特開 2024-107319 ターボ分子ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024107319

(43)【公開日】2024-08-08

(54)【発明の名称】ターボ分子ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20240801BHJP

【ＦＩ】

F04D19/04 E

【審査請求】有

【請求項の数】3

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2024094500

(22)【出願日】2024-06-11

(62)【分割の表示】P 2020028485の分割

【原出願日】2020-02-21

(71)【出願人】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100121382

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 託嗣

(74)【代理人】

【識別番号】100221372

【弁理士】

【氏名又は名称】岡崎 信治

(72)【発明者】

【氏名】清水 幸一

(72)【発明者】

【氏名】坪川 徹也

(57)【要約】

【課題】排気能力を向上することができるターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】ターボ分子ポンプは、ロータ翼を有するロータと、ロータ翼と共にタービンポンプ部を構成するステータ翼と、ロータを回転駆動するモータと、モータが配置され、ハウジングが設置される設置部を有するベースと、ロータが収容され、設置部に設置されてベースと一体化されるハウジングと、ハウジングとベースとを熱的に分離する熱分離部と、ベースを第１温度未満の温度となるように冷却する冷却装置と、を有する。冷却装置は、ポンプ起動後に駆動され、ベースの温度に応じた温度制御を行わずに、冷却水を常時、ベースに供給し続ける。ロータは、ロータの温度がクリープ温度以下で、かつ、ガスの昇華温度以上に保持するような温度制御が行われず、ロータに蓄積される熱を冷却水によって常時冷却されるベース側に放熱することのみにより冷却される。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ロータ翼を有するロータと、
前記ロータ翼と共にタービンポンプ部を構成するステータ翼と、
前記ロータを回転駆動するモータと、
前記モータが配置され、後記ハウジングが設置される設置部を有するベースと、
前記ロータが収容され、前記設置部に設置されて前記ベースと一体化されるハウジングと、
前記ベースの前記設置部と前記ハウジングとの間に設けられ、前記ハウジングと前記ベースとを熱的に分離する熱分離部と、
前記ロータに設けられ、後記ステータとともにドラッグポンプ部を構成するロータ円筒部と、
前記ハウジングに設けられ、前記ロータ円筒部とともにドラッグポンプ部を構成するステータと、
前記ハウジングを、前記ステータの温度を前記ドラッグポンプ部に流れるガスの昇華温度以上とする第１温度以上の温度となるように加熱する加熱装置と、
前記ベースを、前記第１温度未満の温度となるように冷却する冷却装置と、
を有し、
前記冷却装置は、ポンプ起動後に駆動され、前記ベースの温度に応じた温度制御を行わずに、冷却水を常時、前記ベースに供給し続けるものであり、
前記ロータは、前記ロータの温度がクリープ温度以下で、かつ、ガスの昇華温度以上に保持するような温度制御が行われず、前記ロータに蓄積される熱を前記冷却水によって常時冷却される前記ベース側に放熱することのみにより冷却される、
ターボ分子ポンプ。

【請求項2】

請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータの内面に対向する前記ベースの外周面に、前記ロータからの輻射熱を吸収しやすくする機能を有する放射率改善層が設けられている、
ターボ分子ポンプ。

【請求項3】

請求項１または２に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記冷却装置は、ポンプ駆動後に前記ステータが所定温度に達するまでは前記ベースを冷却せず、前記所定温度に達した後、前記ベースの温度に応じた温度制御を行わずに前記ベースを冷却する、ターボ分子ポンプ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ターボ分子ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

ターボ分子ポンプは、ロータに設けられたロータ翼およびハウジングに固定されたステータ翼により構成されるタービンポンプ部と、ロータに設けられたロータ円筒部およびベースに設けられたステータにより構成されるドラッグポン部とを備えている。ハウジングとベースはボルト等の締結部材により熱伝導可能に固定されてポンプ筐体を形成し、タービンポンプ部およびドラッグポンプ部は、ポンプ筐体内に収容されている。ロータは、クリープ温度が比較的低いアルミニウム系の金属材料で製作されているため、クリープ温度以下でターボ分子ポンプが運転されるよう温度制御されている。

【0003】

ドラッグポンプ部は、タービンポンプ部の下流側に設けられている。プロセスガスは、昇華温度以下になると固体状になってポンプ内部の構成部材に付着する。このため、真空度が比較的低いドラッグポンプ部は、所定温度以上になるように温度制御される。一方、ロータを回転駆動するモータが取り付けられているベースは、所定の温度範囲となるように温度が制御される。ベースの温度を制御する温調装置は、冷却水が流れる冷却管および電磁弁を有し、温度センサによりベースの温度を検出して電磁弁を制御し、ベースの温度が設定温度範囲内になるように制御する。このようなターボ分子ポンプは、たとえば、特許文献１に開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００３－２７８６９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上述したように、ターボ分子ポンプは、とくに真空度が低い下流側のドラッグポンプ部の温度がプロセスガスの昇華温度以下にならないよう所定温度以上に加熱する必要がある。このため、ハウジングに熱伝導可能に固定されたベースを十分に冷却することができない。従って、ベースに取り付けられたモータを十分に冷却した状態で回転駆動することができない。
大流量のガスを使用するプロセスでは、排気能力を向上させるためモータを大型化する必要がある。このような大流量化したターボ分子ポンプを設計する際、モータの発熱に伴う温度制御が重要な課題である。すなわち、ドラッグポンプ部を流れるガスを所定温度以上に制御することと、モータを所定温度以下に制御することとの、トレードオフの熱問題を解決する必要がある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様によるターボ分子ポンプは、ロータ翼を有するロータと、前記ロータ翼と共にタービンポンプ部を構成するステータ翼と、前記ロータを回転駆動するモータと、前記モータが配置され、後記ハウジングが設置される設置部を有するベースと、前記ロータが収容され、前記設置部に設置されて前記ベースと一体化されるハウジングと、前記ベースの前記設置部と前記ハウジングとの間に設けられ、前記ハウジングと前記ベースとを熱的に分離する熱分離部と、を有する。

【発明の効果】

【0007】

本発明のターボ分子ポンプによれば、モータが設けられるベースを、ロータが収容されるハウジングより低い温度に冷却することが可能となり、ガス生成物の堆積を抑制しつつ大型のモータを利用した排気能力の大きなターボ分子ポンプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、本発明に係るターボ分子ポンプの第１の実施の形態の断面図である。

【図2】図２は、図１に図示されたターボ分子ポンプの温調装置を説明する図である。

【図3】図３は、本発明に係るターボ分子ポンプの第２の実施の形態の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

－第１の実施形態－
以下、図面を参照して本発明のターボ分子ポンプの第１の実施形態について説明する。
図１は、本発明に係るターボ分子ポンプの第１の実施の形態の断面図である。
ターボ分子ポンプ１００は、ハウジング１１とベース２１とにより構成されるケース本体１０を備えている。ハウジング１１は、ケーシング１２と、中間ケース１３と、ステータケース１４により構成されている。ベース２１は、ベース基部２２とモータケース２３により構成されている。

【0010】

ケーシング１２と、中間ケース１３と、ステータケース１４とは、シール部材８２を介してボルト等の締結部材８１により固定され、外部から密封された構造を有するハウジング１１を構成している。モータケース２３とベース基部２２とは、ボルト等の締結部材（図示せず）により固定され、ベース２１を構成している。ハウジング１１のステータケース１４と、ベース２１のベース基部２２がボルト等の締結部材８４により固定され、ケース本体１０を構成している。ケーシング１２、中間ケース１３、ステータケース１４、ベース基部２２およびモータケース２３は、アルミニウム合金、鉄系等の金属材料により形成されている。

【0011】

ケーシング１２上部には、吸気口２７が設けられ、ベース基部２２には、排気口（図示せず）を有する排気ポート２５が設けられている。ターボ分子ポンプ１００は、吸気口２７が形成されたフランジ１２ａに設けられた複数の貫通孔１２ｂにボルト等の締結部材（図示せず）を挿通して、真空装置（図示せず）に取り付けられる。ターボ分子ポンプ１００は、ケース本体１０内に設けられたタービンポンプ部Ｐ１およびドラッグポンプ部Ｐ２を備えており、真空装置のチャンバ内の気体を吸気口２７から吸気し、排気ポート２５の排気口から排出する。タービンポンプ部Ｐ１およびドラッグポンプ部Ｐ２を真空排気機能部と呼ぶこともできる。

【0012】

タービンポンプ部Ｐ１は、ロータ３に形成された複数段のロータ翼３０と、ケーシング１２側に設けられた複数段のステータ翼３３とで構成される。ロータ翼３０とステータ翼３３とは、軸方向に交互に配置されている。各ステータ翼３３は、外周側の周縁がスペーサ３２で挟持されることにより積層されて固定されている。

【0013】

ドラッグポンプ部Ｐ２は、タービンポンプ部Ｐ１の下流側に設けられている。ドラッグポンプ部Ｐ２は、ロータ３に一体的に形成されたロータ円筒部３１と、ステータケース１４に一体的に形成または取り付けられたステータ４２とで構成される。ステータ４２のロータ円筒部３１との対向面にはねじ溝４３が設けられている。ねじ溝４３は、ロータ円筒部３１の外周面に設けてもよい。

【0014】

ロータ３は、回転軸であるシャフト３５にボルト等の締結部材（図示せず）により締結され、シャフト３５と一体化されている。ロータ３とシャフト３５は、回転体Ｒを構成する。シャフト３５は、ケース本体１０の中心軸上に配置されている。詳細には、後述するように、シャフト３５は、ベース２１の中心を貫通して設けられている。

【0015】

シャフト３５は、ラジアル方向の磁気軸受５１（２箇所）およびスラスト方向の磁気軸受５２（上下一対）によって非接触で支持される。シャフト３５の浮上位置は、ラジアル変位センサ５３ａ、５３ｂおよびアキシャル変位センサ５３ｃによって検出される。磁気軸受５１、５２によって回転自在に磁気浮上されたシャフト３５、換言すれば、回転体Ｒは、モータ５４により高速に回転駆動される。

【0016】

シャフト３５の下部側は、メカニカルベアリング５６を介してロータディスク５８に取り付けられている。また、シャフト３５の上部側にはメカニカルベアリング５７が設けられている。メカニカルベアリング５６、５７は非常用のメカニカルベアリングであり、磁気軸受５１、５２が作動していない時には、メカニカルベアリング５６、５７によりシャフト３５、すなわち、回転体Ｒが支持される。

【0017】

モータ５４としては、たとえば、３相ブラシレスモータが用いられる。モータ５４は、モータケース２３に設けられたモータステータ５４ａと、シャフト３５に設けられたモータロータ５４ｂを備えている。モータロータ５４ｂは、永久磁石を有し、シャフト３５、すなわち、回転体Ｒに回転駆動力を与える。モータケース２３は、シャフト３５の外周面に沿って上下方向に延在する筒状形状を有し、モータケース２３の中心軸はシャフト３５の中心軸と同軸である。モータケース２３の中心部には、中空部２３ａが設けられており、シャフト３５は、モータケース２３の中空部２３ａ内に、モータケース２３の内面２３ｂと僅かな隙間を存して挿通されている。ラジアル方向の磁気軸受５１（２箇所）およびモータステータ５４ａは、モータケース２３に固定されており、スラスト方向の磁気軸受５２（上下一対）は、ベース基部２２に設けられた内部空間２２ａ内に配置されている。

【0018】

ステータケース１４の外周には、ヒータ（加熱器）６１が巻き付けられている。ヒータ６１は、ステータ４２に対向する領域に、上下方向に離間して一対設けられている。一対のヒータ６１の上下方向の中間には温度センサ１７が設けられている。ベース基部２２の下面側には、冷却水等の冷媒が流動する冷却管６２が設けられている。

【0019】

ハウジング１１を構成するステータケース１４は、ベース基部２２の設置部２２ｂ上に熱分離部６５を介して設置されている。ハウジング１１の、熱分離部６５の径方向内方には、シール部材８３が配置されている。ステータケース１４とベース基部２２は、両部材間に熱分離部６５およびシール部材８３を介在させて締結部材８４により固定されている。

【0020】

熱分離部６５は、ベース基部２２およびステータケース１４のいずれよりも熱伝導率が低い材料により形成されている。熱分離部６５は、熱伝導率が０．３Ｗ／ｍ・Ｋ以下の部材とすることが好ましい。熱分離部６５としては、たとえば、ステンレス鋼および樹脂を用いることができる。樹脂としては、たとえば、１００℃以上の高温においても、クリープ特性が良好なポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂を用いることができる。また、熱分離部６５は、ベース基部２２およびステータケース１４の少なくとも一方に、低熱伝導率の材料をコーティング等の処理で形成した熱分離層としてもよい。

【0021】

ステータケース１４とベース基部２２とを熱分離部６５により熱的に分離することにより、換言すると、ステータケース１４とベース基部２２との間の熱の移動を遮断することにより、ベース基部２２をステータケース１４の温度よりも低い温度に冷却することができる。このため、ベース基部２２に固定されたモータケース２３の中空部２３ａ内に配置されたモータ５４を、ステータケース１４の温度、すなわち、ヒータ６１で温調される温度よりも低い温度に冷却することが可能となる。

【0022】

図２は、図１に図示されたターボ分子ポンプ１００の温調装置による冷却と加熱の動作を説明するブロック図である。
ターボ分子ポンプ１００に設けられた冷却管６２には、ポンプ７１によりタンク７２から吸い込んだ冷却水が、配管７３を介して供給され、この冷却水によりベース基部２２が冷却される。ベース基部２２を冷却した冷却水は、配管７４を介してタンク７２に戻る。

【0023】

ターボ分子ポンプ１００に取り付けられた温度センサ１７により検出されたステータケース１４の温度情報、換言すれば、ステータ４２の温度情報は、温度制御部７０に入力される。温度制御部７０は、入力された温度情報と、予め設定されたステータケース１４の目標温度とを比較して、ヒータ６１に通電する電流を制御する。

【0024】

ドラッグポンプ部Ｐ２を構成するステータ４２の温度は、ドラッグポンプ部Ｐ２を流れるガスの昇華温度以上となるように制御され、たとえば、１００℃以上に設定される。実際は、ステータ４２が所望の温度（たとえば、１００℃以上）となるようにステータケース１４の温度が目標温度に制御される。従来のターボ分子ポンプでは、ステータ４２の温度を、たとえば１００℃以上に設定するものはなかった。
ロータ３に対しては、ロータの温度がクリープ温度以下で、かつ、ガスの昇華温度以上に保持するような温調制御を行わないが、予め、真空チャンバから導入されるプロセスガスのガス種に応じた流量の上限を設定し、これにより、タービンポンプ部Ｐ１を流れるプロセスガスによりロータ翼３０がクリープ温度を超えないようにしている。

【0025】

このため、温度制御部７０では、温度センサ１７から入力されるステータケース１４の検出温度を、ドラッグポンプ部Ｐ２におけるガス昇華温度（たとえば、上述の１００℃）に対応する目標温度以上とする制御を行えばよい。
但し、予め、ロータ翼３０のクリープ温度（たとえば１６０℃）に対応するステータケース１４の温度を上限温度として設定しておき、ステータケース１４の温度がこの上限温度を超えないように温度制御してもよい。すなわち、ステータケース１４の温度が、下限温度（たとえば、上述の１００℃）と上限温度（たとえば、上述の１６０℃）の間に保持されるように温度制御するようにしてもよい。このような温度制御は、クリープ温度が昇華温度より高い場合に有効である。

【0026】

ベース２１を構成するベース基部２２は、熱分離部６５によりステータケース１４から熱的に分離されている。すなわち、ベース基部２２からステータケース１４への伝熱が遮断、厳密には抑制されている。従って、ベース基部２２を、常温、たとえば１５～２５℃程度の冷却水で冷却してもステータケース１４の温度に影響を与えない。換言すると、ベース基部２２を、ステータケース１４の温度より低い温度に冷却することが可能となる。これにより、ベース基部２２の温度を、ステータケース１４の目標温度（たとえば１００℃以上の所定温度）より低い温度、たとえば、４０～６０℃程度に保持することができる。従って、ベース基部２２に固定されているモータケース２３を、ステータケース１４より低い温度に冷却することができる。

【0027】

このように、ベース基部２２が、ステータケース１４の目標温度未満に冷却されるため、ロータ翼３０およびロータ円筒部３１に蓄積される熱は、図１に矢印ＣＬで示すように、ハウジング１１の内周側、換言すれば、ベース２１側の放熱経路により外部に放熱される。これにより、ハウジング１１の外周側に配置されたステータ４２の温度をガス昇華温度以上に保持しながら、ロータ３を冷却することが可能となる。

【0028】

本実施の形態のターボ分子ポンプでは、ベース２１の温度をステータケース１４の温度と同程度の温度にまでしか冷却することができない構造に比べて、回転駆動力を増大させた大型のモータの使用が可能となる。これにより、ターボ分子ポンプ１００の排気能力を向上することができ、ターボ分子ポンプ１００が排気するプロセスガスの流量を増大させることができる。

【0029】

ベース基部２２を冷却する冷却水の温度は、常温であり、ベース基部２２に冷却水を継続して供給し続けてもモータ性能に影響を与えることはない。このため、冷却流路を開閉するための制御バルブが不要となり、構造が簡素化するので、ターボ分子ポンプ１００の低コスト化を図ることができる。
但し、冷却流路に制御バルブを設け、必要に応じて、制御バルブを閉じてベース基部２２への冷却水の供給を停止するようにしてもよい。

【0030】

たとえば、ターボ分子ポンプ１００の駆動開始時では、ハウジング１１およびベース２１は、ステータケース１４の目標温度より低い。従って、駆動開始時は、冷却管６２への冷却水の供給は停止しておく。ターボ分子ポンプ１００が駆動され、ステータケース１４の温度が目標温度に達したとき、あるいは目標温度に達する少し前のタイミングで、冷却管６２への冷却水の供給を開始する。上述した通り、冷却水は、常時、ターボ分子ポンプ１００に供給し続けることができる。

【0031】

第１の実施の形態の作用効果は以下のとおりである。
ターボ分子ポンプは、ロータ翼３０を有するロータ３と、ロータ翼３０と共にタービンポンプ部Ｐ１を構成するステータ翼３３と、ロータ３を回転駆動するモータ５４と、モータ５４が配置され、ハウジング１１が設置される設置部２２ｂを有するベース２１と、ロータ３が収容され、設置部２２ｂに設置されてベース２１と一体化されるハウジング１１と、ベース２１の設置部２２ｂとハウジング１１との間に設けられ、ハウジング１１とベース２１とを熱的に分離する熱分離部６５とを有する。
熱分離部６５によりハウジング１１とベース２１とを熱的に分離したので、モータ５４が配置されるベース２１をハウジング１１より低い温度に設定し、大きな容量のモータ５４を十分に冷却し、かつ、ハウジング１１を十分に加熱することできる。

【0032】

－第２の実施形態－
図３は、本発明に係るターボ分子ポンプの第２の実施の形態の断面図である。
第２の実施形態が、第１の実施形態と相違するのは、ロータ３からベース基部２２への放射を効率的に行うための放射率改善層６６が設けられている点である。
図３に図示されるように、ベース基部２２のロータ円筒部３１の内面と対向する外周面２２ｃ全面に、ロータ円筒部３１からの輻射熱を吸収しやすくする機能を有する放射率(吸収率)改善層６６が設けられている。放射率改善層６６は、放射率が０．３以上となるように、たとえば、ベース２１のロータ円筒部３１の内面と対向する外周面２２ｃをアルマイト処理等の表面処理により形成される。シリコーン等をコーティングして放射率が０．３以上となる放射率改善層６６を形成してもよい。

【0033】

図３では、放射率が０．３以上となる層６６は、ベース基部２２の外周面２２ｃのみに設けられた構造として例示されている。換言すると、図３の第２の実施の形態では、放射率改善層６６が、ロータ３の内周面と対向するベース２１の外周面に選択的に形成されている。しかし、放射率改善層６６は、ベース２１の外周面の全領域に設けてもよい。

【0034】

第２の実施形態の他の構成は、第１の実施形態と同様であり、対応する部材に同一の符号を付し、説明を省略する。
第２の実施形態においても、ターボ分子ポンプ１００は、ベース２１の設置部２２ｂとハウジング１１との間に設けられ、ハウジング１１とベース２１とを熱的に分離する熱分離部６５を備えている。

【0035】

加えて、第２の実施形態のターボ分子ポンプでは、ロータ円筒部３１の内面に対向するベース２１の外周面２２ｃに、ロータ円筒部３１からの輻射熱を吸収しやすくする機能を有する放射率改善層６６が設けられている。このため、ロータ円筒部３１からの輻射熱を効果的に吸収することができ、ロータ翼３０の冷却能力を向上することができる。

【0036】

なお、上記各実施形態では、磁気軸受型のターボ分子ポンプ１００として例示した。しかし、本発明は、メカニカル軸受型のターボ分子ポンプに適用することができる。

【0037】

上記各実施形態では、ステータ４２が、ステータケース１４に一体化された構造を有するターボ分子ポンプ１００として例示した。しかし、本発明は、ステータ４２がステータケース１４とは別部材として形成され、ステータ４２がステータケース１４にボルト等の締結部材により取り付けられる構造を有するターボ分子ポンプに適用することができる。

【0038】

上記各実施形態において、ハウジング１１とベース２１との間に設けられる熱分離部６５を、ハウジング１１とベース２１とを気密に固定するシール機能を兼用させる構造としてもよい。このようにすることにより、部材点数を削減し、コスト低減を図ることができる。
第２の実施の形態のターボ分子ポンプにおけるベース２１は、ポンプ中央部に軸方向に延在しモータ５４が取り付けられるモータケース２３と、設置部２２ｂが形成されるベース基部２２とを含む。そして、ロータ３の内周面（ロータ円筒部３１を含む）と対向するモータケース２３の外周面には、放射率を所定値以上とする放射率改善層６６、たとえばアルマイト処理層が設けられている。
このため、ロータ３からの輻射熱が効率よくモータケース２３に吸収され、ロータ３をクリープ温度以下に設定できる。とくに昇華温度が高いガス種を使用するため比較的高い温度（たとえば、１００℃以上）にステータケース１４を加熱しても、ロータ翼３０をクリープ温度以下に設定できる。

【0039】

［態様］
上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0040】

（第１項）一態様に係るターボ分子ポンプは、ロータ翼を有するロータと、前記ロータ翼と共にタービンポンプ部を構成するステータ翼と、前記ロータを回転駆動するモータと、前記モータが配置され、後記ハウジングが設置される設置部を有するベースと、前記ロータが収容され、前記設置部に設置されて前記ベースと一体化されるハウジングと、前記ベースの前記設置部と前記ハウジングとの間に設けられ、前記ハウジングと前記ベースとを熱的に分離する熱分離部とを有する。
このため、ベースを十分に冷却することができ、モータの冷却性能が向上するので、大型のモータを使用して排気性能を向上できる。

【0041】

（第２項）第１の態様のターボ分子ポンプにおいて、前記ロータに設けられ、後記ステータとともにドラッグポンプ部を構成するロータ円筒部と、前記ハウジングに設けられ、前記ロータ円筒部とともにドラッグポンプ部を構成するステータと、前記ハウジングを、第１温度以上の温度となるように加熱する加熱装置と、前記ベースを、前記第１温度未満の温度となるように冷却する冷却装置とをさらに有する。
これにより、ハウジングを第１温度以上に加熱してガス生成物の堆積を十分に抑制して、モータを十分に冷却することができる。

【0042】

（第３項）第２の態様のターボ分子ポンプにおいて、前記第１温度は、前記ステータの温度が１００℃以上となるように設定されている。このため、昇華温度が比較的高いガスを使用するプロセスでも、ステータへのガス生成物の堆積を防止できる。

【0043】

（第４項）第２または３の態様のターボ分子ポンプにおいて、前記冷却装置は、ポンプ起動後に駆動され、前記ベースの温度に応じた温度制御を行わずに前記ベースを冷却する。このため、冷却装置の構成を簡素化でき、コストを抑えることができる。

【0044】

（第５項）第２または３の態様のターボ分子ポンプにおいて、前記冷却装置は、ポンプ駆動後に前記ステータが所定温度に達するまでは前記ベースを冷却せず、前記所定温度に達した後、前記ベースの温度に応じた温度制御を行わずに前記ベースを冷却する。このため、不必要に冷却装置を駆動することが防止され、消費電力を低減し、耐久性の向上を図ることができる。

【0045】

（第６項）第１から第５の態様のターボ分子ポンプにおいて、前記熱分離部は、前記ベースおよび前記ハウジングのいずれよりも熱伝導率が低い断熱材または樹脂により形成されている。

【0046】

（第７項）第１から第６の態様のターボ分子ポンプにおいて、前記ベースは、ポンプ中央部に軸方向に延在し前記モータが取り付けられるモータケースと前記設置部が形成されるベース基部を含み、前記モータケースの外周面は前記ロータ翼の内周面と対向し、前記モータケースの前記外周面に、放射率を所定値以上とする放射率改善層が設けられている。
このため、ロータからの輻射熱が効率よくモータケースに吸収されるので、とくに昇華温度が高いガス種を使用するため比較的高い温度にハウジングを加熱する場合においても、ロータをクリープ温度以下に設定できる。

【0047】

上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

【符号の説明】

【0048】

３ ロータ
１１ ハウジング
１７ 温度センサ
２１ ベース
２２ ベース基部
２２ｂ 設置部
２２ｃ 外周面
２３ モータケース
３０ ロータ翼
３１ ロータ円筒部
３３ ステータ翼
４２ ステータ
５４ モータ
６１ ヒータ
６２ 冷却管
６５ 熱分離部
６６ 放射率改善層
７０ 温度制御部
７１ ポンプ
１００ ターボ分子ポンプ
Ｐ１ タービンポンプ部
Ｐ２ ドラッグポンプ部

【図1】

【図2】

【図3】