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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023009493
(43)【公開日】2023-01-20
(54)【発明の名称】ホウ素の除去方法
(51)【国際特許分類】
C02F 1/42 20230101AFI20230113BHJP
B01J 45/00 20060101ALI20230113BHJP
【ＦＩ】
C02F1/42 B
B01J45/00
【審査請求】未請求
【請求項の数】2
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021112838
(22)【出願日】2021-07-07
(71)【出願人】
【識別番号】000004400
【氏名又は名称】オルガノ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002538
【氏名又は名称】弁理士法人あしたば国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】橋本 浩一郎
(72)【発明者】
【氏名】横田 治雄
【テーマコード（参考）】
4D025
【Ｆターム（参考）】
4D025AA01
4D025AB33
4D025BA17
4D025BA22
4D025BA27
4D025BB02
4D025BB07
(57)【要約】
【課題】被処理水中のホウ素を、全有機炭素濃度の上昇を抑制しつつ効果的に除去する方法を提供する。
【解決手段】グルカミン基を有し、全有機炭素放出量が１０μｇ／Ｌ以下であるホウ素選択性イオン交換樹脂に対し、ホウ素含有量が５００μｇ／Ｌ以下の被処理水を、液空間速度ＳＶが６０～７００ｈ－１となるように通水することを特徴とするホウ素の除去方法であり、好ましくは、上記ホウ素選択性イオン交換樹脂が、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理したものであるホウ素の除去方法である。
【選択図】なし
【解決手段】グルカミン基を有し、全有機炭素放出量が１０μｇ／Ｌ以下であるホウ素選択性イオン交換樹脂に対し、ホウ素含有量が５００μｇ／Ｌ以下の被処理水を、液空間速度ＳＶが６０～７００ｈ－１となるように通水することを特徴とするホウ素の除去方法であり、好ましくは、上記ホウ素選択性イオン交換樹脂が、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理したものであるホウ素の除去方法である。
【選択図】なし
【特許請求の範囲】
【請求項1】
グルカミン基を有し、全有機炭素放出量が１０μｇ／Ｌ以下であるホウ素選択性イオン交換樹脂に対し、ホウ素含有量が５００μｇ／Ｌ以下の被処理水を、液空間速度ＳＶが６０～７００ｈ－１となるように通水することを特徴とするホウ素の除去方法。
【請求項2】
上記ホウ素選択性イオン交換樹脂が、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理したものである請求項１に記載のホウ素の除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、水中のホウ素の除去方法に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、半導体製造時におけるシリコンの洗浄工程等において、ホウ素濃度が１ｎｇ／Ｌ以下の超純水が求められるようになっている。
水中のホウ素濃度を低減する方法として、ホウ素選択性イオン交換樹脂を利用する方法が提案されるようになっており、例えば、特許文献１には、純水又は超純水の製造設備内のいずれかの位置で、前処理水をホウ素選択性イオン交換樹脂に接触させてホウ素を除去する方法が提案されるようになっている。
水中のホウ素濃度を低減する方法として、ホウ素選択性イオン交換樹脂を利用する方法が提案されるようになっており、例えば、特許文献１には、純水又は超純水の製造設備内のいずれかの位置で、前処理水をホウ素選択性イオン交換樹脂に接触させてホウ素を除去する方法が提案されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開平８－８４９８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、本発明者等が検討したところ、特許文献１等に記載されているホウ素選択性イオン交換樹脂を用いて水中のホウ素を処理しようとすると、処理水中の全有機炭素（ＴＯＣ（Ｔｏｔａｌ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃａｒｂｏｎ））濃度が処理前よりも上昇し易くなることが判明した。
【0005】
本発明者等がさらに検討したところ、上記全有機炭素濃度の上昇は、イオン交換樹脂中に残留する炭化水素類が溶出すること等により生じ、特にホウ素選択性イオン交換樹脂としてグルカミン基を有するイオン交換樹脂を用いた場合に、イオン交換樹脂中に残留する未反応のグルカミンが溶出して、処理水中の全有機炭素濃度を上昇させ易いことが判明した。
【0006】
このような状況下、本発明は、被処理水中のホウ素を、全有機炭素濃度の上昇を抑制しつつ効果的に除去する方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明者は、上記目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、グルカミン基を有する特定のホウ素選択性イオン交換樹脂に対して特定の条件で被処理水を接触させることにより、上記技術課題を解決し得ることを見出し、本知見に基づいて本発明を完成するに至った。
【0008】
すなわち、本発明は、
（１）グルカミン基を有し、全有機炭素放出量が１０μｇ／Ｌ以下であるホウ素選択性イオン交換樹脂に対し、ホウ素含有量が５００μｇ／Ｌ以下の被処理水を、液空間速度ＳＶが６０～７００ｈ－１となるように通水することを特徴とするホウ素の除去方法、および
（２）上記ホウ素選択性イオン交換樹脂が、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理したものである上記（１）に記載のホウ素の除去方法
を提供するものである。
（１）グルカミン基を有し、全有機炭素放出量が１０μｇ／Ｌ以下であるホウ素選択性イオン交換樹脂に対し、ホウ素含有量が５００μｇ／Ｌ以下の被処理水を、液空間速度ＳＶが６０～７００ｈ－１となるように通水することを特徴とするホウ素の除去方法、および
（２）上記ホウ素選択性イオン交換樹脂が、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理したものである上記（１）に記載のホウ素の除去方法
を提供するものである。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、被処理水中のホウ素を、全有機炭素濃度の上昇を抑制しつつ効果的に除去する方法を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【0010】
本発明に係るホウ素の除去方法は、グルカミン基を有し、全有機炭素放出量が１０μｇ／Ｌ以下であるホウ素選択性イオン交換樹脂に対し、ホウ素含有量が５００μｇ／Ｌ以下の被処理水を、液空間速度ＳＶが６０～７００ｈ－１となるように通水することを特徴とするものである。
【0011】
本発明において、被処理水中のホウ素含有量は、５００μｇ／Ｌ以下であり、１００μｇ／Ｌ以下であることが好ましく、５０μｇ／Ｌ以下であることがより好ましい。
本発明において処理対象となる被処理水中のホウ素の含有量の下限値は、特に制限されないが、被処理水中のホウ素含有量は、通常、５０ｎｇ／Ｌ以上である。
本発明において処理対象となる被処理水中のホウ素の含有量の下限値は、特に制限されないが、被処理水中のホウ素含有量は、通常、５０ｎｇ／Ｌ以上である。
【0012】
本発明においては、被処理水中のホウ素含有量が５００μｇ／Ｌ以下であることにより、ホウ素選択性イオン交換樹脂の破過を抑制しつつ被処理水中のホウ素の含有量をより効果的に低減することができる。
【0013】
なお、本出願書類において、水中のホウ素含有量はＡｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ者製ＩＣＰ－ＭＳ ８９００により測定した値を意味する。
【0014】
本発明において、被処理水は、ｐＨ５～９であるものが適当であり、ｐＨ６～８であるものがさらに適当である。
本発明において、処理対象となる被処理水は、ホウ素選択性イオン交換樹脂に接触処理する前に適宜ｐＨ調整してもよい。
本発明において、処理対象となる被処理水は、ホウ素選択性イオン交換樹脂に接触処理する前に適宜ｐＨ調整してもよい。
【0015】
本発明において、被処理水としては、半導体製造時にシリコンの洗浄用途に使用される水等を挙げることができる。
【0016】
本発明においては、上記被処理水を、グルカミン基を有し、全有機炭素放出量が１０μｇ／Ｌ以下であるホウ素選択性イオン交換樹脂に通水する。
【0017】
本発明において、グルカミン基を有するホウ素選択性イオン交換樹脂は、イオン交換樹脂におけるイオン交換基の代わりにホウ素とキレート結合を形成しやすいキレート生成基（キレート基）としてグルカミン基が導入されたことにより、ホウ素を選択的に吸着することができる。
【0018】
本発明において、ホウ素選択性イオン交換樹脂は、樹脂製の基体にグルカミン基が導入された所定の全有機炭素放出量を有するイオン交換体であれば特に制限されず、粉末状、ビーズ状、膜状など種々の形態のものを採用することができ、ゲル型イオン交換樹脂または多孔性型イオン交換樹脂のいずれであってもよい。
【0019】
ゲル型イオン交換樹脂および多孔性型イオン交換樹脂は、イオン交換樹脂のミクロ構造に基づく分類であり、このうちゲル型イオン交換樹脂とは、スチレンとジビニルベンゼンを無溶媒で重合させたものを基体とするイオン交換樹脂で不均一に架橋したゲル状の構造を有し、最も古典的なイオン交換樹脂を意味する。
【0020】
また、多孔性型イオン交換樹脂は、重合の際に溶媒を使用することによって孔径２０ｎｍから１００ｎｍ程度のマクロポアが形成された樹脂を基体とするイオン交換樹脂を意味し、ＭＲ形と呼ばれているものも含む。多孔性型イオン交換樹脂は、極性の低い溶媒でも樹脂内部に入り込むことができるために非水溶液系でも使用することができ、マクロポアが連続しておらず均一度にも欠けるためゲル型樹脂に比べてイオン交換容量は低いが、物理的強度は高く浸透圧や機械的圧力に対する耐性に優れている。
【0021】
本発明において、上記キレート生成基であるグルカミン基が結合する基体としては、具体的には、架橋ポリスチレン、スチレン－ジビニルベンゼン共重合体等のスチレン系化合物や、フェノール類、アルデヒド類の縮合体や、架橋ポリアクリル酸等から選ばれる一種以上が好ましく、架橋ポリスチレン又はスチレン－ジビニルベンゼン共重合体がより好ましい。
【0022】
本発明において、キレート生成基であるグルカミン基が結合するホウ素選択性イオン交換樹脂としては、スチレン－ジビニルベンゼン共重合体を基体とするＭＲ形イオン交換樹脂が好ましい。
【0023】
本発明において、上記キレート生成基であるグルカミン基としては、特に制限されないが、Ｎ－アルキルグルカミン基が好ましく、Ｎ－メチルグルカミン基がより好ましい。
【0024】
本発明において、グルカミン基を有するホウ素選択性イオン交換樹脂は、全有機炭素放出量が、１０μｇ／Ｌ以下であるものであり、５μｇ／Ｌ以下であるものがより好ましい。
【0025】
本出願書類において、上記全有機炭素放出量は、グルカミン基を有するホウ素選択性イオン交換樹脂に対し、全有機炭素（ＴＯＣ）が１．０μｇ／Ｌ以下の試験水を、常温下において、液空間速度ＳＶ５０ｈｒ－１で２４時間通水したときの流出水中の全有機炭素（ＴＯＣ）量（μｇ／Ｌ）を意味する。
【0026】
なお、本出願書類において、水中の全有機炭素（ＴＯＣ）濃度は、Ｓｕｅｚ社製Ｓｉｅｖｅｒｓ Ｍ９ｅにより測定した値を意味する。
【0027】
本発明においては、グルカミン基を有するとともに全有機炭素放出量が上記範囲内にある特定のホウ素選択性イオン交換樹脂を用いることにより、被処理水中のホウ素を、全有機炭素濃度の上昇を抑制しつつ効果的に除去することができる。
【0028】
本発明において、グルカミン基を有するホウ素選択性イオン交換樹脂は、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理したものであってもよい。
本発明において、グルカミン基を有するホウ素選択性イオン交換樹脂が、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理したものであることにより、所望の全有機炭素放出量を有するものを容易に提供することができる。
本発明において、グルカミン基を有するホウ素選択性イオン交換樹脂が、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理したものであることにより、所望の全有機炭素放出量を有するものを容易に提供することができる。
【0029】
本発明において、グルカミン基を有するホウ素選択性イオン交換樹脂が、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理してなるものである場合、以下の（１）～（３）の条件下で前処理することが好ましい。
（１）３～５Ｌ／Ｌ－Ｒの１Ｎ ＮａＯＨ水溶液を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通薬する。
（ホウ素選択性イオン樹脂の３～５倍体積量の１Ｎ ＮａＯＨ水溶液を、「１時間あたりに通液するＮａＯＨ水溶液の体積量／ホウ素選択性イオン交換樹脂の体積量」が４となるように通薬する）。
（２）次いで、１．５Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水または純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通水して、ホウ素選択性イオン交換樹脂中に残存するＮａＯＨを押し出す。
（３）その後、１０～２０Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水または純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝１０ｈｒ－１で通水して、洗浄する。
（１）３～５Ｌ／Ｌ－Ｒの１Ｎ ＮａＯＨ水溶液を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通薬する。
（ホウ素選択性イオン樹脂の３～５倍体積量の１Ｎ ＮａＯＨ水溶液を、「１時間あたりに通液するＮａＯＨ水溶液の体積量／ホウ素選択性イオン交換樹脂の体積量」が４となるように通薬する）。
（２）次いで、１．５Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水または純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通水して、ホウ素選択性イオン交換樹脂中に残存するＮａＯＨを押し出す。
（３）その後、１０～２０Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水または純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝１０ｈｒ－１で通水して、洗浄する。
【0030】
本発明において、グルカミン基を有するホウ素選択性イオン交換樹脂が、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理してなるものである場合、上記（１）～（３）の条件下で前処理することに先立って、以下の（ｉ）～（iii）の条件下で予備処理することがより好ましい。
（ｉ）３～５Ｌ／Ｌ－Ｒの１Ｎ ＨＣｌ水溶液を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通薬する。
（ホウ素選択性イオン樹脂の３～５倍体積量の１Ｎ ＨＣｌ水溶液を、「１時間あたりに通液するＨＣｌ水溶液の体積量／ホウ素選択性イオン交換樹脂の体積量」が４となるように通薬する）。
（ii）次いで、１．５Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水または純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通水して、ホウ素選択性イオン交換樹脂中に残存するＨＣｌを押し出す。
（iii）その後、１０～２０Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水または純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝１０ｈｒ－１で通水して、洗浄する。
（ｉ）３～５Ｌ／Ｌ－Ｒの１Ｎ ＨＣｌ水溶液を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通薬する。
（ホウ素選択性イオン樹脂の３～５倍体積量の１Ｎ ＨＣｌ水溶液を、「１時間あたりに通液するＨＣｌ水溶液の体積量／ホウ素選択性イオン交換樹脂の体積量」が４となるように通薬する）。
（ii）次いで、１．５Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水または純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通水して、ホウ素選択性イオン交換樹脂中に残存するＨＣｌを押し出す。
（iii）その後、１０～２０Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水または純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝１０ｈｒ－１で通水して、洗浄する。
【0031】
なお、本出願書類において、純水とは、Ｆｏｘｂｏｒｏ製インライン比抵抗計により測定した電気抵抗率が１～１８ＭΩ・ｃｍの水を意味し、超純水とは、Ｆｏｘｂｏｒｏ製インライン比抵抗計により測定した電気抵抗率が１８．０ＭΩ・ｃｍ超の水を意味する。
【0032】
本発明において、グルカミン基を有し、全有機炭素放出量が１０μｇ／Ｌ以下であるホウ素選択性イオン交換樹脂としては、市販品であってもあってもよく、このようなホウ素選択性イオン交換樹脂としては、オルガノ（株）製ＯＲＬＩＴＥ Ｘ－Ｕ６５３Ｊ等を挙げることができる。
【0033】
本発明において、グルカミン基を有するホウ素選択性イオン交換樹脂の形状も特に制限されないが、例えば粒形状を有する場合、その平均粒径は、０．２～１，０ｍｍが好ましく、０．４～０．８ｍｍがより好ましい。
【0034】
本発明において、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して被処理水を通水する際の液空間速度ＳＶ（「１時間当たりに通水する被処理水の体積量／ホウ素選択性イオン交換樹脂の体積量」）は、６０～７００ｈｒ－１であり、７５～６００ｈｒ－１であることが好ましく、９０～６００ｈｒ－１であることがより好ましく、１００～２５０ｈｒ－１であることがさらに好ましい。
【0035】
本発明において、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して被処理水を通水する際の液空間速度ＳＶを上記範囲内に制御することにより、全有機炭素濃度の上昇を抑制しつつ被処理水中のホウ素を効果的に除去することができる。
【0036】
従来、ホウ素選択性イオン交換樹脂に被処理水を通水する場合、液空間速度ＳＶを５０ｈｒ－１程度以下に抑制しないと被処理水中のホウ素を十分に除去し得ないとされていたが、本発明者等の検討によれば、グルカミン基を有し、全有機炭素放出量が１０μｇ／Ｌ以下であるホウ素選択性イオン交換樹脂を用いた場合には、被処理水の液空間速度ＳＶを６０～７００ｈｒ－１に上昇させた場合であっても水中のホウ素を十分に除去することができ、かつ全有機炭素濃度の上昇を抑制し得ることを見出して、本発明を完成するに至ったものである。
【0037】
ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して被処理水を通水する際の液空間速度ＳＶが６０ｈｒ－１未満であると、処理水中の全有機炭素濃度の上昇を抑制することができず、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して被処理水を通水する際の液空間速度ＳＶが７００ｈｒ－１超えると、処理水中のホウ素含有量を十分に抑制することが困難になる。
【0038】
本発明において、一定量の被処理水を通水したホウ素選択性イオン交換樹脂は、必要に応じて逆洗した後、再生剤を通液することにより、吸着物を溶離させて再生することができる。上記再生剤を通液することにより、高濃度のホウ素を含有する再生廃液が生成する。
上記再生剤としては、水酸化ナトリウム等を挙げることができる。
上記再生剤としては、水酸化ナトリウム等を挙げることができる。
【0039】
本発明によれば、被処理水中のホウ素を、全有機炭素濃度の上昇を抑制しつつ効果的に除去する方法を提供することができる。
【0040】
（実施例）
次に、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限するものではない。
次に、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限するものではない。
【0041】
（実施例１）
オルガノ（株）製ホウ素選択性イオン交換樹脂「ＯＲＬＩＴＥ Ｘ－Ｕ６５３」（全有機炭素放出量が４μｇ／Ｌであるもの）を、樹脂量として５００ｍＬ（５００ｍＬ－Ｒ）充填したホウ素吸着カラムに対し、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が２μｇ／Ｌである被処理水を、液空間速度ＳＶが１００ｈｒ－１となるように２４時間通水した。このとき得られた処理水中のホウ素含有量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素含有量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表１に示す。
オルガノ（株）製ホウ素選択性イオン交換樹脂「ＯＲＬＩＴＥ Ｘ－Ｕ６５３」（全有機炭素放出量が４μｇ／Ｌであるもの）を、樹脂量として５００ｍＬ（５００ｍＬ－Ｒ）充填したホウ素吸着カラムに対し、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が２μｇ／Ｌである被処理水を、液空間速度ＳＶが１００ｈｒ－１となるように２４時間通水した。このとき得られた処理水中のホウ素含有量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素含有量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表１に示す。
【0042】
（実施例２～実施例３、比較例１～比較例２）
ホウ素吸着カラムに対して、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が ２μｇ／Ｌである被処理水を通液する際の液空間速度ＳＶを、各々、２５０ｈｒ－１（実施例２）、５００ｈｒ－１（実施例２）、５０ｈｒ－１（比較例１）、１０００ｈｒ－１（比較例２）になるように変更した以外は、実施例１と同様に通水し、このとき得られた処理水中のホウ素量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表１に示す。
ホウ素吸着カラムに対して、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が ２μｇ／Ｌである被処理水を通液する際の液空間速度ＳＶを、各々、２５０ｈｒ－１（実施例２）、５００ｈｒ－１（実施例２）、５０ｈｒ－１（比較例１）、１０００ｈｒ－１（比較例２）になるように変更した以外は、実施例１と同様に通水し、このとき得られた処理水中のホウ素量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表１に示す。
【0043】
【表1】
【0044】
（比較例３）
三菱ケミカル（株）製ホウ素選択性イオン交換樹脂「ＤＩＡＩＯＮ ＣＲＢ０３」（全有機炭素放出量が８０μｇ／Ｌであるもの）を、樹脂量として５００ｍＬ（５００ｍＬ－Ｒ）充填したホウ素吸着カラムに対し、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が２μｇ／Ｌである被処理水を、液空間速度ＳＶが５０ｈｒ－１となるように２４時間通水した。
このとき得られた処理水中のホウ素含有量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素含有量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表２に示す。
三菱ケミカル（株）製ホウ素選択性イオン交換樹脂「ＤＩＡＩＯＮ ＣＲＢ０３」（全有機炭素放出量が８０μｇ／Ｌであるもの）を、樹脂量として５００ｍＬ（５００ｍＬ－Ｒ）充填したホウ素吸着カラムに対し、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が２μｇ／Ｌである被処理水を、液空間速度ＳＶが５０ｈｒ－１となるように２４時間通水した。
このとき得られた処理水中のホウ素含有量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素含有量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表２に示す。
【0045】
（比較例４）
ホウ素吸着カラムに対して、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が ２μｇ／Ｌである被処理水を通液する際の液空間速度ＳＶを１００ｈｒ－１になるように変更した以外は、実施例４と同様に通水し、このとき得られた処理水中のホウ素量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表２に示す。
ホウ素吸着カラムに対して、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が ２μｇ／Ｌである被処理水を通液する際の液空間速度ＳＶを１００ｈｒ－１になるように変更した以外は、実施例４と同様に通水し、このとき得られた処理水中のホウ素量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表２に示す。
【0046】
（比較例５）
（１）ホウ素選択性イオン交換樹脂の前処理
三菱ケミカル（株）製ホウ素選択性イオン交換樹脂「ＤＩＡＩＯＮ ＣＲＢ０３」（全有機炭素放出量が８０μｇ／Ｌであるもの）を、以下の（ｉ）～（iii）の方法で予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理した。（ｉ）～（iii）の方法により、前述のイオン交換樹脂の全有機炭素放出量は１０μｇ／Ｌ以下となった。
（ｉ）４Ｌ／Ｌ－Ｒの１Ｎ ＮａＯＨ水溶液を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通薬した。
（ii）次いで、１．５Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通水して、ホウ素選択性イオン交換樹脂中に残存するＮａＯＨを押し出した。
（iii）その後、１５Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝１０ｈｒ－１で通水して、洗浄した。
（２）被処理水の通水処理
上記前処理して得られたホウ素選択性イオン交換樹脂を、樹脂量として５００ｍＬ（５００ｍＬ－Ｒ）充填したホウ素吸着カラムに対し、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が２μｇ／Ｌである被処理水を、液空間速度ＳＶが５０ｈｒ－１となるように２４時間通水した。
このとき得られた処理水中のホウ素含有量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素含有量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表２に示す。
（１）ホウ素選択性イオン交換樹脂の前処理
三菱ケミカル（株）製ホウ素選択性イオン交換樹脂「ＤＩＡＩＯＮ ＣＲＢ０３」（全有機炭素放出量が８０μｇ／Ｌであるもの）を、以下の（ｉ）～（iii）の方法で予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理した。（ｉ）～（iii）の方法により、前述のイオン交換樹脂の全有機炭素放出量は１０μｇ／Ｌ以下となった。
（ｉ）４Ｌ／Ｌ－Ｒの１Ｎ ＮａＯＨ水溶液を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通薬した。
（ii）次いで、１．５Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝４ｈｒ－１で通水して、ホウ素選択性イオン交換樹脂中に残存するＮａＯＨを押し出した。
（iii）その後、１５Ｌ／Ｌ－Ｒの超純水を、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して、液空間速度ＳＶ＝１０ｈｒ－１で通水して、洗浄した。
（２）被処理水の通水処理
上記前処理して得られたホウ素選択性イオン交換樹脂を、樹脂量として５００ｍＬ（５００ｍＬ－Ｒ）充填したホウ素吸着カラムに対し、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が２μｇ／Ｌである被処理水を、液空間速度ＳＶが５０ｈｒ－１となるように２４時間通水した。
このとき得られた処理水中のホウ素含有量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素含有量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表２に示す。
【0047】
（実施例５）
ホウ素吸着カラムに対して、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が ２μｇ／Ｌである被処理水を通液する際の液空間速度ＳＶを１００ｈｒ－１になるように変更した以外は、比較例５と同様に通水し、このとき得られた処理水中のホウ素量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表２に示す。
ホウ素吸着カラムに対して、ホウ素濃度が５０μｇ／Ｌ、全有機炭素濃度が ２μｇ／Ｌである被処理水を通液する際の液空間速度ＳＶを１００ｈｒ－１になるように変更した以外は、比較例５と同様に通水し、このとき得られた処理水中のホウ素量（μｇ／Ｌ）および全有機炭素量（μｇ／Ｌ）を測定した。結果を表２に示す。
【0048】
【表2】
【0049】
表１～表２より、実施例１～実施例５においては、グルカミン基を有し、全有機炭素放出量が１０μｇ／Ｌ以下であるホウ素選択性イオン交換樹脂に対し、ホウ素含有量が５００μｇ／Ｌ以下の被処理水を、液空間速度ＳＶが６０～７００ｈ－１となるように通水していることから、被処理水中のホウ素を、全有機炭素濃度の上昇を抑制しつつ効果的に除去できることが分かる。
また、表２より、実施例５においては、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対し、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理することにより、得られる処理水中の全有機炭素量をより効果的に低減し得ることが分かる。
また、表２より、実施例５においては、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対し、予め苛性ソーダ水溶液と接触して前処理することにより、得られる処理水中の全有機炭素量をより効果的に低減し得ることが分かる。
【0050】
一方、表１～表２より、比較例１～比較例３および比較例５においては、ホウ素選択性イオン交換樹脂に対して被処理水を通液する液空間速度ＳＶが、６０～７００ｈ－１の範囲外であることから、得られる処理水中の全有機炭素量が高かったり（比較例１、比較例３、比較例５）、得られる被処理水中のホウ素量が高い（比較例２）ことが分かる。
【0051】
また、比較例３および比較例４の結果から、ホウ素選択性イオン交換樹脂中として全有機炭素含有量（μｇ／Ｌ）が高いものを使用した場合には、液空間速度ＳＶを５０ｈｒ－１（比較例３）から１００ｈｒ―１（比較例４）に上昇させても被処理液中の全有機炭素量の低減効果が低いことが分かり（表２参照）、一方で、比較例５および実施例５の結果から、前処理によってホウ素選択性イオン交換樹脂としてイオン交換樹脂中の全有機炭素含有量（μｇ／Ｌ）を予め低減させたものを使用した場合には、液空間速度を所定範囲内に制御することによって被処理液中の全有機炭素量を効果的に低減し得ることが分かる（表２参照）。
【産業上の利用可能性】
【0052】
本発明によれば、被処理水中のホウ素を、全有機炭素濃度の上昇を抑制しつつ効果的に除去する方法を提供することができる。