特開 2023-98631 積層型キャパシタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023098631

(43)【公開日】2023-07-10

(54)【発明の名称】積層型キャパシタ

(51)【国際特許分類】

   H01G 4/30 20060101AFI20230703BHJP

【ＦＩ】

H01G4/30 201F

H01G4/30 201C

H01G4/30 201N

H01G4/30 201H

H01G4/30 201A

H01G4/30 201K

H01G4/30 512

H01G4/30 513

【審査請求】未請求

【請求項の数】32

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022192540

(22)【出願日】2022-12-01

(31)【優先権主張番号】10-2021-0189813

(32)【優先日】2021-12-28

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(31)【優先権主張番号】10-2022-0067673

(32)【優先日】2022-06-02

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(71)【出願人】

【識別番号】594023722

【氏名又は名称】サムソン エレクトロ－メカニックス カンパニーリミテッド．

(74)【代理人】

【識別番号】110000877

【氏名又は名称】弁理士法人ＲＹＵＫＡ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】ソン、ウォン ス

(72)【発明者】

【氏名】ホン、キ ピョ

(72)【発明者】

【氏名】リー、ウン ジョン

【テーマコード（参考）】

5E001

5E082

【Ｆターム（参考）】

5E001AB03

5E001AC06

5E001AF03

5E001AF06

5E001AH01

5E001AH03

5E001AH07

5E001AJ03

5E082AB03

5E082BC19

5E082BC31

5E082EE04

5E082EE23

5E082EE35

5E082FF05

5E082FG04

5E082FG26

5E082FG46

5E082GG10

5E082GG26

5E082GG28

5E082JJ03

5E082JJ06

5E082JJ07

5E082JJ23

(57)【要約】      （修正有）

【課題】電気容量、構造的安定性、耐湿信頼性等の少なくとも一つの特性を向上する積層型キャパシタを提供する。
【解決手段】積層型キャパシタは、誘電体層１１０及び誘電体層を間に挟んで第１方向Ｘに積層された第１、第２内部電極１２１、１２２を含み、第１方向に対向する第１、第２面Ｓ１、Ｓ２、第１、第２面と連結され、第２方向Ｙに対向する第３、第４面Ｓ３、Ｓ４、第１面～第４面と連結され、第３方向Ｚに対向する第５面Ｓ５、第６面を含む活性部１０１と、活性部の第３、第４面をカバーし、第１内部電極と連結された第１外部電極１３１ａ、１３１ｂと、活性部の第５、第６面をカバーし、第２内部電極と連結された連結電極１３２ａ、１３２ｂと、活性部の第５、第６面側で連結電極をカバーするサイドマージン部１１１、１１２と、活性部の第５、第６面側でサイドマージン部をカバーし、連結電極と連結された第２外部電極１３３ａ、１３３ｂと、を含む。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

誘電体層及び前記誘電体層を間に挟んで第１方向に積層された第１内部電極及び第２内部電極を含み、前記第１方向に対向する第１面及び第２面、前記第１面及び前記第２面と連結され、第２方向に対向する第３面及び第４面、前記第１面～前記第４面と連結され、第３方向に対向する第５面及び第６面を含む活性部と、
前記活性部の前記第３面及び前記第４面をカバーし、前記第１内部電極と連結された第１外部電極と、
前記活性部の前記第５面及び前記第６面をカバーし、前記第２内部電極と連結された連結電極と、
前記活性部の前記第５面及び前記第６面側で前記連結電極をカバーするサイドマージン部と、
前記活性部の前記第５面及び前記第６面側で前記サイドマージン部をカバーし、前記連結電極と連結された第２外部電極と、を含む、積層型キャパシタ。

【請求項2】

前記第１外部電極、前記連結電極及び前記第２外部電極は、それぞれ一対で備えられる、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項3】

一対の前記第２外部電極は、前記活性部の前記第５面及び前記第６面をそれぞれカバーし、前記第１面及び前記第２面に延長された、請求項２に記載の積層型キャパシタ。

【請求項4】

一対の前記第２外部電極は、前記活性部の前記第１面及び前記第２面をそれぞれカバーし、前記第５面及び前記第６面に延長された、請求項２に記載の積層型キャパシタ。

【請求項5】

前記活性部は、前記第１方向の長さが前記第２方向の長さより長い形状である、請求項４に記載の積層型キャパシタ。

【請求項6】

記サイドマージン部は、前記第２方向に測定した長さが前記連結電極より長い、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項7】

記第２外部電極は、前記第２方向に測定した長さが前記連結電極より長い、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項8】

記第２外部電極は、前記第２方向に測定した長さが前記サイドマージン部より短い、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項9】

記第２外部電極は、前記活性部の前記第１面、前記第２面、前記第５面、前記第６面をカバーするリング形状である、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項10】

記連結電極は、前記活性部の前記第１面、前記第２面、前記第５面、前記第６面をカバーするリング形状である、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項11】

前記連結電極は、前記活性部の前記第１面及び前記第２面に延長され、
前記連結電極及び前記第２外部電極は、前記活性部の前記第１面及び前記第２面で連結される、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項12】

前記サイドマージン部を貫通して前記連結電極と前記第２外部電極とを連結する少なくとも一つの導電性ビアをさらに含む、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項13】

前記誘電体層と前記サイドマージン部は、第１セラミック焼結体及び第２セラミック焼結体をそれぞれ含み、前記第１セラミック焼結体及び前記第２セラミック焼結体は、平均グレインサイズが互いに異なる、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項14】

前記第１セラミック焼結体及び前記第２セラミック焼結体は、平均グレインサイズの差が５％以上である、請求項１３に記載の積層型キャパシタ。

【請求項15】

前記第１セラミック焼結体及び前記第２セラミック焼結体は、平均グレインサイズの差が５％未満であり、
前記第１セラミック焼結体及び前記第２セラミック焼結体に含まれたグレインのサイズ分布をそれぞれ第１及び第２分布とするとき、前記第１及び第２分布の標準偏差は１０％以上である、請求項１３に記載の積層型キャパシタ。

【請求項16】

前記誘電体層と前記サイドマージン部は、第１セラミック焼結体及び第２セラミック焼結体をそれぞれ含み、前記第１セラミック焼結体及び前記第２セラミック焼結体は色が互いに異なる、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項17】

前記第１セラミック焼結体及び前記第２セラミック焼結体は、断面から得られた画像のグレーレベル差が１０レベル以上である、請求項１６に記載の積層型キャパシタ。

【請求項18】

前記第１内部電極は、前記活性部の前記第３面及び前記第４面に延長された、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項19】

前記第１内部電極は、前記活性部の前記第５面及び前記第６面に延長された、請求項１８に記載の積層型キャパシタ。

【請求項20】

前記第１内部電極は、前記活性部の前記第５面及び前記第６面に延長された複数の突出部を有する、請求項１９に記載の積層型キャパシタ。

【請求項21】

前記第１内部電極において、前記複数の突出部は、前記活性部の前記第３面～前記第６面に対して傾斜した側面を有する、請求項２０に記載の積層型キャパシタ。

【請求項22】

前記第１内部電極において、前記傾斜した側面に該当する領域は、前記第１方向に前記第２内部電極と重ならない、請求項２１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項23】

前記連結電極は、前記複数の突出部の間に該当する領域に配置された、請求項２０に記載の積層型キャパシタ。

【請求項24】

前記第２内部電極は、前記活性部の前記第５面及び前記第６面に延長された、請求項１に記載の積層型キャパシタ。

【請求項25】

前記第２方向に測定した幅を基準に、前記第２内部電極において前記活性部の前記第５面及び前記第６面に延長された領域の幅は、前記連結電極の幅より広い、請求項２４に記載の積層型キャパシタ。

【請求項26】

前記第２内部電極は平板形状である、請求項２４に記載の積層型キャパシタ。

【請求項27】

前記第２内部電極は、前記第５面及び前記第６面に延長された複数の突出部を有する、請求項２４に記載の積層型キャパシタ。

【請求項28】

前記連結電極は、前記サイドマージン部に形成された溝に配置された、請求項１から２７のいずれか一項に記載の積層型キャパシタ。

【請求項29】

誘電体層及び前記誘電体層を間に挟んで第１方向に積層された第１内部電極及び第２内部電極を含み、前記第１方向に対向する第１面及び第２面、前記第１面及び前記第２面と連結され、第２方向に対向する第３面及び第４面、前記第１面～前記第４面と連結され、第３方向に対向する第５面及び第６面を含む活性部と、
前記活性部の前記第３面及び前記第４面をカバーし、前記第１内部電極と連結された第１外部電極と、
前記活性部の前記第５面及び前記第６面をカバーし、前記第２内部電極と連結された連結電極と、
前記活性部の前記第５面及び前記第６面をカバーし、複数の離隔した領域を有するサイドマージン部と、
前記活性部の前記第５面及び前記第６面側で前記サイドマージン部をカバーし、前記連結電極と連結された第２外部電極と、を含み、
前記サイドマージン部は、第１サイドマージン部及び第２サイドマージン部を含み、前記連結電極は、前記第１サイドマージン部及び前記第２サイドマージン部の間に配置された、積層型キャパシタ。

【請求項30】

誘電体層及び前記誘電体層を間に挟んで積層された複数の内部電極を含む活性部と、
前記活性部の少なくとも一面をカバーし、前記複数の内部電極と連結された連結電極と、
前記連結電極をカバーし、前記一面及び前記複数の内部電極の積層方向に垂直な方向を幅方向とするとき、前記幅方向に測定した長さが前記連結電極より長い絶縁部と、
前記絶縁部をカバーしながら前記連結電極と連結された外部電極と、を含む、積層型キャパシタ。

【請求項31】

前記外部電極は、前記幅方向に測定した長さが前記連結電極より長い、請求項３０に記載の積層型キャパシタ。

【請求項32】

前記外部電極は、前記幅方向に測定した長さが前記絶縁部より短い、請求項３０または３１に記載の積層型キャパシタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、積層型キャパシタに関するものである。

【背景技術】

【0002】

キャパシタは、電気を蓄えることができる素子であって、基本的に２つの電極を対向させ、電圧をかけると、各電極に電気が蓄積されるものである。直流電圧を印加した場合には、電気が蓄電されてキャパシタの内部に電流が流れるが、蓄積が完了すると電流が流れなくなる。一方、交流電圧を印加した場合、電極の極性が交変しながら交流電流が流れるようになる。

【0003】

このようなキャパシタは、電極間に備えられる絶縁体の種類に応じて、アルミニウムで電極を構成し、上記アルミニウム電極の間に薄い酸化膜を備えるアルミニウム電解キャパシタ、電極材料としてタンタルを使用するタンタルキャパシタ、電極の間にチタンバリウムのような高誘電率の誘電体を使用するセラミックキャパシタ、電極の間に備えられる誘電体として高誘電率系セラミックを多層構造で使用する積層セラミックキャパシタ（Ｍｕｌｔｉ－Ｌａｙｅｒ Ｃｅｒａｍｉｃ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ、ＭＬＣＣ）、電極の間の誘電体としてポリスチレンフィルムを使用するフィルムキャパシタなど、様々な種類に分類することができる。

【0004】

このうち、積層セラミックキャパシタは、温度特性及び周波数特性に優れ、小型に実現可能であるという利点を有しており、最近、高周波回路など様々な分野に多く応用されている。最近では、積層セラミックキャパシタをより小さく実現するための試みが続けられており、そのために、誘電体層、内部電極、外部電極を薄く形成している。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明の目的のうち一つは、電気容量が向上した積層型キャパシタを提供することである。

【0006】

本発明の目的のうち他の一つは、構造的安定性が向上した積層型キャパシタを提供することである。

【0007】

本発明の目的のうち他の一つは、耐湿信頼性が向上した積層型キャパシタを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上述した課題を解決するための方法として、本発明は、一例を挙げて積層型キャパシタの新規な構造を提案する。具体的に、誘電体層及び上記誘電体層を間に挟んで第１方向に積層された第１及び第２内部電極を含み、上記第１方向に対向する第１面及び第２面、上記第１面及び第２面と連結され、第２方向に対向する第３面及び第４面、上記第１面～第４面と連結され、第３方向に対向する第５面及び第６面を含む活性部と、上記活性部の第３面及び第４面をカバーし、上記第１内部電極と連結された第１外部電極と、上記活性部の第５面及び第６面をカバーし、上記第２内部電極と連結された連結電極と、上記活性部の第５面及び第６面側で上記連結電極をカバーするサイドマージン部と、上記活性部の第５面及び第６面側で上記サイドマージン部をカバーし、上記連結電極と連結された第２外部電極と、を含む。

【0009】

一実施形態において、上記第１外部電極、連結電極、及び第２外部電極はそれぞれ一対で備えられることができる。

【0010】

一実施形態において、上記一対の第２外部電極は、上記活性部の第５面及び第６面をそれぞれカバーし、上記第１面及び第２面に延長されることができる。

【0011】

一実施形態において、上記一対の第２外部電極は、上記活性部の第１面及び第２面をそれぞれカバーし、上記第５面及び第６面に延長されることができる。

【0012】

一実施形態において、上記活性部は、上記第１方向の長さが上記第２方向の長さより長い形状であってもよい。

【0013】

一実施形態において、上記サイドマージン部は、上記第２方向に測定した長さが上記連結電極より長くてもよい。

【0014】

一実施形態において、上記第２外部電極は、上記第２方向に測定した長さが上記連結電極より長くてもよい。

【0015】

一実施形態において、上記第２外部電極は、上記第２方向に測定した長さが上記サイドマージン部より短くてもよい。

【0016】

一実施形態において、上記第２外部電極は、上記活性部の第１面、第２面、第５面、第６面をカバーするリング形状であってもよい。

【0017】

一実施形態において、上記連結電極は、上記活性部の第１面、第２面、第５面、第６面をカバーするリング形状であってもよい。

【0018】

一実施形態において、上記連結電極は、上記活性部の第１面及び第２面に延長され、上記連結電極と上記第２外部電極は、上記活性部の第１面及び第２面に連結されることができる。

【0019】

一実施形態において、上記サイドマージン部を貫通して上記連結電極と上記第２外部電極とを連結する少なくとも一つの導電性ビアをさらに含むことができる。

【0020】

一実施形態において、上記誘電体層と上記サイドマージン部は、第１及び第２セラミック焼結体をそれぞれ含み、上記第１及び第２セラミック焼結体は、平均グレインサイズが互いに異なることができる。

【0021】

一実施形態において、上記第１及び第２セラミック焼結体は、平均グレインサイズの差が５％以上であってもよい。

【0022】

一実施形態において、上記第１及び第２セラミック焼結体は、平均グレインサイズの差が５％未満であり、上記第１及び第２セラミック焼結体に含まれたグレインのサイズ分布をそれぞれ第１及び第２分布とするとき、上記第１及び第２分布の標準偏差は１０％以上であることができる。

【0023】

一実施形態において、上記誘電体層と上記サイドマージン部は、第１及び第２セラミック焼結体をそれぞれ含み、上記第１及び第２セラミック焼結体は、色が互いに異なることができる。

【0024】

一実施形態において、上記第１及び第２セラミック焼結体は、断面から得られた画像のグレーレベル差が１０レベル以上であってもよい。

【0025】

一実施形態において、上記第１内部電極は、上記活性部の上記第３及び第４面に延長されることができる。

【0026】

一実施形態において、上記第１内部電極は、上記活性部の上記第５面及び第６面に延長されることができる。

【0027】

一実施形態において、上記第１内部電極は、上記活性部の上記第５及び第６面に延長された複数の突出部を有することができる。

【0028】

一実施形態において、上記第１内部電極において、上記複数の突出部は、上記活性部の第３面～第６面に対して傾斜した側面を有することができる。

【0029】

一実施形態において、上記第１内部電極において、上記傾斜した側面に該当する領域は、上記第１方向に上記第２内部電極と重ならなくてもよい。

【0030】

一実施形態において、上記連結電極は、上記複数の突出部の間に該当する領域に配置されることができる。

【0031】

一実施形態において、上記第２内部電極は、上記活性部の上記第５及び第６面に延長されることができる。

【0032】

一実施形態において、上記第２方向に測定した幅を基準に、上記第２内部電極において、上記活性部の上記第５及び第６面に延長された領域の幅は、上記連結電極の幅より広くてもよい。

【0033】

一実施形態において、上記第２内部電極は平板形状であってもよい。

【0034】

一実施形態において、上記第２内部電極は、上記第５及び第６面に延長された複数の突出部を有することができる。

【0035】

一実施形態において、上記連結電極は、上記サイドマージン部に形成された溝に配置されることができる。

【0036】

一方、本発明の他の側面は、誘電体層及び上記誘電体層を間に挟んで第１方向に積層された第１及び第２内部電極と、を含み、上記第１方向に対向する第１面及び第２面、上記第１及び第２面と連結され、第２方向に対向する第３面及び第４面、上記第１面～第４面と連結され、第３方向に対向する第５面及び第６面を含む活性部と、上記活性部の第３面及び第４面をカバーし、上記第１内部電極と連結された第１外部電極と、上記活性部の第５面及び第６面をカバーし、上記第２内部電極と連結された連結電極と、上記活性部の第５面及び第６面をカバーするサイドマージン部と、上記活性部の第５面及び第６面側で上記サイドマージン部をカバーし、上記連結電極と連結された第２外部電極と、を含み、上記サイドマージン部は第１及び第２サイドマージン部を含み、上記連結電極は、上記第１及び第２サイドマージン部の間に配置された積層型キャパシタを提供する。

【0037】

本発明のさらに他の側面は、誘電体層及び上記誘電体層を間に挟んで積層された複数の内部電極を含む活性部と、上記活性部の少なくとも一面をカバーし、上記複数の内部電極と連結された連結電極と、上記連結電極をカバーし、上記一面及び上記複数の内部電極の積層方向に垂直な方向を幅方向とするとき、上記幅方向に測定した長さが上記連結電極より長い絶縁部及び上記絶縁部をカバーしながら上記連結電極と連結された外部電極と、を含む積層型キャパシタを提供する。

【0038】

一実施形態において、上記外部電極は、上記幅方向に測定した長さが上記連結電極より長くてもよい。

【0039】

一実施形態において、上記外部電極は、上記幅方向に測定した長さが上記絶縁部より短くてもよい。

【発明の効果】

【0040】

本発明の一例による積層型キャパシタの場合、電気容量、構造的安定性、耐湿信頼性などの特性のうち少なくとも一つの特性が向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【0041】

【図1】本発明の一実施形態による積層型キャパシタの外観を概略的に示すものであり、斜視図に該当する。

【図2】本発明の一実施形態による積層型キャパシタの外観を概略的に示すものであり、分解斜視図に該当する。

【図3】第１内部電極を示す平面図である。

【図4】第２内部電極を示す平面図である。

【図5】図３及び図４の内部電極が重なる領域を従来例と比較して示すものである。

【図6】本発明の実施例（ａ）及び比較例（ｂ、ｃ）において、積層型キャパシタの一領域を示す平面図である。

【図7】誘電体層及びサイドマージン部の一領域を拡大して示すものである。

【図8】積層型キャパシタを製造する工程例を示す。

【図9】電極塗布装置を用いた電極塗布工程を示す。

【図10】内部電極用パターンを切断して個別化する工程、及びこれにより得られる内部電極の形態を示す。

【図11】内部電極用パターンを切断して個別化する工程、及びこれにより得られる内部電極の形態を示す。

【図12】内部電極用パターンを切断して個別化する工程、及びこれにより得られる内部電極の形態を示す。

【図13】内部電極用パターンを切断して個別化する工程、及びこれにより得られる内部電極の形態を示す。

【図14】内部電極用パターンを切断して個別化する工程、及びこれにより得られる内部電極の形態を示す。

【図15】内部電極用パターンを切断して個別化する工程、及びこれにより得られる内部電極の形態を示す。

【図16】内部電極用パターンを切断して個別化する工程、及びこれにより得られる内部電極の形態を示す。

【図17】内部電極用パターンを切断して個別化する工程、及びこれにより得られる内部電極の形態を示す。

【図18】内部電極用パターンを切断して個別化する工程、及びこれにより得られる内部電極の形態を示す。

【図19】変形された例による積層型キャパシタを示す。

【図20】変形された例による積層型キャパシタを示す。

【図21】変形された例による積層型キャパシタを示す。

【図22】変形された例による積層型キャパシタを示す。

【図23】変形された例による積層型キャパシタを示す。

【図24】変形された例による積層型キャパシタを示す。

【図25】変形された例による積層型キャパシタを示す。

【図26】変形された例による積層型キャパシタを示す。

【図27】変形された例による積層型キャパシタを示す。

【図28】連結電極の幅Ｗ１に応じた第１及び第２内部電極の重なり面積の増加率を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0042】

以下、具体的な実施形態及び添付の図面を参照して本発明の実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形することができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されるものではない。また、本発明の実施形態は、通常の技術者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどは、より明確な説明のために誇張されてもよく、図面上の同一の符号で示される要素は同一の要素である。

【0043】

そして、図面において、本発明を明確に説明するために説明と関係のない部分は省略し、複数の層及び領域を明確に表現するために厚さを拡大して示し、同一思想の範囲内の機能が同一である構成要素については、同一の参照符号を用いて説明する。さらに、明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」と言うとき、これは、特に反対になる記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。

【0044】

図１及び図２は、本発明の一実施形態による積層型キャパシタの外観を概略的に示すものであり、それぞれ斜視図及び分解斜視図に該当する。図３及び図４はそれぞれ第１内部電極及び第２内部電極を示す平面図であり、図５は、図３及び図４の内部電極が重なる領域を従来例と比較して示すものである。そして図６は、本発明の実施例（ａ）と比較例（ｂ、ｃ）において積層型キャパシタの一領域を示す平面図である。

【0045】

まず、図１～図４を参照すると、本発明の一実施形態による積層型キャパシタ１００は、活性部１０１、第１外部電極１３１ａ、１３１ｂ、連結電極１３２ａ、１３２ｂ、サイドマージン部１１１、１１２、第２外部電極１３３ａ、１３３ｂを含む。ここで、連結電極１３２ａ、１３２ｂは活性部１０１をカバーしながら第２内部電極１２２と連結され、第２外部電極１３３ａ、１３３ｂはサイドマージン部１１１、１１２をカバーしながら連結電極１３２ａ、１３２ｂと連結される。

【0046】

活性部１０１は、誘電体層１１０及び誘電体層１１０を間に挟んで第１方向（Ｘ方向）に積層された第１及び第２内部電極１２１、１２２を含む。活性部１０１は、形状の面で、第１方向（Ｘ方向）に対向する第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２、第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２と連結され、第２方向（Ｙ方向）に対向する第３面Ｓ３及び第４面Ｓ４、第１面～第４面Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４と連結され、第３方向（Ｚ方向）に対向する第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６を含む。ここで、第１方向（Ｘ方向）、第２方向（Ｙ方向）、第３方向（Ｚ方向）は互いに垂直であってもよい。活性部１０１の面が互いに連結されたというのは、物理的に直接連結されたこと以外にも、活性部１０１の他の要素によって互いに連結されたことを含む。また、活性部１０１は、第１方向（Ｘ方向）の長さＬ１と第２方向（Ｙ方向）の長さＬ２と実質的に同一であってもよく、これは内部電極１２１、１２２の積層数を十分に確保して電気容量を向上させるのに好適であり得る。活性部１０１は、最上部及び最下部に配置され、一つ以上の誘電体層１１０が積層された構造のカバー層１１３、１１４を含むことができる。この場合、カバー層１１３、１１４の平均厚さは特に限定する必要はない。ただし、積層型キャパシタ１００の単位体積当たりの容量を向上させるために、カバー層１１３、１１４の平均厚さは１５μｍ以下であることができ、上部のカバー層１１３及び下部のカバー層１１４のそれぞれにおいて等間隔の５個の地点で測定した値の平均値であることができる。

【0047】

活性部１０１の具体的な形状に特に制限はないが、図示のように活性部１０１は六面体形状又はこれと類似の形状からなることができる。焼成過程で活性部１０１に含まれたセラミック粉末の収縮により、活性部１０１は、完全な直線を有する六面体形状ではないが、実質的に六面体形状を有することができる。活性部１０１に含まれた誘電体層１１０は焼成された状態であって、隣接する誘電体層１１０間の境界は走査電子顕微鏡（ＳＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を利用せずには確認し難いほど一体化することができる。誘電体層１１０を形成する原料は、十分な静電容量が得られる限り特に制限されない。例えば、チタン酸バリウム系材料、鉛複合ペロブスカイト系材料、チタン酸ストロンチウム系材料などを使用することができる。上記チタン酸バリウム系材料としては、ＢａＴｉＯ_３系セラミック粉末を含むことができ、上記セラミック粉末の例示として、ＢａＴｉＯ_３、ＢａＴｉＯ_３にＣａ、Ｚｒ等が一部固溶した（Ｂａ_１－ｘＣａ_ｘ）ＴｉＯ_３（０＜ｘ＜１）、Ｂａ（Ｔｉ_１－ｙＣａ_ｙ）Ｏ_３（０＜ｙ＜１）、（Ｂａ_１－ｘＣａ_ｘ）（Ｔｉ_１－ｙＺｒ_ｙ）Ｏ_３（０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１）又はＢａ（Ｔｉ_１－ｙＺｒ_ｙ）Ｏ_３（０＜ｙ＜１）などが挙げられる。また、誘電体層１１０を形成する原料としては、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）などのパウダーに、本発明の目的に応じて様々なセラミック添加剤、有機溶剤、結合剤、分散剤などを添加することができる。

【0048】

誘電体層１１０の平均厚さは特に限定する必要はない。例えば、誘電体層１１０の平均厚さは０．２μｍ以上１０μｍ以下であってもよい。誘電体層１１０の平均厚さは、第１及び第２内部電極１２１、１２２の間に配置される誘電体層１１０の平均厚さを意味することができる。誘電体層１１０の平均厚さは、活性部１０１の一断面（例えば、Ｘ－Ｙ断面）を１万倍率の走査電子顕微鏡でイメージをスキャンして測定することができる。より具体的に、スキャンされたイメージにおいて、一つの誘電体層１１０を第２方向（Ｙ方向）に等間隔である３０個の地点でその厚さを測定して平均値を測定することができる。また、このような平均値の測定を１０個の誘電体層１１０に拡張して平均値を測定すると、誘電体層の平均厚さをさらに一般化することができる。

【0049】

第１及び第２内部電極１２１、１２２は、セラミックグリーンシートの一面に所定の厚さで導電性金属（例えば、Ｎｉ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｔｉ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｓｎ等）を含むペーストをスクリーン印刷法、グラビア印刷法などの方法で印刷した後、これを焼成して得ることができる。一方、第１及び第２内部電極１２１、１２２の平均厚さは特に限定する必要はない。例えば、第１及び第２内部電極１２１、１２２の平均厚さは０．２μｍ以上３μｍ以下であってもよい。第１及び第２内部電極１２１、１２２の平均厚さは、活性部１０１の一断面（例えば、Ｘ－Ｙ断面）を１万倍率の走査電子顕微鏡でイメージをスキャンして測定することができる。より具体的に、スキャンされたイメージにおいて、一つの内部電極を長さ方向に等間隔である３０個の地点でその厚さを測定して平均値を測定することができる。また、このような平均値の測定を１０個の内部電極１２１、１２２に拡張して平均値を測定すると、内部電極１２１、１２２の平均厚さをさらに一般化することができる。

【0050】

図示された形態のように、第１内部電極１２１は、活性部１０１の第３面Ｓ３及び第４面Ｓ４に延長されて第１外部電極１３１ａ、１３１ｂと連結されることができる。また、第１内部電極１２１は、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６にも延長されることができる。具体的な例として、図３に示す形態のように、第１内部電極１２１は、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面に延長された複数の突出部Ｐを有することができ、これにより、第１内部電極１２１はアルファベット「Ｈ」と類似した形状を有することができる。第２内部電極１２２は、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６に延長されて連結電極１３２ａ、１３２ｂと連結されることができる。この場合、図４に示す形態のように、第２内部電極１２２は平板形状であってもよい。また、連結電極１３２ａ、１３２ｂは、複数の突出部Ｐの間に該当する領域に配置されてもよい。

【0051】

このような第１及び第２内部電極１２１、１２２の形状は、相互間に第１方向（Ｘ方向）に重なり面積が増加することによって、電気容量の向上をもたらすことができる。すなわち、図５を参照すると、本実施形態において、第１及び第２内部電極１２１、１２２が第１方向（Ｘ方向）に重なる領域Ａ１は実線で、従来の重なる領域Ａ２は点線で示されているが、同じサイズを有する部品を基準にしたとき、Ａ１はＡ２より増加した面積を有し、これにより電気容量が向上することができる。第１及び第２内部電極１２１、１２２の重なり面積が増加できるのは、後述するように、サイドマージン部１１１、１１２を採用することで、第１及び第２内部電極１２１、１２２のマージン（外部から離隔した距離）を最小化することができるからである。さらに、第１及び第２内部電極１２１、１２２のマージンが減少することによって、第１及び第２内部電極１２１、１２２を積層する過程で発生し得る段差の問題も最小化することができ、これは、積層型キャパシタ１００の構造的安定性及び信頼性の向上に繋がることができる。図２７は、連結電極の幅Ｗ１に応じた第１及び第２内部電極の重なり面積の増加率を示すものである。ここで、重なり面積の増加率は、従来の場合（図５のＡ２面積を有する場合）と比較したものであり、（１）は図１０のように２つのパターンＰ１、Ｐ２で第１及び第２内部電極１２１、１２２を製造した場合を、（２）は図１１のように、１つのパターンＰ３で第１及び第２内部電極１２１、１２２を製造した場合に該当する。図２７のグラフの結果から分かるように、本実施形態を採用することにより、従来と比較して重なり面積が増加することができ、ここで、連結電極の幅Ｗ１が増加するほど、増加幅が鈍化することは、第１内部電極１２１の突出部Ｐの幅が減少したためと言える。

【0052】

第１外部電極１３１ａ、１３１ｂは、活性部１０１の第３面Ｓ３及び第４面をカバーし、第１内部電極１２１と連結される。この場合、第１外部電極１３１ａ、１３１ｂは一対備えられ、第３面Ｓ３及び第４面Ｓ４にそれぞれ配置されることができる。積層型キャパシタ１００を基板等に実装する場合、第１外部電極１３１ａ、１３１ｂは信号ラインと連結されることができ、これにより積層型キャパシタ１００は３端子キャパシタとして機能することができる。

【0053】

連結電極１３２ａ、１３２ｂは、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６をカバーし、第２内部電極１２２と連結される。この場合、連結電極１３２ａ、１３２ｂは一対で備えられ、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６にそれぞれ配置されることができる。本実施形態の場合、第２内部電極１２２は、第２外部電極１３３ａ、１３３ｂと直接連結されるよりも、これらの間に連結電極１３２ａ、１３２ｂが配置されて電気接続構造が実現される。図２に示すように、連結電極１３２ａ、１３２ｂは、活性部１０１の第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２に延長されることができ、この場合、連結電極１３２ａ、１３２ｂと第２外部電極１３３ａ、１３３ｂとは、活性部１０１の第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２で連結されることができる。

【0054】

図示された形態のように、サイドマージン部１１１、１１２は、第２方向（Ｙ方向）に測定した長さが連結電極１３２ａ、１３２ｂより長くてもよい。また、第２外部電極１３３ａ、１３３ｂは、第２方向（Ｙ方向）に測定した長さが連結電極１３２ａ、１３２ｂより長くてもよい。また、第２外部電極１３３ａ、１３３ｂは、第２方向（Ｙ方向）に測定した長さがサイドマージン部１１１、１１２より短くてもよい。

【0055】

一方、連結電極１３２ａ、１３２ｂと第２外部電極１３３ａ、１３３ｂの連結方式は異なってもよく、例えば、図１９の変形例のように導電性ビア１３４ａ、１３４ｂによって電気接続が実現されてもよい。本変形例において、さらに含まれた導電性ビア１３４ａ、１３４ｂの場合、サイドマージン部１１１、１１２を貫通して連結電極１３１ａ、１３１ｂと第２外部電極１３３ａ、１３３ｂとを連結することができる。図１０では、活性部１０１の第５面Ｓ５側及び第６面Ｓ６側のそれぞれに複数の導電性ビア１３４ａ、１３４ｂが存在するが、それぞれに一つの導電性ビア１３４ａ、１３４ｂが存在することもできる。連結電極１３２ａ、１３２ｂと第２外部電極１３３ａ、１３３ｂとが導電性ビア１３４ａ、１３４ｂによって接続される場合、連結電極１３２ａ、１３２ｂは活性部１０１の第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２をカバーするように延長されなくてもよい。必須ではないが、導電性ビア１３４ａ、１３４ｂは、連結電極１３２ａ、１３２ｂと同じ物質から形成されてもよく、この場合、工程の効率性が向上することができる。導電性ビア１３４ａ、１３４ｂは、サイドマージン部１１１、１１２を活性部１０１に貼り付ける前に、予めサイドマージン部１１１、１１２に形成することもでき、サイドマージン部１１１、１１２をホール加工した後、ここに導電性ペーストを充填して得ることができる。

【0056】

これとは異なり、サイドマージン部１１１、１１２が活性部１０１に貼り付けられた状態で導電性ビア１３４ａ、１３４ｂを形成することもできる。また他の例として、図２０に示す形態のように、連結電極１３２ａ、１３２ｂは、サイドマージン部１１１、１１２に形成された溝Ｒに配置されることもでき、本変形例のような構造を有する場合、サイドマージン部１１１、１１２の溝Ｒに連結電極１３２ａ、１３２ｂを形成するための導電性ペーストを形成した後、これを活性部１０１に貼り付ける方法も用いることができる。さらに他の例として、図２１に示す形態のように、サイドマージン部１１１、１１２は、一つではなく、複数のシートに分離された形態を有することもできる。具体的に、サイドマージン部１１１、１１２は、第１サイドマージン部１１１ａ、１１１ｂと第２サイドマージン部１１２ａ、１１２ｂとを含むことができる。この場合、連結電極１３２ａ、１３２ｂは、サイドマージン部１１１、１１２によってカバーされるよりは、第１サイドマージン部１１１ａ、１１１ｂと第２サイドマージン部１１２ａ、１１２ｂとの間に配置された構造として実現されることができる。

【0057】

図６の（ａ）は、Ｚ方向から積層型キャパシタ１００を見た平面図であり、第２外部電極１３３ａ、１３３ｂは図示していない。図６の（ｂ）、図６の（ｃ）の従来例は、連結電極がなく、外部電極３３及び内部電極２１、２２の連結形態が示されている。図６の（ａ）を参照すると、本実施形態の場合、第２方向（Ｙ方向）に測定した幅を基準に、第２内部電極１２１において、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６に延長された領域の幅Ｗ２は、連結電極１３２ａ、１３２ｂの幅Ｗ１より広くてもよい。これは、図６の（ｂ）、図６の（ｃ）の従来例と比較して、第２内部電極１２１と連結電極１３２ａ、１３２ｂの不一致（ｍｉｓ－ａｌｉｇｎ）の可能性が著しく低減できる条件である。図６に対する更なる説明は後述する。

【0058】

第２外部電極１３３ａ、１３３ｂは、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６側でサイドマージン部１１１、１１２をカバーし、上述したように連結電極１３２ａ、１３２ｂと連結される。第２外部電極１３３ａ、１３３ｂは一対備えられることができ、この場合、一対の第２外部電極１３３ａ、１３３ｂは、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６をそれぞれカバーし、第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２に延長されることができる。ただし、図２２の変形例のように、第２外部電極１３３は一対に分離されずに一体構造として形成されてもよく、具体的な例として、第２外部電極１３３は活性部１０１の第１面、第２面、第５面、第６面Ｓ１、Ｓ２、Ｓ５、Ｓ６をカバーするリング（ｒｉｎｇ）形状であってもよい。また、図２３の変形例のように、連結電極１３２ａ、１３２ｂは一対に分離されずに一体構造として形成されてもよく、連結電極１３２は活性部１０１の第１面、第２面、第５面、第６面Ｓ１、Ｓ２、Ｓ５、Ｓ６をカバーするリング（ｒｉｎｇ）形状であってもよい。図２３では、第２外部電極を示していないが、第２外部電極は、図１及び図２２に示した形態のうちいずれでも採用することができる。そして、図２２及び図２３に示すリング構造は、後述する実施形態にも全て適用することができる。

【0059】

一方、第１外部電極１３１ａ、１３１ｂ、連結電極１３２ａ、１３２ｂ、第２外部電極１３３ａ、１３３ｂは、導電性金属及びガラスを含む焼成電極であってもよい。第１外部電極１３１ａ、１３１ｂ、連結電極１３２ａ、１３２ｂ、第２外部電極１３３ａ、１３３ｂを形成する工程の例として、導電性金属を含むシートを転写する方式、原子層蒸着（Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＡＬＤ）工法、分子層蒸着（Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＭＬＤ）工法、化学気相蒸着（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、ＣＶＤ）工法、スパッタリング（Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）工法などを用いることができる。第１外部電極１３１ａ、１３１ｂ、連結電極１３２ａ、１３２ｂ、第２外部電極１３３ａ、１３３ｂに使用される導電性金属は、静電容量の形成のために上記内部電極と電気的に連結できる材質であれば、特に制限されず、例えば、ニッケル（Ｎｉ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、錫（Ｓｎ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含むことができる。また、第１外部電極１３１ａ、１３１ｂ及び第２外部電極１３３ａ、１３３ｂの外側には、必要な機能に応じて電極層２０１、２０２を使用することができ、例えば、樹脂電極層２０１、めっき層２０２などが順次に追加配置されてもよい。

【0060】

サイドマージン部１１１、１１２は、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６側で連結電極１３１ａ、１３１ｂをカバーする。図示された形態のように、サイドマージン部１１１、１１２は一対備えられてもよく、この場合、一対のサイドマージン部１１１、１１２は、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６側にそれぞれ配置されてもよい。サイドマージン部１１１、１１２は、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６にサイドマージン部用セラミックグリーンシートを貼り付けて形成されてもよい。サイドマージン部１１１、１１２は、物理的または化学的ストレスによる内部電極１２１、１２２の損傷を防止する役割を果たすことができ、上述したように内部電極１２１、１２２を形成するためのマージン領域を減らすことにより、内部電極１２１、１２２の重なり面積を向上させることができる。これをより具体的に説明すると、小型かつ高容量の積層型キャパシタを実現するために、内部電極１２１、１２２を活性部１０１の表面に延長させることで、内部電極１２１、１２２を最大化することができる。このために、活性部１０１の第３方向（Ｚ方向）に内部電極１２１、１２２をカバーするようにサイドマージン部用セラミックグリーンシートを別途貼り付けた後、焼成する方法を用いることができる。

【0061】

このような利点に加えて、本実施形態の構造を有する積層型キャパシタ１００の場合、サイドマージン部１１１、１１２を使用することで、耐湿信頼性を向上させることができる。これについて図６を参照して説明すると、本実施形態に該当する図６の（ａ）の場合、内部電極１２１、１２２は連結電極１３２ａ、１３２ｂと連結され、これらをカバーするサイドマージン部１１１、１１２が採用される。これにより、矢印で表した耐湿浸透経路が長くなることができる。これとは異なり、図６の（ｂ）の従来例では、サイドマージン部がなく、内部電極２１、２２と外部電極３３とが直接連結されるため、耐湿浸透が容易となるが、このような問題点は図６の（ｃ）の従来例のように、内部電極２１、２２と外部電極３３の整列度（ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）が良くない場合に、さらに顕著になる可能性がある。

【0062】

誘電体層１１０とサイドマージン部１１１、１１２は、グレインサイズや色などによって区別することができる。具体的に、図７を参照すると、誘電体層１１０は第１セラミック焼結体を含み、サイドマージン部１１１、１１２は第２セラミック焼結体を含む場合、上記第１セラミック焼結体に含まれた粒子Ｇ１と、上記第２セラミック焼結体に含まれたグレインＧ２とは、平均サイズが互いに異なることがある。図７の（ａ）は、上記第１セラミック焼結体の平均グレインサイズが上記第２セラミック焼結体の平均グレインサイズより小さい場合を示し、逆に図７の（ｂ）は、上記第１セラミック焼結体の平均グレインサイズが上記第２セラミック焼結体の平均グレインサイズより大きい場合を示す。また、上記第１及び第２セラミック焼結体の色は互いに異なることがあり、このように互いに異なる色は目視で区別することもできる。このような色の差は、明度、彩度、色相のうち少なくとも一つの差を意味することができ、セラミック焼結体のグレインサイズや成分の差によって発生することができる。具体的な例として、上記第１セラミック焼結体に含まれたグレインのサイズ分布（第１分布）及び上記第２セラミック焼結体に含まれたグレインのサイズ分布（第２分布）において、上記第１及び第２分布の平均グレインサイズの差が５％以上であることができ、この場合、上記第１及び第２セラミック焼結体は目視で区別できる程度の色差が生じる可能性がある。また、上記第１及び第２分布において、平均グレインサイズ値の差が大きくない場合（５％未満）であっても、標準偏差の差が１０％以上である場合には、上記第１及び第２セラミック焼結体は目視で区別できる程度の色差が生じる可能性がある。そして、上記第１及び第２セラミック焼結体における色の差は明度の差から効果的に区別することができ、例えば、少なくとも一つの断面から得られた画像のグレーレベル（０～２５５）において１０レベル以上の差がある場合に、有意な色の差があると定義することができる。

【0063】

誘電体層１１０とサイドマージン部１１１、１１２に含まれたグレインのサイズを測定する方法の具体的な例について説明する。まず、グレインＧ１、Ｇ２のサイズは、積層型キャパシタ１００を第２方向（Ｙ方向）の中央の位置まで研磨して第１及び第３方向の断面（Ｘ－Ｚ断面）を露出させた後、露出した断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）、光学顕微鏡（Ｏｐｔｉｃａｌ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を用いて観察した画像から測定することができる。得られた画像を画像処理プログラムを用いてグレインＧ１、Ｇ２の境界を明確にした後、それぞれの面積を算出し、算出された面積を円相当径に換算してグレインＧ１、Ｇ２のサイズを得ることができる。

【0064】

一方、実施形態に応じては、活性部１０１とは別途の工程で作製されたサイドマージン部１１１、１１２が採用されない場合もある。この場合、サイドマージン部１１１、１１２は一般的な絶縁部と称することができ、例えば、上記絶縁部は誘電体からなることができる。そして、上記絶縁部をなす誘電体は、活性部１０１の誘電体層１１０と同じ物質を含むことができる。一般的な絶縁部の形態で提供される場合でも、上記絶縁部の幅方向の長さは上述した形態、すなわち、連結電極１３２ａ、１３２ｂや第２外部電極１３３ａ、１３３ｂより長くてもよく、且つ、第２外部電極１３３ａ、１３３ｂは、幅方向の長さが連結電極１３２ａ、１３２ｂより長くてもよい。ここで、幅方向の長さは、活性部１０１の一面、すなわち、本実施形態では、第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６、並びに複数の内部電極１２１、１２２の積層方向（Ｘ方向）に垂直な方向（Ｙ方向）と定義することができる。

【0065】

図８を参照して積層型キャパシタを製造する方法の一例を説明し、上述した構成要素の一部については図面番号を省略している。本工程例は、図８の（ａ）から８の（ｇ）の順に進行することができる。まず、活性部１０１を形成するが、本工程は、セラミックグリーンシートと内部電極パターンを交互に積層し、単位素子にダイシングする段階などを含むことができる。一例として、セラミックグリーンシート上にスクリーン印刷法、グラビア印刷法などで内部電極パターンを形成し、これらを繰り返し積層することができる。ダイシング工程の場合、機械的加工、レーザ加工などのように当技術分野において周知された方法を使用することができる。図８の（ａ）は、ダイシング段階を経た後の単位素子形態の活性部１０１を示す。

【0066】

次に、活性部１０１の表面に連結電極を形成する。この場合、図８の（ｂ）のような印刷工法を使用することができ、これを図９を参照してさらに具体的に説明する。図９は、電極印刷装置の動作例を示す。本印刷工程の場合、部品側のホイール（ｗｈｅｅｌ）２０１が回転しながら活性部１０１の表面に導電性ペーストＰを塗布することにより所定形状のパターンを形成し、これは、上述した連結電極用パターン１３２ａ、１３２ｂに該当する。この場合、連結電極用パターン１３２ａ、１３２ｂの一部は、活性部１０１の上面及び下面（上述した実施形態では、第１面及び第２面）に移動してこれらをカバーすることができる。図示された形態のように、多数の活性部１０１がキャリアシート２００に配置されてもよく、例えば、キャリアシート２００の溝に結合して活性部１０１の一側と他側を露出させることができる。そして、キャリアシート２００は下方に移動して印刷工程が順次に進行することができる。この場合、活性部１０１の一側と他側に連結電極用パターンを形成することができ、これらは同時に形成されることもできる。導電性ペーストＰは、金属、ガラス、バインダーなどを含むことができ、活性部１０１の表面に塗布時に導電性ペーストＰの量と形成領域を制御するために、ホイールブレード（ｗｈｅｅｌ ｂｌａｄｅ）２０３が提供されることができる。そして、トレイ２１０に保管された導電性ペーストＰは、トレイ側のホイール２０２を介して部品側のホイール２０１に移動することができる。連結電極１３２ａ、１３２ｂを形成する方法としては、これ以外にも、ディッピング（ｄｉｐｐｉｎｇ）工程、転写工程などを用いることもできる。ただし、図９に示す印刷工程は、特定領域に連結電極１３２ａ、１３２ｂを精密に形成するのにさらに好適であり得る。また、本実施形態のようにサイドマージン部を形成する前に連結電極１３２ａ、１３２ｂを形成する場合、内部と外部電極が連結される領域で発生しやすい耐湿浸透が効果的に抑制されることができる。

【0067】

連結電極１３２ａ、１３２ｂの形成後、図８の（ｃ）に示す形態のように、サイドマージン部用グリーンシート１１１、１１２を活性部１０１に貼り付ける。具体的な工程例として、サイドマージン部用グリーンシート１１１、１１２を弾性材質のキャリアに配置した後、これを活性部１０１の一面に加圧密着することができる。図８の（ｄ）は、サイドマージン部用グリーンシート１１１、１１２が貼り付けられた後、焼成段階を経る前の状態である積層体１０１Ａを示し、その後に積層体１０１Ａを焼成する。積層体１０１Ａを焼成した後に、図８の（ｅ）に示す形態のように、積層体１０１Ａに外部電極用ペーストＭを塗布し、これは、連結電極１３２ａ、１３２ｂと連結された第２外部電極１３３ａ、１３３ｂを形成するためのものである。外部電極用ペーストＭの塗布工程は、図８の（ｂ）で説明したものと同様の印刷工程で行うことができ、その他にもディッピング工程、転写工程などを用いることもできる。外部電極用ペーストＭが塗布された後には、これを焼成する工程が実行されることができる。

【0068】

次に、第１外部電極１３１ａ、１３１ｂを形成し、図８の（ｆ）のように転写工程を用いることができる。転写工程の具体的な例として、導電性金属を含むシート２３１に積層体１０１Ｂを加圧することにより、シート２３１の一部が脱着する方式であり、積層体１０１Ｂにおいて互いに対向する両面に対して実行されることができる。図８の（ｇ）は、外部電極が形成された状態の積層型キャパシタ１００を示し、必要に応じて、上述したように第１及び第２外部電極１３１ａ、１３１ｂをカバーする更なる電極層、樹脂電極層、めっき層などを形成することもできる。

【0069】

一方、図８の（ａ）の活性部１０１の形成段階に関連し、図１０～図１８を参照して内部電極の形成方法及びこれにより得られる様々な形状について、より具体的な例示を説明する。上述した切断工程により内部電極は個別化され、まず、図１０の（ａ）及び図１０の（ｂ）は、点線に沿ってダイシングが行われることで、それぞれ第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２が部品単位に個別化される形態を示す。この場合、図１０は、第１内部電極１２１と第２内部電極１２２が別個のパターンＰ１、Ｐ２で形成された例を示す。これとは異なり、図１１は、第１内部電極１２１と第２内部電極１２２とが連結された状態で一つのパターンＰ３で形成された例を示しており、この場合、第１内部電極１２１上に第２内部電極１２２が位置するようにパターンＰ３が積層される。図１０及び図１１のパターンＰ１、Ｐ２、Ｐ３を介して得られた第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２は、それぞれ図３及び図４に示す構造を有することができる。

【0070】

図１２は、前述の実施形態とは異なる形状の内部電極を得るための内部電極用パターンＰ４を示す。図１２において、第１内部電極１２１と第２内部電極１２２とは互いに連結されている。図１３は切断工程後の個別化された状態の内部電極を示し、図１３の（ａ）は第１内部電極１２１、図１３の（ｂ）は第２内部電極１２２に該当する。本例において、第１内部電極１２１は図３と同じ形状に実現され、第２内部電極１２２の場合、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６に延長された複数の突出部Ｐを有する。

【0071】

図１４は、さらに他の形状の内部電極を得るための内部電極用パターンＰ５を示し、第１内部電極１２１と第２内部電極１２２とは物理的に連結されていないものの、全体として一つのパターンＰ５で作製されることができる。図１５は、図１４のパターンＰ５を用いて得られた内部電極を示し、図１５の（ａ）は第１内部電極１２１、図１５の（ｂ）は第２内部電極１２２に該当する。本例において、第１内部電極１２１は、突出部のない平板状に形成される。第２内部電極１２２の場合、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６に延長された突出部Ｐを有する。ここで、第２内部電極１２２の突出部Ｐは、第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６にそれぞれ１個ずつ配置され、第２方向（Ｙ方向）に第２内部電極１２２の中央部に配置されることができる。

【0072】

図１６は、さらに他の形状の内部電極を得るための内部電極用パターンＰ６を示し、第１内部電極１２１と第２内部電極１２２とは互いに連結されている。図１７は、図１６のパターンＰ５を用いて得られた内部電極を示し、図１７の（ａ）は第１内部電極１２１、図１７の（ｂ）は第２内部電極１２２に該当する。本例において、第２内部電極１２２は、突出部のない平板状に形成される。第１内部電極１２１の場合、活性部１０１の第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６に延長された複数の突出部Ｐを有する。この場合、第１内部電極１２１において、複数の突出部Ｐは、活性部１０１の第３面～第６面Ｓ３－Ｓ６に対して傾斜した側面Ｓ_Ｉを有する。サイドマージン部１１１、１１２の接合度が高くない場合、活性部１０１から一部の領域が剥離する可能性があるが、この場合、活性部１０１の角部は耐湿に脆弱になるおそれがある。本例のように、第１内部電極１２１の突出部Ｐが傾斜した側面Ｓ_Ｉを有する場合、活性部１０１の角における耐湿不良の可能性を低減することができる。この場合、電気容量の低下を起こさないために、第１内部電極１２１において傾斜した側面Ｓ_Ｉに該当する領域のうち少なくとも一部は、内部電極１２１、１２２の積層方向である第１方向（Ｘ方向）に第２内部電極１２２と重ならなくてもよい。傾斜した側面Ｓ_Ｉを形成するために第１内部電極１２１、１２２の一部を除去する場合、可能な範囲で第２内部電極１２２と重なる領域を最小限に除去することにより、電気容量が低下することを防止することができる。一方、図１６に示す形態とは異なり、図１８のように、第１内部電極１２１及び第２内部電極１２２が別個のパターンＰ７、Ｐ８で形成されてもよく、図１８の（ａ）は第１内部電極１２１に、図１８の（ｂ）は第２内部電極１２２に該当する。

【0073】

図２４～図２７を参照して本発明の更なる実施形態を説明する。ここで、図２５は図２４の分解斜視図、図２７は図２６の分解斜視図に該当する。本変形例の場合、内部電極１２１、１２２、連結電極１３１ａ、１３１ｂの形状などは、前述の実施形態と実質的に同一であり、外部電極が配置された方式や活性部の形状の面でのみ差がある。まず、図２４及び図２５を参照すると、本変形例による積層型キャパシタ２００の場合、第２外部電極１３３ａ、１３３ｂが前述の実施形態と異なる位置に形成される。具体的に、一対の第２外部電極１３３ａ、１３３ｂは、活性部１０１の第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２をそれぞれカバーし、第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６に延長される。このような形態によって、一対の第２外部電極１３３ａ、１３３ｂのそれぞれは、一つの連結電極のみと連結されるものではなく、一対の連結電極１３２ａ、１３２ｂと同時に連結されることができる。第２外部電極１３３ａ、１３３ｂの形成位置が変わることで、積層型キャパシタ２００は第３方向（Ｚ方向）に基板等に実装されることができ、この場合、内部電極１２１、１２２は実装面に垂直な方向に配置されることができる。

【0074】

次に、図２６及び図２７を参照すると、本変形例による積層型キャパシタ３００の場合、一対の第２外部電極１３３ａ、１３３ｂは、活性部１０１の第１面Ｓ１及び第２面Ｓ２をそれぞれカバーし、第５面Ｓ５及び第６面Ｓ６に延長される。このような形態によって、一対の第２外部電極１３３ａ、１３３ｂのそれぞれは、一つの連結電極のみと連結されるものではなく、一対の連結電極１３２ａ、１３２ｂと同時に連結されることができる。本変形例において、活性部１０１は、第１方向（Ｘ方向）の長さＬ１が第２方向（Ｙ方向）の長さＬ２より長い形状である。積層型キャパシタ３００が第３方向（Ｚ方向）に基板等に実装される場合、内部電極１２１、１２２は実装面に垂直な方向に配置されることができる。また、活性部１０１が上述した長さ条件を有することによって、基板等に第３方向（Ｚ方向）に実装する際に内部電極１２１、１２２の積層数を高く維持して電気容量特性を満たしながらも、薄い厚さを有するロープロファイル（Ｌｏｗ－Ｐｒｏｆｉｌｅ）構造を実現するのに好適になることができる。

【0075】

本発明は、上述した実施形態及び添付の図面によって限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲によって限定される。したがって、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から逸脱しない範囲内で様々な形態の置換、変形及び変更が可能であることは、当技術分野における通常の知識を有する者には自明であり、これも添付の特許請求の範囲に記載されている技術的思想に属すると言える。

【符号の説明】

【0076】

１００、２００、３００：積層型キャパシタ
１０１：活性部
１１０：誘電体層
１１１、１１２：サイドマージン部
１１３、１１４：カバー層
１２１、１２２：内部電極
１３１ａ、１３１ｂ：第１外部電極
１３２ａ、１３２ｂ：連結電極
１３３ａ、１３３ｂ：第２外部電極
１３４ａ、１３４ｂ：導電性ビア

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】