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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023096847
(43)【公開日】2023-07-07
(54)【発明の名称】光導波路の製造方法
(51)【国際特許分類】
G02B 6/132 20060101AFI20230630BHJP
【ＦＩ】
G02B6/132
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021212866
(22)【出願日】2021-12-27
(71)【出願人】
【識別番号】000002141
【氏名又は名称】住友ベークライト株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100091292
【弁理士】
【氏名又は名称】増田 達哉
(74)【代理人】
【識別番号】100091627
【弁理士】
【氏名又は名称】朝比 一夫
(72)【発明者】
【氏名】尾張 洋史
【テーマコード（参考）】
2H147
【Ｆターム（参考）】
2H147CC12
2H147CD02
2H147EA16A
2H147EA16B
2H147EA16D
2H147EA17A
2H147EA17B
2H147EA17D
2H147EA18A
2H147EA18B
2H147EA19A
2H147EA19B
2H147EA20A
2H147EA20B
2H147EA20D
2H147EA22D
2H147EA45A
2H147EA45B
2H147FA15
2H147FA16
2H147FA17
2H147FA25
2H147FB04
2H147FC07
2H147FD08
2H147FD13
2H147FD14
2H147FD15
2H147FD16
2H147FD18
2H147FE01
2H147FE02
2H147FE03
2H147FE06
2H147FE07
2H147FF05
2H147GA17
(57)【要約】 （修正有）
【課題】コアフィルムとクラッドフィルムとを熱圧着するとき、クラッド形成用材料の成形性を短時間に高めつつ、接着界面の空気を効率よく掃き出すことができ、接着不良の少ない光導波路を製造することができる光導波路の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路の製造方法は、第１基材１００とコア層１３とを有するコアフィルム２００、および、第２基材１９とクラッド形成層１７０とを有するクラッドフィルム４０２、を用意する工程と、コア層１３とクラッド形成層１７０とが接するように、コアフィルム２００およびクラッドフィルム４０２を積層方向に重ねて、積層体１８０を得る工程と、積層体１８０に対し、加熱されている金属製ローラーを積層方向に押し付けながら走査し、コア層１３とクラッド形成層１７０とを接着し、接着体を得る工程と、接着体を加熱することにより、クラッド形成層１７０からクラッド層を得る工程と、を有する。
【選択図】図４
【解決手段】本発明の光導波路の製造方法は、第１基材１００とコア層１３とを有するコアフィルム２００、および、第２基材１９とクラッド形成層１７０とを有するクラッドフィルム４０２、を用意する工程と、コア層１３とクラッド形成層１７０とが接するように、コアフィルム２００およびクラッドフィルム４０２を積層方向に重ねて、積層体１８０を得る工程と、積層体１８０に対し、加熱されている金属製ローラーを積層方向に押し付けながら走査し、コア層１３とクラッド形成層１７０とを接着し、接着体を得る工程と、接着体を加熱することにより、クラッド形成層１７０からクラッド層を得る工程と、を有する。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１基材と前記第１基材に積層されているコア層とを有するコアフィルム、および、第２基材と前記第２基材に積層されているクラッド形成層とを有するクラッドフィルム、を用意する工程と、
前記コア層と前記クラッド形成層とが接するように、前記コアフィルムおよび前記クラッドフィルムを積層方向に重ねて、積層体を得る工程と、
前記積層体に対し、加熱されている金属製ローラーを前記積層方向に押し付けながら走査方向に相対的に走査し、前記クラッド形成層を軟化させることにより、前記コア層と前記クラッド形成層とを接着し、接着体を得る工程と、
前記接着体を加熱することにより、前記クラッド形成層からクラッド層を得る工程と、
を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
前記コア層と前記クラッド形成層とが接するように、前記コアフィルムおよび前記クラッドフィルムを積層方向に重ねて、積層体を得る工程と、
前記積層体に対し、加熱されている金属製ローラーを前記積層方向に押し付けながら走査方向に相対的に走査し、前記クラッド形成層を軟化させることにより、前記コア層と前記クラッド形成層とを接着し、接着体を得る工程と、
前記接着体を加熱することにより、前記クラッド形成層からクラッド層を得る工程と、
を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
【請求項2】
前記積層体の前記金属製ローラーとは反対側に、平板を配置し、
前記積層体を、前記金属製ローラーと前記平板とで挟んで、前記積層体を押圧する請求項１に記載の光導波路の製造方法。
前記積層体を、前記金属製ローラーと前記平板とで挟んで、前記積層体を押圧する請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項3】
前記平板は、金属板である請求項２に記載の光導波路の製造方法。
【請求項4】
前記コア層と前記クラッド形成層とを接着する工程は、
前記金属製ローラーと対向ローラーとの間で前記積層体を前記積層方向に押し付けながら前記金属製ローラーを前記走査方向に相対的に走査し、前記クラッド形成層を軟化させる操作を含む請求項１に記載の光導波路の製造方法。
前記金属製ローラーと対向ローラーとの間で前記積層体を前記積層方向に押し付けながら前記金属製ローラーを前記走査方向に相対的に走査し、前記クラッド形成層を軟化させる操作を含む請求項１に記載の光導波路の製造方法。
【請求項5】
前記金属製ローラーを前記積層体に押し付けるときの線圧は、５～２０ｋＮ／ｍである請求項１ないし４のいずれか１項に記載の光導波路の製造方法。
【請求項6】
前記金属製ローラーの直径は、２０～８０ｍｍである請求項１ないし５のいずれか１項に記載の光導波路の製造方法。
【請求項7】
前記コア層は、第１光入出射面および第２光入出射面と、これらを互いにつなぐ長尺状のコア部と、を含み、
前記走査方向は、前記第１光入出射面から前記第２光入出射面に向かう方向である請求項１ないし６のいずれか１項に記載の光導波路の製造方法。
前記走査方向は、前記第１光入出射面から前記第２光入出射面に向かう方向である請求項１ないし６のいずれか１項に記載の光導波路の製造方法。
【請求項8】
前記クラッド形成層は、１４０℃で１秒間加熱されたときの粘度が２００～６００Ｐａ・ｓである請求項１ないし７のいずれか１項に記載の光導波路の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、光導波路の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、コア層と、コア層を挟んで配置される２つのクラッド層と、を備える光導波路の製造方法が開示されている。この製造方法は、具体的には、コアフィルム支持基材上にコア形成用フィルムを作製する工程と、クラッドフィルム支持基材上にクラッド形成用材料を塗布してクラッドフィルムを作製する工程と、コア形成用フィルムに対し、選択的に光を照射する工程と、光が照射されたコア形成用フィルムを加熱し、コアフィルムを得る工程と、コアフィルムにクラッドフィルムを重ねて熱圧着する工程と、を有する。
【0003】
また、特許文献１には、自動ローラーを用いてコアフィルムとクラッドフィルムとを仮貼りした後、シリコンラバーによるラミネーターを用いて加熱および加圧し、コアフィルムとクラッドフィルムとを熱圧着することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】国際公開第２０１２／０８１３７５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
シリコンラバーによるラミネーターを用いると、コアフィルムおよびクラッドフィルムが面内全体において、ほぼ同時に加熱および加圧が開始される。このため、特にフィルムの中央部において、接着界面に気泡が残留することが懸念される。
【0006】
また、減圧雰囲気下で圧着することにより、気泡の残留を減らすこともできるが、目標の圧力まで減圧するのに時間がかかるため、熱圧着する工程のスループットが低下するという課題が生じる。
【0007】
さらに、シリコンラバーを介してクラッドフィルムを加熱する必要があるため、目的とする温度に昇温するまで時間を要する。このため、加圧が完了する前にクラッド形成用材料の硬化反応が進行し、クラッド形成用材料の成形性（形状追従性）が低下する。そうすると、例えばコアフィルムの接着面に凹凸があった場合、クラッド形成用材料による凹凸の充填が不十分になる。その結果、接着不良が発生することが懸念される。
【0008】
本発明の目的は、コアフィルムとクラッドフィルムとを熱圧着するとき、クラッド形成用材料の成形性を短時間に高めつつ、接着界面の空気等を排出することができ、接着不良の少ない光導波路を効率よく製造することができる光導波路の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
このような目的は、下記（１）～（８）の本発明により達成される。
（１） 第１基材と前記第１基材に積層されているコア層とを有するコアフィルム、および、第２基材と前記第２基材に積層されているクラッド形成層とを有するクラッドフィルム、を用意する工程と、
前記コア層と前記クラッド形成層とが接するように、前記コアフィルムおよび前記クラッドフィルムを積層方向に重ねて、積層体を得る工程と、
前記積層体に対し、加熱されている金属製ローラーを前記積層方向に押し付けながら走査方向に相対的に走査し、前記クラッド形成層を軟化させることにより、前記コア層と前記クラッド形成層とを接着し、接着体を得る工程と、
前記接着体を加熱することにより、前記クラッド形成層からクラッド層を得る工程と、
を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
（１） 第１基材と前記第１基材に積層されているコア層とを有するコアフィルム、および、第２基材と前記第２基材に積層されているクラッド形成層とを有するクラッドフィルム、を用意する工程と、
前記コア層と前記クラッド形成層とが接するように、前記コアフィルムおよび前記クラッドフィルムを積層方向に重ねて、積層体を得る工程と、
前記積層体に対し、加熱されている金属製ローラーを前記積層方向に押し付けながら走査方向に相対的に走査し、前記クラッド形成層を軟化させることにより、前記コア層と前記クラッド形成層とを接着し、接着体を得る工程と、
前記接着体を加熱することにより、前記クラッド形成層からクラッド層を得る工程と、
を有することを特徴とする光導波路の製造方法。
【0010】
（２） 前記積層体の前記金属製ローラーとは反対側に、平板を配置し、
前記積層体を、前記金属製ローラーと前記平板とで挟んで、前記積層体を押圧する上記（１）に記載の光導波路の製造方法。
前記積層体を、前記金属製ローラーと前記平板とで挟んで、前記積層体を押圧する上記（１）に記載の光導波路の製造方法。
【0011】
（３） 前記平板は、金属板である上記（２）に記載の光導波路の製造方法。
【0012】
（４） 前記コア層と前記クラッド形成層とを接着する工程は、
前記金属製ローラーと対向ローラーとの間で前記積層体を前記積層方向に押し付けながら前記金属製ローラーを前記走査方向に相対的に走査し、前記クラッド形成層を軟化させる操作を含む上記（１）に記載の光導波路の製造方法。
前記金属製ローラーと対向ローラーとの間で前記積層体を前記積層方向に押し付けながら前記金属製ローラーを前記走査方向に相対的に走査し、前記クラッド形成層を軟化させる操作を含む上記（１）に記載の光導波路の製造方法。
【0013】
（５） 前記金属製ローラーを前記積層体に押し付けるときの線圧は、５～２０ｋＮ／ｍである上記（１）ないし（４）のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
【0014】
（６） 前記金属製ローラーの直径は、２０～８０ｍｍである上記（１）ないし（５）のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
【0015】
（７） 前記コア層は、第１光入出射面および第２光入出射面と、これらを互いにつなぐ長尺状のコア部と、を含み、
前記走査方向は、前記第１光入出射面から前記第２光入出射面に向かう方向である上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
前記走査方向は、前記第１光入出射面から前記第２光入出射面に向かう方向である上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
【0016】
（８） 前記クラッド形成層は、１４０℃で１秒間加熱されたときの粘度が２００～６００Ｐａ・ｓである上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の光導波路の製造方法。
【発明の効果】
【0017】
本発明によれば、コアフィルムとクラッドフィルムとを熱圧着するとき、クラッド形成用材料の成形性を短時間に高めつつ、接着界面の空気等を排出することができ、接着不良の少ない光導波路を効率よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
【図1】実施形態に係る光導波路の製造方法により製造される光導波路を示す平面図である。
【図3】実施形態に係る光導波路の製造方法について説明するための工程図である。
【図9】クラッド形成層を１４０℃で加熱した時間（加熱時間）と、軟化したクラッド形成層の粘度と、の関係の一例を示すグラフである。
【図10】変形例に係る光導波路の製造方法を示す断面図である。
【図11】変形例に係る光導波路の製造方法を示す断面図である。
【図12】変形例に係る光導波路の製造方法を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、本発明の光導波路の製造方法について添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
【0020】
【0021】
なお、本願の各図では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を設定し、矢印で示している。また、矢印の先端側を「プラス側」といい、基端側を「マイナス側」という。さらに、説明の便宜のため、Ｚ軸を表す矢印の先端側を「上」といい、基端側を「下」という。なお、以下の説明における「上」および「下」は、光導波路の製造時または使用時において、鉛直方向に対する姿勢を限定するものではない。
【0022】
１．光導波路
図１および図２に示す光導波路１は、シート状をなしており、下側カバー層１８、下側クラッド層１１、コア層１３、上側クラッド層１２および上側カバー層１９がこの順で積層されている積層構造を備える。光導波路１が備える各層は、Ｘ－Ｙ面に沿って広がっている。光導波路１は、例えば、Ｘ軸に長軸を有する長尺状の樹脂フィルムであり、可撓性を有する。このため、光導波路１は、例えば、Ｙ軸まわりの円周に沿って曲げた状態でも使用可能である。
図１および図２に示す光導波路１は、シート状をなしており、下側カバー層１８、下側クラッド層１１、コア層１３、上側クラッド層１２および上側カバー層１９がこの順で積層されている積層構造を備える。光導波路１が備える各層は、Ｘ－Ｙ面に沿って広がっている。光導波路１は、例えば、Ｘ軸に長軸を有する長尺状の樹脂フィルムであり、可撓性を有する。このため、光導波路１は、例えば、Ｙ軸まわりの円周に沿って曲げた状態でも使用可能である。
【0023】
コア層１３は、図１に示すように、Ｘ軸に沿って延在する９本の長尺状のコア部１４と、各コア部１４の側面に隣接する側面クラッド部１５と、を含む。したがって、コア部１４のうち、Ｙ軸方向の両側面には、いずれも側面クラッド部１５が隣接している。また、図２に示すように、コア部１４の下面には下側クラッド層１１が隣接し、コア部１４の上面には上側クラッド層１２が隣接している。これにより、コア部１４とクラッド部（側面クラッド部１５、下側クラッド層１１および上側クラッド層１２）との間には、十分に大きい屈折率差が安定的に維持され、コア部１４の伝送効率が高くなる。なお、コア部１４は、コア層１３中において、途中で分岐していてもよいし、途中で他のコア部１４と交差していてもよい。
【0024】
なお、コア層１３中に設けられるコア部１４の数は、特に限定されず、例えば１～１００本程度とされる。また、光導波路１のＸ軸に沿った全長は、特に限定されないが、１０～３０００ｍｍ程度であるのが好ましい。さらに、光導波路１のＹ軸に沿った全幅は、特に限定されないが、２～２００ｍｍ程度であるのがより好ましい。
【0025】
コア層１３のＺ軸に沿った膜厚は、特に限定されないが、１～２００μｍ程度であるのが好ましく、５～１００μｍ程度であるのがより好ましく、１０～７０μｍ程度であるのがさらに好ましい。これにより、コア層１３に必要とされる光学的特性および機械的強度が確保される。
【0026】
下側クラッド層１１および上側クラッド層１２のＺ軸に沿った膜厚は、それぞれ１～２００μｍ程度であるのが好ましく、３～１００μｍ程度であるのがより好ましく、５～５０μｍ程度であるのがさらに好ましい。これにより、下側クラッド層１１および上側クラッド層１２に必要とされる光学的特性および機械的強度が確保される。また、下側クラッド層１１および上側クラッド層１２をクラッド形成層から形成するとき、クラッド形成層の良好な形状追従性を確保することができるので、コア層１３に対する下側クラッド層１１および上側クラッド層１２の密着性を高めることができる。さらに、下側クラッド層１１および上側クラッド層１２をクラッド形成層から形成するとき、クラッド形成層の硬化収縮量が大きくなりすぎるのを抑制し、その影響がコア層１３に及ぶのを抑制することができる。
【0027】
光導波路１は、Ｘ軸マイナス側の端部に位置する端面１０１（第１光入出射面）と、Ｘ軸プラス側の端部に位置する端面１０２（第２光入出射面）と、を有する。端面１０１、１０２は、それぞれ光入出射面として機能する。
【0028】
光導波路１の両端部の少なくとも一方には、図示しない光コネクターが装着されていてもよい。光コネクターを介して、光導波路１と他の光学部品とを固定するとともに、端面１０１、１０２と他の光学部品との間を光学的に接続することができる。また、光導波路１は、コア部１４を通過する光の光路を変換するミラーを有していてもよい。ミラーを介して光路を変換することにより、コア部１４と、光導波路１の外部に設けられた光学部品と、を光学的に接続することができる。
【0029】
下側カバー層１８は、下側クラッド層１１の下面に積層されている。上側カバー層１９は、上側クラッド層１２の上面に積層されている。これにより、光導波路１の機械的特性や耐久性を高めることができる。なお、下側カバー層１８および上側カバー層１９の少なくとも一方は、省略されていてもよい。
【0030】
光導波路１のＺ軸に沿った膜厚は、５０～３００μｍであるのが好ましく、６０～２００μｍであるのがより好ましく、７０～１５０μｍであるのがさらに好ましい。これにより、光導波路１の可撓性を高めつつ、光導波路１の機械的強度を十分に確保することができる。
【0031】
以下、光導波路１の各部についてさらに詳述する。
２．光導波路の製造方法
次に、実施形態に係る光導波路の製造方法について説明する。以下の説明では、図１および図２に示す光導波路１の製造方法を例にして説明する。
２．光導波路の製造方法
次に、実施形態に係る光導波路の製造方法について説明する。以下の説明では、図１および図２に示す光導波路１の製造方法を例にして説明する。
【0032】
図３は、実施形態に係る光導波路の製造方法について説明するための工程図である。図４ないし図７は、図３に示す光導波路の製造方法を説明するための図であって、図２に示す光導波路の一部に相当する部位の拡大図である。
【0033】
図３に示す光導波路１の製造方法は、準備工程Ｓ１０２と、上側クラッド積層工程Ｓ１０８と、上側クラッド接着工程Ｓ１０９と、上側クラッド形成工程Ｓ１１０と、剥離工程Ｓ１１２と、下側クラッド積層工程Ｓ１１４と、下側クラッド接着工程Ｓ１１５と、下側クラッド形成工程Ｓ１１６と、を有する。
【0034】
準備工程Ｓ１０２では、コア基材１００（第１基材）とコア層１３とを有するコアフィルム２００、および、上側カバー層１９（第２基材）とクラッド形成層１７０とを有するクラッドフィルム４０１、４０２を用意する。上側クラッド積層工程Ｓ１０８では、コア層１３の上面とクラッドフィルム４０２とを積層し、積層体１８０を得る。上側クラッド接着工程Ｓ１０９では、コア層１３とクラッド形成層１７０とを接着し、接着体１８２を得る。上側クラッド形成工程Ｓ１１０では、接着体１８２を加熱し、クラッド形成層１７０から上側クラッド層１２を得る。剥離工程Ｓ１１２では、コア層１３の下面からコア基材１００を剥離する。下側クラッド積層工程Ｓ１１４では、コア層１３の下面とクラッド形成層１７０とを積層し、積層体１９０を得る。下側クラッド接着工程Ｓ１１５では、コア層１３とクラッド形成層１７０とを接着し、接着体１９２を得る。下側クラッド形成工程Ｓ１１６では、接着体１９２を加熱し、クラッド形成層１７０から下側クラッド層１１を得る。以下、各工程について順次説明する。
【0035】
２．１．準備工程
本実施形態では、図４（ａ）に示すように、コア基材１００とコア層１３とが積層されてなるコアフィルム２００を用意する。Ｚ軸マイナス側の方向を「積層方向」とするとき、コア層１３およびコア基材１００が、積層方向にこの順で積層されている。
本実施形態では、図４（ａ）に示すように、コア基材１００とコア層１３とが積層されてなるコアフィルム２００を用意する。Ｚ軸マイナス側の方向を「積層方向」とするとき、コア層１３およびコア基材１００が、積層方向にこの順で積層されている。
【0036】
また、本実施形態では、図４（ｂ）に示すように、上側カバー層１９と、上側カバー層１９の下面に積層されたクラッド形成層１７０と、を有するクラッドフィルム４０２を準備する。同様に、図６（ｈ）に示すように、下側カバー層１８と、下側カバー層１８の上面に積層されたクラッド形成層１７０と、を有するクラッドフィルム４０１を準備する。
【0037】
２．１．１．コアフィルム
図４（ａ）に示すコアフィルム２００は、コア基材１００とコア層１３とを有し、フィルム形状をなす。コアフィルム２００は、枚葉状であっても、巻き取り可能なロール状であってもよい。
図４（ａ）に示すコアフィルム２００は、コア基材１００とコア層１３とを有し、フィルム形状をなす。コアフィルム２００は、枚葉状であっても、巻き取り可能なロール状であってもよい。
【0038】
コア層１３は、いかなる方法で製造されたものであってもよい。コア層１３の形成方法としては、例えば、コア形成用樹脂組成物を用いてコア形成層を形成した後、コア形成層に活性放射線を照射し、照射領域と非照射領域との間で屈折率差を形成する方法が好ましく用いられる。この方法では、エッチング処理が不要になるため、製造効率に優れる。
【0039】
なお、コア層１３の形成方法は、フォトリソグラフィー法、複製法等であってもよい。フォトリソグラフィー法は、露光、現像技術とエッチング技術とを組み合わせて、互いに屈折率が異なる材料でコア部１４および側面クラッド部１５を形成する方法である。複製法は、例えばコアパターンを有する型を樹脂膜に押し付けてコア部１４を形成し、その後、側面クラッド部１５を形成する方法である。
【0040】
また、コア層１３に対し、必要に応じて、表面処理を施すようにしてもよい。表面処理としては、例えば、プラズマ処理、コロナ処理、紫外線照射処理、電子線照射処理等が挙げられる。
【0041】
なお、コアフィルム２００は、最終的に複数の光導波路１を切り出すことができるように、光導波路１に対応する領域を複数含んでいてもよい。この場合、光導波路１を切り出す工程を追加することにより、光導波路１をより効率よく製造することができる。
【0042】
また、図４（ａ）では、コアフィルム２００を、中間フィルム１２０を介して金属板１１０で支持する。これにより、コアフィルム２００の平坦性およびハンドリング性を高めることができる。
【0043】
２．１．１．１．コア基材
コア基材１００には、例えば、樹脂フィルムが用いられる。コア基材１００の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）のようなフッ素樹脂、ポリカーボネート、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー等が挙げられる。
コア基材１００には、例えば、樹脂フィルムが用いられる。コア基材１００の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）のようなフッ素樹脂、ポリカーボネート、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー等が挙げられる。
【0044】
なお、コア基材１００には、必要に応じて、コア層１３とコア基材１００との剥離を容易にする離型処理等が施されていてもよい。
【0045】
２．１．１．２．コア形成用樹脂組成物
コア形成層を形成するためのコア形成用樹脂組成物としては、例えば、ポリマー、モノマー、重合開始剤等を含む組成物が挙げられる。コア形成層は、コア形成用樹脂組成物をコア基材１００に塗布し、乾燥させることにより形成される。
コア形成層を形成するためのコア形成用樹脂組成物としては、例えば、ポリマー、モノマー、重合開始剤等を含む組成物が挙げられる。コア形成層は、コア形成用樹脂組成物をコア基材１００に塗布し、乾燥させることにより形成される。
【0046】
２．１．１．２．１．ポリマー
ポリマーとしては、例えば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、ＰＥＴやＰＢＴのようなポリエステル、ポリエチレンサクシネート、ポリサルフォン、ポリエーテル、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、フェノキシ樹脂等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて、ポリマーアロイ、ポリマーブレンド（混合物）、共重合体等として用いられる。
ポリマーとしては、例えば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、ＰＥＴやＰＢＴのようなポリエステル、ポリエチレンサクシネート、ポリサルフォン、ポリエーテル、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、フェノキシ樹脂等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて、ポリマーアロイ、ポリマーブレンド（混合物）、共重合体等として用いられる。
【0047】
これらの中でも、ポリマーには、アクリル系樹脂、フェノキシ樹脂、または、環状オレフィン系樹脂が好ましく用いられる。
【0048】
アクリル系樹脂としては、例えば、単官能アクリレート、多官能アクリレート、単官能メタクリレート、多官能メタクリレート、ウレタンアクリレート、ウレタンメタクリレート、エポキシアクリレート、エポキシメタクリレート、ポリエステルアクリレート、および、尿素アクリレートからなる群から選択される１種以上を含むアクリル化合物の重合体が挙げられる。また、アクリル系樹脂は、ポリエステル骨格、ポリプロピレングリコール骨格、ビスフェノール骨格、フルオレン骨格、トリシクロデカン骨格、ジシクロペンタジエン骨格等を有していてもよい。
【0049】
フェノキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＡ型エポキシ化合物またはそれらの誘導体、およびビスフェノールＦ、ビスフェノールＦ型エポキシ化合物またはそれらの誘導体を共重合成分の構成単位として含むものが挙げられる。
【0050】
ポリマーの含有量は、例えば、コア形成用樹脂組成物の固形分全体の１５質量％以上であることが好ましく、４０質量％以上であることがより好ましく、６０質量％以上であることがさらに好ましい。これにより、コア層１３の機械的特性が向上する。また、コア形成用樹脂組成物に含まれるポリマーの含有量は、コア形成用樹脂組成物の固形分全体の９５質量％以下であることが好ましく、９０質量％以下であることがより好ましい。これにより、コア層１３の光学的特性が向上する。
【0051】
コア形成用樹脂組成物の固形分全体とは、組成物中における不揮発分を指し、水や溶媒等の揮発成分を除いた残部を指す。
【0052】
２．１．１．２．２．モノマー
モノマーとしては、分子構造中に重合可能な部位を有する化合物であればよく、特に限定されないが、例えば、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ノルボルネン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー、スチレン系モノマー、光二量化モノマー等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いられる。
モノマーとしては、分子構造中に重合可能な部位を有する化合物であればよく、特に限定されないが、例えば、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ノルボルネン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー、スチレン系モノマー、光二量化モノマー等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いられる。
【0053】
これらの中でも、モノマーとしては、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、または、エポキシ系モノマーが好ましく用いられる。
【0054】
アクリル酸（メタクリル酸）系モノマーとしては、例えば、２つ以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、２官能または３官能以上の（メタ）アクリレート等が挙げられる。具体的には、例えば、脂肪族（メタ）アクリレート、脂環式（メタ）アクリレート、芳香族（メタ）アクリレート、複素環式（メタ）アクリレート、またはこれらのエトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体、カプロラクトン変性体等が挙げられる。また、分子内に、ビスフェノール骨格、ウレタン骨格等を有していてもよい。
【0055】
エポキシ系モノマーとしては、例えば、脂環族エポキシ化合物、芳香族エポキシ化合物、脂肪族エポキシ化合物等が挙げられる。
【0056】
モノマーとしては、可視光、紫外線、赤外線、レーザー光、電子線、Ｘ線等の活性放射線の照射により、照射領域において反応して反応物を生成する光重合性モノマーを用いてもよい。また、モノマーは、活性放射線の照射時において、コア形成層中の膜厚と直交する面内方向に移動可能であり、その結果として得られるコア層１３において、活性放射線の照射領域と非照射領域との間で屈折率差を生じさせるものであってもよい。
【0057】
モノマーの含有量は、ポリマー１００質量部に対し、１質量部以上７０質量部以下であることが好ましく、１０質量部以上６０質量部以下であることがより好ましい。これにより、上記の屈折率差の形成、すなわち屈折率変調をより確実に起こすことができる。
【0058】
２．１．１．２．３．重合開始剤
重合開始剤は、モノマーの重合反応または架橋反応の種類に応じて適宜選択される。重合開始剤としては、例えば、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、スチレン系モノマー等のラジカル重合開始剤、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー等のカチオン重合開始剤を用いることができる。
重合開始剤は、モノマーの重合反応または架橋反応の種類に応じて適宜選択される。重合開始剤としては、例えば、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、スチレン系モノマー等のラジカル重合開始剤、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー等のカチオン重合開始剤を用いることができる。
【0059】
ラジカル重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン類、アセトフェノン類等が挙げられる。具体的には、イルガキュア（Irgacure、登録商標）６５１、イルガキュア８１９、イルガキュア２９５９、イルガキュア１８４（以上、ＩＧＭジャパン合同会社製）等が挙げられる。
【0060】
カチオン重合開始剤としては、例えば、ジアゾニウム塩のようなルイス酸発生型のもの、ヨードニウム塩、スルホニウム塩のようなブレンステッド酸発生型のもの等が挙げられる。具体的には、アデカオプトマーＳＰ－１７０（株式会社ＡＤＥＫＡ製）、サンエイドＳＩ－１００Ｌ（三新化学工業株式会社製）、Ｒｈｏｄｏｒｓｉｌ２０７４（ローディアジャパン株式会社製）等が挙げられる。
【0061】
重合開始剤の含有量は、ポリマー１００質量部に対し、０．０１質量部以上５質量部以下であることが好ましく、０．０５質量部以上３質量部以下であることがより好ましい。これにより、コア層１３の光学的特性や機械的特性を低下させることなく、モノマーを速やかに反応させることができる。
【0062】
２．１．１．２．４．その他
コア形成用樹脂組成物は、例えば、架橋剤、増感剤（光増感剤）、触媒前駆体、助触媒、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、シランカップリング剤、塗面改良剤、熱重合禁止剤、レベリング剤、界面活性剤、着色剤、保存安定剤、可塑剤、滑剤、フィラー、無機粒子、劣化防止剤、濡れ性改良剤、帯電防止剤等をさらに含んでいてもよい。
コア形成用樹脂組成物は、例えば、架橋剤、増感剤（光増感剤）、触媒前駆体、助触媒、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、シランカップリング剤、塗面改良剤、熱重合禁止剤、レベリング剤、界面活性剤、着色剤、保存安定剤、可塑剤、滑剤、フィラー、無機粒子、劣化防止剤、濡れ性改良剤、帯電防止剤等をさらに含んでいてもよい。
【0063】
２．１．１．２．５．溶剤
上述した成分を溶剤中に添加し、撹拌することにより、ワニス状のコア形成用樹脂組成物が得られる。得られた組成物は、例えば０．２μｍの孔径を持つＰＴＦＥフィルターによるろ過処理に供されてもよい。また、得られた組成物は、各種混合機による混合処理に供されてもよい。
上述した成分を溶剤中に添加し、撹拌することにより、ワニス状のコア形成用樹脂組成物が得られる。得られた組成物は、例えば０．２μｍの孔径を持つＰＴＦＥフィルターによるろ過処理に供されてもよい。また、得られた組成物は、各種混合機による混合処理に供されてもよい。
【0064】
コア形成用樹脂組成物に含まれる溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、酢酸エチル、シクロヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサノン、テトラヒドロフラン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、セルソルブ系、カルビトール系、アニソール、Ｎ－メチルピロリドン等の有機溶剤が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上の混合物が用いられる。
【0065】
２．１．２．金属板
図４（ａ）に示す金属板１１０は、中間フィルム１２０を介してコアフィルム２００を支持する支持板である。このような金属板１１０を用いることにより、コアフィルム２００のハンドリング性を高めることができる。これにより、コアフィルム２００を搬送装置で搬送する操作が容易になる。
図４（ａ）に示す金属板１１０は、中間フィルム１２０を介してコアフィルム２００を支持する支持板である。このような金属板１１０を用いることにより、コアフィルム２００のハンドリング性を高めることができる。これにより、コアフィルム２００を搬送装置で搬送する操作が容易になる。
【0066】
金属板１１０は、樹脂板やガラス板等に比べて、剛性に優れる。このため、金属板１１０でコアフィルム２００を支持することにより、コアフィルム２００の平坦性を高めることができる。
【0067】
金属板１１０が含む金属材料としては、あらゆる金属材料が挙げられるが、例えば、アルミニウム、鉄、銅、銀、チタン、マグネシウム、亜鉛、スズ、ニッケル等の単体、またはこれらを含む合金もしくは金属間化合物等が挙げられる。このうち、金属材料は、アルミニウムまたはアルミニウム合金であるのが好ましい。これらは、軽量であり、かつ、耐薬品性に優れる。このため、これらのアルミニウム系材料を含む金属板１１０は、搬送容易性および耐久性が高い。
【0068】
なお、金属板１１０は、金属材料以外の材料、例えば、セラミックス材料、ガラス材料、樹脂材料、ケイ素材料、炭素材料等を含んでいてもよい。
【0069】
２．１．３．中間フィルム
図４（ａ）に示す中間フィルム１２０は、コアフィルム２００と金属板１１０との間に設けられ、これらを互いに固定するフィルムである。このような中間フィルム１２０を用いることにより、金属板１１０に対するコアフィルム２００の固定や解除を容易に行うことができる。
図４（ａ）に示す中間フィルム１２０は、コアフィルム２００と金属板１１０との間に設けられ、これらを互いに固定するフィルムである。このような中間フィルム１２０を用いることにより、金属板１１０に対するコアフィルム２００の固定や解除を容易に行うことができる。
【0070】
２．１．４．クラッドフィルム
クラッドフィルム４０１は、下側カバー層１８とクラッド形成層１７０との積層体である。クラッドフィルム４０２は、上側カバー層１９とクラッド形成層１７０との積層体である。これらのクラッドフィルム４０１、４０２は、フィルム形状であり、枚葉状であっても、巻き取り可能なロール状であってもよい。
クラッドフィルム４０１は、下側カバー層１８とクラッド形成層１７０との積層体である。クラッドフィルム４０２は、上側カバー層１９とクラッド形成層１７０との積層体である。これらのクラッドフィルム４０１、４０２は、フィルム形状であり、枚葉状であっても、巻き取り可能なロール状であってもよい。
【0071】
クラッド形成層１７０の形成方法としては、例えば、ワニス状のクラッド形成用樹脂組成物をカバー層上に塗布した後、乾燥させる方法、カバー層上に樹脂膜を積層する方法等が挙げられる。
【0072】
樹脂組成物を塗布する方法では、例えば、スピンコーター、ダイコーター、コンマコーター、カーテンコーター等の各種コーターを用いて塗布する方法、スクリーン印刷のような印刷方法等が用いられる。
【0073】
樹脂膜を積層する方法では、ワニス状のクラッド形成用樹脂組成物から作製したフィルム状の樹脂膜を、例えばロールラミネート、真空ロールラミネート、平板ラミネート、真空平板ラミネート、常圧プレス、真空プレス等を用いて積層する方法等が用いられる。
【0074】
２．１．４．１．カバー層
下側カバー層１８および上側カバー層１９の膜厚は、特に限定されないが、１～２００μｍ程度であるのが好ましく、３～１００μｍ程度であるのがより好ましく、５～５０μｍ程度であるのがさらに好ましい。各カバー層の膜厚が前記範囲内であれば、下側カバー層１８および上側カバー層１９によってコア層１３等を保護する能力を確保しつつ、光導波路１が厚くなりすぎることの弊害、例えば光導波路１の可撓性が低下すること等を抑制することができる。
下側カバー層１８および上側カバー層１９の膜厚は、特に限定されないが、１～２００μｍ程度であるのが好ましく、３～１００μｍ程度であるのがより好ましく、５～５０μｍ程度であるのがさらに好ましい。各カバー層の膜厚が前記範囲内であれば、下側カバー層１８および上側カバー層１９によってコア層１３等を保護する能力を確保しつつ、光導波路１が厚くなりすぎることの弊害、例えば光導波路１の可撓性が低下すること等を抑制することができる。
【0075】
下側カバー層１８および上側カバー層１９の膜厚は、互いに異なっていてもよいが、互いに同じであるのが好ましい。これにより、膜厚の違いに伴う光導波路１の反りを抑制することができる。なお、膜厚が同じとは、膜厚の差が５μｍ以下であることをいう。
【0076】
下側カバー層１８および上側カバー層１９の主材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、ポリイミド、ポリアミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）のようなフッ素樹脂、ポリカーボネート、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、液晶ポリマー等の各種樹脂を含む材料が挙げられる。
【0077】
下側カバー層１８および上側カバー層１９の主材料は、互いに異なっていてもよいが、互いに同じであるのが好ましい。これにより、主材料の違いに伴う光導波路１の反りを抑制することができる。
【0078】
下側カバー層１８および上側カバー層１９の弾性率は、１～１２ＧＰａであるのが好ましく、２～１１ＧＰａであるのがより好ましく、３～１０ＧＰａであるのがさらに好ましい。なお、上記弾性率は、ＪＩＳ Ｋ ７１６１－１：２０１４に規定の方法に準じて測定された引張弾性率である。
【0079】
２．１．４．２．クラッド形成用樹脂組成物
上記のクラッド形成用樹脂組成物としては、例えば、ポリマー、モノマー、重合開始剤等を含む組成物が挙げられる。
上記のクラッド形成用樹脂組成物としては、例えば、ポリマー、モノマー、重合開始剤等を含む組成物が挙げられる。
【0080】
２．１．４．２．１．ポリマー
ポリマーとしては、例えば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、ＰＥＴやＰＢＴのようなポリエステル、ポリエチレンサクシネート、ポリサルフォン、ポリエーテル、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、フェノキシ樹脂等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて、ポリマーアロイ、ポリマーブレンド（混合物）、共重合体等として用いられる。
ポリマーとしては、例えば、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ系樹脂やオキセタン系樹脂のような環状エーテル系樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリウレタン、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ポリクロロプレン、ＰＥＴやＰＢＴのようなポリエステル、ポリエチレンサクシネート、ポリサルフォン、ポリエーテル、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂、フェノキシ樹脂等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて、ポリマーアロイ、ポリマーブレンド（混合物）、共重合体等として用いられる。
【0081】
これらの中でも、ポリマーには、アクリル系樹脂、フェノキシ樹脂、または、環状オレフィン系樹脂が好ましく用いられる。
【0082】
アクリル系樹脂としては、例えば、単官能アクリレート、多官能アクリレート、単官能メタクリレート、多官能メタクリレート、ウレタンアクリレート、ウレタンメタクリレート、エポキシアクリレート、エポキシメタクリレート、ポリエステルアクリレート、および、尿素アクリレートからなる群から選択される１種以上を含むアクリル化合物の重合体が挙げられる。また、アクリル系樹脂は、ポリエステル骨格、ポリプロピレングリコール骨格、ビスフェノール骨格、フルオレン骨格、トリシクロデカン骨格、ジシクロペンタジエン骨格等を有していてもよい。
【0083】
フェノキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＡ型エポキシ化合物またはそれらの誘導体、およびビスフェノールＦ、ビスフェノールＦ型エポキシ化合物またはそれらの誘導体を共重合成分の構成単位として含むものが挙げられる。
【0084】
また、ポリマーは、必要に応じて熱硬化性樹脂を含んでもよい。熱硬化性樹脂としては、例えば、アミノ樹脂、イソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物、マレイミド化合物、ベンゾオキサジン化合物、オキサゾリン化合物、カルボジイミド化合物、シクロカーボネート化合物、多官能オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられる。
【0085】
ポリマーの含有量は、例えば、クラッド形成用樹脂組成物の固形分全体の１５質量％以上であることが好ましく、４０質量％以上であることがより好ましく、６０質量％以上であることがさらに好ましい。これにより、下側クラッド層１１および上側クラッド層１２の機械的特性が向上する。また、クラッド形成用樹脂組成物に含まれるポリマーの含有量は、クラッド形成用樹脂組成物の固形分全体の９５質量％以下であることが好ましく、９０質量％以下であることがより好ましい。これにより、下側クラッド層１１および上側クラッド層１２の光学的特性が向上する。
【0086】
クラッド形成用樹脂組成物の固形分全体とは、組成物中における不揮発分を指し、水や溶媒等の揮発成分を除いた残部を指す。
【0087】
２．１．４．２．２．モノマー
モノマーとしては、分子構造中に重合可能な部位を有する化合物であればよく、特に限定されないが、例えば、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ノルボルネン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー、スチレン系モノマー、光二量化モノマー等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いられる。
モノマーとしては、分子構造中に重合可能な部位を有する化合物であればよく、特に限定されないが、例えば、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ノルボルネン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー、スチレン系モノマー、光二量化モノマー等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いられる。
【0088】
これらの中でも、モノマーとしては、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、または、エポキシ系モノマーが好ましく用いられる。
【0089】
アクリル酸（メタクリル酸）系モノマーとしては、例えば、２つ以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、２官能または３官能以上の（メタ）アクリレート等が挙げられる。具体的には、例えば、脂肪族（メタ）アクリレート、脂環式（メタ）アクリレート、芳香族（メタ）アクリレート、複素環式（メタ）アクリレート、またはこれらのエトキシ化体、プロポキシ化体、エトキシ化プロポキシ化体、カプロラクトン変性体等が挙げられる。また、分子内に、ビスフェノール骨格、ウレタン骨格等を有していてもよい。
【0090】
エポキシ系モノマーとしては、例えば、脂環族エポキシ化合物、芳香族エポキシ化合物、脂肪族エポキシ化合物等が挙げられる。
【0091】
モノマーの含有量は、ポリマー１００質量部に対し、１質量部以上７０質量部以下であることが好ましく、１０質量部以上６０質量部以下であることがより好ましい。
【0092】
２．１．４．２．３．重合開始剤
重合開始剤は、モノマーの重合反応または架橋反応の種類に応じて適宜選択される。重合開始剤としては、例えば、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、スチレン系モノマー等のラジカル重合開始剤、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー等のカチオン重合開始剤を用いることができる。
重合開始剤は、モノマーの重合反応または架橋反応の種類に応じて適宜選択される。重合開始剤としては、例えば、アクリル酸（メタクリル酸）系モノマー、スチレン系モノマー等のラジカル重合開始剤、エポキシ系モノマー、オキセタン系モノマー、ビニルエーテル系モノマー等のカチオン重合開始剤を用いることができる。
【0093】
ラジカル重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン類、アセトフェノン類等が挙げられる。具体的には、イルガキュア６５１、イルガキュア８１９、イルガキュア２９５９、イルガキュア１８４（以上、ＩＧＭジャパン合同会社製）等が挙げられる。
【0094】
カチオン重合開始剤としては、例えば、ジアゾニウム塩のようなルイス酸発生型のもの、ヨードニウム塩、スルホニウム塩のようなブレンステッド酸発生型のもの等が挙げられる。具体的には、アデカオプトマーＳＰ－１７０（株式会社ＡＤＥＫＡ製）、サンエイドＳＩ－１００Ｌ（三新化学工業株式会社製）、Ｒｈｏｄｏｒｓｉｌ２０７４（ローディアジャパン株式会社製）等が挙げられる。
【0095】
重合開始剤の含有量は、ポリマー１００質量部に対し、０．０１質量部以上５質量部以下であることが好ましく、０．０５質量部以上３質量部以下であることがより好ましい。これにより、下側クラッド層１１および上側クラッド層１２の光学的特性や機械的特性を低下させることなく、モノマーを速やかに反応させることができる。
【0096】
２．１．４．２．４．その他
クラッド形成用樹脂組成物は、例えば、架橋剤、増感剤（光増感剤）、触媒前駆体、助触媒、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、シランカップリング剤、塗面改良剤、熱重合禁止剤、レベリング剤、界面活性剤、着色剤、保存安定剤、可塑剤、滑剤、フィラー、無機粒子、劣化防止剤、濡れ性改良剤、帯電防止剤等をさらに含んでいてもよい。
クラッド形成用樹脂組成物は、例えば、架橋剤、増感剤（光増感剤）、触媒前駆体、助触媒、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、シランカップリング剤、塗面改良剤、熱重合禁止剤、レベリング剤、界面活性剤、着色剤、保存安定剤、可塑剤、滑剤、フィラー、無機粒子、劣化防止剤、濡れ性改良剤、帯電防止剤等をさらに含んでいてもよい。
【0097】
２．１．４．２．５．溶剤
上述した成分を溶剤中に添加し、撹拌することにより、ワニス状のクラッド形成用樹脂組成物が得られる。得られた組成物は、例えば０．２μｍの孔径を持つＰＴＦＥフィルターによるろ過処理に供されてもよい。また、得られた組成物は、各種混合機による混合処理に供されてもよい。
上述した成分を溶剤中に添加し、撹拌することにより、ワニス状のクラッド形成用樹脂組成物が得られる。得られた組成物は、例えば０．２μｍの孔径を持つＰＴＦＥフィルターによるろ過処理に供されてもよい。また、得られた組成物は、各種混合機による混合処理に供されてもよい。
【0098】
クラッド形成用樹脂組成物に含まれる溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、酢酸エチル、シクロヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサノン、テトラヒドロフラン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、セルソルブ系、カルビトール系、アニソール、Ｎ－メチルピロリドン等の有機溶剤が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上の混合物が用いられる。
【0099】
なお、下側クラッド層１１を形成するためのクラッド形成用樹脂組成物と、上側クラッド層１２を形成するためのクラッド形成用樹脂組成物とは、互いに同じであっても、互いに異なっていてもよい。
【0100】
２．１．５．コア層の形成
コア形成層の面内の一部に活性放射線を照射すると、照射領域と非照射領域との間で屈折率差が形成される。その後、コア形成層を加熱する。この加熱により、照射領域に存在する重合開始剤が活性化し、モノマーの反応が進行する。これにより、モノマーの濃度差が拡大または固定される。その結果、照射領域の屈折率は、モノマーの影響を受けて低くなり、非照射領域の屈折率は、ポリマーの影響を受けて高くなる。
コア形成層の面内の一部に活性放射線を照射すると、照射領域と非照射領域との間で屈折率差が形成される。その後、コア形成層を加熱する。この加熱により、照射領域に存在する重合開始剤が活性化し、モノマーの反応が進行する。これにより、モノマーの濃度差が拡大または固定される。その結果、照射領域の屈折率は、モノマーの影響を受けて低くなり、非照射領域の屈折率は、ポリマーの影響を受けて高くなる。
【0101】
また、この加熱に伴って、モノマーが揮発したり、ポリマーの分子構造が変化したりすることによって屈折率が変化してもよい。
【0102】
以上のようにして、非照射領域に対応する複数のコア部１４、および、照射領域に対応する側面クラッド部１５、を含むコア層１３が得られる。
【0103】
なお、照射領域では、モノマーが揮発することにより、体積が減少することがある。この場合、側面クラッド部１５の上面は、図４（ａ）に示すように、コア部１４の上面よりも凹没し、凹部１３２が生じることがある。ただし、凹部１３２が生じるのは、側面クラッド部１５の上面に限定されず、コア部１４の上面であってもよい。また、凹部１３２は、上記以外の原因で生じたものであってもよい。
【0104】
２．４．上側クラッド積層工程
上側クラッド積層工程Ｓ１０８では、図４（ｂ）に示すように、コアフィルム２００およびクラッドフィルム４０２を積層方向に重ねる。これにより、図４（ｃ）に示すように、コアフィルム２００とクラッドフィルム４０２との積層体１８０を得る。具体的には、コア層１３の上面にクラッド形成層１７０が接するように、クラッドフィルム４０２を重ねる操作を行う。
上側クラッド積層工程Ｓ１０８では、図４（ｂ）に示すように、コアフィルム２００およびクラッドフィルム４０２を積層方向に重ねる。これにより、図４（ｃ）に示すように、コアフィルム２００とクラッドフィルム４０２との積層体１８０を得る。具体的には、コア層１３の上面にクラッド形成層１７０が接するように、クラッドフィルム４０２を重ねる操作を行う。
【0105】
２．５．上側クラッド接着工程
上側クラッド接着工程Ｓ１０９では、図５（ｄ）に示すように、金属製ローラー２２を積層体１８０の上面に押し付けながら、例えばＹ軸プラス側に走査する。金属製ローラー２２は、所定の温度に加熱しておく。これにより、金属製ローラー２２からクラッドフィルム４０２に熱を伝達させ、クラッドフィルム４０２を加熱することができる。加熱されたクラッドフィルム４０２では、クラッド形成層１７０が軟化し、成形性および接着性が発現する。その結果、クラッド形成層１７０がコア層１３の上面に存在する凹部１３２を埋めつつ、接着する。これにより、図５（ｅ）に示すように、コア層１３とクラッド形成層１７０とが接着してなる接着体１８２が得られる。
上側クラッド接着工程Ｓ１０９では、図５（ｄ）に示すように、金属製ローラー２２を積層体１８０の上面に押し付けながら、例えばＹ軸プラス側に走査する。金属製ローラー２２は、所定の温度に加熱しておく。これにより、金属製ローラー２２からクラッドフィルム４０２に熱を伝達させ、クラッドフィルム４０２を加熱することができる。加熱されたクラッドフィルム４０２では、クラッド形成層１７０が軟化し、成形性および接着性が発現する。その結果、クラッド形成層１７０がコア層１３の上面に存在する凹部１３２を埋めつつ、接着する。これにより、図５（ｅ）に示すように、コア層１３とクラッド形成層１７０とが接着してなる接着体１８２が得られる。
【0106】
金属製ローラー２２は、内部に熱源を有し、少なくとも表面が金属材料で構成されているローラーである。図５（ｄ）に示す金属製ローラー２２は、一例として、Ｘ軸と平行な回転軸まわりに回転しながら、Ｙ軸プラス側に移動可能になっている。また、金属製ローラー２２は、Ｚ軸マイナス側に向かってクラッドフィルム４０２を押圧する。つまり、金属製ローラー２２は、クラッド形成層１７０を軟化させる機能と、クラッド形成層１７０をコア層１３に向かって押し付けながら移動する機能と、を有する。
【0107】
金属材料は、熱伝達性に優れる。このため、金属製ローラー２２から多くの熱を速やかにクラッド形成層１７０に伝達させることができる。これにより、金属製ローラー２２の走査速度を高めても、クラッド形成層１７０を短時間で十分に軟化させることができる。その結果、本工程のスループットを高めることができる。
【0108】
金属材料としては、あらゆる金属材料が挙げられるが、例えば、アルミニウム、鉄、銅、銀、チタン、マグネシウム、亜鉛、スズ、ニッケル等の単体、またはこれらを含む合金もしくは金属間化合物等が挙げられる。このうち、金属材料は、アルミニウムまたはアルミニウム合金であるのが好ましい。これらのアルミニウム系材料を含む金属製ローラー２２は、熱伝達性が特に高いため、クラッド形成層１７０を目的とする温度に昇温するまでの時間を特に短縮することができる。
【0109】
また、金属製ローラー２２を用いることで、クラッド形成層１７０に熱および圧力が伝達される領域、具体的には図５（ｄ）に示す熱圧着領域２４を、回転軸に沿って延びる線状の領域に限定することができる。つまり、熱圧着領域２４に隣接する領域（非熱圧着領域２６）には、金属製ローラー２２が接触していないため、熱や圧力が伝達されにくく、接着性および成形性が発現しにくい。したがって、金属製ローラー２２を走査方向に走査することで、走査方向と直交する方向に延びる細長い熱圧着領域２４が移動し、コアフィルム２００とクラッドフィルム４０２との隙間や凹部１３２に残る空気を、非熱圧着領域２６を介して走査方向に掃き出すことができる。その結果、最終的に、接着不良の少ない光導波路１を製造することができる。
【0110】
なお、凹部１３２等に空気が残ると、コア部１４と側面クラッド部１５との屈折率差にバラつきが生じたり、屈折率の勾配が緩くなったりする。そうすると、コア部１４の伝送損失が増大したり、伝送損失のバラつきが生じたりするおそれがある。また、上側クラッド層１２とコア層１３の間に残された気泡の影響により、光導波路１の熱衝撃耐久性が低下するおそれがある。
【0111】
また、金属製ローラー２２を加熱しない場合には、別の加熱手段によってクラッド形成層１７０を加熱する必要がある。この場合、局所的に加熱することは難しいため、熱圧着領域２４だけでなく、非熱圧着領域２６にも接着性や成形性が発現しやすくなる。そうすると、空気の排出経路を確保しにくくなり、空気を十分に掃き出すことができないおそれがある。
【0112】
また、局所的に加熱加圧するのではなく、積層体１８０の全面を加熱加圧する方法を採用した場合には、全面で接着性が同時に発現するため、空気の掃き出しが不十分になるおそれがある。
【0113】
金属製ローラー２２の表面温度は、クラッド形成層１７０が軟化する温度であれば、特に限定されないが、１００～２００℃であるのが好ましく、１４０～１８０℃であるのがより好ましい。
【0114】
金属製ローラー２２を積層体１８０に押し付けるときの線圧は、５～２０ｋＮ／ｍ（５～２０ｋｇｆ／ｃｍ）であるのが好ましく、７～１５ｋＮ／ｍ（７～１５ｋｇｆ／ｃｍ）であるのがより好ましい。線圧を前記範囲内に設定することにより、コア層１３の上面に存在する凹部１３２に対し、軟化したクラッド形成層１７０を適切に充填することができる。これにより、コア層１３とクラッド形成層１７０との接着不良をより確実に抑制することができる。
【0115】
なお、線圧が前記下限値を下回ると、コア層１３の上面に存在する凹部１３２の深さやクラッド形成層１７０の軟化度によっては、クラッド形成層１７０の成形性が低下し、凹部１３２を十分に充填できないおそれがある。一方、線圧が前記上限値を上回ると、金属製ローラー２２と積層体１８０との接触面積によっては、過剰な圧力によってコア層１３の特性が低下するおそれがある。
【0116】
金属製ローラー２２の直径は、特に限定されないが、２０～８０ｍｍであるのが好ましく、４０～６０ｍｍであるのがより好ましい。直径を前記範囲内に設定することにより、金属製ローラー２２と積層体１８０との接触面積を最適化することができる。これにより、より接着不良の少ない光導波路１を製造することができる。
【0117】
なお、直径が前記下限値を下回ると、接触面積が小さくなりすぎるため、十分な熱量を伝達させることができず、上側カバー層１９の熱伝導率や厚さ等によっては、クラッド形成層１７０の軟化が不十分になるおそれがある。一方、直径が前記上限値を上回ると、接触面積が大きくなりすぎるため、線圧を十分に高めることができないおそれがある。
【0118】
金属製ローラー２２は、自動ローラーであっても、従動ローラーであってもよい。自動ローラーの場合、金属製ローラー２２の回転により、積層体１８０を搬送することができる。従動ローラーの場合、別の搬送手段で積層体１８０を搬送するようにすればよい。また、金属製ローラー２２が有する熱源の種類は、特に限定されず、表面を加熱可能な方式であれば、いかなる方式の熱源であってもよい。
【0119】
また、図５（ｄ）では、積層体１８０の金属製ローラー２２とは反対側に、金属板１１０（平板）が配置されている。本工程では、積層体１８０を金属製ローラー２２と金属板１１０とで挟んで、積層体１８０を押圧する。
【0120】
このような構成によれば、積層体１８０の下面を平坦に維持しやすいため、金属製ローラー２２を押し付けたとき、積層体１８０にいわゆる曲がり癖が付きにくい。
【0121】
なお、金属板１１０および中間フィルム１２０に代えて、上面が平坦な台やテーブル等を用いるようにしてもよい。
【0122】
一方、平板として台やテーブル等ではなく、金属板１１０を用いることで、次のような効果も享受できる。金属板１１０は、板状をなしているので、適度な剛性を有するとともに、比較的軽量である。このため、金属板１１０は、コアフィルム２００とともに搬送可能である。したがって、金属板１１０は、金属製ローラー２２と対向する位置で、金属製ローラー２２からの荷重を受け止めるとともに、コアフィルム２００のハンドリング性および枚葉式での搬送性を高めることにも寄与する。
【0123】
また、金属板１１０は、熱伝導性に優れる。このため、金属製ローラー２２からクラッド形成層１７０に伝達された熱が、コア層１３に蓄熱されるのを抑制することができる。つまり、金属板１１０は、金属製ローラー２２からクラッド形成層１７０を介してコア層１３に伝達された熱を、速やかに拡散させることにより、コア層１３が局所的に高温になるのを抑制する。これにより、コア層１３が熱で劣化するのを抑制することができる。劣化としては、例えば、コア層１３に含まれる未反応のモノマーに反応を生じさせ、コア層１３中の屈折率分布が意図せず変化することが挙げられる。
【0124】
金属板１１０が含む金属材料の熱伝導率は、５０［Ｗ／（ｍ・Ｋ）］以上であるのが好ましく、１００［Ｗ／（ｍ・Ｋ）］以上であるのがより好ましい。金属材料の熱伝導率が前記範囲内であれば、金属板１１０の熱伝導性を特に高めることができる。これにより、コア層１３に伝達された熱を、より速やかに拡散させることができる。その結果、コア層１３が高温に曝されることによる不具合の発生をより確実に抑制することができる。
【0125】
また、好ましくは、金属板１１０の熱伝導率も、前記範囲内に設定される。これにより、金属板１１０が金属材料以外の材料を含んでいる場合も、上記の効果を享受することができる。
【0126】
ここで、コア層１３におけるコア部１４の延在方向と、金属製ローラー２２の走査方向と、の関係について説明する。
【0127】
【0128】
図８の例では、延在方向Ｄ１および走査方向Ｄ２が、それぞれＸ軸と平行である。なお、走査方向Ｄ２とは、コア層１３に対する金属製ローラー２２の相対的な変位の方向である。つまり、走査方向Ｄ２は、固定されたコア層１３に対して変位する金属製ローラー２２の変位方向、または、固定された金属製ローラー２２に対して変位するコア層１３の変位方向である。
【0129】
図８に示す例では、コア層１３が、端面１０１（第１光入出射面）および端面１０２（第２光入出射面）と、これらを互いにつなぐ長尺状のコア部１４と、を含んでいる。そして、走査方向Ｄ２は、端面１０１から端面１０２に向かう方向であるのが好ましい。つまり、金属製ローラー２２は、コア層１３の光入出射面同士をつなぐ方向に沿って相対的に走査されるのが好ましい。
【0130】
これにより、金属製ローラー２２の走査によって、図４（ａ）に示すような凹部１３２の空気を効率よく掃き出すことができる。つまり、端面１０１から端面１０２に向かう方向は、コア部１４の延在方向Ｄ１とほぼ平行である場合が多い。したがって、凹部１３２がコア部１４に沿って存在しているときでも、延在方向Ｄ１に沿って存在する凹部１３２の空気が、金属製ローラー２２の走査に伴って順次排出されることになる。その結果、凹部１３２に対してクラッド形成層１７０を良好に充填することができる。
【0131】
なお、金属製ローラー２２は、クラッド形成層１７０を短時間で十分に軟化させることができ、熱圧着領域２４の面積を小さくしやすい。このため、小さな熱圧着領域２４で空気を効率よく掃き出すことができ、延在方向Ｄ１と走査方向Ｄ２とが交差している場合でも、接着不良が発生しにくい。このような場合の例として、図５（ｄ）に示す状況が挙げられる。
【0132】
また、凹部１３２をクラッド形成層１７０で良好に充填するためには、クラッド形成層１７０の軟化時の粘度が最適化されていることが好ましい。
【0133】
図９は、クラッド形成層１７０を１４０℃で加熱した時間（加熱時間）と、軟化したクラッド形成層１７０の粘度と、の関係の一例を示すグラフである。
【0134】
図９に示す例では、約７秒未満のデータを省略しているものの、クラッド形成層１７０の加熱時間が１秒であるとき、クラッド形成層１７０の粘度は、約４５０Ｐａ・ｓである。その後、加熱時間の増加に伴って、クラッド形成層１７０の硬化反応が進むため、粘度が上昇する。この傾向を踏まえると、クラッド形成層１７０の加熱時間が少ないときに、クラッド形成層１７０に対して熱圧着を行うのが望ましいことがわかる。
【0135】
具体的には、クラッド形成層１７０が１４０℃で１秒間加熱されたときの粘度は、２００～６００Ｐａ・ｓであるのが好ましく、３５０～５５０Ｐａ・ｓであるのがより好ましい。クラッド形成層１７０の粘度が前記範囲内であれば、コアフィルム２００を金属製ローラー２２で加熱するとき、短時間の加熱であっても、凹部１３２を充填可能な程度の粘度までクラッド形成層１７０を軟化させることができる。これにより、凹部１３２をクラッド形成層１７０で良好に充填することができ、接着不良の発生確率を十分に下げることができる。
【0136】
なお、上述した粘度とは、クラッド形成層１７０を１４０℃で加熱し、１秒後の複素粘性率η＊を指す。
【0137】
複素粘性率η＊は、動的粘弾性装置ＡＲＥＳ（ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン社製）を用いるとともに、上下部測定治具に直径２３ｍｍの平板のパラレルプレートを用い、上部と下部の治具間距離が０．８ｍｍとなるようにクラッド形成層１７０をセット後、せん断モードで測定した数値である。
【0138】
また、クラッド形成層１７０と金属製ローラー２２とを接触させてクラッド形成層１７０を加熱するとき、クラッド形成層１７０と金属製ローラー２２との接触時間が短すぎる場合、十分な軟化に至らないことがあり、接触時間が長すぎる場合、硬化反応が進みやすくなるおそれがある。このため、クラッド形成層１７０の軟化や硬化反応の進度を踏まえると、金属製ローラー２２の走査速度を最適化することが望ましい。具体的には、金属製ローラー２２の走査速度は、０．５～１０ｍｍ／秒であるのが好ましく、３～５ｍｍ／秒であるのがより好ましい。これにより、クラッド形成層１７０を適度に軟化させるとともに、硬化反応の著しい進行を抑えることができるので、クラッド形成層１７０に良好な成形性を付与することができる。また、本工程のスループットを高めることができる。
【0139】
２．６．上側クラッド形成工程
上側クラッド形成工程Ｓ１１０では、接着体１８２を加熱する。これにより、クラッドフィルム４０２が備えるクラッド形成層１７０が硬化する。その結果、クラッド形成層１７０から図６（ｆ）に示す上側クラッド層１２が得られる。
上側クラッド形成工程Ｓ１１０では、接着体１８２を加熱する。これにより、クラッドフィルム４０２が備えるクラッド形成層１７０が硬化する。その結果、クラッド形成層１７０から図６（ｆ）に示す上側クラッド層１２が得られる。
【0140】
加熱条件としては、例えば、加熱温度：１００～２００℃、加熱時間：１０～１８０分が挙げられる。
【0141】
２．７．剥離工程
剥離工程Ｓ１１２では、コア層１３を支持するコア基材１００を、コア層１３から剥離する。これにより、図６（ｇ）に示すように、コア層１３の下面を露出させる。
剥離工程Ｓ１１２では、コア層１３を支持するコア基材１００を、コア層１３から剥離する。これにより、図６（ｇ）に示すように、コア層１３の下面を露出させる。
【0142】
コア基材１００を剥離した後のコア層１３に対し、必要に応じて、表面処理を施すようにしてもよい。表面処理としては、例えば、プラズマ処理、コロナ処理、紫外線照射処理、電子線照射処理等が挙げられる。
【0143】
２．８．下側クラッド積層工程
下側クラッド積層工程Ｓ１１４では、クラッドフィルム４０１をコア層１３の下面に積層する。これにより、図６（ｈ）に示すように、上側カバー層１９、上側クラッド層１２およびコア層１３とクラッドフィルム４０１との積層体１９０を得る。具体的には、コア層１３の下面にクラッド形成層１７０が接するように、クラッドフィルム４０１を重ねる操作を行う。
下側クラッド積層工程Ｓ１１４では、クラッドフィルム４０１をコア層１３の下面に積層する。これにより、図６（ｈ）に示すように、上側カバー層１９、上側クラッド層１２およびコア層１３とクラッドフィルム４０１との積層体１９０を得る。具体的には、コア層１３の下面にクラッド形成層１７０が接するように、クラッドフィルム４０１を重ねる操作を行う。
【0144】
２．９．下側クラッド接着工程
下側クラッド接着工程Ｓ１１５では、積層体１９０の下面に、例えば図示しない金属製ローラーを押し付けながら走査する。これにより、コア層１３の下面にクラッド形成層１７０を接着し、図７（ｉ）に示す接着体１９２を得る。この操作は、前述した上側クラッド接着工程Ｓ１０９と同様の操作であってもよいし、他の加熱方法を用いる操作であってもよい。また、積層体１９０の上面に加熱されたローラーを押し付けながら走査することにより、コア層１３の下面にクラッド形成層１７０を接着するようにしてもよい。
下側クラッド接着工程Ｓ１１５では、積層体１９０の下面に、例えば図示しない金属製ローラーを押し付けながら走査する。これにより、コア層１３の下面にクラッド形成層１７０を接着し、図７（ｉ）に示す接着体１９２を得る。この操作は、前述した上側クラッド接着工程Ｓ１０９と同様の操作であってもよいし、他の加熱方法を用いる操作であってもよい。また、積層体１９０の上面に加熱されたローラーを押し付けながら走査することにより、コア層１３の下面にクラッド形成層１７０を接着するようにしてもよい。
【0145】
２．１０．下側クラッド形成工程
下側クラッド形成工程Ｓ１１６では、接着体１９２を加熱する。これにより、クラッドフィルム４０１が備えるクラッド形成層１７０が硬化する。その結果、クラッド形成層１７０から図７（ｊ）に示す下側クラッド層１１が得られる。
下側クラッド形成工程Ｓ１１６では、接着体１９２を加熱する。これにより、クラッドフィルム４０１が備えるクラッド形成層１７０が硬化する。その結果、クラッド形成層１７０から図７（ｊ）に示す下側クラッド層１１が得られる。
【0146】
加熱条件としては、例えば、加熱温度：１００～２００℃、加熱時間：１０～１８０分が挙げられるが、上側クラッド層１２を形成するときの加熱条件よりも、高温または長時間に設定されるのが好ましい。
以上のようにして図２に示す光導波路１が得られる。
以上のようにして図２に示す光導波路１が得られる。
【0147】
２．１１．実施形態が奏する効果
以上のように、本実施形態に係る光導波路の製造方法は、準備工程Ｓ１０２と、上側クラッド積層工程Ｓ１０８と、上側クラッド接着工程Ｓ１０９と、上側クラッド形成工程Ｓ１１０と、を有する。準備工程Ｓ１０２では、コア基材１００（第１基材）とコア基材１００に積層されているコア層１３とを有するコアフィルム２００、および、上側カバー層１９（第２基材）と上側カバー層１９に積層されているクラッド形成層１７０とを有するクラッドフィルム４０２と、を用意する。上側クラッド積層工程Ｓ１０８では、コア層１３とクラッド形成層１７０とが接するように、コアフィルム２００およびクラッドフィルム４０２を積層方向に重ねて、積層体１８０を得る。上側クラッド接着工程Ｓ１０９では、積層体１８０に対し、加熱されている金属製ローラー２２を積層方向に押し付けながら走査方向に相対的に走査し、クラッド形成層１７０を軟化させることにより、コア層１３とクラッド形成層１７０とを接着し、接着体１８２を得る。上側クラッド形成工程Ｓ１１０では、接着体１８２を加熱することにより、クラッド形成層１７０から上側クラッド層１２を得る。
以上のように、本実施形態に係る光導波路の製造方法は、準備工程Ｓ１０２と、上側クラッド積層工程Ｓ１０８と、上側クラッド接着工程Ｓ１０９と、上側クラッド形成工程Ｓ１１０と、を有する。準備工程Ｓ１０２では、コア基材１００（第１基材）とコア基材１００に積層されているコア層１３とを有するコアフィルム２００、および、上側カバー層１９（第２基材）と上側カバー層１９に積層されているクラッド形成層１７０とを有するクラッドフィルム４０２と、を用意する。上側クラッド積層工程Ｓ１０８では、コア層１３とクラッド形成層１７０とが接するように、コアフィルム２００およびクラッドフィルム４０２を積層方向に重ねて、積層体１８０を得る。上側クラッド接着工程Ｓ１０９では、積層体１８０に対し、加熱されている金属製ローラー２２を積層方向に押し付けながら走査方向に相対的に走査し、クラッド形成層１７０を軟化させることにより、コア層１３とクラッド形成層１７０とを接着し、接着体１８２を得る。上側クラッド形成工程Ｓ１１０では、接着体１８２を加熱することにより、クラッド形成層１７０から上側クラッド層１２を得る。
【0148】
このような構成によれば、コアフィルム２００とクラッドフィルム４０２とを熱圧着するとき、クラッド形成層１７０の成形性を短時間に高めつつ、接着界面の空気等を効率よく掃き出すことができる。これにより、接着不良の少ない光導波路１を製造することができる。また、金属製ローラー２２は、熱伝達性に優れるため、金属製ローラー２２の走査速度を高めても、クラッド形成層１７０を短時間で十分に軟化させることができる。さらに、金属製ローラー２２であれば、細長い線状の熱圧着領域２４を局所的に加熱することができるので、空気等の掃き出し効率がより高くなる。これにより、熱圧着のスループットを高めることができる。
【0149】
３．変形例
次に、変形例に係る光導波路の製造方法について説明する。
次に、変形例に係る光導波路の製造方法について説明する。
【0150】
図１０ないし図１２は、変形例に係る光導波路の製造方法を示す断面図である。なお、図１０ないし図１２では、説明の便宜のため、各図の上側を「上」といい、下側を「下」というが、この表記は、鉛直方向に対する姿勢を限定するものではない。
【0151】
以下、変形例について説明するが、以下の説明では、前記実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。なお、図１０ないし図１２において、前記実施形態と同様の構成については、同一の符号を付している。
【0152】
前記実施形態は、いわゆる枚葉方式の製造方法である。枚葉方式とは、シート状の部材に対して各工程を行って光導波路を製造する方法である。したがって、複数の光導波路を製造する場合、複数の部材に対して順次、各工程を行う。
【0153】
これに対し、本変形例は、いわゆるロール・ツー・ロール方式の製造方法である。ロール・ツー・ロール方式とは、複数の光導波路を切り出す前提で、長尺シートを連続的または断続的に繰り出しながら各工程を行い、長尺シートに複数の光導波路を製造する方法である。これにより、図２に示す光導波路１を効率よく製造することができる。
【0154】
【0155】
図１０に示す製造装置５０は、上側積層ローラー５２、下側積層ローラー５４、金属製ローラー２２、および、対向ローラー５６を備える。
【0156】
図１０に示すコアフィルム２００は、長尺状をなしている。このコアフィルム２００は、下方から供給され、下側積層ローラー５４に巻き付いて、上側積層ローラー５２と下側積層ローラー５４との間に搬送される。図１０に示すクラッドフィルム４０２は、長尺状をなしている。このクラッドフィルム４０２は、上方から供給され、上側積層ローラー５２に巻き付いて、上側積層ローラー５２と下側積層ローラー５４との間に搬送される。そして、上側積層ローラー５２と下側積層ローラー５４との間で、コアフィルム２００とクラッドフィルム４０２とを合流させ、積層方向に積層する。これにより、積層体１８０を得る。したがって、上側積層ローラー５２および下側積層ローラー５４は、上側クラッド積層工程Ｓ１０８を行う。
【0157】
得られた積層体１８０は、金属製ローラー２２と対向ローラー５６との間に搬送される。金属製ローラー２２は、積層体１８０の上面を積層方向（下方）に押し付けながら、積層体１８０を搬送する。金属製ローラー２２は、所定の温度に加熱しておく。これにより、金属製ローラー２２からクラッドフィルム４０２に熱を伝達させ、クラッドフィルム４０２を加熱することができる。
【0158】
一方、対向ローラー５６は、積層体１８０の下面を支持しながら、積層体１８０を搬送する。したがって、金属製ローラー２２と対向ローラー５６との間で積層体１８０を挟持している。対向ローラー５６も、所定の温度に加熱しておく。これにより、対向ローラー５６からコアフィルム２００を介してクラッドフィルム４０２に熱を伝達させ、クラッドフィルム４０２を加熱することができる。
【0159】
加熱されたクラッドフィルム４０２では、クラッド形成層１７０が軟化し、成形性および接着性が発現する。その結果、クラッド形成層１７０がコア層１３の上面に存在する凹部１３２を埋めつつ、接着する。これにより、コア層１３とクラッド形成層１７０とが接着してなる接着体１８２が得られる。したがって、金属製ローラー２２および対向ローラー５６は、上側クラッド接着工程Ｓ１０９を行う。
【0160】
以上のように、変形例に係る光導波路の製造方法では、上述した金属製ローラー２２および対向ローラー５６によって行う上側クラッド接着工程Ｓ１０９（コア層１３とクラッド形成層１７０とを接着する工程）を有する。かかる上側クラッド接着工程Ｓ１０９は、金属製ローラー２２と対向ローラー５６との間で積層体１８０を積層方向に押し付けながら、金属製ローラー２２を相対的に走査し、クラッド形成層１７０を軟化させる操作を含む。
【0161】
このような構成によれば、金属製ローラー２２と対向ローラー５６との間に積層体１８０を挟んで連続的に押圧することができる。つまり、長尺状をなす積層体１８０を搬送することで、上側クラッド接着工程Ｓ１０９を連続的に行うことができる。これにより、コアフィルム２００とクラッドフィルム４０２とを連続的に接着することができる。その結果、ロール・ツー・ロール方式でも、上側クラッド接着工程Ｓ１０９を行うことができ、最終的に光導波路１をより効率よく製造することができる。
【0162】
なお、対向ローラー５６は、加熱されていなくてもよい。また、対向ローラー５６として加熱されている金属製ローラーを用いるようにしてもよい。これにより、対向ローラー５６から積層体１８０への熱伝達性を高めることができる。
【0163】
図１１に示す製造装置５０およびそれを用いた製造方法では、上側クラッド接着工程Ｓ１０９で得られた接着体１８２から、上側カバー層１９を剥離する以外、図１０に示す製造装置５０および製造方法と同様である。この上側カバー層１９の剥離は、例えば、上側カバー層１９のみを巻き取る図示しない巻き取り装置により実現される。この巻き取り装置で上側カバー層１９のみを巻き取ることにより、接着体１８２から上側カバー層１９を剥離してなる接着体１８２Ａが得られる。したがって、接着体１８２Ａから最終的に製造される光導波路は、図２に示す光導波路１から上側カバー層１９を省略したものとなる。
【0164】
図１２に示す製造装置５０およびそれを用いた製造方法は、上側積層ローラー５２を省略した以外、図１０に示す製造装置５０および製造方法と同様である。図１２に示すコアフィルム２００は、図１０と同様の経路で、下側積層ローラー５４に巻き付いて、金属製ローラー２２と対向ローラー５６との間に搬送される。一方、図１２に示すクラッドフィルム４０２は、上方から供給され、金属製ローラー２２に巻き付いて、金属製ローラー２２と対向ローラー５６との間に搬送される。そして、金属製ローラー２２と対向ローラー５６との間で、コアフィルム２００とクラッドフィルム４０２とを合流させ、積層方向に積層する。これにより、積層体１８０を得る。したがって、図１２に示す製造方法では、金属製ローラー２２および対向ローラー５６が、上側クラッド積層工程Ｓ１０８を行う。
【0165】
得られた積層体１８０は、金属製ローラー２２と対向ローラー５６との間で加熱される。加熱されたクラッドフィルム４０２では、クラッド形成層１７０が軟化し、成形性および接着性が発現する。その結果、クラッド形成層１７０がコア層１３の上面に存在する凹部１３２を埋めつつ、接着する。これにより、コア層１３とクラッド形成層１７０とが接着してなる接着体１８２が得られる。したがって、金属製ローラー２２および対向ローラー５６は、上側クラッド接着工程Ｓ１０９を行う。
【0166】
したがって、図１２に示す製造方法では、金属製ローラー２２および対向ローラー５６により、上側クラッド積層工程Ｓ１０８および上側クラッド接着工程Ｓ１０９をほぼ同時に行うことになる。この方法でも、図２に示す光導波路１が得られる。なお、図１２に示す製造方法では、金属製ローラー２２とクラッドフィルム４０２とが接している時間が、図１０や図１１に示す製造方法よりも長い。これは、上側クラッド積層工程Ｓ１０８や上側クラッド接着工程Ｓ１０９に供するクラッドフィルム４０２が、長い接触時間を利用して予熱されることに相当する。これにより、クラッド形成層１７０に発現する成形性をより高めることができる。
【0167】
以上、本発明の光導波路の製造方法を、図示の実施形態や変形例に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0168】
例えば、本発明の光導波路の製造方法は、前記実施形態や前記変形例に任意の目的の工程を追加したものであってもよい。
【符号の説明】
【0169】
１ 光導波路
１１ 下側クラッド層
１２ 上側クラッド層
１３ コア層
１４ コア部
１５ 側面クラッド部
１８ 下側カバー層
１９ 上側カバー層
２２ 金属製ローラー
２４ 熱圧着領域
２６ 非熱圧着領域
５０ 製造装置
５２ 上側積層ローラー
５４ 下側積層ローラー
５６ 対向ローラー
１００ 基材
１０１ 端面
１０２ 端面
１１０ 金属板
１２０ 中間フィルム
１３２ 凹部
１７０ クラッド形成層
１８０ 積層体
１８２ 接着体
１８２Ａ 接着体
１９０ 積層体
１９２ 接着体
２００ コアフィルム
４０１ クラッドフィルム
４０２ クラッドフィルム
Ｄ１ 延在方向
Ｄ２ 走査方向
Ｓ１０２ 準備工程
Ｓ１０８ 上側クラッド積層工程
Ｓ１０９ 上側クラッド接着工程
Ｓ１１０ 上側クラッド形成工程
Ｓ１１２ 剥離工程
Ｓ１１４ 下側クラッド積層工程
Ｓ１１５ 下側クラッド接着工程
Ｓ１１６ 下側クラッド形成工程
１１ 下側クラッド層
１２ 上側クラッド層
１３ コア層
１４ コア部
１５ 側面クラッド部
１８ 下側カバー層
１９ 上側カバー層
２２ 金属製ローラー
２４ 熱圧着領域
２６ 非熱圧着領域
５０ 製造装置
５２ 上側積層ローラー
５４ 下側積層ローラー
５６ 対向ローラー
１００ 基材
１０１ 端面
１０２ 端面
１１０ 金属板
１２０ 中間フィルム
１３２ 凹部
１７０ クラッド形成層
１８０ 積層体
１８２ 接着体
１８２Ａ 接着体
１９０ 積層体
１９２ 接着体
２００ コアフィルム
４０１ クラッドフィルム
４０２ クラッドフィルム
Ｄ１ 延在方向
Ｄ２ 走査方向
Ｓ１０２ 準備工程
Ｓ１０８ 上側クラッド積層工程
Ｓ１０９ 上側クラッド接着工程
Ｓ１１０ 上側クラッド形成工程
Ｓ１１２ 剥離工程
Ｓ１１４ 下側クラッド積層工程
Ｓ１１５ 下側クラッド接着工程
Ｓ１１６ 下側クラッド形成工程
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】