特開 2024-104659 リニア駆動装置及び部品実装装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024104659

(43)【公開日】2024-08-05

(54)【発明の名称】リニア駆動装置及び部品実装装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20240729BHJP

   H02K 41/03 20060101ALI20240729BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 A

H02K41/03 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023008995

(22)【出願日】2023-01-24

(71)【出願人】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100115381

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 昌崇

(74)【代理人】

【識別番号】100176304

【弁理士】

【氏名又は名称】福成 勉

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 雄一

【テーマコード（参考）】

5E353

5H641

【Ｆターム（参考）】

5E353GG01

5E353GG22

5E353JJ22

5E353JJ26

5E353JJ33

5E353JJ44

5E353JJ48

5E353QQ07

5E353QQ12

5H641BB06

5H641GG03

5H641HH02

5H641JA09

5H641JB04

(57)【要約】

【課題】リニアモータの可動子（電機子）の発熱に起因する各部の熱変形を抑制する。
【解決手段】部品実装装置１はリニア駆動装置を有する。リニア駆動装置は、固定レール２０及びスライダ２２を備えるＹ方向案内部材１１と、スライダ２２に固定された第１ビーム１２Ａ（移動体）と、スライダ２２に備えられた、電機子からなる可動子３２、及び永久磁石からなる固定子３４を含む第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａと、可動子３２で発生する熱を排熱する排熱部材４０とを備える。排熱部材４０は、可動子３２を覆いかつ内部にエア（冷媒）が流通する冷媒通路４２ｃを有した冷媒流通部４２と、この冷媒流通部４２と第１ビーム１２Ａとの間に配置されて、可動子３２側から第１ビーム１２Ａ側への熱移動を抑制する真空空間４４ａを内部に有する真空断熱部４４とを備える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

レール及び当該レールに移動自在に装着されたスライダを備える案内部材と、
前記スライダに固定された移動体と、
前記スライダ又は前記移動体に備えられた、電機子からなる可動子、及び界磁からなる固定子を含み、前記レールに沿って前記移動体を移動させる駆動力を生成するリニアモータと、を備えたリニア駆動装置であって、
前記可動子で発生する熱を排熱する排熱部材を備え、
前記排熱部材は、前記可動子を覆いかつ冷媒が内部を通過するように形成された冷媒流通部と、前記冷媒流通部と前記移動体との間に配置されて、内部に真空空間を有する真空断熱部とを備える、ことを特徴とするリニア駆動装置。

【請求項2】

請求項１に記載のリニア駆動装置において、
前記可動子は、前記スライダに備えられ、前記固定子は、前記レールに備えられている、ことを特徴とするリニア駆動装置。

【請求項3】

請求項２に記載のリニア駆動装置において、
前記可動子は、前記電機子を構成する複数の電磁コイルを備え、
前記冷媒流通部は、前記電磁コイルが配列される面に沿って蛇行するように形成された冷媒通路を備える、ことを特徴とするリニア駆動装置。

【請求項4】

請求項１乃至３の何れか一項に記載のリニア駆動装置と、
前記リニア駆動装置の前記移動体に取付けられ、部品の保持及びリリースが可能な実装ヘッドと、
前記リニア駆動装置及び前記実装ヘッドを制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記実装ヘッドにより部品供給部から部品を保持して基板上に搬送し、当該部品を基板上の所定位置に搭載する部品実装処理を実行する、ことを特徴とする部品実装装置。

【請求項5】

請求項４に記載の部品実装装置において、
前記冷媒はエアである、ことを特徴とする部品実装装置。

【請求項6】

請求項５に記載の部品実装装置において、
負圧を生成する負圧生成部と、
正圧を生成する正圧生成部と、を備え、
前記実装ヘッドは、前記負圧生成部からの負圧の供給を受けて部品を吸着保持し、前記負圧に代えて前記正圧生成部からの正圧の供給を受けて部品をリリースするように構成され、
前記冷媒流通部は、前記負圧生成部からの負圧の供給及び前記正圧生成部からの正圧の供給のうち、少なくとも一方の供給を受けることにより前記冷媒通路に沿ってエアが通過するように構成されている、ことを特徴とする部品実装装置。

【請求項7】

請求項６に記載の部品実装装置において、
前記制御部は、前記部品実装処理の実行中を除く期間に、前記冷媒流通部をエアが通過するように前記負圧の供給及び前記正圧の供給のうち、少なくとも一方の供給を制御する、ことを特徴とする部品実装装置。

【請求項8】

請求項６に記載の部品実装装置において、
前記冷媒流通部を通過した空気を、そのまま当該部品実装装置の機外に排出するエア排出部を備えている、ことを特徴とする部品実装装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、リニアモータを駆動源として移動体をレールに沿って移動させるリニア駆動装置、及びこのリニア駆動装置を備えた部品実装装置に関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、特許文献１には、次のような構成を備えた部品実装装置が開示されている。すなわち、部品実装装置は、一対のレールと、各レールに移動自在に装着されたスライダと、一対のレールと直交する方向に延在し、前記スライダを介して前記一対のレールに移動可能に支持されたビームと、当該ビームに備えられた実装ヘッドと、前記一対のレールに沿ってビームを移動させるリニアモータと、を備える。この部品実装装置では、リニアモータの駆動力によりビーム部材と共に実装ヘッドが前記一対のレールに沿って移動し、当該ヘッドにより基板に対して部品の実装処理が実行される。

【0003】

リニアモータは、電機子を備えた可動子と、永久磁石（界磁）からなる固定子とを備える。可動子は、ビームにおけるスライダの近傍位置に固定され、固定子は、可動子に対向するようにレールに沿って配置されている。このように、可動子がスライダの近傍に配置された構成では、通電による可動子（電機子）の発熱により、ビームやスライダやレールに熱変形が生じ、部品の実装精度に影響を及ぼすことが考えられる。そこで、特許文献１の部品実装装置では、ビームの末端部分に放熱フィンが設けられ、当該放熱フィンの放熱効果により、ビーム等の温度上昇を抑制するように工夫されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１０－２５８２４８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、ビームの末端部分に放熱フィンを設ける従来の構成では、可動子の発熱量に対して十分な放熱効果を得ることが難しい場合もある。従って、リニアモータの可動子（電機子）の発熱に起因する各部の熱変形をより効果的に抑制し得る工夫が望まれる。

【0006】

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、リニアモータの可動子（電機子）の発熱に起因する各部の熱変形をより効果的に抑制し得るリニア駆動装置、及びこのリニア駆動装置を備えた部品実装装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明の一局面に係るリニア駆動装置は、レール及び当該レールに移動自在に装着されたスライダを備える案内部材と、前記スライダに固定された移動体と、前記スライダ又は前記移動体に備えられた、電機子からなる可動子、及び界磁からなる固定子を含み、前記レールに沿って前記移動体を移動させる駆動力を生成するリニアモータと、を備えたリニア駆動装置であって、前記可動子で発生する熱を排熱する排熱部材を備え、前記排熱部材は、前記可動子を覆いかつ冷媒が内部を通過するように形成された冷媒流通部と、前記冷媒流通部と前記移動体との間に配置されて内部に真空空間を有する真空断熱部とを備える、ことを特徴とする。

【0008】

このリニア駆動装置によれば、上記排熱部材により移動体への熱移動が効果的に抑制される。すなわち、可動子（電機子）で発生した熱は、排熱部材の真空断熱部によって移動体側への移動が抑制（遮断）されながら、冷媒流通部を通過する冷媒によって積極的に可動子及びその周辺から排熱される。そのため、移動体への熱移動が効果的に抑制され、可動子の発熱に起因する各部（スライダ、移動体及びレール等）の熱変形が効果的に抑制される。

【0009】

特に、案内部材にリニアモータが組み込まれた構成、すなわち、可動子がスライダに備えられ、固定子がレールに備えられる構成では、スライダ、レール及び移動体が隣接しているため、これらの熱変形が懸念される。

【0010】

そのため、上記のようなリニア駆動装置の構成は、案内部材にリニアモータが組み込まれるタイプのリニア駆動装置に特に有用である。すなわち、当該リニア駆動装置の構成によれば、可動子で発生した熱がエアの移動によって積極的に排熱されることで、移動体への熱移動が抑制されることに加え、スライダの温度上昇やレールへの熱移動も抑制される。そのため、スライダ、レール及び移動体の熱変形の抑制に寄与する。なお、「固定子がレールに備えられる」とは、レールに固定子が組み込まれる（埋め込まれる）ことに加えて、レール自体が固定子（永久磁石）により構成されている場合も含む。

【0011】

なお、上記のリニア駆動装置において、前記可動子は、前記電機子を構成する複数の電磁コイルを備え、前記冷媒流通部は、前記電磁コイルが配列される面に沿って蛇行するように形成された冷媒通路を備える。

【0012】

この構成によれば、冷媒が電磁コイルに沿って蛇行しながら流通することにより、可動子から冷媒への熱移動が促進される。そのため、発生した熱を可動子及びその周辺から効果的に排熱することが可能となる。

【0013】

一方、本発明の一局面に係る部品実装装置は、上述したリニア駆動装置と、当該リニア駆動装置の前記移動体に取付けられ、部品の保持及びリリースが可能な実装ヘッドと、前記リニア駆動装置及び前記実装ヘッドを制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記実装ヘッドにより部品供給部から部品を保持して基板上に搬送し、当該部品を基板上の所定位置に搭載する部品実装処理を実行する、ことを特徴とする。

【0014】

この部品実装装置では、実装ヘッドが部品供給エリアと基板との間を移動することにより、当該基板に対して部品実装処理が実行される。この際、実装ヘッドの移動は上述したリニア駆動装置によって行われるため、リニアモータにおける可動子の発熱に起因する各部（スライダ、移動体及びレール等）の熱変形が効果的に抑制される。このような熱変形の抑制は、部品実装装置による部品の実装精度の向上に寄与する。

【0015】

なお、冷媒は液体であってもよいが、液漏れ等のリスク回避の観点からはエアであるのが好適である。特に、部品実装装置では、部品実装処理の実行に際してエアが用いられる場合があるため、冷媒としてエアを用いる構成によれば、可動子で発生した熱を既存の設備を用いて排熱することが可能な、合理的な構成が達成される。

【0016】

具体的には、上記部品実装装置は、負圧を生成する負圧生成部と、正圧を生成する正圧生成部と、を備え、前記実装ヘッドは、前記負圧生成部からの負圧の供給を受けて部品を吸着保持し、前記負圧に代えて前記正圧生成部からの正圧の供給を受けて部品をリリースするように構成され、前記冷媒流通部は、前記負圧生成部からの負圧の供給及び前記正圧生成部からの正圧の供給のうち、少なくとも一方の供給を受けることにより前記冷媒通路に沿ってエアが通過するように構成されている。

【0017】

この構成によれば、可動子で発生する熱を、部品実装装置で用いられるエアを利用して排熱することが可能となる。

【0018】

この場合、前記制御部は、前記部品実装処理の実行中を除く期間に、前記冷媒流通部をエアが通過するように前記負圧の供給及び前記正圧の供給のうち、少なくとも一方の供給を制御するように構成される。

【0019】

この構成によれば、可動子で発生する熱を、部品実装処理に影響を与えること無く排熱することが可能となる。すなわち、部品実装処理中の負圧や正圧の圧力変動により部品の吸着不良や装着不良などのトラブルを招くおそれが無くなる。

【0020】

また、上記部品実装装置においては、前記冷媒流通部を通過した空気を、そのまま当該部品実装装置の機外に排出するエア排出部を備えているのが好適である。

【0021】

このように、冷媒流通部を通過したエアをそのまま部品実装装置の機外に排出する構成によれば、冷媒として使用さしたエアを再生（冷却）するための設備を設けることなく、継続的に排熱効果を享受することが可能となる。

【発明の効果】

【0022】

以上説明した本発明によれば、リニアモータの可動子（電機子）の発熱に起因する各部の熱変形をより効果的に抑制し得るリニア駆動装置、及びこのリニア駆動装置を備えた部品実装装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】本発明の実施形態に係る部品実装装置の平面図である。

【図2】前記部品実装装置の正面図である。

【図3】前記部品実装装置の要部斜視図である。

【図4】前記部品実装装置の要部断面図である。

【図5】排熱部材の斜視図である。

【図6】前記部品実装装置のエア回路図である。

【図7】生産中のバルブ切替制御の一例を示すタイミングチャートである。

【図8】生産停止中のバルブ切替制御の一例を示すタイミングチャートである。

【図9】排熱効果を説明する排熱部材の断面図である。

【図10】冷媒流通部の模式的な斜視図である。

【図11】変形例に係る部品実装装置のＹ方向視の要部模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。

【0025】

［部品実装装置の全体構成］
図１は、本発明に係る部品実装装置１（本発明に係るリニア駆動装置を備える部品実装装置）の平面図であり、図２は、部品実装装置１の正面図である。

【0026】

部品実装装置１は、プリント配線板等の基板Ｐに電子部品等が実装された部品実装基板を生産する設備である。図１中にはＸＹ座標軸を示している。Ｘ方向は水平面と平行な方向であり、Ｙ方向は水平面上でＸ方向と直交する方向である。Ｘ方向及びＹ方向にそれぞれ直交する方向が上下方向である。

【0027】

部品実装装置１は、装置フレームである基台２と、基台２上で基板Ｐを搬送する基板搬送部３と、部品供給部５と、基台２の上方空間を移動する２つのヘッドユニット６Ａ、６Ｂと、部品認識カメラ８とを備える。

【0028】

基板搬送部３は、基板ＰをＸ方向に搬送する一対のコンベア４を備える。コンベア４はベルトコンベアである。基板搬送部３は、図１の右側（Ｘ１側）から基板Ｐを受け入れて作業位置（同図に示す基板Ｐの位置）に搬送し、実装作業終了後、基板Ｐを作業位置から同図の左側（Ｘ２側）に搬出する。図示を省略するが、作業位置には、基板Ｐを位置決めした状態で保持する基板保持機構が備えられている。

【0029】

部品供給部５は、基板搬送部３のＹ方向両側に各々設けられている。部品供給部５には、部品供給用のフィーダが配置されている。当例では、複数のテープフィーダ５Ｆがコンベア４に沿って並列に配置されている。テープフィーダ５Ｆは、リボン状のテープをキャリアとして、小片状の部品（電子部品）を供給する。部品供給部５には、テープフィーダ５Ｆ以外のフィーダ、例えば、筒型スティックの内部を通じて部品を供給するスティックフィーダや、トレイ上に部品を載置した状態で供給するトレイフィーダ等も配置され得る。

【0030】

２つのヘッドユニット６Ａ、６Ｂ（第１ヘッドユニット６Ａ及び第２ヘッドユニット６Ｂという）は各々、部品供給部５から部品を取り出して基板Ｐに実装（搭載）するユニット部材である。Ｙ２側が第１ヘッドユニット６Ａで、Ｙ１側が第２ヘッドユニット６Ｂである。各ヘッドユニット６Ａ、６Ｂは、ヘッドユニット駆動機構９の作動により、水平方向（Ｘ方向及びＹ方向）に移動する。

【0031】

ヘッドユニット駆動機構９は、主にリニア駆動装置により構成されている。すなわち、ヘッドユニット駆動機構９は、基台２上に設けられたＹ方向に延在する一対の高架フレーム１０上に各々設置されたＹ方向案内部材１１と、Ｘ方向に互いに平行に延在し、かつＹ方向案内部材１１に各々支持された、２つのビーム１２Ａ、１２Ｂ（第１ビーム１２Ａ、第２ビーム１２Ｂという）と、第１ビーム１２ＡをＹ方向に移動させるための駆動力を生成する一対の第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａ（図４に示す）と、第２ビーム１２ＢをＹ方向に移動させるための駆動力を生成する一対の第２Ｙ軸リニアモータ３０Ｂ（図４に示す）とを含む。

【0032】

また、ヘッドユニット駆動機構９は、第１ビーム１２Ａに各々設置されて第１ヘッドユニット６Ａを支持する第１Ｘ方向案内部材１３Ａと、第１ヘッドユニット６ＡをＸ方向に移動させるための駆動力を生成する第１Ｘ軸リニアモータ（図外）とを含む。さらに、ヘッドユニット駆動機構９は、第２ビーム１２Ｂに設置されて第２ヘッドユニット６Ｂを支持する第２Ｘ方向案内部材１３Ｂと、第２ヘッドユニット６ＢをＸ方向に移動させる駆動力を生成する第２Ｘ軸リニアモータ（図外）とを含む。

【0033】

図３は、第１ビーム１２ＡのＸ２側の端部近傍を示す部品実装装置１の要部斜視図であり、図４は、第１ビーム１２ＡのＸ２軸の端部近傍における部品実装装置１の要部断面図である。

【0034】

図１～図４に示すように、Ｙ方向案内部材１１は、所謂リニアガイド（登録商標）である。Ｙ方向案内部材１１は、高架フレーム１０の上面１０ａに固定されてＹ方向に延在する固定レール２０と、この固定レール２０に移動自在に装着されたスライダ２２とを含む。スライダ２２には、ガイド溝に沿って循環移動する図外のボールが保持されており、これらボールの転動及び循環移動によりスライダ２２が固定レール２０に沿って滑からに移動する。

【0035】

図３及び図４に示すように、第１ビーム１２Ａの長手方向（Ｘ方向）両端は、各々、後述する排熱部材４０を介してスライダ２２に固定されている。詳しくは、第１ビーム１２Ａの末端壁１２１の下端にＹ方向に延在するフランジ部１２２が設けられている。そして、スライダ２２上に排熱部材４０と前記末端壁１２１のフランジ部１２２とがこの順番で重ねられ、複数のビス（ボルト）Ｂ１により、フランジ部１２２と排熱部材４０とが一体にスライダ２２に締結されている。この構成により、第１ビーム１２Ａが、固定レール２０に沿ってＹ方向に移動自在に設けられている。

【0036】

詳細図を省略するが、第２ビーム１２Ｂの長手方向（Ｘ方向）両端も第１ビーム１２Ａと同様に、各々、排熱部材４０を介してスライダ２２に固定されている。この構成により、第２ビーム１２Ｂも第１ビーム１２Ａと同様に、固定レール２０に沿ってＹ方向に移動自在に設けられている。

【0037】

第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａは、Ｙ方向案内部材１１に組み込まれている。すなわち、第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａは、スライダ２２に内蔵された可動子３２と、固定レール２０に内蔵された固定子３４とを備える。可動子３２は、各々コアに巻回された複数の電磁コイルを具備する電機子であり、固定子３４は、表面側（可動子側）の磁極が交互に異なる複数の永久磁石３４ａがＹ方向に一列に配列された界磁である。

【0038】

スライダ２２のうち固定レール２０に対向する面には、上向き（反固定レール２０側）に凹みＹ方向に延在する断面矩形の溝部２２ｃが形成され、また、固定レール２０の幅方向（Ｘ方向）中央部には、下向き（反スライダ２２側）に凹みＹ方向に延在する断面矩形の溝部２０ａが形成されている。そして、スライダ２２の溝部２２ｃ内に可動子３２が、固定レール２０の溝部２０ａ内に固定子３４が各々配置されることにより、可動子３２と固定子３４とが上下方向に対向し得るように配置されている。

【0039】

この構成により、可動子３２（電機子）に所定の駆動電流が与えられると、具体的には、各電磁コイルに位相の異なる三相電流が与えられると、各コイルに磁界が生成されて固定子３４（界磁）と可動子３２との間に当該可動子３２をＹ方向に移動させる推進力（駆動力）が発生する。この推進力により可動子３２と共にスライダ２２が移動し、その結果、第１ビーム１２Ａが固定レール２０に沿ってＹ方向に移動する。

【0040】

詳細図を省略するが、第２Ｙ軸リニアモータ３０Ｂも、第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａと同様に、電機子からなる可動子３２と界磁からなる固定子３４とを有し、これら可動子３２及び固定子３４がＹ方向案内部材１１に組み込まれた構成を有している。但し、第２Ｙ軸リニアモータの固定子３４は、第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａの固定子３４と共通化されている。つまり、固定レール２０に内蔵された永久磁石３４ａ（界磁）が、第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａ及び第２Ｙ軸リニアモータ３０Ｂの双方の固定子３４として共用されている。

【0041】

第１ビーム１２Ａに設置された第１Ｘ方向案内部材１３Ａ、及び第１ヘッドユニット６ＡをＸ方向に移動させる第１Ｘ軸リニアモータ（図外）は、既述のＹ方向案内部材１１、及び第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａと略同等の構成を有している。すなわち、図１及び図２に示すように、第１Ｘ方向案内部材１３Ａは、第１ビーム１２Ａに固定されてＸ方向に延在する固定レール２４と、この固定レール２４に移動自在に装着されたスライダ２６とを含む。また、第１Ｘ軸リニアモータは、スライダ２６に内蔵された可動子と、固定レール２４に内蔵された固定子とを備える。可動子は、複数の電磁コイルを具備する電機子であり、固定子は、複数の永久磁石がＸ方向に一列に配列された界磁である。

【0042】

第２ビーム１２Ｂに設置された第２Ｘ方向案内部材１３Ｂ、及び第２ヘッドユニット６ＢをＸ方向に移動させる第２Ｘ軸リニアモータ（図外）は、第１Ｘ方向案内部材１３Ａ、及び第２Ｘ軸リニアモータと同等の構成を有している。

【0043】

第１ヘッドユニット６Ａは、図外のフレーム部材を備えている。このフレーム部材が第１Ｘ方向案内部材１３Ａのスライダ２６に固定されることにより、第１ヘッドユニット６Ａが第１Ｘ方向案内部材１３Ａに支持されている。同様に、第２ヘッドユニット６Ｂは、図外のフレーム部材を備えており、このフレーム部材が第２Ｘ方向案内部材１３Ｂのスライダ２６に固定されることにより、第２ヘッドユニット６Ｂが第２Ｘ方向案内部材１３Ｂに支持されている。この構成により、第１Ｘ軸リニアモータの可動子（電機子）に所定の駆動電流が与えられると、第１ビーム１２Ａにおいて、第１ヘッドユニット６Ａが固定レール２４に沿ってＸ方向に移動する。同様に、第２Ｘ軸リニアモータの可動子（電機子）に所定の駆動電流が与えられると、第２ビーム１２Ｂにおいて、第２ヘッドユニット６Ｂが固定レール２４に沿ってＸ方向に移動する。

【0044】

ヘッドユニット駆動機構９は、以上の構成により、第１ビーム１２Ａ及び第２ビーム１２Ｂを各々Ｙ方向に移動させる。また、ヘッドユニット駆動機構９は、第１ビーム１２Ａにおいて第１ヘッドユニット６ＡをＸ軸方向に移動させるとともに、第２ビーム１２Ｂにおいて第２ヘッドユニット６ＢをＸ方向に移動させる。その結果、基台２の上方の一定範囲内で、第１ヘッドユニット６Ａ及び第２ヘッドユニット６ＢがＸ方向及びＹ方向の任意の位置に移動する。

【0045】

なお、当例では、Ｙ方向案内部材１１、排熱部材４０及び第１ビーム１２Ａ（移動体）と、Ｙ方向案内部材１１、排熱部材４０及び第２ビーム１２Ｂ（移動体）とが各々本発明のリニア駆動装置に相当する。

【0046】

第１ヘッドユニット６Ａ及び第２ヘッドユニット６Ｂには、各々、上下方向に延びる複数の軸状のヘッド７（実装ヘッド）と、これらヘッド７を駆動するヘッド駆動機構とが備えられている。

【0047】

ヘッド駆動機構は、各ヘッド７を個別に昇降させるとともに、各ヘッド７を中心軸回り（Ｒ方向）に回転させる。各ヘッド７の先端には、部品吸着用のノズル７ａが備えられている。各ノズル７ａは、後述するエア回路６０に接続されている。バルブの切替操作により、ノズル７ａに対して負圧及び正圧が選択的に供給されることにより、ヘッド７による部品の吸着保持及び基板Ｐ上への部品のリリース（実装）が行われる。

【0048】

部品認識カメラ８は、第１ヘッドユニット６Ａ及び第２ヘッドユニット６Ｂのヘッド７に吸着保持された部品を下方から撮像する照明一体型のカメラである。部品認識カメラ８は、基板搬送部３と各部品供給部５との間に各々配置されている。

【0049】

既述の部品実装装置１では、基板Ｐがコンベア４に沿って作業位置に搬入されると、部品供給部５と作業位置に配置された基板Ｐとの間を各ヘッドユニット６Ａ、６Ｂが干渉を避けつつ交互に往復し、テープフィーダ５Ｆから部品を取り出して基板Ｐ上の所定位置に搭載（実装）する。この際、各実装ヘッド２５１に吸着された部品の吸着状態が部品認識カメラ８により撮像され、その認識結果に基づき各ヘッドユニット６Ａ、６Ｂの移動量が補正される。当該基板Ｐに対して全ての部品の実装が終了すると、作業位置から基板Ｐが搬出され、次の基板Ｐが作業位置に搬入される。このような各部の動作の繰り返しにより部品実装基板が生産される。

【0050】

なお、部品実装装置１は、その動作を制御する制御部５０（図２参照）を備えている。制御部５０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及び周辺回路等を備えて構成されており、上記のような部品実装装置１の各部の動作は、この制御部５０により統括的に制御される。

【0051】

各ビーム（１２Ａ、１２Ｂ）がリニアモータ（３０Ａ、３０Ｂ）で駆動される既述の部品実装装置１では、継続的な通電により可動子３２（電機子）が発熱し、この発熱によりビーム１２Ａ、１２ＢやＹ方向案内部材１１に熱変形が生じることが考えられる。係る熱変形を抑制するために、各ビーム１２Ａ、１２ＢとＹ方向案内部材１１との接合部分には排熱部材４０が備えられている。排熱部材４０は、可動子３２で発生する熱を排熱するための部材である。

【0052】

図５は、排熱部材４０の斜視図である。図３～図５に示すように、排熱部材４０は、スライダ２２を覆うチャンネル形状（溝型形状）を有している。具体的には、排熱部材４０は、スライダ２２の上面２２ａに当接してＹ方向に延在するウェブ部４０１と、ウェブ部４０１の両端から各々垂下してスライダ２２の側面２２ｂ（Ｘ方向両側の側面）に当接するフランジ部４０２とを備える。これにより、排熱部材４０は、スライダ２２の上面２２ａ及び側面２２ｂに面接触する状態で、当該スライダ２２を上方及び側方から覆っている。

【0053】

排熱部材４０は、スライダ２２に接触して可動子３２を覆うチャンネル形状（溝型形状）の冷媒流通部４２と、この冷媒流通部４２を外側（反スライダ２２側）から覆う、同じくチャンネル形状（溝型形状）の真空断熱部４４とを含む。これら冷媒流通部４２と真空断熱部４４は、各々一定の厚みを有し、かつ一体的かつ層状に設けられている。冷媒流通部４２は、真空断熱部４４よりも熱伝導率の高い材料により構成されている。例えば、冷媒流通部４２は、銅又はアルミニウムにより構成され、真空断熱部４４は、銅又はアルミニウムによりも熱伝導率が低いステンレス等の金属材料により構成されている。

【0054】

冷媒流通部４２の内部には、図４及び図５に示すように、冷媒を流通（通過）させる冷媒通路４２ｃが備えられている。また、冷媒流通部４２の一方側のフランジ部４０２のＹ方向端面には冷媒の導入ポート部４２ａが備えられ、他方側のフランジ部４０２のＹ方向端面には冷媒の導出ポート部４２ｂが備えられている。図５に示すように、冷媒通路４２ｃは、スライダ２２の上面２２ａ及び側面２２ｂ（すなわち、電磁コイルが配列される基準となる面）に沿ってＹ方向に蛇行するように形成されている。なお、冷媒通路４２ｃは、スライダ２２の上面２２ａ及び側面２２ｂに沿ってＸ方向に蛇行するように形成されていてもい。冷媒流通部４２は、後記エア回路６０に接続されており、当例では、冷媒として圧縮エアが冷媒通路４２ｃに沿って流通するようになっている。

【0055】

真空断熱部４４の内部には、密閉された真空の空間（真空空間４４ａ）が設けられている。真空空間４４ａは、真空断熱部４４のうち、排熱部材４０のウェブ部４０１及びフランジ部４０２に対応する領域の略全体に設けられている。

【0056】

排熱部材４０は、スライダ２２と第１ビーム１２Ａのフランジ部１２２との間に介在する状態でスライダ２２に重ねられ、既述の通り、複数のビスＢ１により、フランジ部１２２と共にスライダ２２に締結されている。なお、図３及び図４は、主に第１ビーム１２ＡとＹ方向案内部材１１（スライダ２２）との接合部分に配置された排熱部材４０を示しているが、第２ビーム１２ＢとＹ方向案内部材１１（スライダ２２）との接合部分に配置される排熱部材４０も同様の構成である。

【0057】

上記排熱部材４０が設けられていることにより、可動子３２で発生する熱が効率良く排熱され、各ビーム１２Ａ、１２ＢやＹ方向案内部材１１の熱変形が抑制ないし防止される。すなわち、図９に模式的に示すように、可動子３２（電磁コイル）で発生する熱は、真空断熱部４４によって第１ビーム１２Ａへの移動が抑制（遮断）されながら、冷媒流通部４２を流通する圧縮エア（冷媒）によって積極的に排熱される。そのため、可動子３２から各ビーム１２Ａ、１２Ｂへの熱移動が抑制される。また、可動子３２で発生した熱が圧縮エアの流動により積極的に排熱されることで、スライダ２２自体の温度上昇や固定レール２４への熱移動も抑制される。そのため、可動子３２の発熱に起因する各ビーム１２Ａ、１２ＢやＹ方向案内部材１１の熱変形が抑制される。

【0058】

図６は、部品実装装置１のエア回路図である。図６に示すエア回路６０は、主に、ヘッドユニット６Ａ、６Ｂの各ヘッド７（ノズル７ａ）に対して部品実装用の負圧及び正圧を供給するための回路である。排熱部材４０の冷媒流通部４２（冷媒通路４２ｃ）もこのエア回路６０に接続されている。

【0059】

エア回路６０は、コンプレッサ等の正圧生成部７０、真空ポンプからなる負圧生成部８０、正圧生成部７０で生成された正圧（圧縮エア）をヘッド７等に供給する正圧通路７１、負圧生成部８０で生成された負圧をヘッド７等に供給する負圧通路８１、及び電磁バルブからなる複数の切換バルブ（６２～６５）等を含む。なお、「負圧を供給する」とは、真空ポンプにより対象物内を吸引すること同義である。

【0060】

エア回路６０は、第１回路部６１Ａと第２回路部６１Ｂとを含む。第１回路部６１Ａは、第１ヘッドユニット６Ａのヘッド７及び第１ビーム１２Ａ側の排熱部材４０に対して正圧及び負圧を供給する回路部であり、第２回路部６１Ｂは、第２ヘッドユニット６Ｂのヘッド７及び第１ビーム１２Ａ側の排熱部材４０に対して正圧及び負圧を供給するための回路部である。これら回路部６１Ａ、６１Ｂは、次のように構成されている。

【0061】

第１回路部６１Ａにおいて、ヘッド７は、部品吸着バルブ６２及び部品装着バルブ６３を介して正圧通路７１に接続されるとともに、部品吸着バルブ６２を介して負圧通路８１に接続されている。図６に示す各バルブ６２、６３は、何れもオフの状態（消磁状態）である。両バルブ６２、６３がオフのときには、図示の通り、正圧通路７１及び負圧通路８１の何れもヘッド７には連通しておらず、よって、正圧及び負圧の何れもヘッド７には供給されない。

【0062】

図６の状態から部品吸着バルブ６２のみがオン（励磁状態）に切り替えられると、ヘッド７が負圧通路８１に連通し、ヘッド７に負圧が供給される。一方、部品装着バルブ６３のみがオンに切り替えられると、ヘッド７が正圧通路７１に連通し、ヘッド７に正圧が供給される。このように負圧及び正圧が選択的にヘッド７に供給されることにより、ヘッド７による部品の吸着保持及び基板Ｐ上への部品のリリース（実装）が行われる。なお、正圧生成部７０で生成された正圧は、レギュレータ７０ａで所定圧力（０．０５ＭＰａ程度）に調整されて正圧通路７１に供給される。

【0063】

第１回路部６１Ａにおいて、冷媒流通部４２は、第１冷却バルブ６４を介して正圧通路７１に接続されるとともに、第２冷却バルブ６５を介して負圧通路８１に接続されている。詳しくは、冷媒流通部４２の導入ポート部４２ａが第１冷却バルブ６４を介して正圧通路７１に接続され、導出ポート部４２ｂが第２冷却バルブ６５を介して負圧通路８１に接続されている。図６に示す各冷却バルブ６４、６５は、何れもオフの状態（消磁状態）である。両バルブ６４、６５がオフのときには、図示の通り、正圧通路７１及び負圧通路８１の何れもヘッド７に連通しておらず、よって、冷媒流通部４２には正圧及び負圧の何れも供給されない。

【0064】

図６の状態から第１冷却バルブ６４及び第２冷却バルブ６５が各々オン（励磁状態）に切り替えられると、冷媒流通部４２（冷媒通路４２ｃ）の導入ポート部４２ａが正圧通路７１に、導出ポート部４２ｂが負圧通路８１に各々連通する。これにより導入ポート部４２ａを介して冷媒流通部４２に正圧が供給されるとともに、導出ポート部４２ｂを介して冷媒流通部４２に負圧が供給される。換言すると、導入ポート部４２ａを通じて冷媒通路４２ｃに圧縮エアが供給される一方で、当該冷媒通路４２ｃが導出ポート部４２ｂを通じて真空ポンプにより吸引される。これにより、正圧生成部７０で生成された圧縮エアが冷媒通路４２ｃに沿って冷媒流通部４２の内部を流通する。つまり、既述の通り、圧縮エア（以下、単にエアという）が冷媒として冷媒流通部４２の内部を通過する。

【0065】

図６に示すように、負圧生成部８０には、排気ダクト８２が接続されている。この排気ダクト８２は、部品実装装置１の外郭を形成する外装カバー（パネル）の一面に設けられている。そのため、既述のように冷媒流通部４２の内部を通過したエアは、負圧生成部８０（真空ポンプ）及び排気ダクト８２を通じて、そのまま部品実装装置１の機外に排出されることとなる。当例では、この排気ダクト８２が本発明の「エア排出部」に相当する。

【0066】

以上、エア回路６０の第１回路部６１Ａの構成について説明したが、第２回路部６１Ｂも同等に構成されている。なお、各回路部６１Ａ、６１Ｂについては、便宜上、８つのヘッド７のうち、一つのみを図示しており、その他のヘッド７を省略している。しかし、その他のヘッド７も、既述のヘッド７と同様に、部品吸着バルブ６２及び部品装着バルブ６３を介して正圧通路７１に接続されるとともに、部品吸着バルブ６２を介して負圧通路８１に接続されている。また、各回路部６１Ａ、６１Ｂについては、便宜上、各ビーム１２Ａ、１２Ｂの両側（Ｘ１側及びＸ２側）の排熱部材４０のうち、一方側の排熱部材４０のみを図示しており、他方側の排熱部材４０を省略している。しかし、他方側の排熱部材４０も、一方側の排熱部材４０と同様に、第１冷却バルブ６４を介して正圧通路７１に接続されるとともに、第２冷却バルブ６５を通じて負圧通路８１に接続されている。

【0067】

エア回路６０における各バルブ６２～６５の切り替え制御、すなわち、ヘッド７による部品の吸着保持及び基板Ｐ上への部品のリリース（実装）や、排熱部材４０（冷媒流通部４２）に対するエアの流通は、前記制御部５０により統括的に制御される。

【0068】

図７は、部品実装基板の生産中のバルブ切替制御を示すタイミングチャートであり、図８は、生産停止中のバルブ切替制御を示すタイミングチャートである。

【0069】

制御部５０は、部品実装基板の生産中は、図７に示すように、ヘッド７による部品の吸着及び実装が行われている期間以外の時、すなわち部品実装処理の実行中を除く期間に、排熱部材４０（冷媒流通部４２）の内部をエアが流通するように各バルブ６２～６５を制御する。その理由は以下の通りである。

【0070】

この部品実装装置１では、ヘッド７に対する負圧及び正圧の供給と、排熱部材４０（冷媒流通部４２）に対する負圧及び正圧の供給が共通のエア回路６０で行われる。そのため、仮に、部品実装処理の実行中に、エアを排熱部材４０に流通させる（以下、この処理を「エア流通処理」という場合がある）場合には、ヘッド７に供給される負圧や正圧に圧力変動が生じ、ヘッド７による部品の吸着保持や部品のリリース動作に悪影響が出ることが考えられる。例えば、ヘッド７からの吸着部品の脱落や部品のリリースミスなどの不都合を招くことが考えられる。

【0071】

係る不都合を回避するために、部品実装基板の生産中は、ヘッド７による部品実装処理の動作（ｔ１～ｔ２時点、ｔ５～ｔ６時点）の合間（ｔ３～ｔ４時点）にのみ、エア流通処理が実行されるように、各バルブ６２～６５のオンオフを制御部５０が制御する。なお、図７は、エア回路６０のうち、第１回路部６１Ａに属する各バルブ６２～６５の制御を示しているが、第２回路部６１Ｂに属する各バルブ６２～６５の制御も同じである。

【0072】

図８に示すように、制御部５０は、部品実装基板の生産停止中にもエア流通処理が実行されるように、各バルブ６２～６５を制御する。例えば先行ロットの生産と後続ロットの生産の合間に、エア流通処理が実行されるように、制御部５０は各バルブ６２～６５を制御する。図８の例では、制御部５０は、先行ロットの生産後（ｔ１１時点）、一定時間が経過した時点（ｔ１２時点）から設定時間（ｔ１２～ｔ１３時点）だけエア流通処理が実行されるように各バルブ６２～６５を制御する。例えば、制御部５０は、生産計画情報に基づき先行ロットと後続ロットとのインターバル（ｔ１１～ｔ１４時点）を取得し、当該インターバルが前記一定時間以上の場合にエア流通処理を実行する。

【0073】

なお、部品実装基板の生産停止中とは、既述のような先行ロットと後続ロットとの合間の期間の他、例えば部品切れ等による生産停止中であってもよい。この場合、制御部５０は、生産停止後、前記一定時間経過時点から設定時間だけエア流通処理を実行する。この設定時間の経過前に生産が再開された場合には、制御部５０は、生産再開時点でエア流通処理が終了するように各バルブ６２～６５を制御する。

【0074】

［作用効果等］
上記部品実装装置１は、固定レール２４及びスライダ２２を備えるＹ方向案内部材１１と、スライダ２２に固定された第１ビーム１２Ａ（第２ビーム１２Ｂ）と、固定レール２４に沿って第１ビーム１２Ａ（第２ビーム１２Ｂ）を移動させる駆動力を生成する第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａ（第２Ｙ軸リニアモータ３０Ｂ）と、可動子３２で発生する熱を排熱する排熱部材４０を備えている。そして、排熱部材４０は、可動子３２を覆いかつエア（冷媒）が内部を通過するように形成された冷媒流通部４２と、冷媒流通部４２と第１ビーム１２Ａ（第２ビーム１２Ｂ）との間に配置されて内部に真空空間４４ａを有する真空断熱部４４とを備える。

【0075】

この構成によると、既述した通り、可動子で発生した熱は、真空断熱部４４によって第１ビーム１２Ａ（第２ビーム１２Ｂ）側への移動が抑制（遮断）されながら、冷媒流通部４２を流通するエア（冷媒）によって積極的に可動子３２及びその周辺から排熱される。そのため、可動子３２で発生する熱に起因する各ビーム１２Ａ、１２ＢやＹ方向案内部材１１の熱変形が抑制ないし防止される。そして、このような各部の熱変形の抑制は、各ビーム１２Ａ、１２Ｂの移動精度の向上に繋がり、結果的に、部品実装装置１による部品の実装精度の向上に寄与する。

【0076】

特に、部品実装装置１は、第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａ（第２Ｙ軸リニアモータ３０Ｂ）がＹ方向案内部材１１に組み込まれた構成を有する。この構成では、スライダ２２、固定レール２４及び第１ビーム１２Ａ（第２ビーム１２Ｂ）が隣接しているため、可動子３２の発熱によるこれらの熱変形が特に懸念される。しかし、実施形態の構成によれば、既述の通り、可動子３２で発生した熱は、排熱部材４０（冷媒流通部４２）を流通するエアによって積極的に可動子３２及びその周辺から排熱される。そのため、各ビーム１２Ａ、１２ＢやＹ方向案内部材１１の熱変形が効果的に抑制される。

【0077】

また、冷媒流通部４２の冷媒通路４２ｃは、電磁コイルが配列される面（スライダ２２の上面２２ａ及び側面２２ｂ）に沿って蛇行するように形成されている。この構成によると、電磁コイルに沿ってエアが蛇行しながら流通するで、可動子から冷媒への熱移動が促進され、電磁コイルで発生する熱を、当該電磁コイル及びその周辺から効果的に排熱することが可能となる。

【0078】

なお、このような冷媒通路４２ｃを備える冷媒流通部４２は、例えば、図１０に示すように、蛇行溝４５ａを主面に形成した第１板部材４５と、第１板部材４５と対称な蛇行溝４６ａを主面に形成した第２板部材４６とを重ね併せて接合することにより構成できる。

【0079】

また、部品実装装置１で用いられるエア（圧縮エア）を冷媒として排熱部材４０に流通させるため、可動子３２で発生した熱を部品実装装置１の既存の設備を用いて排熱する合理的な構成が達成される。具体的には、部品実装装置１は、負圧生成部８０からの負圧の供給を受けて部品を吸着保持し、負圧に代えて正圧生成部７０からの正圧の供給を受けて部品をリリースするように構成されている。そして、冷媒通路４２ｃの一端（導出ポート部４２ｂ）に対して負圧生成部８０から負圧が供給され、かつ他端（導出ポート部４２ｂ）に対して正圧生成部７０から正圧が供給される。これにより、冷媒通路４２ｃに沿ってエアが冷媒流通部４２を流通する。従って、部品実装装置１で用いられるエアを利用した合理的な構成で、可動子３２で発生する熱を排熱することができる。

【0080】

しかも、部品実装装置１は、冷媒流通部４２に対する負圧及び正圧の供給と停止を切り換える第１、第２の冷却バルブ６４、６５を備え、制御部５０が、部品実装処理の実行中を除く期間に、冷媒流通部４２をエアが流通するように第１、第２の冷却バルブ６４、６５を制御する。そのため、可動子３２で発生する熱を、ヘッド７による部品実装処理に影響を与えること無く排熱することができる。すなわち、部品実装処理中の負圧や正圧の圧力変動により部品の吸着不良や装着不良などのトラブルを招くおそれが無い。

【0081】

また、部品実装装置１は、冷媒流通部４２を流通した後のエアを、そのまま部品実装装置１の外部（機外）に排出する排気ダクト８２を備えている。そのため、冷媒として冷媒流通部４２を流通させたエアを再生（冷却）するための設備を設けることなく、継続的に可動子３２で発生する熱を排熱することができる。
［変形例］
以上説明した部品実装装置１は、本発明に係る部品実装装置（本発明に係るリニア駆動装置を備えた部品実装装置）の好ましい実施形態の例示であり、部品実装装置１やリニア駆動装置の具体的な構成は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。例えば、以下の構成も採用され得る。

【0082】

（１）第１ヘッドユニット６ＡをＸ方向に移動させるためのリニア駆動装置（第１Ｘ方向案内部材１３Ａ及び図外の第１Ｘ軸リニアモータ）や、第２ヘッドユニット６ＢをＸ方向に移動させるためのリニア駆動装置（第２Ｘ方向案内部材１３Ｂ及び図外の第２Ｘ軸リニアモータ）についても排熱部材４０を設けるようにしてもよい。すなわち、第１ヘッドユニット６Ａは、そのフレーム部材（移動体）が、排熱部材４０を介して第１Ｘ方向案内部材１３Ａのスライダ２６に固定される構成であってもよい。同様に、第２ヘッドユニット６Ｂは、そのフレーム部材（移動体）が、排熱部材４０を介して第２Ｘ方向案内部材１３Ｂのスライダ２６に固定される構成であってもよい。

【0083】

これらの構成によれば、第１、第２のＸ軸リニアモータの可動子で発生する熱を、排熱部材４０（冷媒流通部４２）を流通するエアによって積極的に可動子及びその周辺から排熱できる。そのため、可動子の発熱に起因する、前記フレーム部材、各Ｘ方向案内部材１３Ａ、１３Ｂ、及び各ビーム１２Ａ、１２Ｂの熱変形の抑制に寄与する。

【0084】

（２）実施形態では、第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａは、Ｙ方向案内部材１１に組み込まれている。しかし、第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａは、図１１に示すように、Ｙ方向案内部材１１とは別に設けられていてもよい。

【0085】

図１１は、変形例に係る部品実装装置１のＹ方向視の模式図である。同図に示すように、第１Ｙ軸リニアモータ３０Ａ（第２Ｙ軸リニアモータ３０Ｂ）は、Ｙ方向案内部材１１に隣接して配置されている。具体的には、高架フレーム１０における固定レール２０に隣接する位置に固定子３４が固定され、第１ビーム１２Ａ（第２ビーム１２Ｂ）の下面における固定子３４に対向する位置に可動子３２が固定されている。可動子３２は、排熱部材４０を介して第１ビーム１２Ａ（第２ビーム１２Ｂ）に固定されている。

【0086】

このような構成によれば、可動子３２の発熱に起因する、第１ビーム１２Ａ（第２ビーム１２Ｂ）の熱変形が抑制される。

【0087】

（３）実施形態では、導入ポート部４２ａに正圧を供給しながら、導出ポート部４２ｂに負圧を供給することで、冷媒流通部４２にエアを流通させている。しかし、正圧又は負圧のいずれか一方のみを供給することで、冷媒流通部４２にエアを流通させてもよい。具体的には、エアフィルタ等を介して導入ポート部４２ａをエア大気開放しておき、導出ポート部４２ｂに負圧を供給するようにしてもよい（正圧は供給しない）。また、負圧通路８１を介さず、導出ポート部４２ｂを直接排気ダクト８２に接続しておき、導入ポート部４２ａに正圧を供給するようにしてもよい（負圧は供給しない）。このような構成によっても、冷媒流通部４２にエアを流通させることが可能である。但し、冷媒流通部４２に対してより安定的かつスムーズにエアを流通させる、つまり排熱を促進する上では、実施形態のように、冷媒流通部４２の導入ポート部４２ａに正圧を供給しながら、導出ポート部４２ｂに負圧を供給することで、冷媒流通部４２にエアを流通させるのが望ましい。

【0088】

（４）実施形態は、冷媒として圧縮エア（気体）が排熱部材４０（冷媒流通部４２）を流通する構成であるが、冷媒として液体が流通する構成であってもよい。

【符号の説明】

【0089】

１ 部品実装装置
５ 部品供給部
６Ａ 第１ヘッドユニット
６Ｂ 第２ヘッドユニット
７ ヘッド（実装ヘッド）
９ ヘッドユニット駆動機構
１１ Ｙ方向案内部材（案内部材）
１２Ａ 第１ビーム（移動体）
１２Ｂ 第２ビーム（移動体）
２０ 固定レール（レール）
２２ スライダ
３０Ａ 第１Ｙ軸リニアモータ（リニアモータ）
３０Ｂ 第２Ｙ軸リニアモータ（リニアモータ）
３２ 可動子
３４ 固定子
４０ 排熱部材
４２ 冷媒流通部
４２ｃ 冷媒通路
４４ 真空断熱部
４４ａ 真空空間
５０ 制御部
６０ エア回路
６１Ａ 第１回路部
６１Ｂ 第２回路部
６２ 部品吸着バルブ
６３ 部品装着バルブ
６４ 第１冷却バルブ
６５ 第２冷却バルブ
７０ 正圧発生部
８０ 負圧発生部
８２ 排気ダクト（エア排出部）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】