特開2023-99487基板処理装置

発明の名称　基板処理装置

出願人　サムス　カンパニー　リミテッド　（識別番号 520236767）

　　　　特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4051 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2023-99487

公報発行日　2023年7月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2023-99487

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