特開2024-101912現像廃液中の水酸化テトラメチルアンモニウムを回収して含窒素化合物を除去する方法及びその装置

発明の名称　現像廃液中の水酸化テトラメチルアンモニウムを回収して含窒素化合物を除去する方法及びその装置

出願人　三福化工股▲分▼有限公司　（識別番号 597033177）

　　　　特許公開件数ランキング 30110 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24267 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2024-101912

公報発行日　2024年7月30

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2024-101912

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2024-101912「現像廃液中の水酸化テトラメチルアンモニウムを回収して含窒素化合物を除去する方法及びその装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録