発明の名称 多段ルーツ式真空ポンプ
出願人 株式会社アンレット (識別番号 127123)
特許公開件数ランキング 11770 位(1件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 9051 位(1件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2023-88357
公報発行日 2023年6月27
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-88357
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