特開 2023-93095 案内装置、ワーク搬送ステージ及びインクジェット印刷装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023093095

(43)【公開日】2023-07-04

(54)【発明の名称】案内装置、ワーク搬送ステージ及びインクジェット印刷装置

(51)【国際特許分類】

   F16C 32/06 20060101AFI20230627BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20230627BHJP

【ＦＩ】

F16C32/06 A

B41J2/01 305

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021208505

(22)【出願日】2021-12-22

(71)【出願人】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002952

【氏名又は名称】弁理士法人鷲田国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】井上 隆史

【テーマコード（参考）】

2C056

3J102

【Ｆターム（参考）】

2C056EB12

2C056EB36

2C056EC08

2C056EC12

2C056EC30

2C056EC35

2C056EC37

2C056FA13

2C056HA29

3J102AA02

3J102BA07

3J102CA11

3J102CA19

3J102EA02

3J102EA07

3J102FA03

3J102FA05

3J102GA20

(57)【要約】

【課題】可動部の走行精度を高めることができ、かつ、装置全体の軽量化を図ることができる案内装置を提供すること。
【解決手段】案内装置は、基台と、基台上に配置された第１，第２ガイド部材と、第１，第２ガイド部材に沿って移動する可動部と、可動部を移動可能に支持する空気軸受部とを備え、可動部は、可動体と、可動体から下方に延伸し第１ガイド部材を当該第１ガイド部材の幅方向で挟む第１，第２軸受支持部材とを備え、空気軸受部は、可動部を第１ガイド部材に対して幅方向で支持し第１，第２軸受支持部材に配置された第１，第２幅方向空気軸受部と、可動部を第１ガイド部材に対して上下方向で支持し可動体に配置された第１浮上空気軸受部とを含み、可動体は、第１，第２軸受支持部材及び第１浮上空気軸受部の配置位置を含む肉厚部の厚さが、他の部位よりも厚くなるように形成されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基台と、
前記基台上において案内方向に延びる第１ガイド部材及び第２ガイド部材と、
前記第１ガイド部材及び前記第２ガイド部材に沿って移動する可動部と、
前記可動部を移動可能に支持する空気軸受部と、を備え、
前記可動部は、
前記第１ガイド部材及び第２ガイド部材上に位置する板状の可動体と、
前記可動体から下方に延伸し、前記第１ガイド部材を幅方向で挟む第１軸受支持部材及び第２軸受支持部材と、を備え、
前記空気軸受部は、
前記可動部を前記第１ガイド部材に対して前記幅方向で支持し、前記第１軸受支持部材及び前記第２軸受支持部材にそれぞれ配置された第１幅方向空気軸受部及び第２幅方向空気軸受部と、
前記可動部を前記第１ガイド部材に対して上下方向で支持し、前記可動体に配置された第１浮上空気軸受部と、を含み、
前記可動体は、前記第１軸受支持部材、前記第２軸受支持部材及び前記第１浮上空気軸受部の配置位置を含む肉厚部の厚さが、他の部位の厚さよりも厚くなるように形成されている、
案内装置。

【請求項2】

前記可動部は、
前記可動体から下方に延伸し、前記第２ガイド部材に対して前記第１ガイド部材の反対側に位置するように配置された第３軸受支持部材を備え、
前記第１軸受支持部材は、前記第１ガイド部材に対して前記第２ガイド部材の反対側に位置するように配置され、
前記第１ガイド部材及び前記第２ガイド部材は、前記幅方向の外側に向かって互いに離れるように延伸する第１突出部及び第２突出部をそれぞれ含み、
前記空気軸受部は、
前記可動部を前記第２ガイド部材に対して上下方向で支持し、前記可動体に配置された第２浮上空気軸受部と、
前記可動部を前記第１突出部に対して上下方向で支持し、前記可動体及び前記第１軸受支持部材にそれぞれ１つずつ配置された一対の第１上下方向空気軸受部と、
前記可動部を前記第２突出部に対して上下方向で支持し、前記可動体及び前記第３軸受支持部材にそれぞれ１つずつ配置された一対の第２上下方向空気軸受部と、を備え、
前記肉厚部は、
前記第１軸受支持部材、前記第２軸受支持部材、前記第１浮上空気軸受部及び一方の前記第１上下方向空気軸受部の配置位置を含む第１肉厚部と、
前記第３軸受支持部材、前記第２浮上空気軸受部及び一方の前記第２上下方向空気軸受部の配置位置を含む第２肉厚部と、を含む、
請求項１に記載の案内装置。

【請求項3】

前記可動体における前記他の部位には、前記可動体を貫通する可動体抜き穴が形成されている、
請求項１又は２に記載の案内装置。

【請求項4】

前記基台における前記第１ガイド部材及び前記第２ガイド部材が配置されていない部位には、前記基台を貫通する基台抜き穴が形成されている、
請求項１から３のいずれか一項に記載の案内装置。

【請求項5】

請求項１から３のいずれか一項に記載の案内装置と、
前記可動体の前記肉厚部上に配置された微動機構と、
前記微動機構上に配置されたワーク保持テーブルと、を備える、
ワーク搬送ステージ。

【請求項6】

請求項４に記載の案内装置と、
前記可動体の前記肉厚部上に配置された微動機構と、
前記微動機構上に配置されたワーク保持テーブルと、を備える、
ワーク搬送ステージ。

【請求項7】

請求項５に記載のワーク搬送ステージと、
前記基台上に配置されたガントリーと、
前記ガントリーに配置され、前記ワーク保持テーブルに保持された印刷対象物にインクを吐出するインクジェットヘッドと、備える、
インクジェット印刷装置。

【請求項8】

請求項６に記載のワーク搬送ステージと、
前記基台上に配置されたガントリーと、
前記ガントリーに配置され、前記ワーク保持テーブルに保持された印刷対象物にインクを吐出するインクジェットヘッドと、備えるインクジェット印刷装置であって、
前記インクジェット印刷装置全体を囲むブースと、
温度調節された気体を前記ブースで囲まれた領域内の上方から下方へ流す空調機と、
前記空調機により流された気体を前記基台抜き穴を介して回収する回収部と、を更に備える、
インクジェット印刷装置。

【請求項9】

互いに独立的に前記気体の温度を設定可能な複数の前記空調機が、前記案内方向に並ぶように配置されている、
請求項８に記載のインクジェット印刷装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、案内装置、ワーク搬送ステージ及びインクジェット印刷装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、インクジェット印刷装置を用いてデバイスを製造する方法が注目されている。インクジェット印刷装置は、液滴吐出を行う複数のノズルを有し、ノズルと印刷対象物との位置関係を制御しながらノズルから液滴を吐出することで、印刷対象物に液滴を塗布する。

【0003】

この種のインクジェット印刷装置の１つとして、複数のラインヘッドを備える印刷装置が知られている。各ラインヘッドは、印刷対象物の幅方向に並設された複数のインクジェットヘッドを備える。各インクジェットヘッドは、複数の吐出口を有する液滴吐出ヘッドである。このような複数のラインヘッドを、主走査方向と同一水平面内で直交する方向である副走査方向に並べて配置することで、幅の大きい印刷対象物に対して、１度の搬送工程で、インクを一括で塗布することができる。更に、副走査方向に複数のインクジェットヘッドが並設された複数のラインヘッドを、主走査方向にも並べて配置することで、例えば色が異なるなどの複数種のインクを、１度の搬送工程の間に一括で印刷対象物に塗布することができる。このような構成によれば、例えば、Ｇ４サイズ（６８０ｍｍ×８８０ｍｍ）以上の大型の印刷対象物に対しても、１度の搬送工程で複数種のインクを一括で塗布できるので、印刷対象物にインクを塗布するタクトの低減が可能になる。更に、インク塗布後の乾燥条件等を均一にしやすいために、例えばインク膜厚を均一に制御できるなどの印刷プロセス上の利点がある。

【0004】

しかしながら、近年、生産性の向上のため、印刷対象物の更なる大型化が求められている。一方、ディスプレイパネルの高精細化の要求も強くなっており、その結果、求められる印刷位置の精度は益々高まっている。そのため、大型でありながら、走行精度が高いワーク搬送ステージが必要となっている。その要求に応える１つの構成として、空気軸受を有する案内装置を使用したワーク搬送ステージがある。図１７に示されるように、案内装置９００は、基台９０１と、ガイド部材９０２と、可動部９０３とを備える。基台９０１の左右方向（図１７における左右方向）両側には、それぞれ可動部９０３の案内方向（図１７における前後方向）に延びるガイド部材９０２が固定されている。可動部９０３を構成する可動体９０４の左右方向両側には、それぞれ軸受け支持部材９０５が固定されている。各軸受け支持部材９０５は、各ガイド部材９０２の外側（右側のガイド部材９０２の右側、左側のガイド部材９０２の左側）に位置する水平方向静圧空気軸受９０６と、各ガイド部材９０２の下側に位置する下側静圧空気軸受９０７とを支持するように構成されている。可動部９０３における各下側静圧空気軸受９０７に対応する位置には、それぞれ上側静圧空気軸受９０８が配置されている。

【0005】

しかしながら、図１７に示されるような案内装置９００において、可動部９０３の走行再現性を高めるためには、各静圧空気軸受９０６，９０７，９０８の軸受け剛性を高める必要がある。このような軸受け剛性を高めるには、静圧空気軸受の軸受隙間（各静圧空気軸受９０６，９０７，９０８と、ガイド部材９０２における各静圧空気軸受９０６，９０７，９０８と対向する部位との隙間）を数μｍ～十数μｍ程度に保つ必要がある。一方、可動部９０３が大きくなり２本のガイド部材９０２の距離が遠くなると、ガイド部材９０２の熱膨張などの影響により、各ガイド部材９０２の側面に対向して配置された水平方向静圧空気軸受９０６の軸受隙間を、精密に保つことが困難となるおそれがある。例えば、軸受隙間が無くなってしまい、水平方向静圧空気軸受９０６が破損するおそれがある。そこで、このような問題を解決する方法が検討されている（例えば、特許文献１）。

【0006】

特許文献１に記載の案内装置において、基台上の基準面には、可動部の案内方向に延びる１本のガイド部材が固定されている。可動部の可動体の下側には、ガイド部材の両側面にそれぞれ対向する２つの対向部が固定されている。２つの対向部におけるガイド部材の各側面に対向する位置には、水平方向静圧空気軸受が配置されている。更に、可動体の下側には、２つの対向部と並ぶように、第２対向部が固定されている。２つの対向部のうち外側の対向部（第２対向部から遠い側の対向部）の下面と、第２対向部の下面とには、それぞれ上下方向静圧空気軸受が配置されている。更に、外側の対向部の外側（もう１つの対向部（内側の対向部）が存在しない側）と、第２対向部の外側（内側の対向部が存在しない側）とには、それぞれ非接触状態で可動体を基台に向けて吸引する吸引力発生手段が配置されている。このような構成により、ガイド部材の両側面にそれぞれ対向する水平方向静圧空気軸受の距離を小さく保つことができるので、ガイド部材の熱膨張の影響を受けにくくなり、ワーク搬送ステージが大型化しても軸受隙間を精密に保つことができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特許第４２７０１９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

しかしながら、特許文献１に記載のような構成によれば、基台の基準面におけるガイド部材を取り付ける部位以外に、上下方向静圧空気軸受と対向する部位についても、当該部位上を上下方向静圧空気軸受が通過するために高精度な平面が必要であり、基台に軽量化用の抜き穴を形成することができない。更に、基台の両側に吸引力発生手段を設置するスペースが必要になるため、平面視における基台の面積が大きくなる。

【0009】

また、可動体が薄いと、可動体に垂線周りのモーメントが加わった時に、可動体における対向部が固定された部位が変形し、可動部の走行精度が低くなるおそれがある。このような問題を解決するために、可動体を厚くして、当該可動体のモーメント剛性を高くすることが考えられるが、可動部が重くなり、その重量を支えるために基台も厚くする必要がある。

【0010】

特許文献１に記載のような構成では、上述されたように、基台に抜き穴を形成しにくいことと、基台の面積が大きくなることと合わせて、案内装置全体が重くなることに伴い設置場所の耐荷重を高くする必要があり、建屋のコストアップに繋がるという問題があった。

【0011】

本開示は、可動部の走行精度を高めることができ、かつ、装置全体の軽量化を図ることができる案内装置、ワーク搬送ステージ及びインクジェット印刷装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本開示の案内装置は、基台と、前記基台上において案内方向に延びる第１ガイド部材及び第２ガイド部材と、前記第１ガイド部材及び前記第２ガイド部材に沿って移動する可動部と、前記可動部を移動可能に支持する空気軸受部と、を備え、前記可動部は、前記第１ガイド部材及び第２ガイド部材上に位置する板状の可動体と、前記可動体から下方に延伸し、前記第１ガイド部材を幅方向で挟む第１軸受支持部材及び第２軸受支持部材と、を備え、前記空気軸受部は、前記可動部を前記第１ガイド部材に対して前記幅方向で支持し、前記第１軸受支持部材及び前記第２軸受支持部材にそれぞれ配置された第１幅方向空気軸受部及び第２幅方向空気軸受部と、前記可動部を前記第１ガイド部材に対して上下方向で支持し、前記可動体に配置された第１浮上空気軸受部と、を含み、前記可動体は、前記第１軸受支持部材、前記第２軸受支持部材及び前記第１浮上空気軸受部の配置位置を含む肉厚部の厚さが、他の部位の厚さよりも厚くなるように形成されている。

【0013】

本開示のワーク搬送ステージは、上述された案内装置と、前記可動体の前記肉厚部上に配置された微動機構と、前記微動機構上に配置されたワーク保持テーブルと、を備える。

【0014】

本開示のインクジェット印刷装置は、上述されたワーク搬送ステージと、前記基台上に配置されたガントリーと、前記ガントリーに配置され、前記ワーク保持テーブルに保持された印刷対象物にインクを吐出するインクジェットヘッドと、備える。

【発明の効果】

【0015】

本開示の案内装置、ワーク搬送ステージ及びインクジェット印刷装置によれば、可動部の走行精度を高めることができ、かつ、装置全体の軽量化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】第１実施形態に係る案内装置の正面図

【図2】図１のＡ－Ａ線に沿う断面図

【図3】第１実施形態に係る案内装置を構成する可動部の側面図

【図4】第１実施形態に係る可動部を斜め下から見たときの斜視図

【図5】第１実施形態に係る案内装置の側面図

【図6】第１実施形態に係る案内装置の平面図

【図7】第１実施形態に係る可動部を構成する可動体を斜め下から見たときの斜視図

【図8】比較例の可動部における可動体の厚さが均一で薄い場合の変形状態を説明する図

【図9】第２実施形態に係るインクジェット印刷装置の側面図

【図10】第２実施形態に係るインクジェット印刷装置の正面図

【図11】第２実施形態に係るインクジェット印刷装置の平面図

【図12】図９のＢ－Ｂ線に沿う断面図

【図13】第２実施形態に係るディスプレイパネルの平面図

【図14】第２実施形態に係るインクジェット印刷装置とインクジェット印刷装置を温度制御するための温調ブースを示す平面図

【図15】第２実施形態に係るインクジェット印刷装置とインクジェット印刷装置を温度制御するための温調ブースを示す側面図

【図16】変形例に係る案内装置の正面図

【図17】従来の案内装置の説明図

【発明を実施するための形態】

【0017】

［実施形態］
以下、本開示の実施形態ついて、図を参照しながら説明する。

【0018】

＜第１実施形態＞
まず、第１実施形態について説明する。図１は、案内装置の正面図である。図２は、図１のＡ－Ａ線に沿う断面図である。図３は、案内装置を構成する可動部の側面図である。図４は、可動部を斜め下から見たときの斜視図である。図５は、案内装置の側面図である。図６は、案内装置の平面図である。図７は、可動部を構成する可動体を斜め下から見たときの斜視図である。図８は、比較例の可動部における可動体の厚さが均一で薄い場合の変形状態を説明する図である。

【0019】

図１に示されるように、案内装置１００は、基台３と、左ガイド部材６Ｌ及び右ガイド部材６Ｒと、可動部２０と、空気軸受部２４と、を備える。左ガイド部材６Ｌ及び右ガイド部材６Ｒは、それぞれ本開示の第１ガイド部材及び第２ガイド部材の一例である。左ガイド部材６Ｌ及び右ガイド部材６Ｒは、基台３上に案内方向に延びるように配置されている。可動部２０は、左ガイド部材６Ｌ及び右ガイド部材６Ｒに沿って移動する。空気軸受部２４は、可動部２０を移動可能に支持する。なお、上述された案内方向は、可動部２０が移動する方向であって、図１～図８に示されるＸ軸の正負方向である。以下に説明される幅方向は、案内方向に対して直交し、かつ、水平面に平行な方向であって、図１～図８に示されるＹ軸の正負方向である。上方向は、鉛直上方向であって、図１～図８に示されるＺ軸の正方向である。下方向は、上方向の反対方向であって、Ｚ軸の負方向である。左方向は、案内方向の一方向側（Ｘ軸の負方向側）から案内装置１００を見たときの左方向であり、Ｙ軸の正方向である。右方向は、左方向の反対方向であって、Ｙ軸の負方向である。以下、案内装置１００の各構成の詳細について説明する。

【0020】

基台３は、長辺に沿う方向が案内方向と平行な長方形板状（図５参照）に形成されている。基台３の上面には、左ガイド部材６Ｌ及び右ガイド部材６Ｒが固定されている。左ガイド部材６Ｌは、基台３上面の左端部に固定され、右ガイド部材６Ｒは、基台３上面の右端部に固定されている。左ガイド部材６Ｌ及び右ガイド部材６Ｒは、幅方向の外側に向かって互いに離れるように延伸する左ガイド突出部６ＬＰ及び右ガイド突出部６ＲＰをそれぞれ含む。左ガイド突出部６ＬＰ及び右ガイド突出部６ＲＰは、それぞれ本開示の第１突出部及び第２突出部の一例である。左ガイド突出部６ＬＰは、左ガイド部材６Ｌの左側面の上部に形成されている。右ガイド突出部６ＲＰは、右ガイド部材６Ｒの右側面の上部に形成されている。

【0021】

図１～図４に示されるように、可動部２０は、四角板状の可動体２１を備える。可動体２１の下面（下側の主面）には、それぞれ２つずつの左空気軸受支持部材２２Ｌと、内側空気軸受支持部材２３と、右空気軸受支持部材２２Ｒとが固定されている。左空気軸受支持部材２２Ｌ、内側空気軸受支持部材２３及び右空気軸受支持部材２２Ｒは、それぞれ本開示の第１軸受支持部材、第２軸受支持部材及び第３軸受支持部材の一例である。左空気軸受支持部材２２Ｌ、内側空気軸受支持部材２３及び右空気軸受支持部材２２Ｒは、それぞれ１つずつの左空気軸受支持部材２２Ｌ、内側空気軸受支持部材２３及び右空気軸受支持部材２２Ｒを１つの組とした場合、２つの組が案内方向に並ぶように固定されている。当該２つの組は、それぞれ可動体２１における案内方向の両端部に１組ずつ位置するように固定されている。左空気軸受支持部材２２Ｌは、左ガイド部材６Ｌの左側に位置している。左空気軸受支持部材２２Ｌは、可動体２１の左端部から下方に延伸する左垂直部２２１Ｌと、左垂直部２２１Ｌの下端から右方に延伸する左水平部２２２Ｌとを備える。内側空気軸受支持部材２３は、左ガイド部材６Ｌの右側に位置している。内側空気軸受支持部材２３は、下方に延伸するように形成されている。右空気軸受支持部材２２Ｒは、右ガイド部材６Ｒの右側に位置している。右空気軸受支持部材２２Ｒは、可動体２１の右端部から下方に延伸する右垂直部２２１Ｒと、右垂直部２２１Ｒの下端から左方に延伸する右水平部２２２Ｒとを備える。

【0022】

空気軸受部２４は、可動部２０を移動可能に支持する。空気軸受部２４は、それぞれ２つずつの左幅方向空気軸受部２５Ｌと、右幅方向空気軸受部２５Ｒと、左浮上空気軸受部２６Ｌと、右浮上空気軸受部２６Ｒと、を備える。空気軸受部２４は、それぞれ２組ずつの一対の左上下方向空気軸受部２７Ｌと、一対の右上下方向空気軸受部２７Ｒと、を更に備える。左幅方向空気軸受部２５Ｌ、右幅方向空気軸受部２５Ｒ、左浮上空気軸受部２６Ｌ、右浮上空気軸受部２６Ｒ、左上下方向空気軸受部２７Ｌ及び右上下方向空気軸受部２７Ｒは、それぞれ静圧空気軸受により構成されている。左幅方向空気軸受部２５Ｌ及び右幅方向空気軸受部２５Ｒは、それぞれ本開示の第１幅方向空気軸受部及び第２幅方向空気軸受部の一例である。左浮上空気軸受部２６Ｌ及び右浮上空気軸受部２６Ｒは、それぞれ本開示の第１浮上空気軸受部及び第２浮上空気軸受部の一例である。左上下方向空気軸受部２７Ｌ及び右上下方向空気軸受部２７Ｒは、それぞれ本開示の第１上下方向空気軸受部及び第２上下方向空気軸受部の一例である。左幅方向空気軸受部２５Ｌ、右幅方向空気軸受部２５Ｒ、左浮上空気軸受部２６Ｌ、右浮上空気軸受部２６Ｒ、左上下方向空気軸受部２７Ｌ及び右上下方向空気軸受部２７Ｒは、それぞれ１つずつの左幅方向空気軸受部２５Ｌ、右幅方向空気軸受部２５Ｒ、左浮上空気軸受部２６Ｌ及び右浮上空気軸受部２６Ｒと、それぞれ一対ずつの左上下方向空気軸受部２７Ｌ及び右上下方向空気軸受部２７Ｒとを１つの組とした場合、２つの組が案内方向に並ぶように配置されている。

【0023】

左幅方向空気軸受部２５Ｌ及び右幅方向空気軸受部２５Ｒは、それぞれ左空気軸受支持部材２２Ｌ及び内側空気軸受支持部材２３における、左ガイド部材６Ｌの両側面にそれぞれ対向する部位に配置されている。具体的に、左幅方向空気軸受部２５Ｌは、左ガイド突出部６ＬＰの左側面に対向するように、左空気軸受支持部材２２Ｌの左垂直部２２１Ｌに配置されている。右幅方向空気軸受部２５Ｒは、左ガイド部材６Ｌの右側面に対向するように、内側空気軸受支持部材２３に配置されている。左幅方向空気軸受部２５Ｌ及び右幅方向空気軸受部２５Ｒは、左ガイド部材６Ｌの左右両側面との隙間（軸受隙間）が数μｍ～十数μｍとなるように配置されている。左幅方向空気軸受部２５Ｌ及び右幅方向空気軸受部２５Ｒは、可動部２０の重量を受けておらず、可動部２０を左ガイド部材６Ｌに対して非接触で幅方向に支持する。左幅方向空気軸受部２５Ｌ及び右幅方向空気軸受部２５Ｒは、左ガイド部材６Ｌに対する可動部２０の幅方向の位置を合わせる。

【0024】

左浮上空気軸受部２６Ｌ及び右浮上空気軸受部２６Ｒは、可動体２１の下面に配置されている。左浮上空気軸受部２６Ｌ及び右浮上空気軸受部２６Ｒは、左ガイド部材６Ｌ及び右ガイド部材６Ｒのそれぞれの上面に対向する部位に配置されている。左浮上空気軸受部２６Ｌ及び右浮上空気軸受部２６Ｒは、左ガイド部材６Ｌ及び右ガイド部材６Ｒのそれぞれの上面との隙間（軸受隙間）が数μｍ～十数μｍとなるように配置され、可動体２１を左ガイド部材６Ｌ及び右ガイド部材６Ｒのそれぞれに対して上下方向で支持する。左浮上空気軸受部２６Ｌ及び右浮上空気軸受部２６Ｒは、可動体２１の重量を受けている。なお、以下の説明において、それぞれ２つずつの左浮上空気軸受部２６Ｌ及び右浮上空気軸受部２６Ｒを、まとめて浮上空気軸受部２６と言う場合がある。

【0025】

一対の左上下方向空気軸受部２７Ｌのうち一方の左上下方向空気軸受部２７Ｌは、可動体２１の下面に配置され、他方の左上下方向空気軸受部２７Ｌは、左空気軸受支持部材２２Ｌの左水平部２２２Ｌの上面に配置されている。一対の左上下方向空気軸受部２７Ｌは、それぞれ左ガイド突出部６ＬＰの上面及び下面との隙間（軸受隙間）が数μｍ～十数μｍとなるように配置されている。一対の左上下方向空気軸受部２７Ｌは、可動部２０の重量を受けておらず、可動部２０を左ガイド突出部６ＬＰに対して非接触で上下方向に支持する。一対の左上下方向空気軸受部２７Ｌは、左ガイド突出部６ＬＰに対する可動部２０の上下方向の位置を合わせる。なお、以下の説明において、左ガイド突出部６ＬＰの上側に位置する左上下方向空気軸受部２７Ｌを上側の左上下方向空気軸受部２７Ｌａと言い、左ガイド突出部６ＬＰの下側に位置する左上下方向空気軸受部２７Ｌを下側の左上下方向空気軸受部２７Ｌｂと言う場合がある。

【0026】

一対の右上下方向空気軸受部２７Ｒのうち一方の右上下方向空気軸受部２７Ｒは、可動体２１の下面に配置され、他方の右上下方向空気軸受部２７Ｒは、右空気軸受支持部材２２Ｒの右水平部２２２Ｒの上面に配置されている。一対の右上下方向空気軸受部２７Ｒは、それぞれ右ガイド突出部６ＲＰの上面及び下面との隙間（軸受隙間）が数μｍ～十数μｍとなるように配置されている。一対の右上下方向空気軸受部２７Ｒは、可動部２０の重量を受けておらず、可動部２０を右ガイド突出部６ＲＰに対して非接触で上下方向に支持する。一対の右上下方向空気軸受部２７Ｒは、右ガイド突出部６ＲＰに対する可動部２０の上下方向の位置を合わせる。なお、以下の説明において、右ガイド突出部６ＲＰの上側に位置する右上下方向空気軸受部２７Ｒを上側の右上下方向空気軸受部２７Ｒａと言い、右ガイド突出部６ＲＰの下側に位置する右上下方向空気軸受部２７Ｒを下側の右上下方向空気軸受部２７Ｒｂと言う場合がある。

【0027】

なお、可動体２１の材料として、加工時の精度の出しやすさと軽量化のために花崗岩（グラナイト）が使用され、上述された静圧空気軸受として、ステンレス製の多孔質タイプの静圧空気軸受が使用されることが好ましい。

【0028】

図２～図４に示されるように、可動体２１の下面における四角板状の四隅に、空気軸受部２４を構成する静圧空気軸受が配置されている。案内方向に並ぶ左浮上空気軸受部２６Ｌ、右浮上空気軸受部２６Ｒ、左上下方向空気軸受部２７Ｌ及び右上下方向空気軸受部２７Ｒは、可動部２０の案内方向のピッチング剛性を高くする機能を有する。案内方向に並ぶ左幅方向空気軸受部２５Ｌ及び右幅方向空気軸受部２５Ｒは、可動部２０の案内方向のヨーイング剛性を高くする機能を有する。

【0029】

可動体２１は、各静圧空気軸受が配置された四隅に対応する部位の板厚が、四隅以外の略十字状の部位の板厚よりも厚くなるように形成されている。可動体２１は、静圧空気軸受が配置された肉厚部２１Ａと、肉厚部２１Ａよりも薄い肉薄部２１Ｂとを備えると言うこともできる。以下の説明において、四隅の肉厚部２１Ａのうち、左側に位置する２つの肉厚部２１Ａを左肉厚部２１Ａａと言い、右側に位置する２つの肉厚部２１Ａを右肉厚部２１Ａｂと言う場合がある。左肉厚部２１Ａａ及び右肉厚部２１Ａｂは、それぞれ本開示の第１肉厚部及び第２肉厚部の一例である。２つの左肉厚部２１Ａａには、それぞれ１つずつの左空気軸受支持部材２２Ｌ、内側空気軸受支持部材２３、左浮上空気軸受部２６Ｌ及び上側の左上下方向空気軸受部２７Ｌａが配置されている。２つの右肉厚部２１Ａｂには、それぞれ１つずつの右空気軸受支持部材２２Ｒ、右浮上空気軸受部２６Ｒ及び上側の右上下方向空気軸受部２７Ｒａが配置されている。このように、可動体２１に肉厚部２１Ａよりも薄い肉薄部２１Ｂを設けることにより、可動体２１の軽量化を図ることができる。

【0030】

可動体２１における四角板状の四辺にそれぞれ対応する部位には、可動体２１のＸＹ平面上で中心に向かって凹む凹部２１Ｃが形成されている。凹部２１Ｃは、各辺に対応する部位の中央に形成されている。このように、可動体２１に凹部２１Ｃを形成することにより、可動体２１の更なる軽量化を図ることができる。つまり、可動体２１において、肉厚部が配置されているＸ軸及びＹ軸上の長さは、肉薄部のみが配置されているＸ軸及びＹ軸上の長さより、長い。

【0031】

肉薄部２１Ｂにおける２つの左肉厚部２１Ａａの間の部位及び２つの右肉厚部２１Ａｂの間の部位には、それぞれ可動体２１を貫通する可動体抜き穴２１Ｄが形成されている。このように、可動体２１に可動体抜き穴２１Ｄを形成することにより、可動体２１の更なる軽量化を図ることができる。なお、可動体抜き穴２１Ｄの形状及び個数は、図２に示す形状及び個数に限らず、任意に設計すればよい。

【0032】

次に、案内装置１００全体の構成を説明する。図５及び図６に示されるように、ガイド部材６は、その全長に亘って基台３に支持されている。本開示の案内装置１００において、全ての静圧空気軸受の案内面として、ガイド部材６の表面を使用し、基台３の表面を使用しない。したがって、基台３において平面性を必要とする部位は、ガイド部材６を支持する部位のみとなる。そのため、基台３のガイド部材６を支持する部位以外の部位に、案内装置１００の軽量化のための基台抜き穴３Ａを形成することができる。なお、基台抜き穴３Ａの形状及び個数は、図６に示す形状及び個数に限らず、任意に設計すればよい。

【0033】

以上の構成により、可動部２０をガイド部材６に対して空気軸受部２４で支持することによって、可動部２０を非接触で摺動することができる。なお、ガイド部材６、基台３の材料として、加工精度の出しやすさと軽量化のために花崗岩が使用されることが好ましい。

【0034】

次に、可動体２１の構成の一例について説明する。図７に示されるように、可動体２１は、静圧空気軸受が配置された肉厚部２１Ａと、静圧空気軸受が配置されていない薄い肉薄部２１Ｂとを備える。可動体２１は、４つの凹部２１Ｃを更に備える。可動体２１の主面の最大サイズを２２００ｍｍ（左右方向）×２１４０ｍｍ（案内方向）、肉厚部２１Ａの板厚を１８５ｍｍ、肉薄部２１Ｂの板厚を１５０ｍｍとした。左右方向に並ぶ２つの凹部２１Ｃの底部間の長さを２０００ｍｍ、案内方向に並ぶ２つの凹部２１Ｃの底部間の長さを１９４０ｍｍにすることにより、可動体２１の軽量化が図られている。更に、φ３１０ｍｍの可動体抜き穴２１Ｄが２ヵ所に形成されることにより、可動体２１の更なる軽量化が図られている。これらの軽量化対策により、主面のサイズが２２００ｍｍ×２１４０ｍｍであって、全面均一な板厚１５０ｍｍの可動体よりも、可動体２１の軽量化が図られている。

【0035】

次に、可動体２１における静圧空気軸受が配置される部位のみに、肉厚部２１Ａを設ける理由について説明する。図８には、比較例の可動部９０が示されている。比較例の可動部９０は、可動体９１の形状のみが第１実施形態の可動部２０と異なる。具体的に、可動体９１は、全体が均一な板厚の四角板状に形成されている。可動体９１の主面のサイズは、第１実施形態の可動体２１と同じ２２００ｍｍ×２１４０ｍｍである。可動体９１の板厚は、第１実施形態の可動体２１の肉薄部２１Ｂと同じ１５０ｍｍである。つまり、可動体９１は、肉厚部２１Ａ、凹部２１Ｃ及び可動体抜き穴２１Ｄが形成されていない点で、第１実施形態の可動体２１の形状と異なる。

【0036】

一方、可動体９１に配置される構成要素は、第１実施形態の可動体２１と同じである。可動体９１の下面には、左空気軸受支持部材２２Ｌと、内側空気軸受支持部材２３と、右空気軸受支持部材２２Ｒとが固定されている。可動体９１の下面、左空気軸受支持部材２２Ｌ、内側空気軸受支持部材２３及び右空気軸受支持部材２２Ｒには、上述された左幅方向空気軸受部２５Ｌと、右幅方向空気軸受部２５Ｒと、左浮上空気軸受部２６Ｌと、右浮上空気軸受部２６Ｒと、左上下方向空気軸受部２７Ｌと、右上下方向空気軸受部２７Ｒとが、第１実施形態と同じ位置に配置されている。

【0037】

以上の構成を有する第１実施形態及び比較例の可動部９０において、各静圧空気軸受における対向する平面との隙間（軸受隙間）が数μｍ～十数μｍに調整されており、軸受によって発生する静圧力は、例えば、側方空気軸受２５では、１個当たり約８０００Ｎになる。そのため、図８に示される比較例の可動体９１のように、静圧空気軸受の配置部位が薄くなっていると（静圧空気軸受が配置されていない部位と同じ厚さになっていると）、左幅方向空気軸受部２５Ｌ及び右幅方向空気軸受部２５Ｒの静圧力により、左空気軸受支持部材２２Ｌ及び内側空気軸受支持部材２３の下端が互いに離れるように、可動体９１が変形するおそれがある。この変形により、左幅方向空気軸受部２５Ｌ及び右幅方向空気軸受部２５Ｒと左ガイド部材６Ｌとの間の軸受隙間が、変形しいてない場合の軸受隙間の約２倍の大きさに広がり、当該軸受隙間の拡大によって軸受剛性が低下してしまう。

【0038】

軸受隙間の拡大を防ぐ方法として、静圧空気軸受に静圧を加える前の状態で、軸受隙間をより小さく調整しておく方法が考えられる。しかし、このような方法でも、可動体９１にヨーイング方向の負荷が加わった際には、可動体９１の剛性の低さによる変形に伴い、可動体９１は、ヨーイング方向に微小量回転してしまう。つまり、可動体９１に加わるヨーイング方向のモーメントにより生じるヨーイング方向の回転量は、左幅方向空気軸受部２５Ｌ及び右幅方向空気軸受部２５Ｒの剛性で決まる回転量と、可動体９１の剛性で決まる回転量との両方によって決まることになる。

【0039】

上述された回転量を小さく抑えて可動体の走行再現性を高めるために、可動体の板厚を厚くして、可動体の変形量を小さくする方法が考えられる。しかし、このような方法では、可動体自体の重量が増える。また、可動体の重量を支えるためのガイド部材６を太くして剛性を高める必要があるため、ガイド部材６の重量が増える。更に、重量が増えた可動体及びガイド部材６の両方を支えるために、基台３も厚くして剛性を高める必要がある。その結果、案内装置全体の重量が増えてしまい、案内装置を設置する床の耐荷重も増やす必要が生じて、建屋の建設コストが増えてしまう。

【0040】

このような課題に対し、第１実施形態の可動体２１は、静圧空気軸受が配置された肉厚部２１Ａが厚く、それ以外の肉薄部２１Ｂが薄くなっているため、可動体２１自体の軽量化を図ることができる。その上、左幅方向空気軸受部２５Ｌ及び右幅方向空気軸受部２５Ｒがそれぞれ配置された左空気軸受支持部材２２Ｌ及び内側空気軸受支持部材２３が左肉厚部２１Ａａに固定されているため、左幅方向空気軸受部２５Ｌ及び右幅方向空気軸受部２５Ｒの支持構造の剛性が高まり、可動体２１のヨーイング方向のモーメントに対するヨーイング剛性を高めることができる。したがって、可動部２０の走行精度を高めることができるまた、可動体２１を軽量化できるため、ガイド部材６及び基台３の重量を増やす必要が無くなり、案内装置１００全体の重量の増加を抑えることができ、案内装置１００を設置する床の耐荷重も低く抑えることができる。

【0041】

また、可動体２１の静圧空気軸受の配置部位以外の部位を肉薄部２１Ｂにすることには、更に別の効果がある。ガイド部材６の平らな上面により構成される軌道面には、各部材の精密な加工と調整を行っても若干の平面ズレが残ってしまう。その平面ズレが残った軌道面に対して、可動体２１の下面に配置された左幅方向空気軸受部２５Ｌ、右幅方向空気軸受部２５Ｒ、左浮上空気軸受部２６Ｌ、右浮上空気軸受部２６Ｒ、左上下方向空気軸受部２７Ｌ及び右上下方向空気軸受部２７Ｒを、設計通りに数μｍ～十数μｍの軸受隙間を設けてガイド部材６に対向させるためには、可動体２１の静圧空気軸受の配置部位以外の部位が柔軟に変形する方が好ましい。可動体全体の板厚を厚くして可動体の剛性を高めると、可動体の下面が軌道面の平面ズレに追従できなくなる。この場合、一部の静圧空気軸受とガイド部材６との軸受隙間が設計寸法を維持できなくなってしまい、設計通りの軸受け性能を出せなくなってしまう。第１実施形態の可動体２１に肉厚部２１Ａと比べて変形しやすい肉薄部２１Ｂを設けているため、上述された平面ズレが発生しても、肉薄部２１Ｂの変形により可動体２１の下面を軌道面の平面ズレに追従させることができ、いずれの静圧空気軸受においても、設計通りの性能を引き出すことができる。

【0042】

＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。図９は、インクジェット印刷装置の側面図である。図１０は、インクジェット印刷装置の正面図である。図１１は、インクジェット印刷装置の平面図である。図１２は、図９のＢ－Ｂ線に沿う断面図である。図１３は、ディスプレイパネルの平面図である。図１４は、インクジェット印刷装置とインクジェット印刷装置を温度制御するための温調ブースを示す平面図である。図１５は、インクジェット印刷装置とインクジェット印刷装置を温度制御するための温調ブースを示す側面図である。

【0043】

まず、本開示の案内装置１００を備えたインクジェット印刷装置１の構成について説明する。図９～図１１に示されるように、インクジェット印刷装置１に設けられた案内装置１００は、第１実施形態の案内装置１００と同様の構成を有し、基台３と、ガイド部材６と、可動部２０を備える。

【0044】

インクジェット印刷装置１は、基台３を下から支える架台２を備える。可動体２１の上面には、２台の第１微動機構１２と、２台の第２微動機構１３と、１台の第３微動機構１４とが搭載されている。２台の第１微動機構１２は、平面視の可動体２１における２本の対角線のうち一方の対角線上に搭載されている。２台の第２微動機構１３は、上記２本の対角線のうち他方の対角線上に搭載されている。各第１微動機構１２及び各第２微動機構１３は、ガイド部材６と、左浮上空気軸受部２６Ｌ又は右浮上空気軸受部２６Ｒとの直上にそれぞれ搭載されている。第３微動機構１４は、可動体２１の上面中央に搭載されている。第１，第２，第３微動機構１２，１３，１４の上には、ワーク保持テーブル１５が搭載されている。ワーク保持テーブル１５は、その上面において、印刷対象物のディスプレイパネル７を吸着保持できるように構成されている。

【0045】

各第１微動機構１２は、Ｙ軸方向（左右方向）に駆動する不図示の駆動機構を備える。この駆動機構は、不図示の基板アライメント制御部によって位置決め制御されるようになっている。更に、第１微動機構１２は、Ｘ軸方向（案内方向）に移動可能な不図示の摺動機構と、Ｚ軸回りに回転可能な不図示の回転摺動機構とを備える。各第２微動機構１３は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に自由に移動可能な不図示の摺動機構と、Ｚ軸回りに回転可能な不図示の回転摺動機構とを備える。第３微動機構１４は、Ｙ軸方向にのみ移動可能な摺動機構と、Ｚ軸回りに回転可能な不図示の回転摺動機構とを備える。

【0046】

第１微動機構１２と、基板アライメント制御部と、第２微動機構１３と、第３微動機構１４と、ワーク保持テーブル１５とは、基板アライメント機構１０を構成する。基板アライメント機構１０は、ワーク保持テーブル１５をＹ軸方向及びＺ軸回りの回転方向に位置決めする。可動部２０と、基板アライメント機構１０とは、ワーク搬送ステージ３０を構成する。

【0047】

可動体２１の下面には、リニアモータ可動子５２が固定されている。基台３の上面には、案内方向に延びるリニアモータ固定バー４が固定されている。リニアモータ固定バー４は、ガイド部材６と平行になるようにように形成されている。リニアモータ固定バー４の上には、案内方向に延びるリニアモータ固定子５１が固定されている。リニアモータ固定子５１と、リニアモータ可動子５２とは、リニアモータ５０を構成する。リニアモータ５０は、基台３に対して可動部２０を案内方向に移動させる。

【0048】

リニアモータ固定バー４の側面には、リニアスケール本体６１が固定されている。可動体２１の下面には、読み取りヘッドブラケット６３を介してリニアスケール読み取りヘッド６２が固定されている。リニアスケール本体６１と、リニアスケール読み取りヘッド６２とは、リニアスケール６０を構成する。リニアスケール６０は、基台３上における可動部２０の位置を検出する。

【0049】

リニアモータ５０とリニアスケール６０とは、不図示のステージ制御部によってフィードバック制御される。

【0050】

なお、リニアモータ５０のＹ軸方向の固定位置は、ワーク搬送ステージ３０の重心とリニアモータ可動子５２の駆動点とを一致させることが好ましい。このような構成により、ワーク搬送ステージ３０の加減速時に、当該ワーク搬送ステージ３０に加わるＺ軸回りのモーメントを無くすることができる。リニアモータ５０のＺ軸方向の固定位置は、ワーク搬送ステージ３０の重心とリニアモータ可動子５２の駆動点とを可能な限り近づけることが好ましい。このような構成により、ワーク搬送ステージ３０の加減速時に、当該ワーク搬送ステージ３０に加わるＹ軸回りのモーメントを抑えることができる。

【0051】

図１０～図１２に示されるように、基台３における案内方向の中央には、２つのガントリーベース４２が設置されている。各ガントリーベース４２は、案内方向と平行な両側部に設置されている。２つのガントリーベース４２の上には、当該ガントリーベース４２を繋ぐように、第１ガントリー４１ａと、第２ガントリー４１ｂと、が搭載されている。

【0052】

第１ガントリー４１ａにおける案内方向の一方側の側面には、液滴位置計測カメラ４３が搭載され、反対側の側面には、赤インクを吐出する第１ヘッドユニット４０Ｒが搭載されている。第２ガントリーにおける前記一方側の側面には、緑インクを吐出する第２ヘッドユニット４０Ｇが搭載され、反対側の側面には、青インクを吐出する第３ヘッドユニット４０Ｂが搭載されている。第１，第２，第３ヘッドユニット４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂには、それぞれ複数個の不図示のインクジェットヘッドが搭載されている。各インクジェットヘッドは、不図示の吐出制御部により、リニアスケール６０の位置に応じて液滴の吐出が制御される。吐出制御部は、各インクジェットヘッドの１ノズル毎に吐出タイミングを調整することができるように構成されている。このような構成により、ディスプレイパネル７上への液滴の滴下位置を、１ノズル毎に調整することができる。

【0053】

なお、第１ガントリー４１ａ又は第２ガントリー４１ｂに搭載される、第１，第２，第３ヘッドユニット４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ及び液滴位置計測カメラ４３は、それぞれ数１００ｋｇ～１０００ｋｇ程度と重い。このため、ワーク搬送ステージ３０が加減速する際には、加減速時の反力がインクジェット印刷装置１全体に加わり、インクジェット印刷装置１全体がＸ軸方向に微小に振動する。この微小な振動により、第１ガントリー４１ａ及び第２ガントリー４１ｂがＸ軸方向に数μｍ揺り動かされて、印刷位置精度が低下することが判明した。そこで、第２実施形態のインクジェット印刷装置１では、第１ガントリー４１ａ及び第２ガントリー４１ｂの脚部を、下方へ向かうにしたがってＸ軸方向の幅が大きくなるよう形成することで、上記問題を解決した。

【0054】

次に、印刷対象物のディスプレイパネル７について説明する。図１３に示されるように、ディスプレイパネル７の基板７Ｐ上の四隅には、塗布位置を位置決めするためのアライメントマーク７ｍが形成されている。基板７Ｐ上の中央には、画素を区分けする隔壁のバンク７Ｌが形成されている。アライメントマーク７ｍ及びバンク７Ｌは、撥水性の隔壁を形成する材料により形成されている。バンク７Ｌは、赤色画素７Ｒと、緑色画素７Ｇと、青色画素７Ｂとを形成する。基板７Ｐとしては、主面のサイズが２２００ｍｍ×２３００ｍｍ、厚さが０．５ｍｍのガラス板を例示することができる。

【0055】

次に、以上のように構成されたインクジェット印刷装置１の動作について説明する。まず、ステージ制御部は、ワーク搬送ステージ３０を図９に実線で示されるワーク搬入位置３０ａに位置決めする。この後、不図示のワーク搬送機構を用いて、ディスプレイパネル７をワーク保持テーブル１５の上に載置し、ワーク保持テーブル１５でディスプレイパネル７を吸着して固定する。

【0056】

次に、固定されたディスプレイパネル７の四隅のアライメントマーク７ｍを不図示のアライメントカメラで観察して、予め定められた目標位置からのズレ量を計測する。この計測結果に基づいて、基板アライメント制御部は、基板アライメント機構１０を動作させて、ディスプレイパネル７を目標位置に位置決めする。ディスプレイパネル７の位置決めが完了すると、ステージ制御部は、ワーク搬送ステージ３０を図９に二点鎖線で示される印刷待機位置３０ｂへ移動させて位置決めする。

【0057】

その後、ステージ制御部は、ワーク搬送ステージ３０を一定速度（第２実施形態では、３００ｍｍ／秒）でワーク搬入位置３０ａへ移動させる。一定速度で移動中のリニアスケール６０の計測結果は、不図示の吐出制御部に送られる。吐出制御部は、第１，第２，第３ヘッドユニット４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂにそれぞれに搭載された不図示のインクジェットヘッドへ吐出信号を出力し、狙った位置に液滴を滴下させる。その結果、ディスプレイパネル７の赤色画素７Ｒには赤インクが、緑色画素７Ｇには緑インクが、青色画素７Ｂには青インクがそれぞれ滴下される。

【0058】

なお、インクジェットヘッドの各ノズルの吐出角度癖などによって、狙った位置に液滴を滴下できない場合がある。この場合、ディスプレイパネル７の代わりに、不図示の滴下位置計測用ガラス基板に対して滴下位置計測パターンを印刷し、液滴位置計測カメラ４３で滴下位置の目標位置からのズレ量を計測する。その計測結果を吐出制御部へ送り、ノズル毎に吐出タイミングを補正することで、印刷方向（Ｘ方向）の位置ズレを補正する。このようにして、ディスプレイパネル７の各画素に対して正確に液滴を滴下することができる。

【0059】

なお、可動体２１上には、５台の微動機構（２台の第１微動機構１２、２台の第２微動機構１３及び１台の第３微動機構１４）の重量と、ワーク保持テーブル１５の重量とが加わる。この加わる重量は、第２実施形態の場合、約１３００ｋｇに相当する。可動体２１に加わる約１３００ｋｇの重量のうち、四隅の微動機構（２台の第１微動機構１２及び２台の第２微動機構１３）の位置に加わる重量は、約１１００ｋｇとなり、加わる全重量の約８５パーセントに相当する。残りの１５パーセントの重量は、可動体２１の中央の第３微動機構の位置に加わる。

【0060】

上述されたように、第１微動機構１２及び第２微動機構１３は、ガイド部材６と、左浮上空気軸受部２６Ｌ又は右浮上空気軸受部２６Ｒとの直上に位置している。このため、ワーク搬送ステージ３０は、可動体２１に搭載される部材の全重量の８５パーセントが浮上空気軸受部２６に直接的に加わり、残りの１５パーセントが可動体２１を介して間接的に浮上空気軸受部２６に加わるように、構成されている。

【0061】

また、可動体２１は、四隅の静圧空気軸受の配置部位近傍のみの板厚が厚く、それ以外の板厚が薄くなっているため、四隅の浮上空気軸受部２６が２本のガイド部材６の上面が形成する平面に追従しやすくなっている。

【0062】

更に、可動体２１上の部材の殆どの重量が４箇所の浮上空気軸受部２６の直上に加わっているため、浮上空気軸受部２６がガイド部材６の上面に平行に対向しやすくなり、浮上空気軸受部２６が有する最大限の性能を引き出すことができる。

【0063】

また、浮上空気軸受部２６は、ガイド部材６により支持されている。ガイド部材６は、基台３を介して、それぞれ当該ガイド部材６の直下に配置されたレベリングブロック５、架台２及びアジャスターフット８により支持され、当該ガイド部材６の直下において、ガイド部材６のレベル調整を行うことができるように構成されている。このような構成により、ガイド部材６の上面の平面出しがしやすくなると同時に、基台３におけるガイド部材６の直下以外の部位に、多数の基台抜き穴３Ａを形成することができる。更に、架台２におけるガイド部材６の直下以外の部位に、鋼管を通さずに空間を形成することができる。このように、基台抜き穴３Ａ及び空間を形成することにより、インクジェット印刷装置１全体の軽量化を図ることができる。また、ガイド部材６の周辺部分に、基台抜き穴３Ａを上から下へ通過する清浄化された空気の流れ（ダウンフロー）を形成することにより、インクジェット印刷装置１全体の清浄度を高めることができ、パーティクルによる印刷不良の発生を抑えることができる。更に、基台抜き穴３Ａを上から下へ通過する温度制御された空気の流れを形成することにより、インクジェット印刷装置１全体の温度を一定に保つことができ、熱膨張による印刷位置のズレを抑えることができる。

【0064】

上述された熱膨張による印刷位置のズレを抑えることができる具体的なインクジェット印刷装置１の構成について説明する。図１４及び図１５に示されるように、インクジェット印刷装置１は、その周囲がブース７１により取り囲まれている。ブース７１の天井には、第１空調機７３ａと、第２空調機７３ｂと、第３空調機７３ｃとが固定されている。第１空調機７３ａは、ワーク搬入位置３０ａの上方に配置されている。第３空調機７３ｃは、印刷待機位置３０ｂの上方に配置されている。第２空調機７３ｂは、第１空調機７３ａ及び第３空調機７３ｃの間の位置であって、第１ガントリー４１ａ及び第２ガントリー４１ｂの上方に配置されている。

【0065】

ブース７１に３台の空調機７３ａ，７３ｂ，７３ｃを配置することにより、ブース７１内を第１温調領域７２ａ、第２温調領域７２ｂ、第３温調領域７２ｃの３つ領域に分けて、それぞれの温調領域７２ａ，７２ｂ，７２ｃに独立的に温度設定された空気を吹き降ろすことができる。吹き降ろされた空気は、インクジェット印刷装置１の周囲及び基台３の基台抜き穴３Ａと架台２の隙間を通過し、不図示のリターンダクトで回収されて再び各空調機７３ａ，７３ｂ，７３ｃへ戻される。リターンダクトは、本開示の回収部の一例である。なお、架台２のフレームに吸い込み口を設けて、リターンダクトとして利用することもできる。

【0066】

次に、ブース７１内を３つの温調領域７２ａ，７２ｂ，７２ｃに分けた理由について説明する。インクジェット印刷装置１には、複数の発熱箇所が存在する。複数の発熱箇所のうち最も発熱量が大きい箇所は、ヘッドユニットである。ヘッドユニット内のインクジェットヘッド制御部材が発熱する。このため、インクジェット印刷装置１の第１，第２ガントリー４１ａ，４１ｂの周囲は、他の箇所に比べて温度が上がりやすい。したがって、インクジェット印刷装置１へ吹き降ろす空気の温度を全領域で一律に同じにすると、発熱量が大きい第１，第２ガントリー４１ａ，４１ｂの周辺の温度が、他の箇所と比べて高くなってしまう。その結果、第１，第２ガントリー４１ａ，４１ｂの下を通過するワーク保持テーブル１５の温度も、通過する頻度に応じて変化してしまう。例えば、ワーク保持テーブル１５がワーク搬入位置３０ａに停止し続けていた直後のワーク保持テーブル１５の温度に比べて、定常的に第１，第２ガントリー４１ａ，４１ｂの下を通過して印刷を繰り返しているときのワーク保持テーブル１５の温度は高くなる。ワーク保持テーブル１５の温度が上昇すると、その上に吸着されているディスプレイパネル７の温度も上昇して、ディスプレイパネル７が熱膨張により伸びてしまう。ディスプレイパネル７が伸びると、狙いの画素の位置に印刷することができなくなる。

【0067】

第２実施形態では、第２空調機７３ｂの温度設定を第１空調機７３ａ、第３空調機７３ｃに比べて低くすることにより、インクジェット印刷装置１の第１ガントリー４１ａと第２ガントリー４１ｂの周辺の温度を、ワーク搬入位置３０ａ、印刷待機位置３０ｂの温度と同程度に調整する。このような構成により、印刷頻度の多少に関係なく、ワーク保持テーブル１５の温度を一定温度に保つことができる。したがって、印刷頻度に影響されることなく、いつでもディスプレイパネル７の狙いの画素の位置に印刷することができる。

【0068】

また、第２実施形態では、ワーク搬入位置３０ａと印刷待機位置３０ｂのそれぞれの上方に、第１空調機７３ａと第３空調機７３ｃが配置されている。インクジェット印刷装置１の周辺の機器配置等により、第１空調機７３ａと第３空調機７３ｃを同一温度に設定した場合でもブース７１の中に温度ムラが生じることがある。そのような場合に、第１空調機７３ａと第３空調機７３ｃを異なる温度設定にすることで、その温度ムラを解消することができる。

【0069】

以上のように、可動体２１の静圧空気軸受近傍の板厚を厚くし、それ以外の部位の板厚を薄くすることと、可動体２１上に搭載する部材の重量の大半が、ガイド部材６の直上に配置された４つの浮上空気軸受部２６に加わるようにすることとにより、各静圧空気軸受の最大限の性能を発揮させることができる。更に、このような構成により、基台３の広範囲に基台抜き穴３Ａを形成することができ、インクジェット印刷装置１を軽量化できることに加えて、基台３を支える架台２においてもガイド部材６の直下以外の部位に大きな空間を形成することができ、インクジェット印刷装置１の周辺だけでなく内部の空気の流れも良好にすることができる。その結果、インクジェット印刷装置１の清浄度と、温度調整の精度とを高めることができる。更に、ヨーイング剛性を高めることによる走行精度の高精度化を図ることができると共に、軽量でありながら印刷対象物のディスプレイパネル７に対していつでも位置精度の高い印刷ができるインクジェット印刷装置１を提供することができる。

【0070】

［実施形態の変形例］
本開示は、これまでに説明した実施形態に示されたものに限られないことはいうまでもなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で、種々の変形を加えることができる。また、上記実施形態及び以下に示される変形例は、正常に機能する限り、どのように組み合わせても良い。

【0071】

例えば、第１実施形態において、可動体２１に、それぞれ一対ずつの左上下方向空気軸受部２７Ｌ及び右上下方向空気軸受部２７Ｒが配置されているが、可動体２１自体が大型で自重が重い場合、その自重と浮上空気軸受部２６とのバランスだけで静圧空気軸受の剛性を確保できるため、図１６に示されるように、左上下方向空気軸受部２７Ｌ及び右上下方向空気軸受部２７Ｒを配置しなくても良い。同様に、第２実施形態においても、ワーク搬送ステージ３０自体が大型で自重が重い場合には、その自重と浮上空気軸受部２６とのバランスだけで静圧空気軸受の剛性を確保できるため、左上下方向空気軸受部２７Ｌ及び右上下方向空気軸受部２７Ｒを配置しなくても良い。

【0072】

また、右肉厚部２１Ａｂについては左肉厚部２１Ａａと同様の厚さにしなくても良く、例えば肉薄部２１Ｂと同じでも構わない。第１，第２実施形態のように右肉厚部２１Ａｂを左肉厚部２１Ａａと同じに厚さにするメリットは、左浮上空気軸受部２６Ｌの取り付け面と、右浮上空気軸受部２６Ｒの取り付け面とを同時研削加工することによって正確に同一平面に揃えることが出来て、その結果、対向する左ガイド部材６Ｌと右ガイド部材６Ｒも同一高さにすれば良くなり、左ガイド部材６Ｌと右ガイド部材６Ｒについても同時研削加工することによって正確に同一高さに加工できる点にある。

【0073】

第１，第２実施形態において、可動体２１の下面に、それぞれ独立的に構成された左浮上空気軸受部２６Ｌ、右浮上空気軸受部２６Ｒ、上側の左上下方向空気軸受部２７Ｌａ及び上側の右上下方向空気軸受部２７Ｒａが配置されているが、左浮上空気軸受部２６Ｌ及び上側の左上下方向空気軸受部２７Ｌａの軸受性能を有する１つの静圧空気軸受と、右浮上空気軸受部２６Ｒ及び上側の右上下方向空気軸受部２７Ｒａの軸受性能を有する１つの静圧空気軸受とを配置しても良い。また、各静圧空気軸受を、それぞれ複数ずつの静圧空気軸受により構成しても良い。

【0074】

第２実施形態において、第１微動機構１２及び第２微動機構１３をＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸回りの回転方向に移動可能な機構にすると共に、第３微動機構１４をＹ軸方向及びＺ軸回りの回転方向に移動可能な機構としたが、第１，第２，第３微動機構１２，１３，１４をそれぞれＺ軸回りに４５°回転させた状態に配置しても良い。

【0075】

第２実施形態において、例えば２台の第１微動機構１２のうち、１台の第１微動機構１２のＸ軸方向の摺動機構を無くすことにより、ワーク保持テーブル１５をＹ軸方向及びＺ軸回りに移動させることができる。この場合、可動体２１の中央に第３微動機構１４を配置しなくても良い。

【0076】

第２実施形態において、１回の走査で印刷するようにしているが、必要に応じて複数走査の繰り返しで印刷しても良い。

【産業上の利用可能性】

【0077】

本開示の案内装置、ワーク搬送ステージ及びインクジェット印刷装置は、大型の印刷対象物にインク等を塗布する装置に有効であり、有機ＥＬの発光体、ホール輸送層、又は電子輸送層の印刷、或いは、カラーフィルターの印刷等における大型の印刷対象物に、効率良くインク等の材料を塗布する装置に適用することができる。

【符号の説明】

【0078】

１ インクジェット印刷装置
２ 架台
３，９０１ 基台
３Ａ 基台抜き穴
４ リニアモータ固定バー
５ レベリングブロック
６，９０２ ガイド部材
６Ｌ 左ガイド部材（第１ガイド部材）
６Ｒ 右ガイド部材（第２ガイド部材）
６ＬＰ 左ガイド突出部（第１突出部）
６ＲＰ 右ガイド突出部（第２突出部）
７ ディスプレイパネル
７Ｂ 青色画素
７Ｐ 基板
７Ｇ 緑色画素
７Ｌ バンク
７ｍ アライメントマーク
７Ｒ 赤色画素
８ アジャスターフット
１０ 基板アライメント機構
１２ 第１微動機構
１３ 第２微動機構
１４ 第３微動機構
１５ ワーク保持テーブル
２０，９０，９０３ 可動部
２１，９１，９０４ 可動体
２１Ａ 肉厚部
２１Ａａ 左肉厚部（第１肉厚部）
２１Ａｂ 右肉厚部（第２肉厚部）
２１Ｂ 肉薄部
２１Ｃ 凹部
２１Ｄ 可動体抜き穴
２２Ｌ 左空気軸受支持部材（第１軸受支持部材）
２２Ｒ 右空気軸受支持部材（第３軸受支持部材）
２３ 内側空気軸受支持部材（第２軸受支持部材）
２４ 空気軸受部
２５Ｌ 左幅方向空気軸受部（第１幅方向空気軸受部）
２５Ｒ 右幅方向空気軸受部（第２幅方向空気軸受部）
２６ 浮上空気軸受部
２６Ｌ 左浮上空気軸受部（第１浮上空気軸受部）
２６Ｒ 右浮上空気軸受部（第２浮上空気軸受部）
２７Ｌ 左上下方向空気軸受部（第１上下方向空気軸受部）
２７Ｌａ 上側の左上下方向空気軸受部（第１上下方向空気軸受部）
２７Ｌｂ 下側の左上下方向空気軸受部（第１上下方向空気軸受部）
２７Ｒ 右上下方向空気軸受部（第２上下方向空気軸受部）
２７Ｒａ 上側の右上下方向空気軸受部（第２上下方向空気軸受部）
２７Ｒｂ 下側の右上下方向空気軸受部（第２上下方向空気軸受部）
３０ ワーク搬送ステージ
３０ａ ワーク搬入位置
３０ｂ 印刷待機位置
４０Ｂ 第３ヘッドユニット
４０Ｇ 第２ヘッドユニット
４０Ｒ 第１ヘッドユニット
４１ａ 第１ガントリー
４１ｂ 第２ガントリー
４２ ガントリーベース
４３ 液滴位置計測カメラ
５０ リニアモータ
５１ リニアモータ固定子
５２ リニアモータ可動子
６０ リニアスケール
６１ リニアスケール本体
６２ リニアスケール読み取りヘッド
６３ 読み取りヘッドブラケット
７１ ブース
７２ａ 第１温調領域
７２ｂ 第２温調領域
７２ｃ 第３温調領域
７３ａ 第１空調機
７３ｂ 第２空調機
７３ｃ 第３空調機
１００，９００ 案内装置
２２１Ｌ 左垂直部
２２２Ｌ 左水平部
２２１Ｒ 右垂直部
２２２Ｒ 右水平部
９０５ 軸受け支持部材
９０６ 水平方向静圧空気軸受
９０７ 下側静圧空気軸受
９０８ 上側静圧空気軸受

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】