特開 2023-96285 塗膜パターンの形成方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023096285

(43)【公開日】2023-07-07

(54)【発明の名称】塗膜パターンの形成方法

(51)【国際特許分類】

   H01M 4/139 20100101AFI20230630BHJP

   B05D 3/12 20060101ALI20230630BHJP

   B05D 3/04 20060101ALI20230630BHJP

   H01M 4/04 20060101ALI20230630BHJP

   H01M 4/66 20060101ALI20230630BHJP

   H01G 11/86 20130101ALI20230630BHJP

   B05C 9/04 20060101ALN20230630BHJP

   B05C 11/10 20060101ALN20230630BHJP

【ＦＩ】

H01M4/139

B05D3/12 B

B05D3/12 E

B05D3/04 Z

H01M4/04 Z

H01M4/66 A

H01G11/86

B05C9/04

B05C11/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】6

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021211921

(22)【出願日】2021-12-27

(71)【出願人】

【識別番号】000126115

【氏名又は名称】エア・ウォーター株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】511064096

【氏名又は名称】エア・ウォーター・ベルパール株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】山内 文夫

(72)【発明者】

【氏名】馬込 峻一

(72)【発明者】

【氏名】藤本 尚久

【テーマコード（参考）】

4D075

4F042

5E078

5H017

5H050

【Ｆターム（参考）】

4D075AC02

4D075AC72

4D075AC91

4D075AC94

4D075AD11

4D075AE19

4D075AE24

4D075BB02Z

4D075BB05Z

4D075BB20Z

4D075BB24Z

4D075BB33Z

4D075BB57Z

4D075BB91Z

4D075BB93Z

4D075BB95Z

4D075CA22

4D075CA47

4D075CA48

4D075DA04

4D075DB01

4D075DB31

4D075DC19

4D075EA05

4F042AA22

4F042AB00

4F042CC09

4F042DB18

4F042ED02

5E078AA15

5E078AB01

5E078BB33

5H017AA03

5H017CC01

5H017EE01

5H050AA19

5H050BA16

5H050BA17

5H050DA04

5H050GA02

5H050GA03

5H050GA12

5H050GA22

5H050GA29

5H050HA12

5H050HA20

(57)【要約】

【課題】塗膜パターンの輪郭が粗くいびつになることを抑制する。
【解決手段】基材１０に対して塗液２０を連続的に塗布して連続した塗膜３０を形成する工程と、塗膜３０を乾燥させる工程と、噴射ノズル１９０からドライアイス微粒子を含む混合ガスを吹き付けることにより、乾燥した塗膜３１の一部を除去して塗膜３１をパターニングする工程とを備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

基材に対して塗液を連続的に塗布して連続した塗膜を形成する工程と、
前記塗膜を乾燥させる工程と、
噴射ノズルからドライアイス微粒子を含む混合ガスを吹き付けることにより、乾燥した前記塗膜の一部を除去して前記塗膜をパターニングする工程とを備える、塗膜パターンの形成方法。

【請求項2】

前記塗膜をパターニングする工程において、前記基材および前記噴射ノズルを前記塗膜の連続方向に等速搬送しつつ前記噴射ノズルを前記基材に沿って前記連続方向と交差する方向に移動させることにより、前記塗膜の前記一部を除去する、請求項１に記載の塗膜パターンの形成方法。

【請求項3】

前記塗膜をパターニングする工程において、前記基材上にマスク部材を配置した状態で前記噴射ノズルによって前記混合ガスを吹き付けることにより、前記マスク部材に覆われていない前記塗膜の前記一部を除去する、請求項１または請求項２に記載の塗膜パターンの形成方法。

【請求項4】

前記塗膜を形成する工程において、前記基材の表面上および裏面上の両方に前記塗膜を形成し、
前記塗膜をパターニングする工程において、２つの前記噴射ノズルから前記基材の表面側および裏面側の両方に同時に前記混合ガスを吹き付けることにより、前記基材の表面上および裏面上の両方の前記塗膜の前記一部を除去する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の塗膜パターンの形成方法。

【請求項5】

前記塗膜をパターニングする工程の前に、乾燥した前記塗膜を加圧する工程をさらに備える、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の塗膜パターンの形成方法。

【請求項6】

前記基材は、金属箔であり、
前記塗膜は、電極活物質を含む電極組成物で構成されている、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の塗膜パターンの形成方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、塗膜パターンの形成方法に関する。

【背景技術】

【0002】

リチウムイオン電池用電極の製造方法を開示した先行技術文献として、特開２０２１－２７０４３号公報(特許文献１)がある。特許文献１に記載されたリチウムイオン電池用電極においては、連続するシート状の基材の表面に、電極活物質を含む電極組成物からなる電極組成物層が間欠的に配置されている。

【0003】

特許文献１に記載されたリチウムイオン電池用電極の製造方法は、供給工程と、加圧工程と、除去工程とを備える。供給工程において、基材上に電極組成物を連続的に供給する。加圧工程において、供給工程によって基材上に供給された電極組成物を加圧して電極組成物層を形制する。除去工程において、供給工程によって基材上に供給された電極組成物の一部を除去して、基材上に電極組成物層配置部を形成する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２１－２７０４３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

基材上に形成された乾燥する前の塗膜においてマスクに覆われていない一部を吸引またはエアブローなどによって吹き飛ばして除去する場合、塗膜が溶剤を含んで流動性を有しているため、マスクの縁部に覆われている部分の塗膜の一部も一緒に除去されて塗膜パターンの輪郭が粗くいびつになる。

【0006】

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、塗膜パターンの輪郭が粗くいびつになることを抑制することができる、塗膜パターンの形成方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に基づく塗膜パターンの形成方法は、基材に対して塗液を連続的に塗布して連続した塗膜を形成する工程と、上記塗膜を乾燥させる工程と、噴射ノズルからドライアイス微粒子を含む混合ガスを吹き付けることにより、乾燥した上記塗膜の一部を除去して上記塗膜をパターニングする工程とを備える。

【0008】

本発明の一形態においては、上記塗膜をパターニングする工程において、基材および噴射ノズルを上記塗膜の連続方向に等速搬送しつつ噴射ノズルを基材に沿って上記連続方向と交差する方向に移動させることにより、上記塗膜の上記一部を除去する。

【0009】

本発明の一形態においては、上記塗膜をパターニングする工程において、基材上にマスク部材を配置した状態で噴射ノズルによって混合ガスを吹き付けることにより、マスク部材に覆われていない上記塗膜の上記一部を除去する。

【0010】

本発明の一形態においては、上記塗膜を形成する工程において、基材の表面上および裏面上の両方に上記塗膜を形成し、上記塗膜をパターニングする工程において、２つの噴射ノズルから基材の表面側および裏面側の両方に同時に混合ガスを吹き付けることにより、基材の表面上および裏面上の両方の上記塗膜の上記一部を除去する。

【0011】

本発明の一形態においては、塗膜パターンの形成方法は、上記塗膜をパターニングする工程の前に、乾燥した上記塗膜を加圧する工程をさらに備える。

【0012】

本発明の一形態においては、基材は、金属箔であり、上記塗膜は、電極活物質を含む電極組成物で構成されている。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、塗膜パターンの輪郭が粗くいびつになることを抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明の一実施形態に係る塗膜パターンの形成方法の各工程を行なっている状態を示す縦断面図である。

【図2】本実施形態に係るドライアイススノー洗浄装置の構成を示す模式図である。

【図3】本発明の一実施形態に係る塗膜パターンの形成方法における塗膜をパターニングする工程を行なっている状態を示す平面図である。

【図4】本発明の一実施形態の変形例に係る塗膜パターンの形成方法における塗膜をパターニングする工程をマスク部材を用いて行なっている状態を示す平面図である。

【図5】試料Ｎｏ．１の塗膜パターンの拡大図である。

【図6】図５のＶＩ部の拡大図である。

【図7】試料Ｎｏ．２の塗膜パターンの拡大図である。

【図8】図７のＶＩＩＩ部の拡大図である。

【図9】試料Ｎｏ．３の塗膜パターンの拡大図である。

【図10】試料Ｎｏ．４の塗膜パターンの拡大図である。

【図11】試料Ｎｏ．５の塗膜パターンの拡大図である。

【図12】試料Ｎｏ．６の塗膜パターンの拡大図である。

【図13】試料Ｎｏ．７の塗膜パターンの拡大図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の一実施形態に係る塗膜パターンの形成方法について図面を参照して説明する。以下の実施形態の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。

【0016】

図１は、本発明の一実施形態に係る塗膜パターンの形成方法の各工程を行なっている状態を示す縦断面図である。本発明の一実施形態に係る塗膜パターンの形成方法においては、基材１０の表面１１および裏面１２の両方に塗膜３０を同時形成しているが、これに限られず、基材１０の表面１１のみに塗膜３０を形成してもよいし、基材１０の表面１１と裏面１２とに別々に塗膜３０を形成してもよい。

【0017】

基材１０は、金属箔である。ただし、基材１０は、金属箔に限られず、樹脂フィルムなどであってもよい。塗膜３０は、電極活物質を含む電極組成物で構成されている。ただし、塗膜３０は、電極活物質を含む電極組成物に限られず、導電膜、絶縁膜または誘電体膜などであってもよい。本発明の一実施形態に係る塗膜パターンの形成方法は、電池用電極の製造方法またはキャパシタ用電極材の製造方法などに適用可能である。

【0018】

図１に示すように、本発明の一実施形態に係る塗膜パターンの形成方法は、基材１０に対して塗液２０を連続的に塗布して連続した塗膜３０を形成する工程と、塗膜３０を乾燥させる工程と、噴射ノズル１９０からドライアイス微粒子を含む混合ガスを吹き付けることにより、乾燥した塗膜３１の一部を除去して塗膜３１をパターニングする工程とを備える。

【0019】

本実施形態に係る塗膜パターンの形成方法は、塗膜３１をパターニングする工程の前に、乾燥した塗膜３１を加圧する工程をさらに備える。なお、乾燥した塗膜３１を加圧する工程は、必ずしも行なわれなくてもよい。たとえば、本実施形態に係る塗膜パターンの形成方法が、全固体電池用電極の製造方法に適用される場合には、乾燥した塗膜３１を加圧する工程は必ずしも行なわれない。

【0020】

上記各工程において、基材１０は、Ｄ１方向に間欠搬送または連続搬送されている。本実施形態においては、基材１０がＤ１方向に搬送されているが、これに限られず、基材１０は移動せずに、各工程を行なう装置が搬送される態様であってもよい。

【0021】

以下、本発明の一実施形態に係る塗膜パターンの形成方法の各工程について詳細に説明する。

【0022】

図１に示すように、基材１０の表面１１および裏面１２にそれぞれ対向するように、２つの給液ノズル１が配置されている。２つの給液ノズル１の各々は、基材１０に対して塗液２０を連続的に塗布することができる。塗液２０は、電極活物質、導電材、バインダおよび溶剤を含んでいる。

【0023】

２つの給液ノズル１の各々から塗液２０が連続的に塗布されつつ基材１０がＤ１方向に搬送されることにより、基材１０の表面１１および裏面１２の各々においてＤ１方向に連続した塗膜３０が形成される。このように、本実施形態においては、塗膜３０を形成する工程において、基材１０の表面１１上および裏面１２上の両方に塗膜３０を形成する。

【0024】

図１に示すように、２つの給液ノズル１のそれぞれに対してＤ１方向に間隔をあけて、２つの乾燥装置２が配置されている。２つの乾燥装置２の各々は、赤外線を照射または熱風を吹き付けることにより塗膜３０を乾燥させる。なお、乾燥装置２による乾燥方法は、赤外線照射および熱風吹き付けに限られず、他の乾燥方法であってもよい。

【0025】

塗膜３０を乾燥させる工程において、乾燥装置２の近傍を塗膜３０が通過する際に、溶剤が蒸発することにより、乾燥した塗膜３１となる。乾燥した塗膜３１は、乾燥する前の塗膜３０に比較して、流動性が低下している。

【0026】

図１に示すように、２つの乾燥装置２のそれぞれに対してＤ１方向に間隔をあけて、２つの加圧装置３が配置されている。２つの加圧装置３の各々は、ロースプレスである。なお、加圧装置３は、ロールプレスに限られず、塗膜３１を基材１０の厚み方向に加圧できる装置であればよい。

【0027】

乾燥した塗膜３１を加圧する工程において、加圧装置３によって基材１０の厚み方向に加圧された塗膜３１は、薄くなるとともに密度が高くなって、さらに流動性が低下する。なお、乾燥した塗膜３１は、乾燥前の塗膜３０に比較して粘着性が低下しているため、乾燥後に塗膜３１を加圧することにより、加圧装置３への塗膜３１の付着を抑制することができる。

【0028】

図１に示すように、２つの加圧装置３のそれぞれに対してＤ１方向に間隔をあけて、２つの噴射ノズル１９０が配置されている。２つの噴射ノズル１９０の各々は、ドライアイス微粒子を含む混合ガスを吹き付ける。

【0029】

ここで、噴射ノズル１９０を備えるドライアイススノー洗浄装置の構成について説明する。図２は、本実施形態に係るドライアイススノー洗浄装置の構成を示す模式図である。図２に示すように、本実施形態に係るドライアイススノー洗浄装置１００は、液化炭酸ガスを供給する液化炭酸ガス供給系と、噴射用ガスを供給する噴射用ガス供給系と、液化炭酸ガス供給系における下流側に設けられた絞り部１４０と、液化炭酸ガス供給系と噴射用ガス供給系とを接続し、絞り部１４０を通過して生成されたドライアイス微粒子を含む炭酸ガスと噴射用ガスとを混合して混合ガスを生成する混合部１８０と、混合部１８０と接続された噴射ノズル１９０とを備える。

【0030】

液化炭酸ガス供給系は、液化炭酸ガスを貯蔵する液化炭酸ガス貯蔵容器１１０と、液化炭酸ガス貯蔵容器１１０に接続されて液化炭酸ガスの流路となる液化炭酸ガス管１２０と、液化炭酸ガス管１２０の途中に設けられた第１開閉部１３０と、液化炭酸ガス管１２０の下流側に設けられた絞り部１４０とを含む。液化炭酸ガス供給系は、液化炭酸ガス管１２０の内部の圧力を測定する圧力計、および、圧力計の下流側に設けられ、液化炭酸ガス中の不純物を取り除くフィルタをさらに含む。

【0031】

第１開閉部１３０は、手動で開閉可能なバルブにて構成されている。ただし、第１開閉部１３０が、自動で開閉可能なバルブにて構成されていてもよい。絞り部１４０は、オリフィス板またはニードル弁などの液化炭酸ガスの流路を絞る部材から構成されている。絞り部１４０は、第１開閉部１３０より下流側に設けられている。

【0032】

噴射用ガス供給系は、噴射用ガスを供給する噴射用ガス供給源１５０と、噴射用ガス供給源１５０に接続されて噴射用ガスの流路となる噴射用ガス管１６０と、噴射用ガス管１６０の途中に設けられた第２開閉部１７０とを含む。噴射用ガス供給系は、噴射用ガス管１６０の内部の圧力を測定する圧力計、および、圧力計の下流側に設けられ、噴射用ガス中の不純物を取り除くフィルタをさらに含む。

【0033】

噴射用ガス管１６０は、必要に応じてヒータなどの加熱器により加熱される。噴射用ガス管１６０を加熱することにより、被洗浄物の種類および状態に応じて洗浄効果が高まるように噴射用ガスの温度を調整できるとともに被洗浄物が結露することを抑制できる。

【0034】

第２開閉部１７０は、手動で開閉可能なバルブにて構成されている。ただし、第２開閉部１７０が、自動で開閉可能なバルブにて構成されていてもよい。噴射用ガスとしては、たとえば、ドライエアー、窒素ガス、アルゴンガスまたは炭酸ガスなど、炭酸ガスに対して不活性なガスを用いることができる。

【0035】

混合部１８０は、液化炭酸ガス管１２０の先端、噴射用ガス管１６０の先端および噴射ノズル１９０の後端の各々と、気密に接続されている。混合部１８０は、円筒状の形状を有している。

【0036】

噴射ノズル１９０は、手動または自動で移動可能に構成されている。また、噴射ノズル１９０においては、ノズル形状を変更することにより、スポット噴射および広角噴射を選択的に行なうことができる。

【0037】

以下、本実施形態に係るドライアイススノー洗浄装置１００の動作について説明する。まず、液化炭酸ガス供給系においては、液化炭酸ガス貯蔵容器１１０から液化炭酸ガス管１２０内に液化炭酸ガスを流入させる。液化炭酸ガス管１２０に設けられた圧力計によって、液化炭酸ガス管１２０内の液化炭酸ガスの圧力が測定される。

【0038】

次に、第１開閉部１３０が開いて、液化炭酸ガス管１２０内の液化炭酸ガスは、絞り部１４０を通過する。絞り部１４０を通過した液化炭酸ガスは、断熱膨張して冷却される。その結果、ドライアイス微粒子が生成される。ドライアイス微粒子を含む炭酸ガスは、混合部１８０の内部に流入する。

【0039】

噴射用ガス供給系においては、噴射用ガス供給源１５０から噴射用ガス管１６０内に噴射用ガスを流入させる。噴射用ガス管１６０に設けられた圧力計によって、噴射用ガス管１６０内の噴射用ガスの圧力が測定される。次に、第２開閉部１７０が開いて、噴射用ガス管１６０内の噴射用ガスは、混合部１８０の内部に流入する。

【0040】

混合部１８０において、ドライアイス微粒子を含む炭酸ガスと噴射用ガスとは混合されて混合ガスになる。混合部１８０にて生成された混合ガスは、噴射ノズル１９０の内部に流入する。噴射ノズル１９０から、ドライアイス微粒子を含む混合ガスを吹き付けられる。

【0041】

図３は、本発明の一実施形態に係る塗膜パターンの形成方法における塗膜をパターニングする工程を行なっている状態を示す平面図である。図３に示すように、塗膜３１をパターニングする工程においては、噴射ノズル１９０からドライアイス微粒子を含む混合ガスを吹き付けられた塗膜３１の一部が除去されて基材１０の一部である露出部１０ａが現れる。すなわち、露出部１０ａを形成することによって、塗膜３１をパターニングすることができる。

【0042】

本実施形態においては、塗膜３１をパターニングする工程において、基材１０および噴射ノズル１９０を塗膜３１の連続方向に等速搬送しつつ噴射ノズル１９０を基材１０に沿って上記連続方向と交差する方向に移動させることにより、塗膜３１の一部を除去する。

【0043】

具体的には、基材１０を塗膜３１の連続方向(Ｄ１方向)に搬送する速度と、噴射ノズル１９０を塗膜３１の連続方向(Ｄ２１方向)に搬送する速度とが、互いに等しい。さらに、噴射ノズル１９０は、基材１０に沿って上記連続方向と交差する方向(Ｄ２２方向)にも移動する。すなわち、噴射ノズル１９０は、Ｄ２１方向とＤ２２方向とが合成されたＤ２方向に移動する。このようにすることにより、基材１０を連続して搬送しつつ、噴射ノズル１９０によって、塗膜３１をパターニングすることができる。なお、基材１０を間欠的に搬送し、基材１０が停止している間に塗膜３１をパターニングしてもよい。

【0044】

本実施形態においては、塗膜３１をパターニングする工程において、２つの噴射ノズル１９０から基材１０の表面１１側および裏面１２側の両方に同時に混合ガスを吹き付けることにより、基材１０の表面１１上および裏面１２上の両方の塗膜３１の一部を除去する。なお、基材１０の表面１１上の塗膜３１と、基材１０の裏面１２上の塗膜３１との、パターニング形状が互いに異なっていてもよい。

【0045】

また、塗膜３１をパターニングする工程において、マスク部材を用いてもよい。図４は、本発明の一実施形態の変形例に係る塗膜パターンの形成方法における塗膜をパターニングする工程をマスク部材を用いて行なっている状態を示す平面図である。

【0046】

図４に示すように、本発明の一実施形態の変形例に係る塗膜パターンの形成方法においては、塗膜３１をパターニングする工程において、基材１０上にマスク部材４を配置した状態で噴射ノズル１９０によって混合ガスを吹き付けることにより、マスク部材４に覆われていない塗膜３１の一部を除去する。

【0047】

(実験例)
以下、本実施形態および変形例に係る塗膜パターンの形成方法において、パターニング条件を変えて塗膜を形成した実験結果について説明する。表１は、実験例に係るパターニング条件をまとめたものである。

【0048】

【表1】

【0049】

表１に示すように、９つの試料について、乾燥した塗膜３１のパターニングを行なった。各試料において、基材は銅箔、塗膜はカーボン膜で形成した。パターニング条件としては、パターニング工程の前の加圧工程の有無、噴射ノズルの噴射形態、噴射用ガスの圧力、基材に対する噴射ノズルの搬送速度、基材と噴射ノズルの先端との距離である噴射距離、マスク部材の有無について、表１のとおりとした。

【0050】

図５は、試料Ｎｏ．１の塗膜パターンの拡大図である。図６は、図５のＶＩ部の拡大図である。図７は、試料Ｎｏ．２の塗膜パターンの拡大図である。図８は、図７のＶＩＩＩ部の拡大図である。図９は、試料Ｎｏ．３の塗膜パターンの拡大図である。図１０は、試料Ｎｏ．４の塗膜パターンの拡大図である。図１１は、試料Ｎｏ．５の塗膜パターンの拡大図である。図１２は、試料Ｎｏ．６の塗膜パターンの拡大図である。図１３は、試料Ｎｏ．７の塗膜パターンの拡大図である。

【0051】

図５～図１３に示すように、噴射ノズル１９０からドライアイス微粒子を含む混合ガスを吹き付けて形成された塗膜パターンの輪郭は、拡大すると局所的な凹凸はあるものの、粗くいびつになることが抑制されていることが確認できた。

【0052】

特に、マスク部材４を用いてパターニングした場合は、マスク部材４を用いずにパターニングした場合と比較して、塗膜パターンの輪郭が粗くいびつになることがさらに抑制されていることが確認できた。

【0053】

また、パターニング工程の前に加圧工程をした場合は、パターニング工程の前に加圧工程をしない場合に比較して、塗膜パターンの輪郭が粗くいびつになることがさらに抑制されていることが確認できた。図１２および図１３に示すように、パターニング工程の前に加圧工程をしない場合は、カーボン膜を十分に除去できていない局所的な除去ムラ部Ｎが確認された。

【0054】

スポット噴射した場合は、広角噴射した場合に比較して、露出部１０ａの幅は狭いものの、塗膜パターンの輪郭が粗くいびつになることがさらに抑制されていることが確認できた。

【0055】

図９および図１０に示すように、広角噴射した場合は、カーボン膜を十分に除去できていない局所的な除去ムラ部Ｎが確認された。図１１に示すように、広角噴射において、噴射距離を短くすることで、局所的な除去ムラ部Ｎが現れることが抑制されていることが確認できた。

【0056】

なお、パターニング条件として、たとえば、噴射用ガスの圧力は０．２ＭＰａ以上０．６ＭＰａ以下の範囲、噴射距離は１０ｍｍ以上５０ｍｍ以下の範囲、および、搬送速度は１ｍｍ／ｓ以上１００ｍｍ／ｓ以下の範囲で、適宜選択可能である。

【0057】

本実施の形態に係る塗膜パターンの形成方法は、基材１０に対して塗液２０を連続的に塗布して連続した塗膜３０を形成する工程と、塗膜３０を乾燥させる工程と、噴射ノズル１９０からドライアイス微粒子を含む混合ガスを吹き付けることにより、乾燥した塗膜３１の一部を除去して塗膜３１をパターニングする工程とを備える。これにより、塗膜パターンの輪郭が粗くいびつになることを抑制することができる。

【0058】

本実施の形態に係る塗膜パターンの形成方法においては、塗膜３１をパターニングする工程において、基材１０および噴射ノズル１９０を塗膜３１の連続方向に等速搬送しつつ噴射ノズル１９０を基材１０に沿って上記連続方向と交差する方向に移動させることにより、塗膜３１の一部を除去する。これにより、基材１０の搬送を停止することなく塗膜３１のパターニングをすることができ、塗膜パターンを効率的に形成することができる。

【0059】

本実施の形態の変形例に係る塗膜パターンの形成方法においては、塗膜３１をパターニングする工程において、基材１０上にマスク部材４を配置した状態で噴射ノズル１９０によって混合ガスを吹き付けることにより、マスク部材４に覆われていない塗膜３１の一部を除去する。これにより、塗膜パターンの輪郭が粗くいびつになることをさらに抑制することができる。

【0060】

本実施の形態に係る塗膜パターンの形成方法においては、塗膜３０を形成する工程において、基材１０の表面１１上および裏面１２上の両方に塗膜３０を形成し、塗膜３１をパターニングする工程において、２つの噴射ノズル１９０から基材１０の表面１１側および裏面１２側の両方に同時に混合ガスを吹き付けることにより、基材１０の表面１１上および裏面１２上の両方の塗膜３１の一部を除去する。これにより、基材１０の表面１１側および裏面１２側の両方に同時に塗膜パターンを形成することができるとともに、基材１０の表面１１側および裏面１２側の互いに重なって位置する塗膜パターン同士の位置精度を高く保持することができる。

【0061】

本実施の形態に係る塗膜パターンの形成方法は、塗膜３１をパターニングする工程の前に、乾燥した塗膜３１を加圧する工程をさらに備える。これにより、塗膜パターンの輪郭が粗くいびつになることをさらに抑制することができる。

【0062】

本実施の形態に係る塗膜パターンの形成方法においては、基材１０は、金属箔であり、塗膜３１は、電極活物質を含む電極組成物で構成されている。これにより、露出部１０ａに集電タブを貼り付け可能な電池用電極を製造することができる。電池用電極における塗膜パターンの輪郭が粗くいびつである場合、電池が充放電する際に塗膜パターンの輪郭がいびつな箇所で局所的な電気化学反応が起きて電池用電極が劣化する。本実施の形態に係る塗膜パターンの形成方法を用いて電池用電極を製造することにより、塗膜パターンの輪郭が粗くいびつになることを抑制して、電池の寿命を長くすることができる。

【0063】

本発明に係る塗膜パターン形成方法を用いた電池用電極は、リチウムイオン電池などの蓄電池に用いることで、自然エネルギー由来の電力の平準化およびエネルギー回生に寄与し、化石資源の使用量削減およびエネルギー効率の改善に関する持続的な開発目標(ＳＤＧｓ：Sustainable Development Goals)に貢献することができる。

【0064】

なお、今回開示した上記実施形態はすべての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態のみによって解釈されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

【符号の説明】

【0065】

１ 給液ノズル、２ 乾燥装置、３ 加圧装置、４ マスク部材、１０ 基材、１０ａ 露出部、１１ 表面、１２ 裏面、２０ 塗液、３０，３１ 塗膜、１００ ドライアイススノー洗浄装置、１１０ 液化炭酸ガス貯蔵容器、１２０ 液化炭酸ガス管、１３０ 第１開閉部、１４０ 部、１５０ 噴射用ガス供給源、１６０ 噴射用ガス管、１７０ 第２開閉部、１８０ 混合部、１９０ 噴射ノズル、Ｎ 除去ムラ部。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】