特開 2024-100449 クリーニング装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024100449

(43)【公開日】2024-07-26

(54)【発明の名称】クリーニング装置

(51)【国際特許分類】

   B08B 1/32 20240101AFI20240719BHJP

   B08B 6/00 20060101ALI20240719BHJP

【ＦＩ】

B08B1/04

B08B6/00

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023004463

(22)【出願日】2023-01-16

(71)【出願人】

【識別番号】000005061

【氏名又は名称】バンドー化学株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100159499

【弁理士】

【氏名又は名称】池田 義典

(74)【代理人】

【識別番号】100120329

【弁理士】

【氏名又は名称】天野 一規

(74)【代理人】

【識別番号】100159581

【弁理士】

【氏名又は名称】藤本 勝誠

(74)【代理人】

【識別番号】100106264

【弁理士】

【氏名又は名称】石田 耕治

(74)【代理人】

【識別番号】100139354

【弁理士】

【氏名又は名称】松浦 昌子

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 久崇

【テーマコード（参考）】

3B116

【Ｆターム（参考）】

3B116AA01

3B116AA46

3B116AB03

3B116AB42

3B116BA02

3B116BA08

3B116BA15

3B116BC01

(57)【要約】

【課題】本発明は、設置スペースを削減できるクリーニング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のクリーニング装置は、板状又はフィルム状の対象物の少なくとも一方の面に付着する異物を除去するクリーニング装置であって、上記対象物の他方の面に接触しつつ上記対象物を固定する固定具と、上記一方の面に接触しつつ上記一方の面上を通過するブラシローラと、上記ブラシローラの通過方向の下流側に配置され、上記一方の面に接触しつつ上記一方の面上を上記ブラシローラと同方向に通過するクリーニングローラとを備える。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状又はフィルム状の対象物の少なくとも一方の面に付着する異物を除去するクリーニング装置であって、
上記対象物の他方の面に接触しつつ上記対象物を固定する固定具と、
上記一方の面に接触しつつ上記一方の面上を通過するブラシローラと、
上記ブラシローラの通過方向の下流側に配置され、上記一方の面に接触しつつ上記一方の面上を上記ブラシローラと同方向に通過するクリーニングローラと
を備えるクリーニング装置。

【請求項2】

上記ブラシローラ及び上記クリーニングローラが、帯電している請求項１に記載のクリーニング装置。

【請求項3】

上記ブラシローラが、上記通過方向に対して逆方向に回転し、
上記クリーニングローラが、上記通過方向に対して順方向に回転する請求項１又は請求項２に記載のクリーニング装置。

【請求項4】

上記クリーニングローラが、
上記一方の面上を通過する際に上記通過方向と垂直かつ上記一方の面と平行となるように配置されている回転軸と、
上記回転軸を上記一方の面の方向に付勢する付勢具と
を有し、
上記回転軸と上記一方の面との間隔が可変となるように構成されている請求項１又は請求項２に記載のクリーニング装置。

【請求項5】

上記対象物の一方の面に接触しつつ上記対象物を固定する他の固定具と、
上記他方の面に接触しつつ上記他方の面上を通過する他のブラシローラと、
上記他のブラシローラの通過方向の下流側に配置され、上記他方の面に接触しつつ上記他方の面上を上記他のブラシローラと同方向に通過する他のクリーニングローラと
をさらに備える請求項１又は請求項２に記載のクリーニング装置。

【請求項6】

対向する第１面及び第２面を有する筐体を備え、
上記ブラシローラ及び上記クリーニングローラが、上記第１面側に配設され、
上記他のブラシローラ及び上記他のクリーニングローラが、上記第２面側に配設されている請求項５に記載のクリーニング装置。

【請求項7】

上記ブラシローラ及び上記クリーニングローラが、上記一方の面を通過する方向と、
上記他のブラシローラ及び上記他のクリーニングローラが、上記他方の面を通過する方向とが逆方向である請求項６に記載のクリーニング装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、クリーニング装置に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板、電子部品を搭載するプリント基板、樹脂薄板、フィルム材料、金属薄板等の対象物表面に付着する塵埃などの異物を取り除くためのクリーニング装置が開発されている。

【0003】

このようなクリーニング装置として、対象物を搬送しつつ表面の異物を除去するクリーニング装置が一般に用いられている（例えば特開２０２２－０３４００５号公報参照）。このクリーニング装置では、クリーニング機構と、このクリーニング機構の上流側及び下流側にそれぞれ配置される上流側外部搬送機構及び下流側搬送機構により構成されている。そして、このクリーニング装置では、対象物を上記上流側外部搬送機構にセットすると、上記上流側外部搬送機構が上記対象物を上記クリーニング機構に送り込み、上記クリーニング機構で異物が除去された対象物は、上記下流側搬送機構により上記クリーニング機構から回収される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２２－０３４００５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

このような従来のクリーニング装置では、クリーニング機構の前後に水平方向に突出する外部搬送機構を有していることもあり、クリーニング装置の設置スペースを必要とする。このためフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等の製造ラインを省スペース化するにあたり、阻害要因の１つとなり得る。

【0006】

本発明はこのような不都合に鑑みてなされたものであり、設置スペースを削減できるクリーニング装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の一実施形態に係るクリーニング装置は、板状又はフィルム状の対象物の少なくとも一方の面に付着する異物を除去するクリーニング装置であって、上記対象物の他方の面に接触しつつ上記対象物を固定する固定具と、上記一方の面に接触しつつ上記一方の面上を通過するブラシローラと、上記ブラシローラの通過方向の下流側に配置され、上記一方の面に接触しつつ上記一方の面上を上記ブラシローラと同方向に通過するクリーニングローラとを備える。

【発明の効果】

【0008】

本発明のクリーニング装置は、設置スペースを削減できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、本発明の一実施形態に係るクリーニング装置の構成を示す模式的断面図である。

【図2】図２は、図１のクリーニングユニットの構成を示す模式的斜視図である。

【図3】図３は、図２のクリーニングユニットの模式的側面図（断面図）である。

【図4】図４は、図２の第１クリーニングローラの回転軸部分の構成を示す模式的斜視図である。

【図5】図５は、図４の第１クリーニングローラの回転軸等を支持する第１クリーニングユニットの側壁を示す模式的平面図である。

【図6】図６は、図１とは異なる実施形態に係るクリーニング装置の構成を示す模式的断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

［本発明の実施形態の説明］
最初に本発明の実施態様を列記して説明する。

【0011】

本発明の一実施形態に係るクリーニング装置は、板状又はフィルム状の対象物の少なくとも一方の面に付着する異物を除去するクリーニング装置であって、上記対象物の他方の面に接触しつつ上記対象物を固定する固定具と、上記一方の面に接触しつつ上記一方の面上を通過するブラシローラと、上記ブラシローラの通過方向の下流側に配置され、上記一方の面に接触しつつ上記一方の面上を上記ブラシローラと同方向に通過するクリーニングローラとを備える。

【0012】

当該クリーニング装置は、対象物を固定し、ブラシローラ及びクリーニングローラを移動させることで対象物の一方の面の異物を除去する。つまり、対象物を移動させるための外部搬送機構を必要としないため、当該クリーニング装置はコンパクトに設計することが可能であり、設置スペースを削減できる。

【0013】

上記ブラシローラ及び上記クリーニングローラが、帯電しているとよい。このように上記ブラシローラ及び上記クリーニングローラを帯電させることで、静電吸着力により異物を効率的に除去することができる。

【0014】

上記ブラシローラが、上記通過方向に対して逆方向に回転し、上記クリーニングローラが、上記通過方向に対して順方向に回転するとよい。このように上記ブラシローラを上記通過方向に対して逆方向に回転させ、上記クリーニングローラを上記通過方向に対して順方向に回転させることで、上記ブラシローラによって対象物から比較的大きな異物を除去できるとともに上記クリーニングローラによって対象物から微細な異物を効率良く除去することができる。

【0015】

上記クリーニングローラが、上記一方の面上を通過する際に上記通過方向と垂直かつ上記一方の面と平行となるように配置されている回転軸と、上記回転軸を上記一方の面の方向に付勢する付勢具とを有し、上記回転軸と上記一方の面との間隔が可変となるように構成されているとよい。このように上記クリーニングローラを構成することで、移動する上記クリーニングローラが上記固定具に衝突してクリーニングできなくなることを抑止するとともに、上記対象物に対して適度な押圧を加えつつ上記クリーニングローラを接触させることができるので、上記クリーニングローラの異物除去効率を高められる。

【0016】

上記対象物の一方の面に接触しつつ上記対象物を固定する他の固定具と、上記他方の面に接触しつつ上記他方の面上を通過する他のブラシローラと、上記他のブラシローラの通過方向の下流側に配置され、上記他方の面に接触しつつ上記他方の面上を上記他のブラシローラと同方向に通過する他のクリーニングローラとをさらに備えるとよい。このように他の固定具、他のブラシローラ及び他のクリーニングローラを備えることで、対象物の一方の面に加えて、他方の面についても効率的に異物除去を行うことができる。

【0017】

対向する第１面及び第２面を有する筐体を備え、上記ブラシローラ及び上記クリーニングローラが、上記第１面側に配設され、上記他のブラシローラ及び上記他のクリーニングローラが、上記第２面側に配設されているとよい。このように当該クリーニング装置を構成すると、上記第１面側で対象物の一方の面の異物除去を行うこととなり、この場合、上記一方の面は上記第１面と対向している。また、上記筐体において上記第２面は上記第１面に対向しているため、上記対象物をそのまま上記筐体を挟んで第２面側に移動させると、上記対象物の他方の面が上記第２面と対向するので、そのまま上記対象物の他方の面の異物除去を行うことができる。つまり、単純な上記対象物の移動で、上記対象物の両面の異物除去を行うことができる。

【0018】

上記ブラシローラ及び上記クリーニングローラが、上記一方の面を通過する方向と、上記他のブラシローラ及び上記他のクリーニングローラが、上記他方の面を通過する方向とが逆方向であるとよい。このように上記ブラシローラ及び上記クリーニングローラと、上記他のブラシローラ及び上記他のクリーニングローラとの間で通過方向を逆方向とすることで、当該クリーニング装置の往復動のそれぞれで片面ずつ異物除去を行うことができる。そして、異物除去が行われない面側については、その間に対象物の交換を行うことができるので、クリーニング時間を短縮することができる。

【0019】

なお、「通過方向に対して順方向に回転する」とは、連れ回りするように回転することを意味し、対象物とローラとの接触位置において、通過方向と回転方向とが逆向きとなることを意味する。そして、「通過方向に対して逆方向に回転する」とは、上記順方向とは逆向きの回転を意味する。また、本明細書において、「垂直」とは、正確に垂直である場合に加え、垂直線に対する交差角度が±１０°以内である場合を含むものとする。同様に「平行」とは、正確に平行である場合に加え、２直線がなす角度が±１０°以内である場合を含むものとする。

【0020】

［本発明の実施形態の詳細］
本発明の一実施形態に係るクリーニング装置について、図面を参照しつつ説明する。

【0021】

図１に示すクリーニング装置１は、板状又はフィルム状の対象物の少なくとも一方の面（図１のクリーニング装置１では両面）に付着する異物を除去するクリーニング装置である。具体的には、図１に示す当該クリーニング装置１は、第１対象物Ｓ１の一方の面に付着する異物と、第２対象物Ｓ２の他方の面に付着する異物とを除去することができる。以下、対象物の一方の面を「表面」、他方の面を「裏面」と称して区別するが、単に便宜上の区別であり、必ずしも対象物を使用する際の表側及び裏側に対応するものではない。

【0022】

〔対象物〕
上記対象物は、図１では平板状の部材を例示しているが、板状又はフィルム状の部材であれば特に制限はない。

【0023】

板状の対象物としては、例えばＦＰＤのガラス基板や、樹脂基板や、電子部品搭載用プリント基板や、積層セラミックコンデンサ等を形成するためのセラミックグリーンシートや、樹脂薄板等が挙げられる。フィルム状の対象物としては、例えば樹脂フィルム等が挙げられる。

【0024】

上記対象物は、積層体であってもよい。当該クリーニング装置１は、例えばポリエチレンテレフタレート基板（ＰＥＴ基板）にセラミック層（グリーンシート）が積層されたような剥離し易い積層体の異物除去も行うことができる。

【0025】

上記対象物の表面及び裏面は、図１に示すように平坦であってもよいが、窪みが存在していてもよい。また、上記対象物には、孔等が存在していてもよい。さらに、表面又は裏面に電気配線描画等のパターンが形成されており、そのパターンが段差を形成しているような対象物であっても、当該クリーニング装置１は、異物除去を行うことができる。

【0026】

上記対象物の平均厚さは、特に限定されるものではないが、その下限としては、３０μｍが好ましく、５０μｍがより好ましい。上記対象物の平均厚さが上記下限未満であると、上記対象物が取扱いし難くなるおそれがある。一方、上記対象物の平均厚さの上限としては、特に限定されないが、例えば５ｍｍである。

【0027】

〔クリーニング装置〕
当該クリーニング装置１は、図１に示すように、クリーニングユニット１０と、一対の固定具２０とを備える。

【0028】

＜固定具＞
一対の固定具２０は、一の固定具である第１固定具２１と、他の固定具である第２固定具２２とから構成されている。

【0029】

第１固定具２１は、第１対象物Ｓ１の裏面Ｓ１ｂに接触しつつ第１対象物Ｓ１を固定する。第２固定具２２は、第２対象物Ｓ２の表面Ｓ２ａに接触しつつ第２対象物Ｓ２を固定する。すなわち一対の固定具２０は、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａ及び第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂがそれぞれ露出するように固定されている。

【0030】

固定具２０が上記対象物を固定する機構としては、各対象物を固定できる限り特に限定されないが、例えば真空吸着式のチャックを用いることができる。また、異物除去時に上記対象物が撓まないように固定具２０は、上記対象物が接触する側の面（接触面）全体を覆えることが好ましい。すなわち、固定具２０が上記対象物に接する面の面積が、上記対象物の接触面の面積より大きいことが好ましい。

【0031】

第１固定具２１と第２固定具２２とは、後述するクリーニングユニット１０の通過方向（図１の矢印の方向）に並んで配置されており、第１固定具２１と第２固定具２２との間をクリーニングユニット１０が通過可能である。図１では、第１固定具２１が通過方向の上流側に配置されているが、第２固定具２２が通過方向の上流側に配置されていてもよい。あるいは、第１固定具２１と第２固定具２２とを上記通過方向に対して垂直に対向するように配置することも可能である。

【0032】

さらに詳説すると、第１固定具２１は、クリーニングユニット１０の筐体１１の第１面１１ａ側に、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａが第１面１１ａと対向するように配置されている。クリーニングユニット１０が第１固定具２１の位置を通過する際には、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａが第１ブラシローラ１２ａ及び第１クリーニングローラ１２ｂと接するように配置されている。なお、クリーニングユニット１０は、上記通過方向とは逆方向に移動することがあるが、その際には第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａは第１ブラシローラ１２ａ及び第１クリーニングローラ１２ｂに接しない位置に退避していることが好ましい。この退避位置としては、第１面１１ａと垂直方向に離間する位置であってもよく、クリーニングユニット１０の通過方向から第１面１１ａに水平方向に離間する位置であってもよい。

【0033】

第２固定具２２は、クリーニングユニット１０の筐体１１の第２面１１ｂ側に、第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂが第２面１１ｂと対向するように配置されている。クリーニングユニット１０が第２固定具２２の位置を通過する際には、第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂが第２ブラシローラ１３ａ及び第２クリーニングローラ１３ｂと接するように配置されている。なお、クリーニングユニット１０は、上記通過方向とは逆方向に移動する際には第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂは第２ブラシローラ１３ａ及び第２クリーニングローラ１３ｂに接しない位置に退避していることが好ましい。

【0034】

第１固定具２１に固定されている第１対象物Ｓ１は、クリーニングユニット１０により表面Ｓ１ａの異物が除去された後に、第２固定具２２に移動させて固定し、裏面Ｓ１ｂの異物を除去することができる。このように１つの対象物を第１固定具２１及び第２固定具２２の間を移動させることで両面の異物を除去することが可能となる。

【0035】

第１固定具２１及び第２固定具２２の間の移動は、搬送機や作業員による手作業により行ってもよいが、第１固定具２１又は第２固定具２２が移動して第１対象物Ｓ１の授受を行ってもよい。第１固定具２１から第２固定具２２に移動させる場合、第２固定具２２は、第１固定具２１に固定されている第１対象物Ｓ１は表面Ｓ１ａが露出しているため、例えばこの表面Ｓ１ａを第２固定具２２に吸着して、第１固定具２１の固定を解除すると、第２固定具２２に移動した第１対象物Ｓ１は裏面Ｓ１ｂが露出するので、効率的に移動を行うことができる。

【0036】

なお、一対の固定具２０は、当該クリーニング装置１に専用に設けてもよいが、他の装置の固定具と兼用してもよい。当該クリーニング装置１は、例えば製造ラインに組み込まれて利用されるものである。一般に製造ラインには搬送装置が備わっているので、一対の固定具２０として、その搬送装置を利用することも可能である。この場合、さらに省スペース化を進めることができる。

【0037】

＜クリーニングユニット＞
クリーニングユニット１０は、図２及び図３に示すように、筐体１１と、表側クリーニングユニット１２と、裏側クリーニングユニット１３とを備える。なお、表側クリーニングユニット１２及び裏側クリーニングユニット１３は、メインテナンス性の観点から、独立して着脱可能に構成されている。

【0038】

（筐体）
筐体１１は、対向する第１面１１ａ及び第２面１１ｂを有する。図１のクリーニング装置１では、第１面１１ａが筐体１１の下面を構成し、第２面１１ｂが筐体１１の上面を構成しているが、第１面１１ａと第２面１１ｂとが側面を構成してもよい。なお、第１面１１ａ及び第２面１１ｂは、上記通過方向に対して平行である。

【0039】

（表側クリーニングユニット）
表側クリーニングユニット１２は、第１ブラシローラ１２ａと、第１クリーニングローラ１２ｂとを有する。第１ブラシローラ１２ａ及び第１クリーニングローラ１２ｂは、筐体１１の第１面１１ａ側に配設されている。

【0040】

第１ブラシローラ１２ａは、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａに接触しつつ、表面Ｓ１ａ上を通過する。

【0041】

この第１ブラシローラ１２ａは、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａ上を通過する際に上記通過方向と垂直かつ表面Ｓ１ａと平行となるように配置されている回転軸で、第１ブラシローラ１２ａが、外部駆動源からの動力により、上記通過方向に対して逆方向に回転していることが好ましい。

【0042】

また、第１ブラシローラ１２ａは、非帯電状態であってもよいが、帯電していることが好ましい。

【0043】

第１ブラシローラ１２ａは、上記通過方向に対して逆方向の回転となるよう回転駆動されることにより、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａに付着の異物を掻き起こして上記ブラシ毛に付着させることができる。また、第１ブラシローラ１２ａに電圧を印加して帯電させることで、電界の力による吸着力を作用させ、効果的に第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａの異物を後述するブラシ毛に吸着させることができる。特に、第１ブラシローラ１２ａを帯電させることで、第１対象物Ｓ１に孔や表面の窪みが存在する場合においても、上記孔や窪みの中にある異物を効率的に除去することができる。

【0044】

このような第１ブラシローラ１２ａとしては、円柱状の芯棒（回転軸）と、芯棒の外周面に接着層を介して植設される複数のブラシ毛とを有する構成とすることができる。

【0045】

上記芯棒は、例えば金属、カーボン材、合成樹脂複合材等の導電性を有する材料により形成される。上記導電性を有する材料の体積抵抗率の上限としては、例えば１０^５Ωｃｍである。第１ブラシローラ１２ａを帯電させる場合、この芯棒には、外部電源等の電圧印加機構により電圧が印加される。また、上記芯棒に印加される電圧は、第１クリーニングローラ１２ｂよりも同極性かつ絶対値が大きくなるように設定するとよい。なお、芯棒に印加される電圧の下限としては、－８００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましい。一方、上記電圧の上限としては、－２００Ｖが好ましく、－３００Ｖがより好ましい。

【0046】

上記ブラシ毛としては、物理的に異物が付着し易いものが好ましく、例えば合成樹脂繊維製のものが挙げられる。また、上記ブラシ毛としては、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａに付着する異物を吸着するための電荷を帯電し得るものが好ましく、例えばカーボンブラック、炭素繊維、金属粉、金属ウィスカ等の導電性材料を含有する合成樹脂繊維製のものが好適に使用できる。

【0047】

上記ブラシ毛の断面形状は特に限定されるものではなく、例えば円形状、楕円形状、星型形状等が挙げられる。また、上記ブラシ毛の外形も特に限定されるものではなく、例えば直線状、波曲線形状、曲線と直線とが組み合わされて構成された形状等が挙げられる。なお、上記ブラシ毛は、表面積が大きいほど異物を吸着し易くなる。そのため、上記ブラシ毛としては、表面積を大きく確保できる断面形状が異形状のもの、例えば星型形状のものを用いることができる。

【0048】

以上述べたように、第１ブラシローラ１２ａは、ブラシ毛を有すること、通過方向に対して逆方向に回転すること、及び第１クリーニングローラ１２ｂよりも同極性かつ絶対値の大きい電圧を印加することで、ミリオーダーの比較的大きな異物を第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａから除去することができる。

【0049】

第１ブラシローラ１２ａの第１対象物Ｓ１への平均圧接量の下限としては、０．３ｍｍが好ましく、０．５ｍｍがより好ましい。一方、上記平均圧接量の上限としては、１．５ｍｍが好ましく、１ｍｍがより好ましい。上記平均圧接量が上記下限未満であると、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａの異物を十分に掻き起こせないおそれがある。逆に、上記平均圧接量が上記上限を超えると、上記ブラシ毛と第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａとの間の抵抗が大きくなるため、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａを傷付けるおそれがある。なお、「圧接量」とは、第１対象物Ｓ１への上記ブラシ毛の食い込み量であり、上記ブラシ毛の平均長さから、上記芯棒の表面と第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａとの最小距離を差分した値を意味する。

【0050】

第１ブラシローラ１２ａの周速度の下限としては、１ｍ／ｍｉｎが好ましく、２ｍ／ｍｉｎがより好ましい。一方、第１ブラシローラ１２ａの周速度の上限としては、３０ｍ／ｍｉｎが好ましく、１５ｍ／ｍｉｎがより好ましい。第１ブラシローラ１２ａの周速度が上記下限未満であると、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａの異物を十分に掻き起こせないおそれがある。逆に、第１ブラシローラ１２ａの周速度が上記上限を超えると、上記ブラシ毛と第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａとの間の抵抗が大きくなるため、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａが傷付くおそれがある。また、クリーニングユニット１０の移動速度Ｗに対する第１ブラシローラ１２ａの周速度Ｂの比率（Ｂ／Ｗ）の上限は、２５％が好ましい。上記比率が大き過ぎると、比較的大きな異物を第１ブラシローラ１２ａにより掻き起こすのが困難となるおそれがある。

【0051】

第１クリーニングローラ１２ｂは、第１ブラシローラ１２ａの通過方向の下流側に配置され、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａに接触しつつ表面Ｓ１ａ上を第１ブラシローラ１２ａと同方向に通過する。

【0052】

この第１クリーニングローラ１２ｂは、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａ上を通過する際に上記通過方向と垂直かつ表面Ｓ１ａと平行となるように配置されている回転軸で、第１クリーニングローラ１２ｂが、上記通過方向に対して順方向に回転していることが好ましい。第１クリーニングローラ１２ｂは、外部駆動源からの動力により回転駆動されていてもよいが、連れ回りしていることが好ましい。連れ回りにおいては、第１クリーニングローラ１２ｂが第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａに接触すると、クリーニングユニット１０の移動に伴って第１クリーニングローラ１２ｂと第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａとの摩擦により第１クリーニングローラ１２ｂが回転することとなる。このように構成することで、第１クリーニングローラ１２ｂに対して特段の動力を与えることなく回転駆動させることができる。

【0053】

また、第１クリーニングローラ１２ｂは、非帯電状態であってもよいが、帯電していることが好ましい。

【0054】

第１クリーニングローラ１２ｂは、上記通過方向に対して順方向の回転となるよう回転することにより、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａに付着の異物、特に比較的微細な異物（例えばミリサイズよりも小さい異物）を除去することができる。また、第１クリーニングローラ１２ｂに電圧を印加して帯電させることで、電界の力による吸着力を作用させ、効果的に第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａの異物を後述する外層部に吸着させることができる。特に、第１クリーニングローラ１２ｂを帯電させることで、第１対象物Ｓ１に孔や表面の窪みが存在する場合においても、上記孔や窪みの中にある異物を効率的に除去することができる。

【0055】

このような第１クリーニングローラ１２ｂとしては、芯棒（回転軸）と、この芯棒の外周面に形成される内層部と、この内層部の外周面を被覆する外層部とを有する弾性ローラとすることができる。

【0056】

上記芯棒は、導電性材料により円柱状に形成されている。上記芯棒に用いる導電性材料としては、例えば金属材料等が挙げられ、具体的にはステンレス、銅、アルミニウム等が挙げられる。

【0057】

上記内層部は、第１クリーニングローラ１２ｂによる第１対象物Ｓ１への一定の押圧力やニップ幅を確保するものである。すなわち、上記内層部は、第１対象物Ｓ１に対する所望の密着力や接触幅を確保し、その表面Ｓ１ａからの比較的微細な異物の効率的な除去に寄与するものである。この内層部を形成する材料としては、弾性及び導電性を有している樹脂材料が好ましく、ポリウレタン、シリコーン樹脂、天然ゴム、合成ゴム等の樹脂成分とカーボンとを含有する樹脂材料がより好ましい。

【0058】

このポリウレタンとしては、例えばアクリル混合ウレタン、フッ素混合ウレタン等が挙げられる。ここで、「アクリル混合ウレタン」とは、ポリエステルポリウレタン又はポリエーテルポリウレタンを主成分とする樹脂であって、（１）熱可塑性ポリウレタン及びシリコン・アクリル共重合樹脂の混合物、（２）アクリル樹脂（例えばメタクリル酸－メタクリル酸メチル共重合体からなる主鎖にアミノエチル基がグラフトされてなるグラフト化合物）及び熱可塑性ポリウレタンからなる混合物、又は（３）アクリル樹脂、ポリウレタン及びフッ素系表面コーティング剤からなる混合物を意味する。「フッ素混合ウレタン」とは、ポリウレタンを主成分とする樹脂で、熱可塑性ポリウレタンにウレタン・フッ素共重合体を混合したものを意味する。「主成分」とは、最も含有量の多い成分であり、例えば５０質量％以上含有される成分である。

【0059】

上記内層部を形成する材料としては、ポリエステル系ポリウレタン及びカーボンブラックを含有する導電性エラストマーがさらに好ましい。これらの材料により、第１クリーニングローラ１２ｂの弾性が十分に確保され、第１クリーニングローラ１２ｂによって第１対象物Ｓ１に異物が過度に押し付けられることを回避し、異物の除去効率の低下を抑制できる。なお、上記内層部のＪＩＳ－Ａ硬度の下限としては、１５°が好ましい。また、上記ＪＩＳ－Ａ硬度の上限としては、７０°が好ましい。さらに、上記内層部の電気抵抗としては、１０^８Ω以下が好ましい。上記内層部のＪＩＳ－Ａ硬度を上記範囲内とすることで、第１クリーニングローラ１２ｂの弾性を十分に確保し、第１対象物Ｓ１の異物除去を効果的に行えるニップ幅を確保することができる。

【0060】

第１クリーニングローラ１２ｂは、図４に示すように、第１クリーニングローラ１２ｂの回転軸１４を第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａの方向に付勢する付勢具１５を有し、回転軸１４と表面Ｓ１ａとの間隔が可変となるように構成されていることが好ましい。このように第１クリーニングローラ１２ｂを構成することで、移動する第１クリーニングローラ１２ｂが第１固定具２１に衝突してクリーニングできなくなることを抑止するとともに、第１対象物Ｓ１に対して適度な押圧を加えつつ第１クリーニングローラ１２ｂを接触させることができるので、第１クリーニングローラ１２ｂの異物除去効率を高められる。以下、この構成の具体例について図４及び図５を用いてさらに詳説する。

【0061】

図４に示すように、第１クリーニングローラ１２ｂの回転軸１４は、表側クリーニングユニット１２の側壁１６を貫通し、その外側で第１ギア１７に連結されている。この第１ギア１７は、第２ギア１８と噛み合い、さらに第２ギア１８は、第３ギア１９と噛み合っている。このような構成において、第１クリーニングローラ１２ｂが連れ回りにより回転すると、その回転により第２ギア１８が回転し、さらに第３ギア１９に伝わって第３ギア１９を回転させることができる。この第３ギア１９の回転は、例えば後述する集塵ブラシローラ１２ｅや第２集塵ローラ１２ｆの回転駆動源として利用することができる。

【0062】

付勢具１５は、図４に示すように、回転軸１４の位置を定めるリング１５ａと、リング１５ａを第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａの方向に付勢するスプリング１５ｂとを有する。

【0063】

表側クリーニングユニット１２の側壁１６には、図５に示すように、それぞれのギアに対応して第１ギア用貫通孔１７ａ、第２ギア用貫通孔１８ａ及び第３ギア用貫通孔１９ａが設けられている。ここで、第２ギア用貫通孔１８ａ及び第３ギア用貫通孔１９ａは、第２ギア１８及び第３ギア１９の回転軸がブレないように、円形であり、その貫通孔の直径は各ギアの回転軸の直径に合うように設計されているのに対し、第１ギア用貫通孔１７ａは、楕円状もしくは長丸状に形成されている。つまり、第１ギア１７の回転軸、すなわち第１クリーニングローラ１２ｂの回転軸１４は、移動可能に構成されている。

【0064】

第１クリーニングローラ１２ｂの回転軸１４は、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａ等に接触していない場合は、スプリング１５ｂにより下方に付勢されるため、図５に示すように、回転軸１４は、第１ギア用貫通孔１７ａの下方（第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａの方向）に位置する。このときの回転軸１４の中心と、第２ギア用貫通孔１８ａの中心とを結ぶ直線Ｌに対して、第１ギア用貫通孔１７ａの長径が垂直となるように、第１ギア用貫通孔１７ａは形成されている。このように第１ギア用貫通孔１７ａを形成すると、第１クリーニングローラ１２ｂが第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａに接触すると、表面Ｓ１ａにより上方の力を受け、図５の矢印の方向に移動する。この移動によりスプリング１５ｂが縮むため、その縮み、すなわち表面Ｓ１ａと回転軸１４との距離に応じて反発し、第１対象物Ｓ１に対して適度な押圧を加えることができる。また、回転軸１４が移動しても、回転軸１４の中心と第２ギア用貫通孔１８ａの中心とを結ぶ直線Ｌに対して、第１ギア用貫通孔１７ａの長径が垂直となる方向であるので、移動後の直線Ｌの長さが比較的一定に保たれるため、第１ギア１７と第２ギア１８との噛み合わせへの影響が低く、ギアが回転しない等の支障が生じることを回避できる。

【0065】

回転軸１４の最大移動距離としては、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下が好ましい。上記最大移動距離が上記下限未満であると、第１対象物Ｓ１に対して適度な押圧を加え難くなるおそれがある。逆に、上記最大移動距離が上記上限を超えると、第１ギア１７と第２ギア１８との噛み合わせに影響を及ぼすおそれがある。

【0066】

（裏側クリーニングユニット）
裏側クリーニングユニット１３は、他方の面である第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂに接触しつつ裏面Ｓ２ｂ上を通過する他のブラシローラである第２ブラシローラ１３ａと、第２ブラシローラ１３ａの通過方向の下流側に配置され、裏面Ｓ２ｂに接触しつつ裏面Ｓ２ｂ上を第２ブラシローラ１３ａと同方向に通過する他のクリーニングローラである第２クリーニングローラ１３ｂとを有する。第２ブラシローラ１３ａ及び第２クリーニングローラ１３ｂは、筐体１１の第２面１１ｂ側に配設されている。

【0067】

上述の点を除き、裏側クリーニングユニット１３は、表側クリーニングユニット１２と同様に構成できるので、詳細説明を省略する。

【0068】

＜その他の構成＞
（表側クリーニングユニット）
表側クリーニングユニット１２は、図３に示すように、第１ブラシローラ１２ａと平行に配設され、表面を帯電させた状態で第１ブラシローラ１２ａの外周側に接触させる第１集塵ローラ１２ｃと、第１集塵ローラ１２ｃ表面に付着した異物を掻き取る第１スクレーパー１２ｄとを備えてもよい。

【0069】

第１集塵ローラ１２ｃの材質として、導電性材料が用いられる。このような導電性材料としては、例えばステンレス、アルミニウム等の金属材料が挙げられる。第１集塵ローラ１２ｃとしてアルミニウム等の酸化し易い導電性材料を使用する場合には、第１集塵ローラ１２ｃの表面にニッケルめっきや金めっき等の耐食性のめっき処理を行なうことが好ましい。

【0070】

第１ブラシローラ１２ａを帯電させる場合、第１集塵ローラ１２ｃには、第１ブラシローラ１２ａへの印加電圧よりも高い電圧を印加する。これにより、第１集塵ローラ１２ｃ表面が第１ブラシローラ１２ａの外周側よりも電位が高くなるので、第１ブラシローラ１２ａに付着した異物が第１集塵ローラ１２ｃ表面に吸着され、第１ブラシローラ１２ａに付着の異物が第１集塵ローラ１２ｃに移動する。これにより、第１ブラシローラ１２ａに集積される異物の除去作業を省略又は軽減することができる。

【0071】

なお、第１集塵ローラ１２ｃの回転方向は、いずれの方向であってもよい。

【0072】

第１スクレーパー１２ｄは、例えば矩形状の板であり、軸方向に亘って第１集塵ローラ１２ｃ表面に接触可能な部分を有している。図３の表側クリーニングユニット１２では、１つの第１スクレーパー１２ｄが設けられているが、第１スクレーパー１２ｄは側面視で第１集塵ローラ１２ｃの両側に一対設けてもよい。ここで、第１スクレーパー１２ｄの第１集塵ローラ１２ｃ表面に接触する長辺を先端部と呼ぶこととする。

【0073】

第１スクレーパー１２ｄは、熱硬化性ポリウレタン等の合成樹脂製の弾性体などで形成される。第１集塵ローラ１２ｃの回転に伴い、第１集塵ローラ１２ｃ表面に接触する第１スクレーパー１２ｄの先端部によって第１集塵ローラ１２ｃ表面に付着した異物が掻き取られる。これにより、第１集塵ローラ１２ｃ表面が異物の除去された清浄な状態となる。

【0074】

また、表側クリーニングユニット１２は、図３に示すように、帯電かつ回転駆動させつつ第１クリーニングローラ１２ｂ表面に接触させる集塵ブラシローラ１２ｅと、集塵ブラシローラ１２ｅと平行に配設され、表面を帯電させた状態で集塵ブラシローラ１２ｅの外周側に接触させる第２集塵ローラ１２ｆと、第２集塵ローラ１２ｆ表面に付着した異物を掻き取る第２スクレーパー１２ｇとを備えてもよい。

【0075】

集塵ブラシローラ１２ｅは、第１クリーニングローラ１２ｂと平行に配設される。集塵ブラシローラ１２ｅは、円柱状の芯金と、複数の毛により形成され、上記芯金の周面へ設けられるブラシ毛とを有する。上記芯金及び上記ブラシ毛としては、例えば第１ブラシローラ１２ａの芯金及びブラシ毛と同様の材質のものを用いることができる。

【0076】

なお、回転駆動される集塵ブラシローラ１２ｅの回転方向は、いずれの方向でもよいが、第１クリーニングローラ１２ｂと集塵ブラシローラ１２ｅとの接点部分において互いの周面における移動方向が逆向きとなるとよい。このように集塵ブラシローラ１２ｅを回転させることで、第１クリーニングローラ１２ｂ表面に付着の異物が掻き起こされ易くなるため、異物が集塵ブラシローラ１２ｅに移動し易くなる。この場合、集塵ブラシローラ１２ｅは、第１クリーニングローラ１２ｂと同じ回転方向に回転駆動することとなる。

【0077】

集塵ブラシローラ１２ｅには、第１クリーニングローラ１２ｂへの印加電圧よりも同極性かつ絶対値が高い電圧を印加する。これにより、集塵ブラシローラ１２ｅの外周側が第１クリーニングローラ１２ｂ表面よりも電位が高くなるので、第１クリーニングローラ１２ｂ表面に付着した異物が集塵ブラシローラ１２ｅに吸着され、第１クリーニングローラ１２ｂ表面の異物が集塵ブラシローラ１２ｅに移動する。

【0078】

具体的な集塵ブラシローラ１２ｅへの印加電圧（上記芯金に印加される電圧）の下限としては、－８００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましい。一方、上記印加電圧の上限としては、－２００Ｖが好ましく、－３００Ｖがより好ましい。

【0079】

第２集塵ローラ１２ｆは、帯電かつ回転駆動されながら、表面が集塵ブラシローラ１２ｅの外周側と接触するよう、集塵ブラシローラ１２ｅと平行に配設される。

【0080】

第２集塵ローラ１２ｆの材質は、第１集塵ローラ１２ｃと同様とできる。第２集塵ローラ１２ｆの回転方向は、いずれの方向であってもよい。第２集塵ローラ１２ｆは、後述する第２スクレーパー１２ｇにより第２集塵ローラ１２ｆ表面から掻き取られる異物が回収され易い回転方向で駆動するとよい。

【0081】

第２集塵ローラ１２ｆには、集塵ブラシローラ１２ｅへの印加電圧よりも同極性かつ絶対値が高い電圧を印加する。これにより、第２集塵ローラ１２ｆ表面が集塵ブラシローラ１２ｅの外周側よりも電位が高くなるので、集塵ブラシローラ１２ｅに付着した異物が第２集塵ローラ１２ｆ表面に吸着され、第２集塵ローラ１２ｆに移動する。これにより、集塵ブラシローラ１２ｅに集積される異物の除去作業を省略又は軽減できる。

【0082】

具体的な第２集塵ローラ１２ｆへの印加電圧の下限としては、－１５００Ｖが好ましく、－１２００Ｖがより好ましい。一方、上記印加電圧の上限としては、－４００Ｖが好ましく、－６００Ｖがより好ましい。上記印加電圧を上記範囲内とすることで、集塵ブラシローラ１２ｅに付着した異物を第２集塵ローラ１２ｆの外周面に容易に吸着させることができる。

【0083】

また、第２集塵ローラ１２ｆへの印加電圧と集塵ブラシローラ１２ｅへの印加電圧との差の絶対値の下限としては、２００Ｖが好ましく、３００Ｖがより好ましい。一方、上記差の絶対値の上限としては、６００Ｖが好ましく、５００Ｖがより好ましい。上記差を上記範囲内とすることで、集塵ブラシローラ１２ｅに付着した異物を第２集塵ローラ１２ｆの外周面に効果的に吸着させることができる。

【0084】

第２スクレーパー１２ｇは、例えば矩形状の板であり、軸方向に亘って第２集塵ローラ１２ｆ表面に接触可能な部分を有している。第２スクレーパー１２ｇは、例えば第１スクレーパー１２ｄと同様のものを用いることができるので、詳細説明を省略する。

【0085】

（裏側クリーニングユニット）
裏側クリーニングユニット１３は、図３に示すように、第２ブラシローラ１３ａと平行に配設され、表面を帯電させた状態で第２ブラシローラ１３ａの外周側に接触させる第１集塵ローラ１３ｃと、第１集塵ローラ１３ｃ表面に付着した異物を掻き取る第１スクレーパー１３ｄとを備えてもよい。

【0086】

また、裏側クリーニングユニット１３は、図３に示すように、帯電かつ回転駆動させつつ第２クリーニングローラ１３ｂ表面に接触させる集塵ブラシローラ１３ｅと、集塵ブラシローラ１３ｅと平行に配設され、表面を帯電させた状態で集塵ブラシローラ１３ｅの外周側に接触させる第２集塵ローラ１３ｆと、第２集塵ローラ１３ｆ表面に付着した異物を掻き取る第２スクレーパー１３ｇとを備えてもよい。

【0087】

各構成要素は、表側クリーニングユニット１２の対応する構成要素と同様であるので、詳細説明を省略する。

【0088】

（異物回収部）
第１スクレーパー１２ｄ、１３ｄや第２スクレーパー１２ｇ、１３ｇの下方には異物回収部１２ｈ、１３ｈが設けられている。なお、表側クリーニングユニット１２の第１スクレーパー１２ｄのように直下に異物回収部１２ｈを設けることが困難である場合、異物誘導板１２ｉを利用してもよい。

【0089】

異物誘導板１２ｉは、例えば矩形状の板であり、図３に示すように、表側クリーニングユニット１２の第１スクレーパー１２ｄの直下から後述する異物回収部１２ｈの直上に亘って、一方の面が上方に向くように配設されている。また、異物誘導板１２ｉは異物回収部１２ｈ側が下がるように傾斜して設けられている。この配置により、第１スクレーパー１２ｄにより掻き取られた異物は、第１異物誘導板１２ｉの表面に落下し、異物誘導板１２ｉの傾斜によって異物回収部１２ｈの直上に誘導され、異物回収部１２ｈに落下して回収される。

【0090】

異物回収部１２ｈ、１３ｈは、第１スクレーパー１２ｄ、１３ｄや第２スクレーパー１２ｇ、１３ｇ、傾斜して設けられる異物誘導板１２ｉの下端の直下等に設けられており、これらから落下する異物を回収する。異物回収部１２ｈ、１３ｈは、図３に示すように、１つのスクレーパーや異物誘導板１２ｉに対して１つずつ設けられてもよいが、１つの異物回収部１２ｈ、１３ｈで２箇所以上からの異物を回収するように設けてもよい。

【0091】

異物回収部１２ｈ、１３ｈの形状は、特に限定されないが、皿状、すなわち端部が上方へ屈曲した平板とすることが好ましい。異物回収部１２ｈ、１３ｈの形状を皿状とすることで、回収した異物が異物回収部１２ｈ、１３ｈの外へ散逸することを抑止できる。

【0092】

異物回収部１２ｈ、１３ｈに回収された異物は、クリーニングユニット１０の外部へ排出される。異物の排出方法としては、吸引装置により排出する方法やブラシ等により掃き出す方法などを採用することができる。

【0093】

＜クリーニング装置の動作＞
当該クリーニング装置１では、クリーニングユニット１０が移動することにより異物の除去が行われる。以下に、当該クリーニング装置１の動作について説明する。

【0094】

まず、当該クリーニング装置１では、第１対象物Ｓ１及び第２対象物Ｓ２をそれぞれ第１固定具２１及び第２固定具２２に固定する。第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａ及び第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂが異物除去の対象となる。このとき、クリーニングユニット１０は、第１固定具２１及び第２固定具２２に対して通過方向（図１の矢印の方向）の上流側に位置している。

【0095】

この状態で、クリーニングユニット１０は、通過方向に移動する。図１に示すクリーニング装置１では、クリーニングユニット１０は、最初に第１固定具２１に固定されている第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａに接触する。具体的には、第１ブラシローラ１２ａ及び第１クリーニングローラ１２ｂがこの順に接触し、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａを通過していく。図１はこの状態を示している。

【0096】

なお、第１ブラシローラ１２ａ及び第１クリーニングローラ１２ｂが第１対象物Ｓ１に接触する際は、まず第１対象物Ｓ１の側面に当接することになるが、第１ブラシローラ１２ａにあっては、ブラシ毛が当接するため、上記ブラシ毛の可撓性により第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａに乗り上げることができる。また、第１クリーニングローラ１２ｂにあっては、第１対象物Ｓ１の側面に当接すると、上述の付勢具１５により第１クリーニングローラ１２ｂの回転軸１４が持ち上げられ、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａに乗り上げることができる。そして、第１ブラシローラ１２ａ及び第１クリーニングローラ１２ｂが第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａを通過する際には、第１ブラシローラ１２ａは上記ブラシ毛の弾性により、第１クリーニングローラ１２ｂでは付勢具１５の付勢により、適度な押圧が加えられるため、異物除去効率を高められる。

【0097】

さらに、クリーニングユニット１０が通過方向に移動すると、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａの異物除去が完了し（すなわち、第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａ上の通過を完了し）、第２固定具２２に固定されている第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂに接触する。具体的には、第２ブラシローラ１３ａ及び第２クリーニングローラ１３ｂがこの順に接触し、第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂを通過していく。

【0098】

第２ブラシローラ１３ａ及び第２クリーニングローラ１３ｂが第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂを通過していく点以外は、第１対象物Ｓ１の場合と同様であるので、詳細説明を省略する。

【0099】

第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂの異物除去が完了すると（すなわち、第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂ上の通過を完了すると）、クリーニングユニット１０は当初の位置（第１固定具２１及び第２固定具２２に対して通過方向の上流側の位置）に戻る。つまり、クリーニングユニット１０は通過方向とは逆向きに移動する。

【0100】

このとき、第１固定具２１及び第２固定具２２は、退避位置に移動し、第１ブラシローラ１２ａ等が第１対象物Ｓ１や第２対象物Ｓ２に接触しないことが好ましい。また、第１固定具２１及び第２固定具２２が退避位置に移動している間に、第１対象物Ｓ１及び第２対象物Ｓ２を新たな対象物に交換しておくとよい。このようにクリーニングユニット１０が当初の位置に移動している間に対象物を交換しておくことで、異物除去効率を高められる。なお、この交換において、第１対象物Ｓ１を第２対象物Ｓ２とすることで、同一の対象物の両面の異物除去を行うことができる。

【0101】

以下、同様の手順を繰り返すことで、当該クリーニング装置１は、異物の除去を連続して行うことができる。

【0102】

＜利点＞
当該クリーニング装置１は、対象物を固定し、ブラシローラ及びクリーニングローラを移動させることで対象物の各面の異物を除去する。つまり、対象物を移動させるための外部搬送機構を必要としないため、当該クリーニング装置１はコンパクトに設計することが可能であり、設置スペースを削減できる。

【0103】

［その他の実施形態］
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、上記態様の他、種々の変更、改良を施した態様で実施することができる。

【0104】

上記実施形態では、クリーニングユニットが、表側クリーニングユニットと、裏側クリーニングユニットとが着脱可能にユニット化されている場合を説明したが、このようなユニット化は必須の構成ではない。表側クリーニングユニット及び裏側クリーニングユニットの各構成要素が筐体内部に固定して配設されているクリーニング装置も本発明の意図するところである。

【0105】

上記実施形態では、クリーニングユニットが表側クリーニングユニットと、裏側クリーニングユニットとを共に備える場合を説明したが、表側クリーニングユニットのみあるいは裏側クリーニングユニットのみを備えるクリーニング装置も本発明の意図するところである。

【0106】

上記実施形態では、クリーニングローラが、その回転軸を付勢する付勢具を有している場合を説明したが、付勢具は必須の構成要素ではない。付勢具を有さないクリーニング装置にあっては、上記回転軸は移動不可能に固定されていることが好ましい。このようなクリーニング装置では、クリーニングローラが対象物の側面に当接した場合、クリーニングローラの回転力により対象物の表面に乗り上げることになる。

【0107】

また、異物除去を行う手段は上記実施形態の集塵ローラ等を用いる構成に限定されるものではなく、他の構成を採用することもできる。

【0108】

上記実施形態では、クリーニングユニットが一方向へ移動する際に第１対象物の表面と第２対象物の裏面との異物を除去する場合を説明したが、図６に示すクリーニング装置２のように、一方向（図６の矢印の方向）へ移動する際に第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａの異物除去を行い、逆方向（図６の矢印の方向と反対の方向）へ移動する際に第２対象物Ｓ２の裏面Ｓ２ｂの異物除去を行う構成とすることもできる。つまり、第１ブラシローラ１２ａ及び第１クリーニングローラ１２ｂが、対象物の一方の面を通過する方向と、他のブラシローラ及び他のクリーニングローラである第２ブラシローラ１３ａ及び第２クリーニングローラ１３ｂが、対象物の他方の面を通過する方向とが逆方向である。このような構成のクリーニング装置２にあっては、表側クリーニングユニット１２の第１ブラシローラ１２ａ及び第１クリーニングローラ１２ｂの並び順と、裏側クリーニングユニット１３の第２ブラシローラ１３ａ及び第２クリーニングローラ１３ｂの並び順とが逆になる点を除き、図１に示すクリーニング装置１と同様に構成することができるので、同一符号を付して詳細説明は省略する。

【0109】

図６に示すようにクリーニング装置２を構成すると、クリーニングユニット１０を一方向に移動する際に、第１固定具２１に固定された第１対象物Ｓ１の表面Ｓ１ａの異物除去を行い、クリーニングユニット１０が第１対象物Ｓ１を通過後に、第１対象物Ｓ１を第２固定具２２に移動させて固定した後、クリーニングユニット１０を逆方向に移動させると、第２固定具２２に固定された第１対象物Ｓ１の裏面Ｓ１ｂの異物除去を行うことができる。つまり、クリーニングユニット１０の一度の往復で、同一対象物の表面と裏面との異物除去を行うことができるので、異物除去効率を高められる。

【産業上の利用可能性】

【0110】

以上説明したように、本発明のクリーニング装置は、設置スペースを削減できる。

【符号の説明】

【0111】

１、２ クリーニング装置
１０ クリーニングユニット
１１ 筐体
１１ａ 第１面
１１ｂ 第２面
１２ 表側クリーニングユニット
１２ａ 第１ブラシローラ
１２ｂ 第１クリーニングローラ
１２ｃ 第１集塵ローラ
１２ｄ 第１スクレーパー
１２ｅ 集塵ブラシローラ
１２ｆ 第２集塵ローラ
１２ｇ 第２スクレーパー
１２ｈ 異物回収部
１２ｉ 異物誘導板
１３ 裏側クリーニングユニット
１３ａ 第２ブラシローラ
１３ｂ 第２クリーニングローラ
１３ｃ 第１集塵ローラ
１３ｄ 第１スクレーパー
１３ｅ 集塵ブラシローラ
１３ｆ 第２集塵ローラ
１３ｇ 第２スクレーパー
１３ｈ 異物回収部
１４ 回転軸
１５ 付勢具
１５ａ リング
１５ｂ スプリング
１６ 側壁
１７ 第１ギア
１７ａ 第１ギア用貫通孔
１８ 第２ギア
１８ａ 第２ギア用貫通孔
１９ 第３ギア
１９ａ 第３ギア用貫通孔
２０ 固定具
２１ 第１固定具
２２ 第２固定具
Ｓ１ 第１対象物
Ｓ２ 第２対象物
Ｓ１ａ、Ｓ２ａ 表面
Ｓ１ｂ、Ｓ２ｂ 裏面
Ｌ 直線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】