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▶ グミ エレクトロニクス アンド インフォメーション テクノロジー リサーチ インスティテュートの特許一覧
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023095764
(43)【公開日】2023-07-06
(54)【発明の名称】多重光源を用いた表面形状情報獲得装置
(51)【国際特許分類】
G01B 11/24 20060101AFI20230629BHJP
G01B 11/02 20060101ALI20230629BHJP
G01B 9/02002 20220101ALI20230629BHJP
H01L 21/66 20060101ALI20230629BHJP
【ＦＩ】
G01B11/24 D
G01B11/02 G
G01B9/02002
H01L21/66 J
H01L21/66 P
【審査請求】有
【請求項の数】13
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022167261
(22)【出願日】2022-10-19
(31)【優先権主張番号】10-2021-0186849
(32)【優先日】2021-12-24
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(71)【出願人】
【識別番号】522409219
【氏名又は名称】グミ エレクトロニクス アンド インフォメーション テクノロジー リサーチ インスティテュート
【氏名又は名称原語表記】ＧＵＭＩ ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ ＆ ＩＮＦＯＲＭＡＴＩＯＮ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＩＮＳＴＩＴＵＴＥ
(74)【代理人】
【識別番号】100147485
【弁理士】
【氏名又は名称】杉村 憲司
(74)【代理人】
【識別番号】230118913
【弁護士】
【氏名又は名称】杉村 光嗣
(74)【代理人】
【識別番号】100173794
【弁理士】
【氏名又は名称】色部 暁義
(72)【発明者】
【氏名】ウ ソンス
(72)【発明者】
【氏名】チョイ ジェグワン
(72)【発明者】
【氏名】ク ジュンシク
(72)【発明者】
【氏名】カン ピルソン
【テーマコード（参考）】
2F064
2F065
4M106
【Ｆターム（参考）】
2F064AA09
2F064CC04
2F064EE01
2F064FF01
2F064FF06
2F064GG12
2F064GG22
2F064HH03
2F065AA25
2F065AA52
2F065BB02
2F065BB17
2F065CC19
2F065DD03
2F065FF52
2F065GG04
2F065GG23
2F065HH04
2F065HH13
2F065JJ03
2F065JJ09
2F065PP24
2F065QQ03
2F065QQ21
2F065QQ24
2F065QQ31
2F065SS04
2F065UU01
4M106AA01
4M106BA04
4M106BA05
4M106CA38
4M106CA48
4M106DB04
4M106DB07
4M106DB12
4M106DB13
4M106DJ17
(57)【要約】 （修正有）
【課題】波長の異なる多重光源を用いて、サンプルの表面形状の深さ測定範囲を拡張する、多重光源を用いた表面形状情報獲得装置を提供する。
【解決手段】多重光源を用いた表面形状情報獲得装置は、第１波長の第１光を生成して出力する第１光源部；第１光源部から入射する第１光を、第１分割光と第２分割光に分割する第１ビームスプリッタ；第２波長の第２光を生成して出力する第２光源部；第２光源部から入射する前記第２光を、第３分割光と第４分割光に分割する第２ビームスプリッタ；第２分割光と第４分割光が入射され、これをサンプルに入射させて、第１サンプル光及び第２サンプル光を形成させるサンプル光形成部；第１サンプル光及び第２サンプル光を受光し、第１分割光が基準ミラーから反射して形成された第１基準光と、第３分割光が基準ミラーから反射して形成された第２基準光を受光して、干渉信号を生成する撮像部；を含むことを特徴とする。
【選択図】図１
【解決手段】多重光源を用いた表面形状情報獲得装置は、第１波長の第１光を生成して出力する第１光源部；第１光源部から入射する第１光を、第１分割光と第２分割光に分割する第１ビームスプリッタ；第２波長の第２光を生成して出力する第２光源部；第２光源部から入射する前記第２光を、第３分割光と第４分割光に分割する第２ビームスプリッタ；第２分割光と第４分割光が入射され、これをサンプルに入射させて、第１サンプル光及び第２サンプル光を形成させるサンプル光形成部；第１サンプル光及び第２サンプル光を受光し、第１分割光が基準ミラーから反射して形成された第１基準光と、第３分割光が基準ミラーから反射して形成された第２基準光を受光して、干渉信号を生成する撮像部；を含むことを特徴とする。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１波長の第１光を生成して出力する第１光源部；
前記第１光源部から入射する前記第１光を、第１分割光と第２分割光に分割する第１ビームスプリッタ；
第２波長の第２光を生成して出力する第２光源部；
前記第２光源部から入射する前記第２光を、第３分割光と第４分割光に分割する第２ビームスプリッタ；
前記第２分割光と前記第４分割光が入射され、これをサンプルに入射させて、第１サンプル光及び第２サンプル光を形成させるサンプル光形成部；
前記第１サンプル光及び前記第２サンプル光を受光し、前記第１分割光が基準ミラーから反射して形成された第１基準光と、前記第３分割光が基準ミラーから反射して形成された第２基準光を受光して、干渉信号を生成する撮像部；を含むことを特徴とする、
多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第１光源部から入射する前記第１光を、第１分割光と第２分割光に分割する第１ビームスプリッタ；
第２波長の第２光を生成して出力する第２光源部；
前記第２光源部から入射する前記第２光を、第３分割光と第４分割光に分割する第２ビームスプリッタ；
前記第２分割光と前記第４分割光が入射され、これをサンプルに入射させて、第１サンプル光及び第２サンプル光を形成させるサンプル光形成部；
前記第１サンプル光及び前記第２サンプル光を受光し、前記第１分割光が基準ミラーから反射して形成された第１基準光と、前記第３分割光が基準ミラーから反射して形成された第２基準光を受光して、干渉信号を生成する撮像部；を含むことを特徴とする、
多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項2】
前記サンプル光形成部は、
前記第２分割光と前記第４分割光とを結合させる第３ビームスプリッタ；
前記第３ビームスプリッタで結合された第２分割光及び第４分割光をサンプルに入射させ、前記第２分割光及び前記第４分割光が、前記サンプルから反射して形成された第１サンプル光及び第２サンプル光を、前記撮像部側に入射させる第４ビームスプリッタ；を含むことを特徴とする、
請求項１に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第２分割光と前記第４分割光とを結合させる第３ビームスプリッタ；
前記第３ビームスプリッタで結合された第２分割光及び第４分割光をサンプルに入射させ、前記第２分割光及び前記第４分割光が、前記サンプルから反射して形成された第１サンプル光及び第２サンプル光を、前記撮像部側に入射させる第４ビームスプリッタ；を含むことを特徴とする、
請求項１に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項3】
前記サンプル光形成部は、
前記第３ビームスプリッタと前記第４ビームスプリッタとの間に配置され、
前記第３ビームスプリッタを経て結合された前記第２分割光と第４分割光のノイズを除去するノイズ除去部；をさらに含むことを特徴とする、
請求項２に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第３ビームスプリッタと前記第４ビームスプリッタとの間に配置され、
前記第３ビームスプリッタを経て結合された前記第２分割光と第４分割光のノイズを除去するノイズ除去部；をさらに含むことを特徴とする、
請求項２に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項4】
前記サンプル光形成部は、
前記第３ビームスプリッタと前記第４ビームスプリッタとの間に配置され、
前記第３ビームスプリッタを経て結合された前記第２分割光と前記第４分割光を、前記第４ビームスプリッタに伝達するレンズ部；をさらに含むことを特徴とする、
請求項２に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第３ビームスプリッタと前記第４ビームスプリッタとの間に配置され、
前記第３ビームスプリッタを経て結合された前記第２分割光と前記第４分割光を、前記第４ビームスプリッタに伝達するレンズ部；をさらに含むことを特徴とする、
請求項２に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項5】
前記サンプル光形成部は、
前記第４ビームスプリッタとサンプルとの間に配置され、
前記第４ビームスプリッタから入射する前記第２分割光と前記第４分割光を平行光の形態に変換して、前記サンプルに入射させ、前記サンプルから反射して形成された第１サンプル光と第２サンプル光を集束して、前記第４ビームスプリッタに入射させる対物レンズ部；をさらに含むことを特徴とする、
請求項２に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第４ビームスプリッタとサンプルとの間に配置され、
前記第４ビームスプリッタから入射する前記第２分割光と前記第４分割光を平行光の形態に変換して、前記サンプルに入射させ、前記サンプルから反射して形成された第１サンプル光と第２サンプル光を集束して、前記第４ビームスプリッタに入射させる対物レンズ部；をさらに含むことを特徴とする、
請求項２に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項6】
第１波長の第１光を生成して出力する第１光源部；
前記第１光源部から入射する前記第１光を、第１分割光と第２分割光に分割する第１ビームスプリッタ；
前記第１分割光の光の長さを調節するものの、前記第１分割光を基準ミラーに入射させて、第１基準光を形成させる第１光の長さ調節部；
第２波長の第２光を生成して出力する第２光源部；
前記第２光源部から入射する前記第２光を、第３分割光と第４分割光に分割する第２ビームスプリッタ；
前記第３分割光の光の長さを調節するものの、前記第３分割光を基準ミラーに入射させて、第２基準光を形成させる第２光の長さ調節部；
前記第２分割光と前記第４分割光が入射され、これをサンプルに入射させて、第１サンプル光及び第２サンプル光を形成させるサンプル光形成部；
前記第１サンプル光及び前記第２サンプル光を受光し、前記第１基準光及び前記第２基準光を受光して、干渉信号を生成する撮像部；を含むことを特徴とする、
多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第１光源部から入射する前記第１光を、第１分割光と第２分割光に分割する第１ビームスプリッタ；
前記第１分割光の光の長さを調節するものの、前記第１分割光を基準ミラーに入射させて、第１基準光を形成させる第１光の長さ調節部；
第２波長の第２光を生成して出力する第２光源部；
前記第２光源部から入射する前記第２光を、第３分割光と第４分割光に分割する第２ビームスプリッタ；
前記第３分割光の光の長さを調節するものの、前記第３分割光を基準ミラーに入射させて、第２基準光を形成させる第２光の長さ調節部；
前記第２分割光と前記第４分割光が入射され、これをサンプルに入射させて、第１サンプル光及び第２サンプル光を形成させるサンプル光形成部；
前記第１サンプル光及び前記第２サンプル光を受光し、前記第１基準光及び前記第２基準光を受光して、干渉信号を生成する撮像部；を含むことを特徴とする、
多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項7】
前記第１光の長さ調節部は、
前記第１サンプル光の光の長さに合わせて、前記第１分割光の光の長さを調節し、
前記第２光の長さ調節部は、
前記第２サンプル光の光の長さに合わせて、前記第３分割光の光の長さを調節することを特徴とする、
請求項６に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第１サンプル光の光の長さに合わせて、前記第１分割光の光の長さを調節し、
前記第２光の長さ調節部は、
前記第２サンプル光の光の長さに合わせて、前記第３分割光の光の長さを調節することを特徴とする、
請求項６に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項8】
前記第１光の長さ調節部と前記第２光の長さ調節部は、それぞれ、
入射する光の一部を反射させる第１ハーフミラー；
前記第１ハーフミラーから入射する光を反射する第１基準ミラー；
前記第１基準ミラーから入射する光を反射する第２基準ミラー；
前記第２基準ミラーから入射する光の一部を反射させる第２ハーフミラー；を含むことを特徴とする、
請求項７に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
入射する光の一部を反射させる第１ハーフミラー；
前記第１ハーフミラーから入射する光を反射する第１基準ミラー；
前記第１基準ミラーから入射する光を反射する第２基準ミラー；
前記第２基準ミラーから入射する光の一部を反射させる第２ハーフミラー；を含むことを特徴とする、
請求項７に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項9】
前記第１光の長さ調節部から入射する第１基準光のノイズを除去する第１のノイズ除去部；
前記第２光の長さ調節部から入射する第２基準光のノイズを除去する第２のノイズ除去部；をさらに含むことを特徴とする、
請求項６に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第２光の長さ調節部から入射する第２基準光のノイズを除去する第２のノイズ除去部；をさらに含むことを特徴とする、
請求項６に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項10】
第１波長の第１光を生成して出力する第１光源部；
前記第１光源部から入射する前記第１光を、第１分割光と第２分割光に分割する第１ビームスプリッタ；
前記第１分割光の光の長さを調節するものの、前記第１分割光を基準ミラーに入射させて、第１基準光を形成させる第１光の長さ調節部；
第２波長の第２光を生成して出力する第２光源部；
前記第２光源部から入射する前記第２光を、第３分割光と第４分割光に分割する第２ビームスプリッタ；
前記第３分割光の光の長さを調節するものの、前記第３分割光を基準ミラーに入射させて、第２基準光を形成させる第２光の長さ調節部；
前記第２分割光と前記第４分割光が入射して結合させる第３ビームスプリッタ；
前記第３ビームスプリッタで結合された第２分割光及び第４分割光をサンプルに入射させ、前記サンプルから反射して形成される第１サンプル光及び第２サンプル光を撮像部側に入射させる第４ビームスプリッタ；
前記第４ビームスプリッタから入射する前記第２分割光と前記第４分割光を平行光の形態に変換して、前記サンプルに入射させ、前記サンプルから反射して形成された第１サンプル光と第２サンプル光を集束して、前記第４ビームスプリッタに入射させる対物レンズ部；
前記第１サンプル光及び前記第２サンプル光を受光し、前記第１基準光及び前記第２基準光を受光して、干渉信号を生成する撮像部；を含むことを特徴とする、
多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第１光源部から入射する前記第１光を、第１分割光と第２分割光に分割する第１ビームスプリッタ；
前記第１分割光の光の長さを調節するものの、前記第１分割光を基準ミラーに入射させて、第１基準光を形成させる第１光の長さ調節部；
第２波長の第２光を生成して出力する第２光源部；
前記第２光源部から入射する前記第２光を、第３分割光と第４分割光に分割する第２ビームスプリッタ；
前記第３分割光の光の長さを調節するものの、前記第３分割光を基準ミラーに入射させて、第２基準光を形成させる第２光の長さ調節部；
前記第２分割光と前記第４分割光が入射して結合させる第３ビームスプリッタ；
前記第３ビームスプリッタで結合された第２分割光及び第４分割光をサンプルに入射させ、前記サンプルから反射して形成される第１サンプル光及び第２サンプル光を撮像部側に入射させる第４ビームスプリッタ；
前記第４ビームスプリッタから入射する前記第２分割光と前記第４分割光を平行光の形態に変換して、前記サンプルに入射させ、前記サンプルから反射して形成された第１サンプル光と第２サンプル光を集束して、前記第４ビームスプリッタに入射させる対物レンズ部；
前記第１サンプル光及び前記第２サンプル光を受光し、前記第１基準光及び前記第２基準光を受光して、干渉信号を生成する撮像部；を含むことを特徴とする、
多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項11】
前記第３ビームスプリッタと前記第４ビームスプリッタとの間に配置されて、前記第２分割光と第４分割光のノイズを除去するものの、
前記第３ビームスプリッタから入射する第２分割光と第４分割光を集束する対物レンズ；
前記対物レンズから入射する前記第２分割光と第４分割光のノイズを除去する空間フィルター；をさらに含むことを特徴とする、
請求項１０に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第３ビームスプリッタから入射する第２分割光と第４分割光を集束する対物レンズ；
前記対物レンズから入射する前記第２分割光と第４分割光のノイズを除去する空間フィルター；をさらに含むことを特徴とする、
請求項１０に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項12】
前記第３ビームスプリッタと前記第４ビームスプリッタとの間に配置され、
前記第３ビームスプリッタを経て結合された前記第２分割光と前記第４分割光を、前記第４ビームスプリッタに伝達するレンズ部；をさらに含むことを特徴とする、
請求項１０に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第３ビームスプリッタを経て結合された前記第２分割光と前記第４分割光を、前記第４ビームスプリッタに伝達するレンズ部；をさらに含むことを特徴とする、
請求項１０に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【請求項13】
前記第１光の長さ調節部から入射する第１基準光のノイズを除去する第１のノイズ除去部；
前記第２光の長さ調節部から入射する第２基準光のノイズを除去する第２のノイズ除去部；
前記第４ビームスプリッタから入射する第１サンプル光と第２サンプル光を平行光の形態に変換して出力するチューブレンズ；
前記チューブレンズから入射する第１サンプル光及び第２サンプル光と、前記第２のノイズ除去部から入射する第２基準光とを、前記撮像部の位置した方向に出力する第５ビームスプリッタ；
前記第５ビームスプリッタから入射する第１サンプル光、第２サンプル光、第２基準光、前記第１のノイズ除去部から入射する第１基準光を、前記撮像部に入射させる第６ビームスプリッタ；をさらに含むことを特徴とする、
請求項１０に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
前記第２光の長さ調節部から入射する第２基準光のノイズを除去する第２のノイズ除去部；
前記第４ビームスプリッタから入射する第１サンプル光と第２サンプル光を平行光の形態に変換して出力するチューブレンズ；
前記チューブレンズから入射する第１サンプル光及び第２サンプル光と、前記第２のノイズ除去部から入射する第２基準光とを、前記撮像部の位置した方向に出力する第５ビームスプリッタ；
前記第５ビームスプリッタから入射する第１サンプル光、第２サンプル光、第２基準光、前記第１のノイズ除去部から入射する第１基準光を、前記撮像部に入射させる第６ビームスプリッタ；をさらに含むことを特徴とする、
請求項１０に記載の多重光源を用いた表面形状情報獲得装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、多重光源を用いた表面形状情報獲得装置に関し、より詳細には、波長の互いに異なる多重光源を用いて、ウエハー表面の微細形状情報が獲得できるようにする、多重光源を用いた表面形状情報獲得装置に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体の小型化に対する要求が増えることにつれて、隣接した電極との間隔や線幅を最大限に減らして、集積度を上げている。
【0003】
しかしながら、これも限界に到り、今は垂直方向に積層して集積度を上げている。
【0004】
これによって、水平にパッケージングした半導体を垂直に積み、軸間の上下に貫通孔（Ｔｈｒｏｕｇｈ Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｖｉａ：ＴＳＶ）を開けて、直接連結する方式で回路を設計する。
【0005】
貫通孔技術は、複数の半導体チップに形成された回路パターンを電気的に連結させるために、シリコンウエハー基板を垂直に貫通する微細孔を形成した後、孔の内部に導電性物質を充填して、チップの内部に電気的連結通路を確保する３次元技術である。
【0006】
このように、シリコンウエハー基板に形成される貫通孔は、定めた規格に合うように形成すべきであり、規格に合っていない場合は、半導体パッケージの誤動作を引き起こし得る。
【0007】
よって、シリコンウエハー基板を垂直に貫通する貫通孔が、定めた深さ及び形状に合って形成されているかを検査する必要がある。
【0008】
このためには、大量生産のため精密かつ高速で試料の破壊なしに測定できる技術が必須である。
【0009】
これの代案として、デジタルホログラフィック顕微鏡（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｈｏｌｏｇｒａｐｈｉｃ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ；以下、ＤＨＭと言う。）技術を提案した。
【0010】
ＤＨＭは、光の位相を記録及び復元することのできるホログラフィー（Ｈｏｌｏｇｒａｐｈｙ）技術を利用して、３次元計測が可能である。
【0011】
すなわち、レーザー光を用いた光学干渉計に基づいて、３次元物体の位相を検出した後、検出された位相から３次元形状情報を復元する過程を通じて３次元計測が可能である。
【0012】
ＤＨＭ技術を利用して、ウエハー基板の表面形状情報を獲得する場合、光源の波長と光学系の構成によってウエハー基板の表面の微細形状情報の深さ測定範囲が決定される。
【0013】
従来、ＤＨＭは、単一光源を用いて、ウエハー基板の表面形状情報を獲得する。
【0014】
具体的に、単一光源部から入射する一つの光をビームスプリッタを利用して、基準光とサンプル光に分割し、カメラ端における光の長さを合わせて、サンプル情報を３次元復元する。
【0015】
しかし、従来のように単一光源を用いる場合は、サンプル（ウエハー）の深さ測定範囲（ｌａｔｅｒａｌ ｒｅｓｏｌｕｔｉoｎ）が制限的となり、半導体ウエハーの表面形状情報の深さ、微細な不良を検出するのに限界が発生する問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0016】
韓国公開特許公報第１０－２０２０－００４０２０９号（２０２０年４月１７日付公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0017】
上記のような従来の問題点を解決するために本発明の目的は、波長の互いに異なる多重光源を用いて、サンプルの表面形状情報の深さ測定範囲を拡張させるようにする、多重光源を用いた表面形状情報獲得装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0018】
上記目的を達成するために、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置は、第１波長の第１光を生成して出力する第１光源部；前記第１光源部から入射する前記第１光を、第１分割光と第２分割光に分割する第１ビームスプリッタ；第２波長の第２光を生成して出力する第２光源部；前記第２光源部から入射する前記第２光を、第３分割光と第４分割光に分割する第２ビームスプリッタ；前記第２分割光と前記第４分割光が入射され、これをサンプルに入射させて、第１サンプル光及び第２サンプル光を形成させるサンプル光形成部；前記第１サンプル光及び前記第２サンプル光を受光し、前記第１分割光が基準ミラーから反射して形成された第１基準光と、前記第３分割光が基準ミラーから反射して形成された第２基準光を受光して、干渉信号を生成する撮像部；を含むことを特徴とする。
【0019】
また、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置において、前記サンプル光形成部は、前記第２分割光と前記第４分割光とを結合させる第３ビームスプリッタ；前記第３ビームスプリッタで結合された第２分割光及び第４分割光をサンプルに入射させ、前記第２分割光及び前記第４分割光が、前記サンプルから反射して形成された第１サンプル光及び第２サンプル光を、前記撮像部側に入射させる第４ビームスプリッタ；を含むことを特徴とする。
【0020】
また、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置において、前記サンプル光形成部は、前記第３ビームスプリッタと前記第４ビームスプリッタとの間に配置され、前記第３ビームスプリッタを経て結合された前記第２分割光と第４分割光のノイズを除去するノイズ除去部；をさらに含むことを特徴とする。
【0021】
また、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置において、前記サンプル光形成部は、前記第３ビームスプリッタと前記第４ビームスプリッタとの間に配置され、前記第３ビームスプリッタを経て結合された前記第２分割光と前記第４分割光を、前記第４ビームスプリッタに伝達するレンズ部；をさらに含むことを特徴とする。
【0022】
また、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置において、前記サンプル光形成部は、前記第４ビームスプリッタとサンプルとの間に配置され、前記第４ビームスプリッタから入射する前記第２分割光と前記第４分割光を平行光の形態に変換して、前記サンプルに入射させ、前記サンプルから反射して形成された第１サンプル光と第２サンプル光を集束して、前記第４ビームスプリッタに入射させる対物レンズ部；をさらに含むことを特徴とする。
【0023】
また、上記目的を達成するために、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置は、第１波長の第１光を生成して出力する第１光源部；前記第１光源部から入射する前記第１光を、第１分割光と第２分割光に分割する第１ビームスプリッタ；前記第１分割光の光の長さを調節するものの、前記第１分割光を基準ミラーに入射させて、第１基準光を形成させる第１光の長さ調節部；第２波長の第２光を生成して出力する第２光源部；前記第２光源部から入射する前記第２光を、第３分割光と第４分割光に分割する第２ビームスプリッタ；前記第３分割光の光の長さを調節するものの、前記第３分割光を基準ミラーに入射させて、第２基準光を形成させる第２光の長さ調節部；前記第２分割光と前記第４分割光が入射され、これをサンプルに入射させて、第１サンプル光及び第２サンプル光を形成させるサンプル光形成部；前記第１サンプル光及び前記第２サンプル光を受光し、前記第１基準光及び前記第２基準光を受光して、干渉信号を生成する撮像部；を含むことを特徴とする。
【0024】
また、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置において、前記第１光の長さ調節部は、前記第１サンプル光の光の長さに合わせて、前記第１分割光の光の長さを調節し、前記第２光の長さ調節部は、前記第２サンプル光の光の長さに合わせて、前記第３分割光の光の長さを調節することを特徴とする。
【0025】
また、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置において、前記第１光の長さ調節部と前記第２光の長さ調節部は、それぞれ、入射する光の一部を反射させる第１ハーフミラー；前記第１ハーフミラーから入射する光を反射する第１基準ミラー；前記第１基準ミラーから入射する光を反射する第２基準ミラー；前記第２基準ミラーから入射する光の一部を反射させる第２ハーフミラー；を含むことを特徴とする。
【0026】
また、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置において、前記第１光の長さ調節部から入射する第１基準光のノイズを除去する第１のノイズ除去部；前記第２光の長さ調節部から入射する第２基準光のノイズを除去する第２のノイズ除去部；をさらに含むことを特徴とする。
【0027】
また、上記目的を達成するために、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置は、第１波長の第１光を生成して出力する第１光源部；前記第１光源部から入射する前記第１光を、第１分割光と第２分割光に分割する第１ビームスプリッタ；前記第１分割光の光の長さを調節するものの、前記第１分割光を基準ミラーに入射させて、第１基準光を形成させる第１光の長さ調節部；第２波長の第２光を生成して出力する第２光源部；前記第２光源部から入射する前記第２光を、第３分割光と第４分割光に分割する第２ビームスプリッタ；前記第３分割光の光の長さを調節するものの、前記第３分割光を基準ミラーに入射させて、第２基準光を形成させる第２光の長さ調節部；前記第２分割光と前記第４分割光が入射して結合させる第３ビームスプリッタ；前記第３ビームスプリッタで結合された第２分割光及び第４分割光をサンプルに入射させ、前記サンプルから反射して形成される第１サンプル光及び第２サンプル光を撮像部側に入射させる第４ビームスプリッタ；前記第４ビームスプリッタから入射する前記第２分割光と前記第４分割光を平行光の形態に変換して、前記サンプルに入射させ、前記サンプルから反射して形成された第１サンプル光と第２サンプル光を集束して、前記第４ビームスプリッタに入射させる対物レンズ部；前記第１サンプル光及び前記第２サンプル光を受光し、前記第１基準光及び前記第２基準光を受光して、干渉信号を生成する撮像部；を含むことを特徴とする。
【0028】
また、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置において、前記第３ビームスプリッタと前記第４ビームスプリッタとの間に配置されて、前記第２分割光と第４分割光のノイズを除去するものの、前記第３ビームスプリッタから入射する第２分割光と第４分割光を集束する対物レンズ；前記対物レンズから入射する前記第２分割光と第４分割光のノイズを除去する空間フィルター；をさらに含むことを特徴とする。
【0029】
また、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置において、前記第３ビームスプリッタと前記第４ビームスプリッタとの間に配置され、前記第３ビームスプリッタを経て結合された前記第２分割光と前記第４分割光を、前記第４ビームスプリッタに伝達するレンズ部；をさらに含むことを特徴とする。
【0030】
また、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置において、前記第１光の長さ調節部から入射する第１基準光のノイズを除去する第１のノイズ除去部；前記第２光の長さ調節部から入射する第２基準光のノイズを除去する第２のノイズ除去部；前記第４ビームスプリッタから入射する第１サンプル光と第２サンプル光を平行光の形態に変換して出力するチューブレンズ；前記チューブレンズから入射する第１サンプル光及び第２サンプル光と、前記第２のノイズ除去部から入射する第２基準光とを、前記撮像部の位置した方向に出力する第５ビームスプリッタ；前記第５ビームスプリッタから入射する第１サンプル光、第２サンプル光、第２基準光、及び前記第１のノイズ除去部から入射する第１基準光を、前記撮像部に入射させる第６ビームスプリッタ；をさらに含むことを特徴とする。
【0031】
その他実施形態の具体的な事項は、「発明を実施するための形態」及び添付の「図面」に含まれている。
【0032】
本発明の利点及び／または特徴、そしてそれらを達成する方法は、添付の図面と共に詳細に後述されている各実施形態を参照すれば明確になる。
【0033】
しかし、本発明は、以下で開示の各実施形態の構成だけに限定されるものではなく、互いに異なる様々な形態に具現することもできる。ただし、本明細書で開示の各々の実施形態は、本発明の開示を完全にして、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者に本発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は、請求範囲の各請求項の範疇によって定義されるだけである。
【発明の効果】
【0034】
本発明によれば、波長の互いに異なる多重光源を用いて、サンプルの表面形状情報の深さ測定範囲を確張することができるようになり、光学系の構造が単純化できるようになる。
【0035】
また、深さ測定範囲を確張することができることから、サンプルの良／否判定の確認における正確性を高めるようになる。
【図面の簡単な説明】
【0036】
【図1】本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置の構成を概略的に示した図である。
【図2】本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置の構成を概略的に示した図である。
【図3】本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置におけるサンプル光の獲得過程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0037】
本発明を詳説する前に、本明細書で使われた用語や単語は、必ずしも通常的又は辞書的な意味に限定して解釈されてはならず、本発明の発明者が、自己の発明を最も最善な方法で説明するために、各種用語の概念を適宜定義して使うことができ、さらには、これらの用語や単語は、本発明の技術思想に符合する意味と概念に解釈すべきである。
【0038】
すなわち、本明細書で使われた用語は、本発明の好ましい実施形態を説明するために使われるだけであり、本発明の内容を具体的に限定しようとする意図で使われたものではなく、これらの用語は、本発明の様々な可能性を考慮して定義された用語である。
【0039】
また、本明細書において、単数の表現は、文脈上明確に他の意味に示さない限り、複数の表現を含んでいてもよく、これと同様、複数で表現されていても、単数の意味を含むものと理解しなければならない。
【0040】
本明細書の全体にわたるある構成要素が他の構成要素を「含む」と記載する場合、特に逆の意味に記載されない限り、任意の他の構成要素を除くものではなく、任意の他の構成要素をさらに含んでいてもよいことを意味し得る。
【0041】
さらに、ある構成要素が他の構成要素の「内部に存在するか、連結して設置される」と記載した場合は、この構成要素が他の構成要素と直接に連結されているか、接触して設置されていてもよく、一定距離を空けて離隔して設置されていてもよく、一定距離を空けて離隔して設置されている場合については、該構成要素を他の構成要素に固定乃至連結するため第３の構成要素又は手段が存在し得、この第３の構成要素又は手段に関する説明は、省略し得る。
【0042】
他方、ある構成要素が他の構成要素に「直接に連結」されているか、あるいは「直接に接続」されていると記載される場合は、第３の構成要素又は手段は存在しないと理解しなければならない。
【0043】
同様、各構成要素間の関係を説明する他の表現、つまり「～間に」と「すぐ～間に」、あるいは「～に隣合う」と「～に直接に隣合う」等も、同様の趣旨を有するものと解釈すべきである。
【0044】
また、本明細書における「一面」、「他面」、「一側」、「他側」、「第１」、「第２」等の用語は、使われるものであれば、一構成要素に対して、この一構成要素が他の構成要素から明確に区別できるようにするために使われて、これらの用語によって、該構成要素の意味が制限的に使われるものではない。
【0045】
また、本明細書における「上」、「下」、「左」、「右」等の位置に関する用語は、使われるものであれば、該構成要素に対して、該図面における相対的な位置を示していると理解しなければならず、これらの位置について絶対的な位置を特定しない限り、これらの位置に関する用語が絶対的な位置を言及すると理解してはならない。
【0046】
また、本明細書では、各図面の各構成要素に対してその図面符号を付することにおいて、同じ構成要素に対しては、この構成要素がたとえ他の図面に示されても、同じ図面符号を有するように、つまり全明細書における同じ参照符号は、同じ構成要素を示している。
【0047】
本明細書に添付の図面において、本発明を構成する各構成要素の大きさ、位置、結合関係等は、本発明の思想を十分かつ明確に伝達できるようにするために、あるいは説明の便宜のため一部を誇張又は縮小するか、省略して記述されてもよく、よって、その比例や縮尺は、厳密でなくてもよい。
【0048】
また、以下では、本発明を説明することにおいて、本発明の要旨を曖昧にすると判断される構成、例えば、従来技術を含む公知の技術に関する詳説は省略することができる。
【0049】
以下では、本発明の実施形態について関連する図面を参照して詳説することとする。
【0050】
【0051】
図１及び図２に示すように、本発明による多重光源を用いた表面形状情報獲得装置は、第１光源部１１０、第１ビームスプリッタ１２０、第１反射部１３０、第１光の長さ調節部１４０、第２反射部１５０、第１のノイズ除去部１６０、第３反射部１７０、第２光源部２１０、第２ビームスプリッタ２２０、第４反射部２３０、第２光の長さ調節部２４０、第５反射部２５０、第２のノイズ除去部２６０、サンプル光形成部３１０、チューブレンズ３２０、第５ビームスプリッタ３３０、第６ビームスプリッタ３４０、撮像部３５０等を含んでなっていてもよい。
【0052】
ここで、第１光源部１１０は、第１波長（λ１）を有する第１光を生成して出力する。
【0053】
第１ビームスプリッタ１２０は、第１光源部１１０から入射する第１光を両方向に分割して出力する。
【0054】
具体的に、第１光源部１１０から入射する第１光の一部を第１光経路（１）に反射させ、その他一部を入射する光が直進する第２光経路（２）に透過させて、第１光を第１分割光と第２分割光に分割する。
【0055】
第１ビームスプリッタ１２０によって第１光経路（１）に進行する第１分割光は、追って基準ミラーに入射して基準光を形成し、第１ビームスプリッタ１２０によって第２光経路（２）に進行する第２分割光は、追ってサンプルに入射してサンプル光を形成する。
【0056】
第１反射部１３０は、第１光経路（１）を通じて第１ビームスプリッタ１２０から入射する第１分割光を反射させて、第１分割光を第１光の長さ調節部１４０に向かわせる。
【0057】
第１光の長さ調節部１４０は、第１反射部１３０から入射する第１分割光の光の長さを調節して出力する。
【0058】
前述した第１光の長さ調節部１４０は、第１ハーフミラー１４１、第１基準ミラー１４３、第２基準ミラー１４５、第２ハーフミラー１４７を含んでなっていてもよい。
【0059】
ここで、第１ハーフミラー１４１は、第１反射部１３０から入射する第１分割光の一部を反射させる。
【0060】
第１基準ミラー１４３は、第１ハーフミラー１４１から入射する光を完全に反射させる。
【0061】
第２基準ミラー１４５は、第１基準ミラー１４３と対向するように設置されてもよく、第１基準ミラー１４３から入射する光を完全に反射させる。
【0062】
ここで、第１ハーフミラー１４１から入射する第１分割光は、第１基準ミラー１４３と第２基準ミラー１４５を経て、第１基準光を形成することになる。
【0063】
第２ハーフミラー１４７は、第１ハーフミラー１４１と背を向けて設置されてもよく、第２基準ミラー１４５から入射する第１基準光の一部を反射させる。
【0064】
使用者は、第１光の長さ調節部１４０を構成する各ミラー１４１，１４３，１４５，１４７の勾配等を調節して、第１基準光の光の長さを調節することができる。
【0065】
一方、第２反射部１５０は、第１光の長さ調節部１４０から入射する第１基準光を反射させて、第１基準光を第１のノイズ除去部１６０に向かわせる。
【0066】
第１のノイズ除去部１６０は、第２反射部１５０から入射する第１基準光のノイズを除去する。
【0067】
前述した第１のノイズ除去部１６０は、対物レンズ１６１、平行光レンズ１６３を含んでなっていてもよい。
【0068】
対物レンズ１６１は、第２反射部１５０から入射する第１基準光を集束する。
【0069】
平行光レンズ１６３は、対物レンズ１６１から入射する第１基準光を平行光の形態に変換して、第６ビームスプリッタ３４０に入射させる。
【0070】
第３反射部１７０は、第２光経路（２）を通じて第１ビームスプリッタ１２０から入射する第２分割光を反射させて、第２分割光をサンプル光形成部３１０に向かわせる。
【0071】
第２光源部２１０は、第２波長（λ２）を有する第２光を生成して出力する。
【0072】
第１波長（λ１）と第２波長（λ２）は、互いに異なる波長である。
【0073】
第２ビームスプリッタ２２０は、第２光源部２１０から入射する第２光を両方向に分割して出力する。
【0074】
具体的に、第２光源部２１０から入射する第２光の一部を第３光経路（３）に反射させ、その他一部を入射する光が直進する第４光経路（４）に透過させて、第２光を第３分割光と第４分割光に分割する。
【0075】
第２ビームスプリッタ２２０によって第３光経路（３）に進行する第３分割光は、追って基準ミラーに入射して基準光を形成し、第２ビームスプリッタ２２０によって第４光経路（４）に進行する第４分割光は、追ってサンプルに入射してサンプル光を形成する。
【0076】
第４反射部２３０は、第３光経路（３）を通じて第２ビームスプリッタ２２０から入射する第３分割光を反射させて、第３分割光を第２光の長さ調節部２４０に向かわせる。
【0077】
第２光の長さ調節部２４０は、第４反射部２３０から入射する第３分割光の光の長さを調節して出力する。
【0078】
第２光の長さ調節部２４０は、前述した第１光の長さ調節部１４０と同様、第１ハーフミラー２４１、第１基準ミラー２４３、第２基準ミラー２４５、第２ハーフミラー２４７を含んでなっていてもよく、各々の構成要素で担当する動作も第１光の長さ調節部１４０と同様であるため、これに関する説明は省略することとする。
【0079】
第２光の長さ調節部２４０から出力される光は、第１基準ミラー２４３及び第２基準ミラー２４５を経て形成された第２基準光である。
【0080】
第５反射部２５０は、第２光の長さ調節部２４０から入射する第２基準光を反射させて、第２基準光を第２のノイズ除去部２６０に向かわせる。
【0081】
第２のノイズ除去部２６０は、第５反射部２５０から入射する第２基準光のノイズを除去する。
【0082】
第２のノイズ除去部２６０は、前述した第１のノイズ除去部１６０と同様、対物レンズ２６１、平行光レンズ２６３を含んでなっていてもよく、各々の構成要素で担当する動作も第１のノイズ除去部１６０と同様であるため、これに関する説明は省略することとする。
【0083】
ここで、平行光レンズ２６３から出力される第２基準光は、第５ビームスプリッタ３３０に入射する。
【0084】
サンプル光形成部３１０は、第３反射部１７０から入射する第２分割光と、第２ビームスプリッタ２２０から入射する第４分割光をサンプル（Ｓ）に入射させて、第１サンプル光及び第２サンプル光を形成する。
【0085】
サンプル光形成部３１０は、第３ビームスプリッタ３１１、第３のノイズ除去部３１３、レンズ部３１５、第４ビームスプリッタ３１７、対物レンズ部３１９を含んでなっていてもよい。
【0086】
第３ビームスプリッタ３１１は、第３反射部１７０から入射する第２分割光と、第２ビームスプリッタ２２０から入射する第４分割光とを結合して出力する。
【0087】
具体的に、第３反射部１７０から入射する第２分割光を透過させて、第２分割光を第３のノイズ除去部３１３に向かわせ、第２ビームスプリッタ２２０から入射する第４分割光を反射させて、第４分割光を第３のノイズ除去部３１３に向かわせる。
【0088】
このように、第３ビームスプリッタ３１１は、第３反射部１７０から入射する第２分割光と、第２ビームスプリッタ２２０から入射する第４分割光を第３のノイズ除去部３１３に向かわせて、第２分割光と第４分割光とを結合することになる。
【0089】
第３のノイズ除去部３１３は、第３ビームスプリッタ３１１を経て結合された第２分割光と第４分割光のノイズを除去する。
【0090】
第３のノイズ除去部３１３は、対物レンズ３１３ａ、空間フィルター３１３ｂを含んでなっていてもよい。
【0091】
対物レンズ３１３ａは、第３ビームスプリッタ３１１から入射する第２分割光と第４分割光を集束する。
【0092】
空間フィルター３１３ｂは、対物レンズ３１３ａから入射する第２分割光と第４分割光のノイズを除去する。
【0093】
互いに異なる波長を有する第２分割光と第４分割光は、空間フィルター３１３ｂにより光のガウシアン分布に従ってノイズを除去することができる。
【0094】
レンズ部３１５は、第３のノイズ除去部３１３の空間フィルター３１３ｂから入射する第２分割光と第４分割光を第４ビームスプリッタ３１７に伝達する。
【0095】
第４ビームスプリッタ３１７は、レンズ部３１５から入射する第２分割光と第４分割光をサンプル（Ｓ）に入射させるために、対物レンズ部３１５の位置した方向に透過させ、対物レンズ部３１５から入射する第１サンプル光及び第２サンプル光を撮像部３５０に入射させるために、チューブレンズ３２０の位置した方向に反射させる。
【0096】
対物レンズ部３１９は、第４ビームスプリッタ３１７から入射する第２分割光と第４分割光を平行光の形態に変換して、サンプル（Ｓ）に入射させ、第２分割光と第４分割光がサンプル（Ｓ）から反射して形成された第１サンプル光と第２サンプル光を集束して、第４ビームスプリッタ３１７にさらに入射させる。
【0097】
前述したように、第１サンプル光と第２サンプル光は、第２分割光と第４分割光がサンプル（Ｓ）から反射して形成されるため、サンプル（Ｓ）の表面形状に関する情報を有するようになる。
【0098】
チューブレンズ３２０は、第４ビームスプリッタ３１７から入射する第１サンプル光と第２サンプル光を平行光の形態に変換して出力する。
【0099】
第５ビームスプリッタ３３０は、チューブレンズ３２０から入射する第１サンプル光と第２サンプル光を撮像部３５０に入射させるために、第６ビームスプリッタ３４０の位置した方向に透過させ、第２のノイズ除去部２６０から入射する第２基準光を撮像部３５０に入射させるために、第６ビームスプリッタ３４０の位置した方向に反射させる。
【0100】
第６ビームスプリッタ３４０は、第５ビームスプリッタ３３０から入射する第１サンプル光及び第２サンプル光と、第２基準光とを撮像部３５０の位置した方向に透過させ、第１のノイズ除去部１６０から入射する第１基準光を撮像部３５０の位置した方向に反射させる。
【0101】
撮像部３５０は、第６ビームスプリッタ３４０から入射する光の情報をイメージで撮像する。
【0102】
具体的に、撮像部３５０は、第６ビームスプリッタ３４０を通じて入射する基準光（第１基準光及び第２基準光）と、サンプル光（第１サンプル光及び第２サンプル光）との間の干渉によって形成された干渉縞（干渉光）を撮像する。
【0103】
撮像部３５０は、映像が撮像可能な様々な形態に具現することができ、一例として、ＣＤＤ（Ｃｈａｒｇｅ－Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラの形態に具現することができる。
【0104】
【0105】
まず、第１光源部１１０で生成されて、第１ビームスプリッタ１２０に入射された第１光は、第１ビームスプリッタ１２０によって第１光経路（１）に進行する第１分割光と、第２光経路（２）に進行する第２分割光に分割される。
【0106】
第１光経路（１）に進行する第１分割光は、第１反射部１３０を経て第１光の長さ調節部１４０に入射して、光の長さが調節された第１基準光に出力される。
【0107】
ここで、第１分割光は、第１光の長さ調節部１４０に備えられた第１、２基準ミラーを経て、第１基準光を形成することになる。
【0108】
第１光の長さ調節部１４０から出力された第１基準光は、第２反射部１５０を経て第１のノイズ除去部１６０に入射し、ノイズが除去された後、第６ビームスプリッタ３４０を経て、撮像部３５０に入射する。
【0109】
一方、第２光経路（２）に進行する第２分割光は、第３反射部１７０を経てサンプル光形成部３１０に入射して、第１サンプル光に出力される。
【0110】
ここで、第２分割光は、サンプル光形成部３１０に備えられた第３ビームスプリッタ３１１、第３のノイズ除去部３１３、レンズ部３１５、第４ビームスプリッタ３１７、対物レンズ部３１９を経てサンプル（Ｓ）に入射し、サンプル（Ｓ）から反射して第１サンプル光を形成することになる。
【0111】
サンプル（Ｓ）から反射して形成された第１サンプル光は、対物レンズ部３１９を通じて第４ビームスプリッタ３１７にさらに入射した後、チューブレンズ３２０、第５ビームスプリッタ３３０、第６ビームスプリッタ３４０を経て撮像部３５０に入射する。
【0112】
一方、第２光源部２１０で生成されて、第２ビームスプリッタ２２０に入射された第２光は、第２ビームスプリッタ２２０によって第３光経路（３）に進行する第３分割光と、第４光経路（４）に進行する第４分割光に分割される。
【0113】
第３光経路（３）に進行する第３分割光は、第４反射部２３０を経て、第２光の長さ調節部２４０に入射し、光の長さが調節された第２基準光に出力される。
【0114】
ここで、第３分割光は、第２光の長さ調節部２４０に備えられた基準ミラー（、）から反射して第２基準光を形成することになる。
【0115】
第２光の長さ調節部２４０から出力された第２基準光は、第５反射部２５０を経て第２のノイズ除去部２６０に入射し、ノイズが除去された後、第５ビームスプリッタ３３０と第６ビームスプリッタ３４０を経て撮像部３５０に入射する。
【0116】
一方、第４光経路（４）に進行する第４分割光は、サンプル光形成部３１０に入射して、第２サンプル光に出力される。
【0117】
ここで、第４分割光は、サンプル光形成部３１０に備えられた第３ビームスプリッタ３１１、第３のノイズ除去部３１３、レンズ部３１５、第４ビームスプリッタ３１７、対物レンズ部３１９を経てサンプル（Ｓ）に入射し、サンプル（Ｓ）から反射して第２サンプル光を形成することになる。
【0118】
サンプル（Ｓ）から反射して形成された第２サンプル光は、対物レンズ部３１９を通じて第４ビームスプリッタ３１７にさらに入射した後、チューブレンズ３２０、第５ビームスプリッタ３３０、第６ビームスプリッタ３４０を経て撮像部３５０に入射する。
【0119】
撮像部３５０は、第６ビームスプリッタ３４０から入射する第１基準光、第２基準光、第１サンプル光、第２サンプル光からサンプルの干渉縞を獲得する。
【0120】
具体的に、第１基準光と第１サンプル光との間の干渉によって形成された干渉光のイメージと、第２基準光と第２サンプル光との間の干渉によって形成された干渉光のイメージを撮像する。
【0121】
このように、本発明によれば、波長の互いに異なる多重光源を用いてサンプルの表面形状情報の深さ測定範囲を確張することができるようになり、波長の互いに異なる多重光源がサンプル光形成部を共通して使用するように光学系の構造が単純化できるようになる。
【0122】
また、深さ測定範囲を確張することができることから、サンプルの良／否判定の確認における正確性を高めることができるようになる。
【0123】
以上、一部の例を挙げて、本発明の好ましい様々な実施形態について説明したが、本「発明を実施するための形態」の項目に記載の様々な実施形態に関する説明は、例示的なものに過ぎないし、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者であれば、以上の説明から本発明を様々に変形して実施するか、本発明と均等な実施を行うことができる点を理解することができる。
【0124】
また、本発明は、他の様々な形態に具現することができるため、上述した説明によって限定されるものではなく、以上の説明は、本発明で開示の内容が完全になるようにするためのものであって、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者に本発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は、請求範囲の各請求項によって定義されるだけである。
【符号の説明】
【0125】
１１０ 第１光源部
１２０ 第１ビームスプリッタ
１３０ 第１反射部
１４０ 第１光の長さ調節部
１４１、２４１ 第１ハーフミラー
１４３、２４３ 第１基準ミラー
１４５、２４５ 第２基準ミラー
１４７、２４７ 第２ハーフミラー
１５０ 第２反射部
１６０ 第１のノイズ除去部
１６１、２６１ 対物レンズ
１６３、２６３ 平行光レンズ
１７０ 第３反射部
２１０ 第２光源部
２２０ 第２ビームスプリッタ
２３０ 第４反射部
２４０ 第２光の長さ調節部
２５０ 第５反射部
２６０ 第２のノイズ除去部
３１０ サンプル光形成部
３１１ 第３ビームスプリッタ
３１３ 第３のノイズ除去部
３１３ａ 対物レンズ
３１３ｂ 空間フィルター
３１５ レンズ部
３１７ 第４ビームスプリッタ
３１９ 対物レンズ部
３２０ チューブレンズ
３３０ 第５ビームスプリッタ
３４０ 第６ビームスプリッタ
３５０ 撮像部
１２０ 第１ビームスプリッタ
１３０ 第１反射部
１４０ 第１光の長さ調節部
１４１、２４１ 第１ハーフミラー
１４３、２４３ 第１基準ミラー
１４５、２４５ 第２基準ミラー
１４７、２４７ 第２ハーフミラー
１５０ 第２反射部
１６０ 第１のノイズ除去部
１６１、２６１ 対物レンズ
１６３、２６３ 平行光レンズ
１７０ 第３反射部
２１０ 第２光源部
２２０ 第２ビームスプリッタ
２３０ 第４反射部
２４０ 第２光の長さ調節部
２５０ 第５反射部
２６０ 第２のノイズ除去部
３１０ サンプル光形成部
３１１ 第３ビームスプリッタ
３１３ 第３のノイズ除去部
３１３ａ 対物レンズ
３１３ｂ 空間フィルター
３１５ レンズ部
３１７ 第４ビームスプリッタ
３１９ 対物レンズ部
３２０ チューブレンズ
３３０ 第５ビームスプリッタ
３４０ 第６ビームスプリッタ
３５０ 撮像部
【図1】
【図2】
【図3】
