特開 2023-99901 圧力センサの製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2023099901

(43)【公開日】2023-07-14

(54)【発明の名称】圧力センサの製造方法

(51)【国際特許分類】

   G01L 19/00 20060101AFI20230707BHJP

【ＦＩ】

G01L19/00 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2022000096

(22)【出願日】2022-01-04

(71)【出願人】

【識別番号】000006666

【氏名又は名称】アズビル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100098394

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】津嶋 鮎美

(72)【発明者】

【氏名】中園 茉友子

【テーマコード（参考）】

2F055

【Ｆターム（参考）】

2F055AA40

2F055BB05

2F055CC60

2F055DD20

2F055EE40

2F055FF43

2F055GG01

2F055HH08

(57)【要約】

【課題】圧力測定装置に接続されるワッシャに圧力導入用の導圧管がシール性よく溶接されるとともに、この導圧管がセラミックス製のセンサケースに半田付けされる圧力センサの製造方法を提供する。
【解決手段】圧力測定装置の第１、第２の導圧路から圧力センサチップ１６に被測定圧を伝達する第１、第２の導圧管６，７の一端部に、これらの導圧路に接続される第１、第２のワッシャ３１，３２を溶接する第１のステップと、第１、第２の導圧管６，７に半田付け用のめっきを施す第２のステップとを有する。圧力センサチップ１６を収容するセラミックス材料からなるケース本体１１の第１、第２の貫通孔１４，１５に第１、第２の導圧管６，７の他端部を通し、第１、第２の導圧管６，７をケース本体１１に半田付けして第１、第２の貫通孔１４，１５を密閉する第３のステップを有する。
【選択図】 図９

【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧力測定装置の導圧路から圧力センサチップに被測定圧を伝達する導圧管の一端部に、前記導圧路に接続されるワッシャを溶接する第１のステップと、
前記導圧管に半田付け用のめっきを施す第２のステップと、
前記圧力センサチップを収容するセラミックス材料からなるセンサケースの貫通孔に前記導圧管の他端部を通し、前記導圧管を前記センサケースに半田付けして前記貫通孔を密閉する第３のステップとを有することを特徴とする圧力センサの製造方法。

【請求項2】

請求項１記載の圧力センサの製造方法において、
前記第１のステップは、
前記ワッシャの貫通孔に前記導圧管を挿入して前記ワッシャの一端と前記導圧管の先端とを溶接することにより実施し、
前記ワッシャの前記貫通孔は、前記ワッシャの一端に開口する小径部と、前記小径部より孔径が大きく形成されて前記導圧管と孔内面との間に洗浄用の空間が形成される大径部とを有し、
前記第２のステップは、前記導圧管に半田付け用のめっきが施された後に前記ワッシャの前記貫通孔の前記大径部を洗浄するステップを有していることを特徴とする圧力センサの製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半田付けと溶接とが行われる導圧管を用いる圧力センサの製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、圧力センサとしては、例えば特許文献１に記載されているように、被測定圧力を導入するために導圧管を使用するものがある。特許文献１に開示された導圧管は、圧力測定装置ボディの導圧路と圧力センサとを接続している。導圧管と圧力センサとの接続は、例えば接着剤を使用して行うことができる。接着剤としてエポキシ系の接着剤を使用する場合は、この接着剤が吸湿して劣化することを防ぐために、接着部をセンサケースで覆うことが望ましい。

【0003】

すなわち、圧力検出部を有する圧力センサチップに接着剤によって導圧管を接着し、接着部を含めて圧力センサチップをセンサケースの中に封入する。この場合、センサケースは、信号取出し構造を容易に形成できるように、セラミックスによって形成することが好ましい。
導圧管と圧力測定装置ボディとの接合は、例えば特許文献２に記載されているように、導圧管が貫通する金属製のワッシャを介して行うことができる。導圧管は、ワッシャの貫通孔に挿入された状態でワッシャに溶接される。ワッシャは、ボディに抵抗溶接によって溶接される。

【0004】

ところで、近年の圧力測定装置は、センサチップに過大圧保護機構を搭載することがある。過大圧保護機構をセンサチップに搭載した圧力測定装置においては、受圧部（バリアダイアフラム）から感圧部（センサチップ）までの圧力伝達経路においても高耐圧であることが求められる。そのため、圧力伝達経路の構成部品（ボディ、ワッシャ、導圧管）は、強度維持を目的としてステンレス鋼等の高強度金属によって形成する必要がある。

【0005】

圧力センサチップを覆うセラミックス製のセンサケースを備えている場合、センサケースを導圧管が貫通する部分の隙間は、半田付けにより封止する。半田付けを行うために、センサケースには、導圧管を通す開口部の周囲に導体を形成し、Ｎｉを下地としてＡｕをメタライズする。同様に導圧管も半田付けを行うためにメタライズを行う。一般的に、ステンレス鋼は半田付けしづらい金属であり、ステンレス鋼に半田付けを行うためには、表面の酸化膜を除去する必要がある。酸化膜を除去するためには、やに入り半田やフラックスを使用する必要があるが、半田付け後にフラックス（腐食成分）の除去のため洗浄が必要となる。洗浄の際には、導圧路内への異物混入やセンサチップへの異物付着による特性劣化などの不具合が生じるおそれがある。このため、このような不具合の発生を避けるため、やに入り半田やフラックスを使用することなく、ステンレス鋼製の導圧管にＮｉを下地としてＡｕめっきを行い、このＡｕ層をセンサケースのメタライズ部に半田付けして導圧管貫通部を封止する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特許第５０８９０１８号公報

【特許文献2】特許第６５５９５８４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

しかしながら、半田付けできるようにＮｉを下地としてＡｕめっきが施された導圧管は、ワッシャとの溶接部においてシール性が低くなるおそれがあった。この理由は、下地のＮｉめっき成分に含まれるＰ（りん）やＳ（硫黄）などにより、溶接割れが発生するからである。この溶接割れは、図１６に示すように発生する。図１６には、導圧管Ａの先端をワッシャＢの貫通孔の開口縁に溶接した溶接部が示されている。この溶接部には、図１６中に四角形の枠で囲って示すように、溶接割れにより生じるクラックが形成されている。クラックは、導圧管ＡとワッシャＢとの境界に沿うように延びている。

【0008】

本発明の目的は、圧力測定装置に接続されるワッシャに圧力導入用の導圧管がシール性よく溶接されるとともに、この導圧管がセラミックス製のセンサケースに半田付けされる圧力センサの製造方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

この目的を達成するために本発明に係る圧力センサの製造方法は、圧力測定装置の導圧路から圧力センサチップに被測定圧を伝達する導圧管の一端部に、前記導圧路に接続されるワッシャを溶接する第１のステップと、前記導圧管に半田付け用のめっきを施す第２のステップと、前記圧力センサチップを収容するセラミックス材料からなるセンサケースの貫通孔に前記導圧管の他端部を通し、前記導圧管を前記センサケースに半田付けして前記貫通孔を密閉する第３のステップとを有する方法である。

【0010】

本発明は、前記圧力センサの製造方法において、前記第１のステップは、前記ワッシャの貫通孔に前記導圧管を挿入して前記ワッシャの一端と前記導圧管の先端とを溶接することにより実施し、前記ワッシャの前記貫通孔は、前記ワッシャの一端に開口する小径部と、前記小径部より孔径が大きく形成されて前記導圧管と孔内面との間に洗浄用の空間が形成される大径部とを有し、前記第２のステップは、前記導圧管に半田付け用のめっきが施された後に前記ワッシャの前記貫通孔の前記大径部を洗浄するステップを有していてもよい。

【発明の効果】

【0011】

本発明においては、導圧管に半田付け用のめっきを施す以前に導圧管にワッシャを溶接するから、この導圧管とワッシャとの溶接部に溶接割れが生じることはない。また、導圧管のセンサケースを貫通する部分には半田付け用のめっきが施されているから、センサケースの導圧管が貫通する貫通部が半田付けにより封止される。したがって、圧力測定装置に接続されるワッシャに圧力導入用の導圧管がシール性よく溶接されるとともに、この導圧管がセラミックス製のセンサケースに半田付けされる圧力センサの製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】図１は、圧力センサの斜視図である。

【図2】図２は、圧力センサを破断して示す斜視断面図である。

【図3】図３は、圧力センサの要部を拡大して示す断面図である。

【図4】図４は、ワッシャと導圧管との接合部を拡大して示す断面図である。

【図5】図５は、圧力測定装置の斜視断面図である。

【図6】図６は、圧力測定装置の一部を破断して示す分解斜視図である。

【図7】図７は、圧力測定装置の受圧部を破断して示す断面図である。

【図8】図８は、本発明に係る圧力センサの製造方法を説明するためのフローチャートである。

【図9】図９は、第１のステップと第２のステップとを説明するための図である。

【図10】図１０は、第３のステップを説明するための断面図である。

【図11】図１１は、半田付け用治具の斜視図である。

【図12】図１２は、ワイヤボンディングが実施された状態の圧力センサの断面図である。

【図13】図１３は、蓋体が接合された状態の圧力センサの断面図である。

【図14】図１４は、ワッシャの変形例を示す断面図である。

【図15】図１５は、ワッシャをかしめるステップを説明するための断面図である。

【図16】図１６は、ワッシャと導圧管との溶接部を拡大して示す顕微鏡写真である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明に係る圧力センサの製造方法の一実施の形態を図１～図１３を参照して詳細に説明する。
図１に示す圧力センサ１は、図５に示す圧力測定装置２に使用されるもので、圧力測定装置２の基板３に実装されるセンサケース４と、圧力測定装置２のボディ５に溶接される第１および第２の導圧管６，７とを備えている。

【0014】

センサケース４は、図２に示すように、有底角筒状に形成されたケース本体１１と、このケース本体１１の開口部を閉塞する蓋体１２とによって構成されている。ケース本体１１はセラミックス材料によって形成され、蓋体１２はセラミックス材料または金属材料によって形成されている。ケース本体１１の底壁１３には第１の貫通孔１４と第２の貫通孔１５が形成されている。これらの第１および第２の貫通孔１４，１５には、第１の導圧管６と第２の導圧管７とが挿通されている。これらの第１および第２の導圧管６，７は、センサケース４の中に収容された圧力センサチップ１６に接続されている。

【0015】

圧力センサチップ１６は、複数のシリコン製の板状部材を厚み方向に重ねて立方体状に形成されている。圧力センサチップ１６には、第１の導圧管６が挿入される第１の孔１７と、第２の導圧管７が挿入される第２の孔１８とが形成されている。第１の孔１７の内部は、圧力センサチップ１６の第１の圧力室１６ａに連通され、第２の孔１８の内部は、圧力センサチップ１６の第２の圧力室１６ｂに連通されている。この実施の形態による圧力センサチップ１６は、第１の孔１７から第１の圧力室１６ａに伝達された圧力と、第２の孔１８から第２の圧力室１６ｂに伝達された圧力との差圧を検出するように構成されている。

【0016】

第１および第２の導圧管６，７は、それぞれステンレス鋼によって形成され、所定の形状に曲げられている。また、これらの第１および第２の導圧管６，７は、図３に示すように、圧力センサチップ１６に接着剤１９によって接着されている。この接着剤１９としては、エポキシ系の接着剤を用いることができる。センサケース４の内部は、エポキシ系の接着剤１９が吸湿することがない状態になっている。この状態は、真空状態あるいはＮ２ガスなどの不活性ガスで満たされた状態である。センサケース４内をこのような不活性な状態に保つために、蓋体１２がセンサケース４に溶接あるいはろう付けされるとともに、第１および第２の導圧管６，７におけるセンサケース４の第１および第２の貫通孔１４，１５を貫通する部分が半田付けによって封止されている。導圧管貫通部の半田付けは、半田２０が第１および第２の貫通孔１４，１５の周囲の全域にわたって濡れ拡がるように行われている。

【0017】

ケース本体１１の第１および第２の貫通孔１４，１５およびこれらの第１および第２の貫通孔１４，１５の開口部の周辺は、半田付けを行うことができるように、メタライズ処理が施されている。また、第１および第２の導圧管６，７における第１および第２の貫通孔１４，１５に挿通される部分には、半田付け用のめっきが施されている。この半田付け用のめっきは、Ｎｉを下地とするＡｕめっきである。

【0018】

センサケース４の内側部には、ボンディングパッド２１が設けられている。このボンディングパッド２１は、圧力センサチップ１６のボンディングパッド２２にボンディングワイヤ２３を介して電気的に接続されている。また、センサケース４のボンディングパッド２１は、図示してはいないが、センサケース４の外側底面に設けられた電極にセンサケース４内の導体を介して電気的に接続されている。センサケース４の電極は、基板３（図６参照）の半田付け用ランド２４に半田付けされる。基板３は、圧力測定装置２のボディ５に樹脂ケース２５を介して支持されている。

【0019】

圧力センサ１の第１および第２の導圧管６，７は、圧力センサチップ１６とは反対側の端部に第１および第２のワッシャ３１，３２が溶接され、これらの第１および第２のワッシャ３１，３２を介して圧力測定装置２のボディ５に接続されている。第１および第２のワッシャ３１，３２は、それぞれステンレス鋼によって円板状に形成され、ボディ５に溶接されている。
第１および第２のワッシャ３１，３２の中心部には、図４に示すように、円筒状の凸部３１ａ，３２ａが設けられているとともに、貫通孔３３，３４が形成されている。

【0020】

第１のワッシャ３１の貫通孔３３には、第１の導圧管６が挿入されて接合されている。第２のワッシャ３２の貫通孔３４には、第２の導圧管７が挿入されて接合されている。第１および第２のワッシャ３１，３２と第１および第２の導圧管６，７との接合は、凸部３１ａ，３２ａに開口する貫通孔３３，３４の開口縁に第１および第２の導圧管６，７の先端外周部を溶接することによって行われている。この溶接は、図４に示すように、溶接部３５によって第１および第２のワッシャ３１，３２と第１および第２の導圧管６，７との間が液密にシールされるように行っている。

【0021】

第１および第２のワッシャ３１，３２が溶接されるボディ５は、ステンレス鋼によって形成されており、図５に示すように、第１および第２のワッシャ３１，３２が溶接された有底円筒状の検出部３６と、板状に形成された受圧部３７とを有している。検出部３６には樹脂ケース２５が組付けられている。

【0022】

受圧部３７は、図７に示すように、厚み方向（図７においては左右方向）の一方の端部に第１の配管３８が接続されるとともに、厚み方向の他方の端部に第２の配管３９が接続される。第１の配管３８の内部は、測定対象である第１のプロセス流体４０で満たされている。第２の配管３９の内部は、測定対象である第２のプロセス流体４１で満たされている。
受圧部３７における第１の配管３８と接続される一端部には、第１のプロセス流体４０の圧力を受圧する第１の受圧ダイアフラム４２が設けられているとともに、この第１の受圧ダイアフラム４２が壁の一部となる第１の圧力伝達室４３が形成されている。
受圧部３７における第２の配管３９と接続される他端部には、第２のプロセス流体４１の圧力を受圧する第２の受圧ダイアフラム４４が設けられているとともに、この第２の受圧ダイアフラム４４が壁の一部となる第２の圧力伝達室４５が形成されている。

【0023】

第１の圧力伝達室４３と第２の圧力伝達室４５は、ボディ５内に形成された被測定圧伝達用の第１の導圧路４６および第２の導圧路４７と、第１の導圧路４６および第２の導圧路４７の開口部分に溶接された第１および第２のワッシャ３１，３２と、第１および第２の導圧管６，７とを介して圧力センサチップ１６の第１および第２の圧力室１６ａ，１６ｂに接続されている。第１および第２の導圧路４６，４７は、図６に示すように、ボディ５の検出部３６に開口している。この第１および第２の導圧路４６，４７の開口部は、ワッシャ３１，３２の凸部３１ａ，３２ａを挿入できるように形成されている。
第１および第２の圧力伝達室４３，４５から圧力センサチップ１６の第１、第２の圧力室１６ａ，１６ｂに至る圧力伝達系は、圧力伝達媒体４８（図３参照）で満たされている。

【0024】

ボディ５の検出部３６は、円筒状に形成され、受圧部３７とは反対の方向に向けて開口している。検出部３６の開口部分は、図示していないカバーによって閉塞される。
検出部３６の内側底部には、第１および第２の導圧路４５，４６がそれぞれ開口している。第１の導圧路４６の開口端には、第１のワッシャ３１が溶接され、第２の導圧路４７の開口端には第２のワッシャ３２が溶接されている。第１のワッシャ３１と第２のワッシャ３２は、樹脂ケース２５に形成された貫通穴４９に通されている。

【0025】

次に、圧力センサ１の製造方法を図８に示すフローチャートと図９～図１３とを参照して説明する。
圧力センサ１は、図８のフローチャートの第１のステップＳ１～第５のステップＳ５を実施することにより製造される。第１のステップＳ１においては、先ず、図９（Ａ）に示すように、第１および第２の導圧管６，７に第１および第２のワッシャ３１，３２を溶接する。第１および第２の導圧管６，７は、半田付け用のめっきが施されていないものを使用する。第１および第２の導圧管６，７に第１および第２のワッシャ３１，３２を溶接した後、第２のステップＳ２を実施する。

【0026】

第２のステップＳ２においては、先ず、第１の導圧管６と第１のワッシャ３１とからなる組立体と、第２の導圧管７と第２のワッシャ３２とからなる組立体を図９（Ｂ）に示すようにめっき槽５１内に挿入し、めっき槽５１内のめっき液５２に浸漬させる。めっき液５２は、半田付け用のめっきを施すものである。そして、電気めっき法または無電解めっき法によって第１および第２の導圧管６，７に半田付け用のめっきを施す（ステップＳ２Ａ）。このとき、第１および第２のワッシャ３１，３２にも半田付け用のめっきが施される。

【0027】

その後、図９（Ｃ）に示すように、第１の導圧管６と第１のワッシャ３１とからなる組立体と、第２の導圧管７と第２のワッシャ３２とからなる組立体を例えば洗浄液５３で洗浄する（ステップＳ２Ｂ）。この洗浄は、第１および第２の導圧管６，７の管内を含めて行う。このようにめっき後の洗浄を行った後、第３のステップＳ３に進む。

【0028】

第３のステップＳ３においては、先ず、図９（Ｄ）に示すように、第１および第２の導圧管６，７をケース本体１１の第１および第２の貫通孔１４，１５に通し、圧力センサチップ１６の第１の孔１７と第２の孔１８とに挿入する。そして、第１および第２の導圧管６，７を圧力センサチップ１６に接着剤１９によって接着し（ステップＳ３Ａ）、図９（Ｅ）に示すように圧力センサチップ１６をケース本体１１の中に挿入する。

【0029】

次に、図１０（Ａ）に示すように、ケース本体１１と圧力センサチップ１６を第１および第２の導圧管６，７が上に位置する姿勢として半田付け用治具５４に載せる。半田付け用治具５４は、図１１に示すように、ケース本体１１の一側部と他側部とが嵌合する一対の第１の溝５５と、圧力センサチップ１６が嵌合する第２の溝５６とが形成されている。第１の溝５５にケース本体１１が嵌合するとともに第２の溝５６に圧力センサチップ１６が嵌合することにより、ケース本体１１に対して圧力センサチップ１６が位置決めされる（ステップＳ３Ｂ）。このように半田付け用治具５４にケース本体１１と圧力センサチップ１６とを嵌合させた後、図１０（Ｂ）に示すように、第１および第２の導圧管６，７をケース本体１１に半田付けする（ステップＳ３Ｃ）。このように第１および第２の導圧管６，７がケース本体１１に半田付けされることにより、第１および第２の貫通孔１４，１５が半田２０によって密閉される。

【0030】

そして、図１２に示すように、ケース本体１１のボンディングパッド２１と圧力センサチップ１６のボンディングパッド２２とをボンディングワイヤ２３によって接続する（第４のステップＳ４）。次いで、図１３に示すように、ケース本体１１の開口部に蓋体１２をシーム溶接またはろう付けによって接合し（第５のステップＳ５）、ケース本体１１を封止する。蓋体１２をケース本体１１に接合するにあたっては、ケース本体１１と蓋体１２とを図示していないチャンバーの中に装填し、チャンバー内を不活性ガスの雰囲気とするか、真空状態として行う。蓋体１２がケース本体１１に接合されることにより、圧力センサ１が完成する。

【0031】

このように形成された圧力センサ１を圧力測定装置２のボディ５に組み付けるためには、先ず、センサケース４を基板３に実装する。このとき、第１および第２のワッシャ３１，３２を基板３の二つの貫通穴３ａ，３ａ（図６参照）に通し、第１および第２の導圧管６，７を基板３のスリット３ｂに通す。そして、第１および第２のワッシャ３１，３２を樹脂ケース２５の貫通穴４９に通し、基板３を樹脂ケース２５に載せる。このとき、第１および第２のワッシャ３１，３２は、第１および第２の導圧路４６，４７の開口部分に接続する。そして、図示していない抵抗溶接用の棒状電極を樹脂ケース２５の貫通穴４９に挿入して第１および第２のワッシャ３１，３２に重ね、棒状電極とボディ５との間に第１および第２のワッシャ３１，３２を挟んで抵抗溶接によって第１および第２のワッシャ３１，３２をボディ５に溶接する。

【0032】

第１および第２のワッシャ３１，３２がボディ５に溶接された後、第１および第２の圧力伝達室４３，４５から圧力センサチップ１６内に至る圧力伝達経路に圧力伝達媒体４８を充填する。この充填は、第１および第２の圧力伝達室４３，４５からボディ５の外に延びる充填孔（図示せず）を用いて行う。
その後、ボディ５の検出部３６にカバーを組み付けることにより圧力測定装置２が完成する。

【0033】

この実施の形態による圧力センサ１の製造方法は、圧力測定装置２の第１および第２の導圧路４６，４７から圧力センサチップ１６に被測定圧を伝達する第１および第２の導圧管６，７の一端部に第１および第２のワッシャ３１，３２を溶接する第１のステップＳ１と、第１および第２の導圧管６，７に半田付け用のめっきを施す第２のステップＳ２と、圧力センサチップ１６を収容するセンサケース４の第１および第２の貫通孔１４，１５に第１および第２の導圧管６，７の他端部を通し、第１および第２の導圧管６，７をセンサケース４に半田付けして第１および第２の貫通孔１４，１５を密閉する第３のステップＳ３とを有する方法である。

【0034】

このため、この製造方法においては、第１および第２の導圧管６，７に半田付け用のめっきを施す以前に第１および第２の導圧管６，７に第１および第２のワッシャ３１，３２を溶接するから、第１および第２の導圧管６，７と第１および第２のワッシャ３１，３２との溶接部に溶接割れが生じることはない。また、第１および第２の導圧管６，７のセンサケース４を貫通する部分には半田付け用のめっきが施されているから、センサケース４の第１および第２の導圧管６，７が貫通する貫通部が半田付けにより封止される。
したがって、この実施の形態によれば、圧力測定装置に接続されるワッシャに圧力導入用の導圧管がシール性よく溶接されるとともに、この導圧管がセラミックス製のセンサケースに半田付けされる圧力センサの製造方法を提供することができる。
特に、この製造方法によれば、第１および第２の導圧管６，７に溶接部分を覆い隠すマスクを設けてから半田付け用のめっきを施し、その後、第１および第２のワッシャ３１，３２を溶接する方法を採る場合と較べると、マスクを付ける工程を省くことができるから、製造コストを低く抑えることができる。

【0035】

（第１および第２のワッシャの変形例）
本発明の第１のステップは、図１４に示すように形成されたワッシャを用いて実施することができる。図１４において、図１～図１３によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
図１４に示すワッシャ６１は、第１の導圧管６または第２の導圧管７が挿入される貫通孔６２を有している。

【0036】

貫通孔６２は、ワッシャ６１の円筒状の凸部６１ａを有する一端６１ｂに開口する小径部６２ａと、ワッシャ６１の他端６１ｃに開口する大径部６２ｂとによって形成されている。凸部６１ａは、上述した第１および第２のワッシャ３１，３２の凸部３１ａ，３２ａと同様に、圧力測定装置２の第１および第２の導圧路４６，４７に挿入可能に形成されている。
小径部６２ａは、第１および第２の導圧管６，７が所定のクリアランスをおいて嵌合する形状に形成されている。大径部６２ｂは、小径部６２ａより孔径が大きくなるように形成されている。大径部６２ｂの孔内面と第１および第２の導圧管６，７のとの間には、洗浄液５３が容易に流入する広さを有する洗浄用の空間Ｓが形成されている。

【0037】

小径部６２ａと大径部６２ｂとからなる貫通孔６２を有するワッシャ６１を製造するにあたっては、図示していないドリル等の回転する工具で小径部６２ａと大径部６２ｂとを形成する方法と、図１５（Ａ），（Ｂ）に示すように加圧成形によって行う方法とがある。
加圧成形によって小径部６２ａと大径部６２ｂとを有する貫通孔６２を形成する場合は、図１５（Ａ）に示すように、段差のない貫通孔６２が形成されたワッシャ６１を使用する。貫通孔６２は、大径部６２ｂのみとなる形状に形成されている。

【0038】

このワッシャ６１は、貫通孔６２に第１または第２の導圧管６，７を挿入した状態で複数の押圧子６３を有するかしめ装置６４に装填される。複数の押圧子６３は、凸部６１ａの周方向に並ぶように配置され、かしめ装置６４によって駆動されて凸部６１ａを径方向の中心に向けて押圧する。凸部６１ａは、複数の押圧子６３によって押されることにより、図１５（Ｂ）に示すように、外径が小さくなるように塑性変形し、第１または第２の導圧管６，７にかしめられるようになる。このように凸部６１ａがかしめられることにより、凸部６１ａ内に小径部６２ａが形成される。この場合、小径部６２ａの孔内面は第１または第２の導圧管６，７に密着するようになり、貫通孔６２の加圧成形されていない部分が実質的に大径部６２ｂになる。

【0039】

このように凸部６１ａが第１または第２の導圧管６，７にかしめられた後、ワッシャ６１に第１または第２の導圧管６，７を溶接し（第１のステップＳ１）、ワッシャ６１と第１または第２の導圧管６，７とからなる組立体に半田付け用のめっきを施す（第２のステップＳ２のめっきステップＳ２Ａ）。そして、めっき後の洗浄ステップＳ２Ｂにおいて、洗浄液５３がワッシャ６１の貫通孔６２（大径部６２ｂ）の中に浸入し、貫通孔６２内に残存しているめっき液５２の残渣が洗い流される。このため、この実施の形態を採ることにより、めっき後の残留物質が原因で第１および第２の導圧管６，７やワッシャ６１が腐食することを防ぐことができる。

【符号の説明】

【0040】

１…圧力センサ、２…圧力測定装置、４…センサケース、６…第１の導圧管、７…第２の導圧管、１４…第１の貫通孔、１５…第２の貫通孔、１６…圧力センサチップ、２０…半田、３１…第１のワッシャ、３２…第２のワッシャ、５１…めっき槽、
６１…ワッシャ、６２…貫通孔、６２ａ…小径部、６２ｂ…大径部、４６…第１の導圧路、４７…第２の導圧路、Ｓ１…第１のステップ、Ｓ２…第２のステップ、Ｓ２Ｂ…めっきステップ、Ｓ２Ｂ…洗浄ステップ、Ｓ３…第３のステップ、Ｓ…空間。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】