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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024010549
(43)【公開日】2024-01-24
(54)【発明の名称】物体検出装置
(51)【国際特許分類】
H04R 1/02 20060101AFI20240117BHJP
G01S 7/521 20060101ALI20240117BHJP
G01S 15/931 20200101ALN20240117BHJP
【ＦＩ】
H04R1/02 330
G01S7/521 A
G01S15/931
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2022111942
(22)【出願日】2022-07-12
(71)【出願人】
【識別番号】000004695
【氏名又は名称】株式会社ＳＯＫＥＮ
(71)【出願人】
【識別番号】000004260
【氏名又は名称】株式会社デンソー
(74)【代理人】
【識別番号】110001128
【氏名又は名称】弁理士法人ゆうあい特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】中俣 景太
(72)【発明者】
【氏名】小山 優
(72)【発明者】
【氏名】上月 康平
【テーマコード（参考）】
5D019
5J083
【Ｆターム（参考）】
5D019AA22
5D019EE04
5D019FF01
5D019GG05
5J083AA02
5J083AB13
5J083AC16
5J083AC19
5J083AD04
5J083AF09
5J083BA01
5J083CA01
5J083CA20
5J083CB03
5J083CB09
(57)【要約】
【課題】バンパなど取付対象としての壁部に対する形状加工を必要とすることなく、その壁部の不要な振動を抑制することが可能な物体検出装置を提供する。
【解決手段】制振部材１６は壁部９４の一方面９４ａに貼り付けられ、その一方面９４ａ上で振動子１４を囲むように形成され、所定の制振部材料で構成されている。制振部材１６は第１短状構成部１６６と第２短状構成部１６８とを有する。そして、その第１、第２短状構成部１６６、１６８は、振動子１４の中心を通り第１方向Ｄ１に平行な縦断面において所定材料長さＬd1が制振部材１６の中で部分的に短くされた部分として構成される。その所定材料長さＬd1とは、制振部材１６のうち上記所定の制振部材料で構成された部分である所定材料部分１６４が第１方向Ｄ１に占める長さＬd1である。
【選択図】図３
【解決手段】制振部材１６は壁部９４の一方面９４ａに貼り付けられ、その一方面９４ａ上で振動子１４を囲むように形成され、所定の制振部材料で構成されている。制振部材１６は第１短状構成部１６６と第２短状構成部１６８とを有する。そして、その第１、第２短状構成部１６６、１６８は、振動子１４の中心を通り第１方向Ｄ１に平行な縦断面において所定材料長さＬd1が制振部材１６の中で部分的に短くされた部分として構成される。その所定材料長さＬd1とは、制振部材１６のうち上記所定の制振部材料で構成された部分である所定材料部分１６４が第１方向Ｄ１に占める長さＬd1である。
【選択図】図３
【特許請求の範囲】
【請求項1】
一方向（Ｄ１）に厚みを有する壁部（９４）に取り付けられる物体検出装置（１０）であって、
前記壁部のうち前記一方向の一方側に形成された一方面（９４ａ）との間で振動が伝達されるように該一方面に対して連結する振動子（１４）と、
前記壁部の前記一方面に貼り付けられ、該一方面上で前記振動子を囲むように形成され、所定材料で構成された制振部（１６）とを備え、
前記振動子は、該振動子に生じる振動と電気信号との一方を他方に変換する変換機能を有し、
前記制振部は短状構成部（１６６、１６８、１７８）を有し、
該短状構成部は、前記振動子の中心を通り前記一方向に平行な縦断面において、所定材料部分（１６４）が前記一方向に占める長さ（Ｌd1）が前記制振部の中で部分的に短くされた部分として構成され、
前記所定材料部分は、前記制振部のうち前記所定材料で構成された部分である、物体検出装置。
前記壁部のうち前記一方向の一方側に形成された一方面（９４ａ）との間で振動が伝達されるように該一方面に対して連結する振動子（１４）と、
前記壁部の前記一方面に貼り付けられ、該一方面上で前記振動子を囲むように形成され、所定材料で構成された制振部（１６）とを備え、
前記振動子は、該振動子に生じる振動と電気信号との一方を他方に変換する変換機能を有し、
前記制振部は短状構成部（１６６、１６８、１７８）を有し、
該短状構成部は、前記振動子の中心を通り前記一方向に平行な縦断面において、所定材料部分（１６４）が前記一方向に占める長さ（Ｌd1）が前記制振部の中で部分的に短くされた部分として構成され、
前記所定材料部分は、前記制振部のうち前記所定材料で構成された部分である、物体検出装置。
【請求項2】
前記振動子に対し前記一方向の前記一方側に配置され、該振動子が固定される固定部（２４、２４１、２４２）を備え、
前記制振部は前記固定部に連結している、請求項１に記載の物体検出装置。
前記制振部は前記固定部に連結している、請求項１に記載の物体検出装置。
【請求項3】
前記短状構成部は、前記所定材料とは異なる音響インピーダンスを有する部材で構成された異材部（１７４、１７５、１８０）を有し、
前記異材部は、前記縦断面において、前記一方向に垂直な方向（Ｄｒ、Ｄ２、Ｄ３）に間隔をあけて並ぶ２箇所の前記所定材料部分の間に形成されている、請求項１または２に記載の物体検出装置。
前記異材部は、前記縦断面において、前記一方向に垂直な方向（Ｄｒ、Ｄ２、Ｄ３）に間隔をあけて並ぶ２箇所の前記所定材料部分の間に形成されている、請求項１または２に記載の物体検出装置。
【請求項4】
前記短状構成部は複数設けられ、
前記異材部も複数設けられ、
複数の前記異材部には第１異材部（１７４）と第２異材部（１７５）とが含まれ、
前記第１異材部は、前記所定材料とは異なる音響インピーダンスを有する第１部材で構成され、
前記第２異材部は、前記所定材料と前記第１部材との何れとも異なる音響インピーダンスを有する第２部材で構成されている、請求項３に記載の物体検出装置。
前記異材部も複数設けられ、
複数の前記異材部には第１異材部（１７４）と第２異材部（１７５）とが含まれ、
前記第１異材部は、前記所定材料とは異なる音響インピーダンスを有する第１部材で構成され、
前記第２異材部は、前記所定材料と前記第１部材との何れとも異なる音響インピーダンスを有する第２部材で構成されている、請求項３に記載の物体検出装置。
【請求項5】
前記短状構成部は複数設けられ、
複数の前記短状構成部には、第１短状構成部（１６６）と、前記所定材料部分が前記一方向に占める前記長さが前記第１短状構成部とは異なる第２短状構成部（１６８）とが含まれる、請求項１または２に記載の物体検出装置。
複数の前記短状構成部には、第１短状構成部（１６６）と、前記所定材料部分が前記一方向に占める前記長さが前記第１短状構成部とは異なる第２短状構成部（１６８）とが含まれる、請求項１または２に記載の物体検出装置。
【請求項6】
前記短状構成部は、前記一方向に沿った方向視で前記振動子を囲むように配置される、請求項１または２に記載の物体検出装置。
【請求項7】
前記短状構成部は複数設けられ、
複数の前記短状構成部には、前記一方向に沿った方向視で前記振動子を囲むように配置される第１短状構成部（１６６）と第２短状構成部（１６８）とが含まれ、
前記第１短状構成部は、前記第２短状構成部に対し内周側に配置され、
前記第１短状構成部と前記第２短状構成部は、前記所定材料とは異なる音響インピーダンスを有する異材料部材で構成された異材部（１７４、１７５）をそれぞれ有し、
前記第１短状構成部と前記第２短状構成部とのそれぞれの前記異材部は、前記縦断面において、前記一方向に垂直な方向（Ｄｒ）に間隔をあけて並ぶ２箇所の前記所定材料部分の間に形成され、
前記第１短状構成部の前記異材部（１７４）の一部と前記第２短状構成部の前記異材部（１７５）の一部は、前記異材料部材で構成された部分（１７７）を介して連結されている、請求項１または２に記載の物体検出装置。
複数の前記短状構成部には、前記一方向に沿った方向視で前記振動子を囲むように配置される第１短状構成部（１６６）と第２短状構成部（１６８）とが含まれ、
前記第１短状構成部は、前記第２短状構成部に対し内周側に配置され、
前記第１短状構成部と前記第２短状構成部は、前記所定材料とは異なる音響インピーダンスを有する異材料部材で構成された異材部（１７４、１７５）をそれぞれ有し、
前記第１短状構成部と前記第２短状構成部とのそれぞれの前記異材部は、前記縦断面において、前記一方向に垂直な方向（Ｄｒ）に間隔をあけて並ぶ２箇所の前記所定材料部分の間に形成され、
前記第１短状構成部の前記異材部（１７４）の一部と前記第２短状構成部の前記異材部（１７５）の一部は、前記異材料部材で構成された部分（１７７）を介して連結されている、請求項１または２に記載の物体検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、壁部に取り付けられる物体検出装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
この種の物体検出装置として、例えば特許文献１に記載された障害物検出装置が従来から知られている。この特許文献１に記載された障害物検出装置は、バンパの内面に超音波振動子を含む超音波センサを取り付けたものである。この障害物検出装置は、バンパの内面から突き出た複数の突起から構成された突起構造を、バンパの一部分として備えている。
【0003】
この複数の突起は超音波振動子の周囲に配置されている。そして、超音波振動子の振動と共に複数の突起が振動させられ、これにより、バンパにおける不要な振動が低減される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００８－９６１１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
特許文献１の障害物検出装置を設けるためには、バンパの形状の一部として複数の突起が形成される必要があるので、複数の突起を形成するための加工をバンパ自体に施す必要がある。しかしながら、バンパは製品毎に材質や形状が異なるので、複数の突起を形成するための加工をバンパ自体に施す場合には、例えば、それぞれの製品毎に突起の設計が必要になる。発明者らの詳細な検討の結果、以上のようなことが見出された。
【0006】
本発明は上記点に鑑みて、バンパなど取付対象としての壁部に対する形状加工を必要とすることなく、その壁部の不要な振動を抑制することが可能な物体検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の物体検出装置は、
一方向（Ｄ１）に厚みを有する壁部（９４）に取り付けられる物体検出装置（１０）であって、
壁部のうち上記一方向の一方側に形成された一方面（９４ａ）との間で振動が伝達されるようにその一方面に対して連結する振動子（１４）と、
壁部の一方面に貼り付けられ、その一方面上で振動子を囲むように形成され、所定材料で構成された制振部（１６）とを備え、
振動子は、その振動子に生じる振動と電気信号との一方を他方に変換する変換機能を有し、
制振部は短状構成部（１６６、１６８、１７８）を有し、
その短状構成部は、振動子の中心を通り上記一方向に平行な縦断面において、所定材料部分（１６４）が上記一方向に占める長さ（Ｌd1）が制振部の中で部分的に短くされた部分として構成され、
所定材料部分は、制振部のうち上記所定材料で構成された部分である。
一方向（Ｄ１）に厚みを有する壁部（９４）に取り付けられる物体検出装置（１０）であって、
壁部のうち上記一方向の一方側に形成された一方面（９４ａ）との間で振動が伝達されるようにその一方面に対して連結する振動子（１４）と、
壁部の一方面に貼り付けられ、その一方面上で振動子を囲むように形成され、所定材料で構成された制振部（１６）とを備え、
振動子は、その振動子に生じる振動と電気信号との一方を他方に変換する変換機能を有し、
制振部は短状構成部（１６６、１６８、１７８）を有し、
その短状構成部は、振動子の中心を通り上記一方向に平行な縦断面において、所定材料部分（１６４）が上記一方向に占める長さ（Ｌd1）が制振部の中で部分的に短くされた部分として構成され、
所定材料部分は、制振部のうち上記所定材料で構成された部分である。
【0008】
このようにすれば、制振部が貼り付けられた壁部の曲げ剛性は、壁部の一方面に沿った向きで振動子から離れるに従って変動する。例えば、制振部が貼り付けられた壁部の曲げ剛性の高い部位とその曲げ剛性の低い部位とが、壁部の一方面に沿った向きで振動子から離れるに従って交互に存在することになる。そして、その曲げ剛性が高いほど、制振部が貼り付けられた壁部は振動しにくくなる。すなわち、壁部では、振動しにくい部位と振動しやすい部位とが、壁部の一方面に沿った向きで振動子から離れるに従って交互に設けられることになる。
【0009】
従って、振動子を囲む制振部の内周側から外周側へ伝わる壁部の振動、および制振部の外周側から内周側へ伝わる壁部の振動が何れも減衰しやすくなる。すなわち、そのように伝わる壁部の振動を低減することができる。そのため、壁部のうち振動子に対し対向する対向部位の周辺に位置する周辺部位での振動（すなわち、壁部の不要な振動）を抑制することが可能である。
【0010】
そして、制振部は壁部の一方面に貼り付けられるので、取付対象としての壁部に対する形状加工を必要とすることがない。
【0011】
なお、出願書類中の各欄において、各要素に括弧付きの参照符号が付されている場合がある。この場合、参照符号は、同要素と後述する実施形態に記載の具体的構成との対応関係の単なる一例を示すものであるにすぎない。よって、本発明は、参照符号の記載によって、何ら限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】第１実施形態において、超音波センサを搭載した車両の外観を示した斜視図である。
【図2】第１実施形態において、超音波センサを用いた物体検知システムの概略構成を示す機能ブロック図である。
【図3】第１実施形態において、超音波センサの概略構成を模式的に示した縦断面図である。
【図10】第２実施形態の超音波センサにおいて、壁部と固定基盤部との間で制振部材の第１、第２部分空間を通る振動の振動波形を模式的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、図面を参照しながら、各実施形態を説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【0014】
（第１実施形態）
図１、図２に示すように、本実施形態の超音波センサ１０は、例えば、移動体としての車両９０に搭載される。そして、その超音波センサ１０は、車両９０に搭載されることで、その車両９０の周囲の外部空間ＳＧに存在する物体Ｂ（例えば障害物）の存在状態に対応する検知信号を生成および出力するように構成されている。すなわち、超音波センサ１０は、車両９０を取付対象とする車載型のクリアランスソナーとしての構成を有している。この超音波センサ１０は、本開示の物体検出装置に対応する。
図１、図２に示すように、本実施形態の超音波センサ１０は、例えば、移動体としての車両９０に搭載される。そして、その超音波センサ１０は、車両９０に搭載されることで、その車両９０の周囲の外部空間ＳＧに存在する物体Ｂ（例えば障害物）の存在状態に対応する検知信号を生成および出力するように構成されている。すなわち、超音波センサ１０は、車両９０を取付対象とする車載型のクリアランスソナーとしての構成を有している。この超音波センサ１０は、本開示の物体検出装置に対応する。
【0015】
車両９０は、典型的には、いわゆる四輪自動車であって、箱状の車体９１を備えている。車体９１は、外板を構成する板状のボディ部品である、車体パネル９２およびバンパ９３を備えている。バンパ９３は、車体９１の前端部および後端部のそれぞれに設けられている。本実施形態においては、超音波センサ１０は、バンパ９３に取り付けられるように構成されている。超音波センサ１０がバンパ９３に取り付けられることで車両９０に搭載された状態を、以下「搭載状態」と称する。
【0016】
具体的に、複数（例えば４つ）の超音波センサ１０が、搭載状態にて、フロントバンパすなわち車体９１における前面側のバンパ９３に取り付けられている。そのフロントバンパに取り付けられた複数の超音波センサ１０は、それぞれ、少なくとも車幅方向について異なる位置に配置されている。これと同様に、複数（例えば４つ）の超音波センサ１０が、搭載状態にて、リアバンパすなわち車体９１における後面側のバンパ９３にも取り付けられている。
【0017】
なお、図１にて超音波センサ１０が、隠れ線である破線で示されていることから判るように、超音波センサ１０はバンパ９３の外観に表れずにバンパ９３の内側に取り付けられている。
【0018】
図２に示すように、超音波センサ１０は、物体Ｂを検知する物体検知システム７０の一部を構成するものである。その物体検知システム７０は、複数の超音波センサ１０に加えて、送信部７０１と、受信部７０２と、信号生成部７０３と、信号処理部７０４と、物体検知部７０５と、制御部７０６とを備えている。
【0019】
送信部７０１は、超音波センサ１０に駆動信号を入力するように、超音波センサ１０に電気接続されている。具体的に、送信部７０１は、デジタル／アナログ変換回路等を有している。すなわち、送信部７０１は、信号生成部７０３から出力された送信信号に対してデジタル／アナログ変換等の処理を施し、これにより生成された駆動信号としての交流電圧を超音波センサ１０の振動子１４に印加するように構成されている。
【0020】
受信部７０２は、超音波センサ１０における超音波の受信結果に対応して振動子１４にて生成された受信信号に対して増幅やアナログ／デジタル変換等の信号処理を行って信号処理部７０４に出力するように設けられている。具体的に、受信部７０２は、増幅回路やアナログ／デジタル変換回路等を有している。送信部７０１および受信部７０２は、複数の超音波センサ１０の各々に対応して設けられ得る。
【0021】
信号生成部７０３は、所定周波数の送信波（言い換えると、探査波）を超音波センサ１０にて出力するための送信信号を生成して送信部７０１に入力するように設けられている。具体的に、信号生成部７０３は、制御部７０６から出力された送信指示を示す電気信号に基づいて、駆動信号の周波数を変更可能に構成されている。
【0022】
信号処理部７０４は、受信部７０２から出力された受信信号に対してフィルタ処理等の各種信号処理を行うように設けられている。また、信号処理部７０４は、各種信号処理の結果である処理信号を物体検知部７０５に出力するように設けられている。
【0023】
物体検知部７０５は、車両９０（図１参照）の周囲に存在する物体Ｂに探査波が反射して生じた反射波を含む受信波の受信結果に基づいて、かかる物体Ｂの形状を計測するようになっている。そして、物体検知部７０５は、その反射波の受信結果に基づいて得た物体Ｂの形状等を示す検知結果を制御部７０６へ出力する。
【0024】
例えば、信号生成部７０３、信号処理部７０４、および物体検知部７０５はそれぞれ、所定のプログラムに従って動作するＤＳＰを含んで構成されている。ＤＳＰはDigital Signal Processorの略である。また、信号生成部７０３、信号処理部７０４、および物体検知部７０５は、複数の超音波センサ１０に対し共通して設けられ得る。
【0025】
制御部７０６は、図示しないＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、不揮発性リライタブルメモリ等を備えた車載マイクロコンピュータとしての構成を有している。すなわち、制御部７０６は、非遷移的実体的記録媒体であるＲＯＭまたは不揮発性リライタブルメモリに格納されたコンピュータプログラムを読み出して実行する。このコンピュータプログラムが実行されることで、コンピュータプログラムに対応する方法が実行される。
【0026】
例えば、制御部７０６は、所定の制御プログラムを読み出して実行することにより、複数の超音波センサ１０の各々における送受信動作を含む、物体検知システム７０の種々の動作を制御する。また、制御部７０６は、物体検知部７０５から得られた検知結果を外部装置に出力する。なお、制御部７０６は、複数の超音波センサ１０に対し共通して設けられている。
【0027】
【0028】
超音波センサ１０は、バンパ９３のうちの一部分である壁部９４に取り付けられる。例えば、超音波センサ１０は、超音波である送信波を送信する場合には、駆動信号に応じて壁部９４を所定の第１方向Ｄ１に超音波振動させることにより、その送信波を送信する。また、超音波センサ１０は、車両９０（図１参照）の周囲に存在する物体Ｂ（図２参照）に送信波が反射して生じた反射波を含む受信波を外部空間ＳＧから受信して、その受信波の受信結果に応じた受信信号を生成および出力するように構成されている。
【0029】
なお、第１方向Ｄ１は本開示の一方向に対応する。また、本実施形態の説明では、第１方向Ｄ１に垂直な任意の１つの方向が第２方向Ｄ２とされ、その第１方向Ｄ１と第２方向Ｄ２との両方に垂直な方向が第３方向Ｄ３とされる。また、図３は、超音波センサ１０が有する振動子１４の中心を通り第１方向Ｄ１に平行な縦断面、具体的には、図４のIII－III断面を示している。
【0030】
【0031】
また、壁部９４は、第１方向Ｄ１の一方側に形成された一方面９４ａと、第１方向Ｄ１の一方側とは反対側である他方側に形成された他方面９４ｂとを有している。壁部９４はバンパ９３のうちの一部分であるので、壁部９４の他方面９４ｂは、バンパ９３の表面（言い換えれば、意匠面）の一部を構成し、図３のバンパ９３がフロントバンパであれば、車両前方を向いた面になる。従って、壁部９４の一方面９４ａは、車両９０の外観に表れないバンパ９３の内面になる。なお、バンパ９３は、例えばポリプロピレンなどの樹脂で構成されている。
【0032】
超音波センサ１０は、振動子１４と制振部材１６と介在接着層２２とを備えている。超音波センサ１０は壁部９４の一方面９４ａに取り付けられる。すなわち、その壁部９４の一方面９４ａは、超音波センサ１０が取り付けられる取付面である。そのため、振動子１４、制振部材１６、および介在接着層２２など、超音波センサ１０の構成要素は全て、壁部９４に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置される。
【0033】
振動子１４は、壁部９４の一方面９４ａに対し連結している。具体的には、振動子１４は、介在接着層２２を介して壁部９４の一方面９４ａに接着固定されている。この接着固定により、振動子１４と壁部９４との間で振動が伝達可能となっている。
【0034】
そして、超音波センサ１０が送信波を送信する場合に、振動子１４は、壁部９４の一方面９４ａに超音波振動を印加する。逆に、壁部９４が外部空間ＳＧから反射波を受けた場合には、その反射波による壁部９４の振動が壁部９４から振動子１４へ伝達される。
【0035】
具体的には図３、図４に示すように、振動子１４は、第１方向Ｄ１の超音波振動と電気信号との一方から他方への変換機能を奏する、電気－機械エネルギー変換素子としての駆動素子を含んで構成されている。例えば、その駆動素子は、積層された複数の圧電素子（言い換えれば、ピエゾ素子）によって構成されている。
【0036】
このような構成から、振動子１４は、送信部７０１（図２参照）から駆動信号としての電気信号が与えられることにより、第１方向Ｄ１に伸縮する超音波振動を発生する。また、振動子１４は、第１方向Ｄ１の超音波振動を受けることにより、その超音波振動に応じた受信信号としての電気信号を発生し、その電気信号を受信部７０２（図２参照）へ出力する。
【0037】
すなわち、本実施形態の振動子１４は、電気信号を超音波振動に変換しその超音波振動を発する送信機能と、振動子１４が受けた超音波振動を電気信号に変換しその電気信号を出力する受信機能との両方を有している。要するに、振動子１４は、電気信号と振動子１４に生じる超音波振動との一方を他方に変換する変換機能を有している。
【0038】
また、振動子１４は、その振動子１４のうち第１方向Ｄ１の一方側に形成された一端面１４１と、振動子１４のうち第１方向Ｄ１の他方側に形成された他端面１４２とを有している。振動子１４の他端面１４２は壁部９４の一方面９４ａに対向し、介在接着層２２を介して壁部９４の一方面９４ａに接着されている。
【0039】
制振部材１６は、壁部９４に発生する不要な振動を抑制する制振部である。この制振部材１６は、壁部９４の一方面９４ａ上で振動子１４をその振動子１４の全周にわたって囲むように環状に形成されている。そのため、制振部材１６の内側には、制振部材１６を第１方向Ｄ１に貫通した貫通孔として形成され振動子１４を収容する収容空間１６ａが形成されている。
【0040】
詳細には、制振部材１６は、第１方向Ｄ１に延伸する軸心である制振部軸心ＣＬを中心として円環状に形成され、その制振部軸心ＣＬが振動子１４の中心を通るように配置されている。そのため、第１方向Ｄ１は制振部軸心ＣＬの軸方向に該当し、第２方向Ｄ２と第３方向Ｄ３はそれぞれ制振部軸心ＣＬの径方向Ｄｒ（すなわち、制振部径方向Ｄｒ）のうちの１つの方向に該当する。
【0041】
制振部材１６は、その制振部材１６のうち第１方向Ｄ１の一方側に形成された一端面１６１と、制振部材１６のうち第１方向Ｄ１の他方側に形成された他端面１６２とを有している。この制振部材１６の他端面１６２は、壁部９４の一方面９４ａに貼り付けられる貼付面である。具体的に、制振部材１６の他端面１６２は壁部９４の一方面９４ａに対向し、介在接着層２２を介して壁部９４の一方面９４ａに接着されている。要するに、制振部材１６は、介在接着層２２によって壁部９４の一方面９４ａに貼り付けられ、これにより、その一方面９４ａに接着固定されている。
【0042】
また、制振部材１６は所定の制振部材料で構成されている。その所定の制振部材料としては、例えば種々の樹脂材料を採用することができ、本実施形態では、所定の制振部材料としてＰＢＴが採用されている。ＰＢＴとは、ＰＢＴはｐｏｌｙｂｕｔｙｌｅｎｅ ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅの略である。所定の制振部材料は本開示の所定材料に対応する。
【0043】
また、図３、図５に示すように、制振部材１６には、第１方向Ｄ１の他方側から切り込まれるように形成された溝形状を成す第１部分空間１６ｂと第２部分空間１６ｃとが形成されている。これらの第１部分空間１６ｂと第２部分空間１６ｃはそれぞれ、制振部材１６に部分的に形成された空間である。例えば本実施形態では、第１方向Ｄ１における第１部分空間１６ｂの空間長Ｌsp（言い換えれば、第１部分空間１６ｂの溝深さ）は、第２部分空間１６ｃのそれと同じである。
【0044】
第１部分空間１６ｂと第２部分空間１６ｃはそれぞれ、第１方向Ｄ１に沿った方向視で振動子１４を囲むように環状に延伸した環状溝である。例えば、第１部分空間１６ｂと第２部分空間１６ｃは空気で満たされている。なお、図５では、振動子１４の図示が省略されている。
【0045】
ここで、制振部材１６には第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃが設けられているが、壁部９４と制振部材１６との間の接着力アップのためには、壁部９４の一方面９４ａに接着される制振部材１６の他端面１６２の面積は広い方がよい。本実施形態では、壁部９４と制振部材１６との間の接着力が十分に得られるように第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃが設けられている。その上で、例えば、第１方向Ｄ１の他方側からの方向視で表れる第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃの合計面積が、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃが除かれた他端面１６２の面積に対して同じまたはそれ以上とされている。
【0046】
具体的に、第１部分空間１６ｂと第２部分空間１６ｃは制振部軸心ＣＬを中心として円環形状を成し、その制振部軸心ＣＬを中心とした円環形状を成しながら第１方向Ｄ１に延伸した空間として形成されている。そして、第１部分空間１６ｂは、第２部分空間１６ｃに対し内周側（言い換えれば、振動子１４側）に配置されている。なお、制振部材１６の内周側、第１部分空間１６ｂの内周側、および第２部分空間１６ｃの内周側は何れも、言い換えれば、制振部径方向Ｄｒの内側である。
【0047】
このように第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃが形成されているので、図３の縦断面では、制振部材１６のうちの所定材料部分１６４が第１方向Ｄ１に占める長さＬd1（すなわち、所定材料長さＬd1）が、制振部材１６の部位によって異なる。その所定材料部分１６４とは、制振部材１６のうち上記所定の制振部材料で構成された部分である。
【0048】
すなわち、制振部材１６は、図３の縦断面において所定材料長さＬd1が制振部材１６の中で部分的に短くされた部分として構成された第１短状構成部１６６と第２短状構成部１６８とを有する。そして、制振部材１６は、第１、第２短状構成部１６６、１６８に比して所定材料長さＬd1が長い第１、第２、第３長状構成部１６５、１６７、１６９も有する。
【0049】
それらの構成部１６５～１６９は何れも、制振部軸心ＣＬを中心として円環状に構成される。言い換えると、それらの構成部１６５～１６９は何れも、第１方向Ｄ１に沿った方向視で振動子１４を囲むように配置される。
【0050】
また、それらの構成部１６５～１６９は、第１長状構成部１６５、第１短状構成部１６６、第２長状構成部１６７、第２短状構成部１６８、第３長状構成部１６９の順に、制振部材１６の内周側から積層配置されている。また、それらの構成部１６５～１６９は一体に構成されている。
【0051】
なお、本実施形態の説明では、制振部材１６における所定材料部分１６４のうち、第１長状構成部１６５に属する部分が第１長状構成部１６５の所定材料部分１６４ａと称される場合がある。また、所定材料部分１６４のうち、第２長状構成部１６７に属する部分が第２長状構成部１６７の所定材料部分１６４ｃと称される場合がある。また、所定材料部分１６４のうち、第３長状構成部１６９に属する部分が第３長状構成部１６９の所定材料部分１６４ｅと称される場合がある。また、所定材料部分１６４のうち、第１短状構成部１６６に属する部分が第１短状構成部１６６の所定材料部分１６４ｂと称される場合がある。また、所定材料部分１６４のうち、第２短状構成部１６８に属する部分が第２短状構成部１６８の所定材料部分１６４ｄと称される場合がある。
【0052】
また、制振部材１６の第１部分空間１６ｂは、第１短状構成部１６６の所定材料部分１６４ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側に直列に並んで配置され、その第１短状構成部１６６の所定材料部分１６４ｂは第１部分空間１６ｂの底を形成している。従って、第１部分空間１６ｂは、第１短状構成部１６６の一部分として形成されている。
【0053】
そして、第１長状構成部１６５の所定材料部分１６４ａは制振部材１６の内周側から第１部分空間１６ｂに面し、第２長状構成部１６７の所定材料部分１６４ｃは制振部材１６の外周側から第１部分空間１６ｂに面する。すなわち、第１部分空間１６ｂは、図３の縦断面において、第１方向Ｄ１に垂直な制振部径方向Ｄｒに間隔をあけて並ぶ２箇所の所定材料部分１６４ａ、１６４ｃの間に形成されている。
【0054】
これと同様に、制振部材１６の第２部分空間１６ｃは、第２短状構成部１６８の所定材料部分１６４ｄに対し第１方向Ｄ１の他方側に直列に並んで配置され、その第２短状構成部１６８の所定材料部分１６４ｄは第２部分空間１６ｃの底を形成している。従って、第２部分空間１６ｃは、第２短状構成部１６８の一部分として形成されている。
【0055】
そして、第２長状構成部１６７の所定材料部分１６４ｃは制振部材１６の内周側から第２部分空間１６ｃに面し、第３長状構成部１６９の所定材料部分１６４ｅは制振部材１６の外周側から第２部分空間１６ｃに面する。すなわち、第２部分空間１６ｃは、図３の縦断面において、制振部径方向Ｄｒに間隔をあけて並ぶ２箇所の所定材料部分１６４ｃ、１６４ｅの間に形成されている。
【0056】
介在接着層２２は、振動子１４および制振部材１６のそれぞれと壁部９４との間に介在する接着層である。具体的に、介在接着層２２は振動子１４の他端面１４２と壁部９４の一方面９４ａとの間に配置され、振動子１４と壁部９４とを接着固定する。それと共に、介在接着層２２は制振部材１６の他端面１６２と壁部９４の一方面９４ａとの間にも配置され、制振部材１６と壁部９４とを接着固定する。
【0057】
例えば、介在接着層２２は、接着テープで構成されていてもよいし、壁部９４の一方面９４ａに塗布された接着剤が固化することにより接着作用を奏するものであってもよい。
【0058】
介在接着層２２の構成材料としては、例えば、エポキシ系樹脂など種々の合成樹脂材料を採用することができる。この介在接着層２２の厚みは、送受信波の波長に対して充分小さい厚さ（例えば、１００μｍ以下あるいは波長の８分の１未満となるような厚さ）に形成されている。また、介在接着層２２は、その構成材料の選定などにより、介在接着層２２の音響インピーダンスが振動子１４の他端面１４２における音響インピーダンスと壁部９４の音響インピーダンスとの間の大きさになるように構成されている。
【0059】
なお、本実施形態の説明において、超音波振動の伝達に関与し且つ厚みについての説明が省略された、介在接着層２２以外の接着層があれば、その接着層も、介在接着層２２と同様に、送受信波の波長に対して充分小さい厚さに形成されているものとする。
【0060】
上述したように、本実施形態によれば、図３、図５に示すように、制振部材１６は壁部９４の一方面９４ａに貼り付けられ、その一方面９４ａ上で振動子１４を囲むように形成され、所定の制振部材料で構成されている。制振部材１６は第１短状構成部１６６と第２短状構成部１６８とを有する。そして、その第１、第２短状構成部１６６、１６８は、図３の縦断面において所定材料長さＬd1が制振部材１６の中で部分的に短くされた部分として構成される。なお、その所定材料長さＬd1とは、上記所定の制振部材料で構成された所定材料部分１６４が第１方向Ｄ１に占める長さＬd1である。
【0061】
このようなことから、制振部材１６が貼り付けられた壁部９４の曲げ剛性は、壁部９４の一方面９４ａに沿った向きで振動子１４から離れるに従って変動する。例えば、制振部材１６が貼り付けられた壁部９４の曲げ剛性の高い部位とその曲げ剛性の低い部位とが、壁部９４の一方面９４ａに沿った向きで振動子１４から離れるに従って交互に存在することになる。そして、その曲げ剛性が高いほど、制振部材１６が貼り付けられた壁部９４は振動しにくくなる。すなわち、壁部９４では、振動しにくい部位と振動しやすい部位とが、壁部９４の一方面９４ａに沿った向きで振動子１４から離れるに従って交互に設けられることになる。
【0062】
従って、振動子１４を囲む制振部材１６の内周側から外周側へ伝わる壁部９４の振動、および制振部材１６の外周側から内周側へ伝わる壁部９４の振動が何れも減衰しやすくなる。すなわち、そのように伝わる壁部９４の振動を低減することができる。そのため、図６に示すように、壁部９４のうち振動子１４に対し対向する対向部位ＰＡ（すなわち、振動子対向部位ＰＡ）の周辺に位置する周辺部位での振動（すなわち、壁部９４の不要な振動）を抑制することが可能である。なお、図６では、振動子対向部位ＰＡが占める範囲は破線で表示されている。
【0063】
そして、壁部９４の不要な振動が抑制されるので、振動子１４から印加され壁部９４から第１方向Ｄ１の他方側へ伝わる振動が外部空間ＳＧで乱れて拡がることを抑制することができる。
【0064】
例えば図７に示すように、制振部材１６において第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃが設けられていない比較例の超音波センサ９７を想定してみる。その比較例の超音波センサ９７は、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃが設けられていないことを除き、本実施形態の超音波センサ１０と同じである。
【0065】
この場合、例えば振動子１４から壁部９４の一方面９４ａに超音波振動が印加されると、比較例では、本実施形態と比較して、その振動子１４から印加された超音波振動は、壁部９４の振動子対向部位ＰＡからその周辺に位置する周辺部位にも拡がりやすい。
【0066】
すなわち、図６、図７に示すように、比較例では、壁部９４のうち振動子対向部位ＰＡからだけでなくその周辺部位からも超音波振動は外部空間ＳＧへ発せられる。これに対し、本実施形態では比較例よりも、壁部９４のうち、超音波振動を外部空間ＳＧへ発する部位を振動子対向部位ＰＡに絞ることが可能である。なお、図６、図７に表示された複数の円弧は、壁部９４から外部空間ＳＧへ発せられた超音波を模式的に表している。
【0067】
また、制振部材１６は壁部９４の一方面９４ａに貼り付けられるので、取付対象としての壁部９４に対する形状加工を必要とすることがない。例えば、壁部９４を含むバンパ９３に対し超音波センサ１０を容易に後付けすることが可能である。
【0068】
（１）また、本実施形態によれば、図３、図５に示すように、第１、第２短状構成部１６６、１６８は、第１方向Ｄ１に沿った方向視で振動子１４を囲むように配置される。従って、制振部材１６が貼り付けられた壁部９４の曲げ剛性の高い部位とその曲げ剛性の低い部位とを振動子１４の周りで制振部径方向Ｄｒに交互に配置することができる。そのため、壁部９４において振動子対向部位ＰＡ（図６参照）からその周辺へ拡がるように伝わる振動、および振動子対向部位ＰＡの周辺から振動子対向部位ＰＡへ向かうように伝わる振動を段階的に減衰させることができる。要するに、壁部９４で振動子対向部位ＰＡを中心に放射線状に伝わる振動を減衰させることができる。
【0069】
また、本実施形態によれば、図３に示すように、第１方向Ｄ１における制振部材１６の第１部分空間１６ｂと壁部９４の一方面９４ａとの間隔は介在接着層２２の厚みと同じまたは略同じである。すなわち、第１方向Ｄ１における制振部材１６の第１部分空間１６ｂと壁部９４の一方面９４ａとの間隔は、その第１部分空間１６ｂが第１方向Ｄ１に占める長さに比して小さい。このことは第２部分空間１６ｃに関しても同様である。
【0070】
そのため、例えば第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃと一方面９４ａとの間隔が本実施形態に比して大きい場合と比較して、制振部材１６が貼り付けられた壁部９４の曲げ剛性の高い部位とその曲げ剛性の低い部位との間の剛性差を大きくすることが可能である。従って、壁部９４において振動子対向部位ＰＡからその周辺部位へ伝わる振動、およびその周辺部位から振動子対向部位ＰＡへ伝わる振動を一層減衰させることが可能である。
【0071】
また、本実施形態によれば、図３に示すように、制振部材１６の第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃにおいて第１方向Ｄ１の他方側は制振部材１６の単体では開放されているが、介在接着層２２と壁部９４の一方面９４ａとによって塞がれている。これにより、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃは、密閉された空間になっている。従って、この第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃ内に例えば泥や水などの異物が侵入することを防止することが可能である。
【0072】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１実施形態と異なる点を主として説明する。また、前述の実施形態と同一または均等な部分については省略または簡略化して説明する。このことは後述の実施形態の説明においても同様である。
次に、第２実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１実施形態と異なる点を主として説明する。また、前述の実施形態と同一または均等な部分については省略または簡略化して説明する。このことは後述の実施形態の説明においても同様である。
【0073】
図８に示すように、本実施形態では、超音波センサ１０は、第１実施形態と同様に、振動子１４と制振部材１６と介在接着層２２とを備えている。それに加え、超音波センサ１０は、固定部としての固定部材２４を備えている。
【0074】
図８、図９に示すように、固定部材２４は、固定基盤部２４１と固定突出部２４２とを有している。この固定基盤部２４１と固定突出部２４２は一体構成になっている。例えば、固定部材２４は、ＰＢＴなどの高剛性の樹脂材料で構成されている。固定部材２４は、振動子１４に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置されている。
【0075】
固定基盤部２４１は制振部材１６と同心の円盤形状を成し、固定基盤部２４１の外径は制振部材１６の外径と同じまたは略同じになっている。固定基盤部２４１は、制振部材１６と振動子１４との両方に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置されている。
【0076】
固定基盤部２４１は、固定基盤部２４１のうち第１方向Ｄ１の一方側に形成された一端面２４１ａと、固定基盤部２４１のうち第１方向Ｄ１の他方側に形成された他端面２４１ｂとを有している。
【0077】
固定基盤部２４１の他端面２４１ｂは制振部材１６の一端面１６１に対向し、その一端面１６１に対し接着などによって接合されている。要するに、制振部材１６は固定部材２４に連結している。これにより、固定部材２４は、振動子１４の周囲で壁部９４に対して固定されている。
【0078】
また、固定基盤部２４１は、制振部材１６の収容空間１６ａにも面しており、その収容空間１６ａを第１方向Ｄ１の一方側から塞いでいる。そして、その収容空間１６ａにおける第１方向Ｄ１の他方側は、第１実施形態と同様のことではあるが、介在接着層２２と壁部９４の一方面９４ａとによって塞がれている。従って、本実施形態の収容空間１６ａは、密閉された空間になっている。
【0079】
固定突出部２４２は、固定基盤部２４１の他端面２４１ｂから第１方向Ｄ１の他方側へ突き出ており、制振部材１６の収容空間１６ａ内に入り込むように設けられている。そして、固定突出部２４２は、第１方向Ｄ１の他方側に形成された先端面２４２ａを有している。
【0080】
その固定突出部２４２の先端面２４２ａは、振動子１４の一端面１４１に対向して突き当たっている。例えば、固定突出部２４２の先端面２４２ａは振動子１４の一端面１４１に対し接着などによって接合されていてもよいし、その一端面１４１に対し接合されずに押し付けられているだけでもよい。要するに、振動子１４が固定突出部２４２に対して固定されていればよい。
【0081】
（１）上述したように、本実施形態によれば、超音波センサ１０は固定部材２４を備え、その固定部材２４は振動子１４に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置され、固定部材２４にはその振動子１４が固定される。そして、制振部材１６は固定部材２４に連結している。従って、振動子１４の振動に伴って振動子１４が壁部９４を押したときの反動を固定部材２４で受け止め、壁部９４をしっかり振動させることが可能である。
【0082】
また、本実施形態では、振動子１４が固定部材２４にも固定されるので、振動子１４から固定部材２４と制振部材１６とを介して壁部９４に伝わる振動もあり、またその逆の順序で伝わる振動もある。この固定部材２４を介した振動は、制振部材１６の第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃでの音響インピーダンス変化に起因して吸収されまたは反射される。
【0083】
また、制振部材１６において第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃ内の空気の音響インピーダンスと所定材料部分１６４の音響インピーダンスは相違する。そして、壁部９４と固定基盤部２４１との間で制振部材１６に伝わる振動には、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃを通る第１の振動と、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃを通らない第２の振動とがある。これらの第１の振動の位相と第２の振動の位相は、上記した空気と所定材料部分１６４との音響インピーダンスの相違により互いにずれることになる。
【0084】
その結果、固定部材２４と壁部９４とが共に振動することを抑制することが可能である。すなわち、制振部材１６は、壁部９４と固定基盤部２４１との間で制振部材１６を介して伝わる振動を減衰させる振動減衰作用も奏するので、この点でも、壁部９４の振動子対向部位ＰＡの周辺に位置する周辺部位での振動を抑制することができる。
【0085】
なお、上記第１の振動と第２の振動との位相差は絶対値で９０°を超えるのが好ましく、本実施形態では例えば、その位相差が絶対値で９０°を超えるように、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃの形状はＣＡＥなどによって設定されている。ＣＡＥとは、Computer Aided Engineeringの略である。
【0086】
ここで、壁部９４と固定基盤部２４１との間での振動減衰作用を効果的に得るためには、第１方向Ｄ１における第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃの空間長Ｌspが、図１０の振動の波長λに対し「Ｌsp≧λ／２」の関係を満たすのが好ましい。この関係が満たされないと、その波長λの振動が第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃに殆ど影響されずに第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃを通過するからである。本実施形態では例えば、上記の「Ｌsp≧λ／２」の関係を満たすように第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃが形成されている。なお、その振動の波長λとは、詳細に言えば、振動子１４から印加され壁部９４と固定基盤部２４１との間で第１方向Ｄ１に伝達され第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃを通る振動の波長である。そして、その振動の波長λは、図１０に示すように振動波形Ｗｖの頂点の相互間隔として得ることができる。
【0087】
また、図８に示す上記した第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃの空間長Ｌspは、「Ｌsp≧λ／２」の関係を満たすのが好ましいが、本実施形態の第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃが制振部径方向Ｄｒに占める空間幅Ｗspについては逆である。すなわち、その空間幅Ｗspが「Ｗsp≦λ／２」の関係を満たすように第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃは形成されている。この「Ｗsp≦λ／２」の関係が満たされても、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃが設けられたことによる振動減衰作用は適切に得られるからである。そして、空間幅Ｗspが小さいほど、制振部材１６と壁部９４との接着面積の確保と制振部材１６の小型化とが実現されやすくなるからである。なお、第１実施形態と同様ではあるが本実施形態でも、第１部分空間１６ｂの空間長Ｌspと空間幅Ｗspは「Ｌsp＞Ｗsp」の関係にあり、第２部分空間１６ｃの空間長Ｌspと空間幅Ｗspも「Ｌsp＞Ｗsp」の関係にある。
【0088】
以上説明したことを除き、本実施形態は第１実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第１実施形態と共通の構成から奏される効果を第１実施形態と同様に得ることができる。
【0089】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第３実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。
【0090】
図１１に示すように、本実施形態では、第２実施形態と比較して、制振部材１６の第１部分空間１６ｂの空間長Ｌsp（図８参照）が長くなっている。なお、本実施形態の第２部分空間１６ｃは第２実施形態の第２部分空間１６ｃと同じである。
【0091】
具体的に、本実施形態の制振部材１６に形成された第１部分空間１６ｂは、第２実施形態の第１部分空間１６ｂが制振部材１６を第１方向Ｄ１に貫通するまで深く形成されたものである。従って、本実施形態の第１部分空間１６ｂは、第１方向Ｄ１に沿った方向視では、第２実施形態の第１部分空間１６ｂと同じ配置かつ同じ形状になっている。例えば、本実施形態の第１部分空間１６ｂは、第２実施形態の第１部分空間１６ｂと同様に、振動子１４を囲むように制振部軸心ＣＬを中心とした円環状に形成されている。
【0092】
また、本実施形態では第１部分空間１６ｂが制振部材１６を第１方向Ｄ１に貫通しているので、第１短状構成部１６６は所定材料部分１６４ｂ（図８参照）を含まず、第１短状構成部１６６は第１部分空間１６ｂで占められている。そのため、図１１の縦断面において、第１短状構成部１６６の所定材料長さＬd1は零であるので、その第１短状構成部１６６に隣接する第１、第２長状構成部１６５、１６７の所定材料長さＬd1よりも短い。すなわち、本実施形態でも第１短状構成部１６６は、図１１の縦断面において所定材料長さＬd1が制振部材１６の中で部分的に短くされた部分として構成されている。
【0093】
また、制振部材１６において第１、第２長状構成部１６５、１６７が第１部分空間１６ｂを挟んで隔てられているので、制振部材１６は、制振部材１６の単体としては、第１部分空間１６ｂに対し径方向内側の部材と径方向外側の部材との二部品構成になっている。
【0094】
（１）第１短状構成部１６６の所定材料長さＬd1は上記したように零であるが、第２短状構成部１６８は所定材料部分１６４ｄを有するので、第２短状構成部１６８の所定材料長さＬd1は零よりも大きい。すなわち、第２短状構成部１６８の所定材料長さＬd1は、第１短状構成部１６６の所定材料長さＬd1と異なる。
【0095】
従って、壁部９４と固定基盤部２４１との間で制振部材１６を通過する振動に、音響インピーダンスの違いによって位相差を生じさせることを、第１、第２短状構成部１６６、１６８が例えば同一の所定材料長さＬd1で構成される場合に比して促進することができる。例えば、制振部材１６を第１方向Ｄ１に通過する振動のうち、第１短状構成部１６６を通過する振動と第２短状構成部１６８を通過する振動との間でも位相差が生じやすくなる。その結果、壁部９４と固定基盤部２４１との間で制振部材１６を介して伝わる振動を減衰させる振動減衰作用を向上させることが可能である。
【0096】
以上説明したことを除き、本実施形態は第２実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第２実施形態と共通の構成から奏される効果を第２実施形態と同様に得ることができる。
【0097】
なお、本実施形態は第２実施形態に基づいた変形例であるが、本実施形態を前述の第１実施形態と組み合わせることも可能である。
【0098】
（第４実施形態）
次に、第４実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第３実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第４実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第３実施形態と異なる点を主として説明する。
【0099】
図１２に示すように、本実施形態の制振部材１６は本体部１７０と蓋部１７１とを含んで構成されている。この点において、本実施形態は第３実施形態と異なっている。
【0100】
具体的に、本実施形態の制振部材１６の本体部１７０は、第３実施形態の制振部材１６と同じ物である。すなわち、本実施形態の制振部材１６は、第３実施形態の制振部材１６に蓋部１７１が追加された構成になっている。そして、本体部１７０は、第３実施形態の制振部材１６と同様に所定の制振部材料で構成されている。
【0101】
制振部材１６の蓋部１７１は、本体部１７０に対し第１方向Ｄ１の他方側に配置され、本体部１７０に対し接着等によって接合されている。これにより、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃにおける第１方向Ｄ１の他方側が蓋部１７１によって塞がれるので、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃは、密閉された空間になっている。
【0102】
また、蓋部１７１は制振部材１６の収容空間１６ａにも面しており、その収容空間１６ａを第１方向Ｄ１の他方側から塞いでいる。そして、その収容空間１６ａにおける第１方向Ｄ１の一方側は、第３実施形態と同様のことではあるが、固定基盤部２４１によって塞がれている。従って、本実施形態でも収容空間１６ａは、密閉された空間になっている。
【0103】
また、収容空間１６ａ内に配置された振動子１４の他端面１４２は、蓋部１７１に対し接着などによって接合されている。すなわち、その振動子１４は、蓋部１７１と介在接着層２２とを介して壁部９４の一方面９４ａに接合されている。
【0104】
本実施形態では、振動子１４が印加する超音波振動は、振動子１４から、蓋部１７１、介在接着層２２、壁部９４の順に伝達される。そのため、蓋部１７１の音響インピーダンスは、例えば、振動子１４の他端面１４２における音響インピーダンスと壁部９４の音響インピーダンスとの間の大きさとされるのがよい。そして、介在接着層２２の音響インピーダンスは、蓋部１７１の音響インピーダンスと壁部９４の音響インピーダンスとの間の大きさとされるのがよい。
【0105】
例えば、蓋部１７１は、第１方向Ｄ１に厚みを有する円板状に形成され、本体部１７０と同径または略同径になっている。蓋部１７１は、本体部１７０と同じ所定の制振部材料で構成されていてもよいし、本体部１７０とは異なる構成材料で構成されていてもよい。蓋部１７１がその所定の制振部材料で構成されていれば、蓋部１７１は制振部材１６の所定材料部分１６４に含まれる。
【0106】
以上説明したことを除き、本実施形態は第３実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第３実施形態と共通の構成から奏される効果を第３実施形態と同様に得ることができる。
【0107】
なお、本実施形態は第３実施形態に基づいた変形例であるが、本実施形態を前述の第１実施形態または第２実施形態と組み合わせることも可能である。
【0108】
（第５実施形態）
次に、第５実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第４実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第５実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第４実施形態と異なる点を主として説明する。
【0109】
【0110】
また、第１部分空間１６ｂと第２部分空間１６ｃはそれぞれ、第１方向Ｄ１の一方側から切り込まれるように形成された溝形状を成している。そのため、制振部材１６において第１短状構成部１６６の所定材料部分１６４ｂは、第１部分空間１６ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側に直列に並んで配置され、第１部分空間１６ｂの底を形成している。これと同様に、第２短状構成部１６８の所定材料部分１６４ｄは、第２部分空間１６ｃに対し第１方向Ｄ１の他方側に直列に並んで配置され、第２部分空間１６ｃの底を形成している。
【0111】
また、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃにおいて第１方向Ｄ１の一方側は制振部材１６の単体では開放されているが、固定基盤部２４１によって塞がれている。これにより、本実施形態でも、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃは、密閉された空間になっている。
【0112】
以上説明したことを除き、本実施形態は第４実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第４実施形態と共通の構成から奏される効果を第４実施形態と同様に得ることができる。
【0113】
（第６実施形態）
次に、第６実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第６実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。
【0114】
図１４に示すように、本実施形態の制振部材１６は、制振部材１６の単体としては、一方側部材１７２と他方側部材１７３との二部品構成になっている。この一方側部材１７２は他方側部材１７３に対し第１方向Ｄ１の一方側に配置され、一方側部材１７２と他方側部材１７３は接着等によって互いに接合されている。例えば、一方側部材１７２と他方側部材１７３は、第２実施形態の制振部材１６と同様に所定の制振部材料で構成されている。
【0115】
また、制振部材１６は、他方側部材１７３の一部を構成する収容空間蓋部１７３ａを有している。その収容空間蓋部１７３ａは、例えば第１方向Ｄ１に厚みを有する平板状に形成されている。
【0116】
収容空間蓋部１７３ａは、制振部材１６の収容空間１６ａに対し第１方向Ｄ１の他方側に配置され、その収容空間１６ａに面している。そして、収容空間蓋部１７３ａは、その収容空間１６ａを第１方向Ｄ１の他方側から塞いでいる。
【0117】
また、収容空間１６ａ内に配置された振動子１４の他端面１４２は、収容空間蓋部１７３ａに対し接着などによって接合されている。すなわち、その振動子１４は、収容空間蓋部１７３ａと介在接着層２２とを介して壁部９４の一方面９４ａに接合されている。
【0118】
本実施形態では、振動子１４が印加する超音波振動は、振動子１４から、収容空間蓋部１７３ａ、介在接着層２２、壁部９４の順に伝達される。そのため、収容空間蓋部１７３ａの音響インピーダンスは、例えば、振動子１４の他端面１４２における音響インピーダンスと壁部９４の音響インピーダンスとの間の大きさとされるのがよい。そして、介在接着層２２の音響インピーダンスは、収容空間蓋部１７３ａの音響インピーダンスと壁部９４の音響インピーダンスとの間の大きさとされるのがよい。
【0119】
本実施形態の制振部材１６は、上記したように一方側部材１７２と他方側部材１７３とから構成されているので、制振部材１６の各構成部１６５～１６９は一方側部材１７２と他方側部材１７３との両方に跨るように設けられる。制振部材１６の第１部分空間１６ｂは一方側部材１７２と他方側部材１７３との両方に跨るように形成されている。その一方で、第２部分空間１６ｃは他方側部材１７３に形成され、一方側部材１７２は第２部分空間１６ｃにおける第１方向Ｄ１の一方側を塞ぐようにその第２部分空間１６ｃに面している。
【0120】
第１短状構成部１６６では、第１部分空間１６ｂに対する第１方向Ｄ１の一方側にも他方側にもそれぞれ所定材料部分１６４ｂが配置されている。そして、第２短状構成部１６８では、第２部分空間１６ｃに対する第１方向Ｄ１の一方側にも他方側にもそれぞれ所定材料部分１６４ｄが配置されている。
【0121】
そのため、第１短状構成部１６６の所定材料長さＬd1は、第１短状構成部１６６のうち第１方向Ｄ１の一方側に配置された所定材料部分１６４ｂの長さＬd1aと、第１方向Ｄ１の他方側に配置された所定材料部分１６４ｂの長さＬd1bとの合計になる。これと同様に、第２短状構成部１６８の所定材料長さＬd1は、第２短状構成部１６８のうち第１方向Ｄ１の一方側に配置された所定材料部分１６４ｄの長さＬd1aと、第１方向Ｄ１の他方側に配置された所定材料部分１６４ｄの長さＬd1bとの合計になる。
【0122】
以上説明したことを除き、本実施形態は第２実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第２実施形態と共通の構成から奏される効果を第２実施形態と同様に得ることができる。
【0123】
なお、本実施形態は第２施形態に基づいた変形例であるが、本実施形態を前述の第１実施形態と組み合わせることも可能である。
【0124】
（第７実施形態）
次に、第７実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第７実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。
【0125】
図１５に示すように、本実施形態の制振部材１６では、第２実施形態の第１部分空間１６ｂ（図８参照）に替えて第１異材部１７４が設けられ、第２実施形態の第２部分空間１６ｃに替えて第２異材部１７５が設けられている。従って、第１異材部１７４は第１短状構成部１６６に含まれ、第２異材部１７５は第２短状構成部１６８に含まれる。
【0126】
本実施形態の制振部材１６の所定材料部分１６４は、第２実施形態の制振部材１６の所定材料部分１６４と同じである。従って、本実施形態の所定材料部分１６４を構成する所定の制振部材料はＰＢＴである。
【0127】
本実施形態の第１異材部１７４は、上記所定の制振部材料としてのＰＢＴとは異なる音響インピーダンスを有する部材である異材料部材（具体的には、シリコーン）が第２実施形態の第１部分空間１６ｂに充填されて得られたものである。従って、第１異材部１７４の形状および配置は、第２実施形態の第１部分空間１６ｂのそれと同じである。
【0128】
例えば、第１異材部１７４は、第２実施形態の第１部分空間１６ｂと同様に、図１５の縦断面において、制振部径方向Ｄｒに間隔をあけて並ぶ２箇所の所定材料部分１６４ａ、１６４ｃの間に形成されている。そして、第１異材部１７４は、第１短状構成部１６６の所定材料部分１６４ｂに対し第１方向Ｄ１の他方側に直列に並んで配置されている。
【0129】
本実施形態の第２異材部１７５は、異材料部材としてのシリコーンが第２実施形態の第２部分空間１６ｃに充填されて得られたものである。従って、第２異材部１７５の形状および配置は、第２実施形態の第２部分空間１６ｃのそれと同じである。
【0130】
例えば、第２異材部１７５は、第２実施形態の第２部分空間１６ｃと同様に、図１５の縦断面において、制振部径方向Ｄｒに間隔をあけて並ぶ２箇所の所定材料部分１６４ｃ、１６４ｅの間に形成されている。そして、第２異材部１７５は、第２短状構成部１６８の所定材料部分１６４ｄに対し第１方向Ｄ１の他方側に直列に並んで配置されている。
【0131】
なお、ＰＢＴのヤング率は９０００ＭＰａ程度であり、シリコーンのヤング率は５ＭＰａ程度であるので、第１、第２異材部１７４、１７５は所定材料部分１６４に比して格段に柔らかい。そして、ＰＢＴの音響インピーダンスとシリコーンの音響インピーダンスは互いに異なる。
【0132】
上記のように第１、第２異材部１７４、１７５は構成されているので、第１方向Ｄ１における第１、第２異材部１７４、１７５の長さＬａは第２実施形態の第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃの空間長Ｌsp（図８参照）とそれぞれ同じである。そして、第１、第２異材部１７４、１７５が制振部径方向Ｄｒに占める径方向幅Ｗａは第２実施形態の第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃの空間幅Ｗsp（図８参照）とそれぞれ同じである。
【0133】
従って、第２実施形態で「Ｌsp≧λ／２」の関係が満たされているのと同様に、例えば本実施形態では、「Ｌａ≧λ／２」の関係が満たされている。また、第２実施形態で「Ｗsp≦λ／２」の関係が満たされているのと同様に、例えば本実施形態では、「Ｗａ≦λ／２」の関係が満たされている。なお、その関係式中の波長λとは、詳細に言えば、振動子１４から印加され壁部９４と固定基盤部２４１との間で第１方向Ｄ１に伝達され第１、第２異材部１７４、１７５を通る振動の波長である。そして、その振動の波長λは、第２実施形態と同様に、図１０に示される振動波形Ｗｖの頂点の相互間隔として得ることができる。
【0134】
また、第２実施形態で「Ｌsp＞Ｗsp」の関係が成立しているのと同様に、例えば本実施形態では、第１異材部１７４の長さＬａと径方向幅Ｗａは「Ｌａ＞Ｗａ」の関係にあり、第２異材部１７５の長さＬａと径方向幅Ｗａは「Ｌａ＞Ｗａ」の関係にある。
【0135】
第１異材部１７４は、第１異材部１７４のうち第１方向Ｄ１の一方側に設けられた一端１７４ａと、第１異材部１７４のうち第１方向Ｄ１の他方側に設けられた他端１７４ｂとを有している。また、第２異材部１７５は、第２異材部１７５のうち第１方向Ｄ１の一方側に設けられた一端１７５ａと、第２異材部１７５のうち第１方向Ｄ１の他方側に設けられた他端１７５ｂとを有している。
【0136】
また、本実施形態では、第１方向Ｄ１において、第１、第２異材部１７４、１７５の他端１７４ｂ、１７５ｂの位置は何れも、制振部材１６の他端面１６２の位置と同じである。すなわち、第１方向Ｄ１における制振部材１６の他端面１６２と第１、第２異材部１７４、１７５の他端１７４ｂ、１７５ｂとの間隔は何れも零である。従って、第１方向Ｄ１における制振部材１６の他端面１６２と第１異材部１７４の他端１７４ｂとの間隔は、第１方向Ｄ１における第１異材部１７４の長さＬａよりも小さい。そして、第１方向Ｄ１における制振部材１６の他端面１６２と第２異材部１７５の他端１７５ｂとの間隔は、第１方向Ｄ１における第２異材部１７５の長さＬａよりも小さい。
【0137】
（１）上述したように、本実施形態によれば、第１短状構成部１６６は第１異材部１７４を有し、第２短状構成部１６８は第２異材部１７５を有する。その第１、第２異材部１７４、１７５は、所定材料部分１６４とは異なる音響インピーダンスを有する異材料部材で構成される。そして、図１５の縦断面において、第１異材部１７４は、制振部径方向Ｄｒに間隔をあけて並ぶ２箇所の所定材料部分１６４ａ、１６４ｃの間に形成され、第２異材部１７５も同様である。
【0138】
このようにしても、第２実施形態と同様に、壁部９４の振動子対向部位ＰＡ（図６参照）の周辺に位置する周辺部位での振動を抑制することが可能である。例えば、振動子１４から固定部材２４と制振部材１６とを介して壁部９４に伝わる振動は、制振部材１６の第１、第２異材部１７４、１７５と所定材料部分１６４ｂ、１６４ｄとの音響インピーダンス差に起因して吸収されまたは反射されるからである。そして、音響インピーダンスの違いから、第１、第２異材部１７４、１７５を通る振動と、第１、第２異材部１７４、１７５を通らない振動との間に音速差が生じ、それらの振動の位相が互いにずれることで、それらの振動が互いに減衰させ合うからである。
【0139】
そして、第１、第２異材部１７４、１７５を構成する異材料部材はシリコーンであるので、固体である。従って、第１、第２異材部１７４、１７５が第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃ（図８参照）の置き換わっている場合と比較して、その第１、第２異材部１７４、１７５が占める領域に介在接着層２２の接着剤が侵入することを防止することができる。更に、第１、第２異材部１７４、１７５が第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃの置き換わっている場合と比較して、空気の体積変化や結露などに起因した経年劣化が進行することを防止することができる。
【0140】
また、本実施形態によれば、第１方向Ｄ１における制振部材１６の他端面１６２と第１異材部１７４の他端１７４ｂとの間隔は、第１方向Ｄ１における第１異材部１７４の長さＬａよりも小さい。このことは第２異材部１７５に関しても同様である。従って、例えば、その他端面１６２と異材部１７４、１７５の他端１７４ｂ、１７５ｂとの間隔が異材部１７４、１７５の長さＬａよりも大きい場合と比較して、制振部材１６が貼り付けられた壁部９４の曲げ剛性の高い部位と低い部位との間の剛性差を大きくすることが可能である。これにより、壁部９４において振動子対向部位ＰＡ（図６参照）からその周辺部位へ伝わる振動、およびその周辺部位から振動子対向部位ＰＡへ伝わる振動を一層減衰させることが可能である。
【0141】
以上説明したことを除き、本実施形態は第２実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第２実施形態と共通の構成から奏される効果を第２実施形態と同様に得ることができる。
【0142】
なお、本実施形態は第２実施形態に基づいた変形例であるが、本実施形態を前述の第１、第３～第６実施形態の何れかと組み合わせることも可能である。
【0143】
（第８実施形態）
次に、第８実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第７実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第８実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第７実施形態と異なる点を主として説明する。
【0144】
図１６に示すように、本実施形態では、第７実施形態と比較して、制振部材１６の第１、第２異材部１７４、１７５を構成する材料がシリコーンからアルミニウムに置き換わっている。すなわち、本実施形態の第１異材部１７４は、第２実施形態の第１部分空間１６ｂ（図８参照）がアルミニウムで満たされたものである。そして、本実施形態の第２異材部１７５は、第２実施形態の第２部分空間１６ｃ（図８参照）がアルミニウムで満たされたものである。
【0145】
ＰＢＴのヤング率は９０００ＭＰａ程度であり、アルミニウムのヤング率は７００００ＭＰａ程度であるので、第１、第２異材部１７４、１７５は所定材料部分１６４に比して格段に硬い。そして、ＰＢＴの音響インピーダンスとアルミニウムの音響インピーダンスは互いに異なる。従って、第１、第２異材部１７４、１７５を構成するアルミニウムは、上記所定の制振部材料としてのＰＢＴとは異なる音響インピーダンスを有する異材料部材に該当する。
【0146】
以上説明したことを除き、本実施形態は第７実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第７実施形態と共通の構成から奏される効果を第７実施形態と同様に得ることができる。
【0147】
（第９実施形態）
次に、第９実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第７実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第９実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第７実施形態と異なる点を主として説明する。
【0148】
図１７に示すように、本実施形態では、第７実施形態と比較して、制振部材１６の第２異材部１７５を構成する材料がシリコーンからアルミニウムに置き換わっている。すなわち、本実施形態の第２異材部１７５は、第２実施形態の第２部分空間１６ｃ（図８参照）がアルミニウムで満たされたものである。その一方で、本実施形態の第１異材部１７４は第７実施形態と同じである。
【0149】
すなわち、本実施形態の第１異材部１７４は、上記所定の制振部材料としてのＰＢＴとは異なる音響インピーダンスを有する第１部材（具体的には、シリコーン）で構成されている。そして、第２異材部１７５は、上記所定の制振部材料と第１部材との何れとも異なる音響インピーダンスを有する第２部材（具体的には、アルミニウム）で構成されている。その第１部材と第２部材は何れも固体であるが、互いに異なる構成材料である。
【0150】
（１）従って、壁部９４と固定基盤部２４１との間で制振部材１６を通過する振動に、音響インピーダンスの違いによって位相差を生じさせることを、第１異材部１７４と第２異材部１７５とが例えば同一の材料で構成される場合に比して促進することができる。例えば、制振部材１６を第１方向Ｄ１に通過する振動のうち、第１短状構成部１６６を通過する振動と第２短状構成部１６８を通過する振動との間でも位相差が生じやすくなる。その結果、壁部９４と固定基盤部２４１との間で制振部材１６を介して伝わる振動を減衰させる振動減衰作用を向上させることが可能である。
【0151】
以上説明したことを除き、本実施形態は第７実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第７実施形態と共通の構成から奏される効果を第７実施形態と同様に得ることができる。
【0152】
（第１０実施形態）
次に、第１０実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第１０実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。
【0153】
図１８に示すように、本実施形態の第２部分空間１６ｃは、第２実施形態と同様に、第１方向Ｄ１の他方側から切り込まれるように形成された溝形状を成す。但し、本実施形態では、第２実施形態と比較して、第２部分空間１６ｃの空間長Ｌspが長くなっている。なお、本実施形態の第１部分空間１６ｂは第２実施形態の第１部分空間１６ｂと同じである。
【0154】
従って、第２短状構成部１６８の所定材料長さＬd1は、第１短状構成部１６６の所定材料長さＬd1と異なる。そのため、第３実施形態と同様に本実施形態でも、例えば、壁部９４と固定基盤部２４１との間で制振部材１６を第１方向Ｄ１に通過する振動のうち、第１短状構成部１６６を通過する振動と第２短状構成部１６８を通過する振動との間で位相差が生じやすくなる。その結果、壁部９４と固定基盤部２４１との間で制振部材１６を介して伝わる振動を減衰させる振動減衰作用を向上させることが可能である。
【0155】
以上説明したことを除き、本実施形態は第２実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第２実施形態と共通の構成から奏される効果を第２実施形態と同様に得ることができる。
【0156】
なお、本実施形態は第２実施形態に基づいた変形例であるが、本実施形態を前述の第４～第９実施形態の何れかと組み合わせることも可能である。
【0157】
（第１１実施形態）
次に、第１１実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第１１実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第２実施形態と異なる点を主として説明する。
【0158】
図１９に示すように、本実施形態では、固定部材２４の形状が第２実施形態に対して異なっている。
【0159】
具体的に、本実施形態の固定部材２４は、固定基盤部２４１と固定突出部２４２とに加え、壁連結部２４３を有している。この固定基盤部２４１と固定突出部２４２と壁連結部２４３は一体構成になっている。なお、本実施形態では、固定部材２４のうち固定基盤部２４１と固定突出部２４２とからなる部分が、本開示の固定部に対応する。
【0160】
本実施形態の固定基盤部２４１は、第２実施形態と同様に制振部材１６と同心の円盤形状であるが、制振部材１６よりも制振部径方向Ｄｒの外側へ拡がっている。すなわち、固定基盤部２４１の外径は制振部材１６の外径よりも大きくなっている。
【0161】
壁連結部２４３は固定基盤部２４１と壁部９４との間に設けられ、制振部材１６および振動子１４を介することなく、固定基盤部２４１を壁部９４に対して固定する。壁連結部２４３は、固定基盤部２４１の周縁部分から第１方向Ｄ１の他方側へ延伸した円筒形状を成している。例えば、壁連結部２４３は、制振部材１６と同心の円筒形状を成している。
【0162】
壁連結部２４３は、制振部材１６および介在接着層２２よりも制振部径方向Ｄｒの外側に設けられている。すなわち、振動子１４、制振部材１６、および介在接着層２２は、壁連結部２４３がその壁連結部２４３の内側に形成する空間内に収容されている。
【0163】
壁連結部２４３は、その壁連結部２４３のうち第１方向Ｄ１の他方側に形成された先端面２４３ａを有している。この先端面２４３ａは、壁部９４の一方面９４ａに対向し、その一方面９４ａに対し接着などによって接合されている。従って、固定部材２４は、制振部材１６と介在接着層２２とを介して壁部９４に固定されているだけでなく、壁部９４に対する壁連結部２４３の先端面２４３ａの接合によっても壁部９４に対して固定されている。例えば、壁連結部２４３の先端面２４３ａは、制振部材１６のまわりで環状に連続して壁部９４の一方面９４ａに接合されている。
【0164】
以上説明したことを除き、本実施形態は第２実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第２実施形態と共通の構成から奏される効果を第２実施形態と同様に得ることができる。
【0165】
なお、本実施形態は第２実施形態に基づいた変形例であるが、本実施形態を前述の第３～第１０実施形態の何れかと組み合わせることも可能である。
【0166】
（第１２実施形態）
次に、第１２実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第１２実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１実施形態と異なる点を主として説明する。
【0167】
図２０に示すように、第１部分空間１６ｂと第２部分空間１６ｃはそれぞれ、第１実施形態と同様に、第１方向Ｄ１に沿った方向視で振動子１４（図３参照）を囲むように延伸している。但し、本実施形態の第１部分空間１６ｂと第２部分空間１６ｃはそれぞれ、第１実施形態とは異なり、制振部軸心ＣＬまわりの周方向Ｄｃにおける一部分で途切れている。なお、以降の説明では、制振部軸心ＣＬまわりの周方向Ｄｃは、制振部周方向Ｄｃと称される場合もある。
【0168】
具体的に、制振部材１６は、第１連結部１７６ａと第２連結部１７６ｂとを有している。例えば、これらの第１連結部１７６ａと第２連結部１７６ｂは、第１、第２、第３長状構成部１６５、１６７、１６９と同じ所定の制振部材料で構成されている。
【0169】
第１連結部１７６ａは、第１長状構成部１６５と第２長状構成部１６７との間に設けられ、その第１長状構成部１６５と第２長状構成部１６７とを連結している。そのため、第１部分空間１６ｂは、制振部周方向Ｄｃにおける一部分で途切れた形状になっている。
【0170】
第２連結部１７６ｂは、第２長状構成部１６７と第３長状構成部１６９との間に設けられ、その第２長状構成部１６７と第３長状構成部１６９とを連結している。そのため、第２部分空間１６ｃは、制振部周方向Ｄｃにおける一部分で途切れた形状になっている。
【0171】
以上説明したことを除き、本実施形態は第１実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第１実施形態と共通の構成から奏される効果を第１実施形態と同様に得ることができる。
【0172】
なお、本実施形態は第１実施形態に基づいた変形例であるが、本実施形態を前述の第２～第１１実施形態の何れかと組み合わせることも可能である。
【0173】
（第１３実施形態）
次に、第１３実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第７実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第１３実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第７実施形態と異なる点を主として説明する。
【0174】
図２１に示すように、制振部材１６は連結異材部１７７を有している。この連結異材部１７７は、第１、第２異材部１７４、１７５と同じ異材料部材（具体的には、シリコーン）で構成されている。例えば、連結異材部１７７は複数設けられ、制振部周方向Ｄｃに等ピッチで並んで配置されている。
【0175】
その複数の連結異材部１７７はそれぞれ、第１異材部１７４と第２異材部１７５との間に設けられ、その第１異材部１７４と第２異材部１７５とを連結している。すなわち、第１異材部１７４の一部と第２異材部１７５の一部は、異材料部材で構成された部分である連結異材部１７７を介して連結されている。そして、複数の連結異材部１７７はそれぞれ、第２長状構成部１６７を制振部径方向Ｄｒに横切るように形成されている。
【0176】
（１）上述したように、本実施形態によれば、第１異材部１７４の一部と第２異材部１７５の一部は、異材料部材で構成された連結異材部１７７を介して連結されている。従って、制振部材１６の製造工程において、第１、第２異材部１７４、１７５を構成するシリコーンなどの異材料部材を充填する場合に、次のようなメリットがある。すなわち、第１、第２異材部１７４、１７５が設けられる箇所のうちの一方にその異材料部材が注入されれば、その異材料部材は他方にも行き渡るというメリットである。このメリットにより、第１、第２異材部１７４、１７５を構成する異材料部材を制振部材１６に充填する際の作業性を、第１、第２異材部１７４、１７５が互いに分離している場合に比して向上させることが可能である。
【0177】
以上説明したことを除き、本実施形態は第７実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第７実施形態と共通の構成から奏される効果を第７実施形態と同様に得ることができる。
【0178】
なお、本実施形態は第７実施形態に基づいた変形例であるが、本実施形態を前述の第１～第６、第８～第１１実施形態の何れかと組み合わせることも可能である。
【0179】
（第１４実施形態）
次に、第１４実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第１４実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１実施形態と異なる点を主として説明する。
【0180】
図２２に示すように、本実施形態において制振部材１６は、第１実施形態の第１、第２短状構成部１６６、１６８（図３参照）に替えて複数の短状構成部１７８を有している。そして、制振部材１６は、第１実施形態の第１、第２、第３長状構成部１６５、１６７、１６９に替えて複数の長状構成部１７９を有している。
【0181】
本実施形態の複数の短状構成部１７８にはそれぞれ、第１実施形態の第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃ（図３参照）に替わる部分空間１６ｄが形成されている。例えば、その部分空間１６ｄは、第１方向Ｄ１の他方側から一方側へ陥没するように形成された凹形状を成し、部分空間１６ｄの空間長Ｌsp（図３参照）は、第１、第２部分空間１６ｂ、１６ｃと同じである。従って、第１方向Ｄ１に沿った断面に表れる断面形状については、本実施形態の複数の短状構成部１７８はそれぞれ、第１実施形態の第１、第２短状構成部１６６、１６８と同様である。
【0182】
但し、第１方向Ｄ１に沿った方向視で表される形状については、本実施形態の複数の短状構成部１７８は、第１実施形態の第１、第２短状構成部１６６、１６８に対して異なる。そして、第１方向Ｄ１に沿った方向視で表される形状については、複数の長状構成部１７９も、第１実施形態の第１、第２、第３長状構成部１６５、１６７、１６９に対して異なる。
【0183】
具体的に、複数の短状構成部１７８はそれぞれ、第１方向Ｄ１に沿った方向視では矩形形状を成し、複数の長状構成部１７９もそれぞれ、第１方向Ｄ１に沿った方向視では矩形形状を成している。また、複数の部分空間１６ｄもそれぞれ、第１方向Ｄ１に沿った方向視では矩形形状を成している。そして、複数の短状構成部１７８と複数の長状構成部１７９は、第２方向Ｄ２へ交互に並んで配置され、且つ第３方向Ｄ３へも交互に並んで配置されている。
【0184】
従って、複数の短状構成部１７８はそれぞれ、図３に相当する縦断面において所定材料長さＬd1（図３参照）が制振部材１６の中で部分的に短くされた部分として構成されている。そして、複数の長状構成部１７９は、短状構成部１７８に比して所定材料長さＬd1が長い構成部である。
【0185】
以上説明したことを除き、本実施形態は第１実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第１実施形態と共通の構成から奏される効果を第１実施形態と同様に得ることができる。
【0186】
なお、本実施形態は第１実施形態に基づいた変形例であるが、本実施形態を前述の第２～第１１実施形態の何れかと組み合わせることも可能である。
【0187】
（第１５実施形態）
次に、第１５実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１４実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第１５実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１４実施形態と異なる点を主として説明する。
【0188】
【0189】
本実施形態の異材部１８０は、上記所定の制振部材料としてのＰＢＴとは異なる音響インピーダンスを有する部材である異材料部材（具体的には、シリコーン）が第１４実施形態の部分空間１６ｄに充填されて得られたものである。そして、複数の異材部１８０のうち互いに隣接した異材部１８０同士は、それぞれの一部分で互いにつながっている。例えば、第１方向Ｄ１に沿った方向視において表れる異材部１８０（すなわち、図２３に表示される異材部１８０）の矩形形状の頂点で、互いに隣接した異材部１８０同士が互いにつながっている。このことを除き、本実施形態の異材部１８０の形状および配置は、第１４実施形態の部分空間１６ｄのそれと同じである。
【0190】
例えば、異材部１８０は、第１４実施形態の部分空間１６ｄと同様に、図３に相当する縦断面において、第２方向Ｄ２に間隔をあけて並ぶ２箇所の所定材料部分１６４（図３参照）の間に形成されている。そして、異材部１８０は、所定材料部分１６４のうち短状構成部１７８に属する部分に対し第１方向Ｄ１の他方側に直列に並んで配置されている。
【0191】
上述したように、本実施形態によれば、複数の異材部１８０のうち互いに隣接した異材部１８０同士は、それぞれの一部分で互いにつながっている。従って、第１３実施形態と同様に、制振部材１６の製造工程において、異材部１８０を構成する異材料部材を制振部材１６に充填する際の作業性を、異材部１８０が互いに分離している場合に比して向上させることが可能である。
【0192】
以上説明したことを除き、本実施形態は第１４実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第１４実施形態と共通の構成から奏される効果を第１４実施形態と同様に得ることができる。
【0193】
（第１６実施形態）
次に、第１６実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１４実施形態と異なる点を主として説明する。
次に、第１６実施形態について説明する。本実施形態では、前述の第１４実施形態と異なる点を主として説明する。
【0194】
図２４に示すように、本実施形態では、第１方向Ｄ１に沿った方向視において表れる短状構成部１７８、長状構成部１７９、および部分空間１６ｄの形状がそれぞれ第１４実施形態と異なる。
【0195】
具体的に、第１方向Ｄ１に沿った方向視において、短状構成部１７８、長状構成部１７９、および部分空間１６ｄはそれぞれ、制振部軸心ＣＬを中心とした円弧状に延伸している。そして、複数の短状構成部１７８と複数の長状構成部１７９は、制振部径方向Ｄｒ（図３参照）へ交互に並んで配置され、且つ制振部周方向Ｄｃへも交互に並んで配置されている。そのため、複数の部分空間１６ｄは、複数の部分空間１６ｄの相互間に所定材料部分１６４（図３参照）を挟んで制振部径方向Ｄｒへも制振部周方向Ｄｃへも並んで配置されている。
【0196】
以上説明したことを除き、本実施形態は第１４実施形態と同様である。そして、本実施形態では、前述の第１４実施形態と共通の構成から奏される効果を第１４実施形態と同様に得ることができる。
【0197】
なお、本実施形態は第１４実施形態に基づいた変形例であるが、本実施形態を前述の第１～第１１実施形態の何れかと組み合わせることも可能である。
【0198】
（他の実施形態）
（１）上述の各実施形態では、図１に示すように、超音波センサ１０は樹脂製のバンパ９３の一部に取り付けられるが、これは一例である。例えば、超音波センサ１０は、車体パネル９２など金属板の一部に取り付けられても差し支えない。
（１）上述の各実施形態では、図１に示すように、超音波センサ１０は樹脂製のバンパ９３の一部に取り付けられるが、これは一例である。例えば、超音波センサ１０は、車体パネル９２など金属板の一部に取り付けられても差し支えない。
【0199】
（２）上述の各実施形態では、図２に示すように、振動子１４は、電気信号を超音波振動に変換しその超音波振動を発する送信機能と、振動子１４が受けた超音波振動を電気信号に変換しその電気信号を出力する受信機能との両方を有しているが、これは一例である。例えば、その振動子１４は、その送信機能と受信機能との一方を有するが他方を有さない構成であってもよい。
【0200】
【0201】
（４）上述の各実施形態では、例えば図３に示すように、振動子１４が配置された制振部材１６の収容空間１６ａは、空気で満たされた空間であるが、これは一例である。例えば、その収容空間１６ａは、例えば発泡材など、振動子１４の振動を妨げない部材で満たされていても差し支えない。
【0202】
（５）上述の各実施形態では、例えば図２、図３の振動子１４は、超音波振動と電気信号との一方から他方への変換機能を奏するために、例えば積層された複数の圧電素子で構成された駆動素子を有するが、これは一例である。例えば、その駆動素子は、１つの圧電素子によって構成されていても差し支えない。更に言えば、その駆動素子は、振動を発生させるものであれば圧電素子以外の構成要素で構成されていても差し支えない。
【0203】
（６）上述の第２～第１１実施形態では、例えば図８に示すように、固定部材２４は、例えば単一の部品として構成されているが、これは一例である。例えば、固定部材２４は、複数の部品が組み立てられることによって構成されるものであっても差し支えない。このことは、例えば制振部材１６などについても同様である。
【0204】
（７）なお、本発明は、上述の実施形態に限定されることなく、種々変形して実施することができる。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。
【0205】
また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の材質、形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の材質、形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その材質、形状、位置関係等に限定されるものではない。
【0206】
（本発明の特徴）
［請求項１］
一方向（Ｄ１）に厚みを有する壁部（９４）に取り付けられる物体検出装置（１０）であって、
前記壁部のうち前記一方向の一方側に形成された一方面（９４ａ）との間で振動が伝達されるように該一方面に対して連結する振動子（１４）と、
前記壁部の前記一方面に貼り付けられ、該一方面上で前記振動子を囲むように形成され、所定材料で構成された制振部（１６）とを備え、
前記振動子は、該振動子に生じる振動と電気信号との一方を他方に変換する変換機能を有し、
前記制振部は短状構成部（１６６、１６８、１７８）を有し、
該短状構成部は、前記振動子の中心を通り前記一方向に平行な縦断面において、所定材料部分（１６４）が前記一方向に占める長さ（Ｌd1）が前記制振部の中で部分的に短くされた部分として構成され、
前記所定材料部分は、前記制振部のうち前記所定材料で構成された部分である、物体検出装置。
［請求項２］
前記振動子に対し前記一方向の前記一方側に配置され、該振動子が固定される固定部（２４、２４１、２４２）を備え、
前記制振部は前記固定部に連結している、請求項１に記載の物体検出装置。
［請求項３］
前記短状構成部は、前記所定材料とは異なる音響インピーダンスを有する部材で構成された異材部（１７４、１７５、１８０）を有し、
前記異材部は、前記縦断面において、前記一方向に垂直な方向（Ｄｒ、Ｄ２、Ｄ３）に間隔をあけて並ぶ２箇所の前記所定材料部分の間に形成されている、請求項１または２に記載の物体検出装置。
［請求項４］
前記短状構成部は複数設けられ、
前記異材部も複数設けられ、
複数の前記異材部には第１異材部（１７４）と第２異材部（１７５）とが含まれ、
前記第１異材部は、前記所定材料とは異なる音響インピーダンスを有する第１部材で構成され、
前記第２異材部は、前記所定材料と前記第１部材との何れとも異なる音響インピーダンスを有する第２部材で構成されている、請求項３に記載の物体検出装置。
［請求項５］
前記短状構成部は複数設けられ、
複数の前記短状構成部には、第１短状構成部（１６６）と、前記所定材料部分が前記一方向に占める前記長さが前記第１短状構成部とは異なる第２短状構成部（１６８）とが含まれる、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の物体検出装置。
［請求項６］
前記短状構成部は、前記一方向に沿った方向視で前記振動子を囲むように配置される、請求項１ないし５のいずれか１つに記載の物体検出装置。
［請求項７］
前記短状構成部は複数設けられ、
複数の前記短状構成部には、前記一方向に沿った方向視で前記振動子を囲むように配置される第１短状構成部（１６６）と第２短状構成部（１６８）とが含まれ、
前記第１短状構成部は、前記第２短状構成部に対し内周側に配置され、
前記第１短状構成部と前記第２短状構成部は、前記所定材料とは異なる音響インピーダンスを有する異材料部材で構成された異材部（１７４、１７５）をそれぞれ有し、
前記第１短状構成部と前記第２短状構成部とのそれぞれの前記異材部は、前記縦断面において、前記一方向に垂直な方向（Ｄｒ）に間隔をあけて並ぶ２箇所の前記所定材料部分の間に形成され、
前記第１短状構成部の前記異材部（１７４）の一部と前記第２短状構成部の前記異材部（１７５）の一部は、前記異材料部材で構成された部分（１７７）を介して連結されている、請求項１または２に記載の物体検出装置。
［請求項１］
一方向（Ｄ１）に厚みを有する壁部（９４）に取り付けられる物体検出装置（１０）であって、
前記壁部のうち前記一方向の一方側に形成された一方面（９４ａ）との間で振動が伝達されるように該一方面に対して連結する振動子（１４）と、
前記壁部の前記一方面に貼り付けられ、該一方面上で前記振動子を囲むように形成され、所定材料で構成された制振部（１６）とを備え、
前記振動子は、該振動子に生じる振動と電気信号との一方を他方に変換する変換機能を有し、
前記制振部は短状構成部（１６６、１６８、１７８）を有し、
該短状構成部は、前記振動子の中心を通り前記一方向に平行な縦断面において、所定材料部分（１６４）が前記一方向に占める長さ（Ｌd1）が前記制振部の中で部分的に短くされた部分として構成され、
前記所定材料部分は、前記制振部のうち前記所定材料で構成された部分である、物体検出装置。
［請求項２］
前記振動子に対し前記一方向の前記一方側に配置され、該振動子が固定される固定部（２４、２４１、２４２）を備え、
前記制振部は前記固定部に連結している、請求項１に記載の物体検出装置。
［請求項３］
前記短状構成部は、前記所定材料とは異なる音響インピーダンスを有する部材で構成された異材部（１７４、１７５、１８０）を有し、
前記異材部は、前記縦断面において、前記一方向に垂直な方向（Ｄｒ、Ｄ２、Ｄ３）に間隔をあけて並ぶ２箇所の前記所定材料部分の間に形成されている、請求項１または２に記載の物体検出装置。
［請求項４］
前記短状構成部は複数設けられ、
前記異材部も複数設けられ、
複数の前記異材部には第１異材部（１７４）と第２異材部（１７５）とが含まれ、
前記第１異材部は、前記所定材料とは異なる音響インピーダンスを有する第１部材で構成され、
前記第２異材部は、前記所定材料と前記第１部材との何れとも異なる音響インピーダンスを有する第２部材で構成されている、請求項３に記載の物体検出装置。
［請求項５］
前記短状構成部は複数設けられ、
複数の前記短状構成部には、第１短状構成部（１６６）と、前記所定材料部分が前記一方向に占める前記長さが前記第１短状構成部とは異なる第２短状構成部（１６８）とが含まれる、請求項１ないし３のいずれか１つに記載の物体検出装置。
［請求項６］
前記短状構成部は、前記一方向に沿った方向視で前記振動子を囲むように配置される、請求項１ないし５のいずれか１つに記載の物体検出装置。
［請求項７］
前記短状構成部は複数設けられ、
複数の前記短状構成部には、前記一方向に沿った方向視で前記振動子を囲むように配置される第１短状構成部（１６６）と第２短状構成部（１６８）とが含まれ、
前記第１短状構成部は、前記第２短状構成部に対し内周側に配置され、
前記第１短状構成部と前記第２短状構成部は、前記所定材料とは異なる音響インピーダンスを有する異材料部材で構成された異材部（１７４、１７５）をそれぞれ有し、
前記第１短状構成部と前記第２短状構成部とのそれぞれの前記異材部は、前記縦断面において、前記一方向に垂直な方向（Ｄｒ）に間隔をあけて並ぶ２箇所の前記所定材料部分の間に形成され、
前記第１短状構成部の前記異材部（１７４）の一部と前記第２短状構成部の前記異材部（１７５）の一部は、前記異材料部材で構成された部分（１７７）を介して連結されている、請求項１または２に記載の物体検出装置。
【符号の説明】
【0207】
１０ 超音波センサ（物体検出装置）
１４ 振動子
１６ 制振部材（制振部）
９４ 壁部
９４ａ 一方面
１６４ 所定材料部分
１６６ 第１短状構成部（短状構成部）
１６８ 第２短状構成部（短状構成部）
１７８ 短状構成部
Ｄ１ 第１方向（一方向）
１４ 振動子
１６ 制振部材（制振部）
９４ 壁部
９４ａ 一方面
１６４ 所定材料部分
１６６ 第１短状構成部（短状構成部）
１６８ 第２短状構成部（短状構成部）
１７８ 短状構成部
Ｄ１ 第１方向（一方向）
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】