特開 2024-103305 弾性波フィルタ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024103305

(43)【公開日】2024-08-01

(54)【発明の名称】弾性波フィルタ

(51)【国際特許分類】

   H03H 9/64 20060101AFI20240725BHJP

   H03H 9/145 20060101ALI20240725BHJP

【ＦＩ】

H03H9/64 Z

H03H9/145 D

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023007571

(22)【出願日】2023-01-20

(71)【出願人】

【識別番号】000006231

【氏名又は名称】株式会社村田製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100189430

【弁理士】

【氏名又は名称】吉川 修一

(74)【代理人】

【識別番号】100190805

【弁理士】

【氏名又は名称】傍島 正朗

(72)【発明者】

【氏名】玉置 範一

【テーマコード（参考）】

5J097

【Ｆターム（参考）】

5J097AA16

5J097BB11

5J097BB14

5J097CC05

5J097DD21

5J097KK01

5J097KK04

(57)【要約】

【課題】ＬＣ共振回路により形成される減衰極以外の帯域の減衰量を確保することができる弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】
弾性波フィルタ１は、複数の入出力端子Ｔ１、Ｔ２と、複数の入出力端子を結ぶ第１経路ｒ１に設けられたフィルタ回路１０と、第１経路ｒ１の少なくとも一部と並列接続される第２経路ｒ２に設けられた付加回路２０と、を備える。フィルタ回路１０は、第１経路ｒ１に設けられた直列腕共振子、および、第１経路とグランドとを結ぶ経路に設けられた並列腕共振子を有する複数の弾性波共振子１１と、複数の弾性波共振子１１の少なくとも１つとともに共振回路ＬＣ１を形成するインダクタと、を有する。付加回路２０は、複数のＩＤＴ３１、３２が隣接配置されたＩＤＴ群２５を有する。付加回路２０の通過特性において挿入損失が極小となる損失極小点ｐｍ１の周波数は、共振回路ＬＣ１の共振周波数と一致している。
【選択図】図５

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の入出力端子と、
前記複数の入出力端子を結ぶ第１経路に設けられたフィルタ回路と、
前記第１経路の少なくとも一部と並列接続される第２経路に設けられた付加回路と、
を備え、
前記フィルタ回路は、
前記第１経路に設けられた直列腕共振子、および、前記第１経路とグランドとを結ぶ経路に設けられた並列腕共振子を有する複数の弾性波共振子と、
前記複数の弾性波共振子の少なくとも１つとともにＬＣ共振回路を形成するインダクタと、
を有し、
前記付加回路は、複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）が隣接配置されたＩＤＴ群を有し、
前記付加回路の通過特性において挿入損失が極小となる損失極小点の周波数は、前記ＬＣ共振回路の共振周波数と一致している
弾性波フィルタ。

【請求項2】

前記ＬＣ共振回路は、前記直列腕共振子と、当該直列腕共振子に並列接続された前記インダクタと、によって構成されている
請求項１に記載の弾性波フィルタ。

【請求項3】

前記ＬＣ共振回路は、前記並列腕共振子と、当該並列腕共振子と前記グランドとを結ぶ経路に配置された前記インダクタと、によって構成されている
請求項１に記載の弾性波フィルタ。

【請求項4】

前記ＬＣ共振回路の共振周波数は、前記フィルタ回路の前記弾性波共振子によって形成される通過帯域外の減衰極から見て前記フィルタ回路の通過帯域とは反対側に形成されている
請求項１に記載の弾性波フィルタ。

【請求項5】

前記損失極小点は、前記付加回路の通過特性において複数表れ、
複数の前記損失極小点は、第１の損失極小点と、前記第１の損失極小点よりも高い周波数に位置する第２の損失極小点と、を有し、
前記第１の損失極小点の周波数および前記第２の損失極小点の周波数のいずれか一方は、前記共振周波数と一致している
請求項４に記載の弾性波フィルタ。

【請求項6】

前記フィルタ回路は、２つの前記ＬＣ共振回路を有し、２つの前記ＬＣ共振回路に対応する２つの前記共振周波数を有し、
前記第１の損失極小点と前記第２の損失極小点とによって挟まれる帯域は、２つの前記共振周波数の間の帯域内にある
請求項５に記載の弾性波フィルタ。

【請求項7】

前記フィルタ回路の通過帯域は、２４９６ＭＨｚ以上２６９０ＭＨｚ以下の周波数帯域を含む
請求項１～６のいずれか１項に記載の弾性波フィルタ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、弾性波フィルタに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、フィルタ回路と、フィルタ回路に並列接続される付加回路とを備える弾性波フィルタが知られている。特許文献１には、共通端子と第１端子とを結ぶ第１経路上に設けられたフィルタ回路と、第１経路上にあって共通端子側に位置する第１ノードおよび第１端子側に位置する第２ノードに接続され、第１経路上を流れる所定の周波数帯域の成分を相殺するキャンセル回路と、を備える弾性波フィルタが開示されている。フィルタ回路は、複数の直列腕共振子および複数の並列腕共振子によって構成され、並列腕共振子とグランドとを結ぶ経路上にはインダクタが設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１８－７４５３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

例えば、並列腕共振子とグランドとを結ぶ経路上にインダクタを設けることでＬＣ共振回路が形成され、フィルタ回路の通過帯域外の所定の周波数に減衰極を形成することができる。しかしながら、ＬＣ共振回路により形成される減衰極だけでは、減衰極以外の帯域の減衰量を確保できないことがある。

【0005】

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、ＬＣ共振回路により形成される減衰極以外の帯域の減衰量を確保することができる弾性波フィルタを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る弾性波フィルタは、複数の入出力端子と、前記複数の入出力端子を結ぶ第１経路に設けられたフィルタ回路と、前記第１経路の少なくとも一部と並列接続される第２経路に設けられた付加回路と、を備え、前記フィルタ回路は、前記第１経路に設けられた直列腕共振子、および、前記第１経路とグランドとを結ぶ経路に設けられた並列腕共振子を有する複数の弾性波共振子と、前記複数の弾性波共振子の少なくとも１つとともにＬＣ共振回路を形成するインダクタと、を有し、前記付加回路は、複数のＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）が隣接配置されたＩＤＴ群を有し、前記付加回路の通過特性において挿入損失が極小となる損失極小点の周波数は、前記ＬＣ共振回路の共振周波数と一致している。

【発明の効果】

【0007】

本発明に係る弾性波フィルタによれば、ＬＣ共振回路により形成される減衰極以外の帯域の減衰量を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】実施の形態に係る弾性波フィルタ、ならびに、弾性波フィルタに含まれるフィルタ回路および付加回路の回路構成を示す図である。

【図2】付加回路に含まれるＩＤＴ群を模式的に示す図である。

【図3】ＩＤＴ群に含まれるＩＤＴの電極指の平均の配列ピッチ、ならびに、反射器の反射電極指の平均の配列ピッチを示す図である。

【図4】ＩＤＴ群に含まれるＩＤＴの第１励振部および第２励振部の電極指の平均の配列ピッチ、ならびに、反射器の反射電極指の平均の配列ピッチの一例を示す図である。

【図5】比較例１、実施例１の弾性波フィルタの通過特性および付加回路の通過特性を示す図である。

【図6】図５に示す通過特性において、通過帯域よりも低い周波数側の帯域の横軸を拡大した図である。

【図7】実施例２の弾性波フィルタの通過特性および他の付加回路の通過特性を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施の形態について、実施の形態および図面を用いて詳細に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置および接続形態などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。以下の実施の形態における構成要素のうち、独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、図面に示される構成要素の大きさ、または大きさの比は、必ずしも厳密ではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化する場合がある。また、以下の実施の形態において、「接続される」とは、直接接続される場合だけでなく、他の素子等を介して電気的に接続される場合も含まれる。

【0010】

（実施の形態）
［弾性波フィルタの構成］
実施の形態に係る弾性波フィルタの構成について、図１を参照しながら説明する。

【0011】

図１は、実施の形態に係る弾性波フィルタ１、ならびに、弾性波フィルタ１に含まれるフィルタ回路１０および付加回路２０の回路構成を示す図である。

【0012】

弾性波フィルタ１は、例えば、高周波信号が入出力される送受信フィルタである。弾性波フィルタ１には、自帯域の周波数を通過させ、通過帯域外の周波数を減衰させる特性が求められる。

【0013】

弾性波フィルタ１は、フィルタ回路１０と、付加回路２０と、入出力端子Ｔ１と、入出力端子Ｔ２と、を備えている。

【0014】

入出力端子Ｔ１は、高周波信号が入力および出力される端子である。例えば、入出力端子Ｔ１は、増幅回路等（図示せず）を介して信号処理回路（図示せず）に接続される。

【0015】

入出力端子Ｔ２は、高周波信号が入力および出力される端子である。例えば、入出力端子Ｔ２は、アンテナ素子に接続される。

【0016】

フィルタ回路１０は、通信規格により定められた、第１の周波数帯域を通過帯域とするフィルタ回路である。例えば、第１の周波数帯域は、Ｂａｎｄ４１（２４９６ＭＨｚ以上２６９０ＭＨｚ以下）である。フィルタ回路１０は、入出力端子Ｔ１および入出力端子Ｔ２を結ぶ第１経路ｒ１に設けられている。

【0017】

図１に示すように、フィルタ回路１０は、弾性波共振子１１である直列腕共振子Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６およびＳ７、ならびに、並列腕共振子Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５およびＰ６を含むラダーフィルタ構造を有している。また、フィルタ回路１０は、直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７および並列腕共振子Ｐ１～Ｐ６の少なくとも１つとともにＬＣ共振回路を形成するインダクタＬ１、Ｌ２およびＬ３を有している。

【0018】

直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７および並列腕共振子Ｐ１～Ｐ６のそれぞれは、ＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極を含み、ＩＤＴ電極の構造に応じたキャパシタンスを有している。

【0019】

直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７は、入出力端子Ｔ１と入出力端子Ｔ２とを結ぶ第１経路ｒ１上に配置されている。直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７は、入出力端子Ｔ１から入出力端子Ｔ２に向かって、この順で直列に接続されている。

【0020】

並列腕共振子Ｐ１～Ｐ６は、直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７の間の各ノードとグランド（基準端子）とを結ぶ経路において互いに並列に接続されている。

【0021】

具体的には、並列腕共振子Ｐ１～Ｐ６のうち、入出力端子Ｔ１に最も近い並列腕共振子Ｐ１は、一端が直列腕共振子Ｓ１とＳ２との間のノードｎ２に接続され、他端がグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ２は、一端が直列腕共振子Ｓ２とＳ３との間のノードｎ３に接続され、他端がインダクタＬ３を介してグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ３は、一端が直列腕共振子Ｓ３とＳ４との間のノードｎ４に接続され、他端がインダクタＬ３を介してグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ４は、一端が直列腕共振子Ｓ４とＳ５との間のノードｎ５に接続され、他端がインダクタＬ３を介してグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４の他端側は共通化されてインダクタＬ３に接続されている。並列腕共振子Ｐ５は、一端が直列腕共振子Ｓ５とＳ６との間のノードｎ６に接続され、他端がグランドに接続されている。並列腕共振子Ｐ６は、一端が直列腕共振子Ｓ６とＳ７との間のノードｎ７に接続され、他端がグランドに接続されている。

【0022】

図１に示すようにインダクタＬ１は、直列腕共振子Ｓ３に並列接続されている。インダクタＬ２は、直列腕共振子Ｓ１に並列接続されている。インダクタＬ３は、並列腕共振子Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４のそれぞれに直列接続されている。

【0023】

つまり、フィルタ回路１０は、直列腕共振子Ｓ３と、直列腕共振子Ｓ３に並列接続されたインダクタＬ１と、によって構成されるＬＣ共振回路である共振回路ＬＣ１を有している。また、フィルタ回路１０は、直列腕共振子Ｓ１と、直列腕共振子Ｓ１に並列接続されたインダクタＬ２と、によって構成されるＬＣ共振回路である共振回路ＬＣ２を有している。また、フィルタ回路１０は、並列腕共振子Ｐ２と、並列腕共振子Ｐ２に直列接続されたインダクタＬ３と、によって構成されるＬＣ共振回路である共振回路ＬＣ３を有している。また、フィルタ回路１０は、並列腕共振子Ｐ３と、並列腕共振子Ｐ３に直列接続されたインダクタＬ３と、によって構成されるＬＣ共振回路である共振回路ＬＣ４を有している。フィルタ回路１０は、並列腕共振子Ｐ４と、並列腕共振子Ｐ４に直列接続されたインダクタＬ３と、によって構成されるＬＣ共振回路である共振回路ＬＣ５を有している。

【0024】

このようにフィルタ回路１０は、第１経路ｒ１に配置された７つの直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７と、第１経路ｒ１とグランドとを結ぶ経路に配置された６つの並列腕共振子Ｐ１～Ｐ６と、直列腕共振子Ｓ１に並列接続されたインダクタＬ１と、直列腕共振子Ｓ３に並列接続されたインダクタＬ２と、並列腕共振子Ｐ２、Ｐ３およびＰ４とグランドとを結ぶ経路に配置されたインダクタＬ３と、で構成されている。

【0025】

なお、フィルタ回路１０を構成する直列腕共振子および並列腕共振子の数は、７つまたは６つに限定されず、直列腕共振子が１つ以上かつ並列腕共振子が１つ以上であればよい。直列腕共振子とインダクタとによって構成されるＬＣ並列共振回路の数は２つに限られず、１つまたは３つ以上であってもよい。並列腕共振子とインダクタとによって構成されるＬＣ直列共振回路の数は３つに限られず、１つ、２つまたは４つ以上であってもよい。複数の並列腕共振子の他端側は共通化されず、複数の並列腕共振子が一対一の対応で複数のインダクタに接続され、当該複数のインダクタを介してグランドに接続されてもよい。

【0026】

図１に示す付加回路２０は、フィルタ回路１０の通過帯域外の減衰特性を改善するため、フィルタ回路１０と逆位相・同振幅の相殺成分を有するキャンセル回路である。

【0027】

付加回路２０は、第１経路ｒ１の少なくとも一部に並列接続される第２経路ｒ２に設けられている。例えば、付加回路２０は、第１経路ｒ１上の複数のノードに接続される。付加回路２０は、複数のＩＤＴ３１およびＩＤＴ３２が隣接配置されたＩＤＴ群２５と、容量素子２８と、を有している。

【0028】

複数のＩＤＴ３１、３２のうち、ＩＤＴ３１は、ＩＤＴ群２５から見て入出力端子Ｔ１側の第１経路ｒ１、具体的には入出力端子Ｔ１と直列腕共振子Ｓ１との間のノードｎ１に接続されている。ＩＤＴ３２は、容量素子２８を介して、ＩＤＴ群２５から見て入出力端子Ｔ２側の第１経路ｒ１に接続されている。具体的には、ＩＤＴ３２は、容量素子２８を介して直列腕共振子Ｓ７と入出力端子Ｔ２との間のノードｎ８に接続されている。言い換えると、ＩＤＴ３１は、ＩＤＴ群２５に並列接続されている直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７から見て入出力端子Ｔ１側の第１経路ｒ１に接続され、ＩＤＴ３２は、容量素子２８を介して、直列腕共振子Ｓ１～Ｓ７から見て入出力端子Ｔ２側の第１経路ｒ１に接続されている。

【0029】

［付加回路の構成］
付加回路２０の構成について、図２を参照しながら説明する。

【0030】

図２は、付加回路２０に含まれるＩＤＴ群２５を模式的に示す図である。

【0031】

図２に示すように、ＩＤＴ群２５は、複数のＩＤＴ３１および３２と、複数の反射器４１および４２と、を有している。ＩＤＴ群２５は、例えば音響結合型共振器であり、音響結合型共振器は縦結合型の弾性波共振器を構成している。

【0032】

ＩＤＴ群２５は、例えば、弾性表面波（ＳＡＷ：Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）共振子によって構成される。ＩＤＴ群２５は、圧電性基板と、圧電性基板上に設けられたＩＤＴ電極および反射器電極を構成する電極層と、電極層を覆うように圧電性基板上に設けられた誘電体層と、によって形成される。

【0033】

圧電性基板は、シリコン基板上にＳｉＮ、ＳｉＯ_２、ＬｉＴａＯ_３がこの順で積層された構造を有している。例えばＳｉＮの厚みは５０ｎｍ、ＳｉＯ_２の膜厚は４００ｎｍ、ＬｉＴａＯ_３の膜厚は３００ｎｍである。電極層は、圧電性基板側から順にＴｉ、ＡｌＣｕおよびＴｉが積層された構造を有し、それぞれの厚みは、１８ｎｍ、１００ｎｍ、４ｎｍである。誘電体層は、ＳｉＯ_２であり、厚みは３０ｎｍである。

【0034】

複数のＩＤＴ３１、３２は、圧電性基板の主面に平行な第１方向ｄ１に沿って配置される。ＩＤＴ３１は、一対となる第１の櫛形電極３１ａおよび第２の櫛形電極３１ｂを有している。ＩＤＴ３２は、一対となる第１の櫛形電極３２ａおよび第２の櫛形電極３２ｂを有している。

【0035】

第１の櫛形電極３１ａ、３２ａのそれぞれは、第１方向ｄ１に延びるバスバー電極３６ａと、バスバー電極３６ａに接続されて第１方向ｄ１に直交する第２方向ｄ２に延びる複数の電極指３５ａと、を有している。バスバー電極３６ａは、複数の電極指３５ａの一端同士を接続している。

【0036】

第２の櫛形電極３１ｂ、３２ｂのそれぞれは、第１方向ｄ１に延びるバスバー電極３６ｂと、バスバー電極３６ｂに接続されて第２方向ｄ２に延びる複数の電極指３５ｂとを有している。バスバー電極３６ｂは、複数の電極指３５ｂの一端同士を接続している。複数の電極指３５ａおよび３５ｂは、第２方向ｄ２に互いに間挿し合い、互いに平行に配置されている。

【0037】

第１の櫛形電極３１ａ、３２ａは、第２経路ｒ２上の信号配線に接続され、第２の櫛形電極３１ｂ、３２ｂは、グランドに接続される。つまり、バスバー電極３６ａおよび電極指３５ａは、信号電位に設定され、バスバー電極３６ｂおよび電極指３５ｂは、グランド電位に設定される。以下、電極指３５ａおよび３５ｂの両方を指して電極指３５と呼ぶ場合がある。

【0038】

反射器４１は、第１方向ｄ１において複数のＩＤＴ３１、３２のうちの最も外側に位置する最外のＩＤＴ３１の隣に配置されている。反射器４２は、第１方向ｄ１において複数のＩＤＴ３１、３２のうちの最も外側に位置する最外のＩＤＴ３２の隣に配置されている。つまり、複数の反射器４１、４２は、第１方向ｄ１において、複数のＩＤＴ３１、３２を挟み込むように、ＩＤＴ３１、３２の両外側に配置されている。

【0039】

各反射器４１、４２は、複数の反射電極指４５および複数の反射バスバー４６を有している。複数の反射電極指４５は、第２方向ｄ２に延び、かつ、第１方向ｄ１に沿って配列されている。各反射バスバー４６は、複数の反射電極指４５の一端同士または他端同士を接続し、第１方向ｄ１に延びるように配置されている。

【0040】

図２に示すように、ＩＤＴ３１は、第１励振部５１ｘおよび第２励振部５１ｙを有し、ＩＤＴ３２は、第１励振部５２ｘおよび第２励振部５２ｙを有している。第１励振部５１ｘ、５２ｘは、付加回路２０の本来の目的である、フィルタ回路１０と逆位相・同振幅の相殺成分を生成するための部分である。第２励振部５１ｙ、５２ｙは、第１励振部５１ｘ、５２ｘ同士が強く励振しすぎることを抑制するための狭ピッチ部分である。

【0041】

ＩＤＴ３１の第１励振部５１ｘは、第１方向ｄ１において反射器４１の隣に配置されている。第１励振部５１ｘは、最外のＩＤＴ３１に含まれる複数の電極指３５のうちの半数本以上の電極指を有している。第１励振部５１ｘは、最外のＩＤＴ３１が有する対数（ついすう）のうちの６０％以上の対数を有していてもよい。

【0042】

ＩＤＴ３１の第２励振部５１ｙは、第１方向ｄ１において第１励振部５１ｘから見て反射器４１とは反対側に配置されている。第２励振部５１ｙは、最外のＩＤＴ３１に含まれる複数の電極指３５のうちの第１励振部５１ｘの電極指を除く、２本以上の電極指を有している。第２励振部５１ｙは、第１励振部５１ｘよりも、電極指３５の本数および対数が少ない。

【0043】

ＩＤＴ３２の第１励振部５２ｘは、第１方向ｄ１において反射器４２の隣に配置されている。第１励振部５２ｘは、最外のＩＤＴ３２に含まれる複数の電極指３５のうちの半数本以上の電極指を有している。第１励振部５２ｘは、最外のＩＤＴ３２が有する対数のうちの６０％以上の対数を有していてもよい。

【0044】

ＩＤＴ３２の第２励振部５２ｙは、第１方向ｄ１において第１励振部５２ｘから見て反射器４２とは反対側に配置されている。第２励振部５２ｙは、最外のＩＤＴ３２に含まれる複数の電極指３５のうちの第１励振部５２ｘの電極指を除く、２本以上の電極指を有している。第２励振部５２ｙは、第１励振部５２ｘよりも、電極指３５の本数および対数が少ない。

【0045】

本実施の形態の弾性波フィルタ１では、付加回路２０の通過特性において挿入損失が極小となる損失極小点の周波数が、フィルタ回路１０のＬＣ共振回路の共振周波数と一致している。これにより、ＬＣ共振回路により形成される減衰極以外の帯域の減衰量を確保することができる。以下、上記の損失極小点の周波数とＬＣ共振回路の共振周波数との関係について説明する。

【0046】

［弾性波フィルタの通過特性］
比較例１および実施例１の弾性波フィルタの通過特性等について説明する。まず、実施例１のＩＤＴ群２５の電極パラメータについて説明する。

【0047】

図３は、ＩＤＴ群２５に含まれるＩＤＴ３１、３２の電極指３５の平均の配列ピッチｐｘ、ｐｙ、ならびに、反射器４１、４２の反射電極指４５の平均の配列ピッチｐｒを示す図である。

【0048】

電極指３５の平均の配列ピッチｐｘ、ｐｙおよび反射電極指４５の平均の配列ピッチｐｒは、図３に示す式に基づいて求めることができる。図３の詳細については、その他の実施の形態の欄で説明する。

【0049】

図４は、第１励振部５１ｘ、５２ｘおよび第２励振部５１ｙ、５２ｙの電極指３５の平均の配列ピッチ、ならびに、反射器４１、４２の反射電極指４５の平均の配列ピッチの一例を示す図である。

【0050】

図４の左の縦軸には、電極指の配列ピッチを２倍した値である波長が示されている。また、図４の右の縦軸には、電極指３５および反射電極指４５の対数が示されている。なお、反射器４１、４２の対数は、２本の反射電極指４５を一対とした場合の値である。

【0051】

図４に示すように、第２励振部５１ｙは、第１励振部５１ｘよりも、電極指３５の平均の配列ピッチが小さく、第２励振部５２ｙは、第１励振部５２ｘよりも、電極指３５の平均の配列ピッチが小さくなっている。なお、第１励振部および第２励振部のデューティは同じであり、交差幅も同じである。

【0052】

また、第２励振部５１ｙは、第１励振部５１ｘよりも対数が少なく、第２励振部５２ｙは、第１励振部５２ｘよりも対数が少なくなっている。言い換えると、第１励振部５１ｘ（または５２ｘ）の電極指３５の本数は、第２励振部５１ｙ（または５２ｙ）の電極指３５の本数よりも多い。なお、第１励振部５１ｘおよび５２ｘの対数は同じであり、第２励振部５１ｙおよび５２ｙの対数は同じである。

【0053】

また、反射器４１は、第１励振部５１ｘよりも対数が少なく、反射器４２は、第１励振部５２ｘよりも対数が少なくなっている。この例では、反射器４１（または４２）の反射電極指４５の本数は、第１励振部５１ｘ（または５２ｘ）の電極指３５の本数よりも少ない。なお、反射器４１および４２の対数は同じである。

【0054】

上記の電極パラメータを有する実施例１の弾性波フィルタの通過特性について説明する。

【0055】

図５は、比較例１、実施例１の弾性波フィルタの通過特性および付加回路２０の通過特性を示す図である。図６は、図５に示す通過特性において、通過帯域よりも低い周波数側の帯域の横軸を拡大した図である。

【0056】

比較例１は、付加回路が設けられていないフィルタ回路のみの通過特性である。実施例１は、フィルタ回路１０および付加回路２０を有する弾性波フィルタ１の通過特性である。

【0057】

図５および図６に示すように、フィルタ回路１０は、２つの共振回路ＬＣ１、ＬＣ２に対応する２つの共振周波数を有している。共振回路ＬＣ１、ＬＣ２のそれぞれの共振周波数は、通過帯域外の減衰極Ａｐ０から見てフィルタ回路１０の通過帯域とは反対側に形成されている。なお、減衰極Ａｐ０は、フィルタ回路１０の弾性波共振子１１によって形成される極、具体的には、並列腕共振子Ｐ１～Ｐ６のいずれかによって形成される極である。

【0058】

共振回路ＬＣ１の共振周波数は、共振回路ＬＣ１の反共振により形成される減衰極Ａｐ１の周波数である。共振回路ＬＣ２の共振周波数は、共振回路ＬＣ２の反共振により形成される減衰極Ａｐ２の周波数である。インダクタＬ２のインダクタンスと直列腕共振子Ｓ１のキャパシタンスとを乗算した値は、インダクタＬ１のインダクタンスと直列腕共振子Ｓ３のキャパシタンスとを乗算した値よりも小さく、共振回路ＬＣ２の共振周波数は、共振回路ＬＣ１の共振周波数よりも高い周波数側に形成される。図５および図６に示す減衰極Ａｐ１の周波数は１８６８ＭＨｚであり、減衰極Ａｐ２の周波数は２１４２ＭＨｚである。

【0059】

この例で通過特性を評価するにおいて、弾性波フィルタ１と同時に使用される可能性のあるフィルタのバンドであるＢ３Ｒｘ、Ｂ３９ＲｘおよびＢ２５Ｒｘにおける挿入損失を評価した。Ｂ３Ｒｘの通過帯域は１８０５ＭＨｚ以上１８８０ＭＨｚ以下であり、Ｂ３９Ｒｘの通過帯域は１８８０ＭＨｚ以上１９２０ＭＨｚ以下であり、Ｂ２５Ｒｘの通過帯域は１９３０ＭＨｚ以上１９９５ＭＨｚ以下である。挿入損失の評価基準としては、Ｂ３Ｒｘ、Ｂ３９Ｒｘ、Ｂ２５Ｒｘのそれぞれにて異なる評価基準値（ｄＢ）が予め設定されている。

【0060】

比較例１では、Ｂ２５Ｒｘにおける減衰が不十分であり、挿入損失が評価基準を超えている。それに対し実施例１の弾性波フィルタ１では、以下に示す構成を有することで減衰特性の改善を図っている。

【0061】

図５および図６に示す一点鎖線は、実施例１における付加回路２０の通過特性である。これらの図に示すように、付加回路２０の通過特性には、挿入損失が極小となる損失極小点が複数表れる。上記の通過特性には、第１の損失極小点ｐｍ１と、第１の損失極小点ｐｍ１よりも高い周波数に位置する第２の損失極小点ｐｍ２と、が表れている。第１の損失極小点ｐｍ１は、ＩＤＴ３１および３２の音響結合により発生する共振モードに対応する極である。第２の損失極小点ｐｍ２は、ＩＤＴ３１および３２の間のギャップで発生する共振モードに対応する極である。図６に示す第１の損失極小点ｐｍ１の周波数は１８８０ＭＨｚであり、第２の損失極小点ｐｍ２の周波数は２０１０ＭＨｚである。

【0062】

第１の損失極小点ｐｍ１および第２の損失極小点ｐｍ２の周波数は、電極指３５の平均の配列ピッチを変えることで調整することができる。例えば、第１励振部５１ｘ、５２ｘの電極指３５の平均の配列ピッチｐｘを小さくすることで、第１の損失極小点ｐｍ１の周波数を高くすることができる。例えば、第２励振部５１ｙ、５２ｙの電極指３５の平均の配列ピッチｐｙを小さくすることで、第２の損失極小点ｐｍ２の周波数を高くすることができる。

【0063】

この実施例１では、第１の損失極小点ｐｍ１の周波数が、減衰極Ａｐ１の周波数、すなわち共振回路ＬＣ１の共振周波数と一致している。これにより、Ｂ３Ｒｘ、Ｂ３９ＲｘおよびＢ２５Ｒｘにおける減衰量を大きくすることができ、各バンドにおける挿入損失が評価基準を満たしている。

【0064】

なお、損失極小点の周波数がＬＣ共振回路の共振周波数と一致しているとは、完全に一致している場合はもちろん、許容範囲内で一致している場合も含む。本実施の形態では、ＬＣ共振回路の共振周波数を分母とし、損失極小点の周波数とＬＣ共振回路の共振周波数との差を分子としたときの差分比Ｒが、０以上０．０２８以下である場合、損失極小点の周波数がＬＣ共振回路の共振周波数と一致しているとする。実施例１における差分比Ｒは、Ｒ＝（１８８０－１８６８）／１８６８＝０．００６である。

【0065】

図７は、実施例２の弾性波フィルタの通過特性および他の付加回路２０の通過特性を示す図である。

【0066】

実施例２は、フィルタ回路１０および付加回路２０を有する弾性波フィルタ１の通過特性である。実施例２では、第１励振部５１ｘ、５２ｘの電極指３５の平均の配列ピッチｐｘを実施例１よりも小さくすることで、第１の損失極小点ｐｍ１の周波数を１９２０ＭＨｚとした。実施例２における差分比Ｒは、Ｒ＝（１９２０－１８６８）／１８６８＝０．０２８であり、実施例２の弾性波フィルタ１においても、Ｂ３Ｒｘ、Ｂ３９ＲｘおよびＢ２５Ｒｘにおける減衰量を確保できている。

【0067】

なお、例えば第１の損失極小点ｐｍ１の周波数をさらに高くして１９６０ＭＨｚとした場合の差分比Ｒは、Ｒ＝（１９６０－１８６８）／１８６８＝０．０４９となる。差分比Ｒ＝が０．０４９である場合、Ｂ３Ｒｘ、Ｂ３９ＲｘおよびＢ２５Ｒｘにおける挿入損失の一部が評価基準を満たしていない（図示省略）。

【0068】

このように、弾性波フィルタ１では、損失極小点ｐｍ１の周波数を共振回路ＬＣ１の共振周波数に一致させることで、より具体的には、上記の差分比Ｒを０以上０．０２８以下とすることで、Ｂ３Ｒｘ、Ｂ３９ＲｘおよびＢ２５Ｒｘにおける減衰量を確保することができる。これにより、ＬＣ共振回路により形成される減衰極Ａｐ１以外の帯域の減衰量を確保することができる。

【0069】

さらに実施例１および２では、第１の損失極小点ｐｍ１と第２の損失極小点ｐｍ２とによって挟まれる帯域が、２つの共振回路ＬＣ１およびＬＣ２に対応する２つの共振周波数の間の帯域内に存在している。第１の損失極小点ｐｍ１と第２の損失極小点ｐｍ２とによって挟まれる帯域は、付加回路２０の位相が反転する位相反転帯域を含んでいるため、この位相反転帯域を２つの共振周波数の間に配置することで、２つの共振周波数の間の帯域の不要波をキャンセルすることができる。

【0070】

なお、上記では、第１の損失極小点ｐｍ１の周波数を共振回路ＬＣ１の共振周波数に一致させる例を示したが、それに限られない。例えば、弾性波フィルタ１は、第２の損失極小点ｐｍ２の周波数が共振回路ＬＣ２の共振周波数に一致する構成を有していてもよい。すなわち弾性波フィルタ１では、第１の損失極小点ｐｍ１の周波数および第２の損失極小点ｐｍ２の周波数のいずれか一方が、共振回路ＬＣ１または共振回路ＬＣ２の共振周波数と一致していればよい。

【0071】

なお、上記では、共振回路ＬＣ１の共振周波数に損失極小点の周波数を一致させる例を示したが、それに限られない。例えば、並列腕共振子Ｐ２とインダクタＬ３とによって構成された共振回路ＬＣ３の共振周波数に損失極小点の周波数を一致させてもよい。また、並列腕共振子Ｐ３とインダクタＬ３とによって構成された共振回路ＬＣ４の共振周波数に損失極小点の周波数を一致させてもよい。また、並列腕共振子Ｐ４とインダクタＬ３とによって構成された共振回路ＬＣ５の共振周波数に損失極小点の周波数を一致させてもよい。例えば、実施例１におけるＬＣ共振回路ＬＣ３、ＬＣ４およびＬＣ５の共振周波数は４８００ＭＨｚであるので、この共振周波数４８００ＭＨｚに損失極小点の周波数を一致させてもよい。これにより、ＬＣ共振回路Ｌ３、Ｌ４およびＬ５により形成される減衰極以外の帯域の減衰量を確保することができる。

【0072】

（まとめ）
本実施の形態に係る弾性波フィルタ１は、以下に示す態様をとり得る。

【0073】

［態様１］
態様１に係る弾性波フィルタ１は、複数の入出力端子Ｔ１、Ｔ２と、複数の入出力端子を結ぶ第１経路ｒ１に設けられたフィルタ回路１０と、第１経路ｒ１の少なくとも一部と並列接続される第２経路ｒ２に設けられた付加回路２０と、を備える。フィルタ回路１０は、第１経路ｒ１に設けられた直列腕共振子、および、第１経路とグランドとを結ぶ経路に設けられた並列腕共振子を有する複数の弾性波共振子１１と、複数の弾性波共振子１１の少なくとも１つとともにＬＣ共振回路（例えば共振回路ＬＣ１）を形成するインダクタと、を有する。付加回路２０は、複数のＩＤＴ３１、３２が隣接配置されたＩＤＴ群２５を有する。付加回路２０の通過特性において挿入損失が極小となる損失極小点ｐｍ１の周波数は、共振回路ＬＣ１の共振周波数と一致している。

【0074】

このように、損失極小点ｐｍ１の周波数を共振回路ＬＣ１の共振周波数に一致させることで、共振回路ＬＣ１により形成される減衰極Ａｐ１以外の帯域の減衰量を確保することができる。

【0075】

［態様２］
態様１に記載の弾性波フィルタ１において、ＬＣ共振回路（例えば共振回路ＬＣ１）は、直列腕共振子Ｓ３と、直列腕共振子Ｓ３に並列接続されたインダクタＬ１と、によって構成されていてもよい。

【0076】

これによれば、直列腕共振子Ｓ３とインダクタＬ１とによって構成された共振回路ＬＣ１の共振周波数に損失極小点ｐｍ１の周波数を一致させることができる。これにより、共振回路ＬＣ１により形成される減衰極Ａｐ１以外の帯域の減衰量を確保することができる。

【0077】

［態様３］
態様１または２に記載の弾性波フィルタ１において、ＬＣ共振回路（例えば共振回路ＬＣ４）は、並列腕共振子Ｐ３と、並列腕共振子Ｐ３とグランドとを結ぶ経路に配置されたインダクタＬ３と、によって構成されていてもよい。

【0078】

これによれば、並列腕共振子Ｐ３とインダクタＬ３とによって構成された共振回路ＬＣ４の共振周波数に損失極小点の周波数を一致させることができる。これにより、共振回路ＬＣ４により形成される減衰極以外の帯域の減衰量を確保することができる。

【0079】

［態様４］
態様１～３のいずれか１つに記載の弾性波フィルタ１において、ＬＣ共振回路（例えば共振回路ＬＣ１）の共振周波数は、フィルタ回路１０の弾性波共振子１１によって形成される通過帯域外の減衰極Ａｐ０から見てフィルタ回路１０の通過帯域とは反対側に形成されていてもよい。

【0080】

これによれば、減衰極Ａｐ０から見てフィルタ回路１０の通過帯域とは反対側の帯域の減衰量を確保することができる。

【0081】

［態様５］
態様４に記載の弾性波フィルタ１において、損失極小点は、付加回路２０の通過特性において複数表れ、複数の損失極小点は、第１の損失極小点ｐｍ１と、第１の損失極小点ｐｍ１よりも高い周波数に位置する第２の損失極小点ｐｍ２とを有する。第１の損失極小点ｐｍ１の周波数および第２の損失極小点ｐｍ２の周波数のいずれか一方は、上記の共振周波数と一致していてもよい。

【0082】

このように、第１の損失極小点ｐｍ１および第２の損失極小点ｐｍ２のいずれか一方を共振周波数に一致させることで、共振回路ＬＣ１および共振回路ＬＣ２のいずれか一方により形成される減衰極（Ａｐ１およびＡｐ２のいずれか一方）以外の帯域の減衰量を確保することができる。

【0083】

［態様６］
態様５に記載の弾性波フィルタ１において、フィルタ回路１０は、２つのＬＣ共振回路（例えば共振回路ＬＣ１、ＬＣ２）を有し、２つのＬＣ共振回路に対応する２つの共振周波数を有し、第１の損失極小点ｐｍ１と第２の損失極小点ｐｍ２とによって挟まれる帯域は、２つの共振周波数の間の帯域内にあってもよい。

【0084】

第１の損失極小点ｐｍ１と第２の損失極小点ｐｍ２とによって挟まれる帯域を、２つの共振周波数の間に配置することで、２つの共振周波数の間の帯域の不要波をキャンセルすることができる。共振回路ＬＣ１、ＬＣ２により形成される減衰極Ａｐ１、Ａｐ２の間の帯域の減衰量を確保することができる。

【0085】

［態様７］
態様１～６のいずれか１つに記載の弾性波フィルタ１において、フィルタ回路１０の通過帯域は、２４９６ＭＨｚ以上２６９０ＭＨｚ以下の周波数帯域を含んでいてもよい。

【0086】

これによれば、上記周波数帯域の範囲外の帯域において、ＬＣ共振回路により形成される減衰極以外の帯域の減衰量を確保することができる。

【0087】

（その他の実施の形態）
以上、本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタについて、実施の形態を挙げて説明したが、本発明は、上記実施の形態における任意の構成要素を組み合わせて実現される別の実施の形態や、上記実施の形態に対して本発明の主旨を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例や、本発明に係る弾性波フィルタを含むマルチプレクサ、高周波フロントエンド回路および通信装置も本発明に含まれる。

【0088】

例えばマルチプレクサが、本実施の形態に係る弾性波フィルタ１と、Ｂ３Ｒｘを通過帯域とする受信フィルタと、によって構成されてもよい。例えばマルチプレクサが、本実施の形態に係る弾性波フィルタ１と、Ｂ３９Ｒｘを通過帯域とする受信フィルタと、によって構成されてもよい。例えばマルチプレクサが、本実施の形態に係る弾性波フィルタ１と、Ｂ２５Ｒｘを通過帯域とする受信フィルタと、によって構成されてもよい。

【0089】

上記では、弾性波フィルタの通過帯域から見て低い周波数帯域の減衰量を確保する説明をしたが、それに限られない。例えば、弾性波フィルタの通過帯域から見て高い周波数帯域に減衰極が存在する場合、その減衰極の周波数に損失極小点の周波数を一致させることで、高周波数側の減衰量を確保してもよい。

【0090】

上記では、ＩＤＴ群２５が２つのＩＤＴ３１、３２を有する例を示したが、それに限られず、ＩＤＴ群２５は、３以上のＩＤＴを有していてもよい。

【0091】

上記では、ＩＤＴ３２が第１経路ｒ１のノードｎ８に容量素子２８を介して接続されている例を示したが、それに限られず、ＩＤＴ３１は、他の容量素子を介してノードｎ１に接続されてもよい。

【0092】

上記では、弾性波フィルタ１が送受信フィルタである例を示したが、それに限られず、弾性波フィルタは、送信フィルタ、または、受信フィルタであってもよい。

【0093】

また、入出力端子Ｔ１およびＴ２は、入力端子および出力端子のいずれかであってもよい。例えば、入出力端子Ｔ１が入力端子である場合は、入出力端子Ｔ２が出力端子となり、入出力端子Ｔ２が入力端子である場合は、入出力端子Ｔ１が出力端子となる。

【0094】

また、ＩＤＴ電極は、積層構造でなくてもよい。ＩＤＴ電極は、例えば、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄなどの金属または合金から構成されてもよく、また、上記の金属または合金から構成される複数の積層体から構成されてもよい。

【0095】

また、実施の形態では、基板として圧電性を有する基板を示したが、当該基板は、圧電体層の単層からなる圧電基板であってもよい。この場合の圧電基板は、例えば、ＬｉＴａＯ_３の圧電単結晶、または、ＬｉＮｂＯ_３などの他の圧電単結晶で構成される。また、ＩＤＴ電極が形成される基板は、圧電性を有する限り、全体が圧電体層からなるものの他、支持基板上に圧電体層が積層されている構造を用いてもよい。また、上記実施の形態に係る基板のカット角は限定されない。つまり、弾性波フィルタの要求通過特性などに応じて、適宜、積層構造、材料、および厚みを変更してもよく、上記実施の形態に示すカット角以外のカット角を有するＬｉＴａＯ_３圧電基板またはＬｉＮｂＯ_３圧電基板などを用いた弾性表面波フィルタであっても、同様の効果を奏することが可能となる。

【0096】

また、図３における平均の配列ピッチｐｘ、ｐｙ、および、上記の平均の配列ピッチｐｒの求め方は、以下に示す通りである。

【0097】

図３は、前述したように、ＩＤＴ群２５に含まれるＩＤＴ３１、３２の第１励振部５１ｘ、５２ｘおよび第２励振部５１ｙ、５２ｙの電極指３５の配列ピッチ、ならびに、反射器４１、４２の反射電極指４５の配列ピッチを示す図である。

【0098】

第１励振部５１ｘ（または５２ｘ）の電極指３５の配列ピッチは、ＩＤＴ３１（または３２）に含まれる複数の電極指３５において、第１方向ｄ１に隣り合う電極指同士の中心間距離である。第１励振部５１ｘ（または５２ｘ）内における複数の電極指３５の全ての配列ピッチは同じであってもよく、一部もしくは全ての配列ピッチが異なっていてもよい。以下、２つの電極指間の第１方向ｄ１における中心同士の距離を、単に「中心間距離」と称することがある。

【0099】

第１励振部５１ｘの電極指３５の平均の配列ピッチｐｘは、次のように導出される。例えば、第１励振部５１ｘに含まれる電極指の総本数をＮｘ本とする。そして、第１励振部５１ｘの、第１方向ｄ１における一方端に位置する電極指と、他方端に位置する電極指との中心間距離をＤｘとする。すると、平均の配列ピッチｐｘは、ｐｘ＝Ｄｘ／（Ｎｘ－１）という式で表せる。なお、（Ｎｘ－１）は、第１励振部５１ｘにおける、隣接する電極指が作るギャップの総個数ともいえる。ＩＤＴ３２の第１励振部５２ｘの電極指３５の平均の配列ピッチｐｘも同様に導出される。

【0100】

第２励振部５１ｙ（または５２ｙ）の電極指の配列ピッチは、ＩＤＴ３１（または３２）に含まれる複数の電極指３５において、第１方向ｄ１に隣り合う電極指同士の中心間距離である。第２励振部５１ｙ（または５２ｙ）内における複数の電極指３５の全ての配列ピッチは同じであってもよく、一部もしくは全ての配列ピッチが異なっていてもよい。

【0101】

第２励振部５１ｙの電極指３５の平均の配列ピッチｐｙは、次のように導出される。例えば、第２励振部５１ｙに含まれる電極指の総本数をＮｙ本とする。そして、第２励振部５１ｙの、第１方向ｄ１における一方端に位置する電極指と、他方端に位置する電極指との中心間距離をＤｙとする。すると、平均の配列ピッチｐｙは、ｐｙ＝Ｄｙ／（Ｎｙ－１）という式で表せる。なお、（Ｎｙ－１）は、第２励振部５１ｙにおける、隣接する電極指が作るギャップの総個数ともいえる。ＩＤＴ３２の第２励振部５２ｙの電極指３５の平均の配列ピッチｐｙも同様に導出される。

【0102】

反射器４１、４２の反射電極指４５の配列ピッチは、反射器４２、４２のそれぞれに含まれる複数の反射電極指４５において、第１方向ｄ１に隣り合う反射電極指同士の中心間距離である。反射器４１、４２内における複数の反射電極指４５の全ての配列ピッチは同じであってもよく、一部もしくは全ての配列ピッチが異なっていてもよい。

【0103】

反射器４１の反射電極指４５の平均の配列ピッチｐｒは、次のように導出される。例えば、反射器４１に含まれる反射電極指４５の総本数をＮｒ本とする。そして、反射器４１の、第１方向ｄ１における一方端に位置する反射電極指と、他方端に位置する反射電極指との中心間距離をＤｒとする。すると、平均の配列ピッチｐｒは、ｐｒ＝Ｄｒ／（Ｎｒ－１）という式で表せる。なお、（Ｎｒ－１）は、反射器４１における、隣接する反射電極指が作るギャップの総個数ともいえる。反射器４２の反射電極指４５の平均の配列ピッチｐｒも同様に導出される。

【0104】

なお、配列ピッチの測定箇所は、所定の隣り合う電極指の交差幅の、第１方向ｄ１における中間点を通る、第２方向ｄ２に平行な仮想線上における距離で代用できる。配列ピッチの測定方法は、上面（第１方向ｄ１および第２方向ｄ２の両方に垂直な方向）からの光学顕微鏡またはＳＥＭ観察、もしくは、研磨等により上記仮想線を通る断面を出し、光学顕微鏡またはＳＥＭ観察、による測長で測定できる。

【0105】

なお、付加回路２０は、図１に示すような縦結合型の弾性波共振器に限られず、横結合型の弾性波共振器またはトランスバーサル型の弾性波共振器を有していてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0106】

本発明は、弾性波フィルタを含むマルチプレクサ、フロントエンド回路および通信装置として、携帯電話などの通信機器に広く利用できる。

【符号の説明】

【0107】

１ 弾性波フィルタ
１０ フィルタ回路
１１ 弾性波共振子
２０ 付加回路
２５ ＩＤＴ群
２８ 容量素子
３１、３２ ＩＤＴ
３１ａ、３２ａ 第１の櫛形電極
３１ｂ、３２ｂ 第２の櫛形電極
３５、３５ａ、３５ｂ 電極指
３６ａ、３６ｂ バスバー電極
４１、４２ 反射器
４５ 反射電極指
４６ 反射バスバー
５１ｘ、５２ｘ 第１励振部
５１ｙ、５２ｙ 第２励振部
Ａｐ０、Ａｐ１、Ａｐ２ 減衰極
ｄ１ 第１方向
ｄ２ 第２方向
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３ インダクタ
ＬＣ１、ＬＣ２、ＬＣ３、ＬＣ４、ＬＣ５ 共振回路（ＬＣ共振回路）
ｎ１、ｎ２、ｎ３、ｎ４、ｎ５、ｎ６、ｎ７、ｎ８ ノード
Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、Ｐ６ 並列腕共振子
ｐｍ１、ｐｍ２ 損失極小点
ｒ１ 第１経路
ｒ２ 第２経路
Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６、Ｓ７ 直列腕共振子
Ｔ１、Ｔ２ 入出力端子

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】