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特開2024-107691表面検査装置、表面検査装置における斜光照明の設置方法、及び鋼板の製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】公開特許公報(A)
(11)【公開番号】P2024107691
(43)【公開日】2024-08-09
(54)【発明の名称】表面検査装置、表面検査装置における斜光照明の設置方法、及び鋼板の製造方法
(51)【国際特許分類】
G01N 21/892 20060101AFI20240802BHJP
【ＦＩ】
G01N21/892 B
【審査請求】未請求
【請求項の数】8
【出願形態】ＯＬ
(21)【出願番号】P 2023011749
(22)【出願日】2023-01-30
(71)【出願人】
【識別番号】000001258
【氏名又は名称】ＪＦＥスチール株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100103850
【弁理士】
【氏名又は名称】田中 秀▲てつ▼
(74)【代理人】
【識別番号】100105854
【弁理士】
【氏名又は名称】廣瀬 一
(74)【代理人】
【識別番号】100116012
【弁理士】
【氏名又は名称】宮坂 徹
(74)【代理人】
【識別番号】100066980
【弁理士】
【氏名又は名称】森 哲也
(72)【発明者】
【氏名】小松原 広章
(72)【発明者】
【氏名】腰原 敬弘
(72)【発明者】
【氏名】大野 紘明
【テーマコード（参考）】
2G051
【Ｆターム（参考）】
2G051AA37
2G051AB02
2G051BA01
2G051BB01
2G051BB03
2G051CA04
2G051CA07
2G051CB01
2G051CB05
2G051EA16
2G051EB01
(57)【要約】
【課題】斜光照明を鋼板の幅方向から突出させずに設置できることとした表面検査装置、表面検査装置における斜光照明の設置方法、及び鋼板の製造方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置１において、斜光照明１１を、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において２分割して第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂとする。また、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂを当該第１斜光照明１１ａと第２斜光照明１１ｂとが干渉しないように鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）において離し、かつ、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂからのそれぞれの光Ｌ１１ａ，Ｌ１１ｂが鋼板Ｓの幅方向内側から鋼板Ｓの幅方向外側に向けて照射されるように、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂを設置する。
【選択図】図２
【解決手段】表面検査装置１において、斜光照明１１を、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において２分割して第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂとする。また、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂを当該第１斜光照明１１ａと第２斜光照明１１ｂとが干渉しないように鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）において離し、かつ、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂからのそれぞれの光Ｌ１１ａ，Ｌ１１ｂが鋼板Ｓの幅方向内側から鋼板Ｓの幅方向外側に向けて照射されるように、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂを設置する。
【選択図】図２
【特許請求の範囲】
【請求項1】
斜光照明を有する照明装置と、該照明装置によって光が照射された鋼板の表面を撮像する撮像装置と、撮像装置での撮像画像を画像処理して前記鋼板の表面にある凹凸欠陥を検出する画像処理装置とを備えた表面検査装置であって、
前記斜光照明を、前記鋼板の幅方向において２分割して第１斜光照明及び第２斜光照明とするとともに、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を当該第１斜光照明と第２斜光照明とが干渉しないように前記鋼板の長手方向において離し、かつ、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明からのそれぞれの光が前記鋼板の幅方向内側から前記鋼板の幅方向外側に向けて照射されるように、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を設置することを特徴とする表面検査装置。
前記斜光照明を、前記鋼板の幅方向において２分割して第１斜光照明及び第２斜光照明とするとともに、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を当該第１斜光照明と第２斜光照明とが干渉しないように前記鋼板の長手方向において離し、かつ、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明からのそれぞれの光が前記鋼板の幅方向内側から前記鋼板の幅方向外側に向けて照射されるように、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を設置することを特徴とする表面検査装置。
【請求項2】
前記第１斜光照明からの光の波長と前記第２斜光照明からの光の波長とを異なるものとするとともに、前記撮像装置が、前記第１斜光照明から照射されて前記鋼板の表面で反射された光の波長を透過させる第１フィルタを備えた、前記第１斜光照明によって光が照射された前記鋼板の表面を撮像する第１斜光照明用撮像装置と、前記第２斜光照明から照射されて前記鋼板の表面で反射された光の波長を透過させる第２フィルタを備えた、前記第２斜光照明によって光が照射された前記鋼板の表面を撮像する第２斜光照明用撮像装置とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
【請求項3】
前記鋼板の表面にある凹凸欠陥は、凹凸の量及び表面から見た凹凸の大きさに基づいて欠陥として除去する優先度を付けたランクに分けられており、前記画像処理装置は、前記第１斜光照明用撮像装置で撮像された撮像画像に基づいて前記第１斜光照明用撮像装置の視野における前記鋼板の表面にある凹凸欠陥を検出するとともに、当該凹凸欠陥のランクを判定し、前記第２斜光照明用撮像装置で撮像された撮像画像に基づいて前記第２斜光照明用撮像装置の視野における前記鋼板の表面にある凹凸欠陥を検出するとともに、当該凹凸欠陥のランクを判定することを特徴とする請求項２に記載の表面検査装置。
【請求項4】
前記第１斜光照明からの光の照射範囲と前記第２斜光照明からの光の照射範囲とが前記鋼板の幅方向において境界部で重なるように、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明が設置されるとともに、前記第１斜光照明用撮像装置の視野と前記第２斜光照明用撮像装置の視野とが前記鋼板の幅方向において境界部で重なるように、前記第１斜光照明用撮像装置及び前記第２斜光照明用撮像装置が設置されることを特徴とする請求項３に記載の表面検査装置。
【請求項5】
前記第１斜光照明用撮像装置の視野と前記第２斜光照明用撮像装置の視野とが重なった重複部分に対応する前記鋼板の表面に凹凸欠陥がある場合において、前記画像処理装置は、前記第１斜光照明用撮像装置の視野で判定された凹凸欠陥のランクと、前記第２斜光照明用撮像装置の視野で判定された凹凸欠陥のランクとが異なる場合、前記第１斜光照明用撮像装置の視野で判定された凹凸欠陥のランク及び前記第２斜光照明用撮像装置の視野で判定された凹凸欠陥のランクのうち優先度の高い凹凸欠陥のランクを採用することを特徴とする請求項４に記載の表面検査装置。
【請求項6】
前記照明装置は、正反射照明を有し、前記撮像装置は、前記正反射照明によって光が照射された前記鋼板の表面を撮像する正反射照明用撮像装置を備えていることを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
【請求項7】
斜光照明を有する照明装置と、該照明装置によって光が照射された鋼板の表面を撮像する撮像装置と、撮像装置での撮像画像を画像処理して前記鋼板の表面にある凹凸欠陥を検出する画像処理装置とを備えた表面検査装置における斜光照明の設置方法であって、
前記斜光照明を、前記鋼板の幅方向において２分割して第１斜光照明及び第２斜光照明とするとともに、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を当該第１斜光照明と第２斜光照明とが干渉しないように前記鋼板の長手方向において離し、かつ、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明からのそれぞれの光が前記鋼板の幅方向内側から前記鋼板の幅方向外側に向けて照射されるように、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を設置することを特徴とする表面検査装置における斜光照明の設置方法。
前記斜光照明を、前記鋼板の幅方向において２分割して第１斜光照明及び第２斜光照明とするとともに、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を当該第１斜光照明と第２斜光照明とが干渉しないように前記鋼板の長手方向において離し、かつ、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明からのそれぞれの光が前記鋼板の幅方向内側から前記鋼板の幅方向外側に向けて照射されるように、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を設置することを特徴とする表面検査装置における斜光照明の設置方法。
【請求項8】
請求項１乃至６のうちいずれか一項に記載の表面検査装置を用いて鋼板の表面検査を行う表面検査工程を含むことを特徴とする鋼板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、表面検査装置、表面検査装置における斜光照明の設置方法、及び鋼板の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、鋼板の表面検査工程、例えば、酸洗された熱延鋼板の表面検査工程において、出荷前に熱延鋼板の表面検査を行い、当該熱延鋼板の表面に欠陥がある場合には、当該欠陥のある鋼板部分を切断するなどしている。この表面検査に用いられる表面検査装置においては、一般的に、走行する鋼板の表面に対して光（例えば、ＬＥＤ光）を照射する照明装置と、この照明装置によって光が照射された鋼板の表面を撮像する撮像装置とが備えられている。
【0003】
この照明装置は、一般的には、通常照明の構成を採用し、鋼板の幅方向全体につき光を照射可能なように鋼板の幅方向に沿って延び鋼板の幅方向全体をカバーする長さの棒状光源を備えている。そして、この棒状光源から照射される光の方向と鋼板の長手方向（通板方向）とが平行となるように棒状光源を鋼板に対して設置している。
ここで、この通常照明の構成を有する照明装置を用いた表面検査では、鋼板の表面にある凹凸の欠陥を検出することが困難なことがある。この理由は、鋼板の表面に光を照射した際に、鋼板の表面の正常部と欠陥部とを撮像した撮像画像において正常部の画像と欠陥部の画像に大きな違いが出ず、正常部及び欠陥部の両者の判別が困難なことがあるからである。
ここで、この通常照明の構成を有する照明装置を用いた表面検査では、鋼板の表面にある凹凸の欠陥を検出することが困難なことがある。この理由は、鋼板の表面に光を照射した際に、鋼板の表面の正常部と欠陥部とを撮像した撮像画像において正常部の画像と欠陥部の画像に大きな違いが出ず、正常部及び欠陥部の両者の判別が困難なことがあるからである。
【0004】
これに対して、鋼板の表面にある凹凸の欠陥を精度高く検出するために、斜光照明を構成する照明装置を備えた表面検査装置を用いて検出を行うものとして、従来、例えば、特許文献１に示す鋼材の表面装置が提案されている。
特許文献１に示す鋼材の表面装置は、鋼材表面検査ラインに配置されたカラーラインカメラ、第１棒状光源（グリーン）および第２棒状光源（ブルー）の幅方向斜光照明、画像処理装置、ＲＧＢカラー画像とＧ-Ｂ差分画像により通板方向に対し、長手方向と幅方向の凹凸を顕在化させる手段を有した処理装置、及び疵を検出し識別する手段を有した処理装置を備えたものである。
特許文献１に示す鋼材の表面装置は、鋼材表面検査ラインに配置されたカラーラインカメラ、第１棒状光源（グリーン）および第２棒状光源（ブルー）の幅方向斜光照明、画像処理装置、ＲＧＢカラー画像とＧ-Ｂ差分画像により通板方向に対し、長手方向と幅方向の凹凸を顕在化させる手段を有した処理装置、及び疵を検出し識別する手段を有した処理装置を備えたものである。
【0005】
この特許文献１に示す鋼材の表面装置に用いられる第１棒状光源（グリーン）および第２棒状光源（ブルー）の幅方向斜光照明は、第１棒状光源および第２棒状光源のそれぞれが鋼材の幅方向に沿って延びるとともに鋼材の幅方向全体につき光を照射可能なように鋼材の幅方向全体をカバーする長さを有している。そして、第１棒状光源および第２棒状光源は、第１棒状光源および第２棒状光源のそれぞれから照射される光の方向と鋼材の長手方向（通板方向）とがなす幅方向斜光角度が、１５～４５°となるように、鋼材に対して設置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特開２０１８－３６１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
しかしながら、この従来の特許文献１に示す鋼材の表面装置にあっては、以下の課題があった。
即ち、特許文献１に示す鋼材の表面装置に用いられる第１棒状光源および第２棒状光源の幅方向斜光照明は、鋼材の幅方向全体をカバーする長さを有する第１棒状光源および第２棒状光源が、第１棒状光源および第２棒状光源のそれぞれから照射される光の方向と鋼材の長手方向（通板方向）とがなす幅方向斜光角度が、１５～４５°となるように、鋼材に対して設置されている。このため、第１棒状光源および第２棒状光源のそれぞれが鋼材の幅方向端部から突出する。このため、第１棒状光源および第２棒状光源のそれぞれが鋼材の幅方向端部から突出する分だけ幅方向斜光照明の設置スペースが余分に必要となる。これにより、幅方向斜光照明を設置したときに、幅方向斜光照明の設置スペースが余分になければ、幅方向斜光照明が周囲の機器に干渉してしまう、という課題があった。
即ち、特許文献１に示す鋼材の表面装置に用いられる第１棒状光源および第２棒状光源の幅方向斜光照明は、鋼材の幅方向全体をカバーする長さを有する第１棒状光源および第２棒状光源が、第１棒状光源および第２棒状光源のそれぞれから照射される光の方向と鋼材の長手方向（通板方向）とがなす幅方向斜光角度が、１５～４５°となるように、鋼材に対して設置されている。このため、第１棒状光源および第２棒状光源のそれぞれが鋼材の幅方向端部から突出する。このため、第１棒状光源および第２棒状光源のそれぞれが鋼材の幅方向端部から突出する分だけ幅方向斜光照明の設置スペースが余分に必要となる。これにより、幅方向斜光照明を設置したときに、幅方向斜光照明の設置スペースが余分になければ、幅方向斜光照明が周囲の機器に干渉してしまう、という課題があった。
【0008】
従って、本発明はこの従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、斜光照明を鋼板の幅方向から突出させずに設置できることとした表面検査装置、表面検査装置における斜光照明の設置方法、及び鋼板の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る表面検査装置は、斜光照明を有する照明装置と、該照明装置によって光が照射された鋼板の表面を撮像する撮像装置と、撮像装置での撮像画像を画像処理して前記鋼板の表面にある凹凸欠陥を検出する画像処理装置とを備えた表面検査装置であって、前記斜光照明を、前記鋼板の幅方向において２分割して第１斜光照明及び第２斜光照明とするとともに、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を当該第１斜光照明と第２斜光照明とが干渉しないように前記鋼板の長手方向において離し、かつ、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明からのそれぞれの光が前記鋼板の幅方向内側から前記鋼板の幅方向外側に向けて照射されるように、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を設置することを要旨とする。
【0010】
また、本発明の別の態様に係る表面検査装置における斜光照明の設置方法は、斜光照明を有する照明装置と、該照明装置によって光が照射された鋼板の表面を撮像する撮像装置と、撮像装置での撮像画像を画像処理して前記鋼板の表面にある凹凸欠陥を検出する画像処理装置とを備えた表面検査装置における斜光照明の設置方法であって、前記斜光照明を、前記鋼板の幅方向において２分割して第１斜光照明及び第２斜光照明とするとともに、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を当該第１斜光照明と第２斜光照明とが干渉しないように前記鋼板の長手方向において離し、かつ、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明からのそれぞれの光が前記鋼板の幅方向内側から前記鋼板の幅方向外側に向けて照射されるように、前記第１斜光照明及び前記第２斜光照明を設置することを要旨とする。
また、本発明の別の態様に係る鋼板の製造方法は、前述の表面検査装置を用いて鋼板の表面検査を行う工程を含むことを要旨とする。
また、本発明の別の態様に係る鋼板の製造方法は、前述の表面検査装置を用いて鋼板の表面検査を行う工程を含むことを要旨とする。
【発明の効果】
【0011】
本発明に係る表面検査装置、表面検査装置における斜光照明の設置方法、及び鋼板の製造方法によれば、斜光照明を鋼板の幅方向から突出させずに設置できる。これにより、斜光照明が周囲の機器に干渉してしまうことを回避できる。
【図面の簡単な説明】
【0012】
【図1】本発明の一実施形態に係る表面検査装置の概略構成を示す、ブライドルロールの軸心方向から見た正面図である。
【図4】一般的な通常照明を説明するもので、（ａ）は通常照明からの光を鋼板の表面に照射して当該鋼板に形成された縦長の凹凸欠陥を検出する様子を示す平面図、（ｂ）は（ａ）における４ｂ－４ｂ線に沿う拡大断面図である。
【図5】斜光照明を説明するもので、（ａ）は斜光照明からの光を鋼板の表面に照射して当該鋼板に形成された縦長の凹凸欠陥を検出する様子を示す平面図、（ｂ）は（ａ）における５ｂ－５ｂ線に沿う拡大断面図である。
【図7】図５に示す斜光照明を、鋼板の幅方向において２分割して第１斜光照明及び第２斜光照明とするとともに、第１斜光照明及び第２斜光照明を当該第１斜光照明と第２斜光照明とが干渉しないように鋼板の長手方向において離し、かつ、第１斜光照明及び第２斜光照明からのそれぞれの光が鋼板の幅方向内側から鋼板の幅方向外側に向けて照射されるように、第１斜光照明及び第２斜光照明を設置した本実施形態に係る表面検査装置を説明するための図である。
【図8】本実施形態に係る表面検査装置の変形例を説明するための図である。する
【図9】図１及び図７に示す本実施形態に係る表面検査装置において、第１斜光照明用撮像装置の視野と第２斜光照明用撮像装置の視野とが鋼板の幅方向において重なるように、第１斜光照明用撮像装置及び第１斜光照明と第２斜光照明用撮像装置及び第２斜光照明とのそれぞれが設置されている様子を説明するための図である。
【図10】鋼板の表面に形成された凹凸欠陥の一例を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）における１０ｂ－１０ｂ線に沿う断面図である。
【図11】鋼板の表面に形成された凹凸欠陥の一例の撮像画像を示す図である。
【図13】第１斜光照明用撮像装置の視野と第２斜光照明用撮像装置の視野とが重なった重複部分に対応する鋼板の表面に凹凸欠陥がある場合における当該凹凸欠陥の一例の撮像画像を示す図である。
【図15】第１斜光照明用撮像装置の視野での撮像画像から検出される凹凸欠陥に対する明度の波形を示すグラフである。
【図16】第２斜光照明用撮像装置の視野での撮像画像から検出される凹凸欠陥に対する明度の波形を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【0013】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。以下に示す実施形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記の実施形態に特定するものではない。
また、図面は模式的なものである。そのため、厚みと平面寸法との関係、比率等は現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。
また、図面は模式的なものである。そのため、厚みと平面寸法との関係、比率等は現実のものとは異なることに留意すべきであり、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。
【0014】
図１には、本発明の一実施形態に係る表面検査装置の概略構成が示されている。
図１に示す表面検査装置１は、熱延鋼板の酸洗ラインに設置され、ブライドルロール２によって矢印Ａ方向に搬送される熱延鋼板（以下、単に鋼板という）Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０（図１０参照）を検出するものである。凹凸欠陥５０は、点状疵、縦長の開口疵などの鋼板Ｓの表面Ｓａから凹むあるいは当該表面Ｓａから突出する凹凸状の欠陥を意味する。
表面検査装置１は、照明装置１０と、撮像装置２０と、画像処理装置３０とを備えている。
照明装置１０は、斜光照明１１と、正反射照明１２とを備えている。
図１に示す表面検査装置１は、熱延鋼板の酸洗ラインに設置され、ブライドルロール２によって矢印Ａ方向に搬送される熱延鋼板（以下、単に鋼板という）Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０（図１０参照）を検出するものである。凹凸欠陥５０は、点状疵、縦長の開口疵などの鋼板Ｓの表面Ｓａから凹むあるいは当該表面Ｓａから突出する凹凸状の欠陥を意味する。
表面検査装置１は、照明装置１０と、撮像装置２０と、画像処理装置３０とを備えている。
照明装置１０は、斜光照明１１と、正反射照明１２とを備えている。
【0015】
斜光照明１１は、図２に示すように、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において２分割された第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂで構成されている。
第１斜光照明１１ａは、棒状の赤色のＬＥＤ照明であり、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）に沿って延びるように設置されている。また、第２斜光照明１１ｂは、棒状の緑色のＬＥＤ照明であり、鋼板Ｓの幅方向に沿って延びるように設置されている。第１斜光照明１１ａの幅方向（ｘ－ｘ方向）の長さと第２斜光照明１１ｂの幅方向（ｘ－ｘ方向）の長さとを合わせた長さは、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における幅Ｗ（図２参照）よりも長い。
そして、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂは、当該第１斜光照明１１ａと第２斜光照明１１ｂとが干渉しないように鋼板の長手方向（ｙ－ｙ方向）において離して設置されている。
第１斜光照明１１ａは、棒状の赤色のＬＥＤ照明であり、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）に沿って延びるように設置されている。また、第２斜光照明１１ｂは、棒状の緑色のＬＥＤ照明であり、鋼板Ｓの幅方向に沿って延びるように設置されている。第１斜光照明１１ａの幅方向（ｘ－ｘ方向）の長さと第２斜光照明１１ｂの幅方向（ｘ－ｘ方向）の長さとを合わせた長さは、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における幅Ｗ（図２参照）よりも長い。
そして、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂは、当該第１斜光照明１１ａと第２斜光照明１１ｂとが干渉しないように鋼板の長手方向（ｙ－ｙ方向）において離して設置されている。
【0016】
具体的に述べると、図１に示すように、第１斜光照明１１ａは、ブライドルロール２の中心軸が通る水平面ＨＳに対し長手方向（ｙ－ｙ方向）の上側に設置されている。また、第２斜光照明１１ｂは、ブライドルロール２の中心軸が通る水平面ＨＳに対し長手方向（ｙ－ｙ方向）の下側に設置されている。そして、第１斜光照明１１ａは、図１及び図７（ｂ）に示すように、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａが水平面ＨＳと鋼板Ｓの表面Ｓａとの交線である表面Ｓａ上の水平線ＨＬに向けて照射角度（光Ｌ１１ａと水平面ＨＳとがなす角度）θ１１ａ＝３５°となるように設置されている。また、第２斜光照明１１ｂは、図１及び図７（ｃ）に示すように、第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂが水平面ＨＳと鋼板Ｓの表面Ｓａとの交線である表面Ｓａ上の水平線ＨＬに向けて照射角度（光Ｌ１１ｂと水平面ＨＳとがなす角度）θ１１ｂ＝３５°となるように設置されている。
【0017】
また、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂは、図２に示すように、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂからのそれぞれの光Ｌ１１ａ、Ｌ１１ｂが鋼板Ｓの幅方向内側から鋼板Ｓの幅方向外側に向けて照射されるように設置されている。
具体的に述べると、第１斜光照明１１ａは、図２に示すように、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａが鋼板Ｓの幅方向内側から幅方向外側に向けて鋼板Ｓの表面Ｓａ上の水平線ＨＬに向けて斜光角度（光Ｌ１１ａの長手方向（ｙ－ｙ方向）の線ＶＬに対して斜光する角度）Δ１１ａ＝３０°で照射されるように、設置されている。
具体的に述べると、第１斜光照明１１ａは、図２に示すように、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａが鋼板Ｓの幅方向内側から幅方向外側に向けて鋼板Ｓの表面Ｓａ上の水平線ＨＬに向けて斜光角度（光Ｌ１１ａの長手方向（ｙ－ｙ方向）の線ＶＬに対して斜光する角度）Δ１１ａ＝３０°で照射されるように、設置されている。
【0018】
また、第２斜光照明１１ｂは、図２に示すように、第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂが鋼板Ｓの幅方向内側から幅方向外側に向けて鋼板Ｓの表面Ｓａ上の水平線ＨＬに向けて斜光角度（光Ｌ１１ｂの長手方向（ｙ－ｙ方向）の線ＶＬに対して斜光する角度）Δ１１ｂ＝３０°で照射されるように、設置されている。
第１斜光照明１１ａとしては、前述したように、赤色のＬＥＤ照明を採用し、第２斜光照明１１ｂとしては緑色のＬＥＤ照明を採用し、第１斜光照明から１１ａの光Ｌ１１ａの波長と第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂの波長とを異なるものとしている。
第１斜光照明１１ａとしては、前述したように、赤色のＬＥＤ照明を採用し、第２斜光照明１１ｂとしては緑色のＬＥＤ照明を採用し、第１斜光照明から１１ａの光Ｌ１１ａの波長と第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂの波長とを異なるものとしている。
【0019】
また、図２及び図７（ａ）に示すように、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａの照射範囲と第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂの照射範囲とが鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において境界部で重なるように、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂが設置されている。
なお、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂは、図示しない筐体等の斜光照明設置部材に設置されている。
なお、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂは、図示しない筐体等の斜光照明設置部材に設置されている。
【0020】
ここで、本実施形態において、斜光照明１１を採用する理由について図４及び図５を参照して説明する。
図４（ａ）に示すように、通常照明（正反射照明）１０１は、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）に沿って延びる棒状光源で構成で構成され、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）全体につき光Ｌ１０１を照射可能なように鋼板Ｓの幅方向（ｘ―ｘ方向）全体をカバーする長さを有する。また、通常照明１０１は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、通常照明１０１から照射される光Ｌ１０１の方向が鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）に対して平行となるように、鋼板Ｓに対して設置してなる。
図４（ａ）に示すように、通常照明（正反射照明）１０１は、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）に沿って延びる棒状光源で構成で構成され、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）全体につき光Ｌ１０１を照射可能なように鋼板Ｓの幅方向（ｘ―ｘ方向）全体をカバーする長さを有する。また、通常照明１０１は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、通常照明１０１から照射される光Ｌ１０１の方向が鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）に対して平行となるように、鋼板Ｓに対して設置してなる。
【0021】
通常照明１０１の場合、通常照明１０１から光Ｌ１０１が鋼板Ｓの表面Ｓａに照射され、撮像装置１０２により鋼板Ｓの表面Ｓａが撮像される。ここで、鋼板Ｓの表面Ｓａに形成された凹凸欠陥１０３を検出する場合において、凹凸欠陥１０３と鋼板Ｓの表面Ｓａにおける凹凸欠陥１０３以外の部分とに撮像画像で大きな違いがでず、凹凸欠陥１０３を検出し難い。
一方、図５（ａ）に示すように、斜光照明１１は、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）に沿って延びる棒状光源で構成され、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）全体につき光Ｌ１１を照射可能なように鋼板Ｓの幅方向（ｘ―ｘ方向）全体をカバーする長さを有する。また、斜光照明１１は、図５（ａ），（ｂ）に示すように、斜光照明１１から照射される光Ｌ１１の方向が鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）に対して斜光する角度となるように、鋼板Ｓに対して設置してなる。
一方、図５（ａ）に示すように、斜光照明１１は、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）に沿って延びる棒状光源で構成され、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）全体につき光Ｌ１１を照射可能なように鋼板Ｓの幅方向（ｘ―ｘ方向）全体をカバーする長さを有する。また、斜光照明１１は、図５（ａ），（ｂ）に示すように、斜光照明１１から照射される光Ｌ１１の方向が鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）に対して斜光する角度となるように、鋼板Ｓに対して設置してなる。
【0022】
斜光照明１１の場合、斜光照明１１から光Ｌ１１が鋼板Ｓの表面Ｓａに照射され、撮像装置１０２により鋼板Ｓの表面Ｓａが撮像される。ここで、鋼板Ｓの表面Ｓａに形成された凹凸欠陥１０３を検出する場合において、凹凸欠陥１０３に影１０３ａができるので、凹凸欠陥１０３と鋼板Ｓの表面Ｓａにおける凹凸欠陥１０３以外の部分とに撮像画像で大きな違いが出て、凹凸欠陥１０３を容易に検出することができる。
この理由により、本実施形態にあっては、斜光照明１１を採用している。
この理由により、本実施形態にあっては、斜光照明１１を採用している。
【0023】
次に、斜光照明１１を、鋼板Ｓの幅方向（ｘ―ｘ方向）において２分割して第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂで構成する理由について説明する。
斜光照明１１を採用した場合、図５（ａ）に示すように、斜光照明１１から照射される光Ｌ１１の方向が鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）に対して斜光する角度となるように鋼板Ｓに対して設置している。このため、通常照明１０１の場合に比べて、斜光照明１１の幅方向端部が鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）においてδだけ突出する。このため、斜光照明１１が鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）端部から突出する分だけ設置スペースが余分に必要となり、幅方向に延びる斜光照明１１を設置したときに、設置スペースが余分になければ、斜光照明１１が周囲の機器に干渉してしまうおそれがある。
斜光照明１１を採用した場合、図５（ａ）に示すように、斜光照明１１から照射される光Ｌ１１の方向が鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）に対して斜光する角度となるように鋼板Ｓに対して設置している。このため、通常照明１０１の場合に比べて、斜光照明１１の幅方向端部が鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）においてδだけ突出する。このため、斜光照明１１が鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）端部から突出する分だけ設置スペースが余分に必要となり、幅方向に延びる斜光照明１１を設置したときに、設置スペースが余分になければ、斜光照明１１が周囲の機器に干渉してしまうおそれがある。
【0024】
そこで、本実施形態においては、斜光照明１１を、鋼板Ｓの幅方向（ｘ―ｘ方向）において２分割して第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂで構成している。
ただし、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂを、図６に示すように、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において並べるように設置すると、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂが互いに干渉してしまう。
そこで、本実施形態においては、図１、図２、及び図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂを、当該第１斜光照明１１ａと第２斜光照明１１ｂとが干渉しないように鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）において離して設置している。
ただし、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂを、図６に示すように、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において並べるように設置すると、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂが互いに干渉してしまう。
そこで、本実施形態においては、図１、図２、及び図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂを、当該第１斜光照明１１ａと第２斜光照明１１ｂとが干渉しないように鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）において離して設置している。
【0025】
また、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂを、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂからのそれぞれの光Ｌ１１ａ、Ｌ１１ｂが鋼板Ｓの幅方向内側から鋼板Ｓの幅方向外側に向けて照射されるように設置している。
これにより、図２及び図７（ａ）に示すように、第１斜光照明１１ａと第２斜光照明１１ｂとの干渉を回避しつつ、斜光照明１１を鋼板Ｓの幅方向から突出させずに設置できる。
これにより、図２及び図７（ａ）に示すように、第１斜光照明１１ａと第２斜光照明１１ｂとの干渉を回避しつつ、斜光照明１１を鋼板Ｓの幅方向から突出させずに設置できる。
【0026】
また、本実施形態においては、第１斜光照明１１ａとして赤色のＬＥＤ照明を採用し、第２斜光照明１１ｂとして緑色のＬＥＤ照明を採用し、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａの波長と第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂの波長は異なるものとしている。また、後述するように、各第１斜光照明用撮像装置２１ａは、第１斜光照明１１ａから照射されて鋼板Ｓの表面Ｓａで反射された光Ｌ１１ａの波長（赤色）を透過させる第１フィルタ２３ａを備えている。そして、複数の第１斜光照明用撮像装置２１ａは、複数の第１斜光照明１１ａによって光Ｌ１１ａが照射された鋼板Ｓの表面Ｓａを撮像する。また、各第２斜光照明用撮像装置２１ｂは、第２斜光照明１１ｂから照射されて鋼板Ｓの表面Ｓａで反射された光Ｌ１１ｂの波長（緑色）を透過させる第２フィルタ２３ｂを備えている。そして、複数の第２斜光照明用撮像装置２１ｂは、複数の第２斜光照明１１ｂによって光Ｌ１１ｂが照射された鋼板Ｓの表面Ｓａを撮像する。
【0027】
これにより、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において、第１斜光照明１１ａの光学系と第２斜光照明１１ｂの光学系とを分離し、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａと第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂとの干渉を防止するようにしている。鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における、第１斜光照明１１ａの光学系と第２斜光照明１１ｂの光学系とを分離する点については後に詳細に説明する。
【0028】
また、照明装置１０における正反射照明１２は、図２に示すように、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）に沿って延び、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）全体につき光Ｌ１２を照射可能なように鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）全体をカバーする長さを有する。また、正反射照明１２は、照射される光Ｌ１２の方向が鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）に対して平行となるように、鋼板Ｓに対して設置されている。正反射照明１２の鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）に沿う長さＬは、鋼板Ｓの幅Ｗよりも長く、ブライドルロール２の幅方向（ｘ－ｘ方向）に沿う長さと同一となっている。
【0029】
また、正反射照明１２は、正反射照明１２からの光Ｌ１２が水平面ＨＳと鋼板Ｓの表面Ｓａとの交線である表面Ｓａ上の水平線ＨＬに向けて照射角度（光Ｌ１２と水平面ＨＳとがなす角度）θ１２＝１０°となるように設置されている。正反射照明１２は、棒状の青色のＬＥＤ照明を採用している。
また、撮像装置２０は、鋼板Ｓの表面Ｓａを撮像するものであり、複数（本実施形態では２つ）の第１斜光照明用撮像装置２１ａと、複数（本実施形態では２つ）の第２斜光照明用撮像装置２１ｂと、複数（本実施形態では４つ）の正反射照明用撮像装置２２とを備えている。
また、撮像装置２０は、鋼板Ｓの表面Ｓａを撮像するものであり、複数（本実施形態では２つ）の第１斜光照明用撮像装置２１ａと、複数（本実施形態では２つ）の第２斜光照明用撮像装置２１ｂと、複数（本実施形態では４つ）の正反射照明用撮像装置２２とを備えている。
【0030】
ここで、複数の第１斜光照明用撮像装置２１ａは、複数の第１斜光照明１１ａによって光Ｌ１１ａが照射された鋼板Ｓの表面Ｓａを撮像するものであり、鋼板Ｓの表面Ｓａの幅方向（ｘ－ｘ方向）の第１斜光照明１１ａの設置側において当該幅方向に沿って所定間隔で配置されている。各第１斜光照明用撮像装置２１ａは、第１斜光照明１１ａから照射されて鋼板Ｓの表面Ｓａで反射された光Ｌ１１ａの波長（赤色）を透過させる第１フィルタ２３ａを備えている。
【0031】
また、複数の第２斜光照明用撮像装置２１ｂは、複数の第２斜光照明１１ｂによって光Ｌ１１ｂが照射された鋼板Ｓの表面Ｓａを撮像するものであり、鋼板Ｓの表面Ｓａの幅方向（ｘ－ｘ方向）の第２斜光照明１１ｂの設置側において当該幅方向に沿って所定間隔で配置されている。そして、各第２斜光照明用撮像装置２１ｂは、第２斜光照明１１ｂから照射されて鋼板Ｓの表面Ｓａで反射された光Ｌ１１ｂの波長（緑色）を透過させる第２フィルタ２３ｂを備えている。
【0032】
そして、各第１斜光照明用撮像装置２１ａは、図１及び図７（ｂ）に示すように、第１斜光照明用撮像装置２１ａの中心軸ＣＬ２１ａと水平面ＨＳとのなすカメラ角度が０°となるように設置されている。
また、各第２斜光照明用撮像装置２１ｂは、図１及び図７（ｃ）に示すように、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの中心軸ＣＬ２１ｂと水平面ＨＳとのなすカメラ角度が０°となるように設置されている。
また、各第２斜光照明用撮像装置２１ｂは、図１及び図７（ｃ）に示すように、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの中心軸ＣＬ２１ｂと水平面ＨＳとのなすカメラ角度が０°となるように設置されている。
【0033】
また、図９に示すように、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において複数（図９には１つの第１斜光照明用撮像装置２１ａのみ図示）の第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１（実線で示す）と複数（図９には１つの第２斜光照明用撮像装置２１ｂのみ図示）の第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２（破線で示す）とが鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において境界部で重なるように、複数の第１斜光照明用撮像装置２１ａ及び複数の第２斜光照明用撮像装置２１ｂが設置されている。
【0034】
また、複数の正反射照明用撮像装置２２は、正反射照明１２によって光Ｌ１２が照射された鋼板Ｓの表面Ｓａを撮像するものであり、図２に示すように、鋼板Ｓの表面Ｓａの全幅にわたって鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）に沿って所定間隔で配置されている。各正反射照明用撮像装置２２は、正反射照明１２から照射されて鋼板Ｓの表面Ｓａで反射された光Ｌ１２の波長（青色）を透過させる第３フィルタ２４を備えている。
そして、各正反射照明用撮像装置２２は、図１に示すように、各正反射照明用撮像装置２２の中心軸ＣＬ２２と水平面ＨＳとのなすカメラ角度θ２２が１０°となるように設置されている。
そして、各正反射照明用撮像装置２２は、図１に示すように、各正反射照明用撮像装置２２の中心軸ＣＬ２２と水平面ＨＳとのなすカメラ角度θ２２が１０°となるように設置されている。
【0035】
なお、照明装置１０が正反射照明１２を備え、撮像装置２０が正反射照明用撮像装置２２を備えている理由は、斜光照明１１及び第１斜光照明用撮像装置２１ａ、第２斜光照明用撮像装置２１ｂを用いて検出することが困難な鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を検出するためである。
ここで、第１斜光照明１１ａとして採用される赤色のＬＥＤ照明、第２斜光照明１１ｂとして緑色のＬＥＤ照明、及び正反射照明１２として採用される青色のＬＥＤ照明の分光分布を図３に示す。
ここで、第１斜光照明１１ａとして採用される赤色のＬＥＤ照明、第２斜光照明１１ｂとして緑色のＬＥＤ照明、及び正反射照明１２として採用される青色のＬＥＤ照明の分光分布を図３に示す。
【0036】
図３において、赤色の波長は一点鎖線で、緑色の波長は破線で、青色の波長は実線で示されている。赤色の波長は５９０～６６０ｎｍ、緑色の波長は４８０～６００ｎｍ、青色の波長は４００～５００ｎｍ程度となっている。
本実施形態においては、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａの波長（赤色：５９０～６６０ｎｍ）と第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂの波長（緑色：４８０～６００ｎｍ）とを異なるものとしている。また、撮像装置２０の第１斜光照明用撮像装置２１ａを、第１斜光照明１１ａから照射されて鋼板Ｓの表面Ｓａで反射された光Ｌ１１ａの波長（赤色：５９０～６６０ｎｍ）を透過させる第１フィルタ２３ａを備えたものとしている。また、撮像装置２０の第２斜光照明用撮像装置２１ｂを、第２斜光照明１１ｂから照射されて鋼板Ｓの表面Ｓａで反射された光Ｌ１１ｂの波長（緑色：４８０～６００ｎｍ）を透過させる第２フィルタ２３ｂを備えたものとしている。
本実施形態においては、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａの波長（赤色：５９０～６６０ｎｍ）と第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂの波長（緑色：４８０～６００ｎｍ）とを異なるものとしている。また、撮像装置２０の第１斜光照明用撮像装置２１ａを、第１斜光照明１１ａから照射されて鋼板Ｓの表面Ｓａで反射された光Ｌ１１ａの波長（赤色：５９０～６６０ｎｍ）を透過させる第１フィルタ２３ａを備えたものとしている。また、撮像装置２０の第２斜光照明用撮像装置２１ｂを、第２斜光照明１１ｂから照射されて鋼板Ｓの表面Ｓａで反射された光Ｌ１１ｂの波長（緑色：４８０～６００ｎｍ）を透過させる第２フィルタ２３ｂを備えたものとしている。
【0037】
これにより、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において、第１斜光照明１１ａの光学系と第２斜光照明１１ｂの光学系とを分離し、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａと第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂとの干渉を防止することができる。
なお、図３においては、第１フィルタ２３ａ（一点鎖線）が６００ｎｍ以上の波長の光を透過させるロングパスフィルターで構成されて赤色の波長を透過させる様子が示されている。また、図３においては、第２フィルタ２３ｂ（破線）が５００ｎｍ以上の波長の光を透過させるロングパスフィルターと５７５ｎｍ以下の波長の光を透過させるショートパスフィルターとで構成されて緑色の波長を透過させる様子が示されている。更に、図３においては、第３フィルタ２４（実線）が４７５ｎｍ以下の波長の光を透過させるショートパスフィルターで構成されて青色の波長の光を透過させる様子が示されている。
なお、図３においては、第１フィルタ２３ａ（一点鎖線）が６００ｎｍ以上の波長の光を透過させるロングパスフィルターで構成されて赤色の波長を透過させる様子が示されている。また、図３においては、第２フィルタ２３ｂ（破線）が５００ｎｍ以上の波長の光を透過させるロングパスフィルターと５７５ｎｍ以下の波長の光を透過させるショートパスフィルターとで構成されて緑色の波長を透過させる様子が示されている。更に、図３においては、第３フィルタ２４（実線）が４７５ｎｍ以下の波長の光を透過させるショートパスフィルターで構成されて青色の波長の光を透過させる様子が示されている。
【0038】
また、画像処理装置３０は、撮像装置２０での撮像画像を画像処理して鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を検出するものであり、図１及び図２に示すように、撮像装置２０を構成する第１斜光照明用撮像装置２１ａ、第２斜光照明用撮像装置２１ｂ、及び正反射照明用撮像装置２２に接続されている。画像処理装置３０は、画像処理装置３０の機能をコンピュータソフトウェア上でプログラムを実行することで実現するための演算処理機能を有するコンピュータシステムである。そして、このコンピュータシステムは、ＲＯＭ，ＲＡＭ，ＣＰＵ等を備えて構成され、ＲＯＭ等に予め記憶された各種専用のプログラムを実行することにより、前述した機能をソフトウェア上で実現する。
ここで、鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０は、表１に示すように、凹凸の量ｄ（図１０（ｂ）参照、表１における明度の差Ｂ）及び表面Ｓａから見た凹凸の大きさ（表１における寸法ｂ（図１０（ａ）参照）に基づいて欠陥として除去する優先度を付けたランクに分けられている。
ここで、鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０は、表１に示すように、凹凸の量ｄ（図１０（ｂ）参照、表１における明度の差Ｂ）及び表面Ｓａから見た凹凸の大きさ（表１における寸法ｂ（図１０（ａ）参照）に基づいて欠陥として除去する優先度を付けたランクに分けられている。
【0039】
【表1】
【0040】
以下、この凹凸欠陥５０のランクについて、図１０、図１１、図１２及び表１を参照して説明する。図１０には、鋼板Ｓの表面Ｓａに形成された凹凸欠陥５０の一例が示されている。図１１には、鋼板Ｓの表面Ｓａに形成された凹凸欠陥５０の一例の撮像画像が示されている。図１２には、図１１に示す撮像画像から検出される凹凸欠陥５０に対する明度の波形が示されている。表１には、凹凸欠陥５０のランクが示されている。
【0041】
鋼板Ｓの表面Ｓａに、図１０（ａ），（ｂ）に示す表面Ｓａから見てほぼ円形状の凹凸欠陥５０が形成されているものとする。この凹凸欠陥５０は、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における寸法ｂの幅を有し、鋼板Ｓの長さ方向（ｙ－ｙ方向）における寸法ａの長さを有する。凹凸欠陥５０のランク分けに際しては、本実施形態では、凹凸欠陥５０の鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における寸法ｂを、表面Ｓａから見た凹凸の大きさとしてランク分けの基準に用いる。
【0042】
この凹凸欠陥５０の鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における寸法ｂは、撮像画像から次のようにして算出される。
即ち、図１１及び図１２に示すように、凹凸欠陥５０の当該寸法ｂは、凹凸欠陥５０の撮像画像における明度Ｂ１から鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における明度が急激に低下する幅方向の位置ｘ１と、明度Ｂ４から鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における明度が急激に低下する幅方向の位置ｘ４との間の距離により算出される。つまり、ｂ＝ｘ４-ｘ１で表される。
即ち、図１１及び図１２に示すように、凹凸欠陥５０の当該寸法ｂは、凹凸欠陥５０の撮像画像における明度Ｂ１から鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における明度が急激に低下する幅方向の位置ｘ１と、明度Ｂ４から鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における明度が急激に低下する幅方向の位置ｘ４との間の距離により算出される。つまり、ｂ＝ｘ４-ｘ１で表される。
【0043】
また、図１０（ａ），（ｂ）に示された凹凸欠陥５０は、鋼板Ｓの表面Ｓａから凹凸の量ｄだけ凹んでいる。凹凸欠陥５０のランク分けに際しては、本実施形態では、凹凸欠陥５０のこの凹凸の量ｄを、表面Ｓａから見た凹凸の大きさとしてランク分けの基準に用いる。凹凸欠陥５０が鋼板Ｓの表面Ｓａから突出している場合には、表面Ｓａから突出する量を凹凸の量ｄとする。
この凹凸欠陥５０の凹凸の量ｄは、撮像画像からは直接に算出できないため、図１２に示す撮像画像から検出される凹凸欠陥５０の明度の波形に基づいて、凹凸欠陥５０における明度の最大値と明度の最小値との差Ｂを算出し、この明度の差Ｂを凹凸の量ｄとする。
この凹凸欠陥５０の凹凸の量ｄは、撮像画像からは直接に算出できないため、図１２に示す撮像画像から検出される凹凸欠陥５０の明度の波形に基づいて、凹凸欠陥５０における明度の最大値と明度の最小値との差Ｂを算出し、この明度の差Ｂを凹凸の量ｄとする。
【0044】
ここで、図１２において、凹凸欠陥５０における明度の差Ｂは、凹凸欠陥５０の撮像画像における明度の最大値Ｂ２（最も明るい部分５１の明度）と、当該撮像画像における明度の最小値Ｂ３（最も暗い部分５２）との差から算出される。つまり、Ｂ＝Ｂ２-Ｂ３で表される。
そして、凹凸欠陥５０のランクは、算出された寸法ｂの大中小と明度の差Ｂの大中小との組み合わせが、表１に示す凹凸欠陥５０のランクのいずれに該当するかを判定して決定される。
そして、凹凸欠陥５０のランクは、算出された寸法ｂの大中小と明度の差Ｂの大中小との組み合わせが、表１に示す凹凸欠陥５０のランクのいずれに該当するかを判定して決定される。
【0045】
凹凸欠陥５０のランクは、欠陥として除去する優先度を示すものであり、数値の高いランクが欠陥として除去する優先度が高く、数値の低いランクが欠陥として除去する優先度が低い。そして、表１に示す凹凸欠陥５０のランクは、予め、画像処理装置３０に記憶されている。
画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａで撮像された撮像画像に基づいて第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１（図９参照）における鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を検出するとともに、当該凹凸欠陥５０のランクを表１を参照して判定する。
画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａで撮像された撮像画像に基づいて第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１（図９参照）における鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を検出するとともに、当該凹凸欠陥５０のランクを表１を参照して判定する。
【0046】
また、画像処理装置３０は、第２斜光照明用撮像装置２１ｂで撮像された撮像画像に基づいて第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２（図９参照）における鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を検出するとともに、当該凹凸欠陥５０のランクを表１を参照して判定する。
そして、画像処理装置３０は、凹凸欠陥５０の検出結果である、「欠陥あり」、「欠陥なし」とともに、判定結果である、「欠陥あり」の場合の当該凹凸欠陥５０のランクを、図示しない出力装置に出力する。
そして、画像処理装置３０は、凹凸欠陥５０の検出結果である、「欠陥あり」、「欠陥なし」とともに、判定結果である、「欠陥あり」の場合の当該凹凸欠陥５０のランクを、図示しない出力装置に出力する。
【0047】
ここで、図９に示すように、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１と第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２とが重なった重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａに凹凸欠陥５０がある場合がある。この場合の画像処理装置３０における処理について説明する。
この場合において、画像処理装置３０は、その重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０につき、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１での検出及び判定と、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２での検出及び判定とを行う。
そして、画像処理装置３０は、それぞれの視野４１、４２で判定された凹凸欠陥５０のランクが同じ場合、その同じランクを凹凸欠陥５０のランクとして採用する。
この場合において、画像処理装置３０は、その重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０につき、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１での検出及び判定と、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２での検出及び判定とを行う。
そして、画像処理装置３０は、それぞれの視野４１、４２で判定された凹凸欠陥５０のランクが同じ場合、その同じランクを凹凸欠陥５０のランクとして採用する。
【0048】
一方、画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１で判定された凹凸欠陥５０のランクと、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２で判定された凹凸欠陥５０のランクとが異なる場合、次のように処理する。即ち、画像処理装置３０は、この場合、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１で判定された凹凸欠陥５０のランク及び第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２で判定された凹凸欠陥５０のランクのうち優先度の高い凹凸欠陥５０のランクを採用する。その重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を除去するに際して優先度の高い凹凸欠陥５０のランクを採用して安全を期すためである。重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０につき、視野４１、４２で判定が異なることがあるのは、凹凸欠陥５０における明度の捉え方が両者において異なるからである。
【0049】
第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１と第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２とが重なった重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａに凹凸欠陥５０があり、視野４１で判定された凹凸欠陥５０のランクと、視野４２で判定された凹凸欠陥５０のランクとが異なる場合の画像処理装置３０における具体的処理について図１３乃至図１６を参照して説明する。図１３は、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１と第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２とが重なった重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａに凹凸欠陥５０がある場合における当該凹凸欠陥５０の一例の撮像画像を示す図である。図１４は、図１３に示す撮像画像から検出される凹凸欠陥５０に対する明度の波形を示すグラフである。図１５は、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１での撮像画像から検出される凹凸欠陥５０に対する明度の波形を示すグラフである。図１６は、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２での撮像画像から検出される凹凸欠陥５０に対する明度の波形を示すグラフである。
【0050】
図１３に示す撮像画像において、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１と第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２とが重なった重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａに凹凸欠陥５０がある。
そして、当該凹凸欠陥５０の鋼板Ｓにおける幅方向（ｘ－ｘ方向）の位置に対する明度の分布は、図１４に示すように、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における左端位置（図１４における左端の位置、視野４１側の左端位置）から凹凸欠陥５０の左縁の位置ｘ１に至るまで鋼板Ｓの表面Ｓａの明度Ｂ１となっている。そして、凹凸欠陥５０の左縁の位置ｘ１を境に右側に進むと明度がＢ１から小さく（暗く）なって凹凸欠陥５０の底部分の明度となる。更に、右側に進むと、明度が高くなって凹凸欠陥５０における明るい部分５１の位置ｘ２に至り最も明るい明度の最大値Ｂ２となる。そして、凹凸欠陥５０における明るい部分５１の位置ｘ２から右側に進むと、明度が小さくなって凹凸欠陥５０の底部分の明度となる。更に、右側に進むと、凹凸欠陥５０における暗い部分５２の位置ｘ３に至り最も暗い明度の最小値Ｂ３となる。そして、凹凸欠陥５０における最も暗い部分５２の位置ｘ３から右側に進むと、明度が高くなって凹凸欠陥５０の底部分の明度となる。更に、右側に進むと、明度が高くなって凹凸欠陥５０の右縁の位置ｘ４に至り鋼板Ｓの表面Ｓａの明度Ｂ４となる。この明度Ｂ４は明度Ｂ１とほぼ同一である。
そして、当該凹凸欠陥５０の鋼板Ｓにおける幅方向（ｘ－ｘ方向）の位置に対する明度の分布は、図１４に示すように、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における左端位置（図１４における左端の位置、視野４１側の左端位置）から凹凸欠陥５０の左縁の位置ｘ１に至るまで鋼板Ｓの表面Ｓａの明度Ｂ１となっている。そして、凹凸欠陥５０の左縁の位置ｘ１を境に右側に進むと明度がＢ１から小さく（暗く）なって凹凸欠陥５０の底部分の明度となる。更に、右側に進むと、明度が高くなって凹凸欠陥５０における明るい部分５１の位置ｘ２に至り最も明るい明度の最大値Ｂ２となる。そして、凹凸欠陥５０における明るい部分５１の位置ｘ２から右側に進むと、明度が小さくなって凹凸欠陥５０の底部分の明度となる。更に、右側に進むと、凹凸欠陥５０における暗い部分５２の位置ｘ３に至り最も暗い明度の最小値Ｂ３となる。そして、凹凸欠陥５０における最も暗い部分５２の位置ｘ３から右側に進むと、明度が高くなって凹凸欠陥５０の底部分の明度となる。更に、右側に進むと、明度が高くなって凹凸欠陥５０の右縁の位置ｘ４に至り鋼板Ｓの表面Ｓａの明度Ｂ４となる。この明度Ｂ４は明度Ｂ１とほぼ同一である。
【0051】
ここで、凹凸欠陥５０は、図１３に示すように、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１において鋼板Ｓの幅方向（ｘ―ｘ方向）の全体が映し出されている。そして、この場合の、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１での撮像画像から検出される凹凸欠陥５０に対する明度の分布は、図１５に示すようになり、図１４に示す明度の分布と同様となる。
そして、画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１における凹凸欠陥５０のランクの決定に際し、凹凸欠陥５０の鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における寸法ｂを、ｂ＝ｘ４（凹凸欠陥５０の右縁の位置）-ｘ１（凹凸欠陥５０の左縁の位置）から算出し、寸法ｂの大きさを「中」とする。
そして、画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１における凹凸欠陥５０のランクの決定に際し、凹凸欠陥５０の鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における寸法ｂを、ｂ＝ｘ４（凹凸欠陥５０の右縁の位置）-ｘ１（凹凸欠陥５０の左縁の位置）から算出し、寸法ｂの大きさを「中」とする。
【0052】
また、画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１における凹凸欠陥５０のランクの決定に際し、凹凸欠陥５０における明度の差Ｂを、Ｂ＝Ｂ２（最も明るい部分５１の明度）-Ｂ３（最も暗い部分５２の明度）から算出し、明度の差Ｂの大きさを「大」とする。
そして、画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１における凹凸欠陥５０のランクを表１を参照して、ランク３と判定する。
そして、画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１における凹凸欠陥５０のランクを表１を参照して、ランク３と判定する。
【0053】
一方、凹凸欠陥５０は、図１３に示すように、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２において鋼板Ｓの幅方向（ｘ―ｘ方向）の位置ｘ５から凹凸欠陥５０の右縁の位置ｘ４に至るまで映し出されている。そして、この場合の、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２での撮像画像から検出される凹凸欠陥５０に対する明度の分布は、図１６に示すようになる。つまり、鋼板Ｓの幅方向（ｘ―ｘ方向）の位置ｘ５は凹凸欠陥５０の底部分の明度となっており、右側に進んで凹凸欠陥５０における暗い部分５２の位置ｘ３に至ると、明度が小さくなって最も暗い明度の最小値Ｂ３となる。そして、凹凸欠陥５０における最も暗い部分５２の位置ｘ３から右側に進むと、明度が高くなって凹凸欠陥５０の底部分の明度となる。更に、右側に進むと、明度が高くなって凹凸欠陥５０の右縁の位置ｘ４に至り鋼板Ｓの表面Ｓａの明度Ｂ４となる。
【0054】
そして、画像処理装置３０は、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２における凹凸欠陥５０のランクの決定に際し、凹凸欠陥５０の鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における寸法ｂを、ｂ＝ｘ４（凹凸欠陥５０の右縁の位置）-ｘ５（図１６において最も左側の位置）から算出し、寸法ｂの大きさを「中」とする。
また、画像処理装置３０は、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２における凹凸欠陥５０のランクの決定に際し、凹凸欠陥５０における明度の差Ｂを、Ｂ＝Ｂ４（鋼板Ｓの表面Ｓａの明度）-Ｂ３（最も暗い部分５２の明度）から算出し、明度の差Ｂの大きさを「中」とする。
また、画像処理装置３０は、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２における凹凸欠陥５０のランクの決定に際し、凹凸欠陥５０における明度の差Ｂを、Ｂ＝Ｂ４（鋼板Ｓの表面Ｓａの明度）-Ｂ３（最も暗い部分５２の明度）から算出し、明度の差Ｂの大きさを「中」とする。
【0055】
そして、画像処理装置３０は、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２における凹凸欠陥５０のランクを表１を参照して、ランク２と判定する。
このように、視野４１で判定された凹凸欠陥５０のランク（ランク３）と、視野４２で判定された凹凸欠陥５０のランク（ランク２）とが異なる。この場合、画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１で判定された凹凸欠陥５０のランク（ランク３）及び第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２で判定された凹凸欠陥５０のランク（ランク２）のうち優先度の高い凹凸欠陥５０のランク（ランク３）を採用する。これにより、重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を除去するに際して優先度の高い凹凸欠陥５０のランク（ランク３）を採用して安全を期している。
このように、視野４１で判定された凹凸欠陥５０のランク（ランク３）と、視野４２で判定された凹凸欠陥５０のランク（ランク２）とが異なる。この場合、画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１で判定された凹凸欠陥５０のランク（ランク３）及び第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２で判定された凹凸欠陥５０のランク（ランク２）のうち優先度の高い凹凸欠陥５０のランク（ランク３）を採用する。これにより、重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を除去するに際して優先度の高い凹凸欠陥５０のランク（ランク３）を採用して安全を期している。
【0056】
そして、鋼板Ｓの製造に際しては、表面検査装置１を用いて鋼板Ｓの表面検査を行う表面検査工程において、鋼板Ｓの表面Ｓａにおける凹凸欠陥５０を検出する。そして、表面検査装置１の画像処理装置３０が、凹凸欠陥５０の検出結果である、「欠陥あり」、「欠陥なし」とともに、判定結果である、「欠陥あり」の場合の当該凹凸欠陥５０のランクを、図示しない出力装置に出力する。その後、検出結果が「欠陥なし」の場合、その鋼板Ｓは、出荷される。一方、検出結果が「欠陥あり」の場合、表面検査工程の後工程であるスキンパス工程で凹凸欠陥５０のランクに応じて当該凹凸欠陥５０を除去する。
【0057】
なお、熱延鋼板の酸洗ラインにおいて、表面検査装置１を設置していない場合には、従来の方法においては熱延鋼板の酸洗ラインにおいて鋼板Ｓの表面検査を行えない。このため、後工程であるスキンパス工程において、作業員が目視で鋼板Ｓの表面検査を行う。そして、表面検査の結果がが「欠陥なし」の場合、その鋼板Ｓは、出荷される。一方、表面検査の結果が「欠陥あり」の場合、そのスキンパス工程で当該凹凸欠陥５０を除去する。
本実施形態に係る鋼板の製造方法においては、前述のように、表面検査装置１を用いて鋼板Ｓの表面検査を行う表面検査工程を含むため、目視検査を削減でき、検査費用を従来に比べて削減できるとともに、鋼板Ｓの歩留まりを改善することができる。
本実施形態に係る鋼板の製造方法においては、前述のように、表面検査装置１を用いて鋼板Ｓの表面検査を行う表面検査工程を含むため、目視検査を削減でき、検査費用を従来に比べて削減できるとともに、鋼板Ｓの歩留まりを改善することができる。
【0058】
本実施形態に係る表面検査装置１及び表面検査装置１における斜光照明１１の設置方法によれば、斜光照明１１を、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において２分割して第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂとする。また、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂを当該第１斜光照明１１ａと第２斜光照明１１ｂとが干渉しないように鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）において離し、かつ、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂからのそれぞれの光Ｌ１１ａ，Ｌ１１ｂが鋼板Ｓの幅方向内側から鋼板Ｓの幅方向外側に向けて照射されるように、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂを設置する。
これにより、第１斜光照明１１ａと第２斜光照明１１ｂとの干渉を回避しつつ、斜光照明１１を鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）から突出させずに設置できる。このため、斜光照明１１が周囲の機器に干渉してしまうことを回避できる。
これにより、第１斜光照明１１ａと第２斜光照明１１ｂとの干渉を回避しつつ、斜光照明１１を鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）から突出させずに設置できる。このため、斜光照明１１が周囲の機器に干渉してしまうことを回避できる。
【0059】
また、本実施形態に係る表面検査装置１によれば、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａの波長と第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂの波長とを異なるものとする。また、撮像装置２０が、第１斜光照明１１ａから照射されて鋼板Ｓの表面Ｓａで反射された光Ｌ１１ａの波長を透過させる第１フィルタ２３ａを備えた、第１斜光照明１１ａによって光Ｌ１１ａが照射された鋼板Ｓの表面Ｓａを撮像する第１斜光照明用撮像装置２１ａを備えている。また、撮像装置２０は、第２斜光照明１１ｂから照射されて鋼板Ｓの表面Ｓａで反射された光Ｌ１１ｂの波長を透過させる第２フィルタ２３ｂを備えた、第２斜光照明１１ｂによって光Ｌ１１ｂが照射された鋼板Ｓの表面Ｓａを撮像する第２斜光照明用撮像装置２１ｂを備えている。
これにより、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において、第１斜光照明１１ａの光学系と第２斜光照明１１ｂの光学系とを分離し、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａと第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂとの干渉を防止することができる。
これにより、鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において、第１斜光照明１１ａの光学系と第２斜光照明１１ｂの光学系とを分離し、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａと第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂとの干渉を防止することができる。
【0060】
また、本実施形態に係る表面検査装置１によれば、鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０は、凹凸の量ｄ及び表面Ｓａから見た凹凸の大きさ（凹凸欠陥５０の鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における寸法ｂ）に基づいて欠陥として除去する優先度を付けたランクに分けられている。そして、画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａで撮像された撮像画像に基づいて第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１における鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を検出するとともに、当該凹凸欠陥５０のランクを判定する。また、画像処理装置３０は、第２斜光照明用撮像装置２１ｂで撮像された撮像画像に基づいて第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２における鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を検出するとともに、当該凹凸欠陥５０のランクを判定する。
これにより、画像処理装置３０により、走行されてくる鋼板Ｓの表面Ｓａ全体にある凹凸欠陥５０を検出できるとともに、その凹凸欠陥５０の優先度に応じたランクを判定することができる。
これにより、画像処理装置３０により、走行されてくる鋼板Ｓの表面Ｓａ全体にある凹凸欠陥５０を検出できるとともに、その凹凸欠陥５０の優先度に応じたランクを判定することができる。
【0061】
また、本実施形態に係る表面検査装置１によれば、第１斜光照明１１ａからの光Ｌ１１ａの照射範囲と第２斜光照明１１ｂからの光Ｌ１１ｂの照射範囲とが鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において境界部で重なるように、第１斜光照明１１ａ及び第２斜光照明１１ｂが設置される。また、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１と第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２とが鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）において境界部で重なるように、第１斜光照明用撮像装置２１ａ及び第２斜光照明用撮像装置２１ｂが設置される。
これにより、画像処理装置３０により、走行されてくる鋼板Ｓの表面Ｓａ全体にある凹凸欠陥５０を確実に検出できるとともに、その凹凸欠陥５０の優先度に応じたランクを判定することができる。
これにより、画像処理装置３０により、走行されてくる鋼板Ｓの表面Ｓａ全体にある凹凸欠陥５０を確実に検出できるとともに、その凹凸欠陥５０の優先度に応じたランクを判定することができる。
【0062】
また、本実施形態に係る表面検査装置１によれば、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１と第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２とが重なった重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａに凹凸欠陥５０がある場合において、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１で判定された凹凸欠陥５０のランクと、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２で判定された凹凸欠陥５０のランクとが異なる場合において、画像処理装置３０は、次のように処理する。この場合、画像処理装置３０は、第１斜光照明用撮像装置２１ａの視野４１で判定された凹凸欠陥５０のランク及び第２斜光照明用撮像装置２１ｂの視野４２で判定された凹凸欠陥５０のランクのうち優先度の高い凹凸欠陥５０のランクを採用する。
これにより、重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を除去するに際して優先度の高い凹凸欠陥５０のランクを採用して安全を期すことができる。
これにより、重複部分４３に対応する鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を除去するに際して優先度の高い凹凸欠陥５０のランクを採用して安全を期すことができる。
【0063】
また、本発明の表面検査装置１によれば、照明装置１０は、正反射照明１２を有し、撮像装置２０は、正反射照明１２によって光Ｌ１２が照射された鋼板Ｓの表面Ｓａを撮像する正反射照明用撮像装置２２を備えている。
これにより、斜光照明１１及び第１斜光照明用撮像装置２１ａ、第２斜光照明用撮像装置２１ｂを用いて検出することが困難な鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を検出することができる。
これにより、斜光照明１１及び第１斜光照明用撮像装置２１ａ、第２斜光照明用撮像装置２１ｂを用いて検出することが困難な鋼板Ｓの表面Ｓａにある凹凸欠陥５０を検出することができる。
【0064】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されずに種々の変更、改良を行うことができる。
例えば、表面検査装置１は、熱延鋼板の酸洗ラインに設置されているが、これに限らず、冷延鋼板の製造ライン等に設置されてもよい。
また、各第１斜光照明用撮像装置２１ａ及び各第２斜光照明用撮像装置２１ｂは、図１及び図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す方法で設置する場合のみならず、図８（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す方法で設置するようにしてもよい。具体的には、各第１斜光照明用撮像装置２１ａを、図８（ａ），（ｂ）に示すように、第１斜光照明用撮像装置２１ａの中心軸ＣＬ２１ａと水平面ＨＳとのなすカメラ角度θ２１ａが所定の角度となるように設置する。また、各第２斜光照明用撮像装置２１ｂを、図８（ａ），（ｃ）に示すように、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの中心軸ＣＬ２１ｂと水平面ＨＳとのなすカメラ角度θ２１ｂが所定の角度となるように設置する。
例えば、表面検査装置１は、熱延鋼板の酸洗ラインに設置されているが、これに限らず、冷延鋼板の製造ライン等に設置されてもよい。
また、各第１斜光照明用撮像装置２１ａ及び各第２斜光照明用撮像装置２１ｂは、図１及び図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す方法で設置する場合のみならず、図８（ａ），（ｂ），（ｃ）に示す方法で設置するようにしてもよい。具体的には、各第１斜光照明用撮像装置２１ａを、図８（ａ），（ｂ）に示すように、第１斜光照明用撮像装置２１ａの中心軸ＣＬ２１ａと水平面ＨＳとのなすカメラ角度θ２１ａが所定の角度となるように設置する。また、各第２斜光照明用撮像装置２１ｂを、図８（ａ），（ｃ）に示すように、第２斜光照明用撮像装置２１ｂの中心軸ＣＬ２１ｂと水平面ＨＳとのなすカメラ角度θ２１ｂが所定の角度となるように設置する。
【0065】
また、第１斜光照明用撮像装置２１ｑ、第２斜光照明用撮像装置２１ｂ、及び正反射照明用撮像装置２２は、それぞれ複数設置されているが、それぞれ１つとしてもよい。
また、凹凸欠陥５０をランク分けする際の基準となる凹凸の大きさは、凹凸の大きさは、凹凸欠陥５０の鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における寸法ｂのみならず、凹凸欠陥５０の鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）における寸法ａであったり、凹凸欠陥５０の表面Ｓａから見た面積等であってもよい。
また、凹凸欠陥５０をランク分けする際の基準となる凹凸の大きさは、凹凸の大きさは、凹凸欠陥５０の鋼板Ｓの幅方向（ｘ－ｘ方向）における寸法ｂのみならず、凹凸欠陥５０の鋼板Ｓの長手方向（ｙ－ｙ方向）における寸法ａであったり、凹凸欠陥５０の表面Ｓａから見た面積等であってもよい。
【符号の説明】
【0066】
１ 表面検査装置
２ ブライドルロール
１０ 照明装置
１１ 斜光照明
１１ａ 第１斜光照明
１１ｂ 第２斜光照明
１２ 正反射照明
２０ 撮像装置
２１ａ 第１斜光照明用撮像装置
２１ｂ 第２斜光照明用撮像装置
２２ 正反射照明用撮像装置
２３ａ 第１フィルタ
２３ｂ 第２フィルタ
２４ 第３フィルタ
３０ 画像処理装置
４１ 第１斜光照明用撮像装置の視野
４２ 第２斜光照明用撮像装置の視野
４３ 重複部分
５０ 凹凸欠陥
Ｌ１１ａ 第１斜光照明からの光
Ｌ１１ｂ 第２斜光照明からの光
Ｌ１２ 正反射照明からの光
Ｓ 鋼板（熱延鋼板）
Ｓａ 表面
２ ブライドルロール
１０ 照明装置
１１ 斜光照明
１１ａ 第１斜光照明
１１ｂ 第２斜光照明
１２ 正反射照明
２０ 撮像装置
２１ａ 第１斜光照明用撮像装置
２１ｂ 第２斜光照明用撮像装置
２２ 正反射照明用撮像装置
２３ａ 第１フィルタ
２３ｂ 第２フィルタ
２４ 第３フィルタ
３０ 画像処理装置
４１ 第１斜光照明用撮像装置の視野
４２ 第２斜光照明用撮像装置の視野
４３ 重複部分
５０ 凹凸欠陥
Ｌ１１ａ 第１斜光照明からの光
Ｌ１１ｂ 第２斜光照明からの光
Ｌ１２ 正反射照明からの光
Ｓ 鋼板（熱延鋼板）
Ｓａ 表面
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】