

4G059GA04

4G059GA07

4G059GA12

4K029AA04

4K029AA09

4K029AA11

4K029AA24

4K029CA05

4K029JA01

4K030CA05

4K030CA06

4K030CA07

4K030CA17

4K030GA02

5F131AA03

5F131AA12

5F131BA03

5F131BA04

5F131CA06

5F131DA05

5F131DA22

5F131DA42

5F131EB38

5F131GA03

5F131GA22

5F131GA32

(57)【要約】

【課題】機能性膜の膜質の均一性を高めることのできる基板用保護具、及び膜付き基板の製造方法を提供する。
【解決手段】基板用保護具１１は、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａを保護する。基板用保護具１１は、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａを覆う寸法を有する本体プレート１２と、本体プレート１２に基板Ｗ１を取り付ける取付部材１３とを備える。取付部材１３は、本体プレート１２と基板Ｗ１との間に配置される取付部本体１３ａと、本体プレート１２と基板Ｗ１との間から外方に突出する突出部１３ｂとを有する。取付部本体１３ａは、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａの周縁部に粘着する粘着層を有する。取付部本体１３ａは、本体プレート１２に固定されず、突出部１３ｂが、本体プレート１２に固定される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板の両主面のうち、一方の主面を保護するための基板用保護具であって、
前記基板の前記主面を覆う寸法を有する本体プレートと、
前記本体プレートに前記基板を取り付ける取付部材と、を備え、
前記取付部材は、前記本体プレートと前記基板との間に配置される取付部本体と、
前記本体プレートと前記基板との間から外方に突出する突出部と、を有し、
前記取付部本体は、前記基板の前記主面の周縁部に粘着する粘着層を有し、
前記取付部本体は、前記本体プレートに固定されず、前記突出部が、前記本体プレートに固定される、基板用保護具。

【請求項2】

前記取付部材の前記取付部本体は、長手方向を有し、
前記取付部材の前記突出部は、前記取付部本体の長手方向の両端部にそれぞれ設けられ、前記突出部のいずれも前記本体プレートに固定される、請求項１に記載の基板用保護具。

【請求項3】

前記本体プレートに固定される固定部材をさらに備え、
前記取付部材の前記突出部は、前記固定部材と前記本体プレートとの間に挟持される、請求項１又は請求項２に記載の基板用保護具。

【請求項4】

前記固定部材と前記本体プレートとは、互いに嵌合する凹凸構造を有し、
前記取付部材の前記突出部は、前記凹凸構造により挟持される、請求項３に記載の
基板用保護具。

【請求項5】

請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の基板用保護具を用いる膜付き基板の製造方法であって、
前記基板用保護具に前記基板を取り付ける取り付け工程と、
前記基板用保護具に取り付けられた前記基板に機能性膜を成膜することで膜付き基板を得る成膜工程と、を備える、膜付き基板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板用保護具、及び膜付き基板の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

ガラス基板等の基板の両主面のうち、基板の一方の主面のみに機能性膜を成膜する場合がある。この場合、特許文献１，２に開示されるように、基板の他方の主面を基板用保護具により保護することで、基板の他方の主面における機能性膜の成膜を抑えることができる。基板用保護具は、基板の主面における周縁部に粘着可能な粘着層を有している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１９－０４４２３７号公報

【特許文献2】国際公開第２０１９／１１７１８６号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のように基板用保護具が基板の周縁部に粘着可能な粘着層を有する場合、基板の周縁部に成膜された機能性膜の膜質の品位と、基板の周縁部よりも内側部分に成膜された機能性膜の膜質の品位とが異なり易い。

【0005】

本発明の目的は、機能性膜の膜質の均一性を高めることのできる基板用保護具、及び膜付き基板の製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決する基板用保護具は、基板の両主面のうち、一方の主面を保護するための基板用保護具であって、前記基板の前記主面を覆う寸法を有する本体プレートと、前記本体プレートに前記基板を取り付ける取付部材と、を備え、前記取付部材は、前記本体プレートと前記基板との間に配置される取付部本体と、前記本体プレートと前記基板との間から外方に突出する突出部と、を有し、前記取付部本体は、前記基板の前記主面の周縁部に粘着する粘着層を有し、前記取付部本体は、前記本体プレートに固定されず、前記突出部が、前記本体プレートに固定される。

【0007】

上記のように、取付部材の取付部本体が本体プレートに固定されていないため、取付部本体と本体プレートとの密着性を低く抑えることができる。このため、基板から取付部本体、本体プレートの順に伝わる熱伝導を抑えることが可能となる。これにより、基板の温度上昇を伴う機能性膜の成膜工程において、基板の中央部の温度と基板の周縁部の温度との差を小さくすることができる。すなわち、基板に機能性膜を成膜する成膜工程において、基板の温度の均一性を高めることができる。

【0008】

上記基板用保護具において、前記取付部材の前記取付部本体は、長手方向を有し、前記取付部材の前記突出部は、前記取付部本体の長手方向の両端部にそれぞれ設けられ、前記突出部のいずれも前記本体プレートに固定されてもよい。この構成によれば、本体プレートに対する取付部本体の離間を抑えることで、基板と本体プレートとの位置ずれを抑えることができる。これにより、例えば、成膜工程を安定して行うことが可能となる。

【0009】

上記基板用保護具において、前記本体プレートに固定される固定部材をさらに備え、前記取付部材の前記突出部は、前記固定部材と前記本体プレートとの間に挟持されてもよい。このように、取付部材の突出部を固定部材と本体プレートとの間に挟持させることで、取付部材を本体プレートに容易に着脱することができる。これにより、例えば、取付部材を容易に交換することが可能となる。

【0010】

上記基板用保護具において、前記固定部材と前記本体プレートとは、互いに嵌合する凹凸構造を有し、前記取付部材の前記突出部は、前記凹凸構造により挟持されてもよい。この構成によれば、取付部材の突出部をより強固に本体プレートに固定することができる。これにより、本体プレートに対する取付部材の位置ずれを抑えることができる。従って、例えば、成膜工程をより安定して行うことが可能となる。

【0011】

膜付き基板の製造方法は、上記基板用保護具を用いる膜付き基板の製造方法であって、前記基板用保護具に前記基板を取り付ける取り付け工程と、前記基板用保護具に取り付けられた前記基板に機能性膜を成膜することで膜付き基板を得る成膜工程と、を備える。

【発明の効果】

【0012】

本発明は、機能性膜の膜質の均一性を高める効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、実施形態における基板用保護具を示す斜視図である。

【図2】図２は、基板用保護具の使用状態を示す正面図である。

【図3】図３は、図２の３－３線に沿った部分断面図である。

【図4】図４は、基板用保護具を示す分解斜視図である。

【図5】図５は、図４の５－５線に沿った部分断面図である。

【図6】図６は、基板用保護具を示す断面図である。

【図7】図７は、固定部材の動作を説明する断面図である。

【図8】図８は、固定部材の動作を説明する断面図である。

【図9】図９は、試験用サンプルを示す斜視図である。

【図10】図１０は、機能性膜の反射スペクトルを示すグラフである。

【図11】図１１は、機能性膜の色座標を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、基板用保護具、及び膜付き基板の製造方法の一実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張又は簡略化して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。

【0015】

＜基板用保護具の概要＞
図１に示すように、基板Ｗ１は、第１主面Ｗ１ａと、第１主面Ｗ１ａの反対側の第２主面Ｗ１ｂとを有している。図１～図３に示すように、基板用保護具１１は、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａを保護する。基板用保護具１１は、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａを覆う寸法を有する本体プレート１２と、本体プレート１２に基板Ｗ１を取り付ける取付部材１３とを備えている。本実施形態の基板用保護具１１は、本体プレート１２に固定される固定部材１４をさらに備えている。

【0016】

基板Ｗ１の第２主面Ｗ１ｂは、機能性膜が成膜される主面であり、この第２主面Ｗ１ｂに機能性膜を成膜することで、図示を省略した膜付き基板が得られる。基板Ｗ１としては、例えば、ガラス基板、樹脂基板、セラミックス基板等が挙げられる。本実施形態の基板Ｗ１は、平面視で長方形のガラス基板である。基板Ｗ１は、単層構造に限定されず、例えば、ガラス等からなる本体層と、印刷層等の外層とからなる多層構造を有していてもよい。基板Ｗ１の厚さは、例えば、５ｍｍ以下である。基板Ｗ１の厚さは、例えば、０．１ｍｍ以上である。

【0017】

図１及び図２に示すように、基板用保護具１１は、設置部Ｍに取り付けて用いられる。設置部Ｍには、一つの基板用保護具１１を取り付けてもよいし、図２に示すように、複数の基板用保護具１１を取り付けてもよい。基板Ｗ１に機能性膜を成膜する成膜工程は、例えば、図２に示すように、基板Ｗ１及び本体プレート１２が縦姿勢になるように基板用保護具１１を配置して行うことができる。

【0018】

＜本体プレート＞
図１に示すように、基板用保護具１１の本体プレート１２は、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａよりも大きい外形寸法のプレート面１２ａと、プレート面１２ａの外周に連なる外周端面１２ｂとを有している。本実施形態の本体プレート１２のプレート面１２ａは、基板Ｗ１における第１主面Ｗ１ａの全体がプレート面１２ａの外周縁よりも内側に配置される外形寸法を有している。本体プレート１２のプレート面１２ａは、平面視においてプレート面１２ａの外周縁から０．５ｍｍ以上内側となる範囲に基板Ｗ１における第１主面Ｗ１ａの全体が配置可能な外形寸法を有することが好ましい。

【0019】

本体プレート１２の材料としては、例えば、金属材料、セラミックス、耐熱樹脂等が挙げられる。金属材料としては、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス鋼等が挙げられる。本体プレート１２の熱膨張係数は、基板Ｗ１の熱膨張係数をＡ／℃とした場合、Ａ－（１０×１０^－６）／℃以上、Ａ＋（１０×１０^－６）／℃以下の範囲内であることが好ましい。ここでいう熱膨張係数は、２０℃以上、２００℃以下の範囲における平均熱膨張係数である。本体プレート１２の厚さは、例えば、３ｍｍ以上、３０ｍｍ以下の範囲内であることが好ましい。

【0020】

＜取付部材＞
図１及び図２に示すように、基板用保護具１１の取付部材１３は、本体プレート１２と基板Ｗ１との間に配置される取付部本体１３ａと、本体プレート１２と基板Ｗ１との間から外方に突出する突出部１３ｂとを有している。

【0021】

図３に示すように、取付部本体１３ａは、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａの周縁部に粘着する粘着層１５を有している。本実施形態の取付部本体１３ａは、本体プレート１２の対向する二辺に沿って延びるように一対配置されている。一対の取付部本体１３ａの粘着層１５は、基板Ｗ１の対向する二辺に沿った周縁部を粘着する。

【0022】

粘着層１５は、基板Ｗ１に機能性膜を成膜する成膜時の温度に耐え得る耐熱性を有するものを選択して用いることができる。粘着層１５としては、例えば、シリコーン系粘着層、アクリル系粘着層、及びウレタン系粘着層が挙げられる。

【0023】

粘着層１５の基板Ｗ１に対する粘着力は、成膜後において基板Ｗ１から粘着層１５を容易に剥離させる観点から、例えば、３．０（Ｎ／２５ｍｍ幅）以下の弱粘着性を有することが好ましい。なお、粘着層１５の基板Ｗ１に対する粘着力の下限は、基板Ｗ１に対する密着性を確保し易くするため、０．０５（Ｎ／２５ｍｍ幅）以上であることが好ましい。粘着層１５の粘着力は、ＪＩＳ Ｚ０２３７（２００９）に規定される１８０°剥離試験に準拠して測定される。

【0024】

取付部本体１３ａは、粘着層１５が設けられる支持体層１６を有している。支持体層１６は、非粘着性を有する層であり、本体プレート１２側に配置される主面は、非粘着面１６ａである。すなわち、支持体層１６を有する取付部本体１３ａは、本体プレート１２に粘着されない。

【0025】

取付部本体１３ａの支持体層１６は、例えば、織布又は不織布、高分子材料等が挙げられる。織布又は不織布としては、例えば、ガラスクロスが挙げられる。高分子材料としては、例えば、樹脂材料又はゴム材料が挙げられる。樹脂材料としては、例えば、ポリオレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、及びポリイミド樹脂が挙げられる。ゴム材料としては、例えば、シリコンゴム、ウレタンゴム、クロロプレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、及びエチレン・プロピレン・ジエンゴムが挙げられる。

【0026】

支持体層１６は、単層構造であってもよいし、多層構造であってもよい。支持体層１６は、例えば、ポリイミドフィルム、ＰＥＴフィルム等の樹脂フィルムから構成することが好適である。取付部本体１３ａの厚さは、例えば、１０μｍ以上、１００μｍ以下の範囲内であることが好ましい。

【0027】

図１に示すように、取付部材１３の突出部１３ｂが本体プレート１２に固定されている。取付部材１３の突出部１３ｂは、上記取付部本体１３ａと同様に粘着層１５と支持体層１６とを有している。本実施形態の取付部材１３は、長手方向を有し、突出部１３ｂは、取付部本体１３ａの長手方向の両端部にそれぞれ設けられている。取付部本体１３ａの長手方向の両端部の各突出部１３ｂは、いずれも本体プレート１２に固定されている。突出部１３ｂの厚さは、例えば、１０μｍ以上、１００μｍ以下の範囲内であることが好ましい。

【0028】

＜固定部材＞
図１及び図２に示すように、基板用保護具１１の固定部材１４は、本体プレート１２の両端部に対応して一対設けられている。図４～図６に示すように、上述した取付部材１３の突出部１３ｂは、本体プレート１２と固定部材１４との間に挟持される。このように本実施形態の取付部材１３の突出部１３ｂは、固定部材１４により本体プレート１２に固定される。

【0029】

固定部材１４は、第１凹凸構造１７を有している。また、本体プレート１２は、第１凹凸構造１７と嵌合する第２凹凸構造１８を有している。取付部材１３の突出部１３ｂは、互いに嵌合する第１凹凸構造１７と第２凹凸構造１８とにより挟持されている。本実施形態の第１凹凸構造１７は、凸部構造であるが、凹部構造であってもよいし、凹部と凸部とを組み合わせた構造であってよい。本実施形態の第２凹凸構造１８は、凹部構造であるが、凸部構造であってもよいし、凸部と凹部とを組み合わせた構造であってよい。

【0030】

固定部材１４を用いて取付部材１３を本体プレート１２に固定するには、図５に示すように、取付部材１３の取付部本体１３ａを本体プレート１２に重なるように配置する。このとき、取付部材１３の突出部１３ｂを本体プレート１２の両端部に巻き付けるように配置する。次に、図５及び図６に示すように、固定部材１４を取付部材１３の突出部１３ｂに押し付けるようにして本体プレート１２の両端部に組み付ける。これにより、固定部材１４の第１凹凸構造１７を本体プレート１２の第２凹凸構造１８に嵌合させる。このとき、第１凹凸構造１７と第２凹凸構造１８とにより取付部材１３の突出部１３ｂを挟持することができる。

【0031】

＜その他の構成＞
図７及び図８に示すように、本実施形態の基板用保護具１１は、固定部材１４を本体プレート１２に向けて付勢する付勢機構１９を備えている。なお、図４では、図面を簡略化するため、付勢機構の図示を省略している。

【0032】

基板用保護具１１の付勢機構１９は、例えば、圧縮コイルばね等の付勢部材を備えている。図７に示す基板用保護具１１では、付勢機構１９の付勢力により、固定部材１４と本体プレート１２により挟持される取付部材１３の突出部１３ｂの移動が規制されている。図８に示すように、固定部材１４を付勢機構１９の付勢力に抗して引っ張ることで、固定部材１４を本体プレート１２から離間させることができる。これにより、取付部材１３の突出部１３ｂの移動の規制を解除することができる。この状態では、固定部材１４と本体プレート１２との間の間隙に取付部材１３の突出部１３ｂを挿脱することができる。なお、本実施形態の付勢機構１９は、例えば、引張コイルばね、板ばね等の付勢部材を用いて、固定部材１４を本体プレート１２に向けて付勢するように構成することもできる。

【0033】

＜膜付き基板の製造方法＞
次に、上記基板用保護具１１を用いる膜付き基板の製造方法について、基板用保護具１１の主な作用とともに説明する。

【0034】

膜付き基板の製造方法は、基板用保護具１１に基板Ｗ１を取り付ける取り付け工程と、基板用保護具１１に取り付けられた基板Ｗ１に機能性膜を成膜することで膜付き基板を得る成膜工程とを備えている。

【0035】

図１に示すように、取り付け工程では、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａを本体プレート１２のプレート面１２ａと向かい合うようにして基板Ｗ１を本体プレート１２のプレート面１２ａに重ねるように載置する。このとき、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａを基板用保護具１１の粘着層１５に粘着させることで、本体プレート１２に対する基板Ｗ１の位置ずれを抑えることができる。

【0036】

成膜工程では、基板用保護具１１に取り付けられた基板Ｗ１の第２主面Ｗ１ｂ上に機能性膜を成膜することで、図示を省略した膜付き基板を得る。成膜工程では、基板Ｗ１の外周端面にも機能性膜を成膜することも可能である。

【0037】

成膜工程で用いる成膜法としては、例えば、スパッタリング法等のＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）法、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法、スプレー、スピンコート等のコーティング法等が挙げられる。膜付き基板の機能性膜としては、例えば、所定の光学的特性を有する膜（誘電体膜等）、所定の機械的特性を有する膜、及び所定の化学的特性を有する膜、所定の色を有する膜が挙げられる。機能性膜を形成するための成膜材料は、無機材料であってもよいし、有機材料であってもよい。

【0038】

成膜工程で用いる基板用保護具１１は、本体プレート１２と取付部材１３とを備えている。取付部材１３の取付部本体１３ａは、本体プレート１２に固定されず、取付部材１３の突出部１３ｂが、本体プレート１２に固定されている。

【0039】

このように取付部材１３の取付部本体１３ａが本体プレート１２に固定されていないため、取付部本体１３ａと本体プレート１２との密着性を低く抑えることができる。このため、基板Ｗ１から取付部本体１３ａ、本体プレート１２の順に伝わる熱伝導を抑えることが可能となる。これにより、基板Ｗ１の温度上昇を伴う機能性膜の成膜工程において、基板Ｗ１の中央部の温度と基板Ｗ１の周縁部の温度との差を小さくすることができる。すなわち、基板Ｗ１に機能性膜を成膜する成膜工程において、基板Ｗ１の温度の均一性を高めることができる。

【0040】

次に、成膜用保護具を用いた成膜工程の試験例について説明する。
図９には、成膜用保護具の試験用サンプル２０を示している。試験用サンプル２０は、取付部材１３として片面粘着テープを用いている。片面粘着テープは、取付部本体１３ａと突出部１３ｂとを構成している。片面粘着テープの突出部１３ｂは、本体プレート１２のプレート面１２ａとは反対側の主面に固定されている。片面粘着テープの厚さは、７５μｍである。

【0041】

試験用サンプル２０は、本体プレート１２に設けられる両面粘着テープ２１をさらに備えている。両面粘着テープ２１は、基板Ｗ１と本体プレート１２のプレート面１２ａとの間に配置されるとともに、基板Ｗ１と本体プレート１２との両方に粘着している。両面粘着テープ２１の厚さは、１２５μｍである。

【0042】

試験用サンプル２０を用いた成膜工程では、ガラス基板に機能性膜として反射防止膜をスパッタリング法により成膜した。反射防止膜は、５層構造とした。１層目は、最もガラス板に近い層であり、その材料は、ＳｉＯ_２であり、厚さは、４５．０ｎｍである。２層目の材料は、Ｎｂ_２Ｏ_５であり、厚さは、１０．３ｎｍである。３層目の材料は、ＳｉＯ_２であり、厚さは、３３．０ｎｍである。４層目の材料は、Ｎｂ_２Ｏ_５であり、厚さは、１０９．３ｎｍである。５層目の材料は、ＳｉＯ_２であり、厚さは、８３．５ｎｍである。

【0043】

次に、ガラス基板上に成膜した反射防止膜の反射スペクトルを測定した。反射スペクトルの測定は、第１測定点Ａ、第２測定点Ｂ、及第３測定点Ｃの３箇所で行った。第１測定点Ａは、ガラス基板が粘着されていない中央部分である。第２測定点Ｂは、ガラス基板が取付部材１３の取付部本体１３ａと重なる第１の周縁部である。第３測定点Ｃは、ガラス基板が両面粘着テープ２１と重なる位置の第２の周縁部である。

【0044】

図１０には、第１測定点Ａ、第２測定点Ｂ、及び第３測定点Ｃにおける反射スペクトルを示す。図１０に示すように、第２測定点Ｂにおける反射防止膜の反射スペクトルは、第１測定点Ａのおける反射防止膜の反射スペクトルと同等の結果が得られた。一方、第３測定点Ｃにおける反射防止膜の反射スペクトルは、第１測定点Ａにおける反射防止膜の反射スペクトルとは大きく異なる結果となった。

【0045】

次に、ガラス基板上に成膜した反射防止膜の色座標を測定した。色座標は、ＪＩＳ Ｚ８７８１－４：２０１３に規定されるＬ^＊ａ^＊ｂ^＊色空間に準拠して測定した。その結果を図１１に示す。図１１に示すように、第２測定点Ｂの反射防止膜の色座標は、第１測定点Ａの反射防止膜の色座標と同等の結果が得られた。一方、第３測定点Ｃの反射防止膜の色座標は、第１測定点Ａの反射防止膜の色座標とは大きく異なる結果となった。

【0046】

＜本実施形態の作用及び効果＞
次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。
（１）基板用保護具１１は、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａを覆う寸法を有する本体プレート１２と、本体プレート１２に基板Ｗ１を取り付ける取付部材１３とを備えている。取付部材１３は、本体プレート１２と基板Ｗ１との間に配置される取付部本体１３ａと、本体プレート１２と基板Ｗ１との間から外方に突出する突出部１３ｂとを有している。取付部本体１３ａは、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａの周縁部に粘着する粘着層１５を有している。取付部本体１３ａは、本体プレート１２に固定されず、突出部１３ｂが、本体プレート１２に固定されている。

【0047】

この構成によれば、上述したように基板Ｗ１に機能性膜を成膜する成膜工程において、基板Ｗ１の温度の均一性を高めることができる。従って、機能性膜の膜質の均一性を高めることができる。例えば、膜付き基板における機能性膜の中央部の反射率と周縁部における反射率とを近づけることができる。また、例えば、膜付き基板の中央部の色と周縁部の色とを近づけることができる。

【0048】

（２）基板用保護具１１において、取付部材１３の取付部本体１３ａは、長手方向を有している。取付部材１３の突出部１３ｂは、取付部本体１３ａの長手方向の両端部にそれぞれ設けられている。これら突出部１３ｂのいずれも本体プレート１２に固定されている。この場合、本体プレート１２に対する取付部本体１３ａの離間を抑えることで、基板Ｗ１と本体プレート１２との位置ずれを抑えることができる。これにより、例えば、基板Ｗ１に機能性膜を成膜する成膜工程を安定して行うことが可能となる。

【0049】

（３）基板用保護具１１は、本体プレート１２に固定される固定部材１４をさらに備えている。取付部材１３の突出部１３ｂは、固定部材１４と本体プレート１２との間に挟持されている。このように取付部材１３の突出部１３ｂを固定部材１４と本体プレート１２との間に挟持させることで、取付部材１３を本体プレート１２に容易に着脱することができる。これにより、例えば、取付部材１３を容易に交換することが可能となる。

【0050】

（４）基板用保護具１１において、固定部材１４と本体プレート１２とは、互いに嵌合する凹凸構造を有している。取付部材１３の突出部１３ｂは、凹凸構造により挟持されている。この場合、取付部材１３の突出部１３ｂをより強固に本体プレート１２に固定することができる。これにより、本体プレート１２に対する取付部材１３の位置ずれを抑えることができる。従って、例えば、成膜工程をより安定して行うことが可能となる。

【0051】

（５）基板用保護具１１は、固定部材１４を本体プレート１２に向けて付勢する付勢機構１９を備えている。この場合、付勢機構１９の付勢力に抗して固定部材１４を引っ張ることで、固定部材１４を本体プレート１２から離間させることができる。これにより、固定部材１４と本体プレート１２との間に取付部材１３の突出部１３ｂを容易に挿脱することができる。従って、本体プレート１２に取付部材１３を容易に着脱することが可能となる。このため、例えば、取付部材１３を容易に交換することが可能となる。

【0052】

（変更例）
上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。

【0053】

・基板用保護具１１において、固定部材１４の第１凹凸構造１７と本体プレート１２の第２凹凸構造１８とを省略することもできる。すなわち、固定部材１４と本体プレート１２は、平坦面により取付部材１３の突出部１３ｂを挟持する構成であってもよい。

【0054】

・基板用保護具１１において、取付部材１３の突出部１３ｂは、固定部材１４と本体プレート１２との間に挟持されることで本体プレート１２に固定されているが、この固定方法に限定されない。例えば、取付部材１３の突出部１３ｂと本体プレート１２との間に粘着層を配置し、この粘着層により、突出部１３ｂを本体プレート１２に固定することもできる。また、このような粘着層と上記固定部材１４とを併用することもできる。

【0055】

・基板用保護具１１の固定部材１４を、例えば、ねじ等の締結部材により本体プレート１２に固定することもできる。
・基板用保護具１１の付勢機構１９を省略することもできる。

【0056】

・基板用保護具１１において、一つの固定部材１４に設けられる付勢機構１９の数は、単数であってもよいし、複数であってもよい。
・基板用保護具１１において、取付部材１３の取付部本体１３ａの形状や配置は、上記実施形態に限定されず、例えば、平面視で本体プレート１２の外周端縁に沿って連続する環状であってもよい。

【0057】

・基板用保護具１１において、取付部材１３の突出部１３ｂは、取付部本体１３ａの両端部に設けられているが、取付部本体１３ａの両端部のうち、いずれか一方の端部に設けられていてもよい。例えば、図２に示すように、基板Ｗ１及び本体プレート１２が縦姿勢になるように基板用保護具１１を配置して成膜工程を行う場合、取付部本体１３ａの上端部に設けた突出部１３ｂのみによって取付部材１３を本体プレート１２に固定してもよい。

【0058】

・基板用保護具１１において、取付部材１３の突出部１３ｂは、一つの取付部本体１３ａに対して３つ以上設けることもできる。
・基板用保護具１１において、取付部材１３の突出部１３ｂは、粘着層１５と支持体層１６とを有しているが、支持体層１６のみから構成することもできる。

【0059】

・上記基板用保護具１１における本体プレート１２のプレート面１２ａは、基板Ｗ１における第１主面Ｗ１ａの全体がプレート面１２ａの外周縁よりも内側に配置される外形寸法を有している。しかし、本体プレート１２のプレート面１２ａは、基板Ｗ１の第１主面Ｗ１ａと同じ外形寸法を有していてもよい。

【0060】

・基板Ｗ１に機能性膜を成膜する成膜工程は、基板Ｗ１及び本体プレート１２が横姿勢や傾斜姿勢となるように基板用保護具１１を配置して行うこともできる。
・上記実施形態の基板用保護具１１の本体プレート１２の形状は、平面視で四辺形状であるが、例えば、四辺形状以外の多角形状、円形状、楕円形状等、基板Ｗ１の形状に応じて変更することができる。

【符号の説明】

【0061】

１１…基板用保護具
１２…本体プレート
１３…取付部材
１３ａ…取付部本体
１３ｂ…突出部
１４…固定部材
１５…粘着層
１７…第１凹凸構造
１８…第２凹凸構造
Ｗ１…基板
Ｗ１ａ…第１主面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】