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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2023009911
(43)【公開日】2023-01-20
(54)【発明の名称】振動測定装置および風力発電用ＣＭＳ装置
(51)【国際特許分類】
G01H 17/00 20060101AFI20230113BHJP
G01M 99/00 20110101ALI20230113BHJP
G01M 13/04 20190101ALI20230113BHJP
F03D 17/00 20160101ALI20230113BHJP
F03D 80/30 20160101ALI20230113BHJP
【ＦＩ】
G01H17/00 A
G01M99/00 A
G01M13/04
F03D17/00
F03D80/30
【審査請求】未請求
【請求項の数】18
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2021113574
(22)【出願日】2021-07-08
(71)【出願人】
【識別番号】500433225
【氏名又は名称】学校法人中部大学
(71)【出願人】
【識別番号】000102692
【氏名又は名称】ＮＴＮ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001195
【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】山本 和男
(72)【発明者】
【氏名】小川 泰輝
(72)【発明者】
【氏名】鈴木 洋介
【テーマコード（参考）】
2G024
2G064
3H178
【Ｆターム（参考）】
2G024AC01
2G024AD07
2G024BA11
2G024CA13
2G024FA04
2G024FA11
2G064AA11
2G064AA17
2G064AB01
2G064AB02
2G064AB22
2G064BA02
2G064BD02
2G064DD02
3H178AA03
3H178AA40
3H178AA43
3H178BB43
3H178BB56
3H178CC25
3H178DD52X
(57)【要約】
【課題】加速度センサおよび加速度センサ取付具を備え、落雷による高電圧サージに伴う放電の発生を抑制し、加速度センサの故障を抑制できる振動測定装置、およびそれを用いた風力発電用ＣＭＳ装置を提供する。
【解決手段】振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、絶縁性部材としてのスペーサ３２と、熱収縮チューブ３１とを備える。加速度センサ１０は素子１１を含む。加速度センサ取付具２１は加速度センサ１０の測定対象１側に配置される。スペーサ３２は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間に、両者に接するように挟まれる。熱収縮チューブ３１はセンサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａを覆う。熱収縮チューブ３１は、平面視において加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する領域を含む。
【選択図】図１
【解決手段】振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、絶縁性部材としてのスペーサ３２と、熱収縮チューブ３１とを備える。加速度センサ１０は素子１１を含む。加速度センサ取付具２１は加速度センサ１０の測定対象１側に配置される。スペーサ３２は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間に、両者に接するように挟まれる。熱収縮チューブ３１はセンサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａを覆う。熱収縮チューブ３１は、平面視において加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する領域を含む。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
測定対象の振動を測定可能な素子を含む加速度センサと、
前記加速度センサの前記測定対象が配置されるべき位置側に配置される加速度センサ取付具と、
前記加速度センサと前記測定対象が配置されるべき位置との間に挟まれる絶縁性部材と、
１対のケーブル線と、シールド線と、前記１対のケーブル線およびシールド線を束ねて外側から囲む外被とを含む加速度センサケーブルとを備える、振動測定装置。
前記加速度センサの前記測定対象が配置されるべき位置側に配置される加速度センサ取付具と、
前記加速度センサと前記測定対象が配置されるべき位置との間に挟まれる絶縁性部材と、
１対のケーブル線と、シールド線と、前記１対のケーブル線およびシールド線を束ねて外側から囲む外被とを含む加速度センサケーブルとを備える、振動測定装置。
【請求項2】
前記絶縁性部材は、前記加速度センサと前記加速度センサ取付具とが重なる方向から平面視したときに前記加速度センサと前記加速度センサ取付具との外側に突出する領域を含む、請求項１に記載の振動測定装置。
【請求項3】
前記絶縁性部材は単一の絶縁性のスペーサであり、
前記加速度センサおよび前記加速度センサ取付具は、絶縁性の固定部材により互いに結合され、
前記固定部材と、前記加速度センサおよび前記加速度センサ取付具との隙間には充填剤が配置される、請求項１または２に記載の振動測定装置。
前記加速度センサおよび前記加速度センサ取付具は、絶縁性の固定部材により互いに結合され、
前記固定部材と、前記加速度センサおよび前記加速度センサ取付具との隙間には充填剤が配置される、請求項１または２に記載の振動測定装置。
【請求項4】
前記加速度センサの外縁および前記加速度センサ取付具の外縁を覆う、単一の絶縁性のチューブとを備え、
前記チューブは、前記加速度センサと前記加速度センサ取付具とが重なる方向から平面視したときに前記加速度センサと前記加速度センサ取付具との外径を覆う領域を含む、請求項１に記載の振動測定装置。
前記チューブは、前記加速度センサと前記加速度センサ取付具とが重なる方向から平面視したときに前記加速度センサと前記加速度センサ取付具との外径を覆う領域を含む、請求項１に記載の振動測定装置。
【請求項5】
前記加速度センサ取付具は導電性である、請求項１～４のいずれか１項に記載の振動測定装置。
【請求項6】
前記加速度センサ取付具は、前記加速度センサと前記測定対象との間を電気的に絶縁可能であり、
前記絶縁性部材と前記加速度センサ取付具との隙間には、接着剤およびグリスのいずれかが配置される、請求項１～４のいずれか１項に記載の振動測定装置。
前記絶縁性部材と前記加速度センサ取付具との隙間には、接着剤およびグリスのいずれかが配置される、請求項１～４のいずれか１項に記載の振動測定装置。
【請求項7】
前記加速度センサ取付具は前記加速度センサの前記測定対象側に接続され、
前記加速度センサ取付具は、前記加速度センサと前記測定対象との間を電気的に絶縁可能な前記絶縁性部材であり、
前記加速度センサ取付具の外縁は、平面視における前記加速度センサの外縁の外側に突出する部分を有し、前記突出する部分は前記加速度センサ取付具が前記加速度センサと接続する接続面に沿った方向に対して交差する方向に延在する、請求項１に記載の振動測定装置。
前記加速度センサ取付具は、前記加速度センサと前記測定対象との間を電気的に絶縁可能な前記絶縁性部材であり、
前記加速度センサ取付具の外縁は、平面視における前記加速度センサの外縁の外側に突出する部分を有し、前記突出する部分は前記加速度センサ取付具が前記加速度センサと接続する接続面に沿った方向に対して交差する方向に延在する、請求項１に記載の振動測定装置。
【請求項8】
前記加速度センサ取付具の外縁は波形状を有する、請求項７に記載の振動測定装置。
【請求項9】
前記加速度センサ取付具は、前記加速度センサの前記測定対象側に配置され前記接続面に沿う方向に拡がる第１部分と、前記第１部分から屈曲して前記第１部分から離れるように延びる第２部分とを含み、
前記第１部分と前記第２部分とにより、前記加速度センサは前記加速度センサ取付具に囲まれる、請求項７に記載の振動測定装置。
前記第１部分と前記第２部分とにより、前記加速度センサは前記加速度センサ取付具に囲まれる、請求項７に記載の振動測定装置。
【請求項10】
前記第２部分と前記加速度センサとの隙間には隙間充填剤が配置され、
前記隙間充填剤は空気よりも絶縁耐力が高い、請求項９に記載の振動測定装置。
前記隙間充填剤は空気よりも絶縁耐力が高い、請求項９に記載の振動測定装置。
【請求項11】
前記加速度センサ取付具に含まれる前記絶縁性部材により前記測定対象と前記加速度センサとの間が電気的に絶縁され、
前記シールド線は、前記絶縁性部材の前記加速度センサ側に電気的に接続される、請求項１に記載の振動測定装置。
前記シールド線は、前記絶縁性部材の前記加速度センサ側に電気的に接続される、請求項１に記載の振動測定装置。
【請求項12】
前記シールド線は導電性コネクタと電気的に接続され、
前記導電性コネクタにより、前記シールド線は、前記絶縁性部材の前記加速度センサ側に電気的に接続される、請求項１１に記載の振動測定装置。
前記導電性コネクタにより、前記シールド線は、前記絶縁性部材の前記加速度センサ側に電気的に接続される、請求項１１に記載の振動測定装置。
【請求項13】
前記加速度センサ取付具は金属部と、前記絶縁性部材としての非金属部とを含む、請求項１１または１２に記載の振動測定装置。
【請求項14】
前記絶縁性部材は前記金属部の表面にコーティングされた絶縁被膜である、請求項１３に記載の振動測定装置。
【請求項15】
前記絶縁性部材は樹脂およびセラミックスのいずれかにより形成される、請求項１３または１４に記載の振動測定装置。
【請求項16】
前記絶縁性部材は前記測定対象と接する、請求項１３～１５のいずれか１項に記載の振動測定装置。
【請求項17】
前記金属部と前記絶縁性部材とは接着剤により接合される、請求項１３に記載の振動測定装置。
【請求項18】
請求項１～１７のいずれか１項に記載の振動測定装置を用いた、風力発電用ＣＭＳ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、振動測定装置およびそれを用いた風力発電用ＣＭＳ装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
風車等の測定対象の振動を測定する振動測定装置は、加速度センサと、加速度センサを取り付けるための加速度センサ取付具とを備えている。たとえば特開平７－１９８７４０号公報（特許文献１）には、測定対象に固定された状態で加速度センサを支持する加速度センサ取付具が開示されている。当該加速度センサ取付具は、測定対象のベース歪みの加速度センサへの伝達を抑制する。またたとえば実開昭５８－１４１３２号公報（特許文献２）には、測定対象と加速度センサとを溶着用ガラスで結合することにより高温下での振動計測ができる、電気絶縁性の加速度センサ取付具の改良に関する開示がなされている。さらに、たとえば実公平５－２４０２５号公報（特許文献３）には、測定対象と加速度センサとの間に絶縁膜を有するユニットベースが配置された振動測定装置が開示されている。当該振動測定装置は、絶縁膜を有するユニットベースにより、後述のグラウンドループが防止され、測定値へのノイズの混入が抑制される。
【0003】
これらの振動測定装置は、落雷等の高電圧サージが加われば、その影響により故障し、振動データが取得できなくなる問題がある。高電圧サージにより加速度センサに過電圧が印加され過電流が流れるためである。これを抑制する観点から、たとえば特開２００９－２８９５５１号公報（特許文献４）には、雷・静電気・電磁波・磁気等の全ての周波数帯域のノイズが回避できる放電ノイズ吸収素子およびこれを利用したノイズ回避ボックスが紹介されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開平７－１９８７４０号公報
【特許文献2】実開昭５８－１４１３２号公報
【特許文献3】実公平５－２４０２５号公報
【特許文献4】特開２００９－２８９５５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
加速度センサおよび加速度センサ取付具とを備える振動測定装置において、落雷などによる高電圧サージに伴う放電の発生を抑制すれば、加速度センサの故障を抑制できる。ところが上記の特開平７－１９８７４０号公報、実開昭５８－１４１３２号公報および実公平５－２４０２５号公報のいずれも、落雷などによる高電圧サージ、およびそれに伴う放電について検討されていない。また特開２００９－２８９５５１号公報においては加速度センサと加速度センサ取付具とを備える振動測定装置における落雷による高電圧サージおよび放電について検討されていない。
【0006】
本開示は上記の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、加速度センサおよび加速度センサ取付具を備え、落雷などによる高電圧サージに伴う放電の発生を抑制し、加速度センサの故障を抑制できる振動測定装置、およびそれを用いた風力発電用ＣＭＳ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本開示に従った振動測定装置は、加速度センサと、加速度センサ取付具と、絶縁性部材と、加速度センサケーブルとを備える。加速度センサは測定対象の振動を測定可能な素子を含む。加速度センサ取付具は加速度センサの測定対象が配置されるべき位置側に配置される。絶縁性部材は、加速度センサと測定対象が配置されるべき位置との間に挟まれる。加速度センサケーブルは、１対のケーブル線と、シールド線と、１対のケーブル線およびシールド線を束ねて外側から囲む外被とを含む。
【発明の効果】
【0008】
本開示によれば、加速度センサおよび加速度センサ取付具を備え、落雷による高電圧サージに伴う放電の発生を抑制し、加速度センサの故障を抑制できる振動測定装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】実施の形態１に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図2】加速度センサと加速度センサ取付具と、これらを結合するスタッドとの個々の態様を示す模式図である。
【図3】加速度センサと加速度センサ取付具とをスタッドで結合する工程を示す模式図である。
【図7】スペーサのばね定数を決定するために準備される構成の模式図である。
【図9】比較例における振動測定装置に起こるグラウンドループを説明するための模式図である。
【図10】グラウンドループを抑制するための比較例の第１例に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図12】グラウンドループを抑制するための比較例の第２例に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図13】実施の形態２に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図14】実施の形態３に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図15】実施の形態４に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図16】実施の形態５に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図17】実施の形態６に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図18】実施の形態７に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図19】実施の形態８に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図20】実施の形態９に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図21】実施の形態１０に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図22】実施の形態１１に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図23】実施の形態１２に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図26】実施の形態１３に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図27】実施の形態１４に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図28】実施の形態１５に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。
【図29】各実施の形態に係る振動測定装置を用いた風力発電装置の構成を概略的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本実施の形態について図に基づいて説明する。
【0011】
（実施の形態１）
（振動測定装置の構成）
まず図１～図５を用いて、本実施の形態の振動測定装置について説明する。図１は、実施の形態１に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお図１およびこれ以降の各模式図では、装置を上下方向に沿って切断した断面形状を模式的に示している。図１を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、熱収縮チューブ３１と、スペーサ３２と、加速度センサケーブル４０と、スタッド５０とを主に備えている。
（振動測定装置の構成）
まず図１～図５を用いて、本実施の形態の振動測定装置について説明する。図１は、実施の形態１に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお図１およびこれ以降の各模式図では、装置を上下方向に沿って切断した断面形状を模式的に示している。図１を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、熱収縮チューブ３１と、スペーサ３２と、加速度センサケーブル４０と、スタッド５０とを主に備えている。
【0012】
加速度センサ１０は、その筐体である加速度センサ筐体１０Ｂの内部に、測定対象１の振動を測定可能な素子１１を含んでいる。具体的には、たとえば導電性材料からなる加速度センサ筐体１０Ｂの内部に空洞１２が形成され、空洞１２内に素子１１が配置されてもよい。空洞１２は空隙であることに限定されず、絶縁樹脂材料などで充填されていてもよい。測定対象１としては風車などが挙げられる。ここでは測定対象１は導電性とする。加速度センサ取付具２１は、加速度センサ１０の測定対象１側、すなわち図１における下側に配置されている。つまり測定対象１と加速度センサ１０との間に挟まれるように加速度センサ取付具２１が配置されている。
【0013】
加速度センサ取付具２１は、たとえばその筐体が金属などの導電性の材質により形成されている。このため加速度センサ取付具２１は、これを挟む図１の加速度センサ１０と測定対象１と直接接触した場合には、これらの間を導電可能である。
【0014】
加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間に挟まれ、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との双方に接するように、絶縁性部材としてのスペーサ３２が配置されている。ただし加速度センサ取付具２１と測定対象１との間に挟まれ、加速度センサ取付具２１と測定対象１との双方に接するようにスペーサ３２が配置されてもよい。加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とは、スペーサ３２を介して、絶縁性の固定部材としてのスタッド５０により互いに結合されている。このスタッド５０は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間のスペーサ３２を貫通するように配置される。このため加速度センサ１０、加速度センサ取付具２１にはその一部が欠落されスタッド５０が収納可能な欠落部が形成されてもよく、両者間のスペーサ３２にはこれを貫通しスタッド５０が貫通可能な貫通孔が形成されてもよい。当該欠落部と貫通孔とが繋がることで形成された単一の空間内にスタッド５０が配置され、加速度センサ１０、スペーサ３２および加速度センサ取付具２１を互いに結合する。スタッド５０と、これが結合する加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１との隙間には、充填剤６２が配置されてもよい。ただし当該充填剤６２は配置されなくてもよい。充填剤６２は、空気よりも絶縁耐力が高い材質からなっている。これによりスタッド５０およびその周囲における絶縁耐力が高められる。
【0015】
図２は、加速度センサと加速度センサ取付具と、これらを結合するスタッドとの個々の態様を示す模式図である。図２においては、加速度センサ１０およびスタッド５０は、図１と同じ方向から見た態様を示しており、加速度センサ取付具２１は、図１の上側から平面視した態様を示している。図２を参照して、加速度センサ１０（加速度センサ筐体１０Ｂ）は、図１では概略的に正面から見た矩形状として示しているが、実際にはたとえば雄ねじが形成されたボルトのような形状であってもよい。加速度センサ１０は、図２の最下端の円形状の面の中央部に貫通孔１０ｈが形成されている。加速度センサ取付具２１は、平面視においてたとえば正方形状であり、図２の紙面奥行き方向についてある厚みを有する直方体状である。つまり加速度センサ取付具２１は後述するような板状であってもよい。加速度センサ取付具２１は、平面視における中央部に貫通孔２１ｈが形成されている。図示されないが、貫通孔１０ｈ，２１ｈの内壁には雌ねじが形成されている。スタッド５０は、円柱に近い形状を有し、その外側面には雄ねじが形成されている。
【0016】
図３は、加速度センサと加速度センサ取付具とをスタッドで結合する工程を示す模式図である。図３を参照して、貫通孔１０ｈと貫通孔２１ｈとが連続するように、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが平面視にて重なるように配置される。貫通孔１０ｈ，２１ｈ内にはスタッド５０が挿入される。スタッド５０に形成された雄ねじと、貫通孔１０ｈ，２１ｈに形成された雌ねじとが締結される。これにより加速度センサ筐体１０Ｂ、スタッド５０および加速度センサ取付具２１が互いに結合される。なおこのとき、周波数応答特性を安定させるために、締結トルクはトルクレンチにより、たとえば２．７Ｎｍ以上６．８Ｎｍ以下となるように調節される。
【0017】
再度図１を参照して、熱収縮チューブ３１（チューブ）は、加速度センサ筐体１０Ｂの外縁（外表面）であるセンサ外縁１０ａと、加速度センサ取付具２１の外縁（外表面）である取付具外縁２１ａとの双方を跨ぐように覆う、単一の円筒形の被覆材である。センサ外縁１０ａと取付具外縁２１ａとは、図１の上方から見た平面視にてほぼ重なるように（加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との平面視での形状およびサイズがほぼ等しいように）形成されていることが好ましい。熱収縮チューブ３１は、絶縁性の材料で形成されており、センサ外縁１０ａ上および取付具外縁２１ａ上に、接着剤６１により接着されている。具体的には、熱収縮チューブ３１は、たとえばポリオレフィン、シリコーンゴム、ポリ塩化ビニルのいずれかが用いられることが好ましい。なお熱収縮チューブ３１に代えて、熱収縮性をほとんど有さない材質からなるチューブが用いられてもよい。
【0018】
熱収縮チューブ３１は、たとえば図１のように加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１を筒状に包み込むように配置されてもよい。これにより、熱収縮チューブ３１は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向（たとえば図１の上側）からこれらを平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１の外側に突出する領域を含む。つまり熱収縮チューブ３１は、上記のような平面視においてセンサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａよりも外側に突出する領域を含む。なお熱収縮チューブ３１の代わりに絶縁性を有するテープが用いられ、このテープが図１の熱収縮チューブ３１と同様にセンサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａを包み込むように覆い接着されてもよい。熱収縮チューブ３１がセンサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａの表面上に接着剤６１で覆うように接着されるため、センサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａと熱収縮チューブ３１との間は接着剤６１で埋められ、隙間がほとんど形成されない。このように隙間がほとんど形成されないことにより、加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１と熱収縮チューブ３１との間の絶縁耐力が高められる。
【0019】
図１では、熱収縮チューブ３１は、センサ外縁１０ａの上下方向の中央から、取付具外縁２１ａの上下方向の中央まで延びている。しかし熱収縮チューブ３１は図１よりも上下方向に長く形成されてもよく、たとえばセンサ外縁１０ａの上端より上下方向寸法が２５％以内の位置から、取付具外縁２１ａの下端より上下方向寸法が２５％以内の位置まで延びてもよい。あるいは熱収縮チューブ３１は、たとえばセンサ外縁１０ａの上端より上下方向寸法が２０％以内の位置から、取付具外縁２１ａの下端より上下方向寸法が２０％以内の位置まで延びてもよい。さらに熱収縮チューブ３１は、センサ外縁１０ａ、スペーサ３２の外縁および取付具外縁２１ａの全体を覆う筒状に形成されてもよい。
【0020】
図１の上側からの平面視における加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１に重なるように、スペーサ３２が配置されている。スペーサ３２は、たとえば絶縁性の材料で形成された板状の部材である。ここで板状の部材とは、図１の左右方向および奥行方向の（主表面の）寸法が、図１の上下方向の厚みの寸法の２倍以上であり、図１の上下方向の厚みがその全体においてほぼ同一（加工誤差以上の差異はない）である形状の部材をいうこととする。つまり板状とは、図１の上下方向に沿う断面がたとえば矩形状である直方体状あるいは円柱状（円板形状）をいうこととする。スペーサ３２は、図１の加速度センサ筐体１０Ｂの最下面と加速度センサ取付具２１の最上面との双方に接するように、両者の間に挟まれるように配置されている。なおスペーサ３２は、平面視における中央部に貫通孔（空洞）が形成されてもよいし、このような貫通孔（空洞）が形成されない中実の部材であってもよい。
【0021】
加速度センサケーブル４０は、第１ケーブル線４１と、第２ケーブル線４２と、シールド線４３と、これらの各線を束ねて外側から囲む外被４４とを含んでいる。なお図中では区別をしやすくするために第１ケーブル線４１は鎖線で、第２ケーブル線４２は点線で示している。しかし実際にはこれらも実線で示すシールド線４３と同様に連続するように延びている。第１ケーブル線４１および第２ケーブル線４２は、加速度センサ１０に接触するように設けられた絶縁性コネクタ５９を介して、加速度センサ１０に含まれる素子１１に接続されている。これら２本のケーブル線により、素子１１を電源に接続したり素子１１に電圧を印加したりすることが可能である。シールド線４３は、一方の端部が加速度センサ筐体１０Ｂに接続されず加速度センサ筐体１０Ｂに対して電気的に絶縁されている。シールド線４３は、一方の端部が絶縁性コネクタ５９に接続され、一方の端部と反対側の他方の端部が接地点Ｇ２に接続されている。測定対象１は接地点Ｇ１に接続されている。これにより測定対象１および加速度センサ筐体１０Ｂは接地点Ｇ１の接地電位となる。なお第１ケーブル線４１、第２ケーブル線４２は、素子１１と接続される側と反対側の端部が図示されないデータ収集装置に接続されてもよい。またシールド線４３は、一方の端部と反対側が、上記データ収集装置を経由して、接地点Ｇ２に電気的に接続されていてもよい。
【0022】
図４は、図１中の点線で囲まれた領域Ａにおける加速度センサ取付具と測定対象との接合態様の第１例を示す拡大模式図である。図５は、図１中の点線で囲まれた領域Ａにおける加速度センサ取付具と測定対象との接合態様の第２例を示す拡大模式図である。図４を参照して、加速度センサ取付具２１と測定対象１とは、一般公知の絶縁性の接着剤６１により接合されてもよい。あるいは図５を参照して、加速度センサ取付具２１と測定対象１とは、絶縁性のスタッド５０により接合されてもよい。加速度センサ取付具と測定対象１との接合部には図４および図５のいずれが適用されてもよい。このことは以降の各実施の形態においても同様である。
【0023】
（スペーサ３２について）
スペーサ３２は、吸水率が低く経年劣化しにくい絶縁材料により形成されることが好ましい。スペーサ３２の絶縁耐力は１０ｋＶ／ｍｍ以上であることが好ましい。
スペーサ３２は、吸水率が低く経年劣化しにくい絶縁材料により形成されることが好ましい。スペーサ３２の絶縁耐力は１０ｋＶ／ｍｍ以上であることが好ましい。
【0024】
図６は、図１の加速度センサ取付具の材質を変更させたときの、加速度センサの周波数応答特性の変化を示すグラフである。図６の横軸は加速度センサ取付具２１に印加される振動の周波数であり、図６の縦軸は加速度センサ出力信号のゲインを示す。図６を参照して、加速度センサ取付具２１が金属（導電物）のような高ヤング率の材料（たとえばＳＵＳ３０４）であれば、周波数が高くなってもゲインはあまり上昇しておらず、少なくとも８０００Ｈｚ以下の周波数帯域ではゲインが極端に高くなるいわゆる共振が起こる周波数は存在しない。このことから加速度センサ取付具２１が金属（導電物）のような高ヤング率の材料からなる場合には周波数応答特性は良好である。これに対し、加速度センサ取付具２１が樹脂材料（絶縁物）のような比較的低ヤング率の材料、たとえばポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）で形成される場合には、周波数が上がるにつれてゲインが上昇し、周波数が約７５００Ｈｚのところで共振が起こっている。このことから、振動のセンシングをする素子１１と測定対象１との間に樹脂材料（絶縁物）のような比較的低ヤング率の材料が挟まれれば高周波数帯域の周波数応答特性が悪くなる。
【0025】
しかし、スペーサ３２が樹脂（絶縁物）のような低ヤング率の材料であったとしても、最適なスペーサ３２のばね定数を、２．０×１０9Ｎ／ｍ以上とすれば、高周波数帯域の高周波応答特性を良好とすることができる。これについて以下に説明する。スペーサ３２のばね定数の数値範囲は以下のように決定される。図７は、スペーサのばね定数を決定するために準備される構成の模式図である。図７を参照して、ここでの加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１は、図１の加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１と同様である。加速度センサ取付具２１は加速度センサ１０の加振台２側（下側）に配置される。加振台２は図１の測定対象１に相当する。絶縁板３９は図１のスペーサ３２に相当する。ただし絶縁板３９は加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間ではなく、加速度センサ取付具２１と加振台２との間（加速度センサ取付具２１の下側）に配置される。なお加速度センサケーブル４０、接地点Ｇ１，Ｇ２は図示省略されている。絶縁板３９はＰＥＥＫにより形成され、そのヤング率は３．６ＧＰａである。いずれも板状（直方体状）であり面積は４００ｍｍ２で、厚みが互いに異なる以下の表１に示す３種類の絶縁板３９が用いられ、それぞれの絶縁板３９を用いたときの周波数応答特性が調べられた。
【0026】
【表1】
【0027】
図８は、図７の構成を用いて絶縁板の厚みを変更させたときの絶縁板の周波数応答特性の変化を示すグラフである。図８の横軸は絶縁板３９に印加される振動の周波数であり、図８の縦軸は出力信号の実効値を示す。図８を参照して、厚みが２ｍｍまたは１０ｍｍの絶縁板３９を用いた場合は、それぞれ約７３００Ｈｚ、約６３００Ｈｚの周波数において共振する。一般に共振点がみられる周波数範囲は振動測定に適さない。このため厚みが２ｍｍまたは１０ｍｍの絶縁板３９は高周波帯域の振動測定用途には使えない。一方、厚みが１ｍｍの絶縁板３９は、８０００Ｈｚ以下の周波数帯域には共振点が発生しないため、高周波数帯域の振動測定用として用いることができる。このことから、厚みが薄い、つまりばね定数が高い絶縁板３９は共振点が高くなる。表１より、厚みが１ｍｍの絶縁板３９のばね定数は１．４４×１０9Ｎ／ｍであればよい。ただしばね定数の大きさは上方に少し余裕を持たせることがより好ましい。この観点から、上記のように、スペーサ３２のばね定数は２．０×１０9Ｎ／ｍ以上であることが好ましい。
【0028】
スペーサ３２は、高いヤング率、すなわちヤング率が２．５ＧＰａ以上である樹脂材料であってもよい。ここでの樹脂材料は、炭素繊維およびガラス繊維の少なくともいずれかを含有してもよい。あるいはスペーサ３２は、シリコン、アルミニウムおよびアルカリ土類金属の少なくともいずれかを含み、高いヤング率、すなわちヤング率が１００ＧＰａ以上であるセラミックス材料からなってもよい。またスペーサ３２の図１上下方向の厚みは２ｍｍ未満であることが好ましい。
【0029】
（比較例およびその課題）
図９は、比較例における振動測定装置に起こるグラウンドループを説明するための模式図である。図９を参照して、比較例の振動測定装置は、加速度センサ１０と、シールド線４３とを備えている。また当該振動測定装置はデータ収集装置７０を備えていてもよい。図９においては、加速度センサ１０と測定対象１との間には絶縁性の部材が介在されない。図９においては、測定対象１に接続された接地点Ｇ１と、データ収集装置７０に接続された接地点Ｇ２との地電位が異なる場合に、接地点Ｇ１と接地点Ｇ２との間に図中矢印で示す電流が流れ、振動測定装置が測定する信号に当該電流のノイズが乗ってしまうことがある。このノイズの電流は図９の接地点Ｇ１と接地点Ｇ２との間を含む回路を循環する。このような現象はグラウンドループＧＬと呼ばれる。振動測定装置が測定する信号にノイズが乗れば、測定により得られるデータの信頼性が低下する。
図９は、比較例における振動測定装置に起こるグラウンドループを説明するための模式図である。図９を参照して、比較例の振動測定装置は、加速度センサ１０と、シールド線４３とを備えている。また当該振動測定装置はデータ収集装置７０を備えていてもよい。図９においては、加速度センサ１０と測定対象１との間には絶縁性の部材が介在されない。図９においては、測定対象１に接続された接地点Ｇ１と、データ収集装置７０に接続された接地点Ｇ２との地電位が異なる場合に、接地点Ｇ１と接地点Ｇ２との間に図中矢印で示す電流が流れ、振動測定装置が測定する信号に当該電流のノイズが乗ってしまうことがある。このノイズの電流は図９の接地点Ｇ１と接地点Ｇ２との間を含む回路を循環する。このような現象はグラウンドループＧＬと呼ばれる。振動測定装置が測定する信号にノイズが乗れば、測定により得られるデータの信頼性が低下する。
【0030】
図１０は、グラウンドループを抑制するための比較例の第１例に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図１０を参照して、比較例の第１例に係る振動測定装置９００は、図１の振動測定装置１００と比較して、次の各点において異なる。振動測定装置９００は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間に絶縁性のスペーサ３２は挟まれていない。また図１０では、センサ外縁１０ａと取付具外縁２１ａとを覆う熱収縮チューブ３１も設けられていない。
【0031】
ただし図１０では、図１と同様に、加速度センサ１０の測定対象１と反対側に絶縁性コネクタ５９が取り付けられている。素子１１に接続された第１ケーブル線４１および第２ケーブル線４２は、絶縁性コネクタ５９内および外被４４内を通っている。シールド線４３は、一方の端部が絶縁性コネクタ５９に接続されており、導電性の加速度センサ１０の筐体には接続されていない。このため振動測定装置９００においては、加速度センサ１０とシールド線４３とが電気的に接続されない。このことから図１０では、たとえ接地点Ｇ１と接地点Ｇ２との地電位が異なっても、図９のようなグラウンドループＧＬは発生しない。
【0032】
図１１は、図１０の比較例の第１例に係る振動測定装置へのサージ電圧の発生による放電を説明するための模式図である。図１１を参照して、図１０の測定対象１に、落雷などに起因するサージ電圧ＳＶと呼ばれる高電圧が印加した場合、測定対象１と電気的に接続された加速度センサ筐体１０Ｂにも高電圧が加わる。このため、加速度センサ１０内の素子１１と、これを収納する空洞１２が形成された加速度センサ筐体１０Ｂとの間に高電圧が加わり放電ＤＣＧが発生する。この放電ＤＣＧにより、素子１１が焼損または破損し、加速度センサ１０が故障する場合がある。
【0033】
図１２は、グラウンドループを抑制するための比較例の第２例に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図１２を参照して、比較例の第２例に係る振動測定装置９００は、図１の振動測定装置１００と比較して、次の各点において異なる。振動測定装置９００は、加速度センサ１０の測定対象１側に、加速度センサ取付具２１の代わりに、加速度センサ取付具２２を有している。加速度センサ取付具２２は、たとえばその筐体が絶縁性の材質により形成されている。このため通常は加速度センサ１０と測定対象１とは電気的に絶縁されている。しかし図１２の測定対象１にサージ電圧が印加された場合には、当該高電圧は加速度センサ取付具２２から加速度センサ１０に伝わり、図１１と同様に放電ＤＣＧおよびそれに伴う加速度センサ１０の故障が起こる可能性がある。これは図１２の測定対象１から加速度センサ１０までの、図１２左右側面を上下方向に延びる沿面距離が比較的短いために空気中で放電が発生してしまうためである。絶縁性の加速度センサ取付具２２を挟んでいても、これを介して測定対象１から加速度センサ１０にサージ電圧が伝わる場合がある。このような落雷時などの放電に起因する素子１１、加速度センサ１０の故障を抑制することが課題となっていた。なお、そもそも振動の信号を検知しやすくする観点から、加速度センサ取付具は絶縁性よりも導電性であることが好ましい。
【0034】
（作用効果）
以上の課題に鑑み、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、絶縁性部材としてのスペーサ３２と、加速度センサケーブル４０とを備える。加速度センサ１０は、測定対象の振動を測定可能な素子１１を含む。加速度センサ取付具２１は、加速度センサ１０の測定対象１が配置されるべき位置側（図１の下側）に配置される。スペーサ３２は、加速度センサ１０と、測定対象１が配置されるべき位置との間に挟まれる。加速度センサケーブル４０は、１対のケーブル線（第１ケーブル線４１および第２ケーブル線４２）と、シールド線４３と、第１ケーブル線４１、第２ケーブル線４２およびシールド線４３を束ねて外側から囲む外被４４とを含む。
以上の課題に鑑み、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、絶縁性部材としてのスペーサ３２と、加速度センサケーブル４０とを備える。加速度センサ１０は、測定対象の振動を測定可能な素子１１を含む。加速度センサ取付具２１は、加速度センサ１０の測定対象１が配置されるべき位置側（図１の下側）に配置される。スペーサ３２は、加速度センサ１０と、測定対象１が配置されるべき位置との間に挟まれる。加速度センサケーブル４０は、１対のケーブル線（第１ケーブル線４１および第２ケーブル線４２）と、シールド線４３と、第１ケーブル線４１、第２ケーブル線４２およびシールド線４３を束ねて外側から囲む外被４４とを含む。
【0035】
絶縁性部材としてのスペーサ３２の配置により、たとえ加速度センサ取付具２１の筐体が金属などの導電性の材質により形成されていても、加速度センサ１０と測定対象１との絶縁が確保できる。このことは通常時、測定対象１へのサージ電圧の印加時のいずれにおいても成り立つ。このためスペーサ３２を有さない場合に比べて振動測定装置１００の絶縁耐力が向上し、加速度センサ１０が故障しにくくなる。またスペーサ３２により、加速度センサ取付具２１を導電性とすることができるため、振動測定装置１００の振動測定の精度の低下を抑制できる。
【0036】
上記振動測定装置１００において、単一の絶縁性の熱収縮チューブ３１は、加速度センサ１０のセンサ外縁１０ａおよび加速度センサ取付具２１の取付具外縁２１ａを覆う。熱収縮チューブ３１は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向から平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する（外径を覆う）領域を含む。
【0037】
異なる観点から見ると、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、絶縁性部材としてのスペーサ３２と、単一の絶縁性のチューブ（熱収縮チューブ３１）とを備える。加速度センサ１０は測定対象１の振動を測定可能な素子１１を含む。加速度センサ取付具２１は加速度センサ１０の測定対象１側に配置される。スペーサ３２は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間に挟まれ、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との双方に接する。単一の絶縁性の熱収縮チューブ３１は、加速度センサ１０のセンサ外縁１０ａおよび加速度センサ取付具２１の取付具外縁２１ａを覆う。熱収縮チューブ３１は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向から平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する（外径を覆う）領域を含む。
【0038】
次に、熱収縮チューブ３１が加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外径（センサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａ）を覆うことにより、図１の上下方向に沿面距離を長くすることができる。センサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａが熱収縮チューブ３１で覆われない構成では、加速度センサ取付具２１と加速度センサ筐体１０Ｂとはスペーサ３２で絶縁が確保されている。つまり沿面距離はスペーサ３２の厚みとなる。しかし図１において、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間の沿面距離は、図中矢印に示す沿面距離６３となる。具体的には、沿面距離６３は、加速度センサ１０から加速度センサ取付具２１まで、その最も外側の縁に沿って移動したときの距離に相当する。つまり加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間に、たとえば熱収縮チューブ３１が存在する場合には、沿面距離６３は、熱収縮チューブ３１の表面上を伝うことにより計測される。このため熱収縮チューブ３１を有さない場合に比べて、測定対象１にサージ電圧が印加された際に、素子１１への高電圧の印加、高電流の発生および加速度センサ１０への放電の発生を抑制できる。沿面距離６３が長くなればセンサ外縁１０ａなどを経由する沿面放電が抑制できるためである。これにより、素子１１および加速度センサ１０の故障を抑制できる。
【0039】
その他、本実施の形態では、絶縁性部材としてのスペーサ３２の材料に応じてその寸法を制御することでばね定数を制御できる。これにより、スペーサ３２は高周波数帯域にて良好な周波数応答特性を有するものとできる。このためスペーサ３２を備える振動測定装置１００の振動測定の精度の低下を抑制できる。
【0040】
本実施の形態によれば、加速度センサ１０の故障が防止される。このため振動測定装置での計測トラブルの発生の頻度が低下し、振動測定装置を監視する装置の信頼性が向上する。この作用効果は以下に述べる各実施の形態においても基本的に同様である。
【0041】
（実施の形態２）
（振動測定装置の構成）
図１３は、実施の形態２に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお、図１３は図１に対応する。ただし実施の形態２～１０では、図１中の加速度センサケーブル４０、接地点Ｇ１，Ｇ２については実際には図１と同様に存在するが、その図示が省略される。
（振動測定装置の構成）
図１３は、実施の形態２に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお、図１３は図１に対応する。ただし実施の形態２～１０では、図１中の加速度センサケーブル４０、接地点Ｇ１，Ｇ２については実際には図１と同様に存在するが、その図示が省略される。
【0042】
図１３を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的には図１に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし本実施の形態の振動測定装置１００は、熱収縮チューブ３１を有さない。また本実施の形態の振動測定装置１００は、絶縁性部材として、スペーサ３２の代わりに、アダプタ３３が配置されている。アダプタ３３は、たとえば加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向（たとえば図１３の上側）からこれらを平面視したときに円形を有し、図１３の上下方向の厚みがその全体においてほぼ同一（加工誤差以上の差異はない）である。ただしアダプタ３３の平面形状は円形に限らず、たとえば楕円形、長方形、正方形の平面形状であってもよい。加速度センサ取付具２１と測定対象１との間に挟まれ、加速度センサ取付具２１と測定対象１との双方に接するようにアダプタ３３が配置されてもよい。
【0043】
アダプタ３３は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向（たとえば図１の上側）からこれらを平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する領域を含む。つまりアダプタ３３は、上記のような平面視においてセンサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａよりも外側に突出する領域を含む。アダプタ３３がセンサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａに対して平面視での外側に突出する部分が、このような突出する部分を有さない場合に比べて、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間の沿面距離６３を長くする。加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間の沿面距離６３は、アダプタ３３の外縁がセンサ外縁１０ａに対して水平方向に突出する長さの２倍の値と、アダプタ３３の図１３の上下方向の厚みの値との和にほぼ等しい。
【0044】
アダプタ３３がセンサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａに対して平面視での外側に突出する部分の水平方向長さは、当該水平方向長さにより得られる加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との（アダプタ３３を経由する）沿面距離６３と同じ厚みを有する標準状態の空気の、絶縁破壊耐圧が１００ｋＶ以上となる長さとする。ここで標準状態の空気とは、温度が２３℃で湿度が５０％の空気である。より具体的には、アダプタ３３は、その水平方向（図１３の左右方向）の径（最大寸法）が、加速度センサ１０の筐体、および加速度センサ取付具２１の水平方向の寸法のたとえば２倍以上３倍以下であることが好ましい。
【0045】
アダプタ３３のばね定数は実施の形態１の絶縁板３９のばね定数と同等であることが好ましい。つまりアダプタ３３のばね定数はたとえば２．０×１０9Ｎ／ｍ以上であることが好ましい。
【0046】
またアダプタ３３は、上記のように加速度センサ１０のセンサ外縁１０ａなどに対して外側に突出する板状の部材の一方（図１３の上側）の表面および他方（図１３の下側）の表面上に、加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１のそれぞれと嵌合するためのアダプタ突起３３ａを含んでいる。アダプタ突起３３ａはアダプタ３３の上記板状部材と同一の材料（つまり絶縁性の材料）により形成されることが好ましい。加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１のそれぞれの筐体の表面には、アダプタ突起３３ａと嵌合するための凹部が形成されている。当該凹部内にアダプタ突起３３ａが挿入されることにより、アダプタ突起３３ａが加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１に固定される。このためアダプタ３３の全体が加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１に固定される。アダプタ突起３３ａの平面視における形状（図１３の上下方向から見た形状）は円形、楕円形、長方形、正方形のいずれであってもよい。図１３の上下方向（加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とを結ぶ方向）について、アダプタ突起３３ａはスペーサ３４よりも厚くてもよいが、薄くてもよいし、スペーサ３４と同じ厚みであってもよい。加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とは、アダプタ突起３３ａを含むアダプタ３３により、互いに結合されている。
【0047】
（作用効果）
上記振動測定装置１００において、絶縁性部材（アダプタ３３）は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向から平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する領域を含む。
上記振動測定装置１００において、絶縁性部材（アダプタ３３）は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向から平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する領域を含む。
【0048】
異なる観点から見ると、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、絶縁性部材（アダプタ３３）とを備える。加速度センサ１０は測定対象１の振動を測定可能な素子１１を含む。加速度センサ取付具２１は加速度センサ１０の測定対象１側に配置される。絶縁性部材（アダプタ３３）は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間に挟まれ、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との双方に接する。絶縁性部材（アダプタ３３）は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向から平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する領域を含む。平面視にて加速度センサ１０などよりも外側に突出するアダプタ３３によっても実施の形態１の熱収縮チューブ３１と同様に、沿面距離６３を長くすることができ、これにより測定対象１へのサージ電圧の印加時の素子１１および加速度センサ１０の故障が抑制できる。他の作用効果は実施の形態１と同様であるため説明を繰り返さない。
【0049】
（実施の形態３）
（振動測定装置の構成）
図１４は、実施の形態３に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお、図１４は図１、図１３に対応する。図１４を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的には図１、図１３に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし本実施の形態の振動測定装置１００は熱収縮チューブ３１を有さない。また本実施の形態の振動測定装置１００は、絶縁性部材として、スペーサ３２、アダプタ３３の代わりに、単一の絶縁性のスペーサ３４が配置されている。スペーサ３４の配置位置はスペーサ３２、アダプタ３３と同様である。スペーサ３４の材質等は、実施の形態１のスペーサ３２と同様であってもよい。ただしスペーサ３４は、アダプタ３３と同様に、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向（たとえば図１の上側）からこれらを平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する領域を含む。この点においてスペーサ３４は、加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１と平面視における面積がほぼ等しい（センサ外縁１０ａなどに対して平面視にて外側に突出しない）スペーサ３２と異なっている。スペーサ３４の加速度センサ１０などに対して外側に突出する領域により、本実施の形態でも実施の形態２と同様に、沿面距離６３を長くできる。スペーサ３４のばね定数は実施の形態１の絶縁板３９、実施の形態２のアダプタ３３と同等であることが好ましい。このためスペーサ３４が加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１に対して平面視での外側に突出する長さ、およびその図１４上下方向の厚みは、アダプタ３３の当該突出する長さおよび厚みとほぼ等しくてもよい。
（振動測定装置の構成）
図１４は、実施の形態３に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお、図１４は図１、図１３に対応する。図１４を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的には図１、図１３に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし本実施の形態の振動測定装置１００は熱収縮チューブ３１を有さない。また本実施の形態の振動測定装置１００は、絶縁性部材として、スペーサ３２、アダプタ３３の代わりに、単一の絶縁性のスペーサ３４が配置されている。スペーサ３４の配置位置はスペーサ３２、アダプタ３３と同様である。スペーサ３４の材質等は、実施の形態１のスペーサ３２と同様であってもよい。ただしスペーサ３４は、アダプタ３３と同様に、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向（たとえば図１の上側）からこれらを平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する領域を含む。この点においてスペーサ３４は、加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１と平面視における面積がほぼ等しい（センサ外縁１０ａなどに対して平面視にて外側に突出しない）スペーサ３２と異なっている。スペーサ３４の加速度センサ１０などに対して外側に突出する領域により、本実施の形態でも実施の形態２と同様に、沿面距離６３を長くできる。スペーサ３４のばね定数は実施の形態１の絶縁板３９、実施の形態２のアダプタ３３と同等であることが好ましい。このためスペーサ３４が加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１に対して平面視での外側に突出する長さ、およびその図１４上下方向の厚みは、アダプタ３３の当該突出する長さおよび厚みとほぼ等しくてもよい。
【0050】
（作用効果）
上記振動測定装置１００において、絶縁性部材は単一の絶縁性のスペーサ３４であってもよい。加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１は、絶縁性の固定部材（スタッド５０）により互いに結合され、スタッド５０と、加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１との隙間には充填剤６２が配置されてもよい。この構成によっても、平面視にて加速度センサ１０などよりも外側に突出するスペーサ３４により、沿面距離６３を長くすることができ、測定対象１へのサージ電圧の印加時の素子１１および加速度センサ１０の故障が抑制できる。
上記振動測定装置１００において、絶縁性部材は単一の絶縁性のスペーサ３４であってもよい。加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１は、絶縁性の固定部材（スタッド５０）により互いに結合され、スタッド５０と、加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１との隙間には充填剤６２が配置されてもよい。この構成によっても、平面視にて加速度センサ１０などよりも外側に突出するスペーサ３４により、沿面距離６３を長くすることができ、測定対象１へのサージ電圧の印加時の素子１１および加速度センサ１０の故障が抑制できる。
【0051】
（実施の形態４）
（振動測定装置の構成）
図１５は、実施の形態４に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお、図１５は図１４に対応する。図１５を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的には図１４に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。図１５の振動測定装置１００は、絶縁性部材として、２枚のスペーサ３４と、１枚のスペーサ３５との合計３枚が配置されている。上側のスペーサ３４と下側のスペーサ３４との間にスペーサ３５が挟まれ、下側から上側へ、スペーサ３４、スペーサ３５、スペーサ３４の順に積層されたものが、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間に挟まれている。スペーサ３５の材質は、スペーサ３４の材質と同一であってもよい。これら３つのスペーサが積層されたものを１まとめと考えれば、当該１まとめのスペーサは、最上部にて加速度センサ１０に接し、最下部にて加速度センサ取付具２１に接することにより、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との双方に接するといえる。
（振動測定装置の構成）
図１５は、実施の形態４に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお、図１５は図１４に対応する。図１５を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的には図１４に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。図１５の振動測定装置１００は、絶縁性部材として、２枚のスペーサ３４と、１枚のスペーサ３５との合計３枚が配置されている。上側のスペーサ３４と下側のスペーサ３４との間にスペーサ３５が挟まれ、下側から上側へ、スペーサ３４、スペーサ３５、スペーサ３４の順に積層されたものが、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間に挟まれている。スペーサ３５の材質は、スペーサ３４の材質と同一であってもよい。これら３つのスペーサが積層されたものを１まとめと考えれば、当該１まとめのスペーサは、最上部にて加速度センサ１０に接し、最下部にて加速度センサ取付具２１に接することにより、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との双方に接するといえる。
【0052】
スペーサ３５はスペーサ３４と同一材料により形成されるが、スペーサ３４よりも水平方向（図１５の左右方向）の寸法が短い。スペーサ３４の水平方向寸法は、スペーサ３５の水平方向寸法の０．５倍以上０．８倍以下であってもよいし、その中でも０．６倍以上０．７倍以下であることが好ましい。これにより、スペーサ３５のスペーサ外縁３５ａは、スペーサ３４のスペーサ外縁３４ａよりも内側、すなわち平面視における加速度センサ１０の中央から放射状に延びる径方向について当該中央に近い位置に配置される。ただしスペーサ３５もスペーサ３４と同様に、スペーサ外縁３５ａはセンサ外縁１０ａおよび取付具外縁２１ａの平面視における外側（径方向についてスペーサ外縁３４ａよりも加速度センサ１０の中央から離れた位置）に配置される。なお３枚のスペーサ３４，３５が積層されたものがまとめて、スタッド５０により、加速度センサ１０および加速度センサ取付具２１に結合、固定されている。
【0053】
図１５においては下方から上方へ、スペーサ３４、スペーサ３５、スペーサ３４の順に積層されるが、これに限らず、たとえば２枚のスペーサ３５と１枚のスペーサ３４とが、スペーサ３５、スペーサ３４、スペーサ３５の順に積層されてもよい。あるいは２枚のスペーサ３４と２枚のスペーサ３５とが交互に積層されてもよく、最下層にスペーサ３４，３５のいずれが配置されるように積層されてもよい。スペーサ３４，３５の配置される枚数およびその順序は任意である。
【0054】
（作用効果）
本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、絶縁性部材としての１つ以上のスペーサ３４および１つ以上のスペーサ３５とを備える。スペーサ３４，３５は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向から平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する領域を含む。スペーサ３５はスペーサ３４よりも、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とを結ぶ方向（図１５の上下方向）に交差する方向（図１５の左右方向）についての寸法が小さい。スペーサ３４，３５は互いに積層されて１まとめとなったものが、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間に挟まれ、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との双方に接する。これにより、たとえば図１５の２つのスペーサ外縁３４ａおよび１つのスペーサ外縁３５ａによる、図１５の左右方向に凹凸形状を有するような沿面距離６３が得られる。つまりスペーサ外縁３４ａとスペーサ外縁３５ａとが水平方向寸法の差の分を有するため、その分だけ、スペーサ外縁３４ａとスペーサ外縁３５ａとの積層構造の外縁における、加速度センサ１０から加速度センサ取付具２１までの沿面距離６３が長くなる。これにより測定対象１へのサージ電圧の印加時の素子１１および加速度センサ１０の故障が抑制できる。他の作用効果は実施の形態１と同様であるため説明を繰り返さない。
本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、絶縁性部材としての１つ以上のスペーサ３４および１つ以上のスペーサ３５とを備える。スペーサ３４，３５は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とが重なる方向から平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との外側に突出する領域を含む。スペーサ３５はスペーサ３４よりも、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とを結ぶ方向（図１５の上下方向）に交差する方向（図１５の左右方向）についての寸法が小さい。スペーサ３４，３５は互いに積層されて１まとめとなったものが、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との間に挟まれ、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１との双方に接する。これにより、たとえば図１５の２つのスペーサ外縁３４ａおよび１つのスペーサ外縁３５ａによる、図１５の左右方向に凹凸形状を有するような沿面距離６３が得られる。つまりスペーサ外縁３４ａとスペーサ外縁３５ａとが水平方向寸法の差の分を有するため、その分だけ、スペーサ外縁３４ａとスペーサ外縁３５ａとの積層構造の外縁における、加速度センサ１０から加速度センサ取付具２１までの沿面距離６３が長くなる。これにより測定対象１へのサージ電圧の印加時の素子１１および加速度センサ１０の故障が抑制できる。他の作用効果は実施の形態１と同様であるため説明を繰り返さない。
【0055】
（実施の形態５）
（振動測定装置の構成）
図１６は、実施の形態５に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお図１６は図１に対応する。図１６を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的には図１に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。図１６の振動測定装置１００は、筐体が導電性材料からなる加速度センサ取付具２１の代わりに、筐体が絶縁性材料からなる加速度センサ取付具２２が配置されている。加速度センサ取付具２２の筐体を構成する絶縁材料は、吸水率が低く経年劣化しにくい材料であることが好ましい。また加速度センサ取付具２２の絶縁耐力は１０ｋＶ／ｍｍ以上であることが好ましい。具体的には、加速度センサ取付具２２の筐体を構成する絶縁材料は、実施の形態１でのスペーサ３２を構成する絶縁材料と同一であってもよい。本実施の形態では、加速度センサ取付具２２が絶縁性の筐体を有するため、絶縁性部材としてのスペーサ３２，３４およびアダプタ３３のいずれも配置されていない。
（振動測定装置の構成）
図１６は、実施の形態５に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお図１６は図１に対応する。図１６を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的には図１に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。図１６の振動測定装置１００は、筐体が導電性材料からなる加速度センサ取付具２１の代わりに、筐体が絶縁性材料からなる加速度センサ取付具２２が配置されている。加速度センサ取付具２２の筐体を構成する絶縁材料は、吸水率が低く経年劣化しにくい材料であることが好ましい。また加速度センサ取付具２２の絶縁耐力は１０ｋＶ／ｍｍ以上であることが好ましい。具体的には、加速度センサ取付具２２の筐体を構成する絶縁材料は、実施の形態１でのスペーサ３２を構成する絶縁材料と同一であってもよい。本実施の形態では、加速度センサ取付具２２が絶縁性の筐体を有するため、絶縁性部材としてのスペーサ３２，３４およびアダプタ３３のいずれも配置されていない。
【0056】
図１６では、スタッド５０と、これが結合する加速度センサ１０および加速度センサ取付具２２との隙間には充填剤が配置されない。これは加速度センサ取付具２２が絶縁性であることから、充填剤を設けなくてもスタッド５０およびその周囲における高い絶縁耐力が確保できるためである。ただし図１６でも図１と同様に、スタッド５０と、これが結合する加速度センサ１０および加速度センサ取付具２２との隙間に充填剤６２が配置されてもよい。
【0057】
なお本実施の形態の加速度センサ取付具２２は、上記のように筐体（の全体）が絶縁性材料からなってもよい。ただし本実施の形態の加速度センサ取付具２２は、たとえば後述の図２６のように、導電性材料の筐体の本体を有し、当該本体の表面に絶縁材料の薄膜がコーティング（塗布）されてもよい。いずれにせよ、加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０と測定対象１との間を電気的に絶縁可能である。
【0058】
（作用効果）
本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２２と、単一の絶縁性のチューブ（熱収縮チューブ３１）とを備える。加速度センサ１０は測定対象１の振動を測定可能な素子１１を含む。加速度センサ取付具２２は加速度センサ１０の測定対象１側に配置される。単一の絶縁性の熱収縮チューブ３１は、加速度センサ１０のセンサ外縁１０ａおよび加速度センサ取付具２２の取付具外縁２２ａを覆う。熱収縮チューブ３１は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２とが重なる方向から平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２との外側に突出する領域を含む。加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０と測定対象１との間を電気的に絶縁可能である。
本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２２と、単一の絶縁性のチューブ（熱収縮チューブ３１）とを備える。加速度センサ１０は測定対象１の振動を測定可能な素子１１を含む。加速度センサ取付具２２は加速度センサ１０の測定対象１側に配置される。単一の絶縁性の熱収縮チューブ３１は、加速度センサ１０のセンサ外縁１０ａおよび加速度センサ取付具２２の取付具外縁２２ａを覆う。熱収縮チューブ３１は、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２とが重なる方向から平面視したときに加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２との外側に突出する領域を含む。加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０と測定対象１との間を電気的に絶縁可能である。
【0059】
まず、加速度センサ取付具２２が加速度センサ１０と測定対象１との間を電気的に絶縁可能であるため、たとえば導電性の加速度センサ取付具２１が配置される場合に比べて振動測定装置１００の絶縁耐力が向上する。このため加速度センサ１０が故障しにくくなる。
【0060】
また、熱収縮チューブ３１が加速度センサ１０（センサ外縁１０ａ）と加速度センサ取付具２２（取付具外縁２２ａ）との外側に突出することにより、実施の形態１と同様に、外側に突出しない場合と比べて、加速度センサ１０と測定対象１との間の沿面距離６３を長くすることができる。つまり加速度センサ取付具２２が絶縁性であることによる加速度センサ１０と測定対象１との間の絶縁耐力が、上記沿面距離６３の延長によりさらに補強される。
【0061】
なお本実施の形態では加速度センサ取付具が絶縁性であるため、実施の形態１とは異なり、沿面距離６３は加速度センサ１０から測定対象１までとされる。ただし沿面距離６３が長くなることによる作用効果は、実施の形態１と同様である。つまり絶縁性を有する加速度センサ取付具２２と、加速度センサ１０などの外側に突出するため沿面距離６３を長くする熱収縮チューブ３１とにより、振動測定装置１００の絶縁耐力が高められる。
【0062】
なお実施の形態１（図６）で述べたように、一般に絶縁性の加速度センサ取付具を用いた場合には、導電性（金属製）の加速度センサ取付具を用いた場合に比べて、特に高周波数帯域において周波数応答特性が悪くなる。このため本実施の形態の構成を有する振動測定装置１００は、特におよそ７０００Ｈｚ以下の周波数、すなわち低周波数帯域から中周波数帯域までの測定に用いられることが好ましい。
【0063】
（実施の形態６）
（振動測定装置の構成）
図１７は、実施の形態６に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお図１７は図１４に対応する。図１７を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的には図１４に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。図１７の振動測定装置１００は、筐体が導電性材料からなる加速度センサ取付具２１の代わりに、筐体が絶縁性材料からなる加速度センサ取付具２２が配置されている。またスペーサ３４とその測定対象１側（下側）の加速度センサ取付具２２との隙間には、接着剤およびグリスのいずれかである絶縁性塗布剤６４が塗布されている。絶縁性塗布剤６４が塗布されることにより、スペーサ３４と加速度センサ取付具２２との隙間が埋められている。
（振動測定装置の構成）
図１７は、実施の形態６に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお図１７は図１４に対応する。図１７を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的には図１４に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。図１７の振動測定装置１００は、筐体が導電性材料からなる加速度センサ取付具２１の代わりに、筐体が絶縁性材料からなる加速度センサ取付具２２が配置されている。またスペーサ３４とその測定対象１側（下側）の加速度センサ取付具２２との隙間には、接着剤およびグリスのいずれかである絶縁性塗布剤６４が塗布されている。絶縁性塗布剤６４が塗布されることにより、スペーサ３４と加速度センサ取付具２２との隙間が埋められている。
【0064】
（作用効果）
上記振動測定装置１００において、加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０と測定対象１との間を電気的に絶縁可能であってもよい。絶縁性部材としてのスペーサ３４と加速度センサ取付具２２との隙間には、接着剤およびグリスのいずれかとしての絶縁性塗布剤６４が配置されてもよい。このようにすれば、実施の形態５（図１６）と同様に、加速度センサ取付具２２が絶縁性であることによる加速度センサ１０と測定対象１との間の絶縁耐力が、スペーサ３４の加速度センサ１０などからの外側への突出による沿面距離６３の延長によりさらに補強される。
上記振動測定装置１００において、加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０と測定対象１との間を電気的に絶縁可能であってもよい。絶縁性部材としてのスペーサ３４と加速度センサ取付具２２との隙間には、接着剤およびグリスのいずれかとしての絶縁性塗布剤６４が配置されてもよい。このようにすれば、実施の形態５（図１６）と同様に、加速度センサ取付具２２が絶縁性であることによる加速度センサ１０と測定対象１との間の絶縁耐力が、スペーサ３４の加速度センサ１０などからの外側への突出による沿面距離６３の延長によりさらに補強される。
【0065】
（実施の形態７）
（振動測定装置の構成）
図１８は、実施の形態７に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお図１８は図１、図１６など他の実施の形態における振動測定装置の構成図に相当する。図１８を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的には図１、図１６など他の実施の形態における振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。図１８の振動測定装置１００は、熱収縮チューブ３１を有さない。図１８の振動測定装置１００は、加速度センサ取付具２２の外縁である取付具外縁２２ａが、平面視における加速度センサの外縁（センサ外縁１０ａ）の外側に突出する部分を有している。図１８の断面図において、取付具外縁２２ａが外側に突出する部分は、加速度センサ取付具２２が加速度センサ１０と接続する接続面に沿った図１８の左右方向に対して交差する方向に延びている。つまり取付具外縁２２ａは、上記交差する方向として、左右方向に対してある角度を有する方向（左右方向およびそれとほぼ等しい方向を除く方向）に延びている。この点において本実施の形態は、取付具外縁２２ａ，２１ａは平面視にてセンサ外縁１０ａとほぼ重なるように配置される上記の他の各実施の形態と異なる。
（振動測定装置の構成）
図１８は、実施の形態７に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお図１８は図１、図１６など他の実施の形態における振動測定装置の構成図に相当する。図１８を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的には図１、図１６など他の実施の形態における振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。図１８の振動測定装置１００は、熱収縮チューブ３１を有さない。図１８の振動測定装置１００は、加速度センサ取付具２２の外縁である取付具外縁２２ａが、平面視における加速度センサの外縁（センサ外縁１０ａ）の外側に突出する部分を有している。図１８の断面図において、取付具外縁２２ａが外側に突出する部分は、加速度センサ取付具２２が加速度センサ１０と接続する接続面に沿った図１８の左右方向に対して交差する方向に延びている。つまり取付具外縁２２ａは、上記交差する方向として、左右方向に対してある角度を有する方向（左右方向およびそれとほぼ等しい方向を除く方向）に延びている。この点において本実施の形態は、取付具外縁２２ａ，２１ａは平面視にてセンサ外縁１０ａとほぼ重なるように配置される上記の他の各実施の形態と異なる。
【0066】
図１８の取付具外縁２２ａは波形状を有している。つまり取付具外縁２２ａの断面形状が、平面視での加速度センサ１０の中央から放射状に延びる径方向（図１８の左右方向）に見たときに、加速度センサ１０の中央に近い内側と、加速度センサ１０の中央から離れた外側とを往復する形状となっている。取付具外縁２２ａは、加速度センサ１０側から測定対象１側に向かうにつれて、平面視での加速度センサ１０の内側と外側とを交互に複数回往復する。図１８では、取付具外縁２２ａの最も内側は、センサ外縁１０ａと平面的に重なる位置であり、取付具外縁２２ａの最も外側はセンサ外縁１０ａよりも平面視での外側である。また図１８の断面形状においては、取付具外縁２２ａは直線状であり上記の内側と外側とを往復するように屈曲している。これにより取付具外縁２２ａは、平面視におけるセンサ外縁１０ａの外側に突出する部分を有している。しかしこのような態様に限らず、たとえば取付具外縁２２ａの最も内側はセンサ外縁１０ａよりも内側にあっても外側にあってもよい。取付具外縁２２ａの最も外側は図１８に示す取付具外縁２２ａの最も外側の位置よりも内側にあっても外側にあってもよい。また図１８の取付具外縁２２ａは直線状に屈曲しているが、取付具外縁２２ａは曲線を描くように湾曲した断面形状であってもよい。なお取付具外縁２２ａの最も外側が、センサ外縁１０ａと平面的に重なる位置またはそれより内側にあってもよい。この場合には取付具外縁２２ａはセンサ外縁１０ａの外側に突出する部分を有さなくなるが、外縁２２ａが複数回往復する波形状を有する限り問題はない。
【0067】
図１８において、取付具外縁２２ａは全体にて３波長分の波形状を有する。ただし当該波形状の波長数は任意であり、その波形状の合計長が図１８の沿面距離６３と同程度以上（すなわち３波長分以上の長さ）であることが好ましい。
【0068】
（作用効果）
上記振動測定装置１００において、加速度センサ取付具２２は加速度センサ１０の測定対象１側に配置される。加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０と測定対象１との間を電気的に絶縁可能な絶縁性部材である。取付具外縁２２ａは、平面視におけるセンサ外縁１０ａの外側に突出する部分を有する。当該突出する部分は、加速度センサ取付具２２が加速度センサ１０と接続する接続面に沿った方向に対して交差する方向に延在する。
上記振動測定装置１００において、加速度センサ取付具２２は加速度センサ１０の測定対象１側に配置される。加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０と測定対象１との間を電気的に絶縁可能な絶縁性部材である。取付具外縁２２ａは、平面視におけるセンサ外縁１０ａの外側に突出する部分を有する。当該突出する部分は、加速度センサ取付具２２が加速度センサ１０と接続する接続面に沿った方向に対して交差する方向に延在する。
【0069】
異なる観点から見ると、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２２とを備える。加速度センサ１０は測定対象１の振動を測定可能な素子１１を含む。加速度センサ取付具２２は加速度センサ１０の測定対象１側に配置される。加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０と測定対象１との間を電気的に絶縁可能である。取付具外縁２２ａは、平面視におけるセンサ外縁１０ａの外側に突出する部分を有する。このため実施の形態５（図１６）と同様に、加速度センサ取付具２２が絶縁性であることによる加速度センサ１０と測定対象１との間の絶縁耐力が、取付具外縁２２ａがセンサ外縁１０ａの外側に突出する部分を有することによる沿面距離６３の延長によりさらに補強される。
【0070】
上記振動測定装置１００においては、加速度センサ取付具２２の外縁（取付具外縁２２ａ）は波形状を有してもよい。これにより、たとえば取付具外縁２２ａが図１８の上下方向に沿って延びは形状を有さない場合に比べて、取付具外縁２２ａに沿う沿面距離６３を長くできる。このため実施の形態５（図１６）と同様に、加速度センサ取付具２２が絶縁性であることによる加速度センサ１０と測定対象１との間の絶縁耐力が、取付具外縁２２ａが波形状であることによる沿面距離６３の延長によりさらに補強される。なお取付具外縁２２ａが平面視でのセンサ外縁１０ａの外側に突出することによっても、そのような構成を有さない場合に比べて沿面距離６３がさらに延長される。
【0071】
（実施の形態８）
（振動測定装置の構成）
図１９は、実施の形態８に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図１９を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００における、たとえば図１８と同様の構成についてはその説明を繰り返さない。図１９の振動測定装置１００は、絶縁性の加速度センサ取付具２２の外縁は、平面視にて加速度センサ１０の外側に突出する部分を有する。
（振動測定装置の構成）
図１９は、実施の形態８に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図１９を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００における、たとえば図１８と同様の構成についてはその説明を繰り返さない。図１９の振動測定装置１００は、絶縁性の加速度センサ取付具２２の外縁は、平面視にて加速度センサ１０の外側に突出する部分を有する。
【0072】
加速度センサ取付具２２は、第１部分２２ｂと、第２部分２２ｃとを含んでいる。第１部分２２ｂは、加速度センサ１０の測定対象１側（図１９の下側）に配置される。つまり第１部分２２ｂは、たとえば図１８の振動測定装置１００の加速度センサ取付具２２と同様に、加速度センサ１０と測定対象１との間に配置される部分である。第１部分２２ｂは、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２との接触する接触面に沿う方向、すなわち図１９の左右方向に拡がっている。このため第１部分２２ｂには、加速度センサ１０と平面視にて重なる部分の外側（図１９での加速度センサ１０の左側および右側の領域）に配置される部分も含まれる。第２部分２２ｃは、第１部分２２ｂと連続しており、特に図１９に示す断面形状において第１部分２２ｂから屈曲しており、第１部分２２ｂから離れるように第１部分２２ｂの上側を延びる部分である。第２部分２２ｃは図１９の断面形状において第１部分２２ｂの左右側の両端部にて直角に屈曲し、そこから上側に延びる部分である。第２部分２２ｃは加速度センサ１０と図の左右方向に間隔をあけて（加速度センサ１０の中心から放射状（径方向）に間隔をあけて）、配置されている。第２部分２２ｃは第１部分２２ｂとの境界である屈曲部から、たとえば加速度センサ１０の最上部と同じ上下方向位置まで、上下方向に（加速度センサ１０に沿って）延びている。つまり第２部分２２ｃは、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２との接続面に沿った方向（第１方向）に対して交差する方向に延在している。ただし第２部分２２ｃは加速度センサ１０の最上部よりも上側（第１部分２２ｂと反対側）の位置まで延びてもよい。互いに直角方向に延び、互いに連続している第１部分２２ｂおよび第２部分２２ｃにより、加速度センサ１０は加速度センサ取付具２２に囲まれている。言い換えれば、加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０を外側から覆う形状となっている。
【0073】
加速度センサ取付具２２の第１部分２２ｂ（第２部分２２ｃと平面視にて重なる部分を含む）が加速度センサ１０と接触する接触面に沿う図１９の左右方向の寸法は、加速度センサ１０の上記接触面に沿う左右方向の寸法の２倍以上であることが好ましく、３倍以上であることがより好ましい。
【0074】
（作用効果）
本実施の形態に係る振動測定装置１００は、実施の形態７と同様に、取付具外縁２２ａが、平面視におけるセンサ外縁１０ａの外側に突出する部分を有する。加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０の測定対象１側に配置され加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２との接触する接触面に沿う方向に拡がる第１部分２２ｂと、第１部分２２ｂから屈曲して第１部分２２ｂから離れるように延びる第２部分２２ｃとを含む。第１部分２２ｂと第２部分２２ｃとにより、加速度センサ１０は加速度センサ取付具２２に囲まれる。第１部分２２ｂは平面視での加速度センサ１０の外側の領域まで延び、そこからさらに第２部分２２ｃが延びることにより、加速度センサ取付具２２の外縁２２ａなどに沿う沿面距離６３を大幅に長くすることができる。沿面距離６３は、加速度センサ１０から、加速度センサ１０よりも外側に第１部分２２ｂが延びる寸法と、そこから第２部分２２ｃが上下方向に延びる寸法（および第１部分２２ｂの上下方向の厚みの寸法）との和の値以上となるためである。このため実施の形態５（図１６）と同様に、加速度センサ取付具２２が絶縁性であることによる加速度センサ１０と測定対象１との間の絶縁耐力が、第２部分２２ｃを有することによる沿面距離６３の延長によりさらに補強される。
本実施の形態に係る振動測定装置１００は、実施の形態７と同様に、取付具外縁２２ａが、平面視におけるセンサ外縁１０ａの外側に突出する部分を有する。加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０の測定対象１側に配置され加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２との接触する接触面に沿う方向に拡がる第１部分２２ｂと、第１部分２２ｂから屈曲して第１部分２２ｂから離れるように延びる第２部分２２ｃとを含む。第１部分２２ｂと第２部分２２ｃとにより、加速度センサ１０は加速度センサ取付具２２に囲まれる。第１部分２２ｂは平面視での加速度センサ１０の外側の領域まで延び、そこからさらに第２部分２２ｃが延びることにより、加速度センサ取付具２２の外縁２２ａなどに沿う沿面距離６３を大幅に長くすることができる。沿面距離６３は、加速度センサ１０から、加速度センサ１０よりも外側に第１部分２２ｂが延びる寸法と、そこから第２部分２２ｃが上下方向に延びる寸法（および第１部分２２ｂの上下方向の厚みの寸法）との和の値以上となるためである。このため実施の形態５（図１６）と同様に、加速度センサ取付具２２が絶縁性であることによる加速度センサ１０と測定対象１との間の絶縁耐力が、第２部分２２ｃを有することによる沿面距離６３の延長によりさらに補強される。
【0075】
（実施の形態９）
（振動測定装置の構成）
図２０は、実施の形態９に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図２０を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は基本的に図１９と同様であるため、図１９と同様の構成についてはその説明を繰り返さない。図２０の振動測定装置１００は、互いに間隔を隔てられた加速度センサ取付具２２の第２部分２２ｃと、加速度センサ１０との隙間に、これを充填するための隙間充填剤６５が配置されている。隙間充填剤６５は空気よりも絶縁耐力が高い材料が用いられることが好ましい。具体的には、隙間充填剤６５として、高いヤング率を有するモルタル、修理材（修理用のパテ）、および接着剤のいずれかが用いられてもよい。なお隙間充填剤６５の絶縁耐力は３．０ｋＶ／ｍｍ以上であることが好ましい。隙間充填剤６５のヤング率は２．５ＧＰａ以上であることが好ましい。
（振動測定装置の構成）
図２０は、実施の形態９に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図２０を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は基本的に図１９と同様であるため、図１９と同様の構成についてはその説明を繰り返さない。図２０の振動測定装置１００は、互いに間隔を隔てられた加速度センサ取付具２２の第２部分２２ｃと、加速度センサ１０との隙間に、これを充填するための隙間充填剤６５が配置されている。隙間充填剤６５は空気よりも絶縁耐力が高い材料が用いられることが好ましい。具体的には、隙間充填剤６５として、高いヤング率を有するモルタル、修理材（修理用のパテ）、および接着剤のいずれかが用いられてもよい。なお隙間充填剤６５の絶縁耐力は３．０ｋＶ／ｍｍ以上であることが好ましい。隙間充填剤６５のヤング率は２．５ＧＰａ以上であることが好ましい。
【0076】
（作用効果）
図２０の振動測定装置１００は、図１９の振動測定装置１００に対して、隙間充填剤６５を有する点において異なっている。たとえば図１９の構成によれば、加速度センサ取付具２２の周波数応答特性が低下する可能性がある。しかし図２０のように隙間充填剤６５を配置することにより、隙間充填剤６５を含む加速度センサ取付具２２の周波数応答特性を良好とすることができる。
図２０の振動測定装置１００は、図１９の振動測定装置１００に対して、隙間充填剤６５を有する点において異なっている。たとえば図１９の構成によれば、加速度センサ取付具２２の周波数応答特性が低下する可能性がある。しかし図２０のように隙間充填剤６５を配置することにより、隙間充填剤６５を含む加速度センサ取付具２２の周波数応答特性を良好とすることができる。
【0077】
（実施の形態１０）
図２１は、実施の形態１０に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図２１を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は基本的に図１９と同様であるため、図１９と同様の構成についてはその説明を繰り返さない。図２１の振動測定装置１００は、図１９の振動測定装置１００の加速度センサ取付具２２が第２部分２２ｃを有さず第１部分２２ｂのみからなるものと同様の構成を有している。具体的には、図２１の加速度センサ取付具２２は、平面視にて加速度センサ１０の外側に突出する部分を有する。加速度センサ取付具２２は、その全体が、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２との接触する接触面に沿う方向、すなわち図１９の左右方向に拡がっている。加速度センサ取付具２２の、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２との接触する接触面に沿う方向の寸法Ｗ１は、加速度センサ１０の上記接触面に沿う方向の寸法Ｗ２の３倍以上である。なお寸法Ｗ１は寸法Ｗ２の５倍以上であることがより好ましい。
図２１は、実施の形態１０に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図２１を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は基本的に図１９と同様であるため、図１９と同様の構成についてはその説明を繰り返さない。図２１の振動測定装置１００は、図１９の振動測定装置１００の加速度センサ取付具２２が第２部分２２ｃを有さず第１部分２２ｂのみからなるものと同様の構成を有している。具体的には、図２１の加速度センサ取付具２２は、平面視にて加速度センサ１０の外側に突出する部分を有する。加速度センサ取付具２２は、その全体が、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２との接触する接触面に沿う方向、すなわち図１９の左右方向に拡がっている。加速度センサ取付具２２の、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２２との接触する接触面に沿う方向の寸法Ｗ１は、加速度センサ１０の上記接触面に沿う方向の寸法Ｗ２の３倍以上である。なお寸法Ｗ１は寸法Ｗ２の５倍以上であることがより好ましい。
【0078】
（作用効果）
本実施の形態によれば、平面視にて加速度センサ取付具２２が加速度センサ１０よりも大きくなる。加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０と平面視にて重なる領域と、その外側の領域との双方に配置される。これにより、たとえば加速度センサ取付具２２が加速度センサ１０と同じ寸法Ｗ２を有する場合に比べて、加速度センサ取付具２２がその直下の測定対象１と接触する面積が広くなる。したがって本実施の形態によれば、図２１に示すように、寸法Ｗ１と寸法Ｗ２との差に相当する分が、加速度センサ１０から測定対象１までの沿面距離６３の一部として加わる。このため本実施の形態によれば、たとえば加速度センサ取付具２２が加速度センサ１０と同じ寸法Ｗ２を有する場合に比べて、沿面距離６３を長くすることができる。この結果、このため実施の形態５（図１６）と同様に、加速度センサ取付具２２が絶縁性であることによる加速度センサ１０と測定対象１との間の絶縁耐力が、沿面距離６３の延長によりさらに補強される。
本実施の形態によれば、平面視にて加速度センサ取付具２２が加速度センサ１０よりも大きくなる。加速度センサ取付具２２は、加速度センサ１０と平面視にて重なる領域と、その外側の領域との双方に配置される。これにより、たとえば加速度センサ取付具２２が加速度センサ１０と同じ寸法Ｗ２を有する場合に比べて、加速度センサ取付具２２がその直下の測定対象１と接触する面積が広くなる。したがって本実施の形態によれば、図２１に示すように、寸法Ｗ１と寸法Ｗ２との差に相当する分が、加速度センサ１０から測定対象１までの沿面距離６３の一部として加わる。このため本実施の形態によれば、たとえば加速度センサ取付具２２が加速度センサ１０と同じ寸法Ｗ２を有する場合に比べて、沿面距離６３を長くすることができる。この結果、このため実施の形態５（図１６）と同様に、加速度センサ取付具２２が絶縁性であることによる加速度センサ１０と測定対象１との間の絶縁耐力が、沿面距離６３の延長によりさらに補強される。
【0079】
（実施の形態１１）
図２２は、実施の形態１１に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお、図２２は図１に対応する。ただし実施の形態１１～１４では、加速度センサケーブル４０の一部が図示される。接地点Ｇ１，Ｇ２については図１と同様に存在するが、その図示が省略される。
図２２は、実施の形態１１に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお、図２２は図１に対応する。ただし実施の形態１１～１４では、加速度センサケーブル４０の一部が図示される。接地点Ｇ１，Ｇ２については図１と同様に存在するが、その図示が省略される。
【0080】
図２２を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的に図１に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし本実施の形態の振動測定装置１００は、熱収縮チューブ３１およびスペーサ３２を有さず、加速度センサケーブル４０は、加速度センサ１０と電気的に接続されている。具体的には、加速度センサケーブル４０に含まれるシールド線４３は、その一方の端部が接地端子８１に接続されている。ここでの一方の端部は図２２の下側つまり加速度センサ１０の加速度センサ取付具２１側である。接地端子８１は加速度センサ取付具２１と接触し加速度センサ取付具２１と電気的に接続可能なように設置される。なお接地端子８１は測定対象１と接触し、測定対象１と導電可能となるように設置されてもよい。つまりシールド線４３は測定対象１と導電可能となるように設置されてもよい。図２２では接地端子８１は加速度センサ取付具２１と測定対象１との双方に接触し、これら双方と導電可能なように示されており、このような構成であってもよい。
【0081】
振動測定装置１００には電流が流れ得る２つの経路である、第１経路および第２経路が形成されている。第１経路は加速度センサケーブル４０の外被４４に覆われる複数のケーブル線の束から、シールド線４３が接地端子８１まで延びる経路である。つまり第１経路はシールド線４３により構成される。第２経路は加速度センサケーブル４０の第１ケーブル線４１および第２ケーブル線４２から、加速度センサ１０の素子１１および、導電性の加速度センサ筐体１０Ｂを経由して、加速度センサ取付具２１まで延びる経路である。第１経路と第２経路とは、図２２の左右方向に並ぶように並列に配置されている。
【0082】
（作用効果）
本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、加速度センサケーブル４０とを備える。加速度センサ１０は測定対象１の振動を測定可能な素子１１を含む。加速度センサ取付具２２は加速度センサ１０の測定対象１が配置されるべき位置側に配置される。加速度センサケーブル４０は、１対のケーブル線（第１ケーブル線４１および第２ケーブル線４２）と、シールド線４３と、第１ケーブル線４１、第２ケーブル線４２およびシールド線４３を束ねて外側から囲む外被４４とを含む。シールド線４３が延びる第１経路は、加速度センサケーブル４０から加速度センサ１０を経由して加速度センサ取付具２１までの第２経路と並列に配置される。加速度センサ取付具２１に電気的に接続可能に、第１経路には接地端子８１が接続される。シールド線４３は加速度センサ１０に接続されずに、（たとえば接地端子８１を介して）加速度センサ取付具２１に接続される。
本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、加速度センサケーブル４０とを備える。加速度センサ１０は測定対象１の振動を測定可能な素子１１を含む。加速度センサ取付具２２は加速度センサ１０の測定対象１が配置されるべき位置側に配置される。加速度センサケーブル４０は、１対のケーブル線（第１ケーブル線４１および第２ケーブル線４２）と、シールド線４３と、第１ケーブル線４１、第２ケーブル線４２およびシールド線４３を束ねて外側から囲む外被４４とを含む。シールド線４３が延びる第１経路は、加速度センサケーブル４０から加速度センサ１０を経由して加速度センサ取付具２１までの第２経路と並列に配置される。加速度センサ取付具２１に電気的に接続可能に、第１経路には接地端子８１が接続される。シールド線４３は加速度センサ１０に接続されずに、（たとえば接地端子８１を介して）加速度センサ取付具２１に接続される。
【0083】
第１経路は、シールド線４３が、加速度センサ１０の加速度センサ取付具２１と反対側（図２２の上側）から、加速度センサ取付具２１と電気的に接続された接地端子８１までを結ぶ経路である。第２経路は第１ケーブル線４１および第２ケーブル線４２およびこれに接続された素子１１から、加速度センサ筐体１０Ｂを通り、加速度センサ取付具２１まで達する経路である。図２２中の測定対象１にサージ電圧が印加された際に、第１経路の接地端子８１を介して、加速度センサ取付具２１（測定対象１）とシールド線４３とが電気的に接続される。このため、サージ電圧の高電圧および高電流はすぐに接地電位まで低下する。また測定対象１にサージ電圧が印加された際に、第１経路と並列である第２経路には電流はほとんど流れない。第２経路に電流がほとんど流れないのは、第１ケーブル線４１などが接続される素子１１と加速度センサ筐体１０Ｂとの間には空洞１２が存在し連続しないためである。つまり第２経路は、空洞１２の存在によりその全体が電気的に接続されていない。このため第２経路は第１経路に比べて電気抵抗が非常に大きい。したがってサージ電圧は第２経路よりも優先的に第１経路を通るため、上記のようにサージ電圧を即座に電位低下させることができる。加速度センサ１０（第２経路の素子１１）には高電圧が印加されないため、加速度センサ１０（第２経路の素子１１）の故障を抑制できる。
【0084】
（実施の形態１２）
図２３は、実施の形態１２に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお、図２３は図２２に対応する。図２３を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的に図２２に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし図２３の振動測定装置１００においては、シールド線４３により形成される第１経路の、接地端子８１に接続される一方の端部と、その反対側（加速度センサ取付具２１の加速度センサ１０側）である他方の端部との間に、サージ保護機器８２が接続されている。サージ保護機器８２は、ＳＰＤ（Surge protective device）である。つまり本実施の形態の振動測定装置１００は、ＳＰＤを備える。
図２３は、実施の形態１２に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。なお、図２３は図２２に対応する。図２３を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、基本的に図２２に示した振動測定装置１００と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし図２３の振動測定装置１００においては、シールド線４３により形成される第１経路の、接地端子８１に接続される一方の端部と、その反対側（加速度センサ取付具２１の加速度センサ１０側）である他方の端部との間に、サージ保護機器８２が接続されている。サージ保護機器８２は、ＳＰＤ（Surge protective device）である。つまり本実施の形態の振動測定装置１００は、ＳＰＤを備える。
【0085】
図２４は、図２２および図２３における接地端子と加速度センサ取付具との接続態様の第１例を示す模式図である。図２４を参照して、実施の形態１１および実施の形態１２での接地端子８１は、ねじを締結することにより加速度センサ取付具２１に固定されてもよい。具体的には、たとえば加速度センサ取付具２１の導電性の筐体に雌ねじを形成し、当該雌ねじに接地端子８１を取り付け、その上から雄ねじが締結される。これにより接地端子８１が加速度センサ取付具２１の導電性の筐体に接触固定される。このような固定態様であってもよい。
【0086】
図２５は、図２２および図２３における接地端子と加速度センサ取付具との接続態様の第２例を示す模式図である。ここで、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１とを固定するスタッド５０が接地端子８１を貫通するように、接地端子８１に雌ねじが形成され、スタッド５０に形成された雄ねじと締結される態様であってもよい。すなわち図２５においてはスタッド５０が、加速度センサ１０と加速度センサ取付具２１と接地端子８１とを互いに結合する。
【0087】
【0088】
（作用効果）
本実施の形態に係る振動測定装置１００は、実施の形態１１と同様の構成上の特徴を有する。当該振動測定装置１００においては、シールド線４３は、一方の端部が接地端子８１に接続され、第１経路における一方の端部の反対側である他方の端部と、当該一方の端部との間に、サージ保護機器８２が接続されてもよい。
本実施の形態に係る振動測定装置１００は、実施の形態１１と同様の構成上の特徴を有する。当該振動測定装置１００においては、シールド線４３は、一方の端部が接地端子８１に接続され、第１経路における一方の端部の反対側である他方の端部と、当該一方の端部との間に、サージ保護機器８２が接続されてもよい。
【0089】
仮に図４のように加速度センサ取付具２１と測定対象１とが絶縁性の接着剤６１により接合される場合、測定対象１と加速度センサ取付具２１とは電気的に絶縁される。この場合、通常時（測定対象１にサージ電圧が印加されない状態）では図９のグラウンドループＧＬは起こらない。通常時はサージ保護機器８２が電流を通さないため、シールド線４３の第１経路には電流が流れない。また加速度センサケーブル４０から加速度センサ１０（素子１１）、加速度センサ取付具２１を通る第２経路は、空洞１２により不連続になっていることから電流は流れず、測定対象１と加速度センサ取付具２１（加速度センサ筐体１０Ｂ）との間も絶縁されているため電流は流れない。
【0090】
ところが、測定対象１にサージ電圧が印加されたときは、サージ保護機器８２が導体のように動作する。このためシールド線４３の第１経路は、加速度センサ取付具２１（接地端子８１）から加速度センサケーブル４０に接続される加速度センサ１０まで電気的に接続される。このため加速度センサ取付具２１（およびこれと共通に接地端子８１と接触する測定対象１）と、加速度センサ１０との間の電位差がなくなり、接地端子８１により、サージ電圧の高電圧および高電流はすぐに接地電位まで低下する。一方、実施の形態１１（図２２）と同様の理由により、測定対象１にサージ電圧が印加された際に、第１経路と並列である第２経路には電流はほとんど流れない。以上により実施の形態１１と同様に、サージ電圧は第２経路よりも優先的に第１経路を通るため、高電圧は加速度センサ１０（第２経路の素子１１）には印加されず、加速度センサ１０（第２経路の素子１１）の故障を抑制できる。
【0091】
以上のように本実施の形態では、サージ電圧が測定対象１に印加されない通常時にはサージ保護機器８２が設置されているため、グラウンドループＧＬ（図９参照）は起こらずノイズの電流は生じない。しかしサージ電圧が測定対象１に印加されたときにサージ保護機器８２により測定対象１と、シールド線４３とが電気的に接続される。これにより高電圧が加速度センサ１０の内部の素子１１に加わり高電流が素子１１に流れることを抑制できる。
【0092】
（実施の形態１３）
図２６は、実施の形態１３に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図２６を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は基本的に図２２と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし本実施の形態の振動測定装置１００は、図２２とは異なり、加速度センサ取付具２１の代わりに加速度センサ取付具２２が設けられている。本実施の形態の振動測定装置１００は、加速度センサ１０に接触するように導電性コネクタ８３が接続されている。
図２６は、実施の形態１３に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図２６を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は基本的に図２２と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし本実施の形態の振動測定装置１００は、図２２とは異なり、加速度センサ取付具２１の代わりに加速度センサ取付具２２が設けられている。本実施の形態の振動測定装置１００は、加速度センサ１０に接触するように導電性コネクタ８３が接続されている。
【0093】
導電性コネクタ８３は、加速度センサ筐体１０Ｂの加速度センサ取付具２２と反対側である図２６の上側の面（最上面）上に、加速度センサ筐体１０Ｂと接触するように取り付けられている。ただし導電性コネクタ８３は加速度センサ筐体１０Ｂの最上面以外の面に接触するように設置されてもよい。導電性コネクタ８３は金属材料により形成されており、加速度センサ筐体１０Ｂと接触することにより、加速度センサ１０と導電性コネクタ８３とが導通している。後の実施の形態で述べるように、シールド線４３は、加速度センサ筐体１０Ｂに限らず、絶縁性部材（ここでは非金属部２２ｅ）の加速度センサ１０側（図２６の上側）に電気的に接続されればよい。
【0094】
シールド線４３は導電性コネクタ８３に接続されている。また図２６では、加速度センサ取付具２２が、絶縁性部材を含んでいる。絶縁性部材により測定対象１と加速度センサ１０との間が電気的に絶縁されている。具体的には、本実施の形態の加速度センサ取付具２２は、本体を構成する金属部２２ｄと、絶縁性部材である非金属部２２ｅとを含んでいる。金属部２２ｄは加速度センサ取付具２２の中心をなす部材であり、加速度センサ取付具２２の全体と同様に、たとえば直方体状（板状）を有している。金属部２２ｄは金属などからなる導電性であってもよい。非金属部２２ｅは、金属部２２ｄの外側の表面上に配置される。つまり非金属部２２ｅは金属部２２ｄの表面上に塗布または形成されている。非金属部２２ｅは、たとえば金属部２２ｄの表面の全体に、アルマイト処理、または絶縁コーティング処理等により形成されてもよいが、金属部２２ｄの表面の一部のみに上記処理により形成等されてもよい。たとえば測定対象１と加速度センサ取付具２２（の金属部２２ｄ）との間に、測定対象１と加速度センサ取付具２２（の金属部２２ｄ）との双方に接触するように、図２６の金属部２２ｄの最下面のみに非金属部２２ｅが配置されてもよい。あるいは非金属部２２ｅは、たとえば金属部２２ｄの加速度センサ１０側の面（図２６の最上面）の全体の上のみに配置されてもよい。非金属部２２ｅの存在により、加速度センサ取付具２２は絶縁性を有する。
【0095】
（作用効果）
上記振動測定装置１００において、加速度センサ取付具２２に含まれる絶縁性部材としての非金属部２２ｅにより測定対象１と加速度センサ１０との間が電気的に絶縁される。シールド線４３は、絶縁性部材の加速度センサ１０側に電気的に接続されてもよい。
上記振動測定装置１００において、加速度センサ取付具２２に含まれる絶縁性部材としての非金属部２２ｅにより測定対象１と加速度センサ１０との間が電気的に絶縁される。シールド線４３は、絶縁性部材の加速度センサ１０側に電気的に接続されてもよい。
【0096】
異なる観点から見ると、本実施の形態に係る振動測定装置１００は、加速度センサ１０と、加速度センサ取付具２１と、加速度センサケーブル４０とを備える。加速度センサ１０は測定対象１の振動を測定可能な素子１１を含む。加速度センサ取付具２２は加速度センサ１０の測定対象１側に配置される。加速度センサケーブル４０は加速度センサ１０と電気的に接続される。加速度センサケーブル４０はシールド線４３を含む。加速度センサ１０に接触するように導電性コネクタ８３が接続される。シールド線４３は導電性コネクタ８３に接続される。測定対象１と加速度センサ１０との間に絶縁被膜（非金属部２２ｅ）が挟まれている。
【0097】
非金属部２２ｅにより、測定対象１と加速度センサ１０とは電気的に絶縁される。この場合、通常時（測定対象１にサージ電圧が印加されない状態）では図９のグラウンドループＧＬは起こらない。ところが、測定対象１にサージ電圧が印加されたときは、たとえば非金属部２２ｅを沿面放電することにより、測定対象１と、加速度センサ１０に接触する導電性コネクタ８３に接続されたシールド線４３とが導通される。シールド線４３による第１経路と並列である、素子１１を含む第２経路には電流はほとんど流れない。これは実施の形態１１，１２と同様に第２経路は第１経路よりも高電気抵抗であるためである。以上により実施の形態１１と同様に、サージ電圧は第２経路よりも優先的に第１経路を通るため、高電圧は加速度センサ１０（第２経路の素子１１）には印加されず、加速度センサ１０（第２経路の素子１１）の故障を抑制できる。以上により、本実施の形態は基本的に実施の形態１２と同様の作用効果を奏する。
【0098】
上記振動測定装置１００において、シールド線４３は導電性コネクタ８３と電気的に接続され、導電性コネクタ８３により、シールド線４３は、たとえば加速度センサ１０に電気的に接続されてもよい。導電性コネクタ８３を用いれば、絶縁性コネクタ５９（図１０参照）を用いた場合と異なり、導電性コネクタ８３を介してシールド線４３を加速度センサ１０と導電可能である。これにより上記の第１経路が容易に形成できる。
【0099】
上記振動測定装置１００において、加速度センサ取付具２２は金属部２２ｄと、絶縁性部材としての非金属部２２ｅとを含んでもよい。金属部２２ｄの表面に非金属部２２ｅを設けることにより、加速度センサ取付具２２は、金属部２２ｄが導電性を有することによる振動測定の精度の確保と、非金属部２２ｅが絶縁性部材であることによる加速度センサ１０と測定対象１との絶縁性の確保による振動測定装置１００の絶縁耐力の向上（加速度センサ１０の故障抑制）との双方の効果が得られる。絶縁性部材（非金属部２２ｅ）は金属部２２ｄの表面にコーティングされた絶縁被膜であってもよい。絶縁性部材（非金属部２２ｅ）は樹脂およびセラミックスのいずれかにより形成されてもよい。図２６のように非金属部２２ｅは測定対象１と接触してもよい。
【0100】
（実施の形態１４）
図２７は、実施の形態１４に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図２７を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は基本的に図２６と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし本実施の形態では加速度センサ取付具２２が、金属部２２ｄと、絶縁性部材としての非金属部２２ｆとを含んでいる。非金属部２２ｆはたとえば平面視において矩形状を有し、図２７の上下方向に示す厚みを有する板状の部材である。非金属部２２ｆは樹脂またはセラミックス材料などの絶縁性を有する部材が板状に加工されたものである。図２７に示すように、非金属部２２ｆの最上面と、金属部２２ｄの最下面とは、接着剤６１により接合されていてもよい。あるいは図示されないが、非金属部２２ｆの最上面と、金属部２２ｄの最下面とが、たとえばレーザーにより接合されてもよい。
図２７は、実施の形態１４に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図２７を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は基本的に図２６と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし本実施の形態では加速度センサ取付具２２が、金属部２２ｄと、絶縁性部材としての非金属部２２ｆとを含んでいる。非金属部２２ｆはたとえば平面視において矩形状を有し、図２７の上下方向に示す厚みを有する板状の部材である。非金属部２２ｆは樹脂またはセラミックス材料などの絶縁性を有する部材が板状に加工されたものである。図２７に示すように、非金属部２２ｆの最上面と、金属部２２ｄの最下面とは、接着剤６１により接合されていてもよい。あるいは図示されないが、非金属部２２ｆの最上面と、金属部２２ｄの最下面とが、たとえばレーザーにより接合されてもよい。
【0101】
つまり本実施の形態では、実施の形態１３のコーティング膜として金属部２２ｄの最下面に形成された非金属部２２ｅの代わりに、板状部材としての非金属部２２ｆが配置されている。このような構成としても、基本的に実施の形態１３と同様の作用効果を奏する。
【0102】
（実施の形態１５）
図２８は、実施の形態１５に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図２８を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は基本的に図２２と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし本実施の形態では、図２２とは異なり、加速度センサ取付具２１の代わりに加速度センサ取付具２２が設けられている。加速度センサ取付具２２は、実施の形態１４の図２７と同様に、金属部２２ｄと、その最下面にたとえば接着剤６１で接合された非金属部２２ｆとを含んでいる。ただし図示されないが、加速度センサ取付具２２は、実施の形態１３の図２６と同様に、金属部２２ｄと、その表面にコーティングされた絶縁被膜としての非金属部２２ｅとからなってもよい。
図２８は、実施の形態１５に係る振動測定装置の構成を示す模式図である。図２８を参照して、本実施の形態に係る振動測定装置１００は基本的に図２２と同様の構成を備えるため同一内容の説明を繰り返さない。ただし本実施の形態では、図２２とは異なり、加速度センサ取付具２１の代わりに加速度センサ取付具２２が設けられている。加速度センサ取付具２２は、実施の形態１４の図２７と同様に、金属部２２ｄと、その最下面にたとえば接着剤６１で接合された非金属部２２ｆとを含んでいる。ただし図示されないが、加速度センサ取付具２２は、実施の形態１３の図２６と同様に、金属部２２ｄと、その表面にコーティングされた絶縁被膜としての非金属部２２ｅとからなってもよい。
【0103】
また図２８は、図２６、図２７との対比により、シールド線４３の接続位置において異なっている。図２６、図２７ではシールド線４３は導電性コネクタ８３により、加速度センサ１０の最上面に接続されている。これに対し図２８ではシールド線４３は、加速度センサ取付具２２の金属部２２ｄの側面上に接続された接地端子８１に接続されている。
【0104】
図２６，図２７のようにシールド線４３は、加速度センサ１０に接続されてもよい。あるいは図２８のようにシールド線４３は、非金属部２２ｆ（絶縁性部材）の直上に接合された金属部２２ｄに接続されてもよい。いずれにせよ、シールド線４３は、絶縁性部材の加速度センサ１０側（図２６～図２８の上側）に電気的に接続されていることが好ましい。
【0105】
（実施の形態１６）
以上の各実施の形態に述べた振動測定装置１００を用いた風力発電装置について、以下に説明する。
以上の各実施の形態に述べた振動測定装置１００を用いた風力発電装置について、以下に説明する。
【0106】
＜風力発電装置の構成＞
図２９は、各実施の形態に係る振動測定装置を用いた風力発電装置の構成を概略的に示した図である。図２９を参照して、風力発電装置１０００は、主軸１２０と、ブレード１３０と、増速機１４０と、発電機１５０と、主軸受１６０を備える。風力発電装置１０００はセンサ１０Ｃ～１０Ｋと、データ収集装置７０とを備える。センサ１０Ｃ～１０Ｋは、上記各実施の形態に係る振動測定装置１００に含まれる加速度センサ１０として設けられる。データ収集装置７０は、風力発電用ＣＭＳ装置として設けられる。増速機１４０、発電機１５０、主軸受１６０、センサ１０Ｃ～１０Ｋおよびデータ収集装置７０は、ナセル１９０に格納され、ナセル１９０は、タワー１０１によって支持される。
図２９は、各実施の形態に係る振動測定装置を用いた風力発電装置の構成を概略的に示した図である。図２９を参照して、風力発電装置１０００は、主軸１２０と、ブレード１３０と、増速機１４０と、発電機１５０と、主軸受１６０を備える。風力発電装置１０００はセンサ１０Ｃ～１０Ｋと、データ収集装置７０とを備える。センサ１０Ｃ～１０Ｋは、上記各実施の形態に係る振動測定装置１００に含まれる加速度センサ１０として設けられる。データ収集装置７０は、風力発電用ＣＭＳ装置として設けられる。増速機１４０、発電機１５０、主軸受１６０、センサ１０Ｃ～１０Ｋおよびデータ収集装置７０は、ナセル１９０に格納され、ナセル１９０は、タワー１０１によって支持される。
【0107】
主軸１２０は、ナセル１９０内に進入して増速機１４０の入力軸に接続され、主軸受１６０によって回転自在に支持される。そして、主軸１２０は、風力を受けたブレード１３０により発生する回転トルクを増速機１４０の入力軸へ伝達する。ブレード１３０は、主軸１２０の先端に設けられ、風力を回転トルクに変換して主軸１２０に伝達する。
【0108】
主軸受１６０は、ナセル１９０内において固設され、主軸１２０を回転自在に支持する。主軸受１６０は、転がり軸受によって構成され、たとえば、自動調芯ころ軸受や円すいころ軸受、円筒ころ軸受、玉軸受等によって構成される。なお、これらの軸受は、単列のものでも複列のものでもよい。
【0109】
センサ１０Ｃ～１０Ｋは、ナセル１９０の内部の各機器に固設される。具体的には、センサ１０Ｊは、主軸受１６０の上面に固設され、主軸受１６０の状態を監視する。センサ１０Ｋ，１０Ｃ，１０Ｄは、増速機１４０の上面に固設され、増速機１４０の状態を監視する。センサ１０Ｅ，１０Ｆは、発電機１５０の上面に固設され、発電機１５０の状態を監視する。センサ１０Ｇは主軸受１６０に固設され、ミスアライメントとナセルの異常振動を監視する。センサ１０Ｉは主軸受１６０に固設され、アンバランスとナセルの異常振動を監視する。
【0110】
増速機１４０は、主軸１２０と発電機１５０との間に設けられ、主軸１２０の回転速度を増速して発電機１５０へ出力する。一例として、増速機１４０は、遊星ギヤや中間軸、高速軸等を含む歯車増速機構によって構成される。なお、特に図示しないが、この増速機１４０内にも、複数の軸を回転自在に支持する複数の軸受が設けられている。発電機１５０は、増速機１４０の出力軸に接続され、増速機１４０から受ける回転トルクによって発電する。発電機１５０は、たとえば、誘導発電機によって構成される。なお、この発電機１５０内にも、ロータを回転自在に支持する軸受が設けられている。
【0111】
データ収集装置７０は、ナセル１９０の内部に設けられ、センサ１０Ｃ～１０Ｋが検出した各機器の振動、音、ＡＥ（Ａｃｏｕｓｔｉｃ ｅｍｉｓｓｉｏｎ）等のデータを受ける。なお、図示はしていないが、センサ１０Ｃ～１０Ｋとデータ収集装置７０とは、有線ケーブルで接続されている。
【0112】
以上に述べた各実施の形態（に含まれる各例）に記載した特徴を、技術的に矛盾のない範囲で適宜組み合わせるように適用してもよい。
【0113】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0114】
１ 測定対象、１０ 加速度センサ、１０ａ センサ外縁、１０ｈ，２１ｈ 貫通孔、１０Ｂ 加速度センサ筐体、１１ 素子、１２ 空洞、２１，２２ 加速度センサ取付具、２１ａ，２２ａ 取付具外縁、２２ｂ 第１部分、２２ｃ 第２部分、２２ｄ 金属部、２２ｅ，２２ｆ 非金属部、３１ 熱収縮チューブ、３２，３４ スペーサ、３３ アダプタ、３３ａ アダプタ突起、３４ａ，３５ａ スペーサ外縁、３６，３９ 絶縁板、４０ 加速度センサケーブル、４１ 第１ケーブル線、４２ 第２ケーブル線、４３ シールド線、４４ 外被、５０ スタッド、６１ 接着剤、６２ 充填剤、６３ 沿面距離、６４ 絶縁性塗布剤、６５ 隙間充填剤、７０ データ収集装置、８１ 接地端子、８２ サージ保護機器、８３ 導電性コネクタ、１００，９００ 振動測定装置、１０１ タワー、１２０ 主軸、１３０ ブレード、１４０ 増速機、１５０ 発電機、１６０ 主軸受、１９０ ナセル、１０００ 風力発電装置、ＤＣＧ 放電、Ｇ１，Ｇ２ 接地点、ＧＬ グラウンドループ、ＳＶ サージ電圧。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】