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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023091540
(43)【公開日】2023-06-30
(54)【発明の名称】ビームスプリッタ
(51)【国際特許分類】
G02B 5/04 20060101AFI20230623BHJP
G02B 5/28 20060101ALI20230623BHJP
G02B 1/115 20150101ALI20230623BHJP
G02B 5/26 20060101ALI20230623BHJP
【ＦＩ】
G02B5/04 D
G02B5/04 B
G02B5/04 E
G02B5/28
G02B1/115
G02B5/26
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021206333
(22)【出願日】2021-12-20
(71)【出願人】
【識別番号】000219738
【氏名又は名称】東海光学株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100078721
【弁理士】
【氏名又は名称】石田 喜樹
(74)【代理人】
【識別番号】100124420
【弁理士】
【氏名又は名称】園田 清隆
(72)【発明者】
【氏名】松原 弘宗
【テーマコード（参考）】
2H042
2H148
2K009
【Ｆターム（参考）】
2H042CA10
2H042CA11
2H042CA14
2H042CA15
2H042CA17
2H148FA22
2H148FA24
2H148GA07
2H148GA24
2H148GA33
2K009AA02
(57)【要約】
【課題】更に機能が向上したビームスプリッタを提供する。
【解決手段】ビームスプリッタは、第１斜面２Ｓを有する第１プリズム２と、第１多層膜６を介して第１斜面２Ｓと合わせられる第２斜面４Ｓを有する第２プリズム４と、を備えている。第１多層膜６は、１つの金属層２２Ｍを有する第１金属膜部２２と、１つの金属層２６Ｍを有する第２金属膜部２６と、第１斜面２Ｓと第１金属膜部２２との間に配置されており、２つの誘電体層を有している第１誘電体膜部２０と、第１金属膜部２２と第２金属膜部２６との間に配置されており、１以上の誘電体層を有している第２誘電体膜部２４と、第２金属膜部２６と第２斜面４Ｓとの間に配置されており、２つの誘電体層を有している第３誘電体膜部２８と、を備えている。
【選択図】図２
【解決手段】ビームスプリッタは、第１斜面２Ｓを有する第１プリズム２と、第１多層膜６を介して第１斜面２Ｓと合わせられる第２斜面４Ｓを有する第２プリズム４と、を備えている。第１多層膜６は、１つの金属層２２Ｍを有する第１金属膜部２２と、１つの金属層２６Ｍを有する第２金属膜部２６と、第１斜面２Ｓと第１金属膜部２２との間に配置されており、２つの誘電体層を有している第１誘電体膜部２０と、第１金属膜部２２と第２金属膜部２６との間に配置されており、１以上の誘電体層を有している第２誘電体膜部２４と、第２金属膜部２６と第２斜面４Ｓとの間に配置されており、２つの誘電体層を有している第３誘電体膜部２８と、を備えている。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１斜面を有する第１プリズムと、
第１多層膜を介して前記第１斜面と合わせられる第２斜面を有する第２プリズムと、
を備えており、
前記第１多層膜は、
１以上の金属層を有する第１金属膜部と、
１以上の金属層を有する第２金属膜部と、
前記第１斜面と前記第１金属膜部との間に配置されており、複数の誘電体層を有している第１誘電体膜部と、
前記第１金属膜部と前記第２金属膜部との間に配置されており、１以上の誘電体層を有している第２誘電体膜部と、
前記第２金属膜部と前記第２斜面との間に配置されており、複数の誘電体層を有している第３誘電体膜部と、
を備えている
ことを特徴とするビームスプリッタ。
第１多層膜を介して前記第１斜面と合わせられる第２斜面を有する第２プリズムと、
を備えており、
前記第１多層膜は、
１以上の金属層を有する第１金属膜部と、
１以上の金属層を有する第２金属膜部と、
前記第１斜面と前記第１金属膜部との間に配置されており、複数の誘電体層を有している第１誘電体膜部と、
前記第１金属膜部と前記第２金属膜部との間に配置されており、１以上の誘電体層を有している第２誘電体膜部と、
前記第２金属膜部と前記第２斜面との間に配置されており、複数の誘電体層を有している第３誘電体膜部と、
を備えている
ことを特徴とするビームスプリッタ。
【請求項2】
前記第２誘電体膜部は、誘電体層として、低屈折率層及び高屈折率層を有している
ことを特徴とする請求項１に記載のビームスプリッタ。
ことを特徴とする請求項１に記載のビームスプリッタ。
【請求項3】
前記第２誘電体膜部は、前記第１金属膜部側から順に、前記低屈折率層、前記高屈折率層及び前記低屈折率層を有している
ことを特徴とする請求項２に記載のビームスプリッタ。
ことを特徴とする請求項２に記載のビームスプリッタ。
【請求項4】
前記第２誘電体膜部は、前記第１金属膜部側から順に、Ａｌ２Ｏ３製の前記低屈折率層、ＬａＯ３Ｔｉ製の前記高屈折率層及びＳｉＯ２製の前記低屈折率層を有している
ことを特徴とする請求項３に記載のビームスプリッタ。
ことを特徴とする請求項３に記載のビームスプリッタ。
【請求項5】
前記第１金属膜部及び前記第２金属膜部の少なくとも一方は、銀製の前記金属層を含む
ことを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載のビームスプリッタ。
ことを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載のビームスプリッタ。
【請求項6】
前記第２誘電体膜部は、誘電体層として、低屈折率層及び高屈折率層を有しており、
前記第１誘電体膜部は、誘電体層として、前記第２誘電体膜部の低屈折率層と同一材料の低屈折率層及び前記第２誘電体膜部の高屈折率層と同一材料の高屈折率層の少なくとも一方を有しており、
前記第３誘電体膜部は、誘電体層として、前記第２誘電体膜部の低屈折率層と同一材料の低屈折率層及び前記第２誘電体膜部の高屈折率層と同一材料の高屈折率層の少なくとも一方を有している
ことを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載のビームスプリッタ。
前記第１誘電体膜部は、誘電体層として、前記第２誘電体膜部の低屈折率層と同一材料の低屈折率層及び前記第２誘電体膜部の高屈折率層と同一材料の高屈折率層の少なくとも一方を有しており、
前記第３誘電体膜部は、誘電体層として、前記第２誘電体膜部の低屈折率層と同一材料の低屈折率層及び前記第２誘電体膜部の高屈折率層と同一材料の高屈折率層の少なくとも一方を有している
ことを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載のビームスプリッタ。
【請求項7】
前記第２誘電体膜部の低屈折率層として、ＳｉＯ２製の層及びＡｌ２Ｏ３製の層の少なくとも一方が含まれ、
前記第２誘電体膜部の高屈折率層として、ＬａＯ３Ｔｉ製の層及びＴａ２Ｏ５製の層の少なくとも一方が含まれる
ことを特徴とする請求項６に記載のビームスプリッタ。
前記第２誘電体膜部の高屈折率層として、ＬａＯ３Ｔｉ製の層及びＴａ２Ｏ５製の層の少なくとも一方が含まれる
ことを特徴とする請求項６に記載のビームスプリッタ。
【請求項8】
前記第１プリズムは、入射光が入射する入射光面と、反射光が出射する反射光面と、を有しており、
前記第２プリズムは、透過光が出射する透過光面を有しており、
更に、前記入射光面に形成されており複数の波長域において反射を抑制する第２多層膜、前記透過光面に形成されており複数の波長域において反射を抑制する第３多層膜、及び前記反射光面に形成されており複数の波長域において反射を抑制する第４多層膜、の少なくとも何れかが設けられている
ことを特徴とする請求項１から請求項７の何れかに記載のビームスプリッタ。
前記第２プリズムは、透過光が出射する透過光面を有しており、
更に、前記入射光面に形成されており複数の波長域において反射を抑制する第２多層膜、前記透過光面に形成されており複数の波長域において反射を抑制する第３多層膜、及び前記反射光面に形成されており複数の波長域において反射を抑制する第４多層膜、の少なくとも何れかが設けられている
ことを特徴とする請求項１から請求項７の何れかに記載のビームスプリッタ。
【請求項9】
入射光を透過光と反射光とに分けるビームスプリッタであって、
第１波長域における前記透過光の光量と前記反射光の光量との大小関係に対し、第２波長域における前記透過光の光量と前記反射光の光量との大小関係が逆転している
ことを特徴とするビームスプリッタ。
第１波長域における前記透過光の光量と前記反射光の光量との大小関係に対し、第２波長域における前記透過光の光量と前記反射光の光量との大小関係が逆転している
ことを特徴とするビームスプリッタ。
【請求項10】
前記第１波長域は、可視域であり、
前記第２波長域は、近赤外域である
ことを特徴とする請求項９に記載のビームスプリッタ。
前記第２波長域は、近赤外域である
ことを特徴とする請求項９に記載のビームスプリッタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、入射光を透過光及び反射光に分けるビームスプリッタに関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１（特開昭６０－１１３２０３号公報）及び特許文献２（特開昭６０－６４３０４号公報）には、２つの直角二等辺三角プリズムの各斜面の接合面に、１層の銀薄膜層を含む誘電体多層膜が配置された非偏光（無偏光）のビームスプリッタが開示されている。
特許文献１の実施例１（第３図）では、誘電体多層膜は、銀薄膜層の上下に対称に、高屈折率誘電体薄膜（Ｈ層）、低屈折率誘電体薄膜（Ｌ層）、Ｈ層が配置された全７層となっている。そして、当該実施例１は、６３３ｎｍ（ナノメートル）の波長の光を、透過光量及び反射光量がほぼ等しく（分岐比が約１：１であり）、又透過光量と反射光量の比がＰ成分及びＳ成分ともほぼ１となる（非偏光である）状態で分ける。
特許文献１の実施例２（第４図）では、誘電体多層膜は、銀薄膜層の上下に対称に、Ｈ層、Ｌ層、Ｈ層、Ｌ層が配置された全９層となっている。そして、当該実施例２は、８３０ｎｍの波長の光を、分光比が約１：１であり、又非偏光である状態で分ける。
特許文献２（第１図，第２図）では、銀薄膜の両面に半透明膜を被覆した３層構造膜が設けられている。そして、７６０～８５０ｎｍの波長域において、透過率と反射率の分岐比が約１：１であり、透過Ｐ偏光Ｔｐ＝透過Ｓ偏光Ｔｓ、且つ反射Ｐ偏光Ｒｐ＝反射Ｓ偏光Ｒｓ、即ち非偏光である状態で、光が分けられる。
特許文献１の実施例１（第３図）では、誘電体多層膜は、銀薄膜層の上下に対称に、高屈折率誘電体薄膜（Ｈ層）、低屈折率誘電体薄膜（Ｌ層）、Ｈ層が配置された全７層となっている。そして、当該実施例１は、６３３ｎｍ（ナノメートル）の波長の光を、透過光量及び反射光量がほぼ等しく（分岐比が約１：１であり）、又透過光量と反射光量の比がＰ成分及びＳ成分ともほぼ１となる（非偏光である）状態で分ける。
特許文献１の実施例２（第４図）では、誘電体多層膜は、銀薄膜層の上下に対称に、Ｈ層、Ｌ層、Ｈ層、Ｌ層が配置された全９層となっている。そして、当該実施例２は、８３０ｎｍの波長の光を、分光比が約１：１であり、又非偏光である状態で分ける。
特許文献２（第１図，第２図）では、銀薄膜の両面に半透明膜を被覆した３層構造膜が設けられている。そして、７６０～８５０ｎｍの波長域において、透過率と反射率の分岐比が約１：１であり、透過Ｐ偏光Ｔｐ＝透過Ｓ偏光Ｔｓ、且つ反射Ｐ偏光Ｒｐ＝反射Ｓ偏光Ｒｓ、即ち非偏光である状態で、光が分けられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開昭６０－１１３２０３号公報
【特許文献2】特開昭６０－６４３０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
上述の各ビームスプリッタは、１つの波長域において特定された分岐比で入射光を分割する。よって、上述の各ビームスプリッタは、入射光を複数の波長域毎に処理するものではなく、機能向上の余地がある。
【0005】
本開示の主な目的は、更に機能が向上したビームスプリッタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記主な目的を達成するために、第１斜面を有する第１プリズムと、第１多層膜を介して前記第１斜面と合わせられる第２斜面を有する第２プリズムと、を備えており、前記第１多層膜は、１以上の金属層を有する第１金属膜部と、１以上の金属層を有する第２金属膜部と、前記第１斜面と前記第１金属膜部との間に配置されており、複数の誘電体層を有している第１誘電体膜部と、前記第１金属膜部と前記第２金属膜部との間に配置されており、１以上の誘電体層を有している第２誘電体膜部と、前記第２金属膜部と前記第２斜面との間に配置されており、複数の誘電体層を有している第３誘電体膜部と、を備えたビームスプリッタが提供される。
又、上記主な目的を達成するために、入射光を透過光と反射光とに分けるビームスプリッタであって、第１波長域における前記透過光の光量と前記反射光の光量との大小関係に対し、第２波長域における前記透過光の光量と前記反射光の光量との大小関係が逆転しているビームスプリッタが提供される。
又、上記主な目的を達成するために、入射光を透過光と反射光とに分けるビームスプリッタであって、第１波長域における前記透過光の光量と前記反射光の光量との大小関係に対し、第２波長域における前記透過光の光量と前記反射光の光量との大小関係が逆転しているビームスプリッタが提供される。
【発明の効果】
【0007】
本開示の主な効果は、更に機能が向上したビームスプリッタが提供されることである。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本開示に係るビームスプリッタの模式的な断面図である。
【図6】比較例のビームスプリッタにおける第１多層膜の模式的な断面図である。
【図7】比較例の第１多層膜における可視域及び近赤外域並びにそれらの隣接領域（４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下）での各種の透過率の分布及び各種の反射率の分布（シミュレーション値）を示すグラフである。
【図8】比較例の第１多層膜における４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下での各種の透過率の分布及び各種の反射率の分布（実測値）を示すグラフである。
【図9】比較例の第２多層膜における４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下での平均反射率の分布（シミュレーション値）を示すグラフである。
【図10】実施例１の第１多層膜における可視域及び近赤外域並びにそれらの隣接領域（４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下）での各種の透過率の分布及び各種の反射率の分布（シミュレーション値）を示すグラフである。
【図11】実施例１の第２多層膜における４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下での平均反射率の分布（シミュレーション値）を示すグラフである。
【図12】実施例２の第１多層膜における可視域及び近赤外域並びにそれらの隣接領域（４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下）での各種の透過率の分布及び各種の反射率の分布（シミュレーション値）を示すグラフである。
【図13】実施例３の第１多層膜における可視域及び近赤外域並びにそれらの隣接領域（４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下）での各種の透過率の分布及び各種の反射率の分布（シミュレーション値）を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本開示に係る実施の形態の例が、適宜図面を用いて説明される。
尚、本開示は、以下の例に限定されない。
尚、本開示は、以下の例に限定されない。
【0010】
図１に示されるように、本開示のビームスプリッタ１は、第１プリズム２と、第２プリズム４と、第１多層膜６と、第２多層膜１０と、第３多層膜１２と、第４多層膜１４と、を備えている。尚、図１においては、分かり易くするため、第１多層膜６から第４多層膜１４の物理膜厚が、第１プリズム２の大きさ及び第２プリズム４の大きさに対して誇張して描かれている。
ビームスプリッタ１は、入射光Ｉを、透過光Ｔと反射光Ｒとに分ける。
入射光Ｉは、第２多層膜１０及び第１プリズム２の第１－１面ＩＳ（入射光面）から第１プリズム２に入射して、第１多層膜６に達し、透過光Ｔと反射光Ｒとに分岐する。
透過光Ｔは、第２プリズム４を通過し、第２プリズム４の第２－１面ＴＳ（透過光面）及び第３多層膜１２を経て外部に出射する
反射光Ｒは、第１プリズム２を通過し、第１プリズム２の第１－２面ＲＳ（反射光面）及び第４多層膜１４を経て外部に出射する。
ビームスプリッタ１は、入射光Ｉを、透過光Ｔと反射光Ｒとに分ける。
入射光Ｉは、第２多層膜１０及び第１プリズム２の第１－１面ＩＳ（入射光面）から第１プリズム２に入射して、第１多層膜６に達し、透過光Ｔと反射光Ｒとに分岐する。
透過光Ｔは、第２プリズム４を通過し、第２プリズム４の第２－１面ＴＳ（透過光面）及び第３多層膜１２を経て外部に出射する
反射光Ｒは、第１プリズム２を通過し、第１プリズム２の第１－２面ＲＳ（反射光面）及び第４多層膜１４を経て外部に出射する。
【0011】
第１プリズム２は、直角二等辺三角形を底面とする柱状のプリズムである。第１プリズム２は、第１斜面２Ｓと、第１－１面ＩＳと、第１－２面ＲＳと、を有する。尚、第１プリズム２は、直角二等辺三角柱以外の、第１斜面２Ｓを有する形状を有していても良い。
第１プリズム２は、透光性を有する。第１プリズム２の可視域の光（可視光）及び近赤外域の光（近赤外光）の各透過率は、ほぼ１００％となっている。第１波長域としての可視域は、ここでは４５０ｎｍ以上７００ｎｍ以下である。第２波長域としての近赤外域は、ここでは８００ｎｍ以上８７５ｎｍ以下である。尚、可視域及び近赤外域の少なくとも一方は、上述のものから変更されても良い。
第１プリズム２の材料（材質）として、例えばガラスが用いられる。尚、第１プリズム２の材料は、プラスチック等、ガラス以外であっても良い。
第１プリズム２は、透光性を有する。第１プリズム２の可視域の光（可視光）及び近赤外域の光（近赤外光）の各透過率は、ほぼ１００％となっている。第１波長域としての可視域は、ここでは４５０ｎｍ以上７００ｎｍ以下である。第２波長域としての近赤外域は、ここでは８００ｎｍ以上８７５ｎｍ以下である。尚、可視域及び近赤外域の少なくとも一方は、上述のものから変更されても良い。
第１プリズム２の材料（材質）として、例えばガラスが用いられる。尚、第１プリズム２の材料は、プラスチック等、ガラス以外であっても良い。
【0012】
第２プリズム４は、第１プリズム２と同様に成る。第２プリズム４は、第２斜面４Ｓと、第２－１面ＴＳと、を有する。
第２プリズム４は、第１プリズム２と同様の変更例を有する。又、第２プリズム４の形状等は、第１プリズム２と異なっていても良い。
第２プリズム４は、第１プリズム２と同様の変更例を有する。又、第２プリズム４の形状等は、第１プリズム２と異なっていても良い。
【0013】
第１プリズム２及び第２プリズム４は、第１斜面２Ｓと第２斜面４Ｓとが互いに向かい合う状態で接合されている。
第１多層膜６は、第１プリズム２及び第２プリズム４の間に配置されている。
尚、第１多層膜６と、第１プリズム２及び第２プリズム４の少なくとも一方との間に、中間膜が介装されても良い。中間膜は、１つの層を有する単層膜であっても良いし、複数の層を有する多層膜であっても良い。かような中間膜が設けられた場合、第１多層膜６は、第１プリズム２及び第２プリズム４の少なくとも一方に対し、間接的に形成される。
第１多層膜６は、第１プリズム２及び第２プリズム４の間に配置されている。
尚、第１多層膜６と、第１プリズム２及び第２プリズム４の少なくとも一方との間に、中間膜が介装されても良い。中間膜は、１つの層を有する単層膜であっても良いし、複数の層を有する多層膜であっても良い。かような中間膜が設けられた場合、第１多層膜６は、第１プリズム２及び第２プリズム４の少なくとも一方に対し、間接的に形成される。
【0014】
図２に示されるように、第１多層膜６は、第１プリズム２側から順に、第１誘電体膜部２０と、第１金属膜部２２と、第２誘電体膜部２４と、第２金属膜部２６と、第３誘電体膜部２８と、を有している。
尚、第１多層膜６は、第２プリズム４側から捉えられても良い。
尚、第１多層膜６は、第２プリズム４側から捉えられても良い。
【0015】
第１多層膜６は、例えば物理蒸着により形成され、より詳しくは真空蒸着法あるいはイオンアシスト蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法等により形成される。
第１多層膜６は、より容易に形成する観点から、好ましくは蒸着により形成される。即ち、接合前の単体の第１プリズム２における斜面Ｆ１に、第１多層膜６が蒸着される。尚、第１プリズム２の斜面Ｆ１に代えて、あるいは第１プリズム２の斜面Ｆ１と共に、第２プリズム４の斜面Ｆ２に第１多層膜６の全部あるいは一部が形成されても良い。又、第１多層膜６の一部の製法は、他の部分の製法と異なっていても良い。例えば、第１金属膜部２２及び第２金属膜部２６が蒸着で形成され、第１誘電体膜部２０、第２誘電体膜部２４及び第３誘電体膜部２８がスパッタで形成されても良い。
斜面Ｆ１に第１多層膜６が形成された第１プリズム２は、接着剤により第２プリズム４と接合される。接着剤の透過率は、好ましくは、第１プリズム２及び第２プリズム４の各透過率の少なくとも一方と同様である。尚、第１プリズム２及び第２プリズム４の接合は、接着剤による接着以外でなされても良い。
第１多層膜６は、より容易に形成する観点から、好ましくは蒸着により形成される。即ち、接合前の単体の第１プリズム２における斜面Ｆ１に、第１多層膜６が蒸着される。尚、第１プリズム２の斜面Ｆ１に代えて、あるいは第１プリズム２の斜面Ｆ１と共に、第２プリズム４の斜面Ｆ２に第１多層膜６の全部あるいは一部が形成されても良い。又、第１多層膜６の一部の製法は、他の部分の製法と異なっていても良い。例えば、第１金属膜部２２及び第２金属膜部２６が蒸着で形成され、第１誘電体膜部２０、第２誘電体膜部２４及び第３誘電体膜部２８がスパッタで形成されても良い。
斜面Ｆ１に第１多層膜６が形成された第１プリズム２は、接着剤により第２プリズム４と接合される。接着剤の透過率は、好ましくは、第１プリズム２及び第２プリズム４の各透過率の少なくとも一方と同様である。尚、第１プリズム２及び第２プリズム４の接合は、接着剤による接着以外でなされても良い。
【0016】
第１誘電体膜部２０は、複数の誘電体層を有する誘電体多層膜である。
第１誘電体膜部２０は、比較的に低屈折率である低屈折率材料から形成された１層以上の低屈折率層２０Ｌ（誘電体層の一種）と、比較的に低屈折率である低屈折率材料から形成された１層以上の高屈折率層２０Ｈ（誘電体層の別の一種）と、を有する。
所望の機能を効率的に実現する観点から、低屈折率層２０Ｌ及び高屈折率層２０Ｈは、好ましくは交互に配置される。第１プリズム２側との密着性を向上する観点から、好ましくは、第１プリズム２側から数えて（以下同様）１層目の層は、低屈折率層２０Ｌとされる。より製造を容易にする観点から、低屈折率層２０Ｌは、複数設けられる場合、好ましくは同じ材料から形成される。同様に、高屈折率層２０Ｈは、複数設けられる場合、好ましくは同じ材料から形成される。尚、比較的に中屈折率である中屈折率材料から形成された１層以上の中屈折率層が、更に設けられても良い。
第１誘電体膜部２０は、比較的に低屈折率である低屈折率材料から形成された１層以上の低屈折率層２０Ｌ（誘電体層の一種）と、比較的に低屈折率である低屈折率材料から形成された１層以上の高屈折率層２０Ｈ（誘電体層の別の一種）と、を有する。
所望の機能を効率的に実現する観点から、低屈折率層２０Ｌ及び高屈折率層２０Ｈは、好ましくは交互に配置される。第１プリズム２側との密着性を向上する観点から、好ましくは、第１プリズム２側から数えて（以下同様）１層目の層は、低屈折率層２０Ｌとされる。より製造を容易にする観点から、低屈折率層２０Ｌは、複数設けられる場合、好ましくは同じ材料から形成される。同様に、高屈折率層２０Ｈは、複数設けられる場合、好ましくは同じ材料から形成される。尚、比較的に中屈折率である中屈折率材料から形成された１層以上の中屈折率層が、更に設けられても良い。
【0017】
高屈折率材料は、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）、酸化チタン（ＴｉＯ２）、酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）、酸化ニオブ（Ｎｂ２Ｏ５）、酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）、酸化ランタン（Ｌａ２Ｏ３）、チタン酸ランタン（ＬａＯ３Ｔｉ）、シリコン（Ｓｉ）、若しくは酸化プラセオジム（Ｐｒ２Ｏ３）又はこれらの二種以上の混合物である。
又、低屈折率材料は、例えば、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）、酸化アルミニウムと酸化プラセオジムとの組合せ（Ａｌ２Ｏ３－Ｐｒ２Ｏ３）、酸化アルミニウムと酸化ランタンとの組合せ（Ａｌ２Ｏ３－Ｌａ２Ｏ３）、若しくは酸化アルミニウムと酸化タンタルとの組合せ（Ａｌ２Ｏ３－Ｔａ２Ｏ５）、又はこれらの二種以上の混合物である。
中屈折率材料は、例えば、Ａｌ２Ｏ３、Ｐｒ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３－Ｐｒ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３－Ｌａ２Ｏ３、といった中屈折率材料から形成される。
尚、例えばＡｌ２Ｏ３のように、中屈折率材料の少なくとも何れかは、低屈折率材料あるいは高屈折率材料の何れか一方に属するものと扱われても良い。
又、低屈折率材料は、例えば、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）、酸化アルミニウムと酸化プラセオジムとの組合せ（Ａｌ２Ｏ３－Ｐｒ２Ｏ３）、酸化アルミニウムと酸化ランタンとの組合せ（Ａｌ２Ｏ３－Ｌａ２Ｏ３）、若しくは酸化アルミニウムと酸化タンタルとの組合せ（Ａｌ２Ｏ３－Ｔａ２Ｏ５）、又はこれらの二種以上の混合物である。
中屈折率材料は、例えば、Ａｌ２Ｏ３、Ｐｒ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３－Ｐｒ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３－Ｌａ２Ｏ３、といった中屈折率材料から形成される。
尚、例えばＡｌ２Ｏ３のように、中屈折率材料の少なくとも何れかは、低屈折率材料あるいは高屈折率材料の何れか一方に属するものと扱われても良い。
【0018】
第１金属膜部２２は、１以上の金属層２２Ｍを有する部分である。
より製造を容易にし、又コストを低減する観点から、第１金属膜部２２は、好ましくは１つの金属層２２Ｍを有する。
第１金属膜部２２の金属材料は、例えば、銀（Ａｇ）若しくはその合金、アルミニウム（Ａｌ）若しくはその合金、又はこれらの二種以上の合金である。
入射光の分割をより所望の状態でより容易に行う観点から、第１金属膜部２２の材料は、好ましくはＡｇとされる。
第１金属膜部２２は、低廉性及び質を両立する観点から、好ましくは真空蒸着により形成され、又第１誘電体膜部２０と同じ製法で形成される。尚、第１金属膜部２２は、真空蒸着以外の他の物理蒸着等により形成されても良いし、第１誘電体膜部２０と異なる製法で形成されても良い。又、第１金属膜部２２は、複数の金属層２２Ｍを有する場合、一部の金属層２２Ｍが他と異なる製法で形成されても良い。
より製造を容易にし、又コストを低減する観点から、第１金属膜部２２は、好ましくは１つの金属層２２Ｍを有する。
第１金属膜部２２の金属材料は、例えば、銀（Ａｇ）若しくはその合金、アルミニウム（Ａｌ）若しくはその合金、又はこれらの二種以上の合金である。
入射光の分割をより所望の状態でより容易に行う観点から、第１金属膜部２２の材料は、好ましくはＡｇとされる。
第１金属膜部２２は、低廉性及び質を両立する観点から、好ましくは真空蒸着により形成され、又第１誘電体膜部２０と同じ製法で形成される。尚、第１金属膜部２２は、真空蒸着以外の他の物理蒸着等により形成されても良いし、第１誘電体膜部２０と異なる製法で形成されても良い。又、第１金属膜部２２は、複数の金属層２２Ｍを有する場合、一部の金属層２２Ｍが他と異なる製法で形成されても良い。
【0019】
第２誘電体膜部２４は、１以上の誘電体層を有する誘電体多層膜である。
第２誘電体膜部２４は、図２のように１つの誘電体層を有する場合、好ましくは、誘電体層は、高屈折率層２４Ｈとされる。更に、第１誘電体膜部２０における第１金属膜部２２に隣接する層は、好ましくは高屈折率層とされる。この場合、第１金属膜部２２が各高屈折率層に挟まれ、入射光の分割をより所望の状態でより容易に行える。尚、第２誘電体膜部２４、及び第１誘電体膜部２０における第１金属膜部２２に隣接する層の少なくとも一方は、高屈折率層２４Ｈ以外の層（例えば低屈折率層２４Ｌ）とされても良い。
又、第２誘電体膜部２４は、図３（第１多層膜６の変更例に係る第１多層膜６Ａ），図４（第１多層膜６の別の変更例に係る第１多層膜６Ｂ）のように複数の誘電体層を有する場合、第１誘電体膜部２０と、製法及び変更例も含め同様に成る。即ち、この場合、第２誘電体膜部２４は、１層以上の低屈折率層２４Ｌと、１層以上の高屈折率層２４Ｈと、を有する。図３では、第２誘電体膜部２４は、１つの低屈折率層２４Ｌと、１つの高屈折率層２４Ｈと、を有する。図４では、第２誘電体膜部２４は、２つの低屈折率層２４Ｌと、１つの高屈折率層２４Ｈと、を有する。尚、第２誘電体膜部２４における低屈折率層２４Ｌ及び高屈折率層２４Ｈの少なくとも一方の層数は、図２から図４のもの以外であっても良い。
第２誘電体膜部２４は、図２のように１つの誘電体層を有する場合、好ましくは、誘電体層は、高屈折率層２４Ｈとされる。更に、第１誘電体膜部２０における第１金属膜部２２に隣接する層は、好ましくは高屈折率層とされる。この場合、第１金属膜部２２が各高屈折率層に挟まれ、入射光の分割をより所望の状態でより容易に行える。尚、第２誘電体膜部２４、及び第１誘電体膜部２０における第１金属膜部２２に隣接する層の少なくとも一方は、高屈折率層２４Ｈ以外の層（例えば低屈折率層２４Ｌ）とされても良い。
又、第２誘電体膜部２４は、図３（第１多層膜６の変更例に係る第１多層膜６Ａ），図４（第１多層膜６の別の変更例に係る第１多層膜６Ｂ）のように複数の誘電体層を有する場合、第１誘電体膜部２０と、製法及び変更例も含め同様に成る。即ち、この場合、第２誘電体膜部２４は、１層以上の低屈折率層２４Ｌと、１層以上の高屈折率層２４Ｈと、を有する。図３では、第２誘電体膜部２４は、１つの低屈折率層２４Ｌと、１つの高屈折率層２４Ｈと、を有する。図４では、第２誘電体膜部２４は、２つの低屈折率層２４Ｌと、１つの高屈折率層２４Ｈと、を有する。尚、第２誘電体膜部２４における低屈折率層２４Ｌ及び高屈折率層２４Ｈの少なくとも一方の層数は、図２から図４のもの以外であっても良い。
【0020】
第２金属膜部２６は、１以上の金属層２６Ｍを有する部分である。
第２金属膜部２６は、第１金属膜部２２と、製法及び変更例も含め同様に成る。
第２金属膜部２６は、第１金属膜部２２と、製法及び変更例も含め同様に成る。
【0021】
第３誘電体膜部２８は、複数の誘電体層を有する誘電体多層膜である。
第３誘電体膜部２８は、第１誘電体膜部２０と、製法及び変更例も含め同様に成る。第３誘電体膜部２８は、１層以上の低屈折率層２８Ｌと、１層以上の高屈折率層２８Ｈと、を有する。
耐環境性及び長期安定性を確保する観点から、第１多層膜６における１層目及び最終層目の少なくとも一方の層は、好ましくは低屈折率層２０Ｌ，２８Ｌとされる。
第３誘電体膜部２８は、第１誘電体膜部２０と、製法及び変更例も含め同様に成る。第３誘電体膜部２８は、１層以上の低屈折率層２８Ｌと、１層以上の高屈折率層２８Ｈと、を有する。
耐環境性及び長期安定性を確保する観点から、第１多層膜６における１層目及び最終層目の少なくとも一方の層は、好ましくは低屈折率層２０Ｌ，２８Ｌとされる。
【0022】
第２多層膜１０から第４多層膜１４は、同様に形成される。第２多層膜１０から第４多層膜１４において、それぞれの配置が互いに異なる。
第２多層膜１０は、第１プリズム２の第１－１面ＩＳ上に配置される。第３多層膜１２は、第２プリズム４の第２－１面ＴＳ上に配置される。第４多層膜１４は、第１プリズム２の第１－２面ＲＳ上に配置される。
以下、主に第２多層膜１０が説明され、第３多層膜１２及び第４多層膜１４の説明は、適宜省略される。
尚、第２多層膜１０から第４多層膜１４の少なくとも何れかに係る構成及び製法の少なくとも一方は、互いに異なっていても良い。又、第２多層膜１０から第４多層膜１４の少なくとも何れかと、第１プリズム２あるいは第２プリズム４との間に、中間膜が設けられても良い。更に、第２多層膜１０から第４多層膜１４の上（空気側）に、防汚膜等の表層膜が設けられても良い。
第２多層膜１０は、第１プリズム２の第１－１面ＩＳ上に配置される。第３多層膜１２は、第２プリズム４の第２－１面ＴＳ上に配置される。第４多層膜１４は、第１プリズム２の第１－２面ＲＳ上に配置される。
以下、主に第２多層膜１０が説明され、第３多層膜１２及び第４多層膜１４の説明は、適宜省略される。
尚、第２多層膜１０から第４多層膜１４の少なくとも何れかに係る構成及び製法の少なくとも一方は、互いに異なっていても良い。又、第２多層膜１０から第４多層膜１４の少なくとも何れかと、第１プリズム２あるいは第２プリズム４との間に、中間膜が設けられても良い。更に、第２多層膜１０から第４多層膜１４の上（空気側）に、防汚膜等の表層膜が設けられても良い。
【0023】
図５に示されるように、第２多層膜１０は、低屈折率層１０Ｌ及び高屈折率層１０Ｈを有する全７層の光学多層膜である。尚、第２多層膜１０の全層数は、６以下であっても良いし、８以上であっても良い。
第２多層膜１０は、可視域及び近赤外域における反射率を抑制する反射防止膜である。第２多層膜１０における４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の光の反射率は、好ましくは全域で１．２％以下、より好ましくは全域で１．０％以下である。
第２多層膜１０は、可視域及び近赤外域における反射率を抑制する反射防止膜である。第２多層膜１０における４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の光の反射率は、好ましくは全域で１．２％以下、より好ましくは全域で１．０％以下である。
【0024】
第２多層膜１０において、低屈折率層１０Ｌは、低屈折率層２０Ｌと同様に成る。又、高屈折率層１０Ｈは、高屈折率層２０Ｈと同様に成る。更に、低屈折率層１０Ｌ及び高屈折率層１０Ｈの組合せは、低屈折率層２０Ｌ及び高屈折率層２０Ｈの組合せと同様である。
図５の例では、第２多層膜１０の１層目は低屈折率層１０Ｌであり、以降高屈折率層１０Ｈと低屈折率層１０Ｌとが交互に配置される。
耐環境性及び長期安定性を確保する観点から、第１多層膜６における１層目及び最終層目の少なくとも一方の層は、好ましくは低屈折率層１０Ｌとされる。
図５の例では、第２多層膜１０の１層目は低屈折率層１０Ｌであり、以降高屈折率層１０Ｈと低屈折率層１０Ｌとが交互に配置される。
耐環境性及び長期安定性を確保する観点から、第１多層膜６における１層目及び最終層目の少なくとも一方の層は、好ましくは低屈折率層１０Ｌとされる。
【0025】
第２多層膜１０は、第１多層膜６と同様に、例えば物理蒸着により形成される。
尚、第２多層膜１０の製法は、第１多層膜６の製法と同様の変更例を適宜有する。
尚、第２多層膜１０の製法は、第１多層膜６の製法と同様の変更例を適宜有する。
【0026】
第３多層膜１２及び第４多層膜１４は、それぞれ、第２多層膜１０と同様に、可視域及び近赤外域における反射率を抑制する。
第３多層膜１２及び第４多層膜１４の各構成は、何れも第２多層膜１０と同様である。
尚、第３多層膜１２及び第４多層膜１４のうち少なくとも一方の構成は、第２多層膜１０と異なっていても良い。又、第２多層膜１０から第４多層膜１４の少なくとも何れかは、省略されても良い。更に、第２プリズム４の第２－２面（残りの側面）に、第５多層膜が形成されても良い。第５多層膜は、第２多層膜１０から第４多層膜１４の少なくとも何れかと同様に形成されても良い。
第３多層膜１２及び第４多層膜１４の各構成は、何れも第２多層膜１０と同様である。
尚、第３多層膜１２及び第４多層膜１４のうち少なくとも一方の構成は、第２多層膜１０と異なっていても良い。又、第２多層膜１０から第４多層膜１４の少なくとも何れかは、省略されても良い。更に、第２プリズム４の第２－２面（残りの側面）に、第５多層膜が形成されても良い。第５多層膜は、第２多層膜１０から第４多層膜１４の少なくとも何れかと同様に形成されても良い。
【0027】
ビームスプリッタ１は、可視域における透過光Ｔの光量と反射光Ｒの光量との大小関係に対し、近赤外域における透過光Ｔの光量と反射光Ｒの光量との大小関係が逆転した状態で、入射光Ｉを透過光Ｔと反射光Ｒに分ける。
例えば、ビームスプリッタ１は、可視域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より小さい関係を有するのに対し、近赤外域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より大きい関係を有する状態で、入射光Ｉを透過光Ｔと反射光Ｒに分ける。
あるいは、ビームスプリッタ１は、可視域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より大きい関係を有するのに対し、近赤外域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より小さい関係を有する状態で、入射光Ｉを透過光Ｔと反射光Ｒに分ける。
尚、ビームスプリッタ１における光量の大小関係の逆転は、可視域及び近赤外域の少なくとも一方以外の複数の波長域で起こるようにしても良い。例えば、ビームスプリッタ１は、可視域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より小さい関係を有するのに対し、遠赤外域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より大きい関係を有する状態で、入射光Ｉを透過光Ｔと反射光Ｒに分けても良い。
例えば、ビームスプリッタ１は、可視域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より小さい関係を有するのに対し、近赤外域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より大きい関係を有する状態で、入射光Ｉを透過光Ｔと反射光Ｒに分ける。
あるいは、ビームスプリッタ１は、可視域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より大きい関係を有するのに対し、近赤外域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より小さい関係を有する状態で、入射光Ｉを透過光Ｔと反射光Ｒに分ける。
尚、ビームスプリッタ１における光量の大小関係の逆転は、可視域及び近赤外域の少なくとも一方以外の複数の波長域で起こるようにしても良い。例えば、ビームスプリッタ１は、可視域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より小さい関係を有するのに対し、遠赤外域において透過光Ｔの光量が反射光Ｒの光量より大きい関係を有する状態で、入射光Ｉを透過光Ｔと反射光Ｒに分けても良い。
【実施例0028】
次いで、本開示の好適な実施例、及び好適な実施例に属さない比較例が説明される。
尚、本開示は、以下の実施例に限定されない。又、本開示の捉え方により、下記の実施例が実質的には比較例となったり、下記の比較例が実質的には好適な実施例となったりすることがある。
尚、本開示は、以下の実施例に限定されない。又、本開示の捉え方により、下記の実施例が実質的には比較例となったり、下記の比較例が実質的には好適な実施例となったりすることがある。
【0029】
≪実施例１～３の構成等≫
実施例１～３は、上述の実施形態又は変更例に対応する。
実施例１～３の第１プリズム２及び第２プリズム４は、何れも底面の短辺が２０ｍｍ（ミリメートル）で高さが２０ｍｍの直角二等辺三角柱である。実施例１～３の第１プリズム２及び第２プリズム４の各材質は、何れもＢＫ７（ボロシリケートクラウンガラス）である。
実施例１～３は、上述の実施形態又は変更例に対応する。
実施例１～３の第１プリズム２及び第２プリズム４は、何れも底面の短辺が２０ｍｍ（ミリメートル）で高さが２０ｍｍの直角二等辺三角柱である。実施例１～３の第１プリズム２及び第２プリズム４の各材質は、何れもＢＫ７（ボロシリケートクラウンガラス）である。
【0030】
又、次の表１に示されるように、実施例１～３の第１多層膜６がそれぞれ形成される。
【0031】
【表1】
【0032】
即ち、実施例１において、第１多層膜６は、図２の構成を有する。
更に、実施例１の第１多層膜６は、第１プリズム２の第１斜面２Ｓ側に対し、中間膜のない状態で順に、第１誘電体膜部２０の低屈折率層２０ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚１８１ｎｍ）、第１誘電体膜部２０の高屈折率層２０ＬとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚１２５ｎｍ）、第１金属膜部２２の１つの金属層２２ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１０ｎｍ）、第２誘電体膜部２４の１つの高屈折率層２４ＨとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚３４４ｎｍ）、第２金属膜部２６の１つの金属層２６ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１５ｎｍ）、第３誘電体膜部２８の高屈折率層２８ＨとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚２１９ｎｍ）、第３誘電体膜部２８の低屈折率層２８ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚２７７ｎｍ）、を有する。低屈折率層２８Ｌは、第２プリズム４の第２斜面４Ｓに接触する。実施例１の第１多層膜６は、全７層である。
実施例１の第１多層膜６の各層は、真空蒸着法により形成される。
更に、実施例１の第１多層膜６は、第１プリズム２の第１斜面２Ｓ側に対し、中間膜のない状態で順に、第１誘電体膜部２０の低屈折率層２０ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚１８１ｎｍ）、第１誘電体膜部２０の高屈折率層２０ＬとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚１２５ｎｍ）、第１金属膜部２２の１つの金属層２２ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１０ｎｍ）、第２誘電体膜部２４の１つの高屈折率層２４ＨとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚３４４ｎｍ）、第２金属膜部２６の１つの金属層２６ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１５ｎｍ）、第３誘電体膜部２８の高屈折率層２８ＨとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚２１９ｎｍ）、第３誘電体膜部２８の低屈折率層２８ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚２７７ｎｍ）、を有する。低屈折率層２８Ｌは、第２プリズム４の第２斜面４Ｓに接触する。実施例１の第１多層膜６は、全７層である。
実施例１の第１多層膜６の各層は、真空蒸着法により形成される。
【0033】
又、実施例２において、第１多層膜６Ａは、図３の構成を有する。
更に、実施例２の第１多層膜６Ａは、第１プリズム２の第１斜面２Ｓ側に対し、中間膜のない状態で順に、低屈折率層２０ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚２６ｎｍ）、高屈折率層２０ＬとしてのＴａ２Ｏ５層（物理膜厚１４５ｎｍ）、金属層２２ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１４ｎｍ）、第２誘電体膜部２４の１つの高屈折率層２４ＨとしてのＴａ２Ｏ５層（物理膜厚２５５ｎｍ）、第２誘電体膜部２４の１つの低屈折率層２４ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚９３ｎｍ）、金属層２６ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１３ｎｍ）、高屈折率層２８ＨとしてのＴａ２Ｏ５層（物理膜厚１８２ｎｍ）、低屈折率層２８ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚３３７ｎｍ）、を有する。低屈折率層２８Ｌは、第２プリズム４の第２斜面４Ｓに接触する。実施例２の第１多層膜６Ａは、全８層である。
実施例２の第１多層膜６Ａの各層は、真空蒸着法により形成される。
更に、実施例２の第１多層膜６Ａは、第１プリズム２の第１斜面２Ｓ側に対し、中間膜のない状態で順に、低屈折率層２０ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚２６ｎｍ）、高屈折率層２０ＬとしてのＴａ２Ｏ５層（物理膜厚１４５ｎｍ）、金属層２２ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１４ｎｍ）、第２誘電体膜部２４の１つの高屈折率層２４ＨとしてのＴａ２Ｏ５層（物理膜厚２５５ｎｍ）、第２誘電体膜部２４の１つの低屈折率層２４ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚９３ｎｍ）、金属層２６ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１３ｎｍ）、高屈折率層２８ＨとしてのＴａ２Ｏ５層（物理膜厚１８２ｎｍ）、低屈折率層２８ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚３３７ｎｍ）、を有する。低屈折率層２８Ｌは、第２プリズム４の第２斜面４Ｓに接触する。実施例２の第１多層膜６Ａは、全８層である。
実施例２の第１多層膜６Ａの各層は、真空蒸着法により形成される。
【0034】
又更に、実施例３において、第１多層膜６Ｂは、図４の構成を有する。
更に、実施例３の第１多層膜６Ｂは、第１プリズム２の第１斜面２Ｓ側に対し、中間膜のない状態で順に、低屈折率層２０ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚３５５ｎｍ）、高屈折率層２０ＬとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚１８６ｎｍ）、金属層２２ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１８ｎｍ）、第２誘電体膜部２４の１つ目の低屈折率層２４ＬとしてのＡｌ２Ｏ３層（物理膜厚８５ｎｍ）、１つの高屈折率層２４ＨとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚２５５ｎｍ）、第２誘電体膜部２４の２つ目の低屈折率層２４ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚７２ｎｍ）、金属層２６ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１８ｎｍ）、高屈折率層２８ＨとしてのＴａ２Ｏ５層（物理膜厚１８９ｎｍ）、低屈折率層２８ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚３５０ｎｍ）、を有する。低屈折率層２８Ｌは、第２プリズム４の第２斜面４Ｓに接触する。実施例３の第１多層膜６Ｂは、全９層である。
実施例３の第１多層膜６Ｂの各層は、真空蒸着法により形成される。
更に、実施例３の第１多層膜６Ｂは、第１プリズム２の第１斜面２Ｓ側に対し、中間膜のない状態で順に、低屈折率層２０ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚３５５ｎｍ）、高屈折率層２０ＬとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚１８６ｎｍ）、金属層２２ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１８ｎｍ）、第２誘電体膜部２４の１つ目の低屈折率層２４ＬとしてのＡｌ２Ｏ３層（物理膜厚８５ｎｍ）、１つの高屈折率層２４ＨとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚２５５ｎｍ）、第２誘電体膜部２４の２つ目の低屈折率層２４ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚７２ｎｍ）、金属層２６ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１８ｎｍ）、高屈折率層２８ＨとしてのＴａ２Ｏ５層（物理膜厚１８９ｎｍ）、低屈折率層２８ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚３５０ｎｍ）、を有する。低屈折率層２８Ｌは、第２プリズム４の第２斜面４Ｓに接触する。実施例３の第１多層膜６Ｂは、全９層である。
実施例３の第１多層膜６Ｂの各層は、真空蒸着法により形成される。
【0035】
加えて、図５及び次の表２に示されるように、実施例１の第２多層膜１０が形成される。
【0036】
【表2】
【0037】
即ち、実施例１の第２多層膜１０は、第１プリズム２の第１－１面ＩＳ側に対し、中間膜及び表層膜のない状態で順に、低屈折率層１０ＬとしてのＡｌ２Ｏ３層（物理膜厚１００ｎｍ）、高屈折率層１０ＬとしてのＺｒＯ２層（物理膜厚２８ｎｍ）、低屈折率層１０ＬとしてのＭｇＦ２層（物理膜厚２７ｎｍ）、高屈折率層１０ＬとしてのＺｒＯ２層（物理膜厚６１ｎｍ）、低屈折率層１０ＬとしてのＭｇＦ２層（物理膜厚３１ｎｍ）、高屈折率層１０ＬとしてのＺｒＯ２層（物理膜厚２６ｎｍ）、低屈折率層１０ＬとしてのＭｇＦ２層（物理膜厚１１９ｎｍ）、を有する。
実施例１の第２多層膜１０の各層は、真空蒸着法により形成される。
実施例１の第２多層膜１０の各層は、真空蒸着法により形成される。
【0038】
そして、実施例１の第３多層膜１２及び第４多層膜１４は、それぞれ実施例１の第２多層膜１０と同様に形成される。
又、実施例２の第２多層膜１０～第４多層膜１４は、それぞれ実施例１の第２多層膜１０と同様に形成される。
更に、実施例３の第２多層膜１０～第４多層膜１４は、それぞれ実施例１の第２多層膜１０と同様に形成される。
又、実施例２の第２多層膜１０～第４多層膜１４は、それぞれ実施例１の第２多層膜１０と同様に形成される。
更に、実施例３の第２多層膜１０～第４多層膜１４は、それぞれ実施例１の第２多層膜１０と同様に形成される。
【0039】
実施例１における、第１多層膜６、第２多層膜１０及び第４多層膜１４を形成した第１プリズム２の第１斜面２Ｓと、第３多層膜１２を形成した第２プリズム４の第２斜面４Ｓとは、硬化後においてこれらと類似する屈折率を有する接着剤により接合される。
又、実施例２における、第１多層膜６Ａ、第２多層膜１０及び第４多層膜１４を形成した第１プリズム２の第１斜面２Ｓと、第３多層膜１２を形成した第２プリズム４の第２斜面４Ｓとは、硬化後においてこれらと類似する屈折率を有する接着剤により接合される。
更に、実施例３における、第１多層膜６Ｂ、第２多層膜１０及び第４多層膜１４を形成した第１プリズム２の第１斜面２Ｓと、第３多層膜１２を形成した第２プリズム４の第２斜面４Ｓとは、硬化後においてこれらと類似する屈折率を有する接着剤により接合される。
又、実施例２における、第１多層膜６Ａ、第２多層膜１０及び第４多層膜１４を形成した第１プリズム２の第１斜面２Ｓと、第３多層膜１２を形成した第２プリズム４の第２斜面４Ｓとは、硬化後においてこれらと類似する屈折率を有する接着剤により接合される。
更に、実施例３における、第１多層膜６Ｂ、第２多層膜１０及び第４多層膜１４を形成した第１プリズム２の第１斜面２Ｓと、第３多層膜１２を形成した第２プリズム４の第２斜面４Ｓとは、硬化後においてこれらと類似する屈折率を有する接着剤により接合される。
【0040】
≪比較例の構成等≫
比較例は、第１多層膜～第４多層膜を除き、実施例１と同様に成る。
比較例は、第１多層膜～第４多層膜を除き、実施例１と同様に成る。
【0041】
比較例は、図６及び上記表１の右側に示されるように、第１多層膜６Ｃを有する。
第１多層膜６Ｃは、２つの低屈折率層６Ｌと、２つの高屈折率層６Ｈと、１つの金属層６Ｍとを有する全５層の多層膜である。
比較例の第１多層膜６Ｃは、第１プリズム２の第１斜面２Ｓ側に対し、中間膜のない状態で順に、低屈折率層６ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚３５５ｎｍ）、高屈折率層６ＨとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚１８６ｎｍ）、１つの金属層２２ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１８ｎｍ）、低屈折率層６ＬとしてのＡｌ２Ｏ３層（物理膜厚８５ｎｍ）、高屈折率層６ＨとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚２２５ｎｍ）、を有する。５層目の高屈折率層６Ｈは、第２プリズム４の第２斜面４Ｓに接触する。
比較例の第１多層膜６Ｃの各層は、真空蒸着法により形成される。
第１多層膜６Ｃは、２つの低屈折率層６Ｌと、２つの高屈折率層６Ｈと、１つの金属層６Ｍとを有する全５層の多層膜である。
比較例の第１多層膜６Ｃは、第１プリズム２の第１斜面２Ｓ側に対し、中間膜のない状態で順に、低屈折率層６ＬとしてのＳｉＯ２層（物理膜厚３５５ｎｍ）、高屈折率層６ＨとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚１８６ｎｍ）、１つの金属層２２ＭとしてのＡｇ層（物理膜厚１８ｎｍ）、低屈折率層６ＬとしてのＡｌ２Ｏ３層（物理膜厚８５ｎｍ）、高屈折率層６ＨとしてのＬａＯ３Ｔｉ層（物理膜厚２２５ｎｍ）、を有する。５層目の高屈折率層６Ｈは、第２プリズム４の第２斜面４Ｓに接触する。
比較例の第１多層膜６Ｃの各層は、真空蒸着法により形成される。
【0042】
比較例の第２多層膜は、全５層であり、上記表２の右側に示されるように形成される。
比較例の第３多層膜～第４多層膜は、何れも、比較例の第２多層膜と同様に形成される。
比較例の第３多層膜～第４多層膜は、何れも、比較例の第２多層膜と同様に形成される。
【0043】
≪実施例１～３及び比較例の特性等≫
図７は、比較例の第１多層膜６Ｃにおける可視域及び近赤外域並びにそれらの隣接領域（４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下）での各種の透過率［％］及び各種の反射率［％］の分布（シミュレーション値）を示すグラフである。図８は、比較例の第１多層膜６Ｃにおける４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下での各種の透過率及び各種の反射率の分布（実測値）を示すグラフである。
各種の透過率は、Ｐ偏光透過率Ｔｐと、Ｓ偏光透過率Ｔｓと、平均透過率Ｔｒと、を含む。
各種の反射率は、Ｐ偏光反射率Ｒｐと、Ｓ偏光反射率Ｒｓと、平均反射率Ｒｒと、を含む。
図７は、比較例の第１多層膜６Ｃにおける可視域及び近赤外域並びにそれらの隣接領域（４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下）での各種の透過率［％］及び各種の反射率［％］の分布（シミュレーション値）を示すグラフである。図８は、比較例の第１多層膜６Ｃにおける４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下での各種の透過率及び各種の反射率の分布（実測値）を示すグラフである。
各種の透過率は、Ｐ偏光透過率Ｔｐと、Ｓ偏光透過率Ｔｓと、平均透過率Ｔｒと、を含む。
各種の反射率は、Ｐ偏光反射率Ｒｐと、Ｓ偏光反射率Ｒｓと、平均反射率Ｒｒと、を含む。
【0044】
比較例の第１多層膜６Ｃにおける各種の透過率の分布及び各種の反射率の分布の各実測値は、各シミュレーション値と極めて類似している。
比較例の第１多層膜６Ｃにおける各種の透過率は、４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下で概ね単調増加している。比較例の第１多層膜６Ｃにおける各種の反射率は、４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下で概ね単調減少している。
比較例の第１多層膜６Ｃにおける各種の透過率は、４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下で概ね単調増加している。比較例の第１多層膜６Ｃにおける各種の反射率は、４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下で概ね単調減少している。
【0045】
比較例の第１多層膜６Ｃは、可視域内の波長６５０ｎｍの光を、実測値で、約２５％透過し、約７０％反射する。尚、残りの約５％は、吸収及び散乱の少なくとも一方によるものと考えられる。
又、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光透過率Ｔｐ及びＳ偏光透過率Ｔｓは、波長６５０ｎｍにおいて、ほぼ同じである。更に、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光反射率Ｒｐ及びＳ偏光反射率Ｒｓは、波長６５０ｎｍにおいて、ほぼ同じである。
よって、比較例の第１多層膜６Ｃは、波長６５０ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝１：３の比率において、非偏光で分ける。
そして、比較例の第１多層膜６Ｃの平均透過率Ｔｒは、実測値で、可視域全体において、２５±１０ポイントの数値域内に入っている。又、比較例の第１多層膜６Ｃの平均反射率Ｒｒは、実測値で、可視域全体において、６５±１０ポイントの数値域内に入っている。更に、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、実測値で、可視域全体において、１０ポイント以内となっている。加えて、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、実測値で、可視域全体において、１０ポイント以内となっている。
又、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光透過率Ｔｐ及びＳ偏光透過率Ｔｓは、波長６５０ｎｍにおいて、ほぼ同じである。更に、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光反射率Ｒｐ及びＳ偏光反射率Ｒｓは、波長６５０ｎｍにおいて、ほぼ同じである。
よって、比較例の第１多層膜６Ｃは、波長６５０ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝１：３の比率において、非偏光で分ける。
そして、比較例の第１多層膜６Ｃの平均透過率Ｔｒは、実測値で、可視域全体において、２５±１０ポイントの数値域内に入っている。又、比較例の第１多層膜６Ｃの平均反射率Ｒｒは、実測値で、可視域全体において、６５±１０ポイントの数値域内に入っている。更に、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、実測値で、可視域全体において、１０ポイント以内となっている。加えて、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、実測値で、可視域全体において、１０ポイント以内となっている。
【0046】
他方、比較例の第１多層膜６Ｃは、近赤外域内の波長８５０ｎｍの光を、実測値で、約１２％透過し、約８２％反射する。
又、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、５ポイント程度である。更に、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、５ポイント程度である。
よって、比較例の第１多層膜６Ｃは、波長８５０ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝１：８の比率において、非偏光で分ける。
そして、比較例の第１多層膜６Ｃの平均透過率Ｔｒは、実測値で、近赤外域全体において、１２．５±２．５ポイントの数値域内に入っている。又、比較例の第１多層膜６Ｃの平均反射率Ｒｒは、実測値で、近赤外域全体において、８２±３ポイントの数値域内に入っている。更に、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、実測値で、近赤外域全体において、５ポイント以内となっている。加えて、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、実測値で、近赤外域全体において、５ポイント以内となっている。
又、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、５ポイント程度である。更に、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、５ポイント程度である。
よって、比較例の第１多層膜６Ｃは、波長８５０ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝１：８の比率において、非偏光で分ける。
そして、比較例の第１多層膜６Ｃの平均透過率Ｔｒは、実測値で、近赤外域全体において、１２．５±２．５ポイントの数値域内に入っている。又、比較例の第１多層膜６Ｃの平均反射率Ｒｒは、実測値で、近赤外域全体において、８２±３ポイントの数値域内に入っている。更に、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、実測値で、近赤外域全体において、５ポイント以内となっている。加えて、比較例の第１多層膜６ＣにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、実測値で、近赤外域全体において、５ポイント以内となっている。
【0047】
比較例の第１多層膜６Ｃは、可視域及び近赤外域の何れの領域においても、透過光Ｔの光量より反射光Ｒの光量が大きい状態で（透過光Ｔ＜反射光Ｒ）、入射光Ｉを非偏光で分ける。
【0048】
図９は、比較例の第２多層膜における４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下での平均反射率Ｒｒの分布（シミュレーション値）を示すグラフである。
比較例の第２多層膜は、可視域全域で０．６％以下となるような低反射特性を呈する一方、可視域より長波長側ではかような低反射特性を呈さない。又、比較例の第３多層膜及び第４多層膜は、何れも比較例の第２多層膜と同様に成る。
よって、比較例では、入射光Ｉ並びに透過光Ｔ及び反射光Ｒにおいて赤外光が含まれていたとしても、その赤外光の一部あるいは大部分が、カットされる。
比較例の第２多層膜は、可視域全域で０．６％以下となるような低反射特性を呈する一方、可視域より長波長側ではかような低反射特性を呈さない。又、比較例の第３多層膜及び第４多層膜は、何れも比較例の第２多層膜と同様に成る。
よって、比較例では、入射光Ｉ並びに透過光Ｔ及び反射光Ｒにおいて赤外光が含まれていたとしても、その赤外光の一部あるいは大部分が、カットされる。
【0049】
図１０は、実施例１の第１多層膜６における可視域及び近赤外域並びにそれらの隣接領域（４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下）での各種の透過率［％］及び各種の反射率［％］の分布（シミュレーション値）を示すグラフである。
実施例１の第１多層膜６における各種の透過率と各種の反射率との大小関係は、６７５ｎｍ付近で逆転している。即ち、可視域の下限である４５０ｎｍ以上で６７５ｎｍ未満の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より小さい。但し、Ｐ偏光透過率Ｔｐは、（４５０ｎｍ以上）４７５ｎｍ未満の波長域で、Ｐ偏光反射率Ｒｐより大きい。これに対し、６７５ｎｍ以上で近赤外域の上限である８７５ｎｍ以下の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より大きい。
実施例１の第１多層膜６における各種の透過率と各種の反射率との大小関係は、６７５ｎｍ付近で逆転している。即ち、可視域の下限である４５０ｎｍ以上で６７５ｎｍ未満の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より小さい。但し、Ｐ偏光透過率Ｔｐは、（４５０ｎｍ以上）４７５ｎｍ未満の波長域で、Ｐ偏光反射率Ｒｐより大きい。これに対し、６７５ｎｍ以上で近赤外域の上限である８７５ｎｍ以下の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より大きい。
【0050】
実施例１の第１多層膜６は、可視域内の波長６５０ｎｍの光を、約４２％透過し、約５３％反射する。
又、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光透過率Ｔｐ及びＳ偏光透過率Ｔｓの差の絶対値は、波長６５０ｎｍにおいて、４ポイント程度である。更に、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光反射率Ｒｐ及びＳ偏光反射率Ｒｓの差の絶対値は、波長６５０ｎｍにおいて、１ポイント程度である。
よって、実施例１の第１多層膜６は、波長６５０ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝４：５の比率において、非偏光で分ける。
そして、実施例１の第１多層膜６の平均透過率Ｔｒは、可視域全体において、４０±１０ポイントの数値域内に入っている。又、実施例１の第１多層膜６の平均反射率Ｒｒは、可視域全体において、５５±２２ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、可視域全体において、４０ポイント以内となっており、特に波長５５０ｎｍ以上では１０ポイント以内となっている。加えて、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、可視域全体において、３５ポイント以内となっており、特に波長５５０ｎｍ以上では８ポイント以内となっている。
又、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光透過率Ｔｐ及びＳ偏光透過率Ｔｓの差の絶対値は、波長６５０ｎｍにおいて、４ポイント程度である。更に、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光反射率Ｒｐ及びＳ偏光反射率Ｒｓの差の絶対値は、波長６５０ｎｍにおいて、１ポイント程度である。
よって、実施例１の第１多層膜６は、波長６５０ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝４：５の比率において、非偏光で分ける。
そして、実施例１の第１多層膜６の平均透過率Ｔｒは、可視域全体において、４０±１０ポイントの数値域内に入っている。又、実施例１の第１多層膜６の平均反射率Ｒｒは、可視域全体において、５５±２２ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、可視域全体において、４０ポイント以内となっており、特に波長５５０ｎｍ以上では１０ポイント以内となっている。加えて、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、可視域全体において、３５ポイント以内となっており、特に波長５５０ｎｍ以上では８ポイント以内となっている。
【0051】
他方、実施例１の第１多層膜６は、近赤外域内の波長８５０ｎｍの光を、約７８％透過し、約５％反射する。
又、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、５ポイント程度である。更に、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、７ポイント程度である。
よって、実施例１の第１多層膜６は、波長８５０ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝１６：１の比率において、非偏光で分ける。
そして、実施例１の第１多層膜６の平均透過率Ｔｒは、近赤外域全体において、７７±３ポイントの数値域内に入っている。又、実施例１の第１多層膜６の平均反射率Ｒｒは、近赤外域全体において、８±３ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、１０ポイント以内となっている。加えて、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、１７ポイント以内となっている。
又、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、５ポイント程度である。更に、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、７ポイント程度である。
よって、実施例１の第１多層膜６は、波長８５０ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝１６：１の比率において、非偏光で分ける。
そして、実施例１の第１多層膜６の平均透過率Ｔｒは、近赤外域全体において、７７±３ポイントの数値域内に入っている。又、実施例１の第１多層膜６の平均反射率Ｒｒは、近赤外域全体において、８±３ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、１０ポイント以内となっている。加えて、実施例１の第１多層膜６におけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、１７ポイント以内となっている。
【0052】
実施例１の第１多層膜６は、可視域では透過光Ｔの光量より反射光Ｒの光量が大きい状態で入射光Ｉを非偏光で分け、近赤外域では透過光Ｔの光量より反射光Ｒの光量が小さい状態で入射光Ｉを非偏光で分ける。
実施例１の第１多層膜６では、可視域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＜反射光Ｒ）は、近赤外域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＞反射光Ｒ）に対して逆転している。
実施例１の第１多層膜６では、可視域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＜反射光Ｒ）は、近赤外域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＞反射光Ｒ）に対して逆転している。
【0053】
図１１は、実施例１の第２多層膜１０における４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下での平均反射率Ｒｒの分布（シミュレーション値）を示すグラフである。
実施例１の第２多層膜１０は、可視域の全域及び近赤外域の全域で１％以下となるような低反射特性を有している。又、実施例１の第３多層膜１２及び第４多層膜１４は、何れも実施例１の第２多層膜１０と同様に成る。
よって、実施例１では、入射光Ｉ並びに透過光Ｔ及び反射光Ｒにおける可視光及び赤外光の反射が抑制される。
実施例１の第２多層膜１０から第４多層膜１４における低屈折率層１０Ｌは、１層目を除き、ＭｇＦ２とされている。よって、可視域及び近赤外域を含む広い領域における反射防止機能が、よりシンプルな設計でより容易に確保される。又、実施例１の第２多層膜１０から第４多層膜１４における１層目の低屈折率層１０Ｌは、Ａｌ２Ｏ３とされている。よって、第１プリズム２又は第２プリズム４に対するより強固な密着性が確保される。これらは、実施例２～３の第２多層膜１０から第４多層膜１４においても同様である。
実施例１の第２多層膜１０は、可視域の全域及び近赤外域の全域で１％以下となるような低反射特性を有している。又、実施例１の第３多層膜１２及び第４多層膜１４は、何れも実施例１の第２多層膜１０と同様に成る。
よって、実施例１では、入射光Ｉ並びに透過光Ｔ及び反射光Ｒにおける可視光及び赤外光の反射が抑制される。
実施例１の第２多層膜１０から第４多層膜１４における低屈折率層１０Ｌは、１層目を除き、ＭｇＦ２とされている。よって、可視域及び近赤外域を含む広い領域における反射防止機能が、よりシンプルな設計でより容易に確保される。又、実施例１の第２多層膜１０から第４多層膜１４における１層目の低屈折率層１０Ｌは、Ａｌ２Ｏ３とされている。よって、第１プリズム２又は第２プリズム４に対するより強固な密着性が確保される。これらは、実施例２～３の第２多層膜１０から第４多層膜１４においても同様である。
【0054】
実施例１のビームスプリッタ１は、平均的に、可視域では透過光Ｔ：反射光Ｒ＝１：２程度で入射光Ｉを非偏光で分け、近赤外域では透過光Ｔ：反射光Ｒ＝１０：１程度で入射光Ｉを非偏光で分ける。
例えば、実施例１のビームスプリッタ１は、撮影対象からの光を入射光Ｉとし、透過光Ｔ側に近赤外光カメラを置き、反射光Ｒ側に可視光カメラを置く光学系に用いることができる。これは、実施例２，３においても同様である。
例えば、実施例１のビームスプリッタ１は、撮影対象からの光を入射光Ｉとし、透過光Ｔ側に近赤外光カメラを置き、反射光Ｒ側に可視光カメラを置く光学系に用いることができる。これは、実施例２，３においても同様である。
【0055】
図１２は、実施例２の第１多層膜６Ａにおける可視域及び近赤外域並びにそれらの隣接領域（４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下）での各種の透過率［％］及び各種の反射率［％］の分布（シミュレーション値）を示すグラフである。
実施例２の第１多層膜６Ａにおける各種の透過率と各種の反射率との大小関係は、６８０ｎｍ付近で逆転している。即ち、可視域の下限である４５０ｎｍ以上で約６８０ｎｍ未満の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より小さい。これに対し、約６８０ｎｍ以上で近赤外域の上限である８７５ｎｍ以下の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より大きい。
実施例２の第１多層膜６Ａにおける各種の透過率と各種の反射率との大小関係は、６８０ｎｍ付近で逆転している。即ち、可視域の下限である４５０ｎｍ以上で約６８０ｎｍ未満の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より小さい。これに対し、約６８０ｎｍ以上で近赤外域の上限である８７５ｎｍ以下の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より大きい。
【0056】
実施例２の第１多層膜６Ａは、可視域内の波長６００ｎｍの光を、約２７％透過し、約６８％反射する。
又、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光透過率Ｔｐ及びＳ偏光透過率Ｔｓの差の絶対値は、波長６００ｎｍにおいて、２０ポイント程度である。更に、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光反射率Ｒｐ及びＳ偏光反射率Ｒｓの差の絶対値は、波長６００ｎｍにおいて、２１ポイント程度である。
よって、実施例２の第１多層膜６Ａは、波長６００ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝３：７の比率において、非偏光で分ける。
そして、実施例２の第１多層膜６Ａの平均透過率Ｔｒは、可視域全体において、３６±１８ポイントの数値域内に入っている。又、実施例２の第１多層膜６Ａの平均反射率Ｒｒは、可視域全体において、５５．５±１５．５ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、可視域全体において、３４ポイント以内となっており、特に波長５５０ｎｍ以上では２２ポイント以内となっている。加えて、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、可視域全体において、４０ポイント以内となっており、特に波長５５０ｎｍ以上では２５ポイント以内となっている。尚、実施例２の第１多層膜６Ａにおける、可視域でのＰ偏光透過率Ｔｐ及びＳ偏光透過率Ｔｓの差の絶対値、並びにＰ偏光反射率Ｒｐ及びＳ偏光反射率Ｒｓの差の絶対値は、他の例に比べて大きくなっている。
又、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光透過率Ｔｐ及びＳ偏光透過率Ｔｓの差の絶対値は、波長６００ｎｍにおいて、２０ポイント程度である。更に、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光反射率Ｒｐ及びＳ偏光反射率Ｒｓの差の絶対値は、波長６００ｎｍにおいて、２１ポイント程度である。
よって、実施例２の第１多層膜６Ａは、波長６００ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝３：７の比率において、非偏光で分ける。
そして、実施例２の第１多層膜６Ａの平均透過率Ｔｒは、可視域全体において、３６±１８ポイントの数値域内に入っている。又、実施例２の第１多層膜６Ａの平均反射率Ｒｒは、可視域全体において、５５．５±１５．５ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、可視域全体において、３４ポイント以内となっており、特に波長５５０ｎｍ以上では２２ポイント以内となっている。加えて、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、可視域全体において、４０ポイント以内となっており、特に波長５５０ｎｍ以上では２５ポイント以内となっている。尚、実施例２の第１多層膜６Ａにおける、可視域でのＰ偏光透過率Ｔｐ及びＳ偏光透過率Ｔｓの差の絶対値、並びにＰ偏光反射率Ｒｐ及びＳ偏光反射率Ｒｓの差の絶対値は、他の例に比べて大きくなっている。
【0057】
他方、実施例２の第１多層膜６Ａは、近赤外域内の波長８５０ｎｍの光を、約８３％透過し、約０％反射する（即ち反射しない）。
又、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、３ポイント程度である。更に、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、０．２ポイント程度である。
よって、実施例２の第１多層膜６Ａは、波長８５０ｎｍの入射光Ｉのほぼ全てを、非偏光で透過する。
そして、実施例２の第１多層膜６Ａの平均透過率Ｔｒは、近赤外域全体において、８１．５±２．５ポイントの数値域内に入っている。又、実施例２の第１多層膜６Ａの平均反射率Ｒｒは、近赤外域全体において、２．５±２．５ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、４ポイント以内となっている。加えて、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、５．５ポイント以内となっている。
又、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、３ポイント程度である。更に、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、０．２ポイント程度である。
よって、実施例２の第１多層膜６Ａは、波長８５０ｎｍの入射光Ｉのほぼ全てを、非偏光で透過する。
そして、実施例２の第１多層膜６Ａの平均透過率Ｔｒは、近赤外域全体において、８１．５±２．５ポイントの数値域内に入っている。又、実施例２の第１多層膜６Ａの平均反射率Ｒｒは、近赤外域全体において、２．５±２．５ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、４ポイント以内となっている。加えて、実施例２の第１多層膜６ＡにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、５．５ポイント以内となっている。
【0058】
実施例２の第１多層膜６Ａは、可視域では透過光Ｔの光量より反射光Ｒの光量が大きい状態で入射光Ｉを非偏光で分け、近赤外域では透過光Ｔの光量より反射光Ｒの光量が小さい状態で入射光Ｉを非偏光で分ける。
実施例２の第１多層膜６Ａでは、可視域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＜反射光Ｒ）は、近赤外域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＞反射光Ｒ）に対して逆転している。
実施例２の第１多層膜６Ａでは、可視域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＜反射光Ｒ）は、近赤外域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＞反射光Ｒ）に対して逆転している。
【0059】
実施例２のビームスプリッタ１は、平均的に、可視域では透過光Ｔ：反射光Ｒ＝１：２程度で入射光Ｉを非偏光で分け、近赤外域では殆ど全てが透過光Ｔとなるように入射光Ｉを非偏光で分ける。
実施例２は、他の実施例に比べ、近赤外域の非偏光性が高く、近赤外域の非偏光性が可視域の非偏光性に比べ重視される場合に好適である。
実施例２は、他の実施例に比べ、近赤外域の非偏光性が高く、近赤外域の非偏光性が可視域の非偏光性に比べ重視される場合に好適である。
【0060】
図１３は、実施例３の第１多層膜６Ｂにおける可視域及び近赤外域並びにそれらの隣接領域（４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下）での各種の透過率［％］及び各種の反射率［％］の分布（シミュレーション値）を示すグラフである。
実施例３の第１多層膜６Ｂにおける各種の透過率と各種の反射率との大小関係は、７３０ｎｍ付近で逆転している。即ち、可視域の下限である４５０ｎｍ以上で約７３０ｎｍ未満の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より小さい。これに対し、約７３０ｎｍ以上で近赤外域の上限である８７５ｎｍ以下の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より大きい。
実施例３の第１多層膜６Ｂにおける各種の透過率と各種の反射率との大小関係は、７３０ｎｍ付近で逆転している。即ち、可視域の下限である４５０ｎｍ以上で約７３０ｎｍ未満の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より小さい。これに対し、約７３０ｎｍ以上で近赤外域の上限である８７５ｎｍ以下の波長域において、各種の透過率は各種の反射率より大きい。
【0061】
実施例３の第１多層膜６Ｂは、可視域内の波長６００ｎｍの光を、約１０％透過し、約８５％反射する。
又、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光透過率Ｔｐ及びＳ偏光透過率Ｔｓの差の絶対値は、波長６００ｎｍにおいて、１２ポイント程度である。更に、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光反射率Ｒｐ及びＳ偏光反射率Ｒｓの差の絶対値は、波長６００ｎｍにおいて、１４ポイント程度である。
よって、実施例３の第１多層膜６Ｂは、波長６００ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝２：１７の比率において、非偏光で分ける。
そして、実施例３の第１多層膜６Ｂの平均透過率Ｔｒは、可視域全体において、１８±９ポイントの数値域内に入っている。又、実施例３の第１多層膜６Ｂの平均反射率Ｒｒは、可視域全体において、７６．３±８．５ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、可視域全体において、３０ポイント以内となっており、特に波長５００ｎｍ以上では１６．２ポイント以内となっている。加えて、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、可視域全体において、３６ポイント以内となっており、特に波長５００ｎｍ以上では２０．１ポイント以内となっている。
又、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光透過率Ｔｐ及びＳ偏光透過率Ｔｓの差の絶対値は、波長６００ｎｍにおいて、１２ポイント程度である。更に、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光反射率Ｒｐ及びＳ偏光反射率Ｒｓの差の絶対値は、波長６００ｎｍにおいて、１４ポイント程度である。
よって、実施例３の第１多層膜６Ｂは、波長６００ｎｍの入射光Ｉを、およそ透過光Ｔ：反射光Ｒ＝２：１７の比率において、非偏光で分ける。
そして、実施例３の第１多層膜６Ｂの平均透過率Ｔｒは、可視域全体において、１８±９ポイントの数値域内に入っている。又、実施例３の第１多層膜６Ｂの平均反射率Ｒｒは、可視域全体において、７６．３±８．５ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、可視域全体において、３０ポイント以内となっており、特に波長５００ｎｍ以上では１６．２ポイント以内となっている。加えて、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、可視域全体において、３６ポイント以内となっており、特に波長５００ｎｍ以上では２０．１ポイント以内となっている。
【0062】
他方、実施例３の第１多層膜６Ｂは、近赤外域内の波長８５０ｎｍの光を、約７４．２％透過し、約２．３％反射する（即ちほぼ反射しない）。
又、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、３．５ポイント程度である。更に、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、２．５ポイント程度である。
よって、実施例３の第１多層膜６Ｂは、波長８５０ｎｍの入射光Ｉのほぼ全てを、非偏光で透過する。
そして、実施例３の第１多層膜６Ｂの平均透過率Ｔｒは、近赤外域全体において、６９．８±１０．５ポイントの数値域内に入っている。又、実施例３の第１多層膜６Ｂの平均反射率Ｒｒは、近赤外域全体において、１６．５±１２．５ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、２１ポイント以内となっている。加えて、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、２４．５ポイント以内となっている。
又、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、３．５ポイント程度である。更に、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、波長８５０ｎｍにおいて、２．５ポイント程度である。
よって、実施例３の第１多層膜６Ｂは、波長８５０ｎｍの入射光Ｉのほぼ全てを、非偏光で透過する。
そして、実施例３の第１多層膜６Ｂの平均透過率Ｔｒは、近赤外域全体において、６９．８±１０．５ポイントの数値域内に入っている。又、実施例３の第１多層膜６Ｂの平均反射率Ｒｒは、近赤外域全体において、１６．５±１２．５ポイントの数値域内に入っている。更に、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光透過率ＴｐとＳ偏光透過率Ｔｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、２１ポイント以内となっている。加えて、実施例３の第１多層膜６ＢにおけるＰ偏光反射率ＲｐとＳ偏光反射率Ｒｓとの差の絶対値は、近赤外域全体において、２４．５ポイント以内となっている。
【0063】
実施例３の第１多層膜６Ｂは、可視域では透過光Ｔの光量より反射光Ｒの光量が大きい状態で入射光Ｉを非偏光で分け、近赤外域では透過光Ｔの光量より反射光Ｒの光量が小さい状態で入射光Ｉを非偏光で分ける。
実施例３の第１多層膜６Ｂでは、可視域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＜反射光Ｒ）は、近赤外域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＞反射光Ｒ）に対して逆転している。
実施例３の第１多層膜６Ｂでは、可視域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＜反射光Ｒ）は、近赤外域での透過光Ｔの光量及び反射光Ｒの光量の大小関係（透過光Ｔ＞反射光Ｒ）に対して逆転している。
【0064】
実施例３のビームスプリッタ１は、平均的に、可視域では透過光Ｔ：反射光Ｒ＝１：５程度で入射光Ｉを非偏光で分け、近赤外域では殆ど全てが透過光Ｔとなるように（透過光Ｔ：反射光Ｒ＝１４：１程度で）入射光Ｉを非偏光で分ける。
実施例３は、他の実施例に比べ、可視域の非偏光性と近赤外域の非偏光性とのバランスに優れ、又可視域における各種の透過率分布及び各種の反射率分布の各平坦性と近赤外域における各種の透過率分布及び各種の反射率分布の各平坦性とのバランスに優れる。
実施例３は、他の実施例に比べ、可視域の非偏光性と近赤外域の非偏光性とのバランスに優れ、又可視域における各種の透過率分布及び各種の反射率分布の各平坦性と近赤外域における各種の透過率分布及び各種の反射率分布の各平坦性とのバランスに優れる。
【0065】
≪まとめ等≫
実施例１～３のビームスプリッタ１は、第１斜面２Ｓを有する第１プリズム２と、第１多層膜６を介して第１斜面２Ｓと合わせられる第２斜面４Ｓを有する第２プリズム４と、を備えており、第１多層膜６は、１つの金属層２２Ｍを有する第１金属膜部２２と、１つの金属層２６Ｍを有する第２金属膜部２６と、第１斜面２Ｓと第１金属膜部２２との間に配置されており、２つの誘電体層を有している第１誘電体膜部２０と、第１金属膜部２２と第２金属膜部２６との間に配置されており、１以上の誘電体層を有している第２誘電体膜部２４と、第２金属膜部２６と第２斜面４Ｓとの間に配置されており、２つの誘電体層を有している第３誘電体膜部２８と、を備えている。
よって、実施例１～３のビームスプリッタ１は、複数の波長域の一部において、透過光Ｔの光量と反射光Ｒの光量との大小関係が、複数の波長域の残部における透過光Ｔの光量と反射光Ｒの光量との大小関係と異なる状態で、入射光Ｉを透過光Ｔと反射光Ｒに分岐可能である。従って、実施例１～３のビームスプリッタの機能は、更に向上する。
実施例１～３のビームスプリッタ１は、第１斜面２Ｓを有する第１プリズム２と、第１多層膜６を介して第１斜面２Ｓと合わせられる第２斜面４Ｓを有する第２プリズム４と、を備えており、第１多層膜６は、１つの金属層２２Ｍを有する第１金属膜部２２と、１つの金属層２６Ｍを有する第２金属膜部２６と、第１斜面２Ｓと第１金属膜部２２との間に配置されており、２つの誘電体層を有している第１誘電体膜部２０と、第１金属膜部２２と第２金属膜部２６との間に配置されており、１以上の誘電体層を有している第２誘電体膜部２４と、第２金属膜部２６と第２斜面４Ｓとの間に配置されており、２つの誘電体層を有している第３誘電体膜部２８と、を備えている。
よって、実施例１～３のビームスプリッタ１は、複数の波長域の一部において、透過光Ｔの光量と反射光Ｒの光量との大小関係が、複数の波長域の残部における透過光Ｔの光量と反射光Ｒの光量との大小関係と異なる状態で、入射光Ｉを透過光Ｔと反射光Ｒに分岐可能である。従って、実施例１～３のビームスプリッタの機能は、更に向上する。
【0066】
更に、実施例２～３において、第２誘電体膜部２４は、誘電体層として、低屈折率層２４Ｌ及び高屈折率層２４Ｈを有している。又、実施例３において、第２誘電体膜部２４は、第１金属膜部２２側から順に、低屈折率層２４Ｌ、高屈折率層２４Ｈ、及び低屈折率層２４Ｌを有している。よって、各波長域における非偏光性の程度、透過光Ｔと反射光Ｒとの比率、透過光Ｔの分布態様、反射光Ｒの分布態様の少なくとも何れか等が更に調整し易くなる。
又更に、実施例３において、第２誘電体膜部２４は、第１金属膜部２２側から順に、Ａｌ２Ｏ３製の低屈折率層２４Ｌ、ＬａＯ３Ｔｉ製の高屈折率層２４Ｈ、及びＳｉＯ２製の低屈折率層２４Ｌを有している。よって、各波長域においてバランスのとれた状態とする等、任意の設計意図が具体的により反映させ易くなる。
又更に、実施例３において、第２誘電体膜部２４は、第１金属膜部２２側から順に、Ａｌ２Ｏ３製の低屈折率層２４Ｌ、ＬａＯ３Ｔｉ製の高屈折率層２４Ｈ、及びＳｉＯ２製の低屈折率層２４Ｌを有している。よって、各波長域においてバランスのとれた状態とする等、任意の設計意図が具体的により反映させ易くなる。
【0067】
加えて、実施例１～３において、第１金属膜部２２及び第２金属膜部２６は、銀製の金属層２２Ｍ，２６Ｍを含む。よって、第１金属膜部２２及び第２金属膜部２６が、より構成し易い。
更に、実施例１において、第２誘電体膜部２４は、誘電体層として、低屈折率層２４Ｌ及び高屈折率層２４Ｈを有しており、第１誘電体膜部２０は、誘電体層として、高屈折率層２４Ｈと同一材料の高屈折率層２０Ｌを有しており、第３誘電体膜部２８は、誘電体層として、高屈折率層２４Ｈと同一材料の高屈折率層２８Ｈを有している。又、実施例２～３において、第２誘電体膜部２４は、誘電体層として、低屈折率層２４Ｌ及び高屈折率層２４Ｈを有しており、第１誘電体膜部２０は、誘電体層として、低屈折率層２４Ｌと同一材料の低屈折率層２０Ｌ、及び高屈折率層２４Ｈと同一材料の高屈折率層２０Ｌを有しており、第３誘電体膜部２８は、誘電体層として、低屈折率層２４Ｌと同一材料の低屈折率層２８Ｌ、及び高屈折率層２４Ｈと同一材料の高屈折率層２８Ｈを有している。よって、第１多層膜６，６Ａ，６Ｂがより形成し易く、ビームスプリッタ１がより形成し易い。
又更に、実施例２，３では、第２誘電体膜部２４の低屈折率層２４Ｌとして、ＳｉＯ２製の層が含まれる。又、実施例２では、第２誘電体膜部２４の高屈折率層２４Ｈとして、Ｔａ２Ｏ５製の層が含まれる。他方、実施例３では、第２誘電体膜部２４の高屈折率層２４Ｈとして、ＬａＯ３Ｔｉ製の層が含まれる。よって、より形成し易いビームスプリッタ１の第１多層膜６Ａ，６Ｂが、より具体的に提示される。
更に、実施例１において、第２誘電体膜部２４は、誘電体層として、低屈折率層２４Ｌ及び高屈折率層２４Ｈを有しており、第１誘電体膜部２０は、誘電体層として、高屈折率層２４Ｈと同一材料の高屈折率層２０Ｌを有しており、第３誘電体膜部２８は、誘電体層として、高屈折率層２４Ｈと同一材料の高屈折率層２８Ｈを有している。又、実施例２～３において、第２誘電体膜部２４は、誘電体層として、低屈折率層２４Ｌ及び高屈折率層２４Ｈを有しており、第１誘電体膜部２０は、誘電体層として、低屈折率層２４Ｌと同一材料の低屈折率層２０Ｌ、及び高屈折率層２４Ｈと同一材料の高屈折率層２０Ｌを有しており、第３誘電体膜部２８は、誘電体層として、低屈折率層２４Ｌと同一材料の低屈折率層２８Ｌ、及び高屈折率層２４Ｈと同一材料の高屈折率層２８Ｈを有している。よって、第１多層膜６，６Ａ，６Ｂがより形成し易く、ビームスプリッタ１がより形成し易い。
又更に、実施例２，３では、第２誘電体膜部２４の低屈折率層２４Ｌとして、ＳｉＯ２製の層が含まれる。又、実施例２では、第２誘電体膜部２４の高屈折率層２４Ｈとして、Ｔａ２Ｏ５製の層が含まれる。他方、実施例３では、第２誘電体膜部２４の高屈折率層２４Ｈとして、ＬａＯ３Ｔｉ製の層が含まれる。よって、より形成し易いビームスプリッタ１の第１多層膜６Ａ，６Ｂが、より具体的に提示される。
【0068】
又、実施例１～３において、第１プリズム２は、入射光Ｉが入射する第１－１面ＩＳと、反射光Ｒが出射する第１－２面ＲＳと、を有しており、第２プリズム４は、透過光Ｔが出射する第２－１面ＴＳを有しており、更に、ビームスプリッタ１には、第１－１面ＩＳに形成されており複数の波長域において入射光Ｉの反射を抑制する第２多層膜１０、第２－１面ＴＳに形成されており複数の波長域において透過光Ｔの反射を抑制する第３多層膜１２、及び第１－２面ＲＳに形成されており複数の波長域において反射光Ｒの反射を抑制する第４多層膜１４が設けられている。
よって、入射光Ｉの入射、並びに透過光Ｔの出射及び反射光Ｒの出射に係る性能が、より一層良好となる。
よって、入射光Ｉの入射、並びに透過光Ｔの出射及び反射光Ｒの出射に係る性能が、より一層良好となる。
【0069】
そして、実施例１～３のビームスプリッタ１は、入射光Ｉを透過光Ｔと反射光Ｒとに分けるものであって、第１波長域における透過光Ｔの光量と反射光Ｒの光量との大小関係に対し、第２波長域における透過光Ｔの光量と反射光Ｒの光量との大小関係が逆転したものである。又、実施例１～３のビームスプリッタ１において、第１波長域は、可視域であり、第２波長域は、近赤外域である。
よって、第１波長域（可視域）と第２波長域（近赤外域）とで透過光Ｔの光量と反射光Ｒの光量との大小関係が互いに異なる特性を有する、機能の向上したビームスプリッタ１が提供される。
よって、第１波長域（可視域）と第２波長域（近赤外域）とで透過光Ｔの光量と反射光Ｒの光量との大小関係が互いに異なる特性を有する、機能の向上したビームスプリッタ１が提供される。
【符号の説明】
【0070】
１・・ビームスプリッタ、２・・第１プリズム、２Ｓ・・第１斜面、４・・第２プリズム、４Ｓ・・第２斜面、６，６Ａ，６Ｂ・・第１多層膜、１０・・第２多層膜、１２・・第３多層膜、１４・・第４多層膜、２０・・第１誘電体膜部、２０Ｈ・・高屈折率層（第１誘電体膜部）、２０Ｌ・・低屈折率層（第１誘電体膜部）、２２・・第１金属膜部、２２Ｍ，２６Ｍ・・金属層、２４・・第２誘電体膜部、２４Ｈ・・高屈折率層（第２誘電体膜部）、２４Ｌ・・低屈折率層（第２誘電体膜部）、２６・・第２金属膜部、２８・・第３誘電体膜部、２８Ｈ・・高屈折率層（第３誘電体膜部）、２８Ｌ・・低屈折率層（第３誘電体膜部）、Ｉ・・入射光、ＩＳ・・第１－１面（入射光面）、Ｒ・・反射光、ＲＳ・・第１－２面（反射光面）、Ｔ・・透過光、ＴＳ・・第２－１面（透過光面）。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】