特開 2024-106211 液体吐出ヘッド

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024106211

(43)【公開日】2024-08-07

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッド

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20240731BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 607

B41J2/14 301

B41J2/14 611

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023010405

(22)【出願日】2023-01-26

(71)【出願人】

【識別番号】000003562

【氏名又は名称】東芝テック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110003362

【氏名又は名称】弁理士法人ｉ．ＰＡＲＴＮＥＲＳ特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】仁田 昇

【テーマコード（参考）】

2C057

【Ｆターム（参考）】

2C057AG44

2C057AG55

2C057AR14

2C057BA04

2C057BA14

(57)【要約】

【課題】圧電アクチュエーターが与える力で撓み易い金属箔貼り樹脂フィルムで形成した振動板を備える液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】実施形態の液体吐出ヘッドは、圧力室、振動板、圧電アクチュエーター、及び支柱を備える。圧力室は、液体を吐出するノズルと連通する。振動板は、前記圧力室の隔壁の一部を構成する。振動板は、金属箔貼り樹脂フィルムで形成する。圧電アクチュエーターは、前記振動板に力を与える。支柱は、前記圧電アクチュエーターが力を与える面と同一面で前記振動板を支える。前記金属箔は、前記振動板が前記圧電アクチュエーターに接する部分と前記支柱とに接する部分にあり、前記圧電アクチュエーターと前記支柱の間の部分には無い。
【選択図】図３

【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を吐出するノズルと連通する圧力室と、
金属箔貼り樹脂フィルムで形成した、前記圧力室の隔壁の一部を構成する振動板と、
前記振動板に力を与える圧電アクチュエーターと、
前記圧電アクチュエーターが力を与える面と同一面で前記振動板を支える支柱と、を備え、
前記金属箔は、前記振動板が前記圧電アクチュエーターに接する部分と前記支柱に接する部分とにあり、前記圧電アクチュエーターと前記支柱の間の部分には無いことを特徴とする液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記金属箔を介して前記圧電アクチュエーターに電圧を印加することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記金属箔は、前記圧電アクチュエーターのコモン端子を共通接続する共通電極に接続していることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記金属箔は、複数の前記圧電アクチュエーターを配列する領域を囲うように形成していることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記樹脂フィルムは、複数の前記圧電アクチュエーターを配列する領域で薄肉に形成していることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の実施形態は、液体吐出ヘッドに関する。

【背景技術】

【0002】

所定量の液体を所定の位置に供給する液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えばインクジェットプリンタ、３Ｄプリンタ、分注装置などに搭載する。インクジェットプリンタは、インクの液滴をインクジェットヘッドから吐出して、記録媒体の表面に画像等を形成する。３Ｄプリンタは、造形材の液滴を造形材吐出ヘッドから吐出し、硬化させて、三次元造形物を形成する。分注装置は、試料の液滴を吐出して複数の容器等へ所定量供給する。

【0003】

液体吐出ヘッドは、液体を吐出するチャネルを複数有している。各チャネルは、液体を吐出するノズル、ノズルに連通する圧力室、圧力室の隔壁の一部を構成する振動板、及び振動板に力を与えて圧力室の容積を変える圧電アクチュエーターを備える。液体吐出ヘッドは、複数のチャネルの中から液体を吐出するチャネルを選択し、圧電アクチュエーターに駆動信号を与えて駆動させる。圧電アクチュエーターで振動板に力を与えると、液体で満たされている圧力室の容積が変わり、ノズルから液体が吐出する。しかしながら、このような構成の液体吐出ヘッドは、振動板が撓み難い構造であると、液体を吐出する効率が悪くなる。また、振動板とは別に、圧電アクチュエーターに駆動信号を与える電極が別途必要である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００６－１５０８０８号公報

【特許文献2】特開２０００－１５８６５０号公報

【特許文献3】特開２０００－０９４６８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明が解決しようとする課題は、圧電アクチュエーターから与える力で撓み易い金属箔貼り樹脂フィルムで形成した振動板を備える液体吐出ヘッドを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の実施形態の液体吐出ヘッドは、圧力室、振動板、圧電アクチュエーター、及び支柱を備える。圧力室は、液体を吐出するノズルと連通する。振動板は、前記圧力室の隔壁の一部を構成する。振動板は、金属箔貼り樹脂フィルムで形成する。圧電アクチュエーターは、前記振動板に力を与える。支柱は、前記圧電アクチュエーターが力を与える面と同一面で前記振動板を支える。前記金属箔は、前記振動板が前記圧電アクチュエーターに接する部分と前記支柱に接する部分とにあり、前記圧電アクチュエーターと前記支柱の間の部分には無い。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】第１実施形態に従うインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタの全体構成図である。

【図2】上記インクジェットヘッドの斜視図である。

【図3】上記インクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した断面図である。

【図4】上記インクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した断面図である。

【図5】上記インクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した平面図である。

【図6】上記ヘッド部の圧電アクチュエーターの斜視図である。

【図7】上記ヘッド部のフレキシブルプリント配線板の平面図と断面図である。

【図8】上記ヘッド部の振動板の平面図と断面図である。

【図9】上記インクジェットヘッドの制御系の回路図である。

【図10】上記インクジェットヘッドの圧電アクチュエーターに与える駆動波形である。

【図11】上記圧電アクチュエーターの動作の説明図である。

【図12】第２実施形態に従うインクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した断面図である。

【図13】上記ヘッド部の振動板の平面図と断面図である。

【図14】上記ヘッド部の圧電アクチュエーターの斜視図である。

【図15】第２実施形態の変形例に従うインクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した断面図である。

【図16】上記ヘッド部のフレキシブルプリント配線板の平面図と断面図である。

【図17】上記ヘッド部の振動板の平面図と断面図である。

【図18】第３実施形態に従うインクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した断面図である。

【図19】上記ヘッド部の圧電アクチュエーターの斜視図である。

【図20】上記ヘッド部の振動板の平面図と断面図である。

【図21】第４実施形態に従うインクジェットヘッドの圧電アクチュエーターの斜視図である。

【図22】上記ヘッド部の振動板の平面図と断面図である。

【図23】第４実施形態の変形例に従うインクジェットヘッドのヘッド部の振動板の平面図と断面図である。

【図24】第５実施形態に従うインクジェットヘッドの圧電アクチュエーターの斜視図である。

【図25】上記ヘッド部の振動板の平面図と断面図である。

【図26】上記ヘッド部のフレキシブルプリント配線板の平面図と断面図である。

【図27】上記ヘッド部の振動板の変形例の平面図と断面図である。

【図28】上記ヘッド部の振動板の変形例の平面図と断面図である。

【図29】上記ヘッド部の振動板の変形例の平面図と断面図である。

【図30】第６実施形態に従うインクジェットヘッドの圧電アクチュエーターの斜視図である。

【図31】上記インクジェットヘッドのヘッド部を部分拡大した断面図である。

【図32】上記ヘッド部の振動板の平面図と断面図である。

【図33】上記ヘッド部のフレキシブルプリント配線板の平面図と断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、実施形態に従う液体吐出ヘッドについて、添付図面を参照しながら詳述する。なお、各図において、同一構成は同一の符号を付している。

【0009】

（第１実施形態）
第１実施形態の液体吐出ヘッドを搭載した画像形成装置の一例として、記録媒体に画像を印刷するインクジェットプリンタ１０を説明する。図１は、インクジェットプリンタ１０の概略構成を示す。インクジェットプリンタ１０は、筐体１１の内部に、記録媒体の一例であるシートＳを収納するカセット１２、シートＳの上流搬送路１３、カセット１２内から取り出したシートＳを搬送する搬送ベルト１４、搬送ベルト１４上のシートＳに向けてインクの液滴を吐出する複数のインクジェットヘッド１００～１０３、シートＳの下流搬送路１５、排出トレイ１６、及び制御基板１７を配置する。ユーザーインターフェイスである操作部１８は、筐体１１の上部側に配置する。

【0010】

シートＳに印刷する画像データは、例えば外部接続機器であるコンピュータ２００で生成する。コンピュータ２００で生成した画像データは、ケーブル２０１、コネクタ２０２，２０３を通してインクジェットプリンタ１０の制御基板１７に送る。

【0011】

ピックアップローラ２０４は、カセット１２からシートＳを一枚ずつ上流搬送路１３へ供給する。上流搬送路１３は、送りローラ対１３１、１３２と、シート案内板１３３、１３４で構成する。シートＳは、上流搬送路１３を経由して、搬送ベルト１４の上面に送る。図中の矢印１０４は、カセット１２から搬送ベルト１４へのシートＳの搬送経路を示す。

【0012】

搬送ベルト１４は、表面に多数の貫通孔を形成した網状の無端ベルトである。駆動ローラ１４１、従動ローラ１４２，１４３の３本のローラは、搬送ベルト１４を回転自在に支持する。モータ２０５は、駆動ローラ１４１を回転することによって搬送ベルト１４を回転させる。モータ２０５は、駆動装置の一例である。図中１０５は、搬送ベルト１４の回転方向を示す。搬送ベルト１４の裏面側に、負圧容器２０６を配置する。負圧容器２０６は、減圧用のファン２０７と連結する。ファン２０７は、形成する気流によって負圧容器２０６内を負圧にし、搬送ベルト１４の上面にシートＳを吸着保持させる。図中１０６は、気流の流れを示す。

【0013】

液体吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッド１００～１０３は、搬送ベルト１４上に吸着保持したシートＳに対して、例えば１ｍｍの僅かな隙間を介して対向するように配置する。インクジェットヘッド１００～１０３は、シートＳに向けてインクの液滴を夫々吐出する。インクジェットヘッド１００～１０３は、下方をシートＳが通過する際に画像を印刷する。各インクジェットヘッド１００～１０３は、吐出するインクの色が異なることを除けば、同じ構造である。インクの色は、例えば、シアン，マゼンタ，イエロー，ブラックである。

【0014】

インクジェットヘッド１００～１０３は、夫々、インク流路３１１～３１４を介してインクタンク３１５～３１８及びインク供給圧力調整装置３２１～３２４と連結する。各インクタンク３１５～３１８は、各インクジェットヘッド１００～１０３の上方に配置する。待機時に、インクジェットヘッド１００～１０３のノズル２４（図２参照）からインクが漏れ出ないように、各インク供給圧力調整装置３２１～３２４は、各インクジェットヘッド１００～１０３内を大気圧に対して負圧、例えば－１．２ｋＰａに調整している。画像形成時、各インクタンク３１５～３１８のインクは、インク供給圧力調整装置３２１～３２４によって各インクジェットヘッド１００～１０３に供給する。

【0015】

画像形成後、搬送ベルト１４から下流搬送路１５へシートＳを送る。下流搬送路１５は、送りローラ対１５１，１５２，１５３，１５４と、シートＳの搬送経路を規定するシート案内板１５５，１５６で構成する。シートＳは、下流搬送路１５を経由し、排出口１５７から排出トレイ１６へ送る。図中矢印１０７は、シートＳの搬送経路を示す。

【0016】

続いて、インクジェットヘッド１００～１０３の構成について説明する。以下は、図２～図１１を参照しながら、インクジェットヘッド１００について説明しているが、インクジェットヘッド１０１～１０３もインクジェットヘッド１００と同じ構造である。

【0017】

図２に示すように、インクジェットヘッド１００は、液体吐出部の一例であるヘッド部２を備える。ヘッド部２は、フレキシブルプリント配線板２１と接続する。フレキシブルプリント配線板２１は、中継基板の一例であるプリント基板２２と接続する。さらにヘッド部２は、詳しくは後述する振動板５の電極の引出し部５１が外に延びている。

【0018】

ヘッド部２は、ノズル部の一例であるノズルプレート２３を備える。インクを吐出する各チャネルのノズル２４は、ノズルプレート２３の第１の方向の例えばＸ方向に沿って配列する。ノズル密度は、例えば１５０～１２００ｄｐｉの範囲内に設定する。ノズル２４は、一列に限らず、複数列であってもよい。インクは、インク流路３１１を介してヘッド部２に供給する。インク流路３１１は、図１のインク供給圧力調整装置３２１と接続する。ヘッド部２の内部構造は後述する。

【0019】

フレキシブルプリント配線板２１は、例えばポリイミドフィルムなどの樹脂フィルムを用いたフレキシブルなプリント配線基板（FPC（Flexible Printed Circuits））である。フレキシブルプリント配線板２１は、ドライバチップである駆動用のＩＣ（Integrated Circuit）３を搭載している（以下、駆動ＩＣと称す）。プリント基板２２は、ガラス繊維入りのエポキシ樹脂層と銅配線層を多重に積層した硬質のスルーホール基板である。制御部としての駆動ＩＣ３は、インクジェットプリンタ１０の制御基板１７からプリント基板２２を介して送られてくるプリントデータを一時的に格納し、所定のタイミングでインクを吐出するよう各チャネルに駆動信号を与える。

【0020】

図３～図５は、ヘッド部２の部分断面図である。図４は、図３のＡ－Ａの断面図であり、図５は、図３のＢ－Ｂの断面図である。ノズルプレート２３は、圧力室基板４の一面に接合する。ノズルプレート２３は、例えばポリイミドなどの樹脂又はステンレスなどの金属で形成した矩形状のプレートである。

【0021】

振動板５は、ノズルプレート２３とは反対側の圧力室基板４の一面に接合する。振動板５は、金属箔貼り樹脂フィルム５２で形成する。樹脂フィルム５２は、例えばポリイミドフィルムである。振動板５の好ましい一例は、フレキシブルプリント配線板（FPC（Flexible Printed Circuits））である。金属箔貼り樹脂フィルム５２は、それ自体が外力を加えたときに変形する可撓性を有するが、圧電アクチュエーター６の周辺の変形する部分の厚みをその外側部分の厚みよりも薄く形成することで更に撓み易くしている。電極５３は、所定の形状にパターニングした金属箔によって樹脂フィルム５２上に形成している。金属箔は、例えば銅箔である。電極５３は共通電極である。

【0022】

圧力室４２は、圧力室基板４に形成する。複数の圧力室４２は、各ノズル２４の位置に配列して、ノズル２４とそれぞれ連通させている。圧力室基板４は、例えばステンレスなどの金属で形成する。圧力室４２は、一例として、第２の方向の例えばＺ方向に貫通する矩形状の開口を圧力室基板４に形成し、両側の開口をノズルプレート２３と振動板５でそれぞれ塞ぐことによって形成する。すなわち、振動板５は、複数の圧力室４２が共用し、複数の圧力室４２のそれぞれの隔壁の一部を構成している（図４参照）。

【0023】

圧力室４２は、狭窄部を有するガイド流路４３と連通し、さらに振動板５を貫通する開口穴であるインク供給口４４を介してインク供給マニホールド４５に連通する。ガイド流路４３は、圧力室４２ごとに、圧力室基板４の振動板５側の一面に第３の方向の例えばＹ方向に溝状に形成する。インク供給マニホールド４５は、振動板５の一面に接合したフレーム４６内に形成する。インク供給マニホールド４５は、Ｘ方向に延び、各チャネルのインク供給口４４及びガイド流路４３を介して、各チャネルの圧力室４２とそれぞれ連通する。共通インク室としてのインク供給マニホールド４５は、インク流路３１１と連通する（図１，図２参照）。

【0024】

各チャネルの圧電アクチュエーター６は、振動板５を挟んで圧力室４２と対向する位置に配列している。支柱６０は、隣り合う圧電アクチュエーター６の間に配置する（図４参照）。圧電アクチュエーター６及び支柱６０は、Ｚ方向における振動板５とは反対側の一面を支持部材４７に接合することによって固定している。圧電アクチュエーター６と振動板５、及び支柱６０と振動板５は、接着剤で夫々接合する。フレーム４６も接着剤で振動板５と接合する。接着剤は、例えば熱硬化性エポキシ樹脂である。

【0025】

圧電アクチュエーター６は、例えばピエゾ素子などの圧電体６１、第１の内部電極６２、及び第２の内部電極６３を交互に層状に積層して形成した積層型圧電アクチュエーターである（特に図３参照）。各圧電体６１は、分極方向が例えばＺ方向において互いに逆向きに配置し、ｄ３３モードで変形させる。第１の内部電極６２と第２の内部電極６３は、圧電体６１の主面にそれぞれ形成した導電膜である。第１の内部電極６２は、それぞれＹ方向における圧電アクチュエーター６の一方の端面まで形成し、この端面に形成した第１の外部電極６４に接続する。第２の内部電極６３は、それぞれＹ方向における圧電アクチュエーター６の他方の端面まで形成し、この端面に形成した第２の外部電極６５に接続する。第２の外部電極６５は、振動板５と対向する圧電アクチュエーター６のＺ方向の端面にまで形成する（図３，図６参照）。図６は、圧電アクチュエーター６及び支柱６０を振動板５側からみた斜視図である。

【0026】

ダミー層６８は、圧電体６１と同材料である。但し、ダミー層６８は、内部電極を設けず、電界が印加されないので変形しない。ダミー層６８は、圧電アクチュエーター６を支持部材４７に固定するベースとなり（図４参照）、あるいは組立中や組立後の精度を出すために研磨する研磨代となる。特に図４と図６に示すように、第２の外部電極６５は、ダミー層６８の一面にも形成し、各圧電アクチュエーター６の第２の外部電極６５同士をつないで共通電極とする。

【0027】

複数の圧電体６１を積層した圧電アクチュエーター６は、一例として、薄板状に加工した各圧電体６１の主面に第１の内部電極６２と第２の内部電極６３をそれぞれ成膜する。そして圧電体６１同士を積層し焼成して一体にする。その後、第１の外部電極６４と第２の外部電極６５を成膜する。その後、圧電体６１を着分極する。圧電体６１は、チタン酸ジルコン酸鉛 (ＰＺＴ)などの鉛含有圧電材料、或いはニオブ酸ナトリウムカリウムなどの鉛非含有圧電材料で形成する。第１の内部電極６２と第２の内部電極６３は、銀パラジウムなどの焼成可能な導電性材料で成膜する。第１の外部電極６４と第２の外部電極６５は、メッキ法やスパッタ法など既知の方法で、Ｎｉ、Ｃｒ、Ａｕなどで成膜する。

【0028】

各圧電アクチュエーター６の第１の外部電極６４は、フレキシブルプリント配線板２１の個別電極６６にそれぞれ接続する（図３参照）。フレキシブルプリント配線板２１は、基材となる樹脂フィルム２６，個別電極６６，絶縁フィルム２７，接着剤２８によって構成する。樹脂フィルム２６は、例えばポリイミドフィルムである。個別電極６６は、例えば銅箔などの金属箔で樹脂フィルム２６上に形成する。絶縁フィルム２７は、第１の外部電極６４と接続する部分を除いて個別電極６６を被覆する。絶縁フィルム２７は、接着剤２８で固定する。絶縁フィルム２７と接着剤２８に代えて金属箔を形成した樹脂フィルム２６上に樹脂を塗布することによって絶縁層を形成してもよい。

【0029】

フレキシブルプリント配線板２１は、個別電極６６が第１の外部電極６４と接触するように配置し、例えばＮＣＦ（Non-Conductive Film）などによって固定する。或いはハンダなどによって固定してもよい。ＮＣＦはＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）から導電粒子を取り除いたものであって、それ自体は絶縁体だが第１の外部電極６４と個別電極６６を接触させつつ熱硬化することによって第１の外部電極６４と個別電極６６を導通させる。

【0030】

図７は、フレキシブルプリント配線板２１の一例を示す。図７の平面図と断面図に示すように、個別電極６６は、樹脂フィルム２６上に圧電アクチュエーター６の数だけを同じピッチで並列に形成している。各個別電極６６は、各チャネルの圧電アクチュエーター６の中心線上に位置するように夫々配置する。個別電極６６の幅は、圧電アクチュエーター６の第１の外部電極６４の幅よりも小さくするのが好ましい。ヘッドの組み立て時において、要求される位置合わせ精度を緩和できるからである。但し、個別電極６６の厚みは、圧電アクチュエーター６の第１の外部電極６４の厚みよりも大きくして配線抵抗を少なくする。第１の外部電極６４と個別電極６６の接続点が、圧電アクチュエーター６に駆動信号を与える個別端子である。

【0031】

圧電アクチュエーター６の振動板５と対向する面に形成した第２の外部電極６５は、振動板５の樹脂フィルム５２上に形成した電極５４と接続する（図３，図４参照）。電極５４は、振動板５に形成した共通電極５３の一部である。すなわち第２の外部電極６５と電極５４の接続点が、圧電アクチュエーター６に共通電位を与えるコモン端子である。第２の外部電極６５と電極５４は、例えばＮＣＦ（Non-Conductive Film）などによって固定する。銀ペーストなどを用いて電気的接続を保ちつつ固定してもよい。その際、例えば熱処理によって圧電体６１が脱分極するなら、第１の内部電極６２と第２の内部電極６３間に分極電圧を与えて再分極すればよい。

【0032】

振動板５側の共通電極５３は、例えばポリイミドフィルムにアディティブ法で銅箔などの金属層を析出させる、または接着剤レスの銅貼りポリイミドフィルム（２層ＣＣＬ）の銅箔をエッチングする、あるいは２層ＣＣＬ上のエッチングで形成した銅箔パターンに更に金属を析出させる、などによって形成する。図８は、振動板５の一例を示す。図８の平面図と断面図に示すように、各第２の外部電極６５と接続する電極５４は、例えば樹脂フィルム５２の先端側で露出している部分をパターニングして形成している。共通電極５３の基端側は、開口穴であるインク供給口４４の部分を除いて、樹脂フィルム５２上に面積を広く形成し、樹脂フィルム材５５で被覆している。樹脂フィルム材５５は、接着剤５６で固定する。インク供給口４４の部分は、共通電極５３の開口穴をインク供給口４４よりも大きくし、樹脂フィルム５２と樹脂フィルム材５５の間を接着剤５７で封止する。

【0033】

各圧電アクチュエーター６に接続する共通電極５３の各電極５４は、例えば圧電アクチュエーター６の中心線上に位置するように配列する。電極５４の幅は、圧電アクチュエーター６の第２の外部電極６５の幅よりも小さくするのが好ましい。ヘッドの組み立て時において、要求される位置合わせ精度を緩和できるからである。但し、電極５４の厚みを、圧電アクチュエーター６の第２の外部電極６５の厚みよりも大きくして配線抵抗を少なくする。共通電極５３は、振動板５内で電極５４を互いに電気的に接続している。これによって圧電アクチュエーター６の第２の外部電極６５に至る共通インピーダンスを低く抑え、電気的なクロストークを防ぐ。同様に支柱６０と対向する位置にも電極５４を形成する。支柱６０は、電極５４の部分を介して振動板５を支える。支柱６０が支える振動板５の一面は、圧電アクチュエーター６が振動板５に対して力を与える一面と同じ面である。特に図４に示すように、電極５４は、振動板５が圧電アクチュエーター６に接する部分と支柱６０に接する部分にあり、圧電アクチュエーター６と支柱６０の間の部分には無い。

【0034】

電極５４を形成する側の樹脂フィルム５２の一面は、凹状に形成して、その外側周辺よりも厚みが薄い領域５８を設けている。圧電アクチュエーター６及び支柱６０は、この薄厚の領域５８内に配列する。この薄厚の領域５８のうち圧電アクチュエーター６と支柱６０の間に跨る部分、すなわち図１１に示した撓み部５００が、圧電アクチュエーター６からの力で変形することによって薄厚の領域５８が変位し、実質的な振動板として機能する。薄厚にした領域５８の厚みは、例えば４μｍである。その外側の厚みは、例えば８μｍである。電極５４の厚みは、例えば４μｍである。薄厚にする領域５８は、一例として、樹脂フィルム５２の表面をアルカリエッチングして形成してもよく、或いは、薄い樹脂フィルムと該当部分に穴を開けた樹脂フィルムとを積層して形成してもよい。共通電極５３（電極５４を含む）は、一例として、凹状の領域５８を形成した後に金属箔を所定の形状にプリントして形成する。その後、樹脂フィルム材５５を接着剤５６で接合し、さらに接着剤５７でインク供給口４４の部分を封止する。薄厚にする領域５８は、図８では圧電アクチュエーター６と接する面側を薄くしているが、その反対面、すなわち圧力室４２に面する側を薄く形成してもよい。但し、アルカリエッチング等により薄厚化すると化学的に不安定になり耐インク性が低下する恐れがあるので図８のように圧電アクチュエーター６側を薄厚化する方が望ましい。また、振動板５の圧電アクチュエーター６と対する部分及び支柱６０と対する部分は変形しないのでこれらの部分は必ずしも薄厚化せずに厚いまま残してもよい。

【0035】

さらに共通電極５３は、樹脂フィルム５２の薄厚にした領域５８を囲うようにも形成する。樹脂フィルム５２の厚みを薄くすると、圧電アクチュエーター６から力を受けたときに撓み易くなり、圧電アクチュエーター６の周囲の部分（例えば圧電アクチュエーター６と支柱６０の間に跨る撓み部５００など）が圧電アクチュエーター６の動きを妨げることが抑えられる。これは良い効果である。一方で、薄厚にした分、部品としての強度が落ちるため、振動板５の部品としての取り扱いが困難になる。そこで、薄厚にした領域５８を囲うように共通電極５３を形成する。金属箔は、樹脂フィルム５２よりも強度が高いので、枠状に形成した共通電極５３によって、振動板５の強度を確保する。しかもこの枠状にした部分に跨る様に電極５４を配列しているので、電極５４が梁の役割を兼ねてさらに強度が増す。金属箔による電極５４は、給電用の電極として利用せずに、振動板５の部品としての取り扱いを容易にするためだけの目的で設け、圧電アクチュエーター６への給電は例えば従来通りの方法を採用しても構わない。

【0036】

振動板５の引出し部５１は、ヘッド部２の外にケーブル状に延びている。引出し部５１は、その先に給電部（不図示）を有する。一例として、引出し部５１をプリント基板２２に接続し、プリント基板２２を介して引出し部５１に給電する。引出し部５１となる部分は、共通電極５３が樹脂フィルム５２と樹脂フィルム材５５とで挟まれた構造となっている。樹脂フィルム５２と樹脂フィルム材５５は、いずれも振動板５の薄厚にした領域５８以上の厚さで、望ましくは共通電極５３である金属箔を挟む部分は互いに同じ厚さにする。この同じ厚さとは、基材側の樹脂フィルム５２は２層金属箔貼り樹脂フィルムなので接着層を含まない厚さであり、被覆する側の樹脂フィルム材５５は接着剤５７の層を含む厚さである。このように共通電極５３である金属箔を挟む樹脂フィルム材５２，５５を同じ厚さにすることによって、引出し部５１を屈曲したときの中立面が金属箔のある場所と一致し、その結果、引き出し部５１が屈曲に対して強くなる。

【0037】

特に図４に示すように、支柱６０は、各チャネルの圧電アクチュエーター６の間に溝６９を介して配置する。駆動用の圧電アクチュエーター６および支柱６０とするダミーの圧電アクチュエーターは、共通の圧電体６１、第１の内部電極６２、第２の内部電極６３、第１の外部電極６４、及び第２の外部電極６５を用いて一括で形成し、溝６９を形成することで個々の圧電アクチュエーター６と支柱６０に分ける。支柱６０は、隣接する圧力室４２間の隔壁４０にあたる位置に配置する。これにより振動板５は、支柱６０と隔壁４０に挟持され、その位置が固定される。振動板５の支柱６０と圧電アクチュエーター６の間に跨る部分が、圧電アクチュエーター６が変位したときの撓み部５００となる（図１１）。支柱６０は、圧電アクチュエーター６と同様に圧電体６１等で形成するのに代えて、別の部材で形成してもよい。例えば支持部材４７と一体的に支柱を形成してもよい。

【0038】

図９は、インクジェットヘッド１００の制御系の回路図である。図９に示すように、圧電アクチュエーター６は、第１の外部電極６４を個別電極６６に接続し、個別電極６６を介して駆動ＩＣ３の出力端子に接続する。第２の外部電極６５は、電極５４を介して振動板５内の共通電極５３に接続し、引出し部５１内の共通電極５３を介して共通電位に接続する。

【0039】

各圧電アクチュエーター６からの個別電極６６は、駆動ＩＣ３の各チャネルの駆動ドライバＤ（すなわち、駆動回路）の出力端子にそれぞれ接続する。駆動ＩＣ３は、圧電アクチュエーター６に与える駆動電圧Ｖ１の電源７及び駆動電圧Ｖ２の電源７０を接続する。電源７及び電源７０は、正極を駆動ＩＣ３に接続し、負極をグランド（ＧＮＤ）に接続する。駆動ＩＣ３は、インクジェットプリンタ１０の制御部である制御基板１７（図１参照）から送られてくるプリントデータの信号線と接続する。プリントデータは、制御信号の一例である。各圧電アクチュエーター６のコモン端子からの共通電極５３は、グランド（ＧＮＤ）に接続する。

【0040】

続いて、図１０及び図１１を参照しながらインク吐出動作について説明する。駆動ＩＣ３の各駆動ドライバＤは、駆動電圧Ｖ１，Ｖ２及びグランド（ＧＮＤ）を使って、各圧電アクチュエーター６の個別端子に駆動波形を与える。電圧Ｖ１は例えば２０Ｖである。電圧Ｖ２は例えば１０Ｖである。グランド（ＧＮＤ）は例えば０Ｖである。どの圧電アクチュエーター６を駆動させるかは、例えばプリントデータに基づく。図１０は、圧電アクチュエーター６に与える駆動波形の一例である。

【0041】

図１０に示すように、コモン端子にクランド電位を与えている圧電アクチュエーター６を駆動させる場合、個別端子に電圧Ｖ２を与えて待機状態とする。電圧Ｖ２を与えると、圧電体６１の分極軸の向きに電界が印加され、図１１（ａ）に示すように、圧電アクチュエーター６が積層方向（Ｚ方向）に伸長して圧力室４２の容積が縮小した状態になる。これはインク吐出のタイミングに先立って行っておく。その後、インクの吐出タイミング（図１０の時刻ｔ１）で最初に個別端子の電位をグランド（ＧＮＤ）に下げることで、図１１（ｂ）に示すように、伸長していた圧電アクチュエーター６が元に戻り、すなわち相対的に収縮し、圧力室４２の容積が相対的に拡張する。圧力室４２の容積が拡張した分、ガイド流路４３を介して圧力室４２内にインクが流れ込む。そして例えばヘッド部２の圧力振動周期の１／２の時間経過後、図１０の時刻ｔ２において個別端子に電圧Ｖ２を与えると、図１１（ｃ）に示すように、圧電アクチュエーター６が積層方向（Ｚ方向）に伸長して相対的に圧力室４２の容積が縮小することでノズル２４からインクの液滴Ｒが吐出する。そして例えばヘッド部２の圧力振動周期の１／２の時間経過後、図１０の時刻ｔ３において個別端子に電圧Ｖ１を与え、所定時間後の時刻ｔ４で電圧Ｖ２に戻す。その際の圧電アクチュエーター６の伸長（図１１（ｄ））と復帰（図１１（ａ））によって圧力室４２の容積を縮小、復帰させ、この動作によって残留振動を減衰させる。このように圧電アクチュエーター６の積層方向の縦振動に合わせて圧力室４２の容積が変わり、インクを吐出することができる。

【0042】

図１１（ａ）～（ｄ）に模式的に示したように、圧電アクチュエーター６が積層方向（Ｚ方向）に変形すると、振動板５は、特に溝６９に対応する部位にある撓み部５００が変形する。例えばノズル密度が３００ｄｐｉの場合、圧力室４２のピッチは１６９μｍである。圧力室４２の幅は約８０μｍ、圧電アクチュエーター６の幅は約４０μｍ、溝６９の幅は２０μｍである。振動板５は、金属箔貼り樹脂フィルム５２で形成し、さらに薄厚の領域５８を設けているので、圧電アクチュエーター６から支柱６０までの空間（溝６９）の撓み部５００の撓み変形を妨げにくい。しかも圧電アクチュエーター６は、電極５４を介して振動板５に力を与えるので、圧電アクチュエーター６から受ける力が振動板５に伝わりやすい。その結果、撓み難い振動板に比べて、インクを吐出する効率が向上する。さらに、振動板５は、金属箔貼り樹脂フィルム５２を用いたことで安価に制作できる。また電極５４が振動板５と一体になっているので狭幅になりがちなフレキシブルプリント基板２１を経由する代わりに別経路で給電することで共通電極５３の抵抗を下げることができ、電気的クロストークを防ぎ、印字品質を向上させることができる。

【0043】

（第２実施形態）
続いて、第２実施形態に従うインクジェットヘッド１００について、図１２～図１７を参照しながら説明する。第２実施形態に従うインクジェットヘッド１００は、振動板５の構造が異なることを除けば、第１実施形態と同様である。従って、第１実施形態と同様の構成については、同じ符号を付すことによって詳細な説明は省略する。

【0044】

第２実施形態の振動板５は、図１２に示すように、Ｙ方向において第１実施形態とは反対側に引出し部５１を設けている。図１３は、振動板５の一例を示す。図１３の平面図と断面図に示すように、引出し部５１は、インク供給口４４とは反対側に設けている。従って、圧力室４２とフレーム４６との間には、共通電極５３，樹脂フィルム材５５及び接着剤５６は無く、樹脂フィルム５２だけで仕切っている。そのため、インク供給口４４を避けるように共通電極５３をパターニングしなくて済む。

【0045】

第２実施形態の変形例として、フレキシブルプリント配線板２１を共通電極５３の配線引き出しに使用し、振動板５を個別電極６６の引き出しに使用するようにしてもよい。この場合、図１４に示すように、各チャネルの圧電アクチュエーター６は、第１の外部電極６４同士を接続し、第２の外部電極６５はチャネル毎に切り離す。図１４は、圧電アクチュエーター６及び支柱６０を振動板５側からみた斜視図である。第１の外部電極６４同士は、ダミー層６８の領域を利用して接続する。すなわち、第１の外部電極６４を圧電アクチュエーター６側の共通電極とする。

【0046】

図１５は、ヘッド部２の断面を示し、図１６は、共通電極を引き出すフレキシブルプリント配線板２１の一例を示す。図１６の平面図と断面図に示すように、フレキシブルプリント配線板２１側の共通電極５３は、樹脂フィルム２６上に形成する。共通電極５３は、各圧電アクチュエーター６の第１の外部電極６４と接続できるように、樹脂フィルム２６の先端側で露出させて電極５４の部分を形成している。共通電極５３の基端側は、樹脂フィルム２６上に面積を広く形成し、樹脂フィルム材５５で被覆している。樹脂フィルム材５５は、接着剤５６で固定する。

【0047】

図１７は、個別電極を引き出す振動板５の一例を示す。図１７の平面図と断面図に示すように、振動板５は、薄厚の領域５８を形成した樹脂フィルム５２上に個別電極６６を形成する。そして引出し部５１を樹脂フィルム材５５で被覆する。樹脂フィルム材５５は、接着剤５６で固定する。個別電極６６は、樹脂フィルム５２上に圧電アクチュエーター６の数だけ同じピッチで並列に形成する。各個別電極６６は、各チャネルの圧電アクチュエーター６の中心線上に位置するように夫々配置する。また支柱６０の中心線上には島状の電極６０１を配置する。個別電極６６及び島状の電極６０１の幅は、第２の外部電極６５の幅よりも小さくするのが好ましい。但し、個別電極６６の厚みは、第２の外部電極６５の厚みよりも大きくする。

【0048】

（第３実施形態）
続いて、第３実施形態に従うインクジェットヘッド１００について、図１８～図２０を参照しながら説明する。第３実施形態に従うインクジェットヘッド１００は、フレキシブルプリント配線板２１を省略し、共通電極と個別電極の両方の引き出しを振動板５で行うようにしたことを除けば、第２実施形態と同様である。従って、第２実施形態と同様の構成については、同じ符号を付すことによって詳細な説明は省略する。この実施形態では圧電アクチュエーター６への配線経路が全て振動板５と一体になっているので配線電極を別途形成するのを省略できる。

【0049】

図１８及び図１９に示すように、各チャネルの圧電アクチュエーター６及び支柱６０は、振動板５と対向する面にＸ方向に溝５９を形成し、溝５９の部分を隔てて同一面に第１の外部電極６４と第２の外部電極６５の両方を形成している。すなわち第１の外部電極６４と第２の外部電極６５の分離部を形成している。溝５９を形成する代わりにパターニングによって第１の外部電極６４と第２の外部電極６５を分離してもよい。さらに、図１９に示すように、各圧電アクチュエーター６の第１の外部電極６４同士は、ダミー層６８の領域を利用して互いに接続し、共通電極とする。一方、第２の外部電極６５は、チャネル毎に切り離す。図１９は、圧電アクチュエーター６及び支柱６０を振動板５側からみた斜視図である。

【0050】

図２０は、振動板５の一例を示す。図２０の平面図と断面図に示すように、薄厚の領域５８を形成した樹脂フィルム５２上に共通電極５３と個別電極６６の両方を形成する。各第１の外部電極６４と接続する電極５４は、領域５８の縁に圧電アクチュエーター６の配列方向に沿って形成した共通電極５３から夫々形成する。共通電極５３の引き出しは、圧電アクチュエーター６の配列方向に形成した共通電極５３の両端を、電極５４よりも大きい幅で引出し部５１に向けて引き出すことによって行う。

【0051】

一方、個別電極６６は、コの字状に形成した共通電極５３の内側の領域に、圧電アクチュエーター６の数だけ同じピッチで並列に形成する。各電極５４及び各個別電極６６は、各チャネルの圧電アクチュエーター６の中心線上に位置するように夫々配置する。但し、個別電極６６と電極５４の先端部同士は、圧電アクチュエーター６上の第１の外部電極６４と第２の外部電極６５の分離部に合わせて間をあける。各電極５４及び各個別電極６６の幅は、第２の外部電極６５及び第１の外部電極６４の幅よりも小さくするのが好ましい。但し、各電極５４及び各個別電極６６の厚みは、第２の外部電極６５及び第１の外部電極６４の幅個別電極６６の厚みよりも大きくする。振動板５は、圧電アクチュエーター６と接続する部分を除いて、樹脂フィルム材５５で被覆する。

【0052】

続いて、第４実施形態に従うインクジェットヘッド１００について、図２１～図２３を参照しながら説明する。第４実施形態は、第３実施形態に対して、圧電アクチュエーター６毎に共通電極と個別電極を分割しないで、圧電アクチュエーター６の配列方向の両端に位置する例えば支柱６０を共通電極の引き出しに利用する。そのため、図２１に示すように、圧電アクチュエーター６の配列方向の両端に、積層電極の内部構造を変えた支柱６００を設ける。支柱６００は、第１の内部電極６２と第２の内部電極６３を、第１の外部電極６４と第２の外部電極６５に跨るように形成する。すなわち、支柱６００の第１の外部電極６４と第２の外部電極６５を電気的に接続する。そして、各圧電アクチュエーター６の第１の外部電極６４同士を、ダミー層６８の領域を利用して互いに接続し、さらに支柱６００の第１の外部電極６４とも接続して、共通電極とする。各圧電アクチュエーター６の第２の外部電極６５は、チャネル毎に切り離すが、前述のとおり支柱６００の第２の外部電極６５は、共通電極とつながっている。

【0053】

図２２は、振動板５の一例を示す。図２２の平面図と断面図に示すように、振動板５は、薄厚の領域５８を形成した樹脂フィルム５２上に共通電極５３と個別電極６６の両方を形成する。支柱６００の第２の外部電極６５と接続する共通電極５３は、樹脂フィルム５２の両側に、引出し部５１に向けて２本形成する。個別電極６６は、２本の共通電極５３の内側の領域に、圧電アクチュエーター６の数だけ同じピッチで並列に形成する。共通電極５３の幅は、個別電極６６の幅よりも大きい。各個別電極６６は、各チャネルの圧電アクチュエーター６の中心線上に位置するように夫々配置する。第４実施形態の変形例として、端部だけでなく他の支柱６０も支柱６００に替えてよい。さらに全ての支柱６０を支柱６００に替えてもよい。すなわち、圧電アクチュエーター６と支柱６００を交互に配置してもよい。端部以外の支柱６００への配線は、図２３のようにして個別電極６６を引き出す方向の反対側から回り込ませる。樹脂フィルム５２上の銅配線は、圧電アクチュエーター６上の配線と比べて厚く安定に形成し易いので、多くの支柱６０を共通電極として利用することによって、共通電極の抵抗を下げ、その結果、電気的なクロストークを防ぎ、インク吐出を安定化させ印字品質を向上できる。

【0054】

（第５実施形態）
続いて、第５実施形態に従うインクジェットヘッド１００について、図２４～図２９を参照しながら説明する。第５実施形態に従うインクジェットヘッド１００は、第４実施形態で説明した圧電アクチュエーター６の配列方向の両端に位置する例えば支柱６０を共通電極の引き出しに利用する形態を、第２実施形態に適用した実施形態である。従って、第３実施形態及び第２実施形態と同様の構成については、同じ符号を付すことによって詳細な説明は省略する。

【0055】

図２４に示すように、圧電アクチュエーター６の配列方向の両端に、積層電極の内部構造を変えた支柱６００を設ける。支柱６００は、第１の内部電極６２と第２の内部電極６３を、第１の外部電極６４と第２の外部電極６５に跨るように形成する。すなわち、支柱６００の第１の外部電極６４と第２の外部電極６５を電気的に接続する。各圧電アクチュエーター６は、第２の外部電極６５同士を、ダミー層６８の領域を利用して互いに接続し、さらに支柱６００の第１の外部電極６４とも接続して、共通電極としている。各圧電アクチュエーター６の第１の外部電極６４は、チャネル毎に切り離すが、支柱６００の第１の外部電極６４は、共通電極とつながっている。

【0056】

図２５は、振動板５の一例を示す。図２５の平面図と断面図に示すように、振動板５は、薄厚の領域５８を形成した樹脂フィルム５２上に共通電極５３を形成する。支柱６００の第２の外部電極６５と接続する共通電極５３は、樹脂フィルム５２の両側に、引出し部５１に向けて２本形成し、さらに引出し部５１で互いに接続する。樹脂フィルム５２上には、共通電極５３とは別に、島状の電極５０を形成する。島状の電極５０は、圧電アクチュエーター６の振動板５と対向する面の中央及び支柱６０の振動板５と対向する面の中央に位置するように配置する。島状の電極５０は、電圧の印加には利用せず、圧電アクチュエーター６からの力を受けるのに使用する。

【0057】

図２６は、フレキシブルプリント配線板２１の一例を示す。図２６の平面図と断面図に示すように、個別電極６６は、樹脂フィルム２６上に圧電アクチュエーターの数だけを同じピッチで並列に形成している。各個別電極６６は、各チャネルの圧電アクチュエーター６の中心線上に位置するように夫々配置する。個別電極６６の幅は、圧電アクチュエーター６の第１の外部電極６４の幅よりも小さくするのが好ましい。但し、個別電極６６の厚みは、圧電アクチュエーター６の第１の外部電極６４の厚みよりも大きくしている。

【0058】

第５実施形態の変形例として、図２７に振動板５の一例を示す。図２７の平面図と断面図に示すように、図２５における圧電アクチュエーター６と接する島状の電極５０は、共通電極５３に接続してもよい。すなわち、薄厚の領域５８を囲うように共通電極５３を形成し、電極５０を接続する。これにより、共通電極５３の共通抵抗を下げることができる。さらに、詳しくは上述の理由により、薄厚の領域５８の強度を高めることができる。別の変形例として、支柱６００を端部だけでなく他の支柱６０も支柱６００に替えてよい。さらに全ての支柱６０を支柱６００に替えてもよい。すなわち、圧電アクチュエーター６と支柱６００を交互に配置してもよい。図２８の振動板５のように、圧電アクチュエーター６に接する島状の電極５０は島状のまま残し、支柱６００に接する電極を共通電極に接続してもよい。図２９のように圧電アクチュエーター６に接する電極と支柱６００に接する電極の両方を共通電極に接続してもよい。この場合も共通電極として利用する部分を増すことによって共通電極の抵抗を下げ、その結果、電気的なクロストークを防ぎ、インク吐出を安定化させ印字品質を向上できる。

【0059】

（第６実施形態）
続いて、第６実施形態に従うインクジェットヘッド１００について、図３０～図３３を参照しながら説明する。第６実施形態に従うインクジェットヘッド１００は、共通電極と個別電極の両方をフレキシブルプリント配線板２１に接続する。そして、振動板５からは電圧の印加に使用する電極は引き出さず、振動板５に形成した電極は圧電アクチュエーター６からの力を受けると共に、共通抵抗を下げ電気的クロストークを低減するのに使用する。また振動板５を補強して振動板５の部品としての取り扱いを容易にする。

【0060】

図３０に示すように、圧電アクチュエーター６の配列方向の両端に、積層電極の内部構造を変えた支柱６００を設ける。支柱６００は、第１の内部電極６２と第２の内部電極６３を、第１の外部電極６４と第２の外部電極６５に跨るように形成する。すなわち、支柱６００の第１の外部電極６４と第２の外部電極６５を電気的に接続する。各圧電アクチュエーター６は、第２の外部電極６５同士を、ダミー層６８の領域を利用して互いに接続し、さらに支柱６００の第２の外部電極６５とも接続して、共通電極としている。各圧電アクチュエーター６の第１の外部電極６４は、チャネル毎に切り離すが、支柱６００の第１の外部電極６４は、共通電極とつながっている。図３１はヘッド部２の断面図である。

【0061】

図３２は、振動板５の一例を示す。図３２の平面図と断面図に示すように、振動板５は、薄厚の領域５８を囲うように電極８を形成し、さらに電極８１を接続する。電極８１は、圧電アクチュエーター６の振動板５と対向する面の中心線上及び支柱６０の振動板５と対向する面の中心線上に位置するように配置する。電極８１は、圧電アクチュエーター６からの力を受けるのに使用する。さらに、電極８１同士を枠状の電極８で接続することで共通抵抗を下げる。支柱６００を端部だけでなく他の支柱６０も支柱６００に替えてよい。すなわち、圧電アクチュエーター６と支柱６００を交互に配置してもよい。

【0062】

図３３は、フレキシブルプリント配線板２１の一例を示す。図３３の平面図と断面図に示すように、フレキシブルプリント配線板２１は、樹脂フィルム２６上に共通電極５３と個別電極６６の両方を形成する。支柱６００の第２の外部電極６５と接続する共通電極５３は、樹脂フィルム２６の両側に形成する。個別電極６６は、２本の共通電極５３の内側の領域に、圧電アクチュエーター６の数だけ同じピッチで並列に形成する。

【0063】

この実施形態では振動板５に引出し部５１が無く、かつ振動板５の面積が小さいので、薄厚部である薄厚の領域５８を設けず、代わりに振動板５の樹脂フィルム５２を全面に亘って薄く形成してもよい。樹脂フィルム５２の全面が薄くても電極８が振動板５の部品としての取り扱いを容易にする。部品状態の振動板５をさらに補強するために撓み部５００を除く他の場所に電極８を拡張してもよい。

【0064】

以上説明したように、上述の実施形態によれば、圧電アクチュエーター６から与える力で撓み易い金属箔貼り樹脂フィルム５２で形成した振動板５を備えたインクジェットヘッド１００を提供することが可能である。上述の構成の積層型圧電アクチュエーターは、Ｚ方向の変形量が大きいので、この実施形態による効果は大きい。

【0065】

なお、圧電アクチュエーター６は、複数の圧電体６１を積層した積層型に限らない。圧電体６１が単一層の圧電アクチュエーターであってもよい。また、駆動電圧を印加したときの圧電アクチュエーターの動作は、縦振動に限らない。さらに、ドロップオンデマンド・ピエゾ方式に限らず、コンティニアス方式に適用してもよい。

【0066】

上述の実施形態では、インクジェットプリンタ１０のインクジェットヘッド１００を液体吐出ヘッドの一例として説明したが、液体吐出ヘッドは、３Ｄプリンタの造形材吐出ヘッド、分注装置の試料吐出ヘッドであってもよい。

【0067】

本発明の実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

【符号の説明】

【0068】

１０ インクジェットプリンタ
１００～１０３ インクジェットヘッド
２ ヘッド部
２４ ノズル
３ 駆動ＩＣ
５ 振動板
５１ 引出し部
５２ 樹脂フィルム
５３ 共通電極
５４ 電極
６ 圧電アクチュエーター
６０ 支柱
６００ 支柱
Ｄ 駆動ドライバ（駆動回路）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】

【図27】

【図28】

【図29】

【図30】

【図31】

【図32】

【図33】