(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023093135
(43)【公開日】2023-07-04
(54)【発明の名称】アクチュエータ、エンコーダおよびエンコーダの製造方法
(51)【国際特許分類】
G01D 5/245 20060101AFI20230627BHJP
【ＦＩ】
G01D5/245 110J
【審査請求】未請求
【請求項の数】21
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021208571
(22)【出願日】2021-12-22
(71)【出願人】
【識別番号】390019839
【氏名又は名称】三星電子株式会社
【氏名又は名称原語表記】Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．
【住所又は居所原語表記】１２９，Ｓａｍｓｕｎｇ－ｒｏ，Ｙｅｏｎｇｔｏｎｇ－ｇｕ，Ｓｕｗｏｎ－ｓｉ，Ｇｙｅｏｎｇｇｉ－ｄｏ，Ｒｅｐｕｂｌｉｃ ｏｆ Ｋｏｒｅａ
(74)【代理人】
【識別番号】100125346
【弁理士】
【氏名又は名称】尾形 文雄
(72)【発明者】
【氏名】山岸 建
(72)【発明者】
【氏名】村上 靖明
【テーマコード（参考）】
2F077
【Ｆターム（参考）】
2F077CC02
2F077NN02
2F077NN05
2F077NN24
2F077NN28
2F077PP12
2F077PP19
2F077VV33
(57)【要約】
【課題】モータの移動位置と実際に測定されるエンコーダの検出結果とを一致させることができるエンコーダを使用したアクチュエータ等を提供する。
【解決手段】モータと、エンコーダミラー３４４ａを備えるエンコーダとを備えるアクチュエータである。エンコーダミラー３４４ａは、モータに連動して移動する。そして、エンコーダミラー３４４ａは、モータの移動位置を求めるために、移動方向に複数のスケールＳｋがマーキングされている。スケールＳｋは、モータを動作させたときに、モータの予め定められた移動位置を、スケールをマーキングする位置とする。
【選択図】図４
【解決手段】モータと、エンコーダミラー３４４ａを備えるエンコーダとを備えるアクチュエータである。エンコーダミラー３４４ａは、モータに連動して移動する。そして、エンコーダミラー３４４ａは、モータの移動位置を求めるために、移動方向に複数のスケールＳｋがマーキングされている。スケールＳｋは、モータを動作させたときに、モータの予め定められた移動位置を、スケールをマーキングする位置とする。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
モータと、
前記モータに連動して移動し、当該モータの移動位置を求めるために、移動方向に複数のスケールがマーキングされたエンコーダスケールを有するエンコーダと、
を備え、
前記エンコーダスケールは、前記モータを動作させたときに、当該モータの予め定められた移動位置に対応する箇所を、前記スケールをマーキングする位置としたアクチュエータ。
前記モータに連動して移動し、当該モータの移動位置を求めるために、移動方向に複数のスケールがマーキングされたエンコーダスケールを有するエンコーダと、
を備え、
前記エンコーダスケールは、前記モータを動作させたときに、当該モータの予め定められた移動位置に対応する箇所を、前記スケールをマーキングする位置としたアクチュエータ。
【請求項2】
前記モータは、回転電動モータであり、
前記エンコーダスケールは、前記回転電動モータに連動して回転し、前記回転電動モータの予め定められた機械角に対応して、回転方向に前記スケールがマーキングされた請求項１に記載のアクチュエータ。
前記エンコーダスケールは、前記回転電動モータに連動して回転し、前記回転電動モータの予め定められた機械角に対応して、回転方向に前記スケールがマーキングされた請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項3】
前記回転電動モータは、ブラシレスモータであり、
前記エンコーダスケールは、前記ブラシレスモータを動作させるコイルに予め定められた通電モードで通電したときに当該エンコーダスケールが回転した箇所にマーキングされた第１のスケールを含む請求項２に記載のアクチュエータ。
前記エンコーダスケールは、前記ブラシレスモータを動作させるコイルに予め定められた通電モードで通電したときに当該エンコーダスケールが回転した箇所にマーキングされた第１のスケールを含む請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項4】
前記第１のスケールに加え、さらに第２のスケールがマーキングされた請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項5】
前記第２のスケールは、一対の前記第１のスケールの間にマーキングされたものである請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項6】
前記第１のスケールは、前記ブラシレスモータの機械角を定める原点にマーキングされ、
前記第２のスケールは、原点となる前記第１のスケール以外のスケールである請求項４に記載のアクチュエータ。
前記第２のスケールは、原点となる前記第１のスケール以外のスケールである請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項7】
減速前の前記回転電動モータに付属するエンコーダである減速前エンコーダにより定まる当該回転電動モータの回転位置に対応して、減速後の前記エンコーダスケールが回転した位置に対し前記スケールがマーキングされた請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項8】
前記モータは、リニアモータであり、
前記リニアモータの移動子の位置に対応して、前記スケールがマーキングされた請求項１に記載のアクチュエータ。
前記リニアモータの移動子の位置に対応して、前記スケールがマーキングされた請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項9】
モータに連動して移動し、当該モータの移動位置を求めるために、移動方向に複数のスケールがマーキングされたエンコーダスケールを備え、
前記エンコーダスケールは、前記モータを動作させたときに、当該モータの予め定められた移動位置に対応する箇所を、前記スケールをマーキングする位置としたエンコーダ。
前記エンコーダスケールは、前記モータを動作させたときに、当該モータの予め定められた移動位置に対応する箇所を、前記スケールをマーキングする位置としたエンコーダ。
【請求項10】
モータに連動して移動し、当該モータの移動位置を求めるために、移動方向に複数のスケールがマーキングされたエンコーダスケールを備えるエンコーダの製造方法であり、
前記モータを動作させたときに、当該モータの予め定められた移動位置に対応して、前記スケールをマーキングするマーキング工程を含むエンコーダの製造方法。
前記モータを動作させたときに、当該モータの予め定められた移動位置に対応して、前記スケールをマーキングするマーキング工程を含むエンコーダの製造方法。
【請求項11】
前記モータは、ブラシレスモータであり、
前記マーキング工程は、前記ブラシレスモータを動作させるコイルに予め定められた通電モードで通電したときに前記エンコーダスケールが回転した箇所に第１のスケールをマーキングする第１のマーキング工程を含む請求項１０に記載のエンコーダの製造方法。
前記マーキング工程は、前記ブラシレスモータを動作させるコイルに予め定められた通電モードで通電したときに前記エンコーダスケールが回転した箇所に第１のスケールをマーキングする第１のマーキング工程を含む請求項１０に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項12】
前記第１のマーキング工程は、１つの前記通電モードについて、複数回通電して前記第１のスケールをマーキングする箇所の位置決めを行う請求項１１に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項13】
前記第１のマーキング工程は、１つの前記通電モードについて、前記モータを正転および逆転の双方で通電して前記第１のスケールをマーキングする箇所の位置決めを行う請求項１１に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項14】
前記第１のマーキング工程でマーキングされた前記第１のスケールに加え、さらに第２のスケールをマーキングする第２のマーキング工程をさらに含む請求項１１に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項15】
前記第２のスケールは、前記第１のマーキング工程でマーキングされた一対の前記第１のスケールの間にマーキングされる請求項１４に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項16】
前記第１のマーキング工程は、前記ブラシレスモータの機械角を定める原点となる前記第１のスケールをマーキングし、
前記第２のマーキング工程は、原点となる前記第１のスケール以外のマーキングである前記第２のスケールをマーキングする請求項１４に記載のエンコーダの製造方法。
前記第２のマーキング工程は、原点となる前記第１のスケール以外のマーキングである前記第２のスケールをマーキングする請求項１４に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項17】
前記エンコーダスケールを備える前記モータを、当該エンコーダスケールの水平方向および回転方向に移動させることが可能なテーブル上に載置する載置工程を含み、
前記第２のマーキング工程は、前記テーブルを前記第１のスケールの位置に応じ移動することで、前記エンコーダスケールを水平方向および回転方向に移動し、前記第２のスケールをマーキングする請求項１４に記載のエンコーダの製造方法。
前記第２のマーキング工程は、前記テーブルを前記第１のスケールの位置に応じ移動することで、前記エンコーダスケールを水平方向および回転方向に移動し、前記第２のスケールをマーキングする請求項１４に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項18】
前記第１のマーキング工程および前記第２のマーキング工程の少なくとも一方は、前記ブラシレスモータに付属するホールセンサを併用して前記スケールをマーキングする箇所の位置決めを行う請求項１４に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項19】
前記第１のマーキング工程および前記第２のマーキング工程の少なくとも一方は、バックスラッシュが生じないように前記エンコーダスケールの回転機構に負荷をかける請求項１４に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項20】
前記モータは、回転電動モータであり、
減速前の前記回転電動モータに付属するエンコーダである減速前エンコーダにより、当該回転電動モータの回転位置の制御を行い、
前記マーキング工程は、前記回転電動モータの回転位置に対応して、減速後の前記エンコーダスケールが回転した位置に対し前記スケールをマーキングする請求項１０に記載のエンコーダの製造方法。
減速前の前記回転電動モータに付属するエンコーダである減速前エンコーダにより、当該回転電動モータの回転位置の制御を行い、
前記マーキング工程は、前記回転電動モータの回転位置に対応して、減速後の前記エンコーダスケールが回転した位置に対し前記スケールをマーキングする請求項１０に記載のエンコーダの製造方法。
【請求項21】
前記モータは、リニアモータであり、
前記リニアモータの移動子の位置に対応して、前記スケールをマーキングする請求項１０に記載のエンコーダの製造方法。
前記リニアモータの移動子の位置に対応して、前記スケールをマーキングする請求項１０に記載のエンコーダの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、アクチュエータ、エンコーダ、エンコーダの製造方法に関する。より詳しくは、モータの移動位置を求めるために使用するエンコーダを使用したアクチュエータ、このエンコーダ、およびこのエンコーダの製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
ロボットのアーム等を動作させるために、アクチュエータを使用することがある。このアクチュエータには、例えば、回転電動モータが内蔵されており、回転電動モータの機械角を制御することで、アームの位置を制御する。このとき、回転電動モータの移動位置を検出するために、エンコーダを用いることがある。エンコーダは、回転電動モータの場合、例えば、円盤状のエンコーダミラーの周方向にスケールがマーキングされている。そして、このスケールを読み取ることで、回転電動モータの移動位置として機械角を検出する。
【0003】
特許文献１には、回転体の回転軸に取り付けるロータリースケールの製造方法が開示されている。このロータリースケールの製造方法は、第１の工程と、第２の工程と、第３の工程とを有する。第１の工程は、スケール基材に、スケールパターンを形成するとともにマークを形成する。マークは、スケールパターンの中心軸と同軸となるように回転軸の中心軸を位置合わせした場合の回転軸の外形形状を示す。第２の工程は、マークを含み第１の幅を有するスケール基材の第１領域を切断する。第３の工程は、第２の幅を有する第２領域を切断する。第２の幅は、第１領域を切断した後に残るマークを含み第１領域よりもスケール基材の周方向の長さが短く第１の幅よりも小さい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２０１６－１３８７５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
ところが、機械誤差などの要因により、モータの移動位置に対し実際に測定されるエンコーダの検出結果にずれが生じる場合がある。かかる場合、モータの移動位置の検出精度が低下する。
本発明は、モータの移動位置に対するエンコーダの検出結果にずれが生じにくいエンコーダを使用したアクチュエータ等を提供することを目的とする。
本発明は、モータの移動位置に対するエンコーダの検出結果にずれが生じにくいエンコーダを使用したアクチュエータ等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明のアクチュエータは、モータと、エンコーダスケールを有するエンコーダとを備える。エンコーダスケールは、モータに連動して移動する。そして、エンコーダスケールは、モータの移動位置を求めるために、移動方向に複数のスケールがマーキングされている。スケールは、モータを動作させたときに、モータの予め定められた移動位置を、スケールをマーキングする位置とする。
【0007】
ここで、モータは、回転電動モータとすることができる。この場合、エンコーダスケールは、回転電動モータに連動して回転する。そして、エンコーダスケールは、回転電動モータの予め定められた機械角に対応して、回転方向にスケールがマーキングされている。
また、回転電動モータは、ブラシレスモータとすることができる。この場合、ブラシレスモータを動作させるコイルに予め定められた通電モードで通電する。そして、このときにエンコーダスケールが回転した箇所にマーキングされる。
さらに、第１のスケールに加え、さらに第２のスケールがマーキングされるようにすることができる。
またさらに、第２のスケールは、一対の第１のスケールの間にマーキングされたものとすることができる。
そして、第１のスケールは、ブラシレスモータの機械角を定める原点にマーキングすることができる。この場合、第２のスケールは、原点となる第１のスケール以外のスケールである。
また、減速後のエンコーダスケールが回転した位置に対しスケールがマーキングされるようにすることができる。この場合、減速前エンコーダにより定まる回転電動モータの回転位置に対応して、マーキングされる。減速前エンコーダは、減速前の回転電動モータに付属するエンコーダである。
さらに、モータは、リニアモータとすることができる。この場合、リニアモータの移動子の位置に対応して、スケールがマーキングされる。
また、回転電動モータは、ブラシレスモータとすることができる。この場合、ブラシレスモータを動作させるコイルに予め定められた通電モードで通電する。そして、このときにエンコーダスケールが回転した箇所にマーキングされる。
さらに、第１のスケールに加え、さらに第２のスケールがマーキングされるようにすることができる。
またさらに、第２のスケールは、一対の第１のスケールの間にマーキングされたものとすることができる。
そして、第１のスケールは、ブラシレスモータの機械角を定める原点にマーキングすることができる。この場合、第２のスケールは、原点となる第１のスケール以外のスケールである。
また、減速後のエンコーダスケールが回転した位置に対しスケールがマーキングされるようにすることができる。この場合、減速前エンコーダにより定まる回転電動モータの回転位置に対応して、マーキングされる。減速前エンコーダは、減速前の回転電動モータに付属するエンコーダである。
さらに、モータは、リニアモータとすることができる。この場合、リニアモータの移動子の位置に対応して、スケールがマーキングされる。
【0008】
本発明のエンコーダは、エンコーダスケールを備える。エンコーダスケールは、モータに連動して移動する。そして、エンコーダスケールは、モータの移動位置を求めるために、移動方向に複数のスケールがマーキングされている。スケールは、モータを動作させたときに、モータの予め定められた移動位置を、スケールをマーキングする位置としている。
また、本発明のエンコーダの製造方法は、エンコーダスケールを備えるエンコーダの製造方法である。エンコーダは、モータに連動して移動し、モータの移動位置を求める。エンコーダは、移動方向に複数のスケールがマーキングされたエンコーダスケールを備える。エンコーダの製造方法は、マーキング工程を含む。マーキング工程は、モータを動作させたときに、モータの予め定められた移動位置に対応して、スケールをマーキングする。
また、本発明のエンコーダの製造方法は、エンコーダスケールを備えるエンコーダの製造方法である。エンコーダは、モータに連動して移動し、モータの移動位置を求める。エンコーダは、移動方向に複数のスケールがマーキングされたエンコーダスケールを備える。エンコーダの製造方法は、マーキング工程を含む。マーキング工程は、モータを動作させたときに、モータの予め定められた移動位置に対応して、スケールをマーキングする。
【0009】
ここで、モータは、ブラシレスモータとすることができる。この場合、マーキング工程は、第１のマーキング工程を含む。第１のマーキング工程は、ブラシレスモータを動作させるコイルに予め定められた通電モードで通電する。そして、このときにエンコーダスケールが回転した箇所に第１のスケールをマーキングする。
また、第１のマーキング工程は、１つの通電モードについて、複数回通電するようにしてもよい。これにより、第１のスケールをマーキングする箇所の位置決めを行う。
さらに、第１のマーキング工程は、１つの通電モードについて、モータを正転および逆転の双方で通電するようにしてもよい。これにより、マーキングする箇所の位置決めを行う。
またさらに、第２のマーキング工程をさらに含むようにすることができる。第２のマーキング工程は、第１のマーキング工程でマーキングされた第１のスケールに加え、さらに第２のスケールをマーキングする。
そして、第２のスケールは、一対の第１のスケールの間にマーキングされるようにしてもよい。一対の第１のスケールは、第１のマーキング工程でマーキングされる。
また、第１のマーキング工程は、ブラシレスモータの機械角を定める原点となる第１のスケールをマーキングするようにしてもよい。この場合、第２のマーキング工程は、原点となる第１のスケール以外のマーキングである第２のスケールをマーキングする。
さらに、エンコーダスケールを備えるモータを、テーブル上に載置する載置工程を含むようにしてもよい。テーブルは、エンコーダスケールの水平方向および回転方向に移動させることが可能である。そして、第２のマーキング工程は、テーブルを第１のスケールの位置に応じ移動する。これにより、エンコーダスケールを水平方向および回転方向に移動し、第２のスケールをマーキングする。
またさらに、ホールセンサを併用してスケールをマーキングする箇所の位置決めを行うようにしてもよい。これは、第１のマーキング工程および第２のマーキング工程の少なくとも一方に適用される。ホールセンサは、ブラシレスモータに付属する。
そして、バックスラッシュが生じないようにエンコーダスケールの回転機構に負荷をかけるようにしてもよい。これは、第１のマーキング工程および第２のマーキング工程の少なくとも一方に適用される。
また、モータは、回転電動モータとすることができる。このとき減速前エンコーダにより、回転電動モータの回転位置の制御を行う。減速前エンコーダは、減速前の回転電動モータに付属するエンコーダである。この場合、マーキング工程は、スケールをマーキングする。スケールは、回転電動モータの回転位置に対応して、減速後のエンコーダスケールが回転した位置にマーキングする。
さらに、モータは、リニアモータとすることができる。この場合、リニアモータの移動子の位置に対応して、スケールをマーキングする。
また、第１のマーキング工程は、１つの通電モードについて、複数回通電するようにしてもよい。これにより、第１のスケールをマーキングする箇所の位置決めを行う。
さらに、第１のマーキング工程は、１つの通電モードについて、モータを正転および逆転の双方で通電するようにしてもよい。これにより、マーキングする箇所の位置決めを行う。
またさらに、第２のマーキング工程をさらに含むようにすることができる。第２のマーキング工程は、第１のマーキング工程でマーキングされた第１のスケールに加え、さらに第２のスケールをマーキングする。
そして、第２のスケールは、一対の第１のスケールの間にマーキングされるようにしてもよい。一対の第１のスケールは、第１のマーキング工程でマーキングされる。
また、第１のマーキング工程は、ブラシレスモータの機械角を定める原点となる第１のスケールをマーキングするようにしてもよい。この場合、第２のマーキング工程は、原点となる第１のスケール以外のマーキングである第２のスケールをマーキングする。
さらに、エンコーダスケールを備えるモータを、テーブル上に載置する載置工程を含むようにしてもよい。テーブルは、エンコーダスケールの水平方向および回転方向に移動させることが可能である。そして、第２のマーキング工程は、テーブルを第１のスケールの位置に応じ移動する。これにより、エンコーダスケールを水平方向および回転方向に移動し、第２のスケールをマーキングする。
またさらに、ホールセンサを併用してスケールをマーキングする箇所の位置決めを行うようにしてもよい。これは、第１のマーキング工程および第２のマーキング工程の少なくとも一方に適用される。ホールセンサは、ブラシレスモータに付属する。
そして、バックスラッシュが生じないようにエンコーダスケールの回転機構に負荷をかけるようにしてもよい。これは、第１のマーキング工程および第２のマーキング工程の少なくとも一方に適用される。
また、モータは、回転電動モータとすることができる。このとき減速前エンコーダにより、回転電動モータの回転位置の制御を行う。減速前エンコーダは、減速前の回転電動モータに付属するエンコーダである。この場合、マーキング工程は、スケールをマーキングする。スケールは、回転電動モータの回転位置に対応して、減速後のエンコーダスケールが回転した位置にマーキングする。
さらに、モータは、リニアモータとすることができる。この場合、リニアモータの移動子の位置に対応して、スケールをマーキングする。
【発明の効果】
【0010】
本発明によれば、減速前と減速後のエンコーダの間に中心軸の位置ずれが生じる場合でも、角度誤差が生じにくいエンコーダ等を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本実施の形態が適用されるロボットシステムの全体構成の一例を示す図である。
【図2】（ａ）は、アクチュエータの斜視図である。（ｂ）は、（ａ）に示したアクチュエータの断面図である。
【図3】（ａ）は、モータの構成について示した図である。（ｂ）は、複数のコイルＣｏの結線の例について示した図である。
【図4】（ａ）～（ｂ）は、エンコーダミラーについて示した図である。
【図5】アクチュエータを制御するときの制御部の機能構成例について示したブロック図である。
【図6】第１の実施形態におけるスケールのマーキング方法について示したフローチャートである。
【図7】（ａ）は、図６のステップ１０２の通電モードについて示した図である。（ｂ）は、モータに発生する磁束の向きについて示した図である。（ｃ）は、エンコーダミラーにマーキングされる第１のスケールを示した図である。
【図8】（ａ）～（ｆ）は、極対数と第１のスケールをマーキングする範囲との関係を示した図である。
【図10】（ａ）～（ｂ）は、第１の実施形態でマーキングする第１のスケールと第２のスケールとの関係を示した図である。
【図11】第１の実施形態でモータやテーブルを制御する制御部の機能構成を示したブロック図である。
【図12】第２の実施形態におけるスケールのマーキング方法について示したフローチャートである。
【図14】第３の実施形態におけるスケールのマーキング方法について示したフローチャートである。
【図16】（ａ）は、２相ブラシレスモータの通電モードについて示した図である。（ｂ）は、このときマーキングされる第１のスケールを示した図である。
【図17】（ａ）～（ｂ）は、従来のエンコーダの検出結果について示した図である。
【図18】（ａ）は、減速機により減速前のエンコーダと減速後のエンコーダとの中心軸の位置ずれについて示した概念図である。（ｂ）は、中心軸の位置ずれが生じた場合に、減速前のエンコーダと減速後のエンコーダとの間で生じる角度誤差を示した図である。
【図19】（ａ）は、リニアモータについて示した図である。（ｂ）は、スケールを順次マーキングする様子を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態に限定するものではない。また、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。さらに、使用する図面は本実施の形態を説明するためのものであり、実際の大きさを表すものではない。
【0013】
＜ロボットシステム１の全体構成の説明＞
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本実施の形態が適用されるロボットシステム１の全体構成の一例を示す図である。
図示するロボットシステム１は、撮影装置１０と、画像処理装置２０と、ロボット３０とを備える。また、ロボットシステム１を構成するものではないが、ここでは部品Ｂが複数個箱に入っている様子を併せて図示している。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本実施の形態が適用されるロボットシステム１の全体構成の一例を示す図である。
図示するロボットシステム１は、撮影装置１０と、画像処理装置２０と、ロボット３０とを備える。また、ロボットシステム１を構成するものではないが、ここでは部品Ｂが複数個箱に入っている様子を併せて図示している。
【0014】
撮影装置１０は、部品Ｂの画像を撮影する。撮影装置１０は、例えば、複数の部品Ｂがバラ積みになった箱の中を上方から撮影し、撮影画像を作成する。
画像処理装置２０は、撮影装置１０が撮影した撮影画像を基に、部品Ｂの位置および姿勢を求める。
ロボット３０は、部品Ｂの把持を行う。ロボット３０は、実際に部品Ｂの把持を行うハンド３１と、ハンド３１の位置決めを行うアーム３２とを備える。また、ロボット３０は、ハンド３１およびアーム３２の動作を制御するロボット制御部３３を備える。さらに、ロボット３０は、ロボット制御部３３の制御により回転動作を行うアクチュエータ３４とを備える。
画像処理装置２０は、撮影装置１０が撮影した撮影画像を基に、部品Ｂの位置および姿勢を求める。
ロボット３０は、部品Ｂの把持を行う。ロボット３０は、実際に部品Ｂの把持を行うハンド３１と、ハンド３１の位置決めを行うアーム３２とを備える。また、ロボット３０は、ハンド３１およびアーム３２の動作を制御するロボット制御部３３を備える。さらに、ロボット３０は、ロボット制御部３３の制御により回転動作を行うアクチュエータ３４とを備える。
【0015】
以上説明したロボットシステム１は、次のように動作する。
まず撮影装置１０が部品Ｂの撮影画像を撮影する。この撮影画像は、画像処理装置２０が取得する。そして、画像処理装置２０が、この撮影画像を基に、部品Ｂの位置および姿勢を求める。さらに、画像処理装置２０が求めた部品Ｂの位置および姿勢は、ロボット３０のロボット制御部３３に送られる。ロボット制御部３３は、部品Ｂの位置および姿勢に基づき、ハンド３１とアーム３２とを制御し、部品Ｂの把持を行う。ロボット３０は、図示するアクチュエータ３４において、両矢印方向に回転可能である。そして、アクチュエータ３４を回転させることで、ハンド３１とアーム３２を部品Ｂを把持する位置に移動させることができる。部品Ｂが把持された後は、例えば、ロボット３０が、この部品Ｂを予め定められた位置に並べる。また、例えば、ロボット３０が、製品の組み立てを行うために、部品Ｂの組み付けを行う。
まず撮影装置１０が部品Ｂの撮影画像を撮影する。この撮影画像は、画像処理装置２０が取得する。そして、画像処理装置２０が、この撮影画像を基に、部品Ｂの位置および姿勢を求める。さらに、画像処理装置２０が求めた部品Ｂの位置および姿勢は、ロボット３０のロボット制御部３３に送られる。ロボット制御部３３は、部品Ｂの位置および姿勢に基づき、ハンド３１とアーム３２とを制御し、部品Ｂの把持を行う。ロボット３０は、図示するアクチュエータ３４において、両矢印方向に回転可能である。そして、アクチュエータ３４を回転させることで、ハンド３１とアーム３２を部品Ｂを把持する位置に移動させることができる。部品Ｂが把持された後は、例えば、ロボット３０が、この部品Ｂを予め定められた位置に並べる。また、例えば、ロボット３０が、製品の組み立てを行うために、部品Ｂの組み付けを行う。
【0016】
なお、ロボット３０は、部品Ｂを、把持したり組み付けを行うことが目的であったが、これに限られるものではない。例えば、ロボット３０を溶接を行う溶接ロボットとしてもよい。また、例えば、ロボット３０を搬送を行う搬送ロボットや塗装を行う塗装ロボットとしてもよい。また、ロボットシステム１は、撮影装置１０や画像処理装置２０を備えなくてもよい。この場合、ロボット３０は、決められた動作を、予め定められたシーケンスにより繰り返す。また、ロボットシステム１は、撮影装置１０や画像処理装置２０を、ロボット内部に備えていてもよい。例えば、ロボットシステム１は、撮影装置１０や画像処理装置２０を、アーム３２の先端（ハンド３１の位置）などに備えていてもよい。
さらに、ロボット３０は、予め定められた場所に固定される固定式のみならず、移動することができる移動式としてもよい。
さらに、ロボット３０は、予め定められた場所に固定される固定式のみならず、移動することができる移動式としてもよい。
【0017】
＜アクチュエータ３４の説明＞
図２（ａ）は、アクチュエータ３４の斜視図である。また、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示したアクチュエータ３４の断面図である。
図２（ａ）～（ｂ）に示すように、アクチュエータ３４は、モータ３４１と、減速機３４２と、回転軸３４３と、エンコーダ３４４とを備える。
図２（ａ）は、アクチュエータ３４の斜視図である。また、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示したアクチュエータ３４の断面図である。
図２（ａ）～（ｂ）に示すように、アクチュエータ３４は、モータ３４１と、減速機３４２と、回転軸３４３と、エンコーダ３４４とを備える。
【0018】
図３（ａ）は、モータ３４１の構成について示した図である。
モータ３４１は、回転電動モータであり、さらに具体的には、ブラシレスモータである。モータ３４１は、回転子３４１ａと、固定子３４１ｂとを備えている。
図示するように、回転子３４１ａは、固定子３４１ｂの内側に収容される。即ち、図示するモータ３４１は、いわゆるインナーロータ型のブラシレスモータである。回転子３４１ａは、固定子３４１ｂに電力を供給することで回転する。回転子３４１ａは、回転軸と、回転軸に装着されたメインマグネットとを備える。メインマグネットとしては、２極に着磁された円筒状の磁石を例示することができる。
固定子３４１ｂは、回転子３４１ａの周囲に配され、全体として円筒形状となる複数のコイルＣｏから構成される。そして、これらのコイルＣｏの端部が決められた組合せで接続されている。
モータ３４１は、回転電動モータであり、さらに具体的には、ブラシレスモータである。モータ３４１は、回転子３４１ａと、固定子３４１ｂとを備えている。
図示するように、回転子３４１ａは、固定子３４１ｂの内側に収容される。即ち、図示するモータ３４１は、いわゆるインナーロータ型のブラシレスモータである。回転子３４１ａは、固定子３４１ｂに電力を供給することで回転する。回転子３４１ａは、回転軸と、回転軸に装着されたメインマグネットとを備える。メインマグネットとしては、２極に着磁された円筒状の磁石を例示することができる。
固定子３４１ｂは、回転子３４１ａの周囲に配され、全体として円筒形状となる複数のコイルＣｏから構成される。そして、これらのコイルＣｏの端部が決められた組合せで接続されている。
【0019】
図３（ｂ）は、複数のコイルＣｏの結線の例について示した図である。
ここでは、コイルＣｏとして、６つのコイルＣｏ１～Ｃｏ６を結線する場合を示している。コイルＣｏ１～Ｃｏ６は、図３（ｂ）に示すように、接続する。即ち、コイルＣｏ３とコイルＣｏ６とを直列に接続する。また、コイルＣｏ５とコイルＣｏ２とを直列に接続する。さらに、コイルＣｏ１とコイルＣｏ４とを、直列に接続する。そして、コイルＣｏ３とコイルＣｏ６とから構成される相をＶ相とする。さらに、コイルＣｏ５とコイルＣｏ２とから構成される相をＵ相とする。またさらに、コイルＣｏ１とコイルＣｏ４とから構成される相をＷ相とする。この場合、コイルＣｏ６の一端がＶ相端子、コイルＣｏ２の一端が、Ｕ相端子、コイルＣｏ４の一端が、Ｗ相端子となる。そして、コイルＣｏ１、コイルＣｏ３、コイルＣｏ５の一端は、互いに接続され、中性点（中性点端子）Ｎとなる。これにより、コイルＣｏ１～Ｃｏ６は、三相スター結線コイルとなる。また、この結線は、スター結線と呼ばれる。この結線により、モータ３４１は、３相ブラシレスモータとして動作する。
なおここでは、スター結線について説明したが、これに限られるものではなく、デルタ結線であってもよい。
ここでは、コイルＣｏとして、６つのコイルＣｏ１～Ｃｏ６を結線する場合を示している。コイルＣｏ１～Ｃｏ６は、図３（ｂ）に示すように、接続する。即ち、コイルＣｏ３とコイルＣｏ６とを直列に接続する。また、コイルＣｏ５とコイルＣｏ２とを直列に接続する。さらに、コイルＣｏ１とコイルＣｏ４とを、直列に接続する。そして、コイルＣｏ３とコイルＣｏ６とから構成される相をＶ相とする。さらに、コイルＣｏ５とコイルＣｏ２とから構成される相をＵ相とする。またさらに、コイルＣｏ１とコイルＣｏ４とから構成される相をＷ相とする。この場合、コイルＣｏ６の一端がＶ相端子、コイルＣｏ２の一端が、Ｕ相端子、コイルＣｏ４の一端が、Ｗ相端子となる。そして、コイルＣｏ１、コイルＣｏ３、コイルＣｏ５の一端は、互いに接続され、中性点（中性点端子）Ｎとなる。これにより、コイルＣｏ１～Ｃｏ６は、三相スター結線コイルとなる。また、この結線は、スター結線と呼ばれる。この結線により、モータ３４１は、３相ブラシレスモータとして動作する。
なおここでは、スター結線について説明したが、これに限られるものではなく、デルタ結線であってもよい。
【0020】
減速機３４２は、モータ３４１の回転子３４１ａから出力される動力の回転数を減じる装置である。減速機３４２は、ギヤ（歯車）等から構成される。回転数は、減速機３４２により、予め定められた減速比にて減速される。
回転軸３４３は、減速機３４２から出力される動力により回転する。そしてこれにより、図１で示したロボット３０のアーム３２を動作させる。
回転軸３４３は、減速機３４２から出力される動力により回転する。そしてこれにより、図１で示したロボット３０のアーム３２を動作させる。
【0021】
エンコーダ３４４は、モータ３４１の移動位置を求めるための装置である。この場合、モータ３４１は回転を行うため、移動位置は回転位置となる。即ち、このエンコーダ３４４は、モータ３４１の回転の移動量（回転量）や角度（機械角）を検出することができるロータリーエンコーダである。エンコーダ３４４は、エンコーダミラー３４４ａと、エンコーダセンサ３４４ｂとを備える。
【0022】
図４（ａ）～（ｂ）は、エンコーダミラー３４４ａについて示した図である。
このうち図４（ａ）は、エンコーダミラー３４４ａの全体図である。また、図４（ｂ）は、エンコーダミラー３４４ａの一部を拡大した拡大図である。
エンコーダミラー３４４ａは、エンコーダスケールの一例である。エンコーダミラー３４４ａは、図４（ａ）に示すように、円環状をなす。そして、エンコーダミラー３４４ａは、モータ３４１に連動して回転する。また、エンコーダミラー３４４ａには、図４（ｂ）に示すように、複数のスケールＳｋがマーキングされている。スケールＳｋは、エンコーダミラー３４４ａの移動方向に沿って設けられる。この場合、エンコーダミラー３４４ａは、モータ３４１の回転に連動して回転する。そのため、スケールＳｋは、エンコーダミラー３４４ａの回転方向（周方向）に設けられる。
スケールＳｋは、例えば、エンコーダミラー３４４ａに印刷されている。また、スケールＳｋは、例えば、レーザマーキングやエッチングにより作成することもできる。この場合、エンコーダ３４４は、光学的にスケールＳｋを読み取る光学式となる。ただし、エンコーダ３４４は、光学式に限られるものではなく、マグネット式にすることもできる。この場合、スケールＳｋは、着磁することにより作成する。
このうち図４（ａ）は、エンコーダミラー３４４ａの全体図である。また、図４（ｂ）は、エンコーダミラー３４４ａの一部を拡大した拡大図である。
エンコーダミラー３４４ａは、エンコーダスケールの一例である。エンコーダミラー３４４ａは、図４（ａ）に示すように、円環状をなす。そして、エンコーダミラー３４４ａは、モータ３４１に連動して回転する。また、エンコーダミラー３４４ａには、図４（ｂ）に示すように、複数のスケールＳｋがマーキングされている。スケールＳｋは、エンコーダミラー３４４ａの移動方向に沿って設けられる。この場合、エンコーダミラー３４４ａは、モータ３４１の回転に連動して回転する。そのため、スケールＳｋは、エンコーダミラー３４４ａの回転方向（周方向）に設けられる。
スケールＳｋは、例えば、エンコーダミラー３４４ａに印刷されている。また、スケールＳｋは、例えば、レーザマーキングやエッチングにより作成することもできる。この場合、エンコーダ３４４は、光学的にスケールＳｋを読み取る光学式となる。ただし、エンコーダ３４４は、光学式に限られるものではなく、マグネット式にすることもできる。この場合、スケールＳｋは、着磁することにより作成する。
【0023】
エンコーダセンサ３４４ｂは、エンコーダミラー３４４ａのスケールＳｋを読み取り、スケールＳｋをカウントする。エンコーダセンサ３４４ｂは、エンコーダミラー３４４ａに対し光を照射する発光部を有する。発光部は、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等からなる。また、エンコーダセンサ３４４ｂは、エンコーダミラー３４４ａから反射した反射光を受光する受光部を有する。受光部は、フォトセンサ等からなる。反射光は、スケールＳｋが施されていない箇所と施された箇所とで明暗が生じる。そして、エンコーダセンサ３４４ｂは、反射光の明暗を検知し、電気信号とする。さらに、図示しないエンコーダセンサ基板が、この電気信号を基にスケールＳｋをカウントする。モータ３４１の起動後、エンコーダセンサ基板は、まずエンコーダミラー３４４ａの原点位置を検出する。そして、エンコーダセンサ基板は、原点の位置を０として、スケールＳｋをカウントする。これにより、モータ３４１の機械角を求めることができるとともに、絶対位置や相対位置の検出も行うことができる。よって、指定した位置にモータ３４１を回転させる制御が可能になり、アクチュエータ３４の制御ができる。
【0024】
なお、エンコーダセンサ３４４ｂが、一定の時間間隔毎にカウント数を検出することで、速度を検出することもできる。さらに、位相が１／４ずれた関係にある２通りのスケールＳｋをマーキングし、これを読み取ることで、回転方向を判断することができる。
本実施の形態では、モータ３４１の機械角を減速機３４２による減速前と減速後の２通りで検出する。即ち、エンコーダ３４４は、減速機３４２による減速前と減速後で、２つ備えられる。減速前と減速後の２つのエンコーダ３４４を用いる場合、エンコーダ３４４を２つとも絶対位置を用いるような使用方法とすることができる。また、減速後のエンコーダ３４４を位置検出に使用し、減速前のエンコーダ３４４を速度検出に用いるといった使用方法でもよい。その場合、減速前のエンコーダ３４４に関しては、前述した、起動直後の原点の位置検出を省略して用いることができる。
本実施の形態では、モータ３４１の機械角を減速機３４２による減速前と減速後の２通りで検出する。即ち、エンコーダ３４４は、減速機３４２による減速前と減速後で、２つ備えられる。減速前と減速後の２つのエンコーダ３４４を用いる場合、エンコーダ３４４を２つとも絶対位置を用いるような使用方法とすることができる。また、減速後のエンコーダ３４４を位置検出に使用し、減速前のエンコーダ３４４を速度検出に用いるといった使用方法でもよい。その場合、減速前のエンコーダ３４４に関しては、前述した、起動直後の原点の位置検出を省略して用いることができる。
【0025】
また、アクチュエータ３４は、ホールセンサをさらに備えることもできる。ホールセンサは、磁気センサである。磁気センサは、例えば、磁界の作用により電気的特性（抵抗）が変化するホール素子を有するホールＩＣである。ホールセンサを設けることで、モータ３４１の機械角の検出精度がさらに向上する。
【0026】
＜アクチュエータ３４の制御機構＞
図５は、アクチュエータ３４を制御するときのロボット制御部３３およびアクチュエータ３４の機能構成例について示したブロック図である。
ロボット制御部３３は、ハンド３１の先端が所定の位置になるように、アクチュエータ３４を制御するアクチュエータ制御部３４６に指令をする。なおここでは、アクチュエータ３４が３個である場合を示している。ロボット制御部３３は、ハンド３１の先端が所定の位置になるために、それぞれのアクチュエータ３４の回転位置（機械角）を求める。そして、それぞれのアクチュエータ３４のアクチュエータ制御部３４６に、求めた回転位置（機械角）になるように、指令をする。
アクチュエータ制御部３４６は、それぞれのアクチュエータ３４に設けられ、アクチュエータ３４を制御する。この場合、モータ３４１を指令された回転位置になるように、制御する。この際、上述したエンコーダ３４４を利用する。つまり、エンコーダ３４４のエンコーダセンサ３４４ｂにより検出された電気信号により、エンコーダセンサ基板３４５がスケールＳｋのカウント数を求める。そして、エンコーダセンサ基板３４５は、カウント数をアクチュエータ制御部３４６に送る。アクチュエータ制御部３４６は、このカウント数を基に、モータ３４１の回転位置を求め、制御する。
図５は、アクチュエータ３４を制御するときのロボット制御部３３およびアクチュエータ３４の機能構成例について示したブロック図である。
ロボット制御部３３は、ハンド３１の先端が所定の位置になるように、アクチュエータ３４を制御するアクチュエータ制御部３４６に指令をする。なおここでは、アクチュエータ３４が３個である場合を示している。ロボット制御部３３は、ハンド３１の先端が所定の位置になるために、それぞれのアクチュエータ３４の回転位置（機械角）を求める。そして、それぞれのアクチュエータ３４のアクチュエータ制御部３４６に、求めた回転位置（機械角）になるように、指令をする。
アクチュエータ制御部３４６は、それぞれのアクチュエータ３４に設けられ、アクチュエータ３４を制御する。この場合、モータ３４１を指令された回転位置になるように、制御する。この際、上述したエンコーダ３４４を利用する。つまり、エンコーダ３４４のエンコーダセンサ３４４ｂにより検出された電気信号により、エンコーダセンサ基板３４５がスケールＳｋのカウント数を求める。そして、エンコーダセンサ基板３４５は、カウント数をアクチュエータ制御部３４６に送る。アクチュエータ制御部３４６は、このカウント数を基に、モータ３４１の回転位置を求め、制御する。
【0027】
＜スケールＳｋのマーキング方法＞
次に、スケールＳｋをマーキングする方法について説明する。ここでは、スケールＳｋをマーキングする方法について、第１の実施形態～第４の実施形態により説明する。
次に、スケールＳｋをマーキングする方法について説明する。ここでは、スケールＳｋをマーキングする方法について、第１の実施形態～第４の実施形態により説明する。
【0028】
［第１の実施形態］
第１の実施形態では、第１のマーキング工程により、複数のスケールＳｋ（第１のスケールＳｋ１）をマーキングする。このとき、図３（ｂ）で説明したスター結線の通電状態を予め定められた通電モードにした状態で、マーキングを行う。そして、第２のマーキング工程により、これらの第１のスケールＳｋ１の間にさらにスケールＳｋ（第２のスケールＳｋ２）をマーキングする。第１の実施形態は、減速機３４２の減速前および減速後に使用されるエンコーダ３４４の何れにも適用が可能である。ただし、以後の説明では、減速前に使用されるエンコーダ３４４にスケールＳｋをマーキングする場合について説明する。
第１の実施形態では、第１のマーキング工程により、複数のスケールＳｋ（第１のスケールＳｋ１）をマーキングする。このとき、図３（ｂ）で説明したスター結線の通電状態を予め定められた通電モードにした状態で、マーキングを行う。そして、第２のマーキング工程により、これらの第１のスケールＳｋ１の間にさらにスケールＳｋ（第２のスケールＳｋ２）をマーキングする。第１の実施形態は、減速機３４２の減速前および減速後に使用されるエンコーダ３４４の何れにも適用が可能である。ただし、以後の説明では、減速前に使用されるエンコーダ３４４にスケールＳｋをマーキングする場合について説明する。
【0029】
図６は、第１の実施形態におけるスケールＳｋのマーキング方法について示したフローチャートである。
【0030】
まず、モータ３４１を、テーブル上に載置する（ステップ１０１：載置工程）。なお、モータ３４１には、エンコーダミラー３４４ａが予め備えられている。即ち、モータ３４１には、既にエンコーダミラー３４４ａが取り付けられている。そして、この状態で、モータ３４１を、テーブル上に載置する。このテーブルは、モータ３４１を、エンコーダミラー３４４ａの水平方向および回転方向に移動させることが可能である。
次に、スター結線の通電状態を予め定められた通電モードに設定する（ステップ１０２）。
そして、第１のスケールＳｋ１をマーキングする（ステップ１０３）。
次に、スター結線の通電状態を予め定められた通電モードに設定する（ステップ１０２）。
そして、第１のスケールＳｋ１をマーキングする（ステップ１０３）。
【0031】
図７（ａ）は、図６のステップ１０２の通電モードについて示した図である。また、図７（ｂ）は、このときモータ３４１に発生する磁束の向きについて示している。ここでは、通電モードや磁束の向きが、（１）～（６）の６通りあることを示している。さらに、図７（ｃ）は、このときエンコーダミラー３４４ａにマーキングされる第１のスケールＳｋ１を示している。
【0032】
（１）の場合、図７（ａ）に示すように、Ｖ相端子から中性点Ｎを経由してＵ相端子に向け通電を行う。その結果、図７（ｂ）で示した向きに、合成磁束が向く。そして、この合成磁束の変化に応じてモータ３４１の回転子３４１ａが回転する。さらにこれに連動して、エンコーダミラー３４４ａが回転する。そして、図７（ｃ）に示すように、エンコーダミラー３４４ａが回転した位置にスケールＳｋ１をマーキングする。
【0033】
（２）の場合、図７（ａ）に示すように、Ｖ相端子から中性点Ｎを経由してＷ相端子に向け通電を行う。その結果、図７（ｂ）に示した向きに、合成磁束が向く。そして、この合成磁束の変化に応じてモータ３４１の回転子３４１ａが回転する。またこれに連動して、エンコーダミラー３４４ａが回転する。そして、図７（ｃ）に示すように、エンコーダミラー３４４ａが回転した位置にスケールＳｋ１をマーキングする。
【0034】
以後、（３）の場合、Ｕ相端子から中性点Ｎを経由してＷ相端子に向け通電を行う。また、（４）では、Ｕ相端子から中性点Ｎを経由してＶ相端子に向け通電を行う。さらに、（５）では、Ｗ相端子から中性点Ｎを経由してＶ相端子に向け通電を行う。そして、（６）ではＷ相端子から中性点Ｎを経由してＵ相端子に向け通電を行う。
【0035】
その結果、それぞれ図７（ｂ）で示した向きに、合成磁束が向く。そして、これに応じてモータ３４１の回転子３４１ａが回転する。さらにこれに連動して、エンコーダミラー３４４ａが回転する。そして、図７（ｃ）に示すように、エンコーダミラー３４４ａが回転した位置にスケールＳｋ１をマーキングする。これは、予め定められた通電モードで通電することで、モータ３４１を予め定められた電気角にする。そして、エンコーダミラー３４４ａが回転した箇所に第１のスケールＳｋ１をマーキングする、と言うこともできる。さらに、予め定められた通電モードで通電することで、モータ３４１を予め定められた機械角とする。そして、エンコーダミラー３４４ａが回転した箇所に第１のスケールＳｋ１をマーキングする、と言うこともできる。
【0036】
上記（１）～（６）の通電モードで順に通電を行うと、電気角が１回転する。また、（６）で示したように、電気角が１回転すると、エンコーダミラー３４４ａは、第１のスケールＳｋ１の６個分回転する。これは、電気角３６０°（１回転）の移動量と考えることができる。上記（１）～（６）は、モータが１回転（機械角３６０°）するまで繰り返す。繰り返しの回数は、モータ３４１の極対数（＝電気角／機械角）で決まる。極対数が４である場合には、上記（１）～（６）を４回繰り返すことで、回転子３４１ａが１回転する。図７（ｃ）の場合は、極対数が４の場合であり、電気角３６０°（１回転）の移動量が、回転子３４１ａの１／４回転分となる。これは、機械角が９０°回転したと言うこともできる。そして、上記（１）～（６）を４回繰り返すことで、回転子３４１ａが１回転（機械角３６０°）する。そしてこれに伴い、エンコーダミラー３４４ａも１回転し、第１のスケールＳｋ１のマーキングが終了する。
【0037】
図８（ａ）～（ｆ）は、極対数と第１のスケールＳｋ１をマーキングする範囲との関係を示した図である。
このうち、図８（ａ）～（ｂ）は、極体数が３の場合について示している。図８（ｂ）に示すモータ３４１は、回転子３４１ａが、固定子３４１ｂの内側に収容される。即ち、モータ３４１は、インナーロータ型のブラシレスモータである。そして、回転子３４１ａには、メインマグネットとして、ＮＳの組が３となるように磁石が配される。この場合、極体数は、３である。そして、電気角３６０°（１回転）に対し、回転子３４１ａの回転子３４１ａが１／３回転する。これは、機械角が１２０°回転したと言うこともできる。つまり、電気角を３回転させることで、回転子３４１ａが１回転（機械角３６０°）する。これは、モータ３４１が１回転したと言うこともできる。そしてこれに伴い、エンコーダミラー３４４ａも１回転する。
このうち、図８（ａ）～（ｂ）は、極体数が３の場合について示している。図８（ｂ）に示すモータ３４１は、回転子３４１ａが、固定子３４１ｂの内側に収容される。即ち、モータ３４１は、インナーロータ型のブラシレスモータである。そして、回転子３４１ａには、メインマグネットとして、ＮＳの組が３となるように磁石が配される。この場合、極体数は、３である。そして、電気角３６０°（１回転）に対し、回転子３４１ａの回転子３４１ａが１／３回転する。これは、機械角が１２０°回転したと言うこともできる。つまり、電気角を３回転させることで、回転子３４１ａが１回転（機械角３６０°）する。これは、モータ３４１が１回転したと言うこともできる。そしてこれに伴い、エンコーダミラー３４４ａも１回転する。
【0038】
また、図８（ｃ）～（ｄ）は、極体数が４の場合について示している。これは、図７に示した場合と同様である。図８（ｄ）に示すモータ３４１は、回転子３４１ａが、固定子３４１ｂの外周側に配される。即ち、モータ３４１は、アウターロータ型のブラシレスモータである。そして、回転子３４１ａには、メインマグネットとして、ＮＳの組が４となるように磁石が配される。この場合、極体数は、４である。そして、上述したように、電気角３６０°（１回転）に対し、回転子３４１ａの回転子３４１ａが１／４回転する。これは、機械角が９０°回転したと言うこともできる。つまり、電気角を４回転させることで、回転子３４１ａが１回転（機械角３６０°）する。これは、モータ３４１が１回転したと言うこともできる。そしてこれに伴い、エンコーダミラー３４４ａも１回転する。
【0039】
さらに、図８（ｅ）～（ｆ）は、極体数が７の場合について示している。図８（ｄ）に示すモータ３４１は、回転子３４１ａが、固定子３４１ｂの外周側に配される。即ち、モータ３４１は、アウターロータ型のブラシレスモータである。そして、回転子３４１ａには、メインマグネットとして、ＮＳの組が７となるように磁石が配される。この場合、極体数は、７である。そして、電気角３６０°（１回転）に対し、回転子３４１ａの回転子３４１ａが１／７回転する。これは、機械角が３６０°／７回転したと言うこともできる。つまり、電気角を７回転させることで、回転子３４１ａが１回転（機械角３６０°）する。これは、モータ３４１が１回転したと言うこともできる。そしてこれに伴い、エンコーダミラー３４４ａも１回転する。
【0040】
図６に戻り、モータ３４１が１回転したか否かを判断する（ステップ１０４）。即ち、（１）～（６）の通電モードを極対数と同じ回数分行ったか否かを判断する。
その結果、モータ３４１が１回転していない場合（ステップ１０４でＮｏ）、ステップ１０２に戻る。
対して、モータ３４１が１回転した場合（ステップ１０４でＹｅｓ）、ステップ１０５に移行する。ステップ１０２～ステップ１０４は、第１のスケールＳｋ１をマーキングする第１のマーキング工程であると捉えることができる。第１のマーキング工程では、モータ３４１を動作させるコイルＣｏに予め定められた通電モードで通電する。そして、このときエンコーダミラー３４４ａが回転した箇所に、第１のスケールＳｋ１をマーキングする。
その結果、モータ３４１が１回転していない場合（ステップ１０４でＮｏ）、ステップ１０２に戻る。
対して、モータ３４１が１回転した場合（ステップ１０４でＹｅｓ）、ステップ１０５に移行する。ステップ１０２～ステップ１０４は、第１のスケールＳｋ１をマーキングする第１のマーキング工程であると捉えることができる。第１のマーキング工程では、モータ３４１を動作させるコイルＣｏに予め定められた通電モードで通電する。そして、このときエンコーダミラー３４４ａが回転した箇所に、第１のスケールＳｋ１をマーキングする。
【0041】
第１のマーキング工程は、１つの通電モードについて、複数回通電してもよい。即ち、例えば、（１）の場合、Ｖ相端子から中性点Ｎを経由してＵ相端子に向け通電を行うことを複数回繰り返す。そして、第１のスケールＳｋ１をマーキングする箇所の位置決めを行う。これにより、位置決めの精度がより向上する。
また、第１のマーキング工程は、１つの通電モードについて、モータ３４１を正転および逆転の双方で通電してもよい。そして、第１のスケールＳｋ１をマーキングする箇所の位置決めを行う。これにより、位置決めの精度がより向上する。
また、第１のマーキング工程は、１つの通電モードについて、モータ３４１を正転および逆転の双方で通電してもよい。そして、第１のスケールＳｋ１をマーキングする箇所の位置決めを行う。これにより、位置決めの精度がより向上する。
【0042】
ステップ１０５では、テーブルを第１のスケールＳｋ１の位置に応じ移動することで、モータ３４１を水平方向および回転方向に移動する（ステップ１０５）。つまり、テーブルを移動することで、エンコーダミラー３４４ａを、既にマーキングした第１のスケールＳｋ１の位置に併せ、所定の位置に移動する。
そして、第２のスケールＳｋ２をマーキングする（ステップ１０６）。
そして、第２のスケールＳｋ２をマーキングする（ステップ１０６）。
【0043】
さらに、モータ３４１が１回転したか否かを判断する（ステップ１０７）。
その結果、モータ３４１が１回転していない場合（ステップ１０７でＮｏ）、ステップ１０５に戻る。
対して、モータ３４１が１回転した場合（ステップ１０７でＹｅｓ）、一連の処理を終了する。
その結果、モータ３４１が１回転していない場合（ステップ１０７でＮｏ）、ステップ１０５に戻る。
対して、モータ３４１が１回転した場合（ステップ１０７でＹｅｓ）、一連の処理を終了する。
【0044】
図９（ａ）～（ｋ）は、図６のステップ１０５～ステップ１０６の具体的な動作例について示した図である。なお、図９（ａ）～（ｋ）では、第２のスケールＳｋ２のマーキングの様子がわかりやすいように、第１のスケールＳｋ１を省いた図としている。
図９（ａ）は、ステップ１０５を行う前のエンコーダミラー３４４ａの状態を示している。図示するように、モータ３４１は、テーブル１００上に載置されている。モータ３４１には、エンコーダミラー３４４ａが予め備えられる。このテーブル１００は、エンコーダミラー３４４ａの水平方向であるｘ方向およびｙ方向に移動可能である。また、テーブル１００は、中心軸Ｃを中心にθ方向に回転可能である。このとき、減速前のエンコーダに使用されるエンコーダミラー３４４ａにマーキングする場合は、減速機３４２は入らない。対して、減速後のエンコーダに使用されるエンコーダミラー３４４ａにマーキングする場合は、減速機３４２がモータ３４１とテーブル１００の間に入る。また、テーブル１００に回転機構を設け、中心軸Ｃを中心に回転させるようにしてもよい。この場合、適切なカップリング機構を用いて、ｘ方向およびｙ方向の位置ずれを吸収することが好ましい。
図９（ａ）は、ステップ１０５を行う前のエンコーダミラー３４４ａの状態を示している。図示するように、モータ３４１は、テーブル１００上に載置されている。モータ３４１には、エンコーダミラー３４４ａが予め備えられる。このテーブル１００は、エンコーダミラー３４４ａの水平方向であるｘ方向およびｙ方向に移動可能である。また、テーブル１００は、中心軸Ｃを中心にθ方向に回転可能である。このとき、減速前のエンコーダに使用されるエンコーダミラー３４４ａにマーキングする場合は、減速機３４２は入らない。対して、減速後のエンコーダに使用されるエンコーダミラー３４４ａにマーキングする場合は、減速機３４２がモータ３４１とテーブル１００の間に入る。また、テーブル１００に回転機構を設け、中心軸Ｃを中心に回転させるようにしてもよい。この場合、適切なカップリング機構を用いて、ｘ方向およびｙ方向の位置ずれを吸収することが好ましい。
【0045】
次に、図９（ｂ）で示すように、テーブル１００上に載置したエンコーダミラー３４４ａをカメラ１１０で撮影する。図９（ｆ）は、このとき、カメラ１１０で撮影されたカメラ画像である。ここでは、カメラ１１０で撮影した実画像と、この実画像を合わせる対象となるターゲット画像が表示されている。そして、図９（ｃ）で示すように、テーブル１００を、ｘ方向、ｙ方向、θ方向に移動させ、実画像をターゲット画像に合わせる。図９（ｇ）は、このとき撮影された画像であり、実画像をターゲット画像に合わせる様子を示している。そして、図９（ｈ）に示すように、実画像がターゲット画像に合い、両者は重なる。図９（ｂ）～（ｃ）、（ｆ）～（ｈ）は、ステップ１０５に対応する。
【0046】
【0047】
また、図９（ｅ）、（ｊ）は、２個目の第２のスケールＳｋ２をマーキングしたことを示す。さらに、図９（ｋ）は、３個目の第２のスケールＳｋ２をマーキングしたことを示す。
図９（ｄ）～（ｅ）、（ｉ）～（ｋ）は、ステップ１０６に対応する。
図９（ｄ）～（ｅ）、（ｉ）～（ｋ）は、ステップ１０６に対応する。
【0048】
図１０（ａ）～（ｂ）は、第１の実施形態でマーキングする第１のスケールＳｋ１と第２のスケールＳｋ２との関係を示した図である。
第１の実施形態では、第２のスケールＳｋ２は、第１のマーキング工程でマーキングされた一対の第１のスケールＳｋ１の間にマーキングされる。図１０（ａ）では、一対の第１のスケールＳｋ１の間に１つの第２のスケールＳｋ２をマーキングした場合を示している。この場合、第２のスケールＳｋ２は、一対の第１のスケールＳｋ１の中間の箇所にマーキングされる。また、一対の第１のスケールＳｋ１の間に複数の第２のスケールＳｋ２をマーキングしてもよい。図１０（ｂ）では、一対の第１のスケールＳｋ１の間に２つの第２のスケールＳｋ２をマーキングした場合を示している。この場合、第２のスケールＳｋ２は、一対の第１のスケールＳｋ１の間を３等分した箇所にマーキングされる。即ち、第２のスケールＳｋ２を一対の第１のスケールＳｋ１の間にＮ個設ける場合は、Ｎ＋１等分した角度位置を求める。そして、この角度位置に、第２のスケールＳｋ２をそれぞれマーキングする。
第１の実施形態では、第２のスケールＳｋ２は、第１のマーキング工程でマーキングされた一対の第１のスケールＳｋ１の間にマーキングされる。図１０（ａ）では、一対の第１のスケールＳｋ１の間に１つの第２のスケールＳｋ２をマーキングした場合を示している。この場合、第２のスケールＳｋ２は、一対の第１のスケールＳｋ１の中間の箇所にマーキングされる。また、一対の第１のスケールＳｋ１の間に複数の第２のスケールＳｋ２をマーキングしてもよい。図１０（ｂ）では、一対の第１のスケールＳｋ１の間に２つの第２のスケールＳｋ２をマーキングした場合を示している。この場合、第２のスケールＳｋ２は、一対の第１のスケールＳｋ１の間を３等分した箇所にマーキングされる。即ち、第２のスケールＳｋ２を一対の第１のスケールＳｋ１の間にＮ個設ける場合は、Ｎ＋１等分した角度位置を求める。そして、この角度位置に、第２のスケールＳｋ２をそれぞれマーキングする。
【0049】
さらに、一対の第１のスケールＳｋ１の間に第２のスケールＳｋ２をマーキングする工程を複数回行ってもよい。例えば、一対の第１のスケールＳｋ１の中間の箇所に第２のスケールＳｋ２をマーキングする。次に、第１のスケールＳｋ１と第２のスケールＳｋ２との中間の箇所にさらに第２のスケールＳｋ２をマーキングする。これにより、一対の第１のスケールＳｋ１の間が４等分され、第２のスケールＳｋ２が３個マーキングされる。この方法によれば、スケールＳｋを徐々に高分解能化することができる。
なお、上述した例では、カメラ１１０により第１のスケールＳｋ１を検出する。そして検出した第１のスケールＳｋ１の位置を基に第２のスケールＳｋ２をマーキングした。ただし、第１のスケールＳｋ１ではなく、これに準ずるマーカなどを検出してもよい。
なお、上述した例では、カメラ１１０により第１のスケールＳｋ１を検出する。そして検出した第１のスケールＳｋ１の位置を基に第２のスケールＳｋ２をマーキングした。ただし、第１のスケールＳｋ１ではなく、これに準ずるマーカなどを検出してもよい。
【0050】
また、ステップ１０５～ステップ１０６は、第１のマーキング工程でマーキングされた第１のスケールＳｋ１に加え、さらに第２のスケールＳｋ２をマーキングする第２のマーキング工程であると捉えることができる。
さらに、第１のマーキング工程および第２のマーキング工程は、スケールＳｋをマーキングするマーキング工程であると捉えることができる。このマーキング工程では、モータ３４１を動作させたときに、モータ３４１の予め定められた移動位置に対応してマーキングする。
さらに、第１のマーキング工程および第２のマーキング工程は、スケールＳｋをマーキングするマーキング工程であると捉えることができる。このマーキング工程では、モータ３４１を動作させたときに、モータ３４１の予め定められた移動位置に対応してマーキングする。
【0051】
モータ３４１には、エンコーダミラー３４４ａが予め備えられている。そして、この状態で、モータ３４１を、テーブル１００上に載置する。さらに、ステップ１０２～ステップ１０３で、モータ３４１を回転させる。モータ３４１は、上述したように、予め定められた通電モードにすることで回転する。そしてこれに応じて回転したエンコーダミラー３４４ａに第１のスケールＳｋ１をマーキングする。また、ステップ１０５～ステップ１０６では、エンコーダミラー３４４ａの画像を元にテーブル１００にて位置合わせを行う。そして、第１のスケールＳｋ１の間に第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
【0052】
なお、上述した例では、テーブル１００を用いて第２のマーキング工程を行ったが、テーブル１００を必ずしも用いる必要はない。例えば、減速後のエンコーダミラー３４４ａに対してマーキングを行う場合、減速前のエンコーダミラー３４４ａを用いたモータ制御を行う。また、テーブル以外の高精度に位置調整できるような機構を用いてもよい。この機構としては、例えば、高精度モータを用いて位置調整を行う機構が挙げられる。
また、例えば、カメラ１１０を用いず、治具により機械的にテーブル１００の位置決めをする方法でもよい。また、ステップ１０７では、モータ３４１が１回転したか否かを判断していたが、所定の分解能に達したか否かにより判断してもよい。
また、例えば、カメラ１１０を用いず、治具により機械的にテーブル１００の位置決めをする方法でもよい。また、ステップ１０７では、モータ３４１が１回転したか否かを判断していたが、所定の分解能に達したか否かにより判断してもよい。
【0053】
図１１は、第１の実施形態でモータ３４１やテーブル１００を制御する制御装置１５０の機能構成を示したブロック図である。
制御装置１５０は、状態制御部１５１と、位置制御部１５２と、位置情報取得部１５３と、テーブル制御部１５４と、モータ制御部１５５と、マーキング制御部１５６とを備える。
状態制御部１５１は、アクチュエータ情報などのConfiguration情報を基に、工程の管理を行う。工程は、例えば、上記第１のマーキング工程、載置工程、第２のマーキング工程である。また、状態制御部１５１は、位置制御部１５２に対して、次に移動する位置を指定する。さらに、状態制御部１５１は、マーキング制御部１５６に対して、スケールＳｋのマーキングを指示する。
位置制御部１５２は、状態制御部１５１からの要求に対して、モータ３４１やテーブル１００の位置制御を行う。位置制御部１５２は、第１のマーキング工程で、モータ制御部１５５に対して、通電モードを指定する。位置制御部１５２は、第２のマーキング工程で、必要に応じ位置情報取得部１５３からの現在の位置を取得する。そして、位置制御部１５２は、この位置の情報に基づき、モータ３４１の制御やテーブル１００の位置を制御する。
制御装置１５０は、状態制御部１５１と、位置制御部１５２と、位置情報取得部１５３と、テーブル制御部１５４と、モータ制御部１５５と、マーキング制御部１５６とを備える。
状態制御部１５１は、アクチュエータ情報などのConfiguration情報を基に、工程の管理を行う。工程は、例えば、上記第１のマーキング工程、載置工程、第２のマーキング工程である。また、状態制御部１５１は、位置制御部１５２に対して、次に移動する位置を指定する。さらに、状態制御部１５１は、マーキング制御部１５６に対して、スケールＳｋのマーキングを指示する。
位置制御部１５２は、状態制御部１５１からの要求に対して、モータ３４１やテーブル１００の位置制御を行う。位置制御部１５２は、第１のマーキング工程で、モータ制御部１５５に対して、通電モードを指定する。位置制御部１５２は、第２のマーキング工程で、必要に応じ位置情報取得部１５３からの現在の位置を取得する。そして、位置制御部１５２は、この位置の情報に基づき、モータ３４１の制御やテーブル１００の位置を制御する。
【0054】
位置情報取得部１５３は、状態制御部１５１の要求に応じて、位置情報を取得するカメラ１１０等のデバイスを制御する。そして、位置情報取得部１５３は、テーブル１００上のエンコーダミラー３４４ａの位置を取得する。
テーブル制御部１５４は、状態制御部１５１の要求に応じて、テーブル１００の制御を行う。なお、テーブル１００にテーブル１００の位置等を検出するセンサ等を設け、そのセンサによる情報も活用してもよい。このセンサとしては、測距センサ、カラーセンサ、レーザセンサなどが挙げられる。
モータ制御部１５５は、状態制御部１５１からの要求に応じて、モータ３４１の制御を行う。
マーキング制御部１５６は、状態制御部１５１からの要求に応じて、プリンタ１２０を制御し、スケールＳｋのマーキングを行う。
テーブル制御部１５４は、状態制御部１５１の要求に応じて、テーブル１００の制御を行う。なお、テーブル１００にテーブル１００の位置等を検出するセンサ等を設け、そのセンサによる情報も活用してもよい。このセンサとしては、測距センサ、カラーセンサ、レーザセンサなどが挙げられる。
モータ制御部１５５は、状態制御部１５１からの要求に応じて、モータ３４１の制御を行う。
マーキング制御部１５６は、状態制御部１５１からの要求に応じて、プリンタ１２０を制御し、スケールＳｋのマーキングを行う。
【0055】
［第２の実施形態］
第２の実施形態では、第１のマーキング工程により、エンコーダミラー３４４ａの原点位置に対してスケールＳｋをマーキングする。そして、他のスケールＳｋは、第２のマーキング工程によりマーキングする。第２の実施形態は、減速機３４２の減速前および減速前に使用されるエンコーダ３４４の何れにも適用が可能である。
第２の実施形態では、第１のマーキング工程により、エンコーダミラー３４４ａの原点位置に対してスケールＳｋをマーキングする。そして、他のスケールＳｋは、第２のマーキング工程によりマーキングする。第２の実施形態は、減速機３４２の減速前および減速前に使用されるエンコーダ３４４の何れにも適用が可能である。
【0056】
図１２は、第２の実施形態におけるスケールＳｋのマーキング方法について示したフローチャートである。
まず、モータ３４１を、テーブル１００上に載置する（ステップ２０１）。ステップ２０１は、図６のステップ１０１と同様であり、載置工程である。第１の実施形態の場合と同様に、モータ３４１には、エンコーダミラー３４４ａが予め備えられる。
次に、スター結線の通電状態を予め定められた通電モードに設定する。そして、この位置が、エンコーダミラー３４４ａの原点位置となる（ステップ２０２）。
そして、第１のスケールＳｋ１をマーキングする（ステップ２０３）。即ち、エンコーダミラー３４４ａの原点位置に対してスケールＳｋ１をマーキングする。またこの場合、第１のマーキング工程は、モータ３４１の機械角を定める原点となる第１のスケールＳｋ１をマーキングする、と言うこともできる。
まず、モータ３４１を、テーブル１００上に載置する（ステップ２０１）。ステップ２０１は、図６のステップ１０１と同様であり、載置工程である。第１の実施形態の場合と同様に、モータ３４１には、エンコーダミラー３４４ａが予め備えられる。
次に、スター結線の通電状態を予め定められた通電モードに設定する。そして、この位置が、エンコーダミラー３４４ａの原点位置となる（ステップ２０２）。
そして、第１のスケールＳｋ１をマーキングする（ステップ２０３）。即ち、エンコーダミラー３４４ａの原点位置に対してスケールＳｋ１をマーキングする。またこの場合、第１のマーキング工程は、モータ３４１の機械角を定める原点となる第１のスケールＳｋ１をマーキングする、と言うこともできる。
【0057】
ステップ２０４～ステップ２０６は、図６のステップ１０５～ステップ１０７と同様であり、第２のマーキング工程である。
だだし、第２のマーキング工程では、予めマーキングされた第１のスケールＳｋ１の間に第２のスケールＳｋ２をマーキングするのではない。この場合、テーブル１００を、原点にマーキングされた第１のスケールＳｋ１を基に、中心軸Ｃを中心にθ方向に順次回転させる。そして、第２のスケールＳｋ２をマーキングしていく。即ち、第２のスケールＳｋ２は、一定の間隔でマーキングされる。また、第２のスケールＳｋ２は、一定の角度毎にマーキングされる、と言ってもよい。
だだし、第２のマーキング工程では、予めマーキングされた第１のスケールＳｋ１の間に第２のスケールＳｋ２をマーキングするのではない。この場合、テーブル１００を、原点にマーキングされた第１のスケールＳｋ１を基に、中心軸Ｃを中心にθ方向に順次回転させる。そして、第２のスケールＳｋ２をマーキングしていく。即ち、第２のスケールＳｋ２は、一定の間隔でマーキングされる。また、第２のスケールＳｋ２は、一定の角度毎にマーキングされる、と言ってもよい。
【0058】
図１３（ａ）～（ｇ）は、図１２のステップ２０２～ステップ２０５の具体的な動作例について示した図である。
図１３（ａ）は、図１２のステップ２０２の通電モードおよびこのときマーキングされる第１のスケールＳｋ１を示している。
通電モードとして、Ｗ相端子から中性点Ｎを経由してＵ相端子に向け通電を行う。そしてこのとき、モータ３４１が回転した位置にスケールＳｋ１をマーキングする。図１３（ａ）は、図１２のステップ２０２～ステップ２０３に対応する。
そして、図１３（ｂ）で示すように、テーブル１００上に載置したモータ３４１に備えられるエンコーダミラー３４４ａをカメラ１１０で撮影する。さらに、図１３（ｅ）で示すように、実画像をターゲット画像に合わせる。そして、図１３（ｅ）で示すように、プリンタ１２０を用いて第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
次に、図１３（ｃ）、（ｆ）で示すように、テーブル１００を回転させ、２つ目の第２のスケールＳｋ２をマーキングする。さらに、図１３（ｄ）、（ｇ）で示すように、テーブル１００を回転させ、３つ目の第２のスケールＳｋ２をマーキングする。そして、これを以後繰り返す。図１３（ｂ）～（ｇ）は、図１２のステップ２０４～ステップ２０５に対応する。これにより、第２のマーキング工程は、原点となる第１のスケールＳｋ１以外のマーキングである第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
図１３（ａ）は、図１２のステップ２０２の通電モードおよびこのときマーキングされる第１のスケールＳｋ１を示している。
通電モードとして、Ｗ相端子から中性点Ｎを経由してＵ相端子に向け通電を行う。そしてこのとき、モータ３４１が回転した位置にスケールＳｋ１をマーキングする。図１３（ａ）は、図１２のステップ２０２～ステップ２０３に対応する。
そして、図１３（ｂ）で示すように、テーブル１００上に載置したモータ３４１に備えられるエンコーダミラー３４４ａをカメラ１１０で撮影する。さらに、図１３（ｅ）で示すように、実画像をターゲット画像に合わせる。そして、図１３（ｅ）で示すように、プリンタ１２０を用いて第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
次に、図１３（ｃ）、（ｆ）で示すように、テーブル１００を回転させ、２つ目の第２のスケールＳｋ２をマーキングする。さらに、図１３（ｄ）、（ｇ）で示すように、テーブル１００を回転させ、３つ目の第２のスケールＳｋ２をマーキングする。そして、これを以後繰り返す。図１３（ｂ）～（ｇ）は、図１２のステップ２０４～ステップ２０５に対応する。これにより、第２のマーキング工程は、原点となる第１のスケールＳｋ１以外のマーキングである第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
【0059】
［第３の実施形態］
第１の実施形態～第２の実施形態では、減速機３４２の減速前および減速後に使用されるエンコーダ３４４の何れにも適用が可能である。一方、第３の実施形態では、減速後に使用されるエンコーダ３４４に適用される。第３の実施形態では、スケールＳｋを全て第２のマーキング工程によりマーキングする。
図１４は、第３の実施形態におけるスケールＳｋのマーキング方法について示したフローチャートである。
ステップ３０１は、図１２のステップ２０１と同様であり、載置工程である。ステップ３０２～ステップ３０３は、図１２のステップ２０４～ステップ２０５と同様であり、第２のマーキング工程である。
この第２のマーキング工程では、モータ３４１を予め定められた回転量ずつ回転させる。そしてこれに応じ、減速機３４２を介してエンコーダミラー３４４ａが中心軸Ｃを中心にθ方向に順次回転していく。そして、この回転した位置で、第２のスケールＳｋ２をマーキングする。モータ３４１の回転量は、減速機３４２による減速前のモータ３４１の機械角を検出するエンコーダを使用することで検出できる。減速前のエンコーダ３４４より、減速後のエンコーダ３４４の分解能を高くする場合には、次のようにする。即ち、減速前のエンコーダ３４４を用いたモータ３４１の制御により、第１のスケールＳｋ１をマーキングする。そしてその後に、第１の実施形態のように、テーブル１００とカメラ１１０を用いて、第１のスケールＳｋ１間に第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
第１の実施形態～第２の実施形態では、減速機３４２の減速前および減速後に使用されるエンコーダ３４４の何れにも適用が可能である。一方、第３の実施形態では、減速後に使用されるエンコーダ３４４に適用される。第３の実施形態では、スケールＳｋを全て第２のマーキング工程によりマーキングする。
図１４は、第３の実施形態におけるスケールＳｋのマーキング方法について示したフローチャートである。
ステップ３０１は、図１２のステップ２０１と同様であり、載置工程である。ステップ３０２～ステップ３０３は、図１２のステップ２０４～ステップ２０５と同様であり、第２のマーキング工程である。
この第２のマーキング工程では、モータ３４１を予め定められた回転量ずつ回転させる。そしてこれに応じ、減速機３４２を介してエンコーダミラー３４４ａが中心軸Ｃを中心にθ方向に順次回転していく。そして、この回転した位置で、第２のスケールＳｋ２をマーキングする。モータ３４１の回転量は、減速機３４２による減速前のモータ３４１の機械角を検出するエンコーダを使用することで検出できる。減速前のエンコーダ３４４より、減速後のエンコーダ３４４の分解能を高くする場合には、次のようにする。即ち、減速前のエンコーダ３４４を用いたモータ３４１の制御により、第１のスケールＳｋ１をマーキングする。そしてその後に、第１の実施形態のように、テーブル１００とカメラ１１０を用いて、第１のスケールＳｋ１間に第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
【0060】
図１５（ａ）～（ｆ）は、図１４のステップ３０２～ステップ３０３の具体的な動作例について示した図である。
まず、図１５（ａ）で示すように、テーブル１００上に載置したエンコーダミラー３４４ａをカメラ１１０で撮影する。次に、図１５（ｄ）で示すように、実画像をターゲット画像に合わせる。そして、図１５（ｄ）で示すように、プリンタ１２０を用いて第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
次に、図１５（ｂ）、（ｅ）で示すように、モータ３４１またはテーブル１００を回転させ、２つ目の第２のスケールＳｋ２をマーキングする。さらに、図１５（ｃ）、（ｆ）で示すように、テーブル１００を回転させ、３つ目の第２のスケールＳｋ２をマーキングする。そして、これを繰り返す。図１５（ａ）～（ｆ）は、図１４のステップ３０２～ステップ３０３に対応する。
まず、図１５（ａ）で示すように、テーブル１００上に載置したエンコーダミラー３４４ａをカメラ１１０で撮影する。次に、図１５（ｄ）で示すように、実画像をターゲット画像に合わせる。そして、図１５（ｄ）で示すように、プリンタ１２０を用いて第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
次に、図１５（ｂ）、（ｅ）で示すように、モータ３４１またはテーブル１００を回転させ、２つ目の第２のスケールＳｋ２をマーキングする。さらに、図１５（ｃ）、（ｆ）で示すように、テーブル１００を回転させ、３つ目の第２のスケールＳｋ２をマーキングする。そして、これを繰り返す。図１５（ａ）～（ｆ）は、図１４のステップ３０２～ステップ３０３に対応する。
【0061】
また、ステップ３０４では、モータ３４１が、減速機３４２の減速比分回転したか否かを判断する（ステップ３０４）。即ち、エンコーダミラー３４４ａが１回転したが否かを判断する。
その結果、モータ３４１が減速比分回転していない場合（ステップ３０４でＮｏ）、ステップ３０２に戻る。
対して、モータ３４１が減速比分回転した場合（ステップ３０４でＹｅｓ）、一連の処理を終了する。
その結果、モータ３４１が減速比分回転していない場合（ステップ３０４でＮｏ）、ステップ３０２に戻る。
対して、モータ３４１が減速比分回転した場合（ステップ３０４でＹｅｓ）、一連の処理を終了する。
【0062】
第３の実施形態では、第１のマーキング工程を行わない。第３の実施形態では、減速前のモータ３４１に付属するエンコーダである減速前エンコーダにより、モータ３４１の回転位置の制御を行う。そして、第２のマーキング工程は、モータ３４１の回転位置に対応して、減速後のエンコーダミラー３４４ａが回転した位置に対し第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
【0063】
［第４の実施形態］
上述した例では、モータ３４１は、３相ブラシレスモータであった。対して、第４の実施形態では、モータ３４１として２相ブラシレスモータを使用する。第４の実施形態のスケールＳｋのマーキング方法は、図６と同様である。第４の実施形態は、減速機３４２の減速前および減速後に使用されるエンコーダ３４４の何れにも適用が可能である。ただし、以後の説明では、減速前に使用されるエンコーダ３４４にスケールＳｋをマーキングする場合について説明する。
上述した例では、モータ３４１は、３相ブラシレスモータであった。対して、第４の実施形態では、モータ３４１として２相ブラシレスモータを使用する。第４の実施形態のスケールＳｋのマーキング方法は、図６と同様である。第４の実施形態は、減速機３４２の減速前および減速後に使用されるエンコーダ３４４の何れにも適用が可能である。ただし、以後の説明では、減速前に使用されるエンコーダ３４４にスケールＳｋをマーキングする場合について説明する。
【0064】
図１６（ａ）は、２相ブラシレスモータの通電モードについて示した図である。また、図１６（ｂ）は、このときマーキングされる第１のスケールＳｋ１を示している。
（１）の場合、図１６（ａ）に示すように、磁束の向きにモータ３４１の回転子３４１ａに装着されたメインマグネットが向く。即ち、図中上方にＮ極が向く。またこれに連動して、エンコーダミラー３４４ａが回転する。そして、図１６（ｂ）で示すように、回転した位置に第１のスケールＳｋ１をマーキングする。
（１）の場合、図１６（ａ）に示すように、磁束の向きにモータ３４１の回転子３４１ａに装着されたメインマグネットが向く。即ち、図中上方にＮ極が向く。またこれに連動して、エンコーダミラー３４４ａが回転する。そして、図１６（ｂ）で示すように、回転した位置に第１のスケールＳｋ１をマーキングする。
【0065】
（２）の場合、図１６（ａ）に示すように、磁束の向きにモータ３４１の回転子３４１ａに装着されたメインマグネットが向く。即ち、回転子３４１ａが１／４回転し、図中右方にＮ極が向く。またこれに連動して、エンコーダミラー３４４ａが回転する。そして、図１６（ｂ）で示すように、回転した位置に第１のスケールＳｋ１をマーキングする。
【0066】
（３）の場合、図１６（ａ）に示すように、磁束の向きにモータ３４１の回転子３４１ａに装着されたメインマグネットが向く。即ち、回転子３４１ａが１／４回転し、図中下方にＮ極が向く。またこれに連動して、エンコーダミラー３４４ａが回転する。そして、図１６（ｂ）で示すように、回転した位置に第１のスケールＳｋ１をマーキングする。
【0067】
（４）の場合、図１６（ａ）に示すように、磁束の向きにモータ３４１の回転子３４１ａに装着されたメインマグネットが向く。即ち、回転子３４１ａが１／４回転し、図中左方にＮ極が向く。またこれに連動して、エンコーダミラー３４４ａが回転する。そして、図１６（ｂ）で示すように、回転した位置に第１のスケールＳｋ１をマーキングする。
上記（１）～（４）の通電モードで順に通電を行うと、モータ３４１の回転子３４１ａが１回転する。
これにより第１のスケールＳｋ１をマーキングした後、第１の実施形態と同様に、第１のスケールＳｋ１の間に第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
上記（１）～（４）の通電モードで順に通電を行うと、モータ３４１の回転子３４１ａが１回転する。
これにより第１のスケールＳｋ１をマーキングした後、第１の実施形態と同様に、第１のスケールＳｋ１の間に第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
【0068】
以上説明した図６、図１２、図１４のスケールＳｋのマーキング方法は、エンコーダミラー３４４ａの製造方法であると捉えることができる。また、このスケールＳｋのマーキング方法は、マーキング工程を含むエンコーダ３４４の製造方法であると捉えることもできる。
【0069】
以上詳述したスケールＳｋのマーキング方法によれば、エンコーダミラー３４４ａは、モータ３４１を動作させたときに、モータ３４１の予め定められた移動位置に対応する箇所を、スケールＳｋをマーキングする位置としている。上述したモータ３４１は、回転電動モータである。よって、モータ３４１の予め定められた機械角に対応して、回転方向にスケールＳｋがマーキングされている、と言うことができる。つまり、スケールＳｋがマーキングされていないエンコーダミラー３４４ａに対し、モータ３４１の回転に合わせ、スケールＳｋをマーキングする。これにより、モータ３４１の回転位置（機械角）と実際に測定されるエンコーダ３４４との検出結果（カウント数）とを一致させることができる。
【0070】
図１７（ａ）～（ｂ）は、従来のエンコーダの検出結果について示した図である。
図１７（ａ）で、横軸は、時間を表し、縦軸は、スケールＳｋのカウント数を表す。また、図１７（ｂ）は、図１７（ａ）のＸＶＩＩＢで示す部分の拡大図である。図中実線は、従来のエンコーダによる検出結果を示す。また、点線は、本来検出されるべき理論的な検出結果である。この場合、モータ３４１は、一定の速度で回転しており、本来は、点線のように時間とカウント数との関係は、直線になるべきである。しかしながら、機械誤差などの要因により、実際には、実線で示すように、直線とはならない。このような場合、電気角および機械角と検出結果（カウント数）との整合性が取れない。例えば、モータの機械角が０°から９０°になったときと、９０°から１８０°になったときとのカウント数は一致しない。
このような現象が生じる要因としては、例えば、固定子３４１ｂのコイルＣｏの巻きむらがある。さらに、この要因としては、例えば、機械誤差が挙げられる。機械誤差としては、減速機３４２により減速前のエンコーダ（減速前エンコーダ）と減速後のエンコーダとの中心軸の位置ずれが例示される。
図１７（ａ）で、横軸は、時間を表し、縦軸は、スケールＳｋのカウント数を表す。また、図１７（ｂ）は、図１７（ａ）のＸＶＩＩＢで示す部分の拡大図である。図中実線は、従来のエンコーダによる検出結果を示す。また、点線は、本来検出されるべき理論的な検出結果である。この場合、モータ３４１は、一定の速度で回転しており、本来は、点線のように時間とカウント数との関係は、直線になるべきである。しかしながら、機械誤差などの要因により、実際には、実線で示すように、直線とはならない。このような場合、電気角および機械角と検出結果（カウント数）との整合性が取れない。例えば、モータの機械角が０°から９０°になったときと、９０°から１８０°になったときとのカウント数は一致しない。
このような現象が生じる要因としては、例えば、固定子３４１ｂのコイルＣｏの巻きむらがある。さらに、この要因としては、例えば、機械誤差が挙げられる。機械誤差としては、減速機３４２により減速前のエンコーダ（減速前エンコーダ）と減速後のエンコーダとの中心軸の位置ずれが例示される。
【0071】
図１８（ａ）は、減速機３４２により減速前のエンコーダと減速後のエンコーダとの中心軸の位置ずれについて示した概念図である。
図１８（ｂ）は、中心軸の位置ずれが生じた場合に、減速前のエンコーダと減速後のエンコーダとの間で生じる角度誤差を示した図である。ここで、横軸は、スケールＳｋのカウント数を表し、縦軸は、角度誤差を表す。つまり、減速前のエンコーダが示す機械角と、減速後のエンコーダが示す機械角との間で、示す角度が異なり、図示するような差が生じる。これは、エンコーダミラー３４４ａにスケールＳｋをマーキングした後に、アクチュエータ３４に組み込む従来の組立て方式では、修正が困難である。即ち、キャリブレーションを行っても、この角度誤差を修正することは困難である。
図１８（ｂ）は、中心軸の位置ずれが生じた場合に、減速前のエンコーダと減速後のエンコーダとの間で生じる角度誤差を示した図である。ここで、横軸は、スケールＳｋのカウント数を表し、縦軸は、角度誤差を表す。つまり、減速前のエンコーダが示す機械角と、減速後のエンコーダが示す機械角との間で、示す角度が異なり、図示するような差が生じる。これは、エンコーダミラー３４４ａにスケールＳｋをマーキングした後に、アクチュエータ３４に組み込む従来の組立て方式では、修正が困難である。即ち、キャリブレーションを行っても、この角度誤差を修正することは困難である。
【0072】
一方、本実施の形態では、上述した機械誤差などが生じても、モータ３４１の回転位置（機械角）と実際に測定されるエンコーダ３４４の検出結果（カウント数）とを一致させることができる。よって、減速前のエンコーダ（減速前エンコーダ）３４４と減速後のエンコーダ３４４との中心軸の位置ずれがあっても、影響を受けにくい。
その結果、モータ３４１の機械角の検出精度が向上する。そして、組立て後に行うキャリブレーションの工程が省略できる。また、機械角の検出精度が高いので、低分解能のエンコーダであっても、モータ３４１の高精度な制御が可能になる。また、このエンコーダ３４４を用いたアクチュエータ３４の高精度な制御が可能である。特に、このエンコーダ３４４をロボット３０の根元に近いアクチュエータ３４に使用する場合、有効である。即ち、ロボット３０の根元に近いアクチュエータ３４は、ハンド３１の先端の位置決め精度への影響が大きいので、より有効となる。
その結果、モータ３４１の機械角の検出精度が向上する。そして、組立て後に行うキャリブレーションの工程が省略できる。また、機械角の検出精度が高いので、低分解能のエンコーダであっても、モータ３４１の高精度な制御が可能になる。また、このエンコーダ３４４を用いたアクチュエータ３４の高精度な制御が可能である。特に、このエンコーダ３４４をロボット３０の根元に近いアクチュエータ３４に使用する場合、有効である。即ち、ロボット３０の根元に近いアクチュエータ３４は、ハンド３１の先端の位置決め精度への影響が大きいので、より有効となる。
【0073】
また、第１の実施形態および第４の実施形態では、スケールＳｋは、２つの工程に分けて行う。即ち、第１のマーキング工程により第１のスケールＳｋ１をマーキングする。そしてその後、第２のマーキング工程により第２のスケールＳｋ２をマーキングする。
この場合、モータ３４１を動作させるコイルＣｏに予め定められた通電モードで通電する。そして、第１のスケールＳｋ１は、エンコーダミラー３４４ａが回転した箇所にマーキングされる。そして、エンコーダミラー３４４ａには、第１のスケールＳｋ１に加え、さらに第２のスケールＳｋ２がマーキングされる。第２のスケールＳｋ２は、一対の第１のスケールＳｋ１の間にマーキングされたものである。モータ３４１の回転位置（機械角）は、通電モードを選択することで制御することができる。また、上述した通電モードでは、モータ３４１の磁束が安定し、その回転位置も安定している。そのため、第１のスケールＳｋ１のマーキングの位置精度が高くなる。そして、第２のスケールＳｋ２は、第１のスケールＳｋ１の間にマーキングする。第２のスケールＳｋ２をマーキングすることで、分解能が高いエンコーダとなる。そして、第２のスケールＳｋ２をマーキングするのに、例えば、上述したテーブル１００を使用する。テーブル１００には、カメラ１１０が設けられる。そして、カメラ１１０により、撮影した画像を用いることで高精度な位置合わせが可能である。これにより、第２のスケールＳｋ２のマーキングの位置精度が高くなる。
また、２つの工程に分けてマーキングすると、レーザマーキングを用いる場合に、エンコーダミラー３４４ａの熱変形を抑制できる。
この場合、モータ３４１を動作させるコイルＣｏに予め定められた通電モードで通電する。そして、第１のスケールＳｋ１は、エンコーダミラー３４４ａが回転した箇所にマーキングされる。そして、エンコーダミラー３４４ａには、第１のスケールＳｋ１に加え、さらに第２のスケールＳｋ２がマーキングされる。第２のスケールＳｋ２は、一対の第１のスケールＳｋ１の間にマーキングされたものである。モータ３４１の回転位置（機械角）は、通電モードを選択することで制御することができる。また、上述した通電モードでは、モータ３４１の磁束が安定し、その回転位置も安定している。そのため、第１のスケールＳｋ１のマーキングの位置精度が高くなる。そして、第２のスケールＳｋ２は、第１のスケールＳｋ１の間にマーキングする。第２のスケールＳｋ２をマーキングすることで、分解能が高いエンコーダとなる。そして、第２のスケールＳｋ２をマーキングするのに、例えば、上述したテーブル１００を使用する。テーブル１００には、カメラ１１０が設けられる。そして、カメラ１１０により、撮影した画像を用いることで高精度な位置合わせが可能である。これにより、第２のスケールＳｋ２のマーキングの位置精度が高くなる。
また、２つの工程に分けてマーキングすると、レーザマーキングを用いる場合に、エンコーダミラー３４４ａの熱変形を抑制できる。
【0074】
そして、第２の実施形態では、第１のマーキング工程により原点位置に第１のスケールＳｋ１をマーキングする。そして、他のスケールＳｋは、第２のマーキング工程により第２のスケールＳｋ２としてマーキングする。
この場合、第１のスケールＳｋ１は、モータ３４１の機械角を定める原点にマーキングされる。そして、第２のスケールＳｋ２は、原点となる第１のスケールＳｋ１以外のスケールである。第２の実施形態によれば、モータ３４１自身を用いて、原点を定め、第１のスケールＳｋ１をマーキングする。そのため、原点位置の精度を高めることができる。これにより、低分解能のエンコーダ３４４を用いた場合でも、モータ３４１の高度な制御が可能になる。
この場合、第１のスケールＳｋ１は、モータ３４１の機械角を定める原点にマーキングされる。そして、第２のスケールＳｋ２は、原点となる第１のスケールＳｋ１以外のスケールである。第２の実施形態によれば、モータ３４１自身を用いて、原点を定め、第１のスケールＳｋ１をマーキングする。そのため、原点位置の精度を高めることができる。これにより、低分解能のエンコーダ３４４を用いた場合でも、モータ３４１の高度な制御が可能になる。
【0075】
さらに、第３の実施形態では、減速機３４２で減速後のエンコーダのスケールＳｋのマーキングを行う。第３の実施形態では、減速後のエンコーダミラー３４４ａに対しスケールＳｋがマーキングされる。この回転位置は、減速前エンコーダにより定まるモータ３４１の回転位置に対応する。
この場合、減速前エンコーダと減速後のエンコーダとの中心軸の位置ずれがあっても、影響を受けにくい。その結果、モータ３４１の機械角の検出精度が向上する。
この場合、減速前エンコーダと減速後のエンコーダとの中心軸の位置ずれがあっても、影響を受けにくい。その結果、モータ３４１の機械角の検出精度が向上する。
【0076】
なお、モータ３４１が上述したホールセンサを備える場合がある。この場合、ホールセンサを併用してスケールＳｋをマーキングする箇所の位置決めを行うようにしてもよい。これにより、スケールＳｋをマーキングする箇所の位置精度が向上する。また、ホールセンサに限らず、他のセンサを用いて位置決めを行うようにしてもよい。
また、アクチュエータ３４が、バックスラッシュを有する場合がある。この場合、バックスラッシュが生じないようにエンコーダミラー３４４ａの回転機構に負荷をかけるようにしてもよい。
さらに、上記通電モードにより通電する際に、ベクトル制御を用いてもよい。ベクトル制御を行う場合、モータ３４１の機械角の情報が必要となる。本実施の形態では、上述したエンコーダ３４４を使用することで、機械角の情報の精度が向上する。その結果、ベクトル制御の精度も向上し、ベクトル制御の利点がより発揮される。ベクトル制御の利点としては、エネルギー消費量が小さく、きめ細かな制御が可能なことが挙げられる。また、ベクトル制御の利点としては、モータ３４１の回転を低速から高速まで効率よく制御できることが挙げられる。
また、アクチュエータ３４が、バックスラッシュを有する場合がある。この場合、バックスラッシュが生じないようにエンコーダミラー３４４ａの回転機構に負荷をかけるようにしてもよい。
さらに、上記通電モードにより通電する際に、ベクトル制御を用いてもよい。ベクトル制御を行う場合、モータ３４１の機械角の情報が必要となる。本実施の形態では、上述したエンコーダ３４４を使用することで、機械角の情報の精度が向上する。その結果、ベクトル制御の精度も向上し、ベクトル制御の利点がより発揮される。ベクトル制御の利点としては、エネルギー消費量が小さく、きめ細かな制御が可能なことが挙げられる。また、ベクトル制御の利点としては、モータ３４１の回転を低速から高速まで効率よく制御できることが挙げられる。
【0077】
また、上述した例では、エンコーダスケールとしてエンコーダミラー３４４ａについて説明した。ただし、これは光学式の場合であり、マグネット式の場合、「ミラー」である必要はない。
さらに、上述した例では、ロボット３０に備えられるアクチュエータ３４を例に採り説明したが、これに限られるものではない。例えば、着用型筋力補助装置に備えられるアクチュエータに適用してもよい。
さらに、上述した例では、ロボット３０に備えられるアクチュエータ３４を例に採り説明したが、これに限られるものではない。例えば、着用型筋力補助装置に備えられるアクチュエータに適用してもよい。
【0078】
またさらに、上述した例では、回転電動モータとして、ブラシレスモータを例に採り説明したが、ステッピングモータであってもよい。
またさらに、上述した例では、回転電動モータを例に採り説明したが、これに限られるものではない。例えば、モータは、リニアモータであってもよい。
またさらに、上述した例では、回転電動モータを例に採り説明したが、これに限られるものではない。例えば、モータは、リニアモータであってもよい。
【0079】
図１９（ａ）は、リニアモータについて示した図である。
図示するリニアモータ２００は、移動子２１０と、永久磁石列２２０と、エンコーダミラー２３０とを備える。
移動子２１０は、電磁石アレイ２１０ａを備え、図中右方向に移動を行う。
永久磁石列２２０は、Ｎ極とＳ極が交互に配列するように、並べられた永久磁石である。
リニアモータ２００では、移動子２１０に備えられた電磁石アレイ２１０ａの極性をその位置に応じて順次切り換える。そして、電磁石アレイ２１０ａと永久磁石列２２０との吸引力および反発力を利用することで、移動子２１０が、永久磁石列２２０上を移動する。
エンコーダミラー２３０は、リニアモータ２００の移動子２１０の位置に対応して、スケールＳｋをマーキングする。スケールＳｋをマーキングする場所は、例えば、移動子２１０が安定する位置である。
図示するリニアモータ２００は、移動子２１０と、永久磁石列２２０と、エンコーダミラー２３０とを備える。
移動子２１０は、電磁石アレイ２１０ａを備え、図中右方向に移動を行う。
永久磁石列２２０は、Ｎ極とＳ極が交互に配列するように、並べられた永久磁石である。
リニアモータ２００では、移動子２１０に備えられた電磁石アレイ２１０ａの極性をその位置に応じて順次切り換える。そして、電磁石アレイ２１０ａと永久磁石列２２０との吸引力および反発力を利用することで、移動子２１０が、永久磁石列２２０上を移動する。
エンコーダミラー２３０は、リニアモータ２００の移動子２１０の位置に対応して、スケールＳｋをマーキングする。スケールＳｋをマーキングする場所は、例えば、移動子２１０が安定する位置である。
【0080】
図１９（ｂ）は、スケールＳｋを順次マーキングする様子を示した図である。
図１９（ｂ）で示すように、マーキングする箇所を変更しながら、例えば、レーザマーカＲｍにより、スケールＳｋを順次マーキングする。エンコーダミラー２３０は、リニアモータ２００の移動子２１０の位置に対応して、スケールＳｋがマーキングされる。
図１９（ｂ）で示すように、マーキングする箇所を変更しながら、例えば、レーザマーカＲｍにより、スケールＳｋを順次マーキングする。エンコーダミラー２３０は、リニアモータ２００の移動子２１０の位置に対応して、スケールＳｋがマーキングされる。
【符号の説明】
【0081】
１…ロボットシステム、１０…撮影装置、２０…画像処理装置、３０…ロボット、３１…ハンド、３２…アーム、３３…ロボット制御部、３４…アクチュエータ、１００…テーブル、１１０…カメラ、１２０…プリンタ、２００…リニアモータ、２１０…移動子、２２０…永久磁石列、２３０、３４４ａ…エンコーダミラー、３４１…モータ、３４１ａ…回転子、３４１ｂ…固定子、３４２…減速機、３４３…回転軸、３４４…エンコーダ、Ｓｋ…スケール、Ｓｋ１…第１のスケール、Ｓｋ２…第２のスケール
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
