特開 2024-106815 基板支持台および基板保持装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024106815

(43)【公開日】2024-08-08

(54)【発明の名称】基板支持台および基板保持装置

(51)【国際特許分類】

   H01J 37/20 20060101AFI20240801BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20240801BHJP

【ＦＩ】

H01J37/20 A

H01L21/68 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023011268

(22)【出願日】2023-01-27

(71)【出願人】

【識別番号】302054866

【氏名又は名称】日新イオン機器株式会社

(72)【発明者】

【氏名】朝香 重乙

(72)【発明者】

【氏名】中澤 喜之

【テーマコード（参考）】

5C101

5F131

【Ｆターム（参考）】

5C101AA25

5C101FF02

5C101FF46

5C101FF49

5C101FF58

5F131AA03

5F131AA12

5F131AA32

5F131AA33

5F131BA23

5F131CA18

5F131DA33

5F131DA42

5F131EA03

5F131EA14

5F131EA25

5F131EB31

5F131EB32

5F131EB54

5F131EB55

5F131EB62

5F131EB72

(57)【要約】

【課題】基板を支持する位置を変更できるとともに、基板を支持する位置が変化することを抑制できる基板支持台および基板保持装置を提供する。
【解決手段】イオンビーム照射装置１に配置され、イオンビームが照射される基板を支持する基板支持台１０を、基板の被支持面Sｂを支持する複数の第一支持部材２０と、第一支持部材２０が固定され得る支持体１１とを備え、基板が支持された状態における被支持面Sbに平行な一方向Dについて、第一支持部材２０の支持体１１に対する配置位置を所定の範囲で選択可能であり、第一支持部材２０が、選択された配置位置に固定部材２５により固定される構成とする。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

イオンビーム照射装置に配置され、イオンビームが照射される基板を支持する基板支持台であって、
前記基板の被支持面を支持する複数の第一支持部材と、
前記第一支持部材が固定され得る支持体と、
を備え、
前記基板が支持された状態における前記被支持面に平行な一方向について、前記第一支持部材の前記支持体に対する配置位置を所定の範囲で選択可能であり、
前記第一支持部材が、選択された前記配置位置に固定部材により固定される、基板支持台。

【請求項2】

前記第一支持部材が、前記被支持面を支持する支持位置を前記一方向について間に挟む少なくとも二箇所において前記固定部材により固定される、請求項１に記載の基板支持台。

【請求項3】

前記支持体が、前記一方向に所定の間隔を空けて形成され、それぞれ前記固定部材を受け入れ得る複数の固定部を有し、
前記第一支持部材が、選択された少なくとも一つの前記固定部を介して前記固定部材により固定される、請求項１に記載の基板支持台。

【請求項4】

前記固定部が、貫通孔または凹形状を成しており、
前記第一支持部材が、前記第一支持部材が前記支持体に固定された状態について、前記一方向と直交する方向に貫通するとともに、前記一方向に前記間隔以上の寸法で開口する孔部を有し、
前記固定部材が、前記孔部を介して固定部に挿し込まれる棒状部を有する、請求項３に記載の基板支持台。

【請求項5】

前記支持体が、本体と、前記本体に固定される付加部材と、を備え、
前記第一支持部材が、前記付加部材に固定される、請求項１～４のいずれか一項に記載の基板支持台。

【請求項6】

前記被支持面を支持し、前記支持体に対する位置が常に固定される第二支持部材をさらに備える、請求項１～４のいずれか一項に記載の基板支持台。

【請求項7】

イオンビーム照射装置に配置され、イオンビームが照射される基板を支持する基板支持台を備える基板保持装置であって、
前記基板支持台が、
前記基板の被支持面を支持する第一支持部材と、
前記第一支持部材が固定され得る支持体と、
を備え、
前記基板が支持された状態における前記被支持面に平行な一方向について、前記第一支持部材の前記支持体に対する配置位置を所定の範囲で選択可能であり、
前記第一支持部材が、選択された前記配置位置に固定部材により固定される、基板保持装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板支持台および当該基板支持台を備える基板保持装置に関し、特に、イオンビーム照射装置に使用される基板支持台および基板保持装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、フラットパネルディスプレイの製造工程で使用されるイオン注入装置に使用され、イオンビームが照射される基板を支持する基板載置装置が開示されている。この基板載置装置は、イオン注入装置の処理室内に配置され、処理対象となるガラス基板を支持するものである。この基板載置装置は、ガラス基板が載置されるテーブルと、テーブルに配置されたガイドレールと、ガイドレールに沿って移動可能な複数のスライドブロックを備えている。各スライドブロックには、ガラス基板を支持し得るように構成された複数の支持部品が固定されており、ガラス基板はこれらの支持部品に支持されるようにしてテーブルに載置される。

【0003】

特許文献１の基板載置装置は、スライドブロックをガイドレールに沿って移動させることによって、テーブルに対する支持部品の位置を変更できるように構成されている。したがって、この基板載置装置は、支持するガラス基板の種類が変更された場合であっても、支持部品の位置を適切な位置に変更することができる。この基板載置装置では、例えば、支持部品がガラス基板の薄膜トランジスタが形成されない領域を支持するように支持部品の位置が変更されることによって、最終製品である表示パネルへの意図しない影響が加わることが回避される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】米国特許出願公開第２０１８／０２５８９８８号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１の基板載置装置は、スライドブロックをガイドレール上に固定する手段を備えていない。したがって、この基板載置装置を使用するにつれて、スライドブロックのガイドレールに対する位置が変化するおそれがある。この場合、例えば、支持部品がガラス基板を支持する位置が経時的に変化し、その結果、例えば最終製品である表示パネル等に意図しない影響が加わるおそれがある。

【0006】

本発明は、上記問題を解決するものであり、基板を支持する位置を変更できるとともに、基板を支持する位置が変化することを抑制できる基板支持台、および、当該基板支持台を備える基板保持装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の基板支持台は、イオンビーム照射装置に配置され、イオンビームが照射される基板を支持する基板支持台であって、前記基板の被支持面を支持する複数の第一支持部材と、前記第一支持部材が固定され得る支持体と、を備え、前記基板が支持された状態における前記被支持面に平行な一方向について、前記第一支持部材の前記支持体に対する配置位置を所定の範囲で選択可能であり、前記第一支持部材が、選択された前記配置位置に固定部材により固定される構成とされている。

【0008】

この構成によれば、第一支持部材の支持体に対する配置位置を一方向の所定の範囲で選択可能であることから、支持する基板に応じて第一支持部材の支持体に対する配置位置を変更することができる。さらに、第一支持部材が、選択された配置位置に固定部材により固定されることから、第一支持部材の配置位置が選択された位置から変化することが抑制される。

【0009】

本発明の基板支持台は、前記第一支持部材が、前記被支持面を支持する支持位置を前記一方向について間に挟む少なくとも二箇所において、前記固定部材により固定される構成とされてもよい。

【0010】

この構成によれば、第一支持部材が、基板の被支持面を支持する支持位置を一方向について間に挟む少なくとも二箇所において固定部材により固定される。すなわち、支持部材が基板の荷重がかかる支持位置を挟む少なくとも二箇所で固定されることから、基板からの荷重によって固定部材の固定力が弱まることが抑制される。

【0011】

本発明の基板支持台は、前記支持体が、前記一方向に所定の間隔を空けて形成され、それぞれ前記固定部材を受け入れ得る複数の固定部を有し、前記第一支持部材が、選択された少なくとも一つの前記固定部を介して前記固定部材により固定される構成であってもよい。

【0012】

この構成によれば、作業者等が、複数の固定部の中から使用する固定部を選択し、選択された固定部を使用して固定部材により第一支持部材を固定することになる。つまり、選択する固定部を変更することによって、第一支持部材の配置位置を変更することができる。

【0013】

本発明の基板支持台は、前記固定部が、貫通孔または凹形状を成しており、前記第一支持部材が、前記第一支持部材が前記支持体に固定された状態について、前記一方向と直交する方向に貫通するとともに、前記一方向に前記間隔以上の寸法で開口する孔部を有し、前記固定部材が、前記孔部を介して固定部に挿し込まれる棒状部を有する構成とされてもよい。

【0014】

この構成によれば、第一支持部材に形成された孔部が、各固定部間の間隔以上の寸法で開口していることから、固定部材の棒状部が挿し込まれる位置を一方向について当該寸法の範囲で調節することができる。したがって、固定部が形成される範囲においては、第一支持部材の配置位置を実質的に無段階で調整することができる。

【0015】

本発明の基板支持台は、前記支持体が、所定の回転軸まわりに動作する本体と、前記本体に固定される付加部材と、を備え、前記第一支持部材が、前記付加部材に固定される構成とされてもよい。

【0016】

この構成によれば、本体と、第一支持部材が付加部材を別個に作成することが可能となる。したがって、例えば、既存の本体に、新たに作成した本発明にかかる付加部材を取り付けることによって本発明の基板支持台を構成することができる。この場合、既存の基板支持台に、本発明にかかる第一支持部材の配置位置を変更できる機能を付加させることが可能となる。

【0017】

本発明の基板支持台は、前記被支持面を支持し、前記支持体に対する位置が常に固定される第二支持部材をさらに備える構成とされてもよい。

【0018】

本発明によれば、基板支持台を、基板の被支持領域のうち、支持される位置を変更する必要がない領域は第二支持部材により支持し、支持される位置を変更する必要がある領域を第一支持部材により支持する構成とすることができる。つまり、支持される位置を変更する必要がない領域は第二支持部材により支持することによって、基板をすべて複数の第一支持部材により支持する場合と比較して、基板支持台の構成が簡易なものとなる。

【0019】

本発明の基板保持装置は、イオンビーム照射装置に配置され、イオンビームが照射される基板を支持する基板支持台を備える基板保持装置であって、前記基板支持台が、前記基板の被支持面を支持する第一支持部材と、前記第一支持部材が固定され得る支持体と、を備え、前記基板が支持された状態における前記被支持面に平行な一方向について、前記第一支持部材の前記支持体に対する配置位置を所定の範囲で選択可能であり、前記第一支持部材が、選択された前記配置位置に固定部材により固定される、基板保持装置。

【発明の効果】

【0020】

本発明によれば、基板を支持する位置を変更できるとともに、基板を支持する位置が変化することを抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の一実施形態におけるイオンビーム照射装置の処理室内部を示す模式図。

【図2】同実施形態における基板支持台が倒伏位置にある状態を示す基板保持装置の上面図。

【図3】同実施形態における支持体の図２の一点鎖線で囲まれた領域における、第一支持部材および第二支持部材が配置された第三板状部材の側面図である。

【図4】同実施形態における支持体の図２の一点鎖線で囲まれた領域における、第一支持部材および第二支持部材が配置された第三板状部材の上面図である。

【図5】本発明の第一変形例を示す第一支持部材と付加部材の断面図である。

【図6】本発明の第二変形例を示す第一支持部材と付加部材の側面図である。

【図7】本発明の第三変形例を示す第一支持部材と付加部材の上面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

本発明における一実施形態である基板支持台１０、および基板支持台１０を使用する基板保持装置１００について説明する。
図１は、本実施形態における基板保持装置１００を有するイオンビーム照射装置１が備える処理室２の内部を示す模式図である。
図１に示すように、本実施形態における基板保持装置１００は、基板ＳにイオンビームＩＢを照射するイオンビーム照射装置１において使用される。本実施形態におけるイオンビーム照射装置１は、フラットパネルディスプレイ製造工程で使用されるイオン注入装置であるが、これに限定されるものではない。
なお、イオンビーム照射装置１は、本実施形態にかかる基板保持装置１００を有することを除いては、フラットパネルディスプレイ製造工程で使用されるイオン注入装置に一般に採用されている構成を備えていることから、装置全体の詳細な説明は省略する。

【0023】

本実施形態における基板Ｓは矩形のガラス基板であり、イオンビーム照射装置１は、基板Ｓの被処理面Ｓａ全域にイオンビームＩＢを照射する。また、基板支持台１０を備える基板保持装置１００は、イオンビーム照射装置１が有する処理室２内に配置されて使用される。なお、基板Ｓはガラス基板に限らず、形状も限定されるものではない。

【0024】

基板保持装置１００は、基板Ｓを支持する基板支持台１０を備える。基板支持台１０は、基板Ｓの被処理面Ｓａの裏面にあたる被支持面Ｓｂを支持する複数の第一支持部材２０および複数の第二支持部材３０を備えている。また、基板支持台１０は、第一支持部材２０および第二支持部材３０に支持された基板Ｓの周縁部を保持し得る複数のクランパ１０１を備えている。

【0025】

基板保持装置１００は、基板支持台１０を動作させるためのモータ１０２を備えており、図示されない動力伝達機構を介してモータ１０２からの動力を基板支持台１０に伝えることによって、基板支持台１０を動作させることができる。より具体的には、基板保持装置１００は、基板支持台１０を図１および図２に示された回転軸Ａまわりに回転動作させることによって、基板支持台１０を倒伏位置Ｐ１と起立位置Ｐ２との間で移動させることができる構成とされている。

【0026】

基板支持台１０が倒伏位置Ｐ１にあるとき、基板Ｓは基板支持台１０に水平に支持される。起立位置Ｐ２は、基板ＳにイオンビームＩＢが照射される間の基板支持台１０の位置であり、基板支持台１０が起立位置Ｐ２にあるとき、基板Ｓは被処理面ＳａをイオンビームＩＢに向けるように、基板保持装置１００によって垂直に保持される。

【0027】

外部から処理室２内に搬入された基板Ｓは、まず倒伏位置Ｐ１にある基板支持台１０に載置される。そして、基板支持台１０が起立位置Ｐ２に移動するのに伴って、基板Ｓが起き上がり、その後、基板ＳにイオンビームＩＢが照射される。基板Ｓの被処理面Ｓａ全域にイオンビームＩＢが照射された後、基板支持台１０が再び倒伏位置Ｐ１に戻り、基板Ｓが処理室２の外部に搬出される。

【0028】

図２は、基板支持台１０が倒伏位置Ｐ１にある状態を示す基板保持装置１００の上面図である。図２では基板支持台１０に支持された基板Ｓが破線で示されている。
図２に示すように、基板保持装置１００は、基板支持台１０とモータ１０２に加え、基板支持台１０の幅方向両端部に固定され、回転軸Ａを規定する一対の軸部材１０３、１０３と、一対の軸部材１０３、１０３を回転可能に支持する正面視コ字状（Ｕ字状）の支持枠体１０４をさらに備えている。また、基板支持台１０の外側には、前述の図示されない動力伝達機構が配置されている。

【0029】

基板支持台１０は、基板Ｓの被支持面Ｓｂを支持する複数の第一支持部材２０と複数の第二支持部材３０を備えている。また、基板支持台１０は、第一支持部材２０および第二支持部材３０が固定され得る支持体１１をさらに備えている。

【0030】

後述するように、各第一支持部材２０は、支持体１１に対する位置をそれぞれ変更可能であるように構成されている。一方、各第二支持部材３０は、支持体１１のあらかじめ定められた位置に固定されるように構成されている。また、本実施形態においては、図２に示すように、本実施形態における基板支持台１０は、第一支持部材２０と第二支持部材３０をそれぞれ８個ずつ備えているが、これらの数は限定されるものではない。

【0031】

本実施形態における支持体１１は、回転軸Ａまわりに回転動作する平面視で全体櫛状の本体１２と、本体１２に固定された付加部材１４により構成されている。本体１２は、モータ１０２が発生した動力が一対の軸部材１０３、１０３を介して伝えられることによって、回転軸Ａまわりに回転動作する。

【0032】

本体１２は、基板Ｓを支持した状態について、基板Ｓの長手方向に間隔を空けて順に配置された第一板状部材１２ａ、第二板状部材１２ｂ、第三板状部材１２ｃを有する。また、本体１２はさらに、第一板状部材１２ａ、第二板状部材１２ｂ、第三板状部材１２ｃの各長手方向の一端部を連結する第四板状部材１２ｄを有する。本体１２は、一板状部材１２ａ、第二板状部材１２ｂ、および第三板状部材１２が第四板状部材１２ｄに連結されることによって、全体が櫛状を成している。

【0033】

本体１２は、第一板状部材１２ａおよび第二板状部材１２ｂにそれぞれ形成され、互いに対向する第一側面１３ａおよび第二側面１３ｂを有する。また、本体１２は、第二板状部材１２ｂおよび第三板状部材１２ｃにそれぞれ形成され、互いに対向する第三側面１３ｃおよび第四側面１３ｄを有する。

【0034】

また、本実施形態における支持体１１は、本体１２に固定された8個の付加部材１４を有している。より詳細には、付加部材１４は、第一側面１３ａ、第二側面１３ｂ、第三側面１３ｃおよび第四側面１３ｄにそれぞれ２個ずつ配置されている。そして、各付加部材１４にひとつの第一支持部材２０が固定されている。

【0035】

本実施形態においては、すべての第一支持部材２０は、付加部材１４を介して本体１２に固定されているが、これに限定されるものではない。例えば、基板支持台１０は、付加部材１４を使用せず、すべての第一支持部材２０を本体１２に直接固定される構成であってもよい。また、基板支持台１０は、複数の第一支持部材２０のうち、一部は付加部材１４を介して本体１２に間接的に固定され、一部は本体１２に直接固定される構成であってもよい。

【0036】

本実施形態においては、第二支持部材３０は、第一側面１３ａ、第二側面１３ｂ、第三側面１３ｃおよび第四側面１３ｄにそれぞれ２個ずつ配置されており、いずれの第二支持部材３０も支持体１１に直接固定されている。本実施形態における８個の第二支持部材３０は、いずれも基板Ｓの被支持面Ｓｂの周縁部を支持するように配置されているが、第二支持部材３０の個数および配置位置はこれに限定されるものではない。

【0037】

図３および図４は、それぞれ支持体１１の図２中の一点鎖線で囲まれた領域を示す第三板状部材１２ｃの側面図および上面図であり、第三板状部材１２ｃが有する第四側面１３ｄに第一支持部材２０および第二支持部材３０が配置された状態が示されている。

【0038】

図３および図４に示すように、第一支持部材２０は、付加部材１４を介して支持体１１の第四側面１３ｄに間接的に固定されている。一方、第二支持部材３０は、第四側面１３ｄに直接固定されている。第一支持部材２０および第二支持部材３０は、図３および図４に示されたもの以外についても、図３および図４に示されたものと同様の構成であり、これらと同様の方法で本体１２に固定されている。

【0039】

付加部材１４は、全体が直方体形状を成すアルミニウム等の金属の板材から形成されている。図３に示すように、付加部材１４は、付加部材１４の長手方向に所定の第一の間隔Ｂ１を空けて並ぶように形成された複数の第一固定部１５を有する。また、付加部材１４は、第一固定部１５に平行に配列され、付加部材１４の長手方向に所定の第二の間隔Ｂ２を空けて並ぶように形成された複数の第二固定部１６を有する。

【0040】

複数の第一固定部１５および複数の第二固定部１６はそれぞれ、付加部材１４が本体１２に固定された状態において、基板Ｓが基板支持台１０に支持された状態における被支持面Ｓｂに平行な所定の一方向Ｄに沿って並ぶように配置されている。

【0041】

付加部材１４は本体１２に固定され得るものであればよく、本実施形態の形状に限定されるものではない。また、複数の第一固定部１５および複数の第二固定部１６は、それぞれ基板Ｓが基板支持台１０に支持された状態における被支持面Ｓｂに平行な所定の一方向Ｄに沿って並ぶように形成されていればよい。
なお、一方向Ｄは、基板Ｓが自重による撓み等の変形がなく理想的に支持された状態について、被支持面Ｓｂに平行な方向を指す。

【0042】

本実施形態においては、第一固定部１５および第二固定部１６は、それぞれ付加部材１４の厚さ方向に貫通する貫通孔を成すものである。各第一固定部１５および各第二固定部１６は当該貫通孔を形成する内周面であるものと捉えてもよい。

【0043】

各第一固定部１５の内周面には、図４に示されたボルトである第一固定部材２５を受けいれ、第一固定部材２５によって第一支持部材２０を固定するための図示されないねじ溝が形成されている。同様に、第二固定部１６の内周面には、図４に示されたボルトである第二固定部材２６を受けいれ、第二固定部材２６によって第一支持部材２０を固定するための図示されないねじ溝が形成されている。

【0044】

図３および図４に示すように、第二支持部材３０は、基板Ｓを支持する第二ピン３１と、第二ピン３１を保持する第二保持体３２とにより構成されている。第二保持体３２には、第二保持体３２の厚さ方向に貫通する二つの第三孔部３３、３３が形成されている。

【0045】

また、本体１２の第三側面１３ｃには、図４に示されたボルトである第三固定部材３５を受け入れるとともに、内周面にねじ溝を有するふたつの凹部３４、３４が形成されている。第二支持部材３０は、各第三孔部３３の位置を各凹部３４の位置に合わせ、各第三孔部３３に第三固定部材３５を挿入し、第三固定部材３５を凹部３４にねじ固定することにより、本体１２に固定される。

【0046】

図３に示すように、本実施形態における各付加部材１４において、第一固定部１５および第二固定部１６はそれぞれ６箇所に形成されている。
なお、付加部材１４に形成される第一固定部１５および第二固定部１６の数は限定されるものではなく、適宜変更される。また、ひとつの基板支持台１０が、互いに第一固定部１５または第二固定部１６の数が異なる複数の付加部材１４を備える構成であってもよい。

【0047】

図３および図４に示すように、本実施形態の第一支持部材２０は、それぞれ基板Ｓを支持する第一ピン２１と、第一ピン２１を保持する第一保持体２２とにより構成されている。第一ピン２１は合成樹脂材やゴム材により形成され、一端が球面状に形成されて被支持面Ｓｂに接触して基板Ｓを支持し、他端が第一保持体２２に圧入されて第一保持体２２に保持される構成とされている。

【0048】

第一保持体２２は、全体が略直方体形状を成し、アルミニウム等の金属により形成されており、第一保持体２２の厚さ方向に貫通する第一孔部２３および第二孔部２４を有する。より詳細には、第一孔部２３および第二孔部２４は、第一支持部材２０が支持体１１に固定された状態について、一方向Ｄと直交する方向に貫通している。

【0049】

また、第一孔部２３は、第一支持部材２０が支持体１１に固定された状態において、一方向Ｄについて第一の間隔Ｂ１以上の寸法で開口する長孔である。同様に、第二孔部２４は、第一支持部材２０が支持体１１に固定された状態において、一方向Ｄについて第二の間隔Ｂ２以上の寸法で開口する長孔である。本実施形態においては、第一の間隔Ｂ１と第二の間隔Ｂ２は等しいが、これに限定されるものではない。

【0050】

第一保持体２２は、第一孔部２３および第二孔部２４がそれぞれ、少なくとも一つの第一固定部１５、および、少なくとも一つの第二固定部１６と位置を合わせた状態で付加部材１４に配置できるように構成されている。つまり、第一保持体２２は、第一孔部２３の開口と少なくとも一つの第一固定部１５の開口がつながり、かつ、第二孔部２４の開口と少なくとも一つの第二固定部１６の開口がつながった状態で付加部材１４に配置され得るように構成されている。

【0051】

これ以降、図３に示すように、便宜上６個の第一固定部１５および６個の第二固定部１６を、紙面左側からそれぞれ第一固定部１５ａ～１５ｆ、第二固定部１６ａ～１６ｆとして区別する場合がある。

【0052】

本体１２に固定された付加部材１４に第一支持部材２０を取り付ける場合、作業者はまず、第一ピン２１が基板Ｓを支持するべき位置に応じて、第一支持部材２０を支持体１１に配置する配置位置を決定する。その後、作業者は決定された配置位置に応じて、複数の第一固定部１５および複数の第二固定部１６の中からそれぞれ使用するものを選択する。

【0053】

図３および図４では、第一固定部１５ｃおよび第二固定部１６ｆが選択され、第一支持部材２０が第一固定部１５ｃおよび第二固定部１６ｆを使用して配置位置Ｆ１に固定される状態が示されている。

【0054】

この場合、作業者は、まず、第一固定部１５ｃと第二固定部１６ｆを、それぞれ第一孔部２３および第二孔部２４を通して覗くことができるように、第一支持部材２０を付加部材１４上に配置する。その後、作業者は、第一支持部材２０を一方向Ｄに沿って動かすことによって、第一支持部材２０が所定の配置位置Ｆ１に配置されるよう調整する。そして、作業者は、図４に示すように、第一固定部材２５と第二固定部１６を使用して、第一支持部材２０を付加部材１４に固定する。

【0055】

より詳細には、本実施形態における第一固定部材２５と第二固定部１６は、それぞれ表面にねじ溝が形成された棒状部２５ａと棒状部２６ａを有するボルトである。
第一固定部材２５は、棒状部２５ａが第一孔部２３を通るようにして第一固定部１５ｃに挿し込まれてねじにより固定される。同様に、第二固定部材２６は、棒状部２６ａが第二孔部２４を通るようにして第二固定部１６ｆに挿し込まれてねじにより固定される。

【0056】

本実施形態における第一固定部１５および第二固定部１６は、付加部材１４の厚さ方向に貫通孔であるが、貫通しない凹形状であってもよい。また、第一固定部１５および第二固定部１６は、本体１２の第一板状部材１２ａ、第二板状部材１２ｂ、第三板状部材１２ｃ、第四板状部材１２ｄの側面に形成されていてもよい。この場合、第一支持部材２０は、付加部材１４を介することなく、本体１２に直接固定されることになる。

【0057】

第一孔部２３の一方向Ｄについて開口する寸法は第一の間隔Ｂ１以上であり、かつ、第二孔部２４の一方向Ｄについて開口する寸法は第二の間隔Ｂ２以上である。本実施形態の基板支持台１０は、第一孔部２３内および第二孔部２４内を、第一固定部材２５および第二固定部材２６がそれぞれ通る位置を相対的に調整することで、一方向Ｄについて実質的に所定の範囲内で第一支持部材２０が配置される位置を調整できる。

【0058】

本実施形態における基板支持台１０は、基板Ｓが支持された状態における被支持面Ｓｂに平行な一方向Ｄについて、第一支持部材２０の支持体１１に対する配置位置を所定の範囲において選択可能であり、第一支持部材２０が、選択された配置位置に第一固定部材２５および第二固定部材２６により固定される構成である。

【0059】

したがって、第一支持部材２０の支持体１１に対する配置位置を一方向Ｄの所定の範囲において選択可能であることから、支持する基板Ｓに応じて第一支持部材２０の配置位置を変更することができる。さらに、第一支持部材２０が、選択された配置位置に第一固定部材２５および第二固定部材２６により固定されることから、従来と異なり、第一支持部材２０の配置位置が選択された位置から経時的に変化することが抑制される。

【0060】

また、本実施形態の基板支持台１０においては、第一孔部２３および第二孔部２４が、それぞれ一方向Ｄについて第一ピン２１の両側に位置するように形成されている。言い換えれば、第一ピン２１は、一方向Ｄについて第一孔部２３と第二孔部２４の間に位置付けられている。

【0061】

つまり、基板支持台１０においては、第一支持部材２０が、一方向Ｄについて第一ピン２１が被支持面Ｓｂを支持する支持位置Ｆ２を間に挟む二箇所において、第一固定部材２５および第二固定部材２６により固定される。仮に、第一支持部材２０を固定する位置が一方向Ｄについて第一ピン２１の片側のみにあると、第一ピン２１に基板Ｓの荷重がかかることで一方向に回転モーメントが発生し、第一支持部材２０を固定する固定力が経時的に弱まることが想定される。

【0062】

これに対し、本実施形態では、第一支持部材２０が、基板Ｓからの荷重がかかる支持位置Ｆ２を挟んだ二カ所で固定されることから、基板Ｓからの荷重によって第一固定部材２５および第二固定部材２６の固定力が弱まることが抑制される。
なお、第一支持部材２０が、一方向Ｄについて第一ピン２１が被支持面Ｓｂを支持する支持位置を間に挟む３以上の箇所において固定されるよう構成されていてもよい。

【0063】

また、基板支持台１０は、支持体１１が、一方向Ｄにそれぞれ所定の第一の間隔Ｂ１および第二の間隔Ｂ２を空けて形成され、それぞれ第一固定部材２５および第二固定部材２６を受け入れる複数の第一固定部１５および第二固定部１６を有する。そして、それらの中から選択された少なくとも一つの第一固定部１５および第二固定部１６を介して、第一固定部材２５および第二固定部材２６により第一支持部材２０が付加部材１４に固定される。

【0064】

作業者等は、第一固定部材２５を支持体１１に固定する場合、複数の第一固定部１５および複数の第二固定部１６の中からそれぞれ使用するひとつの第一固定部１５、および、ひとつの複数の第二固定部１６を選択する。そして、選択された第一固定部１５および第二固定部１６を使用し、第一固定部材２５および第二固定部材２６により第一支持部材２０を固定する。したがって、選択する第一固定部１５および第二固定部１６を変更することによって、第一支持部材２０の配置位置を変更することができる。

【0065】

第一固定部１５および第二固定部１６は、貫通孔または凹形状を成している。また、第一固定部材２５および第二固定部材２６は、それぞれ第一固定部１５および第二固定部１６に挿し込まれる棒状部２５ａおよび棒状部２６ａを有する。また、第一支持部材２０は、一方向Ｄと直交する方向に貫通するとともに、一方向Ｄについて第一の間隔Ｂ１および第二の間隔Ｂ２以上の寸法で開口する第一孔部２３および第二孔部２４を有する。第一孔部２３および第二孔部２４に棒状部２５ａおよび棒状部２６ａがそれぞれ挿し込まれた状態で、第一支持部材２０は付加部材１４に固定される。

【0066】

このように第一支持部材２０に形成された第一孔部２３および第二孔部２４が、それぞれ一方向Ｄに沿って第一の間隔Ｂ１および第二の間隔Ｂ２以上の寸法で開口している。したがって、棒状部２５ａおよび棒状部２６ａがそれぞれ挿し込まれる位置を一方向Ｄについて第一孔部２３および第二孔部２４の一方向Ｄに開口する寸法の範囲で調節することができる。したがって、第一固定部１５および第二固定部１６が形成される範囲においては、第一支持部材２０の配置位置を実質的に無段階で調整することができる。

【0067】

本実施形態の基板支持台１０は、支持体１１が、所定の回転軸Ａまわりに動作する本体１２と、本体１２に固定される付加部材１４とを備え、第一支持部材２０が、付加部材１４に固定される構成である。この構成によって、本体１２と、付加部材１４を別個に作成することが可能となる。したがって、例えば、既存の本体１２に、新たに作成した付加部材１４を取り付けることによって基板支持台１０を構成することができる。この場合、既存の装置に第一支持部材２０の配置位置を変更できる機能を付加させることも可能となる。

【0068】

また、基板支持台１０は、基板Ｓの被支持面Ｓｂを支持し、前記支持体に対する位置が常に固定される第二支持部材３０をさらに備える。

【0069】

つまり、本実施形態における基板支持台１０は、被支持面Ｓｂの支持領域のうち、支持される位置を変更する必要がない領域は第二支持部材３０により支持し、支持される位置を変更する必要がある領域を第一支持部材２０により支持する構成とすることができる。つまり、支持される位置を変更する必要がない領域は第二支持部材３０により支持することによって、基板Ｓをすべて複数の第一支持部材２０により支持する場合と比較して、基板支持台１０の構成が簡易なものとなる。

【0070】

図４に示すように、本実施形態においては、付加部材１４は目盛線１７を有する。目盛線１７は、支持体１１におけるあらかじめ定められた位置を示すものである。目盛線１７は、例えば、支持体１１に基板Ｓが理想的に支持された状態について、基板Ｓの所定の位置からの距離を示すものである。

【0071】

第一支持部材２０を付加部材１７に配置する作業において、作業者は目盛線１７を利用して、第一支持部材２０を所定の位置に配置することができる。したがって、付加部材１４が目盛線１７を有することにより、第一支持部材２０を付加部材１７に固定する作業の作業性が向上する。

【0072】

本実施形態においては、目盛線１７は各付加部材１７に一つ形成されているが、目盛線１７は複数形成されるものであってもよい。また、目盛線１７は、付加部材１７の上面に形成されているが、これに限定されるものではない。例えば、目盛線１７は、付加部材１７の第一固定部材２５および第二固定部材２６が形成される側面に一つ、または、複数形成されていてもよい。
なお、前述の通り、基板支持台１０は、第一支持部材２０が、付加部材１７を介さず、本体１２に直接固定される構成であってもよい。この場合、本体１２の各第一支持部材２０が取り付けられる位置近傍に目盛線１７を形成すればよい。

【0073】

図５は、本実施形態における基板支持台１０の第一変形例を示す、第一支持部材２０と付加部材１４の断面図である。
図５に示すように、第一変形例では、第一支持部材２０は、第一固定部１５と第二固定部１６に円筒状のカラー２７を受け入れる第一凹部４２が形成されている。また、付加部材１４の各第一固定部１５および各第二固定部１６にもカラー２７を受け入れる第二凹部４３が形成されている。この場合、第一凹部４２および第二凹部４３にカラー２７が配置され、カラー２７を介して第一固定部材２５および第二固定部材２６が固定される。したがって、カラー２７によって、作業時に第一支持部材２０の付加部材１４に対する位置ずれが抑制され、作業性が向上する。

【0074】

図６は、本実施形態における基板支持台１０の第二変形例を示す、第一支持部材２０と付加部材１４の側面図である。
図６に示すように、付加部材１４および第一支持部材２０は、互いに接触する面に凹部４４と凹部４４に嵌り合う凸部４５を有する。凹部４４は、一方向Ｄに沿って付加部材１４の第一支持部材２０に対向する面の全域にわたって形成されている。また、凸部４５は、第一支持部材２０の付加部材１４に対向する面の全域にわたって形成されている。

【0075】

第一支持部材２０は、凸部４５を凹部４４に嵌めた状態で一方向Ｄにスライド移動可能であり、これによって、第一支持部材２０の位置を合わせる作業、および、第一支持部材２０を付加部材１４に固定する作業時に、第一支持部材２０の上下の動きや位置ずれが規制され、作業性が向上する。
なお、凹部４４は第一支持部材２０に形成され、凸部４５は付加部材１４に形成される構成であってもよい。

【0076】

図７は、本実施形態における基板支持台１０の第三変形例を示す、付加部材１４および第一支持部材２０の上面図である。
図７に示すように、第三変形例においては、付加部材１４および第一支持部材２０はそれぞれ、互いに接触する面に、互いに嵌り合う第一鋸刃状部４６および第二鋸刃状部４７を有している。

【0077】

第一鋸刃状部４６は、付加部材１４の第一支持部材２０に接触する面に形成されており、断面が同一形状の山形が連続する形状とされており、隣り合う山形の頂部の間隔の寸法（ピッチ）がＢ３で一定であるように形成されている。

【0078】

第二鋸刃状部４７は、第一支持部材２０の付加部材１４に接触する面に形成されており、断面が同一形状の山形が連続する形状とされており、隣り合う山形の頂部の間隔の寸法（ピッチ）が、第一鋸刃状部４６と同一のＢ３で一定であるように形成されている。したがって、第一鋸刃状部４６と第二鋸刃状部４７は、互いのピッチＢ３だけずらして位置を合わせることができることから、第一支持部材２０の付加部材１４に対する位置を合わせる作業が容易になる。

【0079】

なお、第一鋸刃状部４６と第二鋸刃状部４７は、それぞれ付加部材１４と第一支持部材２０の互いに接触する面に形成されていればよく、例えば、第二変形例における凸部４５と凹部４４に形成されていてもよい。

【0080】

また、本発明は前記実施形態および前記変形例に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であることは言うまでもない。

【符号の説明】

【0081】

ＩＢ イオンビーム
Ｓ 基板
Ｓｂ 被支持面
Ｄ 一方向
１ イオンビーム照射装置
１０ 基板支持台
１１ 支持体
１２ 本体
１４ 付加部材
１５ 第一固定部
１６ 第二固定部
２０ 第一支持部材
２１ 第一ピン
２２ 第一保持体
２３ 第一孔部
２４ 第二孔部
２５ 第一固定部材
２６ 第二固定部材
１００ 基板保持装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】