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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024102775
(43)【公開日】2024-07-31
(54)【発明の名称】シリンダ装置
(51)【国際特許分類】
F15B 15/14 20060101AFI20240724BHJP
【ＦＩ】
F15B15/14 A
F15B15/14 380B
【審査請求】未請求
【請求項の数】5
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023006899
(22)【出願日】2023-01-19
(71)【出願人】
【識別番号】000005175
【氏名又は名称】藤倉コンポジット株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100177231
【弁理士】
【氏名又は名称】鴨志田 伸一
(72)【発明者】
【氏名】落部 奨之
【テーマコード（参考）】
3H081
【Ｆターム（参考）】
3H081AA12
3H081CC23
3H081DD32
(57)【要約】
【課題】本発明は、１つの連通孔から１つの収容室に外部からの流体を送り込む構成によって複数のピストン部を移動させることができるシリンダ装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明のシリンダ装置１０は、第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４を含むピストン部３０と、連通孔ＣＨ１が形成されている筒状壁２２２及び底壁２２４を有し、ピストン部３０とで連通孔ＣＨ１を介して送り込まれる流体を収容する収容室ＣＳを形成するシリンダ部２０と、を備え、連通孔ＣＨ１を介して外部から収容室ＣＳに流体が送り込まれると、底壁２２４にそれぞれの静荷重を作用させて接触していた第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４を、それぞれの静荷重を底壁２２４に対する対向面積で除した静荷重圧が小さい順に底壁２２４から離れた位置に移動させる。
【選択図】図２
【解決手段】本発明のシリンダ装置１０は、第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４を含むピストン部３０と、連通孔ＣＨ１が形成されている筒状壁２２２及び底壁２２４を有し、ピストン部３０とで連通孔ＣＨ１を介して送り込まれる流体を収容する収容室ＣＳを形成するシリンダ部２０と、を備え、連通孔ＣＨ１を介して外部から収容室ＣＳに流体が送り込まれると、底壁２２４にそれぞれの静荷重を作用させて接触していた第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４を、それぞれの静荷重を底壁２２４に対する対向面積で除した静荷重圧が小さい順に底壁２２４から離れた位置に移動させる。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
軸方向に沿う貫通孔が形成されている第１ピストン部、及び、前記貫通孔に嵌め込まれ、前記第１ピストン部に対し前記軸方向に沿って相対移動する第２ピストン部を含むピストン部と、
外部と内部とを連通する連通孔が形成されている筒状壁、及び、前記筒状壁の一端側を塞ぐ底壁を有し、自身に対し前記第１ピストン部が前記軸方向に沿って相対移動するように内部に前記第１ピストン部が嵌め込まれているシリンダ部であって、前記ピストン部とで前記連通孔を介して外部から送り込まれる流体を収容する収容室を形成するシリンダ部と、
を備え、
前記連通孔を介して外部から前記収容室に流体が送り込まれると、前記底壁にそれぞれの静荷重を作用させて接触していた前記第１ピストン部及び前記第２ピストン部を、それぞれの静荷重を前記底壁に対するそれぞれの対向面積で除した静荷重圧が小さい順に前記底壁から離れた位置に移動させる、
シリンダ装置。
外部と内部とを連通する連通孔が形成されている筒状壁、及び、前記筒状壁の一端側を塞ぐ底壁を有し、自身に対し前記第１ピストン部が前記軸方向に沿って相対移動するように内部に前記第１ピストン部が嵌め込まれているシリンダ部であって、前記ピストン部とで前記連通孔を介して外部から送り込まれる流体を収容する収容室を形成するシリンダ部と、
を備え、
前記連通孔を介して外部から前記収容室に流体が送り込まれると、前記底壁にそれぞれの静荷重を作用させて接触していた前記第１ピストン部及び前記第２ピストン部を、それぞれの静荷重を前記底壁に対するそれぞれの対向面積で除した静荷重圧が小さい順に前記底壁から離れた位置に移動させる、
シリンダ装置。
【請求項2】
前記第１ピストン部の静荷重圧は、前記第２ピストン部の静荷重圧よりも小さく設定されている、
請求項１に記載のシリンダ装置。
請求項１に記載のシリンダ装置。
【請求項3】
前記筒状壁の内周面には、前記軸方向に沿って移動する前記第１ピストン部に接触して前記第１ピストン部の前記軸方向への移動を制限する段差面が形成されており、
前記第２ピストン部の静荷重圧は、前記連通孔を介して外部から前記収容室に流体が送り込まれて前記第１ピストン部が前記底壁との接触位置から前記段差面との接触位置まで移動する期間、前記第２ピストン部が前記第１ピストン部とともに移動するように設定されている、
請求項２に記載のシリンダ装置。
前記第２ピストン部の静荷重圧は、前記連通孔を介して外部から前記収容室に流体が送り込まれて前記第１ピストン部が前記底壁との接触位置から前記段差面との接触位置まで移動する期間、前記第２ピストン部が前記第１ピストン部とともに移動するように設定されている、
請求項２に記載のシリンダ装置。
【請求項4】
前記底壁に対する前記第１ピストン部及び前記第２ピストン部の対向面の一方又は両方には、前記連通孔を介して外部から前記収容室に送り込まれる流体が入り込む、少なくとも１つ以上の凹みが形成されている、
請求項１～３のいずれか一項に記載のシリンダ装置。
請求項１～３のいずれか一項に記載のシリンダ装置。
【請求項5】
更に、前記第１ピストン部及び前記第２ピストン部の一方又は両方を前記底壁に押し付ける、少なくとも１つ以上の押し付け部を備える、
請求項１～３のいずれか一項に記載のシリンダ装置。
請求項１～３のいずれか一項に記載のシリンダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、シリンダ装置に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、その図１、図２等に示されるように、第１ピストン部と、第１ピストン部の軸方向の延長線上に配置されている第２ピストン部とを備え、各ピストン部のピストンロッド（第１ピストンロッド及び第２ピストンロッド）を軸方向に移動させる多段シリンダ装置が開示されている。
具体的に、この多段シリンダ装置は、第１シリンダチューブと、第１シリンダチューブ内に設けられ、内部に空洞を有する第１ピストンと、第１ピストンの空洞と連通して形成された空洞を有しかつ第１ピストンと一体に形成された第１ピストンロッドと、第１ピストンの空洞及び第１ピストンロッドの空洞からなる小シリンダチューブと、第１シリンダチューブと異なる第２シリンダチューブと、第２シリンダチューブ内に設けられた第２ピストンと、第２ピストンと一体に形成され、前記小シリンダチューブ内を移動する第２ピストンロッドと、を備えている（特許文献１の請求項１、図１等参照）。
なお、この多段シリンダ装置は、各ピストン部を軸方向に移動させるための各収容室（第１シリンダチューブ内の空洞、第２シリンダチューブ内の空洞）に、それぞれに連通する各注入部を介して外部からの空気を送り込む構成を採用している（特許文献１の図２、図４等参照）。
具体的に、この多段シリンダ装置は、第１シリンダチューブと、第１シリンダチューブ内に設けられ、内部に空洞を有する第１ピストンと、第１ピストンの空洞と連通して形成された空洞を有しかつ第１ピストンと一体に形成された第１ピストンロッドと、第１ピストンの空洞及び第１ピストンロッドの空洞からなる小シリンダチューブと、第１シリンダチューブと異なる第２シリンダチューブと、第２シリンダチューブ内に設けられた第２ピストンと、第２ピストンと一体に形成され、前記小シリンダチューブ内を移動する第２ピストンロッドと、を備えている（特許文献１の請求項１、図１等参照）。
なお、この多段シリンダ装置は、各ピストン部を軸方向に移動させるための各収容室（第１シリンダチューブ内の空洞、第２シリンダチューブ内の空洞）に、それぞれに連通する各注入部を介して外部からの空気を送り込む構成を採用している（特許文献１の図２、図４等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０１７－１８７０８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１に開示されている多段シリンダ装置は、２つのピストン部を多段伸縮構造とすることで小型化を実現できている。しかしながら、各ピストン部を軸方向に移動させる作用力を発生させる収容室及び当該収容室に外部からの空気を送り込む注入部がピストン部毎に備えられている。そのため、この多段シリンダ装置は、機械構成が複雑であり、この技術思想のもとで更に小型化するには限界がある。
【0005】
本発明は、１つの連通孔から１つの収容室に外部からの流体を送り込む構成によって複数のピストン部を移動させることができるシリンダ装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
第１態様のシリンダ装置は、
軸方向に沿う貫通孔が形成されている第１ピストン部、及び、前記貫通孔に嵌め込まれ、前記第１ピストン部に対し前記軸方向に沿って相対移動する第２ピストン部を含むピストン部と、
外部と内部とを連通する連通孔が形成されている筒状壁、及び、前記筒状壁の一端側を塞ぐ底壁を有し、自身に対し前記第１ピストン部が前記軸方向に沿って相対移動するように内部に前記第１ピストン部が嵌め込まれているシリンダ部であって、前記ピストン部とで前記連通孔を介して外部から送り込まれる流体を収容する収容室を形成するシリンダ部と、
を備え、
前記連通孔を介して外部から前記収容室に流体が送り込まれると、前記底壁にそれぞれの静荷重を作用させて接触していた前記第１ピストン部及び前記第２ピストン部を、それぞれの静荷重を前記底壁に対するそれぞれの対向面積で除した静荷重圧が小さい順に前記底壁から離れた位置に移動させる。
軸方向に沿う貫通孔が形成されている第１ピストン部、及び、前記貫通孔に嵌め込まれ、前記第１ピストン部に対し前記軸方向に沿って相対移動する第２ピストン部を含むピストン部と、
外部と内部とを連通する連通孔が形成されている筒状壁、及び、前記筒状壁の一端側を塞ぐ底壁を有し、自身に対し前記第１ピストン部が前記軸方向に沿って相対移動するように内部に前記第１ピストン部が嵌め込まれているシリンダ部であって、前記ピストン部とで前記連通孔を介して外部から送り込まれる流体を収容する収容室を形成するシリンダ部と、
を備え、
前記連通孔を介して外部から前記収容室に流体が送り込まれると、前記底壁にそれぞれの静荷重を作用させて接触していた前記第１ピストン部及び前記第２ピストン部を、それぞれの静荷重を前記底壁に対するそれぞれの対向面積で除した静荷重圧が小さい順に前記底壁から離れた位置に移動させる。
【0007】
第２態様のシリンダ装置は、
第１態様のシリンダ装置において、
前記第１ピストン部の静荷重圧は、前記第２ピストン部の静荷重圧よりも小さく設定されている。
第１態様のシリンダ装置において、
前記第１ピストン部の静荷重圧は、前記第２ピストン部の静荷重圧よりも小さく設定されている。
【0008】
第３態様のシリンダ装置は、
第２態様のシリンダ装置において、
前記筒状壁の内周面には、前記軸方向に沿って移動する前記第１ピストン部に接触して前記第１ピストン部の前記軸方向への移動を制限する段差面が形成されており、
前記第２ピストン部の静荷重圧は、前記連通孔を介して外部から前記収容室に流体が送り込まれて前記第１ピストン部が前記底壁との接触位置から前記段差面との接触位置まで移動する期間、前記第２ピストン部が前記第１ピストン部とともに移動するように設定されている。
第２態様のシリンダ装置において、
前記筒状壁の内周面には、前記軸方向に沿って移動する前記第１ピストン部に接触して前記第１ピストン部の前記軸方向への移動を制限する段差面が形成されており、
前記第２ピストン部の静荷重圧は、前記連通孔を介して外部から前記収容室に流体が送り込まれて前記第１ピストン部が前記底壁との接触位置から前記段差面との接触位置まで移動する期間、前記第２ピストン部が前記第１ピストン部とともに移動するように設定されている。
【0009】
第４態様のシリンダ装置は、
第１～第３態様のいずれか一態様のシリンダ装置において、
前記底壁に対する前記第１ピストン部及び前記第２ピストン部の対向面の一方又は両方には、前記連通孔を介して外部から前記収容室に送り込まれる流体が入り込む、少なくとも１つ以上の凹みが形成されている。
第１～第３態様のいずれか一態様のシリンダ装置において、
前記底壁に対する前記第１ピストン部及び前記第２ピストン部の対向面の一方又は両方には、前記連通孔を介して外部から前記収容室に送り込まれる流体が入り込む、少なくとも１つ以上の凹みが形成されている。
【0010】
第５態様のシリンダ装置は、
第１～第３態様のいずれか一態様のシリンダ装置において、
更に、前記第１ピストン部及び前記第２ピストン部の一方又は両方を前記底壁に押し付ける、少なくとも１つ以上の押し付け部を備える。
第１～第３態様のいずれか一態様のシリンダ装置において、
更に、前記第１ピストン部及び前記第２ピストン部の一方又は両方を前記底壁に押し付ける、少なくとも１つ以上の押し付け部を備える。
【発明の効果】
【0011】
第１態様のシリンダ装置は、１つの連通孔から１つの収容室に外部からの流体を送り込む構成によって複数のシリンダ部を移動させることができる。
【0012】
第２態様のシリンダ装置は、第１ピストン部を第２ピストン部よりも先に又は同時に移動させることができる。
【0013】
第３態様のシリンダ装置は、第１ピストン部を段差面との接触位置まで移動させてから第２ピストン部を更に移動させることができる。
【0014】
第４態様のシリンダ装置は、第１ピストン部又は２ピストン部の対向面が平面である場合に比べて、第１ピストン部又は第２ピストン部を効率的に移動させることができる。
【0015】
第５態様のシリンダ装置は、押し付け部を備えることで、第１ピストン部又は第２ピストン部の移動速度を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明の実施の形態（以下、本実施形態という。）のシリンダ装置の図であって、ピストン部が最小位置で停止している場合の斜視図である。
【図3】本実施形態のシリンダ装置の図であって、ピストン部が最小位置から移動して中間位置に到達した場合の断面図である。
【図4】本実施形態のシリンダ装置の図であって、ピストン部が中間位置から移動して最大位置に到達した場合の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
≪概要≫
以下、本実施形態及びその複数の変形例について説明する。まず、本実施形態について説明する。次いで、複数の変形例について説明する。本明細書では、異なる実施形態等で参照する各図面において、同等の機能を有する構成要素に対して同じ符号又は同等の符号を付する点に留意されたい。
以下、本実施形態及びその複数の変形例について説明する。まず、本実施形態について説明する。次いで、複数の変形例について説明する。本明細書では、異なる実施形態等で参照する各図面において、同等の機能を有する構成要素に対して同じ符号又は同等の符号を付する点に留意されたい。
【0018】
≪本実施形態≫
最初に本実施形態のシリンダ装置１０（図１、図２等参照）における機能及び構成について説明し、次いで本実施形態のシリンダ装置１０の動作について説明し、最後に本実施形態のシリンダ装置１０の効果について説明する。
最初に本実施形態のシリンダ装置１０（図１、図２等参照）における機能及び構成について説明し、次いで本実施形態のシリンダ装置１０の動作について説明し、最後に本実施形態のシリンダ装置１０の効果について説明する。
【0019】
＜本実施形態のシリンダ装置１０の機能及び構成＞
図１は、本実施形態のシリンダ装置１０の図であって、ピストン部３０が最小位置で停止している場合の斜視図である。図２は、図１のII－II切断線で切断したシリンダ装置１０の断面図である。図３は、ピストン部３０が最小位置から移動して中間位置に到達した場合のシリンダ装置１０の断面図である。図４は、ピストン部３０が中間位置から移動して最大位置に到達した場合のシリンダ装置１０の断面図である。ここで、本実施形態のシリンダ装置１０は、一例として、図中の一点鎖線ＣＬを軸（軸ＣＬ）とする略対称形状である。最小位置、中間位置及び最大位置の技術的意義については後述する。
図１は、本実施形態のシリンダ装置１０の図であって、ピストン部３０が最小位置で停止している場合の斜視図である。図２は、図１のII－II切断線で切断したシリンダ装置１０の断面図である。図３は、ピストン部３０が最小位置から移動して中間位置に到達した場合のシリンダ装置１０の断面図である。図４は、ピストン部３０が中間位置から移動して最大位置に到達した場合のシリンダ装置１０の断面図である。ここで、本実施形態のシリンダ装置１０は、一例として、図中の一点鎖線ＣＬを軸（軸ＣＬ）とする略対称形状である。最小位置、中間位置及び最大位置の技術的意義については後述する。
【0020】
本実施形態のシリンダ装置１０は、シリンダ部２０と、ピストン部３０とを備える。
ピストン部３０は、シリンダ部２０に対し軸方向の定められた移動範囲を往復移動するように構成されている。また、ピストン部３０は、軸ＣＬを軸として配置される複数のピストン部（一例として、第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）を有しており、第１ピストン部３２と第２ピストン部３４とは、伸縮型の釣り竿のように、一方が他方に対して相対移動可能に構成されている（図２～図４参照）。すなわち、本実施形態のシリンダ装置１０は、複数のピストン部が軸方向に伸縮する多段シリンダ装置である。
ピストン部３０は、シリンダ部２０に対し軸方向の定められた移動範囲を往復移動するように構成されている。また、ピストン部３０は、軸ＣＬを軸として配置される複数のピストン部（一例として、第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）を有しており、第１ピストン部３２と第２ピストン部３４とは、伸縮型の釣り竿のように、一方が他方に対して相対移動可能に構成されている（図２～図４参照）。すなわち、本実施形態のシリンダ装置１０は、複数のピストン部が軸方向に伸縮する多段シリンダ装置である。
【0021】
〔シリンダ部〕
シリンダ部２０は、図１、図２等に示されるように、一例として、円筒状の部材である。シリンダ部２０は、有底筒部２２と、円筒部２４と、第１ピストン用エアベアリングＡＢ１とを有し、その内部にピストン部３０が嵌め込まれている。シリンダ部２０は、ピストン部３０とで外部から送り込まれる流体を収容する収容室ＣＳを形成するように構成されている（図２～図４参照）。
シリンダ部２０は、図１、図２等に示されるように、一例として、円筒状の部材である。シリンダ部２０は、有底筒部２２と、円筒部２４と、第１ピストン用エアベアリングＡＢ１とを有し、その内部にピストン部３０が嵌め込まれている。シリンダ部２０は、ピストン部３０とで外部から送り込まれる流体を収容する収容室ＣＳを形成するように構成されている（図２～図４参照）。
【0022】
（有底筒部）
有底筒部２２は、図２，図３等に示されるように、筒状壁２２２と、底壁２２４とを有する。
筒状壁２２２には、外部と内部とを連通する連通孔ＣＨ１が形成されている。連通孔ＣＨ１には、一例として、外部から収容室ＣＳに圧縮空気（流体の一例）を送り込むコンプレッサの排出部（図示省略）が連結されるようになっている。
底壁２２４は、一例として、円盤状で、筒状壁２２２の一端側に配置されている。底壁２２４は、筒状壁２２２の一端側の内周面に全周に亘って形成された凹みに嵌め込まれたＯリングＯＲ１を、筒状壁２２２とで加圧しながら筒状壁２２２の一端側の開口を塞いでいる。
なお、底壁２２４の他端面における径方向の外側の部分には、後述する第１ピストン３２２の底面３２２Ａ及び第２ピストン３４２の底面３４２Ａに接触して、ピストン部３０と底壁２２４（有底筒部２２）とで空間を形成するためのスペーサＳＳが設けられている。この空間には、連通孔ＣＨ１を介して前述のコンプレッサ（図示省略）から圧縮空気が送り込まれるように構成されている。この空間は、圧縮空気の流入量によりピストン部３０を移動させることで、その容積が変化するが、この空間が前述の収容室ＣＳに相当する。
有底筒部２２は、図２，図３等に示されるように、筒状壁２２２と、底壁２２４とを有する。
筒状壁２２２には、外部と内部とを連通する連通孔ＣＨ１が形成されている。連通孔ＣＨ１には、一例として、外部から収容室ＣＳに圧縮空気（流体の一例）を送り込むコンプレッサの排出部（図示省略）が連結されるようになっている。
底壁２２４は、一例として、円盤状で、筒状壁２２２の一端側に配置されている。底壁２２４は、筒状壁２２２の一端側の内周面に全周に亘って形成された凹みに嵌め込まれたＯリングＯＲ１を、筒状壁２２２とで加圧しながら筒状壁２２２の一端側の開口を塞いでいる。
なお、底壁２２４の他端面における径方向の外側の部分には、後述する第１ピストン３２２の底面３２２Ａ及び第２ピストン３４２の底面３４２Ａに接触して、ピストン部３０と底壁２２４（有底筒部２２）とで空間を形成するためのスペーサＳＳが設けられている。この空間には、連通孔ＣＨ１を介して前述のコンプレッサ（図示省略）から圧縮空気が送り込まれるように構成されている。この空間は、圧縮空気の流入量によりピストン部３０を移動させることで、その容積が変化するが、この空間が前述の収容室ＣＳに相当する。
【0023】
（円筒部）
円筒部２４は、図１、図２等に示されるように、筒状壁２２２と同じ外径を有し、両端が開口している円筒である。
円筒部２４は、筒状壁２２２（又は有底筒部２２）の他端側に配置され、筒状壁２２２の他端のリング面に全周に亘って形成された凹みに嵌め込まれたＯリングＯＲ２を、筒状壁２２２とで加圧しながら筒状壁２２２との繋ぎ目を塞いでいる。また、円筒部２４は、筒状壁２２２との境界の内周面に周方向の全周に亘る凹みを形成して、当該凹みに嵌め込まれるリング板ＲＢを、筒状壁２２２とで把持している。なお、図２～図４に示されるように、リング板ＲＢの内径は、筒状壁２２２の内径よりも小さく設定されているため、リング板ＲＢの一部は、筒状壁２２２の内周面よりも内側に（軸ＣＬ側）にはみ出している。そのため、リング板ＲＢは、筒状壁２２２の内周面に対して段差を形成している。ここで、リング板ＲＢにおける軸方向の一端側を向く面を段差面ＲＢ１とする。
また、円筒部２４には、外部と内部とを連通する連通孔ＣＨ２が形成されている。連通孔ＣＨ２は、外部から円筒部２４の内側に圧縮空気を送り込むコンプレッサの排出部（図示省略）が連結されるようになっている。
円筒部２４は、図１、図２等に示されるように、筒状壁２２２と同じ外径を有し、両端が開口している円筒である。
円筒部２４は、筒状壁２２２（又は有底筒部２２）の他端側に配置され、筒状壁２２２の他端のリング面に全周に亘って形成された凹みに嵌め込まれたＯリングＯＲ２を、筒状壁２２２とで加圧しながら筒状壁２２２との繋ぎ目を塞いでいる。また、円筒部２４は、筒状壁２２２との境界の内周面に周方向の全周に亘る凹みを形成して、当該凹みに嵌め込まれるリング板ＲＢを、筒状壁２２２とで把持している。なお、図２～図４に示されるように、リング板ＲＢの内径は、筒状壁２２２の内径よりも小さく設定されているため、リング板ＲＢの一部は、筒状壁２２２の内周面よりも内側に（軸ＣＬ側）にはみ出している。そのため、リング板ＲＢは、筒状壁２２２の内周面に対して段差を形成している。ここで、リング板ＲＢにおける軸方向の一端側を向く面を段差面ＲＢ１とする。
また、円筒部２４には、外部と内部とを連通する連通孔ＣＨ２が形成されている。連通孔ＣＨ２は、外部から円筒部２４の内側に圧縮空気を送り込むコンプレッサの排出部（図示省略）が連結されるようになっている。
【0024】
（第１ピストン用エアベアリング）
第１ピストン用エアベアリングＡＢ１は、円筒形状を有し、円筒部２４の内周面のほぼ全体に嵌め込まれている（図２～図４参照）。第１ピストン用エアベアリングＡＢ１には、連通孔ＣＨ２を介して前述のコンプレッサから排出される圧縮空気が送り込まれて、後述する第１ピストンロッド３２４のベアリングとして機能する。
第１ピストン用エアベアリングＡＢ１は、円筒形状を有し、円筒部２４の内周面のほぼ全体に嵌め込まれている（図２～図４参照）。第１ピストン用エアベアリングＡＢ１には、連通孔ＣＨ２を介して前述のコンプレッサから排出される圧縮空気が送り込まれて、後述する第１ピストンロッド３２４のベアリングとして機能する。
【0025】
【0026】
（第１ピストン部）
第１ピストン部３２は、図２～図４に示されるように、シリンダ部２０の内部に嵌め込まれて配置されている。第１ピストン部３２には、軸ＣＬに沿って貫通する貫通孔ＴＨが形成されている。第１ピストン部３２は、第１ピストン３２２と、第１ピストンロッド３２４と、第２ピストン用エアベアリングＡＢ２とを有している。
第１ピストン３２２は、その中央に貫通孔ＴＨが形成されているリング状の円盤である。第１ピストン３２２は、その外径が筒状壁２２２の内径と同じ寸法（ただし、－公差）に設定され、軸方向の定められた範囲を移動可能となるように筒状壁２２２の内部に嵌め込まれている。ただし、前述のように第１ピストン３２２の外径が筒状壁２２２の内径と同じ寸法の設定ではなく、第１ピストン３２２の外径は筒状壁２２２の内径よりも小さく設定してもよい。
第１ピストンロッド３２４は、その中央に貫通孔ＴＨが形成されている長尺状の筒である。第１ピストンロッド３２４は、図２～図４に示されるように、第１ピストン３２２の他端面上に配置されている。本実施形態では、第１ピストンロッド３２４は、一例として、第１ピストン３２２と一体的に形成されている。第１ピストンロッド３２４の外径は、第１ピストン３２２の外径、リング板ＲＢの内径及び円筒部２４の内径よりも小さく設定されている。
第１ピストンロッド３２４における軸方向の他端側の部分には、外部と内部とを連通する連通孔ＣＨ３が形成されている。連通孔ＣＨ３は、外部から第１ピストンロッド３２４の内側（すなわち、貫通孔ＴＨ内の内側）に圧縮空気を送り込むコンプレッサの排出部（図示省略）が連結されるようになっている。また、第１ピストンロッド３２４の内周面における、連通孔ＣＨ３が形成されている部分よりも軸方向の一端側の部分には、周方向の全周に亘って内側に突出するリング状の突起ＰＪが形成されている。そのため、突起ＰＪは、第１ピストンロッド３２４の内周面における突起ＰＪよりも軸方向の一端側の部分に対して段差を形成している。ここで、突起ＰＪにおける軸方向の一端側を向く面を段差面ＰＪ１とする。
第１ピストン部３２は、図２～図４に示されるように、シリンダ部２０の内部に嵌め込まれて配置されている。第１ピストン部３２には、軸ＣＬに沿って貫通する貫通孔ＴＨが形成されている。第１ピストン部３２は、第１ピストン３２２と、第１ピストンロッド３２４と、第２ピストン用エアベアリングＡＢ２とを有している。
第１ピストン３２２は、その中央に貫通孔ＴＨが形成されているリング状の円盤である。第１ピストン３２２は、その外径が筒状壁２２２の内径と同じ寸法（ただし、－公差）に設定され、軸方向の定められた範囲を移動可能となるように筒状壁２２２の内部に嵌め込まれている。ただし、前述のように第１ピストン３２２の外径が筒状壁２２２の内径と同じ寸法の設定ではなく、第１ピストン３２２の外径は筒状壁２２２の内径よりも小さく設定してもよい。
第１ピストンロッド３２４は、その中央に貫通孔ＴＨが形成されている長尺状の筒である。第１ピストンロッド３２４は、図２～図４に示されるように、第１ピストン３２２の他端面上に配置されている。本実施形態では、第１ピストンロッド３２４は、一例として、第１ピストン３２２と一体的に形成されている。第１ピストンロッド３２４の外径は、第１ピストン３２２の外径、リング板ＲＢの内径及び円筒部２４の内径よりも小さく設定されている。
第１ピストンロッド３２４における軸方向の他端側の部分には、外部と内部とを連通する連通孔ＣＨ３が形成されている。連通孔ＣＨ３は、外部から第１ピストンロッド３２４の内側（すなわち、貫通孔ＴＨ内の内側）に圧縮空気を送り込むコンプレッサの排出部（図示省略）が連結されるようになっている。また、第１ピストンロッド３２４の内周面における、連通孔ＣＨ３が形成されている部分よりも軸方向の一端側の部分には、周方向の全周に亘って内側に突出するリング状の突起ＰＪが形成されている。そのため、突起ＰＪは、第１ピストンロッド３２４の内周面における突起ＰＪよりも軸方向の一端側の部分に対して段差を形成している。ここで、突起ＰＪにおける軸方向の一端側を向く面を段差面ＰＪ１とする。
【0027】
（第２ピストン用エアベアリング）
第２ピストン用エアベアリングＡＢ２は、円筒形状を有し、第１ピストンロッド３２４の内周面における他端側の部分に、突起ＰＪに位置決めされて嵌め込まれている（図２～図４参照）。第２ピストン用エアベアリングＡＢ２には、連通孔ＣＨ３を介して前述のコンプレッサから排出される圧縮空気が送り込まれて、後述する第２ピストンロッド３４４のベアリングとして機能する。
第２ピストン用エアベアリングＡＢ２は、円筒形状を有し、第１ピストンロッド３２４の内周面における他端側の部分に、突起ＰＪに位置決めされて嵌め込まれている（図２～図４参照）。第２ピストン用エアベアリングＡＢ２には、連通孔ＣＨ３を介して前述のコンプレッサから排出される圧縮空気が送り込まれて、後述する第２ピストンロッド３４４のベアリングとして機能する。
【0028】
（第２ピストン部）
第２ピストン部３４は、図２～図４に示されるように、第１ピストン部３２の第１ピストンロッド３２４の内部（貫通孔ＴＨ）に嵌め込まれている。そして、第２ピストン部３４は、第１ピストン部３２に対して、軸方向に相対移動可能とされている。
第２ピストン部３４は、第２ピストン３４２と、第２ピストンロッド３４４と、雄ねじＭＳとを有している。第２ピストン３４２と、第２ピストンロッド３４４とは、図２～図４に示されるように、軸方向の一端側から他端側にこれらの記載順で配置され、雄ねじＭＳと第２ピストンロッド３４４とが第２ピストン３４２を挟んでねじ締めされて一体的に固定されている。
第２ピストン３４２は、その外径が第１ピストン３２２及び第１ピストンロッド３２４の内径と同じ寸法（ただし、－公差）に設定され、軸方向の定められた範囲を移動可能となるように第１ピストン３２２及び第１ピストンロッド３２４の内部に嵌め込まれている。ただし、前述のように第２ピストン３４２の外径が第１ピストン３２２及び第１ピストンロッド３２４の内径と同じ寸法の設定ではなく、第２ピストン３４２の外径は第１ピストン３２２及び第１ピストンロッド３２４の内径よりも小さく設定してもよい。
第２ピストンロッド３４４は、図２に示されるように、軸方向の一端側で第１ピストン３２２と第２ピストン３４２とがスペーサＳＳに接触している状態において、第２ピストン用エアベアリングＡＢ２を貫通している。そのため、第２ピストンロッド３４４の外径は、第２ピストン用エアベアリングＡＢ２の内径よりも小さく設定されている。
第２ピストン部３４は、図２～図４に示されるように、第１ピストン部３２の第１ピストンロッド３２４の内部（貫通孔ＴＨ）に嵌め込まれている。そして、第２ピストン部３４は、第１ピストン部３２に対して、軸方向に相対移動可能とされている。
第２ピストン部３４は、第２ピストン３４２と、第２ピストンロッド３４４と、雄ねじＭＳとを有している。第２ピストン３４２と、第２ピストンロッド３４４とは、図２～図４に示されるように、軸方向の一端側から他端側にこれらの記載順で配置され、雄ねじＭＳと第２ピストンロッド３４４とが第２ピストン３４２を挟んでねじ締めされて一体的に固定されている。
第２ピストン３４２は、その外径が第１ピストン３２２及び第１ピストンロッド３２４の内径と同じ寸法（ただし、－公差）に設定され、軸方向の定められた範囲を移動可能となるように第１ピストン３２２及び第１ピストンロッド３２４の内部に嵌め込まれている。ただし、前述のように第２ピストン３４２の外径が第１ピストン３２２及び第１ピストンロッド３２４の内径と同じ寸法の設定ではなく、第２ピストン３４２の外径は第１ピストン３２２及び第１ピストンロッド３２４の内径よりも小さく設定してもよい。
第２ピストンロッド３４４は、図２に示されるように、軸方向の一端側で第１ピストン３２２と第２ピストン３４２とがスペーサＳＳに接触している状態において、第２ピストン用エアベアリングＡＢ２を貫通している。そのため、第２ピストンロッド３４４の外径は、第２ピストン用エアベアリングＡＢ２の内径よりも小さく設定されている。
【0029】
以上が、本実施形態のシリンダ装置１０の機能及び構成についての説明である。
【0030】
＜本実施形態のシリンダ装置の動作＞
次に、本実施形態のシリンダ装置１０の動作について、図２～図４を参照しながら説明する。以下、シリンダ装置１０は、一例として、軸方向の一端側を下方、他端側を上方に向けて配置されているとして説明する。
次に、本実施形態のシリンダ装置１０の動作について、図２～図４を参照しながら説明する。以下、シリンダ装置１０は、一例として、軸方向の一端側を下方、他端側を上方に向けて配置されているとして説明する。
【0031】
動作開始前の時点では、シリンダ装置１０を構成する、シリンダ部２０と、ピストン部３０（第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）とは、互いに、図２に示されるような位置の関係を有している。すなわち、第１ピストン部３２の第１ピストン３２２と、第２ピストン部３４の第２ピストン３４２とは、それぞれ、シリンダ部２０の底壁２２４のスペーサＳＳに接触している。この状態における、シリンダ部２０に対するピストン部３０の位置を、前述の最小位置という。ここで、第１ピストン部３２の質量をＭ１（ｋｇ）、第２ピストン部３４の質量をＭ２（ｋｇ）、重力加速度をｇ（ｍ／ｓ２）とすると、第１ピストン部３２は底壁２２４に対しＭ１×ｇ（ｋｇ・ｍ／ｓ２）の静荷重を作用させ、第２ピストン部３４は底壁２２４に対しＭ２×ｇ（ｋｇ・ｍ／ｓ２）の静荷重を作用させている。
【0032】
この状況のもと、連通孔ＣＨ１、ＣＨ２、ＣＨ３に連結されている各コンプレッサは、各連通孔ＣＨ１、ＣＨ２、ＣＨ３を介して、収容室ＣＳ、第１ピストン用エアベアリングＡＢ１及び第２ピストン用エアベアリングＡＢ２に圧縮空気の注入を開始する。
【0033】
その結果、第１ピストンロッド３２４は、第１ピストン用エアベアリングＡＢ１により負荷が低減された状態で支持され、第２ピストンロッド３４４は、第２ピストン用エアベアリングＡＢ２により負荷が低減された状態で支持される。
【0034】
これに対して、連通孔ＣＨ１を介して収容室ＣＳに圧縮空気が注入されると、第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４は、それぞれ、軸方向の一端側（下方側）から圧縮空気により加圧されて、他端側（上方側）に移動する。ここで、第１ピストン３２２の底面３２２Ａ（一例として平面）の面積をＳ１（ｍ２）、第２ピストン３４２の底面３４２Ａ（一例として平面）の面積をＳ２（ｍ２）とする。そうすると、静荷重がＭ１×ｇ（ｋｇ・ｍ／ｓ２）の第１ピストン部３２は、底面３２２Ａに、（Ｍ１×ｇ）／Ｓ１（ｋｇ・ｍ／ｓ２／ｍ２）を超える圧力が作用すると上方に移動する。また、静荷重がＭ２×ｇ（ｋｇ・ｍ／ｓ２）の第２ピストン部３４は、底面３４２Ａに、（Ｍ２×ｇ）／Ｓ２（ｋｇ・ｍ／ｓ２／ｍ２）を超える圧力が作用すると上方に移動する。それぞれの移動速度は、それぞれの質量の大きさ及び底面の大きさによる（質量が大きいほど遅く又は移動し難く、底面の面積が大きいほど速く又は移動し易い）。
【0035】
ここで、図３は、第１ピストン部３２の静荷重圧（Ｍ１×ｇ）／Ｓ１（ｋｇ・ｍ／ｓ２／ｍ２）と、第２ピストン部３４の静荷重圧（Ｍ２×ｇ）／Ｓ２（ｋｇ・ｍ／ｓ２／ｍ２）とが同じ場合、又は、第１ピストン部３２の静荷重圧（Ｍ１×ｇ）／Ｓ１（ｋｇ・ｍ／ｓ２／ｍ２）が第２ピストン部３４の静荷重圧（Ｍ２×ｇ）／Ｓ２（ｋｇ・ｍ／ｓ２／ｍ２）よりも小さい場合に、起こる状態である。この場合、第１ピストン部３２は、第１ピストン３２２がリング板ＲＢの段差面ＲＢ１に接触することでより上方への移動が制限されている。この場合のシリンダ部２０に対するピストン部３０の位置を、前述の中間位置（底壁２２４から離れた位置の一例）という。
【0036】
さらに、連通孔ＣＨ１を介してコンプレッサからの圧縮空気が注入されると、第２ピストン部３４は、段差面ＲＢ１により移動が制限されている第１ピストン部３２に対して更に上方に移動する。そして、さらに上方に移動した第２ピストン部３４は、図４に示されるように、第２ピストン３４２が突起ＰＪの段差面ＰＪ１に接触することでより上方への移動が制限される。この場合のシリンダ部２０に対するピストン部３０の位置を、前述の最大位置（底壁２２４から離れた位置の他の一例）という。
【0037】
以上が、ピストン部３０が最小位置の状態から中間位置の状態を経由して最大位置の状態に変化する動作についての説明である。
なお、最大位置の状態から最小位置の状態に変化する動作は、連通孔ＣＨ１から収容室ＣＳの内部の圧縮空気をリークすればよい。
なお、最大位置の状態から最小位置の状態に変化する動作は、連通孔ＣＨ１から収容室ＣＳの内部の圧縮空気をリークすればよい。
【0038】
以上が、本実施形態のシリンダ装置１０の動作についての説明である。
【0039】
＜本実施形態のシリンダ装置の効果＞
次に、本実施形態のシリンダ装置１０の効果について図面を参照しながら説明する。
次に、本実施形態のシリンダ装置１０の効果について図面を参照しながら説明する。
【0040】
〔第１の効果〕
前述の先行技術文献に開示されている多段シリンダ装置は、その図２～図４等に示されるように、各ピストン部を軸方向に移動させる作用力を発生させる収容室及び当該収容室に外部からの空気を送り込む注入部がピストン部毎に備えられている。つまり、この多段シリンダ装置は、機械構成が複雑である。
これに対して、実施形態のシリンダ装置１０は、図２～図４に示されるように、複数のピストン部（第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）を移動させるための作用力を発生させるための収容室ＣＳ及び連通孔ＣＨ１は第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４に共通である（複数の収容室ＣＳ及び連通孔ＣＨ１を必要としない）。
したがって、本実施形態のシリンダ装置１０は、１つの連通孔から１つの収容室に外部からの流体を送り込む構成によって複数のシリンダ部（第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）を移動させることができる。これに伴い、本実施形態のシリンダ装置１０は、前述の先行技術文献に開示されている多段シリンダ装置に比べて、小型化又は低コスト化ができる。
前述の先行技術文献に開示されている多段シリンダ装置は、その図２～図４等に示されるように、各ピストン部を軸方向に移動させる作用力を発生させる収容室及び当該収容室に外部からの空気を送り込む注入部がピストン部毎に備えられている。つまり、この多段シリンダ装置は、機械構成が複雑である。
これに対して、実施形態のシリンダ装置１０は、図２～図４に示されるように、複数のピストン部（第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）を移動させるための作用力を発生させるための収容室ＣＳ及び連通孔ＣＨ１は第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４に共通である（複数の収容室ＣＳ及び連通孔ＣＨ１を必要としない）。
したがって、本実施形態のシリンダ装置１０は、１つの連通孔から１つの収容室に外部からの流体を送り込む構成によって複数のシリンダ部（第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）を移動させることができる。これに伴い、本実施形態のシリンダ装置１０は、前述の先行技術文献に開示されている多段シリンダ装置に比べて、小型化又は低コスト化ができる。
【0041】
〔第２の効果〕
また、本実施形態の場合、前述の動作についての説明のとおり、各ピストン部（第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）の質量Ｍ１、Ｍ２及び底面３２２Ａ、３４２Ａの面積Ｓ１、Ｓ２（面積Ｓ１、Ｓ２は、各ピストン部の底壁２２４に対向する対向面積）の設定により、いずれのピストン部を先に移動させるかを設定することができる。
そのため、例えば、（１）第１ピストン部３２の質量Ｍ１が第２ピストン部３４の質量Ｍ２よりも小さく、かつ、（２）第１ピストン部３２の底面３２２Ａの面積Ｓ１が第２ピストン部３４の底面３４２Ａの面積Ｓ２よりも大きくなるように設定した場合、第１ピストン部３２を第２ピストン部３４よりも先に移動させることができる。また、この逆に設定した場合、第２ピストン部３４を第１ピストン部３２よりも先に移動させることができる。
以上のとおりであるから、本実施形態のシリンダ装置１０は、簡単な設定によって、第１ピストン部３２（又は第２ピストン部３４）を第２ピストン部３４（又は第１ピストン部３２）よりも先に又は同時に移動させることができる。
また、本実施形態の場合、前述の動作についての説明のとおり、各ピストン部（第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）の質量Ｍ１、Ｍ２及び底面３２２Ａ、３４２Ａの面積Ｓ１、Ｓ２（面積Ｓ１、Ｓ２は、各ピストン部の底壁２２４に対向する対向面積）の設定により、いずれのピストン部を先に移動させるかを設定することができる。
そのため、例えば、（１）第１ピストン部３２の質量Ｍ１が第２ピストン部３４の質量Ｍ２よりも小さく、かつ、（２）第１ピストン部３２の底面３２２Ａの面積Ｓ１が第２ピストン部３４の底面３４２Ａの面積Ｓ２よりも大きくなるように設定した場合、第１ピストン部３２を第２ピストン部３４よりも先に移動させることができる。また、この逆に設定した場合、第２ピストン部３４を第１ピストン部３２よりも先に移動させることができる。
以上のとおりであるから、本実施形態のシリンダ装置１０は、簡単な設定によって、第１ピストン部３２（又は第２ピストン部３４）を第２ピストン部３４（又は第１ピストン部３２）よりも先に又は同時に移動させることができる。
【0042】
〔第３の効果〕
また、本実施形態の場合、図３及び図４に示されるように、第１ピストン部３２は、第１ピストン３２２がリング板ＲＢの段差面ＲＢ１に接触することでより上方への移動が制限される。
したがって、本実施形態のシリンダ装置１０は、第１ピストン部３２を段差面ＲＢ１との接触位置まで移動させてから第２ピストン部３４を更に移動させることができる。
また、本実施形態の場合、図３及び図４に示されるように、第１ピストン部３２は、第１ピストン３２２がリング板ＲＢの段差面ＲＢ１に接触することでより上方への移動が制限される。
したがって、本実施形態のシリンダ装置１０は、第１ピストン部３２を段差面ＲＢ１との接触位置まで移動させてから第２ピストン部３４を更に移動させることができる。
【0043】
以上が本実施形態のシリンダ装置１０の効果についての説明である。また、以上が本実施形態についての説明である。
【0044】
≪複数の変形例≫
以上のとおり、本発明の一例について前述の実施形態を参照して説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。本発明の技術的範囲には、例えば、後述する複数の変形例も含まれる。
以上のとおり、本発明の一例について前述の実施形態を参照して説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。本発明の技術的範囲には、例えば、後述する複数の変形例も含まれる。
【0045】
前述の実施形態の説明では、収容室ＣＳに流入される流体の一例は圧縮空気（気体）であるとした。しかしながら、収容室ＣＳに流入されて第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４を軸方向の一端側から他端側に加圧することができれば、流体の一例は気体なくてもよい。例えば、流体の一例は、液体その他の流動体であってもよい。
【0046】
また、前述の実施形態の説明では、シリンダ部２０は一例として円筒状の部材であるとした（図１～図４参照）。しかしながら、シリンダ部２０の機能（ピストン部３０を嵌め込むこと及びピストン部３０とで収容室ＣＳを形成すること）を発揮できれば、その形状は円筒状でなくてもよい。例えば、シリンダ部２０の形状は、直方体状等その他の形状であってもよい。
【0047】
また、例えば、前述の実施形態の説明では、各ピストン部（第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）は、それぞれ、円盤状のピストンと円柱状のピストンロッドとで構成されているとした（図１～図４参照）。しかしながら、ピストン部３０の機能（軸方向の定められた範囲を移動すること及びシリンダ部２０とで収容室ＣＳを形成すること）を発揮できれば、その形状は円柱状等でなくてもよい。例えば、各ピストン部（第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）の形状は、直方体状等その他の形状であってもよい。
【0048】
また、前述の実施形態の説明では、シリンダ装置１０は複数のピストン部を伸縮させる多段シリンダ装置であるとした。そして、具体的には、複数のピストン部は、第１ピストン部３２と第２ピストン部３４とで構成されるとした（図２～図４参照）。しかしながら、シリンダ装置１０が備える複数のシリンダ部の数は、３個以上であってもよい。例えば、前述の実施形態における第２ピストン部３４を第１ピストン部３２のように貫通させ、貫通させた第２ピストン部３４の内部に第２ピストン部３４に類似する構成の第３ピストン部（図示省略）を配置してもよい。この変形例の場合、本発明の技術的範囲の第１ピストン部及び第２ピストン部を、それぞれ第２ピストン部及び第３ピストン部と当て嵌めて解釈することができる。
【0049】
また、前述の実施形態の説明では、第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４は、それぞれ、第１ピストン用エアベアリングＡＢ１及び第２ピストン用エアベアリングＡＢ２により周面から支持されるとした。しかしながら、これらのベアリング機構は必須の構成でないことは言うまでもない。すなわち、各エアベアリングに換えてボールベアリングにしてもよい。
【0050】
また、前述の実施形態の説明では、各ピストン部（第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４）は、それぞれの質量に起因する静荷重で底壁２２４に接触するとした。しかしながら、図５に示される変形例のシリンダ装置１０Ａのように、第１ピストン部３２を軸方向の他端側から一端側に押し付けるコイルばねＳＧ１（押し付け部の一例）、第２ピストン部３４を軸方向の他端側から一端側に押し付けるコイルばねＳＧ２（押し付け部の他の一例）を構成要素に加えて、静荷重を調整するようにしてもよい。
【0051】
さらに、図５の変形例のシリンダ装置１０Ａの場合に、コイルばねＳＧ１及びコイルばねＳＧ２の一方のみを構成要素としてもよい。
【0052】
さらに、図５の変形例のシリンダ装置１０Ａの場合に、コイルばねＳＧ１及びコイルばねＳＧ２の一方又は両方を、収容室ＣＳに配置された引きばね（図示省略）にしてもよい。
【0053】
また、前述の実施形態の説明では、第１ピストン部３２及び第２ピストン部３４において圧縮空気により圧力を受ける底面３２２Ａ、３４２Ａは、それぞれ平面であるとした。しかしながら、例えば、底面３２２Ａ、３４２Ａの一方又は両方に、１つ又は２つ以上の凹み（図示省略）が形成されていてもよい。このように底面３２２Ａ、３４２Ａに１つまたは２つ以上の凹みが形成されていることで、収容室ＣＳに送り込まれた圧縮空気がこれらの凹みに入り込むことで、各ピストン部を効率的に移動させることができる。
【0054】
以上のとおり、本実施形態及び複数の変形例について説明したが、これらの形態のうちの１つの形態に他の形態の構成要素を置換、付加等した形態も、本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
【符号の説明】
【0055】
１０ シリンダ装置
１０Ａ シリンダ装置
２０ シリンダ部
２２ 底筒部
２２２ 筒状壁
２２４ 底壁
２４ 円筒部
３０ ピストン部
３２ 第１シリンダ部
３２２ 第１ピストン
３２２Ａ 底面
３２４ 第１ピストンロッド
３４ 第２ピストン部
３４２ 第２ピストン
３４２Ａ 底面
３４４ 第２ピストンロッド
ＡＢ１ 第１ピストン用エアベアリング
ＡＢ２ 第２ピストン用エアベアリング
ＣＨ１ 連通孔
ＣＨ２ 連通孔
ＣＨ３ 連通孔
ＣＬ 軸
ＣＳ 収容室
Ｍ１ 第１ピストン部の質量
Ｍ２ 第２ピストン部の質量
ＭＳ 雄ねじ
ＯＲ１ Ｏリング
ＯＲ２ Ｏリング
ＰＪ 突起
ＰＪ１ 段差面
ＲＢ リング板
ＲＢ１ 段差面
Ｓ１ 対向面積
Ｓ２ 対向面積
ＳＧ１ コイルばね（押し付け部の一例）
ＳＧ２ コイルばね（押し付け部の一例）
ＳＳ スペーサ
ＴＨ 貫通孔
１０Ａ シリンダ装置
２０ シリンダ部
２２ 底筒部
２２２ 筒状壁
２２４ 底壁
２４ 円筒部
３０ ピストン部
３２ 第１シリンダ部
３２２ 第１ピストン
３２２Ａ 底面
３２４ 第１ピストンロッド
３４ 第２ピストン部
３４２ 第２ピストン
３４２Ａ 底面
３４４ 第２ピストンロッド
ＡＢ１ 第１ピストン用エアベアリング
ＡＢ２ 第２ピストン用エアベアリング
ＣＨ１ 連通孔
ＣＨ２ 連通孔
ＣＨ３ 連通孔
ＣＬ 軸
ＣＳ 収容室
Ｍ１ 第１ピストン部の質量
Ｍ２ 第２ピストン部の質量
ＭＳ 雄ねじ
ＯＲ１ Ｏリング
ＯＲ２ Ｏリング
ＰＪ 突起
ＰＪ１ 段差面
ＲＢ リング板
ＲＢ１ 段差面
Ｓ１ 対向面積
Ｓ２ 対向面積
ＳＧ１ コイルばね（押し付け部の一例）
ＳＧ２ コイルばね（押し付け部の一例）
ＳＳ スペーサ
ＴＨ 貫通孔
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
