(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023095186
(43)【公開日】2023-07-06
(54)【発明の名称】軸部材、空気軸受機構、および振動発生機
(51)【国際特許分類】
B06B 1/04 20060101AFI20230629BHJP
F16C 32/06 20060101ALI20230629BHJP
H02K 5/167 20060101ALI20230629BHJP
G01M 7/04 20060101ALI20230629BHJP
【ＦＩ】
B06B1/04 Z
F16C32/06 Z
H02K5/167 Z
G01M7/04
【審査請求】有
【請求項の数】12
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021210925
(22)【出願日】2021-12-24
(11)【特許番号】
(45)【特許公報発行日】2022-10-06
(71)【出願人】
【識別番号】311008830
【氏名又は名称】株式会社振研
(74)【代理人】
【識別番号】100107766
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠重
(74)【代理人】
【識別番号】100070150
【弁理士】
【氏名又は名称】伊東 忠彦
(72)【発明者】
【氏名】池田 克己
【テーマコード（参考）】
3J102
5D107
5H605
【Ｆターム（参考）】
3J102AA02
3J102BA17
3J102BA20
3J102CA36
3J102CA40
3J102EA02
3J102EA08
3J102EA13
3J102EA22
3J102GA20
5D107BB09
5D107CC09
5D107CC10
5D107DD11
5H605EB06
5H605EB13
5H605GG01
(57)【要約】
【課題】空気軸受が形成される隙間内の圧力の均一化を可能にすること。
【解決手段】軸部材は、空気軸受機構が備える筒状部材の内部に配置される軸部材であって、筒状部材の筒内形状に応じた外形状を有する本体部と、本体部の内部に形成された空気室と、空気室から本体部の外部に向けて本体部に穿設された複数の絞り孔とを備える。
【選択図】図５
【解決手段】軸部材は、空気軸受機構が備える筒状部材の内部に配置される軸部材であって、筒状部材の筒内形状に応じた外形状を有する本体部と、本体部の内部に形成された空気室と、空気室から本体部の外部に向けて本体部に穿設された複数の絞り孔とを備える。
【選択図】図５
【特許請求の範囲】
【請求項1】
空気軸受機構が備える筒状部材の内部に配置される軸部材であって、
前記筒状部材の筒内形状に応じた外形状を有する本体部と、
前記本体部の内部に形成された空気室と、
前記空気室から前記本体部の外部に向けて前記本体部に穿設された複数の絞り孔と
を備えることを特徴とする軸部材。
前記筒状部材の筒内形状に応じた外形状を有する本体部と、
前記本体部の内部に形成された空気室と、
前記空気室から前記本体部の外部に向けて前記本体部に穿設された複数の絞り孔と
を備えることを特徴とする軸部材。
【請求項2】
前記複数の絞り孔の各々に配置される、複数の多孔質体を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の軸部材。
ことを特徴とする請求項１に記載の軸部材。
【請求項3】
前記複数の絞り孔の各々に配置され、貫通孔を有する複数の保持部材を備え、
前記複数の多孔質体の各々は、
前記保持部材の前記貫通孔内で保持された状態で、前記保持部材とともに前記絞り孔に配置される
ことを特徴とする請求項２に記載の軸部材。
前記複数の多孔質体の各々は、
前記保持部材の前記貫通孔内で保持された状態で、前記保持部材とともに前記絞り孔に配置される
ことを特徴とする請求項２に記載の軸部材。
【請求項4】
前記保持部材の外周面は、
前記絞り孔の内周面に螺合するネジ山を有する
ことを特徴とする請求項３に記載の軸部材。
前記絞り孔の内周面に螺合するネジ山を有する
ことを特徴とする請求項３に記載の軸部材。
【請求項5】
前記保持部材の外周面は、
前記絞り孔の内周面に接着剤で固着されている
ことを特徴とする請求項３または４に記載の軸部材。
前記絞り孔の内周面に接着剤で固着されている
ことを特徴とする請求項３または４に記載の軸部材。
【請求項6】
前記多孔質体は、
前記保持部材の前記貫通孔に対する、前記本体部の外部の方向への抜け止めがなされる抜け止め形状を有する
ことを特徴とする請求項３から５のいずれか一項に記載の軸部材。
前記保持部材の前記貫通孔に対する、前記本体部の外部の方向への抜け止めがなされる抜け止め形状を有する
ことを特徴とする請求項３から５のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項7】
前記多孔質体は、
樹脂素材が用いられて形成される
ことを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載の軸部材。
樹脂素材が用いられて形成される
ことを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項8】
前記本体部には、
前記空気室から前記本体部の外部に向けて、互いに異なる８以上の半径方向の各々に、前記絞り孔が穿設されている
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の軸部材。
前記空気室から前記本体部の外部に向けて、互いに異なる８以上の半径方向の各々に、前記絞り孔が穿設されている
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項9】
前記本体部には、
軸方向における複数段に亘って、前記複数の絞り孔が千鳥状に穿設されている
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の軸部材。
軸方向における複数段に亘って、前記複数の絞り孔が千鳥状に穿設されている
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項10】
前記本体部の前記空気室内に配置され、弾性を有し、前記本体部の一端側の開口部と前記本体部の他端側の開口部とを接続する、排気管を備える
ことを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の軸部材。
ことを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項11】
前記本体部は、
前記空気室に面した内壁面にリブを有する
ことを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の軸部材。
前記空気室に面した内壁面にリブを有する
ことを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項12】
前記筒状部材と、
前記筒状部材の内部に配置される、請求項１から１１のいずれか一項に記載の軸部材と
を備えることを特徴とする空気軸受機構。
前記筒状部材の内部に配置される、請求項１から１１のいずれか一項に記載の軸部材と
を備えることを特徴とする空気軸受機構。
【請求項13】
請求項１２に記載の空気軸受機構を備える
ことを特徴とする振動発生機。
ことを特徴とする振動発生機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、軸部材、空気軸受機構、および振動発生機に関する。
【背景技術】
【0002】
下記特許文献１には、振動テーブルの筒状軸の筒内に配置された軸状のガイド部に、軸方向空気供給通路および水平方向空気供給通路を設け、軸方向空気供給通路および水平方向空気供給通路を介して、シリンダの内周面とガイド部の外周面との間の隙間に圧縮空気を吐出することにより、当該隙間に空気軸受を形成し、当該空気軸受によって振動テーブルの筒状軸を支持する技術が開示されている。
【0003】
また、下記特許文献１には、ガイド部に対し、複数の水平方向空気供給通路を軸方向に並べて設けることにより、シリンダの内周面とガイド部の外周面との間の隙間に対し、ガイド部の外周面における軸方向の複数箇所から、圧縮空気を吐出する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特許第３０３５２８０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、特許文献１の技術は、軸方向空気供給通路の下端部から軸方向空気供給通路内に圧縮空気が供給され、さらに、軸方向に並べて設けられた複数の水平方向空気供給通路の各々から、圧縮空気が吐出されるため、軸方向空気供給通路の下端部から離れた位置の軸方向空気供給通路から吐出される圧縮空気の空気圧が低下する虞があった。このため、特許文献１の技術は、シリンダの内周面とガイド部の外周面との間の隙間の軸方向において、当該隙間内の圧縮空気の圧力が不均一となる虞があった。
【0006】
本発明は、上述した課題を解決するため、空気軸受が形成される隙間内の圧力の均一化を可能にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上述した課題を解決するために、一実施形態に係る軸部材は、空気軸受機構が備える筒状部材の内部に配置される軸部材であって、筒状部材の筒内形状に応じた外形状を有する本体部と、本体部の内部に形成された空気室と、空気室から本体部の外部に向けて本体部に穿設された複数の絞り孔とを備える。
【発明の効果】
【0008】
一実施形態に係る軸部材によれば、空気軸受が形成される隙間内の圧力の均一化を可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】一実施形態に係る振動試験システムのシステム構成を示す図
【図2】一実施形態に係る振動発生機の構成を示す縦断面図
【図3】一実施形態に係る振動発生機が備える空気軸受機構の構成を説明するための縦断面図
【図4】一実施形態に係る軸部材の側面図
【図5】一実施形態に係る軸部材の縦断面図
【図6】一実施形態に係る軸部材および振動テーブル（筒状軸部）の横断面図
【図7】一実施形態に係る軸部材の一部（絞り孔の形成部）の構成を示す一部拡大横断面図
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
【0011】
（振動試験システム１０のシステム構成）
図１は、一実施形態に係る振動試験システム１０のシステム構成を示す図である。図１に示す振動試験システム１０は、振動発生機１００によって振動を発生することにより、振動発生機１００に保持された試料１２の振動試験を行うシステムである。
図１は、一実施形態に係る振動試験システム１０のシステム構成を示す図である。図１に示す振動試験システム１０は、振動発生機１００によって振動を発生することにより、振動発生機１００に保持された試料１２の振動試験を行うシステムである。
【0012】
図１に示すように、振動試験システム１０は、振動発生機１００、制御装置２０、および、空圧源ユニット３０を備える。
【0013】
振動発生機１００は、振動を発生する。振動発生機１００は、試料１２を保持した状態で振動を発生することにより、試料１２に振動を加えることができる。振動発生機１００は、制御装置２０の制御により、加振力Ｆの振動を発生することができる。これにより、振動発生機１００は、予め設定された所定の周波数で、試料１２を振動させることができる。
【0014】
制御装置２０は、振動発生機１００の動作を制御する。制御装置２０は、振動波形制御機２１、電力増幅器２２、励磁電源部２３、および保護回路部２４を有する。
【0015】
振動波形制御機２１は、振動発生機１００が備える加速度センサ（図示省略）から、振動発生機１００により発生された振動の加速度を示す加速度信号を受信する。そして、振動波形制御機２１は、受信した加速度信号に基づいて、振動発生機１００を交流駆動するための交流駆動信号を生成する。
【0016】
電力増幅器２２は、振動波形制御機２１によって生成された交流駆動信号を増幅し、増幅された交流駆動信号を、振動発生機１００の駆動コイル１３３（図２参照）へ出力する。
【0017】
励磁電源部２３は、振動発生機１００が備える上部励磁コイル１１２および下部励磁コイル１１３（図２参照）へ、直流励磁のための直流励磁信号を出力する。
【0018】
保護回路部２４は、振動試験システム１０全体の監視を行うものであり、異常信号を検出した場合に振動試験システム１０の一部または全部を停止させる等により、安全を確保することができる。
【0019】
制御装置２０は、振動発生機１００が加振力Ｆの振動を発生するように、振動発生機１００を駆動制御する。振動発生機１００の加振力Ｆは、下記式（１）により算出することができる。
【0020】
Ｆ＝（ｍ０＋ｍ１＋ｍ）Ａ・・・（１）
【0021】
但し、上記式（１）において、Ｍ０は、加振治具及び補助テーブルの質量である。また、Ｍ１は、供試体質量である。また、Ａは、試験加速度である。また、試験加速度Ａが不明の場合には、下記式（２）、または、下記式（３）により、試験加速度Ａを求めることができる。
【0022】
Ａ＝２πｆＶ／９８０・・・（２）
Ａ＝（２πｆ）２Ｄ／９８０・・・（３）
Ａ＝（２πｆ）２Ｄ／９８０・・・（３）
【0023】
【0024】
（振動発生機１００の構成）
図２は、一実施形態に係る振動発生機１００の構成を示す縦断面図である。図２に示すように、振動発生機１００は、ホルダ部１１０、支持部材１２０、振動テーブル１３０、および軸部材１４０を備える。
図２は、一実施形態に係る振動発生機１００の構成を示す縦断面図である。図２に示すように、振動発生機１００は、ホルダ部１１０、支持部材１２０、振動テーブル１３０、および軸部材１４０を備える。
【0025】
＜ホルダ部１１０＞
ホルダ部１１０は、ホルダ部材１１１、上部励磁コイル１１２、下部励磁コイル１１３、上部円筒部材１１５、下部円筒部材１１６、上部カバー部材１１７、および下部カバー部材１１８を有する。
ホルダ部１１０は、ホルダ部材１１１、上部励磁コイル１１２、下部励磁コイル１１３、上部円筒部材１１５、下部円筒部材１１６、上部カバー部材１１７、および下部カバー部材１１８を有する。
【0026】
ホルダ部材１１１は、上部励磁コイル１１２および下部励磁コイル１１３を保持する。ホルダ部材１１１は、概ね上下方向（Ｚ軸方向）を筒方向とする円筒状を有している。ホルダ部材１１１は、内周面の上部に上部コイル収納室１１１Ａが形成されており、内周面の下部に下部コイル収納室１１１Ｂが形成されている。そして、ホルダ部材１１１は、上部コイル収納室１１１Ａにおいて上部励磁コイル１１２を保持し、下部コイル収納室１１１Ｂにおいて下部励磁コイル１１３を保持する。
【0027】
上部励磁コイル１１２は、円環状を有しており、ホルダ部材１１１の上部コイル収納室１１１Ａに保持されることで、駆動コイル１３３が上方位置に移動したとき、駆動コイル１３３と対向する位置に配置される。上部励磁コイル１１２は、励磁電源部２３から直流励磁信号が供給されることにより、磁界を発生する。
【0028】
下部励磁コイル１１３は、円環状を有しており、ホルダ部材１１１の下部コイル収納室１１１Ｂに保持されることで、駆動コイル１３３が下方位置に移動したとき、駆動コイル１３３と対向する位置に配置される。下部励磁コイル１１３は、励磁電源部２３から直流励磁信号が供給されることにより、磁界を発生する。
【0029】
上部円筒部材１１５は、ホルダ部材１１１の筒内の上部（すなわち、上部励磁コイル１１２の内側）に配置される円筒状の部材である。上部円筒部材１１５の筒内１１５Ａには、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２の下側の一部と、軸部材１４０の下側の一部とが配置される。
【0030】
下部円筒部材１１６は、ホルダ部材１１１の筒内の下部（すなわち、下部励磁コイル１１３の内側）に配置される円筒状の部材である。下部円筒部材１１６の筒内１１６Ａには、給気管３２および排気管３３が配置される。
【0031】
上部カバー部材１１７は、ホルダ部材１１１の上端部に設けられる円盤状の部材であり、ホルダ部材１１１の上部コイル収納室１１１Ａを閉塞する。下部カバー部材１１８は、ホルダ部材１１１の上端部に設けられる円盤状の部材であり、ホルダ部材１１１の下部コイル収納室１１１Ｂを閉塞する。
【0032】
なお、ホルダ部材１１１、上部円筒部材１１５、下部円筒部材１１６、上部カバー部材１１７、および下部カバー部材１１８は、電磁石のヨーク（鉄心）を構成する。
【0033】
＜支持部材１２０＞
支持部材１２０は、ホルダ部材１１１の両側部を支持する。支持部材１２０は、ベース部１２１、左右一対の腕部１２２、および左右一対の水平軸１２３を有する。ベース部１２１は、床面に設置される水平な部分である。左右一対の腕部１２２は、ベース部１２１の左右両端部から上方に延在する垂直な柱状の部分である。左右一対の水平軸１２３は、ホルダ部材１１１の左右両側面から外側に突出して設けられる。左右一対の水平軸１２３は、その左右両端部が、左右一対の腕部１２２によって回動可能に支持される。これにより、ホルダ部材１１１は、水平軸１２３を中心として回動可能となっている。
支持部材１２０は、ホルダ部材１１１の両側部を支持する。支持部材１２０は、ベース部１２１、左右一対の腕部１２２、および左右一対の水平軸１２３を有する。ベース部１２１は、床面に設置される水平な部分である。左右一対の腕部１２２は、ベース部１２１の左右両端部から上方に延在する垂直な柱状の部分である。左右一対の水平軸１２３は、ホルダ部材１１１の左右両側面から外側に突出して設けられる。左右一対の水平軸１２３は、その左右両端部が、左右一対の腕部１２２によって回動可能に支持される。これにより、ホルダ部材１１１は、水平軸１２３を中心として回動可能となっている。
【0034】
＜振動テーブル１３０＞
振動テーブル１３０は、テーブル部１３１、筒状軸部１３２、および駆動コイル１３３を有する。テーブル部１３１は、上面に試料１２が固定される水平部分である。筒状軸部１３２は、中心軸ＡＸを中心として、テーブル部１３１から下方に延びる円筒状の部分である。筒状軸部１３２は、「筒状部材」の一例であり、内部に軸部材１４０が配置される。駆動コイル１３３は、薄い円筒状を有しており、振動テーブル１３０の下端部且つ外周面に設けられている。
振動テーブル１３０は、テーブル部１３１、筒状軸部１３２、および駆動コイル１３３を有する。テーブル部１３１は、上面に試料１２が固定される水平部分である。筒状軸部１３２は、中心軸ＡＸを中心として、テーブル部１３１から下方に延びる円筒状の部分である。筒状軸部１３２は、「筒状部材」の一例であり、内部に軸部材１４０が配置される。駆動コイル１３３は、薄い円筒状を有しており、振動テーブル１３０の下端部且つ外周面に設けられている。
【0035】
駆動コイル１３３は、薄い円筒状に形成されており、上部円筒部材１１５および下部円筒部材１１６の外周面と、上部励磁コイル１１２および下部励磁コイル１１３の内周面との間の隙間内において、上部円筒部材１１５、下部円筒部材１１６、上部励磁コイル１１２、および下部励磁コイル１１３と接触することなく、上下方向に移動可能に設けられている。
【0036】
＜軸部材１４０＞
軸部材１４０は、振動テーブル１３０が有する筒状軸部１３２の筒内に配置される。軸部材１４０は、振動テーブル１３０が有する筒状軸部１３２を、中心軸ＡＸに平行な方向である振動方向Ａに摺動可能に支持する。
軸部材１４０は、振動テーブル１３０が有する筒状軸部１３２の筒内に配置される。軸部材１４０は、振動テーブル１３０が有する筒状軸部１３２を、中心軸ＡＸに平行な方向である振動方向Ａに摺動可能に支持する。
【0037】
軸部材１４０は、本体部１４１、空気室１４２、複数の絞り孔１４３、下側蓋部材１４４、排気チューブ１４５、および上側蓋部材１４６を有する。
【0038】
本体部１４１は、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２（筒状部材）の筒内形状に応じた外形状を有する。すなわち、本体部１４１は、円柱状の外形状を有する。
【0039】
空気室１４２は、本体部１４１の内部に形成されており、空圧源ユニット３０から供給される圧縮空気を貯留する。
【0040】
複数の絞り孔１４３は、空気室１４２から本体部１４１の外部に向けて（すなわち、本体部１４１の半径方向に向けて）、本体部１４１の外周壁部１４１Ａに穿設されている。
【0041】
軸部材１４０の本体部１４１の外周面と、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２の内周面との間には、微小な隙間Ｂ（図６および図７参照）が設けられている。軸部材１４０の本体部１４１において、複数の絞り孔１４３は、上下方向（Ｚ軸方向）において、複数段形成されている。また、軸部材１４０の本体部１４１において、複数の絞り孔１４３は、上下方向（Ｚ軸方向）の各段において、半径方向に向けて所定角度間隔を有して放射状に形成されている。これにより、軸部材１４０の本体部１４１は、外周面の略全域から、均一に空気を吹き出すことができる。したがって、軸部材１４０は、本体部１４１の外周面と、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２の内周面との間の隙間Ｂの略全域に亘り、均一な空気圧層（すなわち、空気軸受）を形成することができる。
【0042】
上側蓋部材１４６は、本体部１４１の上側の開口部に嵌め込まれることによって、本体部１４１の上側の開口部を閉塞する。上側蓋部材１４６の中央には、開口部１４６Ａが、上下方向（Ｚ軸方向）に貫通して形成されている。
【0043】
下側蓋部材１４４は、本体部１４１の下側の開口部が嵌め込まれることによって、本体部１４１の下側の開口部を閉塞する。下側蓋部材１４４には、給気路１４４Ａおよび排気路１４４Ｂが、上下方向（Ｚ軸方向）に貫通して形成されている。
【0044】
排気チューブ１４５は、「排気管」の一例であり、弾性を有する管状の部材である。排気チューブ１４５は、空気室１４２内に配置されている。排気チューブ１４５は、上端が、本体部１４１の上側蓋部材１４６の開口部１４６Ａ（「一端側の開口部」の一例）に接続され、下端が、下側蓋部材１４４の排気路１４４Ｂ（「他端側の開口部」の一例）に接続されている。これにより、排気チューブ１４５は、空気ばね室１３４の圧縮空気を、下側蓋部材１４４の排気路１４４Ｂへ送出できるようになっている。
【0045】
以上のように構成された振動発生機１００では、駆動コイル１３３が、電力増幅器２２から交流駆動信号が供給されて交流駆動されることにより、方向が交番的に変化する磁束を発生する。このため、駆動コイル１３３は、上部励磁コイル１１２の発生する磁界への吸引、および、下部励磁コイル１１３の発生する磁界への反発による上方への移動と、上部励磁コイル１１２の発生する磁界への反発、および、下部励磁コイル１１３の発生する磁界への吸引による下方へ移動とを交互に繰り返す。これにより、駆動コイル１３３は、振動テーブル１３０を上下方向に振動させることができる。
【0046】
この際、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２の内周面と、軸部材１４０の本体部１４１の外周面との間の隙間Ｂに、空気圧層（すなわち、空気軸受）が形成されているため、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２の上下方向（Ｚ軸方向）の移動は、空気圧層（すなわち、空気軸受）を介して、軸部材１４０の本体部１４１によってガイドされる。すなわち、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２の上下方向（Ｚ軸方向）の移動の際の摺動抵抗は、空気圧層（すなわち、空気軸受）によって抑制される。
【0047】
なお、振動発生機１００では、ホルダ部材１１１が、水平軸１２３を中心として回動可能となっている。このため、振動発生機１００は、振動テーブル１３０を、斜め方向および水平方向にも振動させることが可能となっている。
【0048】
（空気軸受機構１００Ａの構成）
図３は、一実施形態に係る振動発生機１００が備える空気軸受機構１００Ａの構成を説明するための縦断面図である。図３に示すように、空気軸受機構１００Ａは、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２（筒状部材）と、軸部材１４０とを有して構成されている。図３に示すように、軸部材１４０は、筒状軸部１３２の筒内に配置される。これにより、軸部材１４０は、振動テーブル１３０の上下方向（Ｚ軸方向）の振動をガイドする。
図３は、一実施形態に係る振動発生機１００が備える空気軸受機構１００Ａの構成を説明するための縦断面図である。図３に示すように、空気軸受機構１００Ａは、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２（筒状部材）と、軸部材１４０とを有して構成されている。図３に示すように、軸部材１４０は、筒状軸部１３２の筒内に配置される。これにより、軸部材１４０は、振動テーブル１３０の上下方向（Ｚ軸方向）の振動をガイドする。
【0049】
なお、筒状軸部１３２の内周面、および、軸部材１４０の本体部１４１の外周面の各々には、表面加工が施されている。これにより、筒状軸部１３２の内周面、および、軸部材１４０の本体部１４１の外周面の各々は、耐磨耗性および滑り性が向上されており、摺動抵抗が抑制されたものとなっている。
【0050】
また、図３に示すように、空圧源ユニット３０は、コンプレッサ３１および給気管３２を備える。
【0051】
コンプレッサ３１は、空気タンク３１Ａ、空気圧縮部３１Ｂ、およびモータ３１Ｃを有する。空気タンク３１Ａは、圧縮空気を貯留する。空気圧縮部３１Ｂは、空気タンク３１Ａに圧縮空気を充填する。モータ３１Ｃは、空気圧縮部３１Ｂを駆動する。
【0052】
給気管３２は、一端がコンプレッサ３１の空気タンク３１Ａに接続されており、他端が軸部材１４０が備える下側蓋部材１４４の給気路１４４Ａに接続されている。これにより、空気タンク３１Ａに貯留された圧縮空気は、給気管３２および給気路１４４Ａを介して、軸部材１４０の空気室１４２に供給される。
【0053】
空気室１４２に供給された圧縮空気は、軸部材１４０の本体部１４１の外周壁部１４１Ａに形成されている複数の絞り孔１４３を介して、軸部材１４０の本体部１４１の外周面と、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２の内周面との間の隙間Ｂ（図６および図７参照）に吐出される。これにより、軸部材１４０の本体部１４１の外周面と、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２の内周面との間の隙間Ｂに、圧縮空気層（すなわち、空気軸受）が形成される。軸部材１４０の本体部１４１に対する、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２の摺動抵抗は、この圧縮空気層（すなわち、空気軸受）によって抑制される。
【0054】
なお、複数の絞り孔１４３の各々には、絞り１５０が配置されている。これにより、複数の絞り孔１４３の各々における圧縮空気の吐出量は、絞り１５０によって適量に調整される。
【0055】
複数の絞り孔１４３から吐出された圧縮空気の一部は、筒状軸部１３２の筒内において軸部材１４０の上側に形成された空気ばね室１３４に供給される。空気ばね室１３４は、圧縮空気が貯留されることにより、振動テーブル１３０を弾力的に支持する空気ばねとして機能する。空気ばね室１３４に供給された圧縮空気は、軸部材１４０の空気室１４２に設けられた排気チューブ１４５と、下側蓋部材１４４に形成されている排気路１４４Ｂと、排気管３３と、流量調整弁３４とを介して、大気中に排出される。大気中に排出される圧縮空気の排気量は、流量調整弁３４によって適量に調整される。これにより、空気ばね室１３４の内圧は、適切に調整される。
【0056】
なお、排気チューブ１４５は、弾性を有するため、空気室１４２内での配置自由度が高められている。例えば、排気チューブ１４５は、弾性を有するため、図３に示すように空気室１４２内に撓んだ状態で配置することができる。但し、排気チューブ１４５は、弾性を有しないものであってもよい。また、一実施形態に係る軸部材１４０は、排気チューブ１４５を設けたことにより、軸部材１４０の本体部１４１に排気管を形成する必要がないため、軸部材１４０の本体部１４１の構成を簡素化することができる。
【0057】
（軸部材１４０の構成）
図４は、一実施形態に係る軸部材１４０の側面図である。図５は、一実施形態に係る軸部材１４０の縦断面図である。図６は、一実施形態に係る軸部材１４０および振動テーブル１３０（筒状軸部１３２）の横断面図である。
図４は、一実施形態に係る軸部材１４０の側面図である。図５は、一実施形態に係る軸部材１４０の縦断面図である。図６は、一実施形態に係る軸部材１４０および振動テーブル１３０（筒状軸部１３２）の横断面図である。
【0058】
【0059】
例えば、図４に示す例では、軸部材１４０の本体部１４１の外周壁部１４１Ａには、上下方向（Ｚ軸方向）における１２段に亘って、複数の絞り孔１４３が穿設されている。これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、本体部１４１の外周面と、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２の内周面との間の隙間Ｂの上下方向（Ｚ軸方向）において、当該隙間Ｂ内の圧縮空気の圧力を均一化することができる。
【0060】
特に、一実施形態に係る軸部材１４０は、本体部１４１が空気室１４２を有し、空気室１４２に圧縮空気を貯留することができるため、上下方向（Ｚ軸方向）における絞り孔１４３の複数段において、空気室１４２から絞り孔１４３を介して隙間Ｂに吐出される圧縮空気の圧力を均一化することができる。したがって、一実施形態に係る軸部材１４０は、隙間Ｂの上下方向（Ｚ軸方向）において、当該隙間Ｂ内の圧縮空気の圧力をより均一化することができる。
【0061】
なお、上下方向（Ｚ軸方向）における絞り孔１４３の段数は１２段に限らず、１１段以下、または、１３段以上であってもよい。
【0062】
図６に示すように、軸部材１４０の本体部１４１の外周壁部１４１Ａにおいて、上下方向（Ｚ軸方向）における複数段の各々には、空気室１４２から本体部１４１の外部に向けて、互いに異なる半径方向に、８本の絞り孔１４３が等角度間隔で穿設されている。すなわち、軸部材１４０の本体部１４１の外周壁部１４１Ａには、４５°間隔で、８本の絞り孔１４３が放射状に穿設されている。
【0063】
同様に、軸部材１４０の本体部１４１の外周壁部１４１Ａにおいては、軸方向（Ｚ軸方向）における複数段の各々に、４５°間隔で、８本の絞り孔１４３が放射状に穿設されている。
【0064】
但し、図４に示すように、軸部材１４０の本体部１４１の外周壁部１４１Ａには、軸方向（Ｚ軸方向）における複数段に亘って、複数の絞り孔１４３が千鳥状に穿設されている。このため、上下方向（Ｚ軸方向）における各段の８本の絞り孔１４３は、一つ上段の８本の絞り孔１４３、および、一つ下段の８本の絞り孔１４３に対して、２２．５°異なる半径方向に穿設されている。
【0065】
したがって、軸部材１４０の本体部１４１の外周壁部１４１Ａには、全体的に、従来の構造では困難であった、１６の半径方向に等間隔（すなわち、２２．５°間隔）で、絞り孔１４３が放射状に穿設されている。
【0066】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、比較的多数である１６の半径方向に圧縮空気を吐出することができ、本体部１４１の外周面と、振動テーブル１３０の筒状軸部１３２の内周面との間の隙間Ｂの円周方向においても、当該隙間Ｂ内の圧縮空気の圧力を均一化することができる。
【0067】
特に、一実施形態に係る軸部材１４０は、軸部材１４０の本体部１４１の外周壁部１４１Ａに、複数の絞り孔１４３が千鳥状に穿設されているため、各段の絞り孔１４３の形成本数（例えば、８本）よりも多くの半径方向（例えば、１６方向）に圧縮空気を吐出することができる。したがって、一実施形態に係る軸部材１４０は、隙間Ｂの円周方向において、当該隙間Ｂ内の圧縮空気の圧力をより均一化することができる。その結果、軸部材１４０の本体部１４１を中心軸ＡＸに対して高精度に調心することができる。
【0068】
なお、上下方向（Ｚ軸方向）の各段における絞り孔１４３の本数は８本に限らず、７本以下、または、９本以上であってもよい。
【0069】
なお、本体部１４１の外周壁部１４１Ａは、空気室１４２に面した内壁面１４１Ｂに、リブを有してもよい。リブとしては、例えば、内壁面１４１Ｂの上下方向（Ｚ軸方向）に垂直に延びる複数本のリブ、内壁面１４１Ｂの周方向に水平に延びる複数本のリブ、等が挙げられる。これにより、外周壁部１４１Ａの剛性を高めることができる。
【0070】
上記のように構成された軸部材１４０の本体部１４１は、金属素材（例えば、アルミ素材、鉄素材等）が用いられて製造される。この際、本体部１４１は、切削加工によって製造されてもよく、鋳造によって製造されてもよい。
【0071】
（絞り１５０の構成）
図７は、一実施形態に係る軸部材１４０の一部（絞り孔１４３の形成部）の構成を示す一部拡大横断面図である。
図７は、一実施形態に係る軸部材１４０の一部（絞り孔１４３の形成部）の構成を示す一部拡大横断面図である。
【0072】
図７に示すように、軸部材１４０の本体部１４１の外周壁部１４１Ａには、空気室１４２から半径方向に、絞り孔１４３が穿設されている。そして、絞り孔１４３には、絞り１５０が配置されている。絞り１５０は、多孔質体１５１と、保持部材１５２とを有して構成されている。
【0073】
多孔質体１５１は、通気性を有する部材である。多孔質体１５１は、保持部材１５２の貫通孔１５２Ａに対し、保持部材１５２の先端部（半径方向における内側の端部）側から嵌め込み可能な形状（丸棒状）を有する。多孔質体１５１は、保持部材１５２の先端部側から、保持部材１５２の貫通孔１５２Ａに嵌め込まれることにより、貫通孔１５２Ａ内を流れる圧縮空気（すなわち、空気室１４２から隙間Ｂに吐出される圧縮空気）の流量を調整する。
【0074】
なお、一実施形態に係る軸部材１４０では、多孔質体１５１は、樹脂素材（例えば、粒状のポリエチレンを焼結したもの（但し、これに限らない））が用いられて形成されている。これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、低コスト且つ高強度な多孔質体１５１を用いることが可能となっている。
【0075】
多孔質体１５１の後端部（半径方向における内側の端部）には、部分的に径が拡大された拡大部１５１Ａが設けられている。これにより、多孔質体１５１は、空気室１４２に貯留された圧縮空気の圧力によって貫通孔１５２Ａから外周壁部１４１Ａの外側方向へ抜け落ちないように、抜け止めがなされる。なお、多孔質体１５１は、その他の抜け止め形状（例えば、円錐形状、円錐台形状等）を有するものであってもよい。
【0076】
また、貫通孔１５２Ａは、多孔質体１５１よりも半径方向における外側の部分に、多孔質体１５１よりも小径の小径部１５２Ａａを有しており、これによっても、多孔質体１５１の抜け止めがなされる。
【0077】
なお、多孔質体１５１の外周面は、貫通孔１５２Ａの内周面に接着剤によって固着されてもよい。この場合であっても、多孔質体１５１自体が通気性を有するため、貫通孔１５２Ａ内の圧縮空気の流れを阻害することなく、多孔質体１５１を確実に固定することができる。
【0078】
保持部材１５２は、当該保持部材１５２を当該保持部材１５２の軸方向に貫通する貫通孔１５２Ａを有する。保持部材１５２は、貫通孔１５２Ａ内に対し、空気室１４２側から多孔質体１５１が嵌め込まれることにより、貫通孔１５２Ａ内で多孔質体１５１を保持する。
【0079】
保持部材１５２は、多孔質体１５１を保持した状態で、半径方向における外側から、絞り孔１４３内にねじ込まれることにより、絞り孔１４３内に固定的に配置される。このため、保持部材１５２の外周面１５２Ｂと、絞り孔１４３の内周面１４３Ａとの各々には、互いに螺合するねじ山（図示省略）が形成されている。また、保持部材１５２の後端部（半径方向における外側の端部）には、マイナスドライバの先端部が嵌合可能な切り欠き１５２Ｃが形成されている。
【0080】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、絞り孔１４３への絞り１５０（保持部材１５２および多孔質体１５１）の取り付けおよび固定を容易且つ確実に行うことが可能となっている。さらに、一実施形態に係る軸部材１４０は、絞り孔１４３からの絞り１５０（保持部材１５２および多孔質体１５１）の取り外しも容易に行うことが可能となっており、よって、絞り１５０の交換も容易に行うことが可能となっている。
【0081】
なお、本実施形態の軸部材１４０では、さらに、保持部材１５２の外周面１５２Ｂは、絞り孔１４３の内周面１４３Ａに接着剤で固着される。これにより、本実施形態の軸部材１４０では、保持部材１５２の緩みや抜け落ちが抑制されている。特に、本実施形態の軸部材１４０は、保持部材１５２の外周面１５２Ｂと、絞り孔１４３の内周面１４３Ａとの間の隙間を、圧縮空気が流れる必要がないため、当該隙間を接着剤で埋めて、保持部材１５２を固着させることが可能となっている。
【0082】
（効果）
以上説明したように、一実施形態に係る軸部材１４０は、空気軸受機構１００Ａが備える筒状軸部１３２の内部に配置される軸部材１４０であって、筒状軸部１３２の筒内形状に応じた外形状を有する本体部１４１と、本体部１４１の内部に形成された空気室１４２と、空気室１４２から本体部１４１の外部に向けて本体部１４１に穿設された複数の絞り孔１４３とを備える。
以上説明したように、一実施形態に係る軸部材１４０は、空気軸受機構１００Ａが備える筒状軸部１３２の内部に配置される軸部材１４０であって、筒状軸部１３２の筒内形状に応じた外形状を有する本体部１４１と、本体部１４１の内部に形成された空気室１４２と、空気室１４２から本体部１４１の外部に向けて本体部１４１に穿設された複数の絞り孔１４３とを備える。
【0083】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、空気室１４２に貯留された圧縮空気を、複数の絞り孔１４３から吐出できるため、複数の絞り孔１４３から筒状軸部１３２と軸部材１４０との間の隙間Ｂ内に吐出される圧縮空気の圧力が軸方向で非均一となることを抑制することができる。したがって、一実施形態に係る軸部材１４０によれば、空気軸受が形成される隙間Ｂ内の圧力の均一化を可能にすることができる。また、一実施形態に係る軸部材１４０は、本体部１４１に空気室１４２を設けたことにより、本体部１４１を軽量化でき、さらには、本体部１４１の加工を容易に行うことができる。
【0084】
また、一実施形態に係る軸部材１４０は、複数の絞り孔１４３の各々に配置される、複数の多孔質体１５１を備える。
【0085】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、複数の絞り孔１４３の各々から吐出される圧縮空気の流量を、複数の多孔質体１５１によって調整することができる。
【0086】
また、一実施形態に係る軸部材１４０は、複数の絞り孔１４３の各々に配置され、貫通孔１５２Ａを有する複数の保持部材１５２を備え、複数の多孔質体１５１の各々は、保持部材１５２の貫通孔１５２Ａ内で保持された状態で、保持部材１５２とともに絞り孔１４３に配置される。
【0087】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、多孔質体１５１を含む絞り１５０の絞り孔１４３への取り付けおよび固定を容易且つ確実に行うことができる。
【0088】
また、一実施形態に係る軸部材１４０において、保持部材１５２の外周面１５２Ｂは、絞り孔１４３の内周面１４３Ａに螺合するネジ山を有する。
【0089】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、多孔質体１５１を含む絞り１５０の絞り孔１４３への取り付けおよび固定をより容易且つ確実に行うことができる。
【0090】
また、一実施形態に係る軸部材１４０において、保持部材１５２の外周面１５２Ｂは、絞り孔１４３の内周面１４３Ａに接着剤で固着されている。
【0091】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、多孔質体１５１を含む絞り１５０の絞り孔１４３への固定をより確実に行うことができる。
【0092】
また、一実施形態に係る軸部材１４０において、多孔質体１５１は、保持部材１５２の貫通孔１５２Ａに対する、本体部１４１の外部の方向への抜け止めがなされる抜け止め形状を有する。
【0093】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、保持部材１５２の貫通孔１５２Ａからの、本体部１４１の外部の方向への、多孔質体１５１の抜け落ちを防止することができる。
【0094】
また、一実施形態に係る軸部材１４０において、多孔質体１５１は、樹脂素材が用いられて形成される。
【0095】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、低コスト且つ高強度な多孔質体１５１を用いることができる。
【0096】
また、一実施形態に係る軸部材１４０において、本体部１４１には、空気室１４２から本体部１４１の外部に向けて、互いに異なる８以上の半径方向の各々に、絞り孔１４３が穿設されている。
【0097】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、従来の構造では実現が困難であった、８以上の半径方向に圧縮空気を吐出することができ、本体部１４１の外周面と、筒状軸部１３２の内周面との間の隙間Ｂの周方向において、当該隙間Ｂ内の圧縮空気の圧力を均一化することができる。
【0098】
また、一実施形態に係る軸部材１４０において、本体部１４１には、軸方向における複数段に亘って、複数の絞り孔１４３が千鳥状に穿設されている。
【0099】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、各段の絞り孔１４３の形成本数よりも多くの半径方向に圧縮空気を吐出することができる。したがって、一実施形態に係る軸部材１４０によれば、隙間Ｂの円周方向において、当該隙間Ｂ内の圧縮空気の圧力をより均一化することができる。
【0100】
また、一実施形態に係る軸部材１４０は、本体部１４１の空気室１４２内に配置され、弾性を有し、本体部１４１の一端側の開口部と本体部１４１の他端側の開口部とを接続する、排気チューブ１４５を備える。
【0101】
これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、空気室１４２内での排気路の配置自由度を高めることができる。また、これにより、一実施形態に係る軸部材１４０は、本体部１４１に排気管を形成する必要がないため、本体部１４１の構成を簡素化することができる。
【0102】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形又は変更が可能である。
【0103】
例えば、本発明は、垂直方向を軸方向とする軸部材を有する装置に限らず、水平方向を軸方向とする軸部材を有する装置(但し、振動発生装置に限らない）にも適用可能である。
【0104】
また、本発明は、筒状部材が軸方向に移動する構成に限らず、軸部材が軸方向に移動する構成、軸部材が筒状部材の筒内で回転する構成、筒状部材が軸部材の外側で回転する構成等にも適用可能である。
【0105】
また、本発明は、筒状部材の内周面および軸部材の外周面の断面形状が円形状を有する構成に限らず、筒状部材の内周面および軸部材の外周面の断面形状がその他の形状(例えば、多角形状、楕円形状、等）を有する構成にも適用可能である。
【符号の説明】
【0106】
１０ 振動試験システム
１２ 試料
２０ 制御装置
２１ 振動波形制御機
２２ 電力増幅器
２３ 励磁電源部
２４ 保護回路部
３０ 空圧源ユニット
３１ コンプレッサ
３１Ａ 空気タンク
３１Ｂ 空気圧縮部
３１Ｃ モータ
３２ 給気管
３３ 排気管
３４ 流量調整弁
１００ 振動発生機
１００Ａ 空気軸受機構
１１０ ホルダ部
１１１ ホルダ部材
１１２ 上部励磁コイル
１１３ 下部励磁コイル
１１５ 上部円筒部材
１１６ 下部円筒部材
１１７ 上部カバー部材
１１８ 下部カバー部材
１２０ 支持部材
１３０ 振動テーブル
１３２ 筒状軸部（筒状部材）
１３３ 駆動コイル
１３４ 空気ばね室
１４０ 軸部材
１４１ 本体部
１４１Ａ 外周壁部
１４１Ｂ 内壁面
１４２ 空気室
１４３ 絞り孔
１４３Ａ 内周面
１４４ 下側蓋部材
１４４Ａ 給気路
１４４Ｂ 排気路
１４５ 排気チューブ（排気管）
１４６ 上側蓋部材
１４６Ａ 開口部
１５０ 絞り
１５１ 多孔質体
１５１Ａ 拡大部
１５２ 保持部材
１５２Ａ 貫通孔
１５２Ａａ 小径部
１５２Ｂ 外周面
Ａ 振動方向
Ｂ 隙間
１２ 試料
２０ 制御装置
２１ 振動波形制御機
２２ 電力増幅器
２３ 励磁電源部
２４ 保護回路部
３０ 空圧源ユニット
３１ コンプレッサ
３１Ａ 空気タンク
３１Ｂ 空気圧縮部
３１Ｃ モータ
３２ 給気管
３３ 排気管
３４ 流量調整弁
１００ 振動発生機
１００Ａ 空気軸受機構
１１０ ホルダ部
１１１ ホルダ部材
１１２ 上部励磁コイル
１１３ 下部励磁コイル
１１５ 上部円筒部材
１１６ 下部円筒部材
１１７ 上部カバー部材
１１８ 下部カバー部材
１２０ 支持部材
１３０ 振動テーブル
１３２ 筒状軸部（筒状部材）
１３３ 駆動コイル
１３４ 空気ばね室
１４０ 軸部材
１４１ 本体部
１４１Ａ 外周壁部
１４１Ｂ 内壁面
１４２ 空気室
１４３ 絞り孔
１４３Ａ 内周面
１４４ 下側蓋部材
１４４Ａ 給気路
１４４Ｂ 排気路
１４５ 排気チューブ（排気管）
１４６ 上側蓋部材
１４６Ａ 開口部
１５０ 絞り
１５１ 多孔質体
１５１Ａ 拡大部
１５２ 保持部材
１５２Ａ 貫通孔
１５２Ａａ 小径部
１５２Ｂ 外周面
Ａ 振動方向
Ｂ 隙間
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【手続補正書】
【提出日】2022-04-28
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
空気軸受機構が備える筒状部材の内部に配置される軸部材であって、
前記筒状部材の筒内形状に応じた外形状を有する本体部と、
前記本体部の内部に形成された空気室と、
前記空気室から前記本体部の外部に向けて前記本体部に穿設された複数の絞り孔と、
前記本体部の前記空気室内に配置され、弾性を有し、前記本体部の一端側の開口部と前記本体部の他端側の開口部とを接続する、排気管と
を備えることを特徴とする軸部材。
前記筒状部材の筒内形状に応じた外形状を有する本体部と、
前記本体部の内部に形成された空気室と、
前記空気室から前記本体部の外部に向けて前記本体部に穿設された複数の絞り孔と、
前記本体部の前記空気室内に配置され、弾性を有し、前記本体部の一端側の開口部と前記本体部の他端側の開口部とを接続する、排気管と
を備えることを特徴とする軸部材。
【請求項2】
空気軸受機構が備える筒状部材の内部に配置される軸部材であって、
前記筒状部材の筒内形状に応じた外形状を有する本体部と、
前記本体部の内部に形成された空気室と、
前記空気室から前記本体部の外部に向けて前記本体部に穿設された複数の絞り孔と
を備え、
前記本体部は、
前記空気室に面した内壁面にリブを有する
ることを特徴とする軸部材。
前記筒状部材の筒内形状に応じた外形状を有する本体部と、
前記本体部の内部に形成された空気室と、
前記空気室から前記本体部の外部に向けて前記本体部に穿設された複数の絞り孔と
を備え、
前記本体部は、
前記空気室に面した内壁面にリブを有する
ることを特徴とする軸部材。
【請求項3】
前記複数の絞り孔の各々に配置される、複数の多孔質体を備える
ことを特徴とする請求項１または２に記載の軸部材。
ことを特徴とする請求項１または２に記載の軸部材。
【請求項4】
前記複数の絞り孔の各々に配置され、貫通孔を有する複数の保持部材を備え、
前記複数の多孔質体の各々は、
前記保持部材の前記貫通孔内で保持された状態で、前記保持部材とともに前記絞り孔に配置される
ことを特徴とする請求項３に記載の軸部材。
前記複数の多孔質体の各々は、
前記保持部材の前記貫通孔内で保持された状態で、前記保持部材とともに前記絞り孔に配置される
ことを特徴とする請求項３に記載の軸部材。
【請求項5】
前記保持部材の外周面は、
前記絞り孔の内周面に螺合するネジ山を有する
ことを特徴とする請求項４に記載の軸部材。
前記絞り孔の内周面に螺合するネジ山を有する
ことを特徴とする請求項４に記載の軸部材。
【請求項6】
前記保持部材の外周面は、
前記絞り孔の内周面に接着剤で固着されている
ことを特徴とする請求項４または５に記載の軸部材。
前記絞り孔の内周面に接着剤で固着されている
ことを特徴とする請求項４または５に記載の軸部材。
【請求項7】
前記多孔質体は、
前記保持部材の前記貫通孔に対する、前記本体部の外部の方向への抜け止めがなされる抜け止め形状を有する
ことを特徴とする請求項４から６のいずれか一項に記載の軸部材。
前記保持部材の前記貫通孔に対する、前記本体部の外部の方向への抜け止めがなされる抜け止め形状を有する
ことを特徴とする請求項４から６のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項8】
前記多孔質体は、
樹脂素材が用いられて形成される
ことを特徴とする請求項３から７のいずれか一項に記載の軸部材。
樹脂素材が用いられて形成される
ことを特徴とする請求項３から７のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項9】
前記本体部には、
前記空気室から前記本体部の外部に向けて、互いに異なる８以上の半径方向の各々に、前記絞り孔が穿設されている
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の軸部材。
前記空気室から前記本体部の外部に向けて、互いに異なる８以上の半径方向の各々に、前記絞り孔が穿設されている
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項10】
前記本体部には、
軸方向における複数段に亘って、前記複数の絞り孔が千鳥状に穿設されている
ことを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の軸部材。
軸方向における複数段に亘って、前記複数の絞り孔が千鳥状に穿設されている
ことを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項11】
前記筒状部材と、
前記筒状部材の内部に配置される、請求項１から１０のいずれか一項に記載の軸部材と
を備えることを特徴とする空気軸受機構。
前記筒状部材の内部に配置される、請求項１から１０のいずれか一項に記載の軸部材と
を備えることを特徴とする空気軸受機構。
【請求項12】
請求項１１に記載の空気軸受機構を備える
ことを特徴とする振動発生機。
ことを特徴とする振動発生機。
【手続補正書】
【提出日】2022-08-30
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
空気軸受機構が備える筒状部材の内部に配置される軸部材であって、
前記筒状部材の筒内形状に応じた外形状を有する本体部と、
前記本体部の内部に形成された空気室と、
前記空気室から前記本体部の外部に向けて前記本体部に穿設された複数の絞り孔と、
前記本体部の前記空気室内に配置され、弾性を有し、前記本体部の一端側の開口部と前記本体部の他端側の開口部とを接続する、排気管と
を備えることを特徴とする軸部材。
前記筒状部材の筒内形状に応じた外形状を有する本体部と、
前記本体部の内部に形成された空気室と、
前記空気室から前記本体部の外部に向けて前記本体部に穿設された複数の絞り孔と、
前記本体部の前記空気室内に配置され、弾性を有し、前記本体部の一端側の開口部と前記本体部の他端側の開口部とを接続する、排気管と
を備えることを特徴とする軸部材。
【請求項2】
前記本体部は、
前記空気室に面した内壁面にリブを有する
ることを特徴とする請求項１に記載の軸部材。
前記空気室に面した内壁面にリブを有する
ることを特徴とする請求項１に記載の軸部材。
【請求項3】
前記複数の絞り孔の各々に配置される、複数の多孔質体を備える
ことを特徴とする請求項１または２に記載の軸部材。
ことを特徴とする請求項１または２に記載の軸部材。
【請求項4】
前記複数の絞り孔の各々に配置され、貫通孔を有する複数の保持部材を備え、
前記複数の多孔質体の各々は、
前記保持部材の前記貫通孔内で保持された状態で、前記保持部材とともに前記絞り孔に配置される
ことを特徴とする請求項３に記載の軸部材。
前記複数の多孔質体の各々は、
前記保持部材の前記貫通孔内で保持された状態で、前記保持部材とともに前記絞り孔に配置される
ことを特徴とする請求項３に記載の軸部材。
【請求項5】
前記保持部材の外周面は、
前記絞り孔の内周面に螺合するネジ山を有する
ことを特徴とする請求項４に記載の軸部材。
前記絞り孔の内周面に螺合するネジ山を有する
ことを特徴とする請求項４に記載の軸部材。
【請求項6】
前記保持部材の外周面は、
前記絞り孔の内周面に接着剤で固着されている
ことを特徴とする請求項４または５に記載の軸部材。
前記絞り孔の内周面に接着剤で固着されている
ことを特徴とする請求項４または５に記載の軸部材。
【請求項7】
前記多孔質体は、
前記保持部材の前記貫通孔に対する、前記本体部の外部の方向への抜け止めがなされる抜け止め形状を有する
ことを特徴とする請求項４から６のいずれか一項に記載の軸部材。
前記保持部材の前記貫通孔に対する、前記本体部の外部の方向への抜け止めがなされる抜け止め形状を有する
ことを特徴とする請求項４から６のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項8】
前記多孔質体は、
樹脂素材が用いられて形成される
ことを特徴とする請求項３から７のいずれか一項に記載の軸部材。
樹脂素材が用いられて形成される
ことを特徴とする請求項３から７のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項9】
前記本体部には、
前記空気室から前記本体部の外部に向けて、互いに異なる８以上の半径方向の各々に、前記絞り孔が穿設されている
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の軸部材。
前記空気室から前記本体部の外部に向けて、互いに異なる８以上の半径方向の各々に、前記絞り孔が穿設されている
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項10】
前記本体部には、
軸方向における複数段に亘って、前記複数の絞り孔が千鳥状に穿設されている
ことを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の軸部材。
軸方向における複数段に亘って、前記複数の絞り孔が千鳥状に穿設されている
ことを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の軸部材。
【請求項11】
前記筒状部材と、
前記筒状部材の内部に配置される、請求項１から１０のいずれか一項に記載の軸部材と
を備えることを特徴とする空気軸受機構。
前記筒状部材の内部に配置される、請求項１から１０のいずれか一項に記載の軸部材と
を備えることを特徴とする空気軸受機構。
【請求項12】
請求項１１に記載の空気軸受機構を備える
ことを特徴とする振動発生機。
ことを特徴とする振動発生機。