(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024106569
(43)【公開日】2024-08-08
(54)【発明の名称】測定装置および測定方法
(51)【国際特許分類】
G01N 23/02 20060101AFI20240801BHJP
【ＦＩ】
G01N23/02
【審査請求】未請求
【請求項の数】10
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023010897
(22)【出願日】2023-01-27
(71)【出願人】
【識別番号】000006507
【氏名又は名称】横河電機株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】市沢 康史
【テーマコード（参考）】
2G001
【Ｆターム（参考）】
2G001AA01
2G001BA11
2G001CA01
2G001FA01
2G001FA08
2G001FA14
2G001JA09
2G001MA05
(57)【要約】
【課題】放射線を用いた目付量測定において効果的に測定値を校正すること。
【解決手段】測定装置１０は、放射線を照射して放射線の透過情報を検出する検出器２０を電極シートＳに走査させて電極シートＳの放射線透過強度を取得するとともに、電極シートＳから生成された基準サンプルＰに検出器２０を走査させて基準サンプルＰの放射線透過強度を取得し、基準サンプルＰの重量または厚さに関する基準値と基準サンプルＰの放射線透過強度との相関性を用いて、電極シートＳの放射線透過強度から電極シートＳの重量または厚さに関する指示値を算出し、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて、指示値を校正する。
【選択図】図２
【解決手段】測定装置１０は、放射線を照射して放射線の透過情報を検出する検出器２０を電極シートＳに走査させて電極シートＳの放射線透過強度を取得するとともに、電極シートＳから生成された基準サンプルＰに検出器２０を走査させて基準サンプルＰの放射線透過強度を取得し、基準サンプルＰの重量または厚さに関する基準値と基準サンプルＰの放射線透過強度との相関性を用いて、電極シートＳの放射線透過強度から電極シートＳの重量または厚さに関する指示値を算出し、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて、指示値を校正する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
所定の照射対象を照射して前記所定の照射対象の透過情報を検出する検出器を測定対象物に走査させて第１の透過情報を取得するとともに、前記測定対象物から生成された基準試料に前記検出器を走査させて第２の透過情報を取得する取得部と、
前記基準試料の重量または厚さに関する基準値と前記第２の透過情報との相関性を用いて、前記第１の透過情報から前記測定対象物の重量または厚さに関する値を算出する算出部と、
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて、前記値を校正する校正部と、
を備える測定装置。
前記基準試料の重量または厚さに関する基準値と前記第２の透過情報との相関性を用いて、前記第１の透過情報から前記測定対象物の重量または厚さに関する値を算出する算出部と、
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて、前記値を校正する校正部と、
を備える測定装置。
【請求項2】
前記第１の透過情報が所定値を超過した場合に、前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて特定された異常に対応するアラームを通知する通知部、
をさらに備える請求項１に記載の測定装置。
をさらに備える請求項１に記載の測定装置。
【請求項3】
前記取得部は、
前記基準値として、前記測定対象物の一部として採取された前記基準試料の重量を取得し、
前記第１の透過情報として、前記測定対象物を透過する放射線の第１の透過強度を取得し、
前記第２の透過情報として、前記基準試料を透過する前記放射線の第２の透過強度を取得し、
前記算出部は、
前記基準試料の重量から算出した前記基準試料の目付量と前記第２の透過強度との前記相関性を示す検量線を用いて、前記第１の透過強度から前記測定対象物の目付量または厚さを算出する、
請求項１に記載の測定装置。
前記基準値として、前記測定対象物の一部として採取された前記基準試料の重量を取得し、
前記第１の透過情報として、前記測定対象物を透過する放射線の第１の透過強度を取得し、
前記第２の透過情報として、前記基準試料を透過する前記放射線の第２の透過強度を取得し、
前記算出部は、
前記基準試料の重量から算出した前記基準試料の目付量と前記第２の透過強度との前記相関性を示す検量線を用いて、前記第１の透過強度から前記測定対象物の目付量または厚さを算出する、
請求項１に記載の測定装置。
【請求項4】
前記取得部は、
シート状の前記測定対象物が送出される方向に対して直交する方向に前記測定対象物に沿って往復走査する前記検出器によって検出された前記第１の透過情報を取得し、
前記検出器が往復走査する際の折返し位置に設置された少なくとも１つの前記基準試料から、前記検出器によって検出された前記第２の透過情報を取得する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
シート状の前記測定対象物が送出される方向に対して直交する方向に前記測定対象物に沿って往復走査する前記検出器によって検出された前記第１の透過情報を取得し、
前記検出器が往復走査する際の折返し位置に設置された少なくとも１つの前記基準試料から、前記検出器によって検出された前記第２の透過情報を取得する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項5】
前記取得部は、
前記折返し位置において空気に前記検出器を走査させて前記測定対象物および前記基準試料が存在しない際の第３の透過情報をさらに取得し、
前記校正部は、
前記第３の透過情報の時系列的な変動に基づいて、前記値を校正する、
請求項４に記載の測定装置。
前記折返し位置において空気に前記検出器を走査させて前記測定対象物および前記基準試料が存在しない際の第３の透過情報をさらに取得し、
前記校正部は、
前記第３の透過情報の時系列的な変動に基づいて、前記値を校正する、
請求項４に記載の測定装置。
【請求項6】
前記校正部は、
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて前記照射対象の照射量の低下を特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて前記照射対象の照射量の低下を特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項7】
前記校正部は、
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて前記検出器の測定窓面の汚れを特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて前記検出器の測定窓面の汚れを特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項8】
前記校正部は、
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて検出器の感度の低下を特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて検出器の感度の低下を特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項9】
前記校正部は、
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて前記照射対象の発生源と検出器との同期または位置関係に関する異常を特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて前記照射対象の発生源と検出器との同期または位置関係に関する異常を特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項10】
コンピュータが、
所定の照射対象を照射して前記所定の照射対象の透過情報を検出する検出器を測定対象物に走査させて第１の透過情報を取得するとともに、前記測定対象物から生成された基準試料に前記検出器を走査させて第２の透過情報を取得し、
前記基準試料の重量または厚さに関する基準値と前記第２の透過情報との相関性を用いて、前記第１の透過情報から前記測定対象物の重量または厚さに関する値を算出し、
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて、前記値を校正する、
処理を実行する測定方法。
所定の照射対象を照射して前記所定の照射対象の透過情報を検出する検出器を測定対象物に走査させて第１の透過情報を取得するとともに、前記測定対象物から生成された基準試料に前記検出器を走査させて第２の透過情報を取得し、
前記基準試料の重量または厚さに関する基準値と前記第２の透過情報との相関性を用いて、前記第１の透過情報から前記測定対象物の重量または厚さに関する値を算出し、
前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて、前記値を校正する、
処理を実行する測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、測定装置および測定方法に関する。
【背景技術】
【0002】
電池電極シート（適宜、「電極シート」）は、金属箔に活物質等の合剤を薄く塗布し、乾燥したものである。電極シート製作工程においては、正極、負極のそれぞれ別の生産ラインで製造される。例えば、正極では、アルミ箔の表面にスラリーを薄く均一に塗工し、次の工程で乾燥し、乾燥後にアルミ箔の裏面に同様の塗工が行われ、乾燥が行われる。上記の塗工工程から乾燥工程における検査には、目付量（塗工坪量）や塗工部端面（エッジ）の形状測定、乾燥表面状態の画像診断等が行われる場合がある。
【0003】
ここで、図１を用いて、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定について説明する。図１は、電極シートの目付量測定を説明するための図である。図１に示す目付量測定を実行する装置では、Ｏ型フレームの上部ビームには上側測定ヘッドが、下部ビームには下側測定ヘッドがそれぞれ係留され、上下の測定ヘッドが同期してＯフレーム内を左右に走査（スキャン）する。また、上記装置の測定ヘッドには、β線やＸ線等の放射線源と検出器とが対向して搭載されており、測定対象物である電極シートの透過減衰量を測定する。このとき、あらかじめ目付量が既知の基準サンプル（適宜、「基準試料」）を複数回測定することによって検量線を求めておき、減衰量と検量線の関係から、測定対象物の目付量や厚さを算出することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開２００３－３２９４３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、正確な測定値を取得することは難しい。例えば、β線やＸ線等の放射線を用いて測定対象物の目付量や厚さを測定する際には、β線の経年変化、崩壊Ｘ線源の出力安定性、ラインセンサの測定感度の温度ドリフト等の影響による変化等のために、正確に測定対象物の目付量や厚さを測定することが困難である。
【0006】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、効果的に測定値を校正することができる。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明は、所定の照射対象を照射して前記所定の照射対象の透過情報を検出する検出器を測定対象物に走査させて第１の透過情報を取得するとともに、前記測定対象物から生成された基準試料に前記検出器を走査させて第２の透過情報を取得する取得部と、前記基準試料の重量または厚さに関する基準値と前記第２の透過情報との相関性を用いて、前記第１の透過情報から前記測定対象物の重量または厚さに関する値を算出する算出部と、前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて、前記値を校正する校正部と、を備える測定装置を提供する。
【0008】
また、本発明は、コンピュータが、所定の照射対象を照射して前記所定の照射対象の透過情報を検出する検出器を測定対象物に走査させて第１の透過情報を取得するとともに、前記測定対象物から生成された基準試料に前記検出器を走査させて第２の透過情報を取得し、前記基準試料の重量または厚さに関する基準値と前記第２の透過情報との相関性を用いて、前記第１の透過情報から前記測定対象物の重量または厚さに関する値を算出し、前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて、前記値を校正する、処理を実行する測定方法を提供する。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、効果的に測定値を校正することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】電極シートの目付量測定を説明するための図である。
【図2】実施形態に係る目付量測定システムの構成例および処理例を示す図である。
【図3】実施形態に係る目付量測定システムの各装置の構成例を示すブロック図である。
【図4】実施形態に係る測定装置の測定値記憶部の一例を示す図である。
【図5】実施形態に係る測定装置の基準値記憶部の一例を示す図である。
【図6】実施形態に係る測定装置の算出値記憶部の一例を示す図である。
【図7】実施形態に係る測定装置の校正値記憶部の一例を示す図である。
【図8】実施形態に係る指示値のパターンの一例を示す図である。
【図9】実施形態に係る目付量測定処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【図10】ハードウェア構成例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下に、本発明の一実施形態に係る測定装置および測定方法を、図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明は、以下に説明する実施形態により限定されるものではない。
【0012】
〔実施形態〕
以下に、実施形態に係る目付量測定システムの構成および処理、測定装置等の構成および処理、各処理の流れを順に説明し、最後に実施形態の効果を説明する。
以下に、実施形態に係る目付量測定システムの構成および処理、測定装置等の構成および処理、各処理の流れを順に説明し、最後に実施形態の効果を説明する。
【0013】
〔１．目付量測定システム１００の構成および処理〕
図２を用いて、実施形態に係る目付量測定システム１００の構成および処理を詳細に説明する。図２は、実施形態に係る目付量測定システム１００の構成例および処理例を示す図である。以下では、目付量測定システム１００全体の構成例、目付量測定システム１００の処理例、目付量測定システム１００の効果について説明する。なお、実施形態では、オンラインで電極シートＳの目付量や厚さを測定する測定装置１０を一例にして説明するが、線源、光源、熱源等の発生源（ソース）が変動する装置、測定対象物を測定の空白なく測定する装置、当該装置を制御する装置等で適用可能であり、測定対象や利用分野を限定するものではない。
図２を用いて、実施形態に係る目付量測定システム１００の構成および処理を詳細に説明する。図２は、実施形態に係る目付量測定システム１００の構成例および処理例を示す図である。以下では、目付量測定システム１００全体の構成例、目付量測定システム１００の処理例、目付量測定システム１００の効果について説明する。なお、実施形態では、オンラインで電極シートＳの目付量や厚さを測定する測定装置１０を一例にして説明するが、線源、光源、熱源等の発生源（ソース）が変動する装置、測定対象物を測定の空白なく測定する装置、当該装置を制御する装置等で適用可能であり、測定対象や利用分野を限定するものではない。
【0014】
（１－１．目付量測定システム１００全体の構成例）
目付量測定システム１００は、測定装置１０、検出器２０および作業員Ｗが使用する電子天秤３０を有する。ここで、測定装置１０と検出器２０と電子天秤３０とは、図示しない所定の通信網を介して、有線または無線により通信可能に接続される。
目付量測定システム１００は、測定装置１０、検出器２０および作業員Ｗが使用する電子天秤３０を有する。ここで、測定装置１０と検出器２０と電子天秤３０とは、図示しない所定の通信網を介して、有線または無線により通信可能に接続される。
【0015】
検出器２０は、Ｘ線源と測定ヘッドによって構成され、電極シートＳの移動方向に直交し、かつ電極シートＳに沿って、電極シートＳおよび試料台Ｈを往復走査するように配置される。ここで、電極シートＳは、生産ラインごとに連続したシートとして、一定方向に送出される。また、試料台Ｈは、後述する基準サンプルＰを設置可能な台であって、検出器２０が往復走査する際の折返し位置のうち、電子天秤３０の配置位置に近いＦ側折返し位置に配置される。
【0016】
なお、図２に示した目付量測定システム１００には、複数台の測定装置１０、複数台の検出器２０、複数台の電子天秤３０または複数の試料台Ｈが含まれてもよい。また、試料台Ｈは、電子天秤３０の配置位置から遠いＢ側折返し位置に配置されてもよいし、Ｆ側折返し位置およびＢ側折返し位置の双方に配置されてもよい。また、図１の例では、測定装置１０がデスクトップＰＣ（Personal Computer）によって実現される場合を示したが、サーバ装置やクラウドシステム等により実現されてもよい。
【0017】
（１－２．目付量測定システム１００の処理例）
上記のような目付量測定システム１００の処理例について説明する。以下では、基準値取得処理、測定値取得処理、指示値算出処理、指示値校正処理、アラーム通知処理の順に説明する。なお、下記の処理は、異なる順序で実行することもできる。また、下記の処理のうち、省略される処理があってもよい。
上記のような目付量測定システム１００の処理例について説明する。以下では、基準値取得処理、測定値取得処理、指示値算出処理、指示値校正処理、アラーム通知処理の順に説明する。なお、下記の処理は、異なる順序で実行することもできる。また、下記の処理のうち、省略される処理があってもよい。
【0018】
（１－２－１．基準値取得処理）
作業員Ｗは、測定対象物である電極シートＳの一部を面積既知の基準サンプルＰとしてポンチ抜きし（図２（１）参照）、電子天秤３０を用いて基準サンプルＰの正確な重量を測定し（図２（２）参照）、基準サンプルＰを試料台Ｈに設置する（図２（３）参照）。電子天秤３０は、測定した基準サンプルＰの重量〔ｇ〕を基準値として測定装置１０に送信する（図２（４）参照）。このとき、電子天秤３０は、基準値として、基準サンプルＰの重量を面積で除算して求めた目付量〔ｇ／ｍ２〕や、目付量に電極シートＳの密度〔ｇ／ｍ３〕を乗算して求めた厚さ〔μｍ〕を測定装置１０に送信してもよい。また、作業員Ｗは、電子天秤３０を用いて測定した基準サンプルＰの重量〔ｇ〕、算出した目付量〔ｇ／ｍ２〕や厚さ〔μｍ〕を測定装置１０に入力してもよい。
作業員Ｗは、測定対象物である電極シートＳの一部を面積既知の基準サンプルＰとしてポンチ抜きし（図２（１）参照）、電子天秤３０を用いて基準サンプルＰの正確な重量を測定し（図２（２）参照）、基準サンプルＰを試料台Ｈに設置する（図２（３）参照）。電子天秤３０は、測定した基準サンプルＰの重量〔ｇ〕を基準値として測定装置１０に送信する（図２（４）参照）。このとき、電子天秤３０は、基準値として、基準サンプルＰの重量を面積で除算して求めた目付量〔ｇ／ｍ２〕や、目付量に電極シートＳの密度〔ｇ／ｍ３〕を乗算して求めた厚さ〔μｍ〕を測定装置１０に送信してもよい。また、作業員Ｗは、電子天秤３０を用いて測定した基準サンプルＰの重量〔ｇ〕、算出した目付量〔ｇ／ｍ２〕や厚さ〔μｍ〕を測定装置１０に入力してもよい。
【0019】
ここで、測定対象物は、電極シートＳ等の金属箔に限定されず、紙やプラスチックフィルム等のシート状の対象物であってもよい。
【0020】
（１－２－２．測定値取得処理）
検出器２０は、移動する電極シートＳを往復走査する（図２（５）参照）。このとき、検出器２０は、電極シートＳのＸ線透過強度を測定するとともに、Ｆ側折返し位置に設置された試料台Ｈ上の基準サンプルＰのＸ線透過強度を測定する。また、検出器２０は、Ｂ側折返し位置において空気のＸ線透過強度を測定してもよい。そして、検出器２０は、測定した電極シートＳ、基準サンプルＰおよび空気のＸ線透過強度のセンサ電圧値を測定値として測定装置１０に送信する（図２（６）参照）。
検出器２０は、移動する電極シートＳを往復走査する（図２（５）参照）。このとき、検出器２０は、電極シートＳのＸ線透過強度を測定するとともに、Ｆ側折返し位置に設置された試料台Ｈ上の基準サンプルＰのＸ線透過強度を測定する。また、検出器２０は、Ｂ側折返し位置において空気のＸ線透過強度を測定してもよい。そして、検出器２０は、測定した電極シートＳ、基準サンプルＰおよび空気のＸ線透過強度のセンサ電圧値を測定値として測定装置１０に送信する（図２（６）参照）。
【0021】
（１－２－３．指示値算出処理）
測定装置１０は、基準値および測定値を用いて目付量を指示値として算出する（図２（７）参照）。このとき、測定装置１０は、基準値として、基準サンプルＰの重量を面積で除算して求めた目付量〔ｇ／ｍ２〕と、測定値として、電極シートＳ、基準サンプルＰおよび空気のセンサ電圧値とを用いて、電極シートＳの目付量〔ｇ／ｍ２〕を測定時刻ごとに算出する。また、測定装置１０は、算出した電極シートＳの目付量〔ｇ／ｍ２〕を電極シートＳの密度〔ｇ／ｍ３〕を乗算することによって厚さ〔μｍ〕を指示値として算出してもよい。ここで、指示値とは、基準値および測定値を用いて算出される、測定対象物の重量または厚さに関する値であって、目付量や厚さに限定されない。
測定装置１０は、基準値および測定値を用いて目付量を指示値として算出する（図２（７）参照）。このとき、測定装置１０は、基準値として、基準サンプルＰの重量を面積で除算して求めた目付量〔ｇ／ｍ２〕と、測定値として、電極シートＳ、基準サンプルＰおよび空気のセンサ電圧値とを用いて、電極シートＳの目付量〔ｇ／ｍ２〕を測定時刻ごとに算出する。また、測定装置１０は、算出した電極シートＳの目付量〔ｇ／ｍ２〕を電極シートＳの密度〔ｇ／ｍ３〕を乗算することによって厚さ〔μｍ〕を指示値として算出してもよい。ここで、指示値とは、基準値および測定値を用いて算出される、測定対象物の重量または厚さに関する値であって、目付量や厚さに限定されない。
【0022】
（１－２－４．指示値校正処理）
測定装置１０は、基準サンプルＰの測定値の時系列的変動に基づいて目付量を校正する（図２（８）参照）。このとき、測定装置１０は、基準サンプルＰの測定値の時系列的変動に基づいて、Ｘ線源の線量低下、塗工液の付着や塗工材剥離ごみによる測定窓面の汚れ、検出器２０の感度低下、突発的な不具合（例：Ｘ線源と検出器２０の同期崩れ）等の各種の異常を特定し、特定した異常に応じて目付量変換の係数を補正することによって、目付量や厚さ等の指示値を校正する。
測定装置１０は、基準サンプルＰの測定値の時系列的変動に基づいて目付量を校正する（図２（８）参照）。このとき、測定装置１０は、基準サンプルＰの測定値の時系列的変動に基づいて、Ｘ線源の線量低下、塗工液の付着や塗工材剥離ごみによる測定窓面の汚れ、検出器２０の感度低下、突発的な不具合（例：Ｘ線源と検出器２０の同期崩れ）等の各種の異常を特定し、特定した異常に応じて目付量変換の係数を補正することによって、目付量や厚さ等の指示値を校正する。
【0023】
（１－２－５．アラーム通知処理）
測定装置１０は、測定値が所定の閾値を超過した場合には、作業員Ｗにアラームを通知する（図２（９）参照）。このとき、測定装置１０は、特定したＸ線源の線量低下、測定窓面の汚れ、検出器２０の感度低下、突発的な不具合等の各種の異常ごとに設定した閾値を測定値が超過した場合、特定した異常に応じたアラーム通知を作業員Ｗの使用する端末装置に送信する。
測定装置１０は、測定値が所定の閾値を超過した場合には、作業員Ｗにアラームを通知する（図２（９）参照）。このとき、測定装置１０は、特定したＸ線源の線量低下、測定窓面の汚れ、検出器２０の感度低下、突発的な不具合等の各種の異常ごとに設定した閾値を測定値が超過した場合、特定した異常に応じたアラーム通知を作業員Ｗの使用する端末装置に送信する。
【0024】
（１－３．目付量測定システム１００の効果）
以下では、参考技術１および参考技術２の問題点を説明した上で、目付量測定システム１００の効果について説明する。
以下では、参考技術１および参考技術２の問題点を説明した上で、目付量測定システム１００の効果について説明する。
【0025】
（１－３－１．参考技術１の概要）
特許文献１に記載される参考技術１では、測定対象物と同一の材質で厚さが異なる校正板を測定対象物の脇に配置し、参考技術１に係る測定装置は、測定対象物のＸ線透過強度を測定し、測定対象物を測定した測定系を用いて厚さ違いの複数サンプルである校正板のＸ線透過強度を測定し、校正板の測定値に基づいて、Ｘ線透過強度と校正板の厚さや目付量との関係から、測定対象物の厚さを求める。なお、参考技術１では、校正板を測定対象物の脇に配置した測定が提案されているが、厚さ測定において目付量が既知の校正板を複数用いて検量線を作成し、Ｘ線透過強度と校正板の厚さや目付量との関係を事前に求めて保持し、測定対象物の厚さや目付量を算出することは一般的である。
特許文献１に記載される参考技術１では、測定対象物と同一の材質で厚さが異なる校正板を測定対象物の脇に配置し、参考技術１に係る測定装置は、測定対象物のＸ線透過強度を測定し、測定対象物を測定した測定系を用いて厚さ違いの複数サンプルである校正板のＸ線透過強度を測定し、校正板の測定値に基づいて、Ｘ線透過強度と校正板の厚さや目付量との関係から、測定対象物の厚さを求める。なお、参考技術１では、校正板を測定対象物の脇に配置した測定が提案されているが、厚さ測定において目付量が既知の校正板を複数用いて検量線を作成し、Ｘ線透過強度と校正板の厚さや目付量との関係を事前に求めて保持し、測定対象物の厚さや目付量を算出することは一般的である。
【0026】
（１－３－２．参考技術１の問題点）
参考技術１では、複数の校正板を用いる必要があり、複数同時に配置するか、もしくは作業員が校正板を順次入れ替えて測定しなければならない。ここで、複数同時に配置する場合では、ラインカメラのサイズが大きくなることや、Ｘ線源が広角に照射しなければならないことから、線源を離して配置する等の装置大型化の問題が生じる。一方、作業員が校正板を順次入れ替えて測定する場合では、都度手間がかかることから、短い周期での校正は実質的に行えないという問題が生じる。
参考技術１では、複数の校正板を用いる必要があり、複数同時に配置するか、もしくは作業員が校正板を順次入れ替えて測定しなければならない。ここで、複数同時に配置する場合では、ラインカメラのサイズが大きくなることや、Ｘ線源が広角に照射しなければならないことから、線源を離して配置する等の装置大型化の問題が生じる。一方、作業員が校正板を順次入れ替えて測定する場合では、都度手間がかかることから、短い周期での校正は実質的に行えないという問題が生じる。
【0027】
（１－３－３．参考技術２の概要）
生産現場で実施される参考技術２では、測定対象物の検定は、電極シートに限らず、紙、フィルム等いずれの場合も、面積が既知のポンチ（φ５０ｍｍが一般的）で打ち抜いて、電子天秤で重量を測定し、面積で除算して目付量〔ｇ／ｍ２〕を求める。また、参考技術２では、指示値として厚さを求める場合は、オフライン厚さ測定装置等で正確に打ち抜いた基準サンプルの厚さを測定し、密度〔ｇ／ｍ３〕を乗算して目付量〔ｇ／ｍ２〕から厚さ〔μｍ〕に換算が行われる。このとき、生産現場では、リール単位で目付量や厚さが管理されるので、作業員は、リール巻き初め（始端）の基準サンプルの重量を測定し、必要に応じてリール終端でも基準サンプルの重量を測定する。また、作業員は、数ｋｍに及ぶ中間の基準サンプルの採取は行わず、オンライン厚さ測定装置の測定値を信用して、製品の査証とする。
生産現場で実施される参考技術２では、測定対象物の検定は、電極シートに限らず、紙、フィルム等いずれの場合も、面積が既知のポンチ（φ５０ｍｍが一般的）で打ち抜いて、電子天秤で重量を測定し、面積で除算して目付量〔ｇ／ｍ２〕を求める。また、参考技術２では、指示値として厚さを求める場合は、オフライン厚さ測定装置等で正確に打ち抜いた基準サンプルの厚さを測定し、密度〔ｇ／ｍ３〕を乗算して目付量〔ｇ／ｍ２〕から厚さ〔μｍ〕に換算が行われる。このとき、生産現場では、リール単位で目付量や厚さが管理されるので、作業員は、リール巻き初め（始端）の基準サンプルの重量を測定し、必要に応じてリール終端でも基準サンプルの重量を測定する。また、作業員は、数ｋｍに及ぶ中間の基準サンプルの採取は行わず、オンライン厚さ測定装置の測定値を信用して、製品の査証とする。
【0028】
（１－３－４．参考技術２の問題点）
参考技術２では、リールごとに基準サンプルを作成し、電子天秤で重量を測定し、検定結果に基づいて検量線補正等を行う必要があるので、省力化の妨げになっているという問題点がある。
参考技術２では、リールごとに基準サンプルを作成し、電子天秤で重量を測定し、検定結果に基づいて検量線補正等を行う必要があるので、省力化の妨げになっているという問題点がある。
【0029】
（１－３－５．目付量測定システム１００の概要）
目付量測定システム１００では、作業員Ｗは、電極シートＳのリール巻き初め（始端）をポンチを用いて複数枚の基準サンプルＰを採取し、電子天秤３０を用いて基準サンプルＰの正確な重量を測定し、ポンチ面積で除算して目付量を求め、測定が終わった基準サンプルＰを試料台Ｈに設置し、設置した基準サンプルＰの目付量を測定装置１０に入力して、目付量の算出の基準となる基準サンプルＰの目付量を保持させる。
目付量測定システム１００では、作業員Ｗは、電極シートＳのリール巻き初め（始端）をポンチを用いて複数枚の基準サンプルＰを採取し、電子天秤３０を用いて基準サンプルＰの正確な重量を測定し、ポンチ面積で除算して目付量を求め、測定が終わった基準サンプルＰを試料台Ｈに設置し、設置した基準サンプルＰの目付量を測定装置１０に入力して、目付量の算出の基準となる基準サンプルＰの目付量を保持させる。
【0030】
すなわち、目付量測定システム１００では、作業員Ｗが打ち抜いた基準サンプルＰの重量を電子天秤３０で測定して、検定後の基準サンプルＰを廃棄することなく、測定装置１０に入力できるような構成とする。さらに、目付量測定システム１００では、往復走査距離を基準サンプルＰの設置位置に届くまで延長して一貫して測定することで、往復走査ごとに基準サンプルＰも一緒に測定できるようにする。
【0031】
また、目付量測定システム１００では、測定装置１０は、基準サンプルＰの目付量、検出器２０によって測定された電極シートＳおよび基準サンプルＰのセンサ電圧値を用いて電極シートＳの目付量を算出し、基準サンプルＰのセンサ電圧値の時系列的変動に基づいて目付量を校正し、電極シートＳのセンサ電圧値が所定の閾値を超過した場合には、作業員Ｗにアラームを通知する。
【0032】
（１－３－６．目付量測定システム１００の効果）
目付量測定システム１００では、毎回測定ルーチン内に校正を介在させることができる。すなわち、目付量測定システム１００では、測定モード、校正モードの遷移を伴わず、常時空白のない測定が可能となる。また、目付量測定システム１００では、装置を大型化することなく、短い周期での校正を可能とする。また、目付量測定システム１００では、検量線補正等の省力化の実現を可能とする。
目付量測定システム１００では、毎回測定ルーチン内に校正を介在させることができる。すなわち、目付量測定システム１００では、測定モード、校正モードの遷移を伴わず、常時空白のない測定が可能となる。また、目付量測定システム１００では、装置を大型化することなく、短い周期での校正を可能とする。また、目付量測定システム１００では、検量線補正等の省力化の実現を可能とする。
【0033】
上述してきたように、目付量測定システム１００では、効果的に測定値を校正することができる。
【0034】
〔２．目付量測定システム１００の各装置の構成〕
図３を用いて、図２に示した目付量測定システム１００が有する各装置の機能構成について説明する。図３は、実施形態に係る目付量測定システム１００の各装置の構成例を示すブロック図である。以下では、実施形態に係る目付量測定システム１００全体の構成例を説明した上で、実施形態に係る測定装置１０、検出器２０および電子天秤３０の構成例について詳細に説明する。
図３を用いて、図２に示した目付量測定システム１００が有する各装置の機能構成について説明する。図３は、実施形態に係る目付量測定システム１００の各装置の構成例を示すブロック図である。以下では、実施形態に係る目付量測定システム１００全体の構成例を説明した上で、実施形態に係る測定装置１０、検出器２０および電子天秤３０の構成例について詳細に説明する。
【0035】
（２－１．目付量測定システム１００全体の構成例）
図３に示すように、目付量測定システム１００は、測定装置１０、検出器２０および電子天秤３０を有する。測定装置１０は、検出器２０および電子天秤３０と、所定の通信網によって通信可能に接続されている。
図３に示すように、目付量測定システム１００は、測定装置１０、検出器２０および電子天秤３０を有する。測定装置１０は、検出器２０および電子天秤３０と、所定の通信網によって通信可能に接続されている。
【0036】
（２－２．測定装置１０の構成例）
まず、図３を用いて、測定装置１０の構成例について説明する。測定装置１０は、入力部１１、出力部１２、通信部１３、記憶部１４および制御部１５を有する。
まず、図３を用いて、測定装置１０の構成例について説明する。測定装置１０は、入力部１１、出力部１２、通信部１３、記憶部１４および制御部１５を有する。
【0037】
（２－２－１．入力部１１）
入力部１１は、当該測定装置１０への各種情報の入力を司る。例えば、入力部１１は、マウスやキーボード等で実現され、当該測定装置１０への設定情報等の入力を受け付ける。
入力部１１は、当該測定装置１０への各種情報の入力を司る。例えば、入力部１１は、マウスやキーボード等で実現され、当該測定装置１０への設定情報等の入力を受け付ける。
【0038】
（２－２－２．出力部１２）
出力部１２は、当該測定装置１０からの各種情報の出力を司る。例えば、出力部１２は、ディスプレイ等で実現され、当該測定装置１０に記憶された設定情報等を表示する。
出力部１２は、当該測定装置１０からの各種情報の出力を司る。例えば、出力部１２は、ディスプレイ等で実現され、当該測定装置１０に記憶された設定情報等を表示する。
【0039】
（２－２－３．通信部１３）
通信部１３は、他の装置との間でのデータ通信を司る。例えば、通信部１３は、ルータ等を介して、各通信装置との間でデータ通信を行う。また、通信部１３は、図示しないオペレータの端末との間でデータ通信を行うことができる。
通信部１３は、他の装置との間でのデータ通信を司る。例えば、通信部１３は、ルータ等を介して、各通信装置との間でデータ通信を行う。また、通信部１３は、図示しないオペレータの端末との間でデータ通信を行うことができる。
【0040】
（２－２－４．記憶部１４）
記憶部１４は、制御部１５が動作する際に参照する各種情報や、制御部１５が動作した際に取得した各種情報を記憶する。記憶部１４は、測定値記憶部１４ａ、基準値記憶部１４ｂ、算出値記憶部１４ｃおよび校正値記憶部１４ｄを有する。ここで、記憶部１４は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）、フラッシュメモリ等の半導体メモリ素子、または、ハードディスク、光ディスク等の記憶装置等で実現され得る。なお、図３の例では、記憶部１４は、測定装置１０の内部に設置されているが、測定装置１０の外部に設置されてもよいし、複数の記憶部が設置されていてもよい。
記憶部１４は、制御部１５が動作する際に参照する各種情報や、制御部１５が動作した際に取得した各種情報を記憶する。記憶部１４は、測定値記憶部１４ａ、基準値記憶部１４ｂ、算出値記憶部１４ｃおよび校正値記憶部１４ｄを有する。ここで、記憶部１４は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）、フラッシュメモリ等の半導体メモリ素子、または、ハードディスク、光ディスク等の記憶装置等で実現され得る。なお、図３の例では、記憶部１４は、測定装置１０の内部に設置されているが、測定装置１０の外部に設置されてもよいし、複数の記憶部が設置されていてもよい。
【0041】
（２－２－４－１．測定値記憶部１４ａ）
測定値記憶部１４ａは、検出器２０によって測定された測定値を記憶する。ここで、図４を用いて、測定値記憶部１４ａが記憶するデータの一例を説明する。図４は、実施形態に係る測定装置１０の測定値記憶部１４ａの一例を示す図である。図４の例において、測定値記憶部１４ａは、「生産ライン」、「時間」、「センサ電圧値」といった項目を有する。
測定値記憶部１４ａは、検出器２０によって測定された測定値を記憶する。ここで、図４を用いて、測定値記憶部１４ａが記憶するデータの一例を説明する。図４は、実施形態に係る測定装置１０の測定値記憶部１４ａの一例を示す図である。図４の例において、測定値記憶部１４ａは、「生産ライン」、「時間」、「センサ電圧値」といった項目を有する。
【0042】
「生産ライン」は、測定対象である測定対象物を生産する工程を識別するための識別情報を示し、例えば電極シートＳの識別番号や識別記号である。「時間」は、測定値が測定された時刻を示し、例えば年月日、時分秒で表わされる。「センサ電圧値」は、測定対象物の測定値である検出強度の変換値を示し、例えばボルトＶで表わされる。
【0043】
すなわち、図４では、「Ｌ００１」によって識別される生産ラインについて、測定値が｛時間：「Ｔ００１」，センサ電圧値：「Ｖ００１」｝、｛時間：「Ｔ００２」，センサ電圧値：「Ｖ００２」｝、｛時間：「Ｔ００３」，センサ電圧値：「Ｖ００３」｝、｛時間：「Ｔ００４」，センサ電圧値：「Ｖ００４」｝、｛時間：「Ｔ００５」，センサ電圧値：「Ｖ００５」｝、・・・である例を示す。
【0044】
（２－２－４－２．基準値記憶部１４ｂ）
基準値記憶部１４ｂは、電子天秤３０によって測定された基準値を記憶する。ここで、図５を用いて、基準値記憶部１４ｂが記憶するデータの一例を説明する。図５は、実施形態に係る測定装置１０の基準値記憶部１４ｂの一例を示す図である。図５の例において、基準値記憶部１４ｂは、「生産ライン」、「基準サンプル」、「目付量（測定値）」といった項目を有する。
基準値記憶部１４ｂは、電子天秤３０によって測定された基準値を記憶する。ここで、図５を用いて、基準値記憶部１４ｂが記憶するデータの一例を説明する。図５は、実施形態に係る測定装置１０の基準値記憶部１４ｂの一例を示す図である。図５の例において、基準値記憶部１４ｂは、「生産ライン」、「基準サンプル」、「目付量（測定値）」といった項目を有する。
【0045】
「生産ライン」は、測定対象である測定対象物を生産する工程を識別するための識別情報を示し、例えば電極シートＳの識別番号や識別記号である。「基準サンプル」は、測定対象物から採取された基準試料を識別するための識別情報を示し、例えば基準サンプルＰの識別番号や識別記号である。「目付量（測定値）」は、基準試料ごとの重量を面積で除算することによって算出された単位面積当たりの重量を示し、例えば平方メートル毎グラムｇ／ｍ２で表わされる。
【0046】
すなわち、図５では、「Ｌ００１」によって識別される生産ラインについて、基準値が｛基準サンプル：「ＰＡ」，目付量（測定値）：「ＰＡ－Ｗ」｝、｛基準サンプル：「ＰＢ」，目付量（測定値）：「ＰＢ－Ｗ」｝、｛基準サンプル：「ＰＣ」，目付量（測定値）：「ＰＣ－Ｗ」｝、・・・である例を示す。
【0047】
（２－２－４－３．算出値記憶部１４ｃ）
算出値記憶部１４ｃは、後述する制御部１５の算出部１５ｂによって算出された指示値を記憶する。ここで、図６を用いて、算出値記憶部１４ｃが記憶するデータの一例を説明する。図６は、実施形態に係る測定装置１０の算出値記憶部１４ｃの一例を示す図である。図６の例において、算出値記憶部１４ｃは、「生産ライン」、「時間」、「目付量（算出値）」、「厚さ（算出値）」といった項目を有する。
算出値記憶部１４ｃは、後述する制御部１５の算出部１５ｂによって算出された指示値を記憶する。ここで、図６を用いて、算出値記憶部１４ｃが記憶するデータの一例を説明する。図６は、実施形態に係る測定装置１０の算出値記憶部１４ｃの一例を示す図である。図６の例において、算出値記憶部１４ｃは、「生産ライン」、「時間」、「目付量（算出値）」、「厚さ（算出値）」といった項目を有する。
【0048】
「生産ライン」は、測定対象である測定対象物を生産する工程を識別するための識別情報を示し、例えば電極シートＳの識別番号や識別記号である。「時間」は、測定値が測定された時刻を示し、例えば年月日、時分秒で表わされる。「目付量（算出値）」は、測定対象物の測定値から算出された単位面積当たりの重量を示し、例えば平方メートル毎グラムｇ／ｍ２で表わされる。「厚さ（算出値）」は、測定対象物の測定値から算出された測定対象物の厚さを示し、例えばマイクロメートルμｍで表わされる。
【0049】
すなわち、図６では、「Ｌ００１」によって識別される生産ラインについて、算出された指示値が｛時間：「Ｔ００１」，目付量（算出値）：「Ｖ－Ｗ００１」，厚さ（算出値）：「Ｖ－Ｔ００１」｝、｛時間：「Ｔ００２」，目付量（算出値）：「Ｖ－Ｗ００２」，厚さ（算出値）：「Ｖ－Ｔ００２」｝、｛｛時間：「Ｔ００３」，目付量（算出値）：「Ｖ－Ｗ００３」，厚さ（算出値）：「Ｖ－Ｔ００３」｝、｛時間：「Ｔ００４」，目付量（算出値）：「Ｖ－Ｗ００４」，厚さ（算出値）：「Ｖ－Ｔ００４」｝、｛時間：「Ｔ００５」，目付量（算出値）：「Ｖ－Ｗ００５」，厚さ（算出値）：「Ｖ－Ｔ００５」｝、・・・である例を示す。
【0050】
（２－２－４－４．校正値記憶部１４ｄ）
校正値記憶部１４ｄは、後述する制御部１５の校正部１５ｃによって校正された指示値を記憶する。ここで、図７を用いて、校正値記憶部１４ｄが記憶するデータの一例を説明する。図７は、実施形態に係る測定装置１０の校正値記憶部１４ｄの一例を示す図である。図７の例において、校正値記憶部１４ｄは、「生産ライン」、「時間」、「目付量（校正値）」、「厚さ（校正値）」といった項目を有する。
校正値記憶部１４ｄは、後述する制御部１５の校正部１５ｃによって校正された指示値を記憶する。ここで、図７を用いて、校正値記憶部１４ｄが記憶するデータの一例を説明する。図７は、実施形態に係る測定装置１０の校正値記憶部１４ｄの一例を示す図である。図７の例において、校正値記憶部１４ｄは、「生産ライン」、「時間」、「目付量（校正値）」、「厚さ（校正値）」といった項目を有する。
【0051】
「生産ライン」は、測定対象である測定対象物を生産する工程を識別するための識別情報を示し、例えば電極シートＳの識別番号や識別記号である。「時間」は、測定値が測定された時刻を示し、例えば年月日、時分秒で表わされる。「目付量（校正値）」は、測定対象物の算出された指示値が校正された単位面積当たりの重量を示し、例えば平方メートル毎グラムｇ／ｍ２で表わされる。「厚さ（校正値）」は、測定対象物の算出された指示値が校正された測定対象物の厚さを示し、例えばマイクロメートルμｍで表わされる。
【0052】
すなわち、図７では、「Ｌ００１」によって識別される生産ラインについて、算出された指示値が｛時間：「Ｔ００１」，目付量（校正値）：「Ｃ－Ｗ００１」，厚さ（校正値）：「Ｃ－Ｔ００１」｝、｛時間：「Ｔ００２」，目付量（校正値）：「Ｃ－Ｗ００２」，厚さ（校正値）：「Ｃ－Ｔ００２」｝、｛｛時間：「Ｔ００３」，目付量（校正値）：「Ｃ－Ｗ００３」，厚さ（校正値）：「Ｃ－Ｔ００３」｝、｛時間：「Ｔ００４」，目付量（校正値）：「Ｃ－Ｗ００４」，厚さ（校正値）：「Ｃ－Ｔ００４」｝、｛時間：「Ｔ００５」，目付量（校正値）：「Ｃ－Ｗ００５」，厚さ（校正値）：「Ｃ－Ｔ００５」｝、・・・である例を示す。
【0053】
（２－２－５．制御部１５）
制御部１５は、当該測定装置１０全体の制御を司る。制御部１５は、取得部１５ａ、算出部１５ｂ、校正部１５ｃおよび通知部１５ｄを有する。ここで、制御部１５は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）等の電子回路やＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の集積回路により実現され得る。
制御部１５は、当該測定装置１０全体の制御を司る。制御部１５は、取得部１５ａ、算出部１５ｂ、校正部１５ｃおよび通知部１５ｄを有する。ここで、制御部１５は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）等の電子回路やＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の集積回路により実現され得る。
【0054】
（２－２－５－１．取得部１５ａ）
取得部１５ａは、各種データを取得する。以下では、測定値取得処理、基準値取得処理の順に説明する。
取得部１５ａは、各種データを取得する。以下では、測定値取得処理、基準値取得処理の順に説明する。
【0055】
（測定値取得処理）
第１に、取得部１５ａは、測定対象物の照射対象の透過情報（第１の透過情報）を示す対象測定値、基準試料の照射対象の透過情報（第２の透過情報）を示す基準測定値、および空気の照射対象の透過情報（第３の透過情報）を示す空気測定値を取得する。例えば、取得部１５ａは、所定の照射対象を照射して所定の照射対象の透過情報を検出する検出器２０を測定対象物である電極シートＳに走査させて第１の透過情報を取得するとともに、電極シートＳから生成された基準試料である基準サンプルＰに検出器２０を走査させて第２の透過情報を取得する。
第１に、取得部１５ａは、測定対象物の照射対象の透過情報（第１の透過情報）を示す対象測定値、基準試料の照射対象の透過情報（第２の透過情報）を示す基準測定値、および空気の照射対象の透過情報（第３の透過情報）を示す空気測定値を取得する。例えば、取得部１５ａは、所定の照射対象を照射して所定の照射対象の透過情報を検出する検出器２０を測定対象物である電極シートＳに走査させて第１の透過情報を取得するとともに、電極シートＳから生成された基準試料である基準サンプルＰに検出器２０を走査させて第２の透過情報を取得する。
【0056】
なお、取得部１５ａは、取得した対象測定値、基準測定値および空気測定値を含む測定値を測定値記憶部１４ａに格納する。このとき、取得部１５ａは、対象測定値、基準測定値および空気測定値を取得した時間を対応付けした測定値を測定値記憶部１４ａに格納する。また、透過情報は、照射対象の透過強度の他、照射対象の透過減衰量等であってもよい。
【0057】
取得部１５ａは、対象測定値として、電極シートＳを透過するβ線やＸ線等の放射線の透過強度（第１の透過強度）を取得する。また、取得部１５ａは、基準測定値として、基準サンプルＰを透過するβ線やＸ線等の放射線の透過強度（第２の透過強度）を取得する。
【0058】
取得部１５ａは、シート状の電極シートＳが送出される方向に対して直交する方向に電極シートＳに沿って往復走査する検出器２０によって測定された対象測定値を取得する。また、取得部１５ａは、検出器２０が往復走査する際の折返し位置に設置された少なくとも１つの基準サンプルＰから、検出器２０によって測定された基準測定値を取得する。さらに、取得部１５ａは、折返し位置において空気に検出器を走査させて電極シートＳおよび基準サンプルＰが存在しない際の空気測定値をさらに取得する。
【0059】
具体的な例について説明すると、取得部１５ａは、「Ｌ００１」によって識別される生産ラインについて、検出器２０によって測定されたＸ線透過強度のセンサ電圧値である測定値が｛時間：「Ｔ００１」，センサ電圧値：「Ｖ００１」，基準測定値｝、｛時間：「Ｔ００２」，センサ電圧値：「Ｖ００２」，対象測定値｝、｛時間：「Ｔ００３」，センサ電圧値：「Ｖ００３」，対象測定値｝、｛時間：「Ｔ００４」，センサ電圧値：「Ｖ００４」，対象測定値｝、｛時間：「Ｔ００５」，センサ電圧値：「Ｖ００５」，空気測定値｝、・・・を取得する。
【0060】
（基準値取得処理）
第２に、取得部１５ａは、基準値を取得する。例えば、取得部１５ａは、基準試料である基準サンプルＰの重量または厚さに関する基準値を取得する。このとき、取得部１５ａは、基準値として、測定対象物である電極シートＳの一部として採取された基準サンプルＰの重量を取得する。なお、取得部１５ａは、取得した基準値を基準値記憶部１４ｂに格納する。
第２に、取得部１５ａは、基準値を取得する。例えば、取得部１５ａは、基準試料である基準サンプルＰの重量または厚さに関する基準値を取得する。このとき、取得部１５ａは、基準値として、測定対象物である電極シートＳの一部として採取された基準サンプルＰの重量を取得する。なお、取得部１５ａは、取得した基準値を基準値記憶部１４ｂに格納する。
【0061】
具体的な例について説明すると、取得部１５ａは、電子天秤３０を用いて作業員Ｗによって測定された複数の基準サンプルＰ（ＰＡ、ＰＢ、ＰＣ）の重量として、｛基準サンプル：「ＰＡ」，重量（測定値）：「ＰＡ－Ｍ」｝、｛基準サンプル：「ＰＢ」，重量（測定値）：「ＰＢ－Ｍ」｝、｛基準サンプル：「ＰＣ」，重量（測定値）：「ＰＣ－Ｍ」｝を取得する。また、取得部１５ａは、複数の基準サンプルＰ（ＰＡ、ＰＢ、ＰＣ）の重量から算出された目付量として、｛基準サンプル：「ＰＡ」，目付量（測定値）：「ＰＡ－Ｗ」｝、｛基準サンプル：「ＰＢ」，目付量（測定値）：「ＰＢ－Ｗ」｝、｛基準サンプル：「ＰＣ」，目付量（測定値）：「ＰＣ－Ｗ」｝を取得する。また、取得部１５ａは、複数の基準サンプルＰ（ＰＡ、ＰＢ、ＰＣ）の重量から算出された厚さとして、｛基準サンプル：「ＰＡ」，厚さ（測定値）：「ＰＡ－Ｔ」｝、｛基準サンプル：「ＰＢ」，厚さ（測定値）：「ＰＢ－Ｔ」｝、｛基準サンプル：「ＰＣ」，厚さ（測定値）：「ＰＣ－Ｔ」｝を取得する。
【0062】
（２－２－５－２．算出部１５ｂ）
算出部１５ｂは、指示値を算出する。例えば、算出部１５ｂは、基準試料である基準サンプルＰの重量または厚さに関する基準値と基準測定値（第２の透過情報）との相関性を用いて、対象測定値（第１の透過情報）から測定対象物である電極シートＳの重量または厚さに関する値である指示値を算出する。ここで、指示値とは、測定対象物である電極シートＳの重量または厚さを示す数値であって、算出部１５ｂの処理によって出力される数値である。例えば、指示値は、電極シートＳの目付量や厚さであるが、特に限定されない。なお、算出部１５ｂは、算出した指示値である算出値を算出値記憶部１４ｃに格納する。
算出部１５ｂは、指示値を算出する。例えば、算出部１５ｂは、基準試料である基準サンプルＰの重量または厚さに関する基準値と基準測定値（第２の透過情報）との相関性を用いて、対象測定値（第１の透過情報）から測定対象物である電極シートＳの重量または厚さに関する値である指示値を算出する。ここで、指示値とは、測定対象物である電極シートＳの重量または厚さを示す数値であって、算出部１５ｂの処理によって出力される数値である。例えば、指示値は、電極シートＳの目付量や厚さであるが、特に限定されない。なお、算出部１５ｂは、算出した指示値である算出値を算出値記憶部１４ｃに格納する。
【0063】
算出する指示値について説明すると、算出部１５ｂは、基準サンプルＰの重量から算出した基準サンプルＰの目付量と基準サンプルＰを透過する放射線の透過強度（第２の透過強度）との相関性を示す検量線を用いて、電極シートＳを透過する放射線の透過強度（第１の透過強度）から電極シートＳの目付量または厚さを算出する。
【0064】
検量線の例について説明すると、算出部１５ｂは、Ｆ側折返し位置に設置された基準サンプルＰＡの目付量「ＰＡ－Ｗ」および基準測定値「Ｖ００１」、Ｂ側折返し位置の空気の目付量（０ｇ／ｍ２）および空気測定値「Ｖ００５」より、基準サンプルＰの基準測定値および空気測定値を２点用いた検量線を作成する。また、算出部１５ｂは、Ｆ側折返し位置に設置された基準サンプルＰＡの目付量「ＰＡ－Ｗ」および基準測定値「Ｖ００１」、Ｂ側折返し位置に設置された基準サンプルＰＢの目付量「ＰＢ－Ｗ」および基準測定値「Ｖ００５」より、基準サンプルＰＡの基準測定値および基準サンプルＰＢの基準測定値を２点用いた検量線を作成してもよい。
【0065】
（算出値パターン）
図８を用いて、算出部１５ｂによって算出される指示値の時系列的なパターンについて説明する。実施形態に係る指示値のパターンの一例を示す図である。
図８を用いて、算出部１５ｂによって算出される指示値の時系列的なパターンについて説明する。実施形態に係る指示値のパターンの一例を示す図である。
【0066】
図８の例では、検出器２０の往復走査ごとのセンサ電圧値から算出される指示値の模式図を示す。ここで、図８のグラフにおいて、横軸は時間経過、縦軸は目付量もしくは厚さを示す。図８に示すように、検出器２０が１往復走査するたびに、波形のパターンが現れる。Ｂ折返し位置では、空気を測定するので、指示値はゼロ付近を示す。一方、Ｆ折返し位置では、試料台Ｈと基準サンプルＰを測定するので、試料台Ｈを測定した高い指示値（破線円の左右）と基準サンプルＰを測定した指示値（破線円の中央）が現れる。
【0067】
上記の時系列的なパターンによって説明されるように、算出部１５ｂは、１往復ごとに基準サンプルＰの指示値と電極シートＳの指示値を同時に算出できる。すなわち、上記の算出部１５ｂに処理によって、電極シートＳの測定モードと校正モードとを切り替える必要がない「常時測定」を実現し、検出器２０の健全性のモニタリングを可能とし、定時校正を不要とする。
【0068】
（２－２－５－３．校正部１５ｃ）
校正部１５ｃは、指示値を校正する。例えば、校正部１５ｃは、基準測定値（第２の透過情報）の時系列的な変動に基づいて、指示値を校正する。また、校正部１５ｃは、空気測定値（第３の透過情報）の時系列的な変動に基づいて、指示値を校正する。以下では、校正処理の重要性について説明した上で、線量低下校正処理、窓面汚れ校正処理、感度低下校正処理、突発性異常校正処理の順に説明する。なお、校正部１５ｃは、校正した指示値である校正値を校正値記憶部１４ｄに格納する。
校正部１５ｃは、指示値を校正する。例えば、校正部１５ｃは、基準測定値（第２の透過情報）の時系列的な変動に基づいて、指示値を校正する。また、校正部１５ｃは、空気測定値（第３の透過情報）の時系列的な変動に基づいて、指示値を校正する。以下では、校正処理の重要性について説明した上で、線量低下校正処理、窓面汚れ校正処理、感度低下校正処理、突発性異常校正処理の順に説明する。なお、校正部１５ｃは、校正した指示値である校正値を校正値記憶部１４ｄに格納する。
【0069】
（校正処理の重要性）
上述した参考技術等に係るオンライン測定器は、定期的に測定モードから校正モードに移行して、測定対象のない場所に移動してゼロ点校正（空気校正）をしたり、基準サンプルＰ（既知の値を持ち、不変な基準サンプル）を測定したりする。また、上述した参考技術等に係るオンライン測定器は、上記の測定モードおよび校正モードの２つの処理を順次実行しているが、校正と校正の間、例えば１時間ごとに校正モードに移行することを想定すると、校正直後に窓面汚れ等が発生すると、５９分間間違った測定値を返すことになる。ここで、上記のオンライン測定器が測定値をモニタリングしているだけであれば問題は少ないが、制御に使われる測定値であった場合は不良品を製造し続けることとなる。実施形態に係る測定装置１０は、ただちに異常を自律的に検出する校正処理を実行可能であるので、制御に用いられるオンライン測定器として非常に価値が高い。
上述した参考技術等に係るオンライン測定器は、定期的に測定モードから校正モードに移行して、測定対象のない場所に移動してゼロ点校正（空気校正）をしたり、基準サンプルＰ（既知の値を持ち、不変な基準サンプル）を測定したりする。また、上述した参考技術等に係るオンライン測定器は、上記の測定モードおよび校正モードの２つの処理を順次実行しているが、校正と校正の間、例えば１時間ごとに校正モードに移行することを想定すると、校正直後に窓面汚れ等が発生すると、５９分間間違った測定値を返すことになる。ここで、上記のオンライン測定器が測定値をモニタリングしているだけであれば問題は少ないが、制御に使われる測定値であった場合は不良品を製造し続けることとなる。実施形態に係る測定装置１０は、ただちに異常を自律的に検出する校正処理を実行可能であるので、制御に用いられるオンライン測定器として非常に価値が高い。
【0070】
また、上述した参考技術等に係るオンライン測定器は、校正モードに移行中は測定値を取得できないので測定の空白が生まれる。一方、実施形態に係る測定装置１０は、空白時間を作らず、常に電極シートＳの測定を継続して行うことができる。
【0071】
（線量低下校正処理）
校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて線量低下を特定し、指示値を校正する。例えば、校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて検出対象の発生量の低下を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。
校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて線量低下を特定し、指示値を校正する。例えば、校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて検出対象の発生量の低下を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。
【0072】
ここで、校正部１５ｃは、ソース変動（線源２２の崩壊、Ｘ線変動）に起因する線源２２の線量低下に関しては、半減期等を用いて統計的に正確に予測できるので、逆演算して目付量変換の係数を時系列に補正することが可能である。
【0073】
（窓面汚れ校正処理）
校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて窓面汚れを特定し、指示値を校正する。例えば、校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて検出器２０の測定窓面の汚れを特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。
校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて窓面汚れを特定し、指示値を校正する。例えば、校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて検出器２０の測定窓面の汚れを特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。
【0074】
ここで、校正部１５ｃは、塗工液の付着や塗工材剥離ごみに起因する検出器２０の測定窓面の汚れに関しては、一定の閾値を設定し、汚れがあり測定値が重くなった場合には、逆演算して目付量変換の係数を一時的に補正して、測定処理の継続が可能である。
【0075】
（感度低下校正処理）
校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて感度低下を特定し、指示値を校正する。例えば、校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて検出器の感度の低下を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。
校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて感度低下を特定し、指示値を校正する。例えば、校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて検出器の感度の低下を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。
【0076】
ここで、校正部１５ｃは、検出器２０の感度低下に関しては、線量低下のように長期視点で変化するが、線量は統計的な演算により正確に求められるので、それ以上の指示値低下や、指示値の変動、Ｓ／Ｎの悪化等により、検出器２０の劣化を特定することが出来る。
【0077】
（突発性異常校正処理）
校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて突発性異常を特定し、指示値を校正する。例えば、校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて線源２２等の照射対象の発生源と検出器２０との同期または位置関係に関する異常を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。
校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて突発性異常を特定し、指示値を校正する。例えば、校正部１５ｃは、基準測定値の時系列的な変動に基づいて線源２２等の照射対象の発生源と検出器２０との同期または位置関係に関する異常を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。
【0078】
ここで、校正部１５ｃは、同期崩れや位置崩れ等に起因する突発的な不具合に関しては、放射線源等の照射対象の発生源と測定ヘッドについて、同期する処理のタイミングや正確な位置関係が崩れることで検出器２０への線量入射が減少することになるので、目付量が大きくなったように測定値が現れるが、動きや周期変動も伴うことから、窓面汚れとは異なる駆動系の不具合として特定することができる。
【0079】
（２－２－５－４．通知部１５ｄ）
通知部１５ｄは、対象測定値（第２の透過情報）が所定値を超過した場合に、基準測定値（第２の透過情報）の時系列的な変動に基づいて特定された異常に対応するアラームを通知する。例えば、通知部１５ｄは、校正部１５ｃによって特定された異常として、検出対象の発生量の低下（線量低下）、検出器２０の測定窓面の汚れ（窓面汚れ）、検出器２０の感度の低下（感度低下）、および発生源と検出器との同期または位置関係に関する異常（突発性異常）等に対応するアラームを作業員Ｗの端末装置に通知する。
通知部１５ｄは、対象測定値（第２の透過情報）が所定値を超過した場合に、基準測定値（第２の透過情報）の時系列的な変動に基づいて特定された異常に対応するアラームを通知する。例えば、通知部１５ｄは、校正部１５ｃによって特定された異常として、検出対象の発生量の低下（線量低下）、検出器２０の測定窓面の汚れ（窓面汚れ）、検出器２０の感度の低下（感度低下）、および発生源と検出器との同期または位置関係に関する異常（突発性異常）等に対応するアラームを作業員Ｗの端末装置に通知する。
【0080】
具体的な例について説明すると、通知部１５ｄは、校正部１５ｃが線量低下の異常を特定した場合には、「Ｘ線源の線量が低下しています。Ｘ線源のメインテナンスをしてください。」等のアラームを作業員Ｗに通知する。また、通知部１５ｄは、校正部１５ｃが窓面汚れの異常を特定した場合には、「検出器の窓面が汚れています。塗工液の付着や塗工材剥離ごみがある場合には、清掃作業をしてください。」等のアラームを作業員Ｗに通知する。また、通知部１５ｄは、校正部１５ｃが感度低下の異常を特定した場合には、「検出器が劣化している可能性があります。検出器の修理または交換をしてください。」等のアラームを作業員Ｗに通知する。また、通知部１５ｄは、校正部１５ｃが突発性異常を特定した場合には、「検出器の同期崩れまたは位置崩れが発生している可能性があります。検出器またはＸ線源のメインテナンスをしてください。」等のアラームを作業員Ｗに通知する。
【0081】
（２－３．検出器２０の構成例）
図３を用いて、検出器２０の構成例について説明する。検出器２０は、測定部２１および線源２２を有する。
図３を用いて、検出器２０の構成例について説明する。検出器２０は、測定部２１および線源２２を有する。
【0082】
（２－３－１．測定部２１）
測定部２１は、当該検出器２０の各種情報の測定を司る。例えば、測定部２１は、センサ等を有する測定ヘッドで実現され、照射対象の透過強度を測定する。
測定部２１は、当該検出器２０の各種情報の測定を司る。例えば、測定部２１は、センサ等を有する測定ヘッドで実現され、照射対象の透過強度を測定する。
【0083】
（２－３－２．線源２２）
線源２２は、所定の発生源（ソース）であって、測定部２１が検出可能な照射対象を発生する。例えば、線源２２は、放射線の発生源であって、β線やＸ線を発生する。また、線源２２は、所定の波長の光を発生する光源であってもよいし、所定の温度の熱を発生する熱源であってもよい。
線源２２は、所定の発生源（ソース）であって、測定部２１が検出可能な照射対象を発生する。例えば、線源２２は、放射線の発生源であって、β線やＸ線を発生する。また、線源２２は、所定の波長の光を発生する光源であってもよいし、所定の温度の熱を発生する熱源であってもよい。
【0084】
（２－４．電子天秤３０の構成例）
図３を用いて、電子天秤３０の構成例について説明する。電子天秤３０は、測定部２１を有する。
図３を用いて、電子天秤３０の構成例について説明する。電子天秤３０は、測定部２１を有する。
【0085】
（２－４－１．測定部３１）
測定部３１は、当該電子天秤３０の各種情報の測定を司る。例えば、測定部３１は、計量皿や表示モニタで実現され、計量皿に置かれた基準サンプルＰの重量を測定し、測定した重量を表示モニタに表示する。このとき、測定部３１は、測定した基準サンプルＰの重量を測定装置１０に送信してもよい。
測定部３１は、当該電子天秤３０の各種情報の測定を司る。例えば、測定部３１は、計量皿や表示モニタで実現され、計量皿に置かれた基準サンプルＰの重量を測定し、測定した重量を表示モニタに表示する。このとき、測定部３１は、測定した基準サンプルＰの重量を測定装置１０に送信してもよい。
【0086】
〔３．目付量測定システム１００の処理の流れ〕
図９を用いて、実施形態に係る目付量測定システム１００の処理の流れについて説明する。図９は、実施形態に係る目付量測定処理の流れを示すフローチャートである。以下では、基準値取得処理、測定値取得処理、指示値算出処理、指示値校正処理、アラーム通知処理の順に説明する。なお、下記のステップＳ１０１～Ｓ１０６の処理は、異なる順序で実行することもできる。また、下記のステップＳ１０１～Ｓ１０６の処理のうち、省略される処理があってもよい。
図９を用いて、実施形態に係る目付量測定システム１００の処理の流れについて説明する。図９は、実施形態に係る目付量測定処理の流れを示すフローチャートである。以下では、基準値取得処理、測定値取得処理、指示値算出処理、指示値校正処理、アラーム通知処理の順に説明する。なお、下記のステップＳ１０１～Ｓ１０６の処理は、異なる順序で実行することもできる。また、下記のステップＳ１０１～Ｓ１０６の処理のうち、省略される処理があってもよい。
【0087】
（３－１．基準値取得処理）
第１に、測定装置１０は、基準値取得処理を実行する（ステップＳ１０１）。例えば、測定装置１０は、電子天秤３０によって測定された基準サンプルＰの重量を基準値として取得する。
第１に、測定装置１０は、基準値取得処理を実行する（ステップＳ１０１）。例えば、測定装置１０は、電子天秤３０によって測定された基準サンプルＰの重量を基準値として取得する。
【0088】
（３－２．測定値取得処理）
第２に、測定装置１０は、測定値取得処理を実行する（ステップＳ１０２）。例えば、測定装置１０は、検出器２０によって測定された、電極シートＳ、基準サンプルＰおよび空気のＸ線透過強度のセンサ電圧値を測定値として取得する。
第２に、測定装置１０は、測定値取得処理を実行する（ステップＳ１０２）。例えば、測定装置１０は、検出器２０によって測定された、電極シートＳ、基準サンプルＰおよび空気のＸ線透過強度のセンサ電圧値を測定値として取得する。
【0089】
（３－３．指示値算出処理）
第３に、測定装置１０は、指示値算出処理を実行する（ステップＳ１０３）。例えば、測定装置１０は、基準サンプルＰの重量を面積で除算して求めた目付量〔ｇ／ｍ２〕や、電極シートＳ、基準サンプルＰおよび空気のセンサ電圧値を用いて、電極シートＳの目付量〔ｇ／ｍ２〕や厚さ〔μｍ〕を測定時刻ごとに算出する。
第３に、測定装置１０は、指示値算出処理を実行する（ステップＳ１０３）。例えば、測定装置１０は、基準サンプルＰの重量を面積で除算して求めた目付量〔ｇ／ｍ２〕や、電極シートＳ、基準サンプルＰおよび空気のセンサ電圧値を用いて、電極シートＳの目付量〔ｇ／ｍ２〕や厚さ〔μｍ〕を測定時刻ごとに算出する。
【0090】
（３－４．指示値校正処理）
第４に、測定装置１０は、指示値算出処理を実行する（ステップＳ１０４）。例えば、測定装置１０は、基準サンプルＰの測定値の時系列的変動に基づいて、Ｘ線源の線量低下、測定窓面の汚れ、検出器２０の感度低下、突発的な不具合等の各種の異常を特定し、特定した異常に応じて目付量変換の係数を補正することによって、目付量や厚さ等の指示値を校正する。
第４に、測定装置１０は、指示値算出処理を実行する（ステップＳ１０４）。例えば、測定装置１０は、基準サンプルＰの測定値の時系列的変動に基づいて、Ｘ線源の線量低下、測定窓面の汚れ、検出器２０の感度低下、突発的な不具合等の各種の異常を特定し、特定した異常に応じて目付量変換の係数を補正することによって、目付量や厚さ等の指示値を校正する。
【0091】
（３－５．指示値校正処理）
第５に、測定装置１０は、閾値超過を検出した場合（ステップＳ１０５：Ｙｅｓ）、アラーム通知処理を実行する（ステップＳ１０６）。例えば、測定装置１０は、特定したＸ線源の線量低下、測定窓面の汚れ、検出器２０の感度低下、突発的な不具合等の各種の異常ごとに設定した閾値を測定値が超過した場合、特定した異常に応じたアラーム通知を作業員Ｗの使用する端末装置に送信する。
第５に、測定装置１０は、閾値超過を検出した場合（ステップＳ１０５：Ｙｅｓ）、アラーム通知処理を実行する（ステップＳ１０６）。例えば、測定装置１０は、特定したＸ線源の線量低下、測定窓面の汚れ、検出器２０の感度低下、突発的な不具合等の各種の異常ごとに設定した閾値を測定値が超過した場合、特定した異常に応じたアラーム通知を作業員Ｗの使用する端末装置に送信する。
【0092】
〔４．実施形態の効果〕
最後に、実施形態の効果について説明する。以下では、実施形態に係る処理に対応する効果１～９について説明する。
最後に、実施形態の効果について説明する。以下では、実施形態に係る処理に対応する効果１～９について説明する。
【0093】
（４－１．効果１）
第１に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、β線やＸ線等の放射線を照射して透過強度を検出する検出器２０を電極シートＳに走査させて電極シートＳの放射線透過強度を取得するとともに、電極シートＳから生成された基準サンプルＰに検出器２０を走査させて基準サンプルＰの放射線透過強度を取得し、基準サンプルＰの重量または厚さに関する基準値と基準サンプルＰの放射線透過強度との相関性を用いて、電極シートＳの放射線透過強度から電極シートＳの重量または厚さに関する指示値を算出し、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて、算出した指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、効果的に測定値を校正することができる。
第１に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、β線やＸ線等の放射線を照射して透過強度を検出する検出器２０を電極シートＳに走査させて電極シートＳの放射線透過強度を取得するとともに、電極シートＳから生成された基準サンプルＰに検出器２０を走査させて基準サンプルＰの放射線透過強度を取得し、基準サンプルＰの重量または厚さに関する基準値と基準サンプルＰの放射線透過強度との相関性を用いて、電極シートＳの放射線透過強度から電極シートＳの重量または厚さに関する指示値を算出し、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて、算出した指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、効果的に測定値を校正することができる。
【0094】
（４－２．効果２）
第２に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、基準サンプルＰの放射線透過強度が所定値を超過した場合に、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて特定された異常に対応するアラームを通知する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、効果的に測定値を校正するとともに、適切に異常に対応することができる。
第２に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、基準サンプルＰの放射線透過強度が所定値を超過した場合に、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて特定された異常に対応するアラームを通知する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、効果的に測定値を校正するとともに、適切に異常に対応することができる。
【0095】
（４－３．効果３）
第３に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、電極シートＳの一部として採取された基準サンプルＰの重量を取得し、電極シートＳの放射線透過強度を取得し、基準サンプルＰの放射線透過強度を取得し、基準サンプルＰの重量から算出した基準サンプルＰの目付量と基準サンプルＰの放射線透過強度との相関性を示す検量線を用いて、電極シートＳの放射線透過強度から電極シートＳの目付量または厚さを算出する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、測定の空白時間が生じることなく、効果的に測定値を校正することができる。
第３に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、電極シートＳの一部として採取された基準サンプルＰの重量を取得し、電極シートＳの放射線透過強度を取得し、基準サンプルＰの放射線透過強度を取得し、基準サンプルＰの重量から算出した基準サンプルＰの目付量と基準サンプルＰの放射線透過強度との相関性を示す検量線を用いて、電極シートＳの放射線透過強度から電極シートＳの目付量または厚さを算出する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、測定の空白時間が生じることなく、効果的に測定値を校正することができる。
【0096】
（４－４．効果４）
第４に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、シート状の電極シートＳが送出される方向に対して直交する方向に電極シートＳに沿って往復走査する検出器２０によって検出された電極シートＳの放射線透過強度を取得し、検出器２０が往復走査する際の折返し位置に設置された少なくとも１つの基準サンプルＰから、検出器２０によって検出された基準サンプルＰの放射線透過強度を取得する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いたシート状の測定対象の目付量測定において、効果的に測定値を校正することができる。
第４に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、シート状の電極シートＳが送出される方向に対して直交する方向に電極シートＳに沿って往復走査する検出器２０によって検出された電極シートＳの放射線透過強度を取得し、検出器２０が往復走査する際の折返し位置に設置された少なくとも１つの基準サンプルＰから、検出器２０によって検出された基準サンプルＰの放射線透過強度を取得する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いたシート状の測定対象の目付量測定において、効果的に測定値を校正することができる。
【0097】
（４－５．効果５）
第５に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、折返し位置において空気に検出器２０を走査させて電極シートＳおよび基準サンプルＰが存在しない際の空気の放射線透過強度をさらに取得し、空気の放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて、指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、ゼロ点校正を実行しつつ、効果的に測定値を校正することができる。
第５に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、折返し位置において空気に検出器２０を走査させて電極シートＳおよび基準サンプルＰが存在しない際の空気の放射線透過強度をさらに取得し、空気の放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて、指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、ゼロ点校正を実行しつつ、効果的に測定値を校正することができる。
【0098】
（４－６．効果６）
第６に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて放射線の照射量の低下を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、線源低下による異常を特定し、効果的に測定値を校正することができる。
第６に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて放射線の照射量の低下を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、線源低下による異常を特定し、効果的に測定値を校正することができる。
【0099】
（４－７．効果７）
第７に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて検出器２０の測定窓面の汚れを特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、測定窓面汚れによる異常を特定し、効果的に測定値を校正することができる。
第７に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて検出器２０の測定窓面の汚れを特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、測定窓面汚れによる異常を特定し、効果的に測定値を校正することができる。
【0100】
（４－８．効果８）
第８に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて検出器２０の感度の低下を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、感度低下による異常を特定し、効果的に測定値を校正することができる。
第８に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて検出器２０の感度の低下を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、感度低下による異常を特定し、効果的に測定値を校正することができる。
【0101】
（４－９．効果９）
第９に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて放射線の放射線源と検出器２０との同期または位置関係に関する異常を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、突発的な不具合を特定し、効果的に測定値を校正することができる。
第９に、上述した実施形態に係る処理では、測定装置１０は、基準サンプルＰの放射線透過強度の時系列的な変動に基づいて放射線の放射線源と検出器２０との同期または位置関係に関する異常を特定し、指示値を算出する際に用いる係数を補正することによって、指示値を校正する。このため、本処理では、β線やＸ線等の放射線を用いた目付量測定において、突発的な不具合を特定し、効果的に測定値を校正することができる。
【0102】
〔システム〕
上記文書中や図面中で示した処理手順、制御手順、具体的名称、各種のデータやパラメータを含む情報については、特記する場合を除いて任意に変更することができる。
上記文書中や図面中で示した処理手順、制御手順、具体的名称、各種のデータやパラメータを含む情報については、特記する場合を除いて任意に変更することができる。
【0103】
また、図示した各装置の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、各装置の分散や統合の具体的形態は図示のものに限られない。つまり、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。
【0104】
さらに、各装置にて行なわれる各処理機能は、その全部または任意の一部が、ＣＰＵおよび当該ＣＰＵにて解析実行されるプログラムにて実現され、あるいは、ワイヤードロジックによるハードウェアとして実現され得る。
【0105】
〔ハードウェア〕
次に、情報処理装置である測定装置１０のハードウェア構成例を説明する。なお、その他の装置も同様のハードウェア構成とすることができる。図１０は、ハードウェア構成例を説明する図である。図１０に示すように、測定装置１０は、通信装置１０ａ、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）１０ｂ、メモリ１０ｃ、プロセッサ１０ｄを有する。また、図１０に示した各部は、バス等で相互に接続される。
次に、情報処理装置である測定装置１０のハードウェア構成例を説明する。なお、その他の装置も同様のハードウェア構成とすることができる。図１０は、ハードウェア構成例を説明する図である。図１０に示すように、測定装置１０は、通信装置１０ａ、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）１０ｂ、メモリ１０ｃ、プロセッサ１０ｄを有する。また、図１０に示した各部は、バス等で相互に接続される。
【0106】
通信装置１０ａは、ネットワークインタフェースカードなどであり、他のサーバとの通信を行う。ＨＤＤ１０ｂは、図３に示した機能を動作させるプログラムやＤＢを記憶する。
【0107】
プロセッサ１０ｄは、図３に示した各処理部と同様の処理を実行するプログラムをＨＤＤ１０ｂ等から読み出してメモリ１０ｃに展開することで、図３等で説明した各機能を実行するプロセスを動作させる。例えば、このプロセスは、測定装置１０が有する各処理部と同様の機能を実行する。具体的には、プロセッサ１０ｄは、取得部１５ａ、算出部１５ｂ、校正部１５ｃ、通知部１５ｄ等と同様の機能を有するプログラムをＨＤＤ１０ｂ等から読み出す。そして、プロセッサ１０ｄは、取得部１５ａ、算出部１５ｂ、校正部１５ｃ、通知部１５ｄ等と同様の処理を実行するプロセスを実行する。
【0108】
このように、測定装置１０は、プログラムを読み出して実行することで各種処理方法を実行する装置として動作する。また、測定装置１０は、媒体読取装置によって記録媒体から上記プログラムを読み出し、読み出された上記プログラムを実行することで上記した実施形態と同様の機能を実現することもできる。なお、この他の実施形態でいうプログラムは、測定装置１０によって実行されることに限定されるものではない。例えば、他のコンピュータまたはサーバがプログラムを実行する場合や、これらが協働してプログラムを実行するような場合にも、本発明を同様に適用することができる。
【0109】
このプログラムは、インターネットなどのネットワークを介して配布することができる。また、このプログラムは、ハードディスク、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ－ＲＯＭ、ＭＯ（Magneto－Optical disk）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）などのコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、コンピュータによって記録媒体から読み出されることによって実行することができる。
【0110】
〔その他〕
開示される技術特徴の組合せのいくつかの例を以下に記載する。
開示される技術特徴の組合せのいくつかの例を以下に記載する。
【0111】
（１）所定の照射対象を照射して前記所定の照射対象の透過情報を検出する検出器を測定対象物に走査させて第１の透過情報を取得するとともに、前記測定対象物から生成された基準試料に前記検出器を走査させて第２の透過情報を取得する取得部と、前記基準試料の重量または厚さに関する基準値と前記第２の透過情報との相関性を用いて、前記第１の透過情報から前記測定対象物の重量または厚さに関する値を算出する算出部と、前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて、前記値を校正する校正部と、を備える測定装置。
【0112】
（２）前記第１の透過情報が所定値を超過した場合に、前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて特定された異常に対応するアラームを通知する通知部、
をさらに備える（１）に記載の測定装置。
をさらに備える（１）に記載の測定装置。
【0113】
（３）前記取得部は、前記基準値として、前記測定対象物の一部として採取された前記基準試料の重量を取得し、前記第１の透過情報として、前記測定対象物を透過する放射線の第１の透過強度を取得し、前記第２の透過情報として、前記基準試料を透過する前記放射線の第２の透過強度を取得し、前記算出部は、前記基準試料の重量から算出した前記基準試料の目付量と前記第２の透過強度との前記相関性を示す検量線を用いて、前記第１の透過強度から前記測定対象物の目付量または厚さを算出する、（１）または（２）に記載の測定装置。
【0114】
（４）前記取得部は、シート状の前記測定対象物が送出される方向に対して直交する方向に前記測定対象物に沿って往復走査する前記検出器によって検出された前記第１の透過情報を取得し、前記検出器が往復走査する際の折返し位置に設置された少なくとも１つの前記基準試料から、前記検出器によって検出された前記第２の透過情報を取得する、（１）～（３）のいずれか１つに記載の測定装置。
【0115】
（５）前記取得部は、前記折返し位置において空気に前記検出器を走査させて前記測定対象物および前記基準試料が存在しない際の第３の透過情報をさらに取得し、前記第３の透過情報の時系列的な変動に基づいて、前記値を校正する、（４）に記載の測定装置。
【0116】
（６）前記校正部は、前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて前記照射対象の照射量の低下を特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、（１）～（５）のいずれか１つに記載の測定装置。
【0117】
（７）前記校正部は、前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて前記検出器の測定窓面の汚れを特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、（１）～（６）のいずれか１つに記載の測定装置。
【0118】
（８）前記校正部は、前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて検出器の感度の低下を特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、（１）～（７）のいずれか１つに記載の測定装置。
【0119】
（９）前記校正部は、前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて前記照射対象の発生源と検出器との同期または位置関係に関する異常を特定し、前記値を算出する際に用いる係数を補正することによって、前記値を校正する、（１）～（８）のいずれか１つに記載の測定装置。
【0120】
（１０）コンピュータが、所定の照射対象を照射して前記所定の照射対象の透過情報を検出する検出器を測定対象物に走査させて第１の透過情報を取得するとともに、前記測定対象物から生成された基準試料に前記検出器を走査させて第２の透過情報を取得し、前記基準試料の重量または厚さに関する基準値と前記第２の透過情報との相関性を用いて、前記第１の透過情報から前記測定対象物の重量または厚さに関する値を算出し、前記第２の透過情報の時系列的な変動に基づいて、前記値を校正する、処理を実行する測定方法。
【符号の説明】
【0121】
１０ 測定装置
１１ 入力部
１２ 出力部
１３ 通信部
１４ 記憶部
１４ａ 測定値記憶部
１４ｂ 基準値記憶部
１４ｃ 算出値記憶部
１４ｄ 校正値記憶部
１５ 制御部
１５ａ 取得部
１５ｂ 算出部
１５ｃ 校正部
１５ｄ 通知部
２０ 検出器
２１ 測定部
２２ 線源
３０ 電子天秤
３１ 測定部
１００ 目付量測定システム
１１ 入力部
１２ 出力部
１３ 通信部
１４ 記憶部
１４ａ 測定値記憶部
１４ｂ 基準値記憶部
１４ｃ 算出値記憶部
１４ｄ 校正値記憶部
１５ 制御部
１５ａ 取得部
１５ｂ 算出部
１５ｃ 校正部
１５ｄ 通知部
２０ 検出器
２１ 測定部
２２ 線源
３０ 電子天秤
３１ 測定部
１００ 目付量測定システム
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】