特開 2024-104856 プリントヘッド、及び液体吐出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024104856

(43)【公開日】2024-08-06

(54)【発明の名称】プリントヘッド、及び液体吐出装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/015 20060101AFI20240730BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20240730BHJP

   B41J 2/14 20060101ALI20240730BHJP

【ＦＩ】

B41J2/015 101

B41J2/01 451

B41J2/01 401

B41J2/14 305

【審査請求】未請求

【請求項の数】8

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023009249

(22)【出願日】2023-01-25

(71)【出願人】

【識別番号】000002369

【氏名又は名称】セイコーエプソン株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100179475

【弁理士】

【氏名又は名称】仲井 智至

(74)【代理人】

【識別番号】100216253

【弁理士】

【氏名又は名称】松岡 宏紀

(74)【代理人】

【識別番号】100225901

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 真之

(72)【発明者】

【氏名】河西 駿介

【テーマコード（参考）】

2C056

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C056EA04

2C056EB07

2C056EB30

2C056EC07

2C056EC42

2C056ED01

2C056FA04

2C056FA10

2C057AF23

2C057AL25

2C057AM16

2C057BA04

2C057BA14

2C057CA01

(57)【要約】

【課題】内部に温度検知部を設けた構成において、吐出されるインクの吐出精度を向上させることができるプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】
補正された駆動信号を受けて液体を吐出する吐出モジュールは、
積層方向において、圧電体が第１電極と第２電極との間に位置し、駆動信号を受けて駆動する圧電素子と、圧電素子に対して積層方向の一方側に位置し、圧電素子の駆動により変形する振動板と、振動板に対して積層方向の一方側に位置し、振動板の変形により容積が変化する圧力室が設けられている圧力室基板と、圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出するノズルと、振動板に対して積層方向の他方側に位置し、圧力室の温度を検出する温度検出部と、を有し、駆動信号は、温度検出部が異なるタイミングで検出した圧力室の温度に応じたＮ個の温度情報（Ｎは２以上の自然数）に基づいて補正される、プリントヘッド。
【選択図】図１４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

補正された駆動信号を受けて液体を吐出する吐出モジュールを備え、
前記吐出モジュールは、
第１電極、第２電極、及び圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記圧電体が積層される積層方向において、前記圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する圧電素子と、
前記圧電素子に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記圧電素子の駆動により変形する振動板と、
前記振動板に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記振動板の変形により容積が変化する圧力室が設けられている圧力室基板と、
前記圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出するノズルと、
前記振動板に対して前記積層方向の他方側に位置し、前記圧力室の温度を検出する温度検出部と、
を有し、
前記駆動信号は、前記温度検出部が異なるタイミングで検出した前記圧力室の温度に応じたＮ個の温度情報（Ｎは２以上の自然数）に基づいて補正される、
ことを特徴とするプリントヘッド。

【請求項2】

前記吐出モジュールからの液体の吐出周期を規定する吐出周期規定信号が入力され、
前記異なるタイミングは、前記吐出周期規定信号が入力された後、次に前記吐出周期規定信号が入力されるまでの吐出期間に含まれる、
ことを特徴とする請求項１に記載のプリントヘッド。

【請求項3】

前記吐出モジュールの温度を示す温度情報信号を出力する温度情報出力回路を備え、
前記温度情報出力回路は、前記吐出期間に取得した前記Ｎ個の温度情報に応じた前記温度情報信号を出力し、
前記駆動信号は、前記温度情報信号に基づいて補正される、
ことを特徴とする請求項２に記載のプリントヘッド。

【請求項4】

前記温度情報出力回路は、前記Ｎ個の温度情報の相加平均を算出し、前記温度情報信号として出力する、
ことを特徴とする請求項３に記載のプリントヘッド。

【請求項5】

前記温度情報出力回路は、前記Ｎ個の温度情報の調整平均を算出し、前記温度情報信号として出力する、
ことを特徴とする請求項３に記載のプリントヘッド。

【請求項6】

前記温度情報出力回路は、
前記Ｎ個の温度情報の内、前記圧力室の温度が高い方からｉ番目（ｉは１からＮ／２までの内の自然数のいずれか）の第ｉ温度情報と、前記圧力室の温度が高い方からＮ＋１－ｉ番目の第Ｎ＋１－ｉ温度情報と、の差分が所定の閾値よりも大きく、
且つ、前記Ｎ個の温度情報の内、前記圧力室の温度が高い方からｉ＋１番目の第ｉ＋１温度情報と、前記圧力室の温度が高い方からＮ－ｉ番目の第Ｎ-ｉ温度情報と、の差分が前記所定の閾値以下の場合、
前記Ｎ個の温度情報の内、前記圧力室の温度が前記第ｉ温度情報よりも低く、且つ、前記圧力室の温度が前記第Ｎ＋１－ｉ温度情報よりも高い、Ｎ－２×ｉ個の温度情報の相加平均を算出し、前記温度情報信号として出力する、
ことを特徴とする請求項５に記載のプリントヘッド。

【請求項7】

前記異なるタイミングは、前記吐出モジュールが前記駆動信号を受けて液体を吐出する期間に含まれる、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のプリントヘッド。

【請求項8】

補正された駆動信号を出力する駆動信号出力回路と、
前記駆動信号を補正する補正部と、
前記駆動信号を受けて液体を吐出するプリントヘッドと、
を備え、
前記プリントヘッドは、前記駆動信号を受けて液体を吐出する吐出モジュールを有し、
前記吐出モジュールは、
第１電極、第２電極、及び圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記圧電体が積層される積層方向において、前記圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する圧電素子と、
前記圧電素子に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記圧電素子の駆動により変形する振動板と、
前記振動板に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記振動板の変形により容積が変化する圧力室が設けられている圧力室基板と、
前記圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出するノズルと、
前記振動板に対して前記積層方向の他方側に位置し、前記圧力室の温度を検出する温度検出部と、
を含み、
前記補正部は、前記温度検出部が異なるタイミングで検出した前記圧力室の温度に応じたＮ個の温度情報（Ｎは２以上の自然数）に基づいて前記駆動信号を補正する、
ことを特徴とする液体吐出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プリントヘッド、及び液体吐出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液体吐出装置には、圧電素子と、圧力室と、圧力室と連通するノズルとを有するプリントヘッドを備えた構成が知られている。そして、プリントヘッドは、圧電素子の駆動により圧力室の容積を変化させることで、圧力室に供給された液体をノズルから吐出する。このようなプリントヘッドを備えた液体吐出装置では、プリントヘッドに貯留されるインクの温度に基づいて圧電素子を駆動制御することで、当該インクの温度に適した吐出制御を実現する技術が知られている。

【0003】

例えば、特許文献１には、圧電素子、圧力室、及びノズルを有するプリントヘッドの内部に、インクが貯留される圧力室の温度を検出する温度検知部が設けられていることで、温度検知部が検出する温度と圧力室内の温度との温度差を小さくすることができ、圧力室内に貯留されるインクの温度の検出精度を高める技術が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２２－１２４５９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載の液体吐出装置のように、プリントヘッドの内部に温度検知部を設けた構成では、吐出されるインクの吐出精度を向上させるとの観点において十分でなく、改善の余地があった。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係るプリントヘッドの一態様は、
補正された駆動信号を受けて液体を吐出する吐出モジュールを備え、
前記吐出モジュールは、
第１電極、第２電極、及び圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記圧電体が積層される積層方向において、前記圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する圧電素子と、
前記圧電素子に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記圧電素子の駆動により変形する振動板と、
前記振動板に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記振動板の変形により容積が変化する圧力室が設けられている圧力室基板と、
前記圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出するノズルと、
前記振動板に対して前記積層方向の他方側に位置し、前記圧力室の温度を検出する温度検出部と、
を有し、
前記駆動信号は、前記温度検出部が異なるタイミングで検出した前記圧力室の温度に応じたＮ個の温度情報（Ｎは２以上の自然数）に基づいて補正される。

【0007】

本発明に係る液体吐出装置の一態様は、
補正された駆動信号を出力する駆動信号出力回路と、
前記駆動信号を補正する補正部と、
前記駆動信号を受けて液体を吐出するプリントヘッドと、
を備え、
前記プリントヘッドは、前記駆動信号を受けて液体を吐出する吐出モジュールを有し、
前記吐出モジュールは、
第１電極、第２電極、及び圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記圧電体が積層される積層方向において、前記圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する圧電素子と、
前記圧電素子に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記圧電素子の駆動により変形する振動板と、
前記振動板に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記振動板の変形により容積が変化する圧力室が設けられている圧力室基板と、
前記圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出するノズルと、
前記振動板に対して前記積層方向の他方側に位置し、前記圧力室の温度を検出する温度検出部と、
を含み、
前記補正部は、前記温度検出部が異なるタイミングで検出した前記圧力室の温度に応じたＮ個の温度情報（Ｎは２以上の自然数）に基づいて前記駆動信号を補正する。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】液体吐出装置の概略構成を示す図である。

【図2】液体吐出装置の機能構成を示す図である。

【図3】駆動信号ＣＯＭの信号波形の一例を示す図である。

【図4】駆動信号選択回路の構成を示す図である。

【図5】デコーダーにおけるデコード内容の一例を示す図である。

【図6】選択回路の構成を示す図である。

【図7】駆動信号選択回路の動作を説明するための図である。

【図8】吐出モジュールの構造を示す分解斜視図である。

【図9】吐出モジュール２２の平面図である。

【図10】図９に示すＡ－ａ断面を示す断面図である。

【図11】図１０の要部詳細図である。

【図12】図９に示すＢ－ｂ断面を示す断面図である。

【図13】温度情報出力回路の機能構成を示す図である。

【図14】温度情報出力回路による温度情報ｔｃの取得タイミングの一例を示す図である。

【図15】温度情報出力回路による温度情報信号ＴＩの生成方法の一例を説明する図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて説明する。用いる図面は説明の便宜上のものである。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

【0010】

１．液体吐出装置の構造
図１は、液体吐出装置１の概略構成を示す図である。本実施形態における液体吐出装置１は、液体の一例としてのインクを吐出するプリントヘッド２０が搭載されたキャリッジ２１が走査軸に沿って往復動し、搬送方向に沿って搬送される媒体Ｐに対してインクを吐出することで、媒体Ｐに対して画像を形成するシリアル印刷方式のインクジェットプリンターを例示して説明を行う。このような液体吐出装置１に用いられる媒体Ｐとしては、印刷用紙、樹脂フィルム、布帛等の任意の印刷対象を用いることができる。

【0011】

図１に示すように液体吐出装置１は、インク容器２、制御機構１０、キャリッジ２１、移動機構３０、及び搬送機構４０を備える。

【0012】

インク容器２には、媒体Ｐに吐出される複数種類のインクが貯留されている。インク容器２に貯留されるインクの色彩としては、ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー、レッド、グレー等が挙げられる。このようなインクが貯留されるインク容器２としては、インクカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、及びインクの補充が可能なインクタンク等を用いることができる。

【0013】

制御機構１０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、プリントヘッド２０を含む液体吐出装置１の各要素を制御する。

【0014】

キャリッジ２１は、プリントヘッド２０を搭載し、移動機構３０に含まれる無端ベルト３２に固定されている。なお、インク容器２は、キャリッジ２１に搭載されていてもよい。

【0015】

キャリッジ２１に搭載されたプリントヘッド２０には、制御機構１０が出力するプリントヘッド２０を制御するための制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈと、プリントヘッド２０を駆動するための駆動信号ＣＯＭと、が入力される。また、プリントヘッド２０には、不図示のチューブを介して、インク容器２に貯留されるインクが供給される。そして、プリントヘッド２０は、入力される制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈと駆動信号ＣＯＭとに基づいて、インク容器２から供給されるインクを吐出する。

【0016】

移動機構３０は、キャリッジモーター３１、及び無端ベルト３２を含む。キャリッジモーター３１は、制御機構１０から入力される制御信号Ｃｔｒｌ－Ｃに基づいて動作する。無端ベルト３２は、キャリッジモーター３１の動作に従って回転する。これにより、無端ベルト３２に固定されたキャリッジ２１が走査軸に往復動する。すなわち、キャリッジ２１は、媒体Ｐが搬送される搬送方向と交差する走査軸に沿って往復移動する。

【0017】

搬送機構４０は、搬送モーター４１、及び搬送ローラー４２を含む。搬送モーター４１は、制御機構１０から入力される制御信号Ｃｔｒｌ－Ｔに基づいて動作する。搬送ローラー４２は、搬送モーター４１の動作に従って回転する。この搬送ローラー４２の回転に伴って媒体Ｐが搬送方向に搬送される。

【0018】

以上のように液体吐出装置１は、搬送機構４０による媒体Ｐの搬送と移動機構３０によるキャリッジ２１の往復動とに連動し、キャリッジ２１に搭載されたプリントヘッド２０が媒体Ｐにインクを吐出することで、媒体Ｐの表面の任意の位置にインクが着弾し、媒体Ｐに所望の画像を形成する。

【0019】

２．液体吐出装置の機能構成
次に、液体吐出装置１の機能構成について説明する。図２は、液体吐出装置１の機能構成を示す図である。図２に示すように液体吐出装置１は、制御機構１０、プリントヘッド２０、キャリッジモーター３１、搬送モーター４１、及びリニアエンコーダー９０を備える。

【0020】

制御機構１０は、駆動回路５０、基準電圧信号出力回路５２、及び制御回路１００を有する。制御回路１００は、例えば、ＣＰＵやＦＰＧＡ等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含む。制御回路１００には、液体吐出装置１の外部と通信可能に接続されたホストコンピューター等の外部機器から画像データ等を含む画像情報信号が入力される。制御回路１００は、入力される画像情報信号に基づいて、液体吐出装置１を制御するための各種信号を生成し、対応する構成に出力する。

【0021】

具体例には、制御回路１００には、上述した画像情報信号に加えて、リニアエンコーダー９０から、キャリッジ２１の走査位置に基づく検出信号が入力される。制御回路１００は、入力される検出信号に基づいてキャリッジ２１に搭載されたプリントヘッド２０の走査位置を把握する。そして、制御回路１００は、プリントヘッド２０の走査位置と画像情報信号とに応じた各種信号を生成し、出力する。

【0022】

詳細には、制御回路１００は、プリントヘッド２０の走査位置に応じて、プリントヘッド２０の走査軸に沿った移動を制御するための制御信号Ｃｔｒｌ－Ｃを生成し、キャリッジモーター３１に出力する。これにより、キャリッジモーター３１が動作し、キャリッジ２１に搭載されたプリントヘッド２０の走査軸に沿った移動、及び走査位置が制御される。また、制御回路１００は、媒体Ｐの搬送を制御するための制御信号Ｃｔｒｌ－Ｔを生成し、搬送モーター４１に出力する。これにより、搬送モーター４１が動作し、媒体Ｐの搬送方向に沿った移動が制御される。なお、制御信号Ｃｔｒｌ－Ｃは、不図示のドライバー回路を介して信号変換されたのち、キャリッジモーター３１に入力されてもよく、制御信号Ｃｔｒｌ－Ｔは、不図示のドライバー回路を介して信号変換されたのち、搬送モーター４１に入力されてもよい。

【0023】

また、制御回路１００は、外部機器から入力される画像情報信号と、リニアエンコーダー９０から入力されるプリントヘッド２０の走査位置と、に基づいて、プリントヘッド２０を制御するための制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈとして、印刷データ信号ＳＩ１～ＳＩｎ、チェンジ信号ＣＨ、ラッチ信号ＬＡＴ、及びクロック信号ＳＣＫを生成し、プリントヘッド２０に出力する。

【0024】

また、制御回路１００は、所定のタイミングにおいて、プリントヘッド２０の温度を取得するための温度取得要求信号ＴＤを生成し、プリントヘッド２０に出力する。また、制御回路１００には、温度取得要求信号ＴＤに応じてプリントヘッド２０が出力する温度情報信号ＴＩが入力される。すなわち、制御回路１００には、プリントヘッド２０の温度の情報を含む温度情報信号ＴＩが入力される。そして、制御回路１００は、入力される温度情報信号ＴＩに基づいて、制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈ，Ｃｔｒｌ－Ｃ，Ｃｔｒｌ－Ｔを補正する。

【0025】

また、制御回路１００は、制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈとして駆動回路５０にデジタル信号である基駆動信号ｄＯを出力する。駆動回路５０は、入力される基駆動信号ｄＯをデジタル／アナログ信号変換したのち、変換されたアナログ信号をＤ級増幅することで駆動信号ＣＯＭを生成し、プリントヘッド２０に出力する。すなわち、制御回路１００が出力する基駆動信号ｄＯは、駆動信号ＣＯＭの波形を規定するデジタル信号である。ここで、制御回路１００は、入力される温度情報信号ＴＩに基づいて、基駆動信号ｄＯを補正する。すなわち、駆動回路５０は、温度情報信号ＴＩに基づいて補正された駆動信号ＣＯＭを出力する。なお、基駆動信号ｄＯは、駆動回路５０が出力する駆動信号ＣＯＭの波形を規定することができればよく、アナログ信号であってもよい。

【0026】

基準電圧信号出力回路５２は、基準電圧信号ＶＢＳを生成し、プリントヘッド２０に出力する。この基準電圧信号出力回路５２が出力する基準電圧信号ＶＢＳは、後述する圧電素子６０の駆動の基準となる電位の信号であって、例えば、グラウンド電位で一定の信号であってもよく、５．５Ｖや６Ｖ等の電位で一定の直流電圧信号であってもよい。

【0027】

プリントヘッド２０は、吐出モジュール２２－１～２２－ｎと、温度情報出力回路２６と、を有する。また、吐出モジュール２２－１～２２－ｎのそれぞれは、駆動信号選択回路２００、温度検出回路２４、及び複数の圧電素子６０を含む。

【0028】

吐出モジュール２２－１には、制御回路１００が出力する印刷データ信号ＳＩ１、チェンジ信号ＣＨ、ラッチ信号ＬＡＴ、及びクロック信号ＳＣＫと、駆動回路５０が出力する駆動信号ＣＯＭと、基準電圧信号出力回路５２が出力する基準電圧信号ＶＢＳと、が入力される。

【0029】

吐出モジュール２２－１に入力されたクロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、印刷データ信号ＳＩ１、及び駆動信号ＣＯＭは、駆動信号選択回路２００に入力される。駆動信号選択回路２００は、入力されるクロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、及び印刷データ信号ＳＩ１に基づいて、駆動信号ＣＯＭの信号波形を選択、又は非選択とすることで、複数の圧電素子６０のそれぞれに対応する駆動信号ＶＯＵＴを生成し、対応する圧電素子６０の一端に個別に出力する。また、複数の圧電素子６０の他端には、基準電圧信号ＶＢＳが共通に入力されている。複数の圧電素子６０のそれぞれは、一端に個別に入力される駆動信号ＶＯＵＴと、他端に共通に入力される基準電圧信号ＶＢＳとの電位差により駆動する。この圧電素子６０の駆動に応じた量のインクが、吐出モジュール２２－１から吐出される。

【0030】

吐出モジュール２２－１が有する温度検出回路２４は、吐出モジュール２２－１の温度を検出し、温度情報ｔｃ１として取得する。そして、吐出モジュール２２－１が有する温度検出回路２４は、取得した温度情報ｔｃ１を含む温度検出信号ＴＣ１を生成し、温度情報出力回路２６に出力する。

【0031】

ここで、吐出モジュール２２－２～２２－ｎは、入力される信号、及び出力する信号が異なるのみで吐出モジュール２２－１と同様の構成を有し、同様の動作を実行する。

【0032】

すなわち、吐出モジュール２２－ｐ（ｐは１～ｎのいずれか）には、クロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、印刷データ信号ＳＩｐ、駆動信号ＣＯＭ、及び基準電圧信号ＶＢＳが入力される。そして、吐出モジュール２２－ｐが有する駆動信号選択回路２００は、入力されるクロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、及び印刷データ信号ＳＩｐに基づいて、駆動信号ＣＯＭの信号波形を選択、又は非選択とすることで、複数の圧電素子６０のそれぞれに対応する駆動信号ＶＯＵＴを生成する。この駆動信号選択回路２００が生成した駆動信号ＶＯＵＴが、対応する圧電素子６０の一端に個別に入力される。また、吐出モジュール２２－ｐが有する複数の圧電素子６０の他端には、基準電圧信号ＶＢＳが共通に入力される。これにより、吐出モジュール２２－ｐが有する複数の圧電素子６０のそれぞれが駆動し、圧電素子６０の駆動に応じた量のインクが、吐出モジュール２２－ｐから吐出される。

【0033】

また、吐出モジュール２２－ｐが有する温度検出回路２４は、吐出モジュール２２－ｐの温度を検出し、温度情報ｔｃｐとして取得する。そして、吐出モジュール２２－ｐが有する温度検出回路２４は、取得した温度情報ｔｃｐを含む温度検出信号ＴＣｐを生成し、温度情報出力回路２６に出力する。

【0034】

ここで、以下の説明において、吐出モジュール２２－１～２２－ｎを区別する必要がない場合、単に吐出モジュール２２と称する場合がある。この際、吐出モジュール２２には、クロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、印刷データ信号ＳＩ、駆動信号ＣＯＭ、及び基準電圧信号ＶＢＳが入力されるとともに、吐出モジュール２２の温度に応じた温度情報ｔｃを取得し、温度情報ｔｃを含む温度検出信号ＴＣを出力するとして説明を行う。

【0035】

温度情報出力回路２６には、吐出モジュール２２－１～２２－ｎのそれぞれが出力する温度検出信号ＴＣ１～ＴＣｎと、制御回路１００が出力する温度取得要求信号ＴＤ、及びラッチ信号ＬＡＴと、が入力される。温度情報出力回路２６は、温度取得要求信号ＴＤに基づいて、ラッチ信号ＬＡＴにより規定されるタイミングで、温度検出信号ＴＣ１～ＴＣｎのそれぞれに含まれる温度情報ｔｃ１～ｔｃｎを取得し、取得した温度情報ｔｃ１～ｔｃｎに応じた温度情報信号ＴＩを出力する。

【0036】

以上のように、本実施形態の液体吐出装置１は、クロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、及び印刷データ信号ＳＩを出力する制御回路１００と、駆動信号ＣＯＭを出力する駆動回路５０と、クロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、及び印刷データ信号ＳＩと、駆動信号ＣＯＭと、を受けてインクを吐出するプリントヘッド２０と、を含む。このような液体吐出装置１において、制御回路１００が出力するクロック信号ＳＣＫ、ラッチ信号ＬＡＴ、チェンジ信号ＣＨ、及び印刷データ信号ＳＩと、駆動回路５０が出力する駆動信号ＣＯＭとは、プリントヘッド２０が出力する温度情報信号ＴＩに応じて補正される。すなわち、本実施形態の液体吐出装置１は、温度情報信号ＴＩに基づいて補正された駆動信号ＣＯＭを出力する駆動回路５０と、駆動信号ＣＯＭを補正する制御回路１００と、補正された駆動信号ＣＯＭを受けてインクを吐出するプリントヘッド２０と、を備え、プリントヘッド２０は、補正された駆動信号ＣＯＭを受けてインクを吐出する吐出モジュール２２と、吐出モジュール２２の温度を示す温度情報信号ＴＩを出力する温度情報出力回路２６と、を有する。

【0037】

３．駆動信号選択回路の機能構成
次に、吐出モジュール２２が有する駆動信号選択回路２００の構成、及び動作について説明する。前述の通り、吐出モジュール２２が有する駆動信号選択回路２００は、クロック信号ＳＣＫ、印刷データ信号ＳＩ、ラッチ信号ＬＡＴ、及びチェンジ信号ＣＨに基づいて、駆動信号ＣＯＭに含まれる信号波形を選択又は非選択とすることで、駆動信号ＶＯＵＴを生成し、対応する圧電素子６０に出力する。そこで、駆動信号選択回路２００の構成、及び動作を説明するにあたり、まず、駆動信号選択回路２００に入力される駆動信号ＣＯＭの波形の一例について説明する。

【0038】

図３は、駆動信号ＣＯＭの信号波形の一例を示す図である。図３に示すように、駆動信号ＣＯＭは、ラッチ信号ＬＡＴが立ち上がってからチェンジ信号ＣＨが立ち上がるまでの期間ｔｄ１に配置された台形波形Ａｄｐと、チェンジ信号ＣＨが立ち上がってから次にチェンジ信号ＣＨが立ち上がるまでの期間ｔｄ２に配置された台形波形Ｂｄｐと、チェンジ信号ＣＨが立ち上がってからラッチ信号ＬＡＴが立ち上がるまでの期間ｔｄ３に配置された台形波形Ｃｄｐと、を含む。

【0039】

台形波形Ａｄｐは、所定量のインクが吐出するように圧電素子６０を駆動する信号波形であり、台形波形Ｂｄｐは、所定量よりも少量のインクが吐出するように圧電素子６０を駆動する信号波形である。また、台形波形Ｃｄｐは、インクが吐出されない程度に圧電素子６０を駆動する信号波形であって、圧電素子６０に対応するノズル開孔部付近のインクを振動させることで、ノズル開孔部付近のインク粘度が増大するおそれを低減するための信号波形である。また、台形波形Ａｄｐ，Ｂｄｐ，Ｃｄｐは、それぞれの開始タイミング及び終了タイミングでの電圧値がいずれも電圧Ｖｃで共通の信号波形である。すなわち、台形波形Ａｄｐ，Ｂｄｐ，Ｃｄｐのそれぞれは、電圧Ｖｃで開始し電圧Ｖｃで終了する。

【0040】

ここで、以下の説明において、圧電素子６０に台形波形Ａｄｐが供給された場合に、吐出される所定量のインクの量を中程度の量と称し、圧電素子６０に台形波形Ｂｄｐが供給された場合に、吐出される所定量のよりも少ないインクの量を小程度の量と称する場合がある。また、圧電素子６０に台形波形Ｃｄｐが供給された場合に、当該圧電素子６０に対応するノズル開孔部付近のインクを振動させてインク粘度の増大を防止するための動作を微振動と称する場合がある。なお、図３に示す駆動信号ＣＯＭの信号波形は一例であってこれに限られるものではなく、吐出されるインクの性質や、インクが着弾する媒体Ｐの材質等に応じて、様々な波形の組み合わせが用いられてもよい。

【0041】

そして、駆動信号選択回路２００が、上述した期間ｔｄ１，ｔｄ２，ｔｄ３を含む周期ｔｐにおいて、駆動信号ＣＯＭに含まれる台形波形Ａｄｐ，Ｂｄｐ，Ｃｄｐを選択、又は非選択とすることで、周期ｔｐにおけるインクの吐出量が制御される。換言すれば、周期ｔｐにおいて媒体Ｐに形成されるドットサイズが制御される。この期間ｔｄ１，ｔｄ２，ｔｄ３を含む周期ｔｐが、媒体Ｐに所定サイズのドットを形成するドット形成周期であって、媒体Ｐにインクを吐出する吐出周期に相当する。すなわち、ラッチ信号ＬＡＴは、吐出モジュール２２からのインクの吐出周期に相当する周期ｔｐを規定する。

【0042】

次に、駆動信号ＣＯＭに含まれる信号波形を選択又は非選択とすることで駆動信号ＶＯＵＴを生成する駆動信号選択回路２００の構成、及び動作について説明する。図４は、駆動信号選択回路２００の構成を示す図である。図４に示すように、駆動信号選択回路２００は、選択制御回路２１０と、複数の圧電素子６０と同数の複数の選択回路２３０を有する。なお、以下の説明では、吐出モジュール２２は、ｍ個の圧電素子６０を有するとして説明を行う。

【0043】

選択制御回路２１０には、クロック信号ＳＣＫ、印刷データ信号ＳＩ、ラッチ信号ＬＡＴ、及びチェンジ信号ＣＨが入力される。また、選択制御回路２１０には、シフトレジスター（Ｓ／Ｒ）２１２とラッチ回路２１４とデコーダー２１６との組が、ｍ個の圧電素子６０の各々に対応して設けられている。すなわち、駆動信号選択回路２００は、ｍ個のシフトレジスター２１２と、ｍ個のラッチ回路２１４と、ｍ個のデコーダー２１６とを含む。

【0044】

印刷データ信号ＳＩは、クロック信号ＳＣＫに同期して選択制御回路２１０に入力される。また、印刷データ信号ＳＩは、「大ドットＬＤ」、「中ドットＭＤ」、「小ドットＳＤ」及び「非記録ＮＤ」のいずれかを選択するための２ビットの印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］をｍ個の圧電素子６０の各々に対応してシリアルに含む。印刷データ信号ＳＩに含まれる印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］は、ｍ個の圧電素子６０に対応するｍ個のシフトレジスター２１２に保持される。具体的には、圧電素子６０に対応したｍ個のシフトレジスター２１２が互いに縦続接続しているとともに、シリアルで入力された印刷データ信号ＳＩが、クロック信号ＳＣＫに従って順次後段のシフトレジスター２１２に転送される。そして、印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］が対応するシフトレジスター２１２に保持されることで、クロック信号ＳＣＫが停止する。これにより、印刷データ信号ＳＩに含まれる印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］が対応するシフトレジスター２１２に保持される。なお、図４には、ｍ個のシフトレジスター２１２を区別するために、印刷データ信号ＳＩが入力される上流側から順番に１段、２段、…、ｍ段と表記している。

【0045】

ｍ個のラッチ回路２１４の各々は、ラッチ信号ＬＡＴの立ち上がりで対応するシフトレジスター２１２に保持された印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］を一斉にラッチする。そして、ラッチ回路２１４がラッチした印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］は、対応するデコーダー２１６に入力される。図５は、デコーダー２１６におけるデコード内容の一例を示す図である。デコーダー２１６は、期間ｔｄ１，ｔｄ２，ｔｄ３のそれぞれにおいて、入力される印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］で規定される論理レベルの選択信号Ｓを出力する。例えば、デコーダー２１６に印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］＝［１，０］が入力された場合、デコーダー２１６は、選択信号Ｓの論理レベルを、期間ｔｄ１，ｔｄ２，ｔｄ３においてＨ，Ｌ，Ｌレベルとして出力する。

【0046】

デコーダー２１６が出力する選択信号Ｓは、選択回路２３０に入力される。選択回路２３０は、ｍ個の圧電素子６０のそれぞれに対応して設けられている。すなわち、駆動信号選択回路２００は、ｍ個の圧電素子６０と同数のｍ個の選択回路２３０を有する。図６は、選択回路２３０の構成を示す図である。図６に示すように、選択回路２３０は、ＮＯＴ回路であるインバーター２３２とトランスファーゲート２３４とを含む。

【0047】

選択信号Ｓは、トランスファーゲート２３４において丸印が付されていない正制御端に入力されるとともに、インバーター２３２によって論理レベルが反転された後、トランスファーゲート２３４において丸印が付された負制御端にも入力される。また、トランスファーゲート２３４の入力端には、駆動信号ＣＯＭが供給されている。そして、トランスファーゲート２３４は、ハイレベルの選択信号Ｓが入力された場合に入力端と出力端との間を導通とし、ローレベルの選択信号Ｓが入力された場合に入力端と出力端との間を非導通とする。すなわち、トランスファーゲート２３４は、選択信号Ｓの論理レベルがハイレベルの場合に駆動信号ＣＯＭに含まれる信号波形を出力端から出力し、選択信号Ｓの論理レベルがローレベルの場合に駆動信号ＣＯＭに含まれる信号波形を出力端から出力しない。そして、駆動信号選択回路２００は、選択回路２３０が有するトランスファーゲート２３４の出力端に出力された信号を、駆動信号ＶＯＵＴとして出力する。

【0048】

ここで、図７を用いて駆動信号選択回路２００の動作について説明する。図７は、駆動信号選択回路２００の動作を説明するための図である。印刷データ信号ＳＩは、クロック信号ＳＣＫに同期したシリアル信号として選択制御回路２１０に入力される。そして、印刷データ信号ＳＩは、クロック信号ＳＣＫに同期して、ｍ個の圧電素子６０に対応するｍ個のシフトレジスター２１２において順次転送される。その後、クロック信号ＳＣＫの入力が停止すると、シフトレジスター２１２には、ｍ個の圧電素子６０の各々に対応した印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］が保持される。なお、印刷データ信号ＳＩは、シフトレジスター２１２のｍ段、…、２段、１段の圧電素子６０に対応した順に入力される。

【0049】

そして、ラッチ信号ＬＡＴが立ち上がると、ラッチ回路２１４のそれぞれは、シフトレジスター２１２に保持されている印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］を一斉にラッチする。なお、図７に示すＬＴ１、ＬＴ２、…、ＬＴｍは、１段、２段、…、ｍ段のシフトレジスター２１２に対応するラッチ回路２１４によってラッチされた印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］を示す。

【0050】

デコーダー２１６は、ラッチされた印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］で規定されるドットのサイズに応じて、期間ｔｄ１，ｔｄ２，ｔｄ３のそれぞれにおいて、選択信号Ｓの論理レベルを図５に示す内容で出力する。そして、選択回路２３０が、デコーダー２１６が出力する選択信号Ｓの論理レベルに応じて駆動信号ＣＯＭに含まれる信号波形を選択又は非選択とすることで、駆動信号ＶＯＵＴを生成する。

【0051】

具体的には、デコーダー２１６に印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］＝［１，１］が入力された場合、デコーダー２１６は、選択信号Ｓの論理レベルを期間ｔｄ１，ｔｄ２，ｔｄ３においてＨ，Ｈ，Ｌレベルとする。これにより、選択回路２３０は、期間ｔｄ１において台形波形Ａｄｐを選択し、期間ｔｄ２において台形波形Ｂｄｐを選択し、期間ｔｄ３において台形波形Ｃｄｐを選択しない。その結果、駆動信号選択回路２００は、「大ドットＬＤ」に対応する駆動信号ＶＯＵＴを出力する。

【0052】

「大ドットＬＤ」に対応する駆動信号ＶＯＵＴが圧電素子６０に供給された場合、期間ｔｄ１において中程度の量のインクが吐出され、期間ｔｄ２において小程度の量のインクが吐出され、期間ｔｄ３においてインクが吐出されない。そして、吐出された中程度の量のインクと小程度の量のインクとが、媒体Ｐに着弾し結合することで、媒体Ｐに「大ドットＬＤ」が形成される。

【0053】

また、デコーダー２１６に印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］＝［１，０］が入力された場合、デコーダー２１６は、選択信号Ｓの論理レベルを期間ｔｄ１，ｔｄ２，ｔｄ３においてＨ，Ｌ，Ｌレベルとする。これにより、選択回路２３０は、期間ｔｄ１において台形波形Ａｄｐを選択し、期間ｔｄ２において台形波形Ｂｄｐを選択せず、期間ｔｄ３において台形波形Ｃｄｐを選択しない。その結果、駆動信号選択回路２００は、「中ドットＭＤ」に対応する駆動信号ＶＯＵＴを出力する。

【0054】

「中ドットＭＤ」に対応する駆動信号ＶＯＵＴが圧電素子６０に供給された場合、期間ｔｄ１において中程度の量のインクが吐出され、期間ｔｄ２においてインクが吐出されず、期間ｔｄ３においてインクが吐出されない。そして、吐出された中程度の量のインクが媒体Ｐに着弾することで、媒体Ｐに「中ドットＭＤ」が形成される。

【0055】

また、デコーダー２１６に印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］＝［０，１］が入力された場合、デコーダー２１６は、選択信号Ｓの論理レベルを期間ｔｄ１，ｔｄ２，ｔｄ３においてＬ，Ｈ，Ｌレベルとする。これにより、選択回路２３０は、期間ｔｄ１において台形波形Ａｄｐを選択せず、期間ｔｄ２において台形波形Ｂｄｐを選択し、期間ｔｄ３において台形波形Ｃｄｐを選択しない。その結果、駆動信号選択回路２００は、「小ドットＳＤ」に対応する駆動信号ＶＯＵＴを出力する。

【0056】

「小ドットＳＤ」に対応する駆動信号ＶＯＵＴが圧電素子６０に供給された場合、期間ｔｄ１においてインクが吐出されず、期間ｔｄ２において小程度の量のインクが吐出され、期間ｔｄ３においてインクが吐出されない。そして、吐出された小程度の量のインクが媒体Ｐに着弾することで、媒体Ｐに「小ドットＳＤ」が形成される。

【0057】

また、デコーダー２１６に印刷データ［ＳＩＨ，ＳＩＬ］＝［０，０］が入力された場合、デコーダー２１６は、選択信号Ｓの論理レベルを期間ｔｄ１，ｔｄ２，ｔｄ３においてＬ，Ｌ，Ｈレベルとする。これにより、選択回路２３０は、期間ｔｄ１において台形波形Ａｄｐを選択せず、期間ｔｄ２において台形波形Ｂｄｐを選択せず、期間ｔｄ３において台形波形Ｃｄｐを選択する。その結果、駆動信号選択回路２００は、「非記録ＮＤ」に対応する駆動信号ＶＯＵＴを出力する。

【0058】

「非記録ＮＤ」に対応する駆動信号ＶＯＵＴが圧電素子６０に供給された場合、期間ｔｄ１においてインクが吐出されず、期間ｔｄ２においてインクが吐出されず、期間ｔｄ３においてインクが吐出されない。したがって、吐出部６００からインクが吐出されず、媒体Ｐにドットが形成されない「非記録ＮＤ」となる。このとき、対応する圧電素子６０には、台形波形Ｃｄｐを含む駆動信号ＶＯＵＴが入力される。したがって、微振動が実行される。その結果、対応する吐出部６００のノズル開孔部付近のインク粘度が増大するおそれが低減する。

【0059】

以上のように、本実施形態の液体吐出装置１において、吐出モジュール２２は、駆動信号ＣＯＭが供給されることで駆動する圧電素子６０を有し、圧電素子６０の駆動により液体の一例であるインクを吐出する。

【0060】

４．吐出モジュールの構造
次に、プリントヘッド２０が有する吐出モジュール２２の構造について説明する。図８は、吐出モジュール２２の構造を示す分解斜視図であり、図９は、吐出モジュール２２の平面図であり、図１０は、図９に示すＡ－ａ断面を示す断面図であり、図１１は、図１０の要部詳細図であり、図１２は、図９に示すＢ－ｂ断面を示す断面図である。ここで、吐出モジュール２２の構造を説明するにあたり、以下の説明では、互いに直交する３つの空間軸であるＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸を用いる。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸のそれぞれの向きを特定する場合、図示するＸ軸沿った方向を示す矢印の起点側を－Ｘ側、先端側を＋Ｘ側と称し、図示するＹ軸沿った方向を示す矢印の起点側を－Ｙ側、先端側を＋Ｙ側と称し、図示するＺ軸沿った方向を示す矢印の起点側を－Ｚ側、先端側を＋Ｚ側と称する場合がある。

【0061】

図８に示すように、吐出モジュール２２は、Ｚ軸に沿って－Ｚ側から＋Ｚ側に向かいインクを吐出する。吐出モジュール２２は、圧力室基板３１０、連通板３１５、ノズルプレート３２０、コンプライアンス基板３４５、保護基板３３０、ケース部材３４０、配線基板４２０、後述する振動板３５０、及び後述する圧電素子６０を有する。

【0062】

図９に示すように、圧力室基板３１０には、複数の圧力室３１２がＹ軸に沿って並ぶ圧力室列が、Ｘ軸に沿った方向に２列で配置されている。ここで、圧力室基板３１０に配置された２列の圧力室列のうち、＋Ｘ側に配置された圧力室列を第１圧力室列と称し、第１圧力室列の－Ｘ側に配置された圧力室列を第２圧力室列と称する場合がある。なお、図９は、吐出モジュール２２の平面図であるが、圧力室基板３１０の周辺の構成を主に図示し、保護基板３３０、及びケース部材３４０の図示を省略している。

【0063】

各圧力室列を構成する複数の圧力室３１２は、Ｘ軸に沿った方向における位置が略同じ位置となるように、Ｙ軸に沿った直線上に配置されている。そして、Ｙ軸に沿って隣り合う圧力室３１２は、図１２に示す隔壁３１１によって区画されている。なお、圧力室３１２の配置は上述した配置に限定されるものではなく、例えば、各圧力室列を構成する複数の圧力室３１２は、Ｘ軸に沿った方向における位置がずれた位置となるいわゆる千鳥配置であってもよい。また、圧力室３１２の形状は、＋Ｚ側からの平面視においてＸ軸に沿った方向の長さがＹ軸方向の長さよりも長い長方形に形成されているとして説明を行うが、＋Ｚ側からの平面視における圧力室３１２の形状は、これ限定されるものではなく、例えば、平行四辺形状、多角形状、円形状、オーバル形状等であってもよい。ここで、オーバル形状とは長方形状を基本として長手方向の両端部を半円状とした形状であって、角丸長方形状、楕円形状、卵形状などが含まれる。

【0064】

図８、及び図１０に示すように、圧力室基板３１０の＋Ｚ側には、連通板３１５と、ノズルプレート３２０及びコンプライアンス基板３４５とが積層されている。

【0065】

連通板３１５には、圧力室３１２とノズル３２１とを連通するノズル連通路３１６が設けられている。また、連通板３１５には、複数の圧力室３１２が連通し、共通液室として機能するマニホールド４００の一部を構成する第１マニホールド部３１７、及び第２マニホールド部３１８が設けられている。第１マニホールド部３１７は、連通板３１５をＺ軸に沿って貫通して設けられている。第２マニホールド部３１８は、連通板３１５をＺ軸に沿って貫通することなく、連通板３１５の＋Ｚ側の面に開口して設けられている。

【0066】

さらに、連通板３１５には、圧力室３１２のＸ軸に沿った方向の一方の端部と連通する供給連通路３１９が、圧力室３１２の各々に対応し、独立して設けられている。この供給連通路３１９が、第２マニホールド部３１８と各圧力室３１２とを連通することで、マニホールド４００の内部に貯留されるインクが各圧力室３１２に供給される。ここで、連通板３１５は、圧力室基板３１０と略同一の熱膨張率の材料が用いられていることが好ましい。これにより、圧力室基板３１０及び連通板３１５の温度が変化した場合に、熱膨張率の違いに起因して圧力室基板３１０及び連通板３１５の少なくとも一方に反りが生じるおそれが低減される。

【0067】

ノズルプレート３２０は、連通板３１５の圧力室基板３１０とは反対側、すなわち、連通板３１５の＋Ｚ側の面に設けられている。ノズルプレート３２０には、ノズル連通路３１６を介して各圧力室３１２に連通するノズル３２１が形成されている。すなわち、ノズルプレート３２０には、複数の圧力室３１２に対応する複数のノズル３２１が形成されている。

【0068】

複数のノズル３２１は、Ｙ軸に沿って並んで配置することでノズル列を形成している。ノズルプレート３２０には、これら複数のノズル３２１で形成されたノズル列がＸ軸に沿った方向に２列で形成されている。そして、２列のノズル列の内の一方が第１圧力室列に対応し、他方が第２圧力室列に対応する。各ノズル列の複数のノズル３２１は、Ｘ軸に沿った方向における位置が略同じ位置となるようにＹ軸に沿って形成されている。なお、ノズル３２１の配置は上述した配置に限定されるものではなく、例えば、各ノズル列を形成する複数のノズル３２１は、Ｘ軸に沿った方向における位置がずれた位置となるいわゆる千鳥配置であってもよい。ここで、ノズルプレート３２０は、連通板３１５と略同一の熱膨張率の材料が用いられることが好ましい。これにより、ノズルプレート３２０及び連通板３１５の温度が変化した場合に、熱膨張率の違いに起因してノズルプレート３２０及び連通板３１５の少なくとも一方に反りが生じるおそれが低減される。

【0069】

コンプライアンス基板３４５は、ノズルプレート３２０とともに、連通板３１５の圧力室基板３１０とは反対側、すなわち、連通板３１５の＋Ｚ側の面に設けられている。また、コンプライアンス基板３４５は、ノズルプレート３２０の周囲に設けられ、連通板３１５に設けられた第１マニホールド部３１７、及び第２マニホールド部３１８の開口を封止する。コンプライアンス基板３４５は、可撓性を有する封止膜３４６と、硬質の材料からなる固定基板３４７と、を含む。また、コンプライアンス基板３４５には、マニホールド４００と対向する領域において、固定基板３４７が厚さ方向において完全に除去された開口部３４８が形成されている。すなわち、マニホールド４００の一方側の面は、可撓性を有する封止膜３４６のみで封止されたコンプライアンス部３４９となっている。

【0070】

一方、圧力室基板３１０のノズルプレート３２０等とは反対側、すなわち、圧力室基板３１０の－Ｚ側には、振動板３５０と、振動板３５０を撓み変形させることで圧力室３１２の内部に貯留されるインクに圧力を付加する複数の圧電素子６０と、が位置している。複数の圧電素子６０は、振動板３５０の－Ｚ側の面において、Ｙ軸に沿って並んで配置している。振動板３５０には、これら複数の圧電素子６０で形成された列がＸ軸に沿った方向に２列で形成されている。なお、図１０では圧電素子６０の構成を簡略化して図示している。

【0071】

また、圧力室基板３１０の－Ｚ側には、圧力室基板３１０と略同じ大きさの保護基板３３０が接着剤等によって接合されている。保護基板３３０は、圧電素子６０を保護する空間である保持部３３１を有する。保持部３３１は、Ｙ軸に沿って並んで配置された圧電素子６０の列毎に独立して設けられている。すなわち、保持部３３１は、Ｘ軸に沿った方向において２つ並んで形成されている。また、保護基板３３０には、Ｘ軸に沿った方向に並んで形成された２つの保持部３３１の間で、Ｚ軸に沿った方向において保護基板３３０を貫通する貫通孔３３２が設けられている。

【0072】

また、保護基板３３０上には、ケース部材３４０が固定されている。ケース部材３４０は、複数の圧力室３１２に連通するマニホールド４００を圧力室基板３１０とともに画成する。ケース部材３４０は、－Ｚ側からの平面視において上述した連通板３１５と略同一の形状であって、保護基板３３０に接合されるとともに、上述した連通板３１５にも接合されている。

【0073】

ケース部材３４０の保護基板３３０側には、圧力室基板３１０及び保護基板３３０を収容可能な深さの空間である収容部３４１が形成されている。この収容部３４１は、保護基板３３０が圧力室基板３１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、収容部３４１に圧力室基板３１０、及び保護基板３３０が収容された状態で、収容部３４１のノズルプレート３２０側の開口面が、連通板３１５によって封止されている。

【0074】

また、ケース部材３４０には、Ｘ軸に沿った方向における収容部３４１の両外側のそれぞれに、第３マニホールド部３４２が画成されている。このケース部材３４０に画成された第３マニホールド部３４２は、連通板３１５に設けられた第１マニホールド部３１７、及び第２マニホールド部３１８とともにマニホールド４００を構成する。マニホールド４００は、Ｙ軸に沿った方向に亘り連続して設けられ、マニホールド４００と各圧力室３１２とを連通する供給連通路３１９が、Ｙ軸に沿った方向において並んで配置されている。

【0075】

また、ケース部材３４０には、マニホールド４００と連通し、マニホールド４００にインクを供給するための供給口３４４が設けられている。さらにケース部材３４０には、保護基板３３０の貫通孔３３２と連通し、配線基板４２０が挿通される接続口３４３が形成されている。

【0076】

以上のように構成された吐出モジュール２２には、インク容器２に貯留されたインクが供給口３４４から取り込まれる。そして、供給口３４４から供給されたインクによってマニホールド４００からノズル３２１に至るまで内部が満たされた後、駆動信号選択回路２００を含む集積回路４２１から、複数の圧力室３１２のそれぞれに対応する圧電素子６０に、駆動信号ＣＯＭに基づく駆動信号ＶＯＵＴが供給される。これにより圧電素子６０が変形し、圧電素子６０の変形と共に振動板３５０がたわみ変形する。その結果、各圧力室３１２の内部圧力が高まり、対応するノズル３２１からインクが吐出される。

【0077】

次に、吐出モジュール２２において、圧力室基板３１０の－Ｚ側に積層形成される構成について詳しく説明する。吐出モジュール２２の圧力室基板３１０の－Ｚ側には、上述した振動板３５０、圧電素子６０に加えて、個別リード電極３９１、共通リード電極３９２、測定用リード電極３９３、及び抵抗配線４０１が積層されている。

【0078】

図９～図１２に示すように、振動板３５０は、圧力室基板３１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜３５１と、弾性膜３５１の－Ｚ側に設けられた酸化ジルコニウム膜からなる絶縁体膜３５２と、を含んで構成されている。そして、圧力室基板３１０を＋Ｚ側から異方性エッチングすることにより形成された圧力室３１２等の液体流路の内、－Ｚ側の面が振動板３５０に含まれる弾性膜３５１で構成されている。なお、振動板３５０の構成は上述した構成に限定されるものではなく、振動板３５０は、例えば、弾性膜３５１、又は絶縁体膜３５２で構成されていてもよく、弾性膜３５１、及び絶縁体膜３５２に加えて他の膜を含んで構成されてもよい。ここで、振動板３５０に含まれるその他の膜としては、例えば、シリコンや窒化ケイ素等を含む膜が挙げられる。

【0079】

圧電素子６０は、振動板３５０の－Ｚ側の面において、＋Ｚ側から－Ｚ側に向かい積層された電極３６０、圧電体３７０、及び電極３８０を含む。すなわち、圧電素子６０は、電極３６０，３８０、及び圧電体３７０を含み、Ｚ軸に沿った方向において、電極３６０、圧電体３７０、電極３８０の順に積層されている。

【0080】

電極３６０，３８０は、いずれも配線基板４２０と電気的に接続されている。これにより、電極３６０，３８０は、配線基板４２０に実装される集積回路４２１に含まれる駆動信号選択回路２００が出力する駆動信号ＶＯＵＴと、配線基板４２０を伝搬する基準電圧信号ＶＢＳと、を圧電体３７０に供給する。すなわち、圧電素子６０の電極３６０には、ノズル３２１から吐出されるインクの吐出量に応じて電圧値が変化する駆動信号ＶＯＵＴが供給され、圧電素子６０の電極３８０には、インクの吐出量に関わらず電圧値が一定の基準電圧信号ＶＢＳが供給される。これにより、電極３６０と電極３８０との間に電位差が生じ、その結果、圧電体３７０が変形する。すなわち、圧電素子６０が駆動される。そして、圧電素子６０の駆動に伴い振動板３５０が変形又は振動し、圧力室３１２の容積が変化する。この圧力室３１２の容積の変化によって、圧力室３１２に貯留されているインクに圧力が付与される。その結果、ノズル連通路３１６を介してノズル３２１からインクが吐出される。

【0081】

ここで、以下の説明において、圧電素子６０の内、電極３６０と電極３８０とに電圧を印加した場合に、圧電体３７０に圧電歪みが生じる部分を活性部４１０と称し、圧電体３７０に圧電歪みが生じない部分を非活性部４１５と称する。すなわち、圧電素子６０の内、圧電体３７０が電極３６０と電極３８０とで挟まれた部分が活性部４１０に相当し、圧電体３７０が電極３６０と電極３８０とで挟まれていない部分が非活性部４１５に相当する。また、圧電素子６０を駆動させた場合に、Ｚ軸に沿った方向に変位する部分を可撓部と称し、Ｚ軸に沿った方向に変位しない部分を非可撓部と称する。すなわち、圧電素子６０の内、Ｚ軸に沿った方向において圧力室３１２と対向する部分が可撓部に相当し、圧力室３１２の外側部分が非可撓部に相当する。なお、以下の説明において活性部４１０を能動部と称し、非活性部４１５を非能動部と称する場合もある。

【0082】

そして、活性部４１０に位置する電極３６０，３８０のいずれか一方が活性部４１０毎に独立する個別電極として構成され、活性部４１０に位置する電極３６０，３８０の他方が複数の活性部４１０に共通する共通電極として構成される。なお、以下の説明では、電極３６０が個別電極として構成され、電極３８０が共通電極として構成されているとして説明を行う。

【0083】

具体的には、電極３６０は、Ｚ軸に沿った方向において圧電体３７０の＋Ｚ側に設けられ、圧力室３１２に対応して切り分けられ、活性部４１０毎に独立する個別電極を構成する。すなわち、電極３６０は、複数の圧力室３１２のそれぞれに対応して個別に設けられている。この際、電極３６０のＹ軸に沿った方向の幅は、圧力室３１２のＹ軸に沿った方向の幅よりも狭い。すなわち、Ｙ軸に沿った方向において、電極３６０の端部は、圧力室３１２に対向する領域の内側に位置している。

【0084】

また、電極３６０の＋Ｘ側の端部３６０ａ、及び電極３６０の－Ｘ側の端部３６０ｂは、それぞれが圧力室３１２の外側に位置している。例えば、第１圧力室列では、図１１に示すように、電極３６０の端部３６０ａは、圧力室３１２の＋Ｘ側の端部３１２ａよりも＋Ｘ側に位置し、電極３６０の端部３６０ｂは、圧力室３１２の－Ｘ側の端部３１２ｂよりも－Ｘ側に位置している。

【0085】

圧電体３７０は、図９に示すように、Ｘ軸に沿った方向の長さを所定長さとし、Ｙ軸に沿った方向に亘って連続して設けられている。すなわち、圧電体３７０は、所定の厚さで圧力室３１２が並設される並設方向に沿って連続して設けられている。このような圧電体３７０の厚さは特に限定されないが、例えば、１０００ナノメートルから４０００ナノメートル程度の厚さで形成される。

【0086】

また、図１１に示すように、圧電体３７０のＸ軸に沿った方向の長さは、圧力室３１２の長手方向であるＸ軸に沿った方向の長さよりも長い。このため、圧電体３７０は、圧力室３１２のＸ軸に沿った方向の両側において、圧力室３１２の外側まで延在するように位置している。圧電体３７０が、Ｘ軸に沿った方向において圧力室３１２の外側まで延在していることで、振動板３５０の強度が向上し、活性部４１０を駆動させて圧電素子６０を変位させた際、振動板３５０や圧電素子６０にクラック等の異常が発生するおそれが低減する。

【0087】

また、図１１に示すように、例えば、第１圧力室列に対応する圧電体３７０の＋Ｘ側の端部３７０ａは、電極３６０の端部３６０ａよりも外側となる＋Ｘ側に位置している。すなわち、電極３６０の端部３６０ａは圧電体３７０によって覆われている。一方、第１圧力室列に対応する圧電体３７０の－Ｘ側の端部３７０ｂは、電極３６０の端部３６０ｂよりも内側となる＋Ｘ側に位置している。すなわち、電極３６０の端部３６０ｂは圧電体３７０では覆われていない。

【0088】

また、圧電体３７０には、図９、及び図１２に示すように、各隔壁３１１に対応して他の領域よりも厚さが薄い部分である溝部３７１が形成されている。ここで、溝部３７１は、図１１に示すように、圧電体３７０をＺ軸に沿った方向で完全に除去されていてもよい。すなわち、圧電体３７０が他の領域よりも厚さの薄い部分を有するとは、圧電体３７０がＺ軸に沿った方向において完全に除去されたものも含まれる。もちろん、溝部３７１の底面の圧電体３７０が、他の部分の圧電体３７０よりも薄く形成されていてもよい。さらに、溝部３７１のＹ軸に沿った方向の長さ、すなわち、溝部３７１の幅は、隔壁３１１の幅と同一もしくは、それより広くなっている。このような溝部３７１は、－Ｚ側から平面視において、矩形状となるように形成されている。なお、溝部３７１の－Ｚ側から平面視した形状は、矩形状に限定されるものではなく、５角形以上の多角形状であってもよく、円形状や楕円形状等であってもよい。

【0089】

圧電体３７０に溝部３７１を設けることで、圧力室３１２のＹ軸に沿った方向の端部と対向する振動板３５０の部分であって、振動板３５０の腕部の剛性が抑えられる。これにより、圧電素子６０をより良好に変位させることができる。

【0090】

電極３８０は、図９、図１１、及び図１２に示すように、圧電体３７０に対して、電極３６０とは反対側であって、圧電体３７０の－Ｚ側に設けられ、複数の活性部４１０に共通する共通電極を構成している。すなわち、電極３８０は、複数の圧力室３１２に対して共通に設けられている。電極３８０は、Ｘ軸に沿った方向の長さを所定長さとし、Ｙ軸に沿った方向に亘って連続して設けられている。この電極３８０は、溝部３７１の内面、すなわち圧電体３７０の溝部３７１の側面上に加え、溝部３７１の底面である絶縁体膜３５２上にも設けられている。なお、溝部３７１の内面に関しては、電極３８０は、溝部３７１の内面の一部のみに設けられていてもよく、溝部３７１の内面の全面に亘って設けられていなくてもよい。

【0091】

また、例えば、第１圧力室列では、図１１に示すように、電極３８０の＋Ｘ側の端部３８０ａは、圧電体３７０で覆われている電極３６０の端部３６０ａよりも外側となるように＋Ｘ側に配置されている。すなわち、電極３８０の端部３８０ａは、圧力室３１２の端部３１２ａよりも外側となる＋Ｘ側で、電極３６０の端部３６０ａよりも外側となる＋Ｘ側に位置している。そして、電極３８０の端部３８０ａは、Ｘ軸に沿った方向において、圧電体３７０の端部３７０ａと実質的に一致している。このため、活性部４１０の＋Ｘ側の端部、すなわち活性部４１０と非活性部４１５との境界は、電極３６０の端部３６０ａによって規定されている。

【0092】

一方、電極３８０の－Ｘ側の端部３８０ｂは、圧力室３１２の端部３１２ｂよりも外側となる－Ｘ側に配置されているが、圧電体３７０の端部３７０ｂよりも内側となる＋Ｘ側に配置されている。上述のように圧電体３７０の端部３７０ｂは、電極３６０の端部３６０ｂよりも＋Ｘ側となる内側に位置している。したがって電極３８０の端部３８０ｂは、電極３６０の端部３６０ｂよりも＋Ｘ側となる圧電体３７０上に位置している。このため、電極３８０の端部３８０ｂの－Ｘ側には、圧電体３７０の表面が露出された部分が存在する。

【0093】

このように電極３８０の端部３８０ｂは、圧電体３７０の端部３７０ｂ、及び電極３６０の端部３６０ｂよりも＋Ｘ側に配置されている。そのため、活性部４１０の－Ｘ側の端部、すなわち活性部４１０と非活性部４１５との境界は、電極３８０の端部３８０ｂによって規定される。

【0094】

また、電極３８０の端部３８０ｂの外側、すなわち電極３８０の端部３８０ｂのさらに－Ｘ側には、電極３８０と同一層となるが、電極３８０とは電気的に不連続となる配線部３８５が設けられている。また、配線部３８５は、電極３８０の端部３８０ｂと接触しないように間隔を空けた状態で、圧電体３７０上から圧電体３７０よりも－Ｘ側に延設された電極３６０上に亘って形成されている。この配線部３８５は、活性部４１０毎に独立して設けられている。すなわち、配線部３８５は、Ｙ軸に沿った方向において所定の間隔で複数配置されている。なお、配線部３８５は、電極３８０とは別の層で形成されていてもよいが、電極３８０と同一層で形成することが好ましい。これにより、配線部３８５の製造工程を簡略化してコストの低減を図ることができる。

【0095】

また、圧電素子６０の電極３６０には個別リード電極３９１が接続され、圧電素子６０の電極３８０には駆動用共通電極である共通リード電極３９２がそれぞれ電気的に接続されている。また、個別リード電極３９１、及び共通リード電極３９２の圧電素子６０に接続された端部とは反対側の端部には、可撓性を有する配線基板４２０が電気的に接続されている。そして、配線基板４２０には、制御機構１０、及び温度情報出力回路２６を含む複数の回路と電気的に接続される不図示の配線が形成されている。このような配線基板４２０は、例えば、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）により構成されている。なお、配線基板４２０は、可撓性を有する任意の基板によって構成されてもよく、例えば、ＦＰＣに代えて、ＦＦＣ（Flexible Flat Cable）などで構成されてもよい。

【0096】

また、個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２は、保護基板３３０に形成された貫通孔３３２から露出するように延設されている。そして、貫通孔３３２の内側で配線基板４２０と電気的に接続されている。また、配線基板４２０には、圧電素子６０を駆動するための駆動信号ＶＯＵＴを出力する駆動信号選択回路２００が搭載された集積回路４２１が実装されている。

【0097】

個別リード電極３９１と共通リード電極３９２とは、同一層に形成されているが、電気的には不連続となるように形成されている。これにより、個別リード電極３９１と共通リード電極３９２とをそれぞれ個別に形成する場合に比べて、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。もちろん、個別リード電極３９１と共通リード電極３９２とが異なる層に形成されていてもよい。なお、個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２は、電極３６０、及び電極３８０や振動板３５０との密着性を向上する密着層を有していてもよい。

【0098】

個別リード電極３９１は、活性部４１０毎、すなわち、電極３６０毎に設けられている。図１１に示すように、例えば、圧力室列では、個別リード電極３９１は、配線部３８５を介して、圧電体３７０の外側に設けられた電極３６０の端部３６０ｂ付近に接続され、圧力室基板３１０上、実際には振動板３５０上まで－Ｘ側に引き出されている。

【0099】

一方、図９に示すように、例えば、第１圧力室列では、共通リード電極３９２は、Ｙ軸に沿った方向の両端部において、圧電体３７０上の共通電極を構成する電極３８０上から振動板３５０上にまで－Ｘ側に引き出されている。また、共通リード電極３９２は、延設部３９２ａと延設部３９２ｂとを有する。図９、及び図１１に示すように、例えば、第１圧力室列では、延設部３９２ａは、圧力室３１２の端部３１２ａに対応する領域においてＹ軸に沿った方向に沿って延設され、延設部３９２ｂは、圧力室３１２の端部３１２ｂに対応する領域においてＹ軸に沿った方向に沿って延設される。これら延設部３９２ａ、及び延設部３９２ｂは、複数の活性部４１０に対してＹ軸に沿った方向に亘って連続して設けられている。

【0100】

また、延設部３９２ａ、及び延設部３９２ｂは、Ｘ軸に沿った方向において、圧力室３１２の内側から圧力室３１２の外側まで延設されている。本実施形態では、圧電素子６０の活性部４１０は、圧力室３１２のＸ軸に沿った方向の両端部において圧力室３１２の外側まで延設されており、延設部３９２ａ、及び延設部３９２ｂは、この活性部４１０上を圧力室３１２の外側まで延設されている。

【0101】

図１１に示すように、振動板３５０の－Ｚ側の面には、抵抗配線４０１が設けられている。抵抗配線４０１が、圧力室３１２の温度を検出するための構成であって、上述した温度検出回路２４の少なくとも一部を構成する。本実施形態の温度検出回路２４は、金属や半導体等の電気抵抗値が温度によって変化する特性を利用する。このような抵抗配線４０１の材料としては、電気抵抗値が温度依存性を有する材料であればよく、例えば、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）等を用いることができる。このうち、白金（Ｐｔ）は、温度による抵抗値変化が大きく、安定性と精度が高いという観点から抵抗配線４０１の材料として好適に採用できる。抵抗配線４０１は、電極３６０と同層において電極３６０と電気的に不連続となるように、振動板３５０の－Ｚ側の面に積層されている。

【0102】

図９に示すように、抵抗配線４０１は振動板３５０に積層された連続した配線パターンであって、Ｘ軸に沿った方向において＋Ｘ側に位置する抵抗配線４０１の一端は、測定用リード電極３９３ａと接続され、Ｘ軸に沿った方向において－Ｘ側に位置する抵抗配線４０１の他端は、測定用リード電極３９３ｂと接続されている。そして、測定用リード電極３９３ａ，３９３ｂが、配線基板４２０と電気的に接続される。これにより、抵抗配線４０１は、配線基板４２０を介して温度情報出力回路２６と電気的に接続される。そして、温度情報出力回路２６は、圧力室３１２の温度に応じて変化する抵抗配線４０１の電気抵抗値であって、圧力室３１２の温度に応じて変化する抵抗配線４０１の両端電圧を、圧力室３１２の温度に応じた信号として取得する。

【0103】

このような抵抗配線４０１は、Ｘ軸に沿った方向において＋Ｘ側となる第１圧力室列側蛇行パターンと、Ｘ軸に沿った方向において－Ｘ側となる第２圧力室列側蛇行パターンと、を含む。第１圧力室列側蛇行パターンは、吐出モジュール２２を－Ｚ側から見た場合に第１圧力室列を構成する各圧力室３１２と連通する供給連通路３１９と少なくとも一部が重なるように設けられ、Ｙ軸に沿った方向に沿って蛇行している。第２圧力室列側蛇行パターンは、吐出モジュール２２を－Ｚ側から見た場合に第２圧力室列を構成する各圧力室３１２と連通する供給連通路３１９と少なくとも一部が重なるように設けられ、Ｙ軸に沿った方向に沿って蛇行している。すなわち、温度検出回路２４に含まれる抵抗配線４０１は、複数の圧力室３１２が形成する第１圧力室列に対応する第１圧力室列側蛇行パターンと、複数の圧力室３１２が形成する第２圧力室列に対応する第２圧力室列側蛇行パターンと、を含む。また、図１０、及び図１１に示すように、圧力室３１２の－Ｚ側の端部と抵抗配線４０１とのＺ軸に沿った方向における距離は、圧力室３１２のＺ軸に沿った方向における寸法より短い。また、第１圧力室列では、圧力室３１２の端部３１２ａと抵抗配線４０１とのＸ軸に沿った方向における最長距離は、圧力室３１２のＸ軸に沿った方向における寸法より短い。これにより、抵抗配線４０１の電気抵抗値は、圧力室３１２の温度変化に対応して変化しやすい。

【0104】

測定用リード電極３９３ａ、及び測定用リード電極３９３ｂを含む測定用リード電極３９３は、個別リード電極３９１、及び共通リード電極３９２と同一層において、電気的に不連続となるように形成されている。これにより、測定用リード電極３９３を、個別リード電極３９１及び共通リード電極３９２と個別に形成する場合に比べて、製造工程を簡略化してコストを低減することができる。

【0105】

測定用リード電極３９３は、保護基板３３０に形成された貫通孔３３２内に露出するように延設され、この貫通孔３３２内で配線基板４２０と電気的に接続されている。これにより、温度情報出力回路２６は、配線基板４２０を介して、抵抗配線４０１の電気抵抗値であって、当該電気抵抗値に応じた電圧値を取得することができる。そして、温度情報出力回路２６は、制御回路１００からの温度取得要求信号ＴＤに応じて、取得した抵抗配線４０１の電気抵抗値であって、当該抵抗値に応じた電圧値に基づく温度情報ｔｃに応じた温度情報信号ＴＩを出力する。

【0106】

以上のように構成された吐出モジュール２２では、温度検出回路２４に含まれる抵抗配線４０１が、吐出モジュール２２の内部に位置する振動板３５０に積層して設けられていることで、温度検出回路２４である抵抗配線４０１を圧力室３１２の近傍に配置することが可能となり、その結果、抵抗配線４０１の電気抵抗値に基づき検出される温度と圧力室３１２の温度との乖離を小さくすることができる。すなわち、温度検出回路２４で検出される圧力室３１２の温度の検出精度が向上する。その結果、温度情報出力回路２６が出力する温度情報信号ＴＩに含まれる圧力室３１２の温度の情報の信頼性が向上する。したがって、温度情報信号ＴＩに基づいて補正される制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈの精度が向上し、制御回路１００による圧力室３１２に貯留されるインク温度に応じた吐出モジュール２２の吐出制御の精度が向上する。

【0107】

すなわち、本実施形態のプリントヘッド２０が有する吐出モジュール２２は、電極３６０、電極３８０、及び圧電体３７０を含み、電極３６０、電極３８０、及び圧電体３７０が積層される積層方向であるＺ軸に沿った方向において、圧電体３７０が電極３６０と電極３８０との間に位置し、駆動信号ＣＯＭに基づく駆動信号ＶＯＵＴを受けて駆動する圧電素子６０と、圧電素子６０に対して積層方向であるＺ軸に沿った方向の一方側である＋Ｚ側に位置し、圧電素子６０の駆動により変形する振動板３５０と、振動板３５０に対して積層方向であるＺ軸に沿った方向の一方側である＋Ｚ側に位置し、振動板３５０の変形により容積が変化する圧力室３１２が複数設けられている圧力室基板３１０と、圧力室３１２の容積の変化に応じてインクを吐出するノズル３２１と、振動板３５０に対して積層方向であるＺ軸に沿った方向の他方側である－Ｚ側に位置し、圧力室３１２の温度を検出する温度検出回路２４の少なくとも一部を構成する抵抗配線４０１と、を有する。

【0108】

これにより、温度検出回路２４である抵抗配線４０１の電気抵抗値に基づき検出される温度と圧力室３１２内の温度との差を小さくすることができ、温度検出回路２４で検出される圧力室３１２の温度の検出精度が向上する。その結果、制御回路１００による圧力室３１２内のインクの温度に適した吐出モジュール２２の吐出制御が可能となる。

【0109】

さらに、温度検出回路２４である抵抗配線４０１の少なくとも一部が、振動板３５０に積層されていることで、温度検出回路２４である抵抗配線４０１をより圧力室３１２の近傍に配置することができ、温度検出回路２４で検出される圧力室３１２の温度の検出精度がさらに向上する。その結果、制御回路１００による圧力室３１２内のインクの温度により適した吐出モジュール２２の吐出制御が可能となる。

【0110】

５．温度情報出力回路の構成、及び動作
以上のように、本実施形態における液体吐出装置１では、プリントヘッド２０が有する吐出モジュール２２の内部であって、振動板３５０に吐出モジュール２２の温度を検出する温度検出回路２４に含まれる抵抗配線４０１が設けられている。すなわち、温度検出回路２４に含まれる抵抗配線４０１は、インクが貯留される圧力室３１２の近傍に設けられている。これにより、抵抗配線４０１の電気抵抗値の変化に基づいて検出される温度と、圧力室３１２の内部の温度であって圧力室３１２の内部に貯留されているインクの温度との温度差を小さくすることができ、温度検出回路２４で検出される圧力室３１２の温度であって圧力室３１２に貯留されるインクの温度の検出精度が向上する。

【0111】

一方で、温度検出回路２４に含まれる抵抗配線４０１が、インクが貯留される圧力室３１２の近傍に設けられるが故に、抵抗配線４０１で検出された温度情報ｔｃを含む温度検出信号ＴＣが伝搬する配線が、吐出モジュール２２を駆動する制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈや駆動信号ＣＯＭが伝搬する配線の近傍に位置し、その結果、抵抗配線４０１で検出された温度情報ｔｃを含む温度検出信号ＴＣに、制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈや駆動信号ＣＯＭに起因して生じたノイズが重畳するおそれが高まり、温度検出回路２４で検出される圧力室３１２の温度の検出精度が低下するおそれがあるとの新たな問題が生じた。

【0112】

また、吐出モジュール２２は、圧電素子６０の駆動により生じる振動板３５０の変形又は振動により圧力室３１２の容積を変化させることで、圧力室３１２に収容されているインクに圧力を付与し、ノズル３２１からインクを吐出する。そのため、圧力室３１２の圧力変化に起因して、圧力室３１２に貯留されるインクの温度が瞬間的に変化する。このとき、温度検出回路２４に含まれる抵抗配線４０１が圧力室３１２の近傍に位置するが故に、温度検出回路２４は、圧力室３１２の圧力変化に起因して生じる温度変化をも検出する可能性がある。そして、仮に温度検出回路２４に含まれる抵抗配線４０１が、圧力室３１２の圧力変化に起因して生じる温度変化をも検出した場合、温度検出回路２４が出力する温度検出信号ＴＣは、圧力室３１２の温度の取得タイミングの僅かな違いによって変動することとなり、その結果、温度検出回路２４が出力する温度検出信号ＴＣ、及び温度検出信号ＴＣに基づく温度情報信号ＴＩの信頼性を低下させるおそれがある。

【0113】

係る問題に対して、本実施形態の液体吐出装置１では、温度情報出力回路２６が、温度検出回路２４が異なるタイミングで検出した複数の温度情報ｔｃを取得し、取得した複数の温度情報ｔｃに基づく温度情報信号ＴＩを出力する。そして、制御回路１００が、入力される温度情報信号ＴＩに基づいて、駆動信号ＣＯＭを含む各種の信号を補正する。すなわち、温度情報出力回路２６は、取得した複数の温度情報ｔｃに応じた温度情報信号ＴＩを出力し、駆動信号ＣＯＭは、温度情報出力回路２６が出力する温度情報信号ＴＩに基づいて補正される。これにより、１つの温度情報ｔｃに基づいて生成された温度情報信号ＴＩと比較して、温度情報出力回路２６が出力する温度情報信号ＴＩの信頼性が向上する。すなわち、吐出モジュール２２における温度の取得精度が向上する。したがって、制御回路１００における温度情報信号ＴＩに基づく制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈの補正精度が向上し、制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈに含まれる基駆動信号ｄＯに基づいて駆動回路５０が出力する駆動信号ＣＯＭの精度が向上する。その結果、吐出モジュール２２から吐出されるインクの吐出精度が向上する。

【0114】

換言すれば、本実施形態の液体吐出装置１、及びプリントヘッド２０では、駆動信号ＣＯＭが、温度検出回路２４が異なるタイミングで検出した圧力室３１２の温度に応じた複数の温度情報ｔｃに基づいて補正されることで、駆動回路５０が出力する駆動信号ＣＯＭの精度が向上し、その結果、吐出モジュール２２から吐出されるインクの吐出精度が向上する。

【0115】

ここで、係る動作を実現する温度情報出力回路２６の具体的な構成、及び動作について説明する。図１３は、温度情報出力回路２６の機能構成を示す図である。温度情報出力回路２６は、制御回路１００から入力される温度取得要求信号ＴＤに基づいて、吐出モジュール２２－１～２２－ｎのそれぞれから入力される温度検出信号ＴＣ１～ＴＣｎに含まれる温度情報ｔｃ１～ｔｃｎを取得し、取得した温度情報ｔｃ１～ｔｃｎに応じた温度情報信号ＴＩを生成し、制御回路１００に出力する。

【0116】

図１３に示すように、温度情報出力回路２６は、制御回路５００、増幅回路５１０－１～５１０－ｎ、マルチプレクサー５３０、ＡＤ変換回路５４０、及び記憶回路５５０を含む。

【0117】

増幅回路５１０－１～５１０－ｎのそれぞれには、対応する温度検出信号ＴＣ１～ＴＣｎのそれぞれが入力される。そして、増幅回路５１０－１～５１０－ｎのそれぞれは、入力される温度検出信号ＴＣ１～ＴＣｎを増幅することで増幅検出信号ＡＴＣ１～ＡＴＣｎとして出力する。

【0118】

具体的には、増幅回路５１０－１には、吐出モジュール２２－１が出力する温度検出信号ＴＣ１が入力される。増幅回路５１０－１は、入力される温度検出信号ＴＣ１を増幅し、増幅検出信号ＡＴＣ１として出力する。また、増幅回路５１０－ｐ（ｐは１～ｎのいずれか）には、吐出モジュール２２－ｐが出力する温度検出信号ＴＣｐが入力される。そして、増幅回路５１０－ｐは、入力される温度検出信号ＴＣｐを増幅し、増幅検出信号ＡＴＣｐとして出力する。

【0119】

増幅回路５１０－１～５１０－ｎのそれぞれが出力する増幅検出信号ＡＴＣ１～ＡＴＣｎは、マルチプレクサー５３０に入力される。また、マルチプレクサー５３０には、制御回路５００が出力するセレクト信号Ｓｅｌが入力されている。マルチプレクサー５３０は、入力されるセレクト信号Ｓｅｌに従って、増幅検出信号ＡＴＣ１～ＡＴＣｎのいずれかを選択し、選択温度信号ＳＴＣとして出力する。

【0120】

ＡＤ変換回路５４０には、マルチプレクサー５３０が出力する選択温度信号ＳＴＣが入力される。ＡＤ変換回路５４０は、入力される選択温度信号ＳＴＣを所定のサンプリング周期で取得し、逐次デジタル信号に変換し、制御回路５００に出力する。すなわち、ＡＤ変換回路５４０は、温度情報出力回路２６に入力される温度検出信号ＴＣ１～ＴＣｎの内、マルチプレクサー５３０によって選択された温度検出信号ＴＣに含まれる温度情報ｔｃを所定のサンプリング周期毎に取得し、デジタル信号に変換する。そして、ＡＤ変換回路５４０は、取得した温度情報ｔｃに応じた情報をデジタル信号に変換し、制御回路５００に出力する。換言すれば、ＡＤ変換回路５４０は、マルチプレクサー５３０によって選択された温度検出信号ＴＣに対応する吐出モジュール２２の温度に応じた情報を逐次取得し、取得した温度に応じたデジタル信号を逐次、制御回路５００に出力する。以下の説明では、ＡＤ変換回路５４０が出力するデジタル信号をデジタル温度情報ｄｔｃと称する。

【0121】

制御回路５００には、温度情報出力回路２６に入力された温度取得要求信号ＴＤと、吐出モジュール２２からのインクの吐出周期であって周期ｔｐを規定するラッチ信号ＬＡＴと、ＡＤ変換回路５４０が出力するデジタル温度情報ｄｔｃと、が入力される。そして、制御回路５００は、入力される温度取得要求信号ＴＤに応じて、温度情報出力回路２６の各種回路の動作を制御する。これにより、温度情報出力回路２６は、入力される温度取得要求信号ＴＤに応じた温度情報信号ＴＩを生成し、出力する。

【0122】

具体的には、制御回路５００は、入力される温度取得要求信号ＴＤを解析することで、温度を取得する吐出モジュール２２を特定する。そして、制御回路５００は、ラッチ信号ＬＡＴによって規定されるタイミングで、温度取得要求信号ＴＤの解析結果に応じた吐出モジュール２２に対応する温度検出信号ＴＣを選択する為のセレクト信号Ｓｅｌを出力する。これにより、制御回路５００には、温度取得要求信号ＴＤに基づいて特定した吐出モジュール２２に対応する温度検出信号ＴＣに含まれる温度情報ｔｃに応じたデジタル温度情報ｄｔｃが、ＡＤ変換回路５４０のサンプリング周期に応じて逐次入力される。

【0123】

このとき制御回路５００は、入力されるデジタル温度情報ｄｔｃを記憶回路５５０に保持するためのメモリー制御信号ＭＡを出力する。これにより、ＡＤ変換回路５４０のサンプリング周期に応じて逐次入力されるデジタル温度情報ｄｔｃが、順に記憶回路５５０に保持される。このような記憶回路５５０としては、例えば、レジスターやメモリー等を含んで構成することができる。

【0124】

また、制御回路５００は、デジタル温度情報ｄｔｃの取得が完了した後、記憶回路５５０に保持されるデジタル温度情報ｄｔｃを読み出す為のメモリー制御信号ＭＡを出力する。これにより制御回路５００には、所定の期間にＡＤ変換回路５４０が出力した複数のデジタル温度情報ｄｔｃを含むメモリー読出信号ＭＲが入力される。すなわち、制御回路５００は、所定の期間にＡＤ変換回路５４０が出力した複数のデジタル温度情報ｄｔｃを取得する。そして、制御回路５００は、取得した複数のデジタル温度情報ｄｔｃから温度情報信号ＴＩを生成し、出力する。すなわち、制御回路５００は、温度取得要求信号ＴＤの解析結果に応じて特定された吐出モジュール２２の温度に応じた温度情報信号ＴＩを出力する。

【0125】

以上のように構成された温度情報出力回路２６による温度情報ｔｃの取得方法、及び取得した温度情報ｔｃに基づく温度情報信号ＴＩの生成方法の具体例について説明する。図１４は、温度情報出力回路２６による温度情報ｔｃの取得タイミングの一例を示す図である。

【0126】

図１４に示すように、吐出モジュール２２からインクが吐出される吐出周期に含まれる複数の周期ｔｐの内、任意のタイミングの周期ｔｐである周期ｔｐ（ｑ）において、温度情報出力回路２６には、温度取得要求信号ＴＤが入力される。温度情報出力回路２６の制御回路５００は、入力される温度取得要求信号ＴＤを解析することで、温度取得要求信号ＴＤによって要求される温度を取得すべき吐出モジュール２２を特定する。

【0127】

その後、吐出モジュール２２からインクが吐出される吐出周期に含まれる複数の周期ｔｐの内、周期ｔｐ（ｑ）に続く周期ｔｐ（ｑ＋１）において、制御回路５００は、温度を取得すべき吐出モジュール２２に対応するセレクト信号Ｓｅｌを出力する。これにより、マルチプレクサー５３０は、温度の取得を要求された吐出モジュール２２に対応する温度検出信号ＴＣを増幅した増幅検出信号ＡＴＣを選択する。その結果、温度の取得を要求された吐出モジュール２２に対応する増幅検出信号ＡＴＣが、ＡＤ変換回路５４０に入力される。

【0128】

ＡＤ変換回路５４０は、周期ｔｐ（ｑ＋１）において入力される増幅検出信号ＡＴＣを、所定のサンプリング周期に基づいて逐次取得する。すなわち、ＡＤ変換回路５４０は、温度の取得を要求された吐出モジュール２２の温度に応じた温度検出信号ＴＣを増幅した増幅検出信号ＡＴＣであって、温度の取得を要求された吐出モジュール２２の温度に応じた温度検出信号ＴＣに含まれる複数の温度情報ｔｃを増幅した複数の情報を、所定のサンプリング周期に応じた異なるタイミングで取得する。これにより、ＡＤ変換回路５４０は、複数の温度情報ｔｃを増幅した複数の情報に対応する複数のデジタル温度情報ｄｔｃを、制御回路５００に逐次出力する。

【0129】

すなわち、温度情報出力回路２６が、温度検出回路２４が検出した温度情報ｔｃに基づくデジタル温度情報ｄｔｃを取得する異なるタイミングは、吐出モジュール２２が駆動信号ＣＯＭを受けてインクを吐出する期間であって、吐出モジュール２２にラッチ信号ＬＡＴが入力された後、次にラッチ信号ＬＡＴが入力されるまでの期間である周期ｔｐ（ｑ＋１）に含まれる。

【0130】

そして、吐出モジュール２２からのインクの吐出周期である周期ｔｐの内、周期ｔｐ（ｑ＋１）に続く周期ｔｐ（ｑ＋２）において、制御回路５００は、複数のデジタル温度情報ｄｔｃに基づく温度情報信号ＴＩを生成し、制御回路１００に出力する。すなわち、制御回路５００は、温度取得要求信号ＴＤに基づいて指定された吐出モジュール２２の温度に対応する複数のデジタル温度情報ｄｔｃに基づいて、温度情報信号ＴＩを生成し、制御回路１００に出力する。

【0131】

その後、制御回路１００は、入力される温度情報信号ＴＩに基づいて制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈの補正値を算出し、吐出モジュール２２からのインクの吐出周期である周期ｔｐの内、周期ｔｐ（ｑ＋２）に続く周期ｔｐ（ｑ＋３）において、算出した補正値に基づいて補正した制御信号Ｃｔｒｌ－Ｈを出力する。これにより、駆動回路５０は、周期ｔｐ（ｑ＋３）において温度情報信号ＴＩに基づいて補正された駆動信号ＣＯＭを出力する。

【0132】

以上のように、本実施形態の液体吐出装置１、及びプリントヘッド２０において、プリントヘッド２０に入力される補正された駆動信号ＣＯＭは、温度検出回路２４に含まれる抵抗配線４０１が異なるタイミングで検出した圧力室３１２の温度に応じた複数の温度情報ｔｃに基づいて補正される。

【0133】

具体的には、プリントヘッド２０には、吐出モジュール２２からのインクの吐出周期であって周期ｔｐを規定するラッチ信号ＬＡＴが入力される。そして、吐出モジュール２２が有する温度情報出力回路２６は、吐出モジュール２２が駆動信号ＣＯＭを受けてインクを吐出する周期ｔｐ（ｑ＋１）であって、ラッチ信号ＬＡＴが入力された後、次にラッチ信号ＬＡＴが入力されるまでの複数の周期ｔｐの内の周期ｔｐ（ｑ＋１）において、温度検出回路２４に含まれる抵抗配線４０１が検出した温度情報ｔｃに応じた情報をサンプリング周期に基づく異なるタイミングで逐次取得する。その後、温度情報出力回路２６は、周期ｔｐ（ｑ＋１）において取得した複数の温度情報ｔｃに応じた温度情報信号ＴＩを制御回路１００に出力する。これにより、吐出モジュール２２に入力される駆動信号ＣＯＭが、温度情報信号ＴＩに基づいて補正される。

【0134】

次に、温度情報出力回路２６による温度検出信号ＴＣに含まれる温度情報ｔｃに応じたデジタル温度情報ｄｔｃの取得と、取得したデジタル温度情報ｄｔｃに基づく温度情報信号ＴＩの生成方法の一例について説明する。

【0135】

図１５は、温度情報出力回路２６による温度情報信号ＴＩの生成方法の一例を説明する図である。

【0136】

図１５に示すように、温度情報出力回路２６が温度情報信号ＴＩを生成するに際して、温度情報出力回路２６は、温度取得カウントＮ、変数ｊ、及び合算値Ｔｓｕｍの初期化を実行する。具体的には、温度情報出力回路２６に含まれる制御回路５００は、温度取得カウントＮを“０”に初期化し、変数ｊを“１”に初期化し、合算値Ｔｓｕｍを“０”に初期化する（ステップＳ１１０）。その後、温度情報出力回路２６に吐出モジュール２２－ｐの温度の取得を要求する温度取得要求信号ＴＤが入力される（ステップＳ１２０）。制御回路５００は、入力される温度取得要求信号ＴＤを解析することで、温度を取得する吐出モジュール２２－ｐを特定する。

【0137】

その後、温度情報出力回路２６にラッチ信号ＬＡＴが入力されることで（ステップＳ１３０）、制御回路５００は、温度取得要求信号ＴＤの解析結果に応じて特定した吐出モジュール２２－ｐに対応する温度検出信号ＴＣｐを選択するためセレクト信号Ｓｅｌを出力する（ステップＳ１４０）。これにより、温度情報出力回路２６に含まれるマルチプレクサー５３０は、温度検出信号ＴＣｐが増幅回路５１０－ｐによって増幅された増幅検出信号ＡＴＣｐを選択し、ＡＤ変換回路５４０に出力する。

【0138】

マルチプレクサー５３０が、選択した増幅検出信号ＡＴＣｐをＡＤ変換回路５４０に出力した後、温度情報出力回路２６は、ＡＤ変換回路５４０が出力するデジタル温度情報ｄｔｃを所定のサンプリング周期毎に取得し、記憶回路５５０に保持する温度情報取得処理（ステップＳ１５０）を実行する。

【0139】

具体的には、温度情報取得処理（ステップＳ１５０）において、ＡＤ変換回路５４０は、マルチプレクサー５３０から入力される増幅検出信号ＡＴＣｐをデジタル温度情報ｄｔｃに変換し、制御回路５００に出力する。制御回路５００は、ＡＤ変換回路５４０が出力するデジタル温度情報ｄｔｃを取得する（ステップＳ１５１）とともに、取得したデジタル温度情報ｄｔｃを記憶回路５５０に記憶し（ステップＳ１５２）、温度取得カウントＮに“１”を加算する（ステップＳ１５３）。その後、制御回路５００は、温度情報出力回路２６にラッチ信号ＬＡＴが入力されたか否かの判定を実行する（ステップＳ１５４）。制御回路５００は、温度情報出力回路２６にラッチ信号ＬＡＴが入力されていない場合（ステップＳ１５４のＮ）、上述したステップＳ１５１～ステップＳ１５３の処理を繰り返し実行する。そして、制御回路５００は、温度情報出力回路２６にラッチ信号ＬＡＴが入力されることで（ステップＳ１５４のＹ）、温度情報取得処理（ステップＳ１５０）を終了する。

【0140】

すなわち、温度情報出力回路２６は、ラッチ信号ＬＡＴが入力された後、次にラッチ信号ＬＡＴが入力されるまでの周期ｔｐにおいて、温度検出信号ＴＣｐに含まれるＮ個の温度情報ｔｃｐに応じたＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃを取得し、記憶回路５５０に逐次記憶する。

【0141】

温度情報取得処理（ステップＳ１５０）が完了した後、制御回路５００は、記憶回路５５０に含まれるデジタル温度情報ｄｔｃであって、具体的には、温度情報取得処理（ステップＳ１５０）において取得したＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃを読み出す（ステップＳ１６０）。そして、制御回路５００は、読み出したＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃに基づいて温度情報信号ＴＩを算出し出力する温度情報出力処理（ステップＳ１７０）を実行する。

【0142】

本実施形態の温度情報出力回路２６は、温度情報出力処理（ステップＳ１７０）において、読み出したＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、ばらつきの大きな一部のデジタル温度情報ｄｔｃを除外し、残ったデジタル温度情報ｄｔｃの平均を算出することで、温度情報信号ＴＩを生成する。すなわち、温度情報出力回路２６は、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの調整平均を算出し、温度情報信号ＴＩとして出力する。

【0143】

具体的には、温度情報出力処理（ステップＳ１７０）において、制御回路５００は、記憶回路５５０から読み出したＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、ｊ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、Ｎ＋１－ｊ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、の差分ΔＴを算出する（ステップＳ１７１）。このとき、制御回路５００は、変数ｊが“１”であるが故に、記憶回路５５０から読み出したＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、１番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、Ｎ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、の差分ΔＴを算出する。換言すれば、制御回路５００は、変数ｊが“１”の場合、記憶回路５５０から読み出したＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、最も高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、最も低い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、の差分ΔＴを算出する。そして、制御回路５００は、算出した差分ΔＴが所定の閾値Ｔｔｈよりも大きいか否かの判定を行う（ステップＳ１７２）。

【0144】

制御回路５００は、算出した差分ΔＴが所定の閾値Ｔｔｈよりも大きい場合（ステップＳ１７２のＹ）、変数ｊに“１”を加算し（ステップＳ１７３）、上述したステップＳ１７１、及びステップＳ１７２を実行する。すなわち、制御回路５００は、変数ｊが“２”であるが故に、記憶回路５５０から読み出したＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、２番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、Ｎ－１番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、の差分ΔＴを再度算出する（ステップＳ１７１）。換言すれば、制御回路５００は、変数ｊが“２”の場合、記憶回路５５０から読み出したＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、２番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、２番目に低い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、の差分ΔＴを算出する。そして、制御回路５００は、算出した差分ΔＴが所定の閾値Ｔｔｈよりも大きいか否かの判定を行う（ステップＳ１７２）。

【0145】

すなわち、制御回路５００は、記憶回路５５０から読み出したＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、ｊ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、Ｎ＋１－ｊ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、の差分ΔＴが、所定の閾値Ｔｔｈ以下となるまで変数ｊを逐次加算する。換言すれば、制御回路５００は、記憶回路５５０から読み出したＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、ｊ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、ｊ番目に低い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、の差分ΔＴが、所定の閾値Ｔｔｈよりも小さくなる境界を探索する。そして、算出した差分ΔＴが所定の閾値Ｔｔｈ以下になると（ステップＳ１７２のＮ）、制御回路５００は、このときの変数ｊを境界値Ｂｖとして保持する（ステップＳ１７４）。

【0146】

制御回路５００は、変数ｊを境界値Ｂｖとして保持した後、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、ｊ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度を検出温度情報Ｒｄｔｃとして保持する（ステップＳ１７５）とともに、合算値Ｔｓｕｍに検出温度情報Ｒｄｔｃを加算し、新たな合算値Ｔｓｕｍとして保持する（ステップＳ１７６）。そして、制御回路５００は、変数ｊが、温度取得カウントＮに“１”を加算した値から境界値Ｂｖを減算した値以下であるか否の判定を行う（ステップＳ１７７）。そして、制御回路５００は、変数ｊが、温度取得カウントＮに“１”を加算した値から境界値Ｂｖを減算した値以下の場合（ステップＳ１７７のＹ）、変数ｊに“１”を加算し、加算後の変数ｊを用いて、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、ｊ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度を検出温度情報Ｒｄｔｃとして保持する（ステップＳ１７５）とともに、合算値Ｔｓｕｍに検出温度情報Ｒｄｔｃを加算し、新たな合算値Ｔｓｕｍとして保持する（ステップＳ１７６）。

【0147】

すなわち、制御回路５００は、Ｂｖ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃからＮ＋１－Ｂｖ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃまでのそれぞれのデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度を加算し、合算値Ｔｓｕｍとして保持する。換言すれば、制御回路５００は、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、Ｂｖ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度よりも低く、Ｂｖ番目に低い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度よりも高い温度を示すＮ－２×（Ｂｖ－１）個のデジタル温度情報ｄｔｃの和を算出し、合算値Ｔｓｕｍとして保持する。

【0148】

そして、変数ｊが、温度取得カウントＮに“１”を加算した値から境界値Ｂｖを減算した値を超えると（ステップＳ１７７のＮ）、制御回路５００は、合算値Ｔｓｕｍの算出の際に加算されたデジタル温度情報ｄｔｃの数である“Ｎ－２×（Ｂｖ－１）”で、算出した合算値Ｔｓｕｍを除した平均温度情報Ｔａｖｅを算出する（ステップＳ１７９）。すなわち、制御回路５００は、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、Ｂｖ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃから、Ｎ＋１－Ｂｖ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃまでのＮ－２×（Ｂｖ－１）個のデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度の平均値を算出し、平均温度情報Ｔａｖｅとして取得する。換言すれば、制御回路５００は、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、Ｂｖ番目に高い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、Ｂｖ番目に低い温度の情報を含むデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度と、の間の温度を示すＮ－２×（Ｂｖ－１）個のデジタル温度情報ｄｔｃの相加平均を算出し、平均温度情報Ｔａｖｅとして取得する。

【0149】

そして、制御回路５００は、取得した平均温度情報Ｔａｖｅを含む温度情報信号ＴＩを生成する。そして、温度情報出力回路２６は、算出した平均温度情報Ｔａｖｅに応じた温度情報信号ＴＩを出力する（ステップＳ１８０）。換言すれば、制御回路５００は、吐出モジュール２２－ｐの温度を示す温度情報ｔｃｐに基づいて算出された平均温度情報Ｔａｖｅを含む温度情報信号ＴＩを、制御回路１００に出力する。これにより、温度情報出力回路２６による温度情報信号出力処理（ステップＳ１７０）、及び、温度情報出力回路２６による温度情報信号ＴＩの生成が終了する。

【0150】

以上のように、本実施形態の温度情報出力回路２６は、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、デジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からｊ番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度と、デジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からＮ＋１－ｊ番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度と、の差分ΔＴが所定の閾値Ｔｔｈよりも大きく、且つ、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、デジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からｊ＋１番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度と、デジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からＮ－ｊ番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度と、の差分ΔＴが所定の閾値Ｔｔｈ以下の場合、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、デジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からｊ番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度よりも低く、且つデジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からＮ＋１－ｊ番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度よりも高いＮ－２×ｊ個のデジタル温度情報ｄｔｃの相加平均を算出し、温度情報信号ＴＩとして出力する。

【0151】

ここで、駆動回路５０が駆動信号出力回路の一例であり、駆動回路５０が出力する駆動信号ＣＯＭが駆動信号の一例である。また、圧電素子６０に供給される駆動信号ＶＯＵＴが駆動信号ＣＯＭに含まれる信号波形に応じて生成されている点に鑑みると、駆動信号ＶＯＵＴもまた駆動信号の一例である。また、駆動信号ＣＯＭの基となる基駆動信号ｄＯを温度情報信号ＴＩに基づいて補正し出力する制御回路１００が補正部の一例であり、制御回路１００が出力し、吐出モジュール２２及びプリントヘッド２０からのインクの吐出周期を規定するラッチ信号ＬＡＴが吐出周期規定信号の一例であり、ラッチ信号ＬＡＴによって規定される複数の周期ｔｐが吐出周期の一例であり、複数の周期ｔｐの内、周期ｔｐ（ｑ＋１）が吐出期間、及び液体を吐出する期間の一例である。また、吐出モジュール２２に含まれる電極３６０が第１電極の一例であり、吐出モジュール２２に含まれる電極３８０が第２電極の一例であり、吐出モジュール２２に含まれる抵抗配線４０１及び抵抗配線４０１を含む温度検出回路２４の少なくとも一方が温度検出部の一例である。

【0152】

そして、温度検出回路２４が出力する温度検出信号ＴＣに含まれる温度情報ｔｃ、及び温度情報ｔｃを増幅しデジタル信号に変換されたデジタル温度情報ｄｔｃの少なくとも一方が温度情報の一例であり、周期ｔｐ（ｑ＋１）において温度情報出力回路２６が取得する複数の温度情報ｔｃ、及び複数のデジタル温度情報ｄｔｃの少なくとも一方がＮ個の温度情報の一例であり、周期ｔｐ（ｑ＋１）において温度情報出力回路２６が取得する複数の温度情報ｔｃ、及び複数のデジタル温度情報ｄｔｃの内、温度情報ｔｃ、及びデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度が高い方からＢｖ－１番目の温度情報ｔｃ、及びデジタル温度情報ｄｔｃが第ｉ温度情報の一例であり、温度情報ｔｃ、及びデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度が高い方からＢｖ番目の温度情報ｔｃ、及びデジタル温度情報ｄｔｃが第ｉ＋１温度情報の一例であり、温度情報ｔｃ、及びデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度が低い方からＢｖ－１番目の温度情報ｔｃ、及びデジタル温度情報ｄｔｃが第Ｎ＋１－ｉ温度情報の一例であり、温度情報ｔｃ、及びデジタル温度情報ｄｔｃが示す温度が低い方からＢｖ番目の温度情報ｔｃ、及びデジタル温度情報ｄｔｃが第Ｎ－ｉ温度情報の一例である。

【0153】

６．作用効果
以上のように、本実施形態の液体吐出装置１、及びプリントヘッド２０では、吐出モジュール２２が、電極３６０、電極３８０、及び圧電体３７０を含み、電極３６０、電極３８０、及び圧電体３７０が積層される積層方向であってＺ軸に沿った方向において、圧電体３７０が電極３６０と電極３８０との間に位置し、駆動信号ＣＯＭに基づく駆動信号ＶＯＵＴを受けて駆動する圧電素子６０と、圧電素子６０に対して積層方向の一方側に位置し、圧電素子６０の駆動により変形する振動板３５０と、振動板３５０に対して積層方向の一方側に位置し、振動板３５０の変形により容積が変化する圧力室３１２が設けられている圧力室基板３１０と、圧力室３１２の容積の変化に応じてインクを吐出するノズル３２１と、振動板３５０に対して積層方向の他方側に位置し、圧力室３１２の温度を検出する抵抗配線４０１を含む温度検出回路２４と、を有する。すなわち、本実施形態の吐出モジュール２２において、圧力室３１２に貯留されるインクの温度を検出する温度検出回路２４は、圧力室３１２の近傍に配置される。これにより、温度検出回路２４による圧力室３１２に貯留されるインクの温度の検出精度が向上する。

【0154】

また、本実施形態の液体吐出装置１、及びプリントヘッド２０において、吐出モジュール２２がインクからインクを吐出させる駆動信号ＣＯＭ，ＶＯＵＴは、温度検出回路２４が異なるタイミングで検出した圧力室３１２の温度に応じたＮ個の温度情報ｔｃ及びＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃ（Ｎは２以上の自然数）に基づいて補正される。これにより、１つの温度情報ｔｃ及びデジタル温度情報ｄｔｃに基づいて圧力室３１２の温度を算出する場合と比較して、温度情報ｔｃ及びデジタル温度情報ｄｔｃに重畳したノイズの影響が低減される。その結果、温度情報ｔｃ及びデジタル温度情報ｄｔｃに基づいて補正される駆動信号ＣＯＭ，ＶＯＵＴの補正精度が向上し、吐出モジュール２２から吐出されるインクの吐出精度が向上する。

【0155】

また、本実施形態の液体吐出装置１、及びプリントヘッド２０では、温度情報ｔｃ及びデジタル温度情報ｄｔｃに重畳したノイズの影響が低減されるが故に、プリントヘッド２０が駆動信号ＣＯＭを受けて、インクを吐出する期間であって、例えば、ラッチ信号ＬＡＴが入力された後、次にラッチ信号ＬＡＴが入力されるまでの周期ｔｐに基づく期間に取得された温度情報ｔｃ及びデジタル温度情報ｄｔｃを用いて、駆動信号ＣＯＭ，ＶＯＵＴを補正した場合であっても、補正された駆動信号ＣＯＭ，ＶＯＵＴの補正精度が低下するおそれが低減し、その結果、吐出モジュール２２から吐出されるインクの吐出精度が向上する。

【0156】

また、本実施形態の液体吐出装置１、及びプリントヘッド２０では、温度情報出力回路２６がＮ個の温度情報ｔｃ及びＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃの調整平均を算出し、駆動回路５０は、算出結果に応じた温度情報信号ＴＩに基づいて補正された駆動信号ＣＯＭを出力する。具体的には、温度情報出力回路２６は、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、デジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からｊ番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度と、デジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からＮ＋１－ｊ番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度と、の差分ΔＴが所定の閾値Ｔｔｈよりも大きく、且つ、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、デジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からｊ＋１番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度と、デジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からＮ－ｊ番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度と、の差分ΔＴが所定の閾値Ｔｔｈ以下の場合、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃの内、デジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からｊ番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度よりも低く、且つデジタル温度情報ｄｔｃで規定される圧力室３１２の温度が高い方からＮ＋１－ｊ番目のデジタル温度情報ｄｔｃで規定される温度よりも高いＮ－２×ｊ個のデジタル温度情報ｄｔｃの相加平均を算出し、温度情報信号ＴＩとして出力する。

【0157】

これにより、Ｎ個のデジタル温度情報ｄｔｃに含まれるノイズ等の影響による異常値を排除することができ、温度情報ｔｃ及びデジタル温度情報ｄｔｃに重畳したノイズの影響がさらに低減される。その結果、温度情報ｔｃ及びデジタル温度情報ｄｔｃに基づいて補正される駆動信号ＣＯＭ，ＶＯＵＴの補正精度がさらに向上し、吐出モジュール２２から吐出されるインクの吐出精度がさらに向上する。

【0158】

７．変形例
以上に説明した本実施形態の液体吐出装置１、及びプリントヘッド２０では、温度情報出力回路２６がＮ個の温度情報ｔｃ及びＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃの調整平均を算出し、駆動回路５０は、算出結果に応じた温度情報信号ＴＩに基づいて補正された駆動信号ＣＯＭを出力するとして説明を行ったが、温度情報出力回路２６は、Ｎ個の温度情報ｔｃ及びＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃを全て加算し、加算した値をＮで除する相加平均を用いてもよい。すなわち、温度情報出力回路２６は、Ｎ個の温度情報ｔｃ及びＮ個のデジタル温度情報ｄｔｃの相加平均を算出し、温度情報信号ＴＩとして出力してもよい。これにより、単純な計算で温度情報ｔｃ及びデジタル温度情報ｄｔｃに重畳したノイズの影響を低減することができ、上述した作用効果に加えて、温度情報出力回路２６による演算負荷を低減することができる。

【0159】

以上、実施形態及び変形例について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。例えば、上記の実施形態を適宜組み合わせることも可能である。

【0160】

本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

【0161】

上述した実施形態から以下の内容が導き出される。

【0162】

プリントヘッドの一態様は、
補正された駆動信号を受けて液体を吐出する吐出モジュールを備え、
前記吐出モジュールは、
第１電極、第２電極、及び圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記圧電体が積層される積層方向において、前記圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する圧電素子と、
前記圧電素子に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記圧電素子の駆動により変形する振動板と、
前記振動板に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記振動板の変形により容積が変化する圧力室が設けられている圧力室基板と、
前記圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出するノズルと、
前記振動板に対して前記積層方向の他方側に位置し、前記圧力室の温度を検出する温度検出部と、
を有し、
前記駆動信号は、前記温度検出部が異なるタイミングで検出した前記圧力室の温度に応じたＮ個の温度情報（Ｎは２以上の自然数）に基づいて補正される。

【0163】

このプリントヘッドによれば、圧力室の温度を検出する温度検出部が、吐出モジュールの内部であって、振動板に対して積層方向の他方側に位置することで、温度検出部を振動板に対して積層方向の一方側に位置する圧力室の近傍に配置することができる。これにより、温度検出部による圧力室の温度の検出精度が向上する。

【0164】

また、このプリントヘッドによれば、吐出モジュールから液体を吐出させる駆動信号は、温度検出部が異なるタイミングで検出した圧力室の温度に応じたＮ個の温度情報（Ｎは２以上の自然数）に基づいて補正される。これにより、温度検出部が検出した圧力室の温度に応じた温度情報にノイズが重畳した場合であっても、当該ノイズの影響が低減され、その結果、圧力室の温度に応じて補正された駆動信号の補正精度が向上する。したがって、補正された駆動信号に基づいて吐出モジュールから吐出されるインクの吐出精度が向上する。

【0165】

上記プリントヘッドの一態様において、
前記吐出モジュールからの液体の吐出周期を規定する吐出周期規定信号が入力され、
前記異なるタイミングは、前記吐出周期規定信号が入力された後、次に前記吐出周期規定信号が入力されるまでの吐出期間に含まれてもよい。

【0166】

このプリントヘッドによれば、温度検出部が検出した圧力室の温度に応じた温度情報にノイズが重畳した場合であっても、当該ノイズの影響が低減される。したがって、駆動信号の補正に用いられる温度情報が吐出周期規定信号が入力された後、次に吐出周期規定信号が入力されるまでの吐出期間中に取得された場合であっても、圧力室の温度に応じて補正された駆動信号の補正精度が低下するおそれが低減し、その結果、補正された駆動信号に基づいて吐出モジュールから吐出されるインクの吐出精度が向上する。

【0167】

上記プリントヘッドの一態様において、
前記吐出モジュールの温度を示す温度情報信号を出力する温度情報出力回路を備え、
前記温度情報出力回路は、前記吐出期間に取得した前記Ｎ個の温度情報に応じた前記温度情報信号を出力し、
前記駆動信号は、前記温度情報信号に基づいて補正されてもよい。

【0168】

上記プリントヘッドの一態様において、
前記温度情報出力回路は、前記Ｎ個の温度情報の相加平均を算出し、前記温度情報信号として出力してもよい。

【0169】

このプリントヘッドによれば、Ｎ個の温度情報の相加平均を算出することで、温度検出部が検出した圧力室の温度に応じたＮ個の温度情報のいずれかにノイズが重畳した場合であっても、当該ノイズの影響が低減される。その結果、圧力室の温度に応じて補正された駆動信号の補正精度が向上する。したがって、補正された駆動信号に基づいて吐出モジュールから吐出されるインクの吐出精度が向上する。

【0170】

上記プリントヘッドの一態様において、
前記温度情報出力回路は、前記Ｎ個の温度情報の調整平均を算出し、前記温度情報信号として出力してもよい。

【0171】

このプリントヘッドによれば、Ｎ個の温度情報の調整平均を算出することで、温度検出部が検出した圧力室の温度に応じたＮ個の温度情報のいずれかにノイズ等の影響による異常値が含まれている場合であっても、当該異常値の影響が低減される。その結果、圧力室の温度に応じて補正された駆動信号の補正精度が向上する。したがって、補正された駆動信号に基づいて吐出モジュールから吐出されるインクの吐出精度が向上する。

【0172】

上記プリントヘッドの一態様において、
前記温度情報出力回路は、
前記Ｎ個の温度情報の内、前記圧力室の温度が高い方からｉ番目（ｉは１からＮ／２までの内の自然数のいずれか）の第ｉ温度情報と、前記圧力室の温度が高い方からＮ＋１－ｉ番目の第Ｎ＋１－ｉ温度情報と、の差分が所定の閾値よりも大きく、
且つ、前記Ｎ個の温度情報の内、前記圧力室の温度が高い方からｉ＋１番目の第ｉ＋１温度情報と、前記圧力室の温度が高い方からＮ－ｉ番目の第Ｎ-ｉ温度情報と、の差分が前記所定の閾値以下の場合、
前記Ｎ個の温度情報の内、前記圧力室の温度が前記第ｉ温度情報よりも低く、且つ、前記圧力室の温度が前記第Ｎ＋１－ｉ温度情報よりも高い、Ｎ－２×ｉ個の温度情報の相加平均を算出し、前記温度情報信号として出力してもよい。

【0173】

上記プリントヘッドの一態様において、
前記異なるタイミングは、前記吐出モジュールが前記駆動信号を受けて液体を吐出する期間に含まれてもよい。

【0174】

このプリントヘッドによれば、温度検出部が検出した圧力室の温度に応じた温度情報にノイズが重畳した場合であっても、当該ノイズの影響が低減される。したがって、駆動信号の補正に用いられる温度情報が吐出モジュールが液体を吐出する期間に入力された場合であっても、圧力室の温度に応じて補正された駆動信号の補正精度が低下するおそれが低減し、その結果、補正された駆動信号に基づいて吐出モジュールから吐出されるインクの吐出精度が向上する。

【0175】

液体吐出装置の一態様は、
補正された駆動信号を出力する駆動信号出力回路と、
前記駆動信号を補正する補正部と、
前記駆動信号を受けて液体を吐出するプリントヘッドと、
を備え、
前記プリントヘッドは、前記駆動信号を受けて液体を吐出する吐出モジュールを有し、
前記吐出モジュールは、
第１電極、第２電極、及び圧電体を含み、前記第１電極、前記第２電極、及び前記圧電体が積層される積層方向において、前記圧電体が前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、前記駆動信号を受けて駆動する圧電素子と、
前記圧電素子に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記圧電素子の駆動により変形する振動板と、
前記振動板に対して前記積層方向の一方側に位置し、前記振動板の変形により容積が変化する圧力室が設けられている圧力室基板と、
前記圧力室の容積の変化に応じて液体を吐出するノズルと、
前記振動板に対して前記積層方向の他方側に位置し、前記圧力室の温度を検出する温度検出部と、
を含み、
前記補正部は、前記温度検出部が異なるタイミングで検出した前記圧力室の温度に応じたＮ個の温度情報（Ｎは２以上の自然数）に基づいて前記駆動信号を補正する。

【0176】

この液体吐出装置によれば、プリントヘッドが有する圧力室の温度を検出する温度検出部が、吐出モジュールの内部であって、振動板に対して積層方向の他方側に位置することで、温度検出部を振動板に対して積層方向の一方側に位置する圧力室の近傍に配置することができる。これにより、温度検出部による圧力室の温度の検出精度が向上する。

【0177】

また、この液体吐出装置によれば、プリントヘッドが有する吐出モジュールから液体を吐出させる駆動信号は、温度検出部が異なるタイミングで検出した圧力室の温度に応じたＮ個の温度情報（Ｎは２以上の自然数）に基づいて補正部が補正する。これにより、温度検出部が検出した圧力室の温度に応じた温度情報にノイズが重畳した場合であっても、当該ノイズの影響が低減され、その結果、圧力室の温度に応じて補正された駆動信号の補正精度が向上する。したがって、補正された駆動信号に基づいて吐出モジュールから吐出されるインクの吐出精度が向上する。

【符号の説明】

【0178】

１…液体吐出装置、２…インク容器、１０…制御機構、２０…プリントヘッド、２１…キャリッジ、２２…吐出モジュール、２４…温度検出回路、２６…温度情報出力回路、３０…移動機構、３１…キャリッジモーター、３２…無端ベルト、４０…搬送機構、４１…搬送モーター、４２…搬送ローラー、５０…駆動回路、５２…基準電圧信号出力回路、６０…圧電素子、９０…リニアエンコーダー、１００…制御回路、２００…駆動信号選択回路、２１０…選択制御回路、２１２…シフトレジスター、２１４…ラッチ回路、２１６…デコーダー、２３０…選択回路、２３２…インバーター、２３４…トランスファーゲート、３１０…圧力室基板、３１１…隔壁、３１２…圧力室、３１２ａ，３１２ｂ…端部、３１５…連通板、３１６…ノズル連通路、３１７…第１マニホールド部、３１８…第２マニホールド部、３１９…供給連通路、３２０…ノズルプレート、３２１…ノズル、３３０…保護基板、３３１…保持部、３３２…貫通孔、３４０…ケース部材、３４１…収容部、３４２…第３マニホールド部、３４３…接続口、３４４…供給口、３４５…コンプライアンス基板、３４６…封止膜、３４７…固定基板、３４８…開口部、３４９…コンプライアンス部、３５０…振動板、３５１…弾性膜、３５２…絶縁体膜、３６０…電極、３６０ａ，３６０ｂ…端部、３７０…圧電体、３７０ａ，３７０ｂ…端部、３７１…溝部、３８０…電極、３８０ａ，３８０ｂ…端部、３８５…配線部、３９１…個別リード電極、３９２…共通リード電極、３９２ａ，３９２ｂ…延設部、３９３，３９３ａ，３９３ｂ…測定用リード電極、４００…マニホールド、４０１…抵抗配線、４１０…活性部、４１５…非活性部、４２０…配線基板、４２１…集積回路、５００…制御回路、５１０－１～５１０－ｎ…増幅回路、５３０…マルチプレクサー、５４０…ＡＤ変換回路、５５０…記憶回路、６００…吐出部、Ｐ…媒体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】