特開 2023-94518 真空バルブ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023094518

(43)【公開日】2023-07-05

(54)【発明の名称】真空バルブ

(51)【国際特許分類】

   F16K 27/00 20060101AFI20230628BHJP

   F16K 51/02 20060101ALI20230628BHJP

【ＦＩ】

F16K27/00 C

F16K51/02 Z

【審査請求】有

【請求項の数】15

【出願形態】ＯＬ

【外国語出願】

(21)【出願番号】P 2022132383

(22)【出願日】2022-08-23

(31)【優先権主張番号】21217523

(32)【優先日】2021-12-23

(33)【優先権主張国・地域又は機関】EP

(71)【出願人】

【識別番号】520415627

【氏名又は名称】プファイファー・ヴァキューム・テクノロジー・アクチエンゲゼルシャフト

(74)【代理人】

【識別番号】100069556

【弁理士】

【氏名又は名称】江崎 光史

(74)【代理人】

【識別番号】100111486

【弁理士】

【氏名又は名称】鍛冶澤 實

(74)【代理人】

【識別番号】100191835

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 真介

(74)【代理人】

【識別番号】100221981

【弁理士】

【氏名又は名称】石田 大成

(72)【発明者】

【氏名】ミヒャエル・シュヴァイクヘーファー

【テーマコード（参考）】

3H051

3H066

【Ｆターム（参考）】

3H051BB01

3H051BB10

3H051CC01

3H051CC11

3H051CC15

3H051CC16

3H051FF09

3H066BA17

3H066BA18

3H066BA19

(57)【要約】

【課題】別の真空部品に省スペースで接続できる、コスト的に最適化された、容易に製造できる真空バルブを提供する。
【解決手段】基体１２と真空開口１６とを備え、真空開口１６は、シール手段２４に対するシール面１８によって囲繞されている、真空バルブ１０において、真空開口１６及びシール面１８が、直接に基体１２に形成されていて、少なくとも１つの取付手段２６、２８が、基体１２に形成されていて、取付手段２６、２８は、真空バルブ１０に真空密に接続される真空部品の取付けに用いられる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基体（１２）と真空開口（１６、５１）とを備え、
真空開口（１６、５１）は、シール手段（２４）に対するシール面（１８、５２）によって囲繞されている、真空バルブ（１０）において、
真空開口（１６、５１）及びシール面（１８、５２）が、直接に基体（１２）に形成されていて、少なくとも１つの取付手段（２６、２８、７８）が、基体（１２）に形成されていて、取付手段（２６、２８、７８）は、真空バルブ（１０）に真空密に接続される真空部品（３０、５８、８０）の取付けに用いられることを特徴とする、真空バルブ（１０）。

【請求項2】

シール面（１８、５２）は、基体（１２）の凹部に形成されていて、特に基体（１２）の凹部の底を形成することを特徴とする、請求項１に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項3】

基体（１２）は、調心リング（２２）を保持する凹み（２０）を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項4】

少なくとも１つの取付手段が、真空開口（１６、５１）に形成された雌ねじ山（７８）を有することを特徴とする、請求項１から３の少なくともいずれか一項に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項5】

少なくとも１つの取付手段が、シール面（１８、５２）の周りに配置された複数の孔（２６、２８、５４）を有することを特徴とする、請求項１から４の少なくともいずれか一項に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項6】

孔のうちの少なくとも１つの孔（２６、５４）が、雌ねじを有する、及び／又は
孔のうちの少なくとも１つの孔（２４）が、基体を完全に貫通して延在する
ことを特徴とする、請求項５に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項7】

シール面（１８、５２）は、ＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部に適合していることを特徴とする、請求項１から６の少なくともいずれか一項に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項8】

真空バルブ（１０）は、真空ポンプ用の、特にターボ分子真空ポンプ（３０）用の予備真空バルブ、又は真空室を遮断するバルブ、又はマルチチャンバシステムを遮断するバルブであることを特徴とする、請求項１から７の少なくともいずれか一項に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項9】

請求項１から８の少なくともいずれか一項に記載の真空バルブ（１０）と、
真空部品（３０、５８、８０）と、
真空バルブ（１０）と真空部品（３０、５８、８０）との間に配置されたシール手段（２４）と
を備えた、システム。

【請求項10】

真空部品が、ターボ分子真空ポンプ（３０）、特にターボ分子真空ポンプ（３０）であって、基体（３６）と真空開口（４２）とを備え、真空開口（４２）は、シール手段（２４）に対するシール面（４４）によって囲繞されていて、真空開口（４２）及びシール面（４４）は、直接に基体（３６）に形成されていて、真空バルブ（１０）を取り付けるために用いられる少なくとも１つの取付手段（４７）が、基体（３６）に形成されていてることを特徴とする、請求項９に記載のシステム。

【請求項11】

真空バルブ（１０）の少なくとも１つの電気コンタクト（３４）及び真空部品（３０）の少なくとも１つの電気コンタクト（４０）は、真空バルブ（１０）と真空部品（３０）とが真空密に互いに接続されると直ちに真空バルブ（１０）の少なくとも１つの電気コンタクト（３４）と真空部品（３０）の少なくとも１つの電気コンタクト（４０）とが接触するように、構成及び位置決めされていることを特徴とする、請求項９又は１０に記載のシステム。

【請求項12】

真空部品（５８）は、真空バルブ（１０）に接続するためのフランジ（６０）、特にＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部を有し、フランジ（６０）は、シール面（６４）を形成する正面と、正面から離反する側の背面（６２）とを有することを特徴とする、請求項９に記載のシステム。

【請求項13】

特に円弧状のクランプ要素（６６）が設けられていて、クランプ要素（６６）は、真空バルブ（１０）の少なくとも１つの取付手段（２６）に割り当てられた少なくとも１つの取付用アイ（６８、７０）を有することを特徴とする、請求項１２に記載のシステム。

【請求項14】

クランプ要素（６６）は、真空部品（５８）のフランジの背面（６２）に当接する、真空バルブ（１０）に面する接触面（７６）を有し、
特に、接触面（７６）は、半径方向外側から半径方向内側へ真空バルブ（１０）の基体（１２）から離反する方へ傾斜していて、
特に、接触面（７６）の傾斜は、フランジの、特にＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部の背面（６２）の傾斜に適合していることを特徴とする、請求項１３に記載のシステム。

【請求項15】

クランプ要素（６６）は、２つの取付用アイ（６８、７０）を有し、取付用アイの一方は、全周にわたって閉じた孔（６８）であり、他方の取付用アイは、半径方向に部分的に開いた孔（７０）であることを特徴とする、請求項１３又は１４に記載のシステム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基体と真空開口とを備え、真空開口は、シール手段に対するシール面によって囲繞されている、真空バルブに関する。

【背景技術】

【0002】

この種の公知の真空バルブでは、シール面が、フランジの、真空バルブから離反する方を向いた正面に形成されている。フランジは、半径方向外側から半径方向内側へ、真空バルブの基体から離反する方へ傾斜する背面を有するとともに、短い管部材を介して、真空バルブの基体に接続されている。この真空バルブを別の真空部品に真空密に接続するために、通常、別の真空部品も、同一に構成されたフランジを有するので、フランジは、例えば緊締リングを用いて互いに接続できる。そのために、通常、調心リング及びシール手段が、２つのシール面間にもたらされ、緊締リングは、半径方向外側から半径方向内側へ、各々の真空部品の基体から離反する方へ傾斜する、互いに反対側に位置する２つの内側面を有し、緊締リングは、両方のフランジの周りに置かれるので、緊締リングの２つの内側面は、フランジの２つの背面に当接する。ここで緊締リングがねじ込まれる又は他の形で締め付けられると、緊締リングの内側面が、フランジの背面に圧力を加え、これにより、シール面が、シール手段に押し付けられ、真空密の接続が生じる。

【0003】

真空技術では、真空バルブを別の真空部品に接続するために、ＩＳＯ規格の小フランジ（ＩＳＯ－ＫＦ）が汎用されている。小フランジは、前述の原理に従って機能する。この場合、緊締リングがフランジの背面に係合する必要があるので、フランジは、真空バルブの基体からある程度間隔を置いて短い管部材に形成しなければならない。このことを実現するために、真空バルブは、フランジを有する管部材と共に、単一の素材部分から製作されてよい。しかし、この素材部分は、突出するフランジに基づいて、真空バルブ自体の基体よりも著しく大きくしなければならず、材料損失が大きく、煩雑でありコストが嵩む形で切削加工しなければならない。別の可能性は、一方では真空バルブの基体と他方ではフランジを含む管部材とを別個に製作し、後で接続することにあるが、しかし、このことは、別の作業ステップ及び潜在的な漏れを引き起こす。真空バルブと別の真空部品との記載された形での接続の別の欠点は、接続部自体が、常にある程度の最小構造サイズを有することである。このことは、一方では、制限されたスペース状況では不都合であり、しかも他方では、常にある種の梃子腕が形成されていて、梃子腕には、接続軸線に対して半径方向の力が作用し得、これにより、真空密の接続部が破壊されてしまうおそれがあることも意味する。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の基礎をなす課題は、別の真空部品に省スペースで接続できる、コスト的に最適化された、容易に製造できる真空バルブを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

この課題は、請求項１の特徴を有する真空バルブによって、特に、真空開口及びシール面が、直接に基体に形成されていて、少なくとも１つの取付手段が、基体に形成されていて、取付手段は、真空バルブに真空密に接続される別の真空部品の取付けに用いられることによって達成される。

【0006】

インラインバルブのみならずコーナーバルブとしても構成されてよい本発明に係る真空バルブによって、真空開口及びシール面が、直接に真空バルブの基体に形成されていて、例えば従来慣用のＩＳＯ－ＫＦ接続部を有する別の真空部品が、取付手段を使用するとともにシール手段を介在して直接に真空バルブに取り付けられることによって、従来技術の記載の欠点が克服される。別の真空部品がフランジを有しないと、真空バルブと別の真空部品とは、これらの基体間に間隔を空けずに、したがって最小の所要スペースで互いに対して組付けできる。

【0007】

別の真空部品が、例えば真空ポンプ、特にターボ分子真空ポンプであると、真空バルブは、基体同士が互いに当接するように、真空ポンプに密に組付けできる。したがって、真空バルブに制御ユニットが設けられてもよく、制御ユニットは、電気コンタクトを含む真空バルブ用の駆動エレクトロニクス及び／又は制御エレクトロニクスを有し、電気コンタクトは、例えばコネクタに形成されていて、コネクタは、真空バルブを真空ポンプに組み付けるとき、真空ポンプに相応に設けられたコネクタに直接に係合するように構成及び位置決めされている。このようにして、真空ポンプの駆動エレクトロニクス及び／又は制御エレクトロニクスを、コネクタを介して、直接に真空バルブの駆動エレクトロニクス及び／又は制御エレクトロニクスに接続でき、真空バルブを、真空ポンプを介して直接に制御できる。真空ポンプがターボ分子真空ポンプであるとき、真空ポンプを介する真空バルブの直接の制御が特に有利である。この場合、真空ポンプの駆動エレクトロニクス及び／又は制御エレクトロニクスは、ＰＶＭ変調によって、真空バルブの切替後に平均電圧を降下できる。これにより、エネルギを節約でき、切替動作後の電力消費量を低減でき、ひいては温度上昇を低減できる。

【0008】

本発明の別の発展形態は、従属請求項、明細書及び図面から看取される。

【0009】

一実施形態によれば、シール面は、基体の凹部に形成されている。特に、シール面は、基体の凹部の底を形成する。この場合、特に有利には、凹部が、シール手段の寸法に適合しているので、真空バルブの基体と別の真空部品の基体とを互いに対して整合して接続できる。

【0010】

別の一実施形態によれば、基体は、調心リングを保持する凹みを有する。一方では、凹みにシール手段を取付けでき、他方では、凹みによって、真空部品の、正確に位置を合わせた接続が容易になる。

【0011】

更に別の一実施形態によれば、少なくとも１つの取付手段が、真空開口に形成された雌ねじ山を有する。そのような取付手段は、例えばプッシュインコネクタ又はホースニップルコネクタ等の様々な接続部材のねじ込みを可能にし、これにより、真空バルブ自体がアダプタとして機能できる。

【0012】

別の一実施形態によれば、少なくとも１つの取付手段が、シール面の周りに配置された複数の孔を有する。

【0013】

孔のうちの少なくとも１つの孔が、雌ねじを有してよい、及び／又は基体を完全に貫通して延在してよい。

【0014】

この場合、特に有利には、真空バルブの、基体を完全に貫通して延在する孔の位置が、別の真空部品の、雌ねじ山が設けられた孔の位置に適合しているので、これらの孔は、ねじを用いて互いに接続できる。

【0015】

別の一実施形態によれば、シール面は、ＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部に適合している。したがって、フランジが例えばクランプ要素又は爪を用いて真空バルブに取り付けられることによって、別の真空部品（そのシール面は対応する固有のフランジに形成されている）が、真空密に真空バルブに接続できる。その利点によれば、真空バルブが従来慣用の真空部品に適合している。

【0016】

例えば、真空バルブは、真空ポンプ用の、特にターボ分子真空ポンプ用の予備真空バルブ、又は真空室を遮断するバルブ、又はマルチチャンバシステムを遮断するバルブであってよい。

【0017】

本発明は、さらに、請求項９に記載のシステム、すなわち本発明に係る真空バルブと、真空部品と、真空バルブと真空部品との間に配置されたシール手段とを備える、システムに関する。

【0018】

システムの一実施形態によれば、真空部品は、ターボ分子真空ポンプ、特に基体と真空開口とを備えるターボ分子真空ポンプであり、真空開口は、シール手段に対するシール面によって囲繞されていて、真空開口及びシール面は、直接に基体に形成されていて、真空バルブを取り付けるために用いられる少なくとも１つの取付手段が、基体に形成されていてる。

【0019】

システムの一発展形態によれば、真空バルブの少なくとも１つの電気コンタクト及び真空部品の少なくとも１つの電気コンタクトは、真空バルブと真空部品とが真空密に互いに接続されると直ちに真空バルブの少なくとも１つの電気コンタクトと真空部品の少なくとも１つの電気コンタクトとが接触するように、構成及び位置決めされている。

【0020】

真空バルブと、真空部品、例えばターボ分子真空ポンプとは、真空バルブの基体と真空部品の基体との間に間隔が生じないように、互いに接続できるので、各々の駆動エレクトロニクス及び／又は制御エレクトロニクスも、有利には、付加的なコネクタ、例えばケーブルが必要とされることなく、真空バルブと真空部品とが真空密に互いに接続されると直ちに、真空バルブの、例えばプラグに形成されてよい電気コンタクトと、真空部品の、例えばソケットに形成されてよい電気コンタクトとが直接に接触されるように、位置決め及び構成できる。

【0021】

システムの別の一実施形態によれば、真空部品は、真空バルブに接続するためのフランジ、特にＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部を有し、フランジは、シール面を形成する正面と、正面から離反する側の背面とを有する。

【0022】

この場合、システムは、特に円弧状のクランプ要素を備え、クランプ要素は、真空バルブの少なくとも１つの取付手段に割り当てられた少なくとも１つの取付用アイを有する。クランプ要素によって、真空部品のフランジは、本発明に係る真空バルブの基体に接続できる。

【0023】

システムの一発展形態によれば、クランプ要素は、真空部品のフランジの背面に当接する、真空バルブに面する接触面を有する。接触面を介して、クランプ要素は、圧力を、フランジの背面に及ぼせ、これにより、フランジのシール面が、シール面間に配置されたシール手段に押し付けられ、シール手段は、真空バルブのシール面に押し付けられ、これにより、真空密の接続が形成される。

【0024】

クランプ要素の接触面は、半径方向外側から内側へ、基体から離反する方へ傾斜してよく、特に接触面の傾斜は、フランジの、特にＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部の背面の傾斜に適合し得る。クランプ要素の接触面の傾斜をフランジの背面の傾斜に適合させることによって、シール手段に掛かる両方のシール面の押圧力を、真空バルブの基体への方向の接続方向に対して軸方向にクランプ要素に掛かる力と、半径方向内側へクランプ要素に掛かる力との両方によっても発生できることが達成可能である。

【0025】

システムの別の一実施形態によれば、クランプ要素は、２つの取付用アイを有し、取付用アイの一方は、全周にわたって閉じた孔であり、他方の取付用アイは、半径方向に部分的に開いた孔である。これにより、クランプ要素を、例えば、第１の取付用アイを通してガイドされていて、真空バルブの基体における第１の孔にねじ込まれている第１のねじを中心として旋回可能であり、その際、第２の取付用アイを通してガイドされるとともに、真空バルブの基体における第２の孔にねじ込まれる第２のねじを取り除かなくてよい。これにより、特に迅速かつ容易に、真空バルブから真空部品を取り外す又は真空バルブに真空部品を取り付けることが可能となる。

【0026】

以下、図面を参照して、単なる例としての様々な実施形態に基づいて本発明を説明する。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明に係る真空バルブを斜視図で示す。

【図2】ターボ分子真空ポンプを斜視図で示す。

【図3】図１の真空バルブが取り付けられた図２のターボ分子真空ポンプを示す。

【図4】ＫＦ接続部及びプッシュインコネクタが取り付けられた図１の真空バルブを斜視図で示す。

【図5】図４の真空バルブを別の斜視図で示す。

【図6】図４の真空バルブを断面図で示す。

【発明を実施するための形態】

【0028】

図１は、基体１２と制御ユニット１４とを有する真空バルブ１０、特に補助真空バルブを示す。

【0029】

基体１２の正面には、真空開口１６が位置し、真空開口１６は、ＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦフランジに適合し得るシール面１８によって囲繞されている。より具体的に述べると、シール面１８は、基体１２の円環状の凹部の底を形成する。シール面１８の内縁は、凹み２０によって画定されていて、凹み２０は、真空開口１６を起点として基体１２内へ延在するとともに、調心リング２２の保持に用いられる。調心リング２２は、シール面１８に当接するはずの、例えばＯリング２４の形態のシール手段を支持する（図６）。

【0030】

シール面１８の周りに複数の孔２６、２８が、本実施例では４つの孔２６、２８が配置されていて、孔２６、２８は、真空バルブ１０を、別の真空部品、例えばターボ分子真空ポンプ３０（図２）に取り付けるのに用いられる。この場合、孔のうちの２つの孔２６に雌ねじ山が設けられていて、２つの別の孔２８は、貫通孔であり、貫通孔２８は、基体１２を完全に貫通して延在する。孔２６、２８は、四角形の角に配置されていて、その中央には、真空開口１６が位置する。この場合、一方ではこれらのねじ山付き孔２６同士が、他方ではこれらの貫通孔２８同士が、それぞれ互いに対角線上で反対の側に位置する。

【0031】

制御ユニット１４は、駆動エレクトロニクス及び／又は電子エレクトロニクスとコネクタ３２とを有し、コネクタ３２は、これに付属する電気コンタクト３４を有し、電気コンタクト３４は、真空開口１６と同一方向へ向いている。換言すると、コネクタ３２は、真空バルブ１０に接続されるべき別の真空部品に面する。

【0032】

図２は、基体３６を有するターボ分子真空ポンプ３０を示し、基体３６内に駆動エレクトロニクスが形成されていて、駆動エレクトロニクスは、コネクタ３８、特に、電気コンタクト４０を具備する、真空バルブ１０のコネクタ３２に相補的なコネクタ３８を有する。

【0033】

さらに、基体３６に、真空開口４２が形成されていて、真空開口４２は、シール面４４によって囲繞されていて、シール面４４は、基体３６の環状の凹部を形成し、シール面４４は、ＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦフランジに適合し得る。シール面４４の内縁は、凹み４６によって画定されていて、凹み４６は、真空開口４２を起点として基体１２内へ延在するとともに、調心リング２２の保持に用いられる。調心リング２２は、シール面４４に当接するはずの、例えばＯリング２４の形態のシール手段を支持する（図６）。

【0034】

シール面の周りに複数の孔４７が、本実施例では２つの孔４７が配置されていて、孔４７は、それぞれ雌ねじ山を有するとともに、真空バルブ１０の取付けに用いられる。孔４７は、真空バルブの貫通孔２８に対応して、真空開口４２のそれぞれ反対の側に配置されている。

【0035】

コネクタ３８は、電気コンタクト４０と共に、真空開口４２と同一方向へ向いていて、真空バルブ１０がターボ分子真空ポンプ３０に取り付けられるとき真空バルブ１０のコネクタ３２に係合できるように位置決めされている。

【0036】

図３は、図１の真空バルブ１０が取り付けられた、図２のターボ分子真空ポンプ３０を示す。真空バルブ１０は、ターボ分子真空ポンプ３０に次のように、すなわち各々の真空開口が互いに向き合い、真空バルブ１０の貫通孔２８を通してガイドされているとともにターボ分子真空ポンプ３０のねじ山付き孔４７にねじ込まれている２つのねじ４８、５０によって、ターボ分子真空ポンプ３０に取り付けられるように、配置されている。真空バルブとターボ分子真空ポンプ３０との間に、真空開口を囲繞するシール手段が配置されていて、シール手段は、真空バルブ１０及びターボ分子真空ポンプ３０のシール面１８、４４に接触し、シール面１８、４４によって押し合わされ、これにより、真空バルブ１０とターボ分子真空ポンプ３０との真空密の接続が達成される。

【0037】

真空バルブ１０の基体１２におけるシール面１８の形成が、間隔を置かないターボ分子真空ポンプ３０への取付けを可能にするので、真空バルブ１０のコネクタ３２は、電気コンタクト３４、４０を接触させるために、ターボ分子真空ポンプ３０のコネクタ３８に直接に係合可能である。そうすると、真空バルブ１０は、ターボ分子真空ポンプ３０の駆動エレクトロニクスを介して直接に制御できる。

【0038】

真空バルブ１０の、基体１２の正面から離反する側の背面に、同様に、真空開口５１を囲繞する１つのシール面５２と、真空開口５１のそれぞれ反対の側に配置された２つのねじ山付き孔５４が形成されていて、ねじ山付き孔５４は、別の真空部品を取り付けるために利用できる。真空開口５１には、さらに雌ねじ山７８が設けられていて、雌ねじ山７８には、図４から図６に示されているように、プッシュインコネクタ８０をねじ込み可能である。

【0039】

図４から図６は、図１の真空バルブ１０を、これに取り付けられたに管部材５８と共に示し、管部材５８の端部には、フランジ６０、例えばＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦフランジが形成されている。フランジ６０は、真空バルブ１０から離反する側の、半径方向内側から半径方向外側へ真空バルブ１０へ向けて傾斜する背面６２と、真空バルブ１０のシール面１８に適合する、真空バルブ１０に面するシール面６４とを有する。フランジ６０のシール面６４と真空バルブ１０のシール面１８との間に、Ｏリング２４の形態のシール手段が配置されていて、シール手段は、調心リング２２に取り付けられている（図６）。

【0040】

真空バルブ１０にフランジ６０を固定するために、クランプ要素６６が設けられている。クランプ要素６６は、円弧状に形成されているとともに２つの取付用アイ６８、７０を有し、取付用アイ６８、７０を通して、２つのねじ７２、７４がガイドされていて、ねじ７２、７４は、クランプ要素６６ひいてはフランジ６２を真空バルブ１０の基体１２に取り付けるために、真空バルブ１０のねじ山付き孔５４にねじ込まれている。

【0041】

一方の取付用アイ７０は、半径方向に部分的に開いた孔として構成されていて、これにより、クランプ要素６６は、他方の取付用アイ６８を通してガイドされるねじ７２を中心に上方へ旋回可能であり、その際、一方の取付用アイ７０に対応付けられたねじ７４をねじ山付き孔５４から完全にねじ外さなくてよい。上方旋回位置では、クランプ要素６６がフランジ６０を解放するので、真空バルブ１０と管部材部分５８とは、互いから分離できる。

【0042】

フランジ６０を固定する状態で、つまりクランプ要素６６が、フランジ６０を覆い、両方のねじ７２、７４によって真空バルブ１０に固くねじ止めされているとき、クランプ要素６６に形成された接触面７６が、フランジ６０の背面６２に力を及ぼし、この力によって、フランジ６０のシール面６４がＯリング２４に押し付けられ、Ｏリング２４が真空バルブ１０のシール面１８に押し付けられ、これにより、管部材５８と真空バルブとの間の真空密の接続が可能となる。

【符号の説明】

【0043】

１０ 真空バルブ
１２ 基体
１４ 制御ユニット
１６ 真空開口
１８ シール面
２０ 凹み
２２ 調心リング
２４ Ｏリング
２６ 孔
２８ 孔
３０ ターボ分子真空ポンプ
３２ コネクタ
３４ 電気コンタクト
３６ 基体
３８ コネクタ
４０ 電気コンタクト
４２ 真空開口
４４ シール面
４６ 凹み
４７ 孔
４８ ねじ
５０ ねじ
５１ 真空開口
５２ シール面
５４ 孔
５８ 管部材
６０ フランジ
６２ フランジの背面
６４ シール面
６６ クランプ要素
６８ 取付用アイ
７０ 取付用アイ
７２ ねじ
７４ ねじ
７６ 接触面
７８ 雌ねじ山
８０ プッシュインコネクタ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【手続補正書】

【提出日】2022-11-18

【手続補正1】

【補正対象書類名】特許請求の範囲

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基体（１２）と真空開口（１６、５１）とを備え、
真空開口（１６、５１）は、シール手段（２４）に対するシール面（１８、５２）によって囲繞されている、真空バルブ（１０）において、
真空開口（１６、５１）及びシール面（１８、５２）が、直接に基体（１２）に形成されていて、少なくとも１つの取付手段（２６、２８、７８）が、基体（１２）に形成されていて、取付手段（２６、２８、７８）は、真空バルブ（１０）に真空密に接続される真空部品（３０、５８、８０）の取付けに用いられることを特徴とする、真空バルブ（１０）。

【請求項2】

シール面（１８、５２）は、基体（１２）の凹部に形成されていて、特に基体（１２）の凹部の底を形成することを特徴とする、請求項１に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項3】

基体（１２）は、調心リング（２２）を保持する凹み（２０）を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項4】

少なくとも１つの取付手段が、真空開口（１６、５１）に形成された雌ねじ山（７８）を有することを特徴とする、請求項１に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項5】

少なくとも１つの取付手段が、シール面（１８、５２）の周りに配置された複数の孔（２６、２８、５４）を有することを特徴とする、請求項１に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項6】

複数の孔のうちの少なくとも１つの孔（２６、５４）が、雌ねじを有する、及び／又は
複数の孔のうちの少なくとも１つの孔（２８）が、基体を完全に貫通して延在する
ことを特徴とする、請求項５に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項7】

シール面（１８、５２）は、ＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部に適合していることを特徴とする、請求項１に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項8】

真空バルブ（１０）は、真空ポンプ用の、特にターボ分子真空ポンプ（３０）用の予備真空バルブ、又は真空室を遮断するバルブ、又はマルチチャンバシステムを遮断するバルブであることを特徴とする、請求項１に記載の真空バルブ（１０）。

【請求項9】

請求項１に記載の真空バルブ（１０）と、
真空部品（３０、５８、８０）と、
真空バルブ（１０）と真空部品（３０、５８、８０）との間に配置されたシール手段（２４）と
を備えた、システム。

【請求項10】

真空部品が、真空ポンプ（３０）、特にターボ分子真空ポンプ（３０）であって、基体（３６）と真空開口（４２）とを備え、真空開口（４２）は、シール手段（２４）に対するシール面（４４）によって囲繞されていて、真空開口（４２）及びシール面（４４）は、直接に基体（３６）に形成されていて、真空バルブ（１０）を取り付けるために用いられる少なくとも１つの取付手段（４７）が、基体（３６）に形成されていてることを特徴とする、請求項９に記載のシステム。

【請求項11】

真空バルブ（１０）の少なくとも１つの電気コンタクト（３４）及び真空部品（３０）の少なくとも１つの電気コンタクト（４０）は、真空バルブ（１０）と真空部品（３０）とが真空密に互いに接続されると直ちに真空バルブ（１０）の少なくとも１つの電気コンタクト（３４）と真空部品（３０）の少なくとも１つの電気コンタクト（４０）とが接触するように、構成及び位置決めされていることを特徴とする、請求項９又は１０に記載のシステム。

【請求項12】

真空部品（５８）は、真空バルブ（１０）に接続するためのフランジ（６０）、特にＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部を有し、フランジ（６０）は、シール面（６４）を形成する正面と、正面から離反する側の背面（６２）とを有することを特徴とする、請求項９に記載のシステム。

【請求項13】

特に円弧状のクランプ要素（６６）が設けられていて、クランプ要素（６６）は、真空バルブ（１０）の少なくとも１つの取付手段（２６）に割り当てられた少なくとも１つの取付用アイ（６８、７０）を有することを特徴とする、請求項１２に記載のシステム。

【請求項14】

クランプ要素（６６）は、真空部品（５８）のフランジの背面（６２）に当接する、真空バルブ（１０）に面する接触面（７６）を有し、
特に、接触面（７６）は、半径方向外側から半径方向内側へ真空バルブ（１０）の基体（１２）から離反する方へ傾斜していて、
特に、接触面（７６）の傾斜は、フランジの、特にＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部の背面（６２）の傾斜に適合していることを特徴とする、請求項１３に記載のシステム。

【請求項15】

クランプ要素（６６）は、２つの取付用アイ（６８、７０）を有し、取付用アイの一方は、全周にわたって閉じた孔（６８）であり、他方の取付用アイは、半径方向に部分的に開いた孔（７０）であることを特徴とする、請求項１３又は１４に記載のシステム。

【手続補正2】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４２

【補正方法】変更

【補正の内容】

【0042】

フランジ６０を固定する状態で、つまりクランプ要素６６が、フランジ６０を覆い、両方のねじ７２、７４によって真空バルブ１０に固くねじ止めされているとき、クランプ要素６６に形成された接触面７６が、フランジ６０の背面６２に力を及ぼし、この力によって、フランジ６０のシール面６４がＯリング２４に押し付けられ、Ｏリング２４が真空バルブ１０のシール面１８に押し付けられ、これにより、管部材５８と真空バルブとの間の真空密の接続が可能となる。
なお、本願は、特許請求の範囲に記載の発明に関するものであるが、他の態様として以下を含む。
１．
基体（１２）と真空開口（１６、５１）とを備え、
真空開口（１６、５１）は、シール手段（２４）に対するシール面（１８、５２）によって囲繞されている、真空バルブ（１０）において、
真空開口（１６、５１）及びシール面（１８、５２）が、直接に基体（１２）に形成されていて、少なくとも１つの取付手段（２６、２８、７８）が、基体（１２）に形成されていて、取付手段（２６、２８、７８）は、真空バルブ（１０）に真空密に接続される真空部品（３０、５８、８０）の取付けに用いられることを特徴とする、真空バルブ（１０）。
２．
シール面（１８、５２）は、基体（１２）の凹部に形成されていて、特に基体（１２）の凹部の底を形成することを特徴とする、上記１の真空バルブ（１０）。
３．
基体（１２）は、調心リング（２２）を保持する凹み（２０）を有することを特徴とする、上記１又は２の真空バルブ（１０）。
４．
少なくとも１つの取付手段が、真空開口（１６、５１）に形成された雌ねじ山（７８）を有することを特徴とする、上記１から３の少なくともいずれか一つの真空バルブ（１０）。
５．
少なくとも１つの取付手段が、シール面（１８、５２）の周りに配置された複数の孔（２６、２８、５４）を有することを特徴とする、上記１から４の少なくともいずれか一つの真空バルブ（１０）。
６．
孔のうちの少なくとも１つの孔（２６、５４）が、雌ねじを有する、及び／又は
孔のうちの少なくとも１つの孔（２８）が、基体を完全に貫通して延在する
ことを特徴とする、上記５の真空バルブ（１０）。
７．
シール面（１８、５２）は、ＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部に適合していることを特徴とする、上記１から６の少なくともいずれか一つの真空バルブ（１０）。
８．
真空バルブ（１０）は、真空ポンプ用の、特にターボ分子真空ポンプ（３０）用の予備真空バルブ、又は真空室を遮断するバルブ、又はマルチチャンバシステムを遮断するバルブであることを特徴とする、上記１から７の少なくともいずれか一つの真空バルブ（１０）。
９．
上記１から８の少なくともいずれか一つの真空バルブ（１０）と、
真空部品（３０、５８、８０）と、
真空バルブ（１０）と真空部品（３０、５８、８０）との間に配置されたシール手段（２４）と
を備えた、システム。
１０．
真空部品が、真空ポンプ（３０）、特にターボ分子真空ポンプ（３０）であって、基体（３６）と真空開口（４２）とを備え、真空開口（４２）は、シール手段（２４）に対するシール面（４４）によって囲繞されていて、真空開口（４２）及びシール面（４４）は、直接に基体（３６）に形成されていて、真空バルブ（１０）を取り付けるために用いられる少なくとも１つの取付手段（４７）が、基体（３６）に形成されていてることを特徴とする、上記９のシステム。
１１．
真空バルブ（１０）の少なくとも１つの電気コンタクト（３４）及び真空部品（３０）の少なくとも１つの電気コンタクト（４０）は、真空バルブ（１０）と真空部品（３０）とが真空密に互いに接続されると直ちに真空バルブ（１０）の少なくとも１つの電気コンタクト（３４）と真空部品（３０）の少なくとも１つの電気コンタクト（４０）とが接触するように、構成及び位置決めされていることを特徴とする、上記９又は１０のシステム。
１２．
真空部品（５８）は、真空バルブ（１０）に接続するためのフランジ（６０）、特にＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部を有し、フランジ（６０）は、シール面（６４）を形成する正面と、正面から離反する側の背面（６２）とを有することを特徴とする、上記９のシステム。
１３．
特に円弧状のクランプ要素（６６）が設けられていて、クランプ要素（６６）は、真空バルブ（１０）の少なくとも１つの取付手段（２６）に割り当てられた少なくとも１つの取付用アイ（６８、７０）を有することを特徴とする、上記１２のシステム。
１４．
クランプ要素（６６）は、真空部品（５８）のフランジの背面（６２）に当接する、真空バルブ（１０）に面する接触面（７６）を有し、
特に、接触面（７６）は、半径方向外側から半径方向内側へ真空バルブ（１０）の基体（１２）から離反する方へ傾斜していて、
特に、接触面（７６）の傾斜は、フランジの、特にＤＩＮ２８４０３及びＩＳＯ２８６１に準拠するＫＦ接続部の背面（６２）の傾斜に適合していることを特徴とする、上記１３のシステム。
１５．
クランプ要素（６６）は、２つの取付用アイ（６８、７０）を有し、取付用アイの一方は、全周にわたって閉じた孔（６８）であり、他方の取付用アイは、半径方向に部分的に開いた孔（７０）であることを特徴とする、上記１３又は１４のシステム。

【外国語明細書】