特開 2024-106575 部品実装機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024106575

(43)【公開日】2024-08-08

(54)【発明の名称】部品実装機

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20240801BHJP

   H05K 13/02 20060101ALI20240801BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 Q

H05K13/02 V

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023010908

(22)【出願日】2023-01-27

(71)【出願人】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000110

【氏名又は名称】弁理士法人 快友国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】浅岡 健人

【テーマコード（参考）】

5E353

【Ｆターム（参考）】

5E353BB01

5E353BC10

5E353EE89

5E353GG01

5E353GG30

5E353JJ21

5E353JJ28

5E353JJ48

5E353QQ01

5E353QQ12

(57)【要約】

【課題】部品の位置がずれることを抑制しつつ、部品実装機の生産効率を向上させ得る技術を提供する。
【解決手段】部品実装機は、基板の裏面を下方から支持する実装支持面を有する支持台と、基板を搬送する搬送支持面を有する一対のコンベアと、移動機構と、吸着状態と、吸着解除状態と、に切り替え可能な吸着装置と、を備える。移動機構は、部品が基板の表面に実装されている間、一対のコンベアの搬送支持面を支持台の実装支持面の下方に維持し、部品が基板の表面に実装された後、一対のコンベアの搬送支持面を支持台の実装支持面の上方に維持する。制御装置は、部品が基板の表面に実装されている間、吸着装置を吸着状態に維持し、部品が基板の表面に実装された後、移動機構によって支持台の実装支持面と一対のコンベアの搬送支持面とが同一の高さとなる前に、吸着装置を吸着状態から吸着解除状態に切り替える。
【選択図】図４

【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品を基板の表面に実装する部品実装機であって、
前記部品が前記基板の前記表面に少なくとも実装されている間、前記基板の裏面を下方から支持する実装支持面を有する支持台と、
前記部品が前記表面に実装された前記基板の前記裏面の幅方向の端部を下方から支持して前記基板を搬送する搬送支持面を有する一対のコンベアと、
前記支持台を下方に移動させる第１の機構と、前記一対のコンベアを上方に移動させる第２の機構と、の少なくとも一方の機構を備える移動機構と、
前記実装支持面から延びる空気流路と接続されており、前記実装支持面に前記基板の前記裏面を吸着する吸着状態と、前記吸着状態を解除する吸着解除状態と、に切り替え可能な吸着装置と、
前記吸着装置を制御する制御装置と、
を備え、
前記移動機構は、
前記部品が前記基板の前記表面に実装されている間、前記一対のコンベアの前記搬送支持面を前記支持台の前記実装支持面の下方に維持し、
前記部品が前記基板の前記表面に実装された後、前記一対のコンベアの前記搬送支持面を前記支持台の前記実装支持面の上方に維持し、
前記制御装置は、
前記部品が前記基板の前記表面に実装されている間、前記吸着装置を前記吸着状態に維持し、
前記部品が前記基板の前記表面に実装された後、前記移動機構によって前記支持台の前記実装支持面と前記一対のコンベアの前記搬送支持面とが同一の高さとなる前に、前記吸着装置を前記吸着状態から前記吸着解除状態に切り替える、
部品実装機。

【請求項2】

前記吸着装置は、前記空気流路を介して、前記実装支持面と前記基板の前記裏面との間に空気を供給する空気供給装置を備え、
前記制御装置は、前記実装支持面と前記搬送支持面とが同一の高さとなる前に、前記空気供給装置による前記空気の供給を開始する、
請求項１に記載の部品実装機。

【請求項3】

前記制御装置は、前記吸着装置を前記吸着状態から前記吸着解除状態に切り替えた後、所定時間が経過するまで、前記吸着装置を前記吸着解除状態に維持する、請求項１に記載の部品実装機。

【請求項4】

前記基板は、ウェハである、請求項１から３のいずれか一項に記載の部品実装機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書に開示する技術は、部品実装機に関する。特に、基板の裏面を支持台の上面に吸着させた状態で、部品を基板の表面に実装する部品実装機に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１の部品実装機は、部品実装中に基板の位置がずれることを防止するために、部品が基板の表面に実装されている間、基板の裏面を基板載置部に吸着する。部品が基板の表面に実装されると、基板の裏面に向かって窒素を吐出し、基板を基板載置部から浮かせた状態とし、基板載置部に対する基板の位置を調整する。基板の位置が調整されると、窒素の吐出を停止し、昇降機構によって基板を上昇させて基板を搬送する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５－８５８８１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１のような部品実装機では、少なくとも部品を基板の表面に実装している間は、基板の裏面を基板載置部に強固に吸着することが求められる。一方で、部品が基板の表面に実装された後は、基板の吸着を停止するとともに、部品が実装された基板を迅速に搬送することが求められる。例えば、部品が基板の表面に実装された後、基板の裏面が基板載置部に吸着されている状態で基板の搬送が開始されてしまうと、基板が変形し、表面に実装された部品の位置がずれてしまうおそれがある。一方、部品が基板の表面に実装された後、基板搬送を開始するまでの時間を長くすると、部品実装機の生産効率が低下する。本明細書では、基板の搬送が開始される際に、部品の位置がずれることを抑制しつつ、部品実装から基板搬送開始までの時間を短くすることで部品実装機の生産効率を向上させ得る技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本明細書では、部品を基板の表面に実装する部品実装機に関する技術を開示する。部品実装機は、前記部品が前記基板の前記表面に少なくとも実装されている間、前記基板の裏面を下方から支持する実装支持面を有する支持台と、前記部品が前記表面に実装された前記基板の前記裏面の幅方向の端部を下方から支持して前記基板を搬送する搬送支持面を有する一対のコンベアと、前記支持台を下方に移動させる第１の機構と、前記一対のコンベアを上方に移動させる第２の機構と、の少なくとも一方の機構を備える移動機構と、前記実装支持面から延びる空気流路と接続されており、前記実装支持面に前記基板の前記裏面を吸着する吸着状態と、前記吸着状態を解除する吸着解除状態と、に切り替え可能な吸着装置と、前記吸着装置を制御する制御装置と、を備える。前記移動機構は、前記部品が前記基板の前記表面に実装されている間、前記一対のコンベアの前記搬送支持面を前記支持台の前記実装支持面の下方に維持し、前記部品が前記基板の前記表面に実装された後、前記一対のコンベアの前記搬送支持面を前記支持台の前記実装支持面の上方に維持する。前記制御装置は、前記部品が前記基板の前記表面に実装されている間、前記吸着装置を前記吸着状態に維持し、前記部品が前記基板の前記表面に実装された後、前記移動機構によって前記支持台の前記実装支持面と前記一対のコンベアの前記搬送支持面とが同一の高さとなる前に、前記吸着装置を前記吸着状態から前記吸着解除状態に切り替える。

【0006】

上記の部品実装機では、部品が基板の表面に少なくとも実装されている間、基板の裏面が支持台の実装支持面に強固に吸着される。さらに、部品が基板の表面に実装された後、支持台の実装支持面と一対のコンベアの搬送支持面とが同一の高さとなる前に、基板の裏面の実装支持面への吸着が解除される。このため、基板が実装支持面から搬送支持面に乗り換えるときに、基板の裏面が実装支持面に吸着されないようにすることができる。その結果、搬送支持面に支持された基板の変形が抑制される。このため、本明細書が開示する部品実装機によれば、移動機構による支持台及び／又は一対のコンベアの移動速度を大きくすることができる。これにより、部品が基板の表面に実装された後、一対のコンベアによる基板の搬送を開始するまでの時間を短縮することができる。部品実装機は、基板の搬送が開始される際に、部品の位置がずれることを抑制しつつ、生産効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】部品実装期間中における実施例の部品実装機の側面図。

【図2】部品実装が完了した後における実施例の部品実装機の側面図。

【図3】図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線における断面図。

【図4】圧力供給装置の制御を示すタイミングチャート。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。

【0009】

本明細書に開示する部品実装機では、吸着装置は、前記空気流路を介して、前記実装支持面と前記基板の前記裏面との間に空気を供給する空気供給装置を備えてもよい。その場合、前記制御装置は、前記実装支持面と前記搬送支持面とが同一の高さとなる前に、前記空気供給装置による前記空気の供給を開始してもよい。

【0010】

このような構成によると、実装支持面と搬送支持面とが同一の高さとなる前に、実装支持面と基板の裏面との間に空気が供給される。このため、基板が搬送支持面に乗り換えるタイミングにおいて、空気によって基板が実装支持面から押し上げられる。これにより、基板が搬送支持面に乗り換える際の基板の変形をより確実に抑制することができる。その結果、移動機構の移動速度をさらに大きくすることができる。

【0011】

本明細書に開示する部品実装機では、前記制御装置は、前記吸着装置を前記吸着状態から前記吸着解除状態に切り替えた後、所定時間が経過するまで、前記吸着装置を前記吸着解除状態に維持してもよい。

【0012】

このような構成によると、基板が実装支持面から搬送支持面に確実に乗り換えるまで、基板の裏面の実装支持面への吸着が解除された状態を維持することができる。

【0013】

ウェハは、比較的に厚みが薄いため、特に変形しやすい。このため、本明細書に開示する技術は、基板としてウェハを採用するに部品実装機に対して、特に有益である。

【0014】

（実施例）
図面を参照して本実施例の部品実装機について説明する。まず、図１～図３を参照して、本実施例の部品実装機１０の構成について説明する。部品実装機１０は、フィーダ（図示省略）によって供給位置に供給された電子部品２０を、ウェハ２２の表面２４に対して実装し、実装が完了したウェハ２２を搬送する装置である。図１は、部品実装機１０が、電子部品２０をウェハ２２の表面２４に対して実装している様子を示す。すなわち、図１は、部品実装期間中の部品実装機１０の側面図を示す。図２は、電子部品２０が実装されたウェハ２２を搬送する様子を示す。すなわち、図２は、部品搬送期間中の部品実装機１０の側面図を示す。図３は、図２の線ＩＩＩ－ＩＩＩに沿った断面図であり、部品実装機１０の平面図を示す。なお、以下では、電子部品２０を、「部品２０」と簡単に記載する。

【0015】

部品実装機１０は、ヘッド移動装置２、装着ヘッド４と、支持台３０と、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒと、昇降装置５０と、圧力供給装置６０と、制御装置７０と、を備える。

【0016】

装着ヘッド４は、一又は複数の吸着ノズル６を着脱可能に保持する。吸着ノズル６は、部品２０を吸着する。ヘッド移動装置２は、フィーダ及びウェハ２２に対して、装着ヘッド４を水平方向に移動させる。これにより、フィーダから、吸着ノズル６によって部品２０が取り上げられ、ウェハ２２の予め定められた位置に部品２０が装着される。

【0017】

ウェハ２２は、回路基板であり、典型的にはシリコンで構成される。ウェハ２２は、例えば、１ｍｍ程度の厚みを有する。

【0018】

支持台３０の上部には、平坦な実装支持面３４が設けられている。部品２０をウェハ２２の表面２４に対して実装している間、支持台３０の実装支持面３４は、ウェハ２２の裏面２６と当接する。これにより、部品２０をウェハ２２の表面２４に対して実装している間、ウェハ２２の裏面２６は、支持台３０の実装支持面３４によって支持される。支持台３０の内部には、複数の空気流路３２が形成されている。複数の空気流路３２のそれぞれは、支持台３０の内部を＋Ｚ方向（すなわち、図１の紙面上方向）に沿って、実装支持面３４に向かって延びている。複数の空気流路３２の上端は、実装支持面３４で開放される。複数の空気流路３２は、エアホース３６を介して、圧力供給装置６０に接続される。

【0019】

圧力供給装置６０は、分岐バルブ６２と、負圧バルブ６４と、正圧バルブ６６と、負圧側配管６８と、正圧側配管６９と、負圧ポンプ８０と、正圧ポンプ９０と、を備える。圧力供給装置６０は、支持台３０の空気流路３２内に負圧または正圧を供給する装置である。

【0020】

圧力供給装置６０は、制御装置７０によって制御される。制御装置７０は、ＣＰＵを備えるコンピューターである。制御装置７０は、圧力供給装置６０を、図１に示される「吸着状態」と、図２に示される「吸着解除状態」と、に切り替える。

【0021】

図１に示されるように、吸着状態では、制御装置７０は、分岐バルブ６２によって空気流路３２と負圧バルブ６４とを連通させ、さらに、負圧バルブ６４を開いた状態で負圧ポンプ８０をオンする。これにより、負圧ポンプ８０によって空気流路３２内の空気Ａ１が排出される。その結果、空気流路３２内に負圧が発生し、ウェハ２２の裏面２６が支持台３０の実装支持面３４に吸着される。本実施例における圧力供給装置６０の「吸着状態」は、制御装置７０が負圧バルブ６４を開いた状態で負圧ポンプ８０をオンすることによって、空気流路３２内に負圧が発生し、ウェハ２２の裏面２６が支持台３０の実装支持面３４に吸着可能な状態となることを意味する。すなわち、「吸着状態」は、ウェハ２２の裏面２６が支持台３０の実装支持面３４に実際に吸着していることを要件としない。

【0022】

部品実装機１０は、圧力供給装置６０を吸着状態に維持した状態で、装着ヘッド４および吸着ノズル６によって部品２０をウェハ２２の表面２４に実装する。これにより、部品２０がウェハ２２の表面２４に実装されている間、ウェハ２２の位置がずれることを防止することができる。

【0023】

図２に示されるように、吸着解除状態では、制御装置７０は、負圧ポンプ８０をオフするとともに、分岐バルブ６２によって空気流路３２と正圧バルブ６６とを連通させる。なお、本実施例における圧力供給装置６０の「吸着解除状態」は、制御装置７０が負圧バルブ６４を閉じた状態で負圧ポンプ８０をオフすることによって、空気流路３２内の負圧が解消され、ウェハ２２の裏面２６が支持台３０の実装支持面３４に吸着されない状態となることを意味する。すなわち、「吸着解除状態」は、ウェハ２２の裏面２６が支持台３０の実装支持面３４に実際に吸着されていないこと（例えば、両者が離間して当接していないこと）を要件としない。

【0024】

さらに、制御装置７０は、正圧バルブ６６を開いた状態で正圧ポンプ９０をオンすることができる。これにより、正圧ポンプ９０によって空気流路３２内に空気Ａ２が流入する。すなわち、正圧ポンプ９０は、空気流路３２内に正圧を供給する。その結果、空気流路３２内が正圧となり、空気Ａ２が、空気流路３２を通過して、支持台３０の実装支持面３４から、実装支持面３４と裏面２６との間の空間Ｓ１に供給される。空間Ｓ１に供給された空気Ａ２は、ウェハ２２の裏面２６を押し上げる。これにより、ウェハ２２の裏面２６は、支持台３０の実装支持面３４から離間する。

【0025】

図１～図３に示されるように、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒは、支持台３０のＹ方向（すなわち、図１の紙面左右方向）の両側に位置する。すなわち、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒは、支持台３０に対して支持台３０の幅方向の両側から隣接する。一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒは、いわゆるベルトコンベアであり、一対のベルト４２Ｆ、４２Ｒと、一対のローラ４３Ｆ、４３Ｒと、を備える。特に図３に示されるように、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒは、ウェハ２２のＹ方向の両端を下方から支持して、搬送方向Ｄ１にウェハ２２を搬送する。

【0026】

昇降装置５０は、支持台３０および一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒの下方に位置する。昇降装置５０は、台座５２と、支持台昇降部５４と、を備える。台座５２は、支持台昇降部５４を昇降可能に支持する。支持台昇降部５４は、支持台３０を上下方向に移動させる。

【0027】

部品２０がウェハ２２の表面２４に実装される前、昇降装置５０は、支持台昇降部５４によって支持台３０を上昇させる。昇降装置５０は、図１に示されるように、部品実装期間中において、支持台３０を一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒよりも上方に維持する。これにより、支持台３０の実装支持面３４が、ウェハ２２の裏面２６と当接する。先に述べたように、部品実装期間中において、支持台３０の空気流路３２内には負圧が発生している。このため、部品実装期間中、ウェハ２２の裏面２６が支持台３０の実装支持面３４に吸着される。

【0028】

部品２０がウェハ２２の表面２４に実装された後、昇降装置５０は、支持台昇降部５４によって支持台３０を下降させる。昇降装置５０は、図２に示されるように、部品搬送期間中において、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒを支持台３０よりも上方に維持する。これにより、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒの搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒが、ウェハ２２の裏面２６と当接する。図３に示されるように、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒは、部品２０が実装されたウェハ２２を搬送方向Ｄ１に搬送する。

【0029】

部品２０がウェハ２２の表面２４に実装された後、部品２０が実装されたウェハ２２を搬送する前に、ウェハ２２は、支持台３０の実装支持面３４から、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒの搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒに乗り移る。図２に特に示されるように、部品搬送期間中、ウェハ２２の前後方向の両端部が、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒの搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒによって支持される。このため、特に、ウェハ２２の中央部は、下方に変位しやすい。

【0030】

仮に、ウェハ２２が支持台３０の実装支持面３４から一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒの搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒに乗り移るタイミングで、ウェハ２２の裏面２６が実装支持面３４に吸着されていると、ウェハ２２の裏面２６は、下方に移動する支持台３０によってさらに下方に引っ張られる。また、本実施例の部品実装機１０は、ウェハ２２に部品２０を実装する。例えば、厚みが大きい他の回路基板の形状剛性に比べると、ウェハ２２の形状剛性は低い。このため、実装支持面３４から一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒの搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒに乗り移るタイミングでは、特にウェハ２２の中央部は、下方に変形しやすい。

【0031】

部品２０が実装されたウェハ２２の中央部が下方に変位すると、中央部の吸着が解除され、ウェハ２２の中央部の変形が復元する際に、実装された部品２０の位置がずれてしまうことがある。このため、従来技術では、実装された部品２０の位置ずれの発生を抑制するため、支持台３０を下降させる速度が比較的低く設定され、基板搬送を開始するまでの時間が長くなっていた。その結果、従来技術では、部品実装機１０の生産効率が低下していた。

【0032】

図４を参照して、本実施例の制御装置７０が実行する圧力供給装置６０の制御について説明する。図４（Ａ）は、支持台３０の実装支持面３４の高さＨＩと、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒの搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒの高さＨＣと、の位置関係の経時的な変化を示す。図４（Ｂ）は、負圧バルブ６４の開閉のタイミングを示す。図４（Ｃ）は、負圧ポンプ８０のオンオフのタイミングを示す。図４（Ｄ）は、正圧バルブ６６の開閉のタイミングを示す。図４（Ｅ）は、正圧ポンプ９０のオンオフのタイミングを示す。

【0033】

本実施例の部品実装機１０は、部品実装期間ＩＰ１にわたって部品２０をウェハ２２の表面２４に実装し、部品搬送期間ＣＰ１にわたって部品２０が実装されたウェハ２２を搬送する。部品実装期間ＩＰ１の長さは、ウェハ２２の表面２４に実装される部品２０の数、装着ヘッド４の移動速度等に応じて、予め設定されている。同様に部品搬送期間ＣＰ１の長さも、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒのローラ４３Ｆ、４３Ｒの回転速度、新たなウェハ２２の供給位置と支持台３０との間の距離等に応じてあらかじめ設定されている。

【0034】

図４（Ａ）に示されるように、部品実装期間ＩＰ１にわたって、実装支持面３４の高さＨＩは、搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒの高さＨＣよりも上方に維持される（図１参照）。図４（Ｂ）、図４（Ｃ）に示されるように、制御装置７０は、部品実装期間ＩＰ１にわたって、負圧バルブ６４を開き続け、負圧ポンプ８０をオンに維持する。さらに、図４（Ｄ）、図４（Ｅ）に示されるように、制御装置７０は、部品実装期間ＩＰ１にわたって、正圧バルブ６６を閉じ続け、正圧ポンプ９０をオフに維持する。すなわち、制御装置７０は、部品実装期間ＩＰ１にわたって、圧力供給装置６０を吸着状態に維持する。

【0035】

部品実装期間ＩＰ１が終了すると、タイミングＴ１において、昇降装置５０が、実装支持面３４の下降を開始する。これにより、図４（Ａ）に示されるように、実装支持面３４の高さＨＩが徐々に低下する。本実施例では、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒは上昇しないため、搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒの高さＨＣは、一定に維持される。

【0036】

タイミングＴ２において、実装支持面３４の高さＨＩが搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒの高さＨＣまで下降する。すなわち、実装支持面３４の高さＨＩが搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒの高さＨＣと同一となる。タイミングＴ２において、ウェハ２２が、実装支持面３４から搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒに乗り移る。

【0037】

図４（Ｂ）、図４（Ｃ）に示されるように、制御装置７０は、タイミングＴ１において、負圧バルブ６４を閉じるとともに、負圧ポンプ８０をオフする。すなわち、制御装置７０は、実装支持面３４の高さＨＩが搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒの高さＨＣと同一となるタイミングＴ２の前のタイミングＴ１で、圧力供給装置６０を吸着状態から吸着解除状態に切り替える。制御装置７０は、昇降装置５０が実装支持面３４の下降を開始するタイミングＴ１をトリガとして圧力供給装置６０を吸着状態から吸着解除状態に切り替える。このため、制御装置７０は、比較的に容易な制御構成によって、タイミングＴ２の前のタイミングＴ１で、確実に圧力供給装置６０を切り替えることができる。さらに、図４（Ｄ）、図４（Ｅ）に示されるように、タイミングＴ１において、制御装置７０は、正圧バルブ６６を開くとともに、正圧ポンプ９０をオンする。その結果、空気流路３２内に正圧が供給される。これにより、図２に示されるように、外部の空気Ａ２が空気流路３２内を通過して、空間Ｓ１に供給される。空気Ａ２は、ウェハ２２の中央部を上方に押し上げる。これにより、ウェハ２２の中央部の変形が抑制される。

【0038】

その後、タイミングＴ３で実装支持面３４が所定の高さまで下降すると、図４（Ａ）に示されるように、部品搬送期間ＣＰ１にわたって、実装支持面３４の高さＨＩは、搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒの高さＨＣよりも下方に維持される（図２参照）。図４（Ｄ）、図４（Ｅ）に示されるように、制御装置７０は、タイミングＴ３において、正圧バルブ６６を閉じるとともに、正圧ポンプ９０をオフして、正圧の供給を停止する。ウェハ２２が搬送される部品搬送期間ＣＰ１においては、実装支持面３４とウェハ２２の裏面２６との間の空間Ｓ１に空気Ａ２を供給する必要がない。制御装置７０がタイミングＴ３において正圧の供給を停止することによって、不要な空気Ａ２が空間Ｓ１に供給されることを防止することができる。

【0039】

部品２０が実装されたウェハ２２が搬送され、部品搬送期間ＣＰ１が終了すると、タイミングＴ４において、昇降装置５０は、実装支持面３４の上昇を開始する。これにより、図４（Ａ）に示されるように、実装支持面３４の高さＨＩが徐々に上昇する。制御装置７０は、タイミングＴ４において、負圧バルブ６４を開くとともに負圧ポンプ８０をオンする。すなわち、制御装置７０は、タイミングＴ４において、圧力供給装置６０を吸着解除状態から吸着状態に切り替える。そして、部品実装機１０は、タイミングＴ５から開始される部品実装期間ＩＰ２において、新たなウェハ２２に対して、部品２０を実装する。

【0040】

制御装置７０は、昇降装置５０が実装支持面３４の下降を開始するタイミングＴ１から、部品搬送期間ＣＰ１が終了するタイミングＴ４までの間、吸着解除状態を維持する。先に述べたように、制御装置７０は、タイミングＴ１において、吸着状態から吸着解除状態に切り替える。別言すれば、制御装置７０は、ウェハ２２が、実装支持面３４から搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒに乗り移ったことを示す情報を受信したことに応じて、吸着状態から吸着解除状態に切り替えない。このため、タイミングＴ２では、ウェハ２２が、実装支持面３４から搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒに実際に乗り移ってない可能性がある。本実施例の部品実装機１０の制御装置７０は、実装支持面３４の高さＨＩが搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒの高さＨＣと同一となるタイミングＴ２の前に、吸着状態から吸着解除状態に切り替える。このため、部品実装機１０は、タイミングＴ２において、確実に吸着状態から吸着解除状態に切り替えることができる。さらに、制御装置７０は、タイミングＴ２の後、部品搬送期間ＣＰ１が終了するタイミングＴ４まで、負圧バルブ６４を閉じ続け、負圧ポンプ８０をオフに維持する。このため、ウェハ２２が、実装支持面３４から搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒに確実に乗り移るまで、吸着解除状態を維持することができる。

【0041】

このように、本実施例の部品実装機１０は、実装支持面３４の高さＨＩと搬送支持面４４Ｆ、４４Ｒの高さＨＣとが同一の高さとなる前のタイミングＴ１において、圧力供給装置６０を吸着状態から吸着解除状態に切り替える。これにより、ウェハ２２の中央部の変形が抑制されるため、昇降装置５０の支持台３０を下降させる速度を従来技術に比べて増加させることができる。その結果、部品実装機１０は、部品実装から基板搬送開始までの時間を短くすることができる。これにより、部品実装機１０は、生産効率を向上させることができる。

【0042】

（対応関係）ウェハ２２が、「基板」の一例である。圧力供給装置６０が、「吸着装置」の一例である。昇降装置５０が、「移動機構」の一例であり、支持台昇降部５４が、「第１の機構」の一例である。正圧ポンプ９０が、「空気供給装置」の一例である。

【0043】

実施例で説明した部品実装機１０に関する留意点を述べる。圧力供給装置６０は、正圧ポンプ９０を備えなくてもよい。その場合、制御装置７０は、図４のタイミングＴ１において、正圧バルブ６６を開いて空気流路３２を外部に開放することによって、圧力供給装置６０を吸着状態から吸着解除状態に切り替えてもよい。

【0044】

上述した部品実装機１０では、昇降装置５０は、支持台３０を昇降させる。変形例では、昇降装置５０は、支持台３０を固定するとともに一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒを昇降させてもよい。本変形例では、一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒを昇降させる機構が、「第２の機構」の一例である。また、さらなる変形例では、支持台３０と一対のコンベア４０Ｆ、４０Ｒとの双方を昇降させてもよい。

【0045】

上述した部品実装機１０は、タイミングＴ１で圧力供給装置６０を吸着状態から吸着解除状態に切り替えた後、部品搬送期間ＣＰ１にわたって吸着解除状態を維持する。変形例では、タイミングＴ１からタイミングＴ２になる前までの間で圧力供給装置６０を吸着状態から吸着解除状態に切り替え、さらに、同時に正圧ポンプ９０をオンして正圧を供給してもよい。また、さらなる変形例では、例えば、部品搬送期間ＣＰ１が終了するタイミングＴ４まで正圧の供給を維持してもよい。

【0046】

上述した実施例では、ウェハ２２に部品２０を実装する。変形例では、ウェハ２２に代えて、回路基板に対して部品２０を実装してもよい。

【0047】

以上、本明細書に開示の技術の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、請求の範囲を限定するものではない。請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。なお、本明細書では、請求項３において「請求項１に記載の部品実装機」を「請求項１または２に記載の部品実装機」に変更した技術思想も開示されている。

【符号の説明】

【0048】

２ ：ヘッド移動装置
４ ：装着ヘッド
６ ：吸着ノズル
１０ ：部品実装機
２０ ：電子部品
２２ ：ウェハ
２４ ：表面
２６ ：裏面
３０ ：支持台
３２ ：空気流路
３４ ：実装支持面
３６ ：エアホース
４０Ｆ，４０Ｒ ：コンベア
４２Ｆ，４２Ｒ ：ベルト
４３Ｆ，４３Ｒ ：ローラ
４４Ｆ，４４Ｒ ：搬送支持面
５０ ：昇降装置
５２ ：台座
５４ ：支持台昇降部
６０ ：圧力供給装置
６２ ：分岐バルブ
６４ ：負圧バルブ
６６ ：正圧バルブ
６８ ：負圧側配管
６９ ：正圧側配管
７０ ：制御装置
８０ ：負圧ポンプ
９０ ：正圧ポンプ
ＣＰ１ ：部品搬送期間
ＩＰ１、ＩＰ２ ：部品実装期間
Ｓ１ ：空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】