特開 2023-97911 樹脂封止金型

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023097911

(43)【公開日】2023-07-10

(54)【発明の名称】樹脂封止金型

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/56 20060101AFI20230703BHJP

【ＦＩ】

H01L21/56 T

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021214287

(22)【出願日】2021-12-28

(71)【出願人】

【識別番号】592028846

【氏名又は名称】Ｉ－ＰＥＸ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】久田 忠嗣

【テーマコード（参考）】

5F061

【Ｆターム（参考）】

5F061AA01

5F061BA02

5F061CA21

5F061DA06

5F061DA12

5F061FA05

(57)【要約】

【課題】樹脂封止成形品の製造コストを抑制することができる樹脂封止金型を提供すること。
【解決手段】樹脂封止金型は、第１の金型と第２の金型との間に形成されるキャビティに配置された放熱板を含む被成形品を樹脂封止する樹脂封止金型であって、第１の金型は、キャビティを形成するキャビティ面を有する第１のキャビティブロックを有する。被成形品の樹脂封止中に放熱板とキャビティ面との間の間隔が狭くなる。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の金型と第２の金型との間に形成されるキャビティに配置された放熱板を含む被成形品を樹脂封止する樹脂封止金型であって、
前記第１の金型は、
前記キャビティを形成するキャビティ面を有する第１のキャビティブロックを有し、
前記被成形品の前記樹脂封止中に前記放熱板と前記キャビティ面との間隔が狭くなる
ことを特徴とする樹脂封止金型。

【請求項2】

前記キャビティは、
前記第１の金型と前記第２の金型との間に前記被成形品単位で複数形成され、
前記第１の金型は、
前記被成形品毎に前記第１のキャビティブロックを備える
ことを特徴とする請求項１に記載の樹脂封止金型。

【請求項3】

前記キャビティ面は、
前記キャビティの天面または底面の少なくとも一部を形成し、
前記第１のキャビティブロックは、
前記キャビティ面に前記放熱板を覆う大きさの窪みで構成された凹部を有する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の樹脂封止金型。

【請求項4】

前記第２の金型は、
前記被成形品の前記樹脂封止中に、前記放熱板が前記キャビティ面によって押圧される方向に移動可能な第２のキャビティブロックを備える
ことを特徴とする請求項１～３のいずれか１つに記載の樹脂封止金型。

【請求項5】

前記第２のキャビティブロックは、
前記被成形品の前記樹脂封止中に、油圧によって前記被成形品に近づく方向に向けて付勢される
ことを特徴とする請求項４に記載の樹脂封止金型。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

開示の実施形態は、樹脂封止金型に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、被成形品を樹脂封止して得られる樹脂封止成形品を削って電極または放熱板などを露出対象として露出させる技術が知られている。例えば、特許文献１には、被成形品である半導体ウエハを樹脂封止金型で樹脂封止した後に、半導体ウエハの表面に形成された樹脂を削ることで、電極を露出させる技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００３－０４５９０６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載の樹脂封止金型で製造される樹脂封止成形品は、電極を露出させる際に削られる樹脂が厚い。そのため、特許文献１に記載の樹脂封止金型を露出対象が放熱板である樹脂封止成形品の製造に適用した場合、樹脂封止成形品の加工費が高くなるといった課題がある。

【0005】

実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、樹脂封止成形品の製造コストを抑制することができる樹脂封止金型を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

実施形態の一態様に係る樹脂封止金型は、第１の金型と第２の金型との間に形成されるキャビティに配置された放熱板を含む被成形品を樹脂封止する樹脂封止金型であって、第１の金型は、キャビティを形成するキャビティ面を有する第１のキャビティブロックを有する。被成形品の樹脂封止中に放熱板とキャビティ面との間の間隔が狭くなる。

【発明の効果】

【0007】

実施形態の一態様によれば、樹脂封止成形品の製造コストを抑制することができる樹脂封止金型を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、第１の実施形態に係る樹脂封止金型の一例を示す一部断面図である。

【図2】図２は、第１の実施形態に係る樹脂封止金型の機能を説明するための図である。

【図3】図３は、第１の実施形態に係る樹脂封止金型によって成形された樹脂封止成形品の樹脂が削られる工程の一例を示す図である。

【図4】図４は、キャビティブロックが設けられていない樹脂封止金型による樹脂封止成形品の製造工程および樹脂封止成形品の一例を示す図である。

【図5】図５は、第１の実施形態に係る樹脂封止装置の一例を示す斜視図である。

【図6】図６は、第１の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その１）である。

【図7】図７は、第１の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その２）である。

【図8】図８は、第１の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その３）である。

【図9】図９は、第１の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その４）である。

【図10】図１０は、第１の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その５）である。

【図11】図１１は、第１の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その６）である。

【図12】図１２は、第１の実施形態に係る樹脂封止金型の一例を示す一部拡大図である。

【図13】図１３は、第１の実施形態に係る樹脂封止金型の他の例を示す一部拡大図である。

【図14】図１４は、第２の実施形態に係る樹脂封止金型の一例を示す一部断面図である。

【図15】図１５は、第２の実施形態に係る樹脂封止金型の機能を説明するための図である。

【図16】図１６は、第２の実施形態に係る樹脂封止装置の一例を示す斜視図である。

【図17】図１７は、第２の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その１）である。

【図18】図１８は、第２の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その２）である。

【図19】図１９は、第２の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その３）である。

【図20】図２０は、第２の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その４）である。

【図21】図２１は、第２の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その５）である。

【図22】図２２は、第２の実施形態に係る樹脂封止装置による樹脂封止工程を説明するための図（その６）である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、添付図面を参照して、本願の開示する樹脂封止金型の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

【0010】

＜１．第１の実施形態＞
＜１．１．樹脂封止金型の構成＞
図１に示すように、第１の実施形態に係る樹脂封止金型１は、上金型２と、下金型３とを備える。上金型２は、第１の金型の一例であり、下金型３は、第２の金型の一例である。

【0011】

上金型２および下金型３は、キャビティ７０を形成するキャビティ面を有しており、図１に示すように、上金型２と下金型３とが互いに当接する型締状態である場合に、上金型２と下金型３とによってキャビティ７０が形成される。キャビティ７０内には、被成形品８０が配置され、かかる被成形品８０がキャビティ７０内で樹脂封止される。

【0012】

図１に示す被成形品８０は、リード８１と、ボンディングワイヤ８２と、ＩＣ（Integrated Circuit）チップ８３と、放熱板８４，８５と、スペーサ８６とを備える。リード８１および放熱板８４，８５は、例えば、銅などの金属部材である。スペーサ８６は、金属部材またはセラミックなどである。被成形品８０は、例えば、パワーＩＣ用の被成形品であるが、放熱板を有する被成形品であればよく、図１等に示す構成に限定されない。

【0013】

上金型２は、上金型本体１１と、上キャビティブロック１２とを備える。上キャビティブロック１２は、第１のキャビティブロックの一例である。上金型本体１１には、貫通孔１１ａが形成されており、かかる貫通孔１１ａ内を上キャビティブロック１２が移動可能に配置される。

【0014】

上金型本体１１によって、キャビティ７０の天面であるキャビティ天面７１の一部とキャビティ７０の側面であるキャビティ側面７３，７４の一部が形成され、上キャビティブロック１２によって、キャビティ天面７１の残りの一部が形成される。また、下金型３によってキャビティ７０の底面であるキャビティ底面７２とキャビティ側面７３，７４の残りの一部が形成される。

【0015】

樹脂封止金型１では、図２（ａ）に示すように、上金型２と下金型３とが型締状態にある場合において、樹脂６０がキャビティ７０内に送られる。そして、樹脂封止金型１では、図２（ｂ）に示すように、上金型２の上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａと被成形品８０の放熱板８５との間に樹脂６０が充填される。

【0016】

その後、樹脂封止金型１では、上金型２における上キャビティブロック１２の位置が固定された状態で、下金型３と上金型本体１１とが図２（ｂ）の上方向に移動することによって、図２（ｃ）に示すように、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａと被成形品８０の放熱板８５との間の間隔が狭くなる。そのため、図３（ａ）に示すように、樹脂封止金型１によって被成形品８０が樹脂封止されて形成された樹脂封止成形品９０において、放熱板８５上の樹脂６０の厚みを薄くすることができる。

【0017】

ここで、図１に示す上キャビティブロック１２が上金型に設けられていない場合について説明する。図４（ａ）に示す上金型２Ａのように、図２に示す上キャビティブロック１２が設けられていない場合、上金型２Ａによって形成されるキャビティ天面７１と被成形品８０の放熱板８５との間が狭いと、キャビティ天面７１と放熱板８５との間に樹脂６０を充填できない場合がある。

【0018】

そのため、図４（ａ）に示すように、図２（ｃ）に示す状態に比べて、キャビティ天面７１と放熱板８５との間の間隔を大きくする必要があり、樹脂封止成形品９０は、図４（ｂ）に示すように、図３（ａ）に比べて、放熱板８５上の樹脂６０の厚みが厚くなる。

【0019】

一方、図１における樹脂封止金型１では、キャビティ天面７１と放熱板８５との間に樹脂６０を精度よく充填できる状態でキャビティ天面７１と放熱板８５との間に樹脂６０を充填する。そして、その後、樹脂封止金型１では、下金型３と上金型本体１１との移動によって、キャビティ天面７１を構成する上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａと放熱板８５との間の間隔を狭くすることで、放熱板８５上の樹脂６０の厚みを薄くする。

【0020】

これにより、樹脂封止金型１では、樹脂封止成形品９０の樹脂６０のうち削られる樹脂６０の厚みを薄くすることができる。したがって、図３（ｂ）に示すように樹脂封止成形品９０の放熱板８５を露出する作業、すなわち、樹脂封止成形品９０の樹脂６０を削る作業において、樹脂６０を削る時間を短くすることができ、また樹脂６０を削る部材の劣化スピードも遅くすることができる。なお、樹脂封止成形品９０において、放熱板８４全体が露出されていない場合、樹脂６０を削って放熱板８４全体を露出させる工程も行われる。

【0021】

なお、キャビティ面１２ａと放熱板８５との間の間隔を狭くする方法は、上述した例に限定されない。例えば、樹脂封止金型１は、下金型３と上金型本体１１とを図２（ｂ）における上方向に移動させることに代えて上キャビティブロック１２を図２（ｂ）における下方向に移動させることによって、キャビティ面１２ａと放熱板８５との間の間隔が狭くする構成であってもよい。

【0022】

＜１．２．樹脂封止装置の構成＞
図５に示すように、第１の実施形態に係る樹脂封止装置１００は、樹脂封止金型１と、複数のダイバー４と、固定プラテン５と、可動プラテン６と、トランスファーユニット７とを備える。

【0023】

複数のダイバー４は、互いに平行かつ上下方向に延在しており、不図示の基台に支持されている。固定プラテン５は、各ダイバー４の上端に固定され、可動プラテン６は、各ダイバー４の下端に上下方向に移動可能に取り付けられている。

【0024】

樹脂封止金型１は、上金型２と、下金型３とを備える。上金型２は、固定プラテン５に対して上金型本体１１が移動可能に取り付けられ、下金型３は、可動プラテン６に取り付けられている。可動プラテン６は、不図示の駆動機構によって駆動されて上下方向に移動する。上金型２は、キャビティ面を有する上型チェス１０と、上型チェス１０を支持する上型ダイセット２０とを備える。また、下金型３は、キャビティ面を有する下型チェス３０と、下型チェス３０を支持する下型ダイセット４０とを備える。

【0025】

樹脂封止装置１００では、可動プラテン６が上方向に移動することによって、下金型３が上金型２に当接して上金型２と下金型３との型締が行われる。なお、樹脂封止装置１００は、図５に示す例では、下金型３が上方向に移動する構成であるが、上金型２が下方向に移動する構成であってもよい。

【0026】

また、図５に示す樹脂封止装置１００では、６つの被成形品８０を同時に樹脂封止することができるが、かかる例に限定されず、同時に樹脂封止することができる被成形品８０の数は、５つ以下であってもよく、７つ以上であってもよい。また、図５に示す樹脂封止装置１００では、６つの被成形品８０を樹脂封止するために、６つの樹脂タブレット６１が用いられるが、かかる例に限定されず、樹脂タブレット６１の数は、５つ以下であってもよく、７つ以上であってもよい。

【0027】

次に、図５に示す樹脂封止装置１００の樹脂封止工程について、図６～図１１を用いて具体的に説明する。図６～図１１においては、６つの被成形品８０のうち２つの被成形品８０が示され、複数の樹脂タブレット６１のうち１つの樹脂タブレット６１が示されている。なお、図５～図１１では、図１等に示す被成形品８０が簡易的な形状で示されている。

【0028】

図６に示すように、被成形品８０と樹脂タブレット６１とが不図示の搬送装置によって樹脂封止装置１００の樹脂封止金型１に搬送される。そして、図７に示すように、被成形品８０が下金型３の下型チェス３０に載置され、樹脂タブレット６１が下金型３に形成されたポット７７に配置される。

【0029】

次に、図８に示すように、樹脂封止装置１００において、不図示の駆動機構によって可動プラテン６（図５参照）が上方向に移動することによって、下金型３が上金型２に当接して上金型２と下金型３との型締が行われる。

【0030】

上金型２と下金型３との型締によって、図８に示すように、カル部７５、ランナー部７６、およびキャビティ７０が形成される。また、樹脂タブレット６１は、不図示のヒータによって溶融される。キャビティ７０は、上金型２と下金型３との間に被成形品８０単位で複数形成される。また、上金型２は、被成形品８０毎に上キャビティブロック１２を備える。

【0031】

次に、図９に示すように、樹脂封止装置１００において、トランスファーユニット７（図５参照）に設けられたプランジャー８が上方向に移動し、溶融した樹脂タブレット６１が樹脂６０としてカル部７５（図８参照）およびランナー部７６（図８参照）を経由してキャビティ７０に押し出される。これにより、キャビティ７０内においてキャビティ天面７１と被成形品８０の放熱板８５との間に樹脂６０が充填される。

【0032】

次に、樹脂封止装置１００において、不図示の駆動機構によって可動プラテン６（図５参照）が上方向に移動することで、可動プラテン６によって下金型３が図９における上方向に押圧されて、下金型３が図９における上方向に移動する。そのため、樹脂封止装置１００において、図１０に示すように、上金型２における上キャビティブロック１２の位置が固定された状態で、下金型３と上金型本体１１とが図１０における上方向に移動する。これにより、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａと被成形品８０（図８参照）の放熱板８５（図８参照）との間の間隔が狭くなる。そのため、図１０に示すように、放熱板８５上の樹脂６０の厚みが薄くなる。

【0033】

このように、樹脂封止装置１００は、可動プラテン６を上方向に移動させることで、放熱板８５をキャビティ面１２ａに近づけてキャビティ面１２ａと放熱板８５との間の間隔を狭くする。そのため、樹脂封止装置１００では、上キャビティブロック１２を図９における下方向に移動させる機構部および駆動部を設けることなく、キャビティ面１２ａと放熱板８５との間の間隔を狭くすることができる。

【0034】

なお、樹脂封止装置１００は、図９に示す状態から、可動プラテン６が上方向に移動することに代えて、上キャビティブロック１２を図９における下方向に移動させることによって、キャビティ面１２ａと放熱板８５との間の間隔が狭くする構成であってもよい。

【0035】

その後、図１１に示すように、樹脂封止装置１００において、可動プラテン６（図５参照）が下方向に移動することによって、下金型３が上金型２から離れ、樹脂封止成形品９０が不図示の搬送装置によって樹脂封止金型１から取り出される。

【0036】

このように、第１の実施形態に係る樹脂封止装置１００では、樹脂封止成形品９０の樹脂６０のうち削られる樹脂６０の厚みを薄くすることができる。したがって、樹脂封止成形品９０の放熱板８５を露出する作業において、樹脂６０を削る時間を短くすることができ、また樹脂６０を削る部材の劣化スピードも遅くすることができる。

【0037】

また、樹脂封止装置１００において、貫通孔１１ａは、放熱板８５の全体を覆うことができる大きさの径を有しており、放熱板８５と対向する位置に形成される。そして、貫通孔１１ａ内に配置された上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａと放熱板８５の上面との間に樹脂６０が充填された後、下金型３および上金型本体１１または上キャビティブロック１２が移動することで、上キャビティブロック１２が貫通孔１１ａ内を移動する。そのため、樹脂封止装置１００は、樹脂封止成形品９０における放熱板８５上の樹脂６０の厚みを適切に薄くすることができる。

【0038】

上キャビティブロック１２は、不図示の駆動源により駆動される不図示の移動機構に取り付けられており、不図示の移動機構の駆動によって、貫通孔１１ａを移動する。不図示の駆動源は、例えば、不図示の制御部によって制御されるサーボモータなどであるが、かかる例に限定されない。

【0039】

また、図１２に示すように、貫通孔１１ａは、放熱板８５の上面の大きさよりも大きく且つキャビティ天面よりも小さい径の貫通孔である。キャビティ天面は、上金型本体１１の上面と上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａによって形成される。これにより、図３（ａ）に示すように、樹脂封止成形品９０の上面のうち貫通孔１１ａに対応する領域以外の領域の樹脂６０の厚みを薄くすることができる。

【0040】

これにより、樹脂封止成形品９０の樹脂６０のうち削られる樹脂６０の量を低減することができることから、樹脂６０を削る時間を短くすることができ、また樹脂６０を削る部材の劣化スピードも遅くすることができる。

【0041】

また、上述した例では、キャビティ７０の天面の一部を形成する上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａは、平坦面であるが、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａは、平坦面に限定されない。例えば、キャビティ面１２ａは、図１３に示すように、放熱板８５を覆う大きさの窪みで構成された凹部１２ｂを有する構成であってもよい。

【0042】

図１３に示すように、上キャビティブロック１２の凹部１２ｂは、放熱板８５と対向するキャビティ面１２ａに形成され、放熱板８５の全体を覆うことができる大きさを有している。そして、上キャビティブロック１２の凹部１２ｂと放熱板８５の上面との間に樹脂６０が充填された後、下金型３と上金型本体１１とが図１３における上方向に移動する。これにより、上キャビティブロック１２が貫通孔１１ａ内を移動し、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａが放熱板８５に近づく。

【0043】

凹部１２ｂの開口は、貫通孔１１ａの開口よりも面積が小さいことから、図１３に示す樹脂封止金型１では、図１２に示す樹脂封止金型１に比べて、樹脂封止成形品９０の上面のうち突出する領域を小さくすることができる。そのため、図１３に示す樹脂封止金型１では、樹脂封止成形品９０の放熱板８５を露出する作業において、削られる樹脂６０の量をより低減することができる。

【0044】

図１３に示す樹脂封止金型１では、放熱板８５の上面の面積が異なる被成形品８０であっても、上金型２全体を取り替えることなく、放熱板８５の上面の面積に応じた開口を有する凹部１２ｂが形成された上キャビティブロック１２に交換することで、容易に樹脂６０の量をより低減することができる。

【0045】

上述した例では、上金型２に上キャビティブロック１２を設けたが、樹脂封止金型１は、上金型２に代えて下金型３に、貫通孔１１ａに対応する貫通孔と、被成形品８０の放熱板８５と対向し貫通孔１１ａを移動する上キャビティブロック１２に対応するキャビティブロックとが設けられた構成であってもよい。この場合、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａに対応するキャビティブロックのキャビティ面は、キャビティ底面７２の少なくとも一部を形成し、被成形品８０は、図１に示す状態と上下が反転された状態でキャビティ７０内に配置される。

【0046】

なお、上述した例では、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａは、キャビティ天面７１の一部またはキャビティ底面７２の一部を形成するが、かかる例に限定されない。例えば、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａは、キャビティ天面７１の全体またはキャビティ底面７２の全体を形成するキャビティ面であってもよい。

【0047】

また、上述した樹脂封止金型１では、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａと放熱板８５との間隔が狭くなることで、放熱板８５上の樹脂６０の厚みを薄くするが、かかる例に限定されない。例えば、樹脂封止金型１は、被成形品８０の樹脂封止中である図９に示す状態から、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａを放熱板８５に接触させることができる。これにより、樹脂封止金型１は、放熱板８５上に樹脂６０が形成されることを抑制することができる。

【0048】

以上のように、第１の実施形態に係る樹脂封止金型１は、上金型２と下金型３との間に形成されるキャビティ７０に配置された放熱板８５を含む被成形品８０を樹脂封止する樹脂封止金型であって、上金型２は、キャビティ７０を形成するキャビティ面１２ａを有する上キャビティブロック１２を有する。上金型２は、第１の金型の一例であり、上キャビティブロック１２は、第１のキャビティブロックの一例である。そして、樹脂封止金型１では、被成形品８０の樹脂封止中に放熱板８５とキャビティ面１２ａとの間の間隔が狭くなる。これにより、樹脂封止金型１は、放熱板８５上の樹脂６０の厚みを薄くした樹脂封止成形品９０を製造したり、放熱板８５上に樹脂６０が形成されていない樹脂封止成形品９０を製造したりすることができる。そのため、樹脂封止金型１は、樹脂封止成形品９０の製造コストを抑制することができる。

【0049】

また、キャビティ７０は、上金型２と下金型３との間に被成形品８０単位で複数形成され、上金型２は、被成形品８０毎に上キャビティブロック１２を備える。これにより、樹脂封止金型１は、例えば、放熱板８５上の樹脂６０の厚みを薄くした樹脂封止成形品９０を精度よく製造することができる。

【0050】

また、上金型２のキャビティ面は、キャビティ天面７１またはキャビティ底面７２の少なくとも一部を形成し、上キャビティブロック１２は、キャビティ面に放熱板８５を覆う大きさの窪みで構成された凹部１２ｂを有する。これにより、樹脂封止金型１は、樹脂封止成形品９０の樹脂６０のうち削られる樹脂６０の量をより低減することができる。

【0051】

＜２．第２の実施形態＞
＜２．１．樹脂封止金型の構成＞
第２の実施形態に係る樹脂封止金型は、下金型が下金型本体とキャビティブロックとを備える点で、第１の実施形態に係る樹脂封止金型１と異なる。以下においては、第１の実施形態と同様の機能を有する構成要素については同一符号を付して説明を省略し、第１の実施形態の樹脂封止金型１と異なる点を中心に説明する。

【0052】

図１４に示すように、第２の実施形態に係る樹脂封止金型１Ａは、上金型２と、下金型３Ａとを備える。下金型３Ａは、第２の金型の他方の一例である。上金型２および下金型３Ａは、キャビティ７０を形成するキャビティ面を有しており、図１４に示すように、上金型２と下金型３Ａとが互いに当接する型締状態である場合に、上金型２と下金型３Ａとによってキャビティ７０が形成される。

【0053】

下金型３Ａは、下金型本体３１と、下キャビティブロック３２とを備える。下キャビティブロック３２は、第２のキャビティブロックの一例である。下金型本体３１には、貫通孔３１ａが形成されており、下キャビティブロック３２は、油圧によって、かかる貫通孔３１ａ内を移動可能に配置される。なお、下キャビティブロック３２が移動可能な方向は、上金型２の上キャビティブロック１２が樹脂６０を介して放熱板８５を押圧する方向、または、上キャビティブロック１２が直接放熱板８５を押圧する方向である。

【0054】

貫通孔３１ａは、放熱板８４の全体を覆うことができる大きさの径を有しており、放熱板８４と対向する位置に形成される。そして、上金型２と下金型３Ａとが互いに当接する型締状態である場合、貫通孔３１ａ内に配置された下キャビティブロック３２のキャビティ面３２ａと放熱板８４の下面とが当接する状態である。なお、型締状態において、下キャビティブロック３２のキャビティ面３２ａと放熱板８４の下面との間に隙間があってもよい。

【0055】

下金型本体３１によって、キャビティ底面７２の一部とキャビティ側面７３，７４の一部とが形成され、下キャビティブロック３２のキャビティ面３２ａによって、キャビティ底面７２の残りの一部が形成される。

【0056】

樹脂封止金型１Ａでは、図１５（ａ）に示すように、樹脂６０がキャビティ７０内に送られ、キャビティ７０内において、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａと被成形品８０の放熱板８５との間に樹脂６０が充填される。

【0057】

その後、樹脂封止金型１Ａでは、下金型３Ａと上金型本体１１とが図１５（ａ）における上方向に移動し、放熱板８５が上金型２の上キャビティブロック１２に近づく。放熱板８５が上キャビティブロック１２に近づく際に、図１５（ｂ）に示すように上キャビティブロック１２が被成形品８０に接触すると、被成形品８０が損傷したり変形したりして被成形品８０がダメージを受ける可能性がある。

【0058】

そこで、樹脂封止金型１Ａでは、上述したように、油圧によって貫通孔３１ａ内を移動する下キャビティブロック３２が設けられている。被成形品８０が上キャビティブロック１２によって押圧されると、下キャビティブロック３２を付勢する油圧が上キャビティブロック１２の押圧力に負けて、下キャビティブロック３２が下方向へ移動する。

【0059】

下キャビティブロック３２の下方向への移動量は、上キャビティブロック１２による被成形品８０の押圧力が大きいほど大きくなる。そのため、樹脂封止金型１Ａでは樹脂封止金型１に比べて、上キャビティブロック１２による被成形品８０の押圧によって被成形品８０がダメージを受けることを抑制することができる。

【0060】

なお、上キャビティブロック１２による被成形品８０の押圧は、例えば、被成形品８０において放熱板８５が傾いている場合または被成形品８０の上下方向の寸法が設計値よりも大きい場合などに生じる。放熱板８５の傾きは、例えば、樹脂封止金型１Ａへの被成形品８０の搬送時またはキャビティ７０内における樹脂６０の充填時などに生じるが、かかる例に限定されない。

【0061】

このように、樹脂封止金型１Ａでは、樹脂封止成形品９０の樹脂６０のうち削られる樹脂６０の厚みを薄くすることができ、また、上キャビティブロック１２が被成形品８０に接触した場合であっても、下キャビティブロック３２が移動することから被成形品８０がダメージを受けることを抑制することができる。

【0062】

＜２．２．樹脂封止装置の構成＞
図１６に示すように、第２の実施形態に係る樹脂封止装置１００Ａは、樹脂封止金型１に代えて、樹脂封止金型１Ａおよび油圧ポンプ９を備える点で、第１の実施形態に係る樹脂封止装置１００と異なる。以下においては、第１の実施形態と同様の機能を有する構成要素については同一符号を付して説明を省略し、第１の実施形態の樹脂封止装置１００と異なる点を中心に説明する。

【0063】

樹脂封止装置１００Ａにおいて、下金型３Ａは、キャビティ面を有する下型チェス３０Ａと、下型チェス３０Ａを支持する下型ダイセット４０とを備える。下型チェス３０Ａは、上述した下金型本体３１および下キャビティブロック３２を備える。図１６に示す樹脂封止装置１００Ａは、下金型３Ａが上方向に移動する構成であるが、上金型２が下方向に移動する構成であってもよい。

【0064】

次に、図１６に示す樹脂封止装置１００Ａによる被成形品８０の樹脂封止動作について図１７～図２２を用いて具体的に説明する。図１７に示すように、被成形品８０と樹脂タブレット６１とが不図示の搬送装置によって樹脂封止装置１００Ａの樹脂封止金型１Ａに搬送される。なお、図１６～図２２に示す例では、図１４等に示す被成形品８０が簡易的な形状で示されている。

【0065】

図１７に示す状態では、下金型３Ａの下キャビティブロック３２は、油圧ポンプ９による油圧によって上方向に移動されており、図１７の位置に維持されている。また、図１８に示すように、被成形品８０が下金型３Ａの下型チェス３０Ａに載置され、樹脂タブレット６１が下金型３Ａに形成されたポット７７に置かれる。

【0066】

次に、図１９に示すように、樹脂封止装置１００Ａにおいて、可動プラテン６（図１６参照）が上方向に移動することによって、下金型３Ａが上金型２に当接して上金型２と下金型３Ａとの型締が行われる。キャビティ７０は、上金型２と下金型３Ａとの間に被成形品８０単位で複数形成される。上金型２は、被成形品８０毎に上キャビティブロック１２を備え、下金型３Ａは、被成形品８０毎に下キャビティブロック３２を備える。

【0067】

次に、図２０に示すように、樹脂封止装置１００Ａにおいて、プランジャー８が上方向に移動し、トランスファーユニット７（図１６参照）によって溶融された樹脂タブレット６１が樹脂６０としてカル部７５（図１９参照）およびランナー部７６（図１９参照）を経由してキャビティ７０に押し出される。これにより、キャビティ７０内において、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａと被成形品８０の放熱板８５との間に樹脂６０が充填される。

【0068】

次に、樹脂封止装置１００Ａにおいて、不図示の駆動機構によって可動プラテン６（図１６参照）が上方向に移動することで、可動プラテン６によって下金型３Ａが図２０における上方向に押圧されて、下金型３Ａが図２０における上方向に移動する。そのため、樹脂封止装置１００Ａにおいて、図２１に示すように、上金型２における上キャビティブロック１２の位置が固定された状態で、下金型３Ａと上金型本体１１とが図２１における上方向に移動する。これにより、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａと被成形品８０の放熱板８５との間の間隔が狭くなる。そのため、樹脂封止装置１００Ａにおいて、放熱板８５上の樹脂６０の厚みが薄い樹脂封止成形品９０が形成される。

【0069】

なお、樹脂封止装置１００Ａは、図２０に示す状態から、可動プラテン６を上方向に移動させることに代えて、上キャビティブロック１２を図２０における下方向に移動させることによって、キャビティ面１２ａと放熱板８５との間の間隔が狭くする構成であってもよい。

【0070】

その後、図２２に示すように、樹脂封止装置１００Ａにおいて、可動プラテン６（図１６参照）が下方向に移動することによって、下金型３Ａが上金型２から離れ、樹脂封止成形品９０が不図示の搬送装置によって樹脂封止金型１Ａから取り出される。

【0071】

被成形品８０の樹脂封止中において、上金型２の上キャビティブロック１２が被成形品８０に接触しない場合、下金型３Ａの下キャビティブロック３２は、被成形品８０に加わる下方向へ向けた力に抗して被成形品８０に近づく方向に向けて付勢されており、図２１に示す状態が維持される。これにより、樹脂封止装置１００Ａは、樹脂封止成形品９０の製造を精度よく行うことができる。

【0072】

また、被成形品８０の樹脂封止中に、油圧ポンプ９による油圧よりも大きな下方向への力が下金型３Ａの下キャビティブロック３２に加わると、油圧ポンプ９による油圧が下方向への力に負け、下キャビティブロック３２は下方向に移動する。

【0073】

そのため、被成形品８０の樹脂封止中に、上キャビティブロック１２によって被成形品８０が下方向に押されて下キャビティブロック３２に油圧ポンプ９による油圧よりも大きな下方向への力が加わると、下キャビティブロック３２は下方向に移動する。これにより、樹脂封止装置１００Ａでは、上キャビティブロック１２による被成形品８０の押圧によって被成形品８０がダメージを受けることを抑制することができる。

【0074】

また、樹脂封止装置１００Ａにおいて、貫通孔３１ａは、放熱板８４の全体を覆うことができる大きさの径を有しており、放熱板８４と対向する位置に形成される。そして、上金型２と下金型３Ａとが型締状態である場合、貫通孔３１ａ内に配置された下キャビティブロック３２のキャビティ面３２ａと放熱板８４の下面とが当接する状態である。

【0075】

そのため、樹脂封止装置１００Ａでは、下キャビティブロック３２が下方向に移動した場合であっても、下キャビティブロック３２のキャビティ面３２ａをキャビティ底面７２の全体とする場合に較べて、貫通孔３１ａ内に侵入する樹脂６０の量を低減することができる。

【0076】

なお、下キャビティブロック３２は、油圧によって付勢されているが、かかる例に限定されない。例えば、下キャビティブロック３２は、サーボモータなどの駆動源によって貫通孔３１ａ内を移動可能に構成されてもよい。

【0077】

この場合、樹脂封止金型１Ａには、例えば、下キャビティブロック３２に加わる圧力を検出する圧力センサが取り付けられ、圧力センサによって検出された圧力が閾値以上の圧力である場合に、不図示の制御部による駆動源の制御によって下キャビティブロック３２を下方に移動させてもよい。

【0078】

また、圧力センサによって検出された圧力が閾値以上である場合、圧力センサによって検出された圧力が高いほど、下キャビティブロック３２の下方への移動量を大きくすることもできる。

【0079】

上述した例では、樹脂封止金型１Ａにおいて、上キャビティブロック１２が上金型２に設けられ、下キャビティブロック３２が下金型３Ａに設けられているが、かかる例に限定されない。例えば、樹脂封止金型１Ａは、上金型２に代えて下金型３Ａに、貫通孔１１ａと上キャビティブロック１２とに対応する貫通孔とに対応するキャビティブロックとが設けられ、下金型３Ａに代えて上金型２に、貫通孔３１ａと下キャビティブロック３２とに対応する貫通孔とに対応するキャビティブロックとが設けられた構成であってもよい。この場合、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａに対応するキャビティブロックのキャビティ面は、キャビティ底面７２の少なくとも一部を形成し、下キャビティブロック３２のキャビティ面３２ａに対応するキャビティブロックのキャビティ面は、キャビティ天面７１の少なくとも一部を形成する。そして、被成形品８０は、図１４に示す状態と上下が反転された状態でキャビティ７０内に配置される。

【0080】

また、上述した樹脂封止金型１Ａでは、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａと放熱板８５との間隔が狭くなることで、放熱板８５上の樹脂６０の厚みを薄くするが、かかる例に限定されない。例えば、樹脂封止金型１Ａは、被成形品８０の樹脂封止中である図２０に示す状態から、上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａを放熱板８５に接触させることができる。これにより、樹脂封止金型１Ａは、放熱板８５上に樹脂６０が形成されることを抑制することができる。

【0081】

以上のように、第２の実施形態に係る樹脂封止金型１Ａは、上金型２と下金型３Ａとの間に形成されるキャビティ７０に配置された放熱板８５を含む被成形品８０を樹脂封止する樹脂封止金型であって、上金型２は、キャビティ７０を形成するキャビティ面１２ａを有する上キャビティブロック１２を有する。上金型２は、第１の金型の一例であり、上キャビティブロック１２は、第１のキャビティブロックの一例である。被成形品８０の樹脂封止中に放熱板８５とキャビティ面１２ａとの間の間隔が狭くなる。これにより、樹脂封止金型１Ａは、例えば、放熱板８５上の樹脂６０の厚みを薄くした樹脂封止成形品９０を製造したり、放熱板８５上に樹脂６０が形成されていない樹脂封止成形品９０を製造したりすることができる。そのため、樹脂封止金型１Ａは、樹脂封止成形品９０の製造コストを抑制することができる。

【0082】

また、下金型３Ａは、被成形品８０の樹脂封止中に、放熱板８５が上キャビティブロック１２のキャビティ面１２ａによって押圧される方向に移動可能な下キャビティブロック３２を備える。下金型３Ａは、第２の金型の一例であり、下キャビティブロック３２は、第２のキャビティブロックの一例である。これにより、樹脂封止金型１Ａは、上キャビティブロック１２によって被成形品８０が押圧された場合において被成形品８０がダメージを受けることを抑制することができる。

【0083】

また、下金型３Ａの下キャビティブロック３２は、被成形品８０の樹脂封止中に、油圧によって被成形品８０に近づく方向に向けて付勢される。これにより、樹脂封止金型１Ａは、油圧ポンプ９による油圧よりも大きな下方向への力が下金型３Ａの下キャビティブロック３２に加わると、油圧ポンプ９による油圧が下方向への力に負け、下キャビティブロック３２は下方向に移動する。そのため、樹脂封止金型１Ａでは、下キャビティブロック３２をサーボモータなどによって移動させる制御を行うことなく、下キャビティブロック３２を下方向に移動させることができ、構成が複雑になることを回避することができる。

【0084】

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

【符号の説明】

【0085】

１，１Ａ 樹脂封止金型
２ 上金型（第１の金型の一例）
２Ａ 上金型
３，３Ａ 下金型（第２の金型の一例）
９ 油圧ポンプ
１１ 上金型本体
１１ａ 貫通孔
１２ 上キャビティブロック（第１のキャビティブロックの一例）
１２ａ キャビティ面
１２ｂ 凹部
３１ 下金型本体
３１ａ 貫通孔
３２ 下キャビティブロック（第２のキャビティブロックの一例）
６０ 樹脂
７０ キャビティ
７１ キャビティ天面
７２ キャビティ底面
８０ 被成形品
８４，８５ 放熱板
９０ 樹脂封止成形品
１００，１００Ａ 樹脂封止装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】