(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024104031
(43)【公開日】2024-08-02
(54)【発明の名称】転動部材
(51)【国際特許分類】
C22C 38/00 20060101AFI20240726BHJP
C22C 38/24 20060101ALI20240726BHJP
C21D 9/36 20060101ALN20240726BHJP
C21D 9/40 20060101ALN20240726BHJP
C21D 9/00 20060101ALN20240726BHJP
【ＦＩ】
C22C38/00 301N
C22C38/24
C21D9/36
C21D9/40
C21D9/00 A
【審査請求】未請求
【請求項の数】6
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023008036
(22)【出願日】2023-01-23
(71)【出願人】
【識別番号】000102692
【氏名又は名称】ＮＴＮ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001195
【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】佐藤 美有
(72)【発明者】
【氏名】山田 昌弘
【テーマコード（参考）】
4K042
【Ｆターム（参考）】
4K042AA14
4K042AA18
4K042AA22
4K042BA03
4K042BA04
4K042BA08
4K042BA09
4K042CA06
4K042CA08
4K042CA13
4K042DA01
4K042DA02
4K042DA06
4K042DC02
4K042DC03
4K042DC04
4K042DD02
4K042DE02
(57)【要約】
【課題】鋼材コストを低下させつつ、水素脆性に起因する剥離寿命、表面起点型剥離に起因する剥離寿命及び疲労強度が改善された転動部材を提供する。
【解決手段】転動部材（１０，２０，３０）は、表面を有する鋼製の転動部材である。転動部材は、表面に、表層部（５０）を備えている。鋼は、炭素と、シリコンと、マンガンと、クロムと、モリブデンと、バナジウムと、アルミニウムと、リンと、硫黄と、窒素と、酸素とを含み、残部が鉄及び不可避不純物からなる。表層部には、浸窒処理が行われている。表面からの深さが５μｍ以下となる表層部の第１領域では、圧縮残留応力が８０ＭＰａ以上になっている。表面からの深さが２０μｍ以下となる表層部の第２領域では、窒素の含有量が０．２質量パーセント以上０．８質量パーセント以下であり、比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径が２．０μｍ以下である。
【選択図】図４
【解決手段】転動部材（１０，２０，３０）は、表面を有する鋼製の転動部材である。転動部材は、表面に、表層部（５０）を備えている。鋼は、炭素と、シリコンと、マンガンと、クロムと、モリブデンと、バナジウムと、アルミニウムと、リンと、硫黄と、窒素と、酸素とを含み、残部が鉄及び不可避不純物からなる。表層部には、浸窒処理が行われている。表面からの深さが５μｍ以下となる表層部の第１領域では、圧縮残留応力が８０ＭＰａ以上になっている。表面からの深さが２０μｍ以下となる表層部の第２領域では、窒素の含有量が０．２質量パーセント以上０．８質量パーセント以下であり、比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径が２．０μｍ以下である。
【選択図】図４
【特許請求の範囲】
【請求項1】
表面を有する鋼製の転動部材であって、
前記表面に表層部を備え、
前記鋼は、０．８０質量パーセント以上１．１０質量パーセント以下の炭素と、０．１５質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のシリコンと、０．３０質量パーセント以上０．７０質量パーセント以下のマンガンと、１．３０質量パーセント以上１．６０質量パーセント以下のクロムと、０．１０質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のモリブデンと、０．１２質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のバナジウムと、０．００５質量パーセント以上０．０５０質量パーセント以下のアルミニウムと、０．０２０質量パーセント以下のリンと、０．０１０質量パーセント以下の硫黄と、０．０１５質量パーセント以下の窒素と、０．００１５質量パーセント以下の酸素とを含み、残部が鉄及び不可避不純物からなり、
前記表層部には、浸窒処理が行われており、
前記表面からの深さが５μｍ以下となる前記表層部の第１領域では、圧縮残留応力が８０ＭＰａ以上になっており、
前記表面からの深さが２０μｍ以下となる前記表層部の第２領域では、窒素の含有量が０．２質量パーセント以上０．８質量パーセント以下であり、比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径が２．０μｍ以下である、転動部材。
前記表面に表層部を備え、
前記鋼は、０．８０質量パーセント以上１．１０質量パーセント以下の炭素と、０．１５質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のシリコンと、０．３０質量パーセント以上０．７０質量パーセント以下のマンガンと、１．３０質量パーセント以上１．６０質量パーセント以下のクロムと、０．１０質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のモリブデンと、０．１２質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のバナジウムと、０．００５質量パーセント以上０．０５０質量パーセント以下のアルミニウムと、０．０２０質量パーセント以下のリンと、０．０１０質量パーセント以下の硫黄と、０．０１５質量パーセント以下の窒素と、０．００１５質量パーセント以下の酸素とを含み、残部が鉄及び不可避不純物からなり、
前記表層部には、浸窒処理が行われており、
前記表面からの深さが５μｍ以下となる前記表層部の第１領域では、圧縮残留応力が８０ＭＰａ以上になっており、
前記表面からの深さが２０μｍ以下となる前記表層部の第２領域では、窒素の含有量が０．２質量パーセント以上０．８質量パーセント以下であり、比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径が２．０μｍ以下である、転動部材。
【請求項2】
前記表面からの距離が５０μｍ以下となる前記表層部の第３領域では、１２０℃で２０００時間の加熱を行った後の残留オーステナイト量が１２０℃で２０００時間の加熱を行う前の残留オーステナイト量の６０パーセント以上である、請求項１に記載の転動部材。
【請求項3】
前記第２領域では、マルテンサイトブロック粒の最大粒径が５．０μｍ以下である、請求項１に記載の転動部材。
【請求項4】
前記第２領域では、クロム又はバナジウムを主成分とする析出物の最大粒径が０．５μｍ以下であり、前記析出物の平均面積率が２．０パーセント以上である、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の転動部材。
【請求項5】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の前記転動部材を備える、転動部品。
【請求項6】
請求項４に記載の前記転動部材を備える、転動部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、転動部材に関する。
【背景技術】
【0002】
近年、自動車や産業機械等の分野では、低燃費化が加速している。それに伴って、自動車や産業機械等に用いられる軸受、歯車、シャフト等の小型化や軽量化が求められる。軸受、歯車、シャフト等は、小型化や軽量化されると使用条件が過酷になるため、高耐久化や高強度化が求められる。
【0003】
例えば自動車や産業機械等の動力伝達装置に用いられる軸受では、高振動、高荷重、急加減速、高温等の厳しい負荷条件で使用される結果、軌道面や転動面にすべりが生じ、潤滑油に混入した水分や潤滑油が分解されて発生した水素が軌道面や転動面から鋼内部に侵入し、水素脆化が発生することがある。水素脆化は、軌道面や転動面において、早期剥離の原因となることがある。また、自動車や産業機械等の動力伝達装置に用いられる軸受では、動力伝達装置に含まれている歯車の摩耗や欠けに伴って、硬質の異物が軸受内部に侵入することがある。このような硬質の異物は、表面損傷や異物に起因した表面起点型剥離の原因となる。
【0004】
例えば自動車や産業機械等の動力伝達装置に用いられる歯車は、接触面（歯車同士が噛み合う面）におけるすべりを伴いながら転動するため、接触面から鋼内部に侵入した水素により水素脆化が引き起こされることがある。また、自動車や産業機械等の動力伝達装置に用いられる歯車は、繰り返し負荷が加わることで歯元に微小な亀裂が発生し、歯元において折損（疲労破壊）が生じることがある。
【0005】
例えば自動車や産業機械等の動力伝達装置に用いられるシャフト（アクスルシャフト、ドライブシャフト）では、自動車や産業機械等の高速旋回等が繰り返されることにより亀裂が発生し、折損（疲労破壊）が生じてしまうことがある。
【0006】
上記のような問題に対応するための技術としては、特開２００９－７６１４号公報（特許文献１）、特許第６７３５５８９号公報（特許文献２）及び特許第６３５６８８１号公報（特許文献３）に記載の技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0007】
【特許文献1】特開２００９－７６１４号公報
【特許文献2】特許第６７３５５８９号公報
【特許文献3】特許第６３５６８８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
特許文献１では、トランスミッション用の部材を構成している鋼にニッケルが添加されている。しかしながら、ニッケルは高価であるため、鋼材へのニッケルの添加は、鋼材コストの上昇を招く。特許文献２や特許文献３では、水素脆性に起因する剥離寿命、表面起点型剥離に起因する剥離寿命及び疲労強度に改善の余地がある。
【0009】
本発明は、上記のような従来技術の問題点に鑑みてなされたものである。より具体的には、本発明は、鋼材コストを低下させつつ、水素脆性に起因する剥離寿命、表面起点型剥離に起因する剥離寿命及び疲労強度が改善された転動部材を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明の転動部材は、表面を有する鋼製の転動部材である。転動部材は、表面に、表層部を備えている。鋼は、０．８０質量パーセント以上１．１０質量パーセント以下の炭素と、０．１５質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のシリコンと、０．３０質量パーセント以上０．７０質量パーセント以下のマンガンと、１．３０質量パーセント以上１．６０質量パーセント以下のクロムと、０．１０質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のモリブデンと、０．１２質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のバナジウムと、０．００５質量パーセント以上０．０５０質量パーセント以下のアルミニウムと、０．０２０質量パーセント以下のリンと、０．０１０質量パーセント以下の硫黄と、０．０１５質量パーセント以下の窒素と、０．００１５質量パーセント以下の酸素とを含み、残部が鉄及び不可避不純物からなる。表層部には、浸窒処理が行われている。表面からの深さが５μｍ以下となる表層部の第１領域では、圧縮残留応力が８０ＭＰａ以上になっている。表面からの深さが２０μｍ以下となる表層部の第２領域では、窒素の含有量が０．２質量パーセント以上０．８質量パーセント以下であり、比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径が２．０μｍ以下である。
【発明の効果】
【0011】
本発明の転動部材によると、鋼材コストを低下させつつ水素脆性に起因する剥離寿命、表面起点型剥離に起因する剥離寿命及び疲労強度が改善することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【発明を実施するための形態】
【0013】
本発明の実施形態の詳細を、図面を参照しながら説明する。以下の図面では、同一又は相当する部分に同一の参照符号を付し、重複する説明は繰り返さないものとする。実施形態に係る転動部品の例を、転がり軸受１００とする。本明細書では、転動部品は、転動しながら他から動力を受け取る又は他に動力を伝達する部品である。また、本明細書では、転動部材は、転動部品の構成部材である。そのため、実施形態に係る転動部品は、転がり軸受１００に限られるものではない。
【0014】
（転がり軸受１００の構成）
以下に、転がり軸受１００の構成を説明する。
以下に、転がり軸受１００の構成を説明する。
【0015】
【0016】
転がり軸受１００は、内輪１０と、外輪２０と、複数の転動体３０と、保持器４０とを有している。内輪１０の中心軸を、中心軸Ａとする。中心軸Ａの方向を、軸方向とする。中心軸Ａを通り、かつ中心軸Ａに直交する方向を、径方向とする。軸方向に沿って見た際に、中心軸Ａを中心とする円周に沿う方向を、周方向とする。
【0017】
内輪１０は、幅面１０ａと、幅面１０ｂと、内径面１０ｃと、外径面１０ｄとを有している。幅面１０ａ、幅面１０ｂ、内径面１０ｃ及び外径面１０ｄを合わせて、内輪１０の表面ということがある。内輪１０は、周方向に延在している円環状である。
【0018】
幅面１０ａ及び幅面１０ｂは、軸方向における内輪１０の端面である。幅面１０ａは、軸方向における一方側（図１中では右側）を向いている。幅面１０ｂは、軸方向における幅面１０ａの反対面であり、軸方向における他方側（図１中では左側）を向いている。
【0019】
内径面１０ｃは、周方向に延在している。内径面１０ｃは、中心軸Ａ側を向いている。外径面１０ｄは、周方向に延在している。外径面１０ｄは、中心軸Ａとは反対側を向いている。すなわち、外径面１０ｄは、径方向における内径面１０ｃの反対面である。内径面１０ｃの軸方向における一方端及び他方端は、それぞれ、幅面１０ａ及び幅面１０ｂに連なっている。外径面１０ｄの軸方向における一方端及び他方端は、それぞれ、幅面１０ａ及び幅面１０ｂに連なっている。
【0020】
外径面１０ｄは、軌道面１０ｄａを有している。軌道面１０ｄａは、転動体３０に接触する外径面１０ｄの部分である。外径面１０ｄは、軌道面１０ｄａにおいて内径面１０ｃ側に凹んでいる。周方向に直径する断面視において、軌道面１０ｄａは、例えば部分円弧状である。内輪１０は、内径面１０ｃにおいて、軸（図示せず）に嵌め合わされる。
【0021】
外輪２０は、幅面２０ａと、幅面２０ｂと、内径面２０ｃと、外径面２０ｄとを有している。幅面２０ａ、幅面２０ｂ、内径面２０ｃ及び外径面２０ｄを合わせて、外輪２０の表面ということがある。外輪２０は、周方向に延在している円環状である。
【0022】
幅面２０ａ及び幅面２０ｂは、軸方向における外輪２０の端面である。幅面２０ａは、軸方向における一方側（図１中では右側）を向いている。幅面２０ｂは、軸方向における幅面２０ａの反対面であり、軸方向における他方側（図１中では左側）を向いている。
【0023】
内径面２０ｃは、周方向に延在している。内径面２０ｃは、中心軸Ａ側を向いている。外径面２０ｄは、周方向に延在している。外径面２０ｄは、中心軸Ａとは反対側を向いている。すなわち、外径面２０ｄは、径方向における内径面２０ｃの反対面である。内径面２０ｃの軸方向における一方端及び他方端は、それぞれ、幅面２０ａ及び幅面２０ｂに連なっている。外径面２０ｄの軸方向における一方端及び他方端は、それぞれ、幅面２０ａ及び幅面２０ｂに連なっている。
【0024】
内径面２０ｃは、軌道面２０ｃａを有している。軌道面２０ｃａは、転動体３０に接触する内径面２０ｃの部分である。内径面２０ｃは、軌道面２０ｃａにおいて外径面２０ｄ側に凹んでいる。周方向に直径する断面視において、軌道面２０ｃａは、例えば部分円弧状である。外輪２０は、外径面２０ｄにおいて、ハウジング（図示せず）に嵌め合わされる。外輪２０は、内径面２０ｃが外径面１０ｄと径方向において間隔を空けて対向するように、内輪１０の径方向における外側に配置されている。
【0025】
転動体３０は、球状である。転動体３０は、軌道面１０ｄａと軌道面２０ｃａとの間に配置されている。転動体３０の表面は、軌道面１０ｄａ及び軌道面２０ｃａに接触する。保持器４０は、外径面１０ｄと内径面２０ｃとの間に配置されている。保持器４０は、隣り合う２つの転動体３０の間の周方向における間隔が一定範囲内となるように、複数の転動体３０を保持している。
【0026】
内輪１０、外輪２０及び転動体３０は、焼入れ及び焼戻しが行われた鋼製である。内輪１０を構成している鋼、外輪２０を構成している鋼及び転動体３０を構成している鋼は、表１に示されている組成を有している。
【0027】
【表1】
【0028】
炭素は、焼入れ後における転動部材（内輪１０、外輪２０及び転動体３０）の表面における鋼の硬さに影響を与える。鋼中の炭素の含有量が０．８０質量パーセント未満である場合、転動部材の表面において、十分な硬さを確保することが困難である。鋼中の炭素の含有量が０．８０質量パーセント未満である場合、浸炭処理等により転動部材の表面における炭素含有量を補う必要があり、生産効率の低下及び製造コスト増加の要因となる。他方で、鋼中の炭素の含有量が１．１０質量パーセントを超える場合、焼入れ時の割れ（焼割れ）が発生するおそれがある。そのため、表１に示されている組成では、炭素の含有量が０．８０質量パーセント以上１．１０質量パーセント以下とされている。
【0029】
シリコンは、鋼の精錬時の脱酸及び浸窒処理前の加工性確保のために加えられている。鋼中のシリコンの含有量が０．１５質量パーセント未満である場合、焼戻し軟化抵抗が不十分となる。その結果、焼入れ後の焼戻し又は転がり軸受１００の使用時の温度上昇により、転動部材の表面における硬さが低下するおそれがある。また、この場合、転動部材を加工する際の加工性が不十分となる。
【0030】
鋼中のシリコンの含有量が０．５０質量パーセントを超える場合、鋼が硬くなり過ぎ、転動部材を加工する際の加工性がかえって低下する。また、この場合、鋼の材料コストが上昇してしまう。そのため、表１に示されている組成では、シリコンの含有量が０．１５質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下とされている。
【0031】
マンガンは、鋼の焼入れ性及び硬さを確保するために加えられている。鋼中のマンガンの含有量が０．３０質量パーセント未満である場合、鋼の焼入れ性を確保することが困難である。鋼中のマンガンの含有量が０．７０質量パーセントを超える場合、不純物であるマンガン系の非金属介在物が増加してしまう。そのため、表１に示されている組成では、マンガンの含有量が０．３０質量パーセント以上０．７０質量パーセント以下とされている。
【0032】
クロムは、鋼の焼入れ性の確保するため及び浸窒処理に伴って微細な析出物（窒化物、炭窒化物）を形成させるために加えられている。鋼中のクロムの含有量が１．３０質量パーセント未満である場合、鋼の焼入れ性を確保すること及び微細な析出物を十分形成することが困難である。鋼中のクロムの含有量が１．６０質量パーセントを超える場合、鋼の材料コストが上昇してしまう。そのため、表１に示されている組成では、クロムの含有量が１．３０質量パーセント以上１．６０質量パーセント以下とされている。
【0033】
モリブデンは、鋼の焼入れ性を確保するため及び浸窒処理に伴って微細な析出物を形成させるために加えられている。モリブデンは、炭素に対して強い親和性があるため、浸窒処理の際に鋼中に未固溶炭化物として析出している。このモリブデンの未固溶炭化物が焼入れ時に析出核となるため、モリブデンは、焼入れ後の析出物の量を増加させる。
【0034】
鋼中のモリブデンの含有量が０．１０質量パーセント未満である場合、鋼の焼入れ性を確保すること及び微細な析出物を十分に形成することが困難である。鋼中のモリブデンの含有量が０．５０質量パーセントを超える場合、鋼の材料コストが上昇してしまう。そのため、表１に示されている組成では、モリブデンの含有量が０．１０質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下とされている。
【0035】
バナジウムは、鋼の焼入れ性を確保するため及び浸窒処理に伴って微細な析出物を形成させるために加えられている。鋼中のバナジウムの含有量が０．１２質量パーセント未満である場合、鋼の焼入れ性を確保すること及び微細な析出物を十分に形成することが困難である。鋼中のバナジウムの含有量が０．５０質量パーセントを超える場合、鋼の材料コストが上昇してしまう。そのため、表１に示されている組成では、バナジウムの含有量が０．１２質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下とされている。
【0036】
内輪１０、外輪２０及び転動体３０は、焼入れ及び焼戻しが行われた鋼製である。内輪１０を構成している鋼、外輪２０を構成している鋼及び転動体３０を構成している鋼は、リン、硫黄、窒素及び炭素を含んでいなくてもよい。
【0037】
内輪１０の表面、外輪２０の表面及び転動体３０の表面には、浸窒処理が行われていることにより、表層部５０が形成されている。表層部５０の表面は、内輪１０の表面、外輪２０の表面又は転動体３０の表面である。表面からの距離が５μｍ以下となる表層部５０の領域を、第１領域とする。表面からの距離が２０μｍ以下となる表層部５０の領域を、第２領域とする。表面からの距離が５０μｍ以下となる領域を、第３領域とする。表層部５０の表面からの距離は、当該表面上の任意の点から当該表面に直交する方向に沿って測定される。表層部５０には、第３領域がなくてもよい。
【0038】
第１領域では、残留圧縮応力が８０ＭＰａ以上になっている。好ましくは、第１領域では、周方向に作用する残留圧縮応力が８０ＭＰａ以上になっている。第１領域での残留応力は、Ｘ線回折法により測定される。
【0039】
第２領域では、窒素の含有量が０．２質量パーセント以上０．８質量パーセント以下になっている。第２領域での窒素の含有量は、ＥＰＭＡ（Electron Probe Micro Analyzer）を用いて測定される。
【0040】
内輪１０を構成している鋼、外輪２０を構成している鋼及び転動体３０を構成している鋼は、表層部５０において、マルテンサイトブロック粒を有している。隣り合う２つのマルテンサイトブロック粒は、粒界において、結晶方位の差が１５°以上になっている。このことを別の観点から言えば、結晶方位にずれがある箇所が存在していても、結晶方位の差が１５°未満である場合、当該箇所は、マルテンサイトブロック粒の結晶粒界とは見做されない。マルテンサイトブロック粒の粒界は、ＥＢＳＤ（Electron Back Scattered Diffraction）法により決定される。
【0041】
第２領域では、比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径が２．０μｍ以下である。第２領域では、好ましくは、マルテンサイトブロック粒の最大粒径が５．０μｍ以下である。第２領域での比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径及び第２領域でのマルテンサイトブロック粒の最大粒径は、以下の方法により測定される。
【0042】
第１に、第２領域を含む断面において、断面観察が行われる。この際、ＥＢＳＤ法により観察視野に含まれているマルテンサイトブロック粒が特定される。この観察視野は、倍率１５００倍において観察される領域である。第２に、ＥＢＳＤ法により得られた結晶方位データから、観察視野に含まれているマルテンサイトブロック粒の各々の面積が解析される。観察視野に含まれているマルテンサイトブロック粒の各々の面積の最大値をπ／４で除した値の平方根が、第２領域でのマルテンサイトブロック粒の最大粒径である。
【0043】
第３に、観察視野に含まれているマルテンサイトブロック粒の各々の面積を、面積が大きいものから順に加算していく。この加算は、観察視野に含まれているマルテンサイトブロック粒の合計面積の３０パーセントに達するまで行われる。上記の加算の対象になったマルテンサイトブロック粒の各々について、円相当径が算出される。この円相当径は、マルテンサイトブロック粒の面積をπ／４で除した値の平方根である。上記の加算の対象になったマルテンサイトブロック粒の円相当径の平均値が、第２領域での比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径と見做される。
【0044】
内輪１０を構成している鋼、外輪２０を構成している鋼及び転動体３０を構成している鋼には、表層部５０において、析出物が分散されている。析出物は、クロム又はバナジウムを主成分としている。より具体的には、析出物は、クロム又はバナジウムを主成分とする窒化物又は炭窒化物である。
【0045】
クロム（バナジウム）を主成分とする窒化物は、クロム（バナジウム）の窒化物又は当該窒化物中のクロム（バナジウム）のサイトの一部がクロム（バナジウム）以外の合金元素により置換されているものである。クロム（バナジウム）を主成分とする炭窒化物は、クロム（バナジウム）の炭化物中の炭素のサイトの一部が窒素により置換されているものである。クロム（バナジウム）を主成分とする炭窒化物のクロム（バナジウム）のサイトは、クロム（バナジウム）以外の合金元素により置換されていてもよい。
【0046】
第２領域では、析出物の最大粒径が０．５μｍ以下であることが好ましい。第２領域では、析出物の平均面積率が２．０パーセント以上であることが好ましい。第２領域での析出物の平均面積率及び最大粒径は、以下の方法により測定される。
【0047】
析出物の平均面積率は、電界放射型走査電子顕微鏡（ＦＥ－ＳＥＭ：Field Emission Scanning Electron Microscope）を用いて倍率５０００倍で第２領域の断面画像を取得するとともに、当該断面画像を二値化し、二値化された当該断面画像に対して画像処理を行うことにより算出される。上記の断面画像は、３視野以上で取得され、平均面積率はそれら複数の断面画像から得られた析出物の面積率の平均値である。
【0048】
各々の析出物の粒径は、上記と同様の方法を用いて各々の析出物の面積を取得するとともに、当該面積をπ／４で除した値の平方根を算出することにより得られる。そして、得られた析出物の粒径のうちで最大のものが、第２領域での析出物の最大粒径とされる。
【0049】
内輪１０を構成している鋼、外輪２０を構成している鋼及び転動体３０を構成している鋼は、表層部５０において、残留オーステナイトを有している。１２０℃で２０００時間の加熱を行った後の残留オーステナイト量を、加熱後残留オーステナイト量とする。１２０℃で２０００時間の加熱が行われる前の残留オーステナイト量を、加熱前残留オーステナイト量とする。
【0050】
第２領域では、加熱後残留オーステナイト量が加熱前残留オーステナイト量の６０パーセント以上であることが好ましい。このことを別の観点から言えば、１２０℃で２０００時間の加熱が行われる前後での残留オーステナイト量の変化率が、４０パーセント以下であることが好ましい。
【0051】
（転がり軸受１００の製造方法）
以下に、転がり軸受１００の製造方法を説明する。
以下に、転がり軸受１００の製造方法を説明する。
【0052】
図２は、転がり軸受１００の製造工程図である。図２に示されるように、転がり軸受１００の製造方法は、準備工程Ｓ１と、浸窒処理工程Ｓ２と、焼入れ工程Ｓ３と、焼戻し工程Ｓ４と、後処理工程Ｓ５と、組み立て工程Ｓ６とを有している。転がり軸受１００の製造方法は、焼入れ工程Ｓ３とは別の焼入れ工程をさらに有していてもよく、焼戻し工程Ｓ４とは別の焼戻し工程をさらに有していてもよい。
【0053】
準備工程Ｓ１においては、加工対象部材が準備される。加工対象部材としては、内輪１０及び外輪２０を形成しようとする場合は円環状の部材が準備され、転動体３０を形成しようとする場合は球状の部材が準備される。この加工対象部材は、表１に示されている組成の鋼により形成されている。
【0054】
浸窒処理工程Ｓ２においては、加工対象部材の表面に対する浸窒処理が行われる。この浸窒処理は、窒素源となるガス（例えばアンモニアガス）を含む雰囲気ガス中において、加工対象部材をＡ１変態点以上の温度で所定時間保持することにより行われる。焼入れ工程Ｓ３においては、加工対象部材に対する焼入れが行われる。この焼入れは、加工対象部材をＡ１変態点以上の温度で所定時間保持した後に加工対象部材をＭｓ変態点以下の温度まで冷却することにより行われる。Ｍｓ変態点は、固溶する窒素濃度が高いほど低い傾向にある。そのため、窒素濃度が低い加工対象部材の深部（表面から離れている部分）ほどＭｓ点が高く、焼入れ時のマルテンサイト変態に伴う膨張が加工対象部材の深部において先行する。そして、冷却が進んで窒素濃度の高い加工対象部材の表層におけるマルテンサイト変態が生じる際、既に硬化している加工対象部材の深部が加工対象部材の表層におけるマルテンサイト変態に伴う膨張に対する抵抗となり、加工対象部材の表層部が完全には膨張できず、格子間隔が圧縮された状態で常温に達する。そのため、加工対象部材の表層部には、圧縮応力が残留する。なお、残留圧縮応力と硬さとの間には相関があり（硬さが高いほど残留圧縮応力が高くなり）、析出物の面積率が大きいほど、マルテンサイトブロック粒の粒径が小さいほど、旧オーステナイト結晶粒の粒径が小さいほど、硬さが高くなる。マルテンサイトブロック粒の粒径や旧オーステナイト結晶粒の粒径は、バナジウムやモリブデンの窒化物・炭窒化物によるピン止め効果により小さくなる。焼戻し工程Ｓ４においては、加工対象部材に対する焼戻しが行われる。この焼戻しは、加工対象部材をＡ１変態点未満の温度で所定時間保持することにより行われる。
【0055】
後処理工程Ｓ５においては、加工対象部材に対する仕上げ加工（研削・研磨）及び洗浄が行われる。これにより、内輪１０、外輪２０及び転動体３０が形成される。組み立て工程Ｓ６においては、内輪１０、外輪２０及び転動体３０が、保持器４０とともに組み立てられる。以上により、図１に示される構造の転がり軸受１００が製造される。
【0056】
（転がり軸受１００の効果）
転がり軸受１００においては、内輪１０、外輪２０及び転動体３０が表１に示されている組成の鋼で形成されている。表１に示されている組成の鋼は、高価な合金元素の含有量が低い。そのため、転がり軸受１００によると、鋼材コストを抑制可能である。
転がり軸受１００においては、内輪１０、外輪２０及び転動体３０が表１に示されている組成の鋼で形成されている。表１に示されている組成の鋼は、高価な合金元素の含有量が低い。そのため、転がり軸受１００によると、鋼材コストを抑制可能である。
【0057】
転がり軸受１００においては、内輪１０、外輪２０及び転動体３０が表１に示されている組成の鋼で形成されているため、浸窒処理により形成された表層部５０にある鋼中に微細な析出物が析出する。この微細な析出物の近傍が水素のトラップサイトになるため、表層部５０における水素侵入量が低下する。そのため、転がり軸受１００においては、水素脆性に起因した早期剥離が生じにくい。
【0058】
転がり軸受１００においては、第１領域での圧縮残留応力が８０ＭＰａ以上になっている。この圧縮残留応力により、内輪１０の表面、外輪２０の表面及び転動体３０の表面における圧痕形成が抑制されるとともに圧痕を起点とする亀裂の進展が抑制される。また、この圧縮残留応力により、疲労強度が改善される。このように、転がり軸受１００によると、水素脆性に起因した剥離寿命、表面起点型の剥離寿命を改善可能であるとともに、疲労強度も改善可能である。
【0059】
（実施例）
実施形態に係る転動部品の水素脆性に起因した剥離寿命、表面起点型の剥離寿命及び疲労寿命を評価するため、摩耗試験、第１転動疲労寿命試験、第２転動疲労寿命試験及び回転曲げ疲労試験が行われた。これらの試験に適用される鋼は、表２に示されるように、第１鋼又は第２鋼であった。第１鋼は表１に示されている組成の範囲内にあり、第２鋼は表１に示されている組成の範囲内にない。なお、表２に示されていないが、アルミニウム、リン、硫黄、窒素及び酸素に関して、第１鋼及び第２鋼の組成は、表１に示されている組成の範囲内にある。
実施形態に係る転動部品の水素脆性に起因した剥離寿命、表面起点型の剥離寿命及び疲労寿命を評価するため、摩耗試験、第１転動疲労寿命試験、第２転動疲労寿命試験及び回転曲げ疲労試験が行われた。これらの試験に適用される鋼は、表２に示されるように、第１鋼又は第２鋼であった。第１鋼は表１に示されている組成の範囲内にあり、第２鋼は表１に示されている組成の範囲内にない。なお、表２に示されていないが、アルミニウム、リン、硫黄、窒素及び酸素に関して、第１鋼及び第２鋼の組成は、表１に示されている組成の範囲内にある。
【0060】
【表2】
【0061】
これらの試験に適用されるサンプルには、第１熱処理又は第２熱処理が適用された。第１熱処理が適用される場合には、浸窒処理工程Ｓ２、焼入れ工程Ｓ３及び焼戻し工程Ｓ４が行われる。第２熱処理が適用される場合には、焼入れ工程Ｓ３及び焼戻し工程Ｓ４が行われるが浸窒処理工程Ｓ２が行われない。
【0062】
なお、第１熱処理の浸窒処理工程Ｓ２及び焼入れ工程Ｓ３では、ＲＸガス、プロパンガス及びアンモニアガス中において８５０℃で６時間の保持を行った後に油焼入れされた。第２熱処理の焼入れ工程Ｓ３では、８５０℃で１時間保持した後に油焼入れされた。第１熱処理及び第２熱処理の焼戻し工程Ｓ４では、１８０℃で２時間の保持が行われた。表３に示されているように、第１熱処理を第１鋼に適用する場合をサンプル１とし、第１熱処理を第２鋼に適用する場合をサンプル２とし、第２熱処理を第２鋼に適用する場合をサンプル３とする。
【0063】
サンプル１、サンプル２及びサンプル３に対して、第１領域での残留圧縮応力、第２領域での窒素の含有量及び第２領域での比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径が測定された。鋼の組成が表１に示される組成の範囲内にあることを、条件Ａとする。第１領域での残留圧縮応力が８０ＭＰａ以上であることを、条件Ｂとする。第２領域での窒素の含有量が０．２質量パーセント以上０．８質量パーセント以下あることを、条件Ｃとする。第２領域での比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径が２．０μｍ以下であることを、条件Ｄとする。表３に示されているように、サンプル１では、条件Ａから条件Ｄの全てが充足されている。サンプル２では、条件Ａ及び条件Ｄが充足されていない。サンプル３では、条件Ａから条件Ｄの全てが充足されていない。
【0064】
サンプル２とサンプル３との比較から、浸窒処理工程Ｓ２が行われて条件Ｃが満たされることにより、条件Ｂが満たされるようになる（第１領域に８０ＭＰａ以上の残留圧縮応力が作用するようになる）とともに、析出物が多く分散されるようになることが分かる。また、サンプル１とサンプル２との比較から、条件Ａが満たされることにより（表１に示される組成範囲内の鋼が用いられることにより）析出物がさらに多く分散し、条件Ｄがさらに満たされる（第２領域でマルテンサイトブロック粒が微細化される）ことが分かる。
【0065】
【表3】
【0066】
＜摩耗試験＞
摩耗試験は、表４に示されている条件で行われた。摩耗試験の結果は、表５に示されている。耐摩耗性の評価は、試験後の摩耗痕をレーザ顕微鏡で観察して摩耗体積を算出することにより行われた。表５に示されているように、サンプル１の耐摩耗性は、サンプル２及びサンプル３と比較して優れていることが分かった。表面の耐摩耗性が高い場合、表面から表層部５０への水素侵入が抑制される結果、水素脆性の発生が抑制される。したがって、サンプル１は、サンプル２及びサンプル３よりも水素脆性に起因した早期剥離が生じがたいことになる。
摩耗試験は、表４に示されている条件で行われた。摩耗試験の結果は、表５に示されている。耐摩耗性の評価は、試験後の摩耗痕をレーザ顕微鏡で観察して摩耗体積を算出することにより行われた。表５に示されているように、サンプル１の耐摩耗性は、サンプル２及びサンプル３と比較して優れていることが分かった。表面の耐摩耗性が高い場合、表面から表層部５０への水素侵入が抑制される結果、水素脆性の発生が抑制される。したがって、サンプル１は、サンプル２及びサンプル３よりも水素脆性に起因した早期剥離が生じがたいことになる。
【0067】
【表4】
【0068】
【表5】
【0069】
＜第１転動疲労寿命試験及び第２転動疲労寿命試験＞
第１転動疲労寿命試験は、表６に示されている条件で行われた。第２転動疲労寿命試験は、表７に示されている条件で行われた。すなわち、第１転動疲労寿命試験は異物混入環境下における表面起点型剥離に対する耐性が評価されており、第２転動疲労寿命試験は圧痕形成環境下における表面起点型剥離に対する耐性が評価されている。第１転動疲労寿命試験及び第２転動疲労寿命に供される各々の転がり軸受では、軌道輪がサンプル１からサンプル３のいずれかであるが、転動体はずぶ焼入れの行われたＳＵＪ２製である。表８には、第１転動疲労寿命試験及び第２転動疲労寿命試験の結果が、サンプル３を基準とする相対値（サンプル３を１．０として評価）で示されている。表８に示されているように、第１転動疲労寿命試験及び第２転動疲労寿命試験の双方において、サンプル１のＬ１０寿命は、サンプル２及びサンプル３よりも優れていた。
第１転動疲労寿命試験は、表６に示されている条件で行われた。第２転動疲労寿命試験は、表７に示されている条件で行われた。すなわち、第１転動疲労寿命試験は異物混入環境下における表面起点型剥離に対する耐性が評価されており、第２転動疲労寿命試験は圧痕形成環境下における表面起点型剥離に対する耐性が評価されている。第１転動疲労寿命試験及び第２転動疲労寿命に供される各々の転がり軸受では、軌道輪がサンプル１からサンプル３のいずれかであるが、転動体はずぶ焼入れの行われたＳＵＪ２製である。表８には、第１転動疲労寿命試験及び第２転動疲労寿命試験の結果が、サンプル３を基準とする相対値（サンプル３を１．０として評価）で示されている。表８に示されているように、第１転動疲労寿命試験及び第２転動疲労寿命試験の双方において、サンプル１のＬ１０寿命は、サンプル２及びサンプル３よりも優れていた。
【0070】
【表6】
【0071】
【表7】
【0072】
【表8】
【0073】
＜回転曲げ疲労試験＞
図３は、試験片６０の側面図である。回転曲げ疲労試験には試験片６０が用いられる。回転曲げ疲労試験では、ＪＩＳ規格（ＪＩＳ Ｚ ２２７４：１９７８）に準拠した小野式回転曲げ疲労試験が行われた。回転曲げ疲労試験では、回転数が３６００回転／分とされ、応力負荷繰り返し回数が１０７サイクルに達した段階で試験片６０が破断しなかった最大応力により評価された。表９に示されるように、サンプル１の回転曲げ疲労寿命は、サンプル２及びサンプル３よりも優れていた。
図３は、試験片６０の側面図である。回転曲げ疲労試験には試験片６０が用いられる。回転曲げ疲労試験では、ＪＩＳ規格（ＪＩＳ Ｚ ２２７４：１９７８）に準拠した小野式回転曲げ疲労試験が行われた。回転曲げ疲労試験では、回転数が３６００回転／分とされ、応力負荷繰り返し回数が１０７サイクルに達した段階で試験片６０が破断しなかった最大応力により評価された。表９に示されるように、サンプル１の回転曲げ疲労寿命は、サンプル２及びサンプル３よりも優れていた。
【0074】
【表9】
【0075】
＜まとめ＞
以上のように、条件Ａから条件Ｄの全てが充足されているサンプル１は、条件Ａから条件Ｄのうちの少なくともいずれかが充足されていないサンプル２及びサンプル３と比較して、水素脆性に起因した剥離寿命、表面起点型の剥離寿命及び疲労強度が優れていた。このことから、条件Ａから条件Ｄの全てが充足されることにより水素脆性に起因した剥離寿命、表面起点型の剥離寿命及び疲労強度が両立されることが明らかになった。
以上のように、条件Ａから条件Ｄの全てが充足されているサンプル１は、条件Ａから条件Ｄのうちの少なくともいずれかが充足されていないサンプル２及びサンプル３と比較して、水素脆性に起因した剥離寿命、表面起点型の剥離寿命及び疲労強度が優れていた。このことから、条件Ａから条件Ｄの全てが充足されることにより水素脆性に起因した剥離寿命、表面起点型の剥離寿命及び疲労強度が両立されることが明らかになった。
【0076】
（転がり軸受１００以外の転動部品）
図４は、ボールねじ２００の断面図である。図４に示されるように、ボールねじ２００は、ねじ軸２１０と、ボールナット２２０と、複数のボール２３０と、シール部材２４０とを有している。ボールねじ２００におけるボール２３０の循環方式は、特に限定されない。ボールねじ２００におけるボール２３０の循環方式は、例えば、チューブ式、リターンチューブ（パイプ）式、デフレクタ式、エンドデフレクタ式、エンドキャップ式、こま式等である。
図４は、ボールねじ２００の断面図である。図４に示されるように、ボールねじ２００は、ねじ軸２１０と、ボールナット２２０と、複数のボール２３０と、シール部材２４０とを有している。ボールねじ２００におけるボール２３０の循環方式は、特に限定されない。ボールねじ２００におけるボール２３０の循環方式は、例えば、チューブ式、リターンチューブ（パイプ）式、デフレクタ式、エンドデフレクタ式、エンドキャップ式、こま式等である。
【0077】
ねじ軸２１０は、外周面２１０ａを有している。外周面２１０ａには、ねじ溝２１０ｂが形成されている。ボールナット２２０は、ねじ軸２１０の中心軸の方向に沿って延在している穴が形成されている。この穴の内壁面が、ボールナット２２０の内周面２２０ａである。内周面２２０ａには、ねじ溝２２０ｂが形成されている。ねじ軸２１０は、外周面２１０ａが内周面２２０ａと対向するようにボールナット２２０に挿入されている。ボール２３０は、ねじ溝２１０ｂとねじ溝２２０ｂとの間に配置されている。ねじ軸２１０が通されるボールナット２２０の穴は、シール部材２４０により閉塞されている。シール部材２４０に形成されている穴にも、ねじ軸２１０が通されている。
【0078】
ねじ軸２１０、ボールナット２２０及びボール２３０は、焼入れ及び焼戻しの行われた鋼により形成されている。当該鋼の組成は、表１に示されている組成の範囲内にある（上記の条件Ａが満たされている）。ねじ軸２１０、ボールナット２２０及びボール２３０の表面には、浸窒処理が行われることで転がり軸受１００と同様の表層部５０が形成されており、上記の条件Ｂから条件Ｄが満たされている。
【0079】
ボールねじ２００は、ねじ軸２１０、ボールナット２２０及びボール２３０の表面における耐摩耗性や水素脆性に起因した剥離寿命、表面起点型の剥離寿命及び疲労強度が改善されるため、高負荷容量化が可能であるとともに、小型軽量化も可能である。ボールねじ２００が小型化されることにより、周辺部品や構造部材の小型化も可能になる。
【0080】
但し、ねじ軸２１０、ボールナット２２０及びボール２３０のうちの少なくとも１つが上記の条件Ａから条件Ｄの全てが充足されることを満たしていればよい。このことを別の観点から言えば、ボールねじ２００は、ねじ軸２１０、ボールナット２２０及びボール２３０の少なくともいずれかが実施形態に係る転動部材であればよい。
【0081】
ねじ軸２１０をその中心軸回りに回転させることにより、ねじ軸２１０の回転動力は、ボール２３０を介してボールナット２２０に伝達され、ボールナット２２０がねじ軸２１０の中心軸の方向に沿って移動する。すなわち、ボールねじ２００は、モータ等の回転運動を直動運動に変換する装置である。ボールねじ２００は、例えば電動アクチュエータ、位置決め装置、電動ジャッキ、サーボシリンダ、電動サーボプレス機、メカニカルプレス機、電動ブレーキ装置、トランスミッション、電動パワーステアリング装置、電動射出成形機等に用いられる。
【0082】
このように、実施形態に係る転動部品又は転動部材は、条件Ａから条件Ｄが満たされていれば、いかなる用途の転動部品、転動部材にも適用可能である。例えば、実施形態に係る転動部品は、歯車、ドライブシャフト、カムフォロア等であってもよい。
【0083】
（付記）
上記の実施形態には、以下の構成が含まれている。
上記の実施形態には、以下の構成が含まれている。
【0084】
＜付記１＞
表面を有する鋼製の転動部材であって、
前記表面に表層部を備え、
前記鋼は、０．８０質量パーセント以上１．１０質量パーセント以下の炭素と、０．１５質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のシリコンと、０．３０質量パーセント以上０．７０質量パーセント以下のマンガンと、１．３０質量パーセント以上１．６０質量パーセント以下のクロムと、０．１０質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のモリブデンと、０．１２質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のバナジウムと、０．００５質量パーセント以上０．０５０質量パーセント以下のアルミニウムと、０．０２０質量パーセント以下のリンと、０．０１０質量パーセント以下の硫黄と、０．０１５質量パーセント以下の窒素と、０．００１５質量パーセント以下の酸素とを含み、残部が鉄及び不可避不純物からなり、
前記表層部には、浸窒処理が行われており、
前記表面からの深さが５μｍ以下となる前記表層部の第１領域では、圧縮残留応力が８０ＭＰａ以上になっており、
前記表面からの深さが２０μｍ以下となる前記表層部の第２領域では、窒素の含有量が０．２質量パーセント以上０．８質量パーセント以下であり、比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径が２．０μｍ以下である、転動部材。
表面を有する鋼製の転動部材であって、
前記表面に表層部を備え、
前記鋼は、０．８０質量パーセント以上１．１０質量パーセント以下の炭素と、０．１５質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のシリコンと、０．３０質量パーセント以上０．７０質量パーセント以下のマンガンと、１．３０質量パーセント以上１．６０質量パーセント以下のクロムと、０．１０質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のモリブデンと、０．１２質量パーセント以上０．５０質量パーセント以下のバナジウムと、０．００５質量パーセント以上０．０５０質量パーセント以下のアルミニウムと、０．０２０質量パーセント以下のリンと、０．０１０質量パーセント以下の硫黄と、０．０１５質量パーセント以下の窒素と、０．００１５質量パーセント以下の酸素とを含み、残部が鉄及び不可避不純物からなり、
前記表層部には、浸窒処理が行われており、
前記表面からの深さが５μｍ以下となる前記表層部の第１領域では、圧縮残留応力が８０ＭＰａ以上になっており、
前記表面からの深さが２０μｍ以下となる前記表層部の第２領域では、窒素の含有量が０．２質量パーセント以上０．８質量パーセント以下であり、比較面積率が３０パーセントにおけるマルテンサイトブロック粒の平均粒径が２．０μｍ以下である、転動部材。
【0085】
＜付記２＞
前記表面からの距離が５０μｍ以下となる前記表層部の第３領域では、１２０℃で２０００時間の加熱を行った後の残留オーステナイト量が１２０℃で２０００時間の加熱を行う前の残留オーステナイト量の６０パーセント以上である、付記１に記載の転動部材。
前記表面からの距離が５０μｍ以下となる前記表層部の第３領域では、１２０℃で２０００時間の加熱を行った後の残留オーステナイト量が１２０℃で２０００時間の加熱を行う前の残留オーステナイト量の６０パーセント以上である、付記１に記載の転動部材。
【0086】
＜付記３＞
前記第２領域では、マルテンサイトブロック粒の最大粒径が５．０μｍ以下である、付記１又は付記２に記載の転動部材。
前記第２領域では、マルテンサイトブロック粒の最大粒径が５．０μｍ以下である、付記１又は付記２に記載の転動部材。
【0087】
＜付記４＞
前記第２領域では、クロム又はバナジウムを主成分とする析出物の最大粒径が０．５μｍ以下であり、前記析出物の平均面積率が２．０パーセント以上である、付記１から付記３のいずれか１項に記載の転動部材。
前記第２領域では、クロム又はバナジウムを主成分とする析出物の最大粒径が０．５μｍ以下であり、前記析出物の平均面積率が２．０パーセント以上である、付記１から付記３のいずれか１項に記載の転動部材。
【0088】
＜付記５＞
付記１から付記４のいずれか１項に記載の前記転動部材を備える、転動部品。
付記１から付記４のいずれか１項に記載の前記転動部材を備える、転動部品。
【0089】
以上のように本発明の実施形態について説明を行ったが、上述の実施形態を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は、上述の実施形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含むことが意図される。
【符号の説明】
【0090】
１０ 内輪、１０ａ，１０ｂ 幅面、１０ｃ 内径面、１０ｄ 外径面、１０ｄａ 軌道面、２０ 外輪、２０ａ，２０ｂ 幅面、２０ｃ 内径面、２０ｃａ 軌道面、２０ｄ 外径面、３０ 転動体、４０ 保持器、５０ 表層部、６０ 試験片、１００ 転がり軸受、２００ ボールねじ、２１０ ねじ軸、２１０ａ 外周面、２１０ｂ ねじ溝、２２０ ボールナット、２２０ａ 内周面、２２０ｂ ねじ溝、２３０ ボール、２４０ シール部材、Ａ 中心軸、Ｓ１ 準備工程、Ｓ２ 浸窒処理工程、Ｓ３ 焼入れ工程、Ｓ４ 焼戻し工程、Ｓ５ 後処理工程、Ｓ６ 組み立て工程。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】