特開2024-100056吐出装置、樹脂成形品の製造装置および樹脂成形品の製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024100056
(43)【公開日】2024-07-26
(54)【発明の名称】吐出装置、樹脂成形品の製造装置および樹脂成形品の製造方法
(51)【国際特許分類】
B29C 43/34 20060101AFI20240719BHJP
B29C 43/18 20060101ALI20240719BHJP
【ＦＩ】
B29C43/34
B29C43/18
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023003767
(22)【出願日】2023-01-13
(71)【出願人】
【識別番号】390002473
【氏名又は名称】ＴＯＷＡ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001195
【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】北 一平
【テーマコード（参考）】
4F204
【Ｆターム（参考）】
4F204AC05
4F204AD19
4F204AH37
4F204FA01
4F204FA15
4F204FB01
4F204FB17
4F204FF23
4F204FN11
4F204FN15
4F204FN17
4F204FQ40
(57)【要約】
【課題】液状樹脂の吐出量を高精度で制御することが可能な吐出装置、樹脂成形品の製造装置および樹脂成形品の製造方法を提供する。
【解決手段】吐出装置（１００）は、カートリッジ（１０）の内部において第１の方向および第２の方向に移動可能に構成されているプランジャ（２０）を備えている。プランジャ（２０）には、液状樹脂（１３）が位置する第１の側とその反対側の第２の側との間で気体の流通を可能にする流路（２３）が設けられている。プランジャ（２０）が第１の方向へ移動した場合には第１の側から第２の側への気体の流通を可能とし、プランジャ（２０）が第２の方向へ移動した場合には第２の側から第１の側への気体の流通を防止することを可能とする逆止弁（５０）が備えられている。
【選択図】図２
【解決手段】吐出装置（１００）は、カートリッジ（１０）の内部において第１の方向および第２の方向に移動可能に構成されているプランジャ（２０）を備えている。プランジャ（２０）には、液状樹脂（１３）が位置する第１の側とその反対側の第２の側との間で気体の流通を可能にする流路（２３）が設けられている。プランジャ（２０）が第１の方向へ移動した場合には第１の側から第２の側への気体の流通を可能とし、プランジャ（２０）が第２の方向へ移動した場合には第２の側から第１の側への気体の流通を防止することを可能とする逆止弁（５０）が備えられている。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
内部に液状樹脂が収容され、前記液状樹脂が吐出される吐出口を備えるカートリッジを保持可能に構成されているカートリッジ保持部と、
前記カートリッジの前記内部において第１の方向および第２の方向に移動可能に構成されているプランジャと、
前記プランジャと前記カートリッジとの間を気密にするように設けられているシール部材とを備え、
前記プランジャの前記第１の方向への移動により前記カートリッジの前記吐出口から前記液状樹脂を吐出可能に構成されており、
前記プランジャには、前記液状樹脂が位置する側である第１の側と前記第１の側とは反対側の第２の側との間で気体の流通を可能にする流路が設けられており、
前記プランジャは、前記プランジャが前記第１の方向へ移動した場合には前記第１の側から前記第２の側への気体の流通を可能とし、前記プランジャが前記第２の方向へ移動した場合には前記第２の側から前記第１の側への気体の流通を防止することを可能とする逆止弁を備えている、吐出装置。
前記カートリッジの前記内部において第１の方向および第２の方向に移動可能に構成されているプランジャと、
前記プランジャと前記カートリッジとの間を気密にするように設けられているシール部材とを備え、
前記プランジャの前記第１の方向への移動により前記カートリッジの前記吐出口から前記液状樹脂を吐出可能に構成されており、
前記プランジャには、前記液状樹脂が位置する側である第１の側と前記第１の側とは反対側の第２の側との間で気体の流通を可能にする流路が設けられており、
前記プランジャは、前記プランジャが前記第１の方向へ移動した場合には前記第１の側から前記第２の側への気体の流通を可能とし、前記プランジャが前記第２の方向へ移動した場合には前記第２の側から前記第１の側への気体の流通を防止することを可能とする逆止弁を備えている、吐出装置。
【請求項2】
前記カートリッジは、前記液状樹脂の表面上に配置される蓋体を備え、
前記プランジャは、前記蓋体を介して前記液状樹脂を押圧可能に構成されている、請求項１に記載の吐出装置。
前記プランジャは、前記蓋体を介して前記液状樹脂を押圧可能に構成されている、請求項１に記載の吐出装置。
【請求項3】
前記プランジャは、前記第１の方向および前記第２の方向に移動可能に構成されている移動体を備え、
前記逆止弁は、前記移動体の前記第２の側に取り付けられている、請求項１または請求項２に記載の吐出装置。
前記逆止弁は、前記移動体の前記第２の側に取り付けられている、請求項１または請求項２に記載の吐出装置。
【請求項4】
前記逆止弁は、螺合により前記移動体に取り付けられている、請求項３に記載の吐出装置。
【請求項5】
前記流路は、前記第１の側の前記プランジャの開口に連絡する第１の流路と、前記第２の側の前記プランジャの開口に連絡する第２の流路と、前記第１の流路と前記第２の流路との間の第３の流路とを備え、
前記第３の流路に前記逆止弁が設けられている、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の吐出装置。
前記第３の流路に前記逆止弁が設けられている、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の吐出装置。
【請求項6】
前記逆止弁は、前記プランジャが前記第２の方向に移動した場合に前記第３の流路の前記第１の流路の側の開口を閉鎖し、前記プランジャが前記第１の方向に移動した場合に前記開口の閉鎖を解除するように構成されている閉鎖部材とを備える、請求項５に記載の吐出装置。
【請求項7】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の吐出装置を備える吐出モジュールと、
上型と下型とを備えるプレスモジュールと、
前記上型に基板を搬送可能に構成されている第１の搬送機構と、
前記下型に前記吐出モジュールで前記液状樹脂が吐出されたフィルムを搬送可能に構成されている第２の搬送機構と、を備え、
前記プレスモジュールは、前記上型と前記下型とを用いて型締めを行うことにより、前記基板を含む樹脂成形品を製造可能に構成されている、樹脂成形品の製造装置。
上型と下型とを備えるプレスモジュールと、
前記上型に基板を搬送可能に構成されている第１の搬送機構と、
前記下型に前記吐出モジュールで前記液状樹脂が吐出されたフィルムを搬送可能に構成されている第２の搬送機構と、を備え、
前記プレスモジュールは、前記上型と前記下型とを用いて型締めを行うことにより、前記基板を含む樹脂成形品を製造可能に構成されている、樹脂成形品の製造装置。
【請求項8】
請求項７に記載の樹脂成形品の製造装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、
前記吐出装置が前記液状樹脂を前記フィルムに吐出する工程と、
前記上型に前記基板を設置する工程と、
前記下型に前記液状樹脂が載っている前記フィルムを設置する工程と、
前記上型と前記下型とを用いて型締めを行う工程と、を含む、樹脂成形品の製造方法。
前記吐出装置が前記液状樹脂を前記フィルムに吐出する工程と、
前記上型に前記基板を設置する工程と、
前記下型に前記液状樹脂が載っている前記フィルムを設置する工程と、
前記上型と前記下型とを用いて型締めを行う工程と、を含む、樹脂成形品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、吐出装置、樹脂成形品の製造装置および樹脂成形品の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
たとえば特許文献１には、シリンジ内に貯留されている液状樹脂をプランジャで押し付けることによって、ノズルから液状樹脂をワークに吐出し、ワークの樹脂成形を行うことが可能な樹脂供給装置が記載されている。特許文献１に記載の樹脂供給装置においては、プランジャの下動が停止すると共にピンチバルブが閉じることによって、ノズルからの液状樹脂の吐出を停止させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１８－１３４８４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１に記載の樹脂供給装置においては、プランジャの下動が停止した際にノズルの先端で液状樹脂の液だれが発生し、ピンチバルブを閉じることによってノズルの先端で液だれした液状樹脂がワーク上に落下する。ここで、ワーク上に落下する液状樹脂の量が不安定であるため、液状樹脂の吐出量を高精度で制御することができないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本開示によれば、内部に液状樹脂が収容され、液状樹脂が吐出される吐出口を備えるカートリッジを保持可能に構成されているカートリッジ保持部と、カートリッジの内部において第１の方向および第２の方向に移動可能に構成されているプランジャと、プランジャとカートリッジとの間を気密にするように設けられているシール部材とを備え、プランジャの第１の方向への移動によりカートリッジの吐出口から液状樹脂を吐出可能に構成されており、プランジャには、液状樹脂が位置する側である第１の側と第１の側とは反対側の第２の側との間で気体の流通を可能にする流路が設けられており、プランジャは、プランジャが第１の方向へ移動した場合には第１の側から第２の側への気体の流通を可能とし、プランジャが第２の方向へ移動した場合には第２の側から第１の側への気体の流通を防止することを可能とする逆止弁を備えている吐出装置を提供することができる。
【0006】
本開示によれば、上記の吐出装置を備える吐出モジュールと、上型と下型とを備えるプレスモジュールと、上型に基板を搬送可能に構成されている第１の搬送機構と、下型に吐出モジュールで液状樹脂が吐出されたフィルムを搬送可能に構成されている第２の搬送機構とを備え、プレスモジュールは、上型と下型とを用いて型締めを行うことにより、基板を含む樹脂成形品を製造可能に構成されている樹脂成形品の製造装置を提供することができる。
【0007】
本開示によれば、上記の樹脂成形品の製造装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、吐出装置が液状樹脂をフィルムに吐出する工程と、上型に基板を設置する工程と、下型に液状樹脂が載っているフィルムを設置する工程と、上型と下型とを用いて型締めを行う工程とを含む樹脂成形品の製造方法を提供することができる。
【発明の効果】
【0008】
本開示の実施形態によれば、液状樹脂の吐出量を高精度で制御することが可能な吐出装置、樹脂成形品の製造装置および樹脂成形品の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】実施形態の樹脂成形品の製造装置の一例の模式的な構成を示す図である。
【図3】プランジャの押圧部が下方向へ移動した場合の逆止弁の機能の一例を図解する模式的な拡大部分断面図である。
【図4】プランジャの押圧部が上方向へ移動した場合の逆止弁の機能の一例を図解する模式的な拡大部分断面図である。
【図5】逆止弁を備えたプランジャの他の一例の模式的な拡大部分断面図である。
【図6】（ａ）～（ｃ）は、実施形態の吐出装置の作用効果の一例を図解する模式的な部分断面図である。
【図7】実施形態の樹脂成形品の製造方法の一例のフローチャートである。
【図8】樹脂成形装置の一例の模式的な断面図である。
【図9】樹脂成形装置の一例の模式的な他の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、実施形態について説明する。なお、実施形態の説明に用いられる図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【0011】
＜樹脂成形品の製造装置＞
図１に、実施形態の樹脂成形品の製造装置の一例の模式的な構成を示す。図１に示すように、樹脂成形品の製造装置１０００は、基板モジュール１００１と、プレスモジュール１００２と、吐出モジュール１００３と、フィルムモジュール１００４とを備えている。基板モジュール１００１は、樹脂成形される基板９０（図８参照）を搬出可能に構成されている。フィルムモジュール１００４は、フィルム７０ａ（図６参照）を搬出可能に構成されている。吐出モジュール１００３は、フィルムモジュール１００４から搬送されてきたフィルム７０ａ上に熱硬化性の液状樹脂１３（図２参照）を吐出可能に構成されている。プレスモジュール１００２は、吐出モジュール１００３から搬送されてきたフィルム７０ａ上に載っている液状樹脂１３を用いて基板モジュール１００１から搬送されてきた基板９０を樹脂成形可能に構成されている。たとえば、基板９０の一面には電子部品が配置されており、電子部品が配置されている基板９０の一面が樹脂で封止される。液状樹脂１３としては、たとえば、半導体パッケージ分野で用いられている液状樹脂１３を用いることができる。
図１に、実施形態の樹脂成形品の製造装置の一例の模式的な構成を示す。図１に示すように、樹脂成形品の製造装置１０００は、基板モジュール１００１と、プレスモジュール１００２と、吐出モジュール１００３と、フィルムモジュール１００４とを備えている。基板モジュール１００１は、樹脂成形される基板９０（図８参照）を搬出可能に構成されている。フィルムモジュール１００４は、フィルム７０ａ（図６参照）を搬出可能に構成されている。吐出モジュール１００３は、フィルムモジュール１００４から搬送されてきたフィルム７０ａ上に熱硬化性の液状樹脂１３（図２参照）を吐出可能に構成されている。プレスモジュール１００２は、吐出モジュール１００３から搬送されてきたフィルム７０ａ上に載っている液状樹脂１３を用いて基板モジュール１００１から搬送されてきた基板９０を樹脂成形可能に構成されている。たとえば、基板９０の一面には電子部品が配置されており、電子部品が配置されている基板９０の一面が樹脂で封止される。液状樹脂１３としては、たとえば、半導体パッケージ分野で用いられている液状樹脂１３を用いることができる。
【0012】
図１に示す例においては、基板モジュール１００１、プレスモジュール１００２、吐出モジュール１００３およびフィルムモジュール１００４は、それぞれ分離した別のモジュールとして記載されているが、各モジュールは、他のモジュールと互いに着脱可能であるとともに、モジュール数を増減可能に構成されていてもよい。たとえば、プレスモジュール１００２とフィルムモジュール１００４との間に２つまたは３つの吐出モジュール１００３を配置した構成とすることができる。
【0013】
樹脂成形品の製造装置１０００は、第１の搬送機構５０１および第２の搬送機構５０２をさらに備えている。第１の搬送機構５０１は、基板モジュール１００１から搬出された基板９０をプレスモジュール１００２の後述する樹脂成形装置８０（図８参照）の成形型の上型８１（図８参照）に搬送可能に構成されている。第２の搬送機構５０２は、吐出モジュール１００３で液状樹脂１３が吐出されたフィルム７０ａをプレスモジュール１００２の後述する樹脂成形装置の成形型の下型８７（図８参照）に搬送可能に構成されている。第２の搬送機構５０２は、さらに、フィルムモジュール１００４から搬出され、液状樹脂１３が載っていないフィルム７０ａを吐出モジュール１００３に搬送可能に構成されている。
【0014】
＜吐出装置＞
図２に、図１に示す吐出モジュール１００３に備えられる吐出装置の一例の模式的な部分断面図を示す。図２に示すように、吐出装置１００は、カートリッジ１０を保持可能に構成されているカートリッジ保持部としての複数の係止部１６と、カートリッジ１０の内部において上方向および下方向に移動可能に構成されているプランジャ２０と、プランジャ２０とカートリッジ１０との間を気密にするように設けられているシール部材３０とを備えている。
図２に、図１に示す吐出モジュール１００３に備えられる吐出装置の一例の模式的な部分断面図を示す。図２に示すように、吐出装置１００は、カートリッジ１０を保持可能に構成されているカートリッジ保持部としての複数の係止部１６と、カートリッジ１０の内部において上方向および下方向に移動可能に構成されているプランジャ２０と、プランジャ２０とカートリッジ１０との間を気密にするように設けられているシール部材３０とを備えている。
【0015】
＜カートリッジ保持部＞
カートリッジ保持部としての複数の係止部１６は、吐出装置１００において、上下方向に延びるように構成されている。複数の係止部１６のそれぞれの下端部は、後述する金属筒１２が設置される側に向かって突出する突条部１６ａを構成している。複数の係止部１６のそれぞれの突条部１６ａの間には、後述するカートリッジ１０を設置するための開口１６ｂが設けられている。複数の係止部１６のそれぞれは、後述する金属筒１２の側面より外側に位置している。複数の係止部１６は、図示しない駆動機構によって、上下方向と左右方向とに移動可能に構成されている。ここで、「上下方向」は、図２の紙面の上下方向を意味する。「左右方向」は、図２の紙面の上下方向と垂直であって、図２の紙面に平行な方向を意味する。複数の係止部１６のそれぞれの突条部１６ａは金属筒１２の突条部１２ａと係止する。このとき、複数の係止部１６のそれぞれの突条部１６ａの上面は、金属筒１２の突条部１２ａの下面と接触している。複数の係止部１６の突条部１６ａは、金属筒１２、すなわち、カートリッジ１０の下方向への移動を防止している。複数の係止部１６の突条部１６ａが金属筒１２の突条部１２ａと係止することにより、金属筒１２内に収容されているカートリッジ１０を保持可能としている。なお、金属筒１２の外側の一面には、図示しない取っ手が取り付けられてもよい。
カートリッジ保持部としての複数の係止部１６は、吐出装置１００において、上下方向に延びるように構成されている。複数の係止部１６のそれぞれの下端部は、後述する金属筒１２が設置される側に向かって突出する突条部１６ａを構成している。複数の係止部１６のそれぞれの突条部１６ａの間には、後述するカートリッジ１０を設置するための開口１６ｂが設けられている。複数の係止部１６のそれぞれは、後述する金属筒１２の側面より外側に位置している。複数の係止部１６は、図示しない駆動機構によって、上下方向と左右方向とに移動可能に構成されている。ここで、「上下方向」は、図２の紙面の上下方向を意味する。「左右方向」は、図２の紙面の上下方向と垂直であって、図２の紙面に平行な方向を意味する。複数の係止部１６のそれぞれの突条部１６ａは金属筒１２の突条部１２ａと係止する。このとき、複数の係止部１６のそれぞれの突条部１６ａの上面は、金属筒１２の突条部１２ａの下面と接触している。複数の係止部１６の突条部１６ａは、金属筒１２、すなわち、カートリッジ１０の下方向への移動を防止している。複数の係止部１６の突条部１６ａが金属筒１２の突条部１２ａと係止することにより、金属筒１２内に収容されているカートリッジ１０を保持可能としている。なお、金属筒１２の外側の一面には、図示しない取っ手が取り付けられてもよい。
【0016】
＜プランジャ＞
プランジャ２０は、複数の係止部１６で取り囲まれた空間に、複数の係止部１６に接しないように位置している。プランジャ２０は、プランジャ押圧部２２と、プランジャ押圧部２２に取り付けられたプランジャ軸部２１とを備えている。プランジャ押圧部２２は、上下方向に延びる柱状に構成されている。プランジャ押圧部２２の下端面の角部は、下方向が先細となるように面取りが行われている。プランジャ軸部２１はプランジャ押圧部２２の上端面の中央部から上方向に突出する柱状に構成されている。プランジャ軸部２１の横断面の断面積はプランジャ押圧部２２の上端面の面積よりも小さい。「横断面の断面積」とは、左右方向に切断した断面の断面積を意味する。プランジャ軸部２１の上方向の一部はサーボモータ４０内に収容されている。サーボモータ４０の動作を制御することにより、プランジャ軸部２１の下側に取り付けられているプランジャ押圧部２２を上下方向に移動させることが可能である。プランジャ押圧部２２は移動体として機能する。
プランジャ２０は、複数の係止部１６で取り囲まれた空間に、複数の係止部１６に接しないように位置している。プランジャ２０は、プランジャ押圧部２２と、プランジャ押圧部２２に取り付けられたプランジャ軸部２１とを備えている。プランジャ押圧部２２は、上下方向に延びる柱状に構成されている。プランジャ押圧部２２の下端面の角部は、下方向が先細となるように面取りが行われている。プランジャ軸部２１はプランジャ押圧部２２の上端面の中央部から上方向に突出する柱状に構成されている。プランジャ軸部２１の横断面の断面積はプランジャ押圧部２２の上端面の面積よりも小さい。「横断面の断面積」とは、左右方向に切断した断面の断面積を意味する。プランジャ軸部２１の上方向の一部はサーボモータ４０内に収容されている。サーボモータ４０の動作を制御することにより、プランジャ軸部２１の下側に取り付けられているプランジャ押圧部２２を上下方向に移動させることが可能である。プランジャ押圧部２２は移動体として機能する。
【0017】
プランジャ押圧部２２の上端面および下端面のそれぞれには開口が設けられている。プランジャ押圧部２２には、プランジャ押圧部２２の上端面の開口２２ｂ（図３および図４参照）と、プランジャ押圧部２２の下端面の開口２２ａ（図３および図４参照）とを連絡する流路２３が設けられている。プランジャ２０の下側は、液状樹脂１３が位置する側である第１の側であり、図２の破線６２（プランジャ押圧部２２の下面と平行な仮想線）から第１の方向（矢印６４で示される方向（下方向））の側である。プランジャ２０の上側は、第１の側とは反対側の第２の側であり、図２の破線６１（プランジャ押圧部２２の上面と平行な仮想線）から第２の方向（矢印６３で示される方向（上方向））の側である。流路２３は、第１の側と第２の側との間で気体の流通を可能にする。
【0018】
プランジャ２０は、逆止弁５０（図３および図４参照）を備えている。図２では逆止弁５０の記載を省略している。逆止弁５０は、カートリッジ１０の液状樹脂収容部１４内に挿入されているプランジャ押圧部２２が第１の方向（下方向）に移動した場合に、プランジャ２０の第１の側（下側）から第２の側（上側）への気体の流通を可能とする。また、逆止弁５０は、カートリッジ１０の液状樹脂収容部１４内に挿入されているプランジャ押圧部２２が第２の方向（上方向）に移動した場合に、プランジャ２０の第２の側（上側）から第２の側（下側）への気体の流通を防止することを可能とする。逆止弁５０の機能の詳細については後述する。
【0019】
＜シール部材＞
プランジャ押圧部２２の側面には環状のシール部材３０が嵌め込まれている。プランジャ押圧部２２の側面には、周方向に沿って凹部が設けられている。プランジャ押圧部２２の側面の凹部に嵌め込まれている。シール部材３０の外側の一部分は、プランジャ押圧部２２の側面の凹部から露出している。シール部材３０としては、たとえばＯリング等を用いることができる。プランジャ２０が上下方向に移動する場合には、プランジャ押圧部２２の側面に配置されたシール部材３０は液状樹脂収容部１４の内面１５（図３および図４参照）に接しながら移動する。そのため、プランジャ押圧部２２が上下方向に移動している期間中も、プランジャ押圧部２２とカートリッジ１０の液状樹脂収容部１４の内面１５との間の気密を保つことが可能である。
プランジャ押圧部２２の側面には環状のシール部材３０が嵌め込まれている。プランジャ押圧部２２の側面には、周方向に沿って凹部が設けられている。プランジャ押圧部２２の側面の凹部に嵌め込まれている。シール部材３０の外側の一部分は、プランジャ押圧部２２の側面の凹部から露出している。シール部材３０としては、たとえばＯリング等を用いることができる。プランジャ２０が上下方向に移動する場合には、プランジャ押圧部２２の側面に配置されたシール部材３０は液状樹脂収容部１４の内面１５（図３および図４参照）に接しながら移動する。そのため、プランジャ押圧部２２が上下方向に移動している期間中も、プランジャ押圧部２２とカートリッジ１０の液状樹脂収容部１４の内面１５との間の気密を保つことが可能である。
【0020】
＜カートリッジ＞
上記に示す構成を有する吐出装置１００は、上述したように、カートリッジ保持部としての複数の係止部１６の突条部１６ａ上にカートリッジ１０の後述する金属筒１２の外側に突出する環状の突条部１２ａを設置して用いられる。カートリッジ１０は、内部に液状樹脂１３が収容され、液状樹脂１３が吐出される吐出口１４ａを備えている。カートリッジ１０は、カートリッジ１０の上下方向に延びる側面を構成する略円筒形状の金属筒１２と、金属筒１２の内側に嵌め込まれるように設置されたプラスチック製の略円筒形状の液状樹脂収容部１４とを備えている。略円筒形状の金属筒１２は、金属筒１２の側面の上端部から金属筒１２の外側に突出する環状の突条部１２ａを備えている。金属筒１２の上側の環状の突条部１２ａは、金属筒１２の上側の開口１２ｂを取り囲んでいる。金属筒１２は、金属筒１２の側面の下端部から金属筒１２の内側に突出する環状の突条部１２ｃを備えている。金属筒１２の下側の環状の突条部１２ｃは、金属筒１２の下側の開口１２ｄを取り囲んでいる。
上記に示す構成を有する吐出装置１００は、上述したように、カートリッジ保持部としての複数の係止部１６の突条部１６ａ上にカートリッジ１０の後述する金属筒１２の外側に突出する環状の突条部１２ａを設置して用いられる。カートリッジ１０は、内部に液状樹脂１３が収容され、液状樹脂１３が吐出される吐出口１４ａを備えている。カートリッジ１０は、カートリッジ１０の上下方向に延びる側面を構成する略円筒形状の金属筒１２と、金属筒１２の内側に嵌め込まれるように設置されたプラスチック製の略円筒形状の液状樹脂収容部１４とを備えている。略円筒形状の金属筒１２は、金属筒１２の側面の上端部から金属筒１２の外側に突出する環状の突条部１２ａを備えている。金属筒１２の上側の環状の突条部１２ａは、金属筒１２の上側の開口１２ｂを取り囲んでいる。金属筒１２は、金属筒１２の側面の下端部から金属筒１２の内側に突出する環状の突条部１２ｃを備えている。金属筒１２の下側の環状の突条部１２ｃは、金属筒１２の下側の開口１２ｄを取り囲んでいる。
【0021】
液状樹脂収容部１４は、液状樹脂１３を収容可能に構成されている。液状樹脂収容部１４は、たとえばシリンジである。略円筒形状の液状樹脂収容部１４は、上下方向に延びる側面を有している。液状樹脂収容部１４の上側の一部が、金属筒１２の上側の開口１２ｂから上方向にはみ出している。液状樹脂収容部１４は、液状樹脂収容部１４の側面の上端部から液状樹脂収容部１４の外側に突出する環状の突条部１４ｂを備えている。液状樹脂収容部１４の側面の上端部から液状樹脂収容部１４の内側には開口１４ｃが設けられている。液状樹脂収容部１４の下端部１４ｄは、金属筒１２の下側の突条部１２ｃに沿って液状樹脂収容部１４の内側に進行した後に金属筒１２の下側の開口１２ｄから下方向に突出するように構成されている。液状樹脂収容部１４の下端部１４ｄの金属筒１２の下側の開口１２ｄから下方向に突出している部分がカートリッジ１０の吐出口１４ａに相当する。
【0022】
カートリッジ１０は、液状樹脂１３の表面上に配置される蓋体１１を備えている。蓋体１１は、液状樹脂１３が液状樹脂収容部１４から漏れ出さないように液状樹脂１３を封止するように構成されている。上述したプランジャ２０のプランジャ押圧部２２が蓋体１１の上面に設置され、プランジャ押圧部２２が下方向に移動する。これにより、プランジャ押圧部２２が蓋体１１を介して液状樹脂１３を押圧し、カートリッジ１０の吐出口１４ａから下方向に液状樹脂１３が吐出される。なお、古いカートリッジ１０を新たなカートリッジ１０に交換する場合には以下のように行うことができる。まず、古いカートリッジ１０の金属筒１２の突条部１２ａを複数の係止部１６のそれぞれの突条部１６ａから取り外す。次に、新たなカートリッジ１０の金属筒１２の突条部１２ａを複数の係止部１６のそれぞれの突条部１６ａに係止する。
【0023】
＜流路＞
図３に、プランジャ押圧部２２が下方向へ移動した場合の逆止弁５０の機能の一例を図解する模式的な拡大部分断面図を示す。図４に、プランジャ押圧部２２が上方向へ移動した場合の逆止弁５０の機能の一例を図解する模式的な拡大部分断面図を示す。図３および図４に示すように、プランジャ２０のプランジャ押圧部２２に設けられた流路２３は、プランジャ押圧部２２の内部の上下方向に延びている。流路２３は、プランジャ押圧部２２の内部の上下方向に延びる第１の流路２３ａ、第２の流路２３ｂおよび第３の流路２３ｃを備えている。第１の流路２３ａの下側は、プランジャ押圧部２２の下端面に設けられた開口２２ａに連絡している。第２の流路２３ｂの上側は、プランジャ押圧部２２の上端面に設けられた開口２２ｂに連絡している。第１の流路２３ａの上側は第３の流路２３ｃの下側に連絡している。第２の流路２３ｂの下側は第３の流路２３ｃの上側に連絡している。第１の流路２３ａの横断面の断面積は、第３の流路２３ｃの横断面の断面積よりも小さい。第２の流路２３ｂの横断面の断面積は、第３の流路２３ｃの横断面の断面積よりも小さい。図３および図４に示す例において、逆止弁５０は、第３の流路２３ｃ内に設けられている。
図３に、プランジャ押圧部２２が下方向へ移動した場合の逆止弁５０の機能の一例を図解する模式的な拡大部分断面図を示す。図４に、プランジャ押圧部２２が上方向へ移動した場合の逆止弁５０の機能の一例を図解する模式的な拡大部分断面図を示す。図３および図４に示すように、プランジャ２０のプランジャ押圧部２２に設けられた流路２３は、プランジャ押圧部２２の内部の上下方向に延びている。流路２３は、プランジャ押圧部２２の内部の上下方向に延びる第１の流路２３ａ、第２の流路２３ｂおよび第３の流路２３ｃを備えている。第１の流路２３ａの下側は、プランジャ押圧部２２の下端面に設けられた開口２２ａに連絡している。第２の流路２３ｂの上側は、プランジャ押圧部２２の上端面に設けられた開口２２ｂに連絡している。第１の流路２３ａの上側は第３の流路２３ｃの下側に連絡している。第２の流路２３ｂの下側は第３の流路２３ｃの上側に連絡している。第１の流路２３ａの横断面の断面積は、第３の流路２３ｃの横断面の断面積よりも小さい。第２の流路２３ｂの横断面の断面積は、第３の流路２３ｃの横断面の断面積よりも小さい。図３および図４に示す例において、逆止弁５０は、第３の流路２３ｃ内に設けられている。
【0024】
＜逆止弁＞
図３および図４に示す例においては、逆止弁５０は、閉鎖部材５１および弾性体５２を備えている。閉鎖部材５１は、第３の流路２３ｃ内を上下方向に移動する。閉鎖部材５１は、第３の流路２３ｃにおいて、第１の流路２３ａに連絡する開口２４ａを閉鎖可能に構成されている。弾性体５２は、第３の流路２３ｃ内に配置されており、上下方向に伸縮可能に構成されている。弾性体５２の下端部は、閉鎖部材５１の上端部に連結されている。弾性体５２の上側は、第３の流路２３ｃにおいて、第２の流路２３ｂに連絡する開口２４ｂ側の面に連結されている。
図３および図４に示す例においては、逆止弁５０は、閉鎖部材５１および弾性体５２を備えている。閉鎖部材５１は、第３の流路２３ｃ内を上下方向に移動する。閉鎖部材５１は、第３の流路２３ｃにおいて、第１の流路２３ａに連絡する開口２４ａを閉鎖可能に構成されている。弾性体５２は、第３の流路２３ｃ内に配置されており、上下方向に伸縮可能に構成されている。弾性体５２の下端部は、閉鎖部材５１の上端部に連結されている。弾性体５２の上側は、第３の流路２３ｃにおいて、第２の流路２３ｂに連絡する開口２４ｂ側の面に連結されている。
【0025】
図３に示すように、プランジャ押圧部２２が下方向に移動する場合には、液状樹脂収容部１４内において、プランジャ押圧部２２と蓋体１１との間の気体は閉鎖部材５１を上方向に押す。これにより、弾性体５２は縮み、閉鎖部材５１は、開口２４ａから上方向に離れる。その結果、第３の流路２３ｃ内において、開口２４ａから開口２４ｂまでの気体の通路が形成され、プランジャ２０の第１の側（下側：破線６２から矢印６４で示される方向（下方向））の側）の気体は、流路２３を通って、プランジャ２０の第２の側（上側：破線６１から矢印６３で示される方向（上方向））の側）に流出する。
【0026】
一方、図４に示すように、プランジャ押圧部２２が上方向に移動する場合には、第３の流路２３ｃ内において、プランジャ２０の第２の側（上側）の気体は閉鎖部材５１を下方向に押す。これにより、弾性体５２は伸び、閉鎖部材５１は開口２４ａを閉鎖する。したがって、液状樹脂収容部１４内において、プランジャ２０の第２の側（上側）の気体は、流路２３を通って、プランジャ２０の第１の側（下側）へ流出することが防止される。その結果、プランジャ２０の第１の側（下側）のプランジャ押圧部２２と蓋体１１と間の空間に、プランジャ２０の第２の側（上側）の気体が流入することが防止される。
【0027】
以上のように、逆止弁５０は、プランジャ押圧部２２が下方向（第１の方向）へ移動した場合には、プランジャ押圧部２２において下側（第１の側）から上側（第２の側）への気体の流通を可能とする。また、逆止弁５０は、プランジャ押圧部２２が上方向（第２の方向）へ移動した場合には、プランジャ押圧部２２において上側（第２の側）から下側（第１の側）への気体の流通を防止することが可能となる。
【0028】
逆止弁５０の構成は、閉鎖部材５１および弾性体５２を用いた構成に限定されない。逆止弁５０の構成は、プランジャ押圧部２２が上方向へ移動した場合に開口２４ａが閉鎖され、プランジャ押圧部２２が下方向へ移動した場合に開口２４ａの閉鎖が解除される構成であればよい。
【0029】
図５に、逆止弁を備えたプランジャの他の一例の模式的な拡大部分断面図を示す。プランジャ２０は、上下方向に延びる柱状の取り付け部材５０ａをさらに備えている。図５に示すように、プランジャ押圧部２２の上端面には、プランジャ押圧部２２の上端面から下方向に延びる螺子孔が設けられている。取り付け部材５０ａの下側には螺子溝が設けられている。取り付け部材５０ａの下側の螺子溝をプランジャ押圧部２２の螺子孔と螺合することによって、取り付け部材５０ａはプランジャ押圧部２２に取り付けられる。
【0030】
取り付け部材５０ａの上端面および下端面のそれぞれに開口（図示せず）が設けられている。取り付け部材５０ａの内部には、取り付け部材５０ａの上端面および下端面のそれぞれの開口を連絡する流路（図示せず）が設けられている。プランジャ押圧部２２には、取り付け部材５０ａの下端面に設けられた開口と連絡する流路２３が設けられている。プランジャ押圧部２２の流路２３は、取り付け部材５０ａの下端面に設けられた開口と連絡する。プランジャ押圧部２２の流路２３と取り付け部材５０ａの内部に設けられた流路とによって、プランジャ２０の第１の側と第２の側との間で気体の流通を可能にする流路が形成されている。
【0031】
図５に示す例においては、取り付け部材５０ａの内部に図３および図４に示す機能を有する逆止弁５０が設けられている。たとえば、取り付け部材５０ａの内部には、図３および図４に示される上下方向に延びる第１の流路２３ａに相当する流路として、取り付け部材５０ａの下端面の開口と連絡する流路（以下、「Ａ流路」という。）が形成されている。また、取り付け部材５０ａの内部には、図３および図４に示される上下方向に延びる第２の流路２３ｂに相当する流路として、取り付け部材５０ａの上端面の開口と連絡する流路（以下、「Ｂ流路」という。）が形成されている。また、取り付け部材５０ａの内部には、図３および図４に示される上下方向に延びる第３の流路２３ｃに相当する流路としてＡ流路とＢ流路とを連絡するＣ流路が形成されている。Ａ流路の上側はＣ流路の下側と連絡している。Ｂ流路の下側はＣ流路の上側と連絡している。Ａ流路の横断面の断面積は、Ｃ流路の横断面の断面積よりも小さい。Ｂ流路の横断面の断面積は、Ｃ流路の横断面の断面積よりも小さい。図３および図４と同様に、取り付け部材５０ａの逆止弁５０は、Ｃ流路内に設けられている。
【0032】
なお、取り付け部材５０ａの下端面から下方向に延びる螺子孔が設けられる構成であってもよい。この場合、プランジャ押圧部２２の上端面には、プランジャ押圧部２２の上端面から上方向に突出する柱体であって、その外表面に螺子溝が設けられた柱体が設けられる。当該柱体の上側の螺子溝が取り付け部材５０ａの下端面の螺子孔に螺合することによって、取り付け部材５０はプランジャ押圧部２２に取り付けられる。この場合にも、プランジャ押圧部２２の上端面から上方向に突出する柱体と取り付け部材５０の内部に上記と同様の流路（Ａ流路、Ｂ流路およびＣ流路）が形成される。
【0033】
＜吐出装置の作用効果＞
図６（ａ）～図６（ｃ）に、実施形態の吐出装置１００の作用効果の一例を図解する模式的な部分断面図を示す。図６（ａ）～図６（ｃ）では、金属筒１２の突条部１２ａと複数の係止部１６の記載を省略している。まず、図６（ａ）に示すように、プランジャ押圧部２２がカートリッジ１０の蓋体１１の上側に位置している状態で、サーボモータ４０の動作を制御することによって、プランジャ押圧部２２を下方向に移動させる。これにより、プランジャ押圧部２２がカートリッジ１０の蓋体１１を下方向に押圧する。その結果、液状樹脂収容部１４の内部に収容された液状樹脂１３が押圧され、カートリッジ１０の吐出口１４ａから液状樹脂１３が下方向に吐出される。プランジャ押圧部２２が下方向に移動した場合、図３に示すように、逆止弁５０の閉鎖部材５１は、第３の流路２３ｃ内に設けられた開口２４ａを開放している。
図６（ａ）～図６（ｃ）に、実施形態の吐出装置１００の作用効果の一例を図解する模式的な部分断面図を示す。図６（ａ）～図６（ｃ）では、金属筒１２の突条部１２ａと複数の係止部１６の記載を省略している。まず、図６（ａ）に示すように、プランジャ押圧部２２がカートリッジ１０の蓋体１１の上側に位置している状態で、サーボモータ４０の動作を制御することによって、プランジャ押圧部２２を下方向に移動させる。これにより、プランジャ押圧部２２がカートリッジ１０の蓋体１１を下方向に押圧する。その結果、液状樹脂収容部１４の内部に収容された液状樹脂１３が押圧され、カートリッジ１０の吐出口１４ａから液状樹脂１３が下方向に吐出される。プランジャ押圧部２２が下方向に移動した場合、図３に示すように、逆止弁５０の閉鎖部材５１は、第３の流路２３ｃ内に設けられた開口２４ａを開放している。
【0034】
なお、カートリッジ１０の下側には載置台７０が配置されている。載置台７０には、フィルム７０ａが載置される。フィルム７０ａ上には、枠状のトレイカバー７１が配置される。カートリッジ１０の吐出口１４ａは、トレイカバー７１内のフィルム７０ａの上側に位置している。したがって、吐出口１４ａから吐出された液状樹脂１３は、トレイカバー７１内のフィルム７０ａ上に落下する。
【0035】
次に、吐出装置１００が液状樹脂１３の吐出を完了させる場合、サーボモータ４０の動作を制御することによって、プランジャ押圧部２２の下方向への移動を停止させる。このとき、吐出口１４ａ近傍において、液状樹脂１３の液だれが発生する。プランジャ押圧部２２の下方向への移動を停止させた後、図６（ｂ）に示すように、プランジャ押圧部２２を上方向に移動させる。プランジャ押圧部２２が上方向に移動した場合、図４に示すように、逆止弁５０の閉鎖部材５１は、第３の流路２３ｃ内に設けられた開口２４ａを閉鎖している。また、シール部材３０は、プランジャ押圧部２２と、カートリッジ１０の液状樹脂収容部１４の内面１５との間を気密にしている。したがって、プランジャ押圧部２２が上方向に移動した場合、プランジャ押圧部２２と蓋体１１との間の空間の状態は、真空の状態、または、真空に近い状態である。このため、プランジャ押圧部２２と蓋体１１との間の空間２４の気圧が、大気圧よりも低い負圧となる。
【0036】
その結果、液状樹脂１３の液だれは、大気圧によって、上方向に押される。これにより、図６（ｃ）に示すように、液状樹脂１３の上側の表面および蓋体１１が、たとえば高さｈだけ上方向に移動する。その結果、蓋体１１がプランジャ押圧部２２と再び接触する。以上のように、プランジャ押圧部２２を上方向に移動させることにより、吐出口１４ａの近傍で発生している液状樹脂１３の液だれを、液状樹脂収容部１４の内部に戻すことができる（以下、この現象を「サックバック」という）。特許文献１に記載の樹脂供給装置では、液状樹脂の吐出を完了させる場合、ピンチバルブがノズルの流路を塞ぐため、ノズルの先端で液だれが発生する。実施形態の吐出装置１００においてはサックバックが実現されるため、液状樹脂１３の落下の発生を抑制することができる。これにより、実施形態の吐出装置１００と実施形態の吐出装置１００を備える樹脂成形品の製造装置とは、特許文献１に記載の樹脂供給装置と比べて液状樹脂１３の吐出量を高精度に制御することができる。
【0037】
＜樹脂成形品の製造方法＞
図７に、実施形態の樹脂成形品の製造方法の一例のフローチャートを示す。図７に示すように、実施形態の樹脂成形品の製造方法では、まず、吐出装置１００が液状樹脂１３をフィルム７０ａ上に吐出する（工程Ｓ１０１）。次に、第１の搬送機構５０１は、成形型の上型８１（図８参照）の下面に基板９０を設置する（工程Ｓ１０２）。このとき、基板９０の下面に電子部品が位置している。なお、工程Ｓ１０２は、工程Ｓ１０１よりも先に実行されてもよい。工程Ｓ１０１および工程Ｓ１０２が同時に実行されてもよい。工程Ｓ１０１は、工程Ｓ１０２が実行されている間に実行されてもよい。成形型は、上型８１および下型８７を備えている。
図７に、実施形態の樹脂成形品の製造方法の一例のフローチャートを示す。図７に示すように、実施形態の樹脂成形品の製造方法では、まず、吐出装置１００が液状樹脂１３をフィルム７０ａ上に吐出する（工程Ｓ１０１）。次に、第１の搬送機構５０１は、成形型の上型８１（図８参照）の下面に基板９０を設置する（工程Ｓ１０２）。このとき、基板９０の下面に電子部品が位置している。なお、工程Ｓ１０２は、工程Ｓ１０１よりも先に実行されてもよい。工程Ｓ１０１および工程Ｓ１０２が同時に実行されてもよい。工程Ｓ１０１は、工程Ｓ１０２が実行されている間に実行されてもよい。成形型は、上型８１および下型８７を備えている。
【0038】
工程Ｓ１０１が実施された後、第２の搬送機構５０１は、成形型の下型８７の上面に、液状樹脂１３が載っているフィルム７０ａを設置する（工程Ｓ１０３）。工程Ｓ１０３が実行された後、下型８７を上型８１に上方向に移動させることにより、型締めを行う（工程Ｓ１０４）。下型８７の上方向への移動が停止することにより、型締めが行われた後、成形型の温度を上昇させる（工程Ｓ１０５）。工程Ｓ１０５が実施された後、液状樹脂１３が硬化するまで待機する（工程Ｓ１０６）。工程Ｓ１０６が実施された後、下型８７を下方向に移動させることにより、型開きを行う（工程Ｓ１０７）。これにより、基板９０の下面が樹脂で封止された樹脂成形品が製造される。
【0039】
工程Ｓ１０１は、たとえば、以下のように行われる。まず、第２の搬送機構５０２は、図１に示すフィルムモジュール１００４から、フィルム７０ａと、フィルム７０ａ上に配置されている枠状のトレイカバー７１とを吐出モジュール１００３に搬送する。次に、吐出モジュール１００３の吐出装置１００は、カートリッジ１０の吐出口１４ａから、トレイカバー７１内のフィルム７０ａ上に液状樹脂１３を吐出する。吐出装置１００が行う液状樹脂１３の吐出は、たとえば図６（ａ）～図６（ｃ）に示される態様で行われる。
【0040】
工程Ｓ１０２では、たとえば、第１の搬送機構５０１は、図１に示す基板モジュール１００１から基板９０をプレスモジュール１００２に搬送し、プレスモジュール１００２の成形型の上型８１の下面に設置する。
【0041】
工程Ｓ１０３では、たとえば、第２の搬送機構５０２は、図１に示す吐出モジュール１００３から、液状樹脂１３が吐出されたフィルム７０ａをトレイカバー７１とともにプレスモジュール１００２に搬送し、プレスモジュール１００２の成形型の下型８７の上面に、液状樹脂１３が載っているフィルム７０ａを設置する。第２の搬送機構５０２は、トレイカバー７１をプレスモジュール１００２内に設置することなく、トレイカバー７１をフィルムモジュール１００４に搬送する。
【0042】
図８に、工程Ｓ１０１～工程Ｓ１０３が終了した後の樹脂成形装置の一例の模式的な断面図を示す。図８に示す樹脂成形装置８０では、ブロック状の固定プラテン８８が、タイバーまたはホールドフレームによって支持されている。固定プラテン８８の下側には、上型８１が設置されている。固定プラテン８８の下側には、タイバーまたはホールドフレームに沿って上下方向に移動する板状の可動プラテン８６が配置されている。可動プラテン８６の上側には、下型８７が設置されている。
【0043】
下型８７は、直方体状の底面部材８２と、枠状の側面部材８３と、複数の弾性部材８４と、ベースプレート８５とを備えている。ベースプレート８５は可動プラテン８６の上側に設置されている。ベースプレート８５の上側には、底面部材８２が設置されている。底面部材８２の側面は側面部材８３によって覆われている。側面部材８３の下面とベースプレート８５との間に複数の弾性部材８４が配置されている。複数の弾性部材８４は上下方向に伸縮する。側面部材８３の上面は、底面部材８２の上面よりも上側に位置しており、下型８７には、下側に凹む凹部が形成されている。第２の搬送機構５０２は、フィルム７０ａ上の液状樹脂１３が凹部の底面に位置するように、フィルム７０ａを下型８７の上面に設置される。第１の搬送機構５０１は、図８に示すように、基板９０を上型８１の下面に設置される。
【0044】
図９は、工程Ｓ１０４が終了した後の樹脂成形装置の一例の模式的な断面図を示す。工程Ｓ１０４では、図示しない型締め機構は、図８に示す可動プラテン８６を上方向に移動させる。これにより、下型８７が上型８１に向かって上方向に移動する。可動プラテン８６が上方向に移動することによって、最初に、枠状の側面部材８３がフィルム７０ａを介して基板９０に当たる。その後、可動プラテン８６の上方向への移動は継続される。その結果、側面部材８３の上方向への移動が停止している状態で側面部材８２が上方向に移動し、複数の弾性部材８４は縮む。側面部材８３の上面の位置が、予め定められている位置に到達した場合、可動プラテン８６の上方向への移動は停止し、工程Ｓ１０４の型締めが終了する。工程Ｓ１０４が終了した後、工程Ｓ１０５では、成形型の温度を上昇させる。液状樹脂１３は熱硬化性を有する。このため、液状樹脂１３の温度が上昇した場合、液状樹脂１３は硬化して硬化樹脂１３ａとなる。工程Ｓ１０６では、液状樹脂１３が硬化するまで待機する。工程Ｓ１０６が実行された後、工程Ｓ１０７では、ベースプレート８５を下方向に移動させることによって、下型８７を下方向に移動させる。これにより、型開きが行われ、基板９０の下面が樹脂で封止された樹脂成形品が製造される。
【0045】
実施形態の樹脂成形品の製造方法においては、上述した実施形態の吐出装置１００が液状樹脂１３を吐出していることから、特許文献１に記載の樹脂供給装置と比べて、液状樹脂１３の吐出量を高精度で制御した樹脂成形品を製造することが可能となる。
【0046】
＜付記＞
（開示１）
開示１は、内部に液状樹脂が収容され、前記液状樹脂が吐出される吐出口を備えるカートリッジを保持可能に構成されているカートリッジ保持部と、前記カートリッジの前記内部において第１の方向および第２の方向に移動可能に構成されているプランジャと、前記プランジャと前記カートリッジとの間を気密にするように設けられているシール部材とを備え、前記プランジャの前記第１の方向への移動により前記カートリッジの前記吐出口から前記液状樹脂を吐出可能に構成されており、前記プランジャには、前記液状樹脂が位置する側である第１の側と前記第１の側とは反対側の第２の側との間で気体の流通を可能にする流路が設けられており、前記プランジャは、前記プランジャが前記第１の方向へ移動した場合には前記第１の側から前記第２の側への気体の流通を可能とし、前記プランジャが前記第２の方向へ移動した場合には前記第２の側から前記第１の側への気体の流通を防止することを可能とする逆止弁を備えている、吐出装置である。
（開示１）
開示１は、内部に液状樹脂が収容され、前記液状樹脂が吐出される吐出口を備えるカートリッジを保持可能に構成されているカートリッジ保持部と、前記カートリッジの前記内部において第１の方向および第２の方向に移動可能に構成されているプランジャと、前記プランジャと前記カートリッジとの間を気密にするように設けられているシール部材とを備え、前記プランジャの前記第１の方向への移動により前記カートリッジの前記吐出口から前記液状樹脂を吐出可能に構成されており、前記プランジャには、前記液状樹脂が位置する側である第１の側と前記第１の側とは反対側の第２の側との間で気体の流通を可能にする流路が設けられており、前記プランジャは、前記プランジャが前記第１の方向へ移動した場合には前記第１の側から前記第２の側への気体の流通を可能とし、前記プランジャが前記第２の方向へ移動した場合には前記第２の側から前記第１の側への気体の流通を防止することを可能とする逆止弁を備えている、吐出装置である。
【0047】
（開示２）
開示２は、前記カートリッジは、前記液状樹脂の表面上に配置される蓋体を備え、前記プランジャは、前記蓋体を介して前記液状樹脂を押圧可能に構成されている、開示１に記載の吐出装置である。
開示２は、前記カートリッジは、前記液状樹脂の表面上に配置される蓋体を備え、前記プランジャは、前記蓋体を介して前記液状樹脂を押圧可能に構成されている、開示１に記載の吐出装置である。
【0048】
（開示３）
開示３は、前記カートリッジは、前記液状樹脂を収容可能に構成されている液状樹脂収容部を備える、開示１または開示２に記載の吐出装置である。
開示３は、前記カートリッジは、前記液状樹脂を収容可能に構成されている液状樹脂収容部を備える、開示１または開示２に記載の吐出装置である。
【0049】
（開示４）
開示４は、前記プランジャは、前記第１の方向および前記第２の方向に移動可能に構成されている移動体を備え、前記逆止弁は、前記移動体の前記第２の側に取り付けられている、開示１から開示３のいずれか１つに記載の吐出装置である。
開示４は、前記プランジャは、前記第１の方向および前記第２の方向に移動可能に構成されている移動体を備え、前記逆止弁は、前記移動体の前記第２の側に取り付けられている、開示１から開示３のいずれか１つに記載の吐出装置である。
【0050】
（開示５）
開示５は、前記逆止弁は、螺合により前記移動体に取り付けられている、開示４に記載の吐出装置である。
開示５は、前記逆止弁は、螺合により前記移動体に取り付けられている、開示４に記載の吐出装置である。
【0051】
（開示６）
開示６は、前記流路は、前記第１の側の前記プランジャの開口に連絡する第１の流路と、前記第２の側の前記プランジャの開口に連絡する第２の流路と、前記第１の流路と前記第２の流路との間の第３の流路とを備え、前記第３の流路に前記逆止弁が設けられている、開示１から開示３のいずれか１項に記載の吐出装置である。
開示６は、前記流路は、前記第１の側の前記プランジャの開口に連絡する第１の流路と、前記第２の側の前記プランジャの開口に連絡する第２の流路と、前記第１の流路と前記第２の流路との間の第３の流路とを備え、前記第３の流路に前記逆止弁が設けられている、開示１から開示３のいずれか１項に記載の吐出装置である。
【0052】
（開示７）
開示７は、前記逆止弁は、前記プランジャが前記第２の方向に移動した場合に前記第３の流路の前記第１の流路の側の開口を閉鎖し、前記プランジャが前記第１の方向に移動した場合に前記開口を開放するように構成されている閉鎖部材とを備える、開示６に記載の吐出装置である。
開示７は、前記逆止弁は、前記プランジャが前記第２の方向に移動した場合に前記第３の流路の前記第１の流路の側の開口を閉鎖し、前記プランジャが前記第１の方向に移動した場合に前記開口を開放するように構成されている閉鎖部材とを備える、開示６に記載の吐出装置である。
【0053】
（開示８）
開示８は、開示１から開示７のいずれか１つに記載の吐出装置を備える吐出モジュールと、上型と下型とを備えるプレスモジュールと、前記上型に基板を搬送可能に構成されている第１の搬送機構と、前記下型に前記吐出モジュールで前記液状樹脂が吐出されたフィルムを搬送可能に構成されている第２の搬送機構と、を備え、前記プレスモジュールは、前記上型と前記下型とを用いて型締めを行うことにより、前記基板を含む樹脂成形品を製造可能に構成されている、樹脂成形品の製造装置である。
開示８は、開示１から開示７のいずれか１つに記載の吐出装置を備える吐出モジュールと、上型と下型とを備えるプレスモジュールと、前記上型に基板を搬送可能に構成されている第１の搬送機構と、前記下型に前記吐出モジュールで前記液状樹脂が吐出されたフィルムを搬送可能に構成されている第２の搬送機構と、を備え、前記プレスモジュールは、前記上型と前記下型とを用いて型締めを行うことにより、前記基板を含む樹脂成形品を製造可能に構成されている、樹脂成形品の製造装置である。
【0054】
（開示９）
開示９は、開示８に記載の樹脂成形品の製造装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、前記吐出装置が前記液状樹脂を前記フィルムに吐出する工程と、前記上型に前記基板を設置する工程と、前記下型に前記液状樹脂が載っている前記フィルムを設置する工程と、前記上型と前記下型とを用いて型締めを行う工程と、を含む、樹脂成形品の製造方法である。
開示９は、開示８に記載の樹脂成形品の製造装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、前記吐出装置が前記液状樹脂を前記フィルムに吐出する工程と、前記上型に前記基板を設置する工程と、前記下型に前記液状樹脂が載っている前記フィルムを設置する工程と、前記上型と前記下型とを用いて型締めを行う工程と、を含む、樹脂成形品の製造方法である。
【0055】
以上のように実施形態について説明を行なったが、上述の各実施形態および各実施例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。
【0056】
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0057】
１０ カートリッジ、１１ 蓋体、１２ 金属筒、１２ａ，１２ｃ，１４ｂ，１６ａ 突条部、１２ｂ，１２ｄ，１４ｃ，２２ａ，２２ｂ，２４ａ，２４ｂ 開口、１３ 液状樹脂、１３ａ 硬化樹脂、１４ 液状樹脂収容部、１４ａ 吐出口、１４ｄ 下端部、１５ 内面、１６ 複数の係止部、２０ プランジャ、２１ プランジャ軸部、２２ プランジャ押圧部、２３ 流路、２３ａ 第１の流路、２３ｂ 第２の流路、２３ｃ 第３の流路、３０ シール部材、４０ サーボモータ、５０ 逆止弁、５０ａ 取り付け部材５０ａ、５１ 閉鎖部材、５２ 弾性体、６１，６２ 破線、６３，６４ 矢印、７０ 載置台、７０ａ フィルム、７１ トレイカバー、８０ 樹脂成形装置、８１ 上型、８２ 底面部材、８３ 側面部材、８４ 弾性部材、８５ ベースプレート、８６ 可動プラテン、８７ 下型、８８ 固定プラテン、９０ 基板、１００ 吐出装置、５０１ 第１の搬送機構、５０２ 第２の搬送機構、１０００ 樹脂成形品の製造装置、１００１ 基板モジュール、１００２ プレスモジュール、１００３ 吐出モジュール、１００４ フィルムモジュール。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【手続補正書】
【提出日】2023-01-16
【手続補正1】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項1】
内部に液状樹脂が収容され、前記液状樹脂が吐出される吐出口を備えるカートリッジを保持可能に構成されているカートリッジ保持部と、
前記カートリッジの前記内部において第１の方向および第２の方向に移動可能に構成されているプランジャと、
前記プランジャと前記カートリッジとの間を気密にするように設けられているシール部材とを備え、
前記プランジャの前記第１の方向への移動により前記カートリッジの前記吐出口から前記液状樹脂を吐出可能に構成されており、
前記プランジャには、前記液状樹脂が位置する側である第１の側と前記第１の側とは反対側の第２の側との間で気体の流通を可能にする流路が設けられており、
前記プランジャは、前記プランジャが前記第１の方向へ移動した場合には前記第１の側から前記第２の側への気体の流通を可能とし、前記プランジャが前記第２の方向へ移動した場合には前記第２の側から前記第１の側への気体の流通を防止することを可能とする逆止弁を備えている、吐出装置。
前記カートリッジの前記内部において第１の方向および第２の方向に移動可能に構成されているプランジャと、
前記プランジャと前記カートリッジとの間を気密にするように設けられているシール部材とを備え、
前記プランジャの前記第１の方向への移動により前記カートリッジの前記吐出口から前記液状樹脂を吐出可能に構成されており、
前記プランジャには、前記液状樹脂が位置する側である第１の側と前記第１の側とは反対側の第２の側との間で気体の流通を可能にする流路が設けられており、
前記プランジャは、前記プランジャが前記第１の方向へ移動した場合には前記第１の側から前記第２の側への気体の流通を可能とし、前記プランジャが前記第２の方向へ移動した場合には前記第２の側から前記第１の側への気体の流通を防止することを可能とする逆止弁を備えている、吐出装置。
【請求項2】
前記カートリッジは、前記液状樹脂の表面上に配置される蓋体を備え、
前記プランジャは、前記蓋体を介して前記液状樹脂を押圧可能に構成されている、請求項１に記載の吐出装置。
前記プランジャは、前記蓋体を介して前記液状樹脂を押圧可能に構成されている、請求項１に記載の吐出装置。
【請求項3】
前記プランジャは、前記第１の方向および前記第２の方向に移動可能に構成されている移動体を備え、
前記逆止弁は、前記移動体の前記第２の側に取り付けられている、請求項１に記載の吐出装置。
前記逆止弁は、前記移動体の前記第２の側に取り付けられている、請求項１に記載の吐出装置。
【請求項4】
前記逆止弁は、螺合により前記移動体に取り付けられている、請求項３に記載の吐出装置。
【請求項5】
前記流路は、前記第１の側の前記プランジャの開口に連絡する第１の流路と、前記第２の側の前記プランジャの開口に連絡する第２の流路と、前記第１の流路と前記第２の流路との間の第３の流路とを備え、
前記第３の流路に前記逆止弁が設けられている、請求項１に記載の吐出装置。
前記第３の流路に前記逆止弁が設けられている、請求項１に記載の吐出装置。
【請求項6】
前記逆止弁は、前記プランジャが前記第２の方向に移動した場合に前記第３の流路の前記第１の流路の側の開口を閉鎖し、前記プランジャが前記第１の方向に移動した場合に前記開口の閉鎖を解除するように構成されている閉鎖部材とを備える、請求項５に記載の吐出装置。
【請求項7】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の吐出装置を備える吐出モジュールと、
上型と下型とを備えるプレスモジュールと、
前記上型に基板を搬送可能に構成されている第１の搬送機構と、
前記下型に前記吐出モジュールで前記液状樹脂が吐出されたフィルムを搬送可能に構成されている第２の搬送機構と、を備え、
前記プレスモジュールは、前記上型と前記下型とを用いて型締めを行うことにより、前記基板を含む樹脂成形品を製造可能に構成されている、樹脂成形品の製造装置。
上型と下型とを備えるプレスモジュールと、
前記上型に基板を搬送可能に構成されている第１の搬送機構と、
前記下型に前記吐出モジュールで前記液状樹脂が吐出されたフィルムを搬送可能に構成されている第２の搬送機構と、を備え、
前記プレスモジュールは、前記上型と前記下型とを用いて型締めを行うことにより、前記基板を含む樹脂成形品を製造可能に構成されている、樹脂成形品の製造装置。
【請求項8】
請求項７に記載の樹脂成形品の製造装置を用いた樹脂成形品の製造方法であって、
前記吐出装置が前記液状樹脂を前記フィルムに吐出する工程と、
前記上型に前記基板を設置する工程と、
前記下型に前記液状樹脂が載っている前記フィルムを設置する工程と、
前記上型と前記下型とを用いて型締めを行う工程と、を含む、樹脂成形品の製造方法。
前記吐出装置が前記液状樹脂を前記フィルムに吐出する工程と、
前記上型に前記基板を設置する工程と、
前記下型に前記液状樹脂が載っている前記フィルムを設置する工程と、
前記上型と前記下型とを用いて型締めを行う工程と、を含む、樹脂成形品の製造方法。