特開 2024-106550 ストレッチャブルデバイス

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024106550

(43)【公開日】2024-08-08

(54)【発明の名称】ストレッチャブルデバイス

(51)【国際特許分類】

   G01L 5/00 20060101AFI20240801BHJP

   G01L 1/18 20060101ALI20240801BHJP

   G01L 1/22 20060101ALI20240801BHJP

【ＦＩ】

G01L5/00 101Z

G01L1/18 B

G01L1/22 Z

【審査請求】未請求

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023010858

(22)【出願日】2023-01-27

(71)【出願人】

【識別番号】502356528

【氏名又は名称】株式会社ジャパンディスプレイ

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】菱沼 賢智

(72)【発明者】

【氏名】佐野 匠

【テーマコード（参考）】

2F049

2F051

【Ｆターム（参考）】

2F049CA04

2F049CA09

2F051AB09

(57)【要約】

【課題】ヒンジ部のひずみ量を精度良く検出できるストレッチャブルデバイスを提供する。
【解決手段】ストレッチャブルデバイスは、ひずみゲージと、ひずみゲージの抵抗値の変化量を検出する電気配線を有する。電気配線は、縦ひずみ用電気配線と横ひずみ用電気配線を有する。縦ひずみ用電気配線と横ひずみ用電気配線は、ひずみゲージの一端に第１電位を印加する第１電位線と、第２電位をひずみゲージの他端に印加する第２電位線と、周辺領域に配置され、第１電位線と第２電位線とを接続する接続線と、第１信号線と、周辺領域に延在する第２信号線を有する。第１信号線が検出する所定の電位には、ひずみゲージの他端と第２電位線とが接続する第１接続点の第３電位である。第２信号線が検出する所定の電位には、接続線の中間点の第４電位である。第３電位と第４電位の電位差によりひずみゲージの抵抗値の変化量を検出する。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１方向と、前記第１方向に交差する第２方向と、を含む平面方向に延在する樹脂基材と、
前記樹脂基材に配置される複数のひずみゲージと、
前記ひずみゲージの抵抗値の変化量を検出する電気配線と、
前記樹脂基材、前記ひずみゲージ、及び前記電気配線を収容する筐体と、
を有し、
前記筐体は、前記平面方向と直交する方向から視て、入力された荷重を検出可能な検出領域と、前記検出領域を囲む枠状の周辺領域と、に区分けされ、
前記樹脂基材は、
前記検出領域に配置され、互いに前記第１方向及び前記第２方向に離隔する複数のボディ部と、
前記検出領域に配置され、蛇行しながら前記第１方向に延在し、前記第１方向に隣り合う前記ボディ部同士を接続する複数の縦ヒンジ部と、
前記検出領域に配置され、蛇行しながら前記第２方向に延在し、前記第２方向に隣り合う前記ボディ部同士を接続する複数の横ヒンジ部と、
を有し、
前記ひずみゲージは、
前記縦ヒンジ部に配置された縦ひずみゲージと、
前記横ヒンジ部に配置された横ひずみゲージと、
を有し、
前記電気配線は、
前記縦ひずみゲージの抵抗値の変化量を検出する縦ひずみ用電気配線と、
前記横ひずみゲージの抵抗値の変化量を検出する横ひずみ用電気配線と、
を有し、
前記縦ひずみ用電気配線と前記横ひずみ用電気配線のそれぞれは、
前記周辺領域と前記ボディ部と前記縦ヒンジ部とに跨って配置され、前記ひずみゲージの一端に第１電位を印加する第１電位線と、
前記周辺領域と前記ボディ部と前記縦ヒンジ部とに跨って配置され、前記第１電位よりも低い第２電位を前記ひずみゲージの他端に印加する第２電位線と、
前記周辺領域に配置され、前記第１電位線と前記第２電位線とを接続する接続線と、
前記周辺領域と前記ボディ部と前記縦ヒンジ部とに跨って配置され、所定の電位を検出する第１信号線と、
前記周辺領域に配置され、所定の電位を検出する第２信号線と、
を有し、
前記第１信号線が検出する所定の電位には、前記ひずみゲージの他端と前記第２電位線とが接続する第１接続点における第３電位であり、
前記第２信号線が検出する所定の電位には、前記接続線の中間点における第４電位であり、
前記第１信号線から検出された前記第３電位と、前記第２信号線から検出された前記第４電位と、の電位差により前記ひずみゲージの抵抗値の変化量を検出する
ストレッチャブルデバイス。

【請求項2】

前記ボディ部に配置され、前記第１信号線と前記ひずみゲージの一端との間に介在するスイッチ素子と、
前記周辺領域と前記ボディ部と前記横ヒンジ部とに跨って配置され、前記スイッチ素子を開閉させるゲート線と、
を有している
請求項１に記載のストレッチャブルデバイス。

【請求項3】

前記縦ひずみ用電気配線と前記横ひずみ用電気配線は、１つの前記第１電位線を共有している
請求項１又は請求項２に記載のストレッチャブルデバイス。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ストレッチャブルデバイスに関する。

【背景技術】

【0002】

ストレッチャブルデバイスは、伸縮性及び可撓性に優れている。このようなストレッチャブルデバイスは、配線層が積層される樹脂基材を有している。樹脂基材は、マトリクス状に配置されたボディ部と、ボディ部同士を接続するヒンジ部と、を有している。特許文献１のヒンジ部は、複数の円弧部を有し、蛇行するミアンダ形状となっている。そして、ストレッチャブルデバイスに引っ張り荷重が作用すると、ヒンジ部の円弧部が拡大するように変形する。この結果、ボディ部同士が離隔し、ストレッチャブルデバイスが伸長する。

【0003】

また、特許文献２には、表示装置が開示されている。この表示装置は、画素毎に圧力センサが設けられている。よって、画素毎に加えられた圧力を検出することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０２１－１１８２７３号公報

【特許文献2】特開２０１９－２８４３５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

近年、ストレッチャブルデバイスに作用した荷重を検出するため、ヒンジ部にひずみゲージを設け、ヒンジ部のひずみ量（変形量）を検出することが検討されている。併せて、ひずみゲージに電圧を印加する電圧線と、ひずみゲージからの信号を受ける信号線と、をヒンジ部とボディ部に跨って配置することが検討されている。但し、この配置によれば、電圧線や信号線のうちヒンジ部に配置される部分にひずみが発生する。つまり、電圧線や信号線の抵抗値が変化する（ノイズが入力される）。よって、ヒンジ部のひずみ量を精度良く検出できない可能性がある。

【0006】

特許文献２の表示装置では、信号線に入力されたノイズを除去するため、ホイートストンブリッジ回路を利用している。しかしながら、ストレッチャブルデバイスのヒンジ部はいわゆる２軸であり、２方向に延在している。よって、特許文献２のホイートストンブリッジ回路をそのまま適用することができない。以上から、ストレッチャブルデバイスにおいて、信号線等をヒンジ部に配置しても、ヒンジ部のひずみ量を精度良く検出できるストレッチャブルデバイスの開発が望まれている。

【0007】

本発明は、ヒンジ部のひずみ量を精度良く検出できるストレッチャブルデバイスを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示の一態様に係るストレッチャブルデバイスは、第１方向と、前記第１方向に交差する第２方向と、を含む平面方向に延在する樹脂基材と、前記樹脂基材に配置される複数のひずみゲージと、前記ひずみゲージの抵抗値の変化量を検出する電気配線と、前記樹脂基材、前記ひずみゲージ、及び前記電気配線を収容する筐体と、を有する。前記筐体は、前記平面方向と直交する方向から視て、入力された荷重を検出可能な検出領域と、前記検出領域を囲む枠状の周辺領域と、に区分けされる。前記樹脂基材は、前記検出領域に配置され、互いに前記第１方向及び前記第２方向に離隔する複数のボディ部と、前記検出領域に配置され、蛇行しながら前記第１方向に延在し、前記第１方向に隣り合う前記ボディ部同士を接続する複数の縦ヒンジ部と、前記検出領域に配置され、蛇行しながら前記第２方向に延在し、前記第２方向に隣り合う前記ボディ部同士を接続する複数の横ヒンジ部と、を有する。前記ひずみゲージは、前記縦ヒンジ部に配置された縦ひずみゲージと、前記横ヒンジ部に配置された横ひずみゲージと、を有する。前記電気配線は、前記縦ひずみゲージの抵抗値の変化量を検出する縦ひずみ用電気配線と、前記横ひずみゲージの抵抗値の変化量を検出する横ひずみ用電気配線と、を有する。前記縦ひずみ用電気配線と前記横ひずみ用電気配線のそれぞれは、前記周辺領域と前記ボディ部と前記縦ヒンジ部とに跨って配置され、前記ひずみゲージの一端に第１電位を印加する第１電位線と、前記周辺領域と前記ボディ部と前記縦ヒンジ部とに跨って配置され、前記第１電位よりも低い第２電位を前記ひずみゲージの他端に印加する第２電位線と、前記周辺領域に配置され、前記第１電位線と前記第２電位線とを接続する接続線と、前記周辺領域と前記ボディ部と前記縦ヒンジ部とに跨って配置され、所定の電位を検出する第１信号線と、前記周辺領域に配置され、所定の電位を検出する第２信号線と、を有する。前記第１信号線が検出する所定の電位には、前記ひずみゲージの他端と前記第２電位線とが接続する第１接続点における第３電位である。前記第２信号線が検出する所定の電位には、前記接続線の中間点における第４電位である。前記第１信号線から検出された前記第３電位と、前記第２信号線から検出された前記第４電位と、の電位差により前記ひずみゲージの抵抗値の変化量を検出する。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、実施形態に係るストレッチャブルデバイスを斜視した模式図である。

【図2】図２は、実施形態に係るストレッチャブルデバイスの断面を模式的に示した図であり、詳細には、図３のＩＩ－ＩＩ線に沿って切った断面図である。

【図3】図３は、実施形態に係るストレッチャブルデバイスの表面の方から樹脂基材及び第１樹脂板の一部を見た拡大図である。

【図4】図４は、実施形態の第１ヒンジを拡大した拡大図である。

【図5】図５は、実施形態の縦ヒンジ部であって第１方向に伸張するような荷重が作用した場合の拡大図である。

【図6】図６は、実施形態の配線層の回路図である。

【図7】図７は、実施形態のボディ部と縦ヒンジ部を平面視した図である。

【図8】図８は、実施形態のボディ部と横ヒンジ部を平面視した図である。

【図9】図９は、実施形態の回路を模式的に示した図である。

【図10】図１０は、実施形態の回路においてヒンジ部が変形した場合模式的に示した図である。

【図11】図１１は、図３のＸＩ－ＸＩ線矢視断面図である。

【図12】図１２は、図３のＸＩＩ－ＸＩＩ線矢視断面図である。

【図13】図１３は、変形例のストレッチャブルデバイスにおけるの配線層の回路図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

本開示を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本開示の発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の構成要素には、同一の符号を付し、詳細な説明を適宜省略することがある。

【0011】

また、本明細書及び特許請求の範囲において、ある構造体の上に他の構造体を配置する態様を表現するにあたり、単に「上に」と表記する場合、特に断りの無い限りは、ある構造体に接するように、直上に他の構造体を配置する場合と、ある構造体の上方に、さらに別の構造体を介して他の構造体を配置する場合との両方を含むものとする。

【0012】

（実施形態）
図１は、実施形態に係るストレッチャブルデバイスを斜視した模式図である。図１に示すように、ストレッチャブルデバイス１は、平板状を成している。ストレッチャブルデバイス１は、互いに反対方向を向く表面１ａと裏面１ｂ（図１で不図示。図２参照）を有している。

【0013】

以下、表面１ａ及び裏面１ｂのそれぞれと平行な方向を平面方向と称する。また、平面方向と平行な一方向を第１方向Ｄｘと称する。平面方向と平行であり、かつ第１方向Ｄｘと交差する方向を第２方向Ｄｙと称する。表面１ａの法線方向（積層方向）を第３方向Ｄｚと称する。そのほか、ストレッチャブルデバイス１を第３方向Ｄｚから視ることを平面視と称する場合がある。

【0014】

ストレッチャブルデバイス１は、平面視で長方形（四角形）に形成されている。よって、表面１ａは、一対の短辺１ｃと、一対の長辺１ｄと、を有している。第１方向Ｄｘは、長辺１ｄと平行な方向とする。第２方向Ｄｙは、短辺１ｃと平行な方向とする。よって、本実施形態では、第１方向Ｄｘと第２方向Ｄｙとは、互いに直交している。

【0015】

ストレッチャブルデバイス１は、平面視で、ストレッチャブルデバイス１に入力された荷重を検出可能な検出領域２と、検出領域２の外側を囲む枠状の周辺領域３と、に区分けされる。なお、図１では、検出領域２と周辺領域３の境界を理解し易くするため、境界線Ｌ１を引いている。

【0016】

図２は、実施形態に係るストレッチャブルデバイスの断面を模式的に示した図であり、詳細には、図３のＩＩ－ＩＩ線に沿って切った断面図である。図２に示すように、ストレッチャブルデバイス１は、裏面１ｂを有する第１樹脂板６０と、表面１ａを有する第２樹脂板７０と、第１樹脂板６０と第２樹脂板７０の間に挟まれた樹脂基材１０及び配線層３０と、を備えている。第１樹脂板６０及び第２樹脂板７０は、互いに協働して樹脂基材１０及び配線層３０を収容する筐体となっている。第１樹脂板６０は、裏面１ｂの反対面である積層面６０ａを有している。この積層面６０ａに、樹脂基材１０、配線層３０の順で積層されている。

【0017】

第１樹脂板６０及び第２樹脂板７０は、ポリイミドにより製造され、伸縮性及び可撓性を有している。なお、第１樹脂板６０及び第２樹脂板７０を形成する樹脂材料は、ポリイミドに限定されず、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂などであってもよく、本開示は上記したものに限定されない。また、以下の説明において、上側又は上方とは、第３方向Ｄｚの一方向であり、第１樹脂板６０から視て第２樹脂板７０が配置されている方を指す。また、下側又は下方とは、第３方向Ｄｚの他方向であり、第２樹脂板７０から視て第１樹脂板６０が配置されている方を指す。

【0018】

図３は、実施形態に係るストレッチャブルデバイスの表面の方から樹脂基材及び第１樹脂板の一部を見た拡大図である。なお、図３において樹脂基材１０を見易くするため、樹脂基材１０にハッチングを施している。樹脂基材１０は、第１樹脂板６０の積層面６０ａに設けられている。樹脂基材１０は、伸縮性、可撓性、及び絶縁性を有している。樹脂基材１０は、例えばポリイミドなどの樹脂材料から形成されている。

【0019】

樹脂基材１０は、複数のボディ部１１と、蛇行しながら平面方向に延在する複数のヒンジ部１２と、を有している。ボディ部１１及びヒンジ部１２は、それぞれ検出領域２に配置されている。

【0020】

ボディ部１１は、平面視で四角形状（正方形状）となっている。ボディ部１１は、４つの角部が第１方向Ｄｘと第２方向Ｄｙを指すように配置されている。複数のボディ部１１は、第１方向Ｄｘ及び第２方向Ｄｙに配列し、かつ互いに離隔している。ボディ部１１に積層される配線層３０には、スイッチ素子（トランジスタ４１）が含まれている（図１１参照）。なお、本開示は、平面視でのボディ部１１の形状に関し、四角形状に限定されず、円形状や他の多角形状であってもよい。

【0021】

ヒンジ部１２は、隣り合うボディ部１１同士を接続している。ヒンジ部１２は、第１方向Ｄｘに延在するする縦ヒンジ部１２Ａと、第２方向Ｄｙに延在する横ヒンジ部１２Ｂと、の２種類がある。また、樹脂基材１０においてボディ部１１とヒンジ部１２とが設けられていない部分は、樹脂基材１０を第３方向Ｄｚに貫通する肉抜き部１９となっている。つまり、樹脂基材１０は、複数の肉抜き部１９を有している。

【0022】

肉抜き部１９と重なる領域には、配線層３０が積層されない。図２に示すように、肉抜き部１９は、第２樹脂板７０により埋められている。このため、ストレッチャブルデバイス１は、肉抜き部１９と重なる範囲の剛性が低く、伸縮性や屈曲性（ストレッチャブル性）を備える。よって、ストレッチャブルデバイス１に荷重が作用すると、ヒンジ部１２が変形する。一方で、ボディ部１１の変形が小さく、ボディ部１１に積層される機能素子（本実施形態ではトランジスタ４１）の破損が抑制される。

【0023】

なお、本実施形態の肉抜き部１９は、第２樹脂板７０により埋められているが、本開示は、第１樹脂板６０により埋められてもよい。又は、肉抜き部１９は、第１樹脂板６０と第２樹脂板７０により埋められていてもよい。若しくは、肉抜き部１９は、第１樹脂板６０と第２樹脂板７０以外の樹脂材により埋められていてもよい。そのほか、肉抜き部１９は、何も配置されておらず、空間となっていてもよい。

【0024】

次に、ヒンジ部１２の詳細を説明する。なお、縦ヒンジ部１２Ａを９０°回転させると、横ヒンジ部１２Ｂと同一形状となる。よって、以下では、縦ヒンジ部１２Ａを代表例として説明する。

【0025】

図４は、実施形態の第１ヒンジを拡大した拡大図である。図５は、実施形態の縦ヒンジ部であって第１方向に伸張するような荷重が作用した場合の拡大図である。なお、図４、図５で示す仮想線Ｋは、縦ヒンジ部１２Ａの幅方向の中央を通過する仮想線である。

【0026】

図４に示すように、縦ヒンジ部１２Ａの幅方向の大きさＷは、縦ヒンジ部１２Ａが延在する長さ方向に一定となっている。縦ヒンジ部１２Ａは、縦ヒンジ部１２Ａの長さ方向の両端部に位置する２つの基部１３と、２つの基部１３の間に配置された４つの屈曲部１４と、を有している。よって、縦ヒンジ部１２Ａは、２つのボディ部１１の間を蛇行しながら第１方向Ｄｘに延在している。説明の都合上、縦ヒンジ部１２Ａを挟む２つのボディ部１１のうち、一方を第１ボディ部１１ａと称し、他方を第２ボディ部１１ｂと称する。

【0027】

基部１３は、ボディ部１１に連続し、ボディ部１１から第１方向Ｄｘに直線状に延びている。なお、２つの基部１３のうち第１ボディ部１１ａに連続する基部１３を第１基部１３ａと称し、第２ボディ部１１ｂに連続する基部１３を第２基部１３ｂと称する。

【0028】

屈曲部１４は、第２方向Ｄｙに折れ曲がっている。本実施形態の屈曲部１４は、円弧状を成している。なお、本開示の屈曲部は、円弧状でなく、角状に形成されていてもよい。４つの屈曲部１４は、第１基部１３ａから第２基部１３ｂに向かって順に配置される第１円弧部２１、第２円弧部２２、第３円弧部２３、第４円弧部２４である。第１円弧部２１及び第４円弧部２４は、四分円状を成し、９０度折れ曲がっている。第２円弧部２２及び第３円弧部２３は、半円弧状を成し、１８０度折れ曲がっている。

【0029】

第１円弧部２１の一端は、第１基部１３ａと接続している。第１円弧部２１は、第１基部１３ａに対し、第２方向Ｄｙの一方に折れ曲がっている。また、第４円弧部２４の一端は、第２基部１３ｂと接続している。第４円弧部２４は、第２基部１３ｂから第２方向Ｄｙの他方に折れ曲がっている。よって、第１円弧部２１と第４円弧部２４とは、折れ曲がる方向が反対となっている。

【0030】

第２円弧部２２の一端は、第１円弧部２１と接続している。第２円弧部２２の他端は、第２方向Ｄｙの他方を向いている。また、第３円弧部２３は、一端が第４円弧部２４と接続し、他端が第２方向Ｄｙの一方を向き、第２円弧部２２の他端と接続している。以上か、４つの屈曲部１４により縦ヒンジ部１２Ａが蛇行している。

【0031】

図４で示すように、各屈曲部１４は、仮想線Ｋを境界として、内側（内周側）に配置される内周部と、外側（外周側）に配置される外周部と、に区分けされる。なお、図４では、各屈曲部１４の内周部と外周部の範囲を明確にするため、内周部と外周部を楕円形で囲んでいる。ただし、仮想線Ｋよりも内周側の全てが内周部であり、仮想線Ｋよりも外周側の全てが外周部である。よって、楕円で囲まれた範囲は、内周部又は外周部の一部である。

【0032】

図５に示すように、ストレッチャブルデバイス１に第１方向Ｄｘに引っ張られると（図５の矢印Ｆ参照）、縦ヒンジ部１２Ａが第１方向Ｄｘに伸張する。つまり、各屈曲部１４が折れ曲がり角度が大きくなり、縦ヒンジ部１２Ａの第１方向Ｄｘの長さが大きくなる。また、各屈曲部１４が折れ曲がり角度が大きくなった場合、各屈曲部１４の内周部と外周部とでは、つぎのような荷重（応力）が作用する。

【0033】

第１円弧部２１の第１内周部２１Ｎには、引っ張り荷重が作用する。第１円弧部２１の第１外周部２１Ｇに圧縮荷重が作用する。第２円弧部２２の第２内周部２２Ｎには、引っ張り荷重が作用する。第２円弧部２２の第２外周部２２Ｇには、圧縮荷重が作用する。第３円弧部２３の第３内周部２３Ｎには、引っ張り荷重が作用する。第３円弧部２３の第３外周部２３Ｇは、圧縮荷重が作用する。第４円弧部２４の第４内周部２４Ｎは、引っ張り荷重が作用する。第４円弧部２４の第４外周部２４Ｇは、圧縮荷重が作用する。

【0034】

以上から、各屈曲部１４の内周部に引っ張り荷重が作用し、一方、各屈曲部１４の外周部に圧縮荷重が作用するようになっている。

【0035】

図４に示すように、ヒンジ部１２には、配線層３０のひずみゲージ２７が配置される。ひずみゲージ２７は、ヒンジ部１２の変形に対応して変形し、抵抗値が変化する。また、ひずみゲージ２７は、縦ヒンジ部１２Ａに配置される縦ひずみゲージ１２７（図７参照）と、横ヒンジ部１２Ｂに配置される横ひずみゲージ２２７（図８参照）と、を有している。仮に、ひずみゲージ２７が屈曲部１４の内周部と外周部のそれぞれに配置されると、ひずみゲージ２７に引っ張り荷重と圧縮荷重の両方が入力され、ヒンジ部１２に作用した荷重を検出できない。これを回避するため、ひずみゲージ２７（縦ひずみゲージ１２７及び横ひずみゲージ２２７）は、各屈曲部１４において、内周部（第１内周部２１Ｎ、第２内周部２２Ｎ、第３内周部２３Ｎ、第４内周部２４Ｎ）のみと重なるように配置されている。つまり、ひずみゲージ２７は、各屈曲部１４において共通した応力（引っ張り荷重）が作用するようになっている。なお、本開示は、各屈曲部１４において外周部と重なるように配置されたひずみゲージであってもよい。次に配線層３０について説明する。

【0036】

図６は、実施形態の配線層の回路図である。配線層３０は、ヒンジ部１２のひずみ量を検出するための層である。図６に示すように、配線層３０は、前記した複数のひずみゲージ２７と、電気配線４０と、を有している。電気配線４０は、各ボディ部１１に配置されたスイッチ素子（トランジスタ４１）と、第２方向Ｄｙに延在するゲート線４３と、第１方向Ｄｘに延在する第１電位線４４、第２電位線４５、及び第１信号線４６と、周辺領域３に配置された第２信号線４７及び接続線４９と、を備えている。なお、電気配線４０の各構成については後述する。

【0037】

また、図１に示すように、配線層３０は、電気配線４０を駆動させるため、周辺領域３に配置された接続部１０１と、ゲート線駆動回路１０２と、第１電位線選択回路１０３と、第２電位線選択回路１０４と、第１信号線選択回路１０５と、第２信号線選択回路１０６と、を有している。

【0038】

接続部１０１は、ストレッチャブルデバイス１の外部に配置された駆動ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）と接続するためのものである。なお、駆動ＩＣは、接続部１０１に接続される図示しないフレキシブルプリント基板やリジット基板の上に、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）として実装されてもよい。または、駆動ＩＣは、第１樹脂板６０の周辺領域３にＣＯＧ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）として実装されてもよい。

【0039】

ゲート線駆動回路１０２は、駆動ＩＣからの各種制御信号に基づいて複数のゲート線４３（図６参照）を駆動する回路である。ゲート線駆動回路１０２は、複数のゲート線４３を順次又は同時に選択し、選択したゲート線４３にゲート駆動信号を供給する。

【0040】

第１電位線選択回路１０３は、複数の第１電位線４４を順次又は同時に選択するスイッチ回路である。第１電位線選択回路１０３は、駆動ＩＣから供給される選択信号に基づき、選択された第１電位線４４と駆動ＩＣとを接続し、第１電位線４４に所定の第１電位Ｖ１を印加する。

【0041】

第２電位線選択回路１０４は、複数の第２電位線４５を順次又は同時に選択するスイッチ回路である。第２電位線選択回路１０４は、駆動ＩＣから供給される選択信号に基づき、選択された第２電位線４５と駆動ＩＣとを接続し、第２電位線４５に所定の第２電位Ｖ２を印加する。また、第２電位Ｖ２は、第１電位Ｖ１よりも低い（Ｖ２＞Ｖ１）。本実施形態において、第２電位Ｖ２は０Ｖである。

【0042】

第１信号線選択回路１０５は、複数の第１信号線４６を順次又は同時に選択するスイッチ回路である。第１信号線選択回路１０５は、駆動ＩＣから供給される選択信号に基づき、第１信号線４６と駆動ＩＣと接続する。これにより、第１信号線４６の信号（電位）が駆動ＩＣに送られる。

【0043】

第２信号線選択回路１０６は、複数の第２信号線４７を順次又は同時に選択するスイッチ回路である。第２信号線選択回路１０６は、駆動ＩＣから供給される選択信号に基づき、第２信号線４７と駆動ＩＣと接続する。これにより、第２信号線４７の信号（電位）が駆動ＩＣに送られる。次に電気配線４０の各構成の詳細を説明する。

【0044】

図７は、実施形態のボディ部と縦ヒンジ部を平面視した図である。図８は、実施形態のボディ部と横ヒンジ部を平面視した図である。図７に示すように、電気配線４０は、縦ひずみゲージ１２７と接続する縦ひずみ用電気配線１４０と、横ひずみゲージ２２７と接続する横ひずみ用電気配線２４０と、を有している。なお、ゲート線４３は、縦ひずみ用電気配線１４０と横ひずみ用電気配線２４０とで共用されている。最初にゲート線４３を説明する。

【0045】

図８に示すように、ゲート線４３は、複数の横ヒンジ部１２Ｂと複数のボディ部１１とに跨って配置されている。これにより、ゲート線４３は、検出領域２内を第２方向Ｄｙに延在している。また、ゲート線４３は、第１方向Ｄｘに複数配置されている（図７参照）。ゲート線４３の第２方向Ｄｙの端部は、周辺領域３に延在し、ゲート線駆動回路１０２に接続している。

【0046】

図７に示すように、縦ひずみ用電気配線１４０は、縦ひずみ用トランジスタ１４１と、縦ひずみ用第１電位線１４４、縦ひずみ用第２電位線１４５、縦ひずみ用第１信号線１４６、縦ひずみ用第２信号線１４７（図６参照）、及び縦ひずみ用接続線１４９（図６参照）を有している。

【0047】

縦ひずみ用第１電位線１４４と、縦ひずみ用第２電位線１４５と、縦ひずみ用第１信号線１４６は、それぞれ、複数の縦ヒンジ部１２Ａと複数のボディ部１１とに跨って配置されている。これにより、検出領域２内を第１方向Ｄｘに延在している。縦ひずみ用第１電位線１４４と、縦ひずみ用第２電位線１４５と、縦ひずみ用第１信号線１４６は、それぞれ、第２方向Ｄｙに複数配置されている（図８参照）。

【0048】

縦ひずみ用第１電位線１４４と、縦ひずみ用第２電位線１４５と、縦ひずみ用第１信号線１４６は、それぞれの端部が周辺領域３まで延在している（図６参照）。そして、縦ひずみ用第１電位線１４４は、第１電位線選択回路１０３（図１参照）に接続している。縦ひずみ用第２電位線１４５は、第２電位線選択回路１０４（図１参照）に接続している。縦ひずみ用第１信号線１４６は、第１信号線選択回路１０５（図１参照）に接続している。

【0049】

図７に示すように、縦ひずみ用トランジスタ１４１は、各ボディ部１１に配置されている。縦ひずみ用トランジスタ１４１のゲート電極は、ゲート線４３と接続している。縦ひずみ用トランジスタ１４１のドレイン電極は、縦ひずみ用第１電位線１４４と接続している。縦ひずみ用トランジスタ１４１のソース電極は、縦ひずみゲージ１２７の一端１２７ａと接続している。よって、縦ひずみ用トランジスタ１４１は、縦ひずみ用第１電位線１４４と縦ひずみゲージ１２７の一端１２７ａとの間に介在している。また、縦ひずみゲージ１２７の他端１２７ｂは、縦ひずみ用第２電位線１４５と接続している。よって、縦ひずみ用トランジスタ１４１が閉じると、縦ひずみゲージ１２７には、第１電位Ｖ１と第２電位Ｖ２の電位差（電圧）が印加される。

【0050】

以下、縦ひずみゲージ１２７の他端１２７ｂと縦ひずみ用第２電位線１４５との接続点を第１接続点Ｐ１１と称する。縦ひずみ用第１信号線１４６は、第１接続点Ｐ１１と接続している。よって、縦ひずみ用第１信号線１４６には、第１接続点Ｐ１１の電位（以下、第３電位Ｖ３と称する）が入力される。

【0051】

図５に示すように、縦ひずみ用第２信号線１４７と縦ひずみ用接続線１４９は、周辺領域３に配置されている。縦ひずみ用接続線１４９は、縦ひずみ用第１電位線１４４と縦ひずみ用第２電位線１４５とを接続している。以下、縦ひずみ用接続線１４９と縦ひずみ用第１電位線１４４との接続点を第２接続点Ｐ１２と称する。縦ひずみ用接続線１４９と縦ひずみ用第２電位線１４５との接続点を第３接続点Ｐ１３と称する。

【0052】

縦ひずみ用第２信号線１４７の一端は、縦ひずみ用接続線１４９の中間点Ｐ１４と接続している。よって、縦ひずみ用第２信号線１４７には、中間点Ｐ１４の電位（以下、第４電位Ｖ４を称する）が入力される。そして、縦ひずみ用第２信号線１４７の他端は、信号線選択回路８に接続している。

【0053】

横ひずみ用電気配線２４０は、横ひずみ用トランジスタ２４１と、横ひずみ用第１電位線２４４、横ひずみ用第２電位線２４５、横ひずみ用第１信号線２４６、横ひずみ用第２信号線２４７（図６参照）、及び横ひずみ用接続線２４９（図６参照）を有している。

【0054】

図７に示すように、横ひずみ用第１電位線２４４と、横ひずみ用第２電位線２４５と、横ひずみ用第１信号線２４６は、それぞれ、複数の縦ヒンジ部１２Ａと複数のボディ部１１とに跨って配置されている。これにより、検出領域２内を第１方向Ｄｘに延在している。また、横ひずみ用第１電位線２４４、横ひずみ用第２電位線２４５、横ひずみ用第１信号線２４６は、それぞれ、第２方向Ｄｙに複数配置されている（図８参照）。

【0055】

横ひずみ用第１電位線２４４と、横ひずみ用第２電位線２４５と、横ひずみ用第１信号線２４６は、それぞれの端部が周辺領域３まで延在している（図６参照）。そして、横ひずみ用第１電位線２４４は、第１電位線選択回路１０３（図１参照）に接続している。横ひずみ用第２電位線２４５は、第２電位線選択回路１０４（図１参照）に接続している。横ひずみ用第１信号線２４６は、第１信号線選択回路１０５（図１参照）に接続している。

【0056】

横ひずみ用トランジスタ２４１は、各ボディ部１１に配置されている。横ひずみ用トランジスタ２４１のゲート電極は、ゲート線４３に接続している。横ひずみ用トランジスタ２４１のドレイン電極側は、横ひずみ用第１電位線２４４と接続している。横ひずみ用トランジスタ２４１のソース電極側は、横ひずみゲージ２２７の一端２２７ａと接続している。よって、横ひずみ用トランジスタ２４１は、横ひずみ用第１電位線２４４と横ひずみゲージ２２７の一端２２７ａとの間に介在している。また、横ひずみゲージ２２７の他端２２７ｂは、横ひずみ用第２電位線２４５と接続している。よって、横ひずみ用トランジスタ２４１が閉じると、横ひずみゲージ２２７には、第１電位Ｖ１と第２電位Ｖ２の電位差（電圧）が印加される。

【0057】

以下、横ひずみゲージ２２７の他端２２７ｂと横ひずみ用第２電位線２４５との接続点を第１接続点Ｐ２１と称する。横ひずみ用第１信号線２４６は、第１接続点Ｐ２１と接続している。よって、横ひずみ用第１信号線２４６には、第１接続点Ｐ２１の電位（以下、第３電位Ｖ３と称する）が入力される。

【0058】

図５に示すように、横ひずみ用第２信号線２４７と横ひずみ用接続線２４９は、周辺領域３に配置されている。横ひずみ用接続線２４９は、横ひずみ用第１電位線２４４と横ひずみ用第２電位線２４５とを接続している。以下、横ひずみ用接続線２４９と横ひずみ用第１電位線２４４との接続点を第２接続点Ｐ２２と称する。横ひずみ用接続線２４９と横ひずみ用第２電位線２４５との接続点を第３接続点Ｐ２３と称する。

【0059】

横ひずみ用第２信号線２４７の一端は、横ひずみ用接続線２４９の中間点Ｐ２４と接続している。よって、横ひずみ用第２信号線２４７には、中間点Ｐ２４の電位（以下、第４電位Ｖ４を称する）が入力される。横ひずみ用第２信号線２４７の他端は、信号線選択回路８に接続している。

【0060】

図６に示すように、電気配線４０（縦ひずみ用電気配線１４０及び横ひずみ用電気配線２４０）において、トランジスタ４１（１４１、２４１）が閉じている場合、第１接続点Ｐ１１、Ｐ２１と、第２接続点Ｐ１２、Ｐ２２と、第３接続点Ｐ３１、Ｐ３２と、中間点Ｐ１４、Ｐ２４と、のそれぞれを結ぶ４つの配線から回路（第１回路１５０、第２回路２５０）が構成される。なお、図６において、回路（第１回路１５０、第２回路２５０）を分かり易くするため、回路を構成する配線を他の配線よりも太く表している。

【0061】

また、第３接続点Ｐ３１、Ｐ３２から第１接続点Ｐ１１、Ｐ２１までの間に、第２抵抗値Ｒ２を有する第２抵抗部品５２が配置されている。第２接続点Ｐ１２、Ｐ２２から中間点Ｐ１４、Ｐ２４までの間に、第３抵抗値Ｒ３を有する第３抵抗部品５３が配置されている。第３接続点Ｐ３１、Ｐ３２から中間点Ｐ１４、Ｐ２４までの間に、第４抵抗値Ｒ４を有する第４抵抗部品５４が配置されている。第２抵抗部品５２と第３抵抗部品５３と第４抵抗部品５４のそれぞれは、周辺領域３に配置されている。第２抵抗値Ｒ２と第３抵抗値Ｒ３と第４抵抗値Ｒ４は、ひずみゲージ２７にひずみが発生していない状態の第１抵抗値Ｒ１と等しい（Ｒ１＝Ｒ２＝Ｒ３＝Ｒ４）。

【0062】

図９は、実施形態の回路を模式的に示した図である。図９に示すように、回路（第１回路１５０、第２回路２５０）は、ホイートストンブリッジ回路を構成している。つまり、第１信号線４６から検出された第３電位Ｖ３と、第２信号線４７から検出された第４電位Ｖ４と、の電位差によりひずみゲージ２７の抵抗値の変化量を検出することができる。例えば、ひずみゲージ２７にひずみが生じていない場合、第１信号線４６で読み込まれた第１接続点Ｐ１１、Ｐ２１の第３電位Ｖ３と、第２信号線４７で読み込まれた中間点Ｐ１４、Ｐ２４の第４電位Ｖ４と、が同電位となる。また、ヒンジ部１２が変形し、ひずみゲージにひずみが生じると、第１抵抗値Ｒ１が変化し、第１接続点Ｐ１１、Ｐ２１の第３電位Ｖ３が変化する。よって、第１接続点Ｐ１１、Ｐ２１と中間点Ｐ１４、Ｐ２４との間に電位差が生じる。

【0063】

具体的には、ひずみゲージ２７の抵抗値の変化量は、以下の式（１）から算出される。

【0064】

【数1】

【0065】

式（１）中のＶｏｕｔは、第３電位Ｖ３と第４電位Ｖ４との電位差である。Ｖｉｎは、第１電位Ｖ１と第２電位Ｖ２との電位差である。ΔＲ１は、第２接続点Ｐ１２、Ｐ２２からひずみゲージを経由した第１接続点Ｐ１１、Ｐ２１までの抵抗値の変化量である。ΔＲ２は、第１接続点Ｐ１１、Ｐ２１から第３接続点Ｐ１３、Ｐ２３までの抵抗値の変化量である。ΔＲ３は、第２接続点Ｐ１２、Ｐ２２から中間点Ｐ１４、Ｐ２４までの抵抗値の変化量である。ΔＲ４は、中間点Ｐ１４、Ｐ２４から第３接続点Ｐ１３、Ｐ２３までの抵抗値の変化量である。

【0066】

図１０は、実施形態の回路においてヒンジ部が変形した場合模式的に示した図である。次に、ストレッチャブルデバイス１のヒンジ部１２が変形した場合について説明する。図１０に示すように、ヒンジ部１２が変形すると、ひずみゲージ２７にひずみが生じる。ここで、ひずみゲージ２７の抵抗値の変化量をΔｒｇとする。また、ヒンジ部１２に配置される第１電位線４４と第２電位線４５と第１信号線４６も変形し、抵抗値が変化する。

【0067】

第１電位線４４と第２電位線４５と第１信号線４６は、それぞれヒンジ部に配置されており、変形量（抵抗値の変化量）も略同じである。よって、第１電位線４４と第２電位線４５と第１信号線４６のそれぞれの抵抗値の変化量をΔｒとする。

【0068】

第１電位線４４は、第１接続点Ｐ１１、Ｐ２１から第２接続点Ｐ１２、Ｐ２２までの配線の一部を構成している。よって、第１接続点Ｐ１１、Ｐ２１から第２接続点Ｐ１２、Ｐ２２の間の抵抗値の変化量ΔＲ１は、ひずみゲージ２７の変化量Δｒｇと、第１電位線４４の変化量Δｒｇを足し合わせたものとなる（ΔＲ１＝Δｒ＋Δｒｇ）。

【0069】

第２電位線４５は、第２接続点Ｐ１２、Ｐ２２から第３接続点Ｐ１３、Ｐ２３までの配線の一部を構成している。よって、第２接続点Ｐ１２、Ｐ２２から第３接続点Ｐ１３、Ｐ２３の間の抵抗値の変化量ΔＲ２は、Δｒとなる（ΔＲ２＝Δｒ）。

【0070】

第１信号線４６は、回路（第１回路１５０、第２回路２５０）の外にある。よって、第１接続点Ｐ１１、Ｐ２１の電位に影響を与えない。

【0071】

また、接続線４９は、周辺領域３に配置されて変形しない。よって、第２接続点Ｐ１２、Ｐ２２から中間点Ｐ１４、Ｐ２４までの抵抗値の変化量ΔＲ３はゼロ（ΔＲ３＝０）である。同様に、中間点Ｐ１４、Ｐ２４から第３接続点Ｐ１３、Ｐ２３までの抵抗値の変化量ΔＲ４はゼロ（ΔＲ４＝０）である。

【0072】

上記したΔＲ１＝Δｒ＋Δｒｇ、ΔＲ２＝Δｒ、ΔＲ３＝０、ΔＲ４＝０を式（１）に代入すると、下記の式（２－１）となる。また、第１抵抗値Ｒｇと第２抵抗値Ｒ２が等しいため、式（２－１）から下記の式（２－２）にとなる。

【0073】

【数2】

【0074】

式（２－２）には、第１電位線４４と第２電位線４５と第１信号線４６の抵抗値の変化量Δｒが含まれていない。つまり、第１電位線４４と第２電位線４５と第１信号線４６の抵抗値の変化（ノイズ）を無視し、ひずみゲージ２７の抵抗値の変化量Δｒｇを求めることができる。

【0075】

次に、配線層３０の断面構造について説明する。また、断面構造では、配線層３０のうちボディ部１１に積層される部分と、ヒンジ部１２に積層される部分と、に分けて説明する。

【0076】

図１１は、図３のＸＩ－ＸＩ線矢視断面図である。配線層３０のうちボディ部１１に積層される部分には、複数の絶縁層が積層されている。具体的に複数の絶縁層は、ボディ部１１の上方には、順に積層された、第１絶縁層３１、第２絶縁層３２、第３絶縁層３３、及び第４絶縁層３４である。第１絶縁層３１、第２絶縁層３２、第３絶縁層３３、及び第４絶縁層３４は、例えばシリコン酸化膜であり、ひずみゲージ２７及び電気配線４０の各構成を覆っている。また、第１絶縁層３１と第２絶縁層３２の間には、トランジスタ４１のゲート絶縁膜４１ｂが介在している。

【0077】

第２絶縁層３２上には、第１電位線４４（縦ひずみ用第１電位線１４４、横ひずみ用第１電位線２４４）、第２電位線４５（縦ひずみ用第２電位線１４５、横ひずみ用第２電位線２４５）、第１信号線（縦ひずみ用第１信号線１４６、横ひずみ用第１信号線２４６）が積層されている。第３絶縁層３３上には、ゲート線４３が積層されている。第４絶縁層３４上には、ひずみゲージ２７（縦ひずみゲージ１２７、横ひずみゲージ２２７）が積層されている。ひずみゲージ２７は、第２樹脂板７０に覆われ、ひずみゲージ２７の絶縁性が確保されている。なお、本開示は、ひずみゲージ２７の上にシリコン酸化膜からなる絶縁層を設け、その上を第２樹脂板７０で覆うようにしてもよい。

【0078】

トランジスタ４１（縦ひずみ用トランジスタ１４１、横ひずみ用トランジスタ２４１）は、半導体層４１ａと、ゲート絶縁膜４１ｂと、ゲート電極４１ｃと、ドレイン電極４１ｄと、ソース電極４１ｅと、を備えている。半導体層４１ａは、コンタクト層を介して、ドレイン電極４１ｄとソース電極４１ｅと接続している。

【0079】

ゲート電極４１ｃは、コンタクト層を介して、ゲート線４３と接続している。ドレイン電極４１ｄは、第１電位線４４（縦ひずみ用第１電位線１４４、横ひずみ用第１電位線２４４）と同層に配置され、第１電位線４４（縦ひずみ用第１電位線１４４、横ひずみ用第１電位線２４４）と接続している。

【0080】

ソース電極４１ｅは、ひずみゲージ２７と同層に配置され、ひずみゲージ２７の一端（縦ひずみゲージ１２７の一端１２７ａ、横ひずみゲージ２２７の一端２２７ａ）と接続している。

【0081】

ひずみゲージ２７の他端（縦ひずみゲージ１２７の他端１２７ｂ、横ひずみゲージ２２７の他端２２７ｂ）は、コンタクト層を介して中間層３６と接続している。この中間層３６は、２つのコンタクト層を介して、第２電位線４５（縦ひずみ用第２電位線１４５、横ひずみ用第２電位線２４５）と、第１信号線（縦ひずみ用第１信号線１４６、横ひずみ用第１信号線２４６）と、に接続している。この中間層３６は、ひずみゲージ２７の他端（縦ひずみゲージ１２７の他端１２７ｂ、横ひずみゲージ２２７の他端２２７ｂ）と、第２電位線４５（縦ひずみ用第２電位線１４５、横ひずみ用第２電位線２４５）と、を接続する第１接続点Ｐ１１、Ｐ２１に相当する。

【0082】

図１２は、図３のＸＩＩ－ＸＩＩ線矢視断面図である。配線層３０のうち縦ヒンジ部１２Ａに積層される部分について説明する。縦ヒンジ部１２Ａ上に、第１電位線４４（縦ひずみ用第１電位線１４４、横ひずみ用第１電位線２４４）、第２電位線４５（縦ひずみ用第２電位線１４５、横ひずみ用第２電位線２４５）、第１信号線４６（縦ひずみ用第１信号線１４６、横ひずみ用第１信号線２４６）が配置されている。

【0083】

第１電位線４４、第２電位線４５、第１信号線４６は、絶縁層３７に覆われている。そして、絶縁層３７の上に、縦ひずみゲージ１２７が積層されている。また、縦ひずみゲージ１２７は、第２樹脂板７０に覆われ、縦ひずみゲージ１２７の絶縁性が確保されている。なお、絶縁層３７を形成する樹脂材料は、特に限定されないが、柔軟性が高いポリイミド等が好ましい。

【0084】

配線層３０のうち横ヒンジ部１２Ｂに積層される部分について説明する。特に図示しないが、縦ヒンジ部１２Ａ上には、ゲート線４３が積層されている。ゲート線４３は、絶縁層３７に覆われている。そして、絶縁層３７の上に、横ひずみゲージ２２７が積層されている。また、横ひずみゲージ２２７は、第２樹脂板７０に覆われ、縦ひずみゲージ１２７の絶縁性が確保されている。

【0085】

以上、実施形態のストレッチャブルデバイス１によれば、第１電位線４４と第２電位線４５と第１信号線４６の抵抗値の変化（ノイズ）を無視して、ひずみゲージ２７の抵抗値の変化量Δｒｇを求めることができる。このため、ヒンジ部１２のひずみ量を精度良く検出できる。

【0086】

以上、実施形態について説明したが、本開示は、実施形態で示した例に限定されない。次に変形例について説明する。なお、変形例の説明では、実施形態との相違点に絞って説明する。

【0087】

図１３は、変形例のストレッチャブルデバイスにおけるの配線層の回路図である。変形例について説明する。変形例１のストレッチャブルデバイス１の電気配線４０において、横ひずみ用電気配線２４０は、横ひずみ用第１電位線２４４を有していない点で、実施形態と相違する。また、横ひずみ用電気配線２４０は、横ひずみ用第１電位線２４４の代わりに、第１方向Ｄｘに延在する第１連絡線３４４を有している点で実施形態と相違する。

【0088】

第１連絡線３４４は、複数のボディ部１１と複数の縦ヒンジ部１２Ａに跨って配置され、第１方向Ｄｘに延在している。第１連絡線３４４の一端は、周辺領域３に配置され、横ひずみ用接続線２４９に接続している。また、第１連絡線３４４には、横ひずみ用トランジスタ２４１のソース電極が接続している。よって、第１連絡線３４４と、横ひずみ用第１電位線２４４と、の相違点は、第１連絡線３４４は、第１電位線選択回路１０３に接続していないが、横ひずみ用第１電位線２４４は、第１電位線選択回路１０３に接続している点である。

【0089】

また、変形例のストレッチャブルデバイス１の電気配線４０は、第２連絡線３４５を有している点で、実施形態と相違する。第２連絡線３４５は、縦ひずみ用第１電位線１４４と第１連絡線３４４とを連絡している。これによれば、第２連絡線３４５を介して、第１連絡線３４４には第１電位Ｖ１が入力される。よって、横ひずみ用第１電位線２４４を削減される。

【符号の説明】

【0090】

１ ストレッチャブルデバイス
２ 検出領域
３ 周辺領域
１０ 樹脂基材
１１ ボディ部
１２ ヒンジ部
１２Ａ 縦ヒンジ部
１２Ｂ 横ヒンジ部
２７ ひずみゲージ
３０ 配線層
４０ 電気配線
４１ トランジスタ
４３ ゲート線
４４ 第１電位線
４５ 第２電位線
４６ 第１信号線
４７ 第２信号線
４９ 接続線
５２ 第２抵抗部品
５３ 第３抵抗部品
５４ 第４抵抗部品
６０ 第１樹脂板
７０ 第２樹脂板
１２７ 縦ひずみゲージ
１４０ 縦ひずみ用電気配線
１４１ 縦ひずみ用トランジスタ
１４４ 縦ひずみ用第１電位線
１４５ 縦ひずみ用第２電位線
１４６ 縦ひずみ用第１信号線
１４７ 縦ひずみ用第２信号線
１４９ 縦ひずみ用接続線
２２７ 横ひずみゲージ
２４０ 横ひずみ用電気配線
２４１ 横ひずみ用トランジスタ
２４４ 横ひずみ用第１電位線
２４５ 横ひずみ用第２電位線
２４６ 横ひずみ用第１信号線
２４７ 横ひずみ用第２信号線
２４９ 横ひずみ用接続線
３４４ 第１連絡線
３４５ 第２連絡線

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】