特開2024-100104アンテナ装置及びプラズマ処理装置

発明の名称　アンテナ装置及びプラズマ処理装置

出願人　日新電機株式会社　（識別番号 3942）

　　　　特許公開件数ランキング 293 位（104件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 377 位（67件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-100104

公報発行日　2024年7月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-100104

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