知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024107690
(43)【公開日】2024-08-09
(54)【発明の名称】水蒸気発生装置
(51)【国際特許分類】
F22B 3/00 20060101AFI20240802BHJP
F22B 1/14 20060101ALI20240802BHJP
F22G 5/12 20060101ALI20240802BHJP
F22B 1/18 20060101ALI20240802BHJP
F23N 5/20 20060101ALI20240802BHJP
F23N 5/22 20060101ALI20240802BHJP
F22B 35/00 20060101ALI20240802BHJP
【ＦＩ】
F22B3/00
F22B1/14
F22G5/12 A
F22B1/18 B
F23N5/20 101Z
F23N5/22 A
F22B35/00 J
【審査請求】未請求
【請求項の数】7
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023011744
(22)【出願日】2023-01-30
(71)【出願人】
【識別番号】000175272
【氏名又は名称】三浦工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100126000
【弁理士】
【氏名又は名称】岩池 満
(74)【代理人】
【識別番号】100145713
【弁理士】
【氏名又は名称】加藤 竜太
(72)【発明者】
【氏名】岡本 裕介
(72)【発明者】
【氏名】角 宗司
【テーマコード（参考）】
3K005
3L021
【Ｆターム（参考）】
3K005BA08
3K005GA02
3L021BA08
3L021CA06
3L021DA22
3L021DA23
3L021FA12
(57)【要約】
【課題】水蒸気の使用状況に合わせた運転をすることができる、水蒸気発生装置を提供すること。
【解決手段】水蒸気使用部に水蒸気を供給する水蒸気発生装置１であって、水素及び酸素を当量比１で噴出するバーナ１１と、前記バーナ１１から噴出した水素と酸素を燃焼し、燃焼生成物としての第１水蒸気を生成させる燃焼室１２と、前記第１水蒸気に水を添加する水添加部１５と、前記水添加部から供給される水を気化させて第２水蒸気を生成させる気化室１３と、前記第１水蒸気と前記第２水蒸気とを前記気化室１３から排出する蒸気ラインＬ４００と、前記水蒸気使用部の蒸気負荷を検出する蒸気負荷検出部と、前記水蒸気発生装置の運転を制御する制御部７００と、を備え、前記制御部７００は、前記蒸気負荷検出部の検出結果に基づいて前記バーナ１１の燃焼量を制御する燃焼量制御部７０１を備えた、水蒸気発生装置１に関する。
【選択図】図１
【解決手段】水蒸気使用部に水蒸気を供給する水蒸気発生装置１であって、水素及び酸素を当量比１で噴出するバーナ１１と、前記バーナ１１から噴出した水素と酸素を燃焼し、燃焼生成物としての第１水蒸気を生成させる燃焼室１２と、前記第１水蒸気に水を添加する水添加部１５と、前記水添加部から供給される水を気化させて第２水蒸気を生成させる気化室１３と、前記第１水蒸気と前記第２水蒸気とを前記気化室１３から排出する蒸気ラインＬ４００と、前記水蒸気使用部の蒸気負荷を検出する蒸気負荷検出部と、前記水蒸気発生装置の運転を制御する制御部７００と、を備え、前記制御部７００は、前記蒸気負荷検出部の検出結果に基づいて前記バーナ１１の燃焼量を制御する燃焼量制御部７０１を備えた、水蒸気発生装置１に関する。
【選択図】図１
【特許請求の範囲】
【請求項1】
水蒸気使用部に水蒸気を供給する水蒸気発生装置であって、
水素及び酸素を当量比１で噴出するバーナと、
前記バーナから噴出した水素と酸素を燃焼し、燃焼生成物としての第１水蒸気を生成させる燃焼室と、
前記第１水蒸気に水を添加する水添加部と、
前記水添加部から供給される水を気化させて第２水蒸気を生成させる気化室と、
前記第１水蒸気と前記第２水蒸気とを前記気化室から排出する蒸気ラインと、
前記水蒸気使用部の蒸気負荷を検出する蒸気負荷検出部と、
前記水蒸気発生装置の運転を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記蒸気負荷検出部の検出結果に基づいて前記バーナの燃焼量を制御する燃焼量制御部を備えた、水蒸気発生装置。
水素及び酸素を当量比１で噴出するバーナと、
前記バーナから噴出した水素と酸素を燃焼し、燃焼生成物としての第１水蒸気を生成させる燃焼室と、
前記第１水蒸気に水を添加する水添加部と、
前記水添加部から供給される水を気化させて第２水蒸気を生成させる気化室と、
前記第１水蒸気と前記第２水蒸気とを前記気化室から排出する蒸気ラインと、
前記水蒸気使用部の蒸気負荷を検出する蒸気負荷検出部と、
前記水蒸気発生装置の運転を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記蒸気負荷検出部の検出結果に基づいて前記バーナの燃焼量を制御する燃焼量制御部を備えた、水蒸気発生装置。
【請求項2】
前記燃焼室又は前記気化室の圧力の少なくともいずれか一方の圧力の検出をする室圧力検出部と、
前記気化室から排出する水蒸気量を制御する蒸気排出調整部と、をさらに備え、
前記制御部は、
前記室圧力検出部の検出結果に基づいて前記蒸気排出調整部を制御する室圧力制御部をさらに備える、請求項１に記載の水蒸気発生装置。
前記気化室から排出する水蒸気量を制御する蒸気排出調整部と、をさらに備え、
前記制御部は、
前記室圧力検出部の検出結果に基づいて前記蒸気排出調整部を制御する室圧力制御部をさらに備える、請求項１に記載の水蒸気発生装置。
【請求項3】
前記蒸気ラインから排出される水蒸気の過熱度を検出する過熱度検出部をさらに備え、
前記制御部は、過熱度検出部の検出結果に基づいて、所定の過熱度になるように前記水添加部からの給水量を制御する給水制御部をさらに備える、請求項１に記載の水蒸気発生装置。
前記制御部は、過熱度検出部の検出結果に基づいて、所定の過熱度になるように前記水添加部からの給水量を制御する給水制御部をさらに備える、請求項１に記載の水蒸気発生装置。
【請求項4】
前記バーナに水素を供給するライン、及び／又は前記バーナに酸素を供給するラインに接続される、不活性ガスを供給する不活性ガス供給ラインと、
前記不活性ガス供給ラインの不活性ガス流量を調整する不活性ガス流量調整部と、
前記気化室に接続される、パージラインと、
前記パージラインを流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部と、を備え、
前記制御部は、
プレパージ制御部と、着火制御部と、をさらに備え、
前記プレパージ制御部は、
前記水素の供給が停止された状態、かつ、前記酸素の供給が停止された状態において、前記不活性ガス流量調整部を開放し、前記不活性ガスが前記燃焼室及び前記気化室を経由して前記パージラインに供給された際に、前記パージガス流量調整部を開放し、所定の時間経過した後に前記不活性ガス流量調整部を閉止する制御を実施し、
前記着火制御部は、
水素及び酸素の供給を開始し、前記水素及び前記酸素の供給が開始された後に前記バーナの着火動作を開始する制御を実施する、請求項１に記載の水蒸気発生装置。
前記不活性ガス供給ラインの不活性ガス流量を調整する不活性ガス流量調整部と、
前記気化室に接続される、パージラインと、
前記パージラインを流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部と、を備え、
前記制御部は、
プレパージ制御部と、着火制御部と、をさらに備え、
前記プレパージ制御部は、
前記水素の供給が停止された状態、かつ、前記酸素の供給が停止された状態において、前記不活性ガス流量調整部を開放し、前記不活性ガスが前記燃焼室及び前記気化室を経由して前記パージラインに供給された際に、前記パージガス流量調整部を開放し、所定の時間経過した後に前記不活性ガス流量調整部を閉止する制御を実施し、
前記着火制御部は、
水素及び酸素の供給を開始し、前記水素及び前記酸素の供給が開始された後に前記バーナの着火動作を開始する制御を実施する、請求項１に記載の水蒸気発生装置。
【請求項5】
前記気化室に接続される、パージラインと、
前記パージラインを流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部と、を備え、
前記制御部は、
着火制御部と、蒸気供給制御部と、をさらに備え、
前記着火制御部は、
水素及び酸素の供給を開始し、前記水素及び前記酸素の供給が開始された後に前記バーナの着火動作を開始する制御を実施し、
前記蒸気供給制御部は、
前記燃焼室の温度及び前記室圧力検出部の値が所定の値まで上昇した後に、前記パージガス流量調整部を閉止し、前記蒸気排出調整部を開放するように制御をする、請求項２に記載の水蒸気発生装置。
前記パージラインを流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部と、を備え、
前記制御部は、
着火制御部と、蒸気供給制御部と、をさらに備え、
前記着火制御部は、
水素及び酸素の供給を開始し、前記水素及び前記酸素の供給が開始された後に前記バーナの着火動作を開始する制御を実施し、
前記蒸気供給制御部は、
前記燃焼室の温度及び前記室圧力検出部の値が所定の値まで上昇した後に、前記パージガス流量調整部を閉止し、前記蒸気排出調整部を開放するように制御をする、請求項２に記載の水蒸気発生装置。
【請求項6】
前記バーナに水素を供給するライン、及び／又は前記バーナに酸素を供給するラインに接続される、不活性ガスを供給する不活性ガス供給ラインと、
前記不活性ガス供給ラインの不活性ガス流量を調整する不活性ガス流量調整部と、
前記気化室に接続される、パージラインと、
前記パージラインを流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部と、を備え、
前記制御部は、
プレパージ制御部と、着火制御部と、蒸気供給制御部と、をさらに備え、
前記プレパージ制御部は、
前記水素の供給が停止された状態、かつ、前記酸素の供給が停止された状態において、前記蒸気排出調整部を閉止した後、前記不活性ガス流量調整部を開放し、前記不活性ガスが前記燃焼室及び前記気化室を経由して前記パージラインに供給された際に、前記パージガス流量調整部を開放し、所定の時間経過した後に前記不活性ガス流量調整部を閉止する制御を実施し、
前記着火制御部は、
水素及び酸素の供給を開始し、前記水素及び前記酸素の供給が開始された後に前記バーナの着火動作を開始する制御を実施し、
前記蒸気供給制御部は、
前記燃焼室の温度及び前記室圧力検出部の値が所定の値まで上昇した後に、前記パージガス流量調整部を閉止し、前記蒸気排出調整部を開放するように制御をする、請求項２に記載の水蒸気発生装置。
前記不活性ガス供給ラインの不活性ガス流量を調整する不活性ガス流量調整部と、
前記気化室に接続される、パージラインと、
前記パージラインを流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部と、を備え、
前記制御部は、
プレパージ制御部と、着火制御部と、蒸気供給制御部と、をさらに備え、
前記プレパージ制御部は、
前記水素の供給が停止された状態、かつ、前記酸素の供給が停止された状態において、前記蒸気排出調整部を閉止した後、前記不活性ガス流量調整部を開放し、前記不活性ガスが前記燃焼室及び前記気化室を経由して前記パージラインに供給された際に、前記パージガス流量調整部を開放し、所定の時間経過した後に前記不活性ガス流量調整部を閉止する制御を実施し、
前記着火制御部は、
水素及び酸素の供給を開始し、前記水素及び前記酸素の供給が開始された後に前記バーナの着火動作を開始する制御を実施し、
前記蒸気供給制御部は、
前記燃焼室の温度及び前記室圧力検出部の値が所定の値まで上昇した後に、前記パージガス流量調整部を閉止し、前記蒸気排出調整部を開放するように制御をする、請求項２に記載の水蒸気発生装置。
【請求項7】
請求項１に記載の水蒸気発生装置と、
前記水蒸気発生装置に水素及び酸素を供給する水電解装置と、
前記水電解装置から前記水蒸気発生装置に水素を供給する水素供給ラインと、
前記水電解装置から前記水蒸気発生装置に酸素を供給する酸素供給ラインと、
前記水蒸気発生装置に供給される水素流量を調整する水素流量調整部と、
前記水蒸気発生装置に供給される酸素流量を調整する酸素流量調整部と、を備え、
前記酸素流量調整部は、前記水素流量に対して、水素及び酸素の当量比１となるように、酸素流量を調整する、水蒸気発生システム。
前記水蒸気発生装置に水素及び酸素を供給する水電解装置と、
前記水電解装置から前記水蒸気発生装置に水素を供給する水素供給ラインと、
前記水電解装置から前記水蒸気発生装置に酸素を供給する酸素供給ラインと、
前記水蒸気発生装置に供給される水素流量を調整する水素流量調整部と、
前記水蒸気発生装置に供給される酸素流量を調整する酸素流量調整部と、を備え、
前記酸素流量調整部は、前記水素流量に対して、水素及び酸素の当量比１となるように、酸素流量を調整する、水蒸気発生システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、水蒸気発生装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、水蒸気を生成させるための装置として、ボイラが広く知られている。一般的なボイラは、燃料の燃焼により発生した熱により水を加熱して水蒸気を発生させるものであり、燃焼時に二酸化炭素が発生する燃料ガス（例えば、ＬＮＧやＬＰＧ）を利用することが多い。
近年、環境負荷の観点から、燃焼時に二酸化炭素が発生しない燃料ガスとして、水素が注目されている。また、ボイラで水素を燃焼させて発生した熱により水を加熱して水蒸気を発生させるボイラ装置ではなく、水素を燃焼させることで、燃料である水素から直接に水蒸気を生成させる水蒸気発生装置が注目されている。（特許文献１参照）
近年、環境負荷の観点から、燃焼時に二酸化炭素が発生しない燃料ガスとして、水素が注目されている。また、ボイラで水素を燃焼させて発生した熱により水を加熱して水蒸気を発生させるボイラ装置ではなく、水素を燃焼させることで、燃料である水素から直接に水蒸気を生成させる水蒸気発生装置が注目されている。（特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開２０２０－２４０６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
水蒸気を使用する機器等の運転状況は生産ラインによって様々である。そのため、水蒸気発生装置は、水蒸気の使用状況に合わせた運転をすることが求められる。
【0005】
本発明は、水蒸気の使用状況に合わせた運転をすることができる、水蒸気発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、水蒸気使用部に水蒸気を供給する水蒸気発生装置であって、水素及び酸素を当量比１で噴出するバーナと、前記バーナから噴出した水素と酸素を燃焼し、燃焼生成物としての第１水蒸気を生成させる燃焼室と、前記第１水蒸気に水を添加する水添加部と、前記水添加部から供給される水を気化させて第２水蒸気を生成させる気化室と、前記第１水蒸気と前記第２水蒸気とを前記気化室から排出する蒸気ラインと、前記水蒸気使用部の蒸気負荷を検出する蒸気負荷検出部と、前記水蒸気発生装置の運転を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記蒸気負荷検出部の検出結果に基づいて前記バーナの燃焼量を制御する燃焼量制御部を備えた、水蒸気発生装置に関する。
【0007】
また、前記燃焼室又は前記気化室の圧力の少なくともいずれか一方の圧力の検出をする室圧力検出部と、前記気化室から排出する水蒸気量を制御する蒸気排出調整部と、をさらに備え、前記制御部は、前記室圧力検出部の検出結果に基づいて前記蒸気排出調整部を制御する室圧力制御部をさらに備えることが好ましい。
【0008】
また、前記蒸気ラインから排出される水蒸気の過熱度を検出する過熱度検出部をさらに備え、前記制御部は、過熱度検出部の検出結果に基づいて、所定の過熱度になるように前記水添加部からの給水量を制御する給水制御部をさらに備えることが好ましい。
【0009】
また、前記バーナに水素を供給するライン、及び／又は前記バーナに酸素を供給するラインに接続される、不活性ガスを供給する不活性ガス供給ラインと、前記不活性ガス供給ラインの不活性ガス流量を調整する不活性ガス流量調整部と、前記気化室に接続される、パージラインと、前記パージラインを流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部と、を備え、前記制御部は、プレパージ制御部と、着火制御部と、をさらに備え、前記プレパージ制御部は、前記水素の供給が停止された状態、かつ、前記酸素の供給が停止された状態において、前記不活性ガス流量調整部を開放し、前記不活性ガスが前記燃焼室及び前記気化室を経由して前記パージラインに供給された際に、前記パージガス流量調整部を開放し、所定の時間経過した後に前記不活性ガス流量調整部を閉止する制御を実施し、前記着火制御部は、水素及び酸素の供給を開始し、前記水素及び前記酸素の供給が開始された後に前記バーナの着火動作を開始する制御を実施することが好ましい。
【0010】
また、前記気化室に接続される、パージラインと、前記パージラインを流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部と、を備え、前記制御部は、着火制御部と、蒸気供給制御部と、をさらに備え、前記着火制御部は、水素及び酸素の供給を開始し、前記水素及び前記酸素の供給が開始された後に前記バーナの着火動作を開始する制御を実施し、前記蒸気供給制御部は、前記燃焼室の温度及び前記室圧力検出部の値が所定の値まで上昇した後に、前記パージガス流量調整部を閉止し、前記蒸気排出調整部を開放するように制御をすることが好ましい。
【0011】
また、前記バーナに水素を供給するライン、及び／又は前記バーナに酸素を供給するラインに接続される、不活性ガスを供給する不活性ガス供給ラインと、前記不活性ガス供給ラインの不活性ガス流量を調整する不活性ガス流量調整部と、前記気化室に接続される、パージラインと、前記パージラインを流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部と、を備え、前記制御部は、プレパージ制御部と、着火制御部と、蒸気供給制御部と、をさらに備え、前記プレパージ制御部は、前記水素の供給が停止された状態、かつ、前記酸素の供給が停止された状態において、前記蒸気排出調整部を閉止した後、前記不活性ガス流量調整部を開放し、前記不活性ガスが前記燃焼室及び前記気化室を経由して前記パージラインに供給された際に、前記パージガス流量調整部を開放し、所定の時間経過した後に前記不活性ガス流量調整部を閉止する制御を実施し、前記着火制御部は、水素及び酸素の供給を開始し、前記水素及び前記酸素の供給が開始された後に前記バーナの着火動作を開始する制御を実施し、前記蒸気供給制御部は、前記燃焼室の温度及び前記室圧力検出部の値が所定の値まで上昇した後に、前記パージガス流量調整部を閉止し、前記蒸気排出調整部を開放するように制御をすることが好ましい。
【0012】
上記に記載の水蒸気発生装置と、前記水蒸気発生装置に水素及び酸素を供給する水電解装置と、前記水電解装置から前記水蒸気発生装置に水素を供給する水素供給ラインと、前記水電解装置から前記水蒸気発生装置に酸素を供給する酸素供給ラインと、前記水蒸気発生装置に供給される水素流量を調整する水素流量調整部と、前記水蒸気発生装置に供給される酸素流量を調整する酸素流量調整部と、を備え、前記酸素流量調整部は、前記水素流量に対して、水素及び酸素の当量比１となるように、酸素流量を調整する、水蒸気発生システムに関する。
【発明の効果】
【0013】
本発明によれば、水蒸気の使用状況に合わせた運転をすることができる、水蒸気発生装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】本発明の水蒸気発生装置を示す概略図である。
【図2】本実施形態の制御部の構成を示す機能ブロック図である。
【図3】本発明の水蒸気発生システムを示す概略図である。
【図4】本発明の水蒸気発生装置の変形例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下、本発明の水蒸気発生装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の水蒸気発生装置１を示す概略図である。
本実施形態の水蒸気発生装置１は、水素及び酸素を燃焼させることで高温の水蒸気を生成し、生成された高温の水蒸気に、水が添加される。生成された高温の水蒸気は、添加された水を加熱し気化させることで水蒸気を発生させる。水蒸気発生装置１は、生成物の水蒸気及び気化後の水蒸気を直接的に負荷機器（図示なし）に供給する。なお、本明細書における「ライン」とは、流路、経路、管路等の流体の流通が可能なラインの総称である。
本実施形態の水蒸気発生装置１は、ケーシング１０と、バーナ１１と、ケーシング１０に設けられる燃焼室１２及び気化室１３と、気化室１３に配置される水添加部１５及び室圧力検出部１６と、水冷部１４と、水素供給ラインＬ１００と、酸素供給ラインＬ２００と、不活性ガス供給ラインＬ３００と、蒸気ラインＬ４００と、パージラインＬ５００と、給水ラインＬ６００と、制御部７００と、を備える。
図１は、本発明の水蒸気発生装置１を示す概略図である。
本実施形態の水蒸気発生装置１は、水素及び酸素を燃焼させることで高温の水蒸気を生成し、生成された高温の水蒸気に、水が添加される。生成された高温の水蒸気は、添加された水を加熱し気化させることで水蒸気を発生させる。水蒸気発生装置１は、生成物の水蒸気及び気化後の水蒸気を直接的に負荷機器（図示なし）に供給する。なお、本明細書における「ライン」とは、流路、経路、管路等の流体の流通が可能なラインの総称である。
本実施形態の水蒸気発生装置１は、ケーシング１０と、バーナ１１と、ケーシング１０に設けられる燃焼室１２及び気化室１３と、気化室１３に配置される水添加部１５及び室圧力検出部１６と、水冷部１４と、水素供給ラインＬ１００と、酸素供給ラインＬ２００と、不活性ガス供給ラインＬ３００と、蒸気ラインＬ４００と、パージラインＬ５００と、給水ラインＬ６００と、制御部７００と、を備える。
【0016】
ケーシング１０は、水蒸気発生装置１の外形を構成する。本実施形態では、ケーシング１０は、水平方向に延びる筒状又は角筒状に形成される。
バーナ１１は、ケーシング１０に取り付けられる。本実施形態では、バーナ１１は、ケーシング１０の長手方向の一端部に取り付けられる。バーナ１１には、水素供給ラインＬ１００及び酸素供給ラインＬ２００が接続される。バーナ１１は、水素供給ラインＬ１００及び酸素供給ラインＬ２００から供給された水素及び酸素を当量比１で噴出し、水素及び酸素を燃焼する。本実施形態では、バーナ１１は、水素及び酸素を水平方向に噴出し燃焼させる。
バーナ１１は、ケーシング１０に取り付けられる。本実施形態では、バーナ１１は、ケーシング１０の長手方向の一端部に取り付けられる。バーナ１１には、水素供給ラインＬ１００及び酸素供給ラインＬ２００が接続される。バーナ１１は、水素供給ラインＬ１００及び酸素供給ラインＬ２００から供給された水素及び酸素を当量比１で噴出し、水素及び酸素を燃焼する。本実施形態では、バーナ１１は、水素及び酸素を水平方向に噴出し燃焼させる。
【0017】
燃焼室１２及び気化室１３は、ケーシング１０の内部に配置される。
燃焼室１２は、ケーシング１０の内部におけるバーナ１１が配置される側に配置される。燃焼室１２では、バーナ１１から当量比１で噴出される水素及び酸素が燃焼され、燃焼生成物としての第１水蒸気が生成される。
燃焼室１２は、ケーシング１０の内部におけるバーナ１１が配置される側に配置される。燃焼室１２では、バーナ１１から当量比１で噴出される水素及び酸素が燃焼され、燃焼生成物としての第１水蒸気が生成される。
【0018】
気化室１３は、燃焼室１２の下流側に配置される。気化室１３は、後述の水添加部１５から添加される水を、燃焼室１２でバーナ１１が水素及び酸素を燃焼することによって生成された第１水蒸気により加熱し、気化することで、第２水蒸気を生成する。本実施形態においては、気化室１３は、後述する蒸気ラインＬ４００及びパージラインＬ５００が接続される。
【0019】
水冷部１４は、給水ラインＬ６００に接続され、ケーシング１０を冷却する。水冷部１４は、給水ラインＬ６００から供給される水により、燃焼室１２及び気化室１３の一部を冷却する。言い換えると、給水ラインＬ６００から供給された水は、燃焼室１２及び気化室１３の一部から加熱される。燃焼室１２及び気化室１３の一部から加熱された水は、その後に水添加部１５から気化室１３へ添加される。
水添加部１５は、気化室１３に水を添加する。本実施形態では、水冷部１４において燃焼室１２及び気化室１３の一部を冷却することで加熱された水が、水添加部１５から気化室１３に添加される。
水添加部１５は、気化室１３に水を添加する。本実施形態では、水冷部１４において燃焼室１２及び気化室１３の一部を冷却することで加熱された水が、水添加部１５から気化室１３に添加される。
【0020】
室圧力検出部１６は、気化室１３に配置されている。室圧力検出部１６は、気化室１３の圧力を検出する。室圧力検出部１６は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、室圧力検出部１６の検出結果は、制御部７００によって取得可能である。
【0021】
水素供給ラインＬ１００は、水素供給源である水素貯蔵タンク８０２から供給された水素を流通させ、バーナ１１へ供給する。水素供給ラインＬ１００は、上流側から順に、開閉弁Ｖ１３１と、水素流量センサ１２１と、水素遮断弁Ｖ１１２と、水素遮断弁Ｖ１１１と、水素流量調整弁Ｖ１０１と、フレームアレスタ１０３と、開閉弁Ｖ１０２と、を備える。
【0022】
水素流量調整弁Ｖ１０１は、弁の開度を調整することによってバーナ１１へ供給する水素流量を調整する調整弁である。水素流量調整弁Ｖ１０１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、水素流量調整弁Ｖ１０１は、制御部７００から送信される信号により制御される。
開閉弁Ｖ１０２及び開閉弁Ｖ１３１は、水素供給ラインＬ１００の開閉を操作可能な手動弁である。
フレームアレスタ１０３は、バーナ１１から水素供給ラインＬ１００に発生した逆火の上流側への進行を防止する。
水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２は、水素供給ラインＬ１００の開閉を操作可能な自動弁である。水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２は、制御部７００とそれぞれ電気的に接続されている。このため、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２は、制御部７００から送信される信号により制御される。
水素流量センサ１２１は、水素供給ラインＬ１００を流通する水素の流量を検出する。水素流量センサ１２１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、水素流量センサ１２１の検出結果は、制御部７００によって取得可能である。
開閉弁Ｖ１０２及び開閉弁Ｖ１３１は、水素供給ラインＬ１００の開閉を操作可能な手動弁である。
フレームアレスタ１０３は、バーナ１１から水素供給ラインＬ１００に発生した逆火の上流側への進行を防止する。
水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２は、水素供給ラインＬ１００の開閉を操作可能な自動弁である。水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２は、制御部７００とそれぞれ電気的に接続されている。このため、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２は、制御部７００から送信される信号により制御される。
水素流量センサ１２１は、水素供給ラインＬ１００を流通する水素の流量を検出する。水素流量センサ１２１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、水素流量センサ１２１の検出結果は、制御部７００によって取得可能である。
【0023】
酸素供給ラインＬ２００は、酸素供給源である酸素貯蔵タンク８０３から供給された酸素を流通させ、バーナ１１へ供給する。酸素供給ラインＬ２００は、上流側から順に、開閉弁Ｖ２３１と、酸素流量センサ２２１と、酸素遮断弁Ｖ２１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１と、酸素流量調整弁Ｖ２０１と、開閉弁Ｖ２０２と、を備える。
【0024】
酸素流量調整弁Ｖ２０１は、弁の開度を調整することによってバーナ１１へ供給する酸素流量を調整する調整弁である。酸素流量調整弁Ｖ２０１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、酸素流量調整弁Ｖ２０１は、制御部７００から送信される信号により制御される。
開閉弁Ｖ２０２及び開閉弁Ｖ２３１は、酸素供給ラインＬ２００の開閉を操作可能な手動弁である。
酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２は、酸素供給ラインＬ２００の開閉を操作可能な自動弁である。酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２は、制御部７００とそれぞれ電気的に接続されている。このため、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２は、制御部７００から送信される信号により制御される。
酸素流量センサ２２１は、酸素供給ラインＬ２００を流通する酸素の流量を検出する。酸素流量センサ２２１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、酸素流量センサ２２１の検出結果は、制御部７００によって取得可能である。
開閉弁Ｖ２０２及び開閉弁Ｖ２３１は、酸素供給ラインＬ２００の開閉を操作可能な手動弁である。
酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２は、酸素供給ラインＬ２００の開閉を操作可能な自動弁である。酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２は、制御部７００とそれぞれ電気的に接続されている。このため、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２は、制御部７００から送信される信号により制御される。
酸素流量センサ２２１は、酸素供給ラインＬ２００を流通する酸素の流量を検出する。酸素流量センサ２２１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、酸素流量センサ２２１の検出結果は、制御部７００によって取得可能である。
【0025】
不活性ガス供給ラインＬ３００は、不活性ガスを流通させ、水素供給ラインＬ１００を介してバーナ１１、燃焼室１２及び気化室１３に不活性ガスを供給する。不活性ガス供給ラインＬ３００は、上流側から順に、開閉弁Ｖ３３１と、不活性ガス遮断弁Ｖ３１２と、不活性ガス遮断弁Ｖ３１１と、を備える。不活性ガス供給ラインＬ３００は、水素供給ラインＬ１００に接続される。具体的には、不活性ガス供給ラインＬ３００は、水素供給ラインＬ１００のフレームアレスタ１０３と水素流量調整弁Ｖ１０１との間に接続される。
【0026】
不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２は、不活性ガス供給ラインＬ３００の開閉を操作可能な自動弁である。不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２は、制御部７００とそれぞれ電気的に接続されている。このため、不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２は、制御部７００から送信される信号により制御される。
開閉弁Ｖ３３１は、不活性ガス供給ラインＬ３００の開閉を操作可能な手動弁である。
開閉弁Ｖ３３１は、不活性ガス供給ラインＬ３００の開閉を操作可能な手動弁である。
【0027】
蒸気ラインＬ４００は、燃焼室１２でバーナ１１が水素及び酸素を燃焼させることで生成した第１水蒸気と、気化室１３に水添加部１５から添加された水を気化させることで生成した第２水蒸気を流通させ、負荷機器（図示なし）へ第１水蒸気及び第２水蒸気の混合水蒸気を供給する。蒸気ラインＬ４００は、気化室１３側から順に、過熱度検出部としての蒸気温度センサ４６１と、過熱度検出部としての蒸気圧力センサ４６２と、蒸気流量調整弁Ｖ４０１と、逆止弁Ｖ４５１と、開閉弁Ｖ４３１と、蒸気負荷圧力センサ４４１と、を備える。
【0028】
蒸気流量調整弁Ｖ４０１は、弁の開度を調整することによって負荷機器（図示なし）へ供給する蒸気流量を調整する調整弁である。蒸気流量調整弁Ｖ４０１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、蒸気流量調整弁Ｖ４０１は、制御部７００から送信される信号により制御される。
開閉弁Ｖ４３１は、蒸気ラインＬ４００の開閉を操作可能な手動弁である。
蒸気負荷圧力センサ４４１は、負荷機器（図示なし）の圧力を検出する。蒸気負荷圧力センサ４４１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、蒸気負荷圧力センサ４４１の検出結果は、制御部７００によって取得可能である。
過熱度検出部としての蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２は、蒸気ラインＬ４００を流通する蒸気の温度及び圧力をそれぞれ検出する。蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２の検出結果は、制御部７００によってそれぞれ取得可能である。
逆止弁Ｖ４５１は、負荷機器（図示なし）から蒸気ラインＬ４００を通じて気化室１３へ水蒸気が逆流することを防止する。
開閉弁Ｖ４３１は、蒸気ラインＬ４００の開閉を操作可能な手動弁である。
蒸気負荷圧力センサ４４１は、負荷機器（図示なし）の圧力を検出する。蒸気負荷圧力センサ４４１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、蒸気負荷圧力センサ４４１の検出結果は、制御部７００によって取得可能である。
過熱度検出部としての蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２は、蒸気ラインＬ４００を流通する蒸気の温度及び圧力をそれぞれ検出する。蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２の検出結果は、制御部７００によってそれぞれ取得可能である。
逆止弁Ｖ４５１は、負荷機器（図示なし）から蒸気ラインＬ４００を通じて気化室１３へ水蒸気が逆流することを防止する。
【0029】
パージラインＬ５００は、不活性ガス供給ラインＬ３００から供給された不活性ガスは、水素供給ラインＬ１００を介してバーナ１１、燃焼室１２及び気化室１３をそれぞれ流通した後に、パージラインＬ５００を流通して、パージラインＬ５００の出口から排気される。また、負荷機器（図示なし）へ供給するための水蒸気の条件に達していない気体、例えば、バーナ１１が燃焼開始直後の水蒸気を、パージラインＬ５００に流通させて、パージラインＬ５００の出口から排出する。パージラインＬ５００は、気化室１３側から順に、開閉弁Ｖ５３１と、パージガス流量調整部としてのパージ遮断弁Ｖ５１１と、を備える。
【0030】
パージガス流量調整部としてのパージ遮断弁Ｖ５１１は、パージラインＬ５００の開閉を操作可能な自動弁である。パージ遮断弁Ｖ５１１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、パージ遮断弁Ｖ５１１は、制御部７００から送信される信号により制御される。
開閉弁Ｖ５３１は、パージラインＬ５００の開閉を操作可能な手動弁である。
開閉弁Ｖ５３１は、パージラインＬ５００の開閉を操作可能な手動弁である。
【0031】
給水ラインＬ６００は、燃焼室１２及び気化室１３の一部を冷却する水冷部１４に水を供給する。燃焼室１２及び気化室１３の一部の冷却を終えた水は、水添加部１５から気化室１３へ添加される。
給水ラインＬ６００は、上流側から順に、給水流量調整弁Ｖ６０１と、逆止弁Ｖ６５１と、逆止弁Ｖ６５２と、水流量センサ６２１と、開閉弁Ｖ６３１と、を備える。
給水ラインＬ６００は、上流側から順に、給水流量調整弁Ｖ６０１と、逆止弁Ｖ６５１と、逆止弁Ｖ６５２と、水流量センサ６２１と、開閉弁Ｖ６３１と、を備える。
【0032】
給水流量調整弁Ｖ６０１は、弁の開度を調整することによって水冷部１４へ供給する水の流量を調整する調整弁である。水冷部１４へ供給する水の流量を調整することは、つまり、水添加部１５から水を添加する流量を調整することである。水添加部１５から水が添加されることにより、気化室１３から排出される第１水蒸気及び第２水蒸気の混合水蒸気の温度を低下させる。給水流量調整弁Ｖ６０１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、給水流量調整弁Ｖ６０１は、制御部７００から送信される信号により制御される。
開閉弁Ｖ６３１は、給水ラインＬ６００の開閉を操作可能な手動弁である。
水流量センサ６２１は、給水ラインＬ６００を流通する水の流量を検出する。水流量センサ６２１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、水流量センサ６２１の検出結果は、制御部７００によって取得可能である。
逆止弁Ｖ６５１及び逆止弁Ｖ６５２は、給水ラインＬ６００の水添加部１５から水又は水蒸気が逆流することを防止する。
開閉弁Ｖ６３１は、給水ラインＬ６００の開閉を操作可能な手動弁である。
水流量センサ６２１は、給水ラインＬ６００を流通する水の流量を検出する。水流量センサ６２１は、制御部７００と電気的に接続されている。このため、水流量センサ６２１の検出結果は、制御部７００によって取得可能である。
逆止弁Ｖ６５１及び逆止弁Ｖ６５２は、給水ラインＬ６００の水添加部１５から水又は水蒸気が逆流することを防止する。
【0033】
図２は、制御部７００の構成を示すブロック図である。制御部７００は、各種センサの検出結果に基づいて、水蒸気発生装置１の各種制御弁等を制御する。図２に示されるように、制御部７００は、燃焼量制御部７０１と、着火制御部７０２と、プレパージ制御部７０３と、蒸気供給制御部７０４と、室圧力制御部７０５と、給水制御部７０６と、燃焼停止制御部７０７と、ポストパージ制御部７０８と、緊急停止制御部７０９と、を備える。
【0034】
燃焼量制御部７０１は、水素流量センサ１２１の検出結果と、酸素流量センサ２２１の検出結果と、蒸気負荷圧力センサ４４１の検出結果に基づいて、水素流量調整弁Ｖ１０１と、酸素流量調整弁Ｖ２０１を調整して水素及び酸素の供給量を調整し、バーナ１１の燃焼量を制御する。
【0035】
着火制御部７０２は、バーナ１１の燃焼を開始するために、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２を開放し、バーナ１１の着火動作の制御を実施する。
【0036】
プレパージ制御部７０３は、着火制御部７０２の着火制御が開始される前に、不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２と、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放し、パージ制御を実施する。
【0037】
蒸気供給制御部７０４は、パージ遮断弁Ｖ５１１を閉止すると共に、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を開放する制御を実施し、水蒸気を負荷機器（図示なし）へ供給する。
【0038】
室圧力制御部７０５は、室圧力検出部１６の検出結果に基づいて、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を制御する。
【0039】
給水制御部７０６は、過熱度検出部としての蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２のそれぞれの検出結果に基づいて、所定の過熱度の水蒸気となるように給水流量調整弁Ｖ６０１を制御する。
【0040】
燃焼停止制御部７０７は、バーナ１１の燃焼を停止させるために、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２を閉止する制御を実施する。
【0041】
ポストパージ制御部７０８は、バーナ１１の燃焼が停止したあとに、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放すると共に、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を閉止し、その後不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放し、パージ制御を実施する。
【0042】
緊急停止制御部７０９は、水蒸気発生装置１の運転中に異常が発生した場合に、水蒸気発生装置１の緊急停止を実施する。緊急停止制御部７０９は、室圧力検出部１６、蒸気負荷圧力センサ４４１、過熱度検出部としての蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２のそれぞれの検出結果に基づいて、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２を閉止し、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放すると共に、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を閉止し、その後不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放する制御を実施する。
【0043】
次に、本実施形態の水蒸気発生装置１の動作について説明する。
水蒸気発生装置１が燃焼指示を受けると、プレパージ制御部７０３は、燃焼室１２及び気化室１３をパージする。プレパージ制御部７０３は、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２が閉止していることを確認した後に、不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２と、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放する。これにより、不活性ガス供給ラインＬ３００から不活性ガスが燃焼室１２及び気化室１３に供給される。本実施形態においては、不活性ガスは、水素供給ラインＬ１００を介して燃焼室１２及び気化室１３へ流入し、さらに、気化室１３に接続されているパージラインＬ５００を流通した後、パージラインＬ５００の出口から排出される。プレパージ制御部７０３は、不活性ガスの供給を開始してから、所定の時間が経過した後に、不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を閉止する。その後、プレパージ制御部７０３は、プレパージ工程を終了する。
水蒸気発生装置１が燃焼指示を受けると、プレパージ制御部７０３は、燃焼室１２及び気化室１３をパージする。プレパージ制御部７０３は、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２が閉止していることを確認した後に、不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２と、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放する。これにより、不活性ガス供給ラインＬ３００から不活性ガスが燃焼室１２及び気化室１３に供給される。本実施形態においては、不活性ガスは、水素供給ラインＬ１００を介して燃焼室１２及び気化室１３へ流入し、さらに、気化室１３に接続されているパージラインＬ５００を流通した後、パージラインＬ５００の出口から排出される。プレパージ制御部７０３は、不活性ガスの供給を開始してから、所定の時間が経過した後に、不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を閉止する。その後、プレパージ制御部７０３は、プレパージ工程を終了する。
【0044】
プレパージ工程終了後に、着火制御部７０２は、バーナ１１の着火工程を開始する。
着火制御部７０２は、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２を開放した後に、バーナ１１の着火動作を開始する。これにより、水素供給ラインＬ１００及び酸素供給ラインＬ２００から水素及び酸素がバーナ１１に供給され、水素及び酸素が着火動作中のバーナ１１に供給されることにより、バーナ１１の燃焼が開始される。その後、着火制御部７０２は、バーナ１１の着火工程を終了する。
着火制御部７０２は、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２を開放した後に、バーナ１１の着火動作を開始する。これにより、水素供給ラインＬ１００及び酸素供給ラインＬ２００から水素及び酸素がバーナ１１に供給され、水素及び酸素が着火動作中のバーナ１１に供給されることにより、バーナ１１の燃焼が開始される。その後、着火制御部７０２は、バーナ１１の着火工程を終了する。
【0045】
バーナ１１の燃焼が開始されると、燃焼室１２において第１水蒸気が生成される。燃焼室１２において生成された第１水蒸気は、気化室１３を通過した後パージラインＬ５００の出口から排出される。そして、制御部７００（蒸気供給制御部７０４）は、室圧力検出部１６により検出される圧力（燃焼室１２又は気化室１３の圧力）が所定の圧力を超え、蒸気温度センサ４６１により検出される温度（燃焼室１２又は気化室１３の温度）が所定の温度を超えた場合に、パージ遮断弁Ｖ５１１を閉止すると共に、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を開放する。これにより、負荷機器（図示なし）への安定した蒸気供給が開始される。
【0046】
負荷機器（図示なし）への蒸気供給が開始された後、燃焼量制御部７０１は、バーナ１１の燃焼量を制御する。燃焼量制御部７０１は、水素流量センサ１２１の検出結果と、酸素流量センサ２２１の検出結果と、蒸気負荷圧力センサ４４１の検出結果に基づいて、水素流量調整弁Ｖ１０１と、酸素流量調整弁Ｖ２０１を調整して、バーナ１１への水素及び酸素の供給量を調整する制御を実施する。
また、燃焼量制御部７０１によってバーナ１１の燃焼量を制御するとともに、室圧力制御部７０５は、室圧力検出部１６の検出結果に基づいて、蒸気流量調整弁Ｖ４０１の開度を調整する制御を実施する。これにより、室圧力制御部７０５は、蒸気ラインＬ４００を流通する水蒸気量を調整することで、燃焼室１２及び気化室１３の圧力を安定させるとともに、負荷機器（図示なし）へ供給する水蒸気の圧力を安定させることができる。
さらに、給水制御部７０６は、過熱度検出部としての蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２のそれぞれの検出結果に基づいて、給水流量調整弁Ｖ６０１を調整する制御を実施する。これにより、給水制御部７０６は、第１水蒸気及び第２水蒸気の混合水蒸気の温度を低下させることで、所定の過熱度の水蒸気となるように制御することができる。
また、燃焼量制御部７０１によってバーナ１１の燃焼量を制御するとともに、室圧力制御部７０５は、室圧力検出部１６の検出結果に基づいて、蒸気流量調整弁Ｖ４０１の開度を調整する制御を実施する。これにより、室圧力制御部７０５は、蒸気ラインＬ４００を流通する水蒸気量を調整することで、燃焼室１２及び気化室１３の圧力を安定させるとともに、負荷機器（図示なし）へ供給する水蒸気の圧力を安定させることができる。
さらに、給水制御部７０６は、過熱度検出部としての蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２のそれぞれの検出結果に基づいて、給水流量調整弁Ｖ６０１を調整する制御を実施する。これにより、給水制御部７０６は、第１水蒸気及び第２水蒸気の混合水蒸気の温度を低下させることで、所定の過熱度の水蒸気となるように制御することができる。
【0047】
負荷機器（図示なし）における蒸気使用量が低下する等により燃焼停止指示を受けると、水蒸気発生装置１は運転を停止し負荷機器（図示なし）への水蒸気の供給を停止する。この場合、燃焼停止制御部７０７は、バーナ１１の燃焼を停止する制御を実施する。
燃焼停止制御部７０７は、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２を閉止する制御を実施する。これにより、バーナ１１への水素及び酸素の供給が停止されることでバーナ１１の燃焼が停止する。
燃焼停止制御部７０７は、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２を閉止する制御を実施する。これにより、バーナ１１への水素及び酸素の供給が停止されることでバーナ１１の燃焼が停止する。
【0048】
バーナ１１の燃焼が停止した後、ポストパージ制御部７０８は、燃焼室１２及び気化室１３をパージする。ポストパージ制御部７０８は、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２が閉止していることを確認した後に、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放すると共に、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を閉止し、その後不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放する。これにより、不活性ガス供給ラインＬ３００から不活性ガスが燃焼室１２及び気化室１３に供給される。本実施形態においては、不活性ガスは、水素供給ラインＬ１００を介して燃焼室１２及び気化室１３へ流入し、さらに、気化室１３に接続されているパージラインＬ５００を流通した後、パージラインＬ５００の出口から排出される。ポストパージ制御部７０８は、不活性ガスの供給を開始してから所定の時間が経過した後に、不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を閉止する。その後、ポストパージ制御部７０８は、ポストパージ工程を終了する。
これにより、水蒸気発生装置１の運転が停止される。
これにより、水蒸気発生装置１の運転が停止される。
【0049】
緊急停止制御部７０９は、水蒸気発生装置１の運転中に異常が発生した場合に、水蒸気発生装置１の緊急停止を実施する。緊急停止制御部７０９は、室圧力検出部１６、蒸気負荷圧力センサ４４１、過熱度検出部としての蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２に予め設定された緊急停止閾値の設定範囲外の検出結果を取得した場合、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２を閉止する制御を実施する。緊急停止制御部７０９は、水素遮断弁Ｖ１１１及び水素遮断弁Ｖ１１２と、酸素遮断弁Ｖ２１１及び酸素遮断弁Ｖ２１２が閉止していることを確認した後に、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放すると共に、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を閉止し、その後不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放する。緊急停止制御部７０９は、燃焼室１２及び気化室１３に不活性ガスが供給され、所定の時間が経過した後に、不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を閉止する。その後、緊急停止制御部７０９は、緊急停止工程を終了する。
【0050】
以上説明した本実施形態の水蒸気発生装置１によれば、以下のような効果が奏される。
【0051】
（１）本実施形態の水蒸気発生装置１は、水蒸気使用部に水蒸気を供給する水蒸気発生装置１であって、水素及び酸素を当量比１で噴出するバーナ１１と、バーナ１１から噴出した水素と酸素を燃焼し、燃焼生成物としての第１水蒸気を生成させる燃焼室１２と、第１水蒸気に水を添加する水添加部１５と、水添加部１５から供給される水を気化させて第２水蒸気を生成させる気化室１３と、第１水蒸気と前記第２水蒸気とを気化室１３から排出する蒸気ラインＬ４００と、水蒸気使用部の蒸気負荷を検出する蒸気負荷検出部としての蒸気負荷圧力センサ４４１と、水蒸気発生装置１の運転を制御する制御部７００と、を備え、制御部７００は、蒸気負荷検出部としての蒸気負荷圧力センサ４４１の検出結果に基づいてバーナ１１の燃焼量を制御する燃焼量制御部７０１を備えている。
これにより、蒸気負荷情報としての蒸気負荷圧力センサ４４１の検出結果に基づいて、バーナ１１の燃焼量を制御することができるので、水蒸気使用部の状況に合わせた運転をすることができる、水蒸気発生装置１を提供することができる。
これにより、蒸気負荷情報としての蒸気負荷圧力センサ４４１の検出結果に基づいて、バーナ１１の燃焼量を制御することができるので、水蒸気使用部の状況に合わせた運転をすることができる、水蒸気発生装置１を提供することができる。
【0052】
（２）上記（１）の水蒸気発生装置１において、燃焼室１２又は気化室１３の圧力の少なくともいずれか一方の圧力の検出をする室圧力検出部１６と、気化室１３から排出する水蒸気量を制御する蒸気排出調整部としての蒸気流量調整弁Ｖ４０１と、をさらに備え、制御部７００は、室圧力検出部１６の検出結果に基づいて蒸気排出調整部としての蒸気流量調整弁Ｖ４０１を制御する室圧力制御部７０５をさらに備える。
これにより、燃焼室１２又は気化室１３の圧力を検出した結果に基づいて、蒸気排出調整弁としての蒸気流量調整弁Ｖ４０１を制御することにより、水蒸気発生装置１の燃焼室１２又は気化室１３の圧力を安定させることができ、さらに、安定した圧力の水蒸気を負荷機器（図示なし）へ供給することができる。
これにより、燃焼室１２又は気化室１３の圧力を検出した結果に基づいて、蒸気排出調整弁としての蒸気流量調整弁Ｖ４０１を制御することにより、水蒸気発生装置１の燃焼室１２又は気化室１３の圧力を安定させることができ、さらに、安定した圧力の水蒸気を負荷機器（図示なし）へ供給することができる。
【0053】
（３）上記（１）又は（２）の水蒸気発生装置１において、蒸気ラインＬ４００から排出される水蒸気の過熱度を検出する過熱度検出部としての蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２をさらに備え、制御部７００は、過熱度検出部としての蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２のそれぞれの検出結果に基づいて、所定の過熱度になるように水添加部１５からの給水量を制御する給水制御部７０６をさらに備える。
これにより、排出蒸気の圧力と温度を検出した結果に基づいて、給水量を調整することで、より安定した温度の過熱蒸気を負荷機器（図示なし）へ供給することができる。
これにより、排出蒸気の圧力と温度を検出した結果に基づいて、給水量を調整することで、より安定した温度の過熱蒸気を負荷機器（図示なし）へ供給することができる。
【0054】
（４）上記（１）から（３）のいずれかの水蒸気発生装置１において、バーナ１１に水素を供給する水素供給ラインＬ１００に接続される、不活性ガスを供給する不活性ガス供給ラインＬ３００と、不活性ガス供給ラインＬ３００の不活性ガス流量を調整する不活性ガス流量調整部としての不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２と、気化室１３に接続される、パージラインＬ５００と、パージラインＬ５００を流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部としてのパージ遮断弁Ｖ５１１と、を備え、制御部７００は、プレパージ制御部７０３と、着火制御部７０２と、をさらに備え、プレパージ制御部７０３は、水素の供給が停止された状態、かつ、酸素の供給が停止された状態において、不活性ガス流量調整部としての不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放し、不活性ガスが燃焼室１２及び気化室１３を経由してパージラインＬ５００に供給された際に、パージガス流量調整部としてのパージ遮断弁Ｖ５１１を開放し、所定の時間経過した後に不活性ガス流量調整部としての不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を閉止する制御を実施し、着火制御部７０２は、水素及び酸素の供給を開始し、水素及び酸素の供給が開始された後にバーナ１１の着火動作を開始する制御を実施する。
これにより、プレパージ工程の後にバーナ１１を燃焼開始させることで、バーナ１１へ供給される水素と酸素は不活性ガスと混合しながら燃焼するので、激しい燃焼を抑制することができる。
これにより、プレパージ工程の後にバーナ１１を燃焼開始させることで、バーナ１１へ供給される水素と酸素は不活性ガスと混合しながら燃焼するので、激しい燃焼を抑制することができる。
【0055】
（５）上記（１）から（４）のいずれかの水蒸気発生装置１において、気化室１３に接続される、パージラインＬ５００と、パージラインＬ５００を流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部としてのパージ遮断弁Ｖ５１１と、を備え、制御部７００は、着火制御部７０２と、蒸気供給制御部７０４と、をさらに備え、着火制御部７０２は、水素及び酸素の供給を開始し、水素及び酸素の供給が開始された後にバーナ１１の着火動作を開始する制御を実施し、蒸気供給制御部７０４は、燃焼室１２の温度及び室圧力検出部１６の値が所定の値まで上昇した後に、パージガス流量調整部としてのパージ遮断弁Ｖ５１１を閉止し、蒸気排出調整部としての蒸気流量調整弁Ｖ４０１を開放するように制御をする。
これにより、気化室１３に残存していた未燃水素及び未燃酸素等を含む水蒸気以外の気体を、水蒸気利用設備である負荷機器（図示なし）へ流出させないようにすることで、負荷機器（図示なし）での伝熱阻害を防ぐことができる。
これにより、気化室１３に残存していた未燃水素及び未燃酸素等を含む水蒸気以外の気体を、水蒸気利用設備である負荷機器（図示なし）へ流出させないようにすることで、負荷機器（図示なし）での伝熱阻害を防ぐことができる。
【0056】
（６）上記（１）から（５）のいずれかの水蒸気発生装置１において、バーナ１１に水素を供給する水素供給ラインＬ１００に接続される、不活性ガスを供給する不活性ガス供給ラインＬ３００と、不活性ガス供給ラインＬ３００の不活性ガス流量を調整する不活性ガス流量調整部としての不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２と、気化室１３に接続される、パージラインＬ５００と、パージラインＬ５００を流通するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部としてのパージ遮断弁Ｖ５１１と、を備え、制御部７００は、プレパージ制御部７０３と、着火制御部７０２と、蒸気供給制御部７０４と、をさらに備え、プレパージ制御部７０３は、水素の供給が停止された状態、かつ、酸素の供給が停止された状態において、蒸気排出調整部としての蒸気流量調整弁Ｖ４０１を閉止した後、不活性ガス流量調整部としての不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放し、不活性ガスが燃焼室１２及び気化室１３を経由してパージラインＬ５００に供給された際に、パージガス流量調整部としてのパージ遮断弁Ｖ５１１を開放し、所定の時間経過した後に不活性ガス流量調整部としての不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を閉止する制御を実施し、着火制御部７０２は、水素及び酸素の供給を開始し、水素及び酸素の供給が開始された後にバーナ１１の着火動作を開始する制御を実施し、蒸気供給制御部７０４は、燃焼室１２の温度及び室圧力検出部１６の値が所定の値まで上昇した後に、パージガス流量調整部としてのパージ遮断弁Ｖ５１１を閉止し、蒸気排出調整部としての蒸気流量調整弁Ｖ４０１を開放するように制御をする。
プレパージ工程の後にバーナ１１を燃焼開始させることで、バーナ１１へ供給される水素と酸素は不活性ガスと混合しながら燃焼するので、激しい燃焼を抑制することができる。さらに、水蒸気利用設備である負荷機器（図示なし）へ、気化室１３に残存していた不活性ガスや未燃水素及び未燃酸素を流出させないようにすることで、負荷機器（図示なし）での伝熱阻害を防ぐことができる。
プレパージ工程の後にバーナ１１を燃焼開始させることで、バーナ１１へ供給される水素と酸素は不活性ガスと混合しながら燃焼するので、激しい燃焼を抑制することができる。さらに、水蒸気利用設備である負荷機器（図示なし）へ、気化室１３に残存していた不活性ガスや未燃水素及び未燃酸素を流出させないようにすることで、負荷機器（図示なし）での伝熱阻害を防ぐことができる。
【0057】
次に、本発明の水蒸気発生システムの実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、水蒸気発生装置１に含まれる構成は、図１及び図２で説明した構成と同様の構成である。図１及び図２で説明した構成と同様の構成については、その説明を一部省略する。
図３は、本発明の水蒸気発生システム８００を示す概略図である。図３に示されるように、水蒸気発生システム８００は、水電解装置８０１と、水素貯蔵タンク８０２と、酸素貯蔵タンク８０３と、水素貯蔵ラインＬ１１０と、酸素貯蔵ラインＬ２１０と、水蒸気発生装置１と、を備える。水蒸気発生装置１は、水素供給ラインＬ１００と、酸素供給ラインＬ２００と、不活性ガス供給ラインＬ３００と、制御部７００と、を備える。
図３は、本発明の水蒸気発生システム８００を示す概略図である。図３に示されるように、水蒸気発生システム８００は、水電解装置８０１と、水素貯蔵タンク８０２と、酸素貯蔵タンク８０３と、水素貯蔵ラインＬ１１０と、酸素貯蔵ラインＬ２１０と、水蒸気発生装置１と、を備える。水蒸気発生装置１は、水素供給ラインＬ１００と、酸素供給ラインＬ２００と、不活性ガス供給ラインＬ３００と、制御部７００と、を備える。
【0058】
水電解装置８０１は、水を電気分解することで、水素及び酸素を発生させる装置である。水電解装置８０１が発生させた水素及び酸素は、水電解装置８０１から水素貯蔵ラインＬ１１０及び酸素貯蔵ラインＬ２１０によって接続される、水素貯蔵タンク８０２及び酸素貯蔵タンク８０３へ、それぞれ貯蔵される。
【0059】
水素貯蔵タンク８０２は、水電解装置から発生した水素を貯蔵する。貯蔵されている水素は、水素貯蔵タンク８０２に接続される水素供給ラインＬ１００を流通して、水蒸気発生装置１へ供給される。
【0060】
酸素貯蔵タンク８０３は、水電解装置から発生した酸素を貯蔵する。貯蔵されている酸素は、酸素貯蔵タンク８０３に接続される酸素供給ラインＬ２００を流通して、水蒸気発生装置１へ供給される。
【0061】
水蒸気発生装置１における水素供給ラインＬ１００は、水素流量調整弁Ｖ１０１と、水素流量センサ１２１と、を備える。
【0062】
水蒸気発生装置１における酸素供給ラインＬ２００は、酸素流量調整弁Ｖ２０１と、酸素流量センサ２２１と、を備える。
【0063】
水蒸気発生装置１における制御部７００は燃焼量制御部７０１を備えており、燃焼量制御部７０１は、さらに、所定の流量の水素が流通するように水素流量調整弁Ｖ１０１を制御し、バーナ１１が当量比１で燃焼するように酸素流量調整弁Ｖ２０１を制御する。
【0064】
以上説明した本実施形態の水蒸気発生システム８００によれば、以下のような効果が奏される。
【0065】
（７）本実施形態の水蒸気発生システム８００は、上記（１）から（６）のいずれかの水蒸気発生装置１と、上記（１）から（６）のいずれかの水蒸気発生装置１に水素及び酸素を供給する水電解装置８０１と、水電解装置８０１から上記（１）から（６）のいずれかの水蒸気発生装置１に水素を供給する水素供給ラインＬ１００と、水電解装置８０１から上記（１）から（６）のいずれかの水蒸気発生装置１に酸素を供給する酸素供給ラインＬ２００と、上記（１）から（６）のいずれかの水蒸気発生装置１に供給される水素流量を調整する水素流量調整部としての水素流量調整弁Ｖ１０１と、上記（１）から（６）のいずれかの水蒸気発生装置１に供給される酸素流量を調整する酸素流量調整部としての酸素流量調整弁Ｖ２０１と、を備え、酸素流量調整部としての酸素流量調整弁Ｖ２０１は、水素流量に対して、水素及び酸素の当量比１となるように、酸素流量を調整する。
これにより、水電解装置８０１から発生した水素及び酸素を燃焼させるときに、当量比１となるように、酸素流量を調整することで、効率的な燃焼をすることができる。
これにより、水電解装置８０１から発生した水素及び酸素を燃焼させるときに、当量比１となるように、酸素流量を調整することで、効率的な燃焼をすることができる。
【0066】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されることなく、種々の変更、変形及び組み合わせが可能である。
【0067】
【0068】
例えば、室圧力検出部１６は、本実施形態では、気化室１３に配置されているが、燃焼室１２に配置されてもよい。この場合は、室圧力制御部７０５は、燃焼室１２に配置された室圧力検出部１６の検出結果に基づいて、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を制御する。
【0069】
また、不活性ガス供給ラインＬ３００は、水素供給ラインＬ１００へ接続していたが、これに限らない。不活性ガス供給ラインＬ３００は、酸素供給ラインＬ２００へ接続してもよいし、水素供給ラインＬ１００及び酸素供給ラインＬ２００へ接続してもよい。これにより、水素供給ラインＬ１００だけでなく、酸素供給ラインＬ２００についても不活性ガスパージをすることができ、より安全な装置構成とすることができる。
また、不活性ガス供給ラインＬ３００は、バーナ１１へ接続してもよい。これにより、装置構成を単純化することができる。
また、不活性ガス供給ラインＬ３００は、バーナ１１へ接続してもよい。これにより、装置構成を単純化することができる。
【0070】
また、蒸気供給制御部７０４は、パージ遮断弁Ｖ５１１を閉止すると共に、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を開放する制御を実施しているが、これに限らない。
例えば、蒸気供給制御部７０４は、パージ遮断弁Ｖ５１１を閉止し、その後蒸気流量調整弁Ｖ４０１を開放する制御を実施してもよい。これにより、パージ時間をなるべく少なくして蒸気損失をおさえることができる。
例えば、蒸気供給制御部７０４は、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を開放し、その後パージ遮断弁Ｖ５１１を閉止する制御を実施してもよい。これにより、供給時の圧力変動を抑えることで、燃焼が安定して未燃ガスが負荷機器（図示なし）へ供給されることを抑制することができる。
例えば、蒸気供給制御部７０４は、パージ遮断弁Ｖ５１１を閉止し、その後蒸気流量調整弁Ｖ４０１を開放する制御を実施してもよい。これにより、パージ時間をなるべく少なくして蒸気損失をおさえることができる。
例えば、蒸気供給制御部７０４は、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を開放し、その後パージ遮断弁Ｖ５１１を閉止する制御を実施してもよい。これにより、供給時の圧力変動を抑えることで、燃焼が安定して未燃ガスが負荷機器（図示なし）へ供給されることを抑制することができる。
【0071】
また、給水制御部７０６は、過熱度検出部としての蒸気温度センサ４６１及び蒸気圧力センサ４６２のそれぞれの検出結果に基づいて、所定の過熱度の水蒸気となるように給水流量調整弁Ｖ６０１を制御しているが、これに限らない。
例えば、給水制御部７０６は、蒸気圧力センサ４６２の検出結果によって、所定の過熱度の水蒸気となるための温度が判定される。給水制御部７０６は、水素流量センサ１２１と酸素流量センサ２２１の検出結果から得られる第１水蒸気の温度と、添加する水から得られる第２水蒸気の温度を、総合的に判断して、必要な添加水量を計算することで、所定の流量の水を給水流量調整弁Ｖ６０１で調整する制御をしてもよい。
これにより、蒸気温度センサ４６１を設置しなくても、高い精度の添加水量を気化室１３に添加することができる。
例えば、給水制御部７０６は、蒸気圧力センサ４６２の検出結果によって、所定の過熱度の水蒸気となるための温度が判定される。給水制御部７０６は、水素流量センサ１２１と酸素流量センサ２２１の検出結果から得られる第１水蒸気の温度と、添加する水から得られる第２水蒸気の温度を、総合的に判断して、必要な添加水量を計算することで、所定の流量の水を給水流量調整弁Ｖ６０１で調整する制御をしてもよい。
これにより、蒸気温度センサ４６１を設置しなくても、高い精度の添加水量を気化室１３に添加することができる。
【0072】
また、例えば、給水制御部７０６は、蒸気温度センサ４６１の検出結果によって、所定の過熱度の水蒸気となるための圧力が判定される。給水制御部７０６は、水素流量センサ１２１と酸素流量センサ２２１の検出結果から得られる第１水蒸気の体積と、添加する水から得られる第２水蒸気の体積を、総合的に判断して、必要な添加水量を計算することで、所定の流量の水を給水流量調整弁Ｖ６０１で調整する制御をしてもよい。
これにより、蒸気圧力センサ４６２を設置しなくても、高い精度の添加水量を気化室１３に添加することができる。
これにより、蒸気圧力センサ４６２を設置しなくても、高い精度の添加水量を気化室１３に添加することができる。
【0073】
また、ポストパージ制御部７０８は、バーナ１１の燃焼が停止したあとに、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放すると共に、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を閉止し、その後不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放し、パージ制御を実施しているが、これに限らない。
例えば、ポストパージ制御部７０８は、バーナ１１の燃焼が停止したあとに、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放し、その後蒸気流量調整弁Ｖ４０１を閉止し、その後不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放し、パージ制御を実施してもよい。
例えば、ポストパージ制御部７０８は、バーナ１１の燃焼が停止したあとに、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放し、その後蒸気流量調整弁Ｖ４０１を閉止し、その後不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放し、パージ制御を実施してもよい。
【0074】
また、緊急停止制御部７０９は、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放すると共に、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を閉止し、その後不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放する制御を実施しているが、これに限らない。
例えば、緊急停止制御部７０９は、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放した後に、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を閉止し、その後不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放する制御を実施してもよい。
例えば、緊急停止制御部７０９は、パージ遮断弁Ｖ５１１を開放した後に、蒸気流量調整弁Ｖ４０１を閉止し、その後不活性ガス遮断弁Ｖ３１１及び不活性ガス遮断弁Ｖ３１２を開放する制御を実施してもよい。
【0075】
また、水添加部１５から添加する水の一部を、水蒸気に換えて添加してもよい。
【0076】
また、水素供給ラインＬ１００及び／又は酸素供給ラインＬ２００に、蒸気ラインＬ４００から分岐した分岐ラインを接続し、水素及び／又は酸素に水蒸気を混合させてもよい。
【符号の説明】
【0077】
１、１Ａ 水蒸気発生装置
１１ バーナ
１２ 燃焼室
１３ 気化室
１４ 水添加部
１６ 室圧力検出部
Ｌ１００ 水素供給ライン
Ｌ２００ 酸素供給ライン
Ｌ３００ 不活性ガス供給ライン
Ｌ４００ 蒸気ライン
Ｖ３０１ 不活性ガス流量調整弁（不活性ガス流量調整部）
Ｖ４０１ 蒸気流量調整弁（蒸気排出調整弁）
Ｖ５１１ パージ遮断弁（パージガス流量調整部）
４４１ 蒸気負荷圧力センサ
４６１ 蒸気温度センサ（過熱度検出部）
４６２ 蒸気圧力センサ（過熱度検出部）
７００ 制御部
７０１ 燃焼量制御部
７０２ 着火制御部
７０３ プレパージ制御部
７０４ 蒸気供給制御部
７０５ 室圧力制御部
７０６ 給水制御部
８００ 水蒸気発生システム
１１ バーナ
１２ 燃焼室
１３ 気化室
１４ 水添加部
１６ 室圧力検出部
Ｌ１００ 水素供給ライン
Ｌ２００ 酸素供給ライン
Ｌ３００ 不活性ガス供給ライン
Ｌ４００ 蒸気ライン
Ｖ３０１ 不活性ガス流量調整弁（不活性ガス流量調整部）
Ｖ４０１ 蒸気流量調整弁（蒸気排出調整弁）
Ｖ５１１ パージ遮断弁（パージガス流量調整部）
４４１ 蒸気負荷圧力センサ
４６１ 蒸気温度センサ（過熱度検出部）
４６２ 蒸気圧力センサ（過熱度検出部）
７００ 制御部
７０１ 燃焼量制御部
７０２ 着火制御部
７０３ プレパージ制御部
７０４ 蒸気供給制御部
７０５ 室圧力制御部
７０６ 給水制御部
８００ 水蒸気発生システム
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】