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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024104400
(43)【公開日】2024-08-05
(54)【発明の名称】液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20240729BHJP
B41J 2/16 20060101ALI20240729BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14
B41J2/16 503
【審査請求】未請求
【請求項の数】15
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023008584
(22)【出願日】2023-01-24
(71)【出願人】
【識別番号】000002369
【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100179475
【弁理士】
【氏名又は名称】仲井 智至
(74)【代理人】
【識別番号】100216253
【弁理士】
【氏名又は名称】松岡 宏紀
(74)【代理人】
【識別番号】100225901
【弁理士】
【氏名又は名称】今村 真之
(72)【発明者】
【氏名】片庭 勇一
【テーマコード（参考）】
2C057
【Ｆターム（参考）】
2C057AF72
2C057AG44
2C057AG77
2C057AP25
2C057BA14
(57)【要約】
【課題】フィルター部材の接着性が悪くても、２つの流路部材に対するフィルター部材の接着強度を高める。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、第１流路の第１開口が形成された第１面を有する第１流路部材と、第２流路の第２開口が形成された第２面を有する第２流路部材と、第１面と第２面との間に配置されたフィルター部材と、を備え、第２開口は、平面視において第１開口よりも大きく、フィルター部材は、平面視において、複数の第１孔が設けられた第１領域と、第１領域の周囲に位置し、複数の第２孔が設けられた第２領域と、を含み、第１領域は、第１開口と第２開口との間を仕切り、かつ、ノズルに供給される液体を通過させるフィルター領域を含み、第２領域は、第１面および第２面の双方に接触し、かつ、接着剤の付着した第１固定領域を含み、平面視において、複数の第２孔のそれぞれの面積は、複数の第１孔のそれぞれの面積よりも大きい。
【選択図】図３
【解決手段】液体噴射ヘッドは、第１流路の第１開口が形成された第１面を有する第１流路部材と、第２流路の第２開口が形成された第２面を有する第２流路部材と、第１面と第２面との間に配置されたフィルター部材と、を備え、第２開口は、平面視において第１開口よりも大きく、フィルター部材は、平面視において、複数の第１孔が設けられた第１領域と、第１領域の周囲に位置し、複数の第２孔が設けられた第２領域と、を含み、第１領域は、第１開口と第２開口との間を仕切り、かつ、ノズルに供給される液体を通過させるフィルター領域を含み、第２領域は、第１面および第２面の双方に接触し、かつ、接着剤の付着した第１固定領域を含み、平面視において、複数の第２孔のそれぞれの面積は、複数の第１孔のそれぞれの面積よりも大きい。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
液体を噴射するノズルと、
前記ノズルと連通する第１流路の第１開口が形成された第１面を有する第１流路部材と、
前記ノズルと連通するとともに前記第１流路と接続される第２流路の第２開口が形成された第２面を有する第２流路部材と、
前記第１面と前記第２面との間に配置されたフィルター部材と、を備え、
前記第２開口は、平面視において前記第１開口よりも大きく、
前記フィルター部材は、前記平面視において、複数の第１孔が設けられた第１領域と、前記第１領域の周囲に位置し、複数の第２孔が設けられた第２領域と、を含み、
前記第１領域は、前記第１開口と前記第２開口との間を仕切り、かつ、前記ノズルに供給される液体を通過させるフィルター領域を含み、
前記第２領域は、前記第１面および前記第２面の双方に接触し、かつ、接着剤の付着した第１固定領域を含み、
前記平面視において、前記複数の第２孔のそれぞれの面積は、前記複数の第１孔のそれぞれの面積よりも大きい、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
前記ノズルと連通する第１流路の第１開口が形成された第１面を有する第１流路部材と、
前記ノズルと連通するとともに前記第１流路と接続される第２流路の第２開口が形成された第２面を有する第２流路部材と、
前記第１面と前記第２面との間に配置されたフィルター部材と、を備え、
前記第２開口は、平面視において前記第１開口よりも大きく、
前記フィルター部材は、前記平面視において、複数の第１孔が設けられた第１領域と、前記第１領域の周囲に位置し、複数の第２孔が設けられた第２領域と、を含み、
前記第１領域は、前記第１開口と前記第２開口との間を仕切り、かつ、前記ノズルに供給される液体を通過させるフィルター領域を含み、
前記第２領域は、前記第１面および前記第２面の双方に接触し、かつ、接着剤の付着した第１固定領域を含み、
前記平面視において、前記複数の第２孔のそれぞれの面積は、前記複数の第１孔のそれぞれの面積よりも大きい、
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項2】
前記複数の第２孔は、前記平面視において三角形、四角形および六角形のうちのいずれかの形状の孔を用いて構成される、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項3】
前記複数の第２孔は、前記平面視において正六角形の孔を用いて構成される、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項4】
前記複数の第２孔の一辺の長さをＨとし、前記複数の第２孔のうちの隣り合う２つの第２孔の間の距離をＧとしたとき、
Ｇ＜Ｈ／３１／２の関係を満たす、
ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
Ｇ＜Ｈ／３１／２の関係を満たす、
ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項5】
前記フィルター部材は、電鋳部品である、
ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項6】
前記第１領域は、前記平面視において、前記フィルター領域の周囲に位置するとともに前記第１面に重なり、かつ、前記第２開口に露出された第１露出領域を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項7】
前記第２領域は、前記平面視において、前記第１固定領域と前記フィルター領域との間に位置するとともに前記第１面に重なり、かつ、前記第２開口に露出された第２露出領域を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項8】
前記第１領域は、前記第１固定領域と前記第１露出領域との間に位置し、かつ、前記第１面および前記第２面の双方に接触するとともに前記接着剤が付着する第２固定領域を含む、
ことを特徴とする請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項9】
前記フィルター領域は、第１軸に沿って延びる形状をなしており、
前記第１軸に直交する断面において、前記第１固定領域の幅は、前記第２固定領域の幅よりも長い、
ことを特徴とする請求項８に記載の液体噴射ヘッド。
前記第１軸に直交する断面において、前記第１固定領域の幅は、前記第２固定領域の幅よりも長い、
ことを特徴とする請求項８に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項10】
前記複数の第２孔のうち前記第１固定領域に設けられる少なくとも１つの第２孔の全部分は、前記第１面および前記第２面によって閉塞される、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項11】
前記第２領域における開口率は、前記第１領域における開口率よりも大きい、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項12】
前記第２領域における開口率と前記第１領域における開口率との差は、５％以上である、
ことを特徴とする請求項１１に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項１１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項13】
前記平面視において、前記複数の第１孔のそれぞれの内接円の直径は、前記複数のノズルのそれぞれの内接円の直径よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項14】
前記平面視において、前記複数の第１孔のそれぞれの形状は、円形である、
ことを特徴とする請求項１３に記載の液体噴射ヘッド。
ことを特徴とする請求項１３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項15】
請求項１から１４のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドを備える、
ことを特徴とする液体噴射装置。
ことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【0002】
インクジェット方式のプリンターに代表される液体噴射装置では、インク等の液体を噴射するノズルに向かう液体の流路の途中に異物を捕捉するためのフィルターを設ける場合がある。
【0003】
例えば、特許文献１に記載のインクジェットヘッドは、流路部材と、インク供給口を有するヘッドユニットと、当該流路部材と当該ヘッドユニットとの間に配置されるフィルターと、を備える。当該フィルターは、当該インク供給口に対応するフィルター領域と、当該フィルター領域の外周に設けられる固着領域と、を有する。当該フィルターには、複数のフィルター孔が設けられており、当該複数のフィルター孔のうち、一部のフィルター孔が当該フィルター領域に設けられ、残部のフィルター孔が当該固着領域に設けられる。当該固着領域では、当該流路部材と当該ヘッドユニットと当該フィルターとが互いに接着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００６－１５５０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１に記載のインクジェットヘッドでは、固着領域のフィルター孔のサイズがフィルター領域のフィルター孔のサイズと同じである。ここで、異物によるノズル詰まりを防止する観点から、フィルター領域のフィルター孔のサイズをノズルのサイズよりも小さくする必要がある。このため、固着領域のフィルター孔を介して流路部材とヘッドユニットとを互いに接着するための接着面積が小さくなってしまい、流路部材とヘッドユニットとを十分な接着強度で接着することができない虞があった。
【課題を解決するための手段】
【0006】
以上の課題を解決するために、本開示の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルと、前記ノズルと連通する第１流路の第１開口が形成された第１面を有する第１流路部材と、前記ノズルと連通するとともに前記第１流路に接続される第２流路の第２開口が形成された第２面を有する第２流路部材と、前記第１面と前記第２面との間に配置されたフィルター部材と、を備え、前記第２開口は、平面視において前記第１開口よりも大きく、前記フィルター部材は、前記平面視において、複数の第１孔が設けられた第１領域と、前記第１領域の周囲に位置し、複数の第２孔が設けられた第２領域と、を含み、前記第１領域は、前記第１開口と前記第２開口との間を仕切り、かつ、前記ノズルに供給される液体を通過させるフィルター領域を含み、前記第２領域は、前記第１面および前記第２面の双方に接触し、かつ、接着剤の付着した第１固定領域を含み、前記平面視において、前記複数の第２孔のそれぞれの面積は、前記複数の第１孔のそれぞれの面積よりも大きい。
【0007】
本開示の好適な態様に係る液体噴射装置は、前述の態様の液体噴射ヘッドを備える。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】第１実施形態に係る液体噴射装置の構成例を示す概略図である。
【図2】液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図3】ヘッドチップの構成例を示す断面図である。
【図4】第１実施形態における第１開口と第２開口とフィルター部材との位置関係を示す平面図である。
【図6】フィルター部材の一部の平面図である。
【図7】第１流路部材と第２流路部材との接着方法を説明するための図である。
【図8】第２実施形態における第１開口と第２開口とフィルター部材との位置関係を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、添付図面を参照しながら本開示に係る好適な実施形態を説明する。なお、図面において各部の寸法および縮尺は実際と適宜に異なり、理解を容易にするために模式的に示している部分もある。また、本開示の範囲は、以下の説明において特に本開示を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られない。
【0010】
なお、以下の説明は、便宜上、互いに交差するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を適宜に用いて行う。Ｙ軸は、「第１軸」の一例である。また、以下では、Ｘ軸に沿う一方向がＸ１方向であり、Ｘ１方向と反対の方向がＸ２方向である。同様に、Ｙ軸に沿って互いに反対の方向がＹ１方向およびＹ２方向である。また、Ｚ軸に沿って互いに反対の方向がＺ１方向およびＺ２方向である。Ｚ１方向またはＺ２方向は、「第１流路部材」と「フィルター部材」と「第２流路部材」との積層方向に相当する。以下では、Ｚ１方向またはＺ２方向にみることを「平面視」という場合がある。
【0011】
ここで、典型的には、Ｚ軸が鉛直な軸であり、Ｚ２方向が鉛直方向での下方向に相当する。ただし、Ｚ軸は、鉛直な軸でなくともよい。また、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸は、典型的には互いに直交するが、これに限定されず、例えば、８０°以上１００°以下の範囲内の角度で交差すればよい。
【0012】
Ａ：第１実施形態
Ａ１：液体噴射装置の全体構成
図１は、第１実施形態に係る液体噴射装置１００の構成例を示す概略図である。液体噴射装置１００は、「液体」の一例であるインクを液滴として記録媒体Ｍに向けて噴射するインクジェット方式の印刷装置である。記録媒体Ｍは、例えば、印刷用紙である。なお、記録媒体Ｍは、印刷用紙に限定されず、例えば、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象であってもよい。
Ａ１：液体噴射装置の全体構成
図１は、第１実施形態に係る液体噴射装置１００の構成例を示す概略図である。液体噴射装置１００は、「液体」の一例であるインクを液滴として記録媒体Ｍに向けて噴射するインクジェット方式の印刷装置である。記録媒体Ｍは、例えば、印刷用紙である。なお、記録媒体Ｍは、印刷用紙に限定されず、例えば、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象であってもよい。
【0013】
液体噴射装置１００は、図１に示すように、液体容器１０と制御モジュール２０と搬送機構３０と移動機構４０と液体噴射ヘッド５０とを備える。
【0014】
液体容器１０は、インクを貯留する。液体容器１０の具体的な態様としては、例えば、液体噴射装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで構成される袋状のインクパック、および、インクを補充可能なインクタンクが挙げられる。なお、液体容器１０に貯留されるインクの種類は任意である。
【0015】
制御モジュール２０は、液体噴射装置１００の各要素の動作を制御する。制御モジュール２０は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含む。ここで、制御モジュール２０は、液体噴射ヘッド５０を駆動するための駆動信号Ｃｏｍと、液体噴射ヘッド５０の駆動を制御するための制御信号ＳＩと、を出力する。
【0016】
搬送機構３０は、制御モジュール２０による制御のもとで、記録媒体ＭをＹ軸に沿って搬送する。
【0017】
移動機構４０は、制御モジュール２０による制御のもとで、液体噴射ヘッド５０をＸ軸に沿って往復させる。移動機構４０は、液体噴射ヘッド５０を収容するキャリッジと称される略箱型の搬送体４１と、搬送体４１が固定される無端の搬送ベルト４２と、を有する。なお、搬送体４１に搭載される液体噴射ヘッド５０の数は、１個に限定されず、複数個でもよい。また、搬送体４１には、液体噴射ヘッド５０のほかに、前述の液体容器１０が搭載されてもよい。
【0018】
液体噴射ヘッド５０は、制御モジュール２０による制御のもと、液体容器１０から供給されるインクを複数のノズルのそれぞれから記録媒体Ｍに噴射する。この噴射が搬送機構３０による記録媒体Ｍの搬送と移動機構４０による液体噴射ヘッド５０の往復移動とに並行して行われることにより、記録媒体Ｍの表面にインクによる画像が形成される。
【0019】
図１に示す例では、液体噴射ヘッド５０が複数のヘッドチップ５１を備える。ヘッドチップ５１は、インクを噴射する複数のノズルＮを有する。ヘッドチップ５１の構成例については、後に図２および図３に基づいて説明する。なお、液体噴射ヘッド５０の有するヘッドチップ５１の数は、図１に示す例に限定されず、１個以上３個以下であってもよいし、５個以上でもよい。
【0020】
【0021】
【0022】
ヘッドチップ５１の有する複数のノズルＮは、Ｘ軸に沿う方向に互いに間隔をあけて並ぶ第１ノズル列Ｌｎ１と第２ノズル列Ｌｎ２とに区分される。第１ノズル列Ｌｎ１および第２ノズル列Ｌｎ２のそれぞれは、Ｙ軸に沿う方向に直線状に配列される複数のノズルＮの集合である。
【0023】
ヘッドチップ５１は、Ｘ軸に沿う方向で互いに略対称な構成である。ただし、第１ノズル列Ｌｎ１の複数のノズルＮと第２ノズル列Ｌｎ２の複数のノズルＮとのＹ軸に沿う方向での位置は、互いに一致してもよいし異なってもよい。図２および図３では、第１ノズル列Ｌｎ１の複数のノズルＮと第２ノズル列Ｌｎ２の複数のノズルＮとのＹ軸に沿う方向での位置が互いに一致する構成が例示される。
【0024】
図２および図３に示すように、ヘッドチップ５１は、「第１流路部材」の一例である流路基板５１０と、圧力室基板５２０と、ノズル基板５３０と、吸振体５４０と、振動板５５０と、複数の圧電素子５６０と、保護基板５７０と、「第２流路部材」の一例であるケース５８０と、配線基板５９０と、２個のフィルター部材６００と、を有する。
【0025】
流路基板５１０および圧力室基板５２０は、この順でＺ１方向に積層されており、複数のノズルＮにインクを供給するための流路を形成する。流路基板５１０および圧力室基板５２０からなる積層体よりもＺ１方向に位置する領域には、振動板５５０と複数の圧電素子５６０と保護基板５７０とケース５８０と配線基板５９０と２個のフィルター部材６００と駆動回路５２とが設置される。他方、当該積層体よりもＺ２方向に位置する領域には、ノズル基板５３０と吸振体５４０とが設置される。ヘッドチップ５１の各要素は、概略的にはＹ方向に長尺な板状部材であり、例えば接着剤により、互いに接合される。以下、ヘッドチップ５１の各要素を順に説明する。
【0026】
ノズル基板５３０は、第１ノズル列Ｌｎ１および第２ノズル列Ｌｎ２のそれぞれの複数のノズルＮが設けられた板状部材である。複数のノズルＮのそれぞれは、インクを通過させる貫通孔である。ここで、ノズル基板５３０のＺ２方向を向く面がノズル面ＦＮである。ノズル基板５３０は、例えば、ドライエッチングまたはウェットエッチング等の加工技術を用いる半導体製造技術によりシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。ただし、ノズル基板５３０の製造には、他の公知の方法および材料が適宜に用いられてもよい。また、ノズルＮの断面形状は、典型的には円形状であるが、これに限定されず、例えば、多角形または楕円形等の非円形状であってもよい。
【0027】
流路基板５１０には、第１ノズル列Ｌｎ１および第２ノズル列Ｌｎ２のそれぞれについて、第１流路Ｒ１と複数の供給流路Ｒａと複数の連通流路Ｎａとが設けられる。第１流路Ｒ１は、ノズルＮと連通するとともにノズルＮよりも上流の流路であり、Ｚ軸に沿う方向でみた平面視でＹ軸に沿う方向に延びる長尺状の孔で構成される。当該孔のＺ１方向での端は、流路基板５１０のＺ１方向を向く面である第１面Ｆ１に形成される第１開口５１１を構成する。供給流路Ｒａおよび連通流路Ｎａのそれぞれは、ノズルＮごとに形成された貫通孔である。各供給流路Ｒａは、第１流路Ｒ１に連通する。
【0028】
圧力室基板５２０は、第１ノズル列Ｌｎ１および第２ノズル列Ｌｎ２のそれぞれについて、キャビティと称される複数の圧力室Ｃが設けられた板状部材である。複数の圧力室Ｃは、Ｙ軸に沿う方向に配列される。各圧力室Ｃは、ノズルＮごとに形成され、平面視でＸ軸に沿う方向に延びる長尺状の空間である。
【0029】
流路基板５１０および圧力室基板５２０それぞれは、前述のノズル基板５３０と同様に、例えば、半導体製造技術によりシリコン単結晶基板を加工することにより製造される。ただし、流路基板５１０および圧力室基板５２０のそれぞれの製造には、他の公知の方法および材料が適宜に用いられてもよい。
【0030】
圧力室Ｃは、流路基板５１０と振動板５５０との間に位置する。第１ノズル列Ｌｎ１および第２ノズル列Ｌｎ２のそれぞれについて、複数の圧力室ＣがＹ軸に沿う方向に配列される。また、圧力室Ｃは、連通流路Ｎａおよび供給流路Ｒａのそれぞれに連通する。したがって、圧力室Ｃは、連通流路Ｎａを介してノズルＮに連通し、かつ、供給流路Ｒａを介して第１流路Ｒ１に連通する。
【0031】
圧力室基板５２０のＺ１方向を向く面には、振動板５５０が配置される。振動板５５０は、弾性的に振動可能な板状部材である。図示しないが、振動板５５０は、例えば、弾性膜と絶縁膜とを有し、これらがこの順でＺ１方向に積層される。当該弾性膜は、例えば、酸化シリコン（ＳｉＯ２）で構成されており、シリコン単結晶基板の一方の面を熱酸化することにより形成される。当該絶縁膜は、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）で構成されており、スパッタ法によりジルコニウムの層を形成し、当該層を熱酸化することにより形成される。
【0032】
なお、振動板５５０は、前述の弾性膜および絶縁膜の積層による構成に限定されず、例えば、単層で構成されてもよいし、３層以上で構成されてもよい。また、振動板５５０を構成する各層の材料は、前述の材料に限定されず、例えば、シリコンまたは窒化ケイ素等であってもよい。
【0033】
振動板５５０のＺ１方向を向く面には、第１ノズル列Ｌｎ１および第２ノズル列Ｌｎ２のそれぞれについて、互いにノズルＮに対応する複数の圧電素子５６０が配置される。各圧電素子５６０は、駆動信号Ｃｏｍに応じた電位の供給により変形する受動素子であり、圧力室Ｃ内のインクに圧力変動を生じさせる。各圧電素子５６０は、平面視でＸ軸に沿う方向に延びる長尺状をなす。複数の圧電素子５６０は、複数の圧力室Ｃに対応するようにＹ軸に沿う方向に配列される。圧電素子５６０は、平面視で圧力室Ｃに重なる。
【0034】
図示しないが、各圧電素子５６０は、第１電極と圧電体と第２電極とを有し、この順でこれらがＺ１方向に積層される。当該第１電極は、圧電素子５６０ごとに互いに離間して配置される個別電極である。当該第１電極には、駆動信号Ｃｏｍに応じた電位が供給される。当該第２電極は、複数の圧電素子５６０にわたり連続するようにＹ軸に沿う方向に延びる帯状の共通電極である。当該第２電極には、例えば、定電位が供給される。これらの電極の金属材料としては、例えば、白金（Ｐｔ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）等の金属材料が挙げられ、これらのうち、１種を単独でまたは２種以上を合金または積層等の態様で組み合わせて用いることができる。当該圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３）等の圧電材料で構成される。以上の圧電素子５６０では、当該第１電極と当該第２電極との間に電圧が印加されることにより、当該圧電体が逆圧電効果により変形する。この変形に連動して振動板５５０が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動することにより、インクがノズルＮから噴射される。
【0035】
保護基板５７０は、振動板５５０のＺ１方向を向く面に設置される板状部材であり、複数の圧電素子５６０を保護するとともに振動板５５０の機械的な強度を補強する。ここで、保護基板５７０と振動板５５０との間の空間Ｓには、複数の圧電素子５６０が収容される。保護基板５７０は、例えば、樹脂材料で構成される。
【0036】
ケース５８０は、複数の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するためのケースである。ケース５８０は、例えば、樹脂材料で構成される。ケース５８０には、第１ノズル列Ｌｎ１および第２ノズル列Ｌｎ２のそれぞれについて、第２流路Ｒ２が設けられる。第２流路Ｒ２は、前述の第１流路Ｒ１に接続される空間であり、Ｚ軸に沿う方向でみた平面視でＹ軸に沿う方向に延びる長尺状の孔で構成される。当該孔のＺ２方向での端は、ケース５８０のＺ２方向を向く面である第２面Ｆ２に形成される第２開口５８１を構成する。第２流路Ｒ２は、ノズルＮと連通しており、第１流路Ｒ１とともに、複数の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するリザーバーＲとして機能する。ケース５８０には、各リザーバーＲにインクを供給するための導入口ＨＬが設けられる。各リザーバーＲ内のインクは、各供給流路Ｒａを介して圧力室Ｃに供給される。なお、各リザーバーＲに対する導入口ＨＬの位置および数等の態様は、図２および図３の例に限定されず、任意である。
【0037】
各リザーバーＲには、フィルター部材６００が設けられる。フィルター部材６００は、インクの通過を許容しつつ、ノズルＮに向かう異物を捕捉する部材である。図２および図３に示す例では、フィルター部材６００は、リザーバーＲを第１流路Ｒ１ａと第２流路Ｒ２ａとに区分するように配置される。ここで、フィルター部材６００は、流路基板５１０とケース５８０との間に介在しており、流路基板５１０およびケース５８０に対して接着される。フィルター部材６００は、例えば、ＮｉＰｄ等の金属で構成されており、電鋳法により製造される。なお、フィルター部材６００の製造方法は、電鋳法に限定されず、例えば、エッチングを用いた方法等であってもよい。また、２個のフィルター部材６００が互いに連結することにより枠状をなす構成であってもよい。フィルター部材６００の詳細については、後に図４から図６に基づいて説明する。
【0038】
吸振体５４０は、コンプライアンス基板とも称され、リザーバーＲの壁面を構成する可撓性の樹脂フィルムであり、リザーバーＲ内のインクの圧力変動を吸収する。なお、吸振体５４０は、金属製の可撓性を有する薄板であってもよい。吸振体５４０のＺ１方向を向く面は、流路基板５１０に接着剤等により接合される。
【0039】
配線基板５９０は、振動板５５０のＺ１方向を向く面に実装されており、制御モジュール２０とヘッドチップ５１とを電気的に接続するための実装部品である。配線基板５９０は、例えば、ＣＯＦ（Chip On Film）、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）またはＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板である。本実施形態の配線基板５９０には、駆動回路５２が実装される。駆動回路５２は、制御モジュール２０による制御のもと、ヘッドチップ５１の有する複数の圧電素子５６０のそれぞれについて、制御モジュール２０から出力される駆動信号Ｃｏｍに含まれるパルスを供給するか否かを切り替える。なお、配線基板５９０は、リジッド基板でもよい。この場合、当該リジッド基板上または当該リジッド基板に接続されるフレキシブル基板上に駆動回路５２が実装される。
【0040】
Ａ３：フィルター部材
図４は、第１実施形態における第１開口５１１と第２開口５８１とフィルター部材６００との位置関係を示す平面図である。図５は、図４中のＢ－Ｂ線断面図である。図４および図５では、流路基板５１０とケース５８０とフィルター部材６００との接着に関する構成が模式的に示される。
図４は、第１実施形態における第１開口５１１と第２開口５８１とフィルター部材６００との位置関係を示す平面図である。図５は、図４中のＢ－Ｂ線断面図である。図４および図５では、流路基板５１０とケース５８０とフィルター部材６００との接着に関する構成が模式的に示される。
【0041】
図５に示すように、流路基板５１０の第１面Ｆ１には、第１流路Ｒ１の開口である第１開口５１１が形成される。一方、ケース５８０の第２面Ｆ２には、第２流路Ｒ２の開口である第２開口５８１が形成される。
【0042】
図４に示すように、平面視において、第１開口５１１は、第２開口５８１の内側に位置する。したがって、第２開口５８１は、平面視において第１開口５１１よりも大きい。このため、第１流路Ｒ１と第２流路Ｒ２との間のインクの流路抵抗は、第１開口５１１により規定される。また、このように第１開口５１１および第２開口５８１の大きさが互いに異なることにより、流路基板５１０およびケース５８０のＺ軸に直交する方向での位置決めに多少のずれが生じても、当該流路抵抗の変動を低減することができる。
【0043】
図５に示すように、フィルター部材６００は、第１面Ｆ１と第２面Ｆ２との間に配置されるシート状の部材である。フィルター部材６００の厚さは、特に限定されないが、例えば、４μｍ以上５０μｍ以下の範囲内であり、好ましくは、４μｍ以上３０μｍ以下の範囲内である。本実施形態におけるフィルター部材６００の厚さは、６μｍである。
【0044】
ここで、フィルター部材６００は、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対して接着剤ＡＤによる接着により固定される。図４および図５に示す例では、平面視でフィルター部材６００の外周縁が第２面Ｆ２の外周縁５８２よりも外側に位置する。
【0045】
フィルター部材６００は、第１領域ＲＥ１と、平面視において第１領域ＲＥ１の周囲に位置する第２領域ＲＥ２と、を含む。図４では、第１領域ＲＥ１および第２領域ＲＥ２が互いに異なる濃さのグレースケールで表示される。図４に示す例では、第２領域ＲＥ２が第１領域ＲＥ１の全周にわたり設けられる。
【0046】
なお、第２領域ＲＥ２の形状および大きさ等の態様は、図４に示す例に限定されない。例えば、第２領域ＲＥ２の形状は、第１領域ＲＥ１の全周にわたる形状に限定されず、第１領域ＲＥ１の周方向での一部に設けられる形状でもよい。また、第１領域ＲＥ１の一部が後述の固定領域ＦＸに設けられてもよい。
【0047】
第１領域ＲＥ１には、複数の第１孔６１０が形成される。各第１孔６１０は、フィルター部材６００を厚さ方向に貫通する孔である。ここで、各第１孔６１０の大きさは、例えば、ノズルＮの詰まりの原因となる異物を捕捉可能な大きさである。第１孔６１０の詳細については、後に図６に基づいて説明する。
【0048】
図５に示す例では、第１領域ＲＥ１がフィルター領域ＦＲと第１露出領域ＥＸ１とを含む。
【0049】
フィルター領域ＦＲは、第１開口５１１と第２開口５８１との間を仕切っており、フィルター領域ＦＲには、ノズルＮに供給されるインクを通過させる複数の第１孔６１０が形成される。ここで、フィルター領域ＦＲは、平面視で第１領域ＲＥ１における第１開口５１１の内側の領域である。また、フィルター領域ＦＲは、第１開口５１１および第２開口５８１の平面視形状に対応して、Ｙ軸に沿って延びる形状をなす。
【0050】
第１露出領域ＥＸ１は、平面視において、フィルター領域ＦＲの周囲に位置するとともに第１面Ｆ１に重なり、かつ、第２開口５８１に露出される。ここで、第１露出領域ＥＸ１は、平面視で第１領域ＲＥ１における第１開口５１１の外側の領域である。第１露出領域ＥＸ１には、複数の第１孔６１０が形成されるが、当該複数の第１孔６１０は、第１面Ｆ１により実質的に塞がれる。なお、第１露出領域ＥＸ１には、接着剤ＡＤの一部が付着する場合がある。
【0051】
本実施形態では、第１露出領域ＥＸ１がフィルター領域ＦＲの周方向での全域にわたり設けられる。なお、第１露出領域ＥＸ１がフィルター領域ＦＲの周方向での一部のみにわたり設けられてもよい。
【0052】
第２領域ＲＥ２には、複数の第２孔６２０が形成される。各第２孔６２０は、フィルター部材６００を厚さ方向に貫通する孔である。ただし、平面視において、各第２孔６２０の面積は、各第１孔６１０の面積よりも大きい。第２孔６２０の詳細については、後に図６に基づいて説明する。
【0053】
図５に示す例では、第２領域ＲＥ２が第１固定領域ＦＸ１と第２露出領域ＥＸ２と外周領域ＰＥとを含む。
【0054】
第１固定領域ＦＸ１は、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２の双方に接触する。図５に示す例では、第１固定領域ＦＸ１は、平面視で第２領域ＲＥ２における第２開口５８１の外側かつ第２面Ｆ２の外周縁５８２の内側の領域である。すなわち、第１固定領域ＦＸ１は、平面視で第１面Ｆ１および第２面Ｆ２の双方に重なる固定領域ＦＸを構成する。なお、本明細書において、「接触」とは、対象となる２つの部材の間に隙間が存在しない場合のほか、当該２つの部材の間に厚さ１０μ以下の接着剤が介在する場合を含む。
【0055】
第１固定領域ＦＸ１には、接着剤ＡＤが付着する。ここで、前述のように、第２領域ＲＥ２に複数の第２孔６２０が設けられるので、第１固定領域ＦＸ１に付着した接着剤ＡＤが各第２孔６２０を通じて第１面Ｆ１および第２面Ｆ２の両方に接触する。これにより、フィルター部材６００が第１固定領域ＦＸ１において第１面Ｆ１および第２面Ｆ２のそれぞれに接着される。
【0056】
接着剤ＡＤは、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２のそれぞれに接着性を有する接着剤であればよく、特に限定されないが、例えば、エポキシ系接着剤またはシリコーン系接着剤である。なお、接着剤ＡＤは、シリカ粉末またはアルミナ粉末等の無機粉末を含んでもよい。
【0057】
第２露出領域ＥＸ２は、平面視において、第１固定領域ＦＸ１とフィルター領域ＦＲとの間に位置しており、第１面Ｆ１に重なる。ここで、第２露出領域ＥＸ２は、平面視で第２領域ＲＥ２における第２開口５８１の内側の領域である。第２露出領域ＥＸ２は、前述の第１露出領域ＥＸ１とともに、平面視で第２面Ｆ２に重ならずに第１面Ｆ１に重なる露出領域ＥＸを構成する。このように、本実施形態では、第１領域ＲＥ１と第２領域ＲＥ２との間の境界ＢＤが第２面Ｆ２に重ならずに第１面Ｆ１に重なることにより、露出領域ＥＸが第１露出領域ＥＸ１および第２露出領域ＥＸ２で構成される。なお、第２露出領域ＥＸ２には、接着剤ＡＤの一部が付着する場合がある。
【0058】
外周領域ＰＥは、平面視において、固定領域ＦＸの周囲に位置するとともに第１面Ｆ１に重なり、かつ、第２面Ｆ２に重ならない。ここで、外周領域ＰＥは、平面視で第２領域ＲＥ２における外周縁５８２の外側の領域である。外周領域ＰＥには、複数の第２孔６２０が形成される。このような外周領域ＰＥを第２領域ＲＥ２に設けることにより、フィルター部材６００の位置ずれが生じても、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対するフィルター部材６００の接着面性の変動を低減することができる。なお、外周領域ＰＥには、接着剤ＡＤの一部が付着する場合がある。
【0059】
本実施形態では、外周領域ＰＥが固定領域ＦＸの周方向での全域にわたり設けられる。なお、外周領域ＰＥが固定領域ＦＸの周方向での一部のみにわたり設けられてもよい。また、外周領域ＰＥは、必要に応じて設けられ、省略されてもよい。言い換えると、外周縁５８２は、フィルター部材６００または第２領域ＲＥ２の外周よりも外側に位置してもよい。
【0060】
図６は、フィルター部材６００の一部の平面図である。図６に示すように、第１領域ＲＥ１には、複数の第１孔６１０が形成される。図６に示す例では、複数の第１孔６１０が平面視で千鳥状に規則的に配置される。また、平面視において、複数の第１孔６１０のそれぞれの形状は、円形である。さらに、複数の第１孔６１０の平面視での形状および大きさが互いに等しい。
【0061】
なお、複数の第１孔６１０の配置は、図６に示す例に限定されず、例えば、格子状であってもよいし、ランダムであってもよい。また、複数の第１孔６１０の平面視形状は、図６に示す例に限定されず、例えば、楕円形であってもよいし、三角形、四角形または六角形等の多角形であってもよい。また、複数の第１孔６１０は、平面視での形状または大きさの互いに異なる２種以上の孔で構成されてもよい。
【0062】
複数の第１孔６１０による第１領域ＲＥ１の開口率は、特に限定されないが、例えば、３０％以上６０％以下の範囲内である。第１領域ＲＥ１の開口率とは、平面視において、第１領域ＲＥ１の面積に対して複数の第１孔６１０が占める割合である。これに対し、当該開口率が小さすぎると、フィルター領域ＦＲにインクを通過させる際の圧力損失が過大になる場合がある。一方、当該開口率が大きすぎると、フィルター部材６００の厚さまたは第１孔６１０の形状等によっては、フィルター領域ＦＲに必要な機械的強度を確保することが難しい。
【0063】
一方、第２領域ＲＥ２には、複数の第２孔６２０が形成される。図６に示す例では、複数の第２孔６２０が平面視で千鳥状に規則的に配置される。また、平面視において、複数の第２孔６２０のそれぞれの形状は、正六角形である。さらに、複数の第２孔６２０の平面視での形状および大きさが互いに等しい。ただし、第１領域ＲＥ１と第２領域ＲＥ２との境界ＢＤ付近において、第２孔６２０の平面視形状が六角形の一部を欠損した形状である。なお、このような欠損した形状の第２孔６２０は、必要に応じて設けられ、欠損した形状の第２孔６２０を含む全ての第２孔６２０の数の半分未満であってもよく、省略されてもよい。
【0064】
ここで、平面視において、複数の第２孔６２０のそれぞれの面積は、複数の第１孔６１０のそれぞれの面積よりも大きい。言い換えると、平面視において、複数の第１孔６１０のそれぞれの内接円ＣＲ１の直径ＷＨ１は、複数の第２孔６２０のそれぞれの内接円ＣＲ２の直径ＷＨ２よりも小さい。ここで、内接円ＣＲ１は、第１孔６１０の内側に配置され、且つ、第１孔６１０の内縁に接する最大の円と換言できる。同様に、内接円ＣＲ２は、第２孔６２０の内側に配置され、且つ、第２孔６２０の内縁に接する最大の円と換言できる。これにより、接着剤ＡＤの各第２孔６２０を通じた第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対する接着面積を大きくすることができる。
【0065】
具体的な直径ＷＨ１は、特に限定されないが、例えば、０．０１ｍｍ以上０．０３ｍｍ以下の範囲内である。ただし、ノズル詰まりを好適に防止する観点から、直径ＷＨ１は、ノズルＮの内接円の直径ＮＲよりも小さいことが好ましい。ここで、ノズルＮの内接円は、ノズルＮの内側に配置され、且つ、ノズルＮの内縁に接する最大の円と換言できる。具体的な直径ＷＨ２は、特に限定されないが、直径ＷＨ１よりも大きいことが好ましく、例えば、０．０３ｍｍ以上０．１５ｍｍ以下の範囲内である。なお、ノズルＮの直径ＮＲは、特に限定されないが、例えば、０．０２ｍｍ以上０．０４ｍｍ以下の範囲内である。
【0066】
なお、複数の第２孔６２０の配置は、図６に示す例に限定されず、例えば、格子状であってもよいし、ランダムであってもよいが、平面充填することが好ましい。また、複数の第２孔６２０の平面視形状は、図６に示す例に限定されず、例えば、円形または楕円形であってもよいし、三角形または四角形等の他の多角形であってもよい。当該三角形には、正三角形のほか、正三角形以外の三角形が含まれる。当該四角形には、正方形のほか、長方形、平行四辺形、ひし形、台形等を含む。当該六角形には、正六角形のほか、平行六角形等を含む。ただし、フィルター部材６００の機械的強度の確保と開口率の向上との両立の観点から、第２孔６２０の平面視形状として三角形、四角形または六角形を用いる場合、正三角形、正方形または正六角形を用いることが好ましい。さらに、第２孔６２０を正三角形、正方形および正六角形の何れかの形状としたうえで、複数の第２孔６２０を正平面充填することがより好ましい。また、複数の第２孔６２０は、平面視での形状または大きさの互いに異なる２種以上の孔で構成されてもよい。
【0067】
ただし、複数の第２孔６２０による第２領域ＲＥ２の開口率を効率的に高める観点から、図６に示すように、平面視において三角形、四角形および六角形のうちのいずれかの形状の孔を用いて複数の第２孔６２０を構成することが好ましい。また、平面視において三角形、四角形および六角形のうちのいずれかの形状の孔を、平面充填することがより好ましい。
【0068】
複数の第２孔６２０による第２領域ＲＥ２の開口率は、特に限定されないが、例えば、５０％以上７５％以下の範囲内である。第２領域ＲＥ２の開口率とは、平面視において、第２領域ＲＥ２の面積に対して複数の第２孔６２０が占める割合である。これに対し、当該開口率が小さすぎると、第２孔６２０の大きさ等によっては、第２孔６２０による接着強度の向上効果が十分に得られない場合がある。一方、当該開口率が大きすぎると、フィルター部材６００の厚さまたは第２孔６２０の形状等によっては、第２領域ＲＥ２に必要な機械的強度を確保することが難しい。
【0069】
ただし、接着剤ＡＤの各第２孔６２０を通じた第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対する接着面積を大きくする観点から、複数の第２孔６２０による第２領域ＲＥ２の開口率は、複数の第１孔６１０による第１領域ＲＥ１の開口率よりも大きいことが好ましい。より好ましくは、第２領域ＲＥ２における開口率と第１領域ＲＥ１における開口率との差は、５％以上である。但し、フィルター領域ＦＲの圧力損失が増大し過ぎないように、当該差は、４０％以下であるのが好ましい。さらに好ましくは、フィルター領域ＦＲの性能とのバランスの観点から、当該差は、１０％以上２０％以下の範囲内である。
【0070】
例えば、図６に示すような、円形である複数の第１孔６１０のうち隣り合う３つの第１孔６１０の各中心を結ぶ線分が正三角形となるように、複数の第１孔６１０を平面充填したとき、第１領域ＲＥ１の開口率は、９０．６×ＷＨ１２／Ｐ１２で求められる。なお、ピッチＰ１は、隣り合う第１孔６１０の各中心同士を結ぶ距離である。第１孔６１０の直径ＷＨ１を０．０１７ｍｍとし、隣り合う第１孔６１０の距離ｇ（換言すれば、第１孔６１０を構成するための枠の幅）を０．００６ｍｍ（６μｍ）とした場合、第１孔６１０のピッチＰ１は０．０２３ｍｍであり、第１領域ＲＥ１の開口率は、約４９．４９６％である。また、第１孔６１０の直径ＷＨ１を０．０１４ｍｍとし、隣り合う第１孔６１０の距離ｇ（換言すれば、第１孔６１０を構成するための枠の幅）を０．００６ｍｍ（６μｍ）とした場合、第１孔６１０のピッチＰ１を０．０２ｍｍとした場合、第１領域ＲＥ１の開口率は、４４．３９４％である。なお、隣り合う第１孔６１０の距離ｇは、フィルター部材６００のフィルター領域ＦＲの機械的強度を確保するため、フィルター部材６００の厚さ以上であることが好ましく、本実施形態ではフィルター部材６００の厚さである６μｍと同じにしている。
【0071】
図６に示すような正六角形である第２孔６２０を正平面充填する場合において、第２孔６２０の１辺の長さをＨとし、第２孔６２０のピッチをＰ２としたとき、第２領域ＲＥ２の開口率は、Ｈ２/Ｐ２２×１００で求められる。なお、ピッチＰ２は、隣り合う第２孔６２０の各中心同士を結ぶ距離である。例えば、第２孔６２０の１辺の長さＨを０．０３５ｍｍとし、隣り合う第２孔６２０の距離Ｇ（換言すれば、第２孔６２０を構成するための枠の幅）を０．０２ｍｍとした場合、第２孔６２０の直径ＷＨ２は約０．０６１ｍｍであり、第２孔６２０のピッチＰ２は０．０８１ｍｍであり、第２領域ＲＥ２の開口率は、約５６．５３９％である。また、例えば、長さＨを０．０４５ｍｍとし、距離Ｇを０．０２ｍｍとした場合、直径ＷＨ２は約０．０６１ｍｍであり、ピッチＰ２は０．０８１ｍｍであり、第２領域ＲＥ２の開口率は、約６３．３２９％である。
【0072】
複数の第２孔６２０の一辺の長さをＨとし、複数の第２孔６２０のうちの隣り合う２つの第２孔６２０の間の距離をＧとしたとき、複数の第２孔６２０による第２領域ＲＥ２の開口率を大きくする観点から、Ｇ＜Ｈ／３１／２の関係を満たすことが好ましい。距離Ｇは、第２領域ＲＥ２の機械的強度を確保するため、フィルター部材６００の厚みより大きいことが好ましい。
【0073】
Ａ４：第１流路部材と第２流路部材との接着方法
図７は、「第１流路部材」の一例である流路基板５１０と「第２流路部材」の一例であるケース５８０との接着方法を説明するための図である。図７では、流路基板５１０とケース５８０との接着方法の一例が示される。当該接着方法は、液体噴射ヘッド５０の製造方法の一部の工程である。
図７は、「第１流路部材」の一例である流路基板５１０と「第２流路部材」の一例であるケース５８０との接着方法を説明するための図である。図７では、流路基板５１０とケース５８０との接着方法の一例が示される。当該接着方法は、液体噴射ヘッド５０の製造方法の一部の工程である。
【0074】
図７に示す接着方法は、まず、図７中の上段に示すように、ケース５８０の第２面Ｆ２に未硬化の接着剤ＡＤがディスペンサー等により付与される。一方、流路基板５１０の第１面Ｆ１上には、第２領域ＲＥ２が重なるように、フィルター部材６００が載置される。
【0075】
そして、未硬化の接着剤ＡＤの付着した第２面Ｆ２を第２領域ＲＥ２を介して第１面Ｆ１に貼り合せることにより、図７中の下段に示すように、未硬化の接着剤ＡＤが第２領域ＲＥ２に付着するとともに第２孔６２０を通じて第１面Ｆ１に付着する。このため、接着剤ＡＤが流路基板５１０、ケース５８０およびフィルター部材６００のそれぞれに付着する。ここで、フィルター部材６００と流路基板５１０との間の微小な隙間、および、フィルター部材６００とケース５８０との間の微小な隙間にも、未硬化の接着剤ＡＤが進入する。
【0076】
このように接着剤ＡＤを流路基板５１０、ケース５８０およびフィルター部材６００に付着させた状態で硬化させることにより、流路基板５１０およびケース５８０がフィルター部材６００を介して接着剤ＡＤにより接着される。
【0077】
以上の接着方法によれば、１回の接着工程で、流路基板５１０、ケース５８０およびフィルター部材６００を同時に接着することができる。これに対し、仮に第２孔６２０を省略した場合、フィルター部材６００と流路基板５１０とを接着する工程と、フィルター部材６００とケース５８０とを接着する工程と、の２回の接着工程が必要となる。また、第２孔６２０を省略した場合、第２孔６２０による接着剤のアンカー効果等が生じないため、接着強度が劣る場合がある。
【0078】
なお、図７に示す接着方法では、第２面Ｆ２に未硬化の接着剤ＡＤを付与した態様が例示されるが、この態様に限定されず、第１面Ｆ１または第２領域ＲＥ２に未硬化の接着剤ＡＤを付与しても、前述と同様に、１回の接着工程で、流路基板５１０、ケース５８０およびフィルター部材６００を同時に接着することができる。
【0079】
以上のように、液体噴射ヘッド５０は、液体を噴射するノズルＮと、「第１流路部材」の一例である流路基板５１０と、「第２流路部材」の一例であるケース５８０と、フィルター部材６００と、を備える。流路基板５１０は、第１面Ｆ１を有する。第１面Ｆ１には、第１流路Ｒ１の第１開口５１１が形成される。第１流路Ｒ１は、「液体」の一例であるインクを噴射するノズルＮと連通している。ケース５８０は、第２面Ｆ２を有する。第２面Ｆ２には、第２流路Ｒ２の第２開口５８１が形成される。第２流路Ｒ２は、ノズルＮと連通しており、第１流路Ｒ１と接続される。このような第１面Ｆ１と第２面Ｆ２との間には、フィルター部材６００が配置される。
【0080】
前述のように、第２開口５８１は、平面視において第１開口５１１よりも大きい。また、フィルター部材６００は、複数の第１孔６１０が設けられた第１領域ＲＥ１と、複数の第２孔６２０が設けられた第２領域ＲＥ２と、を含む。第２領域ＲＥ２は、平面視において、第１領域ＲＥ１の周囲に位置する。
【0081】
第１領域ＲＥ１は、フィルター領域ＦＲを含む。フィルター領域ＦＲは、第１開口５１１と第２開口５８１との間を仕切り、かつ、ノズルＮに供給されるインクを通過させる。一方、第２領域ＲＥ２は、第１固定領域ＦＸ１を含む。第１固定領域ＦＸ１は、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２の双方に接触しており、第１固定領域ＦＸ１には、接着剤ＡＤが付着する。しかも、平面視において、複数の第２孔６２０のそれぞれの面積は、複数の第１孔６１０のそれぞれの面積よりも大きい。
【0082】
以上の液体噴射ヘッド５０では、第１固定領域ＦＸ１が接着剤ＡＤの付着した状態で第１面Ｆ１および第２面Ｆ２の双方に接触するので、フィルター部材６００が第１固定領域ＦＸ１において第１面Ｆ１および第２面Ｆ２のそれぞれに接着される。ここで、第１固定領域ＦＸ１を含む第２領域ＲＥ２に複数の第２孔６２０が設けられるので、各第２孔６２０を通じた接着剤ＡＤにより第１面Ｆ１および第２面Ｆ２を直接的に接着することができる。このため、フィルター部材６００に対する接着剤ＡＤの接着性が良くなくても、第２孔６２０を省略した態様に比べて、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対するフィルター部材６００の接着強度を高める効果が得られる。そのうえ、平面視において複数の第２孔６２０のそれぞれの面積が複数の第１孔６１０のそれぞれの面積よりも大きいので、当該効果を高めることができ、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対してフィルター部材６００を強固に接着することができる。
【0083】
なお、平面視において、第２孔６２０の面積は、第１孔６１０の面積の５倍以上大きいことが好ましい。
【0084】
本実施形態では、前述のように、複数の第２孔６２０は、平面視において正六角形の孔を用いて構成される。このため、第２領域ＲＥ２の必要な機械的強度を確保しつつ、第２領域ＲＥ２における開口率を最も大きくすることができる。特に、フィルター部材６００に加わった応力を分散させやすいので、第２領域ＲＥ２の損傷を好適に低減することができる。
【0085】
なお、平面視において三角形、四角形および六角形のうちのいずれかの形状の孔を用いて複数の第２孔６２０を構成することにより、第２孔６２０の平面視形状が円形である態様に比べて、第２領域ＲＥ２の必要な機械的強度を確保しつつ、第２領域ＲＥ２における開口率を大きくすることができる。この結果、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対するフィルター部材６００の接着強度を高めることができる。
【0086】
また、前述のように、複数の第２孔６２０の一辺の長さをＨとし、複数の第２孔６２０のうちの隣り合う２つの第２孔６２０の間の距離をＧとしたとき、Ｇ＜Ｈ／３１／２の関係を満たすことが好ましい。この場合、第２領域ＲＥ２における開口率を大きくすることができる。
【0087】
さらに、前述のように、フィルター部材６００が電鋳部品、すなわち電鋳法により製造される部品である場合、高精度な第１孔６１０および第２孔６２０を有するフィルター部材６００を得ることができる。また、電鋳法でフィルター部材６００を製造することによりフィルター部材６００の厚さを極めて薄くすることができる。このため、フィルター領域ＦＲに液体を通過させる際の圧力損失を低減することができる。ここで、フィルター部材６００の厚さが極めて薄くても、ハニカム構造を採用することにより、フィルター部材６００の必要な機械的強度を確保することができる。また、電鋳部品は、ＮｉＰｄ等の接着性に劣る材料で構成されることが一般的である。このような接着性に劣る材料でフィルター部材６００が構成されても、前述のように、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対してフィルター部材６００を強固に接着することができる。
【0088】
また、前述のように、第１領域ＲＥ１は、第１露出領域ＥＸ１を含む。第１露出領域ＥＸ１は、平面視において、フィルター領域ＦＲの周囲に位置するとともに第１面Ｆ１に重なり、かつ、第２開口５８１に露出される。このため、フィルター部材６００および流路基板５１０の互いの位置決めに多少のずれが生じても、第２孔６２０が第１開口５１１に重なることを低減することができる。この結果、異物が第２孔６２０を通過する可能性が低減される。
【0089】
さらに、前述のように、第２領域ＲＥ２は、第２露出領域ＥＸ２を含む。第２露出領域ＥＸ２は、平面視において、第１固定領域ＦＸ１とフィルター領域ＦＲとの間に位置するとともに第１面Ｆ１に重なり、かつ、第２開口５８１に露出される。このため、フィルター部材６００およびケース５８０の互いの位置決めに多少のずれが生じても、第１孔６１０が第１面Ｆ１と第２面Ｆ２との間に介在することを低減することができる。この結果、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対するフィルター部材６００の接着強度のバラツキを低減することができる。また、第２露出領域ＥＸ２を第１面Ｆ１に対するフィルター部材６００の接着に寄与させることができる。この結果、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対するフィルター部材６００の接着強度の向上を図ることもできる。
【0090】
また、前述のように、複数の第２孔６２０のうち第１固定領域ＦＸ１に設けられる少なくとも１つの第２孔６２０の全部分は、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２によって閉塞される。このため、当該少なくとも１つの第２孔６２０の全部分が第１面Ｆ１および第２面Ｆ２によって閉塞されない態様に比べて、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対するフィルター部材６００の接着強度を高めることができる。
【0091】
さらに、前述のように、第２領域ＲＥ２における開口率は、第１領域ＲＥ１における開口率よりも大きいことが好ましい。この場合、第２領域ＲＥ２における開口率が第１領域ＲＥ１における開口率よりも小さい態様に比べて、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対するフィルター部材６００の接着強度を高めることができる。
【0092】
また、前述のように、第２領域ＲＥ２における開口率と第１領域ＲＥ１における開口率との差は、５％以上であることが好ましい。この場合、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対するフィルター部材６００の接着強度を好適に高めることができる。
【0093】
さらに、前述のように、平面視において、複数の第１孔６１０のそれぞれの内接円の直径ＷＨ１は、複数のノズルＮのそれぞれの内接円の直径ＮＲよりも小さい。このため、ノズルＮのノズル詰まりを生じさせるような異物が第１孔６１０を通過することが防止される。
【0094】
また、前述のように、平面視において、複数の第１孔６１０のそれぞれの形状は、円形である。このため、第１孔６１０の平面視形状が多角形である態様に比べて、第１孔６１０に異物が引っ掛かり難い、第１孔６１０が拡大し難い、第１孔６１０にクラックが生じ難い等の効果が得られる。
【0095】
Ｂ：第２実施形態
以下、本開示の第２実施形態について説明する。以下に例示する形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
以下、本開示の第２実施形態について説明する。以下に例示する形態において作用や機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。
【0096】
図８は、第２実施形態における第１開口５１１と第２開口５８１とフィルター部材６００Ａとの位置関係を示す平面図である。図９は、図８中のＢ－Ｂ線断面図である。本実施形態は、フィルター部材６００に代えてフィルター部材６００Ａを用いること以外は、前述の第１実施形態と同様である。フィルター部材６００Ａは、第１領域ＲＥ１と第２領域ＲＥ２との面積比が異なること以外は、第１実施形態のフィルター部材６００と同様に構成される。
【0097】
本実施形態では、第１領域ＲＥ１と第２領域ＲＥ２との間の境界ＢＤが第１面Ｆ１および第２面Ｆ２の両方に重なる。このため、露出領域ＥＸが第１露出領域ＥＸ１で構成されるとともに、固定領域ＦＸが第１固定領域ＦＸ１および第２固定領域ＦＸ２で構成される。ここで、本実施形態では、第１領域ＲＥ１がフィルター領域ＦＲと第１露出領域ＥＸ１と第２固定領域ＦＸ２とを含むとともに、第２領域ＲＥ２が第１固定領域ＦＸ１と外周領域ＰＥとを含む。
【0098】
本実施形態の露出領域ＥＸは、第２露出領域ＥＸ２を省略したこと以外は、第１実施形態の露出領域ＥＸと同様に構成される。また、本実施形態の固定領域ＦＸは、第２固定領域ＦＸ２を追加したこと以外は、第１実施形態の固定領域ＦＸと同様に構成される。
【0099】
第２固定領域ＦＸ２は、第１固定領域ＦＸ１と第１露出領域ＥＸ１との間に位置し、かつ、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２の双方に接触する。第２固定領域ＦＸ２には、接着剤ＡＤが付着する。ここで、前述のように、第１領域ＲＥ１に複数の第１孔６１０が設けられるので、第２固定領域ＦＸ２に付着した接着剤ＡＤが各第１孔６１０を通じて第１面Ｆ１および第２面Ｆ２の両方に接触する。これにより、フィルター部材６００が第２固定領域ＦＸ２においても第１面Ｆ１および第２面Ｆ２のそれぞれに接着される。
【0100】
本実施形態では、第２固定領域ＦＸ２が第１領域ＲＥ１の周方向での全域にわたり設けられる。なお、第２固定領域ＦＸ２が第１領域ＲＥ１の周方向での一部のみにわたり設けられてもよい。
【0101】
第１固定領域ＦＸ１の幅ＷＦ１は、第２固定領域ＦＸ２の幅ＷＦ２よりも長いことが好ましい。この場合、幅ＷＦ１が幅ＷＦ２よりも短い態様に比べて、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対するフィルター部材６００Ａの接着強度を高めることができる。
【0102】
以上の第２実施形態によっても、流路基板５１０およびケース５８０に対するフィルター部材６００Ａの接着強度を高めることができる。本実施形態では、前述のように、第１領域ＲＥ１は、第２固定領域ＦＸ２を含む。第２固定領域ＦＸ２は、第１固定領域ＦＸ１と第１露出領域ＥＸ１との間に位置し、かつ、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２の双方に接触しており、第２固定領域ＦＸ２には、接着剤が付着する。このため、第２孔６２０が第２開口５８１に露出することが防止されるので、万一、接着剤ＡＤによる第１露出領域ＥＸ１と流路基板５１０との接着不良等によってフィルター部材６００Ａの第１領域ＲＥ１が第２流路R２側へ撓むことで流路基板５１０の第１面Ｆ１と第１露出領域ＥＸ１との間に隙間が生じてしまっても、異物が第２孔６２０を通過する可能性が低減される。この結果、フィルター部材６００Ａのフィルター性能のバラツキを低減することができる。
【0103】
また、前述のように、フィルター領域ＦＲは、「第１軸」の一例であるＹ軸に沿って延びる形状をなす。Ｙ軸に直交する断面において、第１固定領域ＦＸ１の幅ＷＦ１は、第２固定領域ＦＸ２の幅ＷＦ２よりも長いことにより、第１面Ｆ１および第２面Ｆ２に対するフィルター部材６００Ａの接着強度を高めることができる。
【0104】
Ｃ：変形例
以上に例示される各形態は、多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択される態様は、互いに矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
以上に例示される各形態は、多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択される態様は、互いに矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
【0105】
Ｃ１：変形例１
前述の各形態では、第２流路Ｒ２は、第１流路Ｒ１よりも上流に設けられていたが、第２流路Ｒ２は、第１流路Ｒ１よりも下流に設けられていてもよい。
前述の各形態では、第２流路Ｒ２は、第１流路Ｒ１よりも上流に設けられていたが、第２流路Ｒ２は、第１流路Ｒ１よりも下流に設けられていてもよい。
【0106】
Ｃ２：変形例２
前述の各形態では、ヘッドチップ５１を搭載した搬送体４１を往復させるシリアル方式の液体噴射装置１００を例示したが、複数のノズルＮが記録媒体Ｍの全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射装置にも本開示は適用される。
前述の各形態では、ヘッドチップ５１を搭載した搬送体４１を往復させるシリアル方式の液体噴射装置１００を例示したが、複数のノズルＮが記録媒体Ｍの全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射装置にも本開示は適用される。
【0107】
Ｃ３：変形例３
前述の形態で例示した液体噴射装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用されてもよく、本開示の用途は特に限定されない。もっとも、液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴出する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴出する液体噴射装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。
前述の形態で例示した液体噴射装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用されてもよく、本開示の用途は特に限定されない。もっとも、液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴出する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴出する液体噴射装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。
【符号の説明】
【0108】
１０…液体容器、２０…制御モジュール、３０…搬送機構、４０…移動機構、４１…搬送体、４２…搬送ベルト、５０…液体噴射ヘッド、５１…ヘッドチップ、５２…駆動回路、１００…液体噴射装置、５１０…流路基板（第１流路部材）、５１１…第１開口、５２０…圧力室基板、５３０…ノズル基板、５４０…吸振体、５５０…振動板、５６０…圧電素子、５７０…保護基板、５８０…ケース（第２流路部材）、５８１…第２開口、５８２…外周縁、５９０…配線基板、６００…フィルター部材、６００Ａ…フィルター部材、６１０…第１孔、６２０…第２孔、ＡＤ…接着剤、ＢＤ…境界、Ｃ…圧力室、ＣＲ１…内接円、ＣＲ２…内接円、Ｃｏｍ…駆動信号、ＥＸ…露出領域、ＥＸ１…第１露出領域、ＥＸ２…第２露出領域、Ｆ１…第１面、Ｆ２…第２面、ＦＮ…ノズル面、ＦＲ…フィルター領域、ＦＸ…固定領域、ＦＸ１…第１固定領域、ＦＸ２…第２固定領域、ＨＬ…導入口、Ｌｎ１…第１ノズル列、Ｌｎ２…第２ノズル列、Ｍ…記録媒体、Ｎ…ノズル、Ｎａ…連通流路、ＮＲ…直径、ＰＥ…外周領域、Ｒ…リザーバー、Ｒ１…第１流路、Ｒ１ａ…第１流路、Ｒ２…第２流路、Ｒ２ａ…第２流路、ＲＥ１…第１領域、ＲＥ２…第２領域、Ｒａ…供給流路、Ｓ…空間、ＳＩ…制御信号、ＷＦ１…幅、ＷＦ２…幅、ＷＨ１…直径、ＷＨ２…直径。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】