特開 2023-89898 キャパシタ部品

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023089898

(43)【公開日】2023-06-28

(54)【発明の名称】キャパシタ部品

(51)【国際特許分類】

   H01G 4/33 20060101AFI20230621BHJP

   H01G 4/30 20060101ALI20230621BHJP

【ＦＩ】

H01G4/33 102

H01G4/30 541

【審査請求】未請求

【請求項の数】16

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022065398

(22)【出願日】2022-04-11

(31)【優先権主張番号】10-2021-0180299

(32)【優先日】2021-12-16

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】594023722

【氏名又は名称】サムソン エレクトロ－メカニックス カンパニーリミテッド．

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】リー、サン ジョン

(72)【発明者】

【氏名】ジャン、ス ボン

(72)【発明者】

【氏名】パク、ミン チェオル

(72)【発明者】

【氏名】ユン、タエ ホ

(72)【発明者】

【氏名】キム、ハン

【テーマコード（参考）】

5E001

5E082

【Ｆターム（参考）】

5E001AC09

5E001AE02

5E001AE03

5E001AF03

5E001AG01

5E082AA01

5E082EE23

5E082EE37

5E082FF05

5E082FG03

5E082FG25

5E082FG26

5E082FG27

5E082GG10

5E082GG11

5E082GG28

5E082HH25

5E082HH43

5E082HH44

5E082JJ06

(57)【要約】      （修正有）

【課題】電気容量が向上するキャパシタ部品を提供する。
【解決手段】キャパシタ部品は、第１方向に貫通する多数のスルーホールＨを有する本体１１０と、スルーホールの内壁を覆う第１電極１１１と、本体において互いに向かい合いながら第１方向に垂直な第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２のうち第１面を覆い、第１電極と接続された第１共通電極層２１１と、スルーホールに第１電極によって囲まれるように配置された誘電体１１２と、スルーホールに誘電体によって囲まれるように形成された第２電極１１３と、本体の第２面を覆い、第２電極と接続された第２共通電極層２１２と、本体において第１面及び第２面を連結する多数の側面の少なくとも１つに配置され、第１共通電極層の側面と接続された第１外部電極１３１及び本体において第１面及び第２面を連結する多数の側面の少なくとも１つに配置され、第２共通電極層の側面と接続された第２外部電極１３２を含む。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１方向に貫通する多数のスルーホールを有する本体と、
前記スルーホールの内壁を覆う第１電極と、
前記本体において互いに向かい合いながら前記第１方向に垂直な第１面及び第２面のうち第１面を覆い、前記第１電極と接続された第１共通電極層と、
前記スルーホールに前記第１電極によって囲まれるように配置された誘電体と、
前記スルーホールに前記誘電体によって囲まれるように形成された第２電極と、
前記本体の第２面を覆い、前記第２電極と接続された第２共通電極層と、
前記本体において前記第１面及び第２面を連結する多数の側面の少なくとも１つに配置され、前記第１共通電極層の側面と接続された第１外部電極と、
前記本体において前記第１面及び第２面を連結する多数の側面の少なくとも１つに配置され、前記第２共通電極層の側面と接続された第２外部電極と、を含む、キャパシタ部品。

【請求項2】

前記第１電極と前記第１共通電極層は一体構造である、請求項１に記載のキャパシタ部品。

【請求項3】

前記第２電極と前記第２共通電極層は一体構造である、請求項１に記載のキャパシタ部品。

【請求項4】

前記誘電体は、前記本体の第２面を覆うように延長した形態である、請求項１に記載のキャパシタ部品。

【請求項5】

前記誘電体において前記本体の第２面を覆う領域は、前記本体と前記第２共通電極層との間に配置された、請求項４に記載のキャパシタ部品。

【請求項6】

前記誘電体において前記本体の第２面を覆う領域は、前記本体の第２面と接する、請求項４に記載のキャパシタ部品。

【請求項7】

前記多数のスルーホールは格子構造に規則的に配列された、請求項１に記載のキャパシタ部品。

【請求項8】

前記第１方向に前記第１共通電極層及び前記第２共通電極層の外側に配置され、前記第１共通電極層及び前記第２共通電極層を覆う絶縁層をさらに含む、請求項１に記載のキャパシタ部品。

【請求項9】

前記第１共通電極層は、前記本体の第１面側で前記第１外部電極と接続され、前記第２外部電極と接続されない、請求項１に記載のキャパシタ部品。

【請求項10】

前記第２共通電極層は、前記本体の第２面側で前記第２外部電極と接続され、前記第１外部電極と接続されない、請求項１に記載のキャパシタ部品。

【請求項11】

前記第１方向の長さを基準に前記スルーホールの長さよりも前記第２電極の長さがさらに長い、請求項１に記載のキャパシタ部品。

【請求項12】

前記第１外部電極及び前記第２外部電極は、前記本体の側面から第１面及び第２面に延長した形態である、請求項１に記載のキャパシタ部品。

【請求項13】

前記本体の第１面側に前記第１共通電極層と前記第１外部電極との間に配置され、これらを連結する第１接続層と、
前記本体の第２面側に前記第２共通電極層と前記第２外部電極との間に配置され、これらを連結する第２接続層をさらに含む、請求項１２に記載のキャパシタ部品。

【請求項14】

前記第１外部電極及び前記第２外部電極は、前記本体において同一の側面に配置された、請求項１から１３のいずれか一項に記載のキャパシタ部品。

【請求項15】

前記第１外部電極は、前記本体の第１面側で前記第１共通電極層を覆いながらこれと接続するように延長し、
前記第２外部電極は、前記本体の第２面側で前記第２共通電極層を覆いながらこれと接続するように延長した、請求項１４に記載のキャパシタ部品。

【請求項16】

前記誘電体は、前記第１共通電極層と前記第２電極との間に配置されるように延長した形態である、請求項１５に記載のキャパシタ部品。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、キャパシタ部品に関するものである。

【背景技術】

【0002】

キャパシタは、液晶表示装置（ＬＣＤ：Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）及びプラズマ表示装置パネル（ＰＤＰ：Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）などの映像機器、コンピュータ、スマートフォン、及び携帯電話など、様々な電子製品のプリント回路基板に装着され、電気を充電または放電させる役割を果たす。最近では、スマートフォン、ウェアラブル装備などの携帯用ＩＴ製品の薄型化が進んでおり、これにより、全体的なパッケージの厚さの減少のための受動素子の薄型化の必要性も増大している。

【0003】

このような傾向により、さらに薄い厚さを実現することができる薄膜キャパシタの需要も増加しており、薄膜キャパシタは薄膜（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ）技術を用いて薄型キャパシタを実現することができるという利点がある。また、薄膜キャパシタは、従来の積層セラミックキャパシタとは異なり、低いＥＳＬを有するという利点があり、最近ＡＰ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）用デカップリングキャパシタ（Ｄｅｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ）への適用が検討されている。このようなＡＰ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）用デカップリングキャパシタ（Ｄｅｃｏｕｐｌｉｎｇ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ）で薄膜キャパシタを用いるためにＬＳＣ（Ｌａｎｄ－ｓｉｄｅ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ）の形で製作されている。

【0004】

一方、限定された空間でキャパシタの容量を増加させるためにトレンチ（ｔｒｅｎｃｈ）タイプのキャパシタが開発されており、これはシリコン基板にトレンチを形成した後にキャパシタ構造を形成する方式である。このようなトレンチキャパシタの場合、電極の表面積を増加させて容量を増加させるのに適しているが、複雑な半導体工程技術が要求されるだけでなく、耐電圧条件を満たす誘電体厚さを考慮すると、トレンチ内に多数の誘電体を形成し難いという問題があり、超高容量を実現することも容易でない実情である。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明の目的の１つは、キャパシタ領域が広い表面積を有することによって電気容量が向上することができるキャパシタ部品を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記課題を解決するための方法として、本発明は、一例によってキャパシタ部品の新規構造を提案し、具体的には、第１方向に貫通する多数のスルーホールを有する本体と、上記スルーホールの内壁を覆う第１電極と、上記本体で互いに向かい合いながら上記第１方向に垂直な第１面及び第２面のうち第１面を覆い、上記第１電極と接続された第１共通電極層と、上記スルーホールに上記第１電極によって囲まれるように配置された誘電体と、上記スルーホールに上記誘電体によって囲まれるように形成された第２電極と、上記本体の第２面を覆い、上記第２電極と接続された第２共通電極層と、上記本体で上記第１面及び第２面を連結する多数の側面の少なくとも一つに配置され、上記第１共通電極層の側面と接続された第１外部電極及び上記本体で上記第１面及び第２面を連結する多数の側面の少なくとも１つに配置され、上記第２共通電極層の側面と接続された第２外部電極を含む。

【0007】

一実施形態において、上記第１電極と上記第１共通電極層は一体構造であることができる。

【0008】

一実施形態において、上記第２電極と上記第２共通電極層は一体構造であることができる。

【0009】

一実施形態において、上記誘電体は、上記本体の第２面を覆うように延長した形態であることができる。

【0010】

一実施形態において、上記誘電体で上記本体の第２面を覆う領域は、上記本体と上記第２共通電極層との間に配置されることができる。

【0011】

一実施形態において、上記誘電体で上記本体の第２面を覆う領域は、上記本体の第２面と接することができる。

【0012】

一実施形態において、上記多数のスルーホールは格子構造に規則的に配列されることができる。

【0013】

一実施形態において、上記第１方向に上記第１及び第２共通電極層の外側に配置され、上記第１及び第２共通電極層を覆う絶縁層をさらに含むことができる。

【0014】

一実施形態において、上記第１共通電極層は、上記本体の第１面側で上記第１外部電極と接続され、上記第２外部電極と接続されないことができる。

【0015】

一実施形態において、上記第２共通電極層は、上記本体の第２面側で上記第２外部電極と接続され、上記第１外部電極と接続されないことができる。

【0016】

一実施形態において、上記第１方向の長さを基準に上記スルーホールの長さよりも上記第２電極の長さがさらに長いことができる。

【0017】

一実施形態において、上記第１及び第２外部電極は、上記本体の側面から第１面及び第２面に延長した形態であることができる。

【0018】

一実施形態において、上記本体の第１面側に上記第１共通電極層と上記第１外部電極との間に配置され、これらを連結する第１接続層と、上記本体の第２面側に上記第２共通電極層と上記第２外部電極との間に配置され、これらを連結する第２接続層をさらに含むことができる。

【0019】

一実施形態において、上記第１及び第２外部電極は、上記本体で同一側面に配置されることができる。

【0020】

一実施形態において、上記第１外部電極は、上記本体の第１面側で上記第１共通電極層を覆いながらこれと接続するように延長し、上記第２外部電極は上記本体の第２面側で上記第２共通電極層を覆いながら、これと接続するように延長することができる。

【0021】

一実施形態において、上記誘電体は、上記第１共通電極層と上記第２電極との間に配置されるように延長した形態であることができる。

【発明の効果】

【0022】

本発明の一例によるキャパシタ部品の場合、キャパシタ領域が広い表面積を有することによって電気容量が向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明の一実施形態に係るキャパシタ部品の外観を概略的に示した斜視図である。

【図2】図１の断面図である。

【図3】図１の実施形態においてキャパシタ部品の主要構成要素を分離して示した図面である。

【図4】図１の実施形態においてキャパシタ部品の主要構成要素を分離して示した図面である。

【図5】図１の実施形態においてキャパシタ部品の主要構成要素を分離して示した図面である。

【図6】図１の実施形態においてキャパシタ部品の主要構成要素を分離して示した図面である。

【図7】変形例に係るキャパシタ部品を示した図面である。

【図8】変形例に係るキャパシタ部品を示した図面である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下では、具体的な実施形態及び添付の図面を参照して本発明の実施形態を説明する。しかし、本発明の実施形態は、いくつかの他の形態に変形することができ、本発明の範囲が以下説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は、通常の技術者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために拡大縮小表示（又は強調表示や簡略化表示）がされることがあり、図面上の同一の符号で示される要素は同一の要素である。

【0025】

そして、図面において本発明を明確に説明するために説明と関係のない部分は省略し、複数の層及び領域を明確に表現するために、厚さを拡大して示しており、同一思想の範囲内の機能が同一である構成要素は、同一の参照符号を付与して説明する。さらに、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」というのは、特に反対される記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。

【0026】

図１は、本発明の一実施形態に係るキャパシタ部品の外観を概略的に示した斜視図であり、図２は、図１の断面図であり、図３～図６は、図１の実施形態においてキャパシタ部品の主要構成要素を分離して示した図面である。

【0027】

図１及び図２を参照すると、本発明の一実施形態に係るキャパシタ部品１００は、多数のスルーホールＨを有する本体１１０、第１電極１１１、第１共通電極層２１１、誘電体１１２、第２電極１１３、第２共通電極層２１２、そして外部電極１３１、１３２を含み、第１共通電極層２１１が側面から第１外部電極１３１と、第２共通電極層２１２が側面で第２外部電極１３２と接続された形態である。

【0028】

以下、図３～６を併せて参照し、キャパシタ部品１００の主要構成要素を説明する。図３～６においては、多数のスルーホールＨの一部の内部の形状を点線で示しており、図示を省略した他のスルーホールＨも同一形状を有することはもちろんである。本体１１０は、第１方向（Ｘ方向）に貫通する多数のスルーホールＨを有することで広い表面積を有する。図示した形態のように、多数のスルーホールＨは、本体１１０を第１方向（Ｘ方向）に完全に貫通することができ、これによりキャパシタ領域の表面積が最大化してキャパシタ部品１００の電気容量が効果的に増加されることができる。ここで、キャパシタ領域は、第１電極１１１、誘電体１１２、第２電極１１３を含んでキャパシタとして機能する領域に該当する。一例として、図３に示した形態のように、スルーホールＨは円筒状に実現されることができる。また、多数のスルーホールＨは格子構造に規則的に配列されることができる。

【0029】

本体１１０は、電気絶縁性を有する物質、例えば、シリコン、セラミックなどで形成されることができ、スルーホールＨは本体１１０にレーザ加工などの方法で形成されることができる。この他にも本体１１０は金属を陽極酸化して得られた陽極酸化体であることができ、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）などのバルブ（ｖａｌｖｅ）金属が陽極酸化して本体１１０が形成されることができる。そして、スルーホールＨは本体１１０の陽極酸化過程で形成されることができる。

【0030】

第１電極１１１は本体１１０のスルーホールＨの内壁を覆い、キャパシタの電極部の一部を構成する。第１電極１１１は、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ｎｉなどの電気導電性に優れた金属を用いることができ、微細なスルーホールＨの内壁に効果的に形成されるために原子層蒸着（ＡＬＤ）などの工程を利用することができる。第１共通電極層２１２は、本体１１０で互いに向かい合いながら第１方向（Ｘ方向）に垂直な第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２のうち第１面Ｓ１を覆い、第１電極１１１と接続される。第１共通電極層２１２は、例えば、金属などを含む導電性ペーストを塗布する方式で形成されることができる。また、第１電極１１１と第１共通電極層２１２は一体構造で形成されることもでき、このために第１電極１１１と第１共通電極層２１２を同一工程で形成することができる。

【0031】

誘電体１１２は、スルーホールＨに上記第１電極１１１によって囲まれるように配置される。誘電体層１１２は、誘電物質、例えば、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、ＳｉＯ_２、Ｓｎ_３Ｎ_４、ＺｒＯ_２、ＣａＴｉＯ_３、ＳｒＴｉＯ_３、（Ｂａ、Ｓｒ）ＴｉＯ_３、ＢａＴｉＯ_３などの物質で形成されることができる。この場合、誘電体１１２を複数の物質で形成することで絶縁特性を高めることもできる。図示された形態のように、誘電体１１２は、本体１１０の第２面Ｓ２を覆うように延長することができる。そして、誘電体１１２において本体１１０の第２面Ｓ２を覆う領域は、本体１１０と第２共通電極層２１２との間に配置されることができる。また、誘電体１１２において本体１１０の第２面Ｓ２を覆う領域は、本体１１０の第２面Ｓ２と接することができる。

【0032】

第２電極１１３は、スルーホールＨに誘電体１１２によって囲まれるように形成される。そして、第２共通電極層２１２は、本体１１０の第２面Ｓ２を覆い、第２電極１１３と接続される。第２電極１１３はキャパシタ部の電極部を構成し、スルーホールＨに充填されて広い表面積を有することができるため、キャパシタ部品１００の容量上昇をもたらすことができる。第２電極１１３は導電性ペーストをスルーホールＨに充填するか、めっき工程などで形成されることができる。また、第２電極１１３は導電性ポリマーを用いて形成することもできる。第２共通電極層２１３は、例えば、金属などを含む導電性ペーストを塗布する方式で形成されることができる。また、第２電極１１３と第２共通電極層２１３は一体構造で形成されることもでき、このために第２電極１１３と第２共通電極層２１２を同一工程で形成することができる。

【0033】

上述の構成を有する場合、第２電極１１３はスルーホールＨよりもさらに長く形成されることができる。すなわち、図２に示したように、第１方向（Ｘ方向）の長さを基準にスルーホールＨの長さＬ１よりもスルーホールＨの最内側に配置された第２電極１１３の長さＬ２がさらに長いことができる。

【0034】

第１外部電極１３１は、本体１１０において第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２を連結する多数の側面の少なくとも１つに配置され、本実施形態では３つの側面を覆った例を示す。そして、第１外部電極１３１は、本体１１０の側面から第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２に延長した形態を有することができる。第１外部電極１３１は第１共通電極層２１１の側面と接続され、図２において第１外部電極１３１と第１共通電極層２１１のコンタクト領域をＣ１で示した。具体的な例として、第１共通電極層２１１は、本体１１０の第１面Ｓ１側で第１外部電極１３１と接続され、第２外部電極１３２と接続されないことができる。

【0035】

同様に、第２外部電極１３２は、本体１１０において第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２を連結する多数の側面の少なくとも１つに配置され、本実施形態では３つの側面を覆った例を示す。そして、第２外部電極１３２は、本体１１０の側面から第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２に延長した形態を有することができる。第２外部電極１３２は、第２共通電極層２１２の側面と接続され、図２において、第２外部電極１３２と第２共通電極層２１２のコンタクト領域をＣ２で示した。具体的な例として、第２共通電極層２１２は、本体１１０の第２面Ｓ２側で第２外部電極１３２と接続され、第１外部電極１３２と接続されないことができる。

【0036】

一方、第１及び第２外部電極１３１、１３２は、導電性金属を含む物質をペーストで製造した後、これを本体１１０に塗布する方法などで形成されることができ、導電性金属の例として、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、金（Ａｕ）またはこれらの合金が挙げられる。ここで、第１及び第２外部電極１３１、１３２は、さらにＮｉ、Ｓｎなどを含むめっき層を含むことができる。

【0037】

絶縁層１２１は、第１方向（Ｘ方向）に第１及び第２共通電極層２１１、２１２の外側に配置され、第１及び第２共通電極層２１１、２１２を覆い、上述した構成要素を全体的に保護する機能を行うことができる。このために、図１に示した形態のように、絶縁層１２１は本体の側面も覆うことができる。上述したように、第１共通電極層２１１は、本体１１０の第１面Ｓ１側で第２外部電極１３２と接続されないことができ、このために図示した形態のように絶縁層１２１は、第１共通電極層２１１と第２外部電極１３２との間に配置されることができる。また、第２共通電極層２１２は本体１１０の第２面Ｓ２側で第１外部電極１３１と接続されないことができ、このために絶縁層１２１は第２共通電極層２１２と第１外部電極１３１との間に配置されることができる。絶縁層１２１は、ＳｉＯ_２、ＴｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３などの金属酸化物やセラミックなどで形成されることができ、ポリマーで形成されることもできる。

【0038】

以下、図７及び図８を参照して本発明の変形例を説明する。まず、図７の実施形態の場合、共通電極層２１１、２１２と外部電極１３１、１３２の接続領域のみで前の実施形態と差異がある。具体的には、本体１１０の第１面Ｓ１側に第１接続層３１１が備えられ、第１接続層３１１は、第１共通電極層２１１と第１外部電極１３１との間に配置され、これらを連結することができる。この場合、本体１１０の第１面Ｓ１を基準に第１接続層３１１は絶縁層１２１と同一レベルに配置されることができる。そして、本体１１０の第２面Ｓ２側に第２接続層３１２が備えられ、第２接続層３１２は、第２共通電極層２１２と第２外部電極１３２との間に配置され、これらを連結することができる。この場合、本体１１０の第２面Ｓ２を基準に第２接続層３１２は絶縁層１２１と同一レベルに配置されることができる。

【0039】

次に、図８の実施形態の場合、外部電極２３１、２３２の具体的な形状面で差異がある。図示した形態のように、第１及び第２外部電極２３１、２３２は本体１１０で同一側面に配置されることができる。この場合、第１外部電極２３１は本体１１０の側面カバー領域２３３を含み、これにより本体１１０の第１面Ｓ１側で第１共通電極層２１１を覆いながら、これと接続するように延長した領域２３４を含むことができる。また、第２外部電極２３２は、本体１１０の側面カバー領域２３５を含み、これにより本体１１０の第２面Ｓ２側で第２共通電極層２１２を覆いながら、これと接続するように延長した領域２３６を含むことができる。第１及び第２外部電極２３１、２３２の形態が変形されるにつれて、誘電体１１２の形態も変わることができる。具体的には、誘電体１１２は、第１共通電極層２１１と第２電極１１３との間に配置されるように延長した形態であることができ、これに該当する一領域をＡで表した。本実施形態のように外部電極２３１、２３２を変形することで、キャパシタ部品を下面電極構造として活用することもでき、第１及び第２外部電極２３１、２３２のうち本体１１０の側面形成領域２３３、２３５によってキャパシタ部品を実装した形態に該当する。

【0040】

本発明は、上述した実施形態及び添付された図面によって限定されるものではなく、添付された特許請求の範囲によって限定する。したがって、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で多様な形態の置換、変形及び変更が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかであり、これもまた添付の特許請求の範囲に記載された技術的思想に属するといえる。

【符号の説明】

【0041】

１００ キャパシタ部品
１１０ 本体
１１１ 第１電極
１１２ 誘電体
１１３ 第２電極
１２１ 絶縁層
２１１ 第１共通電極層
２１２ 第２共通電極層
１３１ 第１外部電極
１３２ 第２外部電極
３１１ 第１接続層
３１２ 第２接続層

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】