特開 2024-107650 搬送加熱装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2024107650

(43)【公開日】2024-08-09

(54)【発明の名称】搬送加熱装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 3/34 20060101AFI20240802BHJP

   B23K 1/008 20060101ALN20240802BHJP

【ＦＩ】

H05K3/34 507L

H05K3/34 507H

B23K1/008 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】9

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023011680

(22)【出願日】2023-01-30

(71)【出願人】

【識別番号】390005223

【氏名又は名称】株式会社タムラ製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110003236

【氏名又は名称】弁理士法人杉浦特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100123973

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 拓真

(74)【代理人】

【識別番号】100082762

【弁理士】

【氏名又は名称】杉浦 正知

(72)【発明者】

【氏名】眞田 卓摩

(72)【発明者】

【氏名】張 超博

【テーマコード（参考）】

5E319

【Ｆターム（参考）】

5E319AA08

5E319AC01

5E319BB05

5E319CC36

5E319CD22

5E319CD23

5E319CD29

5E319CD37

5E319CD46

5E319GG03

5E319GG15

5E319GG20

(57)【要約】

【課題】搬送チェーン及び反り防止チェーンの高さ調整を一度に行うことを可能とし、搬送チェーン及び反り防止チェーンを円滑に移動させる。
【解決手段】複数の加熱炉が配列され、加熱炉によって被加熱物に対して熱風を吹きつけるように構成された加熱装置と、加熱装置に対してワークを搬入する複数の搬送チェーンを有する搬送加熱装置において、複数の搬送チェーンのそれぞれが走行する複数の搬送レールと、ワークの下反りを抑制する反り防止レールと、複数の加熱炉間に存在し、複数の搬送レール及び反り防止レールを下支えするレールガイドと、レールガイドの高さを調整する高さ調整手段とを備える搬送加熱装置である。
【選択図】図６

【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の加熱炉が配列され、前記加熱炉によって被加熱物に対して熱風を吹きつけるように構成された加熱装置と、前記加熱装置に対してワークを搬入する複数の搬送チェーンを有する搬送加熱装置において、
前記複数の搬送チェーンのそれぞれが走行する複数の搬送レールと、
前記ワークの下反りを抑制する反り防止レールと、
前記複数の加熱炉間に存在し、前記複数の搬送レール及び前記反り防止レールを下支えするレールガイドと、
前記レールガイドの高さを調整する高さ調整手段とを備える
搬送加熱装置。

【請求項2】

前記複数の搬送チェーンは、互いに平行する少なくとも２本の搬送チェーンを有し、前記２本の搬送チェーンの一方の搬送レールと前記反り防止レールが搬送方向と直交する方向に可動とされた請求項１に記載の搬送加熱装置。

【請求項3】

前記複数の搬送レール及び前記反り防止レールの前記レールガイドの支持面と接する面が平面とされた請求項１又は２に記載の搬送加熱装置。

【請求項4】

前記搬送レールの一方と前記反り防止レールの前記レールガイドの支持面と接する面に１又は複数の溝が形成された請求項２に記載の搬送加熱装置。

【請求項5】

前記溝の延長方向が前記搬送レール及び前記反り防止レールの移動方向と一致又は前記移動方向に対して傾斜した請求項４に記載の搬送加熱装置。

【請求項6】

前記溝が１又は複数のジグザグ溝である請求項４に記載の搬送加熱装置。

【請求項7】

前記レールガイドが前記複数の加熱炉間に存在するようになされた請求項１又は請求項２に記載の搬送加熱装置。

【請求項8】

前記レールガイドが前記複数の加熱炉間に存在するようになされた請求項３に記載の搬送加熱装置。

【請求項9】

前記レールガイドが前記複数の加熱炉間に存在するようになされた請求項４から請求項６のいずれかに記載の搬送加熱装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えばリフロー装置に対して適用される搬送加熱装置に関する。

【背景技術】

【0002】

電子部品が搭載されたプリント回路基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中に基板を搬送チェーン等の搬送コンベアで搬送するリフロー装置が使用されている。リフロー装置は、基板を搬送する搬送コンベアと、この搬送コンベアによって被加熱物例えばプリント回路基板が供給されるリフロー炉本体とを備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに分割されており、これらの複数のゾーンがインライン状に配列されている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。

【0003】

加熱ゾーンでは、被加熱物（ワークと称する）に対して熱風が吹きつけられることによって、はんだ組成物内のはんだを溶融させてプリント回路基板の電極と電子部品とがはんだ付けされる。リフロー装置では、加熱時の温度を所望の温度プロファイルにしたがって制御することによって、所望のはんだ付けがなされる。すなわち、最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部とされ、次の区間がほぼ一定温度のプリヒート（予熱）部とされ、次の区間がリフロー（本加熱）部とされ、最後の区間が冷却部とされる。

【0004】

このようなリフロー装置による実装方法において、最近では、電子機器の小型化、薄型化に伴い、ワークとしてのプリント回路基板の厚みが薄いものとなり、プリント回路基板の反りが発生しやすくなっている。プリント回路基板の反り(下反り、以下同様）を防止するために、リフロー装置内を搬送中のプリント回路基板の下面を反り防止体としての突起によって支える反り防止装置が知られている。突起は、基板搬送用の搬送チェーンと同期して送られる反り防止チェーンに取り付けられている。反り防止チェーンを支えて案内するために、搬送方向に延びる反り防止レールが設けられている。反り防止レールが長尺物であることから炉内の所定の場所（間隔）に、撓みを抑制する目的で搬送方向と直交する方向（幅方向と称する）にレールガイドが設けられる。レールガイドは、反り防止レールを面で受けて下支えしている。

【0005】

搬送コンベアは、例えば互いに平行する２本の搬送チェーン及び搬送チェーンを保持する搬送レールによって構成され、２本の搬送チェーンによってプリント回路基板を支持して搬送する。従来のリフロー装置では、反り防止レールを下支えするレールガイドと、搬送レールを下支えするレールガイドが別個の部品とされていた。したがって、リフロー装置の製作時や、稼働後の調整作業において、各レールガイドの高さを調整することによって搬送チェーンと反り防止チェーンの高さを調整していた。熱膨張も考慮して別個に且つ複数のレールガイドを調整する作業は容易ではなかった。

【0006】

また、リフロー装置においては、生産中にフラックスヒュームが発生する。フラックスヒュームは、冷却されることによって凝縮する。特に加熱ゾーンと冷却ゾーンの間といった温度低下する箇所のレールガイド上においては、フラックスヒュームが粘性体となって堆積する。リフロー装置にて生産中においては炉内が高温環境にさらされているため、影響は無いが、生産終了後には炉内の温度が低下し、フラックスが固化してしまうため、品種切り替えを行う際、搬送レール又は反り防止レールの移動が円滑になされなかったり、搬送レール又は反り防止レールとレールガイドが固着したりすることがあった。レールガイドの面と搬送レール又は反り防止レールの面が接触しているので、フラックス固着の影響が大きい。

【0007】

リフロー装置では、生産するプリント回路基板のサイズ（幅）変更する場合、搬送チェーンの幅方向の間隔を可変する。反り防止体は、プリント回路基板の裏面の中央に位置することが効果的であるので、搬送レールの間隔の変更に対応して反り防止レールの幅方向の位置を変更する必要が生じる。

【0008】

例えば特許文献１には、フラックス塗布装置において、搬送用レール間の幅をプリント回路基板の幅に合わせて変更するためのナットが設けられている場合、フラックスが固化することによってナットに対してねじ軸が回転できなくなる問題が記載されている。この問題を解決するために、ナットのねじ山の一部を切り欠いて非噛合部を形成することが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】特開２０１６－２１５２７６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0010】

特許文献１には、搬送コンベアと反り防止レールの高さ調整に関する構成については記載されていない。また、特許文献１に記載のものは、ねじ軸を円滑に回転させる目的及び構成のものであり、上述したような搬送レール又は反り防止レールとレールガイドが固着する問題の解決とは、目的及び構成が異なったものである。なお、搬送レール又は反り防止レールとレールガイドの接触箇所にローラガイドを設けることが考えられるが、ローラガイドは、リフロー装置のコストアップの要因になる。

【0011】

したがって、本発明の目的は、搬送チェーンと反り防止チェーンの高さ調整作業を同時に行うことができ、また、フラックス固着による生産機会の損失を抑制することができる搬送加熱装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明は、複数の加熱炉が配列され、加熱炉によって被加熱物に対して熱風を吹きつけるように構成された加熱装置と、加熱装置に対してワークを搬入する複数の搬送チェーンを有する搬送加熱装置において、
複数の搬送チェーンのそれぞれが走行する複数の搬送レールと、
ワークの下反りを抑制する反り防止レールと、
複数の加熱炉間に存在し、複数の搬送レール及び反り防止レールを下支えするレールガイドと、
レールガイドの高さを調整する高さ調整手段とを備える
搬送加熱装置である。

【発明の効果】

【0013】

少なくとも一つの実施形態によれば、搬送レールと反り防止レールが共通のレールガイドによって下支えされているので、レールガイドの高さ調整によって搬送チェーンと反り防止チェーンの高さ調整作業を同時に行うことができる。さらに、搬送レールと反り防止レールを可動させることによって堆積したフラックスを掻き落とすことができる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本発明中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本発明の内容が限定して解釈されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略を示す略線図である。

【図2】図２は、リフロー時の温度プロファイルの例を示すグラフである。

【図3】図３は、本発明の一実施形態における反り防止装置の断面図である。

【図4】図４は、リフロー装置のワーク搬送面を上から見た平面図である。

【図5】図５Ａ及び図５Ｂは、レールガイドの平面図及び断面図である。

【図6】図６は、ワーク搬送面の断面図である。

【図7】図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ、図７Ｄは、レールガイド受けの一例の平面図、底面図、側面図及び断面図である。

【図8】図８は、搬送チェーンとレールガイドの交叉箇所の拡大底面図である。

【図9】図９は、レールガイド受けの他の例の底面図である。

【図10】図１０は、本発明の他の実施形態のワーク搬送面の断面図である。

【発明を実施するための最良の形態】

【0015】

以下、本発明の実施形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
＜１．リフロー装置の一例＞
＜２．一実施形態＞
＜３．他の実施形態＞
＜４．変形例＞
なお、以下に説明する実施形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施形態に限定されないものとする。

【0016】

＜１．リフロー装置の一例＞
図１は、本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略的構成を示す。プリント配線基板の両面に表面実装用電子部品が搭載されたワークが搬送コンベアの上に置かれ、搬入口１０１からリフロー装置の加熱装置内に搬入される。搬送コンベアは、互いに平行する２本の搬送チェーンによって構成されている。搬送コンベアが所定速度で矢印方向（図１に向かって左から右方向）へワークを搬送し、ワークが搬出口１０２から取り出される。搬送コンベアの搬送方向が水平方向とされている。

【0017】

加熱装置は、搬入口１０１から搬出口１０２に至る搬送経路に沿って、複数の加熱炉が配列され、加熱炉によってワークに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を吹きつけるように構成されている。複数の加熱炉（ゾーンと称する）がインライン状に配列されている。入口側から７個のゾーンＺ１～Ｚ７が加熱ゾーンであり、出口側の２個のゾーンＺ８及びＺ９が冷却ゾーンである。冷却ゾーンＺ８及びＺ９に関連して強制冷却ユニット１０３が設けられている。加熱ゾーンＺ１～Ｚ７のそれぞれは、それぞれ送風機、ヒータ、吹き出しパネルなどを含む上部加熱炉及び下部加熱炉を有する。なお、このゾーン数は、一例であり、異なる数のゾーンを有する構成としてもよい。

【0018】

上述した複数のゾーンＺ１～Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがってワークの温度を制御する。図２に温度プロファイルの一例の概略を示す。横軸が時間であり、縦軸がワーク例えば電子部品が実装されたプリント回路基板の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間がほぼ一定温度のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間がリフロー（本加熱）部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。

【0019】

昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０℃～１７０℃）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、例えば等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント回路基板の加熱ムラをなくすための期間である。リフロー部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０℃～２４０℃）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。リフロー部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。リフロー部Ｒ３は、プリヒート部Ｒ２を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント回路基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。なお、例えばＳｎ―３．０Ａｇ-０．５Ｃｕ等の鉛フリーはんだ合金組成の場合では、リフロー部Ｒ３における温度は、より高温（例えば２４０℃～２６０℃）となる。

【0020】

図２において、曲線１は、一例として、Ｓｎ-３．０Ａｇ-０．５Ｃｕの鉛フリーはんだ合金組成の温度プロファイルを示す。Ｓｎ－Ｐｂ共晶はんだの場合の温度プロファイルの一例は、曲線２で示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部Ｒ２及びリフロー部Ｒ３における設定温度が共晶はんだに比して高いものとされている。

【0021】

図１に示すリフロー装置では、図２における昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１及びＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４及びＺ５が受け持つ。リフロー部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６及びＺ７が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ８及びゾーンＺ９が受け持つ。上述した複数の加熱炉間（ゾーン間）には、隙間が存在する。

【0022】

＜２．一実施形態＞
各ゾーンには、上部加熱炉及び下部加熱炉が対向して設けられ、上部加熱炉と下部加熱炉との対向間隙内で、プリント回路基板の片面又は両面に表面実装用電子部品が搭載されたワークが搬送コンベアによって搬送される。上部加熱炉内及び下部加熱炉内は、雰囲気ガスである例えば窒素（Ｎ２）ガスが充満している。上部加熱炉は、吹き出しパネルを介してワークに対して下方に熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出してワークを加熱し、下部加熱炉は、吹き出しパネルを介してワークに対して上方に熱風を噴出してワークを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。上部加熱炉及び下部加熱炉は、それぞれモータにより回転されるファン（回転羽根）、ヒータなどを有している。

【0023】

プリント回路基板等のワークＷに対してリフロー装置には図３に示すようなそり防止装置が設けられている。反り防止装置は、反り防止体１１と、反り防止体１１が取り付けられた反り防止チェーン１２と、反り防止チェーン１２を案内する反り防止レール１３とを有する。反り防止チェーン１２は、例えばローラチェーンである。ワークＷの幅に合わせて、ワークＷを搬送する搬送チェーンと反り防止チェーン１２が移動するようになされる。

【0024】

反り防止チェーン１２は、搬送コンベアの搬送面の高さよりも下側（より低い）位置で移送される。ワークＷの下面側を支えることによって下反り防止を行う反り防止体１１が反り防止チェーン１２から上方に突出されている。下反り防止体１１は、例えば反り防止チェーン１２の各リンクプレートに対して取り付けられている金属性の板状体または棒状体である。下反り防止体１１によって、ワークＷの下面が支えられるので、ワークＷが加熱時に搭載されている電子部品の重みによって下側に撓むことが防止される。ワークＷの搬送方向において、複数箇所で反り防止体１１がワークＷの下面に接触することが好ましい。ワークＷと反り防止体１１の互いの送りが同期しているので、反り防止体１１が安定してワークＷを支えることが可能となる。

【0025】

反り防止レール１３は、搬送コンベアを構成する２本の搬送チェーンの間のほぼ中央位置で、搬送方向に延長するレールであって、反り防止チェーン１２を案内するための下側ガイド１４を有する。反り防止レール１３は、ステンレス、アルミニウム、鉄等の金属からなるものである。反り防止レール１３は、ワークＷの搬送範囲に設置されている長いレールであるので、その撓みを防止するためにレールガイド２１によって下支えられている。反り防止レール１３の底面がレールガイド２１の支持面と接している。なお、下側ガイドのみならず上側ガイドも設けてもよい。さらに、後述のように、レールガイド２１は、２本の搬送レールも下支えしている。

【0026】

図４は、リフロー装置のワーク搬送面を上から見た平面図である。図１のリフロー装置が９個のゾーンＺ１～Ｚ９を有する構成であるのに対して、図４のリフロー装置が１０個のゾーンＺ１～Ｚ１０を有する構成である。ゾーンＺ１～Ｚ９が加熱ゾーンであり、ゾーンＺ１０が冷却ゾーンである。各ゾーンの下側加熱炉の吹き出しパネルの上面に、ワークを搬送するために、２本の搬送チェーン２２ａ及び搬送チェーン２２ｂが平行して設けられている。搬送チェーン２２ａ及び搬送チェーン２２ｂのそれぞれが複数の搬送レール上を走行する。

【0027】

搬送チェーン２２ａ及び２２ｂの間のほぼ中央位置に搬送チェーン２２ａ及び２２ｂと平行して反り防止レール１３が設けられている。高さ方向では、反り防止体１１の先端がワークの下面に接するようになされている。ワークの幅に応じて間隔を調整可能とするために、一方の搬送チェーン２２ｂ及び搬送レールが搬送方向の直交する方向に移動可能とされている。搬送チェーン２２ａ及び２２ｂの間隔を変更した場合、反り防止レール１３も移動して搬送チェーン２２ａ及び２２ｂの間のほぼ中央に位置するようになされている。

【0028】

レールガイド２１は、搬送方向で所定の間隔でもって、ゾーン（加熱炉）間の隙間に設けられる。例えばゾーンＺ１及びゾーンＺ２の間、ゾーンＺ３及びゾーンＺ４の間、ゾーンＺ５及びゾーンＺ６の間、ゾーンＺ７及びゾーンＺ８の間、ゾーンＺ９及びゾーンＺ１０の間にそれぞれ設けられる。ゾーンＺ９及びゾーンＺ１０の間には、２本のレールガイド２１が設けられる。レールガイド２１は、搬送レール２３ａ及び２３ｂと反り防止レール１３を下支えするように、搬送方向と直交して設けられている。

【0029】

図５Ａ及び図５Ｂは、レールガイド２１の平面図及びＢ－Ｂ線断面図である。レールガイド２１は、例えば断面がＬ字状の金属製のブラケットである。レールガイド２１は、搬送チェーン２２ａ及び２２ｂの最大の間隔以上の長さを有する。レールガイド２１の基部には、固定部に対してレールガイド２１を固定するためのねじ穴と、高さ調整手段としての例えば六角穴付き止めねじを挿入するためのねじ穴が形成されている。レールガイド２１の支持面の幅を狭いものとしているのは、接触面内及び接触箇所付近に堆積するフラックスの量を少なくするためである。

【0030】

図６は、搬送面の搬送方向と直交する方向の断面図である。搬送チェーン２２ａは、搬送レール２３ａに取り付けられた下側ガイド２４ａ及び上側ガイド２５ａによって案内される。同様に、搬送チェーン２２ｂは、搬送レール２３ｂに取り付けられた下側ガイド２４ｂ及び上側ガイド２５ｂによって案内される。搬送チェーン２２ａ及び２２ｂの間隔を変更するために、片側の搬送チェーン２２ｂ及び搬送レール２３ｂ、並びに反り防止チェーン１２が搬送方向と直交する方向に可動とされている。

【0031】

搬送レール２３ａ及び２３ｂの底面に対してレールガイド受け２６ａ及び２６ｂがそれぞれ取り付けられている。例えば搬送レール２３ａ及び２３ｂの底面に形成された搬送方向に延びる溝に対してレールガイド受け２６ａ及び２６ｂの凸部が嵌合し、ねじ止めされる。レールガイド受け２６ａ及び２６ｂの底面がレールガイド２１の支持面と接する。

【0032】

レールガイド２１がフレーム等の固定部２７に対してボルト２８ａ及び２８ｂによって固定される。さらに、ボルト２８ａの近傍に六角穴付き止めねじ２９ａ及び３０ａが設けられ、ボルト２８ｂの近傍に六角穴付き止めねじ２９ｂ及び３０ｂが設けられている。これらの六角穴付き止めねじ２９ａ，２９ｂ，３０ａ，３０ｂによってレールガイド２１の高さが調整される。レールガイド２１の高さ調整によって、反り防止チェーン１２及び搬送チェーン２２ａ，２２ｂの高さを一度に調整することができる。したがって、これらの高さを別々に調整することに比較して緒性作業を簡単とすることができる。

【0033】

図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ、図７Ｄは、可動側の搬送チェーン２２ｂのレールガイド受け２６ｂの一例の正面図、底面図、側面図及びＡ－Ａ線断面図を示す。レールガイド受け２６ｂのレールガイド２１と接する底面に複数のジグザグ溝３１が並んで形成されている。ジグザグ溝３１の延長方向は、矢印で示すレールガイド受け２６ｂ及び搬送レール２３ｂの移動方向と一致し、ジグザグ溝３１の両端がレールガイド受け２６ｂの両側面まで達している。

【0034】

図８は、レールガイド受け２６ｂの底面側から見た拡大図である。搬送チェーン２２ｂが矢印方向に移動される時に、レールガイド２１とレールガイド受け２６ｂの接触箇所の付近に堆積しているフラックスがレールガイド受け２６ｂによって掻き落とされる。この場合、ジグザグ溝３１が形成されているので、ジグザグ溝３１内のフラックスがジグザグ溝３１内を通って外に排出される。したがって、フラックスが除去され、フラックスによって搬送チェーン２２ｂの移動が円滑に行われなかったり、搬送チェーン２２ｂが固着したりすることを防止できる。

【0035】

さらに、反り防止レール１３の底面に同様のジグザグ溝が形成される。したがって、反り防止チェーン１２の移動が円滑になされ、反り防止レール１３とレールガイド２１が固着することを防止することができる。なお、固定側の搬送チェーン２２ａのレールガイド受け２６ａは、上述したレールガイド受け２６ｂと同様の構成としてもよいし、固定側であることを考慮してジグザグ溝３１等の溝を設けない平面であってもよい。さらに、反り防止レール１３に対して別部品のレールガイド受けを設けてもよい。

【0036】

ジグザグ溝３１に限らず、図９に示すように、矢印で示す搬送チェーン２２ｂの移動方向に対して傾斜した傾斜溝３２をレールガイド受け２６ｂの底面に形成してもよい。さらに、搬送チェーン２２ｂの移動方向と一致する直線状の溝を形成してもよい。さらに、レールガイド受け２６ｂの底面を溝が何ら形成されていない平面としてもよい。

【0037】

＜３．他の実施形態＞
図１０を参照して本発明の他の実施形態について説明する。他の実施形態は、複数の搬送レーンを備えるリフロー装置に対して本発明を適用したものである。すなわち、一実施形態と同様に、平行する２本の搬送チェーン２２ａ及び２２ｂと反り防止チェーン１２によって一つの搬送レーンが形成され、平行する２本の搬送チェーン１２２ａ及び１２２ｂと反り防止チェーン１１２によって他の搬送レーンが形成される。

【0038】

搬送チェーン２２ａ，２２ｂと同様に、搬送チェーン１２２ａ，１２２ｂと関連して搬送レール１２３ａ，１２３ｂと、レールガイド受け１２６ａ，１２６ｂがそれぞれ設けられている。また、反り防止チェーン１１２と関連して反り防止体１１１及び反り防止レール１１３が設けられている。他の搬送レーンでは、搬送チェーン１２２ａが可動側とされ、ワークＷの幅に応じて搬送チェーン１２２ａ、搬送レール１２３ａ、レールガイド受け１２６ａ、反り防止チェーン１１２及び反り防止レール１１３が移動される。したがって、上述した一実施形態と同様に、堆積したフラックスを掻き落とすことができる。

【0039】

さらに、他の実施形態では、搬送レーンごとにレールガイドを設ける。すなわち、反り防止レール１３とレールガイド受け２６ａ、２６ｂがレールガイド２１によって下支えされ、反り防止レール１１３とレールガイド受け１２６ａ、１２６ｂがレールガイド１２１によって下支えされる。レールガイド１２１は、ボルト１２８ａ及び１２８ｂによって固定部２７に対して固定され、六角穴付き止めねじ１２９ａ，１２９ｂ，１３０ａ，１３０ｂによってレールガイド１２１の高さが調整される。したがって、他の搬送レーンにおいても、反り防止チェーン１１２と搬送チェーン１２２ａ，１２２ｂの高さを一度に調整することができ，調整作業を簡単とすることができる。また、レールガイド２１とレールガイド１２１の端面同士の対向箇所に多少の隙間が生じる。可動側の搬送チェーン２２ｂ又は１２２ａがこの隙間を跨いで移動する場合もある。反り防止レール１３又は１１３の底面、並びにレールガイド受け２６ｂ又は１２６ａのそれぞれの幅方向の長さは、移動時に隙間を乗り越えることができる以上とされている。フラックスを掻き落とすためには、溝でなくて突起でも可能であるが、突起が上述した隙間に入り込み、搬送チェーンの移動ができなくなるおそれがある。

【0040】

＜４．変形例＞
以上、本発明の実施形態について具体的に説明したが、上述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば高さ調整手段としては、六角穴付き止めねじ以外の部材を使用してもよい。また、本発明は、プリント回路基板に限らず、フレキシブル基板、リジッド基板とフレキシブル基板とを貼り合わせた基板、これらを組み合わせたリジッドフレキ基板のリフローに対しても適用できる。さらに、リフロー装置に限らず、樹脂の硬化のための加熱装置等に対しても適用できる。また、上述の実施形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料および数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料および数値などを用いてもよい。また、上述の実施形態の構成、方法、工程、形状、材料および数値などは、本発明の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

【符号の説明】

【0041】

Ｚ１～Ｚ１０・・・ゾーン、１０１・・・搬入口、１０２・・・搬出口、１０３・・・強制冷却ユニット、１１・・・反り防止体、１２・・・反り防止チェーン、１３・・・反り防止レール、２１・・・レールガイド、２２ａ，２２ｂ・・・搬送チェーン、２３ａ，２３ｂ・・・搬送レール、２６ａ，２６ｂ・・・レールガイド受け、３１・・・ジグザグ溝

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】