特開 2024-100101 乾燥装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024100101

(43)【公開日】2024-07-26

(54)【発明の名称】乾燥装置

(51)【国際特許分類】

   F26B 15/00 20060101AFI20240719BHJP

【ＦＩ】

F26B15/00 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】11

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023003842

(22)【出願日】2023-01-13

(71)【出願人】

【識別番号】000004064

【氏名又は名称】日本碍子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000110

【氏名又は名称】弁理士法人 快友国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】松本 拓也

(72)【発明者】

【氏名】小牧 毅史

【テーマコード（参考）】

3L113

【Ｆターム（参考）】

3L113AA03

3L113AB06

3L113AC10

3L113AC31

3L113AC45

3L113AC46

3L113AC48

3L113AC54

3L113AC67

3L113BA28

3L113CB06

3L113CB21

3L113DA21

(57)【要約】

【課題】樹脂フィルムから蒸発する溶剤による爆発をより好適に防止するための技術を提供する。
【解決手段】乾燥装置は、樹脂フィルム上の溶剤を乾燥させる。乾燥装置は、ハウジングと、ハウジング内に配置され、ハウジング内の空間を第１空間と第２空間とに隔離する隔壁と、樹脂フィルムを第１空間内で搬送させる搬送装置と、第２空間内に配置され、搬送装置で搬送される樹脂フィルムに電磁波を照射する第１のヒータと、隔壁に配置され、第１のヒータから照射される電磁波を透過可能な窓と、を備えている。第１のヒータは、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を樹脂フィルムに照射すると共に、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収するように構成されている。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

樹脂フィルム上の溶剤を乾燥させる乾燥装置であって、
ハウジングと、
前記ハウジング内に配置され、前記ハウジング内の空間を第１空間と第２空間とに隔離する隔壁と、
前記樹脂フィルムを前記第１空間内で搬送させる搬送装置と、
前記第２空間内に配置され、前記搬送装置で搬送される前記樹脂フィルムに電磁波を照射する第１のヒータと、
前記隔壁に配置され、前記第１のヒータから照射される電磁波を透過可能な窓と、
を備えており、
前記第１のヒータは、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を前記樹脂フィルムに照射すると共に、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収するように構成されている、乾燥装置。

【請求項2】

前記第１のヒータは、３．５μｍ以下の波長帯域の電磁波を前記樹脂フィルムに照射すると共に、３．５μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収するように構成されている、請求項１に記載の乾燥装置。

【請求項3】

前記第１のヒータは、
前記樹脂フィルムが搬送される搬送方向と直交する方向に伸びる発熱体と、
前記発熱体の外周に配置され、前記発熱体を取り囲む第１の管と、
前記第１の管の外周に配置され、前記第２の管を取り囲む第２の管と、を備えており、
前記第１の管及び前記第２の管は、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収する材料で形成されている、請求項１に記載の乾燥装置。

【請求項4】

前記第１のヒータは、４．０μｍ未満の波長帯域の赤外線エネルギーを８０％以上含む電磁波を前記樹脂フィルムに照射する、請求項１に記載の乾燥装置。

【請求項5】

前記第１のヒータは、可視光及び紫外線を含む電磁波を前記樹脂フィルムに照射する、請求項１に記載の乾燥装置。

【請求項6】

前記窓は、前記隔壁に設けられる支持枠と、前記支持枠に支持されて前記第１のヒータから照射される電磁波を透過可能な透過体と、を備えており、
前記支持枠と前記透過体との間は、シール部材によってシールされている、請求項１に記載の乾燥装置。

【請求項7】

前記第１空間と前記第２空間の少なくとも一方に雰囲気ガスを供給する給気装置と、
前記第１空間と前記第２空間の少なくとも一方から雰囲気ガスを排気する排気装置と、をさらに備えており、
前記給気装置と前記排気装置によって、前記第１空間が前記第２空間より陰圧にされている、請求項１に記載の乾燥装置。

【請求項8】

前記第２空間に開口して前記窓に向かってガスを吹き付ける給気口をさらに備えている、請求項１に記載の乾燥装置。

【請求項9】

前記ハウジングの下面に設けられ、前記ハウジングの下方から前記第１空間内の雰囲気ガスを排気する排気口をさらに備える、請求項１～８のいずれか一項に記載の乾燥装置。

【請求項10】

前記搬送方向に伸びており、内部に前記樹脂フィルムが搬送されるように構成される管状部材をさらに備えており、
前記隔壁は、前記管状部材の上面及び下面であり、
前記窓は、前記上面と前記下面の一方に少なくとも配置されており、
前記第１のヒータは、前記上面と前記下面の一方の近傍であって、前記上面と前記下面の一方に配置される前記窓に向かって電磁波を照射するように配置されている、請求項１～８のいずれか一項に記載の乾燥装置。

【請求項11】

前記窓は、前記上面と前記下面の他方にさらに設置されており、
前記上面と前記下面の他方の近傍であって、前記上面と前記下面の他方に配置される前記窓に向かって電磁波を照射するように配置されている第２のヒータをさらに備えており、
前記第２のヒータは、前記第１のヒータと同一構成を備えている、請求項１０に記載の乾燥装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書に開示する技術は、乾燥装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、リチウムイオン電池のセパレータ等に使用される樹脂フィルムを製造する際に、樹脂フィルムの表面に溶剤を塗布することがある。この場合、樹脂フィルム上の溶剤を乾燥させる必要がある。例えば、特許文献１には、樹脂フィルム上の溶剤を乾燥させる乾燥装置が開示されている。特許文献１の乾燥装置は、樹脂フィルムを搬送する搬送装置と、搬送装置で搬送されている樹脂フィルムに遠赤外線を照射するヒータを備えている。

【0003】

ヒータから照射される遠赤外線によって樹脂フィルム上の溶剤を乾燥させる場合、ヒータからの熱によって樹脂フィルムの近傍が高温になることがある。樹脂フィルム上の溶剤として有機溶剤が用いられる場合に、樹脂フィルムの近傍が高温になると、樹脂フィルムから蒸発した溶剤により爆発する虞がある。特許文献１の乾燥装置には、蒸発した溶剤による爆発を防ぐために、ヒータが設置される加熱層と、樹脂フィルムが搬送される領域（防爆層）との間に、断熱層が設けられている。断熱層には、空気が流通されており、断熱層内を換気することによって、断熱層内が高温になることを抑制している。また、断熱層と防爆層との間には、遠赤外線を透過可能な窓が設置されており、ヒータから照射される遠赤外線は、断熱層を介して樹脂フィルムまで照射可能とされている。加熱層と防爆層との間に断熱層を設けることによって、ヒータから照射される遠赤外線を樹脂フィルムに照射しながら、樹脂フィルムが搬送される防爆層が高温になることを抑制している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２－１５４５８５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１の乾燥装置では、加熱層と防爆層との間に断熱層を設けている。しかしながら、乾燥装置を作動し続けると、ヒータから照射される遠赤外線により断熱層内は徐々に高温となり、断熱層と防爆層との間に設置される窓も高温になることがある。窓が高温になると、窓を介して防爆層内も高温になる虞がある。

【0006】

本明細書は、樹脂フィルムから蒸発する溶剤による爆発をより好適に防止するための技術を開示する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本明細書に開示する技術の第１の態様では、乾燥装置は、樹脂フィルム上の溶剤を乾燥させる。乾燥装置は、ハウジングと、ハウジング内に配置され、ハウジング内の空間を第１空間と第２空間とに隔離する隔壁と、樹脂フィルムを第１空間内で搬送させる搬送装置と、第２空間内に配置され、搬送装置で搬送される樹脂フィルムに電磁波を照射する第１のヒータと、隔壁に配置され、第１のヒータから照射される電磁波を透過可能な窓と、を備えている。第１のヒータは、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を樹脂フィルムに照射すると共に、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収するように構成されている。

【0008】

上記の乾燥装置では、第１のヒータは、樹脂フィルムに４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を照射する一方で、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収するように構成されている。４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収することにより、第１のヒータから照射される電磁波によってハウジング内（すなわち、第１空間及び第２空間）が高温になり難く、樹脂フィルムの近傍が高温になることが抑制される。このため、樹脂フィルムから蒸発する溶剤が高温になることを抑制することができ、樹脂フィルムから蒸発する溶剤による爆発を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施例１に係る乾燥装置の概略構成を示す図。

【図2】ヒータの概略構成を示す断面図。

【図3】窓の構成を説明するための部分拡大図。

【図4】実施例２に係る乾燥装置の概略構成を示す図。

【図5】実施例３に係る乾燥装置の概略構成を示す図。

【図6】実施例４に係る乾燥装置の概略構成を示す図。

【図7】管状部材、ヒータ及び樹脂フィルムを示す斜視図。

【図8】実施例４に係る乾燥装置の他の一例の概略構成を示す図。

【0010】

以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。

【0011】

本明細書に開示する技術の第２の態様では、上記の第１の態様において、第１のヒータは、３．５μｍ以下の波長帯域の電磁波を樹脂フィルムに照射すると共に、３．５μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収するように構成されていてもよい。

【0012】

本明細書に開示する技術の第３の態様では、上記の第１又は２の態様において、第１のヒータは、樹脂フィルムが搬送される搬送方向と直交する方向に伸びる発熱体と、発熱体の外周に配置され、発熱体を取り囲む第１の管と、第１の管の外周に配置され、第２の管を取り囲む第２の管と、を備えていてもよい。第１の管及び第２の管は、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収する材料で形成されていてもよい。このような構成によると、第１のヒータから、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波をほとんど照射せず、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波のみを好適に照射することができる。

【0013】

本明細書に開示する技術の第４の態様では、上記の第１～第３の態様のいずれか１つにおいて、第１のヒータは、４．０μｍ未満の波長帯域の赤外線エネルギーを８０％以上含む電磁波を樹脂フィルムに照射してもよい。このような構成によると、樹脂フィルムに４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を好適に照射することができる。

【0014】

本明細書に開示する技術の第５の態様では、上記の第１～第４の態様のいずれか１つにおいて、第１のヒータは、可視光及び紫外線を含む電磁波を樹脂フィルムに照射してもよい。

【0015】

本明細書に開示する技術の第６の態様では、上記の第１～第５の態様のいずれか１つにおいて、窓は、隔壁に設けられる支持枠と、支持枠に支持されて第１のヒータから照射される電磁波を透過可能な透過体と、を備えていてもよい。支持枠と透過体との間は、シール部材によってシールされていてもよい。このような構成によると、支持枠と透過体との間がシール部材によってシールされていることにより、樹脂フィルムから蒸発した溶剤がヒータの近傍に移動することを抑制することができる。第１のヒータの表面は高温になり難いものの、第１のヒータを長時間作動し続けると、第１のヒータの周囲は、樹脂フィルムの近傍と比較すると温度が高くなる。第１のヒータの周囲に樹脂フィルムから蒸発した溶剤が移動することを抑制することによって、乾燥装置内での爆発を防止することができる。

【0016】

本明細書に開示する技術の第７の態様では、上記の第１～第６の態様のいずれか１つにおいて、乾燥装置は、第１空間と第２空間の少なくとも一方に雰囲気ガスを供給する給気装置と、第１空間と第２空間の少なくとも一方から雰囲気ガスを排気する排気装置と、をさらに備えていてもよい。給気装置と排気装置によって、第１空間が第２空間より陰圧にされていてもよい。このような構成よると、第１空間を第２空間より陰圧にすることによって、第１空間から第２空間にガスが移動し難くなる。このため、第１空間内を搬送される樹脂フィルムから蒸発した溶剤を、第２空間内に設置される第１のヒータの近傍に移動し難くすることができる。

【0017】

本明細書に開示する技術の第８の態様では、上記の第１～第７の態様のいずれか１つにおいて、乾燥装置は、第２空間に開口して窓に向かってガスを吹き付ける給気口をさらに備えていてもよい。窓の第２空間側の表面には、第１のヒータから電磁波が直接照射され続けるため、窓の第２空間側の表面は高温になる虞がある。窓の第２空間側の表面にガスを吹き付けることによって、窓の表面温度を下げることができ、窓が高温になることによって窓を介して樹脂フィルム側の第１空間が高温になることを抑制することができる。

【0018】

本明細書に開示する技術の第９の態様では、上記の第１～第８の態様のいずれか１つにおいて、乾燥装置は、ハウジングの下面に設けられ、ハウジングの下方から第１空間内の雰囲気ガスを排気する排気口をさらに備えていてもよい。このような構成によると、第１空間内のガスを下方から排気できる。樹脂フィルム上の溶剤は、蒸発すると空気より重いことが多い。第１空間内のガスを下方から排気することによって、樹脂フィルムから蒸発した溶剤をハウジング内から排気し易くなる。

【0019】

本明細書に開示する技術の第１０の態様では、上記の第１～第８の態様のいずれか１つにおいて、乾燥装置は、搬送方向に伸びており、内部に前記樹脂フィルムが搬送されるように構成される管状部材をさらに備えていてもよい。隔壁は、管状部材の上面及び下面であってもよい。窓は、上面と下面の一方に少なくとも配置されていてもよい。第１のヒータは、上面と下面の一方の近傍であって、上面と下面の一方に配置される窓に向かって電磁波を照射するように配置されていてもよい。このような構成であっても、第１空間と第２空間との間でガスが移動することを防止することができ、樹脂フィルムから蒸発した溶剤がヒータの近傍に移動することを抑制することができる。

【0020】

本明細書に開示する技術の第１１の態様では、上記の第１０の態様において、窓は、上面と下面の他方にさらに設置されていてもよい。乾燥装置は、上面と下面の他方の近傍であって、上面と下面の他方に配置される窓に向かって電磁波を照射するように配置されている第２のヒータをさらに備えていてもよい。第２のヒータは、第１のヒータと同一構成を備えていてもよい。このような構成によると、第１空間内で搬送される樹脂フィルムの両面に電磁波を照射することができる。このため、より効率良く樹脂フィルムを乾燥させることができる。

【実施例0021】

（実施例１）
図面を参照して、乾燥装置１０について説明する。乾燥装置１０は、樹脂フィルム２の表面に塗布された溶剤を乾燥するために用いられる。本実施例では、樹脂フィルム２は、リチウムイオン電池のセパレータに使用されるポリエチレンフィルムやポリプロピレンフィルムである。図１に示すように、乾燥装置１０は、炉体１２と、搬送装置２０と、ヒータ４０と、給気装置６０と、排気装置６２と、給気ノズル６４を備えている。

【0022】

炉体１２は、略直方体形状であり、内部に隔壁１４が配置されている。炉体１２及び隔壁１４は、例えばアルミ合金、ステンレス等の非鉄金属によって形成されている。なお、炉体１２の内表面は、ヒータ４０から照射される電磁波（後に詳述）の反射率を向上させるために、研磨加工を施してもよい。隔壁１４は、炉体１２の上面及び下面と略平行に配置されており、炉体１２内の空間を下方と上方の２つの空間に分割している。以下では、隔壁１４より下方の空間を第１空間１６と称し、隔壁１４より上方の空間を第２空間１８と称する。

【0023】

搬送装置２０は、第１空間１６内で樹脂フィルム２を搬送する。搬送装置２０は、送出ローラ２２と、送出ガイドローラ２４と、巻取ローラ２６と、巻取ガイドローラ２８を備えている。

【0024】

送出ローラ２２は、処理前（詳細には、溶剤が塗布される前）の樹脂フィルム２が巻き付けられている。樹脂フィルム２は、送出ローラ２２から供給され、送出ガイドローラ２４及び巻取ガイドローラ２８を介して、巻取ローラ２６に巻き取られる。送出ローラ２２及び巻取ローラ２６は、図示しないモータによって回転する。送出ローラ２２及び巻取ローラ２６が回転することによって、樹脂フィルム２は搬送される。なお、巻取ローラ２６のみがモータによって回転してもよい。

【0025】

送出ローラ２２及び送出ガイドローラ２４は、樹脂フィルム２の搬送方向の上流側（図１では－Ｘ方向）に配置されている。送出ローラ２２及び送出ガイドローラ２４は、炉体１２の外部に配置されている。炉体１２の送出ローラ２２側の面（図１では－Ｘ方向の面）には、貫通孔１２ａが設けられている。貫通孔１２ａにより、炉体１２の外部と第１空間１６とが連通している。送出ローラ２２から供給された樹脂フィルム２は、送出ガイドローラ２４によって送り出され、貫通孔１２ａを介して炉体１２の外部から内部（詳細には、第１空間１６）に搬送される。

【0026】

また、送出ガイドローラ２４の近傍には、溶剤塗布部３０が設置されている。溶剤塗布部３０は、送出ガイドローラ２４で送り出される樹脂フィルム２の表面（図１では、樹脂フィルム２の上面）に溶剤を塗布する。したがって、樹脂フィルム２の搬送方向の上流側（図１では－Ｘ方向）では、送出ローラ２２から処理前の樹脂フィルム２が供給され、溶剤塗布部３０によって樹脂フィルム２の表面に溶剤が塗布され、表面に溶剤が塗布された樹脂フィルム２は、送出ガイドローラ２４によって貫通孔１２ａを介して第１空間１６内に送り出される。溶剤が塗布された樹脂フィルム２は、貫通孔１２ａから第１空間１６内に搬入され、第１空間１６を搬送される。

【0027】

巻取ローラ２６及び巻取ガイドローラ２８は、樹脂フィルム２の搬送方向の下流側（図１では＋Ｘ方向）に配置されている。巻取ローラ２６及び巻取ガイドローラ２８は、炉体１２の外部に配置されている。炉体１２の巻取ローラ２６側の面（図１では＋Ｘ方向の面）には、貫通孔１２ｂ設けられている。貫通孔１２ｂにより、第１空間１６と炉体１２の外部とが連通している。貫通孔１２ｂを介して炉体１２の内部（詳細には、第１空間１６）から外部に送り出された樹脂フィルム２は、巻取ガイドローラ２８を介して巻取ローラ２６に送られ、巻取ローラ２６に巻き取られる。

【0028】

樹脂フィルム２は、送出ローラ２２から供給され、溶剤塗布部３０でその表面に溶剤が塗布された後、乾燥装置１０内を搬送される。乾燥装置１０内を搬送される間に、樹脂フィルム２の表面に塗布された溶剤は、ヒータ４０から照射される電磁波（後に詳述）によって乾燥される。表面に塗布された溶剤が乾燥した状態となった樹脂フィルム２は、巻取ガイドローラ２８を介して巻取ローラ２６に巻き取られる。

【0029】

ヒータ４０は、第２空間１８内に設置されている。ヒータ４０は、円筒状であり、樹脂フィルム２の搬送方向と直交する方向（図１ではＹ方向）に伸びている。第２空間１８内には、複数のヒータ４０が樹脂フィルム２の搬送方向（図１ではＸ方向）に間隔を空けて配置されている。

【0030】

図２に示すように、ヒータ４０は、発熱体４２と、内管４４と、外管４６を備えている。発熱体４２は、通電加熱により電磁波を照射する。

【0031】

内管４４は、発熱体４２の外周を覆っている。内管４４は、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を透過し、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収する材料で形成されている。本実施例では、内管４４は、石英で形成されている。発熱体４２から照射された電磁波のうち、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波は内管４４を透過し、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波は内管４４に吸収されほとんど透過しない。一方で、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波が内管４４に吸収されることにより、内管４４は加熱される。内管４４が４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波により加熱されると、内管４４自体が４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波の放射体となり、内管４４から４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波が二次輻射する。

【0032】

外管４６は、内管４４の外周を覆っている。外管４６も、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を透過し、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収する材料で形成されており、本実施例では、外管４６も、石英で形成されている。外管４６と内管４４との間の空間４８には、冷却用流体（例えば、冷却ガス）が流されている。

【0033】

内管４４が４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収して加熱されると、内管４４から４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波が二次輻射する。内管４４から二次輻射された４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波は、内管４４と外管４６との間に放射される。外管４６と内管４４との間の空間４８に冷却用流体を流すことにより、内管４４及び外管４６を冷却することができ、内管４４及び外管４６の温度が上昇することを抑制することができる。また、外管４６は、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収するため、内管４４と外管４６との間に放射された４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波が外管４６まで到達しても、外管４６によって吸収される。このため、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波は、外管４６の外部（すなわち、ヒータ４０の外部）に照射されない。したがって、ヒータ４０からは、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波が照射され、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波はほとんど照射されない。

【0034】

本実施例では、内管４４及び外管４６は、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を吸収するローパスフィルタの機能を有している。すなわち、ヒータ４０から照射される電磁波（すなわち、ヒータ４０の最外周に位置する外管４６の外部まで透過される電磁波）は、ほとんどが４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波であり、さらにそのうちのほとんどが３．５μｍ未満の波長帯域の電磁波である。具体的には、ヒータ４０から照射される電磁波は、８０％以上が４．０μｍ未満の波長帯域の赤外線エネルギーであり、２０％以下が４．０μｍ以上の波長帯域の赤外線エネルギーである。なお、ヒータ４０から照射される電磁波は、ほとんどが４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波であるが、可視光や紫外線も含んでいてもよい。

【0035】

本実施例では、ヒータ４０から照射される電磁波のほとんどが４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波であるため、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を遮断しないヒータと比較して、ヒータ４０の外表面が高温になり難い。具体的には、４．０μｍ以上の波長帯域の電磁波を遮断しないヒータでは、表面温度が２００度を超える一方で、本実施例のヒータ４０の表面温度は、２００度以下に抑えられる。このため、ヒータ４０が設置される第２空間１８が高温になることを抑制することができる。

【0036】

また、本実施例では、ヒータ４０から４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波が照射されるため、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を吸収し易い官能基を含む物質（例えば、Ｏ－Ｈ基、Ｎ－Ｈ基、Ｃ－Ｈ基等）を効率良く蒸発させることができる。樹脂フィルム２に塗布される溶剤には、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を吸収し易い官能基を含む物質が用いられることが多い。ヒータ４０から４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を照射することによって、樹脂フィルム２に塗布された溶剤を効率良く蒸発させることができる。なお、ヒータ４０から照射される電磁波のほとんどは４．０μｍ未満の波長帯域であるため、以下では、ヒータ４０から照射される電磁波は、単に「４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波」ともいう。

【0037】

ここで、第１空間１６と第２空間１８とを隔離する隔壁１４について説明する。図１に示すように、隔壁１４は、第１空間１６と第２空間１８との間に配置されている。隔壁１４には、複数の窓５０が設けられている。窓５０は、樹脂フィルム２の搬送方向に沿って複数設けられており、各窓５０の近傍にはヒータ４０が設置されている。窓５０は、第２空間１８に設置されるヒータ４０から照射される電磁波を、第１空間１６内を搬送される樹脂フィルム２に照射するために設けられている。具体的には、隔壁１４には、各ヒータ４０に沿って複数の貫通孔１４ａが設けられており、窓５０は、貫通孔１４ａに設置されている。

【0038】

図３に示すように、窓５０は、支持枠５２と、ガラス板５４と、シール部材５６を備えている。支持枠５２は、貫通孔１４ａに設けられている。支持枠５２は、例えばアルミ合金、ステンレス等の非鉄金属で形成されており、ガラス板５４を支持している。ガラス板５４は、ヒータ４０から照射される電磁波を透過可能であり、ヒータ４０から照射された電磁波を第２空間１８から第１空間１６に透過する。上述したように、ヒータ４０は、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を照射するため、ガラス板５４を透過して第１空間１６に照射される電磁波は、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波である。また、炉体１２及び隔壁１４は、非鉄金属で形成されているため、ヒータ４０から照射される電磁波を透過しない。このため、ガラス板５４のみを介して、第１空間１６に電磁波が照射される。ガラス板５４を透過した４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波は、第１空間１６内を搬送される樹脂フィルム２に照射される。これにより、樹脂フィルム２に塗布された溶剤が蒸発する。なお、本実施例では、ガラス板５４を用いていたが、例えば、例えば石英、アルミナ、サファイア等のＯ－Ｈ基をほとんど含まない無機材料で形成された板であれば、ガラス板でなくてもよい。Ｏ－Ｈ基をほとんど含まない無機材料で形成された板を用いることにより、４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を透過することができる。

【0039】

シール部材５６は、支持枠５２とガラス板５４との間に配置され、支持枠５２とガラス板５４との間をシールしている。シール部材５６で支持枠５２とガラス板５４との間をシールすることにより、第１空間１６と第２空間１８との間でガスが移動することを防止することできる。第１空間１６では樹脂フィルム２に塗布された溶剤が蒸発するため、第１空間１６内のガスには、蒸発した溶剤が含まれる。溶剤として有機溶剤を使用することもあり、溶剤が蒸発したガスは、高温になると爆発する虞がある。第２空間１８にはヒータ４０が設置されている。本実施例のヒータ４０は４．０μｍ未満の波長帯域の電磁波を照射するため、ヒータ４０の表面温度は高温になり難いが、ヒータ４０を作動し続けると、ヒータ４０が設置される第２空間１８は、ヒータ４０が設置されない第１空間１６と比較すると高温になる。支持枠５２とガラス板５４との間をシール部材５６でシールすることによって、第１空間１６内の溶剤が蒸発したガスが第２空間１８に移動することを防止することができる。このため、溶剤が蒸発したガスが、第２空間１８内でヒータ４０によって高温になり爆発することを防止することができる。

【0040】

図１に示すように、給気装置６０は、第１空間１６内に雰囲気ガスを供給するように構成されている。具体的には、給気装置６０の給気口６０ａは、樹脂フィルム２の搬送方向の下流側（図１では＋Ｘ方向側）に設けられており、給気装置６０は、樹脂フィルム２の搬送方向の下流側に雰囲気ガスを供給する。本実施例では、給気装置６０は、炉体１２の上面から雰囲気ガスを供給し、炉体１２の樹脂フィルム２の搬送方向の下流側の面（図１では＋Ｘ方向の面）に沿って設けられた供給流路６１を通り、給気口６０ａから第１空間１６内に供給される。

【0041】

排気装置７０は、炉体１２の内部から雰囲気ガスを排気するように構成されている。排気装置７０は、第１排気流路７２と、第２排気流路７４を備えている。

【0042】

第１排気流路７２は、第１空間１６から炉体１２の外部に雰囲気ガスを排気するように構成されている。具体的には、第１排気流路７２の一端に設けられた排気口７２ａは、第１空間１６に開口しており、樹脂フィルム２の搬送方向の上流側（図１では－Ｘ方向側）に設けられている。第１空間１６内の雰囲気ガスは、樹脂フィルム２の搬送方向の上流側の排気口７２ａから第１排気流路７２内に排出される。第１排気流路７２は、炉体１２の樹脂フィルム２の搬送方向の上流側の面（図１では－Ｘ方向の面）に沿って設けられており、炉体１２の上面を通って炉体１２の外部にまで伸びている。したがって、第１空間１６内の雰囲気ガスは、第１空間１６から排気口７２ａを通って第１排気流路７２に排気され、第１排気流路７２を通って、炉体１２の上面から炉体１２の外部に排出される。第１排気流路７２から排気される雰囲気ガスの排気量は、給気装置６０から供給される雰囲気ガスの供給量より多くなるように調整されている。すなわち、貫通孔１２ａ、１２ｂを介して外部の空気が第１空間１６に流入するようになっている。

【0043】

第２排気流路７４は、第２空間１８から炉体１２の外部に雰囲気ガスを排気するように構成されている。具体的には、第２排気流路７４の排気口７４ａは、炉体１２の上面に設けられており、炉体１２の上部から第２空間１８内の雰囲気ガスを炉体１２の外部に排気する。第２排気流路７４の排気口７４ａとは反対側の端部は、炉体１２の上方で第１排気流路７２と接続している。第２空間１８内の雰囲気ガスは、第２空間１８から排気口７４ａを通って第２排気流路７４に排気され、第１空間１６から第１排気流路７２を介して排気された雰囲気ガスと合流する。

【0044】

給気装置６０は第１空間１６に雰囲気ガスを供給し、排気装置７０は第１空間１６から雰囲気ガスを排出する。これにより、第１空間１６内に、給気装置６０と排気装置７０による雰囲気ガスの流れが生成される。また、給気装置６０は、樹脂フィルム２の搬送方向の下流側に雰囲気ガスを供給し、排気装置７０は、樹脂フィルム２の搬送方向の上流側から雰囲気ガスを排気する。これにより、第１空間１６内の雰囲気ガスは、樹脂フィルム２の搬送方向とは反対方向に流れる。第１空間１６内では、樹脂フィルム２から溶剤が蒸発する。樹脂フィルム２の搬送方向の上流側では、樹脂フィルム２の表面に多くの溶剤が残っているため、樹脂フィルム２の搬送方向の下流側より上流側のほうが、樹脂フィルム２の表面から蒸発した溶剤の濃度が高くなり易い。第１空間１６内の雰囲気ガスを樹脂フィルム２の搬送方向とは反対方向に流すことによって、樹脂フィルム２の搬送方向の下流側に高濃度の溶剤を含むガスが移動することを抑制することができる。このため、既に多くの溶剤が蒸発して乾燥している下流側の樹脂フィルム２に、高濃度の溶剤を含むガスが接触することを抑制することができる。

【0045】

また、排気装置７０から排気される雰囲気ガスの排気量は、給気装置６０から供給される雰囲気ガスの供給量より多くされている。これにより、第１空間１６内は陰圧になる。すなわち、第１空間１６は、第２空間１８より陰圧になる。第１空間１６を第２空間１８より陰圧にすることによって、第１空間１６から第２空間１８にガスが移動し難くなる。上述したように、第１空間１６と第２空間１８との間は、窓５０に設けられるシール部材５６によって隔離されているため、第１空間１６と第２空間１８との間は、通常はガスが移動しない。しかしながら、例えば、シール部材５６の劣化やガラス板５４の破損等により、第１空間１６と第２空間１８との間でガスが物理的に移動可能な状態になる可能性がある。第１空間１６を第２空間１８より陰圧にすることによって、第１空間１６と第２空間１８との間でガスが移動可能な状態になった場合であっても、第１空間１６から第２空間１８に向かってガスを移動し難くなる。これにより、第１空間１６で溶剤が蒸発したガスが、ヒータ４０が設置される第２空間１８に移動することをより確実に防止することができる。

【0046】

給気ノズル６４は、第２空間１８に設置されている。給気ノズル６４は、各窓５０の近傍に設置されている。給気ノズル６４の給気口６４ａは、ガラス板５４の表面（具体的には、第２空間１８側の表面）に向かって開口しており、給気ノズル６４は、ガラス板５４の表面に雰囲気ガスを吹き付ける。本実施例では、給気ノズル６４は、ガラス板５４の＋Ｘ方向側（樹脂フィルム２の搬送方向の下流側）の端部近傍に設置され、樹脂フィルム２の搬送方向の下流側から上流側に向かって雰囲気ガスを吹き出す。

【0047】

乾燥装置１０が作動している間、ガラス板５４にはヒータ４０から照射される電磁波が照射され続ける。このため、ガラス板５４のヒータ４０側の表面（すなわち、第２空間１８側の表面）は、高温になることがある。ガラス板５４の第２空間１８側の表面が高温になると、ガラス板５４全体が高温になり、ガラス板５４を介して第１空間１６が高温になる虞がある。給気ノズル６４からガラス板５４の第２空間１８側の表面に雰囲気ガスを吹き付けることにより、高温になり易いガラス板５４の第２空間１８側の表面の温度を下げることができる。これにより、ガラス板５４が高温になることを防止することができ、ガラス板５４を介して第１空間１６が高温になることを防止することができる。

【0048】

（実施例２）
上記の実施例１では、乾燥装置１０は、上方から雰囲気ガスを排気する排気装置７０を備えていたが、このような構成に限定されない。例えば、図４に示すように、乾燥装置１１０は、上方から雰囲気ガスを排気する排気装置７０に加え、下方から雰囲気ガスを排気する排気装置１７０をさらに備えていてもよい。なお、本実施例の乾燥装置１１０は、上記の実施例１の乾燥装置１０に排気装置１７０が追加されており、その他の構成は、上記の実施例１の乾燥装置１０と略同一である。このため、以下では、排気装置１７０について説明する。また、本実施例の乾燥装置１１０は、２つの排気装置７０、１７０を備えているため、以下では、排気装置７０を「第１排気装置７０」と称し、排気装置１７０を「第２排気装置１７０」と称することがある。

【0049】

第２排気装置１７０は、炉体１２の下方に配置されている。本実施例では、炉体１１２の下面に、排気口１７２が設けられている。第２排気装置１７０は、第１空間１６内の雰囲気ガスを排気口１７２から炉体１１２の外部に排気するように構成されている。また、本実施例では、炉体１１２の下面（詳細には、下面の内表面）は、排気口１７２が最も下方に位置するように傾斜している。第１空間１６には、樹脂フィルム２から蒸発したガスが含まれている。樹脂フィルム２から蒸発したガスは、一般的に空気より重いため、第１空間１６の下方に移動する。炉体１２の下面が排気口１７２に向かって傾斜していることによって、樹脂フィルム２から蒸発したガスが排気口１７２に向かって移動し易くなり、樹脂フィルム２から蒸発したガスを排気口１７２から排気し易くすることができる。また、樹脂フィルム２から蒸発したガス（溶剤）が再び液化した場合にも、液化した溶剤が排気口１７２に向かって移動し易くなり、液化した溶剤が炉体１１２内に堆積することを抑制することができる。

【0050】

（実施例３）
上記の実施例１及び２では、炉体１２の外部に設置されたローラ２２、２４、２６、２８で樹脂フィルム２を搬送していたが、このような構成に限定されない。例えば、炉体１２の内部に設置された搬送部材で、樹脂フィルム２を支持しながら搬送してもよい。

【0051】

図５に示すように、乾燥装置２１０は、搬送装置（２２２、２２４）を備えている。なお、本実施例の乾燥装置２１０は、搬送装置２０の代わりに搬送装置（２２２、２２４）を備えている点が、上記の実施例１の乾燥装置１０と相違しており、その他の構成は略同一である。このため、以下では、搬送装置（２２２、２２４）について説明する。

【0052】

搬送装置（２２２、２２４）は、複数の搬送ローラ２２２と、駆動装置２２４を備えている。複数の搬送ローラ２２２は、炉体１２の第１空間１６内に配置されている。複数の搬送ローラ２２２は、全てが同じ直径を有しており、搬送方向（図５のＸ方向）に一定のピッチで等間隔に配置されている。搬送ローラ２２２は、その軸線回りに回転可能に支持されており、駆動装置２２４の駆動力が伝達されることによって回転する。駆動装置２２４は、搬送ローラ２２２を駆動する駆動装置（例えば、モータ）である。樹脂フィルム２は、搬送ローラ２２２上に載置され、搬送ローラ２２２によって第１空間１６内を搬送される。このため、第１空間１６内で樹脂フィルム２を支持しながら搬送することができる。なお、本実施例では、乾燥装置２１０は、第１排気装置７０のみを備えているが、第１排気装置７０と第２排気装置１７０の両方を備えていてもよい。

【0053】

また、本実施例では、搬送ローラ２２２で樹脂フィルムを支持しながら搬送したが、このような構成に限定されない。例えば、搬送ローラ２２２の代わりに、第１空間１６内に配置されたベルトを用いて樹脂フィルム２を搬送してもよい。ベルトを用いて樹脂フィルム２を搬送した場合であっても、第１空間１６内で樹脂フィルム２を支持しながら搬送することができる。

【0054】

（実施例４）
上記の実施例１～３では、炉体１２の中央に固定されていた隔壁１４によって第１空間１６と第２空間１８が分離されていたが、このような構成に限定されない。例えば、図６に示すように、炉体３１２内に管状部材８０を設置することによって第１空間３１６と第２空間３１８を分離してもよい。本実施例の乾燥装置３１０は、管状部材８０で第１空間３１６と第２空間３１８を分離している点が、上記の実施例１の乾燥装置１０と相違しており、その他の構成は略同一である。このため、以下では、管状部材８０の構成について説明する。

【0055】

図６及び図７に示すように管状部材８０は、両端が開口した略直方体状であり、その軸線が搬送方向（図６のＸ方向）に伸びている。管状部材８０は、搬送方向の入口側と出口側が開口している。管状部材８０の入口側と出口側の開口部には、フランジ８２が設けられている。炉体３１２内には、複数の管状部材８０が、搬送方向に連続して連結されており、隣接する管状部材８０のフランジ８２間は、シールされている。

【0056】

管状部材８０は、上面にガラス板１５４ａが嵌め込まれており、下面にガラス板１５４ｂが嵌め込まれている。具体的には、管状部材８０の上面及び下面には、支持枠（図示省略）が形成されており、支持枠によってガラス板１５４ａ、１５４ｂが支持されている。また、支持枠とガラス板１５４ａ、１５４ｂとの間は、シール部材（図示省略）によってシールされている。

【0057】

管状部材８０の上面の近傍と下面の近傍には、ヒータ４０と給気ノズル６４が設置されている。なお、図７では図面を見易くするために、給気ノズル６４と下面側のガラス板１５４ｂの図示は省略されている。ヒータ４０は、搬送方向と直交する方向に伸びている。炉体３１２内には、複数のヒータ４０が、搬送方向に間隔を空けて設置されている。本実施例では、１つのガラス板１５４ａの近傍に２つのヒータ４０が設置されている。なお、１つのガラス板１５４ａの近傍に設置するヒータ４０の数は特に限定されない。また、ヒータ４０及び給気ノズル６４は、上記の実施例１のヒータ４０及び給気ノズル６４と同一の構成であるため、詳細な説明は省略する。

【0058】

本実施例では、管状部材８０の上面の近傍と下面の近傍の両方に、ヒータ４０が設置されている。このため、管状部材８０内の第１空間３１６には、上方から電磁波が照射されると共に、下方からも電磁波が照射される。すなわち、管状部材８０内の第１空間３１６を搬送される樹脂フィルム２には、上方から電磁波が照射されると共に、下方からも電磁波が照射される。このため、より短い時間で樹脂フィルム２に塗布された溶剤を蒸発させることができ、炉体３１２の搬送方向の長さを短くすることができる。

【0059】

また、本実施例では、支持枠とガラス板１５４ａ、１５４ｂとの間をシールすることによって、管状部材８０内の第１空間３１６と、炉体３１２内かつ管状部材８０外の第２空間３１８との間でガスが移動することを防止することができる。また、隣接する２つの管状部材８０のフランジ８２間もシールされている。このため、隣接する管状部材８０の間から、第１空間３１６と第２空間３１８との間でガスが移動することも防止される。管状部材８０内の第１空間３１６では、樹脂フィルム２が搬送され、管状部材８０外の第２空間３１８には、ヒータ４０が設置されている。第１空間３１６と第２空間３１８との間でガスが移動することが防止されていることにより、第１空間３１６内で溶剤が蒸発したガスが第２空間３１８に移動することを防止することができる。

【0060】

本実施例の乾燥装置３１０は、管状部材８０を用いて、樹脂フィルム２が搬送される第１空間３１６と、ヒータ４０が設置される第２空間３１８を分離している。樹脂フィルム２から蒸発した溶剤は、第１空間３１６内の下方に移動し、再び液化することがある。樹脂フィルム２を管状部材８０内で搬送することによって、炉体３１２の底面に液化した溶剤が堆積することを回避することができる。また、管状部材８０で第１空間３１６を形成することによって、第１空間３１６の搬送方向に直交する方向の断面積を小さくすることができる。これにより、第１空間３１６を陰圧に制御し易くなる。また、１空間３１６の搬送方向に直交する方向の断面積を小さくすることによって、給気装置６０と排気装置７０により生成される雰囲気ガスの流速を速くすることができる。これにより、第１空間３１６内のガスを排気し易くなり、樹脂フィルム２から蒸発した溶剤を排気し易くすることできる。

【0061】

なお、本実施例では、管状部材８０の上方と下方の両方にヒータ４０が設置されていたが、このような構成に限定されない。例えば、図８に示すように、管状部材８０の上方のみにヒータ４０が設置されており、管状部材８０の下方にはヒータ４０が設置されていなくてもよい。図８の乾燥装置４１０は、管状部材８０の下方にはヒータ４０が設置されていない点のみが、図７の乾燥装置３１０と相違しており、その他の構成は略同一である。乾燥装置４１０においても、炉体３１２の底面に液化した溶剤が堆積することを回避できると共に、第１空間３１６を陰圧にしたり、樹脂フィルム２から蒸発した溶剤を排気したりし易くできる。あるいは、図８に示す実施例とは異なり、管状部材８０の下方のみにヒータが設置され、管状部材８０の上方にはヒータが設置されていなくてもよい。

【0062】

実施例で説明した乾燥装置１０に関する留意点を述べる。実施例の炉体１２は、「ハウジング」の一例であり、内管４４は、「第１の管」の一例であり、外管４６は、「第２の管」の一例であり、ガラス板５４は、「透過体」の一例であり、給気ノズル６４の給気口６４ａは、「給気口」の一例であり、排気口１７２は、「排気口」の一例である。

【0063】

以上、本明細書に開示の技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

【符号の説明】

【0064】

２：樹脂フィルム
１０、１１０、２１０、３１０、４１０：乾燥装置
１２、１１２、３１２：炉体
１４：隔壁
１６、３１６：第１空間
１８、３１８：第２空間
２０：搬送装置
４０：ヒータ
４２：発熱体
４４：内管
４６：外管
５０：窓
５２：支持枠
５４：ガラス板
５６：シール部材
６０：給気装置
６４：給気ノズル
７０：第１排気装置
８０：管状部材
８２：フランジ
１７０：第２排気装置
１７２：第２排気装置の排気口
２２２：搬送ローラ
２２４：駆動装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】