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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024105045
(43)【公開日】2024-08-06
(54)【発明の名称】弾性波装置
(51)【国際特許分類】
H03H 9/145 20060101AFI20240730BHJP
H03H 9/64 20060101ALI20240730BHJP
【ＦＩ】
H03H9/145 Z
H03H9/64 Z
【審査請求】未請求
【請求項の数】17
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023009570
(22)【出願日】2023-01-25
(71)【出願人】
【識別番号】000006231
【氏名又は名称】株式会社村田製作所
(74)【代理人】
【識別番号】110001232
【氏名又は名称】弁理士法人大阪フロント特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】岡田 拓郎
(72)【発明者】
【氏名】中村 健太郎
(72)【発明者】
【氏名】薮 拓也
【テーマコード（参考）】
5J097
【Ｆターム（参考）】
5J097AA14
5J097BB11
5J097DD01
5J097DD03
5J097DD09
5J097DD10
5J097EE05
5J097EE08
5J097KK03
5J097KK06
5J097KK09
5J097KK10
(57)【要約】 （修正有）
【課題】高調波歪を抑制する弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置１０は、圧電性基板２の圧電体層６上に、平面視で曲線状の形状を有する各々複数の電極指１６Ａ、１６Ｂ、１７Ａ、１７Ｂを有する複数の曲線状ＩＤＴ電極を備える。電極指の曲線状の形状の部分の凸となっている方向が、曲線状の形状の部分の外側方向である。複数の曲線状ＩＤＴ電極は、第１、第２のＩＤＴ電極８Ａ、８Ｂを含み、複数の弾性波共振子は、第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子１Ａと、第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子１Ｂとを含む。第１、第２の弾性波共振子は、他の弾性波共振子を介さずに接続され、第１、第２のＩＤＴ電極において、複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向Ｄ＋とし、第１の方向Ｄ＋と逆の方向を第２の方向Ｄ－としたときに、第１のＩＤＴ電極の外側方向が第１の方向であり、第２のＩＤＴ電極の外側方向が第２の方向である。
【選択図】図１
【解決手段】弾性波装置１０は、圧電性基板２の圧電体層６上に、平面視で曲線状の形状を有する各々複数の電極指１６Ａ、１６Ｂ、１７Ａ、１７Ｂを有する複数の曲線状ＩＤＴ電極を備える。電極指の曲線状の形状の部分の凸となっている方向が、曲線状の形状の部分の外側方向である。複数の曲線状ＩＤＴ電極は、第１、第２のＩＤＴ電極８Ａ、８Ｂを含み、複数の弾性波共振子は、第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子１Ａと、第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子１Ｂとを含む。第１、第２の弾性波共振子は、他の弾性波共振子を介さずに接続され、第１、第２のＩＤＴ電極において、複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向Ｄ＋とし、第１の方向Ｄ＋と逆の方向を第２の方向Ｄ－としたときに、第１のＩＤＴ電極の外側方向が第１の方向であり、第２のＩＤＴ電極の外側方向が第２の方向である。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
圧電体層を有する圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、
を備え、
前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、
前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、
前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、
それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、
前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向であり、前記第２のＩＤＴ電極の前記外側方向が前記第２の方向である、弾性波装置。
前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、
を備え、
前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、
前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、
前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、
それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、
前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向であり、前記第２のＩＤＴ電極の前記外側方向が前記第２の方向である、弾性波装置。
【請求項2】
圧電体層を有する圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、
を備え、
前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、
前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、
それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、
前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の方向に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、前記第２のＩＤＴ電極において、前記第２の方向に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっている、弾性波装置。
前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、
を備え、
前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、
前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、
それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、
前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の方向に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、前記第２のＩＤＴ電極において、前記第２の方向に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっている、弾性波装置。
【請求項3】
圧電体層を有する圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、
を備え、
前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、
前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、
前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、
前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極が、前記外側方向が前記第１の方向である少なくとも１つの第１の領域と、前記外側方向が前記第２の方向である少なくとも１つの第２の領域と、を有し、前記第２のＩＤＴ電極が、少なくとも、前記外側方向が前記第２の方向である領域を有し、
それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、
前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の領域の面積の合計が前記第２の領域の面積の合計よりも大きく、かつ前記第２のＩＤＴ電極において、前記外側方向が前記第２の方向である領域の面積の合計が、前記外側方向が前記第１の方向である領域の面積の合計よりも大きい、弾性波装置。
前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、
を備え、
前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、
前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、
前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、
前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極が、前記外側方向が前記第１の方向である少なくとも１つの第１の領域と、前記外側方向が前記第２の方向である少なくとも１つの第２の領域と、を有し、前記第２のＩＤＴ電極が、少なくとも、前記外側方向が前記第２の方向である領域を有し、
それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、
前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の領域の面積の合計が前記第２の領域の面積の合計よりも大きく、かつ前記第２のＩＤＴ電極において、前記外側方向が前記第２の方向である領域の面積の合計が、前記外側方向が前記第１の方向である領域の面積の合計よりも大きい、弾性波装置。
【請求項4】
圧電体層を有する圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、
を備え、
前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、
前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、
前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、
前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極が、前記外側方向が前記第１の方向である少なくとも１つの第１の領域と、前記外側方向が前記第２の方向である少なくとも１つの第２の領域と、を有し、前記第２のＩＤＴ電極が、少なくとも、前記外側方向が前記第２の方向である領域を有し、
それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、
前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の領域の面積の合計が前記第２の領域の面積の合計よりも大きく、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、前記第２のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち他方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっている、弾性波装置。
前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、
を備え、
前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、
前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、
前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、
前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極が、前記外側方向が前記第１の方向である少なくとも１つの第１の領域と、前記外側方向が前記第２の方向である少なくとも１つの第２の領域と、を有し、前記第２のＩＤＴ電極が、少なくとも、前記外側方向が前記第２の方向である領域を有し、
それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、
前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の領域の面積の合計が前記第２の領域の面積の合計よりも大きく、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、前記第２のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち他方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっている、弾性波装置。
【請求項5】
前記複数の弾性波共振子が、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子の双方と、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されている少なくとも１つの第３の弾性波共振子を含み、
前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方であり、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記外側方向が前記第１の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記外側方向が前記第２の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、
前記第１の弾性波共振子、前記第２の弾性波共振子及び前記少なくとも１つの第３の弾性波共振子のうち、前記第２の弾性波共振子の静電容量が最も小さい、請求項１に記載の弾性波装置。
前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方であり、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記外側方向が前記第１の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記外側方向が前記第２の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、
前記第１の弾性波共振子、前記第２の弾性波共振子及び前記少なくとも１つの第３の弾性波共振子のうち、前記第２の弾性波共振子の静電容量が最も小さい、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項6】
前記複数の弾性波共振子が、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子の双方と、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されている少なくとも１つの第３の弾性波共振子を含み、
前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方であり、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記外側方向が前記第１の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記外側方向が前記第２の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極のうち、前記第２のＩＤＴ電極の前記複数の電極指の対数が最も多い、請求項１に記載の弾性波装置。
前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方であり、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記外側方向が前記第１の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記外側方向が前記第２の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極のうち、前記第２のＩＤＴ電極の前記複数の電極指の対数が最も多い、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項7】
前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、
前記第１のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方であり、前記第２のＩＤＴ電極の前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち他方である、請求項２に記載の弾性波装置。
前記第１のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方であり、前記第２のＩＤＴ電極の前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち他方である、請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項8】
前記複数の弾性波共振子が、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子の双方と、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されている少なくとも１つの第３の弾性波共振子を含み、
前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記第２の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、
前記第１の弾性波共振子、前記第２の弾性波共振子及び前記少なくとも１つの第３の弾性波共振子のうち、前記第２の弾性波共振子の静電容量が最も小さい、請求項２に記載の弾性波装置。
前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記第２の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、
前記第１の弾性波共振子、前記第２の弾性波共振子及び前記少なくとも１つの第３の弾性波共振子のうち、前記第２の弾性波共振子の静電容量が最も小さい、請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項9】
前記複数の弾性波共振子が、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子の双方と、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されている少なくとも１つの第３の弾性波共振子を含み、
前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記第２の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極のうち、前記第２のＩＤＴ電極の前記複数の電極指の対数が最も多い、請求項２に記載の弾性波装置。
前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記第２の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、
前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極のうち、前記第２のＩＤＴ電極の前記複数の電極指の対数が最も多い、請求項２に記載の弾性波装置。
【請求項10】
前記第１のＩＤＴ電極の形状及び前記第２のＩＤＴ電極の形状が線対称の関係である、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項11】
前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極の形状が同じであり、
前記圧電性基板上において、前記第２のＩＤＴ電極の配置が、前記第１のＩＤＴ電極が１８０°回転した配置に相当する、請求項１または２に記載の弾性波装置。
前記圧電性基板上において、前記第２のＩＤＴ電極の配置が、前記第１のＩＤＴ電極が１８０°回転した配置に相当する、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項12】
前記第１の弾性波共振子の静電容量及び前記第２の弾性波共振子の静電容量の差が、０．３５ｐＦ以下である、請求項１または２に記載の弾性波装置。
【請求項13】
前記圧電体層の材料としてＸ伝搬の圧電体が用いられており、
前記第１の方向が、Ｘ伝搬の方向における正の方向及び負の方向のうち一方であり、前記第２の方向が、Ｘ伝搬の方向における正の方向及び負の方向のうち他方である、請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
前記第１の方向が、Ｘ伝搬の方向における正の方向及び負の方向のうち一方であり、前記第２の方向が、Ｘ伝搬の方向における正の方向及び負の方向のうち他方である、請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項14】
前記圧電性基板が支持基板を有し、
前記支持基板上に前記圧電体層が設けられている、請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
前記支持基板上に前記圧電体層が設けられている、請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【請求項15】
前記圧電性基板が、前記支持基板及び前記圧電体層の間に設けられている中間層を有する、請求項１４に記載の弾性波装置。
【請求項16】
前記圧電性基板において中空部が構成されており、前記支持基板の一部と、前記圧電体層の一部とが、前記中空部を挟み互いに対向している、請求項１４に記載の弾性波装置。
【請求項17】
前記圧電性基板が前記圧電体層のみからなる、請求項１～４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、複数の弾性波共振子を有する弾性波装置に関する。
【0002】
従来、弾性波装置が、携帯電話機のフィルタなどに広く用いられている。下記の特許文献１には、弾性波装置の一例が開示されている。この弾性波装置においては、圧電基板上にＩＤＴ（Ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極が設けられている。ＩＤＴ電極においては、複数の電極指の形状は円弧の形状である。より具体的には、複数の電極指の形状は、複数の同心円におけるそれぞれの円弧に相当する形状である。特許文献１の弾性波装置においては、不要波の抑制が図られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】中国特許出願公開第１１３６７６１４９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明者らは、複数の電極指が曲線状とされた場合においては、高調波歪が生じ易いことを見出した。これに起因して、弾性波装置の電気的特性の劣化が生じるおそれがある。
【0005】
本発明の目的は、高調波歪を抑制することができる、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明に係る弾性波装置のある広い局面では、圧電体層を有する圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極とが備えられており、前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子とを含み、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向であり、前記第２のＩＤＴ電極の前記外側方向が前記第２の方向である。
【0007】
本発明に係る弾性波装置の他の広い局面では、圧電体層を有する圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極とが備えられており、前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子とを含み、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の方向に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、前記第２のＩＤＴ電極において、前記第２の方向に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっている。
【0008】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の広い局面では、圧電体層を有する圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極とが備えられており、前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極が、前記外側方向が前記第１の方向である少なくとも１つの第１の領域と、前記外側方向が前記第２の方向である少なくとも１つの第２の領域とを有し、前記第２のＩＤＴ電極が、少なくとも、前記外側方向が前記第２の方向である領域を有し、それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子とを含み、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の領域の面積の合計が前記第２の領域の面積の合計よりも大きく、かつ前記第２のＩＤＴ電極において、前記外側方向が前記第２の方向である領域の面積の合計が、前記外側方向が前記第１の方向である領域の面積の合計よりも大きい。
【0009】
本発明に係る弾性波装置のさらに他の広い局面では、圧電体層を有する圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極とが備えられており、前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極が、前記外側方向が前記第１の方向である少なくとも１つの第１の領域と、前記外側方向が前記第２の方向である少なくとも１つの第２の領域とを有し、前記第２のＩＤＴ電極が、少なくとも、前記外側方向が前記第２の方向である領域を有し、それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子とを含み、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の領域の面積の合計が前記第２の領域の面積の合計よりも大きく、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、前記第２のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち他方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっている。
【発明の効果】
【0010】
本発明に係る弾性波装置によれば、高調波歪を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【0011】
【図1】本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図3】本発明の第１の実施形態における第１のＩＤＴ電極の構成を説明するための模式的平面図である。
【図4】比較例の弾性波共振子の模式的平面図である。
【図5】本発明の第１の実施形態及び比較例における二次高調波歪のレベルを示す図である。
【図6】直線状ＩＤＴ電極における２次歪電流の流れを説明するための模式的平面図である。
【図7】本発明の第１の実施形態と同様に配置された２個の曲線状ＩＤＴ電極における２次歪電流の流れを説明するための、模式的平面図である。
【図8】本発明の第１の実施形態の変形例に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図9】本発明の第１の実施形態の変形例と同様に配置された２個の曲線状ＩＤＴ電極における２次歪電流の流れを説明するための、模式的平面図である。
【図10】本発明の第２の実施形態における第１の弾性波共振子の構成を説明するための模式的平面図である。
【図11】本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図12】本発明の第２の実施形態における第１のＩＤＴ電極の、角度θＣの絶対値｜θＣ｜と、デューティ比との関係を示す図である。
【図13】本発明の第２の実施形態の第１の変形例における第１のＩＤＴ電極の構成を説明するための模式的平面図である。
【図14】本発明の第２の実施形態の第２の変形例における第１のＩＤＴ電極の模式的平面図である。
【図15】本発明の第２の実施形態の第２の変形例における第１のＩＤＴ電極の構成を説明するための模式的平面図である。
【図16】本発明の第２の実施形態の第３の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図17】本発明の第２の実施形態の第４の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図18】本発明の第２の実施形態の第５の変形例に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図19】本発明の第２の実施形態の第６の変形例に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図20】本発明の第３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図21】本発明の第４の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【図22】本発明の第４の実施形態における第１のＩＤＴ電極の構成を説明するための模式的平面図である。
【図23】本発明の第４の実施形態の変形例に係る弾性波装置の略図的平面図である。
【図24】本発明の第５の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。
【図25】本発明の第５の実施形態の第１の変形例に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。
【図26】本発明の第５の実施形態の第２の変形例に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。
【図27】本発明の第６の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。
【図28】本発明の第７の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。
【図29】本発明の第７の実施形態の第１の変形例に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。
【図30】本発明の第７の実施形態の第２の変形例に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。
【図31】本発明の第７の実施形態の第３の変形例に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。
【図32】本発明の第８の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。
【図33】本発明の第８の実施形態における、複数の並列腕共振子及び複数の直列腕共振子を示す略図的平面図である。
【図34】本発明の第８の実施形態の第１の変形例における、並列腕共振子及び直列腕共振子を示す略図的平面図である。
【図35】本発明の第８の実施形態の第２の変形例における、並列腕共振子及び直列腕共振子を示す略図的平面図である。
【図36】本発明の第９の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。
【図37】本発明の第９の実施形態における、複数の直列腕共振子を示す略図的平面図である。
【図38】本発明の第９の実施形態の変形例における、複数の直列腕共振子を示す略図的平面図である。
【図39】本発明の第１０の実施形態における、並列腕共振子及び複数の直列腕共振子を示す略図的平面図である。
【図40】本発明の第１１の実施形態における、並列腕共振子及び複数の直列腕共振子を示す略図的平面図である。
【図41】本発明の第１２の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。
【図42】本発明の第１２の実施形態における複数の並列腕共振子及び複数の直列腕共振子を示す略図的平面図である。
【発明を実施するための形態】
【0012】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【0013】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
【0014】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。図２は、図１中のＩ－Ｉ線に沿う模式的断面図である。なお、図１においては、後述するバスバーと配線との境界を一点鎖線により示す。図１以外の模式的平面図においても同様である。
【0015】
図１に示す弾性波装置１０は、フィルタ装置の一部として用いられる。弾性波装置１０は、第１の弾性波共振子１Ａと、第２の弾性波共振子１Ｂとを有する。もっとも、本発明に係る弾性波装置はフィルタ装置であってもよい。本発明に係る弾性波装置は、少なくとも２つの弾性波共振子を有していればよい。
【0016】
図２に示すように、弾性波装置１０は圧電性基板２を有する。圧電性基板２は、圧電体層６を含む積層基板である。すなわち、圧電性基板２は、圧電性を有する基板である。具体的には、圧電性基板２は、支持部材３と、圧電体層６とを有する。より具体的には、支持部材３は、支持基板４と、中間層５とを有する。中間層５は第１の層５ａ及び第２の層５ｂを含む。支持基板４上に第１の層５ａが設けられている。第１の層５ａ上に第２の層５ｂが設けられている。第２の層５ｂ上に圧電体層６が設けられている。なお、圧電性基板２の層構成は上記に限定されない。例えば、中間層５は単層の誘電体層であってもよい。あるいは、圧電性基板２は、圧電体層６のみからなる基板であってもよい。
【0017】
本実施形態では、支持基板４の材料としてシリコンが用いられている。第１の層５ａの材料として窒化ケイ素が用いられている。第２の層５ｂの材料として酸化ケイ素が用いられている。圧電体層６の材料として回転ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウムが用いられている。もっとも、圧電性基板２の各層の材料は上記に限定されない。
【0018】
圧電体層６は、第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂを有する。第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂは互いに対向している。第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂのうち第２の主面６ｂが、支持基板４側に位置している。圧電体層６の第１の主面６ａに、第１のＩＤＴ電極８Ａが設けられている。これにより、第１の弾性波共振子１Ａが構成されている。
【0019】
図１に戻り、第１のＩＤＴ電極８Ａは１対のバスバーを有する。１対のバスバーは、具体的には、第１のバスバー１４Ａ及び第２のバスバー１５Ａである。第１のバスバー１４Ａ及び第２のバスバー１５Ａは互いに対向している。複数の第１の電極指１６Ａの一方端がそれぞれ、第１のバスバー１４Ａに接続されている。複数の第２の電極指１７Ａの一方端がそれぞれ、第２のバスバー１５Ａに接続されている。なお、複数の第１の電極指１６Ａ及び複数の第２の電極指１７Ａはそれぞれ、基端部及び先端部を含む。第１の電極指１６Ａの基端部は、第１のバスバー１４Ａに接続されている部分である。第２の電極指１７Ａの基端部は、第２のバスバー１５Ａに接続されている部分である。複数の第１の電極指１６Ａ及び複数の第２の電極指１７Ａは、互いに間挿し合っている。第１の電極指１６Ａ及び第２の電極指１７Ａは、互いに異なる電位に接続される。
【0020】
以下においては、第１の電極指１６Ａ及び第２の電極指１７Ａを、単に電極指と記載することがある。第１のバスバー１４Ａ及び第２のバスバー１５Ａを、単にバスバーと記載することがある。
【0021】
第１のＩＤＴ電極８Ａの複数の第２の電極指１７Ａの先端を結ぶことにより形成される仮想線を第１の包絡線Ｈ１、複数の第１の電極指１６Ａの先端を結ぶことにより形成される仮想線を第２の包絡線Ｈ２とする。第１の包絡線Ｈ１及び第２の包絡線Ｈ２の間の領域が、第１のＩＤＴ電極８Ａの交叉領域Ｆである。より具体的には、複数の電極指のうち、複数の電極指が並ぶ方向における一方端の電極指と、他方端の電極指と、第１の包絡線Ｈ１と、第２の包絡線Ｈ２とに囲まれた領域が、交叉領域Ｆである。よって、第１の包絡線Ｈ１は、交叉領域Ｆの第１のバスバー１４Ａ側の端縁部に相当する。第２の包絡線Ｈ２は、交叉領域Ｆの第２のバスバー１５Ａ側の端縁部に相当する。第１のＩＤＴ電極８Ａに交流電圧を印加することにより、交叉領域Ｆにおいて弾性波が励振される。
【0022】
弾性波装置１０における第１のＩＤＴ電極８Ａにおいては、電極指ピッチは一定である。ＩＤＴ電極の電極指ピッチとは、隣り合う第１の電極指１６Ａ及び第２の電極指１７Ａの中心間距離である。電極指ピッチをｐとし、電極指ピッチｐにより規定される波長をλとしたときに、波長λは、λ＝２ｐである。
【0023】
図３は、第１の実施形態における第１のＩＤＴ電極の構成を説明するための模式的平面図である。
【0024】
第１のＩＤＴ電極８Ａは、本発明における曲線状ＩＤＴ電極である。曲線状ＩＤＴ電極においては、複数の電極指の平面視における形状は、曲線状の形状を有する。本明細書において平面視とは、図２における上方に相当する方向から見ることをいう。図２においては、例えば、支持基板４側及び圧電体層６側のうち、圧電体層６側が上方である。
【0025】
図３に示すように、第１のＩＤＴ電極８Ａにおいては、具体的には、複数の電極指の平面視における形状はそれぞれ、複数の同心円におけるそれぞれの円弧に相当する形状を含む。複数の電極指の形状における円弧を含む円の中心は一致している。該中心を定点Ｃとする。なお、本実施形態においては、複数の第１の電極指１６Ａの平面視における形状は、円弧の形状である。他方、複数の第２の電極指１７Ａの平面視における形状は、円弧の形状及び直線の形状を含む。具体的には、第２の包絡線Ｈ２及び第２のバスバー１５Ａの間の領域においては、複数の第２の電極指１７Ａの平面視における形状が直線状の形状を有する。該領域以外においては、複数の第２の電極指１７Ａの平面視における形状は、円弧の形状である。
【0026】
なお、第１のＩＤＴ電極８Ａの複数の電極指の形状は上記に限定されない。第１のＩＤＴ電極８Ａの複数の電極指の平面視における形状が、交叉領域Ｆにおいて、曲線状の形状を含んでいればよい。第１のＩＤＴ電極８Ａの複数の電極指の平面視における形状は、例えば、楕円弧の形状であってもよく、あるいは、円弧及び楕円弧以外の曲線状の形状であってもよい。
【0027】
電極指の曲線状の形状の部分の、複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、該曲線状の形状の部分の外側方向である。外側方向と逆の方向が内側方向である。そして、複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向Ｄ＋としたときに、本実施形態では、図１における右側の方向が第１の方向Ｄ＋である。第１の方向Ｄ＋と逆の方向を第２の方向Ｄ－としたときに、図１における左側の方向が第２の方向Ｄ－である。第１の弾性波共振子１Ａにおいて、第１のＩＤＴ電極８Ａの複数の電極指の外側方向は、図１における右側の方向である。よって、第１のＩＤＴ電極８Ａの複数の電極指の外側方向は、第１の方向Ｄ＋である。
【0028】
第１のＩＤＴ電極８Ａにおいては、第１の包絡線Ｈ１及び第２の包絡線Ｈ２の間の、第１の方向Ｄ＋と直交する方向における間隔が、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて長くなっている。そして、第１のＩＤＴ電極８Ａにおいては、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。
【0029】
本実施形態では、交叉領域Ｆは１つのみの曲線領域を含む。本明細書において曲線領域とは、複数の電極指の平面視における形状が、曲線状である領域をいう。弾性波装置１０の第１のＩＤＴ電極８Ａの曲線領域においては、平面視における複数の第１の電極指１６Ａ及び複数の第２の電極指１７Ａの形状がそれぞれ、単一の円弧の形状である。なお、例えば、曲線領域においては、平面視における各電極指の形状がそれぞれ、単一の楕円弧の形状であってもよい。曲線領域においては、平面視における全ての電極指における外側方向が一致している。もっとも、本発明においては、交叉領域Ｆが複数の曲線領域を含んでいてもよい。
【0030】
圧電性基板２上には、第１のＩＤＴ電極８Ａ以外のＩＤＴ電極も設けられている。具体的には、本実施形態では、図１に示すように、圧電性基板２上に第２のＩＤＴ電極８Ｂが設けられている。これにより、上記第２の弾性波共振子１Ｂが構成されている。第２のＩＤＴ電極８Ｂは曲線状ＩＤＴ電極である。第２のＩＤＴ電極８Ｂの複数の電極指の外側方向は、図１における左側の方向である。よって、第２のＩＤＴ電極８Ｂの複数の電極指の外側方向は、第２の方向Ｄ－である。第２のＩＤＴ電極８Ｂにおいては、第２の方向Ｄ－に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。
【0031】
なお、本実施形態においては、第１のＩＤＴ電極８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂの形状は同じである。もっとも、圧電性基板２上において、第２のＩＤＴ電極８Ｂの配置が、第１のＩＤＴ電極８Ａが１８０°回転した配置に相当する。それによって、第１のＩＤＴ電極８Ａにおける複数の電極指の外側方向と、第２のＩＤＴ電極８Ｂにおける複数の電極指の外側方向とが互いに異なっている。
【0032】
具体的には、第２のＩＤＴ電極８Ｂは、第１のバスバー１４Ｂ及び第２のバスバー１５Ｂ並びに複数の第１の電極指１６Ｂ及び複数の第２の電極指１７Ｂを有する。第２のＩＤＴ電極８Ｂにおける複数の第１の電極指１６Ｂの形状は、第１のＩＤＴ電極８Ａにおける複数の第２の電極指１７Ａの形状と同様の形状である。第２のＩＤＴ電極８Ｂにおける複数の第２の電極指１７Ｂの形状は、第１のＩＤＴ電極８Ａにおける複数の第１の電極指１６Ａの形状と同様である。なお、例えば、第１のＩＤＴ電極８Ａの形状及び第２のＩＤＴ電極８Ｂの形状が線対称の関係であってもよい。
【0033】
このように、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂにおける第１のＩＤＴ電極８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂにおいては、複数の電極指の平面視における形状は曲線状の形状を有する。それによって、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂの不要波を分散させることができ、不要波を抑制することができる。
【0034】
上記のように、圧電体層６の材料として、ＹカットＸ伝搬の圧電体が用いられている。本実施形態においては、第１の方向Ｄ＋は、Ｘ伝搬の方向における正の方向である。第２の方向Ｄ－は、Ｘ伝搬における負の方向である。もっとも、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－と、Ｘ伝搬の方向との関係は上記に限定されない。例えば、第１の方向Ｄ＋が、Ｘ伝搬の方向における正の方向及び負の方向のうち一方であり、第２の方向Ｄ－が、Ｘ伝搬の方向における正の方向及び負の方向のうち他方であればよい。あるいは、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－と、Ｘ伝搬の方向とが交叉していてもよい。
【0035】
第１の弾性波共振子１Ａは１対の反射器９Ａ及び反射器９Ｂを有する。具体的には、反射器９Ａ及び反射器９Ｂは、圧電体層６の第１の主面６ａに設けられている。反射器９Ａ及び反射器９Ｂは、第１のＩＤＴ電極８Ａの複数の電極指が並んでいる方向において、第１のＩＤＴ電極８Ａを挟み互いに対向している。
【0036】
反射器９Ａ及び反射器９Ｂはそれぞれ、複数の反射器電極指９ｃを有する。より具体的には、第１のＩＤＴ電極８Ａの複数の電極指、及び各反射器の複数の反射器電極指９ｃの平面視における形状はそれぞれ、複数の同心円におけるそれぞれの円弧に相当する形状である。よって、複数の反射器電極指９ｃの形状における円弧を含む円の中心は上記定点Ｃである。もっとも、複数の反射器電極指９ｃの形状は上記に限定されない。
【0037】
本実施形態の特徴は、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂが、他の弾性波共振子を介さずに接続されており、第１のＩＤＴ電極８Ａにおける外側方向が第１の方向Ｄ＋であり、第２のＩＤＴ電極８Ｂの外側方向が第２の方向Ｄ－であることにある。それによって、高調波歪を抑制することができる。この効果を、本実施形態と比較例とを比較することにより、以下において具体的に示す。
【0038】
比較例は、図４に示すように、第１のＩＤＴ電極８Ａにおける複数の電極指の外側方向と、第２のＩＤＴ電極１０８Ｂにおける複数の電極指の外側方向とが同じである点において、第１の実施形態と異なる。第１の実施形態の構成を有する弾性波装置１０と、比較例の弾性波装置１００とを用意し、各弾性波装置の二次高調波歪（２ＨＤ）のレベルを測定した。具体的には、各弾性波装置の共振周波数の信号を入力し、共振周波数の２倍の周波数付近において２次高調波のレベルを測定した。当該比較に係る第１の実施形態の弾性波装置１０における第１の弾性波共振子１Ａの設計パラメータは、以下の通りである。
【0039】
第１のＩＤＴ電極８Ａの電極指の対数；８０対
第１の包絡線Ｈ１及び第２の包絡線Ｈ２がなす角の角度；９°
第１の包絡線Ｈ１が通る部分におけるデューティ比；０．５
波長λ；２．０８μｍ
交叉領域Ｆの面積；５５１６μｍ２
第１の包絡線Ｈ１及び第２の包絡線Ｈ２がなす角の角度；９°
第１の包絡線Ｈ１が通る部分におけるデューティ比；０．５
波長λ；２．０８μｍ
交叉領域Ｆの面積；５５１６μｍ２
【0040】
第１の実施形態の弾性波装置１０における第２の弾性波共振子１Ｂ、並びに比較例の弾性波装置１００における第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１０１Ｂの設計パラメータも上記と同様である。各弾性波共振子の共振周波数は１８６８ＭＨｚとした。
【0041】
【0042】
図５に示すように、第１の実施形態においては、２Ｆｒ±２０［ＭＨｚ］付近において、比較例よりも２次高調波歪を抑制できていることがわかる。この理由を以下において説明する。
【0043】
図１に戻り、弾性波装置１０においては、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂにおける第１のＩＤＴ電極８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂは、曲線状ＩＤＴ電極である。これにより、弾性波装置１０において不要波を抑制することができる。もっとも、本発明者らは、ＩＤＴ電極の電極指の平面視における形状が直線状である場合と比較して、ＩＤＴ電極が曲線状ＩＤＴ電極である場合においては、高調波歪が生じ易いことを見出した。これに対して、第１の実施形態では、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂが、他の弾性波共振子を介さず直接的に接続されており、かつ第１のＩＤＴ電極８Ａにおける外側方向及び第２のＩＤＴ電極８Ｂの外側方向が互いに逆の方向である。それによって、２次高調波歪が抑制される。この詳細を以下において説明する。
【0044】
図６は、直線状ＩＤＴ電極における２次歪電流の流れを説明するための模式的平面図である。図７は、第１の実施形態と同様に配置された２個の曲線状ＩＤＴ電極における２次歪電流の流れを説明するための、模式的平面図である。なお、本明細書において直線状ＩＤＴ電極とは、電極指の平面視における形状が直線状であるＩＤＴ電極をいう。
【0045】
図６に示す直線状ＩＤＴ電極１１８の複数の電極指は、第１の電極指１１６Ｍ、第２の電極指１１７Ｌ及び第２の電極指１１７Ｎを含む。図６における左側から、第２の電極指１１７Ｌ、第１の電極指１１６Ｍ及び第２の電極指１１７Ｎがこの順序において連続して並んでいる。図６においては、直線状ＩＤＴ電極１１８に電圧が印加された際、第１の電極指１１６Ｍの電位が、第２の電極指１１７Ｌ及び第２の電極指１１７Ｎの電位よりも高いときの例を示す。第１の電極指１１６Ｍは第２の電極指１１７Ｌ及び第２の電極指１１７Ｎにより挟まれている。そのため、第１の電極指１１６Ｍを基準とした電界Ｅの方向は二方向となっている。
【0046】
ここで、高調波歪のうちの２次高調波歪には、機械的な歪と、電気的な歪とが寄与する。電気的な歪は２次歪電流Ｉ２ｅに起因する。２次歪電流Ｉ２ｅは電界Ｅの２乗に比例する。そのため、２次歪電流はＩ２ｅは、電界Ｅの方向によらず一定の方向に流れる。例えば、２次歪電流Ｉ２ｅは、第２の電極指１１７Ｌから第１の電極指１１６Ｍに流入している。同時に、２次歪電流Ｉ２ｅは、第１の電極指１１６Ｍから第２の電極指１１７Ｎに流出している。
【0047】
２次歪電流Ｉ２ｅの大きさは、電極指の長さに依存する。そして、直線状ＩＤＴ電極１１８においては、複数の電極指の長さは同じである。そのため、第１の電極指１１６Ｍに流入する２次歪電流Ｉ２ｅの大きさと、第１の電極指１１６Ｍから流出する２次歪電流Ｉ２ｅの大きさとは同じである。よって、第１の電極指１１６Ｍに流入する２次歪電流Ｉ２ｅと、第１の電極指１１６Ｍから流出する２次歪電流Ｉ２ｅとにおいて、不整合は生じ難い。いわば、第１の電極指１１６Ｍにおいては、２次歪電流Ｉ２ｅはキャンセルされる。これにより、直線状ＩＤＴ電極１１８の外部には、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流の流出は生じ難い。他の電極指においても同様である。従って、直線状ＩＤＴ電極１１８からは、２次高調波歪の信号は出力され難い。
【0048】
一方で、曲線状ＩＤＴ電極からは、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流の流出が生じ易い。すなわち、曲線状ＩＤＴ電極からは、２次高調波歪の信号が出力され易い。
【0049】
より詳細には、図７に示す曲線状ＩＤＴ電極１２８Ａにおいては、電極指間に流れる２次歪電流Ｉ２ｅの大きさが一定ではない。具体的には、曲線状ＩＤＴ電極１２８Ａにおいては、図７における右側に向かうにつれて、電極指の長さが長くなっている。例えば、図７における左側から、第１の電極指１２６Ｌ、第２の電極指１２７Ｍ及び第１の電極指１２６Ｎがこの順序において連続して並んでいる。そして、第１の電極指１２６Ｌの長さよりも第２の電極指１２７Ｍの長さが長く、第２の電極指１２７Ｍの長さよりも第１の電極指１２６Ｎの長さが長い。
【0050】
上記のように、２次歪電流Ｉ２ｅの大きさは、電極指の長さに依存する。そのため、第２の電極指１２７Ｍから流出する２次歪電流Ｉ２ｅの大きさは、第２の電極指１２７Ｍに流入する２次歪電流Ｉ２ｅの大きさよりも大きい。これに起因して、曲線状ＩＤＴ電極１２８Ａの外部に、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、負の符号の電流が流出する。よって、曲線状ＩＤＴ電極１２８Ａからは、２次高調波歪の信号が出力され易い。
【0051】
例えば、フィルタ装置などに、曲線状ＩＤＴ電極を有する弾性波共振子を用いた場合には、２次高調波歪の影響により、フィルタ特性が劣化するおそれがある。もっとも、本実施形態においては、曲線状ＩＤＴ電極を有する弾性波共振子を用いた場合においても、２次高調波歪を抑制することができる。この詳細の説明を、図７を用いてさらに続ける。
【0052】
曲線状ＩＤＴ電極１２８Ａは、配線１２９により、曲線状ＩＤＴ電極１２８Ｂに直接的に接続されている。曲線状ＩＤＴ電極１２８Ｂにおいては、図７における左側に向かうにつれて、電極指の長さが長くなっている。例えば、図７における左側から、第２の電極指１２７Ｏ、第１の電極指１２６Ｐ及び第２の電極指１２７Ｑがこの順序において連続して並んでいる。そして、第２の電極指１２７Ｏの長さよりも第１の電極指１２６Ｐの長さが短く、第１の電極指１２６Ｐの長さよりも第２の電極指１２７Ｑの長さが短い。
【0053】
曲線状ＩＤＴ電極１２８Ｂにおいては、第１の電極指１２６Ｐから流出する２次歪電流Ｉ２ｅの大きさは、第１の電極指１２６Ｐに流入する２次歪電流Ｉ２ｅの大きさよりも小さい。これに起因して、曲線状ＩＤＴ電極１２８Ｂの外部に、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、正の符号の電流が流出する。
【0054】
なお、上記のように、曲線状ＩＤＴ電極１２８Ａ及び曲線状ＩＤＴ電極１２８Ｂは、配線１２９により直接的に接続されている。曲線状ＩＤＴ電極１２８Ａから配線１２９に、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、負の符号の電流が流出する。曲線状ＩＤＴ電極１２８Ｂから配線１２９に、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、正の符号の電流が流出する。それによって、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流を相殺させることができる。
【0055】
【0056】
第１の弾性波共振子１Ａの静電容量と、第２の弾性波共振子１Ｂの静電容量との差が、０．３５ｐＦ以下であることが好ましい。この場合には、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流をより確実に相殺させることができる。従って、高調波歪をより確実に抑制することができる。もっとも、第１の弾性波共振子１Ａの静電容量と、第２の弾性波共振子１Ｂの静電容量との差は、特に限定されるものではない。
【0057】
以下において、第１の実施形態のさらなる詳細を説明する。なお、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂは、外側方向が互いに逆の方向である点以外においては、同様の構成を有する。よって、第１の弾性波共振子１Ａの構成の詳細を説明することとする。以下に示す第１の弾性波共振子１Ａにおいて好ましい構成は、第２の弾性波共振子１Ｂにおいても好ましい構成である。
【0058】
図３に示すように、第１の実施形態では、Ｘ伝搬の方向に延び、定点Ｃを通る直線を基準線Ｎとする。なお、基準線Ｎの方向は上記に限定されない。基準線Ｎは、定点Ｃを必ずしも通らなくともよい。本発明においては、複数の基準線Ｎが定義されてもよい。
【0059】
上記のように、第１のＩＤＴ電極８Ａの複数の電極指の平面視における形状は、円弧状である。複数の電極指の形状における弧を含む円または楕円の楕円係数をα２／α１としたときに、第１の実施形態における楕円係数α２／α１は１である。なお、複数の電極指の形状における弧を含む形状が楕円である場合、楕円係数α２／α１は１以外となる。α１は、該楕円の長軸及び短軸のうち、交叉領域Ｆを通る軸の方向に沿う寸法に相当する。α２は、該楕円の長軸及び短軸のうち、交叉領域Ｆを通らない軸の方向に沿う寸法に相当する。なお、ｒを任意の定数としたときに、ＸＹ平面における楕円係数の式として、（ｘ／α１）２＋（ｙ／α２）２＝ｒ２と表わすことができる。
【0060】
第１のＩＤＴ電極８Ａの各電極指は、平面視において、基端部及び先端部を接続している１対の端縁部を含む。そして、両端縁部は曲線状の形状を有する。本明細書においては、特に断りのない限り、電極指が延びる方向は以下の通りである。まず、電極指の任意の部分において、両端縁部を結ぶように、本発明における基準線Ｎと平行な仮想線を引いた場合、該仮想線上に位置する部分の重心を、該仮想線における代表点とする。電極指には、無数の仮想線を引くことができ、無数の代表点が存在する。これらの代表点同士を結んだ曲線の接線が延びる方向を、電極指が延びる方向とする。電極指における位置毎に、電極指が延びる方向は異なることとなる。例えば、交叉領域Ｆが複数の曲線領域を含み、かつ曲線領域毎に異なる基準線Ｎを有する場合には、仮想線を引く曲線領域の基準線Ｎを、該仮想線が延びる方向とすればよい。
【0061】
図３に示すように、定点Ｃを通る直線と基準線Ｎとがなす角の角度をθＣとする。定点Ｃを通る直線は無数に存在するが、図３においては、該直線の例を示している。本明細書においては、角度θＣの正の方向を、平面視したときの反時計回りの方向とする。より具体的には、第２のバスバー１５Ａ側から第１のバスバー１４Ａ側に向かう方向が上記正の方向である。
【0062】
第１のＩＤＴ電極８Ａにおける交叉領域Ｆは、定点Ｃを通る無数の直線上に位置するそれぞれの部分を有する。図３には、定点Ｃ及び交叉領域Ｆを通る無数の直線のうちの一例として、直線Ｍが示されている。例えば、交叉領域Ｆにおける直線Ｍ上に位置する部分において、弾性波が励振される。定点Ｃ及び交叉領域Ｆを通る、図示しない無数の直線上に位置する部分においてもそれぞれ、弾性波が励振される。すなわち、第１の弾性波共振子１Ａは、直線Ｍ上に位置する励振部、及び他の図示しない無数の直線上に位置する励振部を有する。
【0063】
交叉領域Ｆにおいて弾性波が励振される方向は、以下の３種の方向のうちいずれかである。第１種目の方向としては、電極指が延びる方向と垂直な方向である。第２種目の方向としては、隣接する電極指間の最短距離を結ぶ方向である。第３種目の方向としては、電極指間に生じる電界ベクトルと平行な方向である。
【0064】
定点Ｃ及び交叉領域Ｆにおける励振部を通る直線、及び第１の電極指１６Ａまたは第２の電極指１７Ａの交点における弾性波の励振方向と、基準線Ｎとがなす角の角度を励振角度θＣ＿ｐｒｏｐとする。なお、第１の実施形態においては、弾性波の励振方向は、上記第１種目の方向である。基準線Ｎが通る励振部においては、角度θＣ及び励振角度θＣ＿ｐｒｏｐは０°である。
【0065】
楕円係数α２／α１が１のとき、すなわち電極指の形状が円弧である場合には、角度θＣ及び励振角度θＣ＿ｐｒｏｐは等しくなる。他方、電極指の形状が円弧以外である場合には、角度θＣ及び励振角度θＣ＿ｐｒｏｐは等しくはない。もっとも、角度θＣと励振角度θＣ＿ｐｒｏｐとは略一致している。このことから、角度θＣ及び励振角度θＣ＿ｐｒｏｐの間には、作用及び効果を覆すような影響を及ぼす程の差はないことを指摘しておく。
【0066】
それぞれの励振部間においては、励振角度θＣ＿ｐｒｏｐが互いに異なるため、弾性波の伝搬特性が互いに異なる。そのため、異なる励振部同士の間においては、不要波の周波数同士が互いに異なることとなる。それによって、通過帯域外の不要波及び横モードがそれぞれ分散される。従って、通過帯域外の不要波及び横モードを抑制することができる。本明細書において、弾性波共振子における通過帯域外とは、共振周波数よりも低域側、及び反共振周波数よりも高域側をいう。
【0067】
加えて、第１の包絡線Ｈ１が延びる方向は、基準線Ｎが延びる方向と交叉している。それによって、横モードを効果的に抑制することができる。
【0068】
なお、第１の実施形態では、全ての励振部の共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致している。すなわち、交叉領域Ｆの全てにおいて、共振周波数または反共振周波数が略一致している。それによって、共振特性が劣化し難い。本明細書において、一方の周波数及び他方の周波数が略一致しているとは、双方の周波数の差の絶対値が、基準周波数に対して１０％以下であることをいう。なお、基準周波数とは、励振角度θＣ＿ｐｒｏｐが０°のときの周波数をいう。
【0069】
交叉領域Ｆの第１のバスバー１４Ａ側の端縁部としての第１の包絡線Ｈ１、及び定点Ｃを通る直線と、基準線Ｎとがなす角の角度θＣを交叉角度θＣ＿ＡＰ１とする。交叉領域Ｆの第２のバスバー１５Ａ側の端縁部としての第２の包絡線Ｈ２、及び定点Ｃを通る直線と、基準線Ｎとがなす角の角度θＣを交叉角度θＣ＿ＡＰ２とする。この場合、θＣ＿ＡＰ２≦θＣ≦θＣ＿ＡＰ１である。図５に示した比較に係る弾性波装置１０の第１の弾性波共振子１Ａにおいては、交叉角度θＣ＿ＡＰ１は９°である。交叉角度θＣ＿ＡＰ２は０°である。
【0070】
図１に戻り、第１のＩＤＴ電極８Ａは複数のオフセット電極を有する。複数のオフセット電極は、具体的には、複数の第１のオフセット電極１８及び複数の第２のオフセット電極１９である。複数の第１のオフセット電極１８の一方端がそれぞれ、第１のバスバー１４Ａに接続されている。第１の電極指１６Ａ及び第１のオフセット電極１８は、交互に並んでいる。複数の第２のオフセット電極１９の一方端がそれぞれ、第２のバスバー１５Ａに接続されている。第２の電極指１７Ａ及び第２のオフセット電極１９は交互に並んでいる。
【0071】
複数の第１の電極指１６Ａ及び複数の第２の電極指１７Ａと同様に、複数の第１のオフセット電極１８及び複数の第２のオフセット電極１９はそれぞれ、基端部及び先端部を含む。第１の電極指１６Ａ及び第１のオフセット電極１８の基端部は、第１のバスバー１４Ａに接続されている部分である。第２の電極指１７Ａ及び第２のオフセット電極１９の基端部は、第２のバスバー１５Ａに接続されている部分である。
【0072】
第１の電極指１６Ａの先端部と、第２のオフセット電極１９の先端部とが、ギャップを隔てて対向している。一方で、第２の電極指１７Ａの先端部と、第１のオフセット電極１８の先端部とが、ギャップを隔てて対向している。
【0073】
複数の第１のオフセット電極１８の平面視における形状はそれぞれ、曲線状の形状を有する。より具体的には、複数の第１のオフセット電極１８の平面視における形状はそれぞれ、複数の同心円におけるそれぞれの円弧に相当する形状である。複数の第１のオフセット電極１８の形状における円弧を含む円の中心は、定点Ｃと一致している。他方、複数の第２のオフセット電極１９の平面視における形状はそれぞれ、直線状の形状を有する。以下においては、第１のオフセット電極１８及び第２のオフセット電極１９を、単にオフセット電極と記載することがある。
【0074】
複数のオフセット電極は必ずしも設けられていなくともよい。もっとも、第１のＩＤＴ電極８Ａは、複数の第１のオフセット電極１８及び複数の第２のオフセット電極１９を有することが好ましい。それによって、交叉領域Ｆから各バスバー側に向かい伝搬した主モードを、交叉領域Ｆ側に反射させることができる。これにより、主モードのロスを低減させることができ、主モードの特性を良好にすることができる。
【0075】
平面視における複数の第１のオフセット電極１８の形状が、曲線状の形状を有することが好ましい。この場合には、第１のオフセット電極１８の形状を、第１のオフセット電極１８において反射される主モードの周波数と一致した条件の形状にすることができる。よって、主モードを反射する反射効率を高めることができる。従って、主モードの特性を効果的に良好にすることができる。
【0076】
なお、複数の第１のオフセット電極１８の平面視における形状は、曲線状の形状を有していなくともよい。例えば、複数の第１のオフセット電極１８の平面視における形状は直線状の形状を有していてもよい。この場合には、第１のオフセット電極１８の先端部から第１のバスバー１４Ａまでの距離を短くすることができる。それによって、第１のＩＤＴ電極８Ａの電気抵抗を低くすることができる。
【0077】
第１の実施形態では、複数の第１の電極指１６Ａ及び複数の第１のオフセット電極１８が設けられている領域におけるメタライゼーション比としてのデューティ比は、第１のバスバー１４Ａ側に向かうにつれて小さくなっている。もっとも、上記のデューティ比は一定であってもよい。ここでは、交叉領域以外のデューティ比を示した。なお、本明細書においては、デューティ比は、特に断りのない場合には、ＩＤＴ電極の交叉領域におけるデューティ比である。
【0078】
周波数に影響するデューティ比、電極指ピッチ、電極指の厚み、圧電体層６の厚み、圧電性基板２内の中間層５の厚みなどが、角度θＣに応じて変化していることが好ましい。圧電性基板２上に、第１のＩＤＴ電極８Ａを覆うように誘電体膜が設けられている場合、誘電体膜の厚みが、角度θＣに応じて変化していてもよい。上記のパラメータのうち複数のパラメータを、角度θＣに応じて変化させてもよい。これらのパラメータのうち少なくともいずれかが、交叉領域Ｆの全てにおいて、共振周波数または反共振周波数が略一致するように、角度θＣに応じて変化していることが好ましい。これにより、共振特性が劣化し難い。
【0079】
同様に、反射器９Ａ及び反射器９Ｂにおいても、デューティ比、反射器電極指９ｃの電極指ピッチ、反射器電極指９ｃの厚み、圧電体層６の厚み、圧電性基板２内の中間層５の厚みなどのパラメータが、角度θＣに応じて変化していることが好ましい。なお、反射器電極指９ｃの電極指ピッチとは、隣り合う反射器電極指９ｃ同士の中心間距離である。圧電性基板２上に、反射器９Ａ及び反射器９Ｂを覆うように誘電体膜が設けられている場合には、誘電体膜の厚みが、角度θＣに応じて変化していてもよい。上記のパラメータのうち複数のパラメータが、角度θＣに応じて変化していてもよい。例えば、反射器９Ａ及び反射器９Ｂが、第１のＩＤＴ電極８Ａの一部である場合を仮定してもよい。この場合において、上記のパラメータのうち少なくともいずれかが、交叉領域Ｆの全てにおいて、共振周波数または反共振周波数が略一致する構成に相当するように、角度θＣに応じて変化していることが好ましい。これにより、共振特性が劣化し難い。第２の弾性波共振子１Ｂにおいても同様である。
【0080】
平面視における、反射器９Ａ及び反射器９Ｂの複数の反射器電極指９ｃの形状はそれぞれ、複数の同心円におけるそれぞれの円弧に相当する形状である。複数の反射器電極指９ｃの形状における円弧を含む円の中心は、定点Ｃと一致している。なお、各反射器の反射器電極指９ｃの電極指ピッチあるいはデューティ比などのパラメータは、第１のＩＤＴ電極８Ａの交叉領域Ｆにおける電極指のパラメータと異なっていてもよい。第２の弾性波共振子１Ｂにおいても同様である。
【0081】
図２に示すように、第１の実施形態においては、圧電性基板２は、支持基板４、中間層５の第１の層５ａ及び第２の層５ｂ、並びに圧電体層６の積層基板である。より詳細には、第１の実施形態における第１の層５ａは高音速膜である。高音速膜は相対的に高音速な膜である。より具体的には、高音速膜を伝搬するバルク波の音速は、圧電体層６を伝搬する弾性波の音速よりも高い。他方、第２の層５ｂは低音速膜である。低音速膜は相対的に低音速な膜である。より具体的には、低音速膜を伝搬するバルク波の音速は、圧電体層６を伝搬するバルク波の音速よりも低い。
【0082】
第１の実施形態では、圧電性基板２において、高音速膜、低音速膜及び圧電体層６がこの順序で積層されている。それによって、弾性波を圧電体層６側に効果的に閉じ込めることができる。
【0083】
高音速膜の材料としては、例えば、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶などの圧電体、アルミナ、サファイア、マグネシア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、スピネル、サイアロンなどのセラミック、酸化アルミニウム、酸窒化ケイ素、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、ダイヤモンドなどの誘電体、もしくはシリコンなどの半導体、または上記材料を主成分とする材料を用いることもできる。なお、上記スピネルには、Ｍｇ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｍｎなどから選ばれる１以上の元素と酸素とを含有するアルミニウム化合物が含まれる。上記スピネルの例としては、ＭｇＡｌ２Ｏ４、ＦｅＡｌ２Ｏ４、ＺｎＡｌ２Ｏ４、ＭｎＡｌ２Ｏ４を挙げることができる。本明細書において主成分とは、占める割合が５０重量％を超える成分をいう。上記主成分の材料は、単結晶、多結晶、及びアモルファスのうちいずれかの状態、もしくは、これらが混在した状態で存在していてもよい。
【0084】
低音速膜の材料としては、例えば、ガラス、酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化リチウム、酸化タンタル、もしくは酸化ケイ素にフッ素、炭素やホウ素を加えた化合物などの誘電体、または上記材料を主成分とする材料を用いることができる。
【0085】
圧電体層６の材料としては、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、水晶、またはＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などを用いることもできる。圧電体層６の材料として、タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムが用いられることが好ましい。
【0086】
支持基板４の材料としては、例えば、窒化アルミニウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶などの圧電体、アルミナ、サファイア、マグネシア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライトなどのセラミック、ダイヤモンド、ガラスなどの誘電体、シリコン、窒化ガリウム、ガリウムヒ素などの半導体、もしくは樹脂、または上記材料を主成分とする材料を用いることができる。支持基板４の材料として、高抵抗シリコンが用いられることが好ましい。支持基板４の材料の体積抵抗率は、１０００Ω・ｃｍ以上であることが望ましい。
【0087】
第１のＩＤＴ電極８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂの材料としては、例えばＴｉ、Ｍｏ、Ｒｕ、Ｗ、Ｒｕ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｃｕ、Ｃｒ及びＳｃからなる群から選択された１種以上の金属が用いられてもよい。各反射器の材料として、第１のＩＤＴ電極８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂと同様の材料を用いることができる。第１のＩＤＴ電極８Ａ、第２のＩＤＴ電極８Ｂ及び各反射器は、単層の金属膜からなっていてもよく、積層金属膜からなっていてもよい。
【0088】
図１に示すように、第１の弾性波共振子１Ａにおける第２のバスバー１５Ａ、及び第２の弾性波共振子１Ｂにおける第１のバスバー１４Ｂが直接的に接続されている。よって、第１の実施形態における第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂが、例えばフィルタ装置に用いられる場合、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂは互いに直列に接続される。もっとも、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂは、例えば、互いに並列に接続されてもよい。
【0089】
第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂがラダー型フィルタに用いられる場合、例えば、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂのうち少なくとも一方が、直列腕共振子として用いられてもよい。あるいは、例えば、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂのうち少なくとも一方が、並列腕共振子として用いられてもよい。
【0090】
なお、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂは互いに並列に接続されていてもよい。この例を以下において示す。
【0091】
図８は、第１の実施形態の変形例に係る弾性波装置の略図的平面図である。図９は、第１の実施形態の変形例と同様に配置された２個の曲線状ＩＤＴ電極における２次歪電流の流れを説明するための、模式的平面図である。図８においては、弾性波共振子の外周を示す図形に、２本の対角線を加えた略図により、弾性波共振子を示す。図８以外の略図的平面図においても同様である。
【0092】
図８に示すように、第１の実施形態の変形例においては、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｄは互いに並列に接続されている。第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｄは、他の弾性波共振子を介さずに接続されている。具体的には、第１の弾性波共振子１Ａにおける第１のＩＤＴ電極の第１のバスバー、及び第２の弾性波共振子１Ｄにおける第２のＩＤＴ電極の第１のバスバーが、配線により接続されている。第１の弾性波共振子１Ａにおける第１のＩＤＴ電極の第２のバスバー、及び第２の弾性波共振子１Ｄにおける第２のＩＤＴ電極の第２のバスバーが、配線により接続されている。
【0093】
第１の弾性波共振子１Ａにおける第１のＩＤＴ電極の外側方向は、第１の方向Ｄ＋である。第２の弾性波共振子１Ｄにおける第２のＩＤＴ電極の外側方向は、第２の方向Ｄ－である。第１のＩＤＴ電極の形状及び第２のＩＤＴ電極の形状は、線対称の関係である。
【0094】
図９に示す曲線状ＩＤＴ電極１２８Ａは、第１のＩＤＴ電極と同様に配置されている。曲線状ＩＤＴ電極１２８Ｄは、第２のＩＤＴ電極と同様に配置されている。曲線状ＩＤＴ電極１２８Ａの形状及び曲線状ＩＤＴ電極１２８Ｄの形状は、線対称の関係である。曲線状ＩＤＴ電極１２８Ａにおいては、第２の電極指１２７Ｍから第２のバスバー１２５Ａ側に、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、負の符号の電流が流出する。一方で、曲線状ＩＤＴ電極１２８Ｄにおいては、第２の電極指１２７Ｐから第２のバスバー１２５Ｄ側に、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、正の符号の電流が流出する。それによって、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流を相殺させることができる。
【0095】
第１の実施形態の変形例においても、図９に示す例と同様に、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流を相殺させることができる。従って、高調波歪を抑制することができる。
【0096】
【0097】
図１０に示すように、本実施形態は、第１の弾性波共振子２１Ａにおける第１のＩＤＴ電極２８Ａ及び各反射器の形状において、第１の実施形態と異なる。図１１に示すように、本実施形態は、第２の弾性波共振子２１Ｂにおける第２のＩＤＴ電極及び各反射器の形状においても、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。
【0098】
図１０に戻り、第１のＩＤＴ電極２８Ａにおいては、第１の包絡線Ｈ１及び第２の包絡線Ｈ２は、交叉領域Ｆの中央を通る対称軸に対して線対称に配置されている。複数の第１の電極指２６Ａ及び複数の第２の電極指２７Ａの平面視における形状は、円弧の形状である。複数の第２のオフセット電極２９の平面視における形状も円弧状である。第１のＩＤＴ電極２８Ａにおいては、交叉角度θＣ＿ＡＰ１及び交叉角度θＣ＿ＡＰ２の絶対値は同じである。よって、角度θＣの絶対値は、０°≦｜θＣ｜≦｜θＣ＿ＡＰ１｜＝｜θＣ＿ＡＰ２｜である。
【0099】
図１１に示す第２の弾性波共振子２１Ｂにおける、第２のＩＤＴ電極の形状は、第１のＩＤＴ電極２８Ａの形状と線対称の形状である。本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、第１の弾性波共振子２１Ａ及び第２の弾性波共振子２１Ｂが、他の弾性波共振子を介さずに接続されている。そして、第１のＩＤＴ電極２８Ａにおける外側方向が第１の方向Ｄ＋であり、第２のＩＤＴ電極の外側方向が第２の方向Ｄ－である。それによって、高調波歪を抑制することができる。
【0100】
第１のＩＤＴ電極２８Ａにおいて、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが長くなっており、第２のＩＤＴ電極において、第２の方向Ｄ－に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。それによって、高調波歪をより確実に抑制することができる。
【0101】
以下において、第１の弾性波共振子２１Ａの設計パラメータの一例を示す。本実施形態においては、第２の弾性波共振子２１Ｂの設計パラメータも第１の弾性波共振子２１Ａの設計パラメータと同様である。
【0102】
支持基板４；材料…Ｓｉ、面方位…（１１１）、オイラー角（φ，θ，ψ）におけるψ…７３°
第１の層５ａ；材料…ＳｉＮ、厚み…０．１５λ
第２の層５ｂ；材料…ＳｉＯ２、厚み…０．１５λ
圧電体層６；材料…回転Ｙカット５５°Ｘ伝搬のＬｉＴａＯ３、厚み…０．２λ
第１のＩＤＴ電極２８Ａ；材料…Ａｌ、厚み…０．０５λ、
第１のＩＤＴ電極２８Ａの電極指の対数；６０対
電極指の形状における楕円係数α２／α１；１
交叉角度θＣ＿ＡＰ１；１０°
交叉角度θＣ＿ＡＰ２；－１０°
波長λ；２μｍ
デューティ比；角度θＣが０°である励振部において０．５
第１の層５ａ；材料…ＳｉＮ、厚み…０．１５λ
第２の層５ｂ；材料…ＳｉＯ２、厚み…０．１５λ
圧電体層６；材料…回転Ｙカット５５°Ｘ伝搬のＬｉＴａＯ３、厚み…０．２λ
第１のＩＤＴ電極２８Ａ；材料…Ａｌ、厚み…０．０５λ、
第１のＩＤＴ電極２８Ａの電極指の対数；６０対
電極指の形状における楕円係数α２／α１；１
交叉角度θＣ＿ＡＰ１；１０°
交叉角度θＣ＿ＡＰ２；－１０°
波長λ；２μｍ
デューティ比；角度θＣが０°である励振部において０．５
【0103】
本実施形態では、交叉領域Ｆにおける全ての励振部の共振周波数同士または反共振周波数同士が略一致するように、複数の励振部間において、デューティ比が互いに異ならされている。すなわち、デューティ比が角度θＣに応じて変化している。なお、角度θＣの絶対値｜θＣ｜が同じ励振部間においては、デューティ比は同じである。第１のＩＤＴ電極２８Ａが上記のように構成されているため、第１の弾性波共振子２１Ａにおける共振特性が劣化し難い。本実施形態における、角度θＣの絶対値｜θＣ｜及びデューティ比の関係を、図１２により示す。
【0104】
図１２は、第２の実施形態における第１のＩＤＴ電極の、角度θＣの絶対値｜θＣ｜と、デューティ比との関係を示す図である。
【0105】
本実施形態では、角度θＣが０°である場合に、デューティ比が最大値とされている。そして、角度θＣの絶対値｜θＣ｜が大きいほど、デューティ比が小さい。これにより、交叉領域Ｆの全体において、共振周波数または反共振周波数が略一致している。
【0106】
以下において、第１のＩＤＴ電極及び各反射器の形状のみが第２の実施形態と異なる、第２の実施形態の第１の変形例及び第２の変形例を示す。第１の変形例及び第２の変形例においても、第２の実施形態と同様に、高調波歪の劣化を抑制することができる。
【0107】
図１３に示す第１の変形例における第１のＩＤＴ電極２８Ｃの複数の電極指の平面視における形状は、楕円弧の形状である。具体的には、第１のＩＤＴ電極２８Ｃの複数の電極指の平面視における形状はそれぞれ、定点が同じ位置である複数の楕円におけるそれぞれの楕円弧に相当する形状である。なお、焦点Ａ及び焦点Ｂの中点が定点Ｃである。複数の電極指の平面視における形状の楕円係数α１／α２は、１以外である。
【0108】
図１４に示す第２の変形例における第１のＩＤＴ電極２８Ｅにおいては、第１の包絡線Ｈ１及び第２の包絡線Ｈ２は平行に延びている。基準線Ｎは、第１の包絡線Ｈ１及び第２の包絡線Ｈ２と平行に延びている。そのため、第１のＩＤＴ電極２８Ｅにおいては、第１の包絡線Ｈ１及び第２の包絡線Ｈ２の間の、第１の方向Ｄ＋と直交する方向における間隔は一定である。
【0109】
もっとも、図１５において強調して示すように、第１のＩＤＴ電極２８Ｅでは、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて、電極指の曲線状の形状における曲率が大きくなっている。そのため、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて、電極指の長さが長くなっている。
【0110】
なお、第２のＩＤＴ電極も、第１の変形例または第２の変形例における第１のＩＤＴ電極のいずれかの構成と同様の構成を有していてもよい。本発明では、例えば、第１のＩＤＴ電極が、第１の実施形態、第２の実施形態、第１の変形例または第２の変形例のいずれかの構成を有していてもよい。これらのいずれかの場合において、第２のＩＤＴ電極が、第１の実施形態、第２の実施形態、第１の変形例または第２の変形例における第１のＩＤＴ電極のいずれかの構成と同様の構成を有していてもよい。この例を、第２の実施形態の第３～第５の変形例により示す。第３～第５の変形例においても、第２の実施形態と同様に、高調波歪を抑制することができる。
【0111】
図１６に示す第３の変形例においては、第１の弾性波共振子２１Ｅ及び第２の弾性波共振子２１Ｆは、第２の変形例における第１の弾性波共振子２１Ｅと同様に構成されている。もっとも、第１の弾性波共振子２１Ｅにおける第１のＩＤＴ電極２８Ｅ及び各反射器の形状、並びに第２の弾性波共振子２１Ｆにおける第２のＩＤＴ電極２８Ｆ及び各反射器の形状は、線対称の関係である。
【0112】
図１７に示す第４の変形例においても、第１の弾性波共振子２１Ｅ及び第２の弾性波共振子２１Ｆは、第２の変形例における第１の弾性波共振子２１Ｅと同様に構成されている。もっとも、第１のＩＤＴ電極２８Ｅの形状及び第２のＩＤＴ電極２８Ｆの形状が線対称の関係ではない点において、第３の変形例と異なる。より具体的には、第１のＩＤＴ電極２８Ｅと、第２のＩＤＴ電極２８Ｆとの間において、電極指の幅、及び交叉領域の面積が互いに異なる。なお、第１のＩＤＴ電極２８Ｅと、第２のＩＤＴ電極２８Ｆとの間において、電極指の対数などが互いに異なっていてもよい。
【0113】
第４の変形例においては、第３の変形例と同様に、第１のＩＤＴ電極２８Ｅにおける複数の電極指の外側方向は、第１の方向Ｄ＋である。第１のＩＤＴ電極２８Ｅにおいて、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。第２のＩＤＴ電極２８Ｆにおける複数の電極指の外側方向は、第２の方向Ｄ－である。第２のＩＤＴ電極２８Ｆにおいて、第２の方向Ｄ－に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。
【0114】
図１８に示す第５の変形例においては、第１の弾性波共振子１Ａにおける第１のＩＤＴ電極は、第１の実施形態と同様に構成されている。第２の弾性波共振子２１Ｂにおける第２のＩＤＴ電極は、第２の実施形態と同様に構成されている。第１の弾性波共振子１Ａの第１のＩＤＴ電極における複数の電極指の外側方向は、第１の方向Ｄ＋である。第１のＩＤＴ電極において、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。第２の弾性波共振子２１Ｂの第２のＩＤＴ電極における複数の電極指の外側方向は、第２の方向Ｄ－である。第２のＩＤＴ電極において、第２の方向Ｄ－に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。
【0115】
図１１に示すように、第２の実施形態においては、第１の弾性波共振子２１Ａにおける基準線Ｎと、第２の弾性波共振子２１Ｂにおける基準線Ｎとの双方は、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－と平行に延びている。もっとも、これに限定されるものではない。
【0116】
例えば、図１９に示す第２の実施形態の第６の変形例においては、第１の弾性波共振子２１Ａにおける基準線Ｎが延びる方向は、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－と交叉している。他方、第２の弾性波共振子２１Ｂにおける基準線Ｎは、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－と平行に延びている。
【0117】
もっとも、第１の弾性波共振子２１Ａの第１のＩＤＴ電極における複数の電極指の外側方向の、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－と平行な方向の成分は、第１の方向Ｄ＋である。第１のＩＤＴ電極において、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。第２の弾性波共振子２１Ｂの第２のＩＤＴ電極における複数の電極指の外側方向は、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－のうち、第２の方向Ｄ－である。第２のＩＤＴ電極において、第２の方向Ｄ－に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。それによって、第２の実施形態と同様に、高調波歪を抑制することができる。つまり、第１の弾性波共振子２１Ａ及び第２の弾性波共振子２１Ｂにおいて、外側方向が互いに１８０°逆の方向であることには限られず、外側方向の第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－と平行な方向の成分が、互いに逆の方向である限り、本発明に含まれる。
【0118】
図２０は、第３の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
【0119】
本実施形態は、第２の弾性波共振子３１Ｂにおける、第２のＩＤＴ電極３８Ｂ及び各反射器の形状及び配置において第２の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第２の実施形態の弾性波装置と同様の構成を有する。
【0120】
第２のＩＤＴ電極３８Ｂでは、複数の電極指の外側方向は第１の方向Ｄ＋である。第２のＩＤＴ電極３８Ｂにおいては、第１の包絡線Ｈ１及び第２の包絡線Ｈ２の間の、第１の方向Ｄ＋と直交する方向における間隔が、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて短くなっている。そして、第２のＩＤＴ電極３８Ｂにおいては、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが短くなっている。すなわち、第２のＩＤＴ電極３８Ｂにおいては、第２の方向Ｄ－に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。
【0121】
一方で、第１のＩＤＴ電極２８Ａにおいては、第２の実施形態と同様に、複数の電極指の外側方向は第１の方向Ｄ＋である。第１のＩＤＴ電極２８Ａにおいては、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。この場合においても、第１のＩＤＴ電極２８Ａ及び第２のＩＤＴ電極３８Ｂから流出する、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流を相殺させることができる。従って、高調波歪を抑制することができる。
【0122】
このように、第１のＩＤＴ電極２８Ａ及び第２のＩＤＴ電極３８Ｂの複数の電極指の外側方向は、同じ方向であってもよい。この場合、第１のＩＤＴ電極２８Ａ及び第２のＩＤＴ電極３８Ｂにおいて、電極指が長くなっている方向が、互いに逆の方向であればよい。
【0123】
【0124】
図２１に示すように、本実施形態は、第１の弾性波共振子４１Ａにおける、第１のＩＤＴ電極４８Ａ及び各反射器の形状及び配置において第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。
【0125】
図２２に示すように、第１のＩＤＴ電極４８Ａの交叉領域Ｆは、複数の曲線領域を含む。具体的には、複数の曲線領域は、第１の曲線領域Ｗ１及び第２の曲線領域Ｗ２である。第１の曲線領域Ｗ１は第１の包絡線Ｈ１を含む。第２の曲線領域Ｗ２は第２の包絡線Ｈ２を含む。第１の曲線領域Ｗ１及び第２の曲線領域Ｗ２の境界線Ｏは直線状である。
【0126】
より具体的には、第１のＩＤＴ電極４８Ａの、複数の第１の電極指４６Ａ及び複数の第２の電極指４７Ａの平面視における形状はそれぞれ、変曲点を有する。本明細書において変曲点は、互いに異なる曲線同士が接続されている点、または曲線と直線とが接続されている点である。変曲点において、互いに異なる曲線同士が接続されている場合、電極指の外側方向が、変曲点を境界として異なっている。
【0127】
本実施形態においては、図２２における左方向が外側方向である部分と、右方向が外側方向である部分とが、変曲点において接続されている。このように、本実施形態では、変曲点を境界として、２つの曲線状の形状が、互いに反転している。各反射器においても同様である。第１のＩＤＴ電極４８Ａにおける複数の電極指の変曲点を結んだ直線が、第１の曲線領域Ｗ１及び第２の曲線領域Ｗ２の境界線Ｏである。
【0128】
各曲線領域においては、平面視における複数の電極指の形状がそれぞれ、単一の円弧の形状または楕円弧の形状である。もっとも、本実施形態の第１のＩＤＴ電極４８Ａでは、各曲線領域において、平面視における複数の電極指の形状は単一の楕円弧である。よって、第１のＩＤＴ電極４８Ａにおける複数の電極指の平面視における形状はそれぞれ、２つの楕円弧が接続された形状である。
【0129】
第１の曲線領域Ｗ１においては、平面視したときの、複数の電極指の形状におけるそれぞれの楕円弧は、定点が同じ位置である複数の楕円におけるそれぞれの楕円弧に相当する形状である。これらの楕円の共通の定点を１つ目の定点Ｃ１と定義することができる。なお、この定点Ｃ１は、焦点Ａ１及び焦点Ｂ１の中点である。
【0130】
第２の曲線領域Ｗ２においても、平面視したときの、複数の電極指の形状におけるそれぞれの楕円弧も、定点が同じ位置である複数の楕円におけるそれぞれの楕円弧に相当する形状である。これらの楕円の共通の定点を２つ目の定点Ｃ２と定義することができる。なお、この定点Ｃ２は、焦点Ａ２及び焦点Ｂ２の中点である。すなわち、本実施形態では、２つの定点が定義される。定点Ｃ１及び定点Ｃ２は、第１のＩＤＴ電極４８Ａを挟み互いに対向している。
【0131】
このように、第１のＩＤＴ電極４８Ａにおける複数の電極指の形状がそれぞれ、交叉領域Ｆにおいて、外側方向が異なる少なくとも２つの曲線状の部分を含んでいてもよい。そして、平面視における複数の電極指の形状がそれぞれ、交叉領域Ｆにおいて、少なくとも１つの変曲点を有していてもよい。
【0132】
第１のＩＤＴ電極４８Ａにおいては、２本の基準線Ｎ１及び基準線Ｎ２が定義される。具体的には、基準線Ｎ１は、第１の包絡線Ｈ１が延長された直線であり、かつ定点Ｃ１を通る直線である。基準線Ｎ２は、第２の包絡線Ｈ２が延長された直線であり、かつ定点Ｃ２を通る直線である。
【0133】
第１の曲線領域Ｗ１における定点Ｃ１、及び第１の曲線領域Ｗ１を通る直線と、基準線Ｎ１とがなす角の角度が、第１の曲線領域Ｗ１における角度θＣである。図２２中の直線Ｍ１は、定点Ｃ１及び第１の曲線領域Ｗ１を通る直線の一例である。他方、第２の曲線領域Ｗ２における定点Ｃ２、及び第２の曲線領域Ｗ２を通る直線と、基準線Ｎ２とがなす角の角度が、第２の曲線領域Ｗ２における角度θＣである。図２２中の直線Ｍ２は、定点Ｃ２及び第２の曲線領域Ｗ２を通る直線の一例である。
【0134】
図２１に戻り、第１の曲線領域Ｗ１の面積は、第２の曲線領域Ｗ２の面積よりも大きい。この場合、第１のＩＤＴ電極４８Ａでは、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流の方向において、第１の曲線領域Ｗ１が支配的になる。そして、第１の曲線領域Ｗ１においては、外側方向は第１の方向Ｄ＋である。第１の曲線領域Ｗ１においては、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。そのため、１本の第２の電極指４７Ａを基準としたときに、第２の電極指４７Ａから流出する２次歪電流Ｉ２ｅの大きさは、第２の電極指４７Ａに流入する２次歪電流Ｉ２ｅの大きさよりも大きい。よって、第２の電極指４７Ａから第２のバスバー１５Ａ側に、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、負の符号の電流が流出する。
【0135】
一方で、第２のＩＤＴ電極８Ｂは、第１の実施形態と同様に構成されている。具体的には、第２のＩＤＴ電極８Ｂにおいては、外側方向は第２の方向Ｄ－である。第２のＩＤＴ電極８Ｂにおいては、第２の方向Ｄ－に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。よって、第１の電極指１６Ｂから第１のバスバー１４Ｂ側に、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、正の符号の電流が流出する。
【0136】
なお、本実施形態では、第１のＩＤＴ電極４８Ａの第２のバスバー１５Ａと、第２のＩＤＴ電極８Ｂの第１のバスバー１４Ｂとが直接的に接続されている。これらにより、第１のＩＤＴ電極４８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂから流出する、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流を相殺させることができる。従って、高調波歪を抑制することができる。
【0137】
本実施形態では、第２のＩＤＴ電極８Ｂの交叉領域は、１つのみの曲線領域を含む。よって、第２のＩＤＴ電極８Ｂにおいては、外側方向が第１の方向Ｄ＋である領域の面積は０である。従って、外側方向が第２の方向Ｄ－である領域の面積の合計が、外側方向が第１の方向Ｄ＋である領域の面積の合計よりも大きい。
【0138】
もっとも、第２のＩＤＴ電極８Ｂの交叉領域は、複数の曲線領域を含んでいてもよい。この場合においても、外側方向が第２の方向Ｄ－である領域の面積の合計が、外側方向が第１の方向Ｄ＋である領域の面積の合計よりも大きければよい。それによって、第１のＩＤＴ電極４８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂから流出する、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流を相殺させることができる。
【0139】
あるいは、第１のＩＤＴ電極４８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂにおいて、電極指が長くなっている方向が、互いに逆の方向であればよい。例えば、第１のＩＤＴ電極４８Ａにおいて、第１の曲線領域Ｗ１の面積が第２の曲線領域Ｗ２の面積よりも大きく、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－のうち一方に向かうにつれて電極指の長さが長い。この場合に、第２のＩＤＴ電極８Ｂにおいて、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－のうち他方に向かうにつれて電極指の長さが長くなっていればよい。それによって、第１のＩＤＴ電極４８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂから流出する、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流を相殺させることができる。
【0140】
以下において、第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極並びに各反射器の形状のみが第４の実施形態と異なる、第４の実施形態の変形例を示す。
【0141】
図２３に示す第４の実施形態の変形例においては、第１のＩＤＴ電極４８Ｃの交叉領域は、第１の曲線領域Ｗ１と、第２の曲線領域Ｗ２と、第３の曲線領域Ｗ３とを含む。第１の曲線領域Ｗ１、第２の曲線領域Ｗ２及び第３の曲線領域Ｗ３は、第１のバスバー１４Ａ及び第２のバスバー１５Ａが互いに対向する方向において並んでいる。より具体的には、第１の曲線領域Ｗ１及び第３の曲線領域Ｗ３は、第２の曲線領域Ｗ２を挟み互いに対向している。
【0142】
第１の曲線領域Ｗ１及び第３の曲線領域Ｗ３においては、複数の電極指の外側方向は第１の方向Ｄ＋である。第２の曲線領域Ｗ２においては、複数の電極指の外側方向は第２の方向Ｄ－である。第１の曲線領域Ｗ１及び第３の曲線領域Ｗ３の面積の合計は、第２の曲線領域Ｗ２の面積よりも大きい。第１のＩＤＴ電極４８Ｃでは、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。
【0143】
ここで、複数の電極指の外側方向が第１の方向Ｄ＋である領域を第１の領域、複数の電極指の外側方向が第２の方向Ｄ－である領域を第２の領域としたときに、第１の曲線領域Ｗ１及び第３の曲線領域Ｗ３は、第１の領域である。第２の曲線領域Ｗ２は、第２の領域である。第１のＩＤＴ電極４８Ｃにおいては、第１の領域の面積の合計が第２の領域の面積の合計よりも大きい。この場合には、第１のＩＤＴ電極４８Ｃでは、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流の方向において、第１の領域が支配的になる。よって、第４の実施形態と同様に、第２の電極指４７Ａから第２のバスバー１５Ａ側に、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、負の符号の電流が流出する。
【0144】
一方で、第２のＩＤＴ電極２８Ｂは、第２の実施形態と同様に構成されている。具体的には、第２のＩＤＴ電極２８Ｂにおいては、外側方向は第２の方向Ｄ－である。第２のＩＤＴ電極２８Ｂにおいては、第２の方向Ｄ－に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。よって、第１の電極指２６Ｂから第１のバスバー１４Ｂ側に、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、正の符号の電流が流出する。それによって、第１のＩＤＴ電極４８Ｃ及び第２のＩＤＴ電極２８Ｂから流出する、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流を相殺させることができる。従って、高調波歪を抑制することができる。
【0145】
ところで、圧電性基板の積層構造は、図２に示す構成には限定されない。第５の実施形態により、弾性波装置が、第１の実施形態とは異なる圧電性基板を有する例を示す。
【0146】
図２４は、第５の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。
【0147】
本実施形態は、圧電性基板５２の積層構造において第１の実施形態と異なる。図２４においては、第１のＩＤＴ電極８Ａが示されている。もっとも、図示しないが、圧電性基板５２上には、第１の実施形態と同様の第２のＩＤＴ電極８Ｂも設けられている。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。
【0148】
圧電性基板５２は、支持基板４と、中間層５５と、圧電体層６とを有する。支持基板４上に中間層５５が設けられている。中間層５５上に圧電体層６が設けられている。本実施形態においては、中間層５５は枠状の形状を有する。すなわち、中間層５５は貫通孔を有する。支持基板４は、中間層５５の貫通孔の一方を塞いでいる。圧電体層６は中間層５５の貫通孔の他方を塞いでいる。これにより、圧電性基板５２において中空部５２ｃが構成されている。圧電体層６の一部及び支持基板４の一部は、中空部５２ｃを挟み互いに対向している。
【0149】
本実施形態においては、主モードを圧電体層６側に反射させることができる。よって、弾性波のエネルギーを圧電体層６側に効果的に閉じ込めることができる。加えて、第１の実施形態と同様に、高調波歪を抑制することができる。
【0150】
以下において、圧電性基板の積層構造のみが第５の実施形態と異なる、第５の実施形態の第１の変形例及び第２の変形例を示す。第１の変形例及び第２の変形例においても、第５の実施形態と同様に、高調波歪を抑制することができ、かつ弾性波のエネルギーを圧電体層６側に効果的に閉じ込めることができる。
【0151】
図２５に示す第１の変形例においては、圧電性基板５２Ａは、支持基板４と、音響反射膜５７と、中間層５５Ａと、圧電体層６とを有する。支持基板４上に音響反射膜５７が設けられている。音響反射膜５７上に中間層５５Ａが設けられている。中間層５５Ａ上に圧電体層６が設けられている。中間層５５Ａは低音速膜である。
【0152】
音響反射膜５７は複数の音響インピーダンス層の積層体である。具体的には、音響反射膜５７は、複数の低音響インピーダンス層と、複数の高音響インピーダンス層とを有する。高音響インピーダンス層は、相対的に音響インピーダンスが高い層である。音響反射膜５７の複数の高音響インピーダンス層は、より具体的には、高音響インピーダンス層５７ａ、高音響インピーダンス層５７ｃ及び高音響インピーダンス層５７ｅである。一方で、低音響インピーダンス層は、相対的に音響インピーダンスが低い層である。音響反射膜５７の複数の低音響インピーダンス層は、より具体的には、低音響インピーダンス層５７ｂ及び低音響インピーダンス層５７ｄである。低音響インピーダンス層及び高音響インピーダンス層は交互に積層されている。なお、高音響インピーダンス層５７ａが、音響反射膜５７において最も圧電体層６側に位置する層である。
【0153】
音響反射膜５７は、低音響インピーダンス層を２層有し、高音響インピーダンス層を３層有する。もっとも、音響反射膜５７は、低音響インピーダンス層及び高音響インピーダンス層をそれぞれ少なくとも１層ずつ有していればよい。
【0154】
低音響インピーダンス層の材料としては、例えば、酸化ケイ素またはアルミニウムなどを用いることができる。高音響インピーダンス層の材料としては、例えば、白金またはタングステンなどの金属や、窒化アルミニウムまたは窒化ケイ素などの誘電体を用いることができる。なお、中間層５５Ａの材料は、低音響インピーダンス層の材料と同じであってもよい。
【0155】
図２６に示す第２の変形例においては、圧電性基板５２Ｂは、支持基板５４と、圧電体層６とを有する。支持基板５４上に直接的に圧電体層６が設けられている。より具体的には、支持基板５４は凹部を有する。支持基板５４上に、凹部を塞ぐように、圧電体層６が設けられている。これにより、圧電性基板５２Ｂに中空部が設けられている。中空部は、平面視において、第１のＩＤＴ電極８Ａの少なくとも一部と重なっている。
【0156】
図２７は、第６の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。
【0157】
本実施形態は、第１のＩＤＴ電極８Ａが保護膜６９に埋め込まれている点において、第１の実施形態と異なる。図示しないが、図１に示した第２のＩＤＴ電極８Ｂが保護膜６９に埋め込まれている点においても、第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。
【0158】
具体的には、圧電体層６上に、第１のＩＤＴ電極８Ａを覆うように、保護膜６９が設けられている。保護膜６９の厚みは、第１のＩＤＴ電極８Ａの厚みよりも厚い。第１のＩＤＴ電極８Ａは保護膜６９に埋め込まれている。これにより、第１のＩＤＴ電極８Ａが破損し難い。同様に、第２のＩＤＴ電極８Ｂも破損し難い。
【0159】
保護膜６９は第１の保護層６９ａ及び第２の保護層６９ｂを有する。第１の保護層６９ａに第１のＩＤＴ電極８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂが埋め込まれている。第１の保護層６９ａ上に第２の保護層６９ｂが設けられている。それによって、保護膜６９により複数の効果を得ることができる。具体的には、本実施形態においては、第１の保護層６９ａの材料として、酸化ケイ素が用いられている。これにより、弾性波装置における周波数温度係数（ＴＣＦ）の絶対値を小さくすることができる。よって、弾性波装置の温度特性を改善することができる。第２の保護層６９ｂには、窒化ケイ素が用いられている。これにより、弾性波装置の耐湿性を高めることができる。
【0160】
加えて、本実施形態においても、第１のＩＤＴ電極８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂが第１の実施形態と同様に構成され、配置されている。それによって、高調波歪を抑制することができる。
【0161】
なお、第１の保護層６９ａ及び第２の保護層６９ｂの材料は上記に限定されない。保護膜６９は単層であってもよく、３層以上の積層体であってもよい。
【0162】
図２８は、第７の実施形態に係る弾性波装置の模式的正面断面図である。
【0163】
本実施形態は、圧電体層６の第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂの双方に第１のＩＤＴ電極８Ａが設けられている点において第１の実施形態と異なる。図示しないが、圧電体層６の第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂの双方に、図１に示した第２のＩＤＴ電極８Ｂが設けられている点においても、第１の実施形態と異なる。なお、第２の主面６ｂに設けられた第１のＩＤＴ電極８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂは、中間層５における第２の層５ｂに埋め込まれている。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１の実施形態の弾性波装置１０と同様の構成を有する。
【0164】
圧電体層６の第１の主面６ａに設けられた第１のＩＤＴ電極８Ａ及び第２の主面６ｂに設けられた第１のＩＤＴ電極８Ａは、圧電体層６を挟み互いに対向している。圧電体層６の第１の主面６ａに設けられた第２のＩＤＴ電極８Ｂ及び第２の主面６ｂに設けられた第２のＩＤＴ電極８Ｂは、圧電体層６を挟み互いに対向している。
【0165】
本実施形態の弾性波装置においては、第１の主面６ａ上において、第１のＩＤＴ電極８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂが第１の実施形態と同様に構成されている。そして、他の弾性波共振子の機能電極を介さず、第１のＩＤＴ電極８Ａ及び第２のＩＤＴ電極８Ｂが接続されている。第２の主面６ｂ上においても、同様である。それによって、第１の実施形態と同様に、高調波歪を抑制することができる。
【0166】
なお、圧電体層６の第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂに設けられた第１のＩＤＴ電極８Ａは、例えば、設計パラメータが互いに異なっていてもよい。第１の主面６ａ及び第２の主面６ｂに設けられた第２のＩＤＴ電極８Ｂは、例えば、設計パラメータが互いに異なっていてもよい。
【0167】
以下において、圧電体層の第２の主面に設けられた電極の構成、及び圧電性基板の積層構造のうち少なくとも一方のみが第７の実施形態と異なる、第７の実施形態の第１～第３の変形例を示す。第１～第３の変形例においても、第７の実施形態と同様に、高調波歪を抑制することができる。
【0168】
図２９に示す第１の変形例においては、圧電性基板５２が、第５の実施形態と同様に構成されている。具体的には、圧電性基板５２が、支持基板４、中間層５５及び圧電体層６を有する。圧電体層６の第２の主面６ｂに設けられた第１のＩＤＴ電極８Ａは、中空部５２ｃ内に位置している。図示しないが、同様に、第２の主面６ｂに設けられた第２のＩＤＴ電極８Ｂも、中空部５２ｃ内に位置している。
【0169】
図３０に示す第２の変形例においては、圧電体層６の第２の主面６ｂに、板状の電極７８が設けられている。第１のＩＤＴ電極８Ａ及び電極７８は、圧電体層６を挟み互いに対向している。なお、第２の主面６ｂには第２のＩＤＴ電極８Ｂと対向するように、他の電極７８も設けられている。各電極７８は第２の層５ｂに埋め込まれている。
【0170】
図３１に示す第３の変形例においては、圧電性基板５２が第１の変形例と同様に構成されており、かつ圧電体層６の第２の主面６ｂに、第２の変形例と同様の電極７８が設けられている。電極７８は、中空部５２ｃ内に位置している。
【0171】
第５～第７の実施形態及び各変形例においては、第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極が第１の実施形態と同様の構成、及び配置である場合の例を示した。もっとも、第５～第７の実施形態及び各変形例の圧電性基板は、複数のＩＤＴ電極の構成及び配置が、第１の実施形態以外の本発明の構成及び配置とされている場合においても、採用することができる。
【0172】
本発明に係る弾性波装置はフィルタ装置であってもよい。この例を以下において示す。
【0173】
図３２は、第８の実施形態に係る弾性波装置の回路図である。
【0174】
本実施形態の弾性波装置８０はラダー型フィルタである。弾性波装置８０は、第１の信号端子８２及び第２の信号端子８３と、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子とを有する。弾性波装置８０においては、全ての直列腕共振子及び全ての並列腕共振子は弾性波共振子である。圧電性基板上に複数のＩＤＴ電極が設けられていることにより、複数の弾性波共振子が構成されている。
【0175】
第１の信号端子８２はアンテナ端子である。アンテナ端子はアンテナに接続される。もっとも、第１の信号端子８２は、必ずしもアンテナ端子ではなくともよい。第１の信号端子８２及び第２の信号端子８３は、例えば、電極パッドとして構成されていてもよく、配線として構成されていてもよい。
【0176】
本実施形態の複数の直列腕共振子は、具体的には、直列腕共振子Ｓ１、直列腕共振子Ｓ２、直列腕共振子Ｓ３及び直列腕共振子Ｓ４である。複数の直列腕共振子は、第１の信号端子８２及び第２の信号端子８３の間に、互いに直列に接続されている。複数の並列腕共振子は、具体的には、並列腕共振子Ｐ１ａ、並列腕共振子Ｐ１ｂ、並列腕共振子Ｐ２及び並列腕共振子Ｐ３である。
【0177】
直列腕共振子Ｓ１及び直列腕共振子Ｓ２の間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子Ｐ１ａ及び並列腕共振子Ｐ１ｂが互いに直列に接続されている。直列腕共振子Ｓ２及び直列腕共振子Ｓ３の間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子Ｐ２が接続されている。直列腕共振子Ｓ３及び直列腕共振子Ｓ４の間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子Ｐ３が接続されている。なお、弾性波装置８０の回路構成は上記に限定されない。弾性波装置８０は、例えば、縦結合共振子型弾性波フィルタを含んでいてもよい。
【0178】
図３３は、第８の実施形態における、複数の並列腕共振子及び複数の直列腕共振子を示す略図的平面図である。
【0179】
本実施形態においては、２組の第１の弾性波共振子２１Ａ及び第２の弾性波共振子２１Ｂが設けられている。具体的には、図３２に示す直列腕共振子Ｓ１が図３３に示す第１の弾性波共振子２１Ａである。直列腕共振子Ｓ２が第２の弾性波共振子２１Ｂである。これらの第１の弾性波共振子２１Ａ及び第２の弾性波共振子２１Ｂは、第２の実施形態と同様の構成を有する。よって、直列腕共振子Ｓ１における第１のＩＤＴ電極、及び直列腕共振子Ｓ２における第２のＩＤＴ電極から流出する、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流を相殺させることができる。従って、高調波歪を抑制することができる。
【0180】
一方で、図３２に示す並列腕共振子Ｐ１ｂが図３３に示す第１の弾性波共振子２１Ａである。並列腕共振子Ｐ１ａが第２の弾性波共振子２１Ｂである。これらの第１の弾性波共振子２１Ａ及び第２の弾性波共振子２１Ｂは、第２の実施形態と同様の構成を有する。よって、高調波歪を抑制することができる。
【0181】
なお、図示しないが、直列腕共振子Ｓ３におけるＩＤＴ電極は、直線状ＩＤＴ電極である。
【0182】
フィルタ装置である弾性波装置は、少なくとも１組の第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子を有していればよい。第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子は、第２の実施形態以外の、本発明における第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子の構成を有していてもよい。
【0183】
第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子の回路上の配置は上記に限定されない。以下において、第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子の配置のみが第８の実施形態と異なる、第８の実施形態の第１の変形例及び第２の変形例を示す。第１の変形例及び第２の変形例においても、第８の実施形態と同様に、高調波歪を抑制することができる。
【0184】
図３４に示す第１の変形例においては、直列腕共振子Ｓ２が第１の弾性波共振子２１Ａであり、並列腕共振子Ｐ２が第２の弾性波共振子２１Ｂである。図３５に示す第２の変形例においては、並列腕共振子Ｐ２が第１の弾性波共振子２１Ａであり、直列腕共振子Ｓ２が第２の弾性波共振子２１Ｂである。
【0185】
【0186】
図３６及び図３７に示すように、本実施形態は、回路構成において第８の実施形態と異なる。なお、本実施形態の弾性波装置はラダー型フィルタである。本実施形態は、第３の弾性波共振子１Ｃを有する点においても、第８の実施形態と異なる。本実施形態は、第１の弾性波共振子１Ａの構成においても第８の実施形態と異なる。さらに、本実施形態は、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子２１Ｂの配置においても第８の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第８の実施形態の弾性波装置と同様の構成を有する。
【0187】
図３６に示すように、本実施形態の複数の直列腕共振子は、具体的には、直列腕共振子Ｓ１１、直列腕共振子Ｓ１２ａ、直列腕共振子Ｓ１２ｂ、直列腕共振子Ｓ１２ｃ及び直列腕共振子Ｓ１３である。複数の直列腕共振子は、第１の信号端子８２及び第２の信号端子８３の間に、互いに直列に接続されている。複数の並列腕共振子は、具体的には、並列腕共振子Ｐ１１及び並列腕共振子Ｐ１２である。
【0188】
直列腕共振子Ｓ１１及び直列腕共振子Ｓ１２ａの間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子Ｐ１１が接続されている。直列腕共振子Ｓ１２ｃ及び直列腕共振子Ｓ１３の間の接続点とグラウンド電位との間に、並列腕共振子Ｐ１２が接続されている。
【0189】
図３６に示す直列腕共振子Ｓ１２ａが図３７に示す第１の弾性波共振子１Ａである。直列腕共振子Ｓ１２ｂが第２の弾性波共振子２１Ｂである。第１の弾性波共振子１Ａは、第１の実施形態と同様の構成を有する。他方、第２の弾性波共振子２１Ｂは、第２の実施形態と同様の構成を有する。
【0190】
直列腕共振子Ｓ１２ｃは、第３の弾性波共振子１Ｃである。第３の弾性波共振子１Ｃは、第１の実施形態における第１の弾性波共振子１Ａと同様の構成を有する。具体的には、第３の弾性波共振子１Ｃは、第３のＩＤＴ電極と、１対の反射器とを有する。第３のＩＤＴ電極は曲線状ＩＤＴ電極である。第３のＩＤＴ電極の複数の電極指の外側方向は、第１の方向Ｄ＋である。第３のＩＤＴ電極においては、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。
【0191】
本実施形態においては、第２の弾性波共振子２１Ｂにおける第２のＩＤＴ電極、及び第１の弾性波共振子１Ａにおける第２のＩＤＴ電極から流出する、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流を相殺させることができる。さらに、第２の弾性波共振子２１Ｂにおける第２のＩＤＴ電極、及び第３の弾性波共振子１Ｃにおける第３のＩＤＴ電極から流出する、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流を相殺させることもできる。よって、高調波歪を効果的に抑制することができる。
【0192】
なお、第３の弾性波共振子は、本発明における第１の弾性波共振子のいずれかの構成と同様に構成されていればよい。例えば、図３８に示す第９の実施形態の変形例においては、第３の弾性波共振子２１Ｃは、第２の実施形態における第１の弾性波共振子２１Ａと同様に構成されている。よって、第３のＩＤＴ電極は、第２の実施形態における第１のＩＤＴ電極と同様に構成されている。本変形例における第１の弾性波共振子２１Ａも、第２の実施形態と同様に構成されている。この場合においても、高調波歪を効果的に抑制することができる。
【0193】
図３９は、第１０の実施形態における、並列腕共振子及び複数の直列腕共振子を示す略図的平面図である。図３９中の矢印は、各ＩＤＴ電極から出力される２次歪電流Ｉ２ｅに起因する電流の大きさの、大小関係の指標である。後述する他の略図的平面図においても同様である。
【0194】
本実施形態は、第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子の配置及び構成において、第８の実施形態と異なる。本実施形態は、第３の弾性波共振子を有する点においても第８の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第８の実施形態の弾性波装置と同様の構成を有する。なお、本実施形態における回路構成及び第８の実施形態における回路構成は同じである。そのため、本実施形態の説明には、第８の実施形態の説明に用いた符号を援用することとする。
【0195】
本実施形態においては、図３２に示す直列腕共振子Ｓ２が第１の弾性波共振子１Ａである。直列腕共振子Ｓ３が第２の弾性波共振子１Ｂである。これらの第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂは、第１の実施形態と同様の構成を有する。並列腕共振子Ｐ２が第３の弾性波共振子１Ｃである。第３の弾性波共振子１Ｃは、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂの双方と、他の弾性波共振子を介さずに接続されている。第３の弾性波共振子１Ｃは、第１の実施形態における第１の弾性波共振子１Ａと同様の構成を有する。
【0196】
第１の弾性波共振子における第１のＩＤＴ電極、及び第３の弾性波共振子における第３のＩＤＴ電極の複数の電極指の外側方向は、第１の方向Ｄ＋である。他方、第２の弾性波共振子における第２のＩＤＴ電極の複数の電極指の外側方向は、第２の方向Ｄ－である。よって、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び第３のＩＤＴ電極において、外側方向が第１の方向Ｄ＋であるＩＤＴ電極の個数の合計は、外側方向が第２の方向Ｄ－であるＩＤＴ電極の個数の合計よりも多い。そのため、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、負の符号の電流が第２のバスバー側に出力されるＩＤＴ電極の個数の合計が、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する、正の符号の電流が第１のバスバー側に出力されるＩＤＴ電極の個数の合計よりも多い。
【0197】
もっとも、本実施形態においては、第１の弾性波共振子１Ａ、第２の弾性波共振子１Ｂ及び第３の弾性波共振子１Ｃのうち、第２の弾性波共振子１Ｂの静電容量が最も小さい。弾性波共振子の静電容量が小さい場合には、電極指１本辺りに加わる電圧が大きい。よって、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び第３のＩＤＴ電極のうち、第２のＩＤＴ電極から出力される２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流の大きさが最も大きい。これにより、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び第３のＩＤＴ電極から流出する、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流をより確実に相殺させることができる。従って、高調波歪をより確実に抑制することができる。
【0198】
このように、３個の弾性波共振子において、総合的に高調波歪を抑制できるように構成されていてもよい。なお、外側方向が第１の方向Ｄ＋であるＩＤＴ電極の個数の合計は、外側方向が第２の方向Ｄ－であるＩＤＴ電極の個数の合計以上であればよい。
【0199】
本実施形態においては、第３の弾性波共振子は１つのみ設けられている。もっとも、弾性波装置の構成は、複数の第３の弾性波共振子が設けられた構成であってもよい。すなわち、本発明では、複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含む構成であってもよい。この場合、いずれの第３の弾性波共振子も、第１の弾性波共振子及び第２の弾性波共振子の双方と、他の弾性波共振子を介さずに接続されていればよい。
【0200】
複数の第３のＩＤＴ電極が設けられている場合、各第３のＩＤＴ電極における外側方向が、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－のうち一方であればよい。これにより、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、外側方向が第１の方向Ｄ＋であるＩＤＴ電極の個数の合計が、外側方向が第２の方向Ｄ－であるＩＤＴ電極の個数の合計以上とされていればよい。そして、第１の弾性波共振子、第２の弾性波共振子及び少なくとも１つの第３の弾性波共振子のうち、第２の弾性波共振子の静電容量が最も小さければよい。
【0201】
図３９に示す第３の弾性波共振子１Ｃにおける第３のＩＤＴ電極においては、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。なお、複数の第３のＩＤＴ電極が設けられている場合、各第３のＩＤＴ電極において、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－のうち一方に向かうにつれて電極指の長さが長くなっていればよい。これにより、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指が長くなっているＩＤＴ電極の個数の合計が、第２の方向Ｄ－に向かうにつれて電極指が長くなっているＩＤＴ電極の個数の合計以上であればよい。そして、第１の弾性波共振子１Ａ、第２の弾性波共振子１Ｂ及び少なくとも１つの第３の弾性波共振子１Ｃのうち、第２の弾性波共振子１Ｂの静電容量が最も小さければよい。この場合においても、高調波歪をより確実に抑制することができる。
【0202】
第１０の実施形態及び上記に示した例においては、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び第３のＩＤＴ電極において、電極指の対数の関係は特に限定されない。もっとも、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び第３のＩＤＴ電極の電極指の対数がそれぞれ、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び第３のＩＤＴ電極のうち、電極指の対数が最も多いＩＤＴ電極における電極指の対数の８０％以上であることが好ましい。この場合には、高調波歪をより一層確実に抑制することができる。
【0203】
図４０は、第１１の実施形態における、並列腕共振子及び複数の直列腕共振子を示す略図的平面図である。
【0204】
本実施形態は、第１の弾性波共振子１Ａ、第２の弾性波共振子１Ｂ及び第３の弾性波共振子１Ｃの静電容量の関係、及び電極指の対数の関係において、第１０の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第１０の実施形態の弾性波装置と同様の構成を有する。なお、本実施形態における回路構成は、第８の実施形態及び第１０の実施形態における回路構成と同じである。そのため、本実施形態の説明には、第８の実施形態の説明に用いた符号を援用することとする。
【0205】
第１の弾性波共振子１Ａは第１のＩＤＴ電極を有する。第２の弾性波共振子１Ｂは第２のＩＤＴ電極を有する。第３の弾性波共振子１Ｃは第３のＩＤＴ電極を有する。第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び第３のＩＤＴ電極においては、第１０の実施形態と同様に、外側方向が第１の方向Ｄ＋であるＩＤＴ電極の個数の合計は、外側方向が第２の方向Ｄ－であるＩＤＴ電極の個数の合計よりも多い。
【0206】
そして、本実施形態においては、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び第３のＩＤＴ電極のうち、第２のＩＤＴ電極の電極指の対数が最も多い。２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流は、各電極指から出力される。そのため、ＩＤＴ電極の電極指の対数が多い場合には、出力される２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流の大きさが大きい。よって、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び第３のＩＤＴ電極のうち、第２のＩＤＴ電極から出力される２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流の大きさが最も大きい。これにより、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び第３のＩＤＴ電極から流出する、２次歪電流Ｉ２ｅに起因した電流をより確実に相殺させることができる。従って、高調波歪をより確実に抑制することができる。
【0207】
なお、弾性波装置の構成は、複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含む構成であってもよい。この場合、いずれの第３の弾性波共振子１Ｃも、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂの双方と、他の弾性波共振子を介さずに接続されていればよい。
【0208】
複数の第３のＩＤＴ電極が設けられている場合、各第３のＩＤＴ電極における外側方向が、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－のうち一方であればよい。これにより、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、外側方向が第１の方向Ｄ＋であるＩＤＴ電極の個数の合計が、外側方向が第２の方向Ｄ－であるＩＤＴ電極の個数の合計以上とされていればよい。そして、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極のうち、第２のＩＤＴ電極の電極指の対数が最も多ければよい。
【0209】
図４０に示す第３の弾性波共振子１Ｃにおける第３のＩＤＴ電極においては、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指の長さが長くなっている。なお、複数の第３のＩＤＴ電極が設けられている場合、各第３のＩＤＴ電極において、第１の方向Ｄ＋及び第２の方向Ｄ－のうち一方に向かうにつれて電極指の長さが長くなっていればよい。これにより、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、第１の方向Ｄ＋に向かうにつれて電極指が長くなっているＩＤＴ電極の個数の合計が、第２の方向Ｄ－に向かうにつれて電極指が長くなっているＩＤＴ電極の個数の合計以上であればよい。そして、第１のＩＤＴ電極、第２のＩＤＴ電極及び少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極のうち、第２のＩＤＴ電極の電極指の対数が最も多ければよい。この場合においても、高調波歪をより確実に抑制することができる。
【0210】
第１１の実施形態及び上記に示した例においては、第１の弾性波共振子１Ａ、第２の弾性波共振子１Ｂ及び第３の弾性波共振子１Ｃにおいて、静電容量の関係は特に限定されない。もっとも、第１の弾性波共振子１Ａ、第２の弾性波共振子１Ｂ及び第３の弾性波共振子１Ｃの静電容量がそれぞれ、第１の弾性波共振子１Ａ、第２の弾性波共振子１Ｂ及び第３の弾性波共振子１Ｃのうち、静電容量が最も大きい弾性波共振子における静電容量の８０％以上であることが好ましい。この場合には、高調波歪をより一層確実に抑制することができる。
【0211】
【0212】
図４１及び図４２に示すように、本実施形態は、回路構成において第８の実施形態と異なる。本実施形態の説明には、本実施形態及び第８の実施形態の回路構成が同じである部分においては、第８の実施形態の説明に用いた符号を援用する。本実施形態の回路構成は、直列腕共振子Ｓ１及び直列腕共振子Ｓ２の間の接続点とグラウンド電位との間に、１つの並列腕共振子Ｐ２１が接続されている点のみにおいて、第８の実施形態と異なる。本実施形態は、全ての弾性波共振子が第１の弾性波共振子１Ａ、第２の弾性波共振子１Ｂ及び第３の弾性波共振子１Ｃのうちいずれかである点においても、第８の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置は第８の実施形態の弾性波装置と同様の構成を有する。
【0213】
図４１に示す直列腕共振子Ｓ１は、図４２に示す第１の弾性波共振子１Ａである。並列腕共振子Ｐ２１は第２の弾性波共振子１Ｂである。直列腕共振子Ｓ２は第３の弾性波共振子１Ｃである。並列腕共振子Ｐ２は第１の弾性波共振子１Ａである。直列腕共振子Ｓ３は第２の弾性波共振子１Ｂである。並列腕共振子Ｐ３は第３の弾性波共振子１Ｃである。直列腕共振子Ｓ４は第１の弾性波共振子１Ａである。
【0214】
本実施形態においては、それぞれ第１の弾性波共振子１Ａ、第２の弾性波共振子１Ｂ及び第３の弾性波共振子１Ｃを含む３組の弾性波共振子群が配置されている。なお、上記３組の弾性波共振子群において、一部の弾性波共振子は重複している。より詳細には、上記３組の弾性波共振子群のうち１組目は、直列腕共振子Ｓ１、直列腕共振子Ｓ２及び並列腕共振子Ｐ２１である。２組目は、直列腕共振子Ｓ２、直列腕共振子Ｓ３及び並列腕共振子Ｐ２である。３組目は、直列腕共振子Ｓ３、直列腕共振子Ｓ４及び並列腕共振子Ｐ３である。
【0215】
上記３組の弾性波共振子群のいずれにおいても、第３の弾性波共振子１Ｃは、第１の弾性波共振子１Ａ及び第２の弾性波共振子１Ｂの双方と、他の弾性波共振子を介さずに接続されている。そして、これらの第１の弾性波共振子１Ａ、第２の弾性波共振子１Ｂ及び第３の弾性波共振子１Ｃにおける外側方向の関係、及び静電容量の関係は第８の実施形態と同様である。
【0216】
なお、図４２中の矢印を、ハッチングを付して示している。同じハッチングが付された矢印は、同じ弾性波共振子群における各ＩＤＴ電極から出力される、２次歪電流Ｉ２ｅに起因する電流の大きさの大小関係を示している。図４２に示すように、各弾性波共振子群において、第８の実施形態と同様に、上記電流が相殺されることがわかる。従って、各弾性波共振子群において、高調波歪を抑制することができる。
【0217】
これらのように、本実施形態においては、フィルタ装置としての弾性波装置全体として、総合的に高調波歪を抑制することができる。なお、上記３組の弾性波共振子群の第１の弾性波共振子１Ａ、第２の弾性波共振子１Ｂ及び第３の弾性波共振子１Ｃにおいて、第９の実施形態と同様の電極指の対数の関係であってもよい。この場合においても、弾性波装置全体として、総合的に高調波歪を抑制することができる。
【0218】
以下において、本発明に係る弾性波装置の形態の例をまとめて記載する。
【0219】
＜１＞圧電体層を有する圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、を備え、前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向であり、前記第２のＩＤＴ電極の前記外側方向が前記第２の方向である、弾性波装置。
【0220】
＜２＞圧電体層を有する圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、を備え、前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の方向に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、前記第２のＩＤＴ電極において、前記第２の方向に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっている、弾性波装置。
【0221】
＜３＞圧電体層を有する圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、を備え、前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極が、前記外側方向が前記第１の方向である少なくとも１つの第１の領域と、前記外側方向が前記第２の方向である少なくとも１つの第２の領域と、を有し、前記第２のＩＤＴ電極が、少なくとも、前記外側方向が前記第２の方向である領域を有し、それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の領域の面積の合計が前記第２の領域の面積の合計よりも大きく、かつ前記第２のＩＤＴ電極において、前記外側方向が前記第２の方向である領域の面積の合計が、前記外側方向が前記第１の方向である領域の面積の合計よりも大きい、弾性波装置。
【0222】
＜４＞圧電体層を有する圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられており、それぞれ複数の電極指を有する複数のＩＤＴ電極と、を備え、前記複数のＩＤＴ電極が、前記複数の電極指の平面視における形状が曲線状の形状を有する、複数の曲線状ＩＤＴ電極を含み、前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、前記複数のＩＤＴ電極が第１のＩＤＴ電極及び第２のＩＤＴ電極を含み、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極がいずれも前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極において、前記複数の電極指が並んでいる方向のうち一方を第１の方向とし、前記第１の方向と逆の方向を第２の方向としたときに、前記第１のＩＤＴ電極が、前記外側方向が前記第１の方向である少なくとも１つの第１の領域と、前記外側方向が前記第２の方向である少なくとも１つの第２の領域と、を有し、前記第２のＩＤＴ電極が、少なくとも、前記外側方向が前記第２の方向である領域を有し、それぞれ前記ＩＤＴ電極を含む複数の弾性波共振子が構成されており、前記複数の弾性波共振子が、前記第１のＩＤＴ電極を含む第１の弾性波共振子と、前記第２のＩＤＴ電極を含む第２の弾性波共振子と、を含み、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子が、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されており、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の領域の面積の合計が前記第２の領域の面積の合計よりも大きく、前記第１のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、前記第２のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち他方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっている、弾性波装置。
【0223】
＜５＞前記複数の弾性波共振子が、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子の双方と、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されている少なくとも１つの第３の弾性波共振子を含み、前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方であり、前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記外側方向が前記第１の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記外側方向が前記第２の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、前記第１の弾性波共振子、前記第２の弾性波共振子及び前記少なくとも１つの第３の弾性波共振子のうち、前記第２の弾性波共振子の静電容量が最も小さい、＜１＞に記載の弾性波装置。
【0224】
＜６＞前記複数の弾性波共振子が、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子の双方と、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されている少なくとも１つの第３の弾性波共振子を含み、前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方であり、前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記外側方向が前記第１の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記外側方向が前記第２の方向である前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極のうち、前記第２のＩＤＴ電極の前記複数の電極指の対数が最も多い、＜１＞に記載の弾性波装置。
【0225】
＜７＞前記曲線状ＩＤＴ電極における前記電極指の前記曲線状の形状の部分の、前記複数の電極指が並んでいる方向において凸となっている方向が、前記曲線状の形状の部分の外側方向であり、前記第１のＩＤＴ電極における前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方であり、前記第２のＩＤＴ電極の前記外側方向が前記第１の方向及び前記第２の方向のうち他方である、＜２＞に記載の弾性波装置。
【0226】
＜８＞前記複数の弾性波共振子が、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子の双方と、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されている少なくとも１つの第３の弾性波共振子を含み、前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記第２の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、前記第１の弾性波共振子、前記第２の弾性波共振子及び前記少なくとも１つの第３の弾性波共振子のうち、前記第２の弾性波共振子の静電容量が最も小さい、＜２＞に記載の弾性波装置。
【0227】
＜９＞前記複数の弾性波共振子が、前記第１の弾性波共振子及び前記第２の弾性波共振子の双方と、他の前記弾性波共振子を介さずに接続されている少なくとも１つの第３の弾性波共振子を含み、前記複数のＩＤＴ電極が少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３の弾性波共振子が前記第３のＩＤＴ電極を含み、前記第３のＩＤＴ電極が前記曲線状ＩＤＴ電極であり、前記第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向及び前記第２の方向のうち一方に向かうにつれて前記電極指の長さが長くなっており、前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極において、前記第１の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計が、前記第２の方向に向かうにつれて前記電極指が長くなっている前記ＩＤＴ電極の個数の合計以上であり、前記第１のＩＤＴ電極、前記第２のＩＤＴ電極及び前記少なくとも１つの第３のＩＤＴ電極のうち、前記第２のＩＤＴ電極の前記複数の電極指の対数が最も多い、＜２＞に記載の弾性波装置。
【0228】
＜１０＞前記第１のＩＤＴ電極の形状及び前記第２のＩＤＴ電極の形状が線対称の関係である、＜１＞、＜２＞または＜７＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0229】
＜１１＞前記第１のＩＤＴ電極及び前記第２のＩＤＴ電極の形状が同じであり、前記圧電性基板上において、前記第２のＩＤＴ電極の配置が、前記第１のＩＤＴ電極が１８０°回転した配置に相当する、＜１＞、＜２＞または＜７＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0230】
＜１２＞前記第１の弾性波共振子の静電容量及び前記第２の弾性波共振子の静電容量の差が、０．３５ｐＦ以下である、＜１＞、＜２＞、＜６＞、＜７＞または＜９＞～＜１１＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0231】
＜１３＞前記圧電体層の材料としてＸ伝搬の圧電体が用いられており、前記第１の方向が、Ｘ伝搬の方向における正の方向及び負の方向のうち一方であり、前記第２の方向が、Ｘ伝搬の方向における正の方向及び負の方向のうち他方である、＜１＞～＜１２＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0232】
＜１４＞前記圧電性基板が支持基板を有し、前記支持基板上に前記圧電体層が設けられている、＜１＞～＜１３＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【0233】
＜１５＞前記圧電性基板が、前記支持基板及び前記圧電体層の間に設けられている中間層を有する、＜１４＞に記載の弾性波装置。
【0234】
＜１６＞前記圧電性基板において中空部が構成されており、前記支持基板の一部と、前記圧電体層の一部とが、前記中空部を挟み互いに対向している、＜１４＞に記載の弾性波装置。
【0235】
＜１７＞前記圧電性基板が前記圧電体層のみからなる、＜１＞～＜１３＞のいずれか１つに記載の弾性波装置。
【符号の説明】
【0236】
１Ａ～１Ｃ…第１～第３の弾性波共振子
１Ｄ…第２の弾性波共振子
２…圧電性基板
３…支持部材
４…支持基板
５…中間層
５ａ，５ｂ…第１，第２の層
６…圧電体層
６ａ，６ｂ…第１，第２の主面
８Ａ，８Ｂ…第１，第２のＩＤＴ電極
９Ａ，９Ｂ…反射器
９ｃ…反射器電極指
１０…弾性波装置
１４Ａ，１４Ｂ…第１のバスバー
１５Ａ，１５Ｂ…第２のバスバー
１６Ａ，１６Ｂ…第１の電極指
１７Ａ，１７Ｂ…第２の電極指
１８，１９…第１，第２のオフセット電極
２１Ａ～２１Ｃ…第１～第３の弾性波共振子
２１Ｅ，２１Ｆ…第１，第２の弾性波共振子
２６Ａ，２６Ｂ…第１の電極指
２７Ａ…第２の電極指
２８Ａ，２８Ｂ…第１，第２のＩＤＴ電極
２８Ｃ…第１のＩＤＴ電極
２８Ｅ，２８Ｆ…第１，第２のＩＤＴ電極
２９…第２のオフセット電極
３１Ｂ…第２の弾性波共振子
３８Ｂ…第２のＩＤＴ電極
４１Ａ…第１の弾性波共振子
４６Ａ，４７Ａ…第１，第２の電極指
４８Ａ，４８Ｃ…第１のＩＤＴ電極
５２，５２Ａ，５２Ｂ…圧電性基板
５２ｃ…中空部
５４…支持基板
５５，５５Ａ…中間層
５７…音響反射膜
５７ａ…高音響インピーダンス層
５７ｂ…低音響インピーダンス層
５７ｃ…高音響インピーダンス層
５７ｄ…低音響インピーダンス層
５７ｅ…高音響インピーダンス層
６９…保護膜
６９ａ，６９ｂ…第１，第２の保護層
７８…電極
８０…弾性波装置
８２，８３…第１，第２の信号端子
１００…弾性波装置
１０１Ｂ…第２の弾性波共振子
１０８Ｂ…第２のＩＤＴ電極
１１６Ｍ…第１の電極指
１１７Ｌ，１１７Ｎ…第２の電極指
１１８…直線状ＩＤＴ電極
１２５Ａ，１２５Ｄ…第２のバスバー
１２６Ｌ，１２６Ｎ，１２６Ｐ…第１の電極指
１２７Ｍ，１２７Ｏ～１２７Ｑ…第２の電極指
１２８Ａ，１２８Ｂ，１２８Ｄ…曲線状ＩＤＴ電極
１２９…配線
１７８Ａ…曲線状ＩＤＴ電極
Ｃ，Ｃ１，Ｃ２…定点
Ｆ…交叉領域
Ｎ，Ｎ１，Ｎ２…基準線
Ｐ１ａ，Ｐ１ｂ，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ２１…並列腕共振子
Ｓ１～Ｓ４，Ｓ１１，Ｓ１２ａ～Ｓ１２ｃ，Ｓ１３…直列腕共振子
Ｗ１～Ｗ３…第１～第３の曲線領域
１Ｄ…第２の弾性波共振子
２…圧電性基板
３…支持部材
４…支持基板
５…中間層
５ａ，５ｂ…第１，第２の層
６…圧電体層
６ａ，６ｂ…第１，第２の主面
８Ａ，８Ｂ…第１，第２のＩＤＴ電極
９Ａ，９Ｂ…反射器
９ｃ…反射器電極指
１０…弾性波装置
１４Ａ，１４Ｂ…第１のバスバー
１５Ａ，１５Ｂ…第２のバスバー
１６Ａ，１６Ｂ…第１の電極指
１７Ａ，１７Ｂ…第２の電極指
１８，１９…第１，第２のオフセット電極
２１Ａ～２１Ｃ…第１～第３の弾性波共振子
２１Ｅ，２１Ｆ…第１，第２の弾性波共振子
２６Ａ，２６Ｂ…第１の電極指
２７Ａ…第２の電極指
２８Ａ，２８Ｂ…第１，第２のＩＤＴ電極
２８Ｃ…第１のＩＤＴ電極
２８Ｅ，２８Ｆ…第１，第２のＩＤＴ電極
２９…第２のオフセット電極
３１Ｂ…第２の弾性波共振子
３８Ｂ…第２のＩＤＴ電極
４１Ａ…第１の弾性波共振子
４６Ａ，４７Ａ…第１，第２の電極指
４８Ａ，４８Ｃ…第１のＩＤＴ電極
５２，５２Ａ，５２Ｂ…圧電性基板
５２ｃ…中空部
５４…支持基板
５５，５５Ａ…中間層
５７…音響反射膜
５７ａ…高音響インピーダンス層
５７ｂ…低音響インピーダンス層
５７ｃ…高音響インピーダンス層
５７ｄ…低音響インピーダンス層
５７ｅ…高音響インピーダンス層
６９…保護膜
６９ａ，６９ｂ…第１，第２の保護層
７８…電極
８０…弾性波装置
８２，８３…第１，第２の信号端子
１００…弾性波装置
１０１Ｂ…第２の弾性波共振子
１０８Ｂ…第２のＩＤＴ電極
１１６Ｍ…第１の電極指
１１７Ｌ，１１７Ｎ…第２の電極指
１１８…直線状ＩＤＴ電極
１２５Ａ，１２５Ｄ…第２のバスバー
１２６Ｌ，１２６Ｎ，１２６Ｐ…第１の電極指
１２７Ｍ，１２７Ｏ～１２７Ｑ…第２の電極指
１２８Ａ，１２８Ｂ，１２８Ｄ…曲線状ＩＤＴ電極
１２９…配線
１７８Ａ…曲線状ＩＤＴ電極
Ｃ，Ｃ１，Ｃ２…定点
Ｆ…交叉領域
Ｎ，Ｎ１，Ｎ２…基準線
Ｐ１ａ，Ｐ１ｂ，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ２１…並列腕共振子
Ｓ１～Ｓ４，Ｓ１１，Ｓ１２ａ～Ｓ１２ｃ，Ｓ１３…直列腕共振子
Ｗ１～Ｗ３…第１～第３の曲線領域
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
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【図28】
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【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図37】
【図38】
【図39】
【図40】
【図41】
【図42】