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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023096242
(43)【公開日】2023-07-07
(54)【発明の名称】粒子計数装置
(51)【国際特許分類】
G01N 15/02 20060101AFI20230630BHJP
G01N 21/05 20060101ALI20230630BHJP
【ＦＩ】
G01N15/02 A
G01N21/05
【審査請求】未請求
【請求項の数】14
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021211860
(22)【出願日】2021-12-27
(71)【出願人】
【識別番号】000115636
【氏名又は名称】リオン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100120592
【弁理士】
【氏名又は名称】山崎 崇裕
(72)【発明者】
【氏名】篠▲崎▼ 大将
(72)【発明者】
【氏名】阪上 大輔
(72)【発明者】
【氏名】須▲崎▼ 萌
(72)【発明者】
【氏名】松田 朋信
【テーマコード（参考）】
2G057
【Ｆターム（参考）】
2G057AA03
2G057AB04
2G057BB04
2G057BB06
2G057DB01
2G057DB02
2G057HB03
(57)【要約】
【課題】より利便性を高めた粒子計数装置を提供する。
【解決手段】流路内を流れる試料流体に含まれる粒子を照射光Ｌａを用いて計数する粒子計数器１は、複数のフローセル１０ａ～１０ｊを有したマルチフローセル８０と、マルチフローセル８０に対し、選択されたフローセル１０ａ～１０ｊに合わせて照射光Ｌａの光路の位置を調整するＸ軸アクチュエータ６２と、選択されたフローセル１０ａ～１０ｊの流路内に照射される照射光Ｌａの条件を調整する調整ユニット１００，２００，３００とを備える。
【選択図】図１
【解決手段】流路内を流れる試料流体に含まれる粒子を照射光Ｌａを用いて計数する粒子計数器１は、複数のフローセル１０ａ～１０ｊを有したマルチフローセル８０と、マルチフローセル８０に対し、選択されたフローセル１０ａ～１０ｊに合わせて照射光Ｌａの光路の位置を調整するＸ軸アクチュエータ６２と、選択されたフローセル１０ａ～１０ｊの流路内に照射される照射光Ｌａの条件を調整する調整ユニット１００，２００，３００とを備える。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
流路内を流れる試料流体に含まれる粒子を前記流路内に照射した照射光を用いて計数する粒子計数装置であって、
前記流路を有したフローセルと、
前記流路内に照射される前記照射光の条件を調整する条件調整手段と
を備えた粒子計数装置。
前記流路を有したフローセルと、
前記流路内に照射される前記照射光の条件を調整する条件調整手段と
を備えた粒子計数装置。
【請求項2】
請求項１に記載の粒子計数装置において、
前記条件調整手段は、
前記照射光の光路上に配置され、所定の光源から出射された前記照射光の強度を調整する光学フィルタ及びビームスプリッタの少なくとも一方で構成された光学器具を含むことを特徴とする粒子計数装置。
前記条件調整手段は、
前記照射光の光路上に配置され、所定の光源から出射された前記照射光の強度を調整する光学フィルタ及びビームスプリッタの少なくとも一方で構成された光学器具を含むことを特徴とする粒子計数装置。
【請求項3】
請求項２に記載の粒子計数装置において、
前記条件調整手段は、
前記光学器具の配置を、前記照射光が通過する前記光路上の通過位置と前記光路から外れた不通過位置との間で変位可能であることを特徴とする粒子計数装置。
前記条件調整手段は、
前記光学器具の配置を、前記照射光が通過する前記光路上の通過位置と前記光路から外れた不通過位置との間で変位可能であることを特徴とする粒子計数装置。
【請求項4】
流路内を流れる試料流体に含まれる粒子を前記流路内に照射した照射光を用いて計数する粒子計数装置であって、
複数の前記流路を有したマルチフローセルと、
前記マルチフローセルに対し、複数の中から選択された前記流路に合わせて前記照射光の光路の位置を調整する位置調整手段と、
前記選択された前記流路内に照射される前記照射光の条件を調整する条件調整手段と
を備えた粒子計数装置。
複数の前記流路を有したマルチフローセルと、
前記マルチフローセルに対し、複数の中から選択された前記流路に合わせて前記照射光の光路の位置を調整する位置調整手段と、
前記選択された前記流路内に照射される前記照射光の条件を調整する条件調整手段と
を備えた粒子計数装置。
【請求項5】
請求項４に記載の粒子計数装置において、
前記条件調整手段は、
前記光路上に配置され、所定の光源から出射された前記照射光の強度を調整する光学フィルタ及びビームスプリッタの少なくとも一方で構成された光学器具を含むことを特徴とする粒子計数装置。
前記条件調整手段は、
前記光路上に配置され、所定の光源から出射された前記照射光の強度を調整する光学フィルタ及びビームスプリッタの少なくとも一方で構成された光学器具を含むことを特徴とする粒子計数装置。
【請求項6】
請求項５に記載の粒子計数装置において、
前記条件調整手段は、
前記流路別に位置が調整される前記光路上に配置されており、個々の前記流路に応じて前記照射光の強度を調整可能な特性を有した前記光学器具を含むことを特徴とする粒子計数装置。
前記条件調整手段は、
前記流路別に位置が調整される前記光路上に配置されており、個々の前記流路に応じて前記照射光の強度を調整可能な特性を有した前記光学器具を含むことを特徴とする粒子計数装置。
【請求項7】
請求項６に記載の粒子計数装置において、
前記条件調整手段は、
複数の前記流路のうち、一部に対応する前記光路上のみに前記光学器具が配置されていることを特徴とする粒子計数装置。
前記条件調整手段は、
複数の前記流路のうち、一部に対応する前記光路上のみに前記光学器具が配置されていることを特徴とする粒子計数装置。
【請求項8】
請求項７に記載の粒子計数装置において、
前記光学器具が配置されない他の前記流路に対応する前記光路上には、前記光学器具の通過に伴う光軸の変化に前記照射光を同調させる光透過部材が配置されていることを特徴とする粒子計数装置。
前記光学器具が配置されない他の前記流路に対応する前記光路上には、前記光学器具の通過に伴う光軸の変化に前記照射光を同調させる光透過部材が配置されていることを特徴とする粒子計数装置。
【請求項9】
請求項５から８のいずれかに記載の粒子計数装置において、
前記条件調整手段は、
前記光学器具の配置を、前記照射光が通過する前記光路上の通過位置と前記光路から外れた不通過位置との間で変位可能であることを特徴とする粒子計数装置。
前記条件調整手段は、
前記光学器具の配置を、前記照射光が通過する前記光路上の通過位置と前記光路から外れた不通過位置との間で変位可能であることを特徴とする粒子計数装置。
【請求項10】
請求項９に記載の粒子計数装置において、
前記条件調整手段は、
前記通過位置と前記不通過位置との間で前記光学器具の配置を変位させる変位機構をさらに含むことを特徴とする粒子計数装置。
前記条件調整手段は、
前記通過位置と前記不通過位置との間で前記光学器具の配置を変位させる変位機構をさらに含むことを特徴とする粒子計数装置。
【請求項11】
請求項５から９のいずれかに記載の粒子計数装置において、
前記条件調整手段は、
前記照射光の強度を調整可能な特性が異なる複数の前記光学器具のうち、前記位置調整手段により前記光路の位置が調整される前記流路に応じた特性の前記光学器具を選択的に前記光路上に配置可能であることを特徴とする粒子計数装置。
前記条件調整手段は、
前記照射光の強度を調整可能な特性が異なる複数の前記光学器具のうち、前記位置調整手段により前記光路の位置が調整される前記流路に応じた特性の前記光学器具を選択的に前記光路上に配置可能であることを特徴とする粒子計数装置。
【請求項12】
請求項４から１１のいずれかに記載の粒子計数装置において、
前記位置調整手段により光路の位置が調整される選択対象の前記流路内を流れる試料流体に基づいて、前記条件調整手段による条件の調整動作を制御する制御手段をさらに備えたことを特徴とする粒子計数装置。
前記位置調整手段により光路の位置が調整される選択対象の前記流路内を流れる試料流体に基づいて、前記条件調整手段による条件の調整動作を制御する制御手段をさらに備えたことを特徴とする粒子計数装置。
【請求項13】
請求項２又は３、もしくは請求項５から１１のいずれか１項に記載の粒子計数装置において、
前記光学器具は、
前記照射光を前記流路内に入射する入射光と、入射光と異なる方向の余剰光とに分離することで入射光を減光するビームスプリッタで構成されており、
前記ビームスプリッタによる前記余剰光の分離方向に配置され、前記余剰光を吸収するトラップ機器をさらに備えることを特徴とする粒子計数装置。
前記光学器具は、
前記照射光を前記流路内に入射する入射光と、入射光と異なる方向の余剰光とに分離することで入射光を減光するビームスプリッタで構成されており、
前記ビームスプリッタによる前記余剰光の分離方向に配置され、前記余剰光を吸収するトラップ機器をさらに備えることを特徴とする粒子計数装置。
【請求項14】
請求項２又は３、もしくは請求項５から１１のいずれか１項に記載の粒子計数装置において、
前記光学器具は、
光学的な特性が可変な物質で構成されていることを特徴とする粒子計数装置。
前記光学器具は、
光学的な特性が可変な物質で構成されていることを特徴とする粒子計数装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、試料流体に含まれる粒子の個数を計数する粒子計数装置に関する。
【背景技術】
【0002】
この種の計数技術に関して例えば、マルチフローセル型の粒子計数装置が知られている（例えば、特許文献1参照。）。この装置の特徴は、固定したマルチフローセルに対し、共通の光源から出射した光が各フローセル（流路内）に照射されるまでの光路を形成する光学系を移動させるところにある。これにより、各フローセルに接続した配管には無理な負荷がかからなくなり、緩みや亀裂が生じて試料流体が漏出することを確実に防止できるという格別な優位性が発揮される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２０－１１８５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
その上で、この種の粒子計数装置に対しては、さらなる利便性の要望があることも無視できない。例えば、光学系には共通の光源を用いているが、フローセルに流す試料流体（薬液）や粒子の種類によっては、個別に適正な照射光の条件が異なる場合があるため、試料流体ごと（マルチフローセルの場合は光路の位置を調整する対象のフローセルごと）に適正な照射光の条件で使用できることが望ましいといった要望がある。これは、全ての試料流体や粒子に対して共通の条件の照射光を用いると、ある計数対象の粒子（マルチフローセルの場合は選択したフローセル）では試料流体やその粒子自身に対して照射光のパワーが強すぎたり、逆に、ある計数対象では照射光のパワーが弱すぎたりするということが起き、それによって粒子の計数結果に不具合が生じる可能性があるとの懸念に基づく。
【0005】
そこで本発明は、より利便性を高めた粒子計数装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記の課題を解決するため、本発明は以下の解決手段を採用する。なお、以下の括弧書中の文言はあくまで例示であり、本発明はこれに限定されるものではない。
【0007】
〔第１発明〕
本発明は、粒子計数装置を提供する。粒子計数装置は、流路内を流れる試料流体に含まれる粒子を流路内に照射した照射光を用いて計数するものであり、フローセルを備える。フローセルは流路を有し、流路には、接続配管等を通じて試料流体（薬液）が流される。粒子の計測は、流路内に照射光の光路（光軸）の位置を合わせ、流路内の検出領域を通過する粒子から生じる放出光の強度に基づいて、粒径毎に行われる。また、粒子計数装置は条件調整手段を備える。条件調整手段は一例として、流路内に照射される照射光の条件（例えば、パワー、波長、密度分布、偏光状態等）を調整することができる。
本発明は、粒子計数装置を提供する。粒子計数装置は、流路内を流れる試料流体に含まれる粒子を流路内に照射した照射光を用いて計数するものであり、フローセルを備える。フローセルは流路を有し、流路には、接続配管等を通じて試料流体（薬液）が流される。粒子の計測は、流路内に照射光の光路（光軸）の位置を合わせ、流路内の検出領域を通過する粒子から生じる放出光の強度に基づいて、粒径毎に行われる。また、粒子計数装置は条件調整手段を備える。条件調整手段は一例として、流路内に照射される照射光の条件（例えば、パワー、波長、密度分布、偏光状態等）を調整することができる。
【0008】
これにより、流路内に流れる試料流体や粒子の特性に合わせた照射光の条件に調整した上で粒子計数装置を使用することができ、計数結果に不具合が生じるのを確実に抑えることができ、計数結果の信頼性を高水準に維持することができる。
【0009】
〔第２発明〕
また本発明は、粒子計数装置を提供する。粒子計数装置は、流路内を流れる試料流体に含まれる粒子を流路内に照射した照射光を用いて計数するものであり、マルチフローセルを備える。マルチフローセルは、一例として複数の流路を有し、各流路には、接続配管等を通じて試料流体（薬液）が流される。粒子の計測は、計数対象に選択した流路内に照射光の光路（光軸）の位置を調整し、流路内の検出領域を通過する粒子から生じる放出光の強度に基づいて、粒径毎に行われる。
また本発明は、粒子計数装置を提供する。粒子計数装置は、流路内を流れる試料流体に含まれる粒子を流路内に照射した照射光を用いて計数するものであり、マルチフローセルを備える。マルチフローセルは、一例として複数の流路を有し、各流路には、接続配管等を通じて試料流体（薬液）が流される。粒子の計測は、計数対象に選択した流路内に照射光の光路（光軸）の位置を調整し、流路内の検出領域を通過する粒子から生じる放出光の強度に基づいて、粒径毎に行われる。
【0010】
粒子計数装置は、位置調整手段を備える。位置調整手段は、マルチフローセルに対し、上記のように複数の中から選択された流路に合わせて照射光の光路の位置を調整する。そして粒子計数装置は、条件調整手段を備える。条件調整手段は一例として、選択された流路に合わせて光路の位置が調整される際、流路内に照射される照射光の条件（例えば、パワー、波長、密度分布、偏光状態等）を調整することができる。
【0011】
これにより、計数対象に選択された流路内に流れる試料流体や粒子の特性に合わせた照射光の条件に調整した上で粒子計数装置を使用することができ、計数結果に不具合が生じるのを確実に抑えることができ、計数結果の信頼性を高水準に維持することができる。
【0012】
条件調整手段は、光学器具を含む。光学器具は、例えば光学フィルタ、ビームスプリッタ等で構成することができ、光路上に配置されることで、光源から出射された照射光の強度を所望に調整することができる。これにより、光源を共通としていても、個々の流路内を流れる試料流体や粒子の特性に合わせた強度に照射光の条件を調整することができる。なお、光学フィルタはＮＤフィルタや偏光フィルタ、その他の種類の光学的フィルタであってもよい。
【0013】
照射光の条件として強度の調整を光学器具で行う場合、例えば、個々の流路内に流す試料流体や粒子の特性が既知であれば、照射光の強度を個々の流路に合わせて最適に調整可能な光学器具を流路別に用意することができる。光学器具は、位置調整手段により位置が調整される光路上に配置されることが好ましい。光学器具は、光学フィルタだけを用いてもよいし、ビームスプリッタだけを用いてもよいし、光学フィルタ及びビームスプリッタの両方を用いてもよい。また、光学フィルタやビームスプリッタが個体化された製品器具である場合、これらを単品で用いたり、複数製品を組み合わせて用いたりすることができる。
【0014】
これにより、対象に選択された流路に光路の位置を調整するだけで、光学器具による照射光の強度調整も連動して行われるので、粒子計数装置の利便性を高く維持することができる。
【0015】
光学器具は、複数の流路のうち一部に対応する光路上だけに配置されてもよいし、全部に対応して配置されていてもよい。光学器具が一部の流路に対応して配置される場合、その他の流路に対応する光路上には、光透過部材（例えばガラス板）を配置することができる。光透過部材は、照射光が光学器具を通過することに伴う光軸の変化に照射光を同調させるものであり、これにより、光学器具が配置されている流路とその他の流路とで、光軸の条件を合わせることができる。
【0016】
また、本発明の粒子計数装置は、光学器具の配置を変位させる機能を条件調整手段が有していてもよい。条件調整手段は、照射光が通過する光路上の通過位置と光路から外れた不通過位置との間で光学器具の配置を変位させることができる。さらに、照射光の強度を調整可能な特性が異なる複数の光学器具を用いることとした場合、光路の位置を調整する対象に選択された流路に応じた特性のものを選択的に光路上に配置可能とすることができる。また、条件調整手段による調整動作は、自動的に制御されるものとしてもよい。
【0017】
これにより、光路の位置を調整する対象に選択された流路（流路内を流れる試料流体や粒子）の特性に合わせて、光学器具による強度の調整を行ったり、行わなかったりする操作や、個々の流路ごとに個別の強度調整を行う操作が可能となり、さらなる利便性の維持向上に資することができる。
【発明の効果】
【0018】
以上のように本発明によれば、より利便性を高めた粒子計数装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【図1】一実施形態における粒子計数器１を簡略的に表す斜視図である。
【図2】後段パワー調整ユニット１００の構成例１を示す図である。
【図3】後段パワー調整ユニット１００の構成例１を示す図である。
【図4】後段パワー調整ユニット１００の構成例２を示す図である。
【図5】前段パワー調整ユニット２００の構成例１を示す図である。
【図6】前段パワー調整ユニット２００の構成例２を示す図である。
【図7】中段パワー調整ユニット３００の構成例を示す図である。
【図8】一実施形態における粒子計数器１の制御構成例を示すブロック図である。
【図9】他の実施形態における粒子計数器４０１を簡略的に示す斜視図である。
【図10】一実施形態における粒子計数器１にトラップ機器１２４を用いた構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0020】
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は好ましい例示であり、本発明はこの例示に限定されるものではない。
【0021】
〔粒子計数器の構成〕
図１は、一実施形態における粒子計数器１を簡略的に表す斜視図である。なお、図１では一部の構成部品の図示を省略している。粒子計数器１は粒子計数装置の一態様であり、計数器であるか計数装置であるかは呼称の違いに過ぎず、技術的な差違を生じるものではない。
図１は、一実施形態における粒子計数器１を簡略的に表す斜視図である。なお、図１では一部の構成部品の図示を省略している。粒子計数器１は粒子計数装置の一態様であり、計数器であるか計数装置であるかは呼称の違いに過ぎず、技術的な差違を生じるものではない。
【0022】
粒子計数器１を構成する光源２０、ミラー３０、照明用レンズ４０、マルチフローセル（フローセルユニット）８０、受光ユニット５０等の各構成部品は、図示しない治具等によりセンサベース２に対して直接的又は間接的に支持されている。センサベース２の底面には複数の脚部３が設けられており、脚部３は振動を吸収可能な防振ゴム等の弾性部材で形成されている。また、粒子計数器１は、図示を省略した筐体に収容されている。
【0023】
本実施形態では、一例としてマルチフローセル８０を備えている。マルチフローセル８０は、例えば１０個のフローセル１０ａ～１０ｊを有しており、これらフローセル１０ａ～１０ｊが幅方向に配列されている。各フローセル１０ａ～１０ｊは、例えば石英やサファイア等の透明な材料で形成されており、その内部に略コの字型の流路（図示していない）を有している。流路は各フローセル１０ａ～１０ｊの前面側で上下２箇所に開口しており、これら開口に試料流体を流通させる配管が接続されている。なお、マルチフローセル８０が有するフローセル１０ａ～１０ｊの個数は限定されない。
【0024】
粒子計数器１の設置状態又は使用状態において、センサベース２の長手方向を計数器本体の幅方向とし、これに直交する方向を前後（奥行き）方向とした場合、マルチフローセル８０は、幅方向に配列されている。各フローセル１０ａ～１０ｊは、試料流体の入口及び出口をその正面側に有しており、各入口及び各出口にはそれぞれ配管が接続されている。図１では図示を省略したが、各フローセル１０ａ～１０ｊは、フローセルホルダの内部に固定されている。以降の説明においては、複数のフローセル１０ａ～１０ｊが配列される方向を「Ｘ方向」と称し、Ｘ方向に延びる軸を「Ｘ軸」と称することとする。
【0025】
光源２０は、センサベース２に固定されており、所定の強度及び波長で照射光Ｌａ（例えば、レーザ光）を平行とみなすことができる範囲の広がり角でＸ方向に出射する。センサベース２は光源２０のヒートシンクを兼ねる。ミラー３０は、光源２０から出射された照射光Ｌａをフローセル１０ａ～１０ｊ内の検出領域に向けて反射する。また、反射した照射光Ｌａの光路上には照明用レンズ４０が設けられており、照射光Ｌａは照明用レンズ４０を通過する。
【0026】
マルチフローセル８０の背後には、受光ユニット５０が設けられている。受光ユニット５０は、複数の受光用レンズ、受光素子、増幅器、Ａ／Ｄ変換器等を備えている。複数の受光用レンズは、背景ノイズの受光を防止するために円筒形状の受光筒５２に収容されている。照射光Ｌａが入射するフローセル１０ａ～１０ｊにおいて、試料流体に含まれる粒子が検出領域を通過すると粒子から散乱光が生じ、この散乱光が受光用レンズで集光されて受光素子（例えば、フォトダイオード）に集まり、そこで電気信号に変換されると、散乱光の強度に基づき粒径ごとに粒子の計数が行われる。なお、粒子に蛍光物質が含まれている場合、粒子から放出される蛍光を受光することで、散乱光の場合と同様に計数することができる。
【0027】
以降の説明においては、受光用レンズの中心軸（以下、「受光軸」と称する。）を「Ｙ軸」と称し、Ｙ軸が延びる方向（計数器本体の前後方向）を「Ｙ方向」と称することとする。鉛直方向を「Ｚ方向」とした場合、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向は、いずれも相互に直交する。
【0028】
〔光学系の移動構成（位置調整）〕
粒子計数器１は、マルチフローセル８０を固定とし、共通の光源２０から出射した照射光Ｌａの光路（光軸）を各フローセル１０ａ～１０ｊに対応する位置に移動させることができる。すなわち、光源２０やマルチフローセル８０はセンサベース２に固定されているが、ミラー３０で反射させた後の照射光Ｌａの光路は、フローセル１０ａ～１０ｊの配列方向に移動可能である。
粒子計数器１は、マルチフローセル８０を固定とし、共通の光源２０から出射した照射光Ｌａの光路（光軸）を各フローセル１０ａ～１０ｊに対応する位置に移動させることができる。すなわち、光源２０やマルチフローセル８０はセンサベース２に固定されているが、ミラー３０で反射させた後の照射光Ｌａの光路は、フローセル１０ａ～１０ｊの配列方向に移動可能である。
【0029】
このような光学系の移動は、例えばＸ軸アクチュエータ６２を用いて実現されており、Ｘ軸アクチュエータ６２がスライダを移動させると、Ｘ軸ステージ６０が鉛直ブラケット６５やホルダ６６とともにミラー３０及び照明用レンズ４０をＸ方向に移動させ、各フローセル１０ａ～１０ｊに合わせて照射光Ｌａの光路の位置を調整する。
【0030】
例えば図１では、マルチフローセル８０の一端に位置するフローセル１０ａに光路の位置が合わせられているが、上記のようにＸ軸アクチュエータ６２を駆動すると、他の各フローセル１０ｂ～１０ｊに対しても照射光Ｌａの光路の位置を調整することができる。
【0031】
また、受光ユニット５０を含む受光光学系については、Ｙ方向に位置調整が可能である。すなわち、Ｘ軸ステージ６０上にはＹ軸アクチュエータ７２が設けられており、そのスライダ上にＹ軸ステージ７０を介して受光ユニット５０を含む受光光学系の構成部品が支持されている。
【0032】
〔照射光の条件調整〕
本実施形態のように、マルチフローセル８０を備えた粒子計数器１は、粒子計数用に複数のチャネルを有することになる。すなわち、１０個あるフローセル１０ａ～１０ｊには、それぞれ異なる種類の試料流体を流すことで、複数のチャネルを用いて粒子の計数を行うことができる。このとき、照射光Ｌａの光路の位置は各フローセル１０ａ～１０ｊに合わせて調整することが可能であるが、光源２０は単一（共通）であり、そのままでは照射光Ｌａの条件（強度）が全ての試料流体に対して一律になることから、各フローセル１０ａ～１０ｊに流れる試料流体や粒子の特性に合わせてチャネル毎に照射光Ｌａの条件も調整することとする。
本実施形態のように、マルチフローセル８０を備えた粒子計数器１は、粒子計数用に複数のチャネルを有することになる。すなわち、１０個あるフローセル１０ａ～１０ｊには、それぞれ異なる種類の試料流体を流すことで、複数のチャネルを用いて粒子の計数を行うことができる。このとき、照射光Ｌａの光路の位置は各フローセル１０ａ～１０ｊに合わせて調整することが可能であるが、光源２０は単一（共通）であり、そのままでは照射光Ｌａの条件（強度）が全ての試料流体に対して一律になることから、各フローセル１０ａ～１０ｊに流れる試料流体や粒子の特性に合わせてチャネル毎に照射光Ｌａの条件も調整することとする。
【0033】
このため本実施形態では、照射光Ｌａの条件調整用に複数のユニット１００，２００，３００を用いることができ、好ましくは後段パワー調整ユニット１００、前段パワー調整ユニット２００、そして中段パワー調整ユニット３００を例示することができる。このうち、後段パワー調整ユニット１００は、光学系において照明用レンズ４０からマルチフローセル８０までの間の照射光Ｌａの光路上に配置されている。また、前段パワー調整ユニット２００は、光源２０からミラー３０までの間の光路上に配置されており、中段パワー調整ユニット３００は、ホルダ６６内の光路上に配置されている。なお、中段パワー調整ユニット３００については、ホルダ６６内でもミラー３０の入射側に配置されるものと、出射側（ミラー３０から照明用レンズ４０までの間）に配置されるものとに分かれる。なお、これらユニット１００，２００，３００については、別の図面を参照しながらさらに後述する。
【0034】
〔光学器具（光学素子）〕
本実施形態では、例えば光学フィルタやビームスプリッタ等を用いて照射光Ｌａの条件、特にその強度（パワー、密度分布）を調整している。光学フィルタには、ＮＤ（Ｎｅｕｔｒａｌ Ｄｅｎｓｉｔｙ：減光）フィルタや偏光フィルタ、その他の種類の光学フィルタを用いることができる。以下、本実施形態で用いる光学フィルタ及びビームスプリッタを含めて「光学器具」と称するが、呼称は一例に過ぎず、これを「光学素子」としてもよいし、あるいは「光学フィルタ」としてもよい。
本実施形態では、例えば光学フィルタやビームスプリッタ等を用いて照射光Ｌａの条件、特にその強度（パワー、密度分布）を調整している。光学フィルタには、ＮＤ（Ｎｅｕｔｒａｌ Ｄｅｎｓｉｔｙ：減光）フィルタや偏光フィルタ、その他の種類の光学フィルタを用いることができる。以下、本実施形態で用いる光学フィルタ及びビームスプリッタを含めて「光学器具」と称するが、呼称は一例に過ぎず、これを「光学素子」としてもよいし、あるいは「光学フィルタ」としてもよい。
【0035】
〔光学的特性の可変〕
さらに、本実施形態では、光学的な特性を変化させることが可能な物質を光学器具に用いることができる。光学的な特性を変化させられる効果として、電気光学効果（いくつかある効果を総称したもの）が挙げられる。各電気光学効果により、光学フィルタやビームスプリッタ等の光学器具が有する屈折率や吸光度（≒透過率）、焦点距離、偏光などの特性を可変に制御することができる。
さらに、本実施形態では、光学的な特性を変化させることが可能な物質を光学器具に用いることができる。光学的な特性を変化させられる効果として、電気光学効果（いくつかある効果を総称したもの）が挙げられる。各電気光学効果により、光学フィルタやビームスプリッタ等の光学器具が有する屈折率や吸光度（≒透過率）、焦点距離、偏光などの特性を可変に制御することができる。
【0036】
なお、電気光学効果をもたらす物質としては、例えば液晶や結晶（電気光学結晶）が挙げられる。電気光学結晶は電気光学効果を有した結晶であるため、それ自体には様々なものが存在することから、本実施形態においても適宜の結晶を用いることができるものとする。
【0037】
このように、電気光学効果をもたらす物質で光学器具を構成し、外部からの電気信号（外部からの電気的影響）によりその物質の特性を変更可能な構成とする。これにより、光学器具を物理的に別の物に変更したり、位置を変えたりせずに、光学器具の特性を変更することができる。
【0038】
〔後段パワー調整ユニット〕
図２及び図３は、後段パワー調整ユニット１００の構成例１を示す図である。図２では、図１の粒子計数器１が正面視で示されており、図３では側面視で示されている。また図２には、各フローセル１０ａ～１０ｊの前面側開口が円形で示されている。
図２及び図３は、後段パワー調整ユニット１００の構成例１を示す図である。図２では、図１の粒子計数器１が正面視で示されており、図３では側面視で示されている。また図２には、各フローセル１０ａ～１０ｊの前面側開口が円形で示されている。
【0039】
後段パワー調整ユニット１００は、例えば光学器具１０４，１０６，１１０，１１２，１１４等をマルチフローセル８０の下方に配置した構成である。光学器具１０４等には、一例として板形状のものを使用しており、これらを照射光Ｌａの光路上に位置するように配置している。光学器具１０４等を保持するため、マルチフローセル８０の下面には複数のブラケット１０２が下方に突出して形成されており、ブラケット１０２は、各フローセル１０ａ～１０ｊに対応して等間隔でＸ方向に配列されている。光学器具１０４等は、隣り合うブラケット１０２間に挿入した状態で保持されている。
【0040】
なお、センサベース２に対するマルチフローセル８０の固定には、例えばフローセルベース５が用いられており、フローセルベース５は、センサベース２の上面に垂直に立設されたコ字形のプレート状をなす部材で構成されている。またフローセルベース５は、マルチフローセル８０の両端で一対をなして配置されている。このため、マルチフローセル８０はその下方を開放させた状態でセンサベース２に固定されている。
【0041】
個別の配置に関していうと、図２中で右端に位置するフローセル１０ａに対応する照射光Ｌａの光路上には、例えば２つの光学器具１０４，１０６が配置されている。また、右から４つ目のフローセル１０ｄに対応する光路上には、例えば１つの光学器具１０８が配置されており、右から７番目のフローセル１０ｇに対応する光路上には、例えば２つの光学器具１１０，１１２が配置されている。そして、右から８番目のフローセル１０ｈに対応する光路上には、例えば１つの光学器具１１４が配置されている。
【0042】
なお、図２では、右端のフローセル１０ａに照射光Ｌａの光路（光軸）が合わせられた状態が実線で示されているが、例えば図２中に二点鎖線で示すように、Ｘ軸アクチュエータ６２を駆動してＸ軸ステージ６０ごとホルダ６６をＸ方向に移動させれば、他のフローセル１０ｈに対応する位置に光路を調整することもできるし、その他のフローセル１０ｂ～１０ｊに対しても個々に光路の位置を調整することができる。したがって、光学器具１０４等は、各フローセル１０ａ～１０ｊに対して個別に位置が調整された場合の照射光Ｌａの各光路上に位置するようにして配置されている。
【0043】
光学器具１０４，１０６，１１０，１１２，１１４等は、それぞれ種類や光学特性が異なっているか、あるいは一部が共通している。また、ここでは光学器具１０４等を２つ重ねて配置した例を挙げているが、光学器具１０４等は、１つの光路上に３つ以上が配置されてもよい。なお、いくつかのフローセル１０ｂ，１０ｃ，１０ｅ，１０ｆ，１０ｉ，１０ｊについては光学器具１０４等が配置されていないが、これらについても適宜、光学器具１０４等を配置してもよい。
【0044】
いずれにしても、光路上に光学器具１０４等を配置することにより、各フローセル１０ａ～１０ｊに流す試料流体や粒子の特性に合わせた照射光Ｌａの強度に調整することができる。光学器具１０４等を配置した場合はそれらを照射光Ｌａが通過することで適切な強度に調整された状態となり、また、光学器具１０４等を配置しない場合は光源２０から出射されたときの照射光Ｌａの強度に調整された状態とした上で、各フローセル１０ａ～１０ｊの流路内に照射させることができる。
【0045】
図４は、後段パワー調整ユニット１００の構成例２を示す図である。上記の構成例１では、光学器具１０４等を配置しない箇所は単なる空間（空気）であったが、構成例２の場合、光学器具１０４等を配置しない箇所には光透過部材１２０が配置されている。また、フローセル１０ｄについては、１つの光学器具１０８に加えて光透過部材１２０が配置されており、フローセル１０ｈについても、１つの光学器具１１４に加えて光透過部材１２０が配置されている。
【0046】
したがって、構成例１では後段パワー調整ユニット１００内で照射光Ｌａが通過する媒体は、フローセル１０ａ～１０ｊごとに光学器具１０４等の配置の有無で異なることとなるが、構成例２では、全てのフローセル１０ａ～１０ｊについて照射光Ｌａが光学器具１０４等又は光透過部材１２０のいずれかの媒体（例えば２つずつ）を通過することになる。
【0047】
光透過部材１２０は、例えば透明ガラス板、透明アクリル樹脂板等であり、特段の強度調整機能を有するものではない。ただし、光透過部材１２０は、これに照射光Ｌａを透過させることで光学器具１０４等の通過に伴う光軸の変化に同調させることができる。したがって、構成例２では、光学器具１０４等の有無に関係なく、全てのフローセル１０ａ～１０ｊに対する光軸変化を一様に揃えることができるので、Ｘ軸アクチュエータ６２を用いた光路の位置調整を容易に行うことができる。この点、構成例１の場合、光学器具１０４等が配置されていない箇所では照射光Ｌａに光軸の変化がないことを踏まえた上で、Ｘ軸アクチュエータ６２を用いた光路の位置調整を行う必要がある。
【0048】
後段パワー調整ユニット１００によれば、以下の有用性が得られる。
（１）強度を調整する光学器具１０４等に例えばＮＤフィルタを用いた場合、ＮＤフィルタが配置されない場合と比較して、流路内に照射される照射光Ｌａの強度が減少する。これにより、該当のフローセル１０ａ，１０ｄ，１０ｇ，１０ｈを流れる試料流体に照射される照射光Ｌａの強度を減少させることができる。したがって、流路に流れる試料流体や粒子に対してより適切な強度の照射光Ｌａを照射することが可能となり、より高精度の粒子計数が可能となる。
（１）強度を調整する光学器具１０４等に例えばＮＤフィルタを用いた場合、ＮＤフィルタが配置されない場合と比較して、流路内に照射される照射光Ｌａの強度が減少する。これにより、該当のフローセル１０ａ，１０ｄ，１０ｇ，１０ｈを流れる試料流体に照射される照射光Ｌａの強度を減少させることができる。したがって、流路に流れる試料流体や粒子に対してより適切な強度の照射光Ｌａを照射することが可能となり、より高精度の粒子計数が可能となる。
【0049】
（２）ＮＤフィルタの光学特性（例えば、減衰量）は、光源２０が出射する照射光Ｌａの強度、試料流体や粒子の種類等により、粒子計数に適切なものを選択することができる。例えば、光源２０が出射する照射光Ｌａの強度が一定の条件下で、あるチャネルで試料流体Ａを流す場合はＮＤフィルタαを光学器具１０４等に適用し、あるチャネルで試料流体Ｂを流す場合はＮＤフィルタβを適用するというように、計数対象となる粒子やこれを含む試料流体の種類や特性に合わせた強度の調整が可能となる。
【0050】
（３）予め光学器具１０４等を光路上に配置しておくことで、粒子計数器１において計数対象となるチャネル（フローセル１０ａ～１０ｊ）が切り換えられても、特段の操作を行う必要がなく、そのまま対象のチャネルに流れる試料流体や粒子の特性に適した照射光Ｌａの強度に調整することができる。
【0051】
（４）使用する光学器具１０４等はＮＤフィルタに限らず、照射光Ｌａの光路上に配置することで照射光Ｌａに作用する光学素子であれば、偏光フィルタや波長選択フィルタのような光学フィルタでもよいし、無極性ビームスプリッタ、偏光ビームスプリッタのようなビームスプリッタ等、性能や種類の異なる光学フィルタやビームスプリッタを用いることができる。
【0052】
（５）また、各フローセル１０ａ～１０ｊに流す試料流体や粒子の種類が変わった場合でも、適宜に光学器具１０４等を交換や追加、又は除去することにより、迅速かつ容易に強度の調整を行うことができる。
【0053】
〔その他の構成例〕
後段パワー調整ユニット１００は、以下の構成例とすることもできる。
各フローセル１０ａ～１０ｊに対応する光路上に配置する光学器具１０４等の数は任意であり、単数又は複数のいずれでもよく、３以上でもよい。
後段パワー調整ユニット１００は、以下の構成例とすることもできる。
各フローセル１０ａ～１０ｊに対応する光路上に配置する光学器具１０４等の数は任意であり、単数又は複数のいずれでもよく、３以上でもよい。
【0054】
また、光学器具１０４等を複数配置してフィルタセットとする場合、そのフィルタセット内でそれぞれのフィルタは同じ機能・性能を有するものを重ね合わせて配置してもよいし、異なる機能・性能を有するものを重ね合わせて配置してもよい。光学器具１０４等は、光路方向の厚みが異なっていてもよい。
【0055】
光学器具１０４等は、各フローセル１０ａ～１０ｊまでの光路ごとに異なるフィルタ（フィルタセット）を配置する構成としてもよい。
【0056】
光学器具１０４等は、構成例１のようにブラケット１０２への脱着を容易にすることで、各フローセル１０ａ～１０ｊまでの光路ごとに配置の有無を切り替え（適用／非適用）が可能である構成であってもよい。
【0057】
また、光学器具１０４等は固定配置ではなく、例えば同一のフローセル１０ａ～１０ｊ内においても、流す対象が試料流体Ａである場合には光学器具１０４等に光学フィルタαを適用し、流す対象が試料流体Ｂの場合には光学フィルタαを取り外して別の光学フィルタβに交換することとしてもよい。
【0058】
各フローセル１０ａ～１０ｊまでの光路上への光学器具１０４等の配置の有無（適用／非適用）の切り替えは、オペレータにより手動で行ってもよいし、駆動機構等を用いて自動で行ってもよい。
【0059】
自動で光学器具１０４等の配置の有無を切り替える構成とした場合、例えば予め粒子計数器１にプリセットされた試料流体やその他の条件に応じて適切なものを選択し、光学器具１０４等を配置したり、その配置を変更したりすることができる。あるいは、計数対象に選択したチャネルのフローセル１０ａ～１０ｊに流れる試料流体やその他の条件を検知し、その検知結果に基づいて適切な光学器具１０４等が自動的に選択されて配置される構成としてもよい。
【0060】
〔前段パワー調整ユニット〕
次に、前段パワー調整ユニット２００について説明する。図５は、前段パワー調整ユニット２００の構成例１を示す図である。図５中（Ａ）では、光源２０を含むその一部近傍が正面視で示されており、図５中（Ｂ）では側面視で示されている。
次に、前段パワー調整ユニット２００について説明する。図５は、前段パワー調整ユニット２００の構成例１を示す図である。図５中（Ａ）では、光源２０を含むその一部近傍が正面視で示されており、図５中（Ｂ）では側面視で示されている。
【0061】
図５中（Ａ）：前段パワー調整ユニット２００は、例えば光源２０の照射方向でみて直前の照射光Ｌａの光路上に光学器具２０８を配置した構成である。なお、前段パワー調整ユニット２００は、Ｘ軸アクチュエータ６２によるホルダ６６（照射光学系）の可動範囲やフローセルベース５等と干渉しない位置に設けられている。ここでも光学器具２０８は、光学フィルタやビームスプリッタ等とすることができる。前段パワー調整ユニット２００は、センサベース２上に立設された箱形状の筐体２０１を有しており、この筐体２０１には照射光Ｌａを通過させる窓２０２が開口して形成されている。また、筐体２０１の内部には上記の光学器具２０８とともに、回転式アクチュエータ２０４が設けられており、回転式アクチュエータ２０４の出力軸は、図１のＸ軸回りに回転可能となっている。
【0062】
図５中（Ｂ）：光学器具２０８は、回転式アクチュエータ２０４の出力軸にブラケット２０６を介して支持されている。構成例１の光学器具２０８は単一の構成であるが、回転式アクチュエータ２０４の駆動により、二点鎖線で示すように光路上で照射光Ｌａが通過する位置（通過位置）と、実線で示すように光路から外れた位置（不通過位置）との間で変位可能となっている。
【0063】
したがって、前段パワー調整ユニット２００の構成例１によれば、光学器具２０８を不通過位置に変位させた状態では、照射光Ｌａの強度が光源２０による出射の強度に調整されることとなり、逆に通過位置に変位させた状態では、光学器具２０８の通過に伴う強度に調整されることになる。
【0064】
【0065】
構成例２においても、前段パワー調整ユニット２００は構成例１と同様な筐体２０１を有しており、筐体２０１には窓２０２が形成されている。構成例２の場合、回転式アクチュエータ２０４の出力軸には回転ディスク２１０が取り付けられている。この回転ディスク２１０には、同一ピッチ円上に複数の孔２１０ａが周方向に等間隔で形成されており、各孔２１０ａにはそれぞれ光学器具２０８，２１２，２１４，２１６，２１８，２２０が嵌め込まれている。
【0066】
このため、構成例２では、回転式アクチュエータ２０４を駆動して回転ディスク２１０の角度を回転方向に変位させることにより、照射光Ｌａの光路上で光学器具２０８，２１２，２１４，２１６，２１８，２２０の配置を切り替えて使用することができる。例えば、図６に示される角度では、光路上に光学器具２０８が配置されている。この場合、光学器具２０８の機能・性能に応じて照射光Ｌａの強度を調整することができる。強度調整された照射光Ｌａは、ミラー３０及び照明用レンズ４０を経て各フローセル１０ａ～１０ｊの流路に照射される。
【0067】
そして、例えば図６の角度から６０度ピッチで回転ディスク２１０の角度を変化させていけば、その他の光学器具２１２，２１４，２１６，２１８，２２０を順次、光路上に配置させて使用することができる。したがって、ここでも光路上に配置される光学器具２１２，２１４，２１６，２１８，２２０の機能・性能に応じて照射光Ｌａの強度を調整することができる。
【0068】
また、回転ディスク２１０を光透過部材（透明ガラス板、透明アクリル板等）で構成することにより、孔２１０ａの形成されていない領域が光路上に位置する角度に回転ディスク２１０を変位させることで、いずれの光学器具２０８，２１２，２１４，２１６，２１８，２２０も光路上に配置されない状態にすることができる。この場合、照射光Ｌａは光源２０から出射された強度でミラー３０及び照明用レンズ４０を経て各フローセル１０ａ～１０ｊの流路に照射されることになる。
【0069】
前段パワー調整ユニット２００によれば、以下の有用性が得られる。
（１）後段パワー調整ユニット１００と同様に、光学器具２０８等を用いた照射光Ｌａの強度の調整を実現することができる。
（２）その上で、構成例１の場合、後段パワー調整ユニット１００のように対応する各フローセル１０ａ～１０ｊまでの光路上に個別の光学器具１０４等でフィルタ（フィルタセット）を用意する場合と異なり、光源２０の直前の位置で光路上に単一の光学器具２０８を配置するため、いずれのフローセル１０ａ～１０ｊに対しても適用するフィルタ（フィルタセット）が同一となり、光学器具２０８を最小数として構成の簡素化を図ることができる。
（３）一方、構成例２の場合、適用するフローセル１０ａ～１０ｊに応じた数の光学器具２０８等を用意しておき、選択したチャネルに応じて適切な光学器具２０８等を光路上に配置させることで、個々のフローセル１０ａ～１０ｊに流れる試料流体や粒子の特性に合わせた照射光Ｌａの強度調整が可能となる。
（１）後段パワー調整ユニット１００と同様に、光学器具２０８等を用いた照射光Ｌａの強度の調整を実現することができる。
（２）その上で、構成例１の場合、後段パワー調整ユニット１００のように対応する各フローセル１０ａ～１０ｊまでの光路上に個別の光学器具１０４等でフィルタ（フィルタセット）を用意する場合と異なり、光源２０の直前の位置で光路上に単一の光学器具２０８を配置するため、いずれのフローセル１０ａ～１０ｊに対しても適用するフィルタ（フィルタセット）が同一となり、光学器具２０８を最小数として構成の簡素化を図ることができる。
（３）一方、構成例２の場合、適用するフローセル１０ａ～１０ｊに応じた数の光学器具２０８等を用意しておき、選択したチャネルに応じて適切な光学器具２０８等を光路上に配置させることで、個々のフローセル１０ａ～１０ｊに流れる試料流体や粒子の特性に合わせた照射光Ｌａの強度調整が可能となる。
【0070】
〔その他の構成例〕
前段パワー調整ユニット２００は、以下の構成例とすることもできる。
図５の構成例１において、光路上に複数の光学器具２０８等を重ねて配置してもよい。例えば、複数の回転式アクチュエータ２０４、ブラケット２０６及び光学器具２０８のセットを複数用意し、互いに可動域が干渉しない配置とすることで、光路上に１つの光学器具２０８を配置させたり、複数の光学器具２０８を配置させたりすることができる。これにより、光路上に配置させる光学器具２０８の数に応じた照射光Ｌａの強度の段階的な調整が可能になる。
前段パワー調整ユニット２００は、以下の構成例とすることもできる。
図５の構成例１において、光路上に複数の光学器具２０８等を重ねて配置してもよい。例えば、複数の回転式アクチュエータ２０４、ブラケット２０６及び光学器具２０８のセットを複数用意し、互いに可動域が干渉しない配置とすることで、光路上に１つの光学器具２０８を配置させたり、複数の光学器具２０８を配置させたりすることができる。これにより、光路上に配置させる光学器具２０８の数に応じた照射光Ｌａの強度の段階的な調整が可能になる。
【0071】
図６の構成例２においても同様に、回転式アクチュエータ２０４、回転ディスク２１０及び光学器具２０８等のセットを複数用意し、互いに可動域が干渉しない配置とすることができる。これにより、適用するフローセル１０ａ～１０ｊごとの細かい強度の調整が可能になり、より有用性を高めることができる。
【0072】
前段パワー調整ユニット２００においても、計数対象に選択したチャネルのフローセル１０ａ～１０ｊに流れる試料流体やその他の条件を検知し、その検知結果に基づいて適切な光学器具２０８等が自動的に選択されて配置される構成としてもよい。
【0073】
〔中段パワー調整ユニット〕
次に、中段パワー調整ユニット３００について説明する。図７は、中段パワー調整ユニット３００の構成例を示す図である。図７中（Ａ）では、図１のミラー３０及び照明用レンズ４０を含むホルダ６６の一部近傍が示されており、図７中（Ｂ）ではホルダ６６の内部構造が正面視（一部は断面）で示されている。
次に、中段パワー調整ユニット３００について説明する。図７は、中段パワー調整ユニット３００の構成例を示す図である。図７中（Ａ）では、図１のミラー３０及び照明用レンズ４０を含むホルダ６６の一部近傍が示されており、図７中（Ｂ）ではホルダ６６の内部構造が正面視（一部は断面）で示されている。
【0074】
図７中（Ａ）：上記のように、中段パワー調整ユニット３００は、ホルダ６６内でミラー３０の入射側の光路上に配置されるものと、出射側（ミラー３０から照明用レンズ４０までの間）の光路上に配置されるものとに分かれる構成とすることができる。なお、中段パワー調整ユニット３００は、いずれか一方だけの配置としてもよい。
【0075】
図７中（Ｂ）：中段パワー調整ユニット３００においても、光学器具３０２，３０４を用いて照射光Ｌａの強度を調整することができる。この構成例では、一方の光学器具３０２がミラー３０の入射側で光路上に配置されるものであり、他方の光学器具３０４がミラー３０の反射側で光路上に配置されるものとなっている。ここでも光学器具３０２，３０４は、光学フィルタやビームスプリッタ等とすることができる。また、光学器具３０２，３０４についても、図示しないリニアアクチュエータの駆動により、個別に光路上で照射光Ｌａを通過させる位置（通過位置：図中二点鎖線で示す）と光路から外れた位置（不通過位置：図中実線で示す）との間で変位可能となっている。
【0076】
中段パワー調整ユニット３００によれば、以下のような有用性が得られる。
（１）後段パワー調整ユニット１００と同様に、光学器具３０２，３０４を用いた照射光Ｌａの強度の調整を実現することができる。
（２）その上で、後段パワー調整ユニット１００や前段パワー調整ユニット２００の場合と違って、中段パワー調整ユニット３００では、光学器具３０２，３０４のフィルタ（フィルタセット）がホルダ６６内に配置され、ミラー３０及び照明用レンズ４０を含むホルダ６６一式とともに可動する配置となっている。これにより、後段パワー調整ユニット１００や前段パワー調整ユニット２００のように、フィルタ（フィルタセット）を配置するために別途スペースを確保する必要がなく、粒子計数器１内部で構成部材の密集度を軽減させることができ、放熱性やメンテナンス作業性の向上を図ることができる。
（１）後段パワー調整ユニット１００と同様に、光学器具３０２，３０４を用いた照射光Ｌａの強度の調整を実現することができる。
（２）その上で、後段パワー調整ユニット１００や前段パワー調整ユニット２００の場合と違って、中段パワー調整ユニット３００では、光学器具３０２，３０４のフィルタ（フィルタセット）がホルダ６６内に配置され、ミラー３０及び照明用レンズ４０を含むホルダ６６一式とともに可動する配置となっている。これにより、後段パワー調整ユニット１００や前段パワー調整ユニット２００のように、フィルタ（フィルタセット）を配置するために別途スペースを確保する必要がなく、粒子計数器１内部で構成部材の密集度を軽減させることができ、放熱性やメンテナンス作業性の向上を図ることができる。
【0077】
（３）２つの光学器具３０２，３０４を個別に変位させることで、適用するフローセル１０ａ～１０ｊに応じて光学器具３０２又は光学器具３０４のいずれか１つを光路上に配置させたり、２つの光学器具３０２，３０４を同時に配置させたりすることができる。これにより、選択したチャネルに応じて適切な光学器具３０２，３０４を光路上に配置させることで、個々のフローセル１０ａ～１０ｊに流れる試料流体や粒子の特性に合わせた照射光Ｌａの強度調整が可能となる。
【0078】
〔その他の構成例〕
中段パワー調整ユニット３００は、以下の構成例とすることもできる。
光学器具３０２，３０４は、いずれか一方だけをホルダ６６内に配置してもよい。その際、入射側の光学器具３０２の配置は、光源２０からミラー３０までの間でホルダ６６とともに可動する位置に配置してもよい。また、出射側の光学器具３０４の配置についても、照明用レンズ４０から各フローセル１０ａ～１０ｊまでの間でホルダ６６とともに可動する位置に配置してもよい。
中段パワー調整ユニット３００は、以下の構成例とすることもできる。
光学器具３０２，３０４は、いずれか一方だけをホルダ６６内に配置してもよい。その際、入射側の光学器具３０２の配置は、光源２０からミラー３０までの間でホルダ６６とともに可動する位置に配置してもよい。また、出射側の光学器具３０４の配置についても、照明用レンズ４０から各フローセル１０ａ～１０ｊまでの間でホルダ６６とともに可動する位置に配置してもよい。
【0079】
あるいは、光学器具３０２，３０４を両方とも配置する場合でも、入射側の光学器具３０２は、光源２０からミラー３０までの間でホルダ６６とともに可動する位置に配置し、出射側の光学器具３０４は、照明用レンズ４０から各フローセル１０ａ～１０ｊまでの間でホルダ６６とともに可動する位置に配置することとしてもよい。この場合、両方の位置に光学器具３０２，３０４のフィルタ（フィルタセット）が概ね均等なスペースをホルダ６６の近傍に占有していてもよいし、片方のスペースがより多く占有していてもよい。
【0080】
中段パワー調整ユニット３００においても、計数対象に選択したチャネルのフローセル１０ａ～１０ｊに流れる試料流体やその他の条件を検知し、その検知結果に基づいて適切な光学器具３０２，３０４が自動的に選択されて配置される構成としてもよい。
【0081】
〔制御構成例〕
図８は、一実施形態における粒子計数器１の制御構成例を示すブロック図である。なお、ここでは説明の便宜上、後段パワー調整ユニット１００、前段パワー調整ユニット２００及び中段パワー調整ユニット３００の全てを粒子計数器１に対して組み込んだ構成例を示しているが、３つのユニット１００，２００，３００は、いずれか１つ又は複数を任意に選択的に組み込んで採用することができる。
図８は、一実施形態における粒子計数器１の制御構成例を示すブロック図である。なお、ここでは説明の便宜上、後段パワー調整ユニット１００、前段パワー調整ユニット２００及び中段パワー調整ユニット３００の全てを粒子計数器１に対して組み込んだ構成例を示しているが、３つのユニット１００，２００，３００は、いずれか１つ又は複数を任意に選択的に組み込んで採用することができる。
【0082】
粒子計数器１は、上述した各構成部品の他に、粒子の検出及び計数を制御する制御ユニット９０を備えている。制御ユニット９０は、例えば、操作入力部９１、記憶部９２、位置調整部９３、検出管理部９４、計数部９５、データ出力部９６、及びパワー調整部１５０を有している。
【0083】
操作入力部９１は、ユーザに対して操作画面を提供するとともに、操作画面を介してユーザによりなされる操作を受け付ける。ユーザは、操作画面において、計数対象のチャネルの選択、検出の開始及び終了、計数結果の保存、照射光Ｌａの強度調整等を指示する操作を行うことができる。操作入力部９１は、受け付けた操作の内容に応じた指示を他の機能部９３，９４，９６，１５０に対して行う他に、他の機能部９３，９４，９６，１５０からの入力の内容に応じて操作画面の切り替え等を行う。
【0084】
記憶部９２は、いわゆる記憶領域であり、粒子の検出や計数に関わる情報を記憶する。記憶部９２には、各チャネルのフローセル１０ａ～１０ｊに対応するＸ座標及びＹ座標が予め記憶されている他、各チャネルのフローセル１０ａ～１０ｊごとの試料流体や粒子の特性に応じた適切な照射光Ｌａの強度レベルが予め記憶されている。なお、記憶部９２の記憶情報は、適宜に書き換え可能としてもよい。
【0085】
位置調整部９３は、操作入力部９１により特定のチャネルが指定されると、先ずそのチャネルのフローセル１０ａ～１０ｊに対応するＸ座標及びＹ座標を記憶部９２から読み出す。そして、Ｘ軸アクチュエータ６２を作動させてＸ軸モータ６４を駆動しＸ軸ステージ６０をＸ座標までスライドさせ、さらにＹ軸アクチュエータ７２を作動させてＹ軸モータ７４を駆動しＹ軸ステージ７０をＹ座標までスライドさせる。Ｘ軸モータ６４及びＹ軸モータ７４を駆動し終えると（Ｘ軸ステージ６０、Ｙ軸ステージ７０の位置の調整が完了すると）、検出の開始が可能な状態となる。位置調整部９３は、検出の開始が可能となったことを操作入力部９１に伝える。
【0086】
〔後段パワー調整ユニット１００適用外の場合〕
粒子計数器１に後段パワー調整ユニット１００が適用されておらず、前段パワー調整ユニット２００又は中段パワー調整ユニット３００のいずれか一方、もしくは両方が適用された場合、パワー調整部１５０は以下の指示を行う。
すなわち、パワー調整部１５０は、操作入力部９１により特定のチャネルが指定されると、該当のチャネルのフローセル１０ａ～１０ｊに適用する照射光Ｌａの強度レベルの情報を記憶部９２から読み出し、前段パワー調整ユニット２００又は中段パワー調整ユニット３００の各アクチュエータに駆動信号を出力する。この駆動信号に基づき、前段パワー調整ユニット２００又は中段パワー調整ユニット３００において、それぞれ適切なフィルタ（フィルタセット）が光路上の通過位置に配置されたり、不通過位置に配置されたりすることになる。
粒子計数器１に後段パワー調整ユニット１００が適用されておらず、前段パワー調整ユニット２００又は中段パワー調整ユニット３００のいずれか一方、もしくは両方が適用された場合、パワー調整部１５０は以下の指示を行う。
すなわち、パワー調整部１５０は、操作入力部９１により特定のチャネルが指定されると、該当のチャネルのフローセル１０ａ～１０ｊに適用する照射光Ｌａの強度レベルの情報を記憶部９２から読み出し、前段パワー調整ユニット２００又は中段パワー調整ユニット３００の各アクチュエータに駆動信号を出力する。この駆動信号に基づき、前段パワー調整ユニット２００又は中段パワー調整ユニット３００において、それぞれ適切なフィルタ（フィルタセット）が光路上の通過位置に配置されたり、不通過位置に配置されたりすることになる。
【0087】
〔後段パワー調整ユニット１００適用時〕
一方、粒子計数器１に後段パワー調整ユニット１００が適用されており、前段パワー調整ユニット２００及び中段パワー調整ユニット３００が適用されていない場合は以下となる。すなわち、パワー調整部１５０は特段の指示を行わず、待機状態となる。これは、後段パワー調整ユニット１００が固定式の光学器具２０８等を用いているためである。
一方、粒子計数器１に後段パワー調整ユニット１００が適用されており、前段パワー調整ユニット２００及び中段パワー調整ユニット３００が適用されていない場合は以下となる。すなわち、パワー調整部１５０は特段の指示を行わず、待機状態となる。これは、後段パワー調整ユニット１００が固定式の光学器具２０８等を用いているためである。
【0088】
〔後段パワー調整ユニット１００適用時その他の構成例〕
ただし、後段パワー調整ユニット１００についても、自動で光学器具２０８等の脱着を行う構成とすることができる点については既に述べた通りである。この場合、パワー調整部１５０は、操作入力部９１により特定のチャネルが指定されると、該当のチャネルのフローセル１０ａ～１０ｊに適用する照射光Ｌａの強度レベルの情報を記憶部９２から読み出し、後段パワー調整ユニット１００に対して各フローセル１０ａ～１０ｊの対応する位置のブラケット１０２に適切な光学器具２０８等を配置させる動作を指示する。これにより、図２～図４のようにフローセル１０ａ～１０ｊごとに適切な光学器具２０８（光透過部材１２０）等が光路上に配置されることになる。
ただし、後段パワー調整ユニット１００についても、自動で光学器具２０８等の脱着を行う構成とすることができる点については既に述べた通りである。この場合、パワー調整部１５０は、操作入力部９１により特定のチャネルが指定されると、該当のチャネルのフローセル１０ａ～１０ｊに適用する照射光Ｌａの強度レベルの情報を記憶部９２から読み出し、後段パワー調整ユニット１００に対して各フローセル１０ａ～１０ｊの対応する位置のブラケット１０２に適切な光学器具２０８等を配置させる動作を指示する。これにより、図２～図４のようにフローセル１０ａ～１０ｊごとに適切な光学器具２０８（光透過部材１２０）等が光路上に配置されることになる。
【0089】
検出管理部９４は、操作入力部９１により特定のチャネルに対する検出開始の指示がなされると、光源２０及び受光ユニット５０を作動状態に切り替える。また、検出管理部９４は、操作入力部９１により特定のチャネルに対する検出終了の指示がなされると、光源２０及び受光ユニット５０を非作動状態に切り替える。光源２０及び受光ユニット５０が非作動状態に切り替わると、計数対象のチャネルを変更可能な状態となる。検出管理部９４は、チャネル変更が可能となったことを操作入力部９１に伝える。
【0090】
なお、光源２０の作動状態の切り替えは、検出の開始及び終了の度に行わずに粒子計数器１が起動している間は作動状態のままとしてもよい。また、検出の開始及び終了は、操作入力部９１（ユーザによる操作）を介することなく行う構成としてもよい。例えば、位置調整部９３によるステージ６０，７０の位置の調整が完了したことを契機として自動的に検出を開始させ、検出が開始されてから所定時間の経過後に自動的に検出を終了させてもよい。
【0091】
検出管理部９４により光源２０及び受光ユニット５０が作動されると、光源２０により出射された照射光Ｌａは、ミラー３０で反射したのち照明用レンズ４０を通過して、絞り込まれた状態でフローセル１０ａ～１０ｊに入射して試料流体の流路内の所定位置に検出領域を形成する。試料流体に含まれる粒子が検出領域を通過すると、粒子から散乱光が生じ、この側方散乱光が受光用レンズ５３により集光されて受光素子５４に入射し受光される。受光素子５４により受光された側方散乱光はその強度に応じた電気信号に変換され、増幅器５５により所定のゲインで増幅された後に、Ａ／Ｄ変換器５６によりデジタル信号に変換される。そして、受光ユニット５０は、最終的に得られたデジタル信号を計数部に出力する。
【0092】
計数部９５は、受光ユニット５０により出力されたデジタル信号の大きさ、すなわち散乱光の強度に基づいて検出された粒子の粒径を判断し、粒径ごとに粒子を計数する。計数部９５は、計数した結果をデータ出力部９６に出力する。
【0093】
データ出力部９６は、計数部９５により出力された計数結果に基づいてデータを出力する。データの出力は、結果表示画面への表示により行ってもよいし、プリンタへの出力やネットワークを介した他のデバイスへの送信により行ってもよい。検出の終了に伴い計数結果の最終データが整うと、最終データの保存が可能な状態となる。データ出力部９６は、最終データの保存が可能になったことを操作入力部９１に伝える。
【0094】
なお、制御ユニット９０は、粒子計数器１の内部に一体的に設けられてもよいし、粒子計数器１の外部に別体として設けられてケーブルやネットワーク等で接続する態様で利用してもよい。
【0095】
また、制御ユニット９０は検知部を備えていてもよく、検知部は、各フローセル１０ａ～１０ｊを流れる試料流体や粒子の種類を検知することができる検知素子を備える。この場合、操作入力部９１により特定のチャネルに対する検出開始の指示がなされると、検知部が指示されたチャネルを流れる試料流体や粒子を検知し、その検知結果をパワー調整部１５０に伝える。そしてパワー調整部１５０は、検知部の検知結果に基づいて記憶部９２から適切な強度レベルの情報を読み出し、適用されているユニット１００，２００，３００に対する指示を行う。
【0096】
〔特性の可変制御〕
また、後段パワー調整ユニット１００、前段パワー調整ユニット２００又は中段パワー調整ユニット３００の少なくともいずれかに対し、特性が可変な光学器具を用いる場合、各ユニット１００，２００，３００の適用時において、パワー調整部１５０は適宜、計数対象のチャネルのフローセル１０ａ～１０ｊに流れる試料流体や粒子の特性や、そのとき適用する照射光Ｌａの強度レベルに応じて光学器具の特性を変更することができる。この場合、例えば後段パワー調整ユニット１００については、チャネル毎の試料流体や粒子の特性に応じて光学器具１０４等を取り換えることなく、制御によって光学的特性を可変させて使用することができる。また、前段パワー調整ユニット２００においても、光学器具２０８等の配置を切り換えることなく、固定配置した光学器具２０８等の特性を可変させて使用することができる。中段パワー調整ユニット３００も同様に、計数対象のチャネルに応じて光学器具３０２，３０４の特性を可変させて使用することができる。
また、後段パワー調整ユニット１００、前段パワー調整ユニット２００又は中段パワー調整ユニット３００の少なくともいずれかに対し、特性が可変な光学器具を用いる場合、各ユニット１００，２００，３００の適用時において、パワー調整部１５０は適宜、計数対象のチャネルのフローセル１０ａ～１０ｊに流れる試料流体や粒子の特性や、そのとき適用する照射光Ｌａの強度レベルに応じて光学器具の特性を変更することができる。この場合、例えば後段パワー調整ユニット１００については、チャネル毎の試料流体や粒子の特性に応じて光学器具１０４等を取り換えることなく、制御によって光学的特性を可変させて使用することができる。また、前段パワー調整ユニット２００においても、光学器具２０８等の配置を切り換えることなく、固定配置した光学器具２０８等の特性を可変させて使用することができる。中段パワー調整ユニット３００も同様に、計数対象のチャネルに応じて光学器具３０２，３０４の特性を可変させて使用することができる。
【0097】
【0098】
粒子計数器４０１においては、照射光Ｌａの光源としてファイバレーザが用いられており、この場合の光源は筐体の外部に配置されている（図示されていない）。図示しない光源から延び出た光ファイバの先端にはヘッド４２２が設けられており、このヘッド４２２がホルダ４６６に固定されている。したがって、ヘッド４２２は、選択されたチャネルに応じてＸ軸ステージ６０に連動してＸ方向に移動する。上述した実施形態とは異なり、ここではミラーが設けられていない。
【0099】
〔トラップ機器を用いた構成例〕
図１０は、一実施形態における粒子計数器１にトラップ機器１２４を用いた構成例を示す図である。この構成例では、粒子計数器１が後段パワー調整ユニット１００の他にトラップ機器１２４を備えている。なお、ここでは一実施形態の粒子計数器１を挙げているが、他の実施形態における粒子計数器４０１にもトラップ機器１２４を適用することができる。
図１０は、一実施形態における粒子計数器１にトラップ機器１２４を用いた構成例を示す図である。この構成例では、粒子計数器１が後段パワー調整ユニット１００の他にトラップ機器１２４を備えている。なお、ここでは一実施形態の粒子計数器１を挙げているが、他の実施形態における粒子計数器４０１にもトラップ機器１２４を適用することができる。
【0100】
本構成例では、後段パワー調整ユニット１００に反射型の光学器具（一例としてビームスプリッタ１２２）を用いている。このため照射光Ｌａは、ビームスプリッタ１２２により各フローセル１０ａ～１０ｊに入射する入射光と、入射光とは異なる方向の余剰光Ｌａ’とに分離されることで、各フローセル１０ａ～１０ｊへの入射光が減光されることになる。
【0101】
なお、ここでは全てのフローセル１０ａ～１０ｊに対してビームスプリッタ１２２が設けられているが、先の構成例１，２のように、ビームスプリッタ１２２を配置しない箇所があってもよいし、配置箇所によってビームスプリッタ１２２の光学特性が異なる態様であってもよいし、ビームスプリッタ１２２とは別のＮＤフィルタ等が配置される箇所が混在していてもよい。また、ビームスプリッタ１２２を配置する角度は適宜であり、水平に配置されていてもよいし、ビームスプリッタ１２２は、プレート型でなくキューブ型のものでもよい。
【0102】
本構成例において適用されるトラップ機器１２４は、例えばホルダ６６の上面で、照明用レンズ４０と干渉しない位置に配置されている。トラップ機器１２４は、ホルダ６６の上面に配置されることで、Ｘ軸アクチュエータ６２による光路の位置調整と連動してＸ方向に移動し、図１０中の実線及び二点鎖線で示すように、各ビームスプリッタ１２２に対して相対的に余剰光Ｌａ’の分離方向に配置される。これにより、使用するトラップ機器１２４を最小の１個にすることができ、フローセル１０ａ～１０ｊごとにトラップ機器１２４を複数箇所に配置する必要がない。
【0103】
いずれにしても、このようなトラップ機器１２４は、ビームスプリッタ１２２で分離（反射）された余剰光Ｌａ’を拘束することで、その悪影響（ノイズの発生等）を取り除くことができる。なお、トラップ機器１２４には、例えば、レーザ光を吸収して熱に変換することにより、光ビームを終端する機能を有した各種の光学機器（ビームとラップ、ビームダンパ、ビームブロック、ビームディフューザ等に呼称される製品）が好適に用いられる。また、トラップ機器１２４の配置は、ホルダ６６上面以外の箇所であってもよいし、複数箇所（フローセル１０ａ～１０ｊごと）であってもよい。
【0104】
以上のように、上述した実施形態によれば、以下のような効果が得られる。
（１）後段パワー調整ユニット１００、前段パワー調整ユニット２００、中段パワー調整ユニット３００のいずれを適用した場合でも、共通の光源を用いるマルチフローセル粒子計数器において、試料流体や粒子の種類ごとに適正な照射光の条件で使用することが可能となり、より正確な測定結果を得ることが可能となる。
（１）後段パワー調整ユニット１００、前段パワー調整ユニット２００、中段パワー調整ユニット３００のいずれを適用した場合でも、共通の光源を用いるマルチフローセル粒子計数器において、試料流体や粒子の種類ごとに適正な照射光の条件で使用することが可能となり、より正確な測定結果を得ることが可能となる。
【0105】
（２）後段パワー調整ユニット１００を適用した場合、光学器具２０８等の配置を予めフローセル１０ａ～１０ｊごとの光路上に固定で配置しておけば、粒子計数器１において計数対象のチャネルを選択するだけで、あとは照射光Ｌａの光路を移動させるだけで適切な照射光Ｌａの条件（強度）に調整されるので、機構上の可動部品が少なく、故障や調整等の手間を少なくすることができる。
【0106】
（３）前段パワー調整ユニット２００を適用した場合、中段パワー調整ユニット３００を適用した場合については、照射光Ｌａの強度調整が必要な場合にだけ光学器具２０８等が光路上に配置されるので、調整が不要な場合は光路全域をクリアな状態にしておくことができる。また、調整が不要な場合は特に機構上の動作を行う必要がなく、動作音や消費エネルギの低減を図ることができる。
【0107】
（４）トラップ機器１２４を適用した場合、反射型の光学器具で反射される光（ビームスプリッタ１２２からの余剰光Ｌａ’等）の他の影響を取り除くことができ、測定結果の正確性をより高めることができる。
【0108】
（５）また、特性が可変な物質で光学器具を構成することで、光学器具そのものを物理的に変更したり、位置を変えたり、取り換えたりすることなく、電気的な制御によって光学器具の特性を変更することで、計数対象のチャネルに応じて適切な条件に調整して計数を行うことができる。
【0109】
本発明は、上述した実施形態に制約されることなく、種々に変形して実施することが可能である。
【0110】
上述した実施形態では、照射光Ｌａの条件として強度（パワー）の調整を行っているが、調整する条件は強度（パワー、密度分布）に限られず、その他の条件（例えば、波長、偏光状態等）としてもよい。また、光学フィルタやビームスプリッタに限らず、照射光Ｌａの条件を調整可能な各種の光学素子を用いてもよい。
【0111】
上述した実施形態では、粒子計数器１にマルチフローセル８０を採用しているが、フローセルが１つの構成でもよい。この場合、光学系を移動させる必要はないが、後段パワー調整ユニット１００又は前段パワー調整ユニット２００を適用することで、フローセルに流す試料流体や粒子の種類が変わった場合、変化後の特性に応じて照射光Ｌａの強度を調整することができる。
【0112】
図８の制御構成例において、後段パワー調整ユニット１００全体がマルチフローセル８０に対して変位可能となる機構を適用してもよい。この場合、パワー調整部１５０は、特定のチャネルが指定されたことに基づいて、後段パワー調整ユニット１００全体を変位させて照明用レンズ４０からマルチフローセル８０までの光路上に配置したり、光路から外れた位置に移動させたりすることができる。
【0113】
トラップ機器１２４は、後段パワー調整ユニット１００に適用する場合だけでなく、反射型の光学器具を用いた場合には、それらの反射光を拘束可能な箇所に適宜配置することができる。また、光軸に対する角度や使用する光学器具との関係から、必要に応じて前段パワー調整ユニット２００や中段パワー調整ユニット３００にもトラップ機器１２４を適用することができる。
【0114】
その他、粒子計数器１の各構成部品の例として挙げた材料や数値等はあくまで例示であり、本発明の実施に際して適宜に変形が可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【0115】
１ 粒子計数器
２ センサベース
５ フローセルベース
６ フローセルホルダ
１０ａ～１０ｊ フローセル
２０ 光源
３０ ミラー
４０ 照明用レンズ
５０ 受光ユニット
６０ Ｘ軸ステージ
７０ Ｙ軸ステージ
８０ マルチフローセル
１００ 後段パワー調整ユニット
１０４，１０６，１１０，１１２，１１４ 光学器具
１２０ 光透過部材
１２２ ビームスプリッタ（光学器具）
１２４ トラップ機器
２００ 前段パワー調整ユニット
２０８，２１２，２１４，２１６，２１８，２２０ 光学器具
３００ 中段パワー調整ユニット
３０２，３０４ 光学器具
２ センサベース
５ フローセルベース
６ フローセルホルダ
１０ａ～１０ｊ フローセル
２０ 光源
３０ ミラー
４０ 照明用レンズ
５０ 受光ユニット
６０ Ｘ軸ステージ
７０ Ｙ軸ステージ
８０ マルチフローセル
１００ 後段パワー調整ユニット
１０４，１０６，１１０，１１２，１１４ 光学器具
１２０ 光透過部材
１２２ ビームスプリッタ（光学器具）
１２４ トラップ機器
２００ 前段パワー調整ユニット
２０８，２１２，２１４，２１６，２１８，２２０ 光学器具
３００ 中段パワー調整ユニット
３０２，３０４ 光学器具
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
