特開 2023-94634 回路基板及びその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023094634

(43)【公開日】2023-07-06

(54)【発明の名称】回路基板及びその製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01C 17/24 20060101AFI20230629BHJP

   H01L 21/822 20060101ALI20230629BHJP

   H01L 21/82 20060101ALI20230629BHJP

   H05K 1/16 20060101ALI20230629BHJP

【ＦＩ】

H01C17/24

H01L27/04 V

H01L21/82 F

H05K1/16 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021210037

(22)【出願日】2021-12-24

(71)【出願人】

【識別番号】000105350

【氏名又は名称】ＫＯＡ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100121083

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 宏義

(74)【代理人】

【識別番号】100138391

【弁理士】

【氏名又は名称】天田 昌行

(74)【代理人】

【識別番号】100121049

【弁理士】

【氏名又は名称】三輪 正義

(72)【発明者】

【氏名】久保田 博史

【テーマコード（参考）】

4E351

5E032

5F038

5F064

【Ｆターム（参考）】

4E351AA07

4E351BB06

4E351BB33

4E351DD19

4E351DD23

4E351FF04

4E351FF07

4E351FF18

4E351GG09

5E032TA03

5F038AV03

5F038AV10

5F038EZ20

5F064FF27

5F064FF32

5F064FF34

(57)【要約】

【課題】特に、抵抗値調整用パターンの外観確認を不要にでき、作業効率を改善できるとともに、抵抗特性の安定化を図ることができる回路基板及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の回路基板は、抵抗値調整用パターンを有する抵抗体（１ａ）と、前記抵抗値調整用パターンに対するトリミング開始点の位置を示すトリミング開始マーク（２０）と、を備え、前記トリミング開始マークは、第１のマーク（２３）と、前記第１のマークに対し間隔を空け前記抵抗値調整用パターンから離れた側で対向する第２のマーク（２４）と、を有することを特徴とする。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

抵抗値調整用パターンを有する抵抗体と、前記抵抗値調整用パターンに対するトリミング開始点の位置を示すトリミング開始マークと、を備え、
前記トリミング開始マークは、第１のマークと、前記第１のマークに対し間隔を空け前記抵抗値調整用パターンから離れた側で対向する第２のマークと、を有することを特徴とする回路基板。

【請求項2】

前記トリミング開始マークは、前記第１のマークと前記第２のマークの間を繋ぐ連結部を備えることを特徴とする請求項１に記載の回路基板。

【請求項3】

前記第１のマークの前記第２のマークに向かう方向の幅は、前記第２のマークの幅に比べて、広いことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の回路基板。

【請求項4】

前記第１のマークの前記第２のマークに対向する内側辺と、前記第２のマークの内側辺或いは前記内側辺と反対側の外側辺は、前記トリミング開始点のトリミング方向への位置が許容範囲内であるか否かを判別する外観確認ラインであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の回路基板。

【請求項5】

前記第１のマークの内側辺と外側辺の両端を繋ぐ上辺と下辺は、前記トリミング開始点の前記トリミング方向と直交する方向の位置が許容範囲内であるか否かを判別する外観確認ラインであることを特徴とする請求項４に記載の回路基板。

【請求項6】

基板表面に、抵抗値調整用パターンを有する抵抗体を形成する工程、
第１のマークと、前記第１のマークに間隔を空け前記抵抗値調整用パターンから離れた側で対向する第２のマークと、を有するトリミング開始マークを形成する工程、
を含むことを特徴とする回路基板の製造方法。

【請求項7】

前記トリミング開始マークの位置から、前記抵抗値調整用パターンに向けてトリミングを開始する工程、
トリミング後に、前記トリミング開始マークの外観を確認してトリミング開始点の位置が許容範囲内であるか否かを判別する工程、
を含むことを特徴とする請求項６に記載の回路基板の製造方法。

【請求項8】

トリミング後に、前記第１のマークの前記第２のマークに対向する内側辺と、前記第２のマークの内側辺或いは前記内側辺と反対側の外側辺の外観を確認し、外観確認の結果に基づいて、トリミング開始点のトリミング方向への位置が、許容範囲内であるか否かを判定することを特徴とする請求項７に記載の回路基板の製造方法。

【請求項9】

前記トリミング後に、前記第１のマークの上辺と下辺の外観を確認し、外観確認の結果に基づいて、トリミング開始点のトリミング方向と直交する方向への位置が、許容範囲内であるか否かを判定することを特徴とする請求項８に記載の回路基板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、絶縁基板上に、抵抗値調整用パターンを有する抵抗体と、トリミング開始マークとを備えた回路基板に関する。

【背景技術】

【0002】

薄膜抵抗器に適用される回路基板は、蒸着やフォトリソグラフィ技術により、所定のパターンを有する薄膜抵抗体を備える。薄膜抵抗体は、繰り返し折り返したパターン（ミアンダパターンとも呼ばれる）で形成されている（特許文献１を参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開昭６４－５７６０１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の発明では、絶縁基板上に、抵抗値調整用パターンを有する膜抵抗と、トリミング位置アライメントパターンとを形成している。そして、トリミング位置アライメントパターンから約２０μｍから１００μｍ離れた箇所をレーザ照射開始位置として、トリミングを開始している。

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載の発明では、トリミング開始点に位置ずれが生じたとき、トリミングされた抵抗値調整用パターンの外観確認により正しくトリミングされているか否か判断するしかなかった。特に、抵抗値調整用パターンが繰り返し折り返されたミアンダパターンであり、ミアンダパターンを横切ってトリミングする場合、トリミング開始点に位置ずれが生じると、抵抗値調整用パターンに切り残しが発生するリスクが高かった。切り残しの生じた箇所では抵抗負荷が大きくなり抵抗特性が不安定化する問題があった。

【0006】

このため、従来では、抵抗値調整用パターンに切り残しが生じているか否か、トリミングした抵抗値調整用パターンの外観を一本ずつ確認する作業が必要になり、非常に煩雑化した。

【0007】

そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、特に、抵抗値調整用パターンの外観確認を不要にでき、作業効率を改善できるとともに、トリミングによる切り残しの発生リスクを低減できる回路基板及びその製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明における回路基板は、抵抗値調整用パターンを有する抵抗体と、前記抵抗値調整用パターンに対するトリミング開始点の位置を示すトリミング開始マークと、を備え、前記トリミング開始マークは、第１のマークと、前記第１のマークに対し間隔を空け前記抵抗値調整用パターンから離れた側で対向する第２のマークと、を有することを特徴とする。

【0009】

本発明では、前記トリミング開始マークは、前記第１のマークと前記第２のマークの間を繋ぐ連結部を備えることが好ましい。
本発明では、前記第１のマークの前記第２のマークに向かう方向の幅は、前記第２のマークの幅に比べて、広いことが好ましい。

【0010】

本発明では、前記第１のマークの前記第２のマークに対向する内側辺と、前記第２のマークの内側辺或いは前記内側辺と反対側の外側辺は、前記トリミング開始点のトリミング方向への位置が許容範囲内であるか否かを判別する外観確認ラインであることが好ましい。

【0011】

本発明では、前記第１のマークの内側辺と外側辺の両端を繋ぐ上辺と下辺は、前記トリミング開始点の前記トリミング方向と直交する方向の位置が許容範囲内であるか否かを判別する外観確認ラインであることが好ましい。

【0012】

本発明における回路基板の製造方法は、基板表面に、抵抗値調整用パターンを有する抵抗体を形成する工程、第１のマークと、前記第１のマークに間隔を空け前記抵抗値調整用パターンから離れた側で対向する第２のマークと、を有するトリミング開始マークを形成する工程、を含むことを特徴とする。

【0013】

本発明では、前記トリミング開始マークの位置から、前記抵抗値調整用パターンに向けてトリミングを開始する工程、トリミング後に、前記トリミング開始マークの外観を確認してトリミング開始点の位置が許容範囲内であるか否かを判別する工程、を含むことが好ましい。

【0014】

本発明では、トリミング後に、前記第１のマークの前記第２のマークに対向する内側辺と、前記第２のマークの内側辺或いは前記内側辺と反対側の外側辺の外観を確認し、外観確認の結果に基づいて、トリミング開始点のトリミング方向への位置が、許容範囲内であるか否かを判定することが好ましい。

【0015】

本発明では、前記トリミング後に、前記第１のマークの上辺と下辺の外観を確認し、外観確認の結果に基づいて、トリミング開始点のトリミング方向と直交する方向への位置が、許容範囲内であるか否かを判定することが好ましい。

【発明の効果】

【0016】

本発明では、トリミング開始マークの外観確認により、トリミング開始点の位置ずれが許容範囲内にあるか否かを判断でき、作業効率を改善できる。更に、トリミングによる切り残しの発生リスクを低減でき、抵抗特性の安定化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明の本実施の形態における抵抗値調整用パターンを有する薄膜抵抗体の平面図である。

【図2】（ａ）（ｂ）は、比較例におけるトリミング開始マークの問題点を説明するための、抵抗値調整用パターン及びトリミング開始マークの拡大平面図である。

【図3】本発明の第１の実施の形態におけるトリミング開始マークの拡大平面図である。

【図4】図３に示すトリミング開始マークと抵抗値調整用パターンを示す拡大平面図である。

【図5】（ａ）は、トリミング開始点の位置が、トリミング開始マーク内に記載された許容範囲内にある場合、（ｂ）～（ｄ）は、トリミング開始点の位置が、トリミング開始マーク内に規定された許容範囲外にある場合の、トリミング後のトリミング開始マークを示す拡大平面図である。

【図6】（ａ）（ｂ）は、図３に示す第１の実施の形態のトリミング開始マークとは異なる形状のトリミング開始マークを示す拡大平面図である。

【図7】本実施の形態の回路基板を備えた薄膜抵抗器の部分断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、本発明の一実施の形態（以下、「実施の形態」と略記する。）について、詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。

【0019】

本実施の形態における回路基板は、チップ抵抗器や、薄膜抵抗ネットワーク等に適用され、例えば、本実施の形態における回路基板９を備えた薄膜抵抗器１０は、図７に示す断面図を有する。

【0020】

図７に示すように、絶縁基板２の表面に、抵抗配線が繰り返し折り返されたパターンからなる薄膜抵抗体１が形成されている。薄膜抵抗体１の両端の表面には、夫々、表面電極３ａ、３ｂが形成されており、薄膜抵抗体１と表面電極３ａ、３ｂとは電気的に接続されている。また、絶縁基板２の裏面には裏面電極３ｃ、３ｄが形成されている。
なお、絶縁基板２、薄膜抵抗体１及び表面電極３ａ、３ｂを含めて回路基板を構成する。

【0021】

図７に示すように、表面電極３ａ、３ｂから露出する薄膜抵抗体１の表面は、保護膜１４で覆われている。また、図７に示すように、保護膜１４の端部には、表面電極３ａ、３ｂと裏面電極３ｃ、３ｄとを覆うように、外部電極メッキ１９ａ、１９ｂが施されている。

【0022】

材質を限定するものではないが、絶縁基板２は、例えば、電気絶縁性を有するアルミナ焼結体等のセラミックスからなる。また、薄膜抵抗体１は、例えば、ニッケル-クロム（NiCr）からなる。表面電極３ａ、３ｂ及び裏面電極３ｃ、３ｄは、薄膜抵抗体１よりも電気導電性に優れた導電性材料で形成される。保護膜１４は、例えば、エポキシ系絶縁樹脂等で成形される。外部電極メッキ１９ａ、１９ｂは、例えば、ニッケルでメッキ形成される。

【0023】

＜薄膜抵抗体１の概要＞
図１は、本発明の本実施の形態における抵抗値調整用パターンを有する薄膜抵抗体１の平面図である。
図１に示すＸ１－Ｘ２方向及びＹ１－Ｙ２方向は、絶縁基板２の表面内にて直交する２方向を示す。

【0024】

図１に示す薄膜抵抗体１は、図７に示す絶縁基板２の表面に形成されるものであり、絶縁基板２とともに回路基板９を構成するが、図面では、絶縁基板２を省略し、薄膜抵抗体１のみ図示した。

【0025】

図１に示すように、薄膜抵抗体１は、抵抗配線が、Ｙ１－Ｙ２方向に延出するとともに、Ｘ１－Ｘ２方向に所定の間隔を開けて対向するように交互に折り返したミアンダ形状の抵抗体パターン１ａを備える。抵抗体パターン１ａのＸ１－Ｘ２方向の両端には、配線幅よりも幅が広い幅広部１ｅ、１ｆが形成される。そして、各幅広部１ｅ、１ｆの表面に、夫々、表面電極３ａ、３ｂが形成されている。

【0026】

図１に示すように、抵抗体パターン１ａのＹ２側にてＸ１－Ｘ２方向に隣り合う折り返し端部５間に、抵抗値調整用パターン６が、抵抗体パターン１ａと一体的に形成されている。抵抗値調整用パターン６は、Ｙ２側の折り返し端部５からＹ２方向に延出しており、複数の抵抗値調整用パターン６が、Ｘ１－Ｘ２方向に間隔を空けて並んで形成されている。そして、複数の抵抗値調整用パターン６が、Ｙ２側にて連結パターン７により繋がっている。図１に示すパターン構成により、抵抗値調整用パターン６をトリミングすることで、抵抗体パターン１ａの抵抗値の調整を行うことができる。

【0027】

図１に示すように、抵抗値調整用パターン６の近傍には、トリミング開始マーク２０が形成されている。

【0028】

本実施の形態では、トリミング開始マーク２０の位置に、トリミング開始点を合わせて、抵抗値調整用パターン６に向けて、図１の矢印に示すように、トリミングを開始し、所定の抵抗値となった時点でトリミングを終了する。これに対して、特許文献１に示したトリミング位置アライメントパターンは、その位置にトリミング開始点を合わせるための目印ではなく、トリミング位置アライメントパターンから離れた箇所からトリミングを開始しており、本実施の形態と同じ目的や機能を持つトリミング開始マークに該当しない。
以下、トリミング開始マークの比較例や本実施の形態の形状などについて説明する。

【0029】

＜比較例における抵抗値調整用パターン及びその問題点＞
図２（ａ）（ｂ）に示すように、抵抗値調整用パターン６のＸ２側の近傍には、略正方形のトリミング開始マーク２１が設けられている。図２（ａ）（ｂ）に示すトリミング開始マーク２１は比較例である。

【0030】

図２（ａ）は、トリミング開始点Ａに位置ずれが生じておらず正常にトリミングが行われた場合である。図２（ａ）（ｂ）の点線部分がトリミング領域２２である。したがって、トリミング領域２２内の抵抗値調整用パターン６は除去される。抵抗値調整用パターン６が除去されることで、抵抗体パターン１ａの長さが短くなり、抵抗体パターン１ａの抵抗値を下げることができる。

【0031】

ここで、「トリミング開始点Ａ」とは、トリミングを開始する側の最も端に位置する先端部分を示す（すなわち、図２（ａ）では最もＸ２側の位置）。図２（ａ）のトリミング領域２２に示すように、トリミング開始マーク２１からＸ１方向に向けてトリミングが行われ、計２本の抵抗値調整用パターン６を切断している。

【0032】

これに対し、図２（ｂ）では、トリミング開始点Ａに位置ずれが生じている。図２（ｂ）では、トリミング開始点Ａが正しい位置よりもＸ１側にずれている。これにより、トリミング領域２２もＸ１側にずれてしまい、３本目の抵抗値調整用パターン６に切り残しが生じる（図２（ｂ）に示す領域Ｂ内を参照）。

【0033】

特に、高い抵抗値を実現するにあたり、抵抗体パターン１ａの長さをより長く延ばすために、各抵抗体パターン１ａのピッチが狭くなっており、ひいては、各抵抗値調整用パターン６のピッチも狭くなる。このため、トリミング開始点Ａに位置ずれが生じると図２（ｂ）に示したように、抵抗値調整用パターン６に切り残しが生じやすい。切り残しが箇所では抵抗負荷が大きくなり、抵抗特性が不安定化する問題が生じる。

【0034】

そして、上記のように、トリミング開始点Ａに位置ずれが生じたとき、抵抗値調整用パターン６に切り残しが生じているか否かは、トリミングした抵抗値調整用パターン６の外観を一本ずつ確認しなければわからず、確認作業が非常に煩雑化した。すなわち、図２に示す比較例のトリミング開始マーク２１は、トリミングの開始座標位置を登録する目印として機能するのみで、切り残しの確認は、直に抵抗値調整用パターン６の外観確認を必要とした。

【0035】

このように、比較例では、切り残し発生の有無は、各抵抗値調整用パターンを一本ずつ確認しなければならず、すなわち、確認作業が多数箇所で生じるために、切り残しの発生リスクも高まり、抵抗特性の安定化を適切に図ることができず、歩留まりが低下する。

【0036】

＜本実施の形態における抵抗値調整用パターンの概要＞
図３は、本発明の第１の実施の形態におけるトリミング開始マークの拡大平面図である。図４は、図３に示すトリミング開始マークと抵抗値調整用パターンを示す拡大平面図である。

【0037】

図４に示すように、トリミング開始マーク２０は、例えば、抵抗値調整用パターン６の左側（Ｘ２側）近傍に配置される。なお、限定するものではないが、トリミング開始マーク２０は、薄膜抵抗体１と同じ材質で形成されることが好ましい。

【0038】

図３、図４に示すように、トリミング開始マーク２０は、抵抗値調整用パターン６に近い側（Ｘ１側）に配置された第１のマーク２３と、第１のマーク２３から間隔を空け抵抗値調整用パターン６から遠い側（Ｘ２側）に配置された第２のマーク２４とを有して構成される。

【0039】

第１のマーク２３と第２のマーク２４とは、Ｘ１－Ｘ２に間隔を空けて対向している。Ｘ１－Ｘ２方向は、トリミング開始マーク２０から抵抗値調整用パターン６に向けてのトリミング方向である。

【0040】

図３に示すように、第１のマーク２３は、Ｘ１－Ｘ２方向に第１の幅Ｔ１を有し、Ｘ１－Ｘ２方向に対し直交するＹ１－Ｙ２方向に第１の長さＬ１で形成された略矩形状のパターンである。また、第２のマーク２４は、Ｘ１－Ｘ２方向に第２の幅Ｔ２を有し、Ｙ１－Ｙ２方向に第２の長さＬ２で形成された略矩形状のパターンである。図３に示すように、第１の幅Ｔ１のほうが、第２の幅Ｔ２よりも広い。また、図３では、第１の長さＬ１と第２の長さＬ２とが略同一であるが多少異なっていてもよい。

【0041】

図３に示すように、第１のマーク２３と第２のマーク２４の間を繋ぐ連結部２５が形成されている。連結部２５は、第１のマーク２３と第２のマーク２４の長さＬ１、Ｌ２の中央位置に形成されることが好ましい。連結部２５は、Ｘ１－Ｘ２方向に平行に形成されることが好ましい。

【0042】

図４に示すように、トリミング開始マーク２０からＸ１方向に向けて抵抗値調整用パターン６に対しトリミングを行う。図４の符号２２がトリミング領域であり、トリミングにより３本の抵抗値調整用パターン６を切断している。

【0043】

本実施の形態では、トリミング方向であるＸ１－Ｘ２方向に、第１のマーク２３と第２のマーク２４を間隔を空けて配置したことで、トリミング開始点Ａのトリミング方向への位置ずれの許容範囲Ｃを、例えば、第１のマーク２３の内側辺２３ａと第２のマーク２４の外側辺２４ｂとの間の限定した領域内に絞り込むことができる。一方、図２に示す比較例のトリミング開始マーク２１では、トリミング開始点Ａのトリミング方向への位置ずれの許容範囲を、トリミング開始マーク２１内の限定した範囲に絞り込むことができない。

【0044】

本実施の形態では、トリミング開始点Ａの位置が、トリミング開始マーク２０の許容範囲Ｃ内にあれば、図２（ｂ）に示すような切り残しは生じておらず、一方、トリミング開始点Ａの位置が、トリミング開始マーク２０の許容範囲Ｃ外にあると、図２（ｂ）に示すような切り残しが生じやすくなる。

【0045】

図２に示す比較例のトリミング開始マーク２１を用いた場合は、抵抗値調整用パターン６の外観を一本ずつ確認しなければ切り残しの有無を判断できなかったが、本実施の形態では、トリミング開始マーク２０の外観を確認すれば、位置ずれが切り残しを生じない許容範囲内にあるか否かを判断することができる。

【0046】

＜本実施の形態におけるトリミング開始マーク２０の外観確認について＞
図５（ａ）は、トリミング開始点Ａの位置が、トリミング開始マークの許容範囲内にある場合、（ｂ）～（ｄ）は、トリミング開始点Ａの位置が、トリミング開始マークの許容範囲外にある場合を示すトリミング開始マークの拡大平面図である。

【0047】

なお、図５（ａ）～図５（ｄ）は、いずれもトリミング後の状態を示しているため、トリミング開始マーク２０に対してトリミングされた箇所は除去されているが、見やすくするために、トリミング領域２２を点線で示し、また、除去されるトリミング開始マーク２０の一部を二点鎖線で補った。

【0048】

図５（ａ）に示すように、トリミング開始点Ａの位置は、許容範囲Ｃ内にある。すなわち、トリミング開始点Ａは、第１のマーク２３の内側辺２３ａと第２のマーク２４の外側辺２４ｂとの間に位置する。このとき、許容範囲Ｃの両端に位置する第１のマーク２３の内側辺２３ａと、第２のマーク２４の外側辺２４ｂを外観確認ラインとすることで、トリミング開始点Ａの位置が、許容範囲Ｃ内にあることがわかる。すなわち、図５（ａ）に示すように、トリミングが行われた後は、第１のマーク２３の内側辺２３ａの一部（図５（ａ）で示す二重鎖線２３ｅ）は、除去されており、第１のマーク２３の内側辺２３ａは、Ｙ１－Ｙ２方向の両側にのみ一部が残された状態になっている。一方、第２のマーク２４の外側辺２４ｂは、トリミングがされずそのまま残っている。したがって、許容範囲Ｃの両端ラインである第１のマーク２３の内側辺２３ａと第２のマーク２４の外側辺２３ｂのトリミング後の外観を確認することで、トリミング開始点Ａの位置が、許容範囲Ｃ内に入っていることを認識できる。

【0049】

一方、図５（ｂ）では、トリミング開始点Ａの位置が、許容範囲ＣよりもＸ２側に外れている。この場合は、第１のマーク２３の内側辺２３ａの一部（図５（ｂ）で示す二重鎖線２３ｅ）のみならず、第２のマーク２４の外側辺２４ｂの一部（図５（ｂ）で示す二重鎖線２４ｅ）もトリミングされており、第１のマーク２３の内側辺２３ａ及び第２のマーク２４の外側辺２４ｂはいずれも一部しか残らない。上記のように外観確認できた場合は、トリミング開始点Ａの位置が許容範囲ＣよりもＸ２側に外れていると判断することができる。

【0050】

また、図５（ｃ）では、トリミング開始点Ａの位置が、許容範囲ＣよりもＸ１側に外れている。この場合は、第１のマーク２３の内側辺２３ａ及び、第２のマーク２４の外側辺２４ｂの双方がトリミングされずにそのまま残されている。上記のように外観確認できた場合は、トリミング開始点Ａの位置が許容範囲ＣよりもＸ１側に外れていると判断することができる。

【0051】

このように、本実施の形態では、トリミング開始点Ａのトリミング方向（Ｘ１－Ｘ２方向）への位置ずれを、トリミング開始マーク２０の許容範囲Ｃの両端に位置する第１のマーク２３の内側辺２３ａ及び、第２のマーク２４の外側辺２４ｂの外観確認により判断でき、図２の比較例で説明したような抵抗値調整用パターンの外観を一本ずつ確認する作業が不要である。したがって、本実施の形態では、トリミング後の外観確認作業を大幅に短縮でき、また確認作業が容易になることで、トリミングによる切り残しの発生リスクを低減でき、抵抗特性の安定化を適切に図ることができる。

【0052】

また、図５（ａ）～図５（ｃ）では、トリミング開始点Ａの位置がトリミング方向（Ｘ１－Ｘ２）の許容範囲Ｃ内にあるか否かの確認方法を説明した。これに加えて、本実施の形態では、トリミング開始点Ａのトリミング方向に対し直交する方向への位置ずれも確認することができる。例えば、図５（ｄ）では、トリミング開始点Ａが、許容範囲Ｃ内に入っているが、図５（ａ）に比べて、図示上方にずれている。このとき、第１のマーク２３の上辺２３ｃ及び下辺２３ｄの外観確認を行う。「上辺２３ｃ」及び「下辺２３ｄ」は、第１のマーク２３の内側辺２３ａと外側辺２３ｂとの両端を繋いだ両端辺を指す。

【0053】

すなわち、図５（ａ）に示すように、第１のマーク２３の上辺２３ｃ及び下辺２３ｄがトリミングされずにそのまま残されていることを確認することで、トリミング開始点Ａは、トリミング方向（Ｘ１－Ｘ２方向）のみならず、それに直交する方向（Ｙ１－Ｙ２方向）に対しても位置ずれが生じていないことを確認できる。一方、図５（ｄ）に示すように、トリミング開始点Ａが図示上方（Ｙ１方向）にずれており、第１のマーク２３の上辺２３ｃがトリミングされていることを確認できた場合は、トリミング開始点Ａは図示上方に許容範囲を超えて位置ずれが生じていると判断できる。同様に、トリミング開始点Ａが図示下方（Ｙ２方向）にずれており、第１のマーク２３の下辺２３ｄがトリミングされていることを確認できた場合は、トリミング開始点Ａは図示下方に許容範囲を超えて位置ずれが生じていると判断できる。なお、トリミング領域２２のＹ１－Ｙ２方向への長さと、第１のマーク２３のＹ１－Ｙ２方向への第１の長さＬ１との大小関係によっては、Ｙ１－Ｙ２方向への位置ずれが生じていないとき、図５（ａ）と異なって、第１のマーク２３の上辺２３ｃ及び下辺２３ｄの少なくとも一部がトリミングされるため、上記の大小関係に応じた、第１のマーク２３の上辺２３ｃ及び下辺２３ｄの外観確認により、トリミング開始点Ａが、Ｙ１－Ｙ２方向に対して位置ずれが生じているか否かを判断できる。

【0054】

以上のように、本実施の形態では、トリミング開始マーク２０の外観を確認することで、トリミング開始点の位置ずれが許容範囲内か否かを判断できる。具体的には、例えば、抵抗値調整用パターンに近い側の第１のマーク２３の内側辺２３ａと、抵抗値調整用パターンから遠い側の第２のマーク２４の外側辺２４ｂの外観を確認することにより、トリミング開始点Ａの位置がトリミング方向の許容範囲Ｃ内にあるか否かを判断できる。加えて、例えば、第１のマーク２３の上辺２３ｃ及び下辺２３ｄの外観を確認することにより、トリミング開始点Ａの位置がトリミング方向に対して直交する方向の許容範囲内にあるか否かを判断できる。

【0055】

このように、本実施の形態では、トリミング開始マーク２０の外観確認のみで、トリミング開始点Ａが位置ずれの許容範囲内に入っているか否かを判断でき、抵抗値調整用パターン６の外観確認を必要としない。

【0056】

また、図３に示すように、第１のマーク２３の幅Ｔ１は、第２のマーク２４の幅Ｔ２よりも広い。このため、第１のマーク２３の上辺２３ｃ及び下辺２３ｄの長さ（幅Ｔ１に一致）は、第２のマーク２４の上辺２４ｃ及び下辺２４ｄの長さ（幅Ｔ２に一致）よりも大きい。よって、トリミング開始点ＡのＹ１－Ｙ２方向の位置ずれを、第１のマーク２３の上辺２３ｃ及び下辺２３ｄの外観確認により精度よく判断できる。すなわち、トリミング領域２２の先端は、略円弧状であるため、第１のマーク２３の上辺２３ｃ及び下辺２３ｄが短いと、トリミング開始点ＡがＹ１－Ｙ２方向に位置ずれを起こしていても、トリミング領域２２の先端と第１のマーク２３の上辺２３ｃ或いは下辺２３ｄとが適切に重ならず、Ｙ１－Ｙ２方向への位置ずれを高精度に判断できない可能性がある。そこで、第１のマーク２３の上辺２３ｃ及び下辺２３ｄを長く延ばすことで、トリミング開始点ＡがＹ１－Ｙ２方向に位置ずれを起こした場合、トリミング領域２２の先端と第１のマーク２３の上辺２３ｃ或いは下辺２３ｄとの重なる範囲が広がり、Ｙ１－Ｙ２方向への位置ずれを高精度に判断できる。

【0057】

＜別の実施の形態における抵抗値調整用パターンの概要＞
図６（ａ）（ｂ）は、図３に示す第１の実施の形態のトリミング開始マークとは形状が異なるトリミング開始マークを示す拡大平面図である。

【0058】

図６（ａ）では、トリミング開始マーク２６が、抵抗値調整用パターン６に近い側（Ｘ１側）に配置された第１のマーク２３と、第１のマーク２３と間隔を空けて対向する第２のマーク２４と、で構成されており、図３と異なって連結部２５が設けられていない。図６（ａ）においても、トリミング開始点Ａのトリミング方向（Ｘ１－Ｘ２方向）への位置ずれの許容範囲Ｃを、例えば、第１のマーク２３の内側辺２３ａと第２のマーク２４の外側辺２４ｂとの間で規定でき、第１のマーク２３の内側辺２３ａ及び第２のマーク２４の外側辺２４ｂを外観確認ラインに用いることができる。また、トリミング開始点Ａのトリミング方向とは直交する方向（Ｙ１－Ｙ２方向）への位置ずれに関しても、第１のマーク２３の上辺２３ｃ及び下辺２３ｄを外観確認ラインとして用いることができる。

【0059】

図６（ａ）では図３と異なって第１のマーク２３と第２のマーク２４の間を繋ぐ連結部２５は設けられていないが、連結部２５は設けられていることが好ましい。すなわち、図３（ａ）のように、連結部２５の位置でトリミング開始点Ａが重なることで、連結部２５の外観確認により、トリミング開始点Ａが許容範囲Ｃ内にあることをより精度よく判断できる。また、トリミング開始点Ａの正確な座標を取得しやすい。
なお、連結部２５は、第１のマーク２３と第２のマーク２４のＹ１－Ｙ２方向の中央を繋ぐように形成されることが好ましい。

【0060】

また、図６（ｂ）に示すトリミング開始マーク２７は、抵抗値調整用パターン６に近い側（Ｘ１側）に配置された第１のマーク２３と、第１のマーク２３と間隔を空けて対向する第２のマーク２４と、第１のマーク２３と第２のマーク２４のＹ１－Ｙ２方向の中央を連結する中央連結部２８と、第１のマーク２３と第２のマーク２４のＹ１－Ｙ２方向のＹ１側端部を連結する上辺連結部２９と、第１のマーク２３と第２のマーク２４のＹ１－Ｙ２方向のＹ２側端部を連結する下辺連結部３０と、を有して構成される。

【0061】

図６（ｂ）のトリミング開始マーク２７においても、第１のマーク２３の内側辺２３ａと第２のマーク２４の外側辺２４ｂの間にて、トリミング開始点Ａのトリミング方向（Ｘ１－Ｘ２方向）への位置ずれの許容範囲Ｃを規定することができ、第１のマーク２３の内側辺２３ａと第２のマーク２４の外側辺２４ｂを外観確認ラインに用いることができる。また、図６（ｂ）では、第１のマーク２３と第２のマーク２４の間を中央連結部２８のみならず、上辺連結部２９及び下辺連結部３０にて繋いでおり、上辺連結部２９の上辺２９ａ及び下辺連結部３０の下辺３０ａを、トリミング開始点Ａがトリミング方向に対して直交する方向に位置ずれが生じているか判断するための外観確ラインとして用いることができる。

【0062】

図６（ｂ）に示すように、上辺連結部２９の上辺２９ａ及び下辺連結部３０の下辺３０ａは、図３や図６（ａ）に示す第１のマーク２３の上辺２３ｃ及び下辺２３ｄよりも長さが長いため、より精度よく、トリミング開始点Ａのトリミング方向とは直交する方向への位置ずれを判断することができる。

【0063】

また、上記では、トリミング開始点Ａのトリミング方向への位置ずれの許容範囲Ｃを、第１のマーク２３の内側辺２３ａと第２のマーク２４の外側辺２４ｂの間に設定し、第１のマーク２３の内側辺２３ａ及び第２のマーク２４の外側辺２４ｂを外観確認ラインとしたが、第１のマーク２３の内側辺２３ａ及び第２のマーク２４の内側辺２４ａを外観確認ラインとすることもできる。これにより、トリミング開始点Ａのトリミング方向への位置ずれの許容範囲Ｃは、第１のマーク２３と第２のマーク２４の間の間隔となる。すなわち、許容範囲Ｃの一方の外観確認ラインは、第１のマーク２３の内側辺２３ａで規定されるが、もう一方の外観確認ラインは、第１のマーク２３と第２のマーク２４の間の間隔に応じて、内側辺２３ａ或いは外側辺２３ｂのどちらかに規定することができる。

【0064】

＜本実施の形態における回路基板の製造方法＞
本実施の形態における回路基板９の製造方法について説明する。

【0065】

まず、絶縁基板２の表面全体に抵抗膜をスパッタ法等の既存の方法により形成する。そして、抵抗膜を、図１に示す抵抗値調整用パターンを備えた薄膜抵抗体１の形状にパターニングする。このとき、薄膜抵抗体１のパターニングと同時に、抵抗膜を、トリミング開始マーク２０の形状にパターニングすることが好ましい。これにより、抵抗値調整用パターンを備えた薄膜抵抗体１とトリミング開始マーク２０とを、絶縁基板２の表面に同時に形成できる。また、抵抗値調整用パターンを備えた薄膜抵抗体１とトリミング開始マーク２０とを同じ材質で形成できる。

【0066】

本実施の形態では、トリミング開始マーク２０を、少なくとも、抵抗値調整用パターン６に近い側に配置する第１のマーク２３と、第１のマーク２３に間隔を空けて対向する第２のマーク２４とで形成する。図３のように、第１のマーク２３と第２のマーク２４との間を連結部２５にて連結することが好ましい。また、図３に示すように、第１のマーク２３の幅Ｔ１を、第２のマーク２４の幅Ｔ２より広く形成することが好ましい。

【0067】

次に、本実施の形態では、図４に示すように、トリミング開始マーク２０の位置から抵抗値調整用パターン６に向けてトリミングを行う。

【0068】

本実施の形態では、抵抗値調整用パターン６に対してトリミングを終了した後、トリミング開始マーク２０の外観を確認して、トリミング開始点Ａの位置が許容範囲内であるか否かを判別する。すなわち、図５（ａ）に示すように、例えば、第１のマーク２３の内側辺２３ａと、第２のマーク２４の外側辺２４ｂの外観確認を行い、第１のマーク２３の内側辺２３ａがトリミングにより一部除去されており、第２のマーク２４の外側辺２４ｂがトリミングされずにそのまま残されている状態では、トリミング開始点Ａの位置は、許容範囲Ｃ内に存在すると判別できる。一方、図５（ｂ）に示すように、第１のマーク２３の内側辺２３ａ及び第２のマーク２４の外側辺２４ｂの双方の一部がトリミングにて除去されていたり、図５（ｃ）に示すように、第１のマーク２３の内側辺２３ａ及び第２のマーク２４の外側辺２４ｂの双方がトリミングされずにそのまま残された状態では、トリミング開始点Ａの位置は、許容範囲Ｃの外側に存在すると判別できる。また、一例であるが、図５（ａ）に示すように、第１のマーク２３の上辺２３ｃや下辺２３ｄの外観が、トリミングされずにそのまま残されていると確認できた場合は、トリミング開始点Ａがトリミング方向のみならず、それに直交する方向に対しても位置ずれが生じておらず許容範囲内に存在していると判断できる。また、図５（ｄ）に示すように、第１のマーク２３の上辺２３ｃの外観が、トリミングされてしまい除去されていると確認できた場合は、トリミング開始点Ａがトリミング方向に直交する方向に対して、位置ずれが生じていると判断できる。

【0069】

図５（ｂ）～図５（ｄ）に示すトリミング開始マーク２０の外観観察では、トリミング開始点Ａに位置ずれが生じており、抵抗値調整用パターンに切り残しが生じているリスクがあるため、トリミング開始点Ａの座標位置を修正した後、再度、別列の抗値調整用パターンに対してトリミングを行う。図５（ａ）に示すトリミング開始マーク２０の外観が得られたら、トリミング開始点Ａの位置ずれは許容範囲内であることがわかり、すなわち、抵抗値調整用パターンに切り残しが生じていないと判断できる。

【0070】

このように、本実施の形態では、トリミング開始マーク２０の外観確認を行うことのみで、トリミング開始点Ａの位置ずれが許容範囲内か、許容範囲から外れているかを判断でき、確認作業を容易にできる。そのため、抵抗値調整用パターンに対する切り残しの発生リスクを低減でき、安定した抵抗特性を備える回路基板を歩留まりよく製造することができる。

【0071】

なお、物の発明は、図１に示すように、抵抗値調整用パターンに対してトリミングを施す前の状態を示しているが、実際に製品化された薄膜抵抗器１０は、抵抗値調整用パターンに対してトリミングされて抵抗値が調整された後の状態である。そこで、抵抗値調整用パターンに対してトリミングされた後の状態であっても図５（ａ）のように、第１のマーク２３及び第２のマーク２４の少なくとも一部は残されているため、抵抗値調整用パターンに対してトリミングを施す前の状態を認識することが可能であり、抵抗値調整用パターンに対してトリミングされた後の状態も発明の権利範囲に含まれる。

【0072】

また、図１等で示した抵抗値調整用パターン６は、例えば、抵抗値の粗調整用であり、より細かい抵抗値の調整は、図示しない微調整用の抵抗値調整用パターンを用いて行うことができる。このように、抵抗値調整用パターンを複数種類、配置した場合、各抵抗値調整用パターンに対して、図３に示すトリミング開始マーク２０を適用することができる。

【産業上の利用可能性】

【0073】

本発明の回路基板では、トリミング開始マークの外観確認により、トリミング開始点の位置が許容範囲内にあるか否かを判断できる。そのため、作業効率を向上させることができ、また、抵抗値調整用パターンの切り残しの発生リスクを抑えることができ、回路基板を歩留まりよく製造することができる。
回路基板としては、チップ抵抗器や、薄膜抵抗ネットワーク等に適用できる。

【符号の説明】

【0074】

１ ：薄膜抵抗体
１ａ ：抵抗体パターン
１ｅ、１ｆ ：幅広部
２ ：絶縁基板
３ａ～３ｄ ：電極
５ ：折り返し端部
６ ：抵抗値調整用パターン
９ ：回路基板
１０ ：薄膜抵抗器
２０ ：トリミング開始マーク
２２ ：トリミング領域
２３ ：第１のマーク
２３ａ、２４ａ ：内側辺
２３ｂ、２４ｂ ：外側辺
２３ｃ、２４ｃ，２９ａ ：上辺
２３ｄ、２４ｄ、３０ａ ：下辺
２４ ：第２のマーク
２５ ：連結部
２８ ：中央連結部
２９ ：上辺連結部
３０ ：下辺連結部
Ａ ：トリミング開始点
Ｃ ：許容範囲

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】