(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024010427
(43)【公開日】2024-01-24
(54)【発明の名称】比例弁制御装置、及び比例弁制御方法
(51)【国際特許分類】
F16K 31/06 20060101AFI20240117BHJP
【ＦＩ】
F16K31/06 340
F16K31/06 310Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022111757
(22)【出願日】2022-07-12
(71)【出願人】
【識別番号】000106760
【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100105957
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 誠
(74)【代理人】
【識別番号】100068755
【弁理士】
【氏名又は名称】恩田 博宣
(72)【発明者】
【氏名】伊藤 新治
(72)【発明者】
【氏名】伊藤 圭祐
【テーマコード（参考）】
3H106
【Ｆターム（参考）】
3H106DA02
3H106DA05
3H106DA22
3H106DB02
3H106DB12
3H106DB23
3H106DB32
3H106DC02
3H106DC17
3H106DD05
3H106EE01
3H106FA01
3H106FB02
3H106FB11
(57)【要約】
【課題】容易に流量を調整できる比例弁制御装置、及び比例弁制御方法を提供する。
【解決手段】比例弁１は、弁部とソレノイドとに作用する圧力が同圧となったバランス型である。設定値取得部９４は、出力ポートから出す流体の設定値Ｑ’を取得する。圧力情報入力部９６は、圧力センサ７４から圧力情報Ｓｐを入力する。温度情報入力部９７は、出力ポートの流体の温度を検出する温度センサ８６から温度情報Ｓｔを入力する。制御部９５は、流体の流量の設定値Ｑ’に応じた制御信号Ｉを設定するとき、圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔを用いて制御信号Ｉを求める。制御部９５は、その制御信号Ｉを電流制御回路７７に出力してソレノイドを制御することにより、弁部の弁開度を調整する。
【選択図】図６
【解決手段】比例弁１は、弁部とソレノイドとに作用する圧力が同圧となったバランス型である。設定値取得部９４は、出力ポートから出す流体の設定値Ｑ’を取得する。圧力情報入力部９６は、圧力センサ７４から圧力情報Ｓｐを入力する。温度情報入力部９７は、出力ポートの流体の温度を検出する温度センサ８６から温度情報Ｓｔを入力する。制御部９５は、流体の流量の設定値Ｑ’に応じた制御信号Ｉを設定するとき、圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔを用いて制御信号Ｉを求める。制御部９５は、その制御信号Ｉを電流制御回路７７に出力してソレノイドを制御することにより、弁部の弁開度を調整する。
【選択図】図６
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ソレノイドの吸引力と前記ソレノイドに取付けられた弾性部の弾性力とにより弁部の弁開度が設定されるとともに、前記弁部と前記ソレノイドとに作用する圧力が同圧となったバランス型の比例弁を制御するための比例弁制御装置であって、
出力ポートから出す流体の設定値を取得する設定値取得部と、
前記設定値に応じた制御信号を電流制御回路に出力して前記ソレノイドを制御することにより、前記弁部の前記弁開度を調整する制御部と、
給気ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第１圧力センサと、前記出力ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第２圧力センサと、の少なくとも一方から圧力情報を入力する圧力情報入力部と、
前記給気ポートの前記流体の温度を検出する温度センサから温度情報を入力する温度情報入力部と、を備え、
前記制御部は、前記流体の流量の前記設定値に応じた前記制御信号を設定するとき、前記圧力情報及び前記温度情報を用いて前記制御信号を求める、比例弁制御装置。
出力ポートから出す流体の設定値を取得する設定値取得部と、
前記設定値に応じた制御信号を電流制御回路に出力して前記ソレノイドを制御することにより、前記弁部の前記弁開度を調整する制御部と、
給気ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第１圧力センサと、前記出力ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第２圧力センサと、の少なくとも一方から圧力情報を入力する圧力情報入力部と、
前記給気ポートの前記流体の温度を検出する温度センサから温度情報を入力する温度情報入力部と、を備え、
前記制御部は、前記流体の流量の前記設定値に応じた前記制御信号を設定するとき、前記圧力情報及び前記温度情報を用いて前記制御信号を求める、比例弁制御装置。
【請求項2】
前記制御部は、前記圧力情報及び前記温度情報を取り込んで前記制御信号を求める処理を、繰り返し実行する
請求項１に記載の比例弁制御装置。
請求項１に記載の比例弁制御装置。
【請求項3】
前記制御部は、前記弁部の有効断面積と前記設定値との関係を表す流量計算式に前記設定値と前記圧力情報と前記温度情報とを代入することにより、前記設定値に応じた前記有効断面積を求め、前記弁開度を調整するための補正係数と前記有効断面積とを用いて前記制御信号を求める
請求項１に記載の比例弁制御装置。
請求項１に記載の比例弁制御装置。
【請求項4】
前記比例弁において検出された検出情報を前記比例弁の外部に出力するための出力線を備える
請求項１に記載の比例弁制御装置。
請求項１に記載の比例弁制御装置。
【請求項5】
前記検出情報は、前記圧力情報と、前記流体の流量を検出する流量センサの流量情報と、の少なくとも一方である
請求項４に記載の比例弁制御装置。
請求項４に記載の比例弁制御装置。
【請求項6】
前記制御部の動作モードを、前記圧力情報及び前記温度情報に基づき前記流体の流量を制御する第１モードと、前記圧力情報に基づき前記流体の圧力を制御する第２モードと、の一方に切り替えるモード切替部を備える
請求項１に記載の比例弁制御装置。
請求項１に記載の比例弁制御装置。
【請求項7】
ソレノイドの吸引力と前記ソレノイドに取付けられた弾性部の弾性力とにより弁部の弁開度が設定されるとともに、前記弁部と前記ソレノイドとに作用する圧力が同圧となったバランス型の比例弁を制御するための比例弁制御方法であって、
出力ポートから出す流体の設定値を取得することと、
給気ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第１圧力センサと、前記出力ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第２圧力センサと、の少なくとも一方から圧力情報を入力することと、
前記給気ポートの前記流体の温度を検出する温度センサから温度情報を入力することと、
前記流体の流量の前記設定値に応じた制御信号を電流制御回路に出力して前記ソレノイドを制御することにより、前記弁部の前記弁開度を調整するときに、前記圧力情報及び前記温度情報を用いて前記制御信号を求めることとを、
前記比例弁を制御する比例弁制御装置に実行させる比例弁制御方法。
出力ポートから出す流体の設定値を取得することと、
給気ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第１圧力センサと、前記出力ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第２圧力センサと、の少なくとも一方から圧力情報を入力することと、
前記給気ポートの前記流体の温度を検出する温度センサから温度情報を入力することと、
前記流体の流量の前記設定値に応じた制御信号を電流制御回路に出力して前記ソレノイドを制御することにより、前記弁部の前記弁開度を調整するときに、前記圧力情報及び前記温度情報を用いて前記制御信号を求めることとを、
前記比例弁を制御する比例弁制御装置に実行させる比例弁制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、比例弁制御装置、及び比例弁制御方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、特許文献１に開示されるように、出力される流体の流量を検出する流量センサを備えた電磁比例弁が周知である。この電磁比例弁の場合、出力される流体の流量を流量センサによって監視する。そして、出力される流量が設定の値からずれた場合、流量が設定の値となるように、電磁比例弁への印加電流を増減させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２００４－６０６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ところで、使用する流量の圧力は様々であるため、流量センサを用いたフィードバック回路を構成しなければ、所望の流量を得ることができない。このため、装置設定の工数や調整に多くの手間を要してしまう課題があった。
【0005】
本発明の目的は、容易に流量を調整できる比例弁制御装置、及び比例弁制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
前記課題を解決する比例弁制御装置は、ソレノイドの吸引力と前記ソレノイドに取付けられた弾性部の弾性力とにより弁部の弁開度が設定されるとともに、前記弁部と前記ソレノイドとに作用する圧力が同圧となったバランス型の比例弁を制御するための装置であって、出力ポートから出す流体の設定値を取得する設定値取得部と、前記設定値に応じた制御信号を電流制御回路に出力して前記ソレノイドを制御することにより、前記弁部の前記弁開度を調整する制御部と、給気ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第１圧力センサと、前記出力ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第２圧力センサと、の少なくとも一方から圧力情報を入力する圧力情報入力部と、前記給気ポートの前記流体の温度を検出する温度センサから温度情報を入力する温度情報入力部と、を備え、前記制御部は、前記流体の流量の前記設定値に応じた前記制御信号を設定するとき、前記圧力情報及び前記温度情報を用いて前記制御信号を求める。
【0007】
前記課題を解決する比例弁制御方法は、ソレノイドの吸引力と前記ソレノイドに取付けられた弾性部の弾性力とにより弁部の弁開度が設定されるとともに、前記弁部と前記ソレノイドとに作用する圧力が同圧となったバランス型の比例弁を制御するための方法であって、出力ポートから出す流体の設定値を取得することと、給気ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第１圧力センサと、前記出力ポートを流れる前記流体の圧力を検出する第２圧力センサと、の少なくとも一方から圧力情報を入力することと、前記給気ポートの前記流体の温度を検出する温度センサから温度情報を入力することと、前記流体の流量の前記設定値に応じた制御信号を電流制御回路に出力して前記ソレノイドを制御することにより、前記弁部の弁開度を調整するときに、前記圧力情報及び前記温度情報を用いて前記制御信号を求めることとを、前記比例弁を制御する比例弁制御装置に実行させる。
【発明の効果】
【0008】
本発明は、比例弁において容易に流量を調整できる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1】第１実施形態の比例弁の断面図である。
【図2】プラグの側面図である。
【図3】開弁状態の比例弁の断面図である。
【図4】流体の各圧力において印加電流に対する流量の変化を示す波形図である。
【図5】印加電流に対する有効断面積の変化を示す波形図である。
【図6】比例弁制御装置の回路図である。
【図7】比例弁制御装置の電気構成図である。
【図8】流体制御の手順図である。
【図9】第２実施形態の比例弁制御装置の構成図である。
【図10】圧力制御の手順図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
（第１実施形態）
以下、本開示の第１実施形態を説明する。
（比例弁１の概説）
図１に示すように、比例弁１は、流体の流路を切り替えるための弁部２と、弁部２を駆動するためのソレノイド３と、を備える。弁部２及びソレノイド３は、例えば、ボルトやネジ等を用いた取付構造（図示略）により、一体に取付けられている。比例弁１は、ソレノイド３によって電磁的に弁部２の開閉が切り替えられる電磁比例弁である。比例弁１は、弁部２とソレノイド３とに作用する圧力が同圧となったバランス型である。流体は、例えば、正圧空気である。
以下、本開示の第１実施形態を説明する。
（比例弁１の概説）
図１に示すように、比例弁１は、流体の流路を切り替えるための弁部２と、弁部２を駆動するためのソレノイド３と、を備える。弁部２及びソレノイド３は、例えば、ボルトやネジ等を用いた取付構造（図示略）により、一体に取付けられている。比例弁１は、ソレノイド３によって電磁的に弁部２の開閉が切り替えられる電磁比例弁である。比例弁１は、弁部２とソレノイド３とに作用する圧力が同圧となったバランス型である。流体は、例えば、正圧空気である。
【0011】
（ソレノイド３の概説）
図１に示す通り、ソレノイド３は、比例弁１のハウジング４の一部を構成するフレーム５を備える。フレーム５の内部には、コイル６、固定子７、及び可動子８が収容されている。コイル６は、筒状のボビン９に複数周巻回されている。コイル６は、磁性材料によって形成された第１磁気フレーム１０及び第２磁気フレーム１１によってシールドされている。ボビン９は、コイル６の軸方向（図１のＸ軸方向）に沿って延びる孔１２を有する。
図１に示す通り、ソレノイド３は、比例弁１のハウジング４の一部を構成するフレーム５を備える。フレーム５の内部には、コイル６、固定子７、及び可動子８が収容されている。コイル６は、筒状のボビン９に複数周巻回されている。コイル６は、磁性材料によって形成された第１磁気フレーム１０及び第２磁気フレーム１１によってシールドされている。ボビン９は、コイル６の軸方向（図１のＸ軸方向）に沿って延びる孔１２を有する。
【0012】
第１磁気フレーム１０は、例えば、両端が開口した略筒状に形成されるとともに、ボビン９を周方向から覆う。第２磁気フレーム１１は、第１磁気フレーム１０の一方の開口１３に取付けられることにより、ボビン９の端部を覆う。ボビン９及び第２磁気フレーム１１との間には、これらの隙間をシールするシール部１４が取付けられている。
【0013】
固定子７は、ボビン９の孔１２内において基端寄りの位置に挿通されている。固定子７は、端部に形成された螺着部１５（例えば、雌ねじ）が第１磁気フレーム１０の他方の開口に形成された被螺着部１６（例えば、雄ねじ）に螺着されている。可動子８は、ボビン９の孔１２と第２磁気フレーム１１の孔１７との両方に挿通されている。可動子８の先端は、第２磁気フレーム１１の孔１７から弁部２に向かって所定量突出している。
【0014】
ソレノイド３は、可動子８を固定子７に対して離間する方向（図１の矢印Ｘ１方向）に押す弾性部１８を備える。弾性部１８は、例えば、ばね（円錐ばね）である。弾性部１８は、一端が第１磁気フレーム１０に当接するとともに、他端が可動子８の先端の突起１９に当接する。
【0015】
（弁部２の概説）
図１に示す通り、弁部２は、比例弁１のハウジング４の一部を構成するボディ２２を備える。ボディ２２は、例えば、非磁性材料により形成されている。ボディ２２は、例えば、ボディ２２の軸方向（図１のＸ軸方向）において孔２３が貫通した筒状に形成されている。孔２３には、ソレノイド３によって弁開度が設定される弁２４と、弁２４が挿し込まれるプラグ２５と、が挿入されている。ボディ２２は、弁２４が挿入された孔２３の端部がプラグ２５によって封止される。
図１に示す通り、弁部２は、比例弁１のハウジング４の一部を構成するボディ２２を備える。ボディ２２は、例えば、非磁性材料により形成されている。ボディ２２は、例えば、ボディ２２の軸方向（図１のＸ軸方向）において孔２３が貫通した筒状に形成されている。孔２３には、ソレノイド３によって弁開度が設定される弁２４と、弁２４が挿し込まれるプラグ２５と、が挿入されている。ボディ２２は、弁２４が挿入された孔２３の端部がプラグ２５によって封止される。
【0016】
第２磁気フレーム１１及びボディ２２の間には、これら両者間をシールするシール部２０が設けられている。シール部２０は、例えば、Ｏリングである。ボディ２２は、比例弁１内に流体を供給する給気ポート２６と、比例弁１からの流体を出力する出力ポート２７と、を有する。
【0017】
弁２４は、例えば、弁座２８から直角方向（図１のＸ軸方向）に移動するポペット弁である。ポペット型の弁２４は、ソレノイド３の駆動により、直角方向に直線移動する。本例の場合、弁座２８は、例えば、プラグ２５の先端部分である。本例の場合、弁２４は、弁座２８を開閉するための開閉部２９を有する。開閉部２９は、弁２４の外周面において周方向一帯に形成されている。
【0018】
弁２４は、弁２４の本体となる弁棒３１を有する。弁棒３１は、外周面に前述の開閉部２９を有する。開閉部２９は、弁棒３１の軸方向中央寄りの位置に形成された座３２と、この座３２に取付けられた弁体３３と、を有する。弁体３３は、弁棒３１の周方向に沿って環状に設けられている。弁棒３１は、プラグ２５内を摺動可能に設けられた摺動部３４を有する。摺動部３４は、弁棒３１の外周面において周方向一帯に形成された形状、いわゆる、フランジ状に形成されている。
【0019】
プラグ２５は、例えば、弁２４を挿し込むための穴３５と、弁２４を手動で操作するための手動操作軸３６が取付けられる孔３７と、を有する。穴３５の径は、孔３７の径よりも大きく形成されている。弁２４は、ボディ２２においてソレノイド３との境界に設けられた段状の支持部３８に弁棒３１の一端が支持されるとともに、弁棒３１の他端がプラグ２５の穴３５の内面に支持されている。
【0020】
図２に示すように、プラグ２５において先端寄りの位置には、プラグ２５の外周面に対して所定量低くなった凹部４１が周方向一帯に形成されている。本例の場合、プラグ２５は、凹部４１を挟んで先端部４２及び基端部４３を有する。先端部４２は、例えば、凹部４１よりもソレノイド３に近い側の部位である。基端部４３は、例えば、凹部４１よりもソレノイド３から遠い側の部位である。弁座２８は、例えば、プラグ２５の先端（先端部４２）によって構成される。弁座２８は、プラグ２５の穴３５の開口に沿って環状に形成されている。
【0021】
プラグ２５は、内部の穴３５を給気ポート２６に連通する孔４４を有する。孔４４は、例えば、プラグ２５の凹部４１に形成されている。孔４４は、プラグ２５の周方向において等間隔に複数設けられている。プラグ２５は、基端に設けられた螺着部４５（例えば、雄ねじ）を、ボディ２２の内面に形成された被螺着部４６（例えば、雌ねじ）に螺着することにより、ボディ２２に取付けられている。
【0022】
図１に示す通り、比例弁１は、弁２４によって出口が開閉される弁室４９を備える。本例の場合、弁室４９は、プラグ２５の内部において、プラグ２５の内面と、弁棒３１と、ボディ２２の内面と、によって囲まれる領域である。弁室４９は、流体を取り込むために給気ポート２６と連通されている。すなわち、流体は、給気ポート２６から弁室４９内に流入する。弁２４は、弁２４が弁座２８から離れると、開弁状態となり、弁２４が弁座２８に接触すると、閉弁状態となる。
【0023】
ボディ２２の内面とプラグ２５との間には、弁室４９を密閉するためのシール部５０が設けられている。本例のシール部５０は、プラグ２５の先端部４２とボディ２２の内面との間に設けられた第１シール部５０ａと、プラグ２５の基端部４３とボディ２２の内面との間に設けられた第２シール部５０ｂと、を含む。第１シール部５０ａ及び第２シール部５０ｂは、例えば、Ｏリングである。
【0024】
摺動部３４は、弁室４９を密閉するためのシール部５１を有する。シール部５１は、例えば、Ｏリングである。シール部５１は、弁２４がボディ２２の穴３５内で直線移動するときに、プラグ２５の穴３５の内周面を摺動するようになっている。
【0025】
（比例弁１の開閉動作）
図１に示す通り、コイル６が励磁されると、可動子８がコイル６によって吸引されることにより、可動子８が固定子７に近づく方向（図１の矢印Ｘ２方向）に直線移動する。具体的には、コイル６が励磁されると、可動子８が弾性部１８に抗して固定子７に近づく方向に直線移動するため、弁２４が弁座２８から離れる。そして、コイル６に流される電流ｉに応じた位置に可動子８が配置され、そして、弁２４が可動子８の位置に応じた弁開度をとる。
図１に示す通り、コイル６が励磁されると、可動子８がコイル６によって吸引されることにより、可動子８が固定子７に近づく方向（図１の矢印Ｘ２方向）に直線移動する。具体的には、コイル６が励磁されると、可動子８が弾性部１８に抗して固定子７に近づく方向に直線移動するため、弁２４が弁座２８から離れる。そして、コイル６に流される電流ｉに応じた位置に可動子８が配置され、そして、弁２４が可動子８の位置に応じた弁開度をとる。
【0026】
図３に示すように、コイル６が非励磁とされると、弾性部１８の弾性力により、可動子８が固定子７から離れる方向（図３の矢印Ｘ１方向）に直線移動する。これにより、弁２４が弁座２８に接触するため、弁２４が閉弁される。
【0027】
（手動操作軸３６の概要）
図１に示す通り、手動操作軸３６は、穴３５の側面に係合されるフランジ部５３と、フランジ部５３よりも小径に形成された軸本体５４と、を有する。軸本体５４の周囲には、手動操作軸３６と孔３７との間を密閉するシール部５５が取付けられている。手動操作軸３６が押された場合、手動操作軸３６によって弁２４が開き方向に直線移動する。これにより、弁２４を手動で開弁状態に切り替えることが可能である。
図１に示す通り、手動操作軸３６は、穴３５の側面に係合されるフランジ部５３と、フランジ部５３よりも小径に形成された軸本体５４と、を有する。軸本体５４の周囲には、手動操作軸３６と孔３７との間を密閉するシール部５５が取付けられている。手動操作軸３６が押された場合、手動操作軸３６によって弁２４が開き方向に直線移動する。これにより、弁２４を手動で開弁状態に切り替えることが可能である。
【0028】
（バランス型の説明）
図１に示す通り、弁室４９における流体の圧力は、弁２４の開閉部２９と、弁２４の摺動部３４と、に作用する。バランス型の比例弁１の場合、弁２４は、開閉部２９で流体の圧力を受ける面積と、摺動部３４で流体の圧力を受ける面積と、が同じとなっている。このため、開閉部２９で受ける圧力と、摺動部３４で受ける圧力と、が相殺される。よって、可動子８と弁２４との間に差圧が発生しない。
図１に示す通り、弁室４９における流体の圧力は、弁２４の開閉部２９と、弁２４の摺動部３４と、に作用する。バランス型の比例弁１の場合、弁２４は、開閉部２９で流体の圧力を受ける面積と、摺動部３４で流体の圧力を受ける面積と、が同じとなっている。このため、開閉部２９で受ける圧力と、摺動部３４で受ける圧力と、が相殺される。よって、可動子８と弁２４との間に差圧が発生しない。
【0029】
図４に、ソレノイド３に印加される電流ｉと、比例弁１を流れる流量Ｑと、の関係を示すグラフを図示する。なお、図４の場合、Ｐ１～Ｐ４の４つの圧力（Ｐ１＜Ｐ２＜Ｐ３＜Ｐ４）の例を図示する。バランス型の比例弁１の場合、ソレノイド３に電流ｉが流れるとき、流体の圧力に関係なく、開弁するタイミングは一致する。すなわち、流量Ｑと電流ｉとの間の変化特性は、開弁するタイミングが一致する波形をとる。このように、バランス型の場合、流体の圧力に応じて、開弁のタイミングが変化してしまう波形変化をとらずに済む。なお、流量Ｑと電流ｉとの間の変化特性は、圧力が高くなるに連れて、傾きが大きくなる波形をとる。
【0030】
図５に、ソレノイド３に印加される電流ｉと、流路の有効断面積Ｓと、の関係を示すグラフを図示する。有効断面積Ｓは、例えば、弁２４の開度を示す指標である。バランス型の比例弁１の場合、有効断面積Ｓと電流ｉとの間の変化特性は、流体の圧力に関わらず、同じ波形をとる。すなわち、有効断面積Ｓと電流ｉとの間の変化特性が、圧力に応じて各々異なる波形をとらずに済む。なお、有効断面積Ｓは、電流ｉが多くなるに連れて、大きくなる変化をとる。
【0031】
（比例弁制御装置５８の概説）
図１に示す通り、比例弁１は、比例弁制御装置５８の基板５９を備える。基板５９は、比例弁１のハウジング４の一部を構成するケース６０に覆われている。基板５９は、ソレノイド３のコイル６に電気接続されている。比例弁１は、外部の機器（図示略）と電気接続するためのコネクタ６１をケース６０の端部に備える。コネクタ６１の内部には、基板５９から延びる端子６２が配置されている。
図１に示す通り、比例弁１は、比例弁制御装置５８の基板５９を備える。基板５９は、比例弁１のハウジング４の一部を構成するケース６０に覆われている。基板５９は、ソレノイド３のコイル６に電気接続されている。比例弁１は、外部の機器（図示略）と電気接続するためのコネクタ６１をケース６０の端部に備える。コネクタ６１の内部には、基板５９から延びる端子６２が配置されている。
【0032】
図６に示すように、比例弁制御装置５８は、比例弁１の動作を制御する演算装置６４を備える。演算装置６４は、例えば、ＭＰＵ（Micro Processor Unit）である。演算装置６４は、電源線６５が接続される電源ポート６６と、入力線６７が接続される入力線ポート６８と、ＧＮＤ線６９が接続されるＧＮＤポート７０と、を有する。電源線６５は、例えば、動作に必要な電源を演算装置６４に供給する。入力線６７に入力される入力信号は、例えば、比例弁１から出力したい流量Ｑの設定値Ｑ’などがある。
【0033】
比例弁制御装置５８は、電源線６５から入力した電圧を演算装置６４の駆動電圧に降圧する電源回路７１を有する。電源回路７１は、出力が電源ポート６６に接続されている。
比例弁制御装置５８は、入力線６７に入力された入力信号を分圧する分圧抵抗７２を有する。分圧抵抗７２は、２つの抵抗Ｒ１、Ｒ２を有する。抵抗Ｒ１、Ｒ２の中点は、入力線ポート６８に接続されている。演算装置６４は、入力線６７から入力された入力信号を、入力線ポート６８で入力する。なお、入力信号がアナログ信号であるため、入力線ポート６８は、Ａ／Ｄ変換ポートである。
比例弁制御装置５８は、入力線６７に入力された入力信号を分圧する分圧抵抗７２を有する。分圧抵抗７２は、２つの抵抗Ｒ１、Ｒ２を有する。抵抗Ｒ１、Ｒ２の中点は、入力線ポート６８に接続されている。演算装置６４は、入力線６７から入力された入力信号を、入力線ポート６８で入力する。なお、入力信号がアナログ信号であるため、入力線ポート６８は、Ａ／Ｄ変換ポートである。
【0034】
（圧力センサ７４の概説）
図６及び図７に示すように、比例弁制御装置５８は、流体の圧力を検出する圧力センサ７４と接続されている。本例の圧力センサ７４は、例えば、給気ポート２６を流れる流体（１次側流体）の圧力を検出する第１圧力センサ７４ａと、出力ポート２７を流れる圧力（２次側流体）の圧力を検出する第２圧力センサ７４ｂと、を含む。図７に示す通り、第１圧力センサ７４ａは、給気ポート２６のポート上に接続されている。第２圧力センサ７４ｂは、出力ポート２７のポート上に接続されている。
図６及び図７に示すように、比例弁制御装置５８は、流体の圧力を検出する圧力センサ７４と接続されている。本例の圧力センサ７４は、例えば、給気ポート２６を流れる流体（１次側流体）の圧力を検出する第１圧力センサ７４ａと、出力ポート２７を流れる圧力（２次側流体）の圧力を検出する第２圧力センサ７４ｂと、を含む。図７に示す通り、第１圧力センサ７４ａは、給気ポート２６のポート上に接続されている。第２圧力センサ７４ｂは、出力ポート２７のポート上に接続されている。
【0035】
図６に示す通り、演算装置６４は、第１圧力センサ７４ａの圧力情報Ｓｐ（第１圧力情報Ｓp1）を入力する第１圧力入力ポート７５ａと、第２圧力センサ７４ｂの圧力情報Ｓｐ（第２圧力情報Ｓp2）を入力する第２圧力入力ポート７５ｂと、を有する。第１圧力入力ポート７５ａは、配線７６ａを通じて第１圧力センサ７４ａから第１圧力情報Ｓp1を入力する。第２圧力入力ポート７５ｂは、配線７６ｂを通じて第２圧力センサ７４ｂから第２圧力情報Ｓp2を入力する。圧力情報Ｓｐは、アナログ信号である。このため、第１圧力入力ポート７５ａ及び第２圧力入力ポート７５ｂは、Ａ／Ｄ変換ポートである。
【0036】
（電流制御回路７７の概説）
比例弁１は、ソレノイド３に流れる電流を制御する電流制御回路７７を備える。電流制御回路７７の入力は、配線７８を通じて演算装置６４の制御ポート７９に接続されている。演算装置６４は、ソレノイド３に流す電流ｉを決めるための制御信号Ｉを制御ポート７９から電流制御回路７７に出力することにより、ソレノイド３に流す電流ｉ、すなわち、弁２４の開度を切り替える。制御信号Ｉは、アナログ信号である。このため、制御ポート７９は、Ｄ／Ａ変換ポートである。
比例弁１は、ソレノイド３に流れる電流を制御する電流制御回路７７を備える。電流制御回路７７の入力は、配線７８を通じて演算装置６４の制御ポート７９に接続されている。演算装置６４は、ソレノイド３に流す電流ｉを決めるための制御信号Ｉを制御ポート７９から電流制御回路７７に出力することにより、ソレノイド３に流す電流ｉ、すなわち、弁２４の開度を切り替える。制御信号Ｉは、アナログ信号である。このため、制御ポート７９は、Ｄ／Ａ変換ポートである。
【0037】
電流制御回路７７は、フィードバック式のオペアンプ８１と、ソレノイド３の電流経路のオンオフを切り替えるスイッチング素子８２と、を備える。オペアンプ８１は、分圧抵抗８３を介して制御ポート７９に接続された＋入力端子と、スイッチング素子８２に接続された－入力端子と、を有する。オペアンプ８１の出力端子は、ダイオード８４及び抵抗Ｒ３を介してスイッチング素子８２に接続されている。
【0038】
スイッチング素子８２は、例えば、ｎｐｎ型のトランジスタである。本例の場合、トランジスタは、コレクタ端子がコイル６に接続されるとともに、エミッタ端子が抵抗Ｒ５を介してＧＮＤに接続されている。トランジスタのベース端子は、抵抗Ｒ３、Ｒ４の中点に接続されている。トランジスタのコレクタ端子及びベース端子の間には、トランジスタに印加される電圧を一定にするツェナーダイオード８５が接続されている。
【0039】
オペアンプ８１は、＋入力端子と－入力端子との差を、出力端子から出力することにより、スイッチング素子８２のオンオフを制御する。具体的には、オペアンプ８１は、＋入力端子の信号が－入力端子の信号以上となる間、スイッチング素子８２をオンすることにより、ソレノイド３のコイル６に流れる電流ｉを制御する。このようにして、制御信号Ｉに応じた一定値の電流ｉがコイル６に流れる。
【0040】
（温度センサ８６の概説）
比例弁１は、流体の温度を検出する温度センサ８６を備える。温度センサ８６は、例えば、出力ポート２７を流れる流体の温度を検出する。温度センサ８６は、検出した温度情報Ｓｔを演算装置６４の温度入力ポート８７に出力する。温度情報Ｓｔは、例えば、アナログ信号である。このため、温度入力ポート８７は、Ａ／Ｄ変換ポートである。
比例弁１は、流体の温度を検出する温度センサ８６を備える。温度センサ８６は、例えば、出力ポート２７を流れる流体の温度を検出する。温度センサ８６は、検出した温度情報Ｓｔを演算装置６４の温度入力ポート８７に出力する。温度情報Ｓｔは、例えば、アナログ信号である。このため、温度入力ポート８７は、Ａ／Ｄ変換ポートである。
【0041】
温度センサ８６は、例えば、サーミスタ８８である。サーミスタ８８は、例えば、一対の抵抗Ｒ６、Ｒ７を有する。サーミスタ８８は、抵抗Ｒ６が電源に接続されるとともに、抵抗Ｒ７がＧＮＤに接続されている。サーミスタ８８は、抵抗Ｒ６、Ｒ７の中点が演算装置６４の温度入力ポート８７に接続されている。サーミスタ８８は、抵抗Ｒ６、Ｒ７の中点の電圧を、温度情報Ｓｔとして温度入力ポート８７に出力する。
【0042】
比例弁制御装置５８は、比例弁１において検出された検出情報Ｓｋを比例弁１の外部に出力するための出力線８９を備える。出力線８９は、演算装置６４に設けられた出力線ポート９０に接続されている。検出情報Ｓｋは、例えば、前述の圧力情報Ｓｐと、流体の流量Ｑを検出する流量センサ９１（図７参照）の流量情報Ｓｑと、の少なくとも一方である。流量センサ９１は、例えば、出力ポート２７に流れ出た流量Ｑを検出する。
【0043】
（制御信号Ｉの演算）
図６に示す通り、比例弁制御装置５８は、比例弁１の出力ポート２７から出す流体の設定値Ｑ’を取得する設定値取得部９４を備える。設定値取得部９４は、例えば、演算装置６４に設けられる。設定値Ｑ’は、例えば、作業者が比例弁１から出力したい流量Ｑの値である。設定値取得部９４は、入力線６７を通じて演算装置６４に入力された設定値Ｑ’を取得する。
図６に示す通り、比例弁制御装置５８は、比例弁１の出力ポート２７から出す流体の設定値Ｑ’を取得する設定値取得部９４を備える。設定値取得部９４は、例えば、演算装置６４に設けられる。設定値Ｑ’は、例えば、作業者が比例弁１から出力したい流量Ｑの値である。設定値取得部９４は、入力線６７を通じて演算装置６４に入力された設定値Ｑ’を取得する。
【0044】
比例弁制御装置５８は、弁部２の開閉を制御する制御部９５を備える。制御部９５は、例えば、演算装置６４に設けられる。制御部９５は、設定値Ｑ’に応じた制御信号Ｉを電流制御回路７７に出力してソレノイド３を制御することにより、弁部２の弁開度を調整する。
【0045】
比例弁制御装置５８は、圧力センサ７４から圧力情報Ｓｐを入力する圧力情報入力部９６を備える。圧力情報入力部９６は、例えば、演算装置６４に設けられている。本例の場合、圧力情報入力部９６は、第１圧力センサ７４ａ及び第２圧力センサ７４ｂの少なくとも一方（本例は、両方）から圧力情報Ｓｐを入力する。圧力情報入力部９６は、第１圧力入力ポート７５ａ及び第２圧力入力ポート７５ｂから圧力情報Ｓｐを入力する。
【0046】
比例弁制御装置５８は、温度センサ８６から温度情報Ｓｔを入力する温度情報入力部９７を備える。温度情報入力部９７は、例えば、演算装置６４に設けられている。温度情報入力部９７は、温度入力ポート８７から温度情報Ｓｔを入力する。
【0047】
制御部９５は、流体の流量Ｑの設定値Ｑ’に応じた制御信号Ｉを設定するとき、圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔを用いて制御信号Ｉを求める。具体的には、作業者が流したい所望の流量Ｑが入力された場合、この流量Ｑを設定値Ｑ’として演算装置６４が取り込む。そして、制御部９５は、設定値Ｑ’に準じた流体が比例弁１から出力されるように、ソレノイド３に流れる電流ｉを制御することにより、弁部２の弁開度を調整する。
【0048】
（第１実施形態の作用）
次に、本実施形態の比例弁制御装置５８（比例弁制御方法）の作用について説明する。
図８に示すように、ステップ１０１において、演算装置６４は、作業者によって入力された流量Ｑの設定値Ｑ’を入力する。本例の場合、演算装置６４は、設定値Ｑ’を設定値取得部９４で取得する。
次に、本実施形態の比例弁制御装置５８（比例弁制御方法）の作用について説明する。
図８に示すように、ステップ１０１において、演算装置６４は、作業者によって入力された流量Ｑの設定値Ｑ’を入力する。本例の場合、演算装置６４は、設定値Ｑ’を設定値取得部９４で取得する。
【0049】
ステップ１０２において、制御部９５は、圧力センサ７４の圧力情報Ｓｐと、温度センサ８６の温度情報Ｓｔと、を検出する。本例の場合、制御部９５は、圧力情報Ｓｐを圧力情報入力部９６で入力するとともに、温度情報Ｓｔを温度情報入力部９７で入力する。
【0050】
ステップ１０３において、制御部９５は、作業者が設定した流量Ｑの流体が比例弁１から出力されるように、流量制御を実行する。
ステップ１０４において、制御部９５は、入力した圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔを用いて制御信号Ｉを演算する。本例の場合、制御部９５は、弁部２の有効断面積Ｓと設定値Ｑ’との関係を表す流量計算式に設定値Ｑ’と圧力情報Ｓｐと温度情報Ｓｔとを代入することにより、設定値Ｑ’に応じた有効断面積Ｓを求める。
ステップ１０４において、制御部９５は、入力した圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔを用いて制御信号Ｉを演算する。本例の場合、制御部９５は、弁部２の有効断面積Ｓと設定値Ｑ’との関係を表す流量計算式に設定値Ｑ’と圧力情報Ｓｐと温度情報Ｓｔとを代入することにより、設定値Ｑ’に応じた有効断面積Ｓを求める。
【0051】
流量計算式は、例えば、流体がチョーク流れのときに使用する式と、流体が亜音速流れのときに使用する式と、が用意されている。流体がチョーク流れ又は亜音速流れのいずれであるかは、例えば、第１圧力情報Ｓp1及び第２圧力情報Ｓp2を用いて判定される。流体がチョーク流れのときには、チョーク流れ時に使用する流量計算式に設定値Ｑ’と圧力情報Ｓｐと温度情報Ｓｔとを代入することにより、有効断面積Ｓを求める。また、流体が亜音速流れのときには、亜音速流れ時に使用する流量計算式に設定値Ｑ’と圧力情報Ｓｐと温度情報Ｓｔとを代入することにより、有効断面積Ｓを求める。
【0052】
制御部９５は、有効断面積Ｓの演算後、「Ｉ＝Ｓ／Ｍ」の式により、制御信号Ｉを求める。なお、同式において、「Ｍ」は、比例弁１の製品性能から算出される補正係数である。このように、制御部９５は、有効断面積Ｓの演算後、演算した有効断面積Ｓと、弁開度を調整するための補正係数Ｍと、を用いて制御信号Ｉを求める。
【0053】
ステップ１０５において、演算装置６４は、演算した制御信号Ｉを電流制御回路７７に出力する。電流制御回路７７は、制御信号Ｉに応じた電流ｉをソレノイド３に流すことにより、制御信号Ｉに応じた弁開度に設定する。このように、弁２４は、流体の圧力（温度も含む）に応じた弁開度に調整される。
【0054】
ステップ１０６において、演算装置６４は、弁２４の開度を調整した後の圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔを検出する。すなわち、演算装置６４は、次に新たな制御信号Ｉを求めるときのために、現在の圧力と温度とを再度取得する。
【0055】
ステップ１０７において、演算装置６４は、制御解除の有無を判定する。制御解除は、例えば、圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔから制御信号Ｉを求めて電流制御回路７７に送る処理、すなわち流量制御を、解除（終了）することである。制御解除の命令は、例えば、入力線６７から演算装置６４に入力されることが好ましい。
【0056】
ステップ１０７において、制御解除がなければ、ステップ１０３に戻り、制御信号Ｉを演算する一連の処理を再度実行する。すなわち、制御部９５は、圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔを取り込んで制御信号Ｉを求める処理を、繰り返し実行する。一方、１０７において、制御解除があれば、処理を終了する。
【0057】
（第１実施形態の効果）
上記実施形態の比例弁制御装置５８（比例弁制御方法）によれば、以下のような効果を得ることができる。
上記実施形態の比例弁制御装置５８（比例弁制御方法）によれば、以下のような効果を得ることができる。
【0058】
（1-1）比例弁１は、ソレノイド３の吸引力とソレノイド３に取付けられた弾性部１８の弾性力とにより弁部２の弁開度が設定されるとともに、弁部２とソレノイド３とに作用する圧力が同圧となったバランス型である。バランス型の比例弁１を制御する比例弁制御装置５８は、設定値取得部９４、制御部９５、圧力情報入力部９６、及び温度情報入力部９７を備える。設定値取得部９４は、出力ポート２７から出す流体の設定値Ｑ’を取得する。制御部９５は、設定値Ｑ’に応じた制御信号Ｉを電流制御回路７７に出力してソレノイド３を制御することにより、弁部２の弁開度を調整する。圧力情報入力部９６は、給気ポート２６を流れる流体の圧力を検出する第１圧力センサ７４ａと、出力ポート２７を流れる流体の圧力を検出する第２圧力センサ７４ｂと、の少なくとも一方から圧力情報Ｓｐを入力する。温度情報入力部９７は、給気ポート２６の流体の温度を検出する温度センサ８６から温度情報Ｓｔを入力する。制御部９５は、流体の流量Ｑの設定値Ｑ’に応じた制御信号Ｉを設定するとき、圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔを用いて制御信号Ｉを求める。
【0059】
本構成によれば、流体の圧力や温度が変化しても、圧力や温度に応じた制御信号Ｉが求められて、電流制御回路７７が制御される。このため、圧力や温度の変化に流量Ｑが影響を受け難くなる。このように、例えば、流量Ｑの出力を直接検出して流量Ｑを制御するという複雑な方法を用いなくとも、流量Ｑを所望の値に制御することが可能となる。よって、容易に流量Ｑを調整できる。
【0060】
（1-2）制御部９５は、圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔを取り込んで制御信号Ｉを求める処理を、繰り返し実行する。この構成によれば、制御信号Ｉの最適化が可能となるので、流量Ｑの出力にずれを生じ難くすることができる。
【0061】
（1-3）制御部９５は、弁部２の有効断面積Ｓと設定値Ｑ’との関係を表す流量計算式に設定値Ｑ’と圧力情報Ｓｐと温度情報Ｓｔとを代入することにより、設定値Ｑ’に応じた有効断面積Ｓを求め、弁開度を調整するための補正係数Ｍと有効断面積Ｓとを用いて制御信号Ｉを求める。この構成によれば、流量計算式を用いた演算や補正係数Ｍを用いた演算によって、最適な制御信号Ｉを簡易に求めることができる。
【0062】
（1-4）比例弁制御装置５８は、比例弁１において検出された検出情報Ｓｋを比例弁１の外部に出力するための出力線８９を備える。この構成によれば、比例弁１で検出された検出情報Ｓｋを、外部の機器に提供することができる。
【0063】
（1-5）検出情報Ｓｋは、圧力情報Ｓｐと、流体の流量Ｑを検出する流量センサ９１の流量情報Ｓｑと、の少なくとも一方である。この構成によれば、比例弁１で検出された流体の圧力及び流量Ｑの少なくとも一方を、外部の機器に提供することができる。
【0064】
（1-6）比例弁１をバランス型としたので、ソレノイド３に印加される電流ｉと、弁２４の開度を示す有効断面積Ｓとは、流体の圧力に影響を受け難くなる。このため、弁２４の開き始めから全開に至り、そして、再び閉じるまでの一連の動作における損失による性能差（いわゆる、応差）を、できる限り小さくできる。よって、弁２４の開閉を制御し易くできる。
【0065】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態を説明する。なお、第２実施形態は、第１実施形態の流量制御のみならず圧力制御も実行可能とした実施例である。よって、第１実施形態と同一部分には同じ符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ詳述する。
次に、第２実施形態を説明する。なお、第２実施形態は、第１実施形態の流量制御のみならず圧力制御も実行可能とした実施例である。よって、第１実施形態と同一部分には同じ符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ詳述する。
【0066】
（比例弁制御装置５８の概説）
図９に示すように、比例弁制御装置５８は、制御部９５の動作モードを切り替えるモード切替部９９を備える。モード切替部９９は、制御部９５の動作モードを、圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔに基づき流体の流量Ｑを制御する第１モードと、圧力情報Ｓｐに基づき流体の圧力を制御する第２モードと、の一方に切り替える。第１モードは、第１実施形態に記載した流量制御モードである。第２モードは、流体の圧力を調整する圧力制御モードである。
図９に示すように、比例弁制御装置５８は、制御部９５の動作モードを切り替えるモード切替部９９を備える。モード切替部９９は、制御部９５の動作モードを、圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔに基づき流体の流量Ｑを制御する第１モードと、圧力情報Ｓｐに基づき流体の圧力を制御する第２モードと、の一方に切り替える。第１モードは、第１実施形態に記載した流量制御モードである。第２モードは、流体の圧力を調整する圧力制御モードである。
【0067】
モード切替部９９は、例えば、比例弁制御装置５８の回路に設けられたスイッチである。このため、演算装置６４は、モード切替部９９のスイッチ信号に基づき、制御部９５の動作モードを第１モード及び第２モードのいずれかに設定する。よって、流量制御を選択する状態にモード切替部９９が操作されていれば、演算装置６４は流量制御を実行する。また、圧力制御を選択する状態にモード切替部９９が操作されていれば、演算装置６４は圧力制御を実行する。
【0068】
（第２実施形態の作用）
次に、本実施形態の比例弁制御装置５８（比例弁制御方法）の作用について説明する。なお、第１モード（流量制御モード）の場合は、第１実施形態で説明した処理が実行される。よって、ここでは、第２モード（圧力制御モード）の詳細について説明する。
次に、本実施形態の比例弁制御装置５８（比例弁制御方法）の作用について説明する。なお、第１モード（流量制御モード）の場合は、第１実施形態で説明した処理が実行される。よって、ここでは、第２モード（圧力制御モード）の詳細について説明する。
【0069】
図１０に示すように、ステップ２０１において、演算装置６４は、作業者によって入力された圧力の設定値Ｐ’を入力する。本例の場合、演算装置６４は、設定値Ｐ’を設定値取得部９４で取得する。
【0070】
ステップ２０２において、制御部９５は、圧力制御を選択したスイッチ信号をモード切替部９９から入力している場合、圧力制御として、圧力調整を実行する。圧力調整は、例えば、現在の流体（出力ポート２７の流体）の圧力を、設定値Ｐ’に到達させるための処理である。
【0071】
ステップ２０３において、制御部９５は、比例弁１を開弁する。すなわち、制御部９５は、設定値Ｐ’に基づく制御信号Ｉを電流制御回路７７に出力することにより、比例弁１を開弁する。
【0072】
ステップ２０４において、制御部９５は、圧力センサ７４の圧力情報Ｓｐを検出する。本例の場合、演算装置６４は、圧力情報Ｓｐを圧力情報入力部９６で入力する。
ステップ２０５において、制御部９５は、現在の圧力が設定値Ｐ’であるか否かを判定する。現在の圧力が設定値Ｐ’であれば、ステップ２０６に移行する。一方、現在の圧力が設定値Ｐ’でなければ、ステップ２０２に戻り、前述のステップ２０２～ステップ２０４の処理を再度実行する。
ステップ２０５において、制御部９５は、現在の圧力が設定値Ｐ’であるか否かを判定する。現在の圧力が設定値Ｐ’であれば、ステップ２０６に移行する。一方、現在の圧力が設定値Ｐ’でなければ、ステップ２０２に戻り、前述のステップ２０２～ステップ２０４の処理を再度実行する。
【0073】
ステップ２０６において、制御部９５は、圧力が設定値Ｐ’の到達した場合、圧力制御として、圧力監視を実行する。圧力監視は、現在の圧力が設定値Ｐ’に維持されているか否かを監視する処理である。
【0074】
ステップ２０７において、制御部９５は、圧力センサ７４の圧力情報Ｓｐを検出する。本例の場合、演算装置６４は、圧力情報Ｓｐを圧力情報入力部９６で入力する。
ステップ２０８において、制御部９５は、現在の圧力が設定値Ｐ’であるか否かを判定する。現在の圧力が設定値Ｐ’であれば、ステップ２０９に移行する。一方、現在の圧力が設定値Ｐ’でなければ、ステップ２０２に戻り、前述のステップ２０２～ステップ２０７の処理を再度実行する。
ステップ２０８において、制御部９５は、現在の圧力が設定値Ｐ’であるか否かを判定する。現在の圧力が設定値Ｐ’であれば、ステップ２０９に移行する。一方、現在の圧力が設定値Ｐ’でなければ、ステップ２０２に戻り、前述のステップ２０２～ステップ２０７の処理を再度実行する。
【0075】
ステップ２０９において、演算装置６４は、制御解除の有無を判定する。制御解除は、例えば、第２モード（圧力制御モード）を解除（終了）することである。制御解除の命令は、例えば、入力線６７から演算装置６４に入力されることが好ましい。
【0076】
ステップ２０９において、制御解除がなければ、ステップ２０６に戻り、第２モードを継続する。一方、２０９において、制御解除があれば、処理を終了する。
（第２実施形態の効果）
上記実施形態の比例弁制御装置５８（比例弁制御方法）によれば、以下のような効果を得ることができる。
（第２実施形態の効果）
上記実施形態の比例弁制御装置５８（比例弁制御方法）によれば、以下のような効果を得ることができる。
【0077】
（2-1）比例弁制御装置５８は、制御部９５の動作モードを切り替えるモード切替部９９を備える。モード切替部９９は、制御部９５の動作モードを、圧力情報Ｓｐ及び温度情報Ｓｔに基づき流体の流量Ｑを制御する第１モードと、圧力情報Ｓｐに基づき流体の圧力を制御する第２モードと、の一方に切り替える。
【0078】
この構成によれば、制御部９５の動作モードを第１モードと第２モードとの間で適宜切り替えることができる。また、圧力センサ７４を流量制御及び圧力制御の両方に使用することが可能となる。よって、圧力センサ７４を有効利用することができる。また、圧力センサ７４が比例弁１に元から存在する場合には、センサを新たに設けることなく、流量制御及び圧力制御を実施することができる。
【0079】
（他の実施形態）
なお、本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
なお、本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
【0080】
・各実施形態において、弁２４は、ポペット弁に限定されず、例えば、スプール弁としてもよい。
・各実施形態において、比例弁１は、例えば、給気ポート２６及び出力ポート２７を有する２ポートタイプに限定されず、これらの他に排気ポートも有する３ポートタイプでもよい。
・各実施形態において、比例弁１は、例えば、給気ポート２６及び出力ポート２７を有する２ポートタイプに限定されず、これらの他に排気ポートも有する３ポートタイプでもよい。
【0081】
・各実施形態において、圧力センサ７４は、例えば、圧電素子方式、静電容量方式、項が気方式など、種々のタイプを使用できる。
・各実施形態において、温度センサ８６は、２次側の流体ではなく、１次側の流体の温度を検出してもよい。
・各実施形態において、温度センサ８６は、２次側の流体ではなく、１次側の流体の温度を検出してもよい。
【0082】
・各実施形態において、温度センサ８６は、サーミスタ８８に限定されず、例えば、熱電対やＩＣ温度センサを用いてもよい。また、温度センサ８６は、接触式に限定されず、非接触式としてもよい。
【0083】
・各実施形態において、流量計算式は、所望の流量Ｑと、比例弁１の有効断面積Ｓと、流体の温度と、の関係を表す式であればよい。
・各実施形態において、出力線８９は、省略されてもよい。
・各実施形態において、出力線８９は、省略されてもよい。
【0084】
・第２実施形態において、モード切替部９９は、スイッチに限定されず、例えば、モード切り替えのための信号に基づいて、モード切り替えを実行する機能ブロック（ソフトウェア）としてもよい。
【0085】
・各実施形態において、比例弁１に供給される流体は、一定圧に限定されず、使用する種類に応じて、適宜異なる圧力をとる。
・各実施形態において、流体は、気体及び液体のいずれでもよい。
・各実施形態において、流体は、気体及び液体のいずれでもよい。
【0086】
・各実施形態において、比例弁１は、例えば、ＦＡ（Factory Automation）機器、医療機器に適用可能である。また、比例弁１は、食品工業に用いる流体制御装置や、薬品を梱包する加熱装置や、半導体製造に関するガス制御装置に利用されてもよい。
【0087】
・各実施形態において、設定値取得部９４、制御部９５、圧力情報入力部９６、及び温度情報入力部９７は、［１］コンピュータプログラム（ソフトウェア）に従って動作する１つ以上のプロセッサによって構成されてもよいし、［２］そのようなプロセッサと、各種処理のうち少なくとも一部の処理を実行する特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）等の１つ以上の専用のハードウェア回路との組み合わせによって構成されてもよい。プロセッサは、ＣＰＵ並びに、ＲＡＭ及びＲＯＭ等のメモリを含み、メモリは、処理をＣＰＵに実行させるように構成されたプログラムコード、又は指令を格納している。メモリ（コンピュータ可読媒体）は、汎用、又は専用のコンピュータでアクセスできるあらゆる利用可能な媒体を含む。或いは、上記プロセッサを含むコンピュータに代えて、各種処理の全てを実行する１つ以上の専用のハードウェア回路によって構成された処理回路が用いられてもよい。
【0088】
・各実施形態において、設定値取得部９４、制御部９５、圧力情報入力部９６、及び温度情報入力部９７は、独立したプロセッサから構成されてもよいし、機能の一部分が共用のプロセッサから構築されてもよい。このように、設定値取得部９４、制御部９５、圧力情報入力部９６、及び温度情報入力部９７は、独立した機能ブロックに限らず、１つの機能ブロックから構成されてもよいし、一部分が共用された機能ブロックから構成されてもよい。
【0089】
・各実施形態において、本開示は、実施例に準拠して記述されたが、本開示は当該実施例や構造に限定されるものではないと理解される。本開示は、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。加えて、様々な組み合わせや形態、さらには、それらに一要素のみ、それ以上、あるいはそれ以下、を含む他の組み合わせや形態をも、本開示の範疇や思想範囲に入るものである。
【符号の説明】
【0090】
１…比例弁、２…弁部、３…ソレノイド、１８…弾性部、２６…給気ポート、２７…出力ポート、５８…比例弁制御装置、７４…圧力センサ、７４ａ…第１圧力センサ、７４ｂ…第２圧力センサ、７７…電流制御回路、８６…温度センサ、８９…出力線、９１…流量センサ、９４…設定値取得部、９５…制御部、９６…圧力情報入力部、９７…温度情報入力部、９９…モード切替部、Ｑ…流量、Ｑ’…設定値、Ｐ’…設定値、Ｉ…制御信号、Ｓｐ…圧力情報、Ｓｔ…温度情報、Ｓｋ…検出情報、Ｓｑ…流量情報。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】